WO2022201665A1

WO2022201665A1 - ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置

Info

Publication number: WO2022201665A1
Application number: PCT/JP2021/045924
Authority: WO
Inventors: 淳一福島
Original assignee: 株式会社東京精密
Priority date: 2021-03-26
Filing date: 2021-12-14
Publication date: 2022-09-29
Also published as: KR20230148353A; CN117121164A; JP2022151236A

Abstract

【課題】ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理とフレーム吸着保持部の洗浄処理を自動で簡単に行うことができる、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。【解決手段】フレーム吸着保持部１１Ｂ上のスラッジを除去するフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂを、フレーム吸着保持部１１Ｂ上に押し当てられるスクレーパー１７及びブラシ１８と、フレーム吸着保持部１１Ｂ上に水を吐出供給する水ノズル１９と、を備える構成にした。

Description

ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置

　本発明は、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置に関するものであり、特に、粘着フィルムによりリングフレームと一体化されたウエハを吸着保持するウエハ吸着チャック機構の洗浄装置に関するものである。

　半導体製造分野においてはウエハが年々大型化する傾向にある。また、実装密度を高めるためにウエハの薄膜化が進んでいる。ウエハを薄膜化するために、半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）の裏面を研削して薄肉化する、いわゆる裏面研削（バックグラインド）が行われる（例えば、特許文献１参照）。

　今日、ウエハを薄肉化する研削装置として、粘着フィルムによりリングフレームと一体化されたウエハを、チャックテーブルでリリース可能に吸着保持するとともに、リングフレームを、吸着チャック部を取り囲んで配置された環状のフレーム吸着保持部にあり、リリース可能に吸着保持する構成がある。この研削装置では、ウエハを吸着保持するチャックテーブルのチャック面や、リングフレームを吸着保持するフレーム吸着保持部に切削スラッジが付着する。そこで、この種の研削装置には、研削スラッジを除去する機構を必要とする。

　従来のチャックテーブルは、ウエハを吸着保持するチャック面と、リングフレームを吸着保持するフレーム吸着保持部とに分かれている。そして、ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理は、回転しているチャックテーブルに回転しているドレス砥石を接触させて洗浄を行っている。一方、フレーム吸着保持部もスラッジを除去しないと、リングフレームの吸着に支障が生じる。そこで、フレーム吸着保持部の洗浄処理は、オペレータがウエハ研削後に、フレーム吸着保持部をチャックテーブルと共に回転させながら、ウオーターガンでフレーム吸着保持部に純水を供給し、ベンコットン等を接触させてスラッジを除去している。

特開２０１０－１３７３４９号公報

　ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置では、ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理は、回転しているチャックテーブルに回転しているドレス砥石を押し付けて洗浄を行い、フレーム吸着保持部の洗浄処理は、オペレータがウエハ研削後に、フレーム吸着保持部とチャックテーブルを回転させながら、ウオーターガンでフレーム吸着保持部に純水を供給し、ベンコットン等を接触させてスラッジを除去していた。そのため、フレーム吸着保持部の洗浄処理は、オペレータが手動で行うので、作業性が悪いという問題点があった。

　そこで、ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理とフレーム吸着保持部の洗浄処理を自動で簡単に行うことができる、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

　本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、粘着フィルムを介してリングフレームに取り付けられたウエハを吸着保持するウエハ吸着チャック部と、前記ウエハ吸着チャック部の外側で前記リングフレームを吸着保持する環状のフレーム吸着保持部と、を有する回転するウエハ吸着チャック機構の洗浄装置であって、前記フレーム吸着保持部上に移動可能で、前記フレーム吸着保持部を洗浄するフレーム吸着保持部洗浄手段を備え、前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記フレーム吸着保持部上に接触可能なスクレーパー及びブラシの少なくとも何れか１つと、前記フレーム吸着保持部上に水を吐出する水ノズルとを備える、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。

