CN100511998C - 基于耦合baw谐振器的双工器 - Google Patents
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Abstract
一种双工器包括用于对发送信号和接收信号进行滤波的发送谐振器器件和接收谐振器器件。谐振器器件具有：第一BAW谐振器，用于根据输入电信号生成声波信号；第一声学延迟，用于延迟声波信号；以及中间BAW谐振器，用于在一端接收延迟声波信号以及将延迟声波信号转换成电信号。通过电耦合，电信号也在中间BAW谐振器的另一端出现，用于在其它端生成更多声波信号。谐振器还包括：第二延迟，用于延迟更多声波信号；以及第二BAW谐振器，用于根据延迟的更多声波信号产生输出电信号。双工器可以使用于移动电话中的收发器中。
Description
技术领域
本发明一般地涉及体声波谐振器和滤波器，更特别地涉及在滤波器和双工器中使用的体声波平衡-不平衡转换器(balun)。
背景技术
已知的是体声波(BAW)器件一般包括在用作为电极的两个导电层之间夹入的压电层。当射频(RF)信号施加于器件上时，它在压电层中产生机械波。当机械波的波长约两倍于压电层的厚度时出现基本谐振。尽管BAW器件的谐振频率也依赖于其它因素，但是压电层的厚度是确定谐振频率的主导因素。随着压电层厚度减少，谐振频率增加。BAW器件传统上一直是在石英晶体片上制造的。一般来说，使用这种制造方法难以实现高谐振频率的器件。当通过在无源衬底材料上沉积薄膜层来制造BAW器件时，可以将谐振频率扩展到0.5-10GHz范围。这些类型的BAW器件通常称作薄膜体声学谐振器或者FBAR。主要有两类FBAR，即BAW谐振器和堆叠晶体滤波器(SCF)。SCF通常具有两个或更多压电层和三个或更多电极，其中一些电极接地。这两类器件之间的差异主要在于它们的结构。FBAR通常组合地用来产生通带或阻带滤波器。一个串联FBAR和一个并联或并接FBAR的组合构成了所谓梯式滤波器的一部分。对于梯式滤波器的描述例如可以在Ella中找到(美国专利第6,081,171号，下文称为Ella’171)。正如Ella’171中揭示的，基于FBAR的器件可以具有通常称作钝化层的一个或更多保护层。典型的基于FBAR的器件在图1a至1d中示出。如图1a至1d中所示，FBAR器件包括衬底501、底电极507、压电层509和顶电极511。电极和压电层形成声学谐振器。FBAR器件还可以包括膜片层505。如图1a中所示，在衬底501上制成蚀刻孔503以提供空气界面，将谐振器从衬底501隔开。可选地，在衬底501上提供蚀刻坑502，如图1b中所示。也有可能提供将谐振器和衬底隔开的牺牲层506，如图1c中所示。也有可能在底电极507与衬底501之间形成声学镜521用于将声波反射回到谐振器，如图1d中所示。衬底可以由硅(Si)、二氧化硅(SiO2)、砷化镓(GaAs)、玻璃或者陶瓷材料制成。底电极和顶电极可以由金(Au)、钼(Mo)、钨(W)、铜(Cu)、镍(Ni)、钛(Ti)、铌(Nb)、银(Ag)、铊(Ta)、钴(Co)、铝(Al)或者比如钨和铝的这些金属的组合制成。压电层509可以由氧化锌(ZnO)、硫化锌(ZnS)、氮化铝(AIN)、钽酸锂(LiTaO3)、或者所谓锆钛酸铅镧族的其它成员制成。此外，通常由比如SiO2、Si3N4或者聚酰亚胺的电介质材料制成的钝化层用来作为电绝缘体和保护电介质层。应当注意，如图1c中所示的桥接型BAW器件中的牺牲层506一般来说在最终的制造阶段中被蚀刻掉以在器件之下产生空气界面。在如图1d中所示的镜型BAW器件中，声学镜521包括一般厚度为四分之一波长的数层成对的高和低声学阻抗材料。桥接型和镜型BAW器件在本领域中是已知的。
