WO2022181177A1 - インダクタ部品 - Google Patents

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WO2022181177A1
WO2022181177A1 PCT/JP2022/003063 JP2022003063W WO2022181177A1 WO 2022181177 A1 WO2022181177 A1 WO 2022181177A1 JP 2022003063 W JP2022003063 W JP 2022003063W WO 2022181177 A1 WO2022181177 A1 WO 2022181177A1
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WO
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magnetic
along
direction along
inductor
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Application number
PCT/JP2022/003063
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English (en)
French (fr)
Inventor
敢 三宅
充 小田原
Original Assignee
株式会社村田製作所
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type  with magnetic core
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type  with magnetic core
    • H01F17/06Fixed inductances of the signal type  with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/24Magnetic cores
    • H01F27/25Magnetic cores made from strips or ribbons
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections

Definitions

  • the present disclosure relates to inductor components.
  • the inductor component described in Patent Document 1 includes an element body and inductor wiring extending inside the element body.
  • the body is made of inorganic filler and resin.
  • the material of the inorganic filler is a magnetic material.
  • the average particle size of the inorganic filler is 5 ⁇ m or less.
  • the present invention includes a plurality of flat magnetic ribbons made of a magnetic material, wherein the plurality of magnetic ribbons are laminated in a direction perpendicular to the main surface of the magnetic ribbons. and an inductor wiring extending along the main surface inside the base body, and the main body in a cross-sectional view orthogonal to the central axis, with the axis along which the inductor wiring extends as a central axis.
  • an axis along the surface is defined as a first axis
  • an axis perpendicular to the main surface in the cross-sectional view is defined as a second axis
  • one of two directions along the first axis is defined as a first positive direction.
  • the end of the inductor wiring in the first positive direction is defined as a first wiring end, and among the magnetic ribbons laminated in the direction along the second axis with respect to the inductor wiring, the The magnetic ribbon having the shortest distance in the direction along the second axis from one wiring end is defined as a first magnetic ribbon, and the range excluding both ends of the magnetic ribbon in the direction along the first axis is referred to as a first range.
  • the virtual straight line passes through the first wiring end and extending in the direction along the second axis is drawn, the virtual straight line is an inductor component passing through the first range of the first magnetic ribbon be.
  • the magnetic flux generated when current flows through the inductor wiring tends to concentrate at the edge of the inductor wiring in a cross-sectional view orthogonal to the central axis of the inductor wiring. If the magnetic flux generated when the current flows through the inductor wiring passes through the end of the first magnetic ribbon, the magnetic flux is disturbed or locally concentrated, so the magnetic flux density passing through the magnetic ribbon is improved. impede According to the above configuration, in the direction along the first axis, the end of the inductor wiring in the first positive direction where the magnetic flux concentrates does not match the both ends of the first magnetic strip in the direction along the first axis. , the magnetic flux passing through both ends of the first magnetic ribbon is reduced.
  • the magnetic ribbon is The magnetic flux density passing through is increased, and the characteristics as an inductor component are improved.
  • first axis means not only those that are in direct contact with the first axis and along the first axis, but also those that are not in direct contact with the first axis and are along the first axis at a distance. Also includes Also, “along” means that they are substantially in parallel, and includes those that are slightly inclined due to manufacturing errors or the like.
  • inductor parts can be improved without depending on the filling rate of the magnetic material in the element.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of an inductor component;
  • FIG. 2 is a plan view of the first portion of the inductor component;
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the inductor component taken along line 3-3 in FIG. 2;
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components.
  • Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components. Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components. Explanatory drawing of the manufacturing method of inductor components. Sectional drawing of the inductor component of a comparative example. 4 is a table showing comparison results between inductor components of comparative examples and inductor components of working examples; Sectional drawing of the inductor component of a modification.
  • inductor component 10 includes element body 20 and inductor wiring 30 .
  • the element body 20 has a plurality of magnetic ribbons 40 , a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • the magnetic ribbon 40 is flat.
  • a plurality of magnetic ribbons 40 are laminated in a direction orthogonal to the main surface MF of the magnetic ribbons 40 .
  • the flat plate shape means a thin shape having the main surface MF, but it is not limited to a rectangular parallelepiped with a thin thickness. , there may be holes inside.
  • the inductor wiring 30 extends linearly along the main surface MF inside the element body 20 .
  • the axis along which inductor wiring 30 extends is defined as central axis CA.
  • the direction in which the central axis CA extends matches the direction in which one of the sides of the quadrangular main surface MF extends.
  • the axis along the main surface MF is defined as a first axis X
  • the axis perpendicular to the main surface MF is defined as a second axis Z.
  • One of the directions along the first axis X is defined as a first positive direction X1
  • the other direction along the first axis X is defined as a first negative direction X2.
  • One of the directions along the central axis CA is defined as a positive direction Y1, and the other direction along the central axis CA is defined as a negative direction Y2.
  • one of the directions along the second axis Z is defined as a second positive direction Z1, and the other direction along the second axis Z is defined as a second negative direction Z2.
  • the inductor component 10 is composed of a first portion P1, a second portion P2, and a third portion P3, which are sequentially laminated along the second axis Z.
  • the first portion P1 is located at the end of the second negative direction Z2 along the second axis Z.
  • the first portion P1 has a square shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the first portion P ⁇ b>1 has a plurality of magnetic strips 40 , a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 is laminated in the direction along the second axis Z in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • each magnetic ribbon 40 of the first portion P1 has a square shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • each side of each magnetic ribbon 40 is parallel to the first axis X or the central axis CA. All the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic strips 40 are the same.
  • two magnetic ribbons 40 are arranged side by side in the direction along the third axis perpendicular to the second axis Z with a gap therebetween.
  • two magnetic strips 40 are arranged at the same position along the second axis Z with a gap in the direction along the fourth axis perpendicular to the second axis Z and the third axis.
  • the third axis coincides with the central axis CA
  • the fourth axis coincides with the first axis X. Therefore, in this embodiment, the magnetic strips 40 are arranged not only in the direction along the second axis Z, but also in the directions along the first axis X and the central axis CA.
  • the magnetic ribbon 40 is made of a magnetic material.
  • the magnetic material is, for example, a metallic magnetic material containing Fe, Ni, Co, Cr, Cu, Al, Si, B, P and the like.
  • the magnetic material is a metallic magnetic material containing Fe and Si.
  • the non-magnetic layer 50 is located between the magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z. As shown in FIG. The non-magnetic layer 50 fills all the spaces between the adjacent magnetic strips 40 in the direction along the second Z axis.
  • the non-magnetic layer 50 is made of a non-magnetic material.
  • the non-magnetic material is, for example, acrylic resin, epoxy resin, or silicone resin.
  • the non-magnetic layer 50 is illustrated by lines.
  • the dimensions of the non-magnetic layer 50 in the direction along the second axis Z are all the same. That is, the intervals between pairs of magnetic strips 40 adjacent in the direction along the second axis Z are all equal. In addition, the dimension of each nonmagnetic layer 50 along the second axis Z is smaller than the dimension of each magnetic ribbon 40 along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the non-magnetic portion 60 is located between the magnetic ribbons 40 arranged at the same position along the second axis Z. As shown in FIG. The non-magnetic portion 60 fills the entire space between the magnetic strips 40 arranged at the same position in the direction along the second axis Z. As shown in FIG. As described above, at the same position along the second axis Z, there are a total of four magnetic ribbons 40, two along the central axis CA and two along the first axis X. There are four magnetic parts 60 .
  • the non-magnetic portion 60 is made of a non-magnetic material. In this embodiment, the material of the non-magnetic portion 60 is the same material as that of the non-magnetic layer 50 .
  • the non-magnetic film 70 is located at the end of the first positive direction X1 along the first axis X and the end of the first negative direction X2 opposite to the first positive direction X1 in the first portion P1. .
  • the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the magnetic ribbon 40 in the direction along the first axis X. As shown in FIG. In addition, the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the non-magnetic layer 50 in the direction along the first axis X. As shown in FIG. Furthermore, the non-magnetic film 70 covers the entire end surfaces of the non-magnetic portion 60 in the direction along the first axis X. As shown in FIG.
  • the end faces of the first portion P1 in the first positive direction X1 along the first axis X are all composed of the non-magnetic film 70 .
  • the end face of the first portion P1 along the first axis X in the first negative direction X2 is entirely composed of the non-magnetic film 70 .
  • the non-magnetic film 70 is made of a non-magnetic material. In this embodiment, the material of the non-magnetic film 70 is the same as that of the non-magnetic layer 50 .
  • the second portion P2 is located in the second positive direction Z1 that is opposite to the second negative direction Z2 along the second axis Z when viewed from the first portion P1.
  • the second portion P2 has the same square shape as the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z. As shown in FIG.
  • the second portion P2 is composed of an inductor wiring 30, a plurality of magnetic strips 40, a plurality of non-magnetic layers 50, a plurality of non-magnetic portions 60, and a plurality of non-magnetic films .
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z, and extends linearly along the central axis CA.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the positive direction Y1 along the central axis CA constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20. As shown in FIG.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the negative direction Y2 which is the opposite direction to the positive direction Y1 along the central axis CA, constitutes part of the outer surface of the second portion P2 and is exposed from the element body 20.
  • the end face of the inductor wiring 30 in the positive direction Y1 and the end face in the negative direction Y2 are parallel to the first axis X.
  • the central axis CA of the inductor wiring 30 is positioned at the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X. As shown in FIG. Therefore, the central axis CA, which is the axis along which the inductor wiring 30 extends, passes through the center of the second portion P2 in the direction along the first axis X.
  • the dimension along the first axis X of the inductor wiring 30 is half the dimension along the first axis X of the second portion P2.
  • the material of the inductor wiring 30 is a conductive material.
  • Conductive materials are, for example, Cu, Ag, Au, Al, or alloys thereof.
  • the material of the inductor wiring 30 is Cu.
  • the inductor wiring 30 has a rectangular shape in a cross section perpendicular to the central axis CA.
  • a virtual rectangle VR with a minimum area is drawn that circumscribes the inductor wiring 30 and has a first side along the first axis X and a second side along the second axis Z.
  • the inductor wiring 30 is rectangular in the cross section perpendicular to the central axis CA.
  • the long side of the outer shape of the inductor wiring 30 is along the first axis X in the cross section perpendicular to the central axis CA.
  • the short side of the inductor wiring 30 is along the second axis Z in the cross section orthogonal to the central axis CA. Therefore, the virtual rectangle VR matches the contour of the inductor wiring 30 .
  • a first side of the virtual rectangle VR is longer than a second side of the virtual rectangle VR.
  • portions other than the inductor wiring 30 are composed of a plurality of magnetic strips 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, a plurality of nonmagnetic films, as in the first portion P1. 70 and .
  • each magnetic ribbon 40 of the second portion P2 is laminated in a direction along the second axis Z in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA.
  • each magnetic strip 40 of the second portion P2 has a rectangular shape when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the long side of each magnetic strip 40 is parallel to the central axis CA when viewed from the direction along the second axis Z.
  • All the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic strips 40 are the same.
  • the magnetic ribbon 40 is positioned on both sides of the first positive direction X1 and the first negative direction X2 along the first axis X when viewed from the inductor wiring 30. . That is, in the second portion P2, two magnetic ribbons 40 are arranged in a line along the first axis X with the inductor wiring 30 interposed therebetween. In addition, two magnetic strips 40 are arranged at the same position along the second axis Z and spaced apart in the direction along the central axis CA.
  • the non-magnetic layer 50 of the second portion P2 is positioned between the magnetic strips 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z, similarly to the first portion P1 described above. That is, as shown in FIG. 3, the magnetic ribbons 40 and the non-magnetic layers 50 are alternately laminated in the direction along the second axis Z, similar to the first portion P1.
  • the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 is located between the magnetic strips 40 arranged at the same position along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 fills the entire space between the magnetic strips 40 arranged at the same position in the direction along the second axis Z.
  • the position of the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 overlaps part of the non-magnetic portion 60 of the first portion P1 when viewed from the direction along the second axis Z.
  • the non-magnetic portion 60 of the second portion P2 is continuous with the non-magnetic portion 60 of the first portion P1.
  • the non-magnetic portion 60 does not exist between the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 in the second portion P2.
  • the nonmagnetic film 70 is located at the end of the first positive direction X1 along the first axis X and the end of the first negative direction X2, which is the opposite direction to the first positive direction X1, in the second portion P2. .
  • the non-magnetic film 70 of the second portion P2 is continuous with the non-magnetic film 70 of the first portion P1.
  • the third portion P3 is located in the second positive direction Z1 of the second portion P2. When viewed from the second axis Z, the third portion P3 has the same square shape as the first portion P1.
  • the third portion P3 is composed of a plurality of magnetic ribbons 40, a plurality of nonmagnetic layers 50, a plurality of nonmagnetic portions 60, and a plurality of nonmagnetic films .
  • the third portion P3 has a symmetrical structure with respect to the second portion P2, so detailed description thereof will be omitted.
  • the element body 20 includes a plurality of magnetic ribbons 40 , a plurality of nonmagnetic layers 50 , a plurality of nonmagnetic portions 60 , and a plurality of nonmagnetic films 70 .
