JP2003151943A - スクラブ洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 円板形ワークの表裏面と外周面とを同時にか
つ短時間で効率良くスクラブ洗浄することができると共
に、常に高い洗浄精度を維持できるスクラブ洗浄装置を
得る。 【解決手段】 円板形ワークＷの表裏両面と外周面とを
スクラブ洗浄する一対のディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂ
及び複数のロールブラシ１９Ａ，１９Ｂと、上方のディ
スクブラシ１８Ａをドレッシングするためのドレッシン
グ手段２１とを有し、上記ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ
は、ワークＷの一半部側において上記ディスクブラシ１
８Ａ，１８Ｂの前後両側の位置に配設し、上記ドレッシ
ング手段２１は、ドレッシング槽４４と、このドレッシ
ング槽４４の内部に設けられたドレッシングプレート４
５と、このドレッシングプレート４５の上面のドレッシ
ング面４６に形成された複数の洗浄液用噴出孔４８とを
有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや、
フォトマスク用あるいは液晶表示用のガラス基板のよう
な、実質的に円板形をしたワークの表裏両面と外周面と
をブラシでスクラブ洗浄する構成のスクラブ洗浄装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、円板形ワークの一例である半導
体ウエハの製造工程においては、該ウエハの表裏面や外
周面等をポリッシング装置で鏡面研磨したあと、洗浄装
置で洗浄することにより、これらの表裏面や外周面に付
着した研磨剤等の付着物を除去するようにしている。と
ころが近年では、研磨剤の進歩によっていろいろな成分
を含んだ新たな研磨剤が使用されるようになり、それに
伴って研磨精度は向上したが、その反面、付着した研磨
剤が従来の洗浄方法では落ちにくくなって来ている。こ
のため、このような落ちにくい研磨剤であっても確実に
落とすことができる洗浄技術の提供が望まれている。

【０００３】一方、ワークの表裏両面と外周面とをブラ
シで同時にスクラブ洗浄することができる洗浄装置とし
て、例えば、特開２００１−２１２５２８号公報や特開
２００１−２１２５３１号公報等に開示されたものが知
られている。これらは、ワークの外周に複数の駆動ロー
ラーと支持ローラーとを当接させて該ワークを中心軸線
の回りに駆動回転させながら、該ワークの表裏両面に該
ワークより小径の一対のディスクブラシをオーバーハン
グ状態に当接させると共に、該ワークの外周に一つのロ
ールブラシを当接させ、これらのディスクブラシとロー
ルブラシとを回転させることによって上記ワークの表裏
両面と外周面とを同時にスクラブ洗浄するものである。

【０００４】ところが、このような洗浄装置において
は、ワークに付着した汚れがブラシに押し動かされてワ
ーク上を転移し、なかなか落ちにくいという問題があ
る。すなわち、ワークの表裏面にある汚れは、その大部
分がディスクブラシで除去されるが、一部の汚れがこの
ディスクブラシに押されて外周面に転移し、外周面上の
汚れは、その大部分がロールブラシで除去されるが、一
部の汚れがこのロールブラシに押されて表裏面側に転移
するといったように、各ブラシの位置で汚れの転移が繰
り返され、洗浄終了までにかなりの時間がかかる。特
に、上記ロールブラシは小径で、ワークの外周に殆ど点
接触又は線接触しているため、一つのロールブラシを設
けただけでは、転移してきた汚れまでも含めて確実にか
つ効率良く落とすのは困難である。

【０００５】また、上述した洗浄装置の他の問題点とし
て、ブラシを直接ワークに接触させて洗浄する方式であ
るため、ブラシ自身の表面状態や汚れの付着状態等によ
って洗浄効果が大きく左右されるということがある。こ
のようなブラシの汚染や表面状態の低下は、ワークの洗
浄と共に進行していくため、適当な段階でブラシにドレ
ッシングを施すことにより、付着した汚れを落としたり
表面状態を回復させるなどの再生処理を行うことが必要
になる。この場合、外周面洗浄用のロールブラシは、比
較的小型で交換も容易であるため、自動式のドレッシン
グ手段を特別に設置して再生処理を行うよりも、手作業
でドレッシングしたり、新たなものと交換する方が簡単
かつ安価である。これに対して表裏面洗浄用のディスク
ブラシの場合は、上記ロールブラシより大型で交換も面
倒であるため、専用のドレッシング手段を設けて再生処
理することが望ましく、特に、上部のディスクブラシ
は、そのブラシ面が下を向いていて、そのブラシ面を目
で確認しながら手作業で洗浄するのは困難であるため、
このようなドレッシング手段を使用して自動的に再生す
ることが望まれる。