　この構成によれば、フレーム吸着保持部におけるスラッジを除去する場合、ウエハチャック機構を回転させた状態において、フレーム吸着保持部上にフレーム吸着保持部洗浄手段を配置し、水ノズルからフレーム吸着保持部上に水を吐出しながらブラシ及びスクレーパーの何れか１つを当てると、水でスラッジが浮き、ブラシ及びスクレーパーの何れかによりスラッジが掻き取られる。また、ブラシ及びスクレーパーの何れか又はそれらの両方で掻き取られたスラッジは、水ノズルから吐出された水でフレーム吸着保持部外に流し、排出することにより、フレーム吸着保持部上のスラッジを除去することができる。したがって、この作業をフレーム吸着保持部洗浄手段上のスラッジを除去する、吸着チャック洗浄砥石部による洗浄作業と連動させることにより、ウエハ吸着チャック部上のスラッジの除去とフレーム吸着保持部上のスラッジの除去を同時に行うことができる。

　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記ウエハ吸着チャック部上に移動可能に構成され、前記ウエハ吸着チャック部を洗浄する吸着チャック洗浄砥石部を更に備え、前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記吸着チャック洗浄砥石部と一体で移動可能に構成されている、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。

　この構成によれば、ウエハチャック機構を回転させた状態で、吸着チャック洗浄砥石部のドレス砥石をウエハ吸着チャック部に接触させるとともに、フレーム吸着保持部洗浄手段をフレーム吸着保持部上に配置させると、ウエハ吸着チャック部上のスラッジがドレス砥石で掻き取られ、フレーム吸着保持部上のスラッジはフレーム吸着保持部洗浄手段により掻き取られる。これにより、ウエハ吸着チャック部上のスラッジの除去とフレーム吸着保持部上のスラッジの除去を同時に行うことができる。

　請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記フレーム吸着保持部は、前記フレーム吸着保持部上に水を吐出する水吐出孔を有する、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。

　この構成によれば、フレーム吸着保持部の洗浄時に、フレーム吸着保持部に設けた複数の水吐出孔から水を吐出させて、フレーム吸着保持部の全体を濡らとともに、水ノズルから水を吐出させてブラシを接触させるので、スラッジが更に浮き上がりやすく、それをスクレーパーで掻き取るので、洗浄処理効果が向上する。

　請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の構成において、前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記スクレーパー又は前記ブラシの前記フレーム吸着保持部への押し当て力を弾性的に吸収するバネ機構を備える、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。

　この構成によれば、スクレーパー又はブラシがフレーム吸着保持部に過剰に押し当てられた場合に、フレーム吸着保持部にスクレーパー及びブラシが当接する力を、バネ機構によるバネ作用で緩衝して略一定にすることができる。

　請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の構成において、前記フレーム吸着保持部上に水を間欠的に供給するキープウエットノズルを更に有する、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供する。

　この構成によれば、洗浄装置の待機時に、キープウエットノズルからフレーム吸着保持部上に水を間欠的に供給するので、フレーム吸着保持部におけるスラッジの乾燥による付着を防止できる。

　本発明によれば、ウエハ吸着チャック部上の洗浄とフレーム吸着保持部上の洗浄とを同時に行うことが可能になる。これにより、ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理とフレーム吸着保持部の洗浄処理の自動化が可能になる。
　また、フレーム吸着保持部におけるスラッジの除去は、ウエハチャック機構を回転させた状態において、フレーム吸着保持部上にフレーム吸着保持部洗浄手段を配置し、水ノズルからフレーム吸着保持部上に水を吐出しながらブラシ及びスクレーパーの何れか１つを当てると、水でスラッジが浮き、ブラシ及びスクレーパーの何れか又はそれらの両方によりスラッジが掻き取られる。更に掻き取ったスラッジを、水ノズルから吐出された水でフレーム吸着保持部外に流して排出するので、フレーム吸着保持部上のスラッジを簡単、かつ、きれいに除去することができる。