  • the end of the inductor wiring 30 in the first positive direction X1 is defined as a first wiring end IP1.
  • the end of the inductor wiring 30 in the first negative direction X2 is defined as a second wiring end IP2.
  • the magnetic ribbon 40 having the shortest distance along the second axis Z from the first wiring end IP1 is selected as the first magnetic ribbon 40. 1 magnetic ribbon 41 .
  • the magnetic ribbon 40 which at least partially overlaps with the inductor wiring 30 when viewed from the direction along the second axis Z, is laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30. is 40. Therefore, in the present embodiment, the magnetic ribbon 40 in the first portion P1 and the magnetic ribbon 40 in the third portion P3 are laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30. be.
  • the magnetic ribbon 40 in the second portion P2 is not laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30 .
  • the first magnetic ribbon 41 is the magnetic ribbon 40 located most in the second negative direction Z2 among the magnetic ribbons 40 in the first portion P1, and the magnetic ribbon 40 most located in the second negative direction Z2 among the magnetic ribbons 40 in the third portion P3. and the magnetic ribbon 40 located in the positive direction Z1.
  • the end in the first positive direction X1 is a first end MP1
  • the end in the first negative direction X2 is a second end MP2.
  • the range excluding both ends of one magnetic strip 40 in the direction along the first axis X is defined as a first range AR1.
  • the coordinates indicating the position of the second end MP2 in the direction along the first axis X are set to zero.
  • let 1 be the coordinate indicating the position of the first end MP1 in the first positive direction X1 along the first axis X in the direction along the first axis X.
  • the range in which the coordinates indicating the position in the direction along the first axis X are larger than 0 and smaller than 1 is the first range AR1.
  • a first imaginary straight line VL1 is drawn in a direction along the second axis Z while passing through the first wiring end IP1.
  • the first virtual straight line VL1 passes through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41 .
  • a plurality of magnetic ribbons 40 are continuously laminated in the second positive direction Z1 with respect to the inductor wiring 30 in the first portion P1.
  • the first imaginary straight line VL1 is the first magnetic strip 40 among the plurality of magnetic strips 40 continuously laminated in the second positive direction Z1 from the first magnetic strip 41. It passes through the first range AR1 of two or more magnetic ribbons 40 that are continuously laminated including the ribbon 41 .
  • the first imaginary straight line VL1 is the first straight line of all the magnetic ribbons 40 continuously stacked on the first magnetic ribbon 41 among the magnetic ribbons 40 included in the first portion P1. It passes through the range AR1.
  • the first imaginary straight line VL1 is the first magnetic strip 40 among the plurality of magnetic strips 40 continuously stacked in the second negative direction Z2 from the first magnetic strip 41. It passes through the first range AR1 of two or more magnetic ribbons 40 that are continuously laminated including the ribbon 41 .
  • the first imaginary straight line VL1 is the first straight line of all the magnetic ribbons 40 continuously stacked on the first magnetic ribbon 41 among the magnetic ribbons 40 included in the third portion P3. It passes through the range AR1.
  • a second imaginary straight line extending along the second axis Z passes through a second end MP2 in a first negative direction X2, which is the opposite direction of the first positive direction X1 along the first axis X of the first magnetic ribbon 41.
  • the second virtual straight line VL2 passes through the inductor wiring 30 .
  • it is positioned substantially at the center of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X. As shown in FIG.
  • the range in which the coordinates indicating the position in the direction along the first axis X is 0.18 or more and 0.74 or less is defined as a second range AR2.
  • the first virtual straight line VL1 passes through the second range AR2.
  • the first imaginary straight line VL1 extends from the first magnetic ribbon 41 to the plurality of magnetic ribbons 40 continuously laminated in the second positive direction Z1.
  • the coordinates indicating the positions of the plurality of magnetic strips 40 in the direction along the first axis X are in the range of 0.18 or more and 0.74 or less.
  • the range in which the coordinates indicating the position in the direction along the first axis X is 0.34 or more and 0.54 or less is defined as a third range AR3.
  • the first imaginary straight line VL1 passes through the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the first imaginary straight line VL1 extends from the first magnetic ribbon 41 to the plurality of magnetic ribbons 40 continuously laminated in the second positive direction Z1.
  • the coordinates indicating the positions of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the first axis X are in the range of 0.34 or more and 0.54 or less.
  • the coordinate indicating the position of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X with respect to the first magnetic ribbon 41 is 0.5. That is, the first imaginary straight line VL1 passes through the center of the first magnetic ribbon 41 in the direction along the first axis X. As shown in FIG.
  • the inductor component 10 has a line-symmetrical structure with the second axis Z passing through the center in the direction along the first axis X as the axis of symmetry.
  • a third imaginary straight line VL3 is drawn in a direction along the second axis Z while passing through the second wiring end IP2 of the inductor wiring 30 .
  • the magnetic ribbon 40 laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30 the magnetic ribbon 40 having the shortest distance along the second axis Z from the second wiring end IP2 is selected as the first magnetic ribbon 40. 2 magnetic ribbon 42 .
  • the third imaginary straight line VL3 passes through the first range AR1 of the second magnetic ribbon 42 in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA. Furthermore, the third imaginary straight line VL3 passes through a range corresponding to the second range AR2 and the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41 in the second magnetic ribbon 42 in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA. there is More specifically, the third imaginary straight line VL3 passes through the center of the second magnetic ribbon 42 in the direction along the first axis X. As shown in FIG.
  • the third imaginary straight line VL3 is the first line of the two or more magnetic ribbons 40 including the second magnetic ribbon 42 that are continuously laminated. It passes through the range AR1.
  • the third imaginary straight line VL3 is the first straight line of all the magnetic ribbons 40 continuously stacked on the second magnetic ribbon 42 among the magnetic ribbons 40 included in the first portion P1. It passes through the range AR1.
  • the third imaginary straight line VL3 is continuously laminated including the second magnetic ribbon 42 among the magnetic ribbons 40 included in the third portion P3. It passes through the first range AR1 of two or more magnetic ribbons 40 .
  • the third imaginary straight line VL3 is the first straight line of all the magnetic ribbons 40 continuously stacked on the second magnetic ribbon 42 among the magnetic ribbons 40 included in the third portion P3. It passes through the range AR1. More specifically, the third imaginary straight line VL3 passes through the centers of all the magnetic ribbons 40 that are continuously stacked on the second magnetic ribbon 42 .
  • the third imaginary straight line VL3 corresponds to the first range AR1, the second range AR2, and the third range AR3 with respect to the second magnetic ribbon 42. A range is preferred.
  • a method for manufacturing inductor component 10 Next, a method for manufacturing inductor component 10 will be described. As shown in FIG. 4, first, a copper foil preparation step for preparing a copper foil 81 is performed. Since the copper foil 81 constitutes the inductor wiring 30 , the thickness of the copper foil 81 is prepared to have a thickness necessary for the inductor wiring 30 . In the following description, it is assumed that the copper foil 81 is arranged such that the two main surfaces of the copper foil 81 are orthogonal to the second axis Z, and a cross section orthogonal to the central axis CA is shown. do.
  • a first covering step is performed to cover areas other than the area occupied by 40 .
  • a first covering portion that covers the second portion P2 other than the range occupied by the plurality of magnetic strips 40. form 82;
  • the entire surface of the copper foil 81 along the second axis Z and facing the second negative direction Z2 is coated with a photosensitive dry film resist.
  • the dry film resist is cured by exposing the portion where the first covering portion 82 is to be formed.
  • a dry film resist is applied to the surface of the copper foil 81 facing the second positive direction Z1 along the second axis Z, and the portion where the first covering portion 82 is to be formed is exposed to light. Cure the dry film resist.
  • the uncured portion of the applied dry film resist is peeled off with a chemical solution.
  • the hardened portion of the applied dry film resist is formed as the first covering portion 82 . Note that photolithography in other steps described later is also the same step, and detailed description thereof will be omitted.
  • a copper foil etching step is performed to etch the copper foil 81 exposed from the first covering portion 82 .
  • the exposed copper foil 81 is removed.
  • a first covering portion removing step for removing the first covering portion 82 is performed. Specifically, the first covering portion 82 is peeled off by wet etching the first covering portion 82 with a chemical.
  • a second covering step is performed to cover the range occupied by the plurality of magnetic ribbons 40 when viewed from the direction along the second axis Z of both surfaces of the copper foil 81 orthogonal to the second axis Z.
  • the dry film resist R is applied to the entire surface of the copper foil 81 along the second axis Z and facing the second positive direction Z1.
  • the magnetic thin film is formed by photolithography when viewed from the direction along the second axis Z of the surface facing the second positive direction Z1 along the second axis Z of the copper foil 81.
  • a second covering portion 83 covering areas other than the area occupied by the band 40 and the non-magnetic layer 50 is formed.
  • the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic ribbon 40 are formed by photolithography when viewed from the direction along the second axis Z of the surface facing the second negative direction Z2 along the second axis Z of the copper foil 81 .
  • a second covering portion 83 is formed to cover areas other than the area occupied by the layer 50 .
  • a layered body preparation step is performed to prepare a layered body 84 in which the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 are layered.
  • a ribbon is prepared as the magnetic ribbon 40 .
  • the ribbon is made of, for example, NANOMET (registered trademark) manufactured by Tohoku Magnet Institute, Metglas (registered trademark) or FINEMET (registered trademark) manufactured by Hitachi Metals, FeSiB, FeSiBCr, or the like.
  • This strip is cut into 10 mm squares.
  • a non-magnetic material is applied to the cut ribbon by spin coating.
  • the non-magnetic material is, for example, epoxy resin varnish.
  • the cut strip is laminated on the applied non-magnetic material.
  • the laminate 84 includes a first laminate 84A that forms the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the first portion P1 and the third portion P3, and a magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the second portion P2. Two types are prepared, namely, the second laminate 84B that constitutes the magnetic layer 50 .
  • a laminate arrangement step for arranging the laminate 84 is performed.
  • the first laminate 84A constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the third portion P3 is placed in the second positive direction along the second axis Z of the copper foil 81.
  • the thermoplastic adhesive 85 is indicated by thick lines in FIGS. 10-15.
  • the whole is inverted in the direction along the second axis Z.
  • the second laminate 84B constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the second portion P2 is aligned along the second axis Z of the first laminate 84A. It is arranged on a portion not in contact with the copper foil 81 of the surface facing the second positive direction Z1.
  • the second laminate 84B can be arranged by pressing the laminate 84 into the opening of the copper foil 81 by pressing or the like.
  • the first laminate 84A constituting the magnetic ribbon 40 and the non-magnetic layer 50 in the first portion P1 of the laminate 84 is moved along the second axis Z of the copper foil 81.
  • the thermoplastic adhesive 85 temporarily adheres to the surface facing the second positive direction Z1 and the surface facing the second positive direction Z1 along the second laminate 84B. Thereby, the laminated body 84 is arranged.
  • a press process is performed. Pressing is performed in a state in which the whole is covered with a resin material 86 that is a non-magnetic material. Thereby, each layer in the direction along the second axis Z is crimped.
  • a singulation process is performed. Specifically, for example, it is separated into pieces by dicing along the break lines DL. The portion between the first laminates 84A arranged in the direction along the first axis X in the second covering portion 83 described above becomes the non-magnetic portion 60. As shown in FIG.
  • thermoplastic adhesive 85 remains on both surfaces of the inductor wiring 30 in the direction along the second axis Z as part of the non-magnetic layer 50 .
  • the laminate 84 is cut along the end face in the first positive direction X1 and the end face in the first negative direction X2.
  • the non-magnetic film 70 made of a non-magnetic material is applied to the end faces of the laminate 84 in the first positive direction X1 and the end faces in the first negative direction X2.
  • the thermoplastic adhesive 85 also wraps around the side surfaces of the inductor wiring 30 facing the first positive direction X1 and the side surfaces facing the first negative direction X2. Insulation is ensured without contact.
  • the software used is Femtet 2019 manufactured by Murata Software.
  • the solver is static magnetic field analysis.
  • the model is two dimensional.
  • a standard mesh size is 0.01 mm.
  • the magnetic material is an amorphous metal magnetic thin film made of Fe, Si, Cr, and B, the relative magnetic permeability ⁇ r is 7000, and the saturation magnetic flux density Bs is 0.8T.
  • a magnetic material BH curve that satisfies B Bs ⁇ tanh ( ⁇ 0 ⁇ r ⁇ H/Bs) was used.
  • the BH curve of the magnetic material a portion where the relative permeability ⁇ r is 1 or more is used so as not to fall below the magnetic permeability of the vacuum, and the function of Femtet2019 is used to extrapolate the magnetic permeability of the vacuum.
  • the material of the inductor wiring 30 is copper.
  • the dimension of the magnetic strip 40 along the first axis X is 980 ⁇ m.
  • the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z is 20 ⁇ m.
  • the dimension of the non-magnetic layer 50 along the second axis Z is 2.439024 ⁇ m.
  • the dimension of the nonmagnetic portion 60 along the first axis X is 20 ⁇ m.
  • the number of magnetic ribbons 40 laminated in the direction along the second axis Z is 41 pieces.