【０００６】このように、ブラシをドレッシングする手
段を備えた洗浄装置は、すでに各種のものが提案されて
いる。例えば、特許第３１１４１５６号公報や特許第２
６１７５３５号公報あるいは特許第２７０２４７３号公
報には、ブラシを洗浄液中に浸漬させて回転させたり、
超音波を照射したりしながら洗浄するものが記載されて
いる。しかし、ブラシを単に洗浄液中に浸漬させただけ
では、表面が押し潰されて硬化したり目詰まりした状態
にあるブラシを確実に再生させることは困難である。超
音波による効果もそれほど期待できない。また、特開平
８−３９０１４号公報や特開平９−９２６３３号公報に
は、ブラシを洗浄液中でドレッシング部材と擦り合わせ
て洗浄するようにしたものが開示されているが、ブラシ
面がドレッシング部材に密着した状態で単に擦り合うだ
けであるため、押し潰されて硬化したブラシ面の回復や
目詰まりの解消にそれほど有効とは言えない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、円板形ワークの表裏面と外周面とを、ディスクブラ
シとロールブラシとを使用して同時にかつ短時間で効率
良くスクラブ洗浄することができると共に、ブラシをド
レッシングするための手段を備えることによって常に高
い洗浄精度を維持できるようにした、合理的かつ効率的
な設計構造を備えたスクラブ洗浄装置を提供することに
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のスクラブ洗浄装置は、円板形ワークの外周
に当接して該ワークを回転自在なるように支持する複数
の支持ローラーと、上記ワークの外周に当接して該ワー
クを中心軸線の回りに駆動回転させる複数の駆動ローラ
ーと、上記ワークより小径の円盤形をなしていて、該ワ
ークの表裏面の端部寄りの位置に当接して回転すること
によりその表裏面をスクラブ洗浄する一対のディスクブ
ラシと、上記ワークの外周に当接して回転することによ
りその外周面をスクラブ洗浄する複数のロールブラシ
と、上記一対のディスクブラシのうちの少なくとも一方
をドレッシングするためのドレッシング手段とを備え、
上記複数のロールブラシが、ワークの上記ディスクブラ
シと接触する一半部側において該ディスクブラシの前後
両側の位置に配設され、また上記ドレッシング手段が、
ドレッシング槽と、このドレッシング槽の内部に設けら
れたドレッシングプレートとを有していて、このドレッ
シングプレートが、その上面に上記ディスクブラシを押
し付けて摺擦洗浄するためのドレッシング面を有すると
共に、このドレッシング面に複数の洗浄液用噴出孔を有
することを特徴とするものである。

【０００９】上記構成を有する本発明の洗浄装置におい
て、ワークの表裏面は一対のディスクブラシによってス
クラブ洗浄され、ワークの外周面は複数のロールブラシ
によってスクラブ洗浄される。このとき、上記複数のロ
ールブラシを、ワークの上記ディスクブラシが位置する
半周側において該ディスクブラシの前後両側の位置に配
設しているので、前方のロールブラシに押されて表裏面
側に転移した汚れは、上記ディスクブラシで直ちに除去
され、このディスクブラシに押されて外周面側に転移し
た汚れは、その後方に位置するロールブラシで直ちに除
去されるといったように、転移した汚れが一対のディス
クブラシとその前後両側に位置する複数のロールブラシ
との共同作用によって効率良く確実に除去される。

【００１０】また、上記洗浄装置は、ディスクブラシを
ドレッシングするためのドレッシング手段を備えている
ため、ディスクの非洗浄時にこのドレッシング手段でデ
ィスクブラシをドレッシングすることにより、常に高い
洗浄精度を維持することができる。しかも、上記ドレッ
シング手段は、ドレッシング面に複数の洗浄液用噴出孔
を備えたドレッシングプレートを使用し、ドレッシング
面に押し付けられたディスクブラシに噴出孔から洗浄液
を噴射しながら該ディスクブラシを摺擦洗浄する方式で
あるため、ドレッシングプレートによる擦り合わせ効果
と、噴射される洗浄液によるバイブレーション効果と、
新たな洗浄液が次々に供給される新液置換効果とによっ
て、ディスクブラシのブラシ面が押し潰されて硬化した
り目詰まりした状態であっても、目詰まりを解消してブ
ラシ面を初期状態に回復させることができると共に、落
ちた汚れを速やかに排出することができる。

