WO2021200150A1 - 振動搬送装置及びそれを備える多列振動搬送システム - Google Patents

Abstract

リニア搬送面を有するトラフに横から力が作用した場合に、トラフが横方向に揺動するのを抑制する。　本発明の振動搬送装置は、振動によってリニア搬送面上の搬送対象物を搬送する振動搬送装置であり、リニア搬送面を有する第１質量体と、第１質量体と逆位相で振動する第２質量体と、第１質量体と第２質量体を接続する駆動弾性体と、第１質量体、第２質量体及び駆動弾性体を含む振動体に対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、振動体の高さ方向中央部より上方に配置される支持面を有する基台と、支持面に対して振動体を接続する防振弾性体とを備える。

Description

振動搬送装置及びそれを備える多列振動搬送システム

　本発明は、搬送対象物を所定方向に搬送可能な振動搬送装置及びそれを備える多列振動搬送システムに関するものである。

　従来より、ワーク等の搬送対象物を振動により搬送面に沿って所定の搬送先へ搬送可能な振動搬送装置が知られている。振動搬送装置として、横方向にして配設する加振体の上面に固定された慣性質量体と、加振体の下面に固定された加振体取付け部材と、傾斜立設する第１連結部材を介して加振体取付け部材と連結される搬送体とを有するものがある（例えば特許文献１参照）。この振動搬送装置では、加振体で惹起された変位振動により第１連結部材に撓み振動を惹起させ、この撓み振動が搬送体に伝達されることで、ワークが搬送面に沿って所定方向に搬送される。ここで、上記撓み振動は、水平方向及び垂直方向各々の振動成分を含むものである。また、この振動搬送装置では、第１連結部材の長手方向中間部に連結部材支持片を固定し、連結部材支持片と基台とを第２連結部材を介して連結される。このように、連結部材支持片を第１連結部材の長手方向中間部（振動振幅の節）となる部所に固定することで、基台から設置面へ伝達される振動が大幅に減少する。

　また、特許文献１に記載のように、基台から設置面へ伝達される振動をさらに減少させるには、第２連結部材として、ＡｌとＺｎをベースとするＡｌ系合金，ＮｉとＣｏをベースとするＮｉ系合金，ＦｅとＣｒをベースとするＦｅ系合金等の吸振材を用いることが考えられる。こうした特許文献１の構成では、基台から設置面に伝達される水平方向の振動を大幅に減少させる防振効果を奏する。

特開平１１－９１９２８号公報

　上述のように、こうした振動搬送装置における振動は、水平方向及び垂直方向各々の振動成分を有するため、防振効果をさらに高めるには水平成分の減少に加え、垂直成分も減少させることが望まれる。例えば、特許文献１においては、連結部材支持片を弾性体で構成しつつ、この連結部材支持片の厚みを薄くすることで、垂直成分を減少させることが考えられる。

　しかし、連結部材支持片の厚みを薄くすることで、基台と第２連結部材の接続点を中心とする回転方向において剛性が弱まる。通常、搬送対象物を搬送する搬送体は装置上端部において作業者が接触可能な状態にあるため、上記のように、連結部材支持片の厚さを薄くした状態で、例えば作業者が作業を行っている際に搬送体の側面部分を横から押してしまうと、搬送体は、基台と第２連結部材との接続点を回転軸として横方向に揺動する問題がある。

　このような問題は、特に、上述の振動搬送装置を幅方向に複数並列し、複数のリニア搬送面が略平行に配置される多列振動搬送システムにおいて顕著に生じる。ここで、特許文献１の慣性質量体と加振体取付け部材と搬送体と第１連結部材とで構成される振動体を複数並列する場合（多列振動搬送システム）を例に挙げる。この多列振動搬送システムでは、同時にすべての振動体を駆動する場合に限らず、一部の振動体のみを駆動するケースが存在する。一般的に、振動搬送装置で用いられる振動体は、大きな振幅を得るために、共振周波数またはその付近で振動させる。こうした振動搬送装置における振動は、上述のように、水平成分及び垂直成分を有しており、これらを共に減衰させないと、基台から設置面に伝達される防振効果は十分発揮できない。特に多列振動搬送システムにおいては、互いの共振周波数が一致することで、振動する振動体の振動成分が、停止中または停止が必要な他の振動体に伝わり、共振で増幅され、予期せぬ搬送を開始してしまう問題がある。

　本発明の目的は、垂直成分の防振効果を発揮し、かつ搬送対象物を搬送する搬送部材に横から力が作用した場合でも搬送部材が横方向に揺動するのを抑制可能な振動搬送装置及びそれを備える多列振動搬送システムを提供することにある。

　すなわち、本発明に係る振動搬送装置は、振動によってリニア搬送面上の搬送対象物を搬送する振動搬送装置であり、前記リニア搬送面を有する第１質量体と、前記第１質量体と逆位相で振動する第２質量体と、前記第１質量体と前記第２質量体を接続する駆動弾性体と、前記第１質量体、前記第２質量体及び前記駆動弾性体を含む振動体に対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、前記振動体の高さ方向中央部または前記振動体の重心位置より上方に配置される支持面を有する基台と、前記支持面に対して前記振動体を接続する防振弾性体とを備えることを特徴とする。

　これにより、本発明に係る振動搬送装置では、振動体を支持する支持面が振動体の高さ方向中央部または振動体の重心位置より上方に配置されるため、垂直成分の防振弾性体を柔らかくし減衰率を最大限に大きくした状態であっても、搬送対象物を搬送する搬送部材の側面部分に横から力が作用したとしても、力の作用点と、振動体と基台との固定点（回転軸）との距離が比較的小さくなる。これにより、搬送部材に横から作用するトルクが小さくなり、搬送部材が横方向に揺動するのが抑制される。そのため、複数の振動搬送装置を有する多列振動搬送システムにおいて、搬送部材が周辺部品と衝突するのを低減可能であるとともに、搬送部材を並列配置する場合に、搬送部材間の隙間寸法を低減可能である。

　本発明に係る振動搬送装置において、前記防振弾性体は、前記支持面に取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部と、前記第１アーム部に垂直に配置され且つ前記振動体に取り付けられる第２アーム部とを有することを特徴とする。

　これにより、本発明に係る振動搬送装置では、基台から設置面へ伝達される振動をさらに減少させるための、防振弾性体において、平行となる方向の弾性係数や、垂直となる方向の弾性係数とを独立して調整することができる。

　本発明に係る振動搬送装置において、前記防振弾性体は、前記支持面に取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部と、前記第１アーム部に垂直に配置され且つ前記振動体に取り付けられる第２アーム部と、前記第１アーム部と前記第２アーム部とを接続し且つ凸状に湾曲する湾曲部とを有することを特徴とする。

　これにより、本発明に係る振動搬送装置では、基台から設置面へ伝達される振動をさらに減少させるための、防振弾性体において、平行となる方向の弾性係数や、垂直となる方向の弾性係数とを独立して調整することができる。また、搬送部材の側面部分に横から力が作用した際に、搬送部材が横方向に揺動するのが効果的に抑制される。

　本発明に係る振動搬送装置において、前記振動体と前記防振弾性体との第１固定部は、前記支持面と前記防振弾性体との第２固定部より下方に配置されることを特徴とする。

　これにより、本発明に係る振動搬送装置では、振動体が基台に対して吊り下げられるように支持されるため、振動体が大型化した場合でも振動体の振動が安定する。

　本発明に係る多列振動搬送システムにおいて、上述した何れかの発明に記載の振動搬送装置を複数備え、前記複数のリニア搬送面が略平行に配置されることを特徴とする。

　これにより、本発明に係る多列振動搬送システムでは、振動搬送装置の搬送部材に横から力が作用した場合でも、搬送部材が横方向に揺動するのが抑制される。そのため、隣の搬送部材に衝突して部品が破損するのを防止することが可能になる。

　本発明によれば、搬送面を有する搬送部材に横から力が作用した場合でも、搬送部材が横方向に揺動するのを抑制可能になる。

本発明の第１実施形態に係る振動搬送装置を有する多列振動搬送システムの平面図である。 図１の振動搬送装置の側面図である。 図２において紙面手前側の連結板を外した図である。 図２の振動搬送装置のトラフとトラフ支持台との取り付け部を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る振動搬送装置の側面図である。 本発明の第３実施形態に係る振動搬送装置の側面図である。 本発明の第１実施形態に係る振動搬送装置の変形例を示す側面図である。 本発明の参考例に係る振動搬送装置の構成を示す斜視図である。 振動搬送装置の側面図である。 振動搬送装置の分解図である。 カバー部材を取り外した状態の振動搬送装置の斜視図である。 カバー部材を取り外した状態の振動搬送装置の側面図である。 立体的に折り曲げられる前のフレキシブル基板を示す図である。 立体的に折り曲げられたフレキシブル基板を示す図である。 第１亘り部分を示す図である。 第２亘り部分を示す図である。 第３亘り部分を示す図である。

　以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
　本実施形態に係る多列振動搬送システムは、図１に示すように、複数の振動搬送装置１を有している。複数の振動搬送装置１は、並列に配置され、複数のトラフ８（リニア搬送面８ｔ）が略平行に配置される。振動搬送装置１は、例えば電子部品等のワークを直線状のリニア搬送面８ｔ上において振動により移動させながら所定の搬送先に搬送するリニアフィーダである。

　なお、リニア搬送面８ｔの後方上面は、漏斗などによりワークが常にたまっている状態になっている（図示省略）。したがって、振動搬送装置１が搬送を開始すると、リニア搬送面８ｔの終端まで搬送して所定の搬送先に供給可能なものである。