  • the number of magnetic ribbons 40 arranged in the direction along the first axis X is two.
  • the dimension of the inductor component 10 along the second axis Z is 920 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor component 10 along the first axis X is 2000 ⁇ m.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the second axis Z is 100 ⁇ m.
  • the inductor wiring 30 was positioned so that the center of gravity of the inductor wiring 30 coincided with the center of gravity of the element body 20 .
  • the relative magnetic permeability ⁇ r of the nonmagnetic material of the nonmagnetic layer 50, the nonmagnetic portion 60, and the nonmagnetic film 70 is set to 1.
  • the element body 91 is a composite material of magnetic material and non-magnetic material.
  • the element body 91 was a metal composite material of amorphous metal particles made of Fe, Si, Cr, and B and resin.
  • the element body 91 has a relative magnetic permeability ⁇ r of 24, a metallic magnetic material filling rate of 70%, and a saturation magnetic flux density Bs of 0.56T.
  • a portion where the relative permeability ⁇ r is 1 or more is used so as not to fall below the magnetic permeability of the vacuum, and the function of Femtet2019 is used to extrapolate the magnetic permeability of the vacuum.
  • the unit of the wiring resistance Rdc is m ⁇ , the wiring length is 2.5 mm, and the wiring resistance Rdc is proportional to the wiring cross-sectional area.
  • the standard for the absolute value is 0.43 m ⁇ in a wiring cross section of 1.0 mm ⁇ 0.1 mm, which is separately determined by electromagnetic field analysis simulation.
  • the unit of the inductance L is nH, and the depth is set to 2.5 mm.
  • the unit of the DC superimposition characteristic Isat is A, and the DC superimposition characteristic Isat is the current value when the inductance L is reduced by 20% from the initial inductance which is the inductance L at 0.001A.
  • the inductance L and the DC superposition characteristic Isat have a trade-off relationship.
  • the inductance L and the wiring resistance Rdc have a trade-off relationship. Therefore, (L ⁇ Isat) ⁇ (L/Rdc) was used as a characteristic index.
  • the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is set to 0.08, 0.18, 0.28, . 0.78 and 1.88 mm, and the characteristic indexes were compared.
  • the position of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 changes depending on the dimension of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X.
  • FIG. As described above, in one magnetic ribbon 40, the position of the second end MP2 in the first negative direction X2 along the first axis X is set to 0, and in one magnetic ribbon 40, the position of the second end MP2 along the first axis X is set to 0.
  • Let 1 be the position of the first end MP1 in the one forward direction X1. In this case, the coordinates indicating the position of the first wiring end IP1 in the direction along the first axis X of the inductor wiring 30 change between greater than 0 and less than 1.
  • the value of the example with respect to the comparative example is greater than 1, so it is better than the comparative example.
  • the position of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 is within the range of 0 to 1, the first imaginary straight line VL1 passes through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41 as shown in FIG. . Therefore, when the first virtual straight line VL1 passes through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41, the characteristic index is improved.
  • the characteristic index is approximately 60% of the comparative example. It has improved. Therefore, as shown in FIG. 3, when the first virtual straight line VL1 passes through the second range AR2 of the first magnetic ribbon 41, the characteristic index is improved by 60% or more as compared with the comparative example.
  • the characteristic index is stably higher than that of the comparative example. More than 75% improvement. Therefore, as shown in FIG. 3, when the first virtual straight line VL1 passes through the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41, the characteristic index is improved by 75% or more as compared with the comparative example.
  • the first virtual straight line VL1 passes through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41 . Therefore, of the magnetic flux generated when a current flows through the inductor wiring 30, most of the magnetic flux in the direction along the first imaginary straight line VL1 in the vicinity of the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 is the first magnetic ribbon 41 except for the end in the direction along the first axis X. That is, of the magnetic flux generated when the current flows through the inductor wiring 30, the magnetic flux passing through the ends in the direction along the first magnetic ribbon 41 is reduced. Therefore, it is possible to suppress the disturbance of the magnetic flux and the local concentration of the magnetic flux. According to such a positional relationship between the first magnetic ribbon 41 and the inductor wiring 30, the characteristic index is increased regardless of the filling rate of the magnetic material.
  • the first side of the virtual rectangle VR drawn in the cross section orthogonal to the central axis CA is along the first axis X
  • the second side of the virtual rectangle VR is along the second axis Z.
  • the first side is longer than the second side.
  • the plurality of magnetic ribbons 40 are continuously laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 30 . Then, in a cross-sectional view orthogonal to the central axis CA, the first virtual straight line VL1 passes through the first range AR1 of the two or more magnetic ribbons 40 including the first magnetic ribbon 41 that are continuously laminated. ing. Therefore, depending on the positional relationship between not only the first magnetic ribbon 41 but also the other magnetic ribbons 40 and the inductor wiring 30, the characteristic index can be further increased.
  • the first imaginary straight line VL1 is aligned with the first range of all the magnetic ribbons 40 continuously laminated to the first magnetic ribbons 41. It passes through AR1. Therefore, it is possible to avoid passing through the end of the magnetic thin strip 40 in the direction along the first axis X, so that the characteristic index can be further increased.
  • the demagnetizing field generated in the magnetic ribbon 40 is presumed to be smaller at the center of the magnetic ribbon 40 in the direction along the first axis X than at both ends in the direction along the first axis X. Therefore, in the vicinity of the first wiring end IP1, the magnetic flux in the direction along the first imaginary straight line VL1 easily enters the first magnetic ribbon 41 near the center of the first magnetic ribbon 41 .
  • the first virtual straight line VL1 passes through the second range AR2 of the first magnetic ribbon 41. That is, of the magnetic flux generated when a current flows through the inductor wiring 30, most of the magnetic flux in the direction along the first imaginary straight line VL1 near the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 is the first magnetic ribbon. 41 passes through the central part in the direction along the first axis X. Therefore, the magnetic flux from the inductor wiring 30 easily penetrates into the first magnetic ribbon 41, and the magnetic flux density of the entire element body 20 increases. As a result, the inductance L can be obtained efficiently.
  • the first virtual straight line VL1 passes through the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41.
  • the characteristic index is improved by 75% or more compared to the comparative example.
  • the magnetic flux generated when the current flows through the inductor wiring 30 in the direction along the central axis CA includes magnetic flux penetrating the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z. .
  • the magnetic flux entering in this way causes eddy currents in the magnetic ribbon 40 .
  • the larger the area of each magnetic ribbon 40 the larger the eddy current.
  • two magnetic strips 40 are arranged in the direction along the third axis and two in the direction along the fourth axis at the same position along the second axis Z. Therefore, the area of the magnetic ribbon 40 when viewed from the direction along the second axis Z is larger than when there is only one magnetic ribbon 40 at the same position along the second axis Z in the second portion P2. become smaller. Therefore, the eddy current generated in one magnetic strip 40 is reduced.
  • two magnetic strips 40 are arranged in the direction along the first axis X at the same position along the second axis Z. Therefore, a first magnetic thin strip 41 along which a first virtual straight line VL1 passing through the first wiring end IP1 of the inductor wiring 30 passes, and a second magnetic thin strip 41 along which a third virtual straight line VL3 passing through the second wiring end IP2 of the inductor wiring 30 passes.
  • the strip 42 is a different magnetic thin strip 40 . Therefore, the above-described positional relationship between the inductor wire 30 and the first magnetic ribbon 41 can be realized while ensuring a certain size as the dimension of the inductor wire 30 in the direction along the first axis X.
  • the second imaginary straight line VL2 passes through the inductor wiring 30 in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA. Since the first magnetic ribbon 41 is not excessively large in the direction along the first axis X, the eddy current generated in the first magnetic ribbon 41 is reduced.
  • the third imaginary straight line VL3 passes through the first range AR1 of the second magnetic ribbon 42 in a cross-sectional view perpendicular to the central axis CA. Therefore, the same effect as the effect (1) described above can be obtained from the second wiring end IP2 of the inductor wiring 30 and the second magnetic ribbon 42 as well. Therefore, it is possible to further suppress disturbance of the magnetic flux and local concentration of the magnetic flux.
  • the material of the magnetic ribbon 40 contains Fe and Si. Therefore, a high relative magnetic permeability ⁇ r can be obtained as a magnetic material.
  • all the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic strips 40 are equal. As a result, the magnetic flux density in each magnetic strip 40 is made uniform, and the magnetic flux is hard to concentrate and saturate at a specific location. As a result, the magnetic flux density of the entire element body 20 is improved.
  • the dimensions of the plurality of nonmagnetic layers 50 in the direction along the second axis Z are all equal. That is, the intervals between pairs of magnetic strips 40 adjacent in the direction along the second axis Z are all equal. Therefore, the disturbance of the magnetic flux generated between the magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z can be made uniform.
  • the shape of the element body 20 is not limited to the example of the above embodiment.
  • the shape of the base body 20 when viewed from the direction along the second axis Z, the shape of the base body 20 may be rectangular, or polygonal other than quadrangular. Further, for example, the shape of the base body 20 may be circular such as an ellipse when viewed from the direction along the second axis Z. Further, the shape of the base body 20 may be a rectangular parallelepiped, a cube, a polygonal prism, a cylinder, or the like having different dimensions in the direction along the third axis and in the direction along the fourth axis.
  • the shape of the inductor wiring 30 can be appropriately changed as long as the inductor wiring 30 can give inductance L to the inductor component 10 by generating magnetic flux in the magnetic ribbon 40 when current flows. .
  • the inductor wiring 130 has an elliptical shape in a cross section perpendicular to the central axis CA. Then, a hypothetical rectangle VR2 with a minimum area, which circumscribes the inductor wiring 130 and has a first side along the first axis X and a second side along the second axis Z, is drawn. At this time, the first side of the virtual rectangle VR2 is longer than the second side of the virtual rectangle VR2. As described above, when the long sides of the virtual rectangle VR2 are parallel to the first axis X, the opposite ends of the first magnetic ribbon 41 in the direction along the first axis X of the cross section of the wiring where the magnetic flux is more concentrated. It is more preferable because it corresponds to a region with a small magnetic field.
  • the shape of the inductor wiring 30 in the cross section orthogonal to the central axis CA may be such that the second side along the second axis Z is longer than the first side along the first axis X. Even in this case, the magnetic flux concentrates on the first wiring end IP1, which is the end of the inductor wiring 30 in the first positive direction X1. Therefore, the region of the first magnetic ribbon 41 having a small demagnetizing field corresponds to the first wiring end IP1 of the wiring cross section where the magnetic flux is more concentrated, which is more preferable.
  • the shape of the inductor wiring 30 may be a shape that does not have symmetry such as linear symmetry or rotational symmetry, such as when it includes one or more protruding portions. In this way, if the symmetry is broken in the cross section perpendicular to the central axis CA, there will be a place where the magnetic flux concentrates more than others. Further, it is preferable to determine the positional relationship of the first magnetic ribbon 41 so that the first wiring end IP1 is a portion such as a projecting portion where the magnetic flux concentrates more than others.
  • the shape of the inductor wiring 30 may be square or circular.
  • the virtual rectangle VR drawn in the cross section perpendicular to the central axis CA is a square, and the first side of the virtual rectangle VR does not have to be longer than the second side of the virtual rectangle VR.
  • the first magnetic strip 41 is determined in accordance with the shape of the inductor wiring 30 in the cross section perpendicular to the central axis CA.
  • the distance along the second axis Z from the first wiring end IP1 is the shortest among the magnetic ribbons 40 laminated in the direction along the second axis Z with respect to the inductor wiring 130.
  • the magnetic ribbon 40 is one of the magnetic ribbons 40 included in the second portion P2. Even in this case, the first imaginary straight line VL1 only needs to pass through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the position of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X is not limited to the example of the above embodiment. It is sufficient that the first virtual straight line VL1 is within the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the center of the inductor wiring 30 in the direction along the first axis X does not have to coincide with the center of the base body 20 in the direction along the first axis X.
  • the shape of the inductor wiring 30 is not limited to a straight line. It only needs to extend along the main surface MF of the magnetic thin strip 40, and may have, for example, a curved shape as a whole or a meandering shape.
  • the inductor wiring 30 may be connected to a lead wiring extending in a direction intersecting the main surface MF, a via wiring extending in a direction along the second axis Z, or the like. Furthermore, a plurality of inductor wirings 30 may be connected to via wirings extending in the direction along the second axis Z, and may have a three-dimensional spiral shape such as a spiral shape or a helical shape as a whole. In this case, the inductor wiring 30 is the portion extending along the main surface MF of the magnetic ribbon 40 .
  • the material of the inductor wiring 30 is not limited to the example of the above-described embodiment as long as it is a conductive material.
  • the material of the inductor wiring 30 may be a conductive resin.
  • the central axis CA and the third axis may not coincide.
  • the fourth axis does not have to coincide with the first axis X.
  • the central axis CA extends in a meandering shape.
  • the third axis should be orthogonal to the second axis Z
  • the fourth axis should be orthogonal to the second axis Z and intersect the third axis.
  • the magnetic ribbons 40 are aligned along the second axis Z.