【００１１】本発明においては、上記ドレッシングプレ
ートが、そのドレッシング面に、ディスクブラシから落
ちた汚れを洗浄液と共に排出するための放射状の溝を有
すると共に、これらの溝によって区分された複数の部分
に、上記噴出孔が、ドレッシング面全体として放射状に
位置するように穿設されていることが好ましい。

【００１２】本発明においては更に、上方のディスクブ
ラシをドレッシングするための上述したドレッシング手
段の他に、下方のディスクブラシと複数のロールブラシ
とをドレッシングするためのドレッシングノズルを有す
ることが望ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１及び図２に
示すようにこの洗浄装置は、円板形のワークＷをスクラ
ブ洗浄するための洗浄槽１を有している。この洗浄槽１
の内部には、上記ワークＷの外周に当接して該ワークＷ
を中心軸線の回りに回転自在なるように支持する二つの
支持ローラー２と、上記ワークＷの外周に当接して該ワ
ークＷを駆動回転させる３つの駆動ローラー３とが設け
られている。

【００１４】上記各駆動ローラー３は、軸受部材６に回
転自在に支持された鉛直のローラー軸７の上端に取り付
けられていて、小径部３ａと大径部３ｂとを上下に有
し、その小径部３ａがワークＷの外周に接触するように
なっている。これらの駆動ローラー３は、ワークＷの一
半周側に該ワークＷの円周に沿ってほぼ等間隔に配設さ
れ、中央に位置する一つの駆動ローラー３のローラー軸
７に駆動用のモーター８が連結され、両側に位置するそ
の他の駆動ローラー３，３は、それぞれのローラー軸
７，７の下端部に取り付けられたプーリー９とタイミン
グベルト１０とによって上記中央の駆動ローラー３のロ
ーラー軸７に連結され、上記モーター８によって互いに
同じ方向に一斉に駆動回転されるようになっている。

【００１５】一方、上記支持ローラー２は、上記駆動ロ
ーラー３と同様に小径部２ａと大径部２ｂとを上下に有
するもので、支持部材１３上に支持された鉛直のローラ
ー軸１４の上端に回転自在なるように取り付けられ、ワ
ークＷの他半周側、すなわち上記駆動ローラー３とは反
対側の位置に、該ワークＷの円周に沿って配設され、上
記小径部２ａがワークＷの外周に当接している。上記支
持部材１３は、ワークＷに接離する方向に移動自在とな
っていて、駆動機構１５に連結され、この駆動機構１５
で進退させられることにより、ワークＷの洗浄時には各
支持ローラー２が該ワークＷの外周に接触し、ワークＷ
の供給時及び取出時には各支持ローラー２が該ワークＷ
から離反するようになっている。

【００１６】上記洗浄槽１内にはまた、ワークＷの表面
４ａと裏面４ｂとをスクラブ洗浄するための円盤形をし
た上下一対のディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂと、ワーク
Ｗの外周面５をスクラブ洗浄するための短円柱形をした
二つのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂと、洗浄液を供給す
るための給液ノズル２０とが設けられると共に、上方の
ディスクブラシ１８Ａをドレッシングするためのドレッ
シング手段２１と、下方のディスクブラシ１８Ｂをドレ
ッシングするための手段である一つ又は複数のドレッシ
ングノズルと、上記ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂをドレ
ッシングするための手段である一つ又は複数のドレッシ
ングノズル２５とが設けられている。

【００１７】上記ディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂは、円
形の基板２３の表面にポリビニルアルコールやポリウレ
タン等からなる円形のスポンジ体２４を固着して形成し
たもので、上記ワークＷの直径よりは小さいが半径より
は大きい直径を有し、ワークＷの表裏両面における一端
部寄りの位置、すなわち上記支持ローラー２側に寄った
位置に、該ワークＷから僅かにオーバーハングした状態
で相対するように配置されている。

