WO2022181185A1 - インダクタ部品 - Google Patents

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WO2022181185A1
WO2022181185A1 PCT/JP2022/003071 JP2022003071W WO2022181185A1 WO 2022181185 A1 WO2022181185 A1 WO 2022181185A1 JP 2022003071 W JP2022003071 W JP 2022003071W WO 2022181185 A1 WO2022181185 A1 WO 2022181185A1
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WO
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magnetic
axis
inductor
direction along
along
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/003071
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English (en)
French (fr)
Inventor
敢 三宅
博美 辻
充 小田原
Original Assignee
株式会社村田製作所
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Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00—Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/04—Fixed inductances of the signal type  with magnetic core

Definitions

  • the present disclosure relates to inductor components.
  • the inductor component described in Patent Document 1 includes an element body and inductor wiring extending inside the element body.
  • the body is made of inorganic filler and resin.
  • the material of the inorganic filler is a magnetic material.
  • Patent Document 1 The inductor component described in Patent Document 1 is in a state in which inorganic filler particles are randomly dispersed in the element body. Therefore, Patent Literature 1 does not mention how the arrangement of the magnetic materials affects the characteristics of the inductor component if a plurality of magnetic materials are regularly arranged in the element body. Therefore, it is necessary to find a configuration of an element that can obtain desirable characteristics in an inductor component in which magnetic materials are regularly arranged.
  • the present invention includes a plurality of flat magnetic ribbons made of a magnetic material, wherein the plurality of magnetic ribbons are laminated in a direction perpendicular to the main surface of the magnetic ribbons. and an inductor wiring extending along the main surface inside the element body, the inductor wiring having a linear portion extending linearly and having the largest extension dimension of the straight line.
  • the axis along which the portion extends is defined as a central axis
  • the axis along the main surface in a cross-sectional view orthogonal to the central axis is defined as a first axis
  • the axis orthogonal to the main surface in cross-sectional view is defined as a second axis
  • the second axis is defined as a second axis.
  • the flat magnetic strips are laminated in the direction perpendicular to the main surface.
  • the magnetic ribbon has a regular structure in which a plurality of magnetic ribbons are arranged in a direction orthogonal to the main surface.
  • the inductance of the inductor component can be improved by arranging the short sides of the imaginary rectangle having the smallest circumscribing area on the magnetic ribbon to be parallel to the central axis.
  • first axis means not only those that are in direct contact with the first axis and along the first axis, but also those that are not in direct contact with the first axis and are along the first axis at a distance. Also includes Also, “along” means that they are substantially in parallel, and includes those that are slightly inclined due to manufacturing errors or the like.
  • the inductance can be improved in inductor parts with laminated magnetic ribbons.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the inductor component of the first embodiment
  • FIG. 4 is a plan view of the first portion of the inductor component of the first embodiment
  • FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the inductor component taken along line 3-3 in FIG. 2;
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • FIG. 2 is a perspective view of an inductor component of a first comparative example; 4 is a table showing comparison results between the inductor component of the first comparative example and the inductor component of the first embodiment; FIG. 4 is an exploded perspective view of an inductor component according to a second embodiment; The top view of the 1st part of the inductor component of 2nd Embodiment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of the inductor component taken along line 20-20 in FIG. 19;
  • FIG. 4 is a perspective view of an inductor component of a second comparative example; 10 is a table showing comparison results between the inductor component of the second comparative example and the inductor component of the second embodiment;
  • inductor component 10 includes element body 20 and inductor wiring 30 .
  • the element body 20 has a plurality of magnetic ribbons 40 made of a magnetic material, a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • the magnetic ribbon 40 is flat.
  • a plurality of magnetic ribbons 40 are laminated in a direction orthogonal to the main surface MF of the magnetic ribbons 40 .
  • the flat plate shape means a thin shape having a main surface, but it is not limited to a rectangular parallelepiped with a thin thickness. There may be holes inside.
  • the inductor wiring 30 extends linearly along the main surface MF inside the element body 20 .
  • the inductor wiring 30 has a linear portion 30A extending linearly.
  • the extending axis of the linear portion 30A of the inductor wiring 30 having the longest dimension is defined as the central axis CA.
  • the entire inductor wiring 30 is the straight portion 30A.
  • the axis along the main surface MF is defined as a first axis X
  • the axis perpendicular to the main surface MF is defined as a second axis Z.
  • One of the directions along the first axis X is defined as a first positive direction X1
  • the other direction along the first axis X is defined as a first negative direction X2.
  • One of the directions along the central axis CA is defined as a positive direction Y1
  • the other direction along the central axis CA is defined as a negative direction Y2.
  • one of the directions along the second axis Z is defined as a second positive direction Z1, and the other direction along the second axis Z is defined as a second negative direction Z2.
  • the cross section shown in FIG. 3 be a 1st cross section.
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape with long sides and short sides shorter than the long sides.
  • a first imaginary rectangle VR1 with a minimum area that circumscribes the inductor wiring 30 and has a first side along the first axis X and a second side along the second axis Z draw.
  • the long side of the outer shape of the inductor wiring 30 is along the first axis X in the cross section perpendicular to the central axis CA.
  • the short side of the inductor wiring 30 is along the second axis Z in the cross section orthogonal to the central axis CA. Therefore, the first virtual rectangle VR ⁇ b>1 matches the outer shape of the inductor wiring 30 . The first side of the first virtual rectangle VR1 is longer than the second side of the first virtual rectangle VR1.
  • the inductor component 10 is composed of a first portion P1, a second portion P2, and a third portion P3.
  • the three parts P1 to P3 are arranged in this order along the second axis Z.
  • the first portion P1 is located at the end of the second negative direction Z2 along the second axis Z.
  • the first portion P1 has a square shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the first portion P ⁇ b>1 has a plurality of magnetic strips 40 , a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • the plurality of magnetic strips 40 , the plurality of nonmagnetic layers 50 , the plurality of nonmagnetic portions 60 , and the nonmagnetic film 70 form part of the element body 20 .
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 is laminated in the direction along the second axis Z in the first cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • the main surface MF of each magnetic ribbon 40 is perpendicular to the second axis Z.
  • the thickness direction of each magnetic strip 40 is along the second axis Z.
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the shapes and dimensions of the plurality of magnetic strips 40 are all the same.
  • each magnetic ribbon 40 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z, so the second imaginary rectangle VR2 matches the outer shape of each magnetic ribbon 40 .
  • the second virtual rectangle VR2 has a long side L1 and a short side L2 shorter than the long side L1.
  • a short side L2 of the second virtual rectangle VR2 is parallel to the central axis CA.
  • the second virtual rectangle VR2 is a shape related to the magnetic strip 40.
  • the second virtual rectangle VR2 is different from the above-described first virtual rectangle VR1 indicating the shape of the inductor wiring 30.
  • four magnetic strips 40 are arranged in parallel with the short side L2 of the second virtual rectangle VR2 via the non-magnetic portion 60 at the same position along the second axis Z. .
  • two magnetic strips 40 are arranged at the same position along the second axis Z in a direction parallel to the long side L1 with the non-magnetic portion 60 interposed therebetween. That is, the plurality of magnetic strips 40 are arranged in a matrix in a direction parallel to the long side L1 and a direction parallel to the short side L2.
  • M cells are arranged in a certain direction and N cells are arranged in a direction orthogonal thereto, and a total of N ⁇ M cells are arranged in a matrix.
  • the number of magnetic strips 40 arranged in the direction parallel to the short side L2 is greater than the number arranged in the direction parallel to the long side L1.
  • the magnetic ribbon 40 is made of a magnetic material.
  • the magnetic material is, for example, a metal magnetic material containing elements such as Fe, Ni, Co, Cr, Cu, Al, Si, B, and P.
  • the magnetic material is a metal magnetic material containing Fe element and Si element.
  • the element body 20 includes a non-magnetic layer 50 made of a non-magnetic material between adjacent magnetic strips 40 along the second axis Z in the first cross-sectional view.
  • the non-magnetic layer 50 fills all the spaces between the adjacent magnetic strips 40 in the direction along the second Z axis.
  • Non-magnetic materials are, for example, acrylic resins, epoxy resins, and silicone resins.
  • the non-magnetic layer 50 is illustrated by lines.
  • the dimensions of the non-magnetic layer 50 in the direction along the second axis Z are all the same. That is, the intervals between pairs of magnetic strips 40 adjacent in the direction along the second axis Z are all equal. In addition, the dimension of each nonmagnetic layer 50 along the second axis Z is smaller than the dimension of each magnetic ribbon 40 along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the element body 20 has a non-magnetic portion 60 between adjacent magnetic strips 40 at the same position along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 fills the entire space between the magnetic strips 40 arranged at the same position in the direction along the second axis Z.
  • Ten non-magnetic portions 60 are present.
  • the non-magnetic portion 60 is made of a non-magnetic material. In this embodiment, the material of the non-magnetic portion 60 is the same material as that of the non-magnetic layer 50 .
  • the non-magnetic film 70 is located at the end of the first positive direction X1 along the first axis X and the end of the first negative direction X2 opposite to the first positive direction X1 in the first portion P1. .
  • the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the magnetic ribbon 40 in the direction along the first axis X. As shown in FIG. In addition, the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the non-magnetic layer 50 in the direction along the first axis X. As shown in FIG. Furthermore, the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the non-magnetic portion 60 in the direction along the first axis X. As shown in FIG.
  • the end faces of the first portion P1 in the first positive direction X1 along the first axis X are all composed of the non-magnetic film 70 .
  • the end face in the first negative direction X2 of the first portion P1 is entirely composed of the non-magnetic film 70 .
  • the non-magnetic film 70 is made of a non-magnetic material. In this embodiment, the material of the non-magnetic film 70 is the same as that of the non-magnetic layer 50 .
  • the second portion P2 is located in the second positive direction Z1 that is opposite to the second negative direction Z2 along the second axis Z when viewed from the first portion P1.
  • the second portion P2 has the same square shape as the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the second portion P2 is composed of an inductor wiring 30, a plurality of magnetic strips 40, a plurality of non-magnetic layers 50, a plurality of non-magnetic portions 60, and a plurality of non-magnetic films .
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the axis of the linear portion 30A of the inductor wiring 30 that extends the longest is the central axis CA.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the positive direction Y1 along the central axis CA constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20. As shown in FIG.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the negative direction Y2 which is the opposite direction to the positive direction Y1 along the central axis CA, constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20.
  • the end face in the positive direction Y1 and the end face in the negative direction Y2 along the central axis CA of the inductor wiring 30 are parallel to the first axis X.
  • the central axis CA of the inductor wiring 30 is positioned at the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X.
  • the central axis CA which is the axis along which the linear portion 30A of the inductor wiring 30 extends, passes through the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is about a quarter of the dimension in the direction along the first axis X of the second portion P2.
  • the material of the inductor wiring 30 is a conductive material.
  • Conductive materials are, for example, Cu, Ag, Au, Al, or alloys thereof.
  • the material of the inductor wiring 30 is Cu.
  • portions other than the inductor wiring 30 are composed of a plurality of magnetic strips 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, a plurality of nonmagnetic films, as in the first portion P1. 70 and .
  • each magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is laminated in the direction along the second axis Z in the first cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • each magnetic strip 40 of the second portion P2 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG. All the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic strips 40 are the same.
  • each magnetic ribbon 40 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z, so the second imaginary rectangle VR2 matches the outer shape of each magnetic ribbon 40 .
  • the second virtual rectangle VR2 has a long side L1 and a short side L2 shorter than the long side L1.
  • a short side L2 of the second virtual rectangle VR2 is parallel to the central axis CA.
  • the magnetic ribbon 40 is positioned on both sides of the first positive direction X1 and the first negative direction X2 along the first axis X when viewed from the inductor wiring 30. . That is, in the second portion P2, the magnetic strips 40 are arranged one by one in a direction parallel to the long side L1 with the inductor wiring 30 interposed therebetween, for a total of two. Each of the magnetic ribbons 40 has a longer side L1 shorter than the magnetic ribbon 40 of the first portion P1. Further, four magnetic strips 40 are arranged in parallel with the short side L2 at the same position along the second axis Z with the non-magnetic portion 60 interposed therebetween. That is, the plurality of magnetic strips 40 are arranged in a matrix in the second portion P2 as well.
  • the non-magnetic layer 50 of the second portion P2 is positioned between the magnetic strips 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z, similarly to the first portion P1 described above. That is, as shown in FIG. 3, the magnetic ribbons 40 and the non-magnetic layers 50 of the second portion P2 are alternately laminated in the direction along the second axis Z, similarly to the first portion P1.
  • the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 is located between the magnetic strips 40 arranged at the same position along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 fills the entire space between the magnetic strips 40 arranged at the same position in the direction along the second axis Z.
  • the position of the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 overlaps part of the non-magnetic portion 60 of the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 is continuous with the non-magnetic portion 60 of the first portion P1.
  • the non-magnetic film 70 is located at the end of the first positive direction X1 and the end of the first negative direction X2 in the second portion P2.
  • the non-magnetic film 70 of the second portion P2 is continuous with the non-magnetic film 70 of the first portion P1.
  • the third portion P3 is located in the second positive direction Z1 of the second portion P2. When viewed from the second axis Z, the third portion P3 has the same square shape as the first portion P1.
  • the third portion P3 is composed of a plurality of magnetic ribbons 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, and a plurality of nonmagnetic films .
  • a second imaginary rectangle VR2 having the smallest area circumscribing the magnetic strips 40 constituting the third portion P3 is drawn when viewed from the direction along the second axis Z. .
  • the second virtual rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 in the third portion P3 matches the second virtual rectangle VR2 in the first portion P1. That is, in the present embodiment, the third portion P3 has a structure symmetrical with the first portion P1 with the second portion P2 interposed therebetween. Therefore, detailed description of the third portion P3 is omitted.
  • the end of the inductor wiring 30 in the first positive direction X1 is defined as a first wiring end IP1.
  • the end of the inductor wiring 30 in the first negative direction X2 is defined as a second wiring end IP2.
  • the magnetic ribbon 40 having the shortest distance along the second axis Z from the first wiring end IP1 is selected as the first magnetic ribbon 40. 1 magnetic ribbon 41 .
  • the magnetic ribbon 40 which at least partially overlaps with the inductor wiring 30 when viewed from the direction along the second axis Z, is laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30. is 40. Therefore, in the present embodiment, the magnetic ribbon 40 in the first portion P1 and the magnetic ribbon 40 in the third portion P3 are laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30. be.
  • the magnetic ribbon 40 in the second portion P2 is not laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30 .
  • the end in the first positive direction X1 is defined as a first end MP11
  • the end in the first negative direction X2 is defined as a second end MP12.
  • the range excluding both ends of the first magnetic ribbon 41 in the direction along the first axis X is defined as a first range AR11.
  • a virtual straight line VL passing through the first wiring end IP1 and extending in a direction along the second axis Z is drawn.
  • the virtual straight line VL passes through the first range AR11 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the virtual straight line VL passes through the center of the first magnetic strip 41 in the direction along the first axis X.
