CN100579348C - 电子设备的冷却装置 - Google Patents

Abstract

一种具有大的散热面积，能防止制冷剂的泄漏的薄型的电子设备的冷却装置。冷却装置具有：通过结合形成了沟槽的下侧散热板和上侧散热板而形成了流路(21)的冷却面板(2)；以及使制冷剂在流路(21)内循环的循环泵(3)。在上侧散热板上形成了制冷剂从流路(21)向循环泵(3)流出的流出口和制冷剂从循环泵(3)向流路(21)流入的流入口。循环泵(3)固定在冷却面板(2)的上侧散热板上，使得吸入端口和排出端口分别与流出口和流入口位置相合。

Description

电子设备的冷却装置

技术领域

本发明涉及电子设备的冷却装置，特别涉及适用于对搭载在笔记本型个人电脑等上的CPU等发热部件进行冷却的电子设备的冷却装置。

背景技术

在近几年的个人电脑等电子设备中，随着运算处理量的增大及其高速化，搭载了消耗功率大的CPU等发热部件，该发热部件产生的热量不断增加。在这些电子设备中，所使用的各种电子部件由于耐热可靠性、工作特性的温度依赖性，其使用温度范围通常会受到限制，因而效率很好地向外部排出这些电子设备在内部产生的热的技术的确立就成为当务之急。

一般在个人电脑等电子设备中，在CPU等上作为吸热部件而装配金属性热沉、所谓热管等，利用热传导向整个电子设备进行热扩散，或者在机箱上装配电磁式冷却用风扇，从电子设备内部向外部散热。

在例如笔记本型个人电脑这种高密度地安装了电子部件的电子设备中，电子设备内部的散热空间小，单独用现有冷却风扇或是用组合了冷却风扇和热管的现有冷却装置，对于到30W程度为止的消耗功率的CPU可以进行冷却。可是，对于更大的消耗功率的CPU就难以充分放出内部的热。

还有，即使在可散热的场合，也必须设置送风能力大的冷却风扇，特别是在使用电磁式冷却风扇的场合，由于其旋转叶片的风声等噪音，静音性极大地受到损害。再有，在服务器用的个人电脑中也是，随着普及率的增加，小型化和静音化的要求越来越强烈，因此，对于热的放出也出现了与笔记本型个人电脑相同问题。

对此，为了效率很好地使增加了的发热向外部散发，人们研究了使制冷剂循环的液冷方式的冷却装置。例如，特开2003-67087号公报记载了在具有接受从个人电脑本体部的发热部件产生的热的受热头的个人电脑本体部的底部，配置具有通过受热头来传导来自发热部件的热的连接头、与连接头连接而填充了制冷剂的管和使制冷剂循环的泵的机箱的液冷方式的冷却装置。

发明内容

发明打算解决的课题

在上述公报记载的现有技术中是使制冷剂在配置在个人电脑本体部的底部的管内循环的构成，不能充分确保散热面积，冷却效率低，冷却装置不能薄型化，这是存在的问题。

再有，在上述现有技术中，制冷剂容易从泵和管的连接部位泄漏，由于制冷剂的泄漏，电子设备上搭载的电子部件损害的可能性变高，可靠性降低了，这是存在的问题。

还有，使制冷剂在具有封闭构造的流路中循环时，由于电子设备内部的温度变化、流路内的压力变化，液中含有的氧等就会凝集而生成气泡。该气泡借助于液的循环而流入泵室内的话，由于气泡的存在而造成压力的吸收，就会使从泵向液传递的压力减少，造成液的流量降低，这是存在的问题。再有，由于在电子设备内产生压力变动，在局部产生应力，液循环装置的构造体自身就会损坏，这是存在的问题。

本发明是鉴于上述问题点而提出的，目的在于提供一种能充分确保散热面积，从而提高冷却效率，可薄型化的电子设备的冷却装置。

还有，本发明的目的也在于提供一种消除由制冷剂的气泡化产生的问题，可稳定冷却且可靠性高的电子设备的冷却装置。

用于解决课题的技术方案

本发明就第1观点提供一种电子设备的冷却装置，具有：

具有至少在一方上形成了沟槽的下侧散热板和上侧散热板，接合该下侧散热板和上侧散热板而形成制冷剂的流路的冷却面板；以及

固定在上述冷却面板上，使上述制冷剂经上述流路而循环，使传递到上述冷却面板的热进行扩散的循环泵。

还有，本发明就第2观点提供一种电子设备的冷却装置，其特征在于，具有基体、埋设在该基体中而使制冷剂通过的流路、配设在上述基体的表面上的循环泵、通过分歧孔而与上述流路连通的贮液槽，上述循环泵使上述制冷剂通过上述流路而循环，使传递到上述冷却面板的热进行扩散。

发明效果

根据本发明的第1观点的电子设备的冷却装置，由于是在冷却面板的内部形成了制冷剂的流路的构成，因而由具有紧凑形状的冷却面板的冷却装置就可实现大冷却面积和高冷却效率。

根据本发明的第2观点的电子设备的冷却装置，由于是冷却装置具有与流路连通的贮液槽的构成，因而能防止制冷剂生成气泡，从而提高了冷却装置的可靠性且可进行稳定冷却。

在本发明的电子装置的冷却装置中，优选的是，上述循环泵是压电泵。能获得更紧凑构造的冷却装置。

上述压电泵具有区划收纳压电振动片的泵室的泵机箱，该泵机箱固定在上述冷却面板上，使得排出端口和吸入端口分别与上述流入口和上述流出口位置相合，这也是本发明的优选方式。

上述压电振动片可以是包括具有弹性的圆板和夹着该具有弹性的圆板而配设的在相反方向被极化了的一对压电陶瓷圆板的双压电晶片构造，上述一对压电陶瓷圆板各自是由多个陶瓷层构成的层积构造，在该层积构造中互相邻接的2个陶瓷层是在相反方向被极化的构成。

或者改为，上述压电振动片可以包括未被极化的第1压电陶瓷、夹着该第1压电陶瓷而配设的在相反方向被极化了的一对第2压电陶瓷和分别配设在该第2压电陶瓷的外侧的未被极化的一对第3压电陶瓷，上述第2压电陶瓷各自是由多个陶瓷层构成的层积构造，在该层积构造中互相邻接的2个陶瓷层在相反方向被极化，上述第1～第3压电陶瓷是被烧结成一体构造的构成。