　以下、１台の振動搬送装置１について説明するが、複数の振動搬送装置１は何れも略同一の構成である。図２は、振動搬送装置の側面図であり、図３では、図２の振動搬送装置から紙面手前側の連結板を外した図である。

　振動搬送装置１は、図２及び図３に示すように、床面上に固定される基台２と、基台２の上方に配設された可動部５と、可動部５の上方に配設された固定部６と、固定部６の上方でワークを搬送するリニア搬送面８ｔを有するトラフ８とを備える。

　基台２は、リニア搬送面８ｔに沿って延びる基台水平部２ａと、基台水平部２ａの搬送方向上流側端部及び搬送方向下流側端部にそれぞれ取り付けられた２つの基台鉛直部２ｂとを有している。基台水平部２ａは、水平方向に延びる部材であるのに対して、２つの基台鉛直部２ｂは、何れも鉛直方向に延びる部材である。

　２つの基台鉛直部２ｂは、その下端部において基台水平部２ａの搬送方向上流側端部及び搬送方向下流側端部に接続され、その上端部は、トラフ８の下面近くに配置される。２つの基台鉛直部２ｂは、その上端部に配置された平らな支持面２ｃをそれぞれ有している。支持面２ｃは、防振バネ５０を取り付ける部分であり、搬送方向上流側端部が搬送方向下流側端部より下方に配置されるように傾斜している。

　可動部５と固定部６とは、板バネを用いた一対の駆動バネ１０によって前後方向２箇所を連結されている。一対の駆動バネ１０は、下端において締結ボルト１０ａによって可動部５の前後方向端面に固定されるとともに、上端において締結ボルト１０ｂによって固定部６の前後方向端面に固定される。

　駆動バネ１０は、平板状のバネ（板バネ）である。駆動バネ１０には、加振源として機能する圧電素子１１を貼り付け、圧電素子１１に電荷を付与することにより駆動バネ１０が弾性変形して振動が生じ、可動部５及び固定部６が逆位相で振動する。

　本実施形態において、駆動バネ１０は、弾性変形していない通常姿勢が鉛直方向に対して傾斜した姿勢となるように取り付けられる。一対の駆動バネ１０は、互いに略平行となるように、可動部５及び固定部６に固定される。駆動バネ１０及び圧電素子１１からなるバネ定数は、搬送する部品の重量、大きさ及びトラフ８の重量等によって定められる任意の共振周波数の条件に応じて適宜選択される。

　また、固定部６の内部には、一対の駆動バネ１０を振動させる駆動部（図示省略）が設けられている。駆動部は、圧電素子１１等の駆動源を備え、可動部５と固定部６とを相対的に振動させることが可能となっている。

　トラフ８は、固定部６の上方に配置されるトラフ支持台１２と連結されている。トラフ支持台１２は、連結板１６によって可動部５と連結され、可動部５と同期して振動する。連結板１６は、締結ボルト１６ａによってトラフ支持台１２と連結されるとともに、連結ボルト１６ｂによって可動部５と連結される。

　トラフ８の前端側部分の下面には、図４に示すように、係止部３０（フック部）が形成される。係止部３０は、トラフ８の下面から下方に向かって突出する突出部３１と、突出部３１の先端から搬送方向上流側に向かって延びる先端突部３２とを有している。

　トラフ支持台１２の前端部には、トラフ８の係止部３０の先端突部３２を係止するための係止凹部１２ａが形成されている。そのため、係止部３０の先端突部３２をトラフ支持台１２の係止凹部１２ａに係止させることで、トラフ８の前端側部分がトラフ支持台１２の前端部に固定される。トラフ８の後端部は、係止部３０がトラフ支持台１２の前端部に係止された状態で、ボルト８ａによりトラフ支持台１２の後端部に固定される。

　トラフ８の下面の後端部には、下方に向かって突出する支持部３３が形成され、係止部３０より搬送方向上流側には、下方に向かって突出する支持部３４が形成される。トラフ８がトラフ支持台１２に取り付けられた状態では、支持部３３及び支持部３４の下面がトラフ支持台１２の上面に接触する。

　トラフ８の下面とトラフ支持台１２の上面との間には、硬質ゴム３５が配置される。硬質ゴム３５は、支持部３３と支持部３４との間の略中央部分に配置される。硬質ゴム３５は、トラフ８と略同一の幅を有する略矩形状の板状部材である。硬質ゴム３５の所定厚さは、支持部３３及び支持部３４の突出量と略同一である。

　トラフ８がトラフ支持台１２に取り付けられた状態では、支持部３３と硬質ゴム３５との間、及び、支持部３４と硬質ゴム３５との間には、隙間が形成される。そのため、トラフ８の下面は、トラフ支持台１２の上面に対して、支持部３３と硬質ゴム３５と支持部３４の３箇所で支持される。

　本実施形態において、可動部５と連結板１６とトラフ支持台１２とトラフ８が、本発明の第１質量体であり、固定部６が、本発明の第２質量体であり、駆動バネ１０が、本発明の駆動弾性体であり、防振バネ５０が、本発明の防振弾性体である。そのため、振動体Ｔは、可動部５と連結板１６とトラフ支持台１２とトラフ８と固定部６と駆動バネ１０を含んで構成される。

　振動体Ｔは、板バネである一対の防振バネ５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに対して支持される。防振バネ５０は、支持面２ｃに取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部５１と、第１アーム部５１に対して垂直に配置された第２アーム部５２とを有している。第１アーム部５１と第２アーム部５２とは、一体に形成されており、防振バネ５０は、平板Ｌ字状の弾性部材（Ｌ字型バネ）である。

　防振バネ５０は、その第１アーム部５１において締結ボルト５１ａによって支持面２ｃに固定されるとともに、その第２アーム部５２において締結ボルト５２ａによって駆動バネ１０に固定される。ここで、一対の防振バネ５０は、第１アーム部５１が平行に配置されるように支持面２ｃに取り付けられるとともに、第２アーム部５２が平行に配置されるように一対の駆動バネ１０に取り付けられる。

　また、防振バネ５０の第１アーム部５１は、駆動バネ１０に垂直に配置されるとともに、第２アーム部５２は、駆動バネ１０に平行に配置される。そのため、防振バネ５０の第１アーム部５１は、駆動バネ１０の弾性主軸に対して平行であり、第２アーム部５２は、駆動バネ１０の弾性主軸に対して垂直に配置される。なお、本実施形態において、駆動バネ１０の弾性主軸の方向は、駆動バネ１０の取付角度で規定され、「防振バネ５０の第１アーム部５１が駆動バネ１０の弾性主軸に対して平行に配置される」とは、防振バネ５０の第１アーム部５１が駆動バネ１０の弾性主軸に対して平行または略平行となる方向に沿って配置されることを意味し、「防振バネ５０の第２アーム部５２が駆動バネ１０の弾性主軸に対して垂直に配置される」とは、防振バネ５０の第２アーム部５２が駆動バネ１０の弾性主軸に対して直交または略直交する方向（弾性主軸に対する法線方向）に沿って配置されることを意味する。

　本実施形態では、一対の駆動バネ１０のそれぞれに、水平方向及び鉛直方向に変位しない節の部分に突部５３を設け、突部５３に防振バネ５０の第２アーム部５２の先端部分を固定している。なお、駆動バネ１０は、両端（上端、下端）を固定部６と可動部５にそれぞれ固定したもの（両端固定持ち）であるため、節は、駆動バネ１０の長手方向中央部分である。

　駆動バネ１０の節は、点として捉えることができるものであるが、駆動バネ１０において突部５３を設けた領域は、駆動バネ１０の節を含む所定領域（節及び節の近傍領域）である。突部５３には、雌ネジ孔（図示省略）が設けられている。

　防振バネ５０の第２アーム部５２には、突部５３の雌ネジ孔に連通するボルト挿通孔（図示省略）を形成し、そのボルト挿通孔に挿通したボルト５２ａを突部５３の雌ネジ孔に螺合することで、防振バネ５０の第２アーム部５２は、駆動バネ１０の突部５３に固定される。

　２つの基台鉛直部２ｂの上端部に配置された支持面２ｃは、振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置される。そのため、トラフ８の側面部分に横から力が作用した場合、図２において２つの支持面２ｃを通過する直線を回転軸として揺動しようとするが、支持面２ｃが振動体Ｔの高さ方向中央部より下方に配置される場合と比べて、力の作用点と回転軸との距離は小さくなり、トラフ８に横から作用するトルクは小さくなる。本実施形態において、振動体Ｔの高さとは、トラフ８の上端部と可動部５の下端部との間の上下方向に沿った距離である。

　振動体Ｔが一対の防振バネ５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに支持された状態では、防振バネ５０の第２アーム部５２は、第１アーム部５１の端部から下方に向かって延びる。振動体Ｔと第２アーム部５２との第１固定部Ａ１は、支持面２ｃと第１アーム部５１との第２固定部Ａ２より下方に配置される。

　そのため、２つの支持面２ｃは、振動体Ｔに対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側にそれぞれ配置されており、振動体Ｔは、２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに対して一対の防振バネ５０によって吊り下げられるように支持される。なお、振動体Ｔのトラフ８より下方の側面部分に横から力が作用しないようにするために、基台２の側面にカバー部材を取り付けて、カバー部材により振動体Ｔのトラフ８より下方の側面部分を覆うようにしてもよい。