  • the second end MP12 of the first magnetic strip 41 is positioned substantially at the center of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X.
  • the inductor component 10 has a line-symmetrical structure with the second axis Z passing through the center in the direction along the first axis X as the axis of symmetry. Therefore, when a virtual straight line VL is drawn in a direction along the second axis Z while passing through the second wiring end IP2 in the first negative direction X2 along the first axis X of the inductor wiring 30, the virtual straight line VL is , the center of the first magnetic ribbon 41 in the direction along the first axis X passing through the imaginary straight line VL.
  • the short sides L2 of the second imaginary rectangles VR2 of the first portion P1 to the third portion P3 are all parallel to the central axis CA. It should be noted that “the short side L2 and the central axis CA are parallel” is to allow a deviation caused by a manufacturing error or the like. In other words, not only is it completely parallel, but it also includes an error of about several degrees which is unavoidably caused during manufacturing.
  • the aspect ratio is the ratio of the long side L1 of the second virtual rectangle VR2 to the short side L2 of the second virtual rectangle VR2.
  • the dimension of the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2 of the first portion P1 is 990 ⁇ m.
  • the dimension of the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of the first portion P1 is 485 ⁇ m. Therefore, the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 forming the first portion P1 is 2 or more.
  • the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is 750 ⁇ m.
  • the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 is 485 ⁇ m. Therefore, the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is 1.5 or more.
  • the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of each magnetic strip 40 of the second portion P2 is parallel to the central axis CA.
  • the magnetic ribbons 40 forming the third portion P3 have the same shape as the magnetic ribbons 40 forming the first portion P1. Therefore, the aspect ratio of each magnetic strip 40 forming the third portion P3 is 2 or more.
  • the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of each magnetic ribbon 40 of the third portion P3 is parallel to the central axis CA.
  • a method for manufacturing inductor component 10 will be described.
  • a copper foil preparation step for preparing the copper foil 101 is performed. Since the copper foil 101 constitutes the inductor wiring 30 , the thickness of the copper foil 101 is prepared to have a thickness necessary for the inductor wiring 30 .
  • the copper foil 101 is arranged such that the two main surfaces of the copper foil 101 are orthogonal to the second axis Z, and the end surface orthogonal to the central axis CA is shown. do.
  • the plurality of magnetic ribbons in the second portion P2 A first covering step is performed to cover areas other than the area occupied by 40 . Specifically, first, of the surface of the copper foil 101 facing the second negative direction Z2, the first covering portion 102 is formed to cover areas other than the area occupied by the plurality of magnetic ribbons 40 in the second portion P2. In forming the first covering portion 102, a photosensitive dry film resist is applied to the entire surface of the copper foil 101 facing the second negative direction Z2. Next, the dry film resist is cured by exposing the portion where the first covering portion 102 is to be formed.
  • the dry film resist is applied to the surface of the copper foil 101 facing the second positive direction Z1, and the portion forming the first covering portion 102 is exposed to light to cure the dry film resist. .
  • the uncured portion of the applied dry film resist is peeled off with a chemical solution.
  • the hardened portion of the applied dry film resist is formed as the first covering portion 102 .
  • a copper foil etching step is performed to etch the copper foil 101 exposed from the first covering portion 102 .
  • the exposed copper foil 101 is removed.
  • a first covering portion removing step for removing the first covering portion 102 is performed. Specifically, the first covering portion 102 is peeled off by wet etching the first covering portion 102 with a chemical.
  • a second covering step is performed to cover the range occupied by the plurality of magnetic strips 40 when viewed from the direction along the second axis Z of both surfaces of the copper foil 101 orthogonal to the second axis Z.
  • a dry film resist R is applied to the entire surface of the copper foil 101 facing the second positive direction Z1.
  • the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer are formed by photolithography when viewed from the direction along the second axis Z among the surfaces of the copper foil 101 facing the second positive direction Z1.
  • a second covering portion 103 covering the area other than the area occupied by 50 is formed.
  • a lamination preparation step is performed to prepare the laminate 104 in which the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 are laminated.
  • the laminated body 104 in which the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 are laminated is prepared.
  • a ribbon is prepared as the magnetic ribbon 40 .
  • the ribbon is made of, for example, NANOMET (registered trademark) manufactured by Tohoku Magnet Institute, Metglas (registered trademark) or FINEMET (registered trademark) manufactured by Hitachi Metals, FeSiB, FeSiBCr, or the like. Cut this ribbon.
  • a non-magnetic material is applied to the cut ribbon by spin coating.
  • the non-magnetic material is, for example, epoxy resin varnish.
  • the cut strip is laminated on the coated non-magnetic material. After alternately laminating the thin strips and the non-magnetic material in this manner, the thin strips and the non-magnetic material are hardened and adhered by a vacuum heating and pressurizing device. Then, by dicing into a desired size, a laminated body 104 in which a plurality of magnetic ribbons 40 and nonmagnetic layers 50 are laminated can be prepared.
  • the laminate 104 includes a first laminate 104A that constitutes the magnetic ribbon 40 and the nonmagnetic layer 50 in the first portion P1 and the third portion P3, and a magnetic ribbon 40 and the nonmagnetic layer 50 in the second portion P2.
  • a second laminate 104B that forms the magnetic layer 50 is prepared.
  • thermoplastic adhesive 105 is applied to the surface facing the second negative direction Z2 of the first laminate 104A constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the third portion P3. apply. Then, the first laminated body 104A is fitted into the opening of the second covering portion 103. As shown in FIG. The thermoplastic adhesive 105 is indicated by thick lines in FIGS. 10 to 15. FIG.
  • the whole is inverted in the direction along the second axis Z.
  • the second laminate 104B constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the second portion P2 is aligned with the second positive direction Z1 of the first laminate 104A. is arranged on a portion not in contact with the copper foil 101 of the surface facing the .
  • the second laminate 104B can be arranged by pressing the laminate 104 into the opening of the copper foil 101 by pressing or the like.
  • the first laminate 104A constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the first portion P1 is placed along the second positive direction Z1 of the copper foil 101.
  • Temporary bonding is performed with a thermoplastic adhesive 105 to the facing surface and the surface facing the second positive direction Z1 of the second laminate 104B.
  • the laminated body 104 is arranged.
  • a pressing process is performed. Pressing is performed in a state in which the whole is covered with a resin material 106 that is a non-magnetic material. Thereby, each layer in the direction along the second axis Z is crimped.
  • a singulation process is performed. Specifically, for example, it is separated into pieces by dicing along the break lines DL.
  • portions of the second covering portion 103 between the first laminated bodies 104A and between the second laminated bodies 104B arranged in the direction along the central axis CA serve as non-magnetic portions 60 .
  • the thermoplastic adhesive 105 remains as part of the non-magnetic layer 50 on both sides of the inductor wiring 30 in the direction along the second axis Z, and the like.
  • the laminate 104 is cut along the end face in the first positive direction X1 and the end face in the first negative direction X2.
  • a non-magnetic film 70 made of a non-magnetic material is applied to the end faces of the laminate 104 in the first positive direction X1 and the end faces in the first negative direction X2.
  • the thermoplastic adhesive 105 also wraps around the side surfaces of the inductor wiring 30 facing the first positive direction X1 and the side surfaces facing the first negative direction X2. Insulation is ensured without contact.
  • the software used is Femtet 2019 manufactured by Murata Software.
  • the solver is static magnetic field analysis.
  • the model is three dimensional.
  • a standard mesh size is 0.25 mm.
  • the magnetic material is an amorphous metal magnetic thin film made of Fe, Si, Cr, and B, the relative magnetic permeability ⁇ r is 7000, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.3T.
  • a magnetic material BH curve that satisfies B Bs ⁇ tanh ( ⁇ 0 ⁇ r ⁇ H/Bs) was used.
  • the portion where the relative magnetic permeability ⁇ r is 1 or more was used, and the function of Femtet2019 was used to extrapolate the magnetic permeability of the vacuum.
  • the material of the inductor wiring 30 is copper.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the first axis X is 990 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic strip 40 in the direction along the central axis CA is 485 ⁇ m.
  • the dimension of the nonmagnetic layer 50 in the direction along the second axis Z is 2 ⁇ m.
  • the number of magnetic ribbons 40 laminated in the direction along the second axis Z is 41 pieces.
  • the number of magnetic ribbons 40 arranged in the direction along the first axis X is two.
  • the number of magnetic strips 40 arranged in the direction along the central axis CA is four.
  • the dimension in the direction along the first axis X of the non-magnetic portion 60 positioned between the magnetic strips 40 adjacent in the direction along the first axis X is 20 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the central axis CA of the non-magnetic portion 60 positioned between the magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the central axis CA is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is 0.5 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the second axis Z is 0.1 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the central axis CA is 2400 ⁇ m.
  • the dimension of the base body 20 along the central axis CA is 2020 ⁇ m. That is, in this simulation, the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the central axis CA is larger than the dimension in the direction along the central axis CA of the element body 20 by 380 ⁇ m.
  • the simulation is performed with the inductor wiring 30 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body 20 in the positive direction Y1 and the inductor wiring 30 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body 20 in the negative direction Y2.
  • the position of the inductor wiring 30 is arranged so that the center of gravity of the inductor wiring 30 coincides with the position of the center of gravity of the element body 20 .
  • a non-magnetic insulating gap of 100 nm was provided in the portion where the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 were in contact with each other.
  • the relative magnetic permeability ⁇ r of the nonmagnetic material of the nonmagnetic layer 50 and the nonmagnetic portion 60 was set to 1.
  • a sinusoidal electric signal is input to the inductor wiring 30 of the inductor component 10 .
  • the amplitude of the electrical signal is 2.25A and the frequency of the electrical signal is 3MHz.
  • the inductor component 80 of the first comparative example includes a magnetic ribbon 81, a nonmagnetic layer 82, a nonmagnetic portion 83, and inductor wiring 84 having the following dimensions.
  • a second imaginary rectangle having a minimum area circumscribing the magnetic ribbon 81 when viewed from the direction along the second axis Z is drawn.
  • the dimension of the magnetic ribbon 81 along the first axis X is 485 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 81 in the direction along the second axis Z is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 81 along the central axis CA is 990 ⁇ m.
  • the aspect ratio of the long sides of the second virtual rectangle to the short sides of the second virtual rectangle is greater than two.
  • the short sides of the magnetic ribbon 81 of the first comparative example extend parallel to the first axis X. As shown in FIG. In other words, the direction of the short side of the magnetic ribbon differs between the first comparative example and the first embodiment.
  • the number of magnetic strips 81 stacked in the direction along the second axis Z is 41.
  • the number of magnetic strips 81 arranged in the direction along the first axis X is four.
  • the number of magnetic strips 81 arranged in the direction along the central axis CA is two.
  • the dimension of the non-magnetic layer 82 along the second axis Z is 2 ⁇ m.
  • the dimension of the non-magnetic portion 83 in the direction along the first axis X, which is located between the magnetic ribbons 81 in the direction along the first axis X, is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the non-magnetic portion 83 in the direction along the central axis CA that is positioned between the magnetic ribbons 81 in the direction along the central axis CA is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor wiring 84 in the direction along the first axis X is 0.5 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 84 in the direction along the second axis Z is 0.1 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 84 in the direction along the central axis CA is 2400 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the central axis CA of the element including the magnetic ribbon 81 and the non-magnetic portion 83 is 2020 ⁇ m. That is, in this simulation, the dimension of the inductor wiring 84 in the direction along the central axis CA is larger than the dimension in the direction along the central axis CA of the element body by 380 ⁇ m.
  • the simulation is performed with the inductor wiring 84 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body in the positive direction Y1 and the inductor wiring 84 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body in the negative direction Y2.
  • the position of the inductor wiring 30 is arranged so that the center of gravity of the inductor wiring 84 coincides with the position of the center of gravity of the element.
  • a non-magnetic insulating gap of 100 nm was provided at the portion where the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 81 were in contact with each other.
  • the relative magnetic permeability ⁇ r of the nonmagnetic material of the nonmagnetic layer 82 and the nonmagnetic portion 83 is set to 1.
  • a sinusoidal electric signal is input to the inductor wiring 84 of the inductor component 80 .
  • the amplitude of the electrical signal is 2.25A and the frequency of the electrical signal is 3MHz.
  • the inductance L and the DC superimposition characteristic Isat were calculated for the inductor component 10 of the first example and the inductor component 80 of the first comparative example.
  • the DC superposition characteristic Isat is the current value when the inductance L is reduced by 20% from the initial inductance, which is the inductance L at 0.001A.
  • the inductor component 10 of the first example had a larger inductance L than the inductor component 80 of the first comparative example.
  • the inductance L of the inductor component 10 of the first example was 16.1 nH.
  • the inductance L of the inductor component 80 of the first comparative example was 13.3 nH.
  • Isat was the same 45 A for the inductor component 10 of the first embodiment and the inductor component 80 of the first comparative example.
  • the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 is parallel to the central axis CA of the linear portion 30A of the inductor wiring 30.
  • FIG. The inductance L of the inductor component 10 satisfying the conditions is larger than the inductance L of the inductor component 80 of the first comparative example.
  • the inductor component 10 of the first embodiment includes the magnetic ribbon 40 whose aspect ratio of the second virtual rectangle VR2 is 2 or more. That is, the dimension of the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 extending parallel to the central axis CA is half or less of the dimension of the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2. Compared to the inductor component 80 of the first comparative example, the dimension of the short side L2 of the magnetic ribbon 40 of the inductor component 10 is considerably shorter, so that the inductance L can be improved more effectively.
  • the plurality of magnetic strips 40 are arranged in a matrix.
  • the dimensions of the element body 20 are the same, compared to the case where only one magnetic ribbon 40 is arranged in the direction along the central axis CA, one of the magnetic ribbons 40 Smaller contact area. Therefore, the eddy current generated in the magnetic ribbon 40 can be reduced.
  • the number of magnetic ribbons 40 arranged in the direction parallel to the short side L2 is greater than the number arranged in the direction parallel to the long side L1.
  • the aspect ratio of the element body 20 is about 2, reflecting the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 of the first portion P1 and the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 of the third portion P3.
  • the number of magnetic strips 40 aligned in the direction parallel to the short side L2 at the same position along the second axis Z is the magnetic It is larger than the number of ribbons 40 .
  • the virtual straight line VL passes through the first range AR11 of the first magnetic ribbon 41. Therefore, of the magnetic flux generated when current flows through the inductor wiring 30, most of the magnetic flux in the direction along the imaginary straight line VL in the vicinity of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 is It passes through a portion excluding the end in the direction along the first axis X. That is, of the magnetic flux generated when the current flows through the inductor wiring 30, the magnetic flux passing through the ends in the direction along the first magnetic ribbon 41 is reduced. Therefore, it is possible to suppress the disturbance of the magnetic flux and the local concentration of the magnetic flux.
  • the material of the magnetic ribbon 40 contains Fe element and Si element. Therefore, a high relative magnetic permeability ⁇ r can be obtained as a magnetic material.
  • ⁇ Second Embodiment of Inductor Component> A second embodiment of the inductor component will be described below.