还有，优选的是，与上述排出端口和上述吸入端口各自关联而配设了止回阀，该止回阀固定在对上述泵机箱可着脱的部件上。优选的是，在上述沟槽中形成了对上述下侧散热板和上述上侧散热板的接合进行加强的支柱(加强件)。还具有固定在上述冷却面板的上侧散热板上，与在上述流路中形成了的分歧孔连通的贮液槽，这也是本发明的优选方式。优选的是，在上述贮液槽的底面上形成把上述分歧孔的出口作为顶点的圆锥台或棱锥台形状的锥形部。

优选的是，从上述锥形部的顶点到下侧的上述贮液槽的容积比从上述锥形部的顶点到上侧的上述贮液槽的容积大，在上述贮液槽中乘满了上述制冷剂，使得上述制冷剂的液面位于比上述锥形部的顶点高的位置。

优选的是，在上述贮液槽的顶部，在上述分歧孔对着的位置，形成了面积比上述分歧孔的横截面面积小的突起。

优选的是，上述流路的一部分被包括宽度比上述沟槽的宽度窄的多个窄沟槽，宽度比上述沟槽的宽度宽的微通道构造(マイクロチヤネル)所置换。

优选的是，在上述流路和微通道构造之间，形成使制冷剂的流动从上述流路的宽度向上述微通道构造的宽度扩大的引导板。

优选的是，上述引导板包括多个引导板，1个引导板比位于制冷剂的流动的下游侧的其它引导板长，并且对制冷剂的流动方向的角度大。优选的是，上述流路由金属覆盖。

还有，在本发明的第2观点的电子设备的冷却装置中，上述贮液槽可以是固定在上述基体的表面上的平置型贮液槽，或者可以是埋设在上述基体内的纵置型贮液槽。

在本发明的第2观点的电子设备的冷却装置中，具有纵置型贮液槽的话，不论是在例如笔记本电脑等电子设备本体在桌上被利用的场合，还是挂在壁等上被利用的场合，都能确实捕获与液冷机构内的流通路的制冷剂一起循环而产生了的气泡，还有，能缓和与制冷剂的温度变动伴随的膨胀收缩所对应的流通路内的压力变动。还有，具有平置型贮液槽的话，例如在桌上平置了电子设备的状态下，能确实捕获与液冷机构内的流通路的制冷剂一起循环而产生了的气泡，还有，能缓和与制冷剂的温度变动伴随的膨胀收缩所对应的流通路内的压力变动。因此，优选的是，具有两种贮液槽。

再有，本发明提供一种电子设备，其特征在于，搭载了上述电子设备的冷却装置。

附图说明

图1(a)是本发明所涉及的电子设备的冷却装置的第1实施方式的俯视图，(b)和(c)分别是其侧视图和主视图。

图2是表示图1所示的气冷散热片之下的流路的构成的平面图。

图3(a)是构成图1所示的第1冷却面板材的第1冷却面板的下侧散热板的俯视图，(b)是(a)的X-X′线的剖视图。

图4(a)是构成图1所示的第1冷却面板材的第1冷却面板的上侧散热板的俯视图，(b)是其侧视图。

图5是表示图1所示的微通道构造上的导入部的构成的平面图。

图6(a)是图1所示的第2冷却面板的俯视图，(b)和(c)分别是其侧视图和主视图。

图7(a)是构成图6所示的第2冷却部件的第2冷却面板的下侧散热板的俯视图，(b)是(a)所示的Y-Y′剖视图。

图8是表示构成图6所示的第2冷却部件的第2冷却面板的上侧散热板的构成的平面图。

图9是表示图6所示的流路的宽度和深度与冷却性能的关系的坐标图。

图10是表示图6所示的流路的宽度和板厚与耐压性能的关系的坐标图。

图11(a)是图1所示的循环泵的第1例的展开透视图，(b)是其侧剖视图。

图12(a)和(b)是表示图11所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

图13(a)是图1所示的循环泵的第2例的展开透视图，(b)是其侧剖视图。

图14(a)～(d)是分别表示图13所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

图15(a)和(b)是分别表示图13所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

图16(a)是图1所示的循环泵的第3例的展开透视图，(b)是其侧剖视图。

图17(a)～(d)是分别表示图16所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

图18是表示图1所示的贮液槽的构成的透视图。

图19(a)和(b)分别是图18Z-Z′线的剖视图。

图20(a)～(d)是分别用于说明图18所示的贮液槽的空气积存功能的说明图。

图21(a)是表示本发明所涉及的电子设备的冷却装置的第1实施方式的向电子设备的第1组装例的透视图，(b)是(a)的Z-Z′线的剖视图。

图22(a)是表示本发明所涉及的电子设备的冷却装置的实施方式的向电子设备的第2组装例的透视图，(b)是(a)的Z-Z′线的剖视图。

图23(a)是表示本发明所涉及的电子设备的冷却装置的实施方式的向电子设备的第3组装例的透视图，(b)是(a)的Z-Z′线的剖视图。

图24是表示图1所示的第2冷却面板的下面的风量的变化所引起的冷却效果的实验例的平面图。

图25是表示图1所示的第2冷却面板的下面的风量的变化与冷却效果的关系的坐标图。

图26是本发明的电子设备的冷却装置的第2实施方式中的第2冷却面板的平面图。

图27(a)～(c)是分别表示第2实施方式中使用的纵置型贮液槽的构造的平面图。

图28(a)是本发明的电子设备的冷却装置的第3实施方式的冷却面板的平面图，(b)是冷却面板的侧视图，(c)是表示冷却面板的一部分的剖面详细图。

具体实施方式

以下，根据本发明的实施的方式，参照附图，更加详细地说明本发明。另外，在附图中，对相同构成要素付以相同标号。

参照图1，第1实施方式的电子设备的冷却装置具有：第1冷却面板1；第2冷却面板2；以及联结第1冷却面板1和第2冷却面板2，使第1冷却面板1在图1(c)中箭头表示的方向自由开闭地轴支承在第2冷却面板2上的联结部61、62。此处，本发明适用于第2冷却面板2。