在本领域中还已知FBAR可以用来在具有不平衡的输入和输出端口的梯式滤波器配置中或者在具有平衡端口的格子滤波器配置中形成阻抗元件滤波器。在一些应用中，在滤波器之内将不平衡的输入转换成平衡的输出(或者相反)将是有利的。已经使用声学耦合的表面声波(SAW)谐振器生成出这样的滤波器。基本上这些结构基于谐振器对，如图2所示。如图所示，第一谐振器620生成声波，而第二谐振器630充当接收器。由于谐振器未电连接，所以它们中的一个可以作为不平衡的器件来连接，而另一个可以用作为平衡的或者不平衡的器件。如图2中所示，第一谐振器620为信号输入提供不平衡的端口622，而第二谐振器630为平衡的信号输出提供两个端口632、634。如图所示，标号610和640标示了用于表面声波器件的反射器或者声学镜。这一相同原理可以用在具有如下结构的BAW器件中，该结构具有两个压电层，一个在另一个顶部上。使用这样的结构，有可能执行这一不平衡到平衡的转换。此结构然后可以用作为滤波器或者甚至是双工器的一部分。实现这种结构的一个可能方式在下文中有所描述：“HighPerformance Stacked Crystal Filters for GPS and Wide BandwidthApplications”，K.M.Lakin，J.Belsick，J.F.McDonald，K.T.Mc Carron，IEEE 2001 Ultrasonics Symposium Paper3E-6，2001年10月9日(下文称作Lakin)。图3是在Lakin中揭示的耦合谐振器滤波器(CRF)。如图3中所示，CRF由底电极507、底压电层508、横跨电极511、多个耦合层512、地电极513、顶压电层509以及两个分离的顶电极531和532形成。这样，CRF具有谐振器的第一垂直对541和谐振器的第二垂直对542。每个垂直对充当单极滤波器。两个垂直对在串联时充当两极滤波器。在由声学镜521隔开的衬底501上制成CRF。
Ella等人(美国专利第6,670,886B2号，下文称作Ella’866)揭示了一种具有两个谐振器以及其间的电介质层的BAW器件。如图4中所示，BAW器件20形成于衬底30上，而且包括第一电极40、第一压电层42、连接到器件接地12的第二电极44、第三电极60、在第二电极44与第三电极60之间的电介质层50、第二压电层62和第四电极64。第一电极40、第一压电层42和第二电极44具有用于形成第一谐振器92的交迭区域。第三电极60、第二压电层62和第四电极64具有用于形成第二谐振器94的交迭区域。体声波器件20具有谐振频率和以该谐振频率为特征的声学波长λ。第一压电层42和第二压电层62的厚度基本上等于λ/2。另外，器件20具有在第一电极40与衬底30之间形成的声学镜34，用以将声波反射回到第一谐振器92。如图4中所示，暴露了第一电极40的一部分用于作为对平衡-不平衡转换器10的信号输入端14的连接点(见图5)。类似地，暴露了第二电极44的一部分用于作为对器件接地12的连接点。第一谐振器92和第二谐振器94具有对体声波器件20的有源区域进行限定的交迭区域70。器件20具有第一信号输出端16和第二信号输出端18。
Ella’886也揭示了一种用于在具有较低带宽要求的应用中使用的平衡-不平衡转换器。如图5中所示，平衡-不平衡转换器10与图4的体声波器件20相似具有两个相同的层堆叠21、21’。然而，层堆叠21’的第一电极40’和第三电极60’以及层堆叠20的第二电极44和第三电极60连接到地12。此外，层堆叠21’的第二电极44’连接到层堆叠21的第一电极40而且用作为信号输入端14。层堆叠21的顶电极64用作为第一信号输出端16，而层堆叠21’的顶电极64’用作为第二信号输出端18。利用双重结构，就不需要补偿电容，因为其上压电层62、62’下的电极60、60’接地。这一电屏蔽效应造成了对于第一信号输出端16和第二信号输出端18的对称阻抗。电介质层50、50’的寄生电容并联于信号输入端14。这一寄生电容多少地降级了器件带宽但不损害它的对称性。跨接的输入电极40、44’在堆叠21和堆叠21’中的声波之间生成准确180°的相位。