  • the drawings may show constituent elements in an enlarged manner. The dimensional ratios of components may differ from those in reality or in other figures.
  • cross-sectional views are hatched, there are cases where the hatching of some components is omitted to facilitate understanding.
  • there are cases where only some members among the plurality of members are given reference numerals.
  • the description of the same configuration as in the first embodiment will be simplified or omitted.
  • inductor component 10 includes element body 20 and inductor wiring 30 .
  • Inductor wiring 30 extends inside element body 20 along main surface MF.
  • the inductor wiring 30 has a linear portion 30A extending linearly.
  • the extending axis of the linear portion 30A of the inductor wiring 30 having the longest dimension is defined as the central axis CA.
  • the entire inductor wiring 30 is the straight portion 30A.
  • the inductor component 10 is composed of a first portion P1, a second portion P2, and a third portion P3.
  • the three parts P1 to P3 are arranged in this order along the second axis Z.
  • the first portion P1 is located at the end of the second negative direction Z2 along the second axis Z.
  • the first portion P1 has a substantially square shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the first portion P ⁇ b>1 has a plurality of magnetic strips 40 , a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • the plurality of magnetic strips 40 , the plurality of nonmagnetic layers 50 , the plurality of nonmagnetic portions 60 , and the plurality of nonmagnetic films 70 form part of the element body 20 .
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 is laminated in the direction along the second axis Z in the first cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the shapes and dimensions of the plurality of magnetic strips 40 are all the same.
  • each magnetic ribbon 40 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z, so the second imaginary rectangle VR2 matches the outer shape of each magnetic ribbon 40 .
  • the second virtual rectangle VR2 has a long side L1 and a short side L2 shorter than the long side L1.
  • a short side L2 of the second virtual rectangle VR2 is parallel to the central axis CA.
  • восем ⁇ magnetic ribbons 40 are arranged in parallel with the short side L2 of the second virtual rectangle VR2 with the non-magnetic portion 60 interposed therebetween.
  • Two magnetic strips 40 are arranged in parallel with the long side L1 with the non-magnetic portion 60 interposed therebetween. That is, the plurality of magnetic strips 40 are arranged in a matrix in a direction parallel to the long side L1 and a direction parallel to the short side L2. Further, the number of magnetic strips 40 arranged in the direction parallel to the short side L2 is greater than the number arranged in the direction parallel to the long side L1.
  • the element body 20 has a non-magnetic portion 60 between adjacent magnetic strips 40 at the same position along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 fills the entire space between the magnetic strips 40 arranged at the same position in the direction along the second axis Z.
  • the configuration of the non-magnetic film 70 is the same as that of the first embodiment.
  • the second portion P2 is located in the second positive direction Z1 when viewed from the first portion P1.
  • the second portion P2 has the same square shape as the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG. 18, the second portion P2 is located in the second positive direction Z1 when viewed from the first portion P1.
  • the second portion P2 has the same square shape as the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the second portion P2 is composed of an inductor wiring 30, a plurality of magnetic ribbons 40, a plurality of non-magnetic layers 50, a non-magnetic portion 60, and a plurality of non-magnetic films .
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape having long sides and short sides shorter than the long sides in a cross section of the inductor component 10 perpendicular to the central axis CA.
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z, and extends linearly.
  • the axis of the linear portion 30A of the inductor wiring 30 that extends the longest is the central axis CA.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the positive direction Y1 constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20 .
  • the end face of the inductor wiring 30 in the negative direction Y2 constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20 .
  • the end face in the positive direction Y1 and the end face in the negative direction Y2 along the central axis CA of the inductor wiring 30 are parallel to the first axis X.
  • the central axis CA of the inductor wiring 30 is positioned at the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X.
  • the central axis CA which is the axis along which the linear portion 30A of the inductor wiring 30 extends, passes through the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is approximately one quarter of the dimension in the direction along the first axis X of the second portion P2.
  • portions other than the inductor wiring 30 are composed of a plurality of magnetic strips 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, a plurality of nonmagnetic films, as in the first portion P1. 70 and .
  • each magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is laminated in the direction along the second axis Z in the first cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • each magnetic strip 40 of the second portion P2 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG. All the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic strips 40 are the same.
  • a second imaginary rectangle VR2 having the smallest area circumscribing each magnetic strip 40 forming the second portion P2 is drawn.
  • the magnetic ribbon 40 is positioned on both sides of the first positive direction X1 and the first negative direction X2 along the first axis X when viewed from the inductor wiring 30.
  • two magnetic ribbons 40 are arranged in parallel with the long side L1 with the inductor wiring 30 interposed therebetween.
  • eight magnetic strips 40 are arranged at the same position along the second axis Z in a direction parallel to the short side L2 with the non-magnetic portion 60 interposed therebetween. That is, the plurality of magnetic strips 40 of the second portion P2 are arranged in a matrix in a direction parallel to the long side L1 and in a direction parallel to the short side L2.
  • the non-magnetic layer 50 of the second portion P2 is positioned between the magnetic strips 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z, similarly to the first portion P1 described above.
  • the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 is located between the magnetic ribbons 40 aligned at the same position along the second axis Z.
  • the non-magnetic film 70 is located at the end of the first positive direction X1 and the end of the first negative direction X2 in the second portion P2.
  • the third portion P3 is located in the second positive direction Z1 of the second portion P2.
  • the third portion P3 is composed of a plurality of magnetic ribbons 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, and a plurality of nonmagnetic films .
  • the third portion P3 has a structure symmetrical with the first portion P1 with the second portion P2 interposed therebetween.
  • the aspect ratio is the ratio of the long side L1 of the second virtual rectangle VR2 to the short side L2 of the second virtual rectangle VR2.
  • the dimension of the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2 of the first portion P1 is 990 ⁇ m.
  • the dimension of the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of the first portion P1 is 232.5 ⁇ m. Therefore, the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 forming the first portion P1 is 4 or more.
  • the second imaginary rectangle VR2 is drawn for each of the magnetic ribbons 40 forming the first portion P1, its short side L2 is parallel to the central axis CA.
  • the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is 750 ⁇ m.
  • the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of the magnetic ribbon 40 is 232.5 ⁇ m. Therefore, the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is 3 or more. Further, the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 of each magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is parallel to the central axis CA.
  • each magnetic ribbon 40 forming the third portion P3 has the same shape as each magnetic ribbon 40 forming the first portion P1. Therefore, the aspect ratio of each magnetic strip 40 forming the third portion P3 is 4 or more. Further, as shown in FIG. 18, when the second imaginary rectangle VR2 is drawn for each of the magnetic ribbons 40 forming the third portion P3, its short side L2 is parallel to the central axis CA.
  • the software used is Femtet 2019 manufactured by Murata Software.
  • the solver is static magnetic field analysis.
  • the model is three dimensional.
  • a standard mesh size is 0.25 mm.
  • the magnetic material is an amorphous metal magnetic thin film made of Fe, Si, Cr, and B, the relative magnetic permeability ⁇ r is 7000, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.3T.
  • a magnetic material BH curve that satisfies B Bs ⁇ tanh ( ⁇ 0 ⁇ r ⁇ H/Bs) was used.
  • the portion where the relative magnetic permeability ⁇ r is 1 or more was used, and the function of Femtet2019 was used to extrapolate the magnetic permeability of the vacuum.
  • the material of the inductor wiring 30 is copper.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the first axis X is 990 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the central axis CA is 232.5 ⁇ m.
  • the dimension of the nonmagnetic layer 50 in the direction along the second axis Z is 2 ⁇ m.
  • the number of magnetic ribbons 40 laminated in the direction along the second axis Z is 41 pieces.
  • the number of magnetic ribbons 40 arranged in the direction along the first axis X is two.
  • the number of magnetic strips 40 arranged in the direction along the central axis CA is eight.
  • the dimension in the direction along the first axis X of the non-magnetic portion 60 positioned between the magnetic strips 40 in the direction along the first axis X is 20 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the central axis CA of the non-magnetic portion 60 positioned between the magnetic strips 40 adjacent in the direction along the central axis CA is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is 0.5 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the second axis Z is 0.1 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the central axis CA is 2400 ⁇ m.
  • the dimension of the base body 20 along the central axis CA is 2020 ⁇ m. That is, in this simulation, the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the central axis CA is larger than the dimension in the direction along the central axis CA of the element body 20 by 380 ⁇ m.
  • the simulation is performed with the inductor wiring 30 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body 20 in the positive direction Y1 and the inductor wiring 30 protruding by 190 ⁇ m from the end face of the element body 20 in the negative direction Y2.
  • the position of the inductor wiring 30 is arranged so that the center of gravity of the inductor wiring 30 coincides with the position of the center of gravity of the element body 20 .
  • a non-magnetic insulating gap of 100 nm was provided in the portion where the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 were in contact with each other.
  • the relative magnetic permeability ⁇ r of the nonmagnetic material of the nonmagnetic layer 50 and the nonmagnetic portion 60 was set to 1.
  • a sinusoidal electric signal is input to the inductor wiring 30 of the inductor component 10 .
  • the amplitude of the electrical signal is 2.25A and the frequency of the electrical signal is 3MHz.
  • the inductor component 90 of the second comparative example includes a magnetic ribbon 91, a nonmagnetic layer 92, a nonmagnetic portion 93, and inductor wiring 94 having the following dimensions.
  • a second imaginary rectangle having a minimum area circumscribing the magnetic ribbon 91 when viewed from the direction along the second axis Z is drawn.
  • the dimension of the magnetic ribbon 91 along the first axis X is 232.5 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 91 in the direction along the second axis Z is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 91 in the direction along the central axis CA is 990 ⁇ m.
  • the ratio of the long sides of the second virtual rectangle to the short sides of the second virtual rectangle is greater than four.
  • the short sides of the magnetic strip 91 of the second comparative example extend parallel to the first axis X. As shown in FIG. In other words, the direction of the short side of the magnetic ribbon differs between the second comparative example and the second embodiment.
  • the number of magnetic thin ribbons 91 laminated in the direction along the second axis Z is 41 pieces.
  • the number of magnetic strips 91 arranged in the direction along the first axis X is eight.
  • the number of magnetic strips 91 arranged in the direction along the central axis CA is two.
  • the dimension of the non-magnetic layer 92 along the second axis Z is 2 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the first axis X of the non-magnetic portion 93 positioned between the magnetic ribbons 91 in the direction along the first axis X is 20 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the central axis CA of the non-magnetic portion 93 positioned between the magnetic ribbons 91 in the direction along the central axis CA is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor wiring 94 in the direction along the first axis X is 0.5 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 94 in the direction along the second axis Z is 0.1 mm.
  • the dimension of the inductor wiring 94 in the direction along the central axis CA is 2400 ⁇ m.
  • the dimension in the direction along the central axis CA of the element including the magnetic ribbon 91 and the non-magnetic portion 93 is 2020 ⁇ m. That is, in this simulation, the dimension of the inductor wiring 94 in the direction along the central axis CA is larger than the dimension in the direction along the central axis CA of the element body by 380 ⁇ m.
  • the simulation is performed with the inductor wiring 94 protruding by 190 ⁇ m from the end surface of the element body in the positive direction Y1 and the inductor wiring 94 projecting by 190 ⁇ m from the end surface of the element body in the negative direction Y2.
  • the position of the inductor wiring 30 is arranged so that the center of gravity of the inductor wiring 94 coincides with the position of the center of gravity of the element.
  • a non-magnetic insulating gap of 100 nm was provided in the portion where the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 91 were in contact.
  • the relative magnetic permeability ⁇ r of the nonmagnetic material of the nonmagnetic layer 92 and the nonmagnetic portion 93 is set to 1.
  • a sinusoidal electric signal is input to the inductor wiring 94 of the inductor component 90 .
  • the amplitude of the electrical signal is 2.25A and the frequency of the electrical signal is 3MHz.
  • the inductance L and the DC superimposition characteristic Isat were calculated for the inductor component 10 of the second embodiment and the inductor component 90 of the second comparative example.
  • the DC superposition characteristic Isat is the current value when the inductance L is reduced by 20% from the initial inductance, which is the inductance L at 0.001A.
  • the inductor component 10 of the second example had a larger inductance L than the inductor component 90 of the second comparative example.
  • the inductance L of the inductor component 10 of the second example was 15.4 nH.
  • the inductance L of the inductor component 90 of the second comparative example was 6.9 nH.
  • Isat of the inductor component 10 of the second example was larger than that of the inductor component 90 of the second comparative example.
  • the Isat of the inductor component 10 of the second example was 40A.
  • the Isat of the inductor component 90 of the second comparative example was 17 nH.
  • the inductor component 90 of the second comparative example has magnetic thin films aligned in the direction along the first axis X at the same position along the second axis Z in the first cross-sectional view. The number of bands has increased.
  • the aspect ratio of the magnetic ribbon was larger than that of the inductor component 80 of the first comparative example.
  • the inductor component 10 of the second embodiment is aligned in the direction along the central axis CA at the same position along the second axis Z in the second cross-sectional view.
  • the number of magnetic strips 40 is increased.
  • the aspect ratio of the magnetic ribbon 40 is larger than that of the inductor component 10 of the first embodiment.
  • the inductor component 10 of the second embodiment has the following effects in addition to the effects (1-1) to (1-5) and (1-7) of the first embodiment.
  • the inductor component 10 includes the magnetic ribbon 40 having an aspect ratio of 4 or more in the second virtual rectangle VR2. That is, the length of the short side L2 of the second virtual rectangle VR2 extending parallel to the central axis CA is a quarter or less of the length of the long side L1 of the second virtual rectangle VR2. Even in such a case, the inductances L and Isat can be kept at correspondingly high values. Further, the magnetic ribbon 40 having an aspect ratio of 4 or more has a smaller area per magnetic ribbon 40 than the inductor component 10 of the first embodiment. Therefore, the eddy current generated in the magnetic ribbon 40 can be reduced.
  • the shape of the element body 20 is not limited to the example of the above embodiment.
  • the shape of the base body 20 may be a rectangular shape, a polygonal shape other than a square, or the like.
  • the shape of the inductor wiring 30 can be appropriately changed as long as it can give inductance L to the inductor component 10 by generating a magnetic flux in the element body 20 when a current flows.
  • both ends of the inductor wiring 30 may protrude from the element body 20 as in the simulation described above.
  • the inductor wiring 30 may have an elliptical shape in a cross section perpendicular to the central axis CA. Then, a first imaginary rectangle VR1 with a minimum area, which circumscribes the inductor wiring 30 and has a first side along the first axis X and a second side along the second axis Z, is drawn. At this time, the first side of the first virtual rectangle VR1 is longer than the second side of the first virtual rectangle VR1.
  • the shape of the inductor wiring 30 in the cross section perpendicular to the central axis CA may be such that the second side along the second axis Z is longer than the first side along the first axis X. Furthermore, in a cross section perpendicular to the central axis CA, the shape of the inductor wiring 30 may be a shape that does not have symmetry such as linear symmetry or rotational symmetry, such as when it includes one or more projecting portions.
  • the shape of the inductor wiring 30 may be square or circular.