  • the area of the magnetic ribbon 40 when viewed from the direction along the second axis Z is smaller than when there is one at the same position along the second axis Z. Therefore, the eddy current generated in one magnetic strip 40 is reduced.
  • the first imaginary straight line VL1 extends within the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41. You should pass.
  • the first imaginary straight line VL1 preferably passes through the first range AR1 of the five magnetic ribbons 40, including the first magnetic ribbons 41, arranged continuously in the direction along the second axis Z. More preferably, it passes within the first range AR1 of 40. Therefore, the first imaginary straight line VL1 does not have to pass through substantially the center of all the magnetic ribbons 40 in the direction along the first axis X.
  • the first virtual straight line VL1 does not have to pass through the second range AR2 or the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41 .
  • the first virtual straight line VL1 passes through the first range AR1 of the first magnetic ribbon 41, but does not pass through the second range AR2 or the third range AR3.
  • the positional relationship between the first virtual straight line VL1 passing through the first wiring end IP1 described in the above embodiment and the first range AR1 to the third range AR3 of the first magnetic ribbon 41 is the inductor wiring perpendicular to the central axis CA. Any one of the 30 cross sections may be satisfied. That is, the positional relationship between the first imaginary straight line VL1 and the first range AR1 to the third range AR3 of the first magnetic strip 41 does not have to be satisfied in all regions of the inductor wiring 30. FIG. If the above positional relationship is satisfied in at least one cross section, the effects of the above embodiment can be obtained at that cross section.
  • the second virtual straight line VL2 does not have to pass through the inductor wiring 30 .
  • the third imaginary straight line VL3 does not have to pass through the range corresponding to the first range AR1 to the third range AR3 of the second magnetic ribbon .
  • an external electrode may be connected to the portion where the inductor wiring 30 is exposed from the element body 20 .
  • external electrodes may be formed on both end faces of the inductor wiring 30 along the central axis CA and both end faces of the base body 20 along the central axis CA by coating, printing, plating, or the like.
  • the direction in which the plurality of magnetic strips 40 are laminated may not be orthogonal to the central axis CA and the first axis X due to manufacturing errors or the like.
  • the fact that the magnetic strips 40 and the like are "laminated in the direction along the second axis Z" allows for such manufacturing errors.
  • the number of magnetic strips 40 stacked in the direction along the second axis Z should be two or more.
  • the inductor wiring 30 should be arranged between the two magnetic strips 40 .
  • the material of the magnetic ribbon 40 is not limited to the examples of the above embodiment as long as it is a magnetic material.
  • it may be Fe or Ni.
  • Metal magnetic materials other than Fe, Ni, Co, Cr, Cu, Al, Si, B, and P may also be used.
  • the material of the non-magnetic layer 50 is not limited to the examples of the above embodiments as long as it is a non-magnetic material.
  • the non-magnetic layer 50 may be made of a resin other than acrylic resin, epoxy resin, or silicon resin, or may be made of non-magnetic ceramics such as alumina, silica, or glass, or non-magnetic inorganic materials containing these. or a mixture thereof.
  • the materials of the non-magnetic layer 50, the non-magnetic portion 60 and the non-magnetic film 70 may be different from each other or may be partially different as long as they are non-magnetic materials.
  • the nonmagnetic layer 50, the nonmagnetic portion 60, and the nonmagnetic film 70 may be integrated or may be separate members.
  • the non-magnetic layer 50 may be hollow, or may be composed of an insulating oxide film obtained by oxidizing the surface of the magnetic ribbon 40 .
  • the non-magnetic layer 50 may be omitted.
  • the magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z may be in direct contact with each other.
  • the non-magnetic portion 60 may be omitted.
  • the magnetic ribbons 40 aligned in the direction along the third axis or the fourth axis may be in direct contact with each other.
  • the nonmagnetic portion 60 may exist between the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 . In this case, the nonmagnetic portion 60 can ensure insulation between the inductor wiring 30 and the magnetic ribbon 40 .
  • a plurality of magnetic ribbons 40 are laminated and "a plurality of magnetic ribbons 40 are lined up” specifically mean that the adjacent magnetic ribbons 40 are completely or partially insulated from each other. It refers to the case where there is a physical boundary on a microscopic scale. For example, it does not include a state in which the magnetic ribbons 40 are sintered and completely integrated.
  • the configuration of the element body 20 can be changed.
  • the entire second portion P2 except for the inductor wiring 30 may be composed of the magnetic ribbon 40 or may be composed of the non-magnetic layer 50 .
  • the magnetic thin strip 40 may be a composite material of a powdery magnetic material and a non-magnetic material. good.
  • a composite material there is a metal composite material of amorphous metal particles made of Fe, Si, Cr, and B and a resin.
  • two magnetic ribbons 40 are arranged in the direction along the first axis X at the same position along the second axis Z, and are arranged in the direction along the central axis CA, that is, the third axis. 2 are lined up. That is, when “M” and “N” are positive integers, "M” magnetic ribbons 40 are arranged in the same position along the second axis Z in the direction along the third axis. "N" pieces are arranged in the direction along the first axis X, that is, the fourth axis, and both "M" and “N” are two.
  • M which is the number of first magnetic ribbons 41 arranged in the direction along the fourth axis
  • N which is the number of magnetic ribbons 40 arranged in the direction along the central axis CA
  • M and N are 2 or more, the area of each magnetic ribbon 40 as viewed from the second axis Z can be reduced, so loss due to eddy currents can be reduced. Easy to make small.
  • the dimensions of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z may be different. If the dimension of the magnetic ribbon 40 in the direction along the second axis Z is small, a manufacturing error of about 20% may occur depending on the manufacturing method. Therefore, if the dimension of the magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z is 80% or more and 120% or less of the average value of the dimensions in the direction along the second axis Z of the plurality of magnetic ribbons 40, , can be regarded as approximately equal.
  • the dimension of one magnetic strip 40 in the direction along the second axis Z is the The smallest dimension in the direction.
  • the dimension of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z is the second dimension of one magnetic ribbon 40 measured by an electron microscope using a single image in which five or more magnetic ribbons 40 fit. It is the average value of the dimensions along the Z axis.
  • the dimensions of the plurality of magnetic ribbons 40 in the direction along the second axis Z may not all be the same. They may vary from each other, or may vary by more than 20% from the average value.
  • the distance between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z may be different.
  • a manufacturing error of about 20% may occur depending on the manufacturing method.
  • part of the non-magnetic layer 50 may become hollow, so that the gap between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent to each other in the direction along the second axis Z may vary. .