本発明の実施の形態に係る実施例として示すウエハチャック機構と洗浄装置を示す斜視図である。図１の前方右側から見て示すウエハチャック機構と洗浄装置の斜視図である。アームが洗浄位置に配置されている状態で、かつ、構成部材の一部を省略して吸着チャック洗浄砥石部とフレーム吸着保持部洗浄手段を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）の一部構成を省略した平面図である。アームが待機位置に配置されている状態で、かつ、構成部材の一部を省略して吸着チャック洗浄砥石部とフレーム吸着保持部洗浄手段を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）の一部構成を省略した平面図である。同上洗浄装置におけるフレーム吸着保持部洗浄手段の要部構成を、図１のＡ－Ａ方向より見た拡大図である。同上洗浄装置におけるフレーム吸着保持部洗浄手段の要部構成を示す斜視図である。粘着フィルムを介してリングフレームに保持されたウエハの一例を示す平面図である。

　本発明は、ウエハを吸着保持するチャック面の洗浄処理とフレーム吸着保持部の洗浄処理を自動で簡単に行うことができる、ウエハ吸着チャック機構の洗浄装置を提供するという目的を達成するために、粘着フィルムを介してリングフレームに取り付けられたウエハを吸着保持するウエハ吸着チャック部と、前記ウエハ吸着チャック部の外側で前記リングフレームを吸着保持する環状のフレーム吸着保持部と、を有する回転するウエハ吸着チャック機構の洗浄装置であって、前記フレーム吸着保持部上に移動可能で、前記フレーム吸着保持部を洗浄するフレーム吸着保持部洗浄手段を備え、前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記フレーム吸着保持部上に接触可能なスクレーパー及びブラシの少なくとも何れか１つと、前記フレーム吸着保持部上に水を吐出する水ノズルとを備える、構成にして実現した。

　以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

　また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

　また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

　また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハ吸着チャック機構の洗浄装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

　図１～図６は、本発明に係る洗浄装置１０を示すものである。洗浄装置１０は、チャック機構１１に付着したスラッジを除去するものであり、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂと位置移動手段１０Ｃを備えている。チャック機構１１は、ウエハ吸着チャック部１１Ａと、ウエハ吸着チャック部１１Ａの外側を取り囲んで設けられたフレーム吸着保持部１１Ｂを備える。ウエハ吸着チャック部１１Ａとフレーム吸着保持部１１Ｂは、図２中の矢印Ｄ方向に一体的に回転する。そして、チャック機構１１には、研削加工時、ウエハＷが取り付けられる。

　ここでのウエハＷは、例えば図７に示す、粘着フィルム１０１を介してリングフレーム１０２に保持されたウエハＷが使用される。そして、研削加工時、ウエハＷは、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａに粘着フィルム１０１と共に吸着保持され、リングフレーム１０２がフレーム吸着保持部１１Ｂに吸着保持される。また、ウエハ吸着チャック部１１Ａとフレーム吸着保持部１１Ｂとの間は独立していて、ウエハ吸着チャック部１１Ａとフレーム吸着保持部１１Ｂは互に上下方向に移動可能である。そして、フレーム吸着保持部１１Ｂがリングフレーム１０２を吸着保持している状態で、例えばウエハ吸着チャック部１１Ａが上方向に移動すると粘着フィルム１０１の全体が延ばされ、ウエハＷを粘着フィルム１０１上から取り外しやすくする。

　ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａは、多孔性材料で形成されており、チャック面１１ａに粘着フィルム１０１に貼られて配置されたウエハＷを真空引きして吸着保持可能であり、またチャック面１１ａの洗浄時には、チャック面１１ａの全体から洗浄水（純水）を吐出できるようになっている。

　フレーム吸着保持部１１Ｂは、フレーム吸着保持部１１Ｂ上に載せられたリングフレーム１０２を真空引きして、リングフレーム１０２をフレーム吸着保持部１１Ｂ上に吸着保持する複数の吸着孔１２ａと、フレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄時に、フレーム吸着保持部１１Ｂの上面から洗浄水（純水）を吐出する複数の水吐出孔１２ｂとが、周方向にそれぞれ列をなして、略等間隔で設けられている。本実施例では、吸着孔１２ａと水吐出孔１２ｂを同一孔として共用しているが、別々にそれぞれ設けてもよい。なお、フレーム吸着保持部１１Ｂでの真空引きする配管ラインとウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａで真空引きする配管ラインは別系統になっている。したがって、真空引きは、系統毎に制御できる。