  • the first virtual rectangle VR1 drawn in the cross section perpendicular to the central axis CA is square, and the first side of the first virtual rectangle VR1 is not longer than the second side of the first virtual rectangle VR1.
  • the shape of the inductor wiring 30 need not be entirely linear as long as it has a linear portion 30A.
  • it may have a shape that is bent in the middle, a shape that is partially curved, or a meandering shape.
  • the inductor wiring 30 has a plurality of linear portions 30A.
  • the central axis CA is the axis along which the linear portion 30A having the largest extension dimension among the plurality of linear portions 30A extends.
  • the inductor wiring 30 may have a plurality of linear portions 30A having the longest dimension.
  • the central axis CA corresponds to the extension axis of any one of the plurality of linear portions 30A, and the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 is parallel to the central axis CA, good. That is, when there are a plurality of linear portions 30A having the longest dimension in the inductor wiring 30, the short side L2 need not be parallel to all the linear portions 30A.
  • the material of the inductor wiring 30 is not limited to the examples of the above embodiments as long as it is a conductive material.
  • the material of the inductor wiring 30 may be a conductive resin.
  • an external electrode may be connected to the portion where the inductor wiring 30 is exposed from the element body 20 .
  • external electrodes may be formed on both end faces of the inductor wiring 30 along the central axis CA and both end faces of the base body 20 along the central axis CA by coating, printing, plating, or the like.
  • the direction in which the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 are laminated may not be orthogonal to the central axis CA and the first axis X due to manufacturing errors or the like.
  • the fact that the magnetic ribbons 40 and the like are "laminated in the direction along the second axis Z" allows for such manufacturing errors.
  • the number of magnetic strips 40 stacked in the direction along the second axis Z may be two or more.
  • the material of the magnetic ribbon 40 is not limited to the examples of the above-described embodiments as long as it is a magnetic material.
  • it may be Fe or Ni.
  • a metal magnetic material containing elements other than Fe, Ni, Co, Cr, Cu, Al, Si, B, and P may also be used.
  • the material of the non-magnetic layer 50 is not limited to the examples of the above-described embodiments as long as it is a non-magnetic material.
  • the non-magnetic layer 50 may be made of resin other than acrylic resin, epoxy resin, and silicon resin.
  • the non-magnetic layer 50 may be made of non-magnetic ceramics such as alumina, silica, glass or the like, non-magnetic inorganic substances containing these, voids, or mixtures thereof.
  • the materials of the nonmagnetic layer 50, the nonmagnetic portion 60, and the nonmagnetic film 70 may be different from each other, or may be partially different, as long as they are nonmagnetic materials.
  • the nonmagnetic layer 50, the nonmagnetic portion 60, and the nonmagnetic film 70 may be integrated or may be separate members.
  • the non-magnetic layer 50 may be hollow, or may be composed of an insulating oxide film obtained by oxidizing the surface of the magnetic ribbon 40 .
  • the non-magnetic layer 50 may be omitted.
  • the magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z may be in direct contact with each other.
  • the non-magnetic portion 60 may be omitted.
  • the magnetic strips 40 aligned in the direction along the first axis X or the central axis CA may be in direct contact with each other.
  • the nonmagnetic portion 60 may exist between the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 . In this case, the nonmagnetic portion 60 can ensure insulation between the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 .
  • a plurality of magnetic ribbons 40 are stacked specifically means that the adjacent magnetic ribbons 40 are completely or partially insulated from each other, or a microscopically physical boundary. exists. For example, it does not include a state in which the magnetic ribbons 40 are sintered and completely integrated.
  • the configurations of the magnetic ribbon 40, the non-magnetic layer 50, and the non-magnetic portion 60 can be changed as long as the magnetic ribbon 40 is laminated in the direction along the second axis Z.
  • the entire second portion P2 except for the inductor wiring 30 may be composed of the magnetic ribbon 40 or may be composed of the non-magnetic layer 50 .
  • the magnetic ribbon 40 may be a composite material of a powdery magnetic material and a non-magnetic material. good.
  • a composite material there is a metal composite material of amorphous metal particles made of Fe, Si, Cr, and B and a resin.
  • the number of magnetic ribbons 40 aligned in the direction parallel to the short side L2 of the second virtual rectangle VR2 may be the same as the number of the magnetic ribbons 40 aligned in the direction parallel to the long side L1. and can be less.
  • the magnetic ribbons 40 do not have to be aligned in the direction parallel to the long side L1 of the second imaginary rectangle VR2 at the same position along the second axis Z.
  • the magnetic strips 40 do not have to be aligned in the direction parallel to the short side L2 of the second imaginary rectangle VR2 at the same position along the second axis Z.
  • the aspect ratio of the long side L1 of the second virtual rectangle VR2 to the short side L2 of the second virtual rectangle VR2 may be less than 2 as long as it is greater than 1.
  • the long side L1 of the magnetic ribbon 40 should be longer than the short side L2.
  • the dimensions of the plurality of magnetic strips 40 in the direction along the second axis Z may be different. If the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z is small, a manufacturing error of about 20% may occur depending on the manufacturing method. Therefore, if the dimension of the magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z is 80% or more and 120% or less of the average value of the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic ribbons 40, , can be regarded as approximately equal.
  • the dimension of one magnetic strip 40 in the direction along the second axis Z is the average value of three points in a single image magnified between 1,000 and 10,000 times with an electron microscope. do.
  • the dimension of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z is the second dimension of one magnetic ribbon 40 measured by an electron microscope using a single image in which three or more magnetic ribbons 40 fit. It is the average value of the dimensions along the Z axis.
  • the dimensions of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z may not all be the same. They may vary from each other, or may vary by more than 20% from the average value.
  • the spacing between a pair of magnetic strips 40 adjacent in the direction along the second axis Z may be different.
  • a manufacturing error of about 20% may occur depending on the manufacturing method.
  • part of the non-magnetic layer 50 may become hollow, so that the gap between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z may vary. .
  • a gap may also exist between the non-magnetic layer 50 and the magnetic ribbon 40 .
  • the distance between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is the sum of the lengths of the nonmagnetic layer 50 and the gap. Therefore, the interval between one pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is , 80% or more and 120% or less, they can be regarded as substantially equal.
  • the interval between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is the second Let it be the smallest dimension in the direction along the Z axis.
  • the average value of the spacing between multiple sets of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is 5 sets measured from one image in which six or more magnetic ribbons 40 are fitted with an electron microscope. is the average value of the spacing between the magnetic strips 40 of .
  • the dimensions of the plurality of nonmagnetic layers 50 in the direction along the second axis Z may not all be the same. They may vary from each other, or may vary by more than 20% from the average value.
  • the number and positions of the non-magnetic portions 60 are not limited to the examples of the above-described embodiments.
  • the number and positions of the non-magnetic portions 60 may be changed according to the number and positions of the magnetic strips 40 in the direction along the first axis X and in the direction along the central axis CA.
  • the size of the non-magnetic portion 60 may be appropriately changed according to the interval between the magnetic ribbons 40 at the same position in the direction along the second axis Z. FIG.
  • the virtual straight line VL preferably passes through the first range AR11 of the five magnetic ribbons 40 that are continuously arranged in the direction along the second axis Z including the first magnetic ribbons 41. It is more preferable to pass through the first range AR11 of the magnetic ribbon 40 of . Therefore, the virtual straight line VL does not have to pass through substantially the center of all the magnetic ribbons 40 in the direction along the first axis X.