　振動搬送装置１の主たる作用について説明する。振動搬送装置１を床面に固定した状態で、略水平に設定されたトラフ８の上面にワークを載置する。この状態で、駆動バネ１０を起振させることで、可動部５と固定部６とは振動することとなる。ここで、可動部５と固定部６とは、互いを連結する駆動バネ１０が搬送方向に傾斜しているため、傾斜角に応じて、搬送方向の成分とともに搬送方向と垂直な垂直方向成分を有して振動することとなる。そして、この振動が連結板１６を介してトラフ８へ伝達され、トラフ８からワークに伝達されることで、ワークは、トラフ８の上面を搬送されることとなる。

　この際、固定部６の重心位置は、固定部６の略中央付近に存在する。また、可動部５の重心と、可動部５と一体となって振動する連結板１６の重心及びトラフ８の重心とを合成した重心位置は、可動部５とトラフ８とが固定部６を跨るようにして一体となっていることで、固定部６の重心位置近傍となる。このため、両者の振動は打ち消されることとなり、防振バネ１０による作用と相まって基台２及び床面に伝達される振動を効果的に減衰させることができる。

　本実施形態の多列振動搬送システムでは、複数の振動搬送装置１のトラフ８が並列配置されるため、トラフ８の幅は非常に小さく、トラフ８の前端側部分と後端部との間の複数箇所を上方からボルトによりトラフ支持台１２に固定するのは困難である。そこで、トラフ８の前端側部分を係止部３０によりトラフ支持台１２に固定している。

　例えば、トラフ８の前端側部分をトラフ支持台１２の前端の下方からボルトにより固定すると、トラフ８にネジ部を形成する必要があるため、トラフ８の厚さが大きくなり、トラフ８の重量が増加して搬送能力が低下する問題がある。これに対して、本実施形態では、トラフ８の前端側部分が係止部３０によりトラフ支持台１２に固定されるため、トラフ８にネジ部を形成する必要がない。

　また、トラフ８を前端側部分と後端部との２箇所でトラフ支持台１２に固定すると、固定箇所間の距離が長くなり、トラフ８の固定箇所間の部分がトラフ支持台１２に支持されなくなるため、固定箇所間のトラフ８の共振周波数が低下して、振動分布が不均等になる問題がある。これに対して、本実施形態では、トラフ８を前端側部分と後端部とでトラフ支持台１２に固定するとともに、トラフ８の前端側部分と後端部との間の部分は、硬質ゴム３５によりトラフ支持台１２に固定される。そのため、搬送能力が低下する問題や、振動分布が不均等になる問題がない。なお、本実施形態では、１つの硬質ゴム３５をトラフ８の前端側部分と後端部との間に配置すると、トラフ８の下面はトラフ支持台１２に３箇所で支持されるが、２つの硬質ゴム３５をトラフ８の前端側部分と後端部との間に配置すると、トラフ８の下面はトラフ支持台１２に４箇所で支持される。いずれの場合も、振動分布が不均等になる問題がない。

　以上のように、本実施形態の振動搬送装置１は、振動によってリニア搬送面８ｔ上の搬送対象物を搬送する振動搬送装置であり、リニア搬送面８ｔを有する第１質量体（可動部５と連結板１６とトラフ支持台１２とトラフ８）と、第１質量体と逆位相で振動する第２質量体（固定部６）と、第１質量体と第２質量体を接続する駆動弾性体（一対の駆動バネ１０）と、第１質量体、第２質量体及び駆動弾性体を含む振動体Ｔに対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置される支持面２ｃを有する基台２と、支持面２ｃに対して振動体Ｔを接続する防振弾性体（一対の防振バネ５０）とを備える。

　これにより、本実施形態の振動搬送装置１では、振動体Ｔを支持する支持面２ｃ（振動体Ｔと基台２との第２固定点Ａ２）が振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置されるため、垂直成分の防振バネ５０を柔らかくし減衰率を最大限に大きくした状態であっても、トラフ８の側面部分に横から力が作用したとしても、力の作用点と、振動体Ｔと基台２との固定点（回転軸）との距離が比較的小さくなる。これにより、トラフ８に横から作用するトルクが小さくなり、トラフ８が横方向に揺動するのが抑制される。そのため、複数の振動搬送装置１を有する多列振動搬送システムにおいて、トラフ８が周辺部品と衝突するのを低減可能であるとともに、トラフ８を並列配置する場合に、トラフ８間の隙間寸法を低減可能である。

　本実施形態の振動搬送装置１において、防振バネ５０は、支持面２ｃに取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部５１と、第１アーム部５１に垂直に配置され且つ振動体Ｔに取り付けられる第２アーム部５２とを有する。

　これにより、本実施形態の振動搬送装置１では、基台２から設置面へ伝達される振動をさらに減少させるための、防振バネ５０において、平行となる方向の弾性係数や、垂直となる方向の弾性係数とを独立して調整することができる。

　本実施形態の振動搬送装置１において、振動体Ｔと防振バネ５０との第１固定部Ａ１は、支持面２ｃと防振バネ５０との第２固定部Ａ２より下方に配置される。

　これにより、本実施形態の振動搬送装置１では、振動体Ｔが基台２の基台鉛直部２ｂに対して吊り下げられるように支持されるため、振動体Ｔが大型化した場合でも振動体Ｔの振動が安定する。

　本実施形態の多列振動搬送システムは、振動搬送装置１を複数備え、複数のリニア搬送面８ｔが略平行に配置される。

　これにより、本実施形態の多列振動搬送システムでは、振動搬送装置１のトラフ８に横から力が作用した場合でも、トラフ８が横方向に揺動するのが抑制されるため、隣のトラフ８に衝突して部品が破損するのを防止することが可能になる。

（第２実施形態）
　本実施形態の振動搬送装置１０１と第１実施形態の振動搬送装置１とが異なる点は、第１実施形態において、振動体Ｔと防振バネ５０の第２アーム部５２との第１固定部Ａ１が、支持面２ｃと防振バネ５０の第１アーム部５１との第２固定部Ａ２より下方に配置されるのに対して、本実施形態において、振動体Ｔと防振バネ１５０の第２アーム部１５２との第１固定部Ａ１が、支持面２ｃと防振バネ１５０の第１アーム部１５１との第２固定部Ａ２より上方に配置される点である。なお、本実施形態の振動搬送装置１０１において、第１実施形態の振動搬送装置１と同様の構成である点については、その説明を省略する。

　振動搬送装置１０１は、図５に示すように、床面上に固定される基台２と、基台２の上方に配設された可動部５と、可動部５の上方に配設された固定部６と、固定部６の上方でワークを搬送するリニア搬送面８ｔを有するトラフ８とを備える。

　本実施形態において、可動部５と連結板１６とトラフ支持台１２とトラフ８が、本発明の第１質量体であり、固定部６が、本発明の第２質量体であり、駆動バネ１０が、本発明の駆動弾性体であり、防振バネ１５０が、本発明の防振弾性体である。そのため、振動体Ｔは、可動部５と連結板１６とトラフ支持台１２とトラフ８と固定部６と駆動バネ１０を含んで構成される。

　振動体Ｔは、板バネである一対の防振バネ１５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに対して支持されている。防振バネ１５０は、第１アーム部１５１と、第１アーム部１５１に対して垂直に配置された第２アーム部１５２とを有している。第１アーム部１５１と第２アーム部１５２とは、一体に形成されており、防振バネ１５０は、平板Ｌ字状の弾性部材（Ｌ字型バネ）である。

　防振バネ１５０は、その第１アーム部１５１において締結ボルト５１ａによって支持面２ｃに固定されるとともに、その第２アーム部１５２において締結ボルト１０ｂによって固定部６に固定される。一対の防振バネ１５０は、第１アーム部１５１が平行に配置されるように支持面２ｃに取り付けられるとともに、第２アーム部１５２が平行に配置されるように固定部６に取り付けられる。

　振動体Ｔが一対の防振バネ１５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに支持された状態では、防振バネ１５０の第２アーム部１５２は、第１アーム部１５１の端部から上方に向かって延びる。そのため、振動体Ｔと防振バネ１５０の第２アーム部１５２との第１固定部Ａ１は、支持面２ｃと防振バネ１５０の第１アーム部１５１との第２固定部Ａ２より上方に配置される。

　２つの基台鉛直部２ｂの上端部に配置された支持面２ｃは、振動体Ｔに対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置される。

　以上のように、本実施形態の振動搬送装置１０１では、本実施形態の振動搬送装置１と同様の効果が得られる。

（第３実施形態）
　本実施形態の振動搬送装置２０１と第１実施形態の振動搬送装置１とが異なる点は、第１実施形態において、振動体Ｔは、第１質量体と第２質量体と駆動弾性体とを有しているのに対して、本実施形態において、振動体Ｔは、第１質量体と第２質量体と駆動弾性体とを有するとともに、第２質量体に駆動弾性体により接続される第３質量体を有している点である。なお、本実施形態の振動搬送装置２０１において、第１実施形態の振動搬送装置１と同様の構成である点については、その説明を省略する。

　振動搬送装置２０１は、図６に示すように、床面上に固定される基台２と、基台２の上方に配設されたメインブロック２１３ａ及びサブブロック２１３ｂと、その上方に配設されたメインブロック２１２ａ及びサブブロック２１２ｂと、その上方でワークを搬送するリニア搬送面８ｔを有するトラフ８とを備える。

　メインブロック２１２ａとサブブロック２１２ｂとは、一体的に固定され、メインブロック２１３ａとサブブロック２１３ｂとは、一体的に固定される。

　トラフ８と連結されたトラフ支持台１２とメインブロック２１２ａとは、板バネを用いた一対の駆動バネ１０によって前後方向２箇所を連結されている。一対の駆動バネ１０は、下端において締結ボルト１０ａによってメインブロック２１２ａの前後方向端面に固定されるとともに、上端において締結ボルト１０ｂによってトラフ支持台１２の前後方向端面に固定される。