【００１８】そして、上方のディスクブラシ１８Ａは、
水平に延びるブラシアーム２６の先端に、ブラシ面１８
ａを下向きにして鉛直軸線の回りに回転自在なるように
取り付けられ、モーター２７で所要の回転方向に所要の
回転速度で駆動回転されるようになっている。このディ
スクブラシの回転方向は、通常はワークＷの回転方向と
は逆向きである。上記ブラシアーム２６の基端部は、軸
受部材２９に上下動自在かつ回転自在なるように支持さ
れたブラシ軸２８の上端部に取り付けられ、このブラシ
軸２８回転によって上方のディスクブラシ１８Ａが、洗
浄位置Ｍとドレッシング位置Ｎとの間を変移自在となっ
ている。

【００１９】また、下方のディスクブラシ１８Ｂは、軸
受部材３２に回転自在かつ上下動自在に支持された鉛直
のブラシ軸３１の上端に、ブラシ面１８ａを上向きにし
て取り付けられ、このブラシ軸３１を介して図示しない
モーターにより、上方のディスクブラシ１８Ａと同じ方
向に同じ速度で駆動回転されるようになっている。図中
３３は、上記ブラシ軸３１を洗浄液から遮蔽するための
蛇腹状をした伸縮自在のカバーである。

【００２０】上記ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂは、図３
に示すように、円柱状をした硬質の芯材３５の回りにポ
リビニルアルコールやポリウレタン等からなる円筒状の
スポンジ体３６を固着して形成したもので、それぞれ
が、個別の支持手段３７に回転自在に支持された鉛直の
ブラシ軸３８の上端に取り付けられると共に、該ブラシ
軸３８を介して図示しないモーターに連結され、所要の
回転方向に所要の回転速度で駆動回転されるようになっ
ている。通常は、これらのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ
の回転方向はワークＷの回転方向と同じであり、これに
より各ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂは、ワークＷの外周
面５との接点において互いに逆向きに摺接し合うことに
なる。また、上記ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂは上下動
自在となっていて、ワークを一枚処理するごとに所定の
ピッチを上昇又は下降し、ワークとの接触位置を変えら
れるようになっている。しかし、洗浄時にゆっくりと上
下動させるように構成することもできる。

【００２１】上記二つのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ
は、上記駆動ローラー３と支持ローラー２との間の位置
にそれぞれ一つずつ配設されているが、それらの配設位
置は、ワークＷの中心を通る直線上の相対する位置では
なく、それよりも支持ローラー２側に寄った位置、換言
すれば、ワークＷの上記ディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂ
が接触する一半部側に寄った位置に、これらのディスク
ブラシの前後両側においてワークに接触するように配設
されている。また、上記各支持手段３７，３７は移動自
在であって、その移動により各ロールブラシ１９Ａ，１
９Ｂが、図１に矢印で示すようにワークＷの半径方向に
変移し、洗浄時にはこれらのロールブラシ１９Ａ，１９
ＢがワークＷの外周に接触し、ワークＷの供給時及び取
出時には各ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂが該ワークＷか
ら離反するようになっている。

【００２２】上記ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂは、図４
に示すように、ワークＷの外周が食い込む程度の柔軟性
を有していることが望ましく、これにより、該ワークＷ
の外周面５が均一な円周面であっても、図示したような
弧状の凸曲面であっても、図５に示すように面取り加工
された斜面５ａと円周面５ｂとを有するものであって
も、その外周面５をロールブラシ１９Ａ，１９Ｂに食い
込ませることによって該外周面５全体を確実にスクラブ
洗浄することができる。あるいは、図５に示すように、
ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂの外周にワークＷの外周面
５の形状に応じた溝４０を形成し、この溝４０内にワー
クＷの外周面５を嵌合させた状態で洗浄するようにして
も良い。

【００２３】上記給液ノズル２０は、ワークＷに向けて
純水や市水あるいはその他の洗浄液を供給するもので、
図示しない給水源に接続されている。また、この給液ノ
ズル２０から、あるいは別に設けた給液ノズルから、超
音波により加振された洗浄液を供給する（メガソニック
シャワー）ように構成することもできる。