  • the position of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is not limited to the example of the above-described embodiment.
  • the position of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X may be outside the first range AR11 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the virtual straight line VL may pass over the non-magnetic portion 60 instead of within the first range AR11.
  • the method of manufacturing the inductor component 10 is not limited to the examples of the above embodiments.
  • the magnetic ribbons 40 and the non-magnetic layers 50 may be alternately laminated on both sides of the sheet on which the inductor wiring 30 is arranged.

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Abstract

インダクタ部品（１０）は、素体（２０）を備えている。素体（２０）では、平板状の磁性薄帯（４０）が、磁性薄帯（４０）の主面に対して直交する方向に積層されている。素体（２０）の内部では、主面に沿ってインダクタ配線が延びている。インダクタ配線のうち、最も延びる寸法の大きい直線部分の延びる軸を中心軸とする。中心軸に直交する断面視で主面に沿う軸を第１軸（Ｘ）とし、主面に直交する軸を第２軸とする。第２軸に沿う方向から視て磁性薄帯（４０）に外接する面積が最小の第２仮想長方形（ＶＲ２）を描いたとする。このとき、第２仮想長方形（ＶＲ２）は、長辺（Ｌ１）と、長辺（Ｌ１）より短い短辺（Ｌ２）とを有している。第２仮想長方形（ＶＲ２）の短辺（Ｌ２）は、中心軸と平行である。

Description

インダクタ部品
　本開示は、インダクタ部品に関する。
　特許文献１に記載のインダクタ部品は、素体と、素体の内部で延びているインダクタ配線と、を備えている。素体は、無機フィラー及び樹脂からなっている。例えば、磁性コンポジット体については、無機フィラーの材質は、磁性材料である。
特開２０１９－１９２９２０号公報
　特許文献１に記載のインダクタ部品は、素体内において無機フィラーの粒子がランダムに分散した状態にある。そのため、特許文献１には、仮に素体内において複数の磁性材料が規則的に並んでいる場合に、磁性材料の配置がインダクタ部品の特性にどのような影響を及ぼすかについて何ら言及がない。したがって、磁性材料の配置が規則的であるインダクタ部品において、好ましい特性が得られるような素体の構成を見出す必要がある。
　上記課題を解決するため、本発明は、磁性材料からなる平板状の複数の磁性薄帯を含み、複数の前記磁性薄帯が、前記磁性薄帯の主面に対して直交する方向に積層された素体と、前記素体の内部で、前記主面に沿って延びているインダクタ配線と、を備え、前記インダクタ配線は、直線状に延びる直線部分を有し、最も延びる寸法の大きい前記直線部分の延びる軸を中心軸とし、前記中心軸に直交する断面視で前記主面に沿う軸を第１軸とし、前記断面視で前記主面に直交する軸を第２軸とし、前記第２軸に沿う方向から視て前記磁性薄帯に外接する面積が最小の仮想長方形を描いたとき、前記仮想長方形は長辺と前記長辺より短い短辺とを有し、前記短辺は、前記中心軸と平行であるインダクタ部品である。
　上記構成によれば、インダクタ部品は、平板状の磁性薄帯が主面に対して直交する方向に積層されている。また、磁性薄帯は、主面に対して直交する方向に複数並んでいるという規則的な構造を有する。このような規則的な構造において、磁性薄帯に外接する面積が最小の仮想長方形の短辺が中心軸に平行であることで、インダクタ部品のインダクタンスを改善できる。
　なお、「沿う」とは、直接接触しておらず、離れた位置にある場合も含む。例えば、「第１軸に沿う」とは、第１軸に直接接触して第１軸に沿うものだけでなく、第１軸に直接接触しておらず離れた位置で第１軸に沿うものも含む。また、「沿う」とは、実質的に平行関係にあればよく、製造誤差等によって、僅かに傾いているものも含む。
　磁性薄帯が積層されたインダクタ部品においてインダクタンスを改善できる。
第１実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第１実施形態のインダクタ部品の第１部分の平面図。 図２における３－３線に沿うインダクタ部品の断面図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 第１比較例のインダクタ部品の斜視図。 第１比較例のインダクタ部品と第１実施例のインダクタ部品との比較結果を示す表。 第２実施形態のインダクタ部品の分解斜視図。 第２実施形態のインダクタ部品の第１部分の平面図。 図１９における２０－２０線に沿うインダクタ部品の断面図。 第２比較例のインダクタ部品の斜視図。 第２比較例のインダクタ部品と第２実施例のインダクタ部品との比較結果を示す表。
　＜インダクタ部品の第１実施形態＞
　以下、インダクタ部品の第１実施形態について説明する。なお、図面は理解を容易にするため構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。また、断面図ではハッチングを付しているが、理解を容易にするために一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。さらに、複数の部材のうち、一部の部材のみに符号を付している場合がある。
　＜全体構成＞
　図１に示すように、インダクタ部品１０は、素体２０と、インダクタ配線３０と、を備えている。素体２０は、磁性材料からなる複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０と、を有している。
　磁性薄帯４０は、平板状である。複数の磁性薄帯４０は、磁性薄帯４０の主面ＭＦと直交する方向に積層されている。なお、平板状とは、主面を有する薄い形状のことであるが、厚みの薄い直方体に限られず、稜線や角が曲面状であってもよく、主面ＭＦに微小な凹凸があったり、内部に空孔があったりしてもよい。
　インダクタ配線３０は、素体２０の内部で主面ＭＦに沿って直線状に延びている。インダクタ配線３０は、直線状に延びる直線部分３０Ａを有している。インダクタ配線３０のうち、最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａの延びる軸を中心軸ＣＡとする。本実施形態では、インダクタ配線３０全体が直線部分３０Ａである。
　図３に示すように、中心軸ＣＡに直交する断面視で、主面ＭＦに沿う軸を第１軸Ｘとし、主面ＭＦに直交する軸を第２軸Ｚとする。なお、第１軸Ｘに沿う方向の一方を第１正方向Ｘ１とし、第１軸Ｘに沿う方向の他方を第１負方向Ｘ２とする。また、中心軸ＣＡに沿う方向の一方を正方向Ｙ１とし、中心軸ＣＡに沿う方向の他方を負方向Ｙ２とする。さらに、第２軸Ｚに沿う方向の一方を第２正方向Ｚ１とし、第２軸Ｚに沿う方向の他方を第２負方向Ｚ２とする。なお、図３に示す断面を第１断面とする。
　図３に示すように、中心軸ＣＡに直交するインダクタ部品１０の断面において、インダクタ配線３０は、長辺及び長辺より短い短辺を有する長方形状である。ここで、中心軸ＣＡに直交する断面において、インダクタ配線３０に外接するとともに、第１軸Ｘに沿う第１辺及び第２軸Ｚに沿う第２辺を有する面積が最小の第１仮想長方形ＶＲ１を描く。中心軸ＣＡに直交する断面において、インダクタ配線３０の外形の長辺は第１軸Ｘに沿っている。さらに、中心軸ＣＡに直交する断面において、インダクタ配線３０の外形の短辺は第２軸Ｚに沿っている。そのため、第１仮想長方形ＶＲ１は、インダクタ配線３０の外形と一致する。そして、第１仮想長方形ＶＲ１の第１辺は、第１仮想長方形ＶＲ１の第２辺よりも長い。
　図１に示すように、インダクタ部品１０は、第１部分Ｐ１と、第２部分Ｐ２と、第３部分Ｐ３と、で構成されている。３つの部分Ｐ１～Ｐ３は、第２軸Ｚに沿ってこの順に並んでいる。３つの部分Ｐ１～Ｐ３のうち、第２軸Ｚに沿う第２負方向Ｚ２の端には、第１部分Ｐ１が位置している。
　図２に示すように、第１部分Ｐ１は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに正方形状である。第１部分Ｐ１は、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０とを有する。第１部分Ｐ１において、複数の磁性薄帯４０と複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、非磁性膜７０とは、素体２０の一部を構成している。
　図３に示すように、中心軸ＣＡに直交する第１断面視で、第１部分Ｐ１の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向に積層されている。各磁性薄帯４０の主面ＭＦは、第２軸Ｚに直交している。すなわち、各磁性薄帯４０の厚さの方向は、第２軸Ｚに沿っている。図２に示すように、第１部分Ｐ１の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに長方形状である。第１部分Ｐ１において、複数の磁性薄帯４０の形状及び寸法は、すべて同一である。
　ここで、図１に示すように、第２軸Ｚに沿う方向から視て、第１部分Ｐ１を構成する各磁性薄帯４０に外接する面積が最小の第２仮想長方形ＶＲ２を描く。本実施形態では、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、各磁性薄帯４０は長方形状であるため、第２仮想長方形ＶＲ２は、各磁性薄帯４０の外形と一致する。第２仮想長方形ＶＲ２は、長辺Ｌ１と、長辺Ｌ１より短い短辺Ｌ２とを有している。第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。なお、このように、第２仮想長方形ＶＲ２は、磁性薄帯４０に関する形状である。したがって、第２仮想長方形ＶＲ２は、インダクタ配線３０に関する形状を示す上記の第１仮想長方形ＶＲ１とは異なる。
　図１に示すように、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に平行な方向に非磁性部６０を介して４個並んでいる。また、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、長辺Ｌ１に平行な方向に、非磁性部６０を介して２個並んでいる。すなわち、複数の磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向及び短辺Ｌ２に平行な方向に行列状に配列されている。このように、ある方向にＭ個、それとは直交する方向にＮ個、合計でＮ×Ｍ個配列されている状態を、行列状に配列されているという。また、磁性薄帯４０は、短辺Ｌ２に平行な方向に配列された数の方が、長辺Ｌ１に平行な方向に配列された数よりも多い。
　磁性薄帯４０は、磁性材料からなっている。磁性材料は、例えば、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、Ｐ等の元素を含む金属磁性材料である。本実施形態では、磁性材料は、Ｆｅ元素及びＳｉ元素を含んでいる金属磁性材料である。
　図３に示すように、素体２０は、第１断面視において、第２軸Ｚに沿って隣り合う磁性薄帯４０の間に、非磁性材料からなる非磁性層５０を備えている。非磁性層５０は、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯４０の空間を全て埋めている。非磁性材料は、例えば、アクリル樹脂や、エポキシ樹脂、シリコン樹脂である。なお、図３では、非磁性層５０を線で図示している。
　非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。すなわち、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔は、すべて等しい。また、各非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、各磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法よりも小さい。
　図２に示すように、素体２０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、隣り合う磁性薄帯４０の間に、非磁性部６０を備えている。非磁性部６０は、第２軸Ｚに沿う方向の同一の位置において並ぶ磁性薄帯４０の間の空間を全て埋めている。上述したとおり、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、磁性薄帯４０は、短辺Ｌ２に平行な方向に４つ、長辺Ｌ１に平行な方向に２つ、合計８つ存在するので、非磁性部６０は１０個存在している。非磁性部６０は、非磁性材料からなっている。本実施形態では、非磁性部６０の材質は、非磁性層５０と同一の材質である。
　非磁性膜７０は、第１部分Ｐ１において、第１軸Ｘに沿う第１正方向Ｘ１の端、及び第１正方向Ｘ１とは反対方向である第１負方向Ｘ２の端に位置している。非磁性膜７０は、磁性薄帯４０における第１軸Ｘに沿う方向の両端面の全域を覆っている。また、非磁性膜７０は、非磁性層５０における第１軸Ｘに沿う方向の両端面の全域を覆っている。さらに、非磁性膜７０は、非磁性部６０における第１軸Ｘに沿う方向の両端面の全域を覆っている。そのため、第１部分Ｐ１における第１軸Ｘに沿う第１正方向Ｘ１の端面は、すべて非磁性膜７０で構成されている。同様に、第１部分Ｐ１における第１負方向Ｘ２の端面は、すべて非磁性膜７０で構成されている。非磁性膜７０は、非磁性材料からなっている。本実施形態では、非磁性膜７０の材質は、非磁性層５０と同一の材質である。
　図１に示すように、第１部分Ｐ１から視て、第２軸Ｚに沿う第２負方向Ｚ２とは反対方向である第２正方向Ｚ１には、第２部分Ｐ２が位置している。第２部分Ｐ２は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、第１部分Ｐ１と同じ正方形状である。
　第２部分Ｐ２は、インダクタ配線３０と、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０と、で構成されている。
　インダクタ配線３０は、第２軸Ｚに沿う方向から視て長方形状である。インダクタ配線３０の最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａの軸は、中心軸ＣＡである。インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う正方向Ｙ１の端面は、第２部分Ｐ２の外面の一部を構成しており、素体２０から露出している。同様に、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う正方向Ｙ１とは反対方向である負方向Ｙ２の端面は、第２部分Ｐ２の外面の一部を構成しており、素体２０から露出している。
　第２軸Ｚから視たときに、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う正方向Ｙ１の端面及び負方向Ｙ２の端面は、第１軸Ｘと平行になっている。また、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡは、第１軸Ｘに沿う方向において、第２部分Ｐ２の中心に位置している。そのため、インダクタ配線３０の直線部分３０Ａの延びる軸である中心軸ＣＡは、第１軸Ｘに沿う方向における第２部分Ｐ２の中心を通っている。インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、第２部分Ｐ２の第１軸Ｘに沿う方向の寸法の約４分の１になっている。
　インダクタ配線３０の材質は、導電性材料である。導電性材料は、例えば、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、又はこれらの合金である。本実施形態では、インダクタ配線３０の材質は、Ｃｕである。
　第２部分Ｐ２において、インダクタ配線３０でない部分は、第１部分Ｐ１と同様に、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０と、で構成されている。
　図３に示すように、中心軸ＣＡに直交する第１断面視で、第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向に積層されている。図１に示すように、第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに長方形状である。複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。
　ここで、図１に示すように、第２軸Ｚに沿う方向から視て、第２部分Ｐ２を構成する各磁性薄帯４０に外接する面積が最小の第２仮想長方形ＶＲ２を描く。本実施形態では、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、各磁性薄帯４０は長方形状であるため、第２仮想長方形ＶＲ２は、各磁性薄帯４０の外形と一致する。第２仮想長方形ＶＲ２は、長辺Ｌ１と、長辺Ｌ１より短い短辺Ｌ２とを有している。第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　図１に示すように、第２部分Ｐ２において、磁性薄帯４０は、インダクタ配線３０から視て、第１軸Ｘに沿う第１正方向Ｘ１及び第１負方向Ｘ２の両側に位置している。すなわち、第２部分Ｐ２において、磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な沿う方向に、インダクタ配線３０を挟んで１つずつ、合計２つ並んでいる。各当該磁性薄帯４０は、第１部分Ｐ１の磁性薄帯４０よりも長辺Ｌ１の寸法が短くなっている。また、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、短辺Ｌ２に平行な方向に、非磁性部６０を介して４つ並んでいる。すなわち、第２部分Ｐ２においても、複数の磁性薄帯４０は、行列状に配列されている。
　上述した第１部分Ｐ１と同様に、第２部分Ｐ２の非磁性層５０は、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯４０の間に位置している。すなわち、図３に示すように、第２部分Ｐ２の磁性薄帯４０及び非磁性層５０は、第１部分Ｐ１と同様に、第２軸Ｚに沿う方向に交互に積層されている。
　第２部分Ｐ２の非磁性部６０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において並ぶ磁性薄帯４０の間に位置している。非磁性部６０は、第２軸Ｚに沿う方向の同一の位置において並ぶ磁性薄帯４０の間の空間を全て埋めている。第２部分Ｐ２の非磁性部６０の位置は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、第１部分Ｐ１の非磁性部６０の一部と重複している。第２部分Ｐ２の非磁性部６０は、第１部分Ｐ１の非磁性部６０と連続している。
　非磁性膜７０は、第２部分Ｐ２において、第１正方向Ｘ１の端及び第１負方向Ｘ２の端に位置している。第２部分Ｐ２の非磁性膜７０は、第１部分Ｐ１の非磁性膜７０と連続している。
　第２部分Ｐ２の第２正方向Ｚ１には、第３部分Ｐ３が位置している。第３部分Ｐ３は、第２軸Ｚから視たときに、第１部分Ｐ１と同じ正方形状である。第３部分Ｐ３は、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０で構成されている。図１に示すように、第３部分Ｐ３において、第２軸Ｚに沿う方向から視て、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０に外接する面積が最小の第２仮想長方形ＶＲ２を描く。このとき、第３部分Ｐ３における、磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２は、第１部分Ｐ１における第２仮想長方形ＶＲ２と一致している。すなわち、本実施形態では、第３部分Ｐ３は、第２部分Ｐ２を挟んで第１部分Ｐ１と対称的な構造である。そのため、第３部分Ｐ３の詳細な説明は省略する。