冷却装置具有使水、不冻液等制冷剂在第1冷却面板1和第2冷却面板2内形成的流路中循环，从而对伴随发热的CPU、其它发热体等发热部件7进行冷却的功能。图1所示的标号84表示电池，在电子设备上冷却装置的第2冷却面板2做成避开电池84的区域的形状。图1所示的第1冷却面板1和第2冷却面板2的形状根据在电子设备上搭载时的各种制约来适当决定。

第1冷却面板1采用例如铜(Cu)、铝(Al)材等热传导性好的金属材料，如图1所示，在其上形成了内部流路11和微通道构造12。还有，在第1冷却面板1的上下面上分别设置了气冷散热片13，设置了气冷散热片13的区域13A的流路11，如图2所示，为了增强散热效果而成为蛇行流路111。另外，图1(a)所示的标号5是冷却风扇，通过冷却风扇5，在设置在第1冷却面板1上的气冷散热片13中形成空气流动，提高气冷效果。

第1冷却面板1是把图3和图4分别表示的下侧散热板17和上侧散热板18通过扩散接合、硬焊接合、激光熔接等接合技术接合起来而形成的。由第1冷却面板的上侧散热板18覆盖在第1冷却面板的下侧散热板17上形成的沟槽171和微通道构造12的窄幅沟槽172，从而形成流路11和微通道构造12。另外，第1冷却面板的下侧散热板17上的沟槽171和微通道构造的窄沟槽172的形成，可以考虑采用冲压来形成这些沟槽的方法、在形成了这些沟槽的状态下进行成型的方法、通过研磨来形成的方法等。

在第1冷却面板的下侧散热板17上，如图3所示，形成了作为制冷剂流入流路11的流入口的开口B和作为制冷剂从流路11流出的流出口的开口C。开口B与金属管14连接，开口C与金属管15连接。金属管14和15采用柔韧的金属管，使得不会妨碍第1冷却面板1对第2冷却面板2的开闭。

第1冷却面板的下侧散热板17的下面的形成了微通道构造12的区域，消耗功率大，而且与伴有小面积、局部性地发热的CPU和其它发热体等发热部件7的上面接触。由发热部件7产生了的热通过第1冷却面板的下侧散热板17传递到流过微通道构造12的制冷剂。微通道构造12与在第1冷却面板1上形成的流路11相比，宽度小，由宽度1mm及以下的小的多个窄幅流路构成，第1冷却面板的下侧散热板17在与发热部件7接触的区域形成了大于该区域的面积。另外，在第1实施方式中，在第1冷却面板1上形成的流路11的宽度为6mm，深度为1.5mm，在微通道构造12上形成了38个宽度0.5mm、深度1.5mm的流路。

在制冷剂流入微通道构造12的流入部，如图5所示，流路11的宽度向微通道构造12侧慢慢扩大，其末端与微通道构造12的宽度变得相同。在微通道构造流入部，形成了用于使从流路11流来的制冷剂向微通道构造12的宽度扩散的引导板16。引导板16由从制冷剂流动的上游侧依次配置的左右一对第1引导板161、第2引导板162和第3引导板163构成。各引导板的长度的关系是，位于上游的引导板长，第1引导板161的长度比第2引导板162的长度长，第2引导板162的长度比第3引导板163的长度长。还有，各引导板对图5中箭头所示的制冷剂的流动方向的角度θ的关系是，位于上游的引导板的角度大，第1引导板161的角度比第2引导板162的角度大，第2引导板的角度比第3引导板163的角度大。

第2冷却面板2，在作为本发明的冷却装置的一个例子而表示的装置中，采用例如铜(Cu)、铝(Al)材等热传导性好的金属材料，如图6所示，在内部形成了流路21，在上面装配了循环泵3和贮液槽4。第2冷却面板2是把图7和图8分别表示的下侧散热板23和上侧散热板24通过扩散接合、硬焊接合、激光熔接等接合技术接合起来而形成的。由上侧散热板24覆盖在第2冷却面板的下侧散热板23上形成了的沟槽231，从而形成流路21。另外，第2冷却面板的下侧散热板23上的沟槽231的形成，可以考虑采用冲压来形成沟槽231的方法、在形成了沟槽231的状态下进行成型的方法、通过研磨来形成沟槽231的方法等。还有，沟槽可以在上侧散热板24上形成，或者也可以在上侧散热板23和下侧散热板24两者上形成。

在第2冷却面板2的流路21的中央部分，即在第2冷却面板的下侧散热板23上形成了的沟槽231的中央部分，按规定间隔形成了多个支柱22。支柱22用于确保接合第2冷却面板的下侧散热板23和上侧散热板24时的强度。流路21的宽度和深度与冷却性能的关系如图9所示，流路宽度越宽，还有，深度越浅，冷却性能就越高，而耐压性能如图10所示，流路宽度越宽，板厚越薄，就越低。因此，从冷却性能的观点来看，要求流路21的宽度尽可能宽些，并且深度浅些，不过，耐压性能就会下降。因此，在第1实施方式中，通过支柱22来实现耐压性能的提高。还有，在第1实施方式中，在流路21的中央部分形成了支柱22，不过，形成支柱22的部位不限于中央部分，例如，也可以排列成格子状或交错状。另外，在第1实施方式中，在第2冷却面板2上形成的流路21的宽度为20mm，深度为0.8mm，在流路21的中央部按20mm间隔形成了宽度0.5mm、长度2mm的支柱。

在第2冷却面板的上侧散热板24上，如图8所示，形成了与贮液槽4连通的开口(分歧孔)25、制冷剂从流路21向循环泵3流出的制冷剂流出口26、制冷剂从循环泵3向流路流入的制冷剂流入口27、作为制冷剂从流路21流出的流出口的开口A和作为制冷剂流入流路21的流入口的开口D。开口A与金属管14连接，开口D与金属管15连接。另外，也可以在第2冷却面板2上形成微通道构造。

其次，对于第1实施方式中的制冷剂的流动详细进行说明。

从设置在第2冷却面板2的上面上的循环泵3排出的制冷剂，通过制冷剂流入口27，经在第2冷却面板2内形成的流路21，通过开口A、金属管14和开口B而流入第1冷却面板1。流入到第1冷却面板1的制冷剂经在第1冷却面板1内形成的流路11而流入微通道构造12。

流入到微通道构造12的制冷剂吸收由发热部件7产生了的热，经在设置了气冷散热片13的区域上形成的蛇行流路111，通过开口C、金属管15和开口D而流入第2冷却面板2。流入到第2冷却面板2的制冷剂经在第2冷却面板2内形成的流路21，经与贮液槽4连通的开口25之下而到达制冷剂流出口26，再次流入循环泵3。