　洗浄装置１０の位置移動手段１０Ｃは、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂを一体に、洗浄位置と待機位置に移動させるものである。位置移動手段１０Ｃは、洗浄位置と待機位置との間における吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂの移動を、ウエハ吸着チャック部１１Ａの一側に沿って水平に案内するレール部材１３と、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａを保持するアーム１４とを有する。すなわち、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂにおける洗浄位置と待機位置との間の移動は、アーム１４とレール部材１３との案内で行う。なお、レール部材１３は、ベース部材２１に取り付けられている。また、ベース部材２１には、待機時に、フレーム吸着保持部１１Ｂに水を供給して、乾燥を防ぐ乾燥防止用ノズル２２が取り付けられている。

　吸着チャック洗浄砥石部１０Ａは、アーム１４の下端に水平回転可能に取り付けられたドレス砥石１５を有する。ドレス砥石１５は、図示しないモータの駆動力で図２中の矢印Ｅ方向に回転する。ドレス砥石１５は、水平回転しながら、アーム１４の上下方向の移動により、同じく回転しているウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａに押し当て、すなわち接触されて、チャック面１１ａ上に付着しているスラッジを掻き取る。また、接触時には、ドレス砥石１５の下面から水を吐出し、チャック面１１ａのスラッジを浮き出させて掻き取る。

　フレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、ドレス砥石１５の上面と隣接して、アーム１４の下端部に固定して取り付けられている鍔状部材１４ａに、ユニット化された状態で取り付けられている。すなわち、フレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、鍔状部材１４ａに着脱可能に取り付けられたユニットベース１６を有し、ユニットベース１６の下面側に、フレーム吸着保持部１１Ｂの回転方向に逆らう形で順に、スクレーパー１７と、ブラシ１８と水ノズル１９が取り付けられてユニット化されている。また、ユニットベース１６でユニット化されているフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、ユニット状態のまま、ボルト・ナット等で鍔状部材１４ａに対して着脱可能に取り付けられる。

　フレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、図１、図２，図３に示すように、位置移動手段１０Ｃにより洗浄位置に移動されると、フレーム吸着保持部１１Ｂ上に、フレーム吸着保持部１１Ｂの回転方向の上流側から下流側に向かって順に、水ノズル１９、ブラシ１８、スクレーパー１７が配置される構成になっている。また、図５に示すように、ユニットベース１６とブラシ１８及びスクレーパー１７との間には、ブラシ１８及びスクレーパー１７がフレーム吸着保持部１１Ｂ上に当接する当接力（押し当て力）を略一定となるように緩衝するためのバネ機構２０が設けられている。また、ブラシ１８は、フレーム吸着保持部１１Ｂの台座２３の隅（コーナー）の箇所２３ａに付着されたスラッジを除去できるように、フレーム吸着保持部１１Ｂに対して斜めに取り付けている。

　洗浄装置１０の動作は、図示しない制御手段によって制御される。制御手段は、洗浄装置１０を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。制御手段は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、制御手段の機能は、ソフトウエアを用いて制御することにより実現されてもよく、ハードウエアを用いて動作するようにして実現されてもよい。

　次に、洗浄装置１０の動作の一例を説明する。研削装置がウエハＷの研削加工を行っているとき、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、位置移動手段１０Ｃにより、図４に示す待機位置に移動されている。

　研削装置による研削加工が終了し、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａのスラッジ洗浄と、フレーム吸着保持部１１Ｂのスラッジ洗浄を行うときは、ウエハ吸着チャック部１１Ａ及びフレーム吸着保持部１１Ｂが回転している状態で、位置移動手段１０Ｃがアーム１４を洗浄位置に移動させる。これによりアーム１４と共に吸着チャック洗浄砥石部１０Ａ及びフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂも一体に洗浄位置の上方に移動する。

　なお、スラッジ洗浄処理が実際に開始される前、すなわち待機時には、ウエハ吸着チャック部１１Ａとフレーム吸着保持部１１Ｂはそれぞれ所定の速度で回転されている。さらに、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａとフレーム吸着保持部１１Ｂにそれぞれ付着しているスラッジが乾燥しないように、ウエハ吸着チャック部１１Ａではチャック面１１ａから水を噴き出して防ぎ、フレーム吸着保持部１１Ｂでは水吐出孔１２ｂからの水と乾燥防止用ノズル２２からの水を受けて防いでいる。