　サブブロック２１２ｂとサブブロック２１３ｂとは、板バネを用いた一対の駆動バネ２１０によって前後方向２箇所を連結されている。一対の駆動バネ２１０は、下端において締結ボルト２１０ａによってサブブロック２１３ｂの前後方向端面に固定されるとともに、上端において締結ボルト２１０ｂによってサブブロック２１２ｂの前後方向端面に固定される。

　駆動バネ１０及び駆動バネ２１０は、平板状のバネ（板バネ）である。駆動バネ１０及び駆動バネ２１０には、加振源として機能する圧電素子（図示省略）を貼り付け、圧電素子に電荷を付与することにより駆動バネ１０及び駆動バネ２１０が弾性変形して振動が生じる。

　本実施形態において、トラフ８とトラフ支持台１２が、本発明の第１質量体であり、メインブロック２１２ａとサブブロック２１２ｂが、本発明の第２質量体であり、駆動バネ１０が、本発明の駆動弾性体であり、防振バネ５０が、本発明の防振弾性体である。

　本実施形態の振動搬送装置２０１は、本発明の第２質量体に、一対の駆動バネ２１０により接続されるメインブロック２１３ａ及びサブブロック２１３ｂ（第３質量体）を有している。そのため、振動体Ｔは、トラフ８とトラフ支持台１２とメインブロック２１２ａとサブブロック２１２ｂとメインブロック２１３ａとサブブロック２１３ｂと駆動バネ１０と駆動バネ２１０を含んで構成される。

　振動体Ｔは、第１実施形態と同様に、板バネである一対の防振バネ５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに対して支持される。

　２つの基台鉛直部２ｂの上端部に配置された支持面２ｃは、振動体Ｔに対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置される。

　振動体Ｔが一対の防振バネ５０によって２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに支持された状態では、振動体Ｔと防振バネ５０の第２アーム部５２との第１固定部Ａ１は、支持面２ｃと防振バネ５０の第１アーム部５１との第２固定部Ａ２より下方に配置される。

　そのため、２つの支持面２ｃは、振動体Ｔに対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側にそれぞれ配置されており、振動体Ｔは、２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃに対して一対の防振バネ５０によって吊り下げられるように支持される。

　以上のように、本実施形態の振動搬送装置２０１では、本実施形態の振動搬送装置１と同様の効果が得られる。

　本実施形態に係る振動搬送装置２０１は、駆動バネ１０と駆動バネ２１０のそれぞれの共振周波数を互いに異ならせ、駆動部（図示省略）によって駆動バネ１０を振動させる加振状態と、駆動バネ２１０を振動させる加振状態とに切換可能に構成している。

　本実施形態の振動搬送装置２０１において、駆動バネ１０の傾斜姿勢（向き、角度）と駆動バネ２１０の傾斜姿勢は異なる。特に、本実施形態では、駆動バネ１０の傾斜方向（駆動バネ１０の上端が向く方向）とは逆方向に駆動バネ２１０の傾斜方向を設定している。本実施形態に係る振動搬送装置２０１では、駆動バネ１０の振動角と駆動バネ２１０の振動角を相互に異ならせて、駆動バネ１０を振動させた場合におけるリニア搬送面上の搬送物の搬送方向と、駆動バネ２１０を振動させた場合におけるリニア搬送面上のワークの搬送方向が逆方向（前進方向と後退方向）になるように設定している。

　なお、具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。

　例えば、上記第１～第３実施形態では、防振バネ５０、１５０が平板Ｌ字状の弾性部材（Ｌ字型バネ）であるが、防振バネ５０、１５０の形状（長さ、面積、厚み等）は任意である。防振バネ５０、１５０は、第１アーム部５１、１５１と第２アーム部５２、１５２とが一体に形成されたものに限られない。

　例えば、第１アーム部５１、１５１と第２アーム部５２、１５２とが、それ以外の弾性部材を介して接続されたものでもよい。防振バネ５０、１５０は、駆動バネ１０の弾性主軸に対して平行に配置される第１アーム部５１、１５１と駆動バネ１０の弾性主軸に対して垂直に配置される第２アーム部５２、１５２とを有するものに限られない。防振バネ５０、１５０は、Ｌ字型バネ以外のバネ（例えばＩ字型のバネの基端同士を接続したバネやＴ字型バネ等）や、バネ以外の弾性体（ゴム等）でもよい。

　例えば、図７に示すように、防振バネ３５０は、支持面２ｃに取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部３５１と、第１アーム部３５１に垂直に配置され且つ振動体Ｔに取り付けられる第２アーム部３５２と、第１アーム部３５１と第２アーム部３５２とを接続し且つ凸状に湾曲する湾曲部３５３とを有してもよい。

　これにより、本変形例の振動搬送装置では、基台２から設置面へ伝達される振動をさらに減少させるための、防振バネ３５０において、平行となる方向の弾性係数や、垂直となる方向の弾性係数とを独立して調整することができる。また、トラフ８の側面部分に横から力が作用した際に、トラフ８が横方向に揺動するのが効果的に抑制される。

　上記第１～第３実施形態では、振動体の例を示したが、振動体の構成は、それに限られない。そのため、本発明の振動体は、第１質量体、第２質量体及び駆動弾性体を含むとともに、それ以外の部材を含んでいてもよい。

　上記第１～第３実施形態では、２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃが振動体Ｔの高さ方向中央部より上方に配置されるが、２つの基台鉛直部２ｂの支持面２ｃが振動体Ｔの重心位置より上方に配置されても、本発明の効果が得られる。

　上記第１～第３実施形態では、駆動バネ１０の加振源が圧電素子であるが、加振源は、圧電素子以外のものであってもよい。また、振動搬送装置により搬送される搬送対象物は、ＬＥＤ等の各種ＬＥＤや、ＬＥＤ以外の電子部品、あるいは食品など電子部品以外のものでもよい。

　上記第１実施形態において、１または２つの硬質ゴム３５をトラフ８の前端側部分と後端部との間に配置する代わりに、トラフ８の前端側部分と後端部との間においてトラフ８の下面から下方に向かって突出する１または２つの突出部を形成してもよい。トラフ８の前端側部分と後端部との間においてトラフ支持台１２の上面から上方に向かって突出する１または２つの突出部を形成してもよい。

　上記第１実施形態において、トラフ８の前端側部分を係止部３０によりトラフ支持台１２に固定する代わりに、トラフ８の後端部と同様に、ボルトによりトラフ支持台１２に固定してもよい。

　その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

　以下、本発明の参考例に係る発明について説明する。

　振動搬送装置として、さまざまな形態のものが知られている。例えば文献１（特開２０１６－１６００９９）に開示されている装置は、基台に対して弾性的に支持された質量体（可動体）を振動させることによって、搬送面上の搬送対象物が搬送されるように構成されている。また例えば文献２（特開２００７－１６８９３６）に開示されている装置は、弾性部材を介して接続された一対の質量体（可動部およびウェイト部）を有し、これらを逆位相で振動させることで、搬送面上の搬送対象物が搬送されるように構成されている。

　これらの振動搬送装置において、質量体を振動させるための加振部は、圧電素子や電磁石を含んで構成されており、制御を担うドライブ回路から該圧電素子や電磁石に所定の駆動電圧が印加されることで、質量体に所定の振動が励起され、所定の搬送態様が実現されるようになっている。

　上記のような振動搬送装置においては、当然のことながら、制御を担うドライブ回路と、圧電素子や電磁石とを電気的に接続するための配線構造を形成する必要があるが、制御を担うドライブ回路は、質量体や基台などといった構造体（装置の本体部分）とは別の位置に設けられることが多い。したがって、この配線構造は、一端において、構造体の内部に設けられている圧電素子や電磁石と接続され、質量体の表面に沿って敷設されたり、必要に応じて質量体に設けられた挿通孔に挿通されたりした上で、構造体の外部に引き出されて、他端において、ドライブ回路と接続されるようなものとなる。

　従来の振動搬送装置では、このような配線構造を、丸ケーブルを用いて形成していた。そして、この丸ケーブルの敷設作業を容易にするために、また、敷設された丸ケーブルに損傷や断線が生じないように保護するために、質量体の表面に配線用の溝を形成して、丸ケーブルをこの溝に沿って敷設するようにしていた。また、質量体の表面に沿って敷設された丸ケーブルが露出したままであると危険を伴うため、上からカバーが設けられることもあった。

　このような構成においては、質量体が加振された際に、丸ケーブルが溝やカバーと擦れてしまい、ひきつれを起こして、振動を弱めるダンパーのように作用してしまうという問題があった。これを回避するためには、配線用の溝の深さと幅を、敷設される丸ケーブルの外径に対して十分に大きなものとしておく必要がある。

　一方で、振動搬送装置において十分な振幅を確保して安定した搬送を実現するためには、質量体、特に、ウェイトとして機能する質量体の重量を十分に確保することが必要不可欠である。ところが、質量体の表面に形成される配線用の溝の深さや幅が大きくなるにつれて、この溝によって失われる質量体の重量（欠損質量）が大きくなり、質量体の重量を確保することが難しくなる。