  • a gap may also exist between the non-magnetic layer 50 and the magnetic ribbon 40 .
  • the distance between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is the sum of the lengths of the nonmagnetic layer 50 and the gap. Therefore, the interval between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is , 80% or more and 120% or less, they can be regarded as substantially equal. Note that the interval between a pair of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is the second Let it be the smallest dimension in the direction along the Z axis. In addition, the average value of the distance between multiple pairs of magnetic ribbons 40 adjacent in the direction along the second axis Z is five pairs measured by an electron microscope using one image in which six or more magnetic ribbons 40 are fitted. is the average value of the spacing between the magnetic ribbons 40 of .
  • the dimensions of the plurality of nonmagnetic layers 50 in the direction along the second axis Z may not all be the same. They may vary from each other, or may vary by more than 20% from the average value.
  • the number and positions of the non-magnetic portions 60 are not limited to the examples in the above embodiment.
  • the number and positions of the non-magnetic portions 60 may be changed according to the number and positions of the magnetic strips 40 in the direction along the first axis X and in the direction along the central axis CA.
  • the size of the non-magnetic portion 60 may be appropriately changed according to the interval between the magnetic ribbons 40 at the same position in the direction along the second axis Z. FIG.
  • the non-magnetic film 70 may be omitted.
  • the gap in the direction along the first axis X and the central axis CA of the second coating part 83 is The dimension in the direction along the first axis X and the central axis CA may be set small.
  • the non-magnetic film 70 can be formed by the resin material 86 entering the gap between the second covering portion 83 and the laminate 84 .
  • the method of manufacturing the inductor component 10 is not limited to the above embodiment.
  • the element body 20 may be laminated in the direction along the second axis Z to form a plurality of sheets, and the plurality of sheets may be laminated.
  • the base body 20 may be formed by

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Abstract

本開示は、素体における無機フィラーの充填率に拠らないで特性を向上させたインダクタ部品(10)を提供する。インダクタ配線(30)の中心軸(CA)に直交する断面視において、インダクタ配線(30)の第1軸(X)に沿う第1正方向(X1)の第1配線端(IP1)を通過するとともに、第2軸(Z)に沿う方向に第1仮想直線(VL1)を引く。1つの磁性薄帯(40)について、第1軸(X)に沿う方向の両端を除く範囲を第1範囲(AR1)とする。インダクタ配線(30)に対して第2軸(Z)に沿う方向に積層された磁性薄帯(40)のうち、インダクタ配線(30)の第1軸(X)に沿う第1正方向(X1)の第1配線端(IP1)からの第2軸(Z)に沿う方向の距離が最も短い磁性薄帯(40)を第1磁性薄帯(41)とする。第1仮想直線(VL1)は、第1磁性薄帯(41)の第1範囲(AR1)内を通っている。

Description

インダクタ部品
 本開示は、インダクタ部品に関する。
 特許文献1に記載のインダクタ部品は、素体と、素体の内部で延びているインダクタ配線と、を備えている。素体は、無機フィラー及び樹脂からなっている。例えば、磁性コンポジット体については、無機フィラーの材質は、磁性材である。また、無機フィラーの平均粒径は、5μm以下である。
特開2019-192920号公報
 特許文献1に記載のインダクタ部品は、素体における無機フィラーの充填率を高めることによって、インダクタ部品の各種特性の向上が図られる。しかしながら、素体における無機フィラーの充填率を高めるのにも限界がある。したがって、無機フィラーの充填率に拠らないでインダクタ部品の各種特性を高めることのできる構造が求められる。
 上記課題を解決するため、本発明は、磁性材からなる平板状の複数の磁性薄帯を含み、複数の前記磁性薄帯が、前記磁性薄帯の主面に対して直交する方向に積層された素体と、前記素体の内部で、前記主面に沿って延びているインダクタ配線と、を備え、前記インダクタ配線の延びる軸を中心軸とし、前記中心軸に直交する断面視で前記主面に沿う軸を第1軸とし、前記断面視で前記主面に直交する軸を第2軸とし、前記第1軸に沿う2つの方向のうちのいずれか一方を第1正方向としたとき、前記断面視において、前記インダクタ配線の前記第1正方向の端を第1配線端とし、前記インダクタ配線に対して前記第2軸に沿う方向に積層された前記磁性薄帯のうち、前記第1配線端からの前記第2軸に沿う方向の距離が最も短い前記磁性薄帯を第1磁性薄帯とし、前記磁性薄帯における前記第1軸に沿う方向の両端を除く範囲を第1範囲としたとき、前記第1配線端を通り前記第2軸に沿う方向に延びる仮想直線を引いたときに、前記仮想直線は、前記第1磁性薄帯の前記第1範囲内を通るインダクタ部品である。
 上記構成では、インダクタ配線に電流が流れた際に発生する磁束は、インダクタ配線の中心軸に直交する断面視で、インダクタ配線の縁に集中しやすい。そして、仮にインダクタ配線に電流が流れた際に発生する磁束が、第1磁性薄帯の端を通過すると、磁束が乱れたり局所に集中したりするので、磁性薄帯を通過する磁束密度の向上を阻害する。上記構成によれば、第1軸に沿う方向において、磁束が集中するインダクタ配線の第1正方向の端と、第1磁性薄帯の第1軸に沿う方向の両端とが一致していないので、第1磁性薄帯の両端を通過する磁束が少なくなる。その結果、第1軸に沿う方向においてインダクタ配線の第1正方向の端と第1磁性薄帯の第1軸に沿う方向の端とが一致している場合に比較して、磁性薄帯を通過する磁束密度が大きくなり、インダクタ部品としての特性が向上する。
 なお、「沿う」とは、直接接触しておらず、離れた位置にある場合も含む。例えば、「第1軸に沿う」とは、第1軸に直接接触して第1軸に沿うものだけでなく、第1軸に直接接触しておらず離れた位置で第1軸に沿うものも含む。また、「沿う」とは、実質的に平行関係にあればよく、製造誤差等によって、僅かに傾いているものも含む。
 素体における磁性材の充填率に依らないでインダクタ部品の特性を高めることができる。
インダクタ部品の分解斜視図。 インダクタ部品の第1部分の平面図。 図2における3-3線に沿うインダクタ部品の断面図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 インダクタ部品の製造方法の説明図。 比較例のインダクタ部品の断面図。 比較例のインダクタ部品と実施例のインダクタ部品との比較結果を示す表。 変更例のインダクタ部品の断面図。
 <インダクタ部品の一実施形態>
 以下、インダクタ部品の一実施形態について説明する。なお、図面は理解を容易にするため構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。また、断面図ではハッチングを付しているが、理解を容易にするために一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。さらに、複数の部材のうち、一部の部材のみに符号を付している場合がある。
 (全体構成)
 図1に示すように、インダクタ部品10は、素体20と、インダクタ配線30と、を備えている。素体20は、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70と、を有している。
 磁性薄帯40は、平板状である。複数の磁性薄帯40は、磁性薄帯40の主面MFと直交する方向に積層されている。なお、平板状とは、主面MFを有する薄い形状のことであるが、厚みの薄い直方体に限られず、稜線や角が曲面状であってもよく、主面MFに微小な凹凸があったり、内部に空孔があったりしてもよい。
 インダクタ配線30は、素体20の内部で主面MFに沿って直線状に延びている。なお、インダクタ配線30の延びる軸を中心軸CAとする。本実施形態では、中心軸CAの延びる向きは、四角形状の主面MFのいずれかの辺の延びる向きと一致する。
 図3に示すように、中心軸CAに直交する断面視で、主面MFに沿う軸を第1軸Xとし、主面MFに直交する軸を第2軸Zとする。なお、第1軸Xに沿う方向の一方を第1正方向X1とし、第1軸Xに沿う方向の他方を第1負方向X2とする。また、中心軸CAに沿う方向の一方を正方向Y1とし、中心軸CAに沿う方向の他方を負方向Y2とする。さらに、第2軸Zに沿う方向の一方を第2正方向Z1とし、第2軸Zに沿う方向の他方を第2負方向Z2とする。
 図1に示すように、インダクタ部品10は、第2軸Zに沿って順に積層された、第1部分P1と、第2部分P2と、第3部分P3と、で構成されている。3つの部分P1~P3のうち、第2軸Zに沿う第2負方向Z2の端には、第1部分P1が位置している。
 図2に示すように、第1部分P1は、第2軸Zに沿う方向から視たときに正方形状である。第1部分P1は、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70とを有する。
 図3に示すように、中心軸CAに直交する断面視で、第1部分P1の各磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う方向に積層されている。図2に示すように、第1部分P1の各磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う方向から視たときに正方形状である。第2軸Zに沿う方向から視たときに各磁性薄帯40の各辺は、第1軸X又は中心軸CAと平行である。複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。
 磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第2軸Zに直交する第3軸に沿う方向に、間隔をあけて2個並んでいる。また、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第2軸Z及び第3軸に直交する第4軸に沿う方向に、間隔をあけて2個並んでいる。なお、第3軸は中心軸CAと一致しており、且つ第4軸は第1軸Xと一致している。そのため、本実施形態では、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う方向のみならず、第1軸X及び中心軸CAに沿う方向にも配列している。
 磁性薄帯40は、磁性材からなっている。磁性材は、例えば、Fe、Ni、Co、Cr、Cu、Al、Si、B、P等を含む金属磁性材である。本実施形態では、磁性材は、Fe及びSiを含んでいる金属磁性材である。
 図3に示すように、非磁性層50は、第2軸Zに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯40の間に位置している。非磁性層50は、第2軸Zに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯40の空間を全て埋めている。非磁性層50は、非磁性材からなっている。非磁性材は、例えば、アクリル樹脂や、エポキシ樹脂、シリコン樹脂である。なお、図3では、非磁性層50を線で図示している。
 非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。すなわち、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、すべて等しい。また、各非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法は、各磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法よりも小さい。
 図2に示すように、非磁性部60は、第2軸Zに沿う同一の位置において並ぶ磁性薄帯40の間に位置している。非磁性部60は、第2軸Zに沿う方向の同一の位置において並ぶ磁性薄帯40の間の空間を全て埋めている。上述したとおり、第2軸Zに沿う同一の位置において、磁性薄帯40は、中心軸CAに沿う方向に2つ、第1軸Xに沿う方向に2つ、合計4つ存在するので、非磁性部60は4つ存在している。非磁性部60は、非磁性材からなっている。本実施形態では、非磁性部60の材質は、非磁性層50と同一の材質である。
 非磁性膜70は、第1部分P1において、第1軸Xに沿う第1正方向X1の端、及び第1正方向X1とは反対方向である第1負方向X2の端に位置している。非磁性膜70は、磁性薄帯40における第1軸Xに沿う方向の両端面の全域を覆っている。また、非磁性膜70は、非磁性層50における第1軸Xに沿う方向の両端面の全域を覆っている。さらに、非磁性膜70は、非磁性部60における第1軸Xに沿う方向の両端面の全域を覆っている。そのため、第1部分P1における第1軸Xに沿う第1正方向X1の端面は、すべて非磁性膜70で構成されている。同様に、第1部分P1における第1軸Xに沿う第1負方向X2の端面は、すべて非磁性膜70で構成されている。非磁性膜70は、非磁性材からなっている。本実施形態では、非磁性膜70の材質は、非磁性層50と同一の材質である。
 図1に示すように、第1部分P1から視て、第2軸Zに沿う第2負方向Z2とは反対方向である第2正方向Z1には、第2部分P2が位置している。第2部分P2は、第2軸Zに沿う方向から視たときに、第1部分P1と同じ正方形状である。
 第2部分P2は、インダクタ配線30と、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70と、で構成されている。
 インダクタ配線30は、第2軸Zに沿う方向から視て長方形状であり、中心軸CAに沿って直線状に延びている。インダクタ配線30の中心軸CAに沿う正方向Y1の端面は、第2部分P2の外面の一部を構成しており、素体20から露出している。同様に、インダクタ配線30の中心軸CAに沿う正方向Y1とは反対方向である負方向Y2の端面は、第2部分P2の外面の一部を構成しており、素体20から露出している。
 第2軸Zから視たときに、インダクタ配線30の正方向Y1の端面及び負方向Y2の端面は、第1軸Xと平行になっている。また、インダクタ配線30の中心軸CAは、第1軸Xに沿う方向において、第2部分P2の中心に位置している。そのため、インダクタ配線30の延びる軸である中心軸CAは、第1軸Xに沿う方向における第2部分P2の中心を通っている。インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の寸法は、第2部分P2の第1軸Xに沿う方向の寸法の半分である。
 インダクタ配線30の材質は、導電性材料である。導電性材料は、例えば、Cu、Ag、Au、Al、又はこれらの合金である。本実施形態では、インダクタ配線30の材質は、Cuである。
 図3に示すように、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30は、長方形状である。ここで、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30に外接するとともに、第1軸Xに沿う第1辺及び第2軸Zに沿う第2辺を有する面積が最小の仮想長方形VRを描く。本実施形態では、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30が長方形である。また、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30の外形の長辺は第1軸Xに沿っている。さらに、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30の外形の短辺は第2軸Zに沿っている。そのため、仮想長方形VRは、インダクタ配線30の外形と一致する。そして、仮想長方形VRの第1辺は、仮想長方形VRの第2辺よりも長い。