Ella’886也揭示了平衡-不平衡转换器10可以用作为具有一个不平衡的端口和两个平衡的端口的滤波器的一部分。两个平衡-不平衡转换器10可以耦合到格子滤波器150以形成双工器201，如图6中所示。在图6中，移相器242用于滤波器匹配。类似地，两个平衡-不平衡转换器10可以耦合到一个格子滤波器150和一个梯式滤波器250以形成双工器203，如图7中所示。
也有可能通过使用两个单端梯式滤波器和移相器来形成简单的双工器，如图8中所示。如图中所示，单端梯式滤波器260用于Tx而另一单端梯式滤波器262用于Rx。然而，它通常要求比如线圈的一些电感部件与Tx滤波器中的一些并接谐振器串联连接以便偏移自然的槽口以与Rx频率重合。这些线圈不仅造成双工器中的附加损耗，而且产生其它较高谐振频率，进一步降级了单端滤波器的整体带外衰减。为了降低Rx路径中的带外衰减，有可能将完全平衡的Rx滤波器与单端Tx滤波器组合，如图9中所示。如图9中所示，完全平衡的Rx滤波器270连接到(串联)连接的平衡-不平衡转换器对。这一方式的问题在于，在天线端口处与平衡-不平衡转换器相关联的任何损耗也会造成Tx路径中的损耗。Tx路径也受到归因于电感的带外降级之困扰。
因此提供一种没有上述缺点的简单双工器是有利和合乎需要的。
发明内容
本发明在双工器的发送路径中使用耦合谐振器滤波器而在接收路径中使用另一耦合谐振器滤波器。发送路径中的耦合谐振器滤波器具有单端输入端口和单端输出端口，而接收路径中的耦合谐振器滤波器具有单到平衡的转换。
因此，本发明的第一方面提供了一种用于在通信设备中使用的双工器，该通信设备具有：
天线，用于传达通信信号；
发送路径，可操作地连接到天线，用于发送信号；以及
接收路径，可操作地连接到天线，用于接收信号。该双工器包括：
第一耦合谐振器器件，设置于发送路径中，用于对发送路径中的信号进行滤波；
第二耦合谐振器器件，设置于接收路径中，用于对接收路径中的信号进行滤波；以及
移相器，设置于接收路径中以及可操作地连接到第二耦合谐振器器件，其中第一耦合谐振器器件和第二耦合谐振器器件的每一个包括：
用于接收对应路径中的信号的输入端和用于提供对应路径中的滤波信号的输出端；
第一谐振器，可操作地连接到输入端以提供指示接收信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在第一端的延迟声波信号，用于在第一端和第二端产生指示延迟声波信号的电信号，用于在第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号；以及
第二谐振器，可操作地连接到输出端，用于响应于进一步的延迟声波信号向输出端提供滤波信号。
根据本发明，移相器设置于第二耦合谐振器器件与天线之间。
根据本发明，通信设备可以包括设置于发送路径中以及可操作地连接到第一耦合谐振器器件的又一移相器，其中该又一移相器设置于第一耦合谐振器器件与天线之间。
可选地，第一耦合谐振器器件设置于又一移相器与天线之间。
根据本发明，第一耦合谐振器器件的输入端包括两个输入端子，以及第一耦合谐振器器件的输出端包括两个输出端子，以及其中两个输入端子之一和两个输出端子之一可操作地连接到地。
根据本发明，第二耦合谐振器的输入端包括两个输入端子，以及其中两个输入端子之一可操作地连接到地以实现单到平衡的转换。
根据本发明，第一谐振器和第二谐振器是体声波器件。第一延迟和第二延迟的每一个包括传输线或者一个或多个集总元件。这些非声学延迟可以集成到耦合谐振器器件中
本发明的第二方面提供了一种耦合谐振器器件，该谐振器器件包括：
用于接收对应路径中的信号的输入端和用于提供对应路径中的滤波信号的输出端；
第一谐振器，可操作地连接到输入端以提供指示接收信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在第一端的延迟声波信号，用于在第一端和第二端产生指示延迟声波信号的电信号，用于在第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号；以及