　このように、丸ケーブルによって振動が弱められないようにするために、質量体の表面に形成する溝を大きくすると、質量体の重量が確保されず、結局、振幅の低下を招いてしまう。振動搬送装置の製造者はこのようなジレンマに常に悩まされていた。特に、近年は、振動搬送装置の高機能化などに伴い、設置される圧電素子などの個数が増加する傾向にある。すなわち、配線の本数が増加する傾向にある。したがって、このジレンマは一層深刻なものとなっていた。

　本参考例の発明は、振動搬送装置において、その搬送性能が損なわれにくい配線構造を実現することを目的としている。

　本参考例の発明は、上記の目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

　すなわち、本参考例の発明は、弾性的に支持された質量体を含んで構成される構造体と、前記質量体を振動させる加振部とを備え、前記加振部が前記質量体を振動させることで搬送対象物が搬送されるように構成されている振動搬送装置であって、前記構造体の内部に設けられている接続対象部品と、前記構造体の外部に設けられている被接続部品とを接続する接続配線の少なくとも一部が、フレキシブル基板を用いて形成されており、前記フレキシブル基板の少なくとも一部が前記質量体の表面に沿って配設されている、ことを特徴とする。

　この構成によると、接続配線によって振動が弱められないように、該質量体の表面に深い溝を設ける必要がない。したがって、該質量体の重量が損なわれることもない。すなわち、上記のジレンマが解消され、接続配線によって搬送性能が損なわれるという事態が回避される。

　好ましくは、前記振動搬送装置において、前記フレキシブル基板が、加振により相対移動する部材の間に亘って設けられる亘り部分、を備え、前記亘り部分に、前記部材間の相対移動を許容する弛みが設けられている、ことを特徴とする。

　この構成によると、加振によって部材間の相対移動が生じた際に、フレキシブル基板が振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　好ましくは、前記振動搬送装置において、前記構造体が、複数の前記質量体を備え、複数の前記質量体の間に前記亘り部分が設けられる、ことを特徴とする。

　この構成によると、加振によって複数の質量体が相対移動した際に、フレキシブル基板が振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　好ましくは、前記振動搬送装置において、前記質量体と接続対象部品の間に前記亘り部分が設けられる、ことを特徴とする。

　この構成によると、加振によって質量体と接続対象部品とが相対移動した際に、フレキシブル基板が振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　好ましくは、前記振動搬送装置において、前記構造体が、前記質量体に設けられた弾性体を備え、前記加振部が、前記弾性体に設けられた加振用の圧電素子と、これに駆動電圧を印加する加振制御部と、を備え、前記接続対象部品が前記加振用の圧電素子であり、前記被接続部品が前記加振制御部である、ことを特徴とする。

　この構成によると、搬送性能を損なうことなく、加振用の圧電素子を加振制御部と接続することができる。

　好ましくは、前記振動搬送装置において、前記構造体が、前記質量体に設けられた弾性体を備え、前記加振部が、前記弾性体に設けられた検出用の圧電素子と、これから検出電圧を取得する加振制御部と、を備え、前記接続対象部品が前記検出用の圧電素子であり、前記被接続部品が前記加振制御部である、ことを特徴とする。

　この構成によると、搬送性能を損なうことなく、検出用の圧電素子を加振制御部と接続することができる。

　本参考例の発明によると、振動搬送装置の搬送性能が損なわれにくい配線構造を実現することができる。

　以下、本参考例の発明を、図面を参照しつつ説明する。

　＜１．振動搬送装置の構成＞
　本参考例に係る振動搬送装置の構成を、図８～図１０を参照しながら説明する。図８は、本参考例に係る振動搬送装置１１００の構成を示す斜視図である。図９は、振動搬送装置１１００の側面図である。図１０は、振動搬送装置１１００の分解図である。

　振動搬送装置１１００は、搬送対象物（具体的には例えば、ＩＣチップ、微小なコイル、などといった各種のワーク）を、振動によって搬送する装置である。

　振動搬送装置１１００は、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃ、弾性体１００２ａ，１００２ｂ、基台１００３、カバー部材１００４、などを含んで構成される構造体Ｘと、圧電素子１００５ｐ，１００５ｑ、加振制御部１００６、接続配線１００７、などを含んで構成される加振部Ｙと、を備える。加振部Ｙが、構造体Ｘが有する質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを振動させることで、搬送対象物が搬送されるようになっている。

　図１０に示されるように、第１質量体１００１ａは、上ブロック部１０１１ａと下ブロック部１０１２ａを備える。上ブロック部１０１１ａは、長尺なブロック状の部材である。一方、下ブロック部１０１２ａは、上ブロック部１０１１ａより短いブロック状の部材であり、上面において上ブロック部１０１１ａの下面に固定されている。下ブロック部１０１２ａは、上ブロック部１０１１ａに対してボルト留めなどによって固定されてもよいし、上ブロック部１０１１ａと一体的に構成されてもよい。

　第１質量体１００１ａの上面（すなわち、上ブロック部１０１１ａの上面）は、直線状の搬送面（リニア搬送面）Ｌを形成し、振動搬送装置１１００は、このリニア搬送面Ｌが水平面となるように設置される。以下において、リニア搬送面Ｌの延在方向（長手方向）を、「前後方向」とよび、水平面内において前後方向と直交する方向（すなわち、リニア搬送面Ｌの幅方向（短尺方向））を、「左右方向」とよぶ。

　第２質量体１００１ｂは、前方に配置されるブロック状の部分（前ブロック部分）１０１１ｂと、後方に配置されるブロック状の部分（後ブロック部分）１０１２ｂが、各々の上端側において、前後に延在する長尺な連結部分１０１３ｂで連結されてなる、全体として門型状のメインブロックを備える。また、第２質量体１００１ｂは、連結部分１０１３ｂの下面にボルト留めにより固定されたサブブロック部１０１４ｂを備える。

　第３質量体１００１ｃは、前方に配置されるブロック状の部分（前ブロック部分）１０１１ｃと、後方に配置されるブロック状の部分（後ブロック部分）１０１２ｃが、各々の下端側において、前後に延在する長尺な連結部分１０１３ｃで連結されてなる、全体として逆門型状のメインブロックを備える。また、第３質量体１００１ｃは、連結部分１０１３ｃの上面にボルト留めにより固定されたサブブロック部１０１４ｃを備える。

　図９などに示されるように、第１質量体１００１ａは、前後に設けられて互いに平行に延在する一対の第１弾性体１００２ａ，１００２ａを介して第２質量体１００１ｂと接続されることにより、第２質量体１００１ｂに対して弾性的に支持される。また、第２質量体１００２ｂは、前後に設けられて互いに平行に延在する一対の第２弾性体１００２ｂ，１００２ｂを介して第３質量体１００１ｃと接続されることにより、第３質量体１００１ｃに対して弾性的に支持される。さらに、第３質量体１００２ｃは、前後に設けられて互いに平行に延在する一対の防振バネ１０３０，１０３０を介して基台１００３と接続されることにより、基台１００３に対して弾性的に支持される。ただし、第１弾性体１００２ａ、第２弾性体、および、防振ばね１０３０は、いずれも、平板状の弾性部材であり、板バネなどにより構成される。また、基台１００３は、前後に長尺なブロック状の部材であって、振動搬送装置１１００が設置される現場の床面などに配置される。

　第１弾性体１００２ａの接続態様をより具体的に説明する。図１０に示されるように、第１質量体１００１ａの下ブロック部１０１２ａの前後の各端面には、上ボルト孔Ｈ１００１ａが設けられている。また、第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１０１１ｂの前面の下端付近と、後ブロック部分１０１２ｂの後面の下端付近には、下ボルト孔Ｈ１００２ａが設けられている。そして、一方の第１弾性体１００２ａが、上端において、第１質量体１００１ａの下ブロック部１０１２ａの前面にボルト固定されるとともに、下端において、第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１０１１ｂの前面にボルト固定される。また、他方の第１弾性体１００２ａが、上端において、第１質量体１００１ａの下ブロック部１０１２ａの後面にボルト固定されるとともに、下端において、第２質量体１００１ｂの後ブロック部分１０１２ｂの後面にボルト固定される。これによって、第１質量体１００１ａが、一対の第１弾性体１００２ａ，１００２ａを介して第２質量体１００１ｂと接続される。

　第２弾性体１００２ｂの接続態様をより具体的に説明する。図１０に示されるように、第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１０１１ｂの後面の上端付近と、後ブロック部分１０１２ｂの前面の上端付近には、上ボルト孔Ｈ１００１ｂが設けられている。また、第３質量体１００１ｃの前ブロック部分１０１１ｃの後面の下端付近と、後ブロック部分１０１２ｃの前面の下端付近には、下ボルト孔Ｈ１００２ｂが設けられている。そして、一方の第２弾性体１００２ｂが、上端において、第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１０１１ｂの後面にボルト固定されるとともに、下端において、第３質量体１００１ｃの前ブロック部分１０１１ｃの後面にボルト固定される。また、他方の第２弾性体１００２ｂが、上端において、第２質量体１００１ｂの後ブロック部分１０１２ｂの前面にボルト固定されるとともに、下端において、第３質量体１００１ｃの後ブロック部分１０１２ｃの前面にボルト固定される。これによって、第２質量体１００１ｂが、一対の第２弾性体１００２ｂ，１００２ｂを介して第３質量体１００１ｃと接続される。