 第2部分P2において、インダクタ配線30でない部分は、第1部分P1と同様に、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70と、で構成されている。
 図3に示すように、中心軸CAに直交する断面視で、第2部分P2の各磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う方向に積層されている。図2に示すように、第2部分P2の各磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う方向から視たときに長方形状である。第2軸Zに沿う方向から視たときに各磁性薄帯40の長辺は、中心軸CAと平行である。複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて同一の寸法である。
 図1に示すように、第2部分P2において、磁性薄帯40は、インダクタ配線30から視て、第1軸Xに沿う第1正方向X1及び第1負方向X2の両側に位置している。すなわち、第2部分P2において、磁性薄帯40は、第1軸Xに沿う方向に、インダクタ配線30を挟んで2個並んでいる。また、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、中心軸CAに沿う方向に、間隔をあけて2個並んでいる。
 上述した第1部分P1と同様に、第2部分P2の非磁性層50は、第2軸Zに沿う方向に隣り合っている磁性薄帯40の間に位置している。すなわち、図3に示すように、磁性薄帯40及び非磁性層50は、第1部分P1と同様に、第2軸Zに沿う方向に交互に積層されている。
 第2部分P2の非磁性部60は、第2軸Zに沿う同一の位置において並ぶ磁性薄帯40の間に位置している。非磁性部60は、第2軸Zに沿う方向の同一の位置において並ぶ磁性薄帯40の間の空間を全て埋めている。第2部分P2の非磁性部60の位置は、第2軸Zに沿う方向から視たときに、第1部分P1の非磁性部60の一部と重複している。第2部分P2の非磁性部60は、第1部分P1の非磁性部60と連続している。なお、第2部分P2において、インダクタ配線30と磁性薄帯40との間には非磁性部60は存在していない。
 非磁性膜70は、第2部分P2において、第1軸Xに沿う第1正方向X1の端、及び第1正方向X1とは反対方向である第1負方向X2の端に位置している。第2部分P2の非磁性膜70は、第1部分P1の非磁性膜70と連続している。
 第2部分P2の第2正方向Z1には、第3部分P3が位置している。第3部分P3は、第2軸Zから視たときに、第1部分P1と同じ正方形状である。第3部分P3は、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70で構成されている。本実施形態では、第3部分P3は、第2部分P2を挟んで対称的な構造であるため、詳細な説明は省略する。このようにして、素体20は、複数の磁性薄帯40と、複数の非磁性層50と、複数の非磁性部60と、複数の非磁性膜70と、を含んでいる。
 (第1磁性薄帯について)
 図3に示すように、中心軸CAに直交する断面視において、インダクタ配線30の第1正方向X1の端を第1配線端IP1とする。また、中心軸CAに直交する断面視において、インダクタ配線30の第1負方向X2の端を第2配線端IP2とする。
 そして、インダクタ配線30に対して、第2軸Zに沿う方向に積層された磁性薄帯40のうち、第1配線端IP1からの第2軸Zに沿う距離が最も短い磁性薄帯40を第1磁性薄帯41とする。なお、第2軸Zに沿う方向から視た場合に、少なくとも一部分がインダクタ配線30に重複する磁性薄帯40が、インダクタ配線30に対して第2軸Zに沿う方向に積層された磁性薄帯40である。したがって、本実施形態では、第1部分P1における磁性薄帯40及び第3部分P3における磁性薄帯40が、インダクタ配線30に対して第2軸Zに沿う方向に積層された磁性薄帯40である。一方で、第2部分P2における磁性薄帯40は、インダクタ配線30に対して第2軸Zに沿う方向に積層されていない。また、第1磁性薄帯41は、第1部分P1における磁性薄帯40のうち最も第2負方向Z2に位置する磁性薄帯40と、第3部分P3における磁性薄帯40のうち最も第2正方向Z1に位置する磁性薄帯40と、である。
 (第1範囲~第3範囲について)
 図3に示すように、1つの磁性薄帯40において、第1正方向X1の端を第1端MP1とし、第1負方向X2の端を第2端MP2とする。このとき、1つの磁性薄帯40における第1軸Xに沿う方向の両端を除く範囲を、第1範囲AR1とする。換言すれば、1つの磁性薄帯40において、第2端MP2の第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標を0とする。1つの磁性薄帯40において、第1軸Xに沿う第1正方向X1の第1端MP1の第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標を1とする。このときに、第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標が、0より大きく1より小さい範囲が第1範囲AR1である。そして、図3に示すように、第1配線端IP1を通過するとともに、第2軸Zに沿う方向に第1仮想直線VL1を引く。このとき、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1内を通っている。
 また、本実施形態では、第1部分P1において、複数の磁性薄帯40が、インダクタ配線30に対して第2正方向Z1に連続して積層されている。そして、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41から第2正方向Z1に連続して積層された複数の磁性薄帯40のうち、第1磁性薄帯41を含めて連続して積層された2つ以上の磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。具体的には、第1仮想直線VL1は、第1部分P1に含まれている磁性薄帯40のうち、第1磁性薄帯41に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。
 さらに、第3部分P3において、複数の磁性薄帯40が、インダクタ配線30に対して第2負方向Z2に連続して積層されている。そして、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41から第2負方向Z2に連続して積層された複数の磁性薄帯40のうち、第1磁性薄帯41を含めて連続して積層された2つ以上の磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。具体的には、第1仮想直線VL1は、第3部分P3に含まれている磁性薄帯40のうち、第1磁性薄帯41に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。
 第1磁性薄帯41の第1軸Xに沿う第1正方向X1の反対方向である第1負方向X2の第2端MP2を通過するとともに、第2軸Zに沿う方向に第2仮想直線VL2を引く。このとき、第2仮想直線VL2は、インダクタ配線30を通っている。本実施形態では、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の概ね中央に位置している。
 そして、第1磁性薄帯41について、第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標が0.18以上0.74以下の範囲を第2範囲AR2とする。このとき、第1仮想直線VL1は、第2範囲AR2内を通っている。また、本実施形態では、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41から第2正方向Z1に連続して積層された複数の磁性薄帯40に対して、当該複数の磁性薄帯40における第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標が0.18以上0.74以下の範囲内を通っている。
 さらに、第1磁性薄帯41について、第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標が0.34以上0.54以下の範囲を第3範囲AR3とする。このとき、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第3範囲AR3内を通っている。また、本実施形態では、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41から第2正方向Z1に連続して積層された複数の磁性薄帯40に対して、当該複数の磁性薄帯40における第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標が0.34以上0.54以下の範囲内を通っている。
 さらに、上記実施形態において、インダクタ配線30の第1配線端IP1の、第1磁性薄帯41に対する第1軸Xに沿う方向の位置を示す座標は、0.5である。すなわち、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第1軸Xに沿う方向における中央を通っている。
 なお、本実施形態においては、インダクタ部品10は、第1軸Xに沿う方向における中心を通る第2軸Zを対称軸として、線対称の構造となっている。ここで、インダクタ配線30の第2配線端IP2を通過するとともに、第2軸Zに沿う方向に第3仮想直線VL3を引く。また、インダクタ配線30に対して、第2軸Zに沿う方向に積層された磁性薄帯40のうち、第2配線端IP2からの第2軸Zに沿う距離が最も短い磁性薄帯40を第2磁性薄帯42とする。この場合に、当該第3仮想直線VL3は、中心軸CAに直交する断面視において、第2磁性薄帯42の第1範囲AR1内を通っている。さらに、第3仮想直線VL3は、中心軸CAに直交する断面視において、第2磁性薄帯42における第1磁性薄帯41の第2範囲AR2及び第3範囲AR3に相当する範囲内を通っている。より具体的には、第3仮想直線VL3は、第2磁性薄帯42の第1軸Xに沿う方向の中央を通っている。
 また、本実施形態では、中心軸CAに直交する断面視において、第3仮想直線VL3は、第2磁性薄帯42を含めて連続して積層された2つ以上の磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。具体的には、第3仮想直線VL3は、第1部分P1に含まれている磁性薄帯40のうち、第2磁性薄帯42に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。
 さらに、中心軸CAに直交する断面視において、第3仮想直線VL3は、第3部分P3に含まれている磁性薄帯40のうち、第2磁性薄帯42を含めて連続して積層された2つ以上の磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。具体的には、第3仮想直線VL3は、第3部分P3に含まれている磁性薄帯40のうち、第2磁性薄帯42に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。より具体的には、第3仮想直線VL3は、第2磁性薄帯42に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の中央を通っている。このように、中心軸CAに直交する断面視において、第3仮想直線VL3が、第2磁性薄帯42に対して、上記の第1範囲AR1、第2範囲AR2、第3範囲AR3に相当する範囲を通ることが好ましい。
 (インダクタ部品の製造方法)
 次に、インダクタ部品10の製造方法を説明する。
 図4に示すように、先ず、銅箔81を準備する銅箔準備工程を行う。銅箔81は、インダクタ配線30を構成するため、銅箔81の厚さは、インダクタ配線30として必要な厚さのものを準備する。なお、以下の説明では、銅箔81は、当該銅箔81の2つの主面が第2軸Zに直交するように配置されているものとし、且つ中心軸CAに直交する断面を示して説明する。
 次に、図5に示すように、銅箔81の第2軸Zに直交する両主面のうち、第2軸Zに沿う方向から視たときに、第2部分P2における複数の磁性薄帯40が占める範囲以外を被覆する第1被覆工程を行う。具体的には、先ず、銅箔81の第2軸Zに沿う第2負方向Z2を向く面のうち、第2部分P2における複数の磁性薄帯40が占める範囲以外を被覆する第1被覆部82を形成する。第1被覆部82を形成するにあたっては、銅箔81の第2軸Zに沿う第2負方向Z2を向く面全体に、感光性のドライフィルムレジストを塗布する。次に、第1被覆部82を形成する部分について露光することで、ドライフィルムレジストを硬化させる。次に、同様に、銅箔81の第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面にも、ドライフィルムレジストを塗布するとともに、第1被覆部82を形成する部分について露光することで、ドライフィルムレジストを硬化させる。その後、塗布したドライフィルムレジストのうち硬化していない部分を、薬液により剥離除去させる。これにより、塗布したドライフィルムレジストのうち、硬化している部分が、第1被覆部82として形成される。なお、後述する他の工程におけるフォトリソグラフィも、同様の工程であるので、詳細な説明は省略する。
 次に、図6に示すように、第1被覆部82から露出している銅箔81をエッチングする銅箔エッチング工程を行う。部分的に第1被覆部82に被覆された銅箔81についてエッチングすることで、露出している銅箔81を除去する。
 次に、図7に示すように、第1被覆部82を取り除く第1被覆部除去工程を行う。具体的には、薬品によって、第1被覆部82をウェットエッチングすることにより、第1被覆部82を剥離する。
 次に、銅箔81の第2軸Zに直交する両面のうち、第2軸Zに沿う方向から視たときに、複数の磁性薄帯40が占める範囲を被覆する第2被覆工程を行う。具体的には、先ず、図8に示すように、銅箔81の第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面全体に、ドライフィルムレジストRを塗布する。次に、図9に示すように、フォトリソグラフィによって、銅箔81の第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面のうち、第2軸Zに沿う方向から視たときに、磁性薄帯40及び非磁性層50が占める範囲以外を被覆する第2被覆部83を形成する。その後、同様に、フォトリソグラフィによって、銅箔81の第2軸Zに沿う第2負方向Z2を向く面のうち、第2軸Zに沿う方向から視たときに、磁性薄帯40及び非磁性層50が占める範囲以外を被覆する第2被覆部83を形成する。
 次に、磁性薄帯40及び非磁性層50が積層されている積層体84を準備する積層体準備工程を行う。
 先ず、例えば、磁性薄帯40として、薄帯を準備する。薄帯は、例えば、東北マグネットインスティテュート社製NANOMET(登録商標)、日立金属社製Metglas(登録商標)やFINEMET(登録商標)、FeSiB、FeSiBCr等からなるものである。この薄帯を10mm角に切断する。切断した薄帯に非磁性材をスピンコートによって塗布する。非磁性材としては、例えばエポキシ樹脂ワニスである。塗布した非磁性材に、切断した薄帯を積層する。このように、薄帯と非磁性材とを交互に積層させた後、真空加熱加圧装置で薄帯と非磁性材とを硬化接着させる。そして、所望の大きさにダイシングすることにより複数の磁性薄帯40及び非磁性層50が積層された積層体84を準備できる。本実施形態では、積層体84は、第1部分P1及び第3部分P3における磁性薄帯40及び非磁性層50を構成する第1積層体84Aと、第2部分P2における磁性薄帯40及び非磁性層50を構成する第2積層体84Bとの2種類を準備する。
 次に、積層体84を配置する積層体配置工程を行う。
 図10に示すように、積層体84のうち、第3部分P3における磁性薄帯40及び非磁性層50を構成する第1積層体84Aを、銅箔81の第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面に、熱可塑性接着剤85によって仮接着させる。なお、熱可塑性接着剤85は、図10~図15では、太線で示す。
 次に、図11に示すように、第2軸Zに沿う方向に全体を反転させる。そして、図12に示すように、積層体84のうち、第2部分P2における磁性薄帯40及び非磁性層50を構成する第2積層体84Bを、第1積層体84Aの第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面のうち、銅箔81に接していない部分に配置させる。具体的には、プレス等により積層体84を銅箔81の開口部に押し込むことで、第2積層体84Bを配置させることができる。
 次に、図13に示すように、積層体84のうち、第1部分P1における磁性薄帯40及び非磁性層50を構成する第1積層体84Aを、銅箔81の第2軸Zに沿う第2正方向Z1を向く面及び第2積層体84Bに沿う第2正方向Z1を向く面に、熱可塑性接着剤85によって仮接着させる。これにより、積層体84を配置させる。
 次に、図14に示すように、プレス工程を行う。全体を非磁性材である樹脂材86で覆った状態で、プレス加工を行う。これにより、第2軸Zに沿う方向の各層が圧着される。