第二谐振器，可操作地连接到输出端，用于响应于进一步的延迟声波信号向输出端提供滤波信号。
根据本发明，该谐振器器件具有衬底，以及：
中间谐振器包括：
第一电极，设置于衬底上；
压电层，设置于第一电极上；以及
第二电极，设置于压电层上，第二电极具有第一端和第二端，以及其中
第一延迟部分设置于第二电极的第一端上；
第二延迟部分设置于第二电极的第二端上；
第一谐振器设置于第一延迟部分上；以及
第二谐振器设置于第二延迟部分上。
根据本发明，第一谐振器和第二谐振器的每一个包括电极对和设置于所述电极对之间的又一压电层。
根据本发明，该谐振器器件可以具有：声学镜，设置为邻近于中间谐振器且在第一电极与衬底之间。
第一延迟部分和第二延迟部分的每一个包括多个电介质材料或者由二氧化硅和钨层组成的结构。
根据本发明，输入端包括两个输入端子，其中两个输入端子之一可操作地连接到地，而另一输入端子可选地连接到移相部件。
根据本发明，第一谐振器具有第一谐振频率，而第二谐振器具有与第一谐振频率略微不同的第二谐振频率。
本发明的第三方面提供了一种通信设备，该通信设备包括：
天线端口，用于传达通信信号；
收发器，具有发送端口和接收端口；以及
双工器，包括：
第一耦合谐振器器件，设置于在天线端口与发送端口之间的发送路径中，用于对发送路径中的信号进行滤波；
第二耦合谐振器器件，设置于在天线端口与接收器端口之间的接收路径中，用于对接收路径中的信号进行滤波；以及
移相器，设置于接收路径中以及可操作地连接到第二耦合谐振器器件，其中所述第一耦合谐振器器件和第二耦合谐振器器件的每一个包括：
用于接收对应路径中的信号的输入端；以及用于提供对应路径中的滤波信号的输出端；
第一谐振器，可操作地连接到输入端，用于提供指示接收信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在第一端的延迟声波信号，用于在第一端和第二端产生指示延迟声波信号的电信号，用于在第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号；以及
第二谐振器，可操作地连接到输出端，用于响应于进一步的延迟声波信号向输出端提供滤波信号。
根据本发明，第一耦合谐振器件具有单到单的配置，而第二耦合谐振器器件具有单到平衡的变换。
根据本发明，该双工器可以包括设置于发送路径中以及可操作地连接到第一耦合谐振器器件的又一移相器。
根据本发明，移相器和又一移相器的每一个包括可以集成到谐振器器件中的传输线或者集总元件。
该通信设备可以是移动终端、通信设备等。
在阅读与图10至图13相结合的说明书时，本发明将变得明显。
附图说明
图1a是图示了具有谐振器和形成于衬底上的膜片的典型体声波器件的横截面图，其中该衬底具有用于为该膜片提供空气界面的通孔。
图1b是图示了具有谐振器和形成于衬底上的膜片的典型体声波器件的横截面图，其中该衬底具有用于为膜片提供空气界面的蚀刻部分。
图1c是图示了具有谐振器和形成于衬底上的膜片的典型体声波器件的横截面图，其中牺牲层形成于膜片与衬底之间。
图1d是图示了具有形成于衬底上的谐振器的典型体声波器件的横截面图，其中声学镜形成于衬底与谐振器的底电极之间。
图2是示出了现有技术布置的示意表示图，其中两个谐振器用来将不平衡的信号转换成平衡的信号。
图3是图示了耦合谐振器滤波器的现有技术布置的横截面图，其中两个晶体滤波器谐振器水平地间隔开。
图4是示出了具有一个信号输入端口和两个信号输出端口的现有技术平衡-不平衡转换器的示意表示图。
图5是示出了具有两个滤波器堆叠的现有技术的平衡-不平衡转换器的示意表示图。
图6是示出了现有技术双工器的框图，其中每个收发器滤波器具有平衡-不平衡转换器和格子滤波器段。