　防振バネ１０３０の接続態様をより具体的に説明する。図１０に示されるように、第３質量体１００１ｃの前ブロック部分１０１１ｃの前面と、後ブロック部分１０１２ｃの後面には、上ボルト孔Ｈ１３０１が設けられている。また、基台１００３の前後の端面には、下ボルト孔Ｈ１３０２が設けられている。そして、一方の防振バネ１０３０が、上端において、第３質量体１００１ｃの前面にボルト固定されるとともに、下端において、基台１００３の前面にボルト固定される。また、他方の防振バネ１０３０が、上端において、第３質量体１００１ｃの後面にボルト固定されるとともに、下端において、基台１００３の後面にボルト固定される。これによって、第３質量体１００１ｃが、一対の防振バネ１０３０，１０３０を介して基台１００３と接続される。

　このように、振動搬送装置１１００は、基台３上に防振バネ１０３０を介して設置された第３質量体１００１ｃの上に、第２弾性体１００２ｂを介して弾性的に支持された第２質量体１００１ｂが配置され、さらに、その上に、第１弾性体１００２ａを介して弾性的に支持された第１質量体１００１ａが配置されている。これを建物に例えると、基礎部分をなす第３質量体１００１ｃの上に、１階部分をなす第２質量体１００１ａが配置され、さらにその上に、２階部分をなす第１質量体１００１ａが配置された、２階建て構造ということになる。

　ただし、第１弾性体１００２ａと第２弾性体１００２ｂは、互いに逆の傾斜姿勢とされている。すなわち、図９に示されるように、第１質量体１００１ａと第２質量体１００１ｂの間に設けられる第１弾性体１００２ａは、下方に行くにつれて前方に向かうような傾斜姿勢とされており、第２質量体１００１ｂと第３質量体１００１ｃの間に設けられる第２弾性体１００２ｂは、下方に行くにつれて後方に向かうような傾斜姿勢とされている。

　また、第１弾性体１００２ａと第２弾性体１００２ｂは、互いに異なる共振周波数を有するものとなるように設定されている。一例として、第１弾性体１００２ａの共振周波数は５００Ｈｚに設定され、第２弾性体１００２ｂの共振周波数は２００Ｈｚに設定されている。

　第１弾性体１００２ａおよび第２弾性体１００２ｂは、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを振動させるための加振バネとしての役割を担っており、各弾性体１００２ａ，１００２ｂには、これを弾性変形させて振動させるための圧電素子（加振用圧電素子）１００５ｐが設けられる。また、各弾性体１００２ａ，１００２ｂには、その弾性変形の度合いを検出するための圧電素子（検出用圧電素子）１００５ｑが設けられる。加振用圧電素子１００５ｐは、２個の第１弾性体１００２ａ，１００２ａおよび２個の第２弾性体１００２ｂ，１００２ｂの全ての両面に設けられる。つまり、加振用圧電素子１００５ｐは、計８個設けられる。一方、検出用圧電素子１００５ｑは、後方に設けられた第１弾性体１００２ａと、前方に設けられた第２弾性体１００２ｂの片面に設けられる。つまり、検出用圧電素子１００５ｑは、計２個設けられる。

　図１７に示されるように、各加振用圧電素子１００５ｐおよび各検出用圧電素子１００５ｑには、配線部品１０５０が取り付けられる。配線部品１０５０は、弾性体１００２ａ，１００２ｂとその両面に設けられている２枚の加振用圧電素子１００５ｐ（あるいは、その片面に設けられている１枚の検出用圧電素子１００５ｑ）とを一体的に巻回する部分と、この部分から延出するＵ字状に屈曲した部分とを有している。配線部品１０５０における該Ｕ字状に屈曲した部分には、圧電素子１００５ｐ，１００５ｑから延びるリード線などが敷設されており、ここに接続配線１００７の一端が接続される。この接続配線１００７の他端が、加振制御部１００６と接続されることによって、各圧電素子１００５ｐ，１００５ｑが加振制御部１００６とが電気的に接続される。

　加振制御部１００６は、リニア搬送面Ｌ上の搬送対象物が所定の搬送態様で搬送されるように質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを振動させるための加振制御を行う機能部であり、ドライブ回路などによって実現される。

　＜２．振動搬送装置の動作＞
　次に、振動搬送装置１１００で実現される搬送態様について、引き続き図８～図１０を参照しながら説明する。

　振動搬送装置１１００では、リニア搬送面Ｌ上のワークが前方に搬送される搬送態様（送り搬送）と、ワークが後方に搬送される搬送態様（戻り搬送）とを切り換えて行うことができる。

　送り搬送を行う場合、加振制御部１００６は、各第１弾性体１００２ａに設けられている各加振用圧電素子１００５ｐに駆動電圧を印加して、各第１弾性体１００２ａをその共振周波数で振動させる。すると、第１質量体１００１ａと第２質量体１００１ｂとが互いに逆位相で振動する。ただし、第１弾性体１００２ａは、下方に行くにつれて前方に向かうような傾斜姿勢とされているため、このとき、リニア搬送面Ｌは、前上方に向かう斜め方向とその逆方向に振動する。これによって、リニア搬送面Ｌ上のワークが前方に搬送される。

　一方、戻り搬送を行う場合、加振制御部１００６は、各第２弾性体１００２ｂに設けられている各加振用圧電素子１００５ｐに駆動電圧を印加して、各第２弾性体１００２ｂをその共振周波数で振動させる。すると、第２質量体１００１ｂと第３質量体１００１ｃとが互いに逆位相で振動する。ただし、第２弾性体１００２ｂは、下方に行くにつれて後方に向かうような傾斜姿勢とされているため、このとき、リニア搬送面Ｌは、後上方に向かう斜め方向とその逆方向に振動する。これによって、リニア搬送面Ｌ上のワークが後方に搬送される。

　このように、振動搬送装置１１００では、加振制御部１００６が、駆動電圧を印加する加振用圧電素子１００５ｐを切り換えることによって、第１弾性体１００２ａが振動する状態と第２弾性体１００２ｂが振動する状態とを切り換える。これによって、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃの振動の態様が切り換えられ、送り搬送と戻り搬送とが切り換えられるようになっている。

　また、加振制御部１００６は、接続配線１００７を通じて加振用圧電素子１００５ｐに駆動電圧を印加する一方で、接続配線１００７を通じて検出用圧電素子１００５ｑから検出電圧を取得する。すなわち、検出用圧電素子１００５ｑは、各弾性体１００２ａ，１００２ｂの変形に応じて発生する電圧を検出電圧として出力し、これを加振制御部１００６が取得する。加振制御部１００６は、取得した検出電圧に基づいて、加振用圧電素子１００５ｐに印加する駆動電圧の補正などを行う。

　上記の通り、第１弾性体１００２ａと第２弾性体１００２ｂの各共振周波数は、互いに異なる値に設定されている。したがって、第１弾性体１００２ａと第２弾性体１００２ｂのうちの一方が共振周波数で振動して所定方向への搬送がなされている状態において、他方の弾性体がその搬送の妨げとなることがない。

　すなわち、第１弾性体１００２ａがその共振周波数で振動している状態において、第２弾性体１００２ｂは第１弾性体１００２ａほど大きく弾性変形せず、ワークの前方への搬送を妨げない。第２弾性体１００２ｂが大きく弾性変形しないため、第２弾性体１００２ｂを介して接続されている第２質量体１００１ｂと第３質量体１００１ｃはあたかも１つの剛体のように振動する。このとき、第２質量体１００１ｂはウェイトとして機能し、第２弾性体１００２ｂは補助的な防振バネとして機能する。

　また、第２弾性体１００２ｂがその共振周波数で振動している状態において、第１弾性体１００２ａは、第２弾性体１００２ｂほど大きくは弾性変形せず、ワークの後方への搬送を妨げない。第１弾性体１００２ａが大きく弾性変形しないため、第１弾性体１００２ａを介して接続されている第１質量体１００１ａと第２質量体１００１ｂはあたかも１つの剛体のように振動する。このとき、第３質量体１００１ｃはウェイトとして機能し、第１質量体１００１ａおよび第２質量体１００１ｂがいわば一体となって、ワークを後方向へ搬送するように振動する。

　振動搬送装置１１００の具体的な適用例として、リニア搬送面Ｌの後端部分にボウルフィーダを接続する構成が想定できる。この場合、ボウルフィーダから供給されたワークを、送り搬送にて前方に搬送することができる。その一方で、例えば第１質量体１００１ａの下ブロック部１０１２ａをシュート台として機能させ、このシュート台に落とされたワークを、戻り搬送によってボウルフィーダに戻すことができる。

　従来の振動搬送装置では、送り搬送と戻り搬送を切り換えて行えるようにするために、例えば、リニア搬送面が設けられた質量体を含んで構成される構造体と、これを加振するための加振部とからなる装置ユニットを、２個並置していた。そして、一方の構造体側のリニア搬送面を一方の加振部で加振することで送り搬送を行い、他方の構造体側のリニア搬送面を他方の加振部で加振することで戻り搬送を行っていた。このような従来の振動搬送装置に対し、この参考例に係る振動搬送装置１１００は、構造体Ｘおよび加振部Ｙの個数は１つでありながら、送り搬送と戻り搬送の両方を実現できるように構成されている。したがって、従来の振動搬送装置と比べて、装置のサイズ（特に、幅サイズ）を約半分にすることができる。このため、スペースがない現場にも容易に導入することができる。また、複数の振動搬送装置１１００を多列配置して使用する場合、従来の振動搬送装置と比べて、２倍の台数の振動搬送装置１１００を配置することができるので、搬送効率を２倍にすることができる。

　＜３．接続配線＞
　次に、振動搬送装置１１００が備える接続配線１００７について、図１１、図１２を参照しながら説明する。図１１は、カバー部材１００４を取り外した状態の振動搬送装置１１００の斜視図である。図１２は、カバー部材１００４を取り外した状態の振動搬送装置１１００の側面図である。なお、以下において、加振用圧電素子１００５ｐと検出用圧電素子１００５ｑを区別しない場合は、単に「圧電素子１００５」という。