　＜第１磁性薄帯について＞
　図３に示すように、中心軸ＣＡに直交する第１断面視において、インダクタ配線３０の第１正方向Ｘ１の端を第１配線端ＩＰ１とする。また、中心軸ＣＡに直交する第１断面視において、インダクタ配線３０の第１負方向Ｘ２の端を第２配線端ＩＰ２とする。
　そして、インダクタ配線３０に対して、第２軸Ｚに沿う方向に積層された磁性薄帯４０のうち、第１配線端ＩＰ１からの第２軸Ｚに沿う距離が最も短い磁性薄帯４０を第１磁性薄帯４１とする。なお、第２軸Ｚに沿う方向から視た場合に、少なくとも一部分がインダクタ配線３０に重複する磁性薄帯４０が、インダクタ配線３０に対して第２軸Ｚに沿う方向に積層された磁性薄帯４０である。したがって、本実施形態では、第１部分Ｐ１における磁性薄帯４０及び第３部分Ｐ３における磁性薄帯４０が、インダクタ配線３０に対して第２軸Ｚに沿う方向に積層された磁性薄帯４０である。一方で、第２部分Ｐ２における磁性薄帯４０は、インダクタ配線３０に対して第２軸Ｚに沿う方向に積層されていない。また、第１磁性薄帯４１は、第１配線端ＩＰ１に最も近い磁性薄帯４０のうち、第１部分Ｐ１で最も第２負方向Ｚ２に位置する磁性薄帯４０と、第３部分Ｐ３で最も第２正方向Ｚ１に位置する磁性薄帯４０と、である。
　第１磁性薄帯４１において、第１正方向Ｘ１の端を第１端ＭＰ１１とし、第１負方向Ｘ２の端を第２端ＭＰ１２とする。このとき、第１磁性薄帯４１における第１軸Ｘに沿う方向の両端を除く範囲を、第１範囲ＡＲ１１とする。そして、図３に示すように、第１配線端ＩＰ１を通り、第２軸Ｚに沿う方向に延びる仮想直線ＶＬを引く。このとき、仮想直線ＶＬは、第１磁性薄帯４１の第１範囲ＡＲ１１内を通っている。より具体的には、仮想直線ＶＬは、第１軸Ｘに沿う方向の第１磁性薄帯４１の中央を通っている。すなわち、第１磁性薄帯４１の第２端ＭＰ１２は、第１軸Ｘに沿う方向において、インダクタ配線３０の概ね中央に位置している。
　なお、本実施形態においては、インダクタ部品１０は、第１軸Ｘに沿う方向における中心を通る第２軸Ｚを対称軸として、線対称の構造となっている。そのため、インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う第１負方向Ｘ２の第２配線端ＩＰ２を通過するとともに、第２軸Ｚに沿う方向に仮想直線ＶＬを引いた場合に、当該仮想直線ＶＬは、当該仮想直線ＶＬを通る第１磁性薄帯４１の第１軸Ｘに沿う方向の中央を通っている。
　＜アスペクト比について＞
　上記の第１部分Ｐ１～第３部分Ｐ３の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、いずれも中心軸ＣＡと平行である。なお、「短辺Ｌ２と中心軸ＣＡとが平行」とは、製造誤差などで生じるずれを許容するものである。すなわち、完全に平行である場合だけでなく、製造上やむを得ず生じる数度程度の誤差を含む。
　ここで、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に対する、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１の比をアスペクト比とする。本実施形態では、第１部分Ｐ１の第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１の寸法は９９０μｍである。第１部分Ｐ１の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２の寸法は４８５μｍである。したがって、第１部分Ｐ１を構成する磁性薄帯４０のアスペクト比は、２以上である。
　第２部分Ｐ２の磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１は、７５０μｍである。当該磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、４８５μｍである。したがって、第２部分Ｐ２の磁性薄帯４０のアスペクト比は、１．５以上である。第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は中心軸ＣＡと平行である。
　なお、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０は、第１部分Ｐ１を構成する各磁性薄帯４０と同じ形状である。したがって、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０のアスペクト比は、２以上である。第３部分Ｐ３の各磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　＜インダクタ部品の製造方法＞
　次に、インダクタ部品１０の製造方法を説明する。
　図４に示すように、先ず、銅箔１０１を準備する銅箔準備工程を行う。銅箔１０１は、インダクタ配線３０を構成するため、銅箔１０１の厚さは、インダクタ配線３０として必要な厚さのものを準備する。なお、以下の説明では、銅箔１０１は、当該銅箔１０１の２つの主面が第２軸Ｚに直交するように配置されているものとし、且つ中心軸ＣＡに直交する端面を示して説明する。
　次に、図５に示すように、銅箔１０１の第２軸Ｚに直交する両主面のうち、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、第２部分Ｐ２における複数の磁性薄帯４０が占める範囲以外を被覆する第１被覆工程を行う。具体的には、先ず、銅箔１０１の第２負方向Ｚ２を向く面のうち、第２部分Ｐ２における複数の磁性薄帯４０が占める範囲以外を被覆する第１被覆部１０２を形成する。第１被覆部１０２を形成するにあたっては、銅箔１０１の第２負方向Ｚ２を向く面全体に、感光性のドライフィルムレジストを塗布する。次に、第１被覆部１０２を形成する部分について露光することで、ドライフィルムレジストを硬化させる。次に、同様に、銅箔１０１の第２正方向Ｚ１を向く面にも、ドライフィルムレジストを塗布するとともに、第１被覆部１０２を形成する部分について露光することで、ドライフィルムレジストを硬化させる。その後、塗布したドライフィルムレジストのうち硬化していない部分を、薬液により剥離除去させる。これにより、塗布したドライフィルムレジストのうち、硬化している部分が、第１被覆部１０２として形成される。なお、後述する他の工程におけるフォトリソグラフィも、同様の工程であるので、詳細な説明は省略する。
　次に、図６に示すように、第１被覆部１０２から露出している銅箔１０１をエッチングする銅箔エッチング工程を行う。部分的に第１被覆部１０２に被覆された銅箔１０１についてエッチングすることで、露出している銅箔１０１を除去する。
　次に、図７に示すように、第１被覆部１０２を取り除く第１被覆部除去工程を行う。具体的には、薬品によって、第１被覆部１０２をウェットエッチングすることにより、第１被覆部１０２を剥離する。
　次に、銅箔１０１の第２軸Ｚに直交する両面のうち、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、複数の磁性薄帯４０が占める範囲を被覆する第２被覆工程を行う。具体的には、先ず、図８に示すように、銅箔１０１の第２正方向Ｚ１を向く面全体に、ドライフィルムレジストＲを塗布する。次に、図９に示すように、フォトリソグラフィによって、銅箔１０１の第２正方向Ｚ１を向く面のうち、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、磁性薄帯４０及び非磁性層５０が占める範囲以外を被覆する第２被覆部１０３を形成する。その後、同様に、フォトリソグラフィによって、銅箔１０１の第２負方向Ｚ２を向く面のうち、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、磁性薄帯４０及び非磁性層５０が占める範囲以外を被覆する第２被覆部１０３を形成する。
　次に、磁性薄帯４０及び非磁性層５０が積層されている積層体１０４を準備する積層準備工程を行う。
　先ず、例えば、磁性薄帯４０及び非磁性層５０が積層されている積層体１０４を準備する。例えば、磁性薄帯４０として、薄帯を準備する。薄帯は、例えば、東北マグネットインスティテュート社製ＮＡＮＯＭＥＴ（登録商標）、日立金属社製Ｍｅｔｇｌａｓ（登録商標）やＦＩＮＥＭＥＴ（登録商標）、ＦｅＳｉＢ、ＦｅＳｉＢＣｒ等からなるものである。この薄帯を切断する。切断した薄帯に非磁性材料をスピンコートによって塗布する。非磁性材料としては、例えばエポキシ樹脂ワニスである。塗布した非磁性材料に、切断した薄帯を積層する。このように、薄帯と非磁性材料とを交互に積層させた後、真空加熱加圧装置で薄帯と非磁性材料とを硬化接着させる。そして、所望の大きさにダイシングすることにより複数の磁性薄帯４０及び非磁性層５０が積層された積層体１０４を準備できる。本実施形態では、積層体１０４は、第１部分Ｐ１及び第３部分Ｐ３における磁性薄帯４０及び非磁性層５０を構成する第１積層体１０４Ａと、第２部分Ｐ２における磁性薄帯４０及び非磁性層５０を構成する第２積層体１０４Ｂとを準備する。
　次に、積層体１０４を配置する積層体配置工程を行う。
　図１０に示すように、積層体１０４のうち、第３部分Ｐ３における磁性薄帯４０及び非磁性層５０を構成する第１積層体１０４Ａの第２負方向Ｚ２を向く面に熱可塑性接着剤１０５を塗布する。そして、この第１積層体１０４Ａを、第２被覆部１０３の開口部分に嵌めこむ。なお、熱可塑性接着剤１０５は、図１０～図１５では、太線で示す。
　次に、図１１に示すように、第２軸Ｚに沿う方向に全体を反転させる。そして、図１２に示すように、積層体１０４のうち、第２部分Ｐ２における磁性薄帯４０及び非磁性層５０を構成する第２積層体１０４Ｂを、第１積層体１０４Ａの第２正方向Ｚ１を向く面のうち、銅箔１０１に接していない部分に配置させる。具体的には、プレス等により積層体１０４を銅箔１０１の開口部に押し込むことで、第２積層体１０４Ｂを配置させることができる。
　次に、図１３に示すように、積層体１０４のうち、第１部分Ｐ１における磁性薄帯４０及び非磁性層５０を構成する第１積層体１０４Ａを、銅箔１０１の第２正方向Ｚ１を向く面及び第２積層体１０４Ｂの第２正方向Ｚ１を向く面に、熱可塑性接着剤１０５によって仮接着させる。これにより、積層体１０４を配置させる。
　次に、図１４に示すように、プレス工程を行う。全体を非磁性材料である樹脂材１０６で覆った状態で、プレス加工を行う。これにより、第２軸Ｚに沿う方向の各層が圧着される。
　次に、図１５に示すように、個片化加工工程を行う。具体的には、例えば、破断線ＤＬにてダイシングにより個片化する。上述した第２被覆部１０３のうち、第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ第１積層体１０４Ａの間の部分は、非磁性部６０となる。また、第２被覆部１０３のうち、中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ第１積層体１０４Ａの間、第２積層体１０４Ｂの間の部分は、非磁性部６０となる。さらに、熱可塑性接着剤１０５は、非磁性層５０の一部として、インダクタ配線３０の第２軸Ｚに沿う方向の両面などに残存している。なお、図１５に示す例では、積層体１０４の第１正方向Ｘ１における端面及び第１負方向Ｘ２における端面に沿って切断している。その後、積層体１０４の第１正方向Ｘ１における端面及び第１負方向Ｘ２における端面に、非磁性材料からなる非磁性膜７０を塗布する。これにより、インダクタ部品１０を形成できる。なお、この方法により熱可塑性接着剤１０５がインダクタ配線３０の第１正方向Ｘ１を向く側面側及び第１負方向Ｘ２を向く側面側にも回り込むため、磁性薄帯４０とインダクタ配線３０とは直接接触せず絶縁性が確保される。
　＜シミュレーションについて＞
　次に、上記第１実施形態のインダクタ部品１０を第１実施例とし、この第１実施例について得られる特性を、第１比較例のインダクタ部品８０と比較したシミュレーションについて説明する。シミュレーションには、ムラタソフトウェア株式会社のＦｅｍｔｅｔ（登録商標）を用いた。
　＜シミュレーションの条件について＞
　使用したソフトは、ムラタソフトウェア製のＦｅｍｔｅｔ２０１９である。ソルバは、静磁場解析である。モデルは、３次元である。標準メッシュサイズは、０．２５ｍｍである。磁性体は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｂからなるアモルファス金属磁性薄膜、比透磁率μｒは、７０００であり、飽和磁束密度Ｂｓは、１．３Ｔである。磁性体ＢＨ曲線は、Ｂ＝Ｂｓ×ｔａｎｈ（μ０×μｒ×Ｈ／Ｂｓ）を満たすものを使用した。なお、比透磁率μｒが１以上の部分を使用し、さらにＦｅｍｔｅｔ２０１９の機能を使って、真空の透磁率へ外挿した。インダクタ配線３０の材質は、銅である。
　磁性薄帯４０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、９９０μｍである。磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２０μｍである。磁性薄帯４０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、４８５μｍである。非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２μｍである。磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向に積層する数は、４１個である。磁性薄帯４０の第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ数は、２個である。磁性薄帯４０の中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ数は、４個である。第１軸Ｘに沿う方向に隣り合う各磁性薄帯４０の間に位置する非磁性部６０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は２０μｍである。同様に、中心軸ＣＡに沿う方向に隣り合う各磁性薄帯４０の間に位置する非磁性部６０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は２０μｍである。
　インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、０．５ｍｍである。インダクタ配線３０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、０．１ｍｍである。インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２４００μｍである。このシミュレーションにおいて、素体２０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２０２０μｍである。すなわち、このシミュレーションにおいて、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、素体２０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法よりも３８０μｍだけ大きい。そのため、素体２０の正方向Ｙ１の端面からインダクタ配線３０が１９０μｍだけ突出し、素体２０の負方向Ｙ２の端面からインダクタ配線３０が１９０μｍだけ突出した状態で、シミュレーションが行われる。
　インダクタ配線３０の位置は、インダクタ配線３０の重心が、素体２０の重心位置に一致するように配置した。なお、インダクタ配線３０と磁性薄帯４０とが接する部分には、１００ｎｍの非磁性の絶縁ギャップを設けた。非磁性層５０、非磁性部６０の非磁性材料の比透磁率μｒは、１とした。そして、こうしたインダクタ部品１０のインダクタ配線３０には、正弦波の電気信号を入力する。電気信号の振幅は２．２５Ａであり、電気信号の周波数は３ＭＨｚである。
　一方で、図１６に示すように、第１比較例のインダクタ部品８０は、以下の寸法の磁性薄帯８１、非磁性層８２、非磁性部８３、及びインダクタ配線８４を備えている。
　第１比較例のインダクタ部品８０において、第２軸Ｚに沿う方向から視て、磁性薄帯８１に外接する面積が最小の第２仮想長方形を描いたとする。磁性薄帯８１の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、４８５μｍである。磁性薄帯８１の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２０μｍである。磁性薄帯８１の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、９９０μｍである。第２仮想長方形の短辺に対する、第２仮想長方形の長辺のアスペクト比は２より大きくなっている。一方で、第１比較例の磁性薄帯８１の短辺は、第１軸Ｘと平行に延びている。つまり、第１比較例と第１実施例とでは、磁性薄帯の短辺の向きが異なっている。
　磁性薄帯８１の第２軸Ｚに沿う方向に積層する数は、４１個である。磁性薄帯８１の第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ数は、４個である。磁性薄帯８１の中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ数は、２個である。非磁性層８２の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２μｍである。第１軸Ｘに沿う方向における各磁性薄帯８１の間に位置する第１軸Ｘに沿う方向の非磁性部８３の寸法は２０μｍである。同様に、中心軸ＣＡに沿う方向における各磁性薄帯８１の間に位置する中心軸ＣＡに沿う方向の非磁性部８３の寸法は２０μｍである。
　インダクタ配線８４の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、０．５ｍｍである。インダクタ配線８４の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、０．１ｍｍである。インダクタ配線８４の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２４００μｍである。このシミュレーションにおいて、磁性薄帯８１、非磁性部８３を含む素体の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２０２０μｍである。すなわち、このシミュレーションにおいて、インダクタ配線８４の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、素体の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法よりも３８０μｍだけ大きい。そのため、素体の正方向Ｙ１の端面からインダクタ配線８４が１９０μｍだけ突出し、素体の負方向Ｙ２の端面からインダクタ配線８４が１９０μｍだけ突出した状態で、シミュレーションが行われる。
　インダクタ配線３０の位置は、インダクタ配線８４の重心が、素体の重心位置に一致するように配置した。なお、インダクタ配線３０と磁性薄帯８１とが接する部分には、１００ｎｍの非磁性の絶縁ギャップを設けた。非磁性層８２、非磁性部８３の非磁性材料の比透磁率μｒは、１とした。
　そして、こうしたインダクタ部品８０のインダクタ配線８４には、正弦波の電気信号を入力する。電気信号の振幅は２．２５Ａであり、電気信号の周波数は３ＭＨｚである。
　上記の第１実施例のインダクタ部品１０及び第１比較例のインダクタ部品８０に対し、インダクタンスＬ及び直流重畳特性Ｉｓａｔを算出した。なお、直流重畳特性Ｉｓａｔは、０．００１ＡにおけるインダクタンスＬである初期インダクタンスに対してインダクタンスＬが２０％低下するときの電流値である。
　＜シミュレーションの結果について＞
　図１７に示すように、第１実施例のインダクタ部品１０の方が、第１比較例のインダクタ部品８０よりもインダクタンスＬが大きくなっていた。具体的には、第１実施例のインダクタ部品１０のインダクタンスＬは、１６．１ｎＨであった。第１比較例のインダクタ部品８０のインダクタンスＬは、１３．３ｎＨであった。また、Ｉｓａｔに関しては、第１実施例のインダクタ部品１０及び第１比較例のインダクタ部品８０で同じ４５Ａであった。
　＜第１実施形態の作用について＞