 次に、図15に示すように、個片化加工工程を行う。具体的には、例えば、破断線DLにてダイシングにより個片化する。上述した第2被覆部83のうち、第1軸Xに沿う方向に並ぶ第1積層体84Aの間の部分は、非磁性部60となる。また、第2被覆部83のうち、中心軸CAに沿う方向に並ぶ第1積層体84Aの間、第2積層体84Bの間の部分は、非磁性部60となる。さらに、熱可塑性接着剤85は、非磁性層50の一部として、インダクタ配線30の第2軸Zに沿う方向の両面に残存している。なお、図15に示す例では、積層体84の第1正方向X1における端面及び第1負方向X2における端面に沿って切断している。その後、積層体84の第1正方向X1における端面及び第1負方向X2における端面に、非磁性材からなる非磁性膜70を塗布する。これにより、インダクタ部品10を形成できる。なお、この方法により熱可塑性接着剤85がインダクタ配線30の第1正方向X1を向く側面側及び第1負方向X2を向く側面側にも回り込むため、磁性薄帯40とインダクタ配線30とは直接接触せず絶縁性が確保される。
 (シミュレーション結果について)
 次に、インダクタ部品10について得られる特性を、比較例のインダクタ部品90と比較したシミュレーション結果について説明する。シミュレーションには、ムラタソフトウェア株式会社のFemtet(登録商標)を用いた。
 先ず、シミュレーションの条件について説明する。
 使用したソフトは、ムラタソフトウェア製のFemtet2019である。ソルバは、静磁場解析である。モデルは、2次元である。標準メッシュサイズは、0.01mmである。磁性体は、Fe、Si、Cr、Bからなるアモルファス金属磁性薄膜、比透磁率μrは、7000であり、飽和磁束密度Bsは、0.8Tである。磁性体BH曲線は、B=Bs×tanh(μ0×μr×H/Bs)を満たすものを使用した。なお、磁性体BH曲線は、真空の透磁率以下にならないように、比透磁率μrが1以上の部分を使用し、さらにFemtet2019の機能を使って、真空の透磁率へ外挿した。インダクタ配線30の材質は、銅である。
 次に、実施例のインダクタ部品10の寸法や位置についての条件について説明する。
 磁性薄帯40の第1軸Xに沿う方向の寸法は、980μmである。磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、20μmである。非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法は、2.439024μmである。非磁性部60の第1軸Xに沿う方向の寸法は、20μmである。磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向に積層する数は、41個である。磁性薄帯40の第1軸Xに沿う方向に並ぶ数は、2個である。インダクタ部品10の第2軸Zに沿う方向の寸法は、920μmである。インダクタ部品10の第1軸Xに沿う方向の寸法は、2000μmである。インダクタ配線30の第2軸Zに沿う方向の寸法は、100μmである。インダクタ配線30の位置は、インダクタ配線30の重心が、素体20の重心位置に一致するように配置した。非磁性層50、非磁性部60及び非磁性膜70の非磁性材の比透磁率μrは、1とした。
 一方で、図16に示すように、比較例のインダクタ部品90は、素体91が、磁性材と非磁性材とのコンポジット材である。シミュレーションには、素体91は、Fe、Si、Cr、Bからなるアモルファス金属粒子と樹脂のメタルコンポジット材とした。素体91の比透磁率μrは、24であり、金属磁性体充填率は70%、飽和磁束密度Bsは、0.56Tである。また、素体91の磁性体BH曲線は、B=Bs×tanh(μ0×μr×H/Bs)を満たすものを使用した。なお、磁性体BH曲線は、真空の透磁率以下にならないように、比透磁率μrが1以上の部分を使用し、さらにFemtet2019の機能を使って、真空の透磁率へ外挿した。
 次に、シミュレーションによって算出する特性指標について説明する。
 配線抵抗Rdcの単位はmΩであり、配線長は2.5mmとし、配線抵抗Rdcは、配線断面積に比例するとした。絶対値の基準は、別途電磁場解析シミュレーションにより求めた1.0mm×0.1mmの配線断面において、0.43mΩである。インダクタンスLの単位はnHであり、奥行き2.5mmと設定した。直流重畳特性Isatの単位はAであり、直流重畳特性Isatは、0.001AにおけるインダクタンスLである初期インダクタンスに対してインダクタンスLが20%低下する時の電流値である。
 ここで、インダクタンスL及び直流重畳特性Isatは、トレードオフ関係にある。また、インダクタンスL及び配線抵抗Rdcは、トレードオフ関係にある。そこで、特性指標として、(L×Isat)×(L/Rdc)を用いた。
 そして、図17に示すように、実施例及び比較例の両者について、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の寸法を、0.08、0.18、0.28、・・・、1.78、1.88mmと設定して、特性指標について比較した。なお、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の寸法によって、インダクタ配線30の第1配線端IP1の位置が変わる。上述したように、1つの磁性薄帯40において、第1軸Xに沿う第1負方向X2の第2端MP2の位置を0とし、1つの磁性薄帯40において、第1軸Xに沿う第1正方向X1の第1端MP1の位置を1とする。この場合、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向における第1配線端IP1の位置を示す座標が、0より大きく1より小さい範囲の間で変化する。
 特性指標(L×Isat)×(L/Rdc)については、どの実施例においても、比較例に対する実施例の値が1より大きいため、比較例よりも向上している。インダクタ配線30の第1配線端IP1の位置が0から1の範囲内である場合には、図3に示すように第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1を通る。そのため、第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1を通る場合、特性指標が向上している。
 また、図17に示すように、インダクタ配線30の第1配線端IP1の位置が0.18以上0.85以下の範囲内である場合に、特性指標は、比較例に対して、概ね60%以上向上している。そのため、図3に示すように、第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第2範囲AR2を通る場合、特性指標が比較例よりも60%以上向上している。
 さらに、図17に示すように、インダクタ配線30の第1配線端IP1の位置が0.34以上0.54以下の範囲内である場合に、特性指標は、比較例に対して、安定して75%以上向上している。そのため、図3に示すように、第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第3範囲AR3を通る場合、特性指標が比較例よりも75%以上向上している。
 (本実施形態の作用について)
 次に、上記実施形態の作用について説明する。
 インダクタ部品10のインダクタ配線30に、中心軸CAに沿う方向に電流が流れると、インダクタ配線30周りには、磁界が発生する。そして、インダクタ配線30の中心軸CAに直交する断面において、磁束は、インダクタ配線30の縁である第1配線端IP1に集中しやすい。また、仮にインダクタ配線30に電流が流れたときの磁束が、第1磁性薄帯41の第1軸Xに沿う方向の端を通過すると、磁束が乱れたり、局所に集中したりする。
 (本実施形態の効果について)
 次に、上記実施形態の効果について説明する。
 (1)上記実施形態によれば、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1内を通っている。そのため、インダクタ配線30に電流が流れたときに発生する磁束のうち、インダクタ配線30の第1配線端IP1の近傍において、第1仮想直線VL1に沿う向きの磁束の大半は、第1磁性薄帯41の第1軸Xに沿う方向の端を除く部分を通過する。すなわち、インダクタ配線30に電流が流れたときに発生する磁束のうち、第1磁性薄帯41に沿う方向の端を通過する磁束が少なくなる。そのため、磁束が乱れたり、磁束が局所に集中したりすることを抑制できる。こうした第1磁性薄帯41とインダクタ配線30との位置関係によれば、磁性材の充填率に拠らずとも、特性指標が大きくなる。
 (2)上記実施形態によれば、中心軸CAに直交する断面において描かれる仮想長方形VRの第1辺は第1軸Xに沿っており、仮想長方形VRの第2辺は第2軸Zに沿っている。そして、第1辺は、第2辺よりも長い。このように、中心軸CAに直交する断面において、長辺である第1辺が延びる方向の端である第1配線端IP1には、より磁束が集中しやすくなる。そのため、上述した第1磁性薄帯41とインダクタ配線30との位置関係によって、特性指標をより大きくできる。
 (3)上記実施形態によれば、複数の磁性薄帯40が、インダクタ配線30に対して第2軸Zに沿う方向に連続して積層されている。そして、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41を含めて連続して積層された2つ以上の磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。そのため、第1磁性薄帯41のみならず、他の磁性薄帯40とインダクタ配線30との位置関係によれば、特性指標をさらに大きくできる。
 (4)上記実施形態によれば、中心軸CAに直交する断面視において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41に連続して積層されたすべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通っている。そのため、磁性薄帯40の第1軸Xに沿う方向における端を通ることを避けられるため、特性指標をさらに大きくできる。
 (5)磁性薄帯40に発生する反磁界は、磁性薄帯40における第1軸Xに沿う方向の中央で、第1軸Xに沿う方向の両端よりも小さくなると推測される。よって、第1配線端IP1の近傍において、第1仮想直線VL1に沿う向きの磁束は、第1磁性薄帯41の中央付近で第1磁性薄帯41内に侵入しやすくなる。
 上記実施形態によれば、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第2範囲AR2内を通っている。つまり、インダクタ配線30に電流が流れたときに発生する磁束のうち、インダクタ配線30の第1配線端IP1の近傍において、第1仮想直線VL1に沿う向きの磁束の大半が、第1磁性薄帯41の第1軸Xに沿う方向の中央寄りの部分を通過する。したがって、インダクタ配線30からの磁束が第1磁性薄帯41に侵入しやすく、素体20全体で視た場合の磁束密度が大きくなる。その結果、インダクタンスLを効率よく取得できる。
 (6)上記実施形態によれば、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第3範囲AR3内を通っている。上述したシミュレーションの結果のとおり、インダクタ配線30と第1磁性薄帯41との位置関係としてこのような関係を採用することで、特性指標が、比較例よりも75%以上向上する。
 (7)インダクタ配線30に中心軸CAに沿う方向に電流が流れたときに発生する磁束の中には、磁性薄帯40に対して、第2軸Zに沿う方向に侵入する磁束が含まれる。このように侵入する磁束は、磁性薄帯40に渦電流を生じさせる。また、この渦電流は、第2軸Zに沿う方向から視たとき、1つ当たりの磁性薄帯40の面積が大きいほど、大きくなる。渦電流が生じると、磁束のエネルギーが熱エネルギーとして失われることになるので、損失が生じる。
 上記実施形態によれば、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第3軸に沿う方向に2個、第4軸に沿う方向に2個並んでいる。そのため、第2部分P2における磁性薄帯40が、第2軸Zに沿う同一の位置において1個である場合よりも、第2軸Zに沿う方向から視たときの磁性薄帯40の面積が小さくなる。よって、1つの磁性薄帯40で発生する渦電流が小さくなる。
 (8)上記実施形態によれば、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第1軸Xに沿う方向に2個並んでいる。そのため、インダクタ配線30の第1配線端IP1を通る第1仮想直線VL1が通る第1磁性薄帯41と、インダクタ配線30の第2配線端IP2を通る第3仮想直線VL3が通る第2磁性薄帯42とは、異なる磁性薄帯40である。よって、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の寸法としてある程度の大きさを確保しつつ、インダクタ配線30と第1磁性薄帯41との位置関係として上述した位置関係を実現できる。
 (9)上記実施形態によれば、中心軸CAに直交する断面視において、第2仮想直線VL2は、インダクタ配線30を通っている。第1磁性薄帯41が、第1軸Xに沿う方向に過度に大きくないことで、第1磁性薄帯41で発生する渦電流が小さくなる。
 (10)上記実施形態によれば、中心軸CAに直交する断面視において、第3仮想直線VL3は、第2磁性薄帯42の第1範囲AR1内を通っている。そのため、上述した(1)の効果と同様の効果を、インダクタ配線30の第2配線端IP2と第2磁性薄帯42とにおいても得ることができる。そのため、磁束が乱れたり、磁束が局所に集中したりすることをさらに抑制できる。
 (11)上記実施形態によれば、磁性薄帯40の材質は、Fe及びSiを含んでいる。そのため、磁性材として、高い比透磁率μrを得ることができる。
 (12)上記実施形態によれば、複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて等しい。そのため、各磁性薄帯40内での磁束密度が均一化し、特定の箇所において磁束が集中して飽和しにくい。その結果、素体20全体で見た場合の磁束密度が向上する。
 (13)上記実施形態によれば、複数の非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて等しい。すなわち、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、すべて等しい。そのため、第2軸Zに沿う方向に隣り合う磁性薄帯40間で生じる磁束の乱れを均一化できる。
 <その他の実施形態>
 上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で組み合わせて実施することができる。
 ・上記実施形態において、素体20の形状は、上記実施形態の例に限られない。例えば、第2軸Zに沿う方向から視たときに、素体20の形状は、長方形状であってもよいし、四角形以外の多角形であってもよい。さらに例えば、第2軸Zに沿う方向から視たときに、素体20の形状は、楕円等の円状であってもよい。また、素体20の形状は、第3軸に沿う方向における寸法と第4軸に沿う方向における寸法とが異なる直方体や、立方体、多角柱、円柱等であってもよい。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30とは、電流が流れた場合に磁性薄帯40に磁束を発生させることによって、インダクタ部品10にインダクタンスLを付与できるものであれば、形状は適宜に変更できる。
 例えば、図18に示す変更例のインダクタ部品110では、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線130は、楕円状である。そして、インダクタ配線130に外接するとともに、第1軸Xに沿う第1辺及び第2軸Zに沿う第2辺を有する面積が最小の仮想長方形VR2を描く。このとき、仮想長方形VR2の第1辺は、仮想長方形VR2の第2辺よりも長い。このように、仮想長方形VR2の長辺が第1軸Xと平行であると、磁束のより集中する配線断面の第1軸Xに沿う方向の端部には、第1磁性薄帯41の反磁界の小さい領域が対応するため、より好ましい。
 また、上記実施形態において、中心軸CAに直交する断面におけるインダクタ配線30の形状は、第2軸Zに沿う第2辺が、第1軸Xに沿う第1辺よりも長くてもよい。この場合であっても、インダクタ配線30の第1正方向X1の端である第1配線端IP1には、磁束が集中する。そのため、このように、磁束のより集中する配線断面の第1配線端IP1には、第1磁性薄帯41の反磁界の小さい領域が対応するため、より好ましい。
 さらに、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30の形状は、1つ以上の突出部分を含む場合等、線対称や回転対称等の対称性を有しない形状であってもよい。このように、中心軸CAに直交する断面において、対称性が崩れていると、磁束が他よりも集中する箇所が発生する。そして、突出部分等のように磁束が他よりも集中する箇所が第1配線端IP1となるように、第1磁性薄帯41の位置関係を定めることが好ましい。
 また、例えば、中心軸CAに直交する断面において、インダクタ配線30の形状は、正方形状であってもよいし、真円状であってもよい。この場合、中心軸CAに直交する断面において描く仮想長方形VRは正方形となり、仮想長方形VRの第1辺は、仮想長方形VRの第2辺より長くなくてもよい。
 なお、第1磁性薄帯41は、中心軸CAに直交する断面におけるインダクタ配線30の形状に併せて定められる。図18に示す変更例では、インダクタ配線130に対して、第2軸Zに沿う方向に積層された磁性薄帯40のうち、第1配線端IP1からの第2軸Zに沿う距離が最も短い磁性薄帯40は、第2部分P2に含まれる磁性薄帯40の1つである。この場合であっても、第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1を通っていればよい。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の位置は、上記実施形態の例に限られない。第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1内にあればよい。例えば、インダクタ配線30の第1軸Xに沿う方向の中央が、素体20の第1軸Xに沿う方向の中央に一致してなくてもよい。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30の形状は、直線状に限られない。磁性薄帯40の主面MFに沿って延びていればよく、例えば、全体として湾曲している形状や、ミアンダ形状であってもよい。