这样由循环泵3使制冷剂循环，从而通过热传导，使得发热部件7产生了的热向整个第1冷却面板1和第2冷却面板2进行热扩散，增强了散热效果。

其次，对于在第2冷却面板2的上面侧的第2冷却面板的上侧散热板24上装配的循环泵3的第1构成例，根据图11和图12详细进行说明。

图11是表示图1所示的循环泵的第1构成例的图，(a)是展开透视图，(b)是侧剖视图。图12是表示图11所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

循环泵3的第1构成例，参照图11，由泵机箱311、橡胶树脂制的O环312、压电振动片313、按压压电振动片313的顶板314构成。在泵机箱311上，与在第2冷却面板的上侧散热板24上形成的制冷剂流出口26和制冷剂流入口27分别相对而形成了吸入端口315和排出端口316，并且形成了作为泵室319的空间。在吸入端口315上设置了防止从泵室319向流路21逆流的流入检查阀317，在排出端口316上设置了防止从流路21向泵室319逆流的流出检查阀318。流入检查阀317和流出检查阀318由金属的薄板针簧片阀构成，通过点焊或螺钉紧固而连接于泵机箱311的底面。

压电振动片313是作为循环泵3的驱动源的压电挠曲振动片，由压电元件与弹性板粘接而构成，并且实施了液密浇铸，使得压电元件不直接接触制冷剂液。作为压电元件，可以采用压电陶瓷或压电单晶等。作为弹性板，可以采用磷青铜等铜合金、不锈钢合金等金属薄板、碳化纤维薄板、PET板这样的树脂薄板等。压电振动片313的详细构造除了单压电晶片、双压电晶片等，还可以是层积了压电元件的层积型构造。

图11所示的循环泵3的安装方法，参照图12(a)，首先，在第2冷却面板的上侧散热板24上采用金属的扩散接合、硬焊接合、激光熔接等连接技术一体化地固定泵机箱311。此时在泵机箱311上加工·接合了吸入端口315、排出端口316、作为泵室319的空间、流入检查阀317和流出检查阀318。

其次，如图12(b)所示，嵌入O环312，在其上部装上压电振动片313，形成泵室319。其次，用顶板314牢固地使O环312压缩贴紧，确保液密，并且使压电振动片313成为周边固定状态。此时，顶板314，也可以从上方用螺钉紧固，也可以在顶板314的周围构成螺钉来紧固。

如以上说明了的，在循环泵3的第1构成例中，采用金属的接合技术使循环泵3和第2冷却面板2完全一体联结，防止了压力损失以及漏液等。还有，循环泵3和第2冷却面板2一体形成，因而可以薄型化，并且是廉价的。再有，采用本构造的循环泵3能实现冷却装置的薄型化，其高度在配置了循环泵3的最大部分可以为7mm及以下。

其次，对于在第2冷却面板2的上面侧的第2冷却面板的上侧散热板24上装配的循环泵3的第2构成例，根据图13至图15详细进行说明。

图13是表示图1所示的循环泵的第2构成例的图，(a)是展开透视图，(b)是侧剖视图。图14和图15是表示图13所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

循环泵3的第2构成例，参照图13，由泵机箱321、带止回阀圆板322、橡胶树脂制的O环312、压电振动片313、按压压电振动片313的顶板314构成。在带止回阀圆板322上，与在第2冷却面板的上侧散热板24上形成的制冷剂流出口26和制冷剂流入口27分别相对而形成了吸入端口315和排出端口316。在吸入端口315上设置了防止从泵室319向流路21逆流的流入检查阀317，在排出端口316上设置了防止从流路21向泵室319逆流的流出检查阀318。流入检查阀317和流出检查阀318由金属的薄板针簧片阀构成，通过点焊或螺钉紧固而连接于带止回阀圆板322。

图13所示的循环泵3的安装方法，参照图14(a)～(c)，首先，在第2冷却面板的上侧散热板24上采用金属的扩散接合、硬焊接合、激光熔接等连接技术使泵机箱321一体化。此时对于泵机箱部603，可以先加工作为泵室319的部分等，也可以后加工。

其次，如图14(d)所示，把加工·接合了吸入端口315、排出端口316、流入检查阀317和流出检查阀318的带止回阀圆板322嵌入泵机箱321的内部。

其次，如图15(a)所示，嵌入O环312，在其上部，如图15(b)所示，装上压电振动片313，形成泵室319。其次，用顶板314牢固地使O环312压缩贴紧，确保液密，并且使压电振动片313成为周边固定状态。此时，顶板314，也可以从上方用螺钉紧固，也可以在顶板314的周围构成螺钉来紧固。

如以上说明了的，在循环泵3的第2构成例中，在带止回阀圆板322上预先加工·接合了吸入端口315、排出端口316、流入检查阀317和流出检查阀318，可更换地构成带止回阀圆板322。这样，在长期利用时，在吸入端口315和排出端口316的眼堵塞、流入检查阀317和流出检查阀318的塑性变形等引起泵性能下降了的场合，只需更换带止回阀圆板322就能恢复泵性能，能容易地进行维护。

其次，对于在第2冷却面板2的上面侧的第2冷却面板的上侧散热板24上装配的循环泵3的第3构成例，根据图16和图17详细进行说明。图16是表示图1所示的循环泵的第3构成例的图，(a)是展开透视图，(b)是侧剖视图。图17是表示图16所示的循环泵的安装方法的侧剖视图。

循环泵3的第3构成例，参照图16，由泵机箱331、带止回阀圆板322、橡胶树脂制的O环312、压电振动片313、按压压电振动片313的顶板314构成。在泵机箱331的底面部上，与在第2冷却面板的上侧散热板24上形成的制冷剂流出口26和制冷剂流入口27分别相对而形成了泵底面流入口333和泵底面流出口334。

泵底面流入口333和泵底面流出口334分别与带止回阀圆板322的吸入端口315和排出端口316相连。在吸入端口315上设置了防止从泵室319向流路21逆流的流入检查阀317，在排出端口316上设置了防止从流路21向泵室319逆流的流出检查阀318。流入检查阀317和流出检查阀318由金属的薄板针簧片阀构成，通过点焊或螺钉紧固而连接于带止回阀圆板322。