　インダクタ部品１０のインダクタ配線３０に、中心軸ＣＡに沿う方向に電流が流れると、インダクタ配線３０周りには、磁界が発生する。磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２が中心軸ＣＡと平行、すなわち長辺Ｌ１が第１軸Ｘと平行な場合、発生する磁束が磁性薄帯４０に侵入しやすくなる。すなわち、素体２０全体で視た場合の磁束密度が大きくなる。
　＜第１実施形態の効果について＞
　（１－１）第１実施形態では、磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、インダクタ配線３０の直線部分３０Ａの中心軸ＣＡと平行である。当該条件を満たしたインダクタ部品１０のインダクタンスＬは、第１比較例のインダクタ部品８０のインダクタンスＬよりも大きくなっている。第１実施形態のように磁性薄帯４０の短辺Ｌ２の向きを定めることで、磁性薄帯４０が第２軸Ｚに沿った方向に積層されたインダクタ部品１０において、インダクタンスＬを改善できる。
　（１－２）第１実施形態のインダクタ部品１０は、第２仮想長方形ＶＲ２のアスペクト比が、２以上の磁性薄帯４０を含んでいる。すなわち、中心軸ＣＡと平行に延びる第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２の寸法が、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１の寸法に対して半分以下になっている。第１比較例のインダクタ部品８０と比較すると、インダクタ部品１０の磁性薄帯４０の短辺Ｌ２の寸法が相当に短いことで、より効果的にインダクタンスＬを改善できる。
　（１－３）第１実施形態において、複数の磁性薄帯４０は行列状に配列されている。このような構造の場合、素体２０の寸法が同じであれば、中心軸ＣＡに沿う方向に磁性薄帯４０が１つのみ配置されている場合に比較して、磁性薄帯４０の１つ当たりの面積が小さくなる。そのため、磁性薄帯４０に生じる渦電流を小さくできる。
　（１－４）第１実施形態において、磁性薄帯４０は、短辺Ｌ２に平行な方向に配列された数の方が、長辺Ｌ１に平行な方向に配列された数よりも多くなっている。このように、方向によって異なる数の磁性薄帯４０を配列することで、素体２０の形状を標準的な外形に設計しやすい。
　（１－５）仮に磁性薄帯４０を第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１に平行な方向にも、短辺Ｌ２に平行な方向にも、同数配置したとする。この場合、素体２０のアスペクト比は、第１部分Ｐ１の磁性薄帯４０のアスペクト比、及び第３部分Ｐ３の磁性薄帯４０のアスペクト比を反映して、２程度となる。第１実施形態において、第２断面視で、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、短辺Ｌ２に平行な方向に並ぶ磁性薄帯４０の数が、長辺Ｌ１に平行な方向に並ぶ磁性薄帯４０の数よりも多くなっている。このような磁性薄帯４０の構成にすることで、素体２０のアスペクト比を、磁性薄帯４０のアスペクト比とは異なる値にできる。
　（１－６）上記実施形態によれば、仮想直線ＶＬは、第１磁性薄帯４１の第１範囲ＡＲ１１内を通っている。そのため、インダクタ配線３０に電流が流れたときに発生する磁束のうち、インダクタ配線３０の第１配線端ＩＰ１の近傍において、仮想直線ＶＬに沿う向きの磁束の大半は、第１磁性薄帯４１の第１軸Ｘに沿う方向の端を除く部分を通過する。すなわち、インダクタ配線３０に電流が流れたときに発生する磁束のうち、第１磁性薄帯４１に沿う方向の端を通過する磁束が少なくなる。そのため、磁束が乱れたり、磁束が局所に集中したりすることを抑制できる。
　（１－７）上記実施形態によれば、磁性薄帯４０の材質は、Ｆｅ元素及びＳｉ元素を含んでいる。そのため、磁性材料として、高い比透磁率μｒを得ることができる。
　＜インダクタ部品の第２実施形態＞
　以下、インダクタ部品の第２実施形態について説明する。なお、図面は理解を容易にするため構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。また、断面図ではハッチングを付しているが、理解を容易にするために一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。さらに、複数の部材のうち、一部の部材のみに符号を付している場合がある。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同様の構成については、説明を簡略化または省略する。
　＜全体構成＞
　図１８に示すように、インダクタ部品１０は、素体２０と、インダクタ配線３０と、を備えている。インダクタ配線３０は、主面ＭＦに沿って素体２０の内部で延びている。インダクタ配線３０は、直線状に延びる直線部分３０Ａを有している。インダクタ配線３０のうち、最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａの延びる軸を中心軸ＣＡとする。本実施形態では、インダクタ配線３０全体が直線部分３０Ａである。
　図１８に示すように、インダクタ部品１０は、第１部分Ｐ１と、第２部分Ｐ２と、第３部分Ｐ３と、で構成されている。３つの部分Ｐ１～Ｐ３は、第２軸Ｚに沿ってこの順に並んでいる。３つの部分Ｐ１～Ｐ３のうち、第２軸Ｚに沿う第２負方向Ｚ２の端には、第１部分Ｐ１が位置している。
　図１９に示すように、第１部分Ｐ１は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに略正方形状である。第１部分Ｐ１は、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０とを有する。第１部分Ｐ１において、複数の磁性薄帯４０と複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０、複数の非磁性膜７０とは、素体２０の一部を構成している。
　図２０に示すように、中心軸ＣＡに直交する第１断面視で、第１部分Ｐ１の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向に積層されている。図１９に示すように、第１部分Ｐ１の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに長方形状である。第１部分Ｐ１において、複数の磁性薄帯４０の形状及び寸法は、すべて同一である。
　ここで、図１８に示すように、第２軸Ｚに沿う方向から視て、第１部分Ｐ１を構成する各磁性薄帯４０に外接する面積が最小の第２仮想長方形ＶＲ２を描く。本実施形態では、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、各磁性薄帯４０は長方形状であるため、第２仮想長方形ＶＲ２は、各磁性薄帯４０の外形と一致する。第２仮想長方形ＶＲ２は、長辺Ｌ１と、長辺Ｌ１より短い短辺Ｌ２とを有している。第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　図２０に示すように、磁性薄帯４０は、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に平行な方向に非磁性部６０を介して８個並んでいる。また、磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向に、非磁性部６０を介して２個並んでいる。すなわち、複数の磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向及び短辺Ｌ２に平行な方向に行列状に配列されている。また、磁性薄帯４０は、短辺Ｌ２に平行な方向に配列された数の方が、長辺Ｌ１に平行な方向に配列された数よりも多い。
　図１９に示すように、素体２０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、隣り合う磁性薄帯４０の間に、非磁性部６０を備えている。非磁性部６０は、第２軸Ｚに沿う方向の同一の位置において並ぶ磁性薄帯４０の間の空間を全て埋めている。上述したとおり、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向に２つ、短辺Ｌ２に平行な方向に８つ、合計１６個存在するので、非磁性部６０は２２個存在している。なお、非磁性膜７０の構成については、第１実施形態と同様である。
　図１８に示すように、第１部分Ｐ１から視て、第２正方向Ｚ１には、第２部分Ｐ２が位置している。第２部分Ｐ２は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、第１部分Ｐ１と同じ正方形状である。
　第２部分Ｐ２は、インダクタ配線３０と、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０と、で構成されている。
　インダクタ配線３０は、中心軸ＣＡに直交するインダクタ部品１０の断面において、長辺及び長辺より短い短辺を有する長方形状である。
　インダクタ配線３０は、第２軸Ｚに沿う方向から視て長方形状であり、直線状に延びている。インダクタ配線３０の最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａの軸は、中心軸ＣＡである。インダクタ配線３０の正方向Ｙ１の端面は、第２部分Ｐ２の外面の一部を構成しており、素体２０から露出している。同様に、インダクタ配線３０の負方向Ｙ２の端面は、第２部分Ｐ２の外面の一部を構成しており、素体２０から露出している。
　第２軸Ｚから視たときに、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う正方向Ｙ１の端面及び負方向Ｙ２の端面は、第１軸Ｘと平行になっている。また、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡは、第１軸Ｘに沿う方向において、第２部分Ｐ２の中心に位置している。そのため、インダクタ配線３０の直線部分３０Ａの延びる軸である中心軸ＣＡは、第１軸Ｘに沿う方向における第２部分Ｐ２の中心を通っている。インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う方向での寸法は、第２部分Ｐ２の第１軸Ｘに沿う方向での寸法の約４分の１になっている。
　第２部分Ｐ２において、インダクタ配線３０でない部分は、第１部分Ｐ１と同様に、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０と、で構成されている。
　図２０に示すように、中心軸ＣＡに直交する第１断面視で、第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向に積層されている。図１８に示すように、第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに長方形状である。複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。
　図１８に示すように、第２軸Ｚに沿う方向から視て、第２部分Ｐ２を構成する各磁性薄帯４０に外接する面積が最小の第２仮想長方形ＶＲ２を描く。
　第２部分Ｐ２において、磁性薄帯４０は、インダクタ配線３０から視て、第１軸Ｘに沿う第１正方向Ｘ１及び第１負方向Ｘ２の両側に位置している。すなわち、第２部分Ｐ２において、磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向に、インダクタ配線３０を挟んで２つ並んでいる。また、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、短辺Ｌ２に平行な方向に、非磁性部６０を介して８つ並んでいる。すなわち、第２部分Ｐ２の複数の磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１に平行な方向及び短辺Ｌ２に平行な方向に行列状に配列されている。
　上述した第１部分Ｐ１と同様に、第２部分Ｐ２の非磁性層５０は、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯４０の間に位置している。第２部分Ｐ２の非磁性部６０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において並ぶ磁性薄帯４０の間に位置している。非磁性膜７０は、第２部分Ｐ２において、第１正方向Ｘ１の端及び第１負方向Ｘ２の端に位置している。
　第２部分Ｐ２の第２正方向Ｚ１には、第３部分Ｐ３が位置している。第３部分Ｐ３は、複数の磁性薄帯４０と、複数の非磁性層５０と、複数の非磁性部６０と、複数の非磁性膜７０で構成されている。第３部分Ｐ３は、第２部分Ｐ２を挟んで第１部分Ｐ１と対称的な構造である。
　＜アスペクト比について＞
　第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に対する、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１の比をアスペクト比とする。本実施形態では、第１部分Ｐ１の第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１の寸法は９９０μｍである。第１部分Ｐ１の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２の寸法は２３２．５μｍである。したがって、第１部分Ｐ１を構成する磁性薄帯４０のアスペクト比は、４以上である。さらに、第１部分Ｐ１を構成する各磁性薄帯４０について第２仮想長方形ＶＲ２を描いたときに、その短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　第２部分Ｐ２の磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１は、７５０μｍである。当該磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、２３２．５μｍである。したがって、第２部分Ｐ２の磁性薄帯４０のアスペクト比は、３以上である。さらに、第２部分Ｐ２の各磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　また、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０は、第１部分Ｐ１を構成する各磁性薄帯４０と同じ形状である。したがって、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０のアスペクト比は、４以上である。また、図１８に示すように、第３部分Ｐ３を構成する各磁性薄帯４０について第２仮想長方形ＶＲ２を描いたときに、その短辺Ｌ２は、中心軸ＣＡと平行である。
　＜シミュレーションについて＞
　次に、上記第２実施形態のインダクタ部品１０を第２実施例とし、この第２実施例について得られる特性を、第２比較例のインダクタ部品９０と比較したシミュレーションについて説明する。シミュレーションには、ムラタソフトウェア株式会社のＦｅｍｔｅｔ（登録商標）を用いた。
　＜シミュレーションの条件について＞
　使用したソフトは、ムラタソフトウェア製のＦｅｍｔｅｔ２０１９である。ソルバは、静磁場解析である。モデルは、３次元である。標準メッシュサイズは、０．２５ｍｍである。磁性体は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｂからなるアモルファス金属磁性薄膜、比透磁率μｒは、７０００であり、飽和磁束密度Ｂｓは、１．３Ｔである。磁性体ＢＨ曲線は、Ｂ＝Ｂｓ×ｔａｎｈ（μ０×μｒ×Ｈ／Ｂｓ）を満たすものを使用した。なお、比透磁率μｒが１以上の部分を使用し、さらにＦｅｍｔｅｔ２０１９の機能を使って、真空の透磁率へ外挿した。インダクタ配線３０の材質は、銅である。
　磁性薄帯４０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、９９０μｍである。磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２０μｍである。磁性薄帯４０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２３２．５μｍである。非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２μｍである。磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向に積層する数は、４１個である。磁性薄帯４０の第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ数は、２個である。磁性薄帯４０の中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ数は、８個である。第１軸Ｘに沿う方向における各磁性薄帯４０の間に位置する非磁性部６０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は２０μｍである。同様に、中心軸ＣＡに沿う方向に隣り合う各磁性薄帯４０の間に位置する非磁性部６０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２０μｍである。
　インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、０．５ｍｍである。インダクタ配線３０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、０．１ｍｍである。インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２４００μｍである。このシミュレーションにおいて、素体２０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２０２０μｍである。すなわち、このシミュレーションにおいて、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、素体２０の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法よりも３８０μｍだけ大きい。そのため、素体２０の正方向Ｙ１の端面からインダクタ配線３０が１９０μｍだけ突出し、素体２０の負方向Ｙ２の端面からインダクタ配線３０が１９０μｍだけ突出した状態で、シミュレーションが行われる。
　インダクタ配線３０の位置は、インダクタ配線３０の重心が、素体２０の重心位置に一致するように配置した。なお、インダクタ配線３０と磁性薄帯４０とが接する部分には、１００ｎｍの非磁性の絶縁ギャップを設けた。非磁性層５０、非磁性部６０の非磁性材料の比透磁率μｒは、１とした。そして、こうしたインダクタ部品１０のインダクタ配線３０には、正弦波の電気信号を入力する。電気信号の振幅は２．２５Ａであり、電気信号の周波数は３ＭＨｚである。
　一方で、図２１に示すように、第２比較例のインダクタ部品９０は、以下の寸法の磁性薄帯９１、非磁性層９２、非磁性部９３、及びインダクタ配線９４を備えている。
　第２比較例のインダクタ部品９０において、第２軸Ｚに沿う方向から視て、磁性薄帯９１に外接する面積が最小の第２仮想長方形を描いたとする。磁性薄帯９１の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、２３２．５μｍである。磁性薄帯９１の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２０μｍである。磁性薄帯９１の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、９９０μｍである。すなわち、第２仮想長方形の短辺に対する、第２仮想長方形の長辺の比は４より大きくなっている。一方で、第２比較例の磁性薄帯９１の短辺は、第１軸Ｘと平行に延びている。つまり、第２比較例と第２実施例とでは、磁性薄帯の短辺の向きが異なっている。
　磁性薄帯９１の第２軸Ｚに沿う方向に積層する数は、４１個である。磁性薄帯９１の第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ数は、８個である。磁性薄帯９１の中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ数は、２個である。非磁性層９２の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、２μｍである。第１軸Ｘに沿う方向における各磁性薄帯９１の間に位置する非磁性部９３の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は２０μｍである。同様に、中心軸ＣＡに沿う方向における各磁性薄帯９１の間に位置する非磁性部９３の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は２０μｍである。