　接続配線１００７は、各圧電素子１００５を接続対象部品とし、加振制御部１００６を被接続部品として、両者１００５，１００６を接続する配線である。上記の通り、振動搬送装置１１００においては、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃ、弾性体１００２ａ，１００２ｂ、基台１００３、カバー部材１００４、などを含んで構造体Ｘが構成されているところ、加振制御部１００６は、この構造体Ｘの外部に設けられている。一方、各圧電素子１００５は、上記の通り、弾性体１００２ａ，１００２ｂに取り付けられている。すなわち、構造体Ｘの内部に設けられている。つまり、接続配線１００７は、一端において、構造体Ｘの内部に設けられている圧電素子１００５と接続され、構造体Ｘの外部に引き出されて、他端において、加振制御部１００６と接続される。

　接続配線１００７は、その一部が、フレキシブル基板Ｆを用いて構成されている。すなわち、加振制御部１００６から延びるケーブルの端子１０６０は、基台１００３に形成されている挿通部１０３１を介して基台１００３の上面側にまで引き出されており（図１０）、接続配線１００７における、この端子１０６０と各圧電素子１００５とを接続する部分が、フレキシブル基板Ｆを用いて構成されている。

　接続配線１００７の一部を構成するフレキシブル基板Ｆについて、図１１、図１２に加え、図１３、図１４を参照しながら説明する。図１３は、立体的に折り曲げられる前のフレキシブル基板Ｆを示す図である。図１４は、立体的に折り曲げられたフレキシブル基板Ｆを示す図である。

　フレキシブル基板Ｆとは、いわゆるリジッド基板とは異なり、柔軟性を有する薄肉の基材（ベースフィルム）に、配線パターンを形成したものであり、フレキシブルプリント配線板、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）、などとも呼ばれる。ここでは、ポリイミドなどの絶縁材料により形成されるベースフィルムの両面に、銅箔などを用いて配線パターンが形成されたフレキシブル基板Ｆによって接続配線１００７の一部を構成した。配線（ケーブル）を形成するフレキシブル基板はフレキケーブルとも呼ばれる。

　フレキシブル基板Ｆは、一対の基端部Ｆ１から、６個の先端部Ｆ２に向けて枝分かれした形状となっている。各端部Ｆ１，Ｆ２には端子部分１０７０が設けられており、基材の表裏面には、基端部Ｆ１側の端子部分１０７０を、先端部Ｆ２側の端子部分１０７０と接続するような配線パターンが形成される。

　フレキシブル基板Ｆは、屈曲性を有しており、図１３に示される平面状の形態から、所定の位置で折り曲げられるとともに、所定の位置で屈曲されることによって、構造体Ｘの形状に応じた立体形状とされて（図１４）、構造体Ｘに取り付けられる（図１１、図１２）。このとき、各基端部Ｆ１に設けられた端子部分１０７０が加振制御部１００６の端子１０６０と接続され、各先端部Ｆ２に設けられた端子部分１０７０が圧電素子１００５と接続される。フレキシブル基板Ｆが取り付けられた後、フレキシブル基板Ｆを覆うようにして、カバー部材１００４が配設される（図１１）。

　構造体Ｘに取り付けられた状態において、フレキシブル基板Ｆの一部分１７１１，１７１２，１７１３は、質量体１００１ｂ，１００１ｃの側面に沿って配設される（このような部分を以下「沿設部分」ともいう）。また、別の部分１７２１，１７２２，１７２３は、加振により相対移動する部材の間に亘って設けられる（このような部分を以下「亘り部分」ともいう）。以下、延設部分および亘り部分について説明する。

　（沿設部分）
　フレキシブル基板Ｆには、第３質量体１００１ｃの側面に沿って配設される延設部分（下側延設部分）１７１１と、第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１０１１ｂの側面に沿って配設される延設部分（前側延設部分）１７１２と、第２質量体１００１ｂの後ブロック部分１０１２ｂの側面に沿って配設される延設部分（後側延設部分）１７１３と、が設けられる。

　各延設部分１７１１，１７１２，１７１３は、質量体１００１ｃ，１００１ｂの側面の面内に収まるような形状とされており、該側面に沿って配設されて、該側面に対して両面テープなどを用いて固定される。

　（第１亘り部分）
　フレキシブル基板Ｆは、第２質量体１００１ｂと第３質量体１００１ｃの間に亘って配設される２個の亘り部分（第１亘り部分）１７２１を備える。一方の第１亘り部分１７２１は、フレキシブル基板Ｆにおける、下側延設部分１７１１と前側延設部分１７１２の間に設けられ（図１３、図１４）、構造体Ｘに取り付けられた状態において、第３質量体１００１ｃと第２質量体１００１ｂの前ブロック部分１１ｂの間に配置される（図１２）。また、他方の第１亘り部分１７２１は、フレキシブル基板Ｆにおける、下側延設部分１７１１と後側延設部分１７１３の間に設けられ（図１３、図１４）、構造体Ｘに取り付けられた状態において、第３質量体１００１ｃと第２質量体１００１ｂの後ブロック部分１０１２ｂの間に配置される（図１２）。

　第１亘り部分１７２１について、図１５を参照しながら説明する。図１５には、後方側に設けられる第１亘り部分１７２１が示されているが、前方側に設けられる第１亘り部分１７２１もこれと同じ構成を有している。

　第１亘り部分１７２１は、立体的に折り曲げられる前の状態において、直線状に延在する帯状の部分であり（図１３）、立体形状においては、延設部分１７１１，１７１３（１７１２）との境界１７３０が略９０°に折り曲げられるとともに、第１亘り部分１７２１の略中央部分がＵ字状に折り曲げられる（図１４）。そして、このようにＵ字状に折り曲げられた第１亘り部分１７２１が、一対の対向面Ｓ１，Ｓ２の間、すなわち、第２質量体１００１ｂの下面Ｓ１と第３質量体１００１ｃの上面Ｓ２の間に、挿入される（図１５）。

　したがって、第１亘り部分１７２１は、一端側から屈曲部に至る部分が第２質量体１００１ｂの下面Ｓ１に沿い、他端側から屈曲部に至る部分が第３質量体１００１ｃの上面Ｓ２に沿うようにして設けられる。ただし、第１亘り部分１７２１は、その両端部が、カバー部材１００４に設けられた突出片１０４１と各面Ｓ１，Ｓ２との間に挟まれることによって、各面Ｓ１，Ｓ２から浮き上がらないようになっているが、これらを除く部分において、各面Ｓ１，Ｓ２に対して固定されておらず、各面Ｓ１，Ｓ２から離間できるように設けられる。

　このように、第１亘り部分１７２１は、両質量体１００１ｂ，１００１ｃの間に直線的に設けられるのではなく、弛み（すなわち、遊び）をもって設けられる。したがって、加振によって両質量体１００１ｂ，１００１ｃが相対移動したときに、この弛みで両質量体１００１ｂ，１００１ｃの変位が吸収され、両質量体１００１ｂ，１００１ｃの相対移動が許容される。すなわち、フレキシブル基板Ｆによって両質量体１００１ｂ，１００１ｃの相対移動が妨げられることがなく、この亘り部分でフレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　特に、加振の際に両質量体１００１ｂ，１００１ｃが相対移動する方向は、基本的に、前後方向および上下方向の成分のみを含むようなものであるところ、第１亘り部分１７２１は、これらの各方向に柔軟に変形することができるようになっており、これによって、両質量体１００１ｂ，１００１ｃがこれらの各方向に相対移動することを十分に許容できる。すなわち、第１亘り部分１７２１は、Ｕ字状に折り曲げられて、前後に沿うように配置され、両端部が上下に重なるように配置される。したがって、第１亘り部分１７２１は、屈曲部の位置が変わるように変形することで、両質量体１００１ｂ，１００１ｃの前後方向の相対移動に広く追従することが可能であり、屈曲角度が変わるように変形することで、両質量体１００１ｂ，１００１ｃの上下方向の相対移動にも広く追従することが可能である。

　（第２亘り部分）
　フレキシブル基板Ｆは、第３質量体１００１ｃと加振制御部１００６の端子１０６０の間に亘って配設される、２個の亘り部分（第２亘り部分）１７２２，１７２２を備える。各第２亘り部分１７２２は、フレキシブル基板Ｆにおける、各基端部Ｆ１と下側延設部分１７１１との間に設けられ（図１３、図１４）、構造体Ｘに取り付けられた状態において、第３質量体１００１ｃと基台１００３の間に前後に配置される（図１２）。

　第２亘り部分１７２２について、図１６を参照しながら説明する。図１６には、後方の第２亘り部分１７２２が示されているが、前方の第２亘り部分１７２２もこれと同じ構成を有している。

　第２亘り部分１７２２は、立体的に折り曲げられる前の状態において、直線状に延在する帯状の部分であり（図１３）、立体形状においては、下側延設部分１７１１との境界１７３０が略９０°に折り曲げられるとともに、第２亘り部分１７２２の略中央部分がＵ字状に折り曲げられる（図１４）。そして、このようにＵ字状に折り曲げられた第２亘り部分１７２２が、一対の対向面Ｓ１，Ｓ２の間、すなわち、第３質量体１００１ｃの下面Ｓ１と基台３の上面Ｓ２の間に、挿入される（図１６）。その後、基端部Ｆ１に設けられている端子部分１０７０が、基台１００３の上面に引き出されている加振制御部１００６の端子１０６０と接続される。