图7是示出了现有技术双工器的框图，其中一个收发器滤波器具有耦合到格子滤波器段的平衡-不平衡转换器，而其它收发器滤波器具有耦合到梯式滤波器的平衡-不平衡转换器。
图8是示出了具有两个单端滤波器的现有技术双工器的框图。
图9是示出了具有单端滤波器和完全平衡的滤波器的现有技术双工器的框图。
图10是示出了根据本发明的耦合BAW谐振器的示意表示图。
图11是图示了在耦合BAW谐振器中的声电耦合的框图。
图12a是示出了根据本发明实施例的双工器的框图。
图12b是示出了根据本发明另一实施例的双工器的框图。
图12c是示出了根据本发明又一实施例的双工器的框图。
图13是示出了具有根据本发明的双工器的通信设备的示意表示图。
具体实施方式
根据本发明的双工器基于耦合BAW谐振器器件。耦合谐振器器件在图10中示出。耦合谐振器器件700包括耦合到另一耦合谐振器滤波器(CRF)720的CRF710。如图10中所示，谐振器器件700包括衬底730、下谐振器740、第一延迟752、第二延迟754、第一上谐振器760和第二上谐振器770。下谐振器740包括底电极742、上电极746以及设置于电极742与746之间的压电层744。分离地设置于下谐振器740的顶部上的第一延迟752和第二延迟754包括多个不同电介质材料层。第一延迟752和第二延迟754的结构可以例如是SiO2/W/SiO2。设置于第一延迟752的顶部上的第一上谐振器760包括底电极762、上电极766以及其间的压电层764。设置于第一延迟754的顶部上的第二上谐振器770包括底电极772、上电极776以及其间的压电层774。谐振器器件700可以包括具有空腔(图1a)、牺牲层(图1c)或者在下谐振器740之下的声学镜734的声学反射膜片。上谐振器之一用作为信号输入端口，而其它的上谐振器用作为信号输出端口。如图10中所示，电极766、762连接到端子72和74；而电极776、772连接到端子76和78。如果第一上谐振器760用来通过经过端子72、74的电信号来激励声波，该声波经过第一延迟752传播到下谐振器740。在下谐振器740，压电层744中的声波转换成电信号。电极742、746中的电信号再次转换成声波，该声波经过第二延迟754传播到第二上谐振器770。在谐振器770，声波在端子76、78转换回到电信号。CRF710和CRF720之内的声学激励以及它们之间的电耦合在图11中示出。第一上谐振器760和第二上谐振器770通常表现略微不同的谐振频率以便形成通带响应。
根据本发明的谐振器器件700可以在如图12a中所示的双工器中使用。如图所示，双工器800包括分别地单独连接到Tx端口和Rx端口的Tx部分和Rx部分。在Rx部分中，谐振器器件700用作为单到平衡的滤波器，因为端子74连接到地。谐振器700经过移相器810连接到公共天线端口。在Tx部分中，谐振器器件700’用作为单到单的滤波器，因为两个端子74’和78’都连接到地。谐振器700’经过移相器810’连接到公共天线端口。移相器810和810’可以由传输线、比如电感器和线圈的集总元件等制成。如果可行，则移相器810、810’可以与对应的谐振器器件700、700’集成。另外，移相器810’可以设置于谐振器器件700’与Tx端口之间，如图12b中所示。有可能省略Tx部分中的移相器810’，如图12c中所示。依赖于Tx部分与Rx部分之间的保护带宽，可以在W-CDMA或CDMA收发器中使用双工器800。
根据本发明的双工器800可以在比如移动电话的通信设备中使用，如图13中所示。如图所示，双工器800可操作地连接到通信设备1中收发器900的Rx和Tx端口。
应当注意，如图10中所示的谐振器器件700具有两个CRF级，但是可以具有多于两个CRF级。类似地，Rx部分中的谐振器器件700和谐振器器件700’可以耦合到其它CRF级或者其它相似的谐振器器件，这依赖于收发器的频率选择性要求。如有必要，与图6和图7中的移相器242相似的一个或多个移相器可以用于进行匹配。移相器可以基于集总元件(比如电感器和线圈)或者双工器衬底上的微带线，该衬底例如可以是有机薄层或者LTCC(低温共烧陶瓷)。