图16所示的循环泵3的安装方法，参照图17(a)～(b)，首先，采用金属的扩散接合、硬焊接合、激光熔接等连接技术使第2冷却面板的上侧散热板24和第2冷却面板的下侧散热板23一体化。

其次，把加工·接合了吸入端口315、排出端口316、流入检查阀317和流出检查阀318的带止回阀圆板322嵌入泵机箱331的内部。再嵌入O环312，在其上部装上压电振动片313，再从其上部用顶板314牢固地使O环312压缩贴紧，确保液密，并且使压电振动片313成为周边固定状态，预组装循环泵3。此时，顶板314，也可以从上方用螺钉紧固，也可以在顶板314的周围构成螺钉来紧固。

其次，如图17(c)所示，在泵底面侧为分离泵底面流入口333和泵底面流出口334而设置了的2个O环沟槽335中分别嵌入O环332，用螺钉紧固预先构成了的循环泵3和第2冷却面板2来对其进行安装。

如以上说明了的，在循环泵3的第3构成例中，作为循环泵3的性能变差等的应对，能容易地进行循环泵3的更换等维护，还有，成本方面也是廉价的，这是其优点。另外，循环泵3和第2冷却面板2的接合不是上述循环泵3的第1和第2构成例那样的金属接合，但也是以能保持充分液密的程度来连接的。

其次，对于在第2冷却面板2的上面侧的第2冷却面板的上侧散热板24上装配的贮液槽4的构成，根据图18至图20详细进行说明。

图18是表示图1所示的贮液槽的构成的透视图，图19是图18所示的Z-Z′剖视图，图20是用于说明图18所示的贮液槽的空气积存功能的说明图。

贮液槽4，如图6所示，是中空的圆盘状的平置型贮液槽，在循环泵3的跟前侧(流入制冷剂循环泵3的跟前侧)的流路21上，固定在上侧散热板24上。参照图18和图19，使得设置在贮液槽4的底面上的分歧孔43和在第2冷却面板的上侧散热板24上形成了的开口25一致而被配置。经贮液槽4的分歧孔43构成为，与流路21相比，横截面面积小，提高了音响阻抗，由此使流入贮液槽4的制冷剂的流量成为极小的，不阻碍流路21中的制冷剂的流动。

贮液槽4在流路21的上方侧设置分歧孔43而被连接，因而由于温度变化等原因而混出到流路21内的气泡就会经在第2冷却面板的上侧散热板24上形成了的开口25而在上方的贮液槽4内被捕获。被捕获了的空气45经分歧孔43而进入贮液槽4。这时停留在分歧孔43出口附近的话，随后被捕获了的空气45就不能进入贮液槽4内。因此，在分歧孔43的出口上方的贮液槽4的上盖部形成了突起42，使得空气不会停在分歧孔43的出口附近，由于突起42，从分歧孔43的出口出来的空气45就被分散到周围。另外，突起42，如图18和图19所示，只要是圆锥形状就能有效地防止空气的停留。把突起42做成朝下凸，凸部的面积比分歧孔的面积小的形状，就可以防止空气45停留。

被贮液槽4捕获了的空气45具有缓和与温度变化伴随的液体的膨胀收缩所引起的流路21内的压力变动的作用，对冷却装置的耐久性做出贡献。另一方面，被捕获了的空气45混入液路21内，空气45流入循环泵内的话，循环泵3的排出压力就会下降，循环泵3的性能即制冷剂的流量就可能显著地下降。对此，在贮液槽4的底面上，如图18和图19所示，形成了把分歧孔43的出口作为顶点的台形圆锥状的锥形部41。由于锥形部41，在把冷却装置上下倒过来的场合，也可以使在贮液槽4内捕获了的空气45尽可能持续滞留。另外，为了使得在贮液槽4内被捕获了的空气不返回液路，需要把分歧孔43的出口常浸在制冷剂44中。在第1实施方式中构成为，如图19所示，对于分歧孔43的出口所在的A-A′境界面，A-A′境界面的下侧的贮液槽4的容积比A-A′境界面的上侧的贮液槽4的容积大，在贮液槽4内，如图19(b)所示，要使得制冷剂44液面到达比A-A′境界面靠上方的地方而乘满制冷剂44。

第1实施方式的冷却装置的通常的利用状态是，贮液槽4为图20(a)所示的状态，空气45与制冷剂44相比，比重轻，因而滞留在上方。另外，此时在贮液槽4中常使得分歧孔43的出口(锥形部41的锥形顶点部)处在液中而乘满制冷剂44。还有，贮液槽4的容积是考虑到制冷剂44的热膨胀量及冷却装置机箱的热膨胀、耐压等，按能充分承受的容积来设计的。

其次，在使冷却装置斜倾了的场合，贮液槽4成为图20(b)所示的状态，贮液槽4内的空气45偏向某方向而滞留。这时也是，分歧孔43的出口不会从液中出来，贮液槽4内的空气45不会进入分歧孔43。

其次，在进一步使冷却装置斜倾，上下倒过来的场合，贮液槽4成为图20(c)所示的状态。在该状态下也是，在贮液槽4的底面上形成了锥形部41，图20所示的A-A′境界面下侧的贮液槽4的容积比上侧的大，制冷剂44乘满至A-A′境界面的上方。因此，分歧孔43的出口成为常浸在制冷剂44中的状态，空气45在贮液槽4内滞留而不会进入分歧孔43。

其次，在进一步使冷却装置斜倾的场合，贮液槽4从图20(c)所示的状态变为图20(d)所示的状态，贮液槽4内的空气45跑到锥形部41的锥形面上，到了分歧孔43的出口附近的话，就滞留在相反侧的一方。此时因为分歧孔43的横截面面积非常小，所以空气45就会跳过分歧孔43而滞留在相反侧，这是其机理。

为了验证第1实施方式的贮液槽4的有效性，实际制造了在流路21的一部分上设置了φ2mm的分歧孔43和直径50mm、高度7mm的贮液槽4(锥形部41的高低差4mm)的冷却装置。对该冷却装置连接市售的高压泵，假定压力振幅从0至1MPa，频率10Hz，电子设备有急剧的温度变化，进行了压力耐久试验。