【００２４】上述した各ブラシ１８Ａ，１８Ｂ，１９
Ａ，１９ＢによるワークＷの洗浄は次のようにして行わ
れる。即ち、上方のディスクブラシ１８Ａがドレッシン
グ位置Ｎに移動すると共に、下方のディスクブラシ１８
Ｂが非洗浄位置まで下降し、更に、各ロールブラシ１９
Ａ，１９Ｂ及び支持ローラー２が共に後退している状態
で、ワークＷが図示しないチャック手段にチャックされ
て上記支持ローラー２と駆動ローラ−３との間に供給さ
れ、支持ローラー２の前進によりこれらの各ローラー間
２，３に支持されると、上記ロールブラシ１９Ａ，１９
Ｂが前進してワークＷの外周面５に当接すると共に、上
記上方のディスクブラシ１８Ａが洗浄位置Ｍに回動して
該ワークＷの表面４ａに当接し、更に、下方のディスク
ブラシ１８Ｂが上昇して該ワークＷの裏面４ｂに当接す
る。

【００２５】続いて、上記各駆動ローラー３が図１にお
いて反時計方向に回転することにより、ワークＷが矢印
方向に回転させられると同時に、各ディスクブラシ１８
Ａ，１８Ｂとロールブラシ１９Ａ，１９Ｂが矢印方向に
駆動回転される。また、給液ノズル２０からは洗浄液が
ワークＷに向けて供給される。これにより、上記ワーク
Ｗの表裏面４ａ，４ｂは一対のディスクブラシ１８Ａ，
１８Ｂによってスクラブ洗浄され、ワークＷの外周面５
は二つのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂによってスクラブ
洗浄される。

【００２６】ここで、上記二つのロールブラシ１９Ａ，
１９Ｂを、ワークＷの上記ディスクブラシ１８Ａ，１８
Ｂが位置する半周側において該ディスクブラシの前後両
側の位置に配設しているので、前方のロールブラシ１９
Ａに押されてワークの表裏面４ａ，４ｂ側に転移した汚
れは、上記ディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂで直ちに除去
され、このディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂに押されて外
周面５側に転移した汚れは、その後方に位置するロール
ブラシ１９Ｂで直ちに除去されるといったように、転移
した汚れが一対のディスクブラシ１８Ａ，１８Ｂとその
前後両側に位置する二つのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ
との共同作用によって効率良く確実に除去される。ま
た、ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂを複数設けたことによ
り、小径でワークＷの外周に殆ど点又は線で接触してい
る状態のロールブラシ１９Ａ，１９Ｂであっても、ワー
クＷの外周面を複数箇所で洗浄することにより、転移し
てきた汚れまでも含めてその汚れを確実に除去すること
ができる。

【００２７】上記ワークＷの洗浄が終了すると、上記各
駆動ローラー３と各ブラシ１８Ａ，１８Ｂ，１９Ａ，１
９Ｂの回転が停止し、上方のディスクブラシ１８Ａがド
レッシング位置Ｎに移動すると共に、下方のディスクブ
ラシ１８Ｂが図２に鎖線で示すドレッシング位置まで下
降し、更に、各ロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ及び各支持
ローラー２が、図１に鎖線で示すドレッシング位置まで
後退して、チャック手段による洗浄済ワークＷの取り出
しと、新たな未洗浄ワークＷの供給とが行われる。そし
て、上記各ブラシ１８Ａ，１８Ｂ，１９Ａ，１９Ｂに
は、それぞれのドレッシング位置で個別にドレッシング
処理が施される。

【００２８】上記ドレッシング手段２１は、図１及び図
６から分かるように、純水等の洗浄液４３を一定深さ貯
留可能な円形のドレッシング槽４４と、このドレッシン
グ槽４４の内部に設けられた円盤型のドレッシングプレ
ート４５とを備えている。このドレッシングプレート４
５は、例えばガラスやアルミニウムあるいはセラミック
ス、ポリプロピレン、フッ素樹脂などの素材により形成
されたもので、その上面がディスクブラシを押し付けて
摺擦洗浄するための円形のドレッシング面４６となって
いる。このドレッシング面４６は、複数の溝４７を放射
状に設けることによって扇形をした複数の部分４６ａに
区画され、これらの各部分４６ａには、ディスクブラシ
１８Ａに洗浄液を噴射するための複数の噴出孔４８が、
ドレッシング面４６の中心側から外周側に向けて列状に
穿設されることにより、ドレッシング面４６内に全体と
して放射状に位置するように形成されている。そしてこ
れらの噴出孔４８は、ドレッシングプレート４５の内部
に形成された通孔４９を通じて給液装置５０に接続され
ている。