根据本发明的双工器的优点包括：远离通带的带外衰减相较于常规双工器有极大地改进，而且在Rx和Tx二者路径观察到的损耗有所降低，因为对于完全平衡的Rx部分不要求磁性平衡-不平衡转换器。也应当注意，阻抗级转换在根据本发明的双工器中是可能的。
尽管参照其优选实施例描述了本发明，但是本领域技术人员将理解，在不脱离本发明的范围时可以做出在其形式和细节上的前述和各种其它改变、省略和变更。
Claims (26)
1.一种用于在通信设备中使用的双工器，所述通信设备具有：
天线，用于传达通信信号；
发送路径，连接到所述天线，用于发送所述信号；以及
接收路径，连接到所述天线，用于接收所述信号，所述双工器包括：
第一耦合谐振器器件，设置于所述发送路径中，用于对所述发送路径中的所述信号进行滤波；
第二耦合谐振器器件，设置于所述接收路径中，用于对所述接收路径中的所述信号进行滤波，以及
移相器，设置于所述接收路径中以及连接到所述第二耦合谐振器器件，其中所述第一耦合谐振器器件和第二耦合谐振器器件的每一个包括：
用于接收对应路径中的信号的输入端和用于提供对应路径中的滤波信号的输出端；
第一谐振器，连接到所述输入端以提供指示所述接收信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于所述声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在所述第一端的所述延迟声波信号，用于在所述第一端和所述第二端产生指示所述延迟声波信号的电信号，用于在所述第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于所述更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号，所述第二延迟部分与所述第一延迟部分分离开；以及
第二谐振器，连接到所述输出端，用于响应于所述进一步的延迟声波信号向所述输出端提供所述滤波信号。
2.如权利要求1的双工器，其中所述移相器设置于所述第二耦合谐振器器件与所述天线之间。
3.如权利要求2的双工器，还包括设置于所述发送路径中以及连接到所述第一耦合谐振器器件的又一移相器。
4.如权利要求3的双工器，其中所述又一移相器设置于所述第一耦合谐振器器件与所述天线之间。
5.如权利要求3的双工器，其中所述第一耦合谐振器器件设置于所述又一移相器与所述天线之间。
6.如权利要求1的双工器，其中：
所述第一耦合谐振器器件的所述输入端包括两个输入端子，以及
所述第一耦合谐振器器件的所述输出端包括两个输出端子，以及其中
所述两个输入端子之一和所述两个输出端子之一连接到地。
7.如权利要求1的双工器，其中：
所述第二耦合谐振器器件的所述输入端包括两个输入端子，以及其中
所述两个输入端子之一连接到地以实现单到平衡的转换。
8.如权利要求7的双工器，其中：
所述第一耦合谐振器器件的所述输入端包括两个输入端子，以及
所述第一耦合谐振器器件的所述输出端包括两个输出端子，以及其中
所述两个输入端子之一和所述两个输出端子之一连接到地。
9.如权利要求1的双工器，其中所述第一谐振器和所述第二谐振器是体声波器件。
10.如权利要求3的双工器，其中所述移相器和所述又一移相器的每一个包括传输线。
11.如权利要求3的双工器，其中所述移相器和所述又一移相器的每一个包括一个或多个集总元件。
12.如权利要求3的双工器，其中所述又一移相器包括与所述第一耦合谐振器器件集成的一个或多个集总元件。
13.一种耦合谐振器器件，包括：
用于接收电信号的输入端和用于提供滤波信号的输出端；