结果，在不设置贮液槽4的场合，确认了在200kPa(2气压)下瞬间由于下部壁和液路板的剥离而导致的漏液，而在设置了贮液槽4的场合，在1MPa(10气压)下，直到150000循环都未确认到漏液，可以确认第1实施方式的贮液槽4对于压力变动的耐久性的提高。

如以上说明了的，第1实施方式的贮液槽4具有对在2维平面内延伸的流路21，对其一部分或整体，能2维平面性地配置的特征，可薄型化。另外，这样的贮液槽4不限于单个，设置多个就能发挥大的效果。还有，如果可着脱地构成贮液槽4的话，万一冷却装置内的制冷剂的量减少的情况出现时，就能补充制冷剂，非常有效。

其次，参照图21至图25详细说明第1实施方式的冷却装置向电子设备的组装例。

图21是表示向电子设备的第1组装例的图，(a)是透视图，(b)是(a)所示的Z-Z′剖视图。图22是表示本发明所涉及的电子设备的冷却装置的实施方式的向电子设备的第2组装例的图，(a)是透视图，(b)是(a)所示的Z-Z′剖视图。图23是表示本发明所涉及的电子设备的冷却装置的实施方式的向电子设备的第3组装例的图，(a)是透视图，(b)是(a)所示的Z-Z′剖视图。图24是表示图1所示的第2冷却面板的下面的风量的变化所引起的冷却效果的实验例的图。图25是表示图1所示的第2冷却面板的下面的风量的变化和冷却效果的关系的坐标图。

第1组装例，参照图21，是在一般厚度3～4cm程度的笔记本电脑的机箱80之中，搭载了DVD-RAM81、FD-RAM82、HDD83、电池84、存储卡85等比较大的厚度不同的主要电子部件和安装了CPU等发热部件7的主板86。在主板86的下侧搭载了第2冷却面板2。另外，在第1组装例中，是在第2冷却面板2上形成了微通道构造12，在主板86的上面上安装了的发热部件7和形成了微通道构造12的区域的第2冷却面板2的上面接触的构成。

第2组装例与第1组装例相比，是冷却效果高的组装例。参照图22，在安装了CPU等发热部件7的主板86的上侧搭载了第1冷却面板1，并且在主板86的下侧搭载了第2冷却面板2。是在主板86的上面上安装了的发热部件7和形成了微通道构造12的区域的第1冷却面板1的下面接触的构成。在第2组装例中，如上述说明了的，第1冷却面板1是可开闭的，因而打开第1冷却面板1，在主板86的上面上安装了的发热部件7的更换等维护就能容易地进行。

第3组装例与第2组装例相比，是冷却效果高的组装例。参照图23，在安装了CPU等发热部件7的主板86的上侧搭载了第1冷却面板1，并且在主板86的下侧搭载了第2冷却面板2。是在主板86的上面上安装了的发热部件7和形成了微通道构造12的区域的第1冷却面板1的下面接触的构成，在第1冷却面板1上形成了气冷散热片13。还设置了在第1冷却面板1上形成了的气冷散热片13中形成空气的流动的风扇5和在第2冷却面板2的下面上形成空气的流动的风扇51。

在第3组装例中，为了验证向第2冷却面板2的下面供给的风量和冷却效果的关系，如图24所示，配置了在第2冷却面板2的下面形成空气的流动的风扇51～55，使风扇51～55的数变化而测量了热阻。另外，在第1冷却面板1上形成了的气冷散热片13中形成空气的流动的风扇5在常驱动的状态下进行了测量。结果，如图25所示，验证了驱动的风扇51～55的数越多，热阻就越小，越能提高冷却效果。

还有，对于在第2冷却面板2的下面上形成了气冷散热片的例子，也同样使风扇51～55的数变化而测量了热阻。结果，如图25所示，在第2冷却面板2的下部形成了气冷散热片的场合和没有气冷散热片的场合，冷却效果几乎没有差异。

如以上说明了的，在第1实施方式中，是把用上侧散热板24覆盖在下侧散热板23上形成了的沟槽231而形成了流路21的第2冷却面板2搭载在电子设备的底部而构成的。这样就能充分确保散热面积，从而提高冷却效率，并且能使冷却装置薄型化。尽管使冷却装置薄型化，仍然能极力防止制冷剂泄漏。

再有，根据第1实施方式，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板2的流路21中形成对下侧散热板23和上侧散热板24的接合进行加强的支柱。这样，就能扩大第2冷却面板2的流路21的宽度，并且能减薄下侧散热板23和上侧散热板24的板厚，因而能充分确保散热面积，从而提高冷却效率，并且能使冷却装置薄型化。

再有，根据第1实施方式，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板2的上面上固定设置循环泵3，从而能极力防止制冷剂泄漏。

再有，根据第1实施方式，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板2的流路21的上方侧设置进行分歧的分歧孔，在该分歧孔上部设置贮液槽4，从而能在贮液槽4中捕获由于电子设备内部的温度变化或液路内的压力变化而产生了的气泡。因此，能防止气泡的混入所引起的从循环泵3的流出量降低。

再有，根据第1实施方式，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板2的流路21的上方侧设置进行分歧的分歧孔，在该分歧孔上部设置贮液槽4，从而能通过贮液槽4内的空气45来缓和与电子设备内的温度变化伴随的流路内的压力变动，能防止流路内的压力变动引起的局部产生的应力所引起的破损。

再有，根据第1实施方式，构成制冷剂循环的流路21的第2冷却面板的下侧散热板23和上侧散热板24由热传导性好的金属材料来构成，通过金属接合来连接第2冷却面板的上侧散热板24和循环泵3而构成。这样，循环泵3就与流路11成为一体，并且流路11全部由金属材料覆盖，因而具有消除制冷剂的蒸发、漏液的效果。另外，在循环泵3通过O环332连接于第2冷却面板的上侧散热板24的构造(第3构成例)中，循环泵3是独立体，因而或多或少残留有从O环332的连接处的制冷剂的蒸发、漏液的可能性。不过，在该场合能容易地进行维护。

如上所述，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，在电子设备的底部搭载由第2冷却面板的上侧散热板来覆盖在第2冷却面板的下侧散热板上形成了的沟槽而形成了流路的第2冷却面板。根据该构成，能充分确保散热面积，从而提高冷却效率，并且能使冷却装置薄型化，尽管使冷却装置薄型化，仍然能极力防止制冷剂泄漏。