 また、インダクタ配線30が、主面MFと交差する方向に延びる引出配線や、第2軸Zに沿う方向に延びるビア配線等に接続されていてもよい。さらに、複数のインダクタ配線30が第2軸Zに沿う方向に延びるビア配線に接続されて、全体として、弦巻形状やヘリカル状の三次元螺旋状であってもよい。この場合には、磁性薄帯40の主面MFに沿って延びている部分が、インダクタ配線30である。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30の材質は、導電性材料であれば、上記実施形態の例に限られない。例えば、インダクタ配線30の材質は、導電性の樹脂であってもよい。
 ・上記実施形態において、中心軸CAと、第3軸とは、一致していなくてもよい。また、第4軸は、第1軸Xと一致していなくてもよい。例えば、上述したようにインダクタ配線30の形状がミアンダ形状の場合、中心軸CAはミアンダ状に延びる。この場合、第3軸は第2軸Zに直交し、第4軸は、第2軸Zと直交し、第3軸に交差すればよい。この場合であっても、磁性薄帯40が第3軸に沿う方向に複数個並んでいたり、第4軸に沿う方向に複数個並んでいたりすれば、磁性薄帯40が第2軸Zに沿う同一の位置において1個である場合よりも、第2軸Zに沿う方向から視たときの磁性薄帯40の面積が小さくなる。そのため、1つの磁性薄帯40で発生する渦電流が小さくなる。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30の第1配線端IP1と第1磁性薄帯41との位置関係については、少なくとも第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1内を通ればよい。第1仮想直線VL1が、第1磁性薄帯41を含む第2軸Zに沿う方向に連続して並ぶ5つの磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通ることが好ましく、すべての磁性薄帯40の第1範囲AR1内を通ることがより好ましい。そのため、第1仮想直線VL1が、すべての磁性薄帯40の第1軸Xに沿う方向における略中央を通っていなくてもよい。
 ・上記実施形態において、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第2範囲AR2や第3範囲AR3を通っていなくてもよい。例えば、図18に示す変更例では、第1仮想直線VL1は、第1磁性薄帯41の第1範囲AR1を通っているものの、第2範囲AR2や、第3範囲AR3を通ってはいない。
 ・上記実施形態で説明した第1配線端IP1を通る第1仮想直線VL1と第1磁性薄帯41の第1範囲AR1~第3範囲AR3との位置関係は、中心軸CAに直交するインダクタ配線30の断面のうち、いずれか1つの断面において満たしていればよい。つまり、インダクタ配線30のすべての領域において、第1仮想直線VL1と第1磁性薄帯41の第1範囲AR1~第3範囲AR3との位置関係が満たされていなくてもよい。少なくとも1つの断面において上記位置関係が満たされていれば、その断面箇所においては上記実施形態の効果が得られる。
 ・上記実施形態において、第2仮想直線VL2は、インダクタ配線30を通っていなくてもよい。また、第3仮想直線VL3は、第2磁性薄帯42の第1範囲AR1~第3範囲AR3に相当する範囲を通っていなくてもよい。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30が素体20から露出している部分には、外部電極が接続されていてもよい。例えば、インダクタ配線30の中心軸CAに沿う方向の両端面、及び素体20の中心軸CAに沿う方向の両端面に、塗布、印刷、めっき等によって、外部電極を形成してもよい。
 ・上記実施形態において、複数の磁性薄帯40が積層される方向は、製造上の誤差等により、中心軸CA及び第1軸Xに対して直交しないこともある。上記実施形態において、磁性薄帯40等が「第2軸Zに沿う方向に積層されている」というのは、このような製造上の誤差等を許容するものである。
 ・上記実施形態において、第2軸Zに沿う方向に積層される磁性薄帯40の数は、2個以上であればよい。この場合、2つの磁性薄帯40の間に、インダクタ配線30が配置されていればよい。
 ・上記実施形態において、磁性薄帯40の材質は、磁性材であれば、上記実施形態の例に限られない。例えば、Feであってもよいし、Niであってもよい。また、Fe、Ni、Co、Cr、Cu、Al、Si、B、P以外の金属磁性材であってもよい。
 ・上記実施形態において、非磁性層50の材質は、非磁性材であれば、上記実施形態の例に限られない。非磁性層50は、アクリル樹脂や、エポキシ樹脂、シリコン樹脂以外の樹脂であってもよいし、アルミナ、シリカ、ガラス等の非磁性セラミックスやこれらを含む非磁性無機物であってもよいし、空隙であってもよく、さらにこれらの混合物であってもよい。この点、非磁性部60及び非磁性膜70についても同様である。また、非磁性層50、非磁性部60及び非磁性膜70の材質は、非磁性材であれば、互いに異なっていてもよいし、部分的に異なっていてもよい。
 ・上記実施形態において、非磁性層50、非磁性部60、非磁性膜70は一体化していてもよいし、別の部材であってもよい。例えば、非磁性層50は、中空であってもよいし、磁性薄帯40の表面が酸化した酸化膜が絶縁体となって構成されていてもよい。
 ・上記実施形態において、非磁性層50を省いてもよい。この場合、第2軸Zに沿う方向に隣り合う磁性薄帯40同士が直接接触していてもよい。
 ・上記実施形態において、非磁性部60を省いてもよい。この場合、第3軸又は第4軸に沿う方向に並ぶ磁性薄帯40同士が直接接触していてもよい。また、非磁性部60が、インダクタ配線30と磁性薄帯40との間に存在していてもよい。この場合、非磁性部60によって、インダクタ配線30と磁性薄帯40との間の絶縁性を確保できる。
 なお、「複数の磁性薄帯40が積層された」及び「複数の磁性薄帯40が並ぶ」とは、具体的には、隣接する磁性薄帯40同士が完全に又は部分的に絶縁されている場合や微視的に物理的な境界が存在する場合を指す。例えば、磁性薄帯40同士が焼結されて完全に一体化されている状態等は含まない。
 ・上記実施形態において、インダクタ配線30に対して第2軸Zに沿う方向に積層された第1磁性薄帯41が存在するのであれば、素体20の構成は、変更できる。例えば、第2部分P2のうちのインダクタ配線30を除く部分すべてを磁性薄帯40で構成してもよいし、非磁性層50で構成してもよい。また、第2部分P2のうちのインダクタ配線30を除く部分すべてを磁性薄帯40で構成する場合、その磁性薄帯40は粉体状の磁性材と非磁性材とのコンポジット材であってもよい。このようなコンポジット材としては、Fe、Si、Cr、Bからなるアモルファス金属粒子と樹脂とのメタルコンポジット材が挙げられる。
 ・上記実施形態によれば、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第1軸Xに沿う方向に2個並んでおり、中心軸CAすなわち第3軸に沿う方向に2個並んでいる。すなわち、「M」及び「N」を正の整数とした場合、磁性薄帯40は、第2軸Zに沿う同一の位置において、第3軸に沿う方向に「M」個並んでおり、第1軸Xすなわち第4軸に沿う方向に「N」個並んでおり、「M」及び「N」のいずれも2である。上記実施形態において、第4軸に沿う方向に並ぶ第1磁性薄帯41の数である「M」は、1個であってもよいし、3個以上であってもよい。また、中心軸CAに沿う方向に並ぶ磁性薄帯40の数である「N」は、1個であってもよいし、3個以上であってもよい。なお、「M」及び「N」の少なくともいずれか一方が2以上であると、第2軸Zから視たときの1つ当たりの磁性薄帯40の面積を小さくできるので、渦電流による損失を小さくしやすい。
 ・上記実施形態において、複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、異なっていてもよい。磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法が小さい場合、製造方法によっては20%程度の製造誤差が生じることもあり得る。したがって、磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法の平均値に対して、80%以上120%以下であれば、ほぼ等しいとみなせる。なお、1つの磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、電子顕微鏡にて1000倍から10000倍までの間の倍率に拡大した一枚の画像のうち、第2軸Zに沿う方向の最小の寸法とする。また、複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、電子顕微鏡にて5つ以上の磁性薄帯40がおさまる一枚の画像で測定した1つの磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法の平均値である。
 ・複数の磁性薄帯40の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて同一でなくてもよい。互いにばらついていてもよいし、平均値に対して、20%より大きくばらついていてもかまわない。
 ・上記実施形態において、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、異なっていてもよい。例えば、非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法が小さい場合、製造方法によっては20%程度の製造誤差が生じることもあり得る。また例えば、上述した変更例のように、非磁性層50の一部分が中空になることで、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔がばらつくこともあり得る。また、非磁性層50と磁性薄帯40との間に空隙が存在することもある。この場合、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、非磁性層50と空隙との長さを足し合わせたものとなる。したがって、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、第2軸Zに沿う方向に隣り合う複数組の磁性薄帯40間の間隔の平均値に対して、80%以上120%以下であれば、ほぼ等しいとみなせる。なお、第2軸Zに沿う方向に隣り合う1組の磁性薄帯40間の間隔は、電子顕微鏡にて1000倍から10000倍までの間の倍率に拡大した一枚の画像のうち、第2軸Zに沿う方向の最小の寸法とする。また、第2軸Zに沿う方向に隣り合う複数組の磁性薄帯40間の間隔の平均値は、電子顕微鏡にて6つ以上の磁性薄帯40がおさまる一枚の画像で測定した5組の磁性薄帯40間の間隔の平均値である。
 ・複数の非磁性層50の第2軸Zに沿う方向の寸法は、すべて同一でなくてもよい。互いにばらついていてもよいし、平均値に対して、20%より大きくばらついていてもかまわない。
 ・上記実施形態において、非磁性部60の数や位置は、上記実施形態の例に限られない。第1軸Xに沿う方向や中心軸CAに沿う方向における磁性薄帯40の数や位置に併せて、非磁性部60の数や位置を変更すればよい。また、非磁性部60の大きさも、第2軸Zに沿う方向における同一の位置における磁性薄帯40の間隔に併せて、適宜変更すればよい。
 ・上記実施形態において、非磁性膜70は省略してもよい。なお、非磁性膜70を形成する場合には、例えば、インダクタ部品10の製造方法において、第2被覆部83の第1軸X及び中心軸CAに沿う方向の隙間に対して、積層体84の第1軸X及び中心軸CAに沿う方向の寸法を小さく設定すればよい。この場合、第2被覆部83と積層体84との隙間に、樹脂材86が入り込むことで、非磁性膜70を形成できる。
 ・上記実施形態において、インダクタ部品10の製造方法は、上記実施形態の例に限られない。例えば、積層体84を、第2被覆部83に配置せずに、素体20を第2軸Zに沿う方向に積層される複数のシートを形成して、これらの複数のシートを積層させることによって、素体20を形成してもよい。
 10,110…インダクタ部品
 20…素体
 30,130…インダクタ配線
 40…磁性薄帯
 41…第1磁性薄帯
 42…第2磁性薄帯
 50…非磁性層
 60…非磁性部
 70…非磁性膜
 AR1…第1範囲
 AR2…第2範囲
 AR3…第3範囲
 CA…中心軸
 IP1…第1配線端
 IP2…第2配線端
 MF…主面
 MP1…第1端
 MP2…第2端
 VL1…第1仮想直線
 VL2…第2仮想直線
 VL3…第3仮想直線
 VR,VR2…仮想長方形
 X…第1軸
 X1…第1正方向
 X2…第1負方向
 Z…第2軸

Claims (12)

  1.  磁性材からなる平板状の複数の磁性薄帯を含み、複数の前記磁性薄帯が、前記磁性薄帯の主面に対して直交する方向に積層された素体と、
     前記素体の内部で、前記主面に沿って延びているインダクタ配線と、を備え、
     前記インダクタ配線の延びる軸を中心軸とし、前記中心軸に直交する断面視で前記主面に沿う軸を第1軸とし、前記断面視で前記主面に直交する軸を第2軸とし、前記第1軸に沿う2つの方向のうちのいずれか一方を第1正方向としたとき、
     前記断面視において、
      前記インダクタ配線の前記第1正方向の端を第1配線端とし、
      前記インダクタ配線に対して前記第2軸に沿う方向に積層された前記磁性薄帯のうち、前記第1配線端からの前記第2軸に沿う方向の距離が最も短い前記磁性薄帯を第1磁性薄帯とし、
      前記磁性薄帯における前記第1軸に沿う方向の両端を除く範囲を第1範囲としたとき、
      前記第1配線端を通り前記第2軸に沿う方向に延びる仮想直線を引いたときに、前記仮想直線は、前記第1磁性薄帯の前記第1範囲内を通る
     インダクタ部品。
  2.  前記断面視において、前記インダクタ配線に外接するとともに、前記第1軸に沿う第1辺及び前記第2軸に沿う第2辺を有する面積が最小の仮想長方形を描いたときに、前記第1辺は、前記第2辺よりも長い
     請求項1に記載のインダクタ部品。
  3.  「M」及び「N」を正の整数とし、且つ「M」及び「N」の少なくともいずれか一方を2以上としたとき、
     前記磁性薄帯は、前記第2軸に沿う同一の位置において、前記第2軸に直交する第3軸に沿う方向に「M」個並んでおり、前記第2軸及び前記第3軸に直交する第4軸に沿う方向に「N」個並んでいる
     請求項1又は請求項2に記載のインダクタ部品。
  4.  前記断面視において、前記仮想直線は、前記インダクタ配線に対して前記第2軸に沿う方向に連続して積層された複数の前記磁性薄帯のうち、前記第1磁性薄帯を含めて連続して積層された2つ以上の前記磁性薄帯の前記第1範囲内を通る
     請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  5.  前記断面視において、前記仮想直線は、前記第1磁性薄帯に対して前記第2軸に沿う方向に連続して積層されたすべての前記磁性薄帯の前記第1範囲内を通る
     請求項4に記載のインダクタ部品。
  6.  前記仮想直線を第1仮想直線とし、
     前記第1正方向とは反対方向を第1負方向としたとき、
     前記断面視において、
      前記第1磁性薄帯の前記第1正方向の端を第1端とし、
      前記第1磁性薄帯の前記第1負方向の端を第2端としたとき、
      前記第1磁性薄帯について、前記第1軸に沿う方向の前記第2端の位置を0及び前記第1端の位置を1としたときの0.18以上0.74以下の範囲を第2範囲としたとき、
      前記第1仮想直線は、前記第2範囲内を通る
     請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  7.  前記断面視において、
      前記第1磁性薄帯について、前記第1軸に沿う方向の0.34以上0.54以下の範囲を第3範囲としたとき、
      前記第1仮想直線は、前記第3範囲内を通る
     請求項6に記載のインダクタ部品。
  8.  前記仮想直線を第1仮想直線とし、
     前記第1正方向とは反対方向を第1負方向としたとき、
     前記断面視において、
      前記第1磁性薄帯の前記第1正方向の端を第1端とし、
      前記第1磁性薄帯の前記第1負方向の端を第2端としたとき、
      前記第2端を通過するとともに、前記第2軸に沿う方向に第2仮想直線を引いたときに、前記第2仮想直線は、前記インダクタ配線を通る
     請求項1~請求項7のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  9.  前記仮想直線を第1仮想直線とし、
     前記第1正方向とは反対方向を第1負方向としたとき、
     前記断面視において、
      前記インダクタ配線の前記第1負方向の端を第2配線端とし、
      前記インダクタ配線に対して前記第2軸に沿う方向に積層された前記磁性薄帯のうち、前記第2配線端からの前記第2軸に沿う方向の距離が最も短い前記磁性薄帯を第2磁性薄帯としたとき、
      前記第2配線端を通り前記第2軸に沿う方向に延びる第3仮想直線を引いたときに、前記第3仮想直線は、前記第2磁性薄帯の前記第1範囲内を通る
     請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  10.  前記磁性薄帯は、Fe及びSiを含んでいる
     請求項1~請求項9のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  11.  1つの前記磁性薄帯の前記第2軸に沿う方向の寸法は、複数の前記磁性薄帯の前記第2軸に沿う方向の寸法の平均値に対して、80%以上120%以下の寸法である
     請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
  12.  前記磁性薄帯を3つ以上備え、
     前記第2軸に沿う方向に隣り合う1組の前記磁性薄帯間の間隔は、前記第2軸に沿う方向に隣り合う複数組の前記磁性薄帯間の間隔の平均値に対して、80%以上120%以下の寸法である
     請求項1~請求項11のいずれか1項に記載のインダクタ部品。
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