第一谐振器，连接到所述输入端以提供指示所述接收的电信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于所述声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在所述第一端的所述延迟声波信号，用于在所述第一端和所述第二端产生指示所述延迟声波信号的另一电信号，用于在所述第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于所述更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号，所述第二延迟部分与所述第一延迟部分分离开；以及
第二谐振器，连接到所述输出端，用于响应于所述进一步的延迟声波信号向所述输出端提供所述滤波信号。
14.如权利要求13的谐振器器件，还包括衬底，其中：
所述中间谐振器包括：
第一电极，设置于所述衬底上；
压电层，设置于所述第一电极上；以及
第二电极，设置于所述压电层上，所述第二电极具有第一电极端和第二电极端，以及其中
所述第一延迟部分设置于所述第二电极的所述第一电极端上；
所述第二延迟部分设置于所述第二电极的所述第二电极端上；
所述第一谐振器设置于所述第一延迟部分上；以及
所述第二谐振器设置于所述第二延迟部分上。
15.如权利要求13的谐振器器件，其中所述第一谐振器和第二谐振器的每一个包括电极对和设置于所述电极对之间的又一压电层。
16.如权利要求14的谐振器器件，还包括：
声学镜，设置为邻近于所述中间谐振器且在所述第一电极与所述衬底之间。
17.如权利要求13的谐振器器件，其中所述第一延迟部分和第二延迟部分的每一个包括多个电介质材料。
18.如权利要求13的谐振器器件，其中所述第一延迟部分和第二延迟部分的每一个包括由二氧化硅和钨层组成的结构。
19.如权利要求13的谐振器器件，其中所述输入端包括两个输入端子，以及其中所述两个输入端子之一连接到非声学移相部件。
20.如权利要求19的谐振器器件，其中所述两个输入端子的另一端子连接到地。
21.如权利要求13的谐振器器件，其中所述第一谐振器具有第一谐振频率，而所述第二谐振器具有与所述第一谐振频率不同的第二谐振频率。
22.一种通信设备，包括：
天线端口，用于传达通信信号；
收发器，具有发送端口和接收端口；以及
双工器，包括：
第一耦合谐振器器件，设置于在所述天线端口与所述发送端口之间的发送路径中，用于对所述发送路径中的所述信号进行滤波；
第二耦合谐振器器件，设置于在所述天线端口与所述接收器端口之间的接收路径中，用于对所述接收路径中的所述信号进行滤波；以及
移相器，设置于所述接收路径中以及连接到所述第二耦合谐振器器件，其中所述第一耦合谐振器器件和第二耦合谐振器器件的每一个包括：
用于接收电信号的输入端；以及用于提供滤波信号的输出端；
第一谐振器，连接到所述输入端，用于提供指示所述接收信号的声波信号；
第一延迟部分，响应于所述声波信号，用于提供延迟声波信号；
中间谐振器，具有第一端和第二端，响应于在所述第一端的所述延迟声波信号，用于在所述第一端和所述第二端产生指示所述延迟声波信号的另一电信号，用于在所述第二端生成更多声波信号；
第二延迟部分，响应于所述更多声波信号，用于提供进一步的延迟声波信号，所述第二延迟部分与所述第一延迟部分分离开；以及
第二谐振器，连接到所述输出端，用于响应于所述进一步的延迟声波信号向所述输出端提供所述滤波信号。
23.如权利要求22的通信设备，其中所述双工器还包括：
又一移相器，设置于所述发送路径中以及连接到所述第一耦合谐振器器件。
24.如权利要求22的通信设备，包括移动终端。
25.如权利要求22的通信设备，其中所述第一耦合器件和第二耦合器件中的所述第一延迟部分和第二延迟部分的每一个包括由二氧化硅和钨层组成的结构。
26.如权利要求22的通信设备，其中所述第一耦合谐振器件具有单到单的配置，而所述第二耦合谐振器器件具有单到平衡的变换。
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