再有，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板的流路中形成对下侧散热板和上侧散热板的接合进行加强的支柱。根据该构成，能扩大第2冷却面板的流路的宽度，并且能减薄下侧散热板和上侧散热板的板厚。因而能充分确保散热面积，从而提高冷却效率，并且能使冷却装置薄型化。

再有，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板的上面上固定设置循环泵，从而能极力防止制冷剂泄漏。

再有，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板的流路的上方侧设置进行分歧的分歧孔，在该分歧孔上部设置贮液槽。这样就能在贮液槽中捕获由于电子设备内部的温度变化或液路内的压力变化而产生了的气泡，因而能防止气泡的混入所引起的从循环泵的流出量降低。

再有，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，在电子设备的底部搭载了的第2冷却面板的流路的上方侧设置进行分歧的分歧孔，在该分歧孔上部设置贮液槽。这样就能通过贮液槽内的空气来缓和与电子设备内的温度变化伴随的流路内的压力变动，能防止流路内的压力变动引起的局部产生的应力所引起的破损。

再有，在本发明的电子设备的冷却装置的第1实施方式中，构成制冷剂循环的流路的第2冷却面板的下侧散热板和上侧散热板由热传导性好的金属材料构成，通过金属接合来连接第2冷却面板的上侧散热板和循环泵而构成。这样，循环泵就与流路成为一体，并且流路全部由金属材料覆盖，因而具有消除制冷剂的蒸发、漏液的效果。另外，在循环泵通过O环连接于第2冷却面板的上侧散热板的构造中，循环泵是独立体，因而具有能容易地进行维护的效果，不过，存在从O环的连接处的制冷剂的蒸发、漏液的可能性，这是存在的问题。

其次，对于本发明的电子设备的冷却装置的第2实施方式进行说明。首先参照图26，对于纵置型贮液槽411的简单构成进行说明。在同图的冷却装置中，冷却面板(基体)20具有一体构造，在内部形成了构成流路(21)的沟槽231。还有，在2维平面内展开的流路21的途中，形成了平置型贮液槽4和纵置型贮液槽411，本冷却装置，例如，可以在以图26的上侧为垂直方向的上方，以图26的下侧为垂直方向的下方而立起的状态下使用。纵置型贮液槽411具有针对与制冷剂的温度变动伴随的膨胀收缩，实现流路内的压力变动的缓和、捕获流路11中的气泡的作用。

另一方面，对于在从正上方看到图26的形状的状态下使用的场合，即本冷却装置在桌上平置而被使用的场合，平置型贮液槽4具有与该纵置型贮液槽411相同的作用。根据以上情况，由于具有两个贮液槽4、411，例如不论笔记本电脑等电子设备本体在桌上被利用的场合，还是挂在壁上被利用的场合，都具有对与流路21内的制冷剂的温度变动伴随的制冷剂的膨胀收缩所引起的压力变动进行缓和的作用，并且能通过捕获流路21中的气泡而对本冷却装置的耐久性提高做出贡献。

其次，参照图27，对于纵置型贮液槽411的构成具体地进行说明。图27(a)～(c)是扩大了图1所示的纵置型贮液槽411的装置，表示例如笔记本电脑等电子设备本体在纵置的状态下被利用的场合。换句话说，是作为利用者从正面看时的图来表示的。

借助于循环泵3而在流路11内循环的制冷剂415中包含的由于温度变动等而产生了的气泡413来到纵置用贮液槽411近旁的话，由于气泡413自身与液体相比，比重轻，因而就会沿着锥形412部的壁面被引导到纵置用贮液槽411中。接着，在贮液槽的上方滞留之后，最终被空气层414捕获，这是其机理。

还有，作为使得被引导到纵置型贮液槽411内的气泡413不会再次回到流路11中的构成，把纵置型贮液槽411的入口部分做成台形状的带有锥形412的构造，把纵置型贮液槽411的内部在横方向扩展或是纵长扩展，使其至少与平置型贮液槽4的内容积相等，或比它大。

根据以上构成，如上所述，气泡413自身与液体相比，比重轻，利用这一点，气泡413就不会从纵置型贮液槽411回到流路11的液中。该事实根据发明者们的实验得以确认。再有，根据实施例，把纵置型贮液槽411做成与平置型贮液槽4相等的容积或比它大的容积、使纵置时的贮液槽内的空气层414的量最佳化，从而缓和了与制冷剂的温度变动伴随的膨胀收缩所引起的流路内的压力变动，这一点已经得到确认。

其次，对于纵置型贮液槽411的形状进行说明。图27(a)～(c)所示的贮液槽411都具有气泡413的捕获功能和压力缓和功能。不过，在CPU等发热部件、循环泵3、平置型罐4等的搭载位置改变了的场合，在流路11的最佳设计中就会受到各种制约。根据实施例，按照电子设备机内的例如主板上的CPU等发热部件、HDD及DVD等大型的电子部件布置来选择图27(a)～(c)所示的纵置型贮液槽411的形状，就能提高本冷却装置的冷却性能、实现薄型化等。

图27(a)所示的纵置型贮液槽411是横宽型的，呈横方向长，纵方向短的形状，能使例如流路11和上下邻接的流路11的间隔最短，并且能确保作为贮液槽的功能。还有，图27(b)所示的纵置型贮液槽411是纵长型的，与(a)不同，能使左右邻接的流路11的间隔最短，使用上下的流路11之间的空间，尽量确保大的容积，从而更能缓和压力变动。

在图27(c)所示的纵置型贮液槽411中，纵置型贮液槽411的一部分与流路11相连。这样，在流路11内流动的制冷剂的流量增加了的场合，与图27(a)和(b)的贮液槽相比，能确实捕获更多的气泡413。在该场合，贮液槽不装满液体，常确保一定量的空气层414，就能确实捕获气泡413。

在第2实施方式的纵置型贮液槽的任一构造中都能有效地进行在流路中产生的气泡413的捕获。因此，具有这样的空气积存功能的纵置型贮液槽411对于本冷却装置的液循环路可以展开构成为2维平面状，可以与流路一起埋设在由热传导性良好的铝、铜等金属材料构成的第1冷却面板的上侧散热板和下侧散热板的内部，因而可以使整个冷却部用板的厚度成为2mm及以下的厚度。另外，这样的纵置型贮液槽411和平置型贮液槽4不限于单个，设置多个相同类型或不同类型的，就能发挥巨大的效果，这是明显的。