　次いで、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａのドレス砥石１５が回転されるとともに、アーム１４が下降される。図１、図２，図３は、この洗浄位置に配置されて、また下降された状態を示している。

　そして、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａでは、回転しているドレス砥石１５がウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａに押し当て（接触）られて、チャック面１１ａ上に付着しているスラッジの洗浄処理を行う。このスラッジ洗浄処理では、洗浄水がドレス砥石１５の砥石面からとチャック面１１ａの全面から吐出供給されて洗浄され、洗浄後の洗浄水はチャック面１１ａの外側に排出される。

　一方、フレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂでは、水ノズル１９からフレーム吸着保持部１１Ｂ上に洗浄水が吐出供給されるとともに、スクレーパー１７とブラシ１８が回転しているフレーム吸着保持部１１Ｂ上に当接して、フレーム吸着保持部１１Ｂに付着しているスラッジの洗浄処理が行われる。このフレーム吸着保持部１１Ｂのスラッジの洗浄処理では、フレーム吸着保持部１１Ｂに設けた複数の水吐出孔１２ｂから水を吐出させて、フレーム吸着保持部１１Ｂの全体を濡らした状態で、更に水ノズル１９から水を吐出してブラシ１８を当てるので、スラッジが浮き上がりやすく、それをスクレーパー１７で掻き取るので、掻き取りがスムーズに行われる。これにより、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａの洗浄処理とフレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄処理を同時に行うことができる。

　また、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａの洗浄処理とフレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄処理が終了したら、水ノズル１９からの洗浄水の吐出供給と、ドレス砥石１５からの洗浄水、及び、チャック面１１ａからの洗浄水の供給が停止する。そして、ドレス砥石１５の回転も停止し、アーム１４が上昇してドレス砥石１５もチャック面１１ａから離れる。その後、吸着チャック洗浄砥石部１０Ａとフレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、位置移動手段１０Ｃにより、図４に示す待機位置に移動されている。これにより、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａの洗浄処理とフレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄処理の一サイクルが終了する、そして、再びウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａの洗浄処理とフレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄処理を行う指示が出るのを待つ。

　したがって、本実施例の洗浄装置１０では、ウエハ吸着チャック部１１Ａの洗浄とフレーム吸着保持部１１Ｂ上の洗浄とを同時に行うことができるので、ウエハＷを吸着保持するチャック面１１ａの洗浄処理とフレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄処理を自動で行うことが可能になる。

　また、フレーム吸着保持部１１Ｂは、水を吐出する水吐出孔１２ｂをフレーム吸着保持部１１Ｂの周方向に複数設けているので、フレーム吸着保持部１１Ｂの洗浄時に、フレーム吸着保持部１１Ｂに設けた水吐出孔１２ｂから水を吐出させて、フレーム吸着保持部１１Ｂの全体を濡らした状態で、更に水ノズル１９から水を吐出してブラシ１８を当てるので、スラッジが更に浮き上がりやすく、それをスクレーパー１７で掻き取るので、洗浄処理効果が向上する。

　また、ウエハ吸着チャック部１１Ａは、ウエハ吸着チャック部１１Ａの洗浄時に、チャック面１１ａの全体から水を吐出する水吐出孔を設けているので、ウエハ吸着チャック部１１Ａの洗浄時に、ウエハ吸着チャック部１１Ａのチャック面１１ａの全体から水を吐出して、ウエハ吸着チャック部の全体を濡らした状態でドレス砥石１５を接触させることができるので、ドレス砥石１５が接触する時の発熱が抑えられるとともに、ドレス砥石１５で掻き取られたスラッジをウエハ吸着チャック部１１Ａ外に容易に排出することができる。