【００２９】一方、上記ドレッシング槽４４は、上記ド
レッシングプレート４５の高さよりは深さを深く形成さ
れていて、必要に応じて上記噴出孔４８からドレッシン
グプレート４５が完全に浸漬する深さの洗浄液４３を供
給して貯留することができるようになっている。また、
このドレッシング槽４４の上端部近くには、液位を決め
るためのオーバーフロー口５１が設けられて上記給液装
置５０に接続され、ドレッシング槽４４の底部近くに
は、洗浄液４３を排出するための排液口５２が設けられ
ている。

【００３０】そして、ワークＷの洗浄が終了して上方の
ディスクブラシ１８Ａがドレッシング位置Ｎに回動し、
ドレッシングプレート４５上に載置されると、上記ドレ
ッシングプレート４５のドレッシング面４６上の各噴出
孔４８からディスクブラシ１８Ａのブラシ面１８ａに向
けて洗浄液が噴射され、それと同時にこのディスクブラ
シ１８Ａが回転を始めてドレッシングプレート４５に擦
り合わされる。このためディスクブラシ１８Ａは、上記
ドレッシングプレート４５による擦り合わせ効果と、噴
射される洗浄液４３によるバイブレーション効果と、新
たな洗浄液が次々に供給される新液置換効果とによっ
て、そのブラシ面１８ａが押し潰されて硬化したり目詰
まりした状態であっても、その目詰まりや汚れを解消し
て該ブラシ面１８ａを確実に初期状態に回復させること
ができると共に、落ちた汚れを、ドレッシング面４６上
の放射状の溝４７を通じて洗浄液と共に速やかに排出す
ることができる。

【００３１】あるいは、上記ディスクブラシ１８Ａの他
のドレッシング方法として、上記ドレッシングプレート
４５による摺擦洗浄前に、上記排液口５２をバルブ５３
で閉じた状態で上記ドレッシング槽４４内に、上記オー
バーフロー口５１からオーバーフローする深さ、即ち、
上記ドレッシングプレート４５上に載置されたディスク
ブラシ１８Ａのスポンジ体２４が浸漬する深さの洗浄液
４３を供給しておき、上記ディスクブラシ１８Ａを先ず
この洗浄液４３中に浸漬することによりスポンジ体２４
に洗浄液４３を十分吸収させて軟化させたあと、上記ド
レッシング槽４４内の洗浄液４３を排出して、上述した
ように、噴出孔４８からブラシ面１８ａに向けて洗浄液
を噴射しながらこのディスクブラシ１８Ａをドレッシン
グプレート４５に擦り合わせるようにすることもでき
る。

【００３２】上述したようにして上方のディスクブラシ
１８Ａがドレッシング処理されている間、下方のディス
クブラシ１８Ｂは、図２に鎖線で示すドレッシング位置
において、また、二つのロールブラシ１９Ａ，１９Ｂ
は、図１に鎖線で示すドレッシング位置において、それ
ぞれ、ドレッシングノズル２２，２５から洗浄液を噴射
されながら高速回転することにより、それらのブラシ面
がドレッシングされる。このとき、各ブラシのブラシ面
に付着した汚れは、洗浄液に噴射によるバイブレーショ
ン効果と、遠心力の作用とによって確実に除去されて排
出され、ブラシ面が再生される。

【００３３】上記実施例では、上下一対のディスクブラ
シ１８Ａ，１８Ｂのうち上方のディスクブラシ１８Ａは
ドレッシングプレート４５を使用してドレッシング処理
し、下方のディスクブラシ１８Ｂは、ノズル２２からの
洗浄液の噴射によってドレッシング処理するようにして
いるが、下方のディスクブラシ１８Ｂもドレッシングプ
レート４５を使用してドレッシング処理するように構成
することもできる。この場合には、図７に示すように、
下方のディスクブラシ１８Ｂを、ブラシアーム５６に上
下反転自在に支持させると共に、モーター５７で回転自
在とし、更に、上記ブラシアーム５６をブラシ軸５８に
よって上下動自在かつ回動自在に支持させ、装置の適宜
位置には上記上方のディスクブラシ１８Ａのための第１
ドレッシング手段２１と実質的に同じ構成の第２ドレッ
シング手段５９を設け、ワークＷの非洗浄時にこの第２
ドレッシング手段５９で下方のディスクブラシ１８Ｂを
ドレッシングするように構成すれば良い。なお、上記第
２ドレッシング手段５９の構成ついては、図６に示す第
１ドレッシング手段２１と同じであるから、主要な同一
構成部分に同一符号を付してその説明は省略する。