图28(a)表示本发明的第3实施方式中的第2冷却面板。在该实施方式中，冷却装置具有唯一的冷却面板2，压电泵3被冷却面板2的上侧散热板支撑。在冷却面板2上，形成了在中央形成了支柱22的流路21，流路21是蛇行的。在流路21的途中，在冷却面板2内形成了纵置型贮液槽411，还有，大致椭圆形状的平置型贮液槽4配置在上侧散热板上。

图28(b)是本实施方式例的冷却装置的侧视图。冷却面板2是由下侧散热板23和上侧散热板24接合起来形成的。在冷却面板的上侧散热板24上固定了压电泵3和平置型贮液槽4，还有，在下侧散热板23上装配了气冷散热片13。虽然未图示，不过可以在流路21中形成微通道构造，在该场合，引导板配置在流路和微通道构造之间。

图28(c)表示冷却面板的流路的构造，在该实施方式中，使下侧散热板23成形而形成流路用的沟槽。在流路21的中央部，代替支柱而形成加强构造22A。

另外，本发明不受上述各实施方式的限定，在本发明的技术思想的范围内，各实施方式可以适当变更，这是明显的。例如，上述构成部件的数、位置、形状等不受上述实施方式的限定，可以是对于实施本发明适宜的数、位置、形状等。

Claims (10)

1.一种电子设备的冷却装置，其特征在于，具有：

具有至少在一方上形成了沟槽(231)的下侧散热板(23)和上侧散热板(24)，接合该下侧散热板(23)和上侧散热板(24)而形成制冷剂的流路(21)的冷却面板(2)；

固定在上述冷却面板(2)上，使上述制冷剂经上述流路(21)而循环，使传递到上述冷却面板(2)的热进行扩散的压电泵(3)；

固定在上述冷却面板(2)的上侧散热板(24)上，与在上述流路(21)中形成了的分歧孔(43、412)连通的贮液槽(4、411)；

形成在上述贮液槽(4)的底面上，把上述分歧孔(43)的出口作为顶点的圆锥台或棱锥台形状的锥形部(41)；以及

形成在上述贮液槽(4)的顶部的与上述分歧孔(43)对着的位置，面积比上述分歧孔(439)的横截面面积小的突起(42)，

上述压电泵(3)具有划分出收纳压电振动片(313)的泵室(319)的泵机箱(321)，该泵机箱(321)固定在上述冷却面板(2)上，使得形成在该泵机箱上的排出端口(316)和吸入端口(315)分别与形成在上述冷却面板上的流入口(27)和流出口(26)位置相合，

上述压电振动片(313)是包括具有弹性的圆板和夹着该具有弹性的圆板而配设的在相反方向被极化了的一对压电陶瓷圆板的双压电晶片构造，上述一对压电陶瓷圆板各自是由多个陶瓷层构成的层积构造，在该层积构造中互相邻接的2个陶瓷层在相反方向被极化。

2.一种电子设备的冷却装置，其特征在于，具有：

具有至少在一方上形成了沟槽(231)的下侧散热板(23)和上侧散热板(24)，接合该下侧散热板(23)和上侧散热板(24)而形成制冷剂的流路(21)的冷却面板(2)；

固定在上述冷却面板(2)上，使上述制冷剂经上述流路(21)而循环，使传递到上述冷却面板(2)的热进行扩散的压电泵(3)；

固定在上述冷却面板(2)的上侧散热板(24)上，与在上述流路(21)中形成了的分歧孔(43、412)连通的贮液槽(4、411)；

形成在上述贮液槽(4)的底面上，把上述分歧孔(43)的出口作为顶点的圆锥台或棱锥台形状的锥形部(41)；以及

形成在上述贮液槽(4)的顶部的与上述分歧孔(43)对着的位置，面积比上述分歧孔(439)的横截面面积小的突起(42)，

上述压电泵(3)具有划分出收纳压电振动片(313)的泵室(319)的泵机箱(321)，该泵机箱(321)固定在上述冷却面板(2)上，使得形成在该泵机箱上的排出端口(316)和吸入端口(315)分别与形成在上述冷却面板上的流入口(27)和流出口(26)位置相合，

上述压电振动片(313)包括未被极化的第1压电陶瓷、夹着该第1压电陶瓷而配设的在相反方向被极化了的一对第2压电陶瓷和分别配设在该第2压电陶瓷的外侧的未被极化的一对第3压电陶瓷，上述第2压电陶瓷各自是由多个陶瓷层构成的层积构造，在该层积构造中互相邻接的2个陶瓷层在相反方向被极化，上述第1～第3压电陶瓷被烧结成一体构造。

3.根据权利要求1或2所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，与上述排出端口(316)和上述吸入端口各自关联而配设了止回阀(317)，该止回阀(317)固定在对上述泵机箱(321)可装卸的部件(322)上。

4.根据权利要求1或2所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，在上述沟槽(231)中形成了对上述下侧散热板(23)和上述上侧散热板(24)的接合进行加强的加强件(22、22A)。

5.根据权利要求1或2所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，从上述锥形部(41)的顶点到下侧的上述贮液槽(4)的容积比从上述锥形部(41)的顶点到上侧的上述贮液槽(4)的容积大，在上述贮液槽(4)中盛满了上述制冷剂，使得上述制冷剂的液面位于比上述锥形部(41)的顶点高的位置。

6.根据权利要求1或2所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，上述流路(21)的一部分被包括宽度比上述沟槽(231)的宽度窄的多个窄沟槽，宽度比上述沟槽的宽度宽的微通道构造(12)所置换。

7.根据权利要求6所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，在上述流路(21)和上述微通道构造(12)之间，形成了使制冷剂的流动从上述流路的宽度向上述微通道构造的宽度扩大的引导板(161、162、163)。

8.根据权利要求7所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，上述引导板包括多个引导板，1个引导板(161)比位于制冷剂的流动的下游侧的其它引导板(162、163)长，并且对制冷剂的流动方向的角度大。

9.根据权利要求1或2所述的电子设备的冷却装置，其特征在于，覆盖上述流路(21)的散热板由金属形成。

10.一种电子设备，其特征在于，搭载了权利要求1或2所述电子设备的冷却装置。

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