　したがって、第２亘り部分１７２２は、一端側から屈曲部に至る部分が第３質量体１００１ｃの下面Ｓ１に沿い、他端側から屈曲部に至る部分が基台１００３の上面Ｓ２に沿うようにして設けられる。ただし、第２亘り部分１７２２は、端子１０６０と接続される側の端部において基台１００３の上面Ｓ２に固定されるが、これを除く部分において、各面Ｓ１，Ｓ２に対して固定されておらず、各面Ｓ１，Ｓ２から離間できるように設けられる。

　このように、第２亘り部分１７２２は、第３質量体１００１ｃと基台１００３の間に直線的に設けられるのではなく、弛みをもって設けられる。したがって、加振によって第３質量体１００１ｃが基台１００３に対して相対移動したときに、この弛みで基台１００３に対する第３質量体１００１ｃの変位が吸収され、第３質量体１００１ｃの相対移動が許容される。すなわち、フレキシブル基板Ｆによって第３質量体１００１ｃの相対移動が妨げられることがなく、この亘り部分でフレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　特に、加振の際に第３質量体１００１ｃが基台１００３に対して相対移動する方向は、基本的に、前後方向および上下方向の成分のみを含むようなものであるところ、第２亘り部分１７２２は、第１亘り部分１７２１と同様、Ｕ字状に折り曲げられて、前後に沿うように配置され、両端部が上下に重なるように配置されるので、これらの各方向に柔軟に変形することができる。したがって、第２亘り部分１７２２は、第３質量体１００１ｃが基台１００３に対してこれらの各方向に相対移動することを十分に許容できる。

　（第３亘り部分）
　フレキシブル基板Ｆは、第２質量体１００１ｂあるいは第３質量体１００１ｃと各圧電素子１００５の間に亘って配設される、６個の亘り部分（第３亘り部分）１７２３を備える。各第３亘り部分１７２３は、フレキシブル基板Ｆにおける、各先端部Ｆ２と各延設部分１７１１，１７１２，１７１３との間に設けられ（図１３、図１４）、構造体Ｘに取り付けられた状態において、質量体１００１ｂ，１００１ｃと各圧電素子１００５の間に配置される（図１２）。

　第３亘り部分１７２３について、図１７を参照しながら説明する。図１７には、第３質量体１００１ｃの前ブロック部分１０１１ｃと、前方の第２弾性体１００２ｂに設けられている圧電素子１００５（加振用圧電素子１００５ｐ）の間に配置される第３亘り部分１７２３が示されているが、他の第３亘り部分１７２３もこれとほぼ同じ構成を有している。

　第３亘り部分１７２３は、展開状態において、直線状に延在する帯状の部分であり（図１３）、立体形状においては、各延設部分１７１１，１７１２，１７１３との境界１７３０が略９０°に折り曲げられるとともに、第３亘り部分１７２３の略中央部分がＵ字状に折り曲げられる（図１４）。そして、このようにＵ字状に折り曲げられた第３亘り部分１７２３が、一対の対向面Ｓ１，Ｓ２の間、すなわち、図１７に示される第３亘り部分１７２３の場合は、第３質量体１００１ｃの前ブロック部分１０１１ｃの後面Ｓ１と、圧電素子１００５に設けられている配線部品１０５０の前面Ｓ２の間に、挿入される（図１７）。その後、先端部Ｆ２に設けられている端子部分１０７０が、配線部分１０５０（ひいては、圧電素子１００５）と接続される。

　したがって、第３亘り部分１７２３は、一端側から屈曲部に至る部分が第３質量体１００１ｃの後面Ｓ１に沿い、他端側から屈曲部に至る部分が配線部品１０５０の前面Ｓ２に沿うようにして設けられる。ただし、第３亘り部分１７２３は、配線部品１０５０と接続される側の端部において配線部品１０５０の前面Ｓ２に固定されるが、これを除く部分において、各面Ｓ１，Ｓ２に対して固定されておらず、各面Ｓ１，Ｓ２から離間できるように設けられる。

　このように、第３亘り部分１７２３は、第２質量体１００１ｂあるいは第３質量体１００１ｃと圧電素子１００５との間に直線的に設けられるのではなく、弛みをもって設けられる。したがって、加振によって弾性体１００２ａ，１００２ｂが変形して、圧電素子１００５が質量体１００１ｂ，１００１ｃに対して相対移動したときに、この弛みで質量体１００１ｂ，１００１ｃに対する圧電素子１００５の変位が吸収され、圧電素子１００５の相対移動が許容される。すなわち、フレキシブル基板Ｆによって弾性体１００２ａ，１００２ｂの変形が妨げられることがなく、この亘り部分でフレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　特に、加振の際に圧電素子１００５が質量体１００１ｂ，１００１ｃに対して相対移動する方向は、基本的に、前後方向および上下方向の成分のみを含むようなものであるところ、第２亘り部分１７２２は、これらの各方向に柔軟に変形することができるようになっており、これによって、圧電素子１００５が質量体１００１ｂ，１００１ｃに対してこれらの各方向に相対移動することを十分に許容できる。すなわち、第３亘り部分１７２３は、Ｕ字状に折り曲げられて、略上下に沿うように配置され、両端部が略左右に重なるように配置される。したがって、第３亘り部分１７２３は、屈曲部の位置が変わるように変形することで、圧電素子１００５の上下方向の相対移動に広く追従することが可能であり、屈曲角度が変わるように変形することで、圧電素子１００５の左右方向の相対移動にも広く追従することが可能である。

　＜４．効果＞
　上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、弾性的に支持された質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを含んで構成される構造体Ｘと、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを振動させる加振部Ｙとを備え、加振部Ｙが質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃを振動させることで搬送対象物が搬送されるように構成されている。ここにおいて、構造体Ｘの内部に設けられている接続対象部品である圧電素子１００５と、構造体Ｘの外部に設けられている被接続部品である加振制御部１１００６とを接続する接続配線１００７の少なくとも一部が、フレキシブル基板Ｆを用いて形成されており、フレキシブル基板Ｆの少なくとも一部１７１１，１７１２，１７１３が質量体１００１ｂ，１００１ｃの表面に沿って配設されている。この構成によると、接続配線１００７によって振動が弱められないように、該質量体１００１ｂ，１００１ｃの表面に深い溝を設ける必要がない。したがって、該質量体１００１ｂ，１００１ｃの重量が損なわれることもない。すなわち、接続配線１００７によって搬送性能が損なわれるという事態が回避される。

　特に、ここでは、接続配線１００７における、第２質量体１００１ｂおよび第３質量体１００１ｃの表面に沿って配設される各部分が、フレキシブル基板Ｆにより構成される。第２質量体１００１ｂは、送り搬送の際のウェイトとして機能し、第３質量体１００１ｃは、戻り搬送の際のウェイトとして機能するところ、これら両質量体１００１ｂ，１００１ｃの質量を十分に確保できることによって、送り搬送と戻り搬送の両方に係る搬送性能を十分に担保することができる。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、フレキシブル基板Ｆが、加振により相対移動する部材の間に亘って設けられる亘り部分１７２１，１７２２，１７２３を備え、亘り部分１７２１，１７２２，１７２３に、部材間の相対移動を許容する弛みが設けられている。したがって、加振によって部材間の相対移動が生じた際に、フレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、構造体Ｘが複数の質量体１００１ｂ，１００１ｃを備え、複数の質量体１００１ｂ，１００１ｃの間に亘り部分（第１亘り部分）１７２１が設けられる。したがって、加振によって複数の質量体１００１ｂ，１００１ｃが相対移動した際に、フレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、質量体１００１ｂ，１００１ｃと接続対象部品である圧電素子１００５の間に亘り部分（第３亘り部分）１７２３が設けられる。したがって、加振によって質量体１００１ｂ，１００１ｃと圧電素子１００５とが相対移動した際に、フレキシブル基板Ｆが振動を弱めるダンパーのように作用することがない。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、構造体Ｘが、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃに設けられた弾性体１００２ａ，１００２ｂを備え、加振部Ｙが、弾性体１００２ａ，１００２ｂに設けられた加振用圧電素子１００５ｐと、これに駆動電圧を印加する加振制御部１００６と、を備える。そして、接続配線１００７における接続対象部品が加振用圧電素子１００５ｐであり、被接続部品が加振制御部１００６である。したがって、搬送性能を損なうことなく、加振用圧電素子１００５ｐを加振制御部１００６と接続することができる。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、構造体Ｘが、質量体１００１ａ，１００１ｂ，１００１ｃに設けられた弾性体１００２ａ，１００２ｂを備え、加振部Ｙが、弾性体１００２ａ，１００２ｂに設けられた検出用圧電素子１００５ｑと、これから検出電圧を取得する加振制御部１００６と、を備える。そして、接続配線１００７における接続対象部品が検出用圧電素子１００５ｑであり、被接続部品が加振制御部１００６である。したがって、搬送性能を損なうことなく、検出用圧電素子１００５ｑを加振制御部１００６と接続することができる。

　また、フレキシブル基板Ｆは、これを所定の位置で折り曲げるとともに所定の位置で屈曲させて立体形状として、構造体Ｘに取り付けるだけで、敷設作業が完了する。したがって、例えば丸ケーブルの敷設作業と比べて、敷設に係る作業負担が大幅に軽減される。

　また、上記の参考例では、接続配線１００７における質量体１００１ｂ，１００１ｃの表面に沿って配設される部分１７１１，１７１２，１７１３が、丸ケーブルなどと比べて格段に厚みが小さいフレキシブル基板