【００３４】なお、上記実施例では、上記ディスクブラ
シ１８Ａ，１８Ｂ及びロールブラシ１９Ａ，１９Ｂが何
れもスポンジ体で形成されているが、それらの何れか一
方又は両方を繊維製のブラシとすることもできる。

【００３５】

【発明の効果】このように本発明によれば、円板形ワー
クの表裏面と外周面とを、ディスクブラシとロールブラ
シとを使用して同時にかつ短時間で効率良くスクラブ洗
浄することができると共に、ブラシをドレッシングする
ための手段を備えることによって常に高い洗浄精度を維
持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスクラブ洗浄装置の概略的な平面
図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図である。

【図３】ワークとロールブラシとの関係を非接触の状態
で示す要部断面図である。

【図４】ワークとロールブラシとが接触した状態を示す
要部断面図である。

【図５】ワークとロールブラシとの他の例を示す要部断
面図である。

【図６】図１のＢ−Ｂ線での断面図である。

【図７】ディスクブラシ用ドレッシング手段の他の例を
示す要部断面図である。

【符号の説明】

Ｗ ワーク ２ 支持ローラー ３ 駆動ローラー ４ａ 表面 ４ｂ 裏面 ５ 外周面 １８Ａ，１８Ｂ ディスクブラシ １９Ａ，１９Ｂ ロールブラシ ２１，５９ ドレッシング手段 ２２，２５ ドレッシングノズル ４３ 洗浄液 ４４ ドレッシング槽 ４５ ドレッシングプレート ４６ ドレッシング面 ４６ａ 部分 ４７ 溝 ５０ 給液機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 1/08 Ｇ０３Ｆ 1/08 Ｘ Ｆターム(参考） 2H095 BB20 BB29 3B116 AA01 AB02 AB33 AB47 BA02 BA14 BB22 BB33 BB83 CD23 3B201 AA01 AB02 AB33 AB47 BA02 BA14 BB22 BB33 BB83 BB92 CD23 4G059 AA08 AC30

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円板形ワークの外周に当接して該ワークを
   回転自在なるように支持する複数の支持ローラーと、上
   記ワークの外周に当接して該ワークを中心軸線の回りに
   駆動回転させる複数の駆動ローラーと、上記ワークより
   小径の円盤形をなしていて、該ワークの表裏面の端部寄
   りの位置に当接して回転することによりその表裏面をス
   クラブ洗浄する一対のディスクブラシと、上記ワークの
   外周に当接して回転することによりその外周面をスクラ
   ブ洗浄する複数のロールブラシと、上記一対のディスク
   ブラシのうち少なくとも上方のディスクブラシをドレッ
   シングするためのドレッシング手段とを備え、 上記複数のロールブラシが、ワークの上記ディスクブラ
   シと接触する一半部側において該ディスクブラシの前後
   両側の位置に配設され、 上記ドレッシング手段が、ドレッシング槽と、このドレ
   ッシング槽の内部に設けられたドレッシングプレートと
   を有していて、このドレッシングプレートが、その上面
   に上記ディスクブラシを押し付けて摺擦洗浄するための
   ドレッシング面を有すると共に、このドレッシング面に
   複数の洗浄液用噴出孔を有することを特徴とするスクラ
   ブ洗浄装置。
2. 【請求項２】上記ドレッシングプレートが、そのドレッ
   シング面に、ディスクブラシから落ちた汚れを洗浄液と
   共に排出するための放射状の溝を有すると共に、これら
   の溝によって区分された複数の部分に、上記噴出孔が、
   ドレッシング面全体として放射状に位置するように穿設
   されていることを特徴とする請求項１に記載のスクラブ
   洗浄装置。
3. 【請求項３】上方のディスクブラシをドレッシングする
   ための上述したドレッシング手段の他に、下方のディス
   クブラシと複数のロールブラシとをドレッシングするた
   めのドレッシングノズルを有することを特徴とする請求
   項１又は２に記載のスクラブ洗浄装置。