　また、フレーム吸着保持部洗浄手段１０Ｂは、フレーム吸着保持部１１Ｂに対するスクレーパー１７及びブラシ１８のための緩衝用のバネ機構２０を設けているので、フレーム吸着保持部１１Ｂにスクレーパー１７及びブラシ１８が当接する力（押し当て力）を、バネ機構２０によるバネ作用で緩衝して略一定にして、一定の力でスクレーパー１７及びブラシ１８をフレーム吸着保持部１１Ｂに接触させることができる。バネ機構２０は、スクレーパー１７とブラシ１８共通に１個だけ設けた構造であっても、スクレーパー１７用のバネ機構２０とブラシ１８用のバネ機構２０の、個々に設けた構造であってもよい。個々に設けた構造の場合には、より細かな緩衝調整を行うことができる。

　また、洗浄装置１０の待機時に、フレーム吸着保持部１１Ｂ上に水を間欠的に供給する乾燥防止用ノズル（キープウエットノズル）２２設け、洗浄装置１０の待機時に、乾燥防止用ノズル２２からフレーム吸着保持部１１Ｂ上に水を間欠的に供給するようにしているので、フレーム吸着保持部１１Ｂにおけるスラッジの乾燥による付着を防止できる。

　なお、上記実施例では、フレーム吸着保持部１１Ｂにおけるスラッジを除去する場合、ウエハ吸着チャック部１１Ａを回転させた状態において、水ノズル１９からフレーム吸着保持部１１Ｂ上に水を吐出しながらブラシ１８を当て、更にフレーム吸着保持部１１Ｂ上にスクレーパー１７を接触させてスラッジを掻き取る手順で除去する構成を開示したが、ブラシ１８及びスクレーパー１７の何れか１つを当てて除去するようにしてもよい。
　また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０　　：洗浄装置
１０Ａ　：吸着チャック洗浄砥石部
１０Ｂ　：フレーム吸着保持部洗浄手段
１０Ｃ　：位置移動手段
１１　　：チャック機構
１１Ａ　：ウエハ吸着チャック部
１１Ｂ　：フレーム吸着保持部
１１ａ　：チャック面
１２ａ　：吸着孔
１２ｂ　：水吐出孔
１３　　：レール部材
１４　　：アーム
１４ａ　：鍔状部材
１５　　：ドレス砥石
１６　　：ユニットベース
１７　　：スクレーパー
１８　　：ブラシ
１９　　：水ノズル
２０　　：バネ機構
２１　　：ベース部材
２２　　：乾燥防止用ノズル
２３　　：台座
２３ａ　：箇所
１０１　：粘着フィルム
１０２　：リングフレーム
Ｗ　　　：ウエハ

Claims

　粘着フィルムを介してリングフレームに取り付けられたウエハを吸着保持するウエハ吸着チャック部と、前記ウエハ吸着チャック部の外側で前記リングフレームを吸着保持する環状のフレーム吸着保持部と、を有する回転するウエハ吸着チャック機構の洗浄装置であって、
　前記フレーム吸着保持部上に移動可能で、前記フレーム吸着保持部を洗浄するフレーム吸着保持部洗浄手段を備え、
　前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記フレーム吸着保持部上に接触可能なスクレーパー及びブラシの少なくとも何れか１つと、前記フレーム吸着保持部上に水を吐出する水ノズルとを備える、
　ことを特徴とするウエハ吸着チャック機構の洗浄装置。
　前記ウエハ吸着チャック部上に移動可能に構成され、前記ウエハ吸着チャック部を洗浄する吸着チャック洗浄砥石部を更に備え、
　前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記吸着チャック洗浄砥石部と一体で移動可能に構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハ吸着チャック機構の洗浄装置。
　前記フレーム吸着保持部は、前記フレーム吸着保持部上に水を吐出する水吐出孔を有する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ吸着チャック機構の洗浄装置。
　前記フレーム吸着保持部洗浄手段は、前記スクレーパー又は前記ブラシの前記フレーム吸着保持部への押し当て力を弾性的に吸収するバネ機構を備える、ことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のウエハ吸着チャック機構の洗浄装置。
　前記フレーム吸着保持部上に水を間欠的に供給するキープウエットノズルを更に有する、ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のウエハ吸着チャック機構の洗浄装置。