　インダクタ配線９４の第１軸Ｘに沿う方向の寸法は、０．５ｍｍである。インダクタ配線９４の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、０．１ｍｍである。インダクタ配線９４の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２４００μｍである。このシミュレーションにおいて、磁性薄帯９１、非磁性部９３を含む素体の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、２０２０μｍである。すなわち、このシミュレーションにおいて、インダクタ配線９４の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法は、素体の中心軸ＣＡに沿う方向の寸法よりも３８０μｍだけ大きい。そのため、素体の正方向Ｙ１の端面からインダクタ配線９４が１９０μｍだけ突出し、素体の負方向Ｙ２の端面からインダクタ配線９４が１９０μｍだけ突出した状態で、シミュレーションが行われる。
　インダクタ配線３０の位置は、インダクタ配線９４の重心が、素体の重心位置に一致するように配置した。なお、インダクタ配線３０と磁性薄帯９１とが接する部分には、１００ｎｍの非磁性の絶縁ギャップを設けた。非磁性層９２、非磁性部９３の非磁性材料の比透磁率μｒは、１とした。
　そして、こうしたインダクタ部品９０のインダクタ配線９４には、正弦波の電気信号を入力する。電気信号の振幅は２．２５Ａであり、電気信号の周波数は３ＭＨｚである。
　上記の第２実施例のインダクタ部品１０及び第２比較例のインダクタ部品９０に対し、インダクタンスＬ及び直流重畳特性Ｉｓａｔを算出した。なお、直流重畳特性Ｉｓａｔは、０．００１ＡにおけるインダクタンスＬである初期インダクタンスに対してインダクタンスＬが２０％低下するときの電流値である。
　＜シミュレーションの結果について＞
　図２２に示すように、第２実施例のインダクタ部品１０の方が、第２比較例のインダクタ部品９０よりもインダクタンスＬが大きくなっていた。具体的には、第２実施例のインダクタ部品１０のインダクタンスＬは、１５．４ｎＨであった。第２比較例のインダクタ部品９０のインダクタンスＬは、６．９ｎＨであった。また、第２実施例のインダクタ部品１０の方が、第２比較例のインダクタ部品９０よりもＩｓａｔが大きくなっていた。具体的には、第２実施例のインダクタ部品１０のＩｓａｔは、４０Ａであった。第２比較例のインダクタ部品９０のＩｓａｔは、１７ｎＨであった。
　第２比較例のインダクタ部品９０は、第１比較例のインダクタ部品８０と比較すると、第１断面視で、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、第１軸Ｘに沿う方向に並ぶ磁性薄帯の数が大きくなっている。そして、第２比較例のインダクタ部品９０は、第１比較例のインダクタ部品８０と比較すると、磁性薄帯のアスペクト比が大きくなっていた。磁性薄帯の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺が第１軸Ｘと平行な場合、磁性薄帯のアスペクト比が大きいと、インダクタンスＬ及びＩｓａｔが低下していた。
　一方で、第２実施例のインダクタ部品１０は、第１実施例のインダクタ部品１０と比較すると、第２断面視で、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ磁性薄帯４０の数が大きくなっている。そして、第２実施例のインダクタ部品１０は、第１実施例のインダクタ部品１０と比較すると、磁性薄帯４０のアスペクト比が大きくなっている。このように、磁性薄帯４０の第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２が中心軸ＣＡと平行な場合、磁性薄帯４０のアスペクト比が大きいと、アスペクト比が低い場合と比べてＩｓａｔ及びインダクタンスＬが低下しにくい。すなわち、第２軸Ｚに沿う同一の位置において多数の磁性薄帯４０を設けつつも、Ｉｓａｔ及びインダクタンスＬとして相応に高い値を確保できる。
　＜第２実施形態の効果＞
　次に、第２実施形態の効果を説明する。第２実施形態のインダクタ部品１０は、第１実施形態の（１－１）から（１－５）及び（１－７）の効果に加え、以下の効果を奏する。
　（２－１）第２実施形態において、インダクタ部品１０は、第２仮想長方形ＶＲ２のアスペクト比が４以上の磁性薄帯４０を含んでいる。すなわち、中心軸ＣＡと平行に延びる第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２の長さが、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１に対して４分の１倍以下の長さになっている。このような場合でも、インダクタンスＬ及びＩｓａｔは相応に高い値が確保できる。また、アスペクト比が４以上の磁性薄帯４０では、第１実施例のインダクタ部品１０よりも磁性薄帯４０の１つ当たりの面積が小さくなる。そのため、磁性薄帯４０に生じる渦電流を小さくできる。
　＜その他の実施例＞
　上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で組み合わせて実施することができる。
　・上記実施形態において、素体２０の形状は、上記実施形態の例に限られない。例えば、第２軸Ｚに沿う方向から視たときに、素体２０の形状は、長方形状、四角形以外の多角形状等であってもよい。
　・上記各実施形態において、インダクタ配線３０とは、電流が流れた場合に素体２０に磁束を発生させることによって、インダクタ部品１０にインダクタンスＬを付与できるものであれば、形状は適宜に変更できる。例えば、上述したシミュレーションのように、インダクタ配線３０の両端が素体２０から突出していてもよい。
　インダクタ配線３０は、中心軸ＣＡに直交する断面において、楕円状であってもよい。そして、当該インダクタ配線３０に外接するとともに、第１軸Ｘに沿う第１辺及び第２軸Ｚに沿う第２辺を有する面積が最小の第１仮想長方形ＶＲ１を描く。このとき、第１仮想長方形ＶＲ１の第１辺は、第１仮想長方形ＶＲ１の第２辺よりも長い。
　また、上記実施形態において、中心軸ＣＡに直交する断面におけるインダクタ配線３０の形状は、第２軸Ｚに沿う第２辺が、第１軸Ｘに沿う第１辺よりも長くてもよい。
　さらに、中心軸ＣＡに直交する断面において、インダクタ配線３０の形状は、１つ以上の突出部分を含む場合等、線対称や回転対称等の対称性を有しない形状であってもよい。
　さらに、中心軸ＣＡに直交する断面において、インダクタ配線３０の形状は、正方形状であってもよいし、真円状であってもよい。この場合、中心軸ＣＡに直交する断面において描く第１仮想長方形ＶＲ１は正方形となり、第１仮想長方形ＶＲ１の第１辺は、第１仮想長方形ＶＲ１の第２辺より長くない。
　・上記各実施形態において、インダクタ配線３０の形状は、直線部分３０Ａを有していれば、全体が直線状でなくてもよい。例えば、途中で屈曲している形状、部分的に湾曲している形状や、ミアンダ形状であってもよい。なお、インダクタ配線３０が、屈曲している形状や、ミアンダ形状の場合、インダクタ配線３０は、複数の直線部分３０Ａを有する。この場合、中心軸ＣＡは、複数の直線部分３０Ａのうち、最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａの延びる軸である。
　・上記実施形態において、インダクタ配線３０のうち最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａが複数あってもよい。その場合、中心軸ＣＡは、当該複数の直線部分３０Ａのうちのいずれかの直線部分３０Ａの延びる軸に該当し、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２は、当該中心軸ＣＡと平行であればよい。すなわち、インダクタ配線３０のうち最も延びる寸法の大きい直線部分３０Ａが複数ある場合、短辺Ｌ２はすべての直線部分３０Ａと平行である必要はない。
　・上記各実施形態において、インダクタ配線３０の材質は、導電性材料であれば、上記実施形態の例に限られない。例えば、インダクタ配線３０の材質は、導電性の樹脂であってもよい。
　・上記各実施形態において、インダクタ配線３０が素体２０から露出している部分には、外部電極が接続されていてもよい。例えば、インダクタ配線３０の中心軸ＣＡに沿う方向の両端面、及び素体２０の中心軸ＣＡに沿う方向の両端面に、塗布、印刷、めっき等によって、外部電極を形成してもよい。
　・上記各実施形態において、磁性薄帯４０と非磁性層５０とが積層される方向は、製造上の誤差等により、中心軸ＣＡ及び第１軸Ｘに対して直交しないこともある。上記実施形態において、磁性薄帯４０等が「第２軸Ｚに沿う方向に積層されている」というのは、このような製造上の誤差などを許容するものである。
　・上記各実施形態において、第２軸Ｚに沿う方向に積層される磁性薄帯４０の数は、２個以上であればよい。
　・上記各実施形態において、磁性薄帯４０の材質は、磁性材料であれば、上記実施形態の例に限られない。例えば、Ｆｅであってもよいし、Ｎｉであってもよい。また、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、Ｐ元素以外を含む金属磁性材料であってもよい。
　・上記各実施形態において、非磁性層５０の材質は、非磁性材料であれば、上記実施形態の例に限られない。非磁性層５０は、アクリル樹脂や、エポキシ樹脂、シリコン樹脂以外の樹脂であってもよい。また、非磁性層５０は、アルミナ、シリカ、ガラス等の非磁性セラミクスやこれらを含む非磁性無機物であってもよいし、空隙であってもよく、さらにこれらの混合物であってもよい。この点、非磁性部６０及び非磁性膜７０についても同様である。また、非磁性層５０、非磁性部６０及び非磁性膜７０の材質は、非磁性材料であれば、互いに異なっていてもよいし、部分的に異なっていてもよい。
　・上記実施形態において、非磁性層５０、非磁性部６０、非磁性膜７０は一体化していてもよいし、別の部材であってもよい。例えば、非磁性層５０は、中空であってもよいし、磁性薄帯４０の表面が酸化した酸化膜が絶縁体となって構成されていてもよい。
　・上記実施形態において、非磁性層５０を省いてもよい。この場合、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う磁性薄帯４０同士が直接接触していてもよい。
　・上記実施形態において、非磁性部６０を省いてもよい。この場合、第１軸Ｘ又は中心軸ＣＡに沿う方向に並ぶ磁性薄帯４０同士が直接接触していてもよい。また、非磁性部６０が、インダクタ配線３０と磁性薄帯４０との間に存在していてもよい。この場合、非磁性部６０によって、インダクタ配線３０と磁性薄帯４０との間の絶縁性を確保できる。
　なお、「複数の磁性薄帯４０が積層された」とは、具体的には、隣接する磁性薄帯４０同士が完全に又は部分的に絶縁されている場合や微視的に物理的な境界が存在する場合を指す。例えば、磁性薄帯４０同士が焼結されて完全に一体化されている状態等は含まない。
　・上記各実施形態において、磁性薄帯４０が第２軸Ｚに沿う方向に積層されているのであれば、磁性薄帯４０、非磁性層５０及び非磁性部６０の構成は、変更できる。例えば、第２部分Ｐ２のうちのインダクタ配線３０を除く部分全てを磁性薄帯４０で構成してもよいし非磁性層５０で構成してもよい。また、第２部分Ｐ２のうちのインダクタ配線３０を除く部分全てを磁性薄帯４０で構成する場合、その磁性薄帯４０は粉体状の磁性材料と非磁性材料とのコンポジット材であってもよい。このようなコンポジット材としては、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｂからなるアモルファス金属粒子と樹脂とのメタルコンポジット材が挙げられる。
　・上記各実施形態において、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に平行な方向に並ぶ磁性薄帯４０の数が、長辺Ｌ１に平行な方向に並ぶ磁性薄帯４０の数と、同じでもよいし、少なくてもよい。
　・上記各実施形態において、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１に平行な方向に複数並んでいなくてもよい。また、同様に、磁性薄帯４０は、第２軸Ｚに沿う同一の位置において、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に平行な方向に複数並んでいなくてもよい。
　・上記各実施形態において、第２仮想長方形ＶＲ２の短辺Ｌ２に対する、第２仮想長方形ＶＲ２の長辺Ｌ１のアスペクト比は、１より大きければ、２より小さくてもよい。つまり、磁性薄帯４０は、長辺Ｌ１が短辺Ｌ２より長ければよい。
　・上記各実施形態において、複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、異なっていてもよい。磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法が小さい場合、製造方法によっては２０％程度の製造誤差が生じることもあり得る。したがって、磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法の平均値に対して、８０％以上１２０％以下であれば、ほぼ等しいとみなせる。なお、１つの磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、電子顕微鏡にて１０００倍から１００００倍までの間の倍率に拡大した一枚の画像のうち、３点の平均値とする。また、複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、電子顕微鏡にて３つ以上の磁性薄帯４０がおさまる一枚の画像で測定した１つの磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法の平均値である。
　・複数の磁性薄帯４０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、すべて同一でなくてもよい。互いにばらついていてもよいし、平均値に対して、２０％より大きくばらついていてもかまわない。
　・上記各実施形態において、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔は異なっていてもよい。例えば、非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法が小さい場合、製造方法によっては２０％程度の製造誤差が生じることもあり得る。また例えば、上述した変更例のように、非磁性層５０の一部分が中空になることで、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔がばらつくこともあり得る。また、非磁性層５０と磁性薄帯４０との間に空隙が存在することもある。この場合、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔は、非磁性層５０と空隙との長さを足し合わせたものとなる。したがって、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔は、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う複数組の磁性薄帯４０間の間隔の平均値に対して、８０％以上１２０％以下であれば、ほぼ等しいとみなせる。なお、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う１組の磁性薄帯４０間の間隔は、電子顕微鏡にて１０００倍から１００００倍までの間の倍率に拡大した一枚の画像のうち、第２軸Ｚに沿う方向の最小の寸法とする。また、第２軸Ｚに沿う方向に隣り合う複数組の磁性薄帯４０間の間隔の平均値は、電子顕微鏡にて６つ以上の磁性薄帯４０がおさまる一枚の画像で測定した５組の磁性薄帯４０の間の間隔の平均値である。
　・複数の非磁性層５０の第２軸Ｚに沿う方向の寸法は、すべて同一でなくてもよい。互いにばらついていてもよいし、平均値に対して、２０％より大きくばらついていてもかまわない。
　・上記各実施形態において、非磁性部６０の数や位置は、上記実施形態の例に限られない。第１軸Ｘに沿う方向や中心軸ＣＡに沿う方向における磁性薄帯４０の数や位置に併せて、非磁性部６０の数や位置を変更すればよい。また、非磁性部６０の大きさも、第２軸Ｚに沿う方向における同一の位置における磁性薄帯４０の間隔に併せて、適宜変更すればよい。
　・上記実施形態において、仮想直線ＶＬが、第１磁性薄帯４１を含む第２軸Ｚに沿う方向に連続して並ぶ５つの磁性薄帯４０の第１範囲ＡＲ１１内を通ることが好ましく、すべての磁性薄帯４０の第１範囲ＡＲ１１内を通ることがより好ましい。そのため、仮想直線ＶＬが、すべての磁性薄帯４０の第１軸Ｘに沿う方向における略中央を通っていなくてもよい。
　・上記第１実施形態において、インダクタ配線３０の第１軸Ｘに沿う方向の位置は、上記実施形態の例に限られない。インダクタ配線３０の第１配線端ＩＰ１の第１軸Ｘに沿う方向の位置が、第１磁性薄帯４１の第１範囲ＡＲ１１内から外れていてもよい。例えば、仮想直線ＶＬが第１範囲ＡＲ１１内ではなく、非磁性部６０上を通っていてもよい。
　・上記各実施形態において、インダクタ部品１０の製造方法は、上記実施形態の例に限られない。例えば、インダクタ配線３０が配置されたシートの両面に、磁性薄帯４０及び非磁性層５０を交互に積層してもよい。
　１０…インダクタ部品
　２０…素体
　３０…インダクタ配線
　３０Ａ…直線部分
　４０…磁性薄帯
　４１…第１磁性薄帯
　５０…非磁性層
　６０…非磁性部
　７０…非磁性膜
　ＣＡ…中心軸
　Ｌ１…長辺
　Ｌ２…短辺
　ＶＬ…仮想直線
　ＶＲ１…第１仮想長方形
　ＶＲ２…第２仮想長方形
　Ｘ…第１軸
　Ｚ…第２軸

Claims (8)

  1. 　磁性材料からなる平板状の複数の磁性薄帯を含み、複数の前記磁性薄帯が、前記磁性薄帯の主面に対して直交する方向に積層された素体と、
    　前記素体の内部で、前記主面に沿って延びているインダクタ配線と、を備え、
    　前記インダクタ配線は、直線状に延びる直線部分を有し、
    　最も延びる寸法の大きい前記直線部分の延びる軸を中心軸とし、前記中心軸に直交する断面視で前記主面に沿う軸を第１軸とし、前記断面視で前記主面に直交する軸を第２軸とし、前記第２軸に沿う方向から視て前記磁性薄帯に外接する面積が最小の仮想長方形を描いたとき、
    　前記仮想長方形は長辺と前記長辺より短い短辺とを有し、前記短辺は、前記中心軸と平行である
    　インダクタ部品。
  2. 　前記短辺に対する前記長辺の比をアスペクト比としたとき、前記アスペクト比が２以上の前記磁性薄帯を含む
    　請求項１に記載のインダクタ部品。
  3. 　前記アスペクト比が４以上の前記磁性薄帯を含む
    　請求項２に記載のインダクタ部品。
  4. 　前記複数の磁性薄帯は、前記長辺に平行な方向及び前記短辺に平行な方向に行列状に配列されている
    　請求項１～請求項３にいずれか一項に記載のインダクタ部品。
  5. 　前記素体は、前記長辺に平行な方向又は前記短辺に平行な方向に隣り合う前記磁性薄帯の間に、非磁性材料からなる非磁性部を備えている
    　請求項４に記載のインダクタ部品。
  6. 　前記複数の磁性薄帯は、前記短辺に平行な方向に配列された数の方が、前記長辺に平行な方向に配列された数よりも多い
    　請求項４又は請求項５に記載のインダクタ部品。
  7. 　前記第１軸に沿う２つの方向のうちのいずれか一方を第１正方向としたとき、
    　前記断面視において、
    　　前記インダクタ配線の前記第１正方向の端を第１配線端とし、
    　　前記インダクタ配線に対して前記第２軸に沿う方向に積層された前記磁性薄帯のうち、前記第１配線端からの前記第２軸に沿う方向の距離が最も短い前記磁性薄帯を第１磁性薄帯とし、
    　　前記磁性薄帯における前記第１軸に沿う方向の両端を除く範囲を第１範囲としたとき、
    　　前記第１配線端を通り前記第２軸に沿う方向に延びる仮想直線を引いたときに、前記仮想直線は、前記第１磁性薄帯の前記第１範囲内を通る
    　請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のインダクタ部品。
  8. 　前記磁性薄帯は、Ｆｅ元素及びＳｉ元素を含んでいる
    　請求項１～請求項７のいずれか１項に記載のインダクタ部品。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03284808A (ja) * 1990-03-30 1991-12-16 Toshiba Lighting & Technol Corp 平面インダクタンス素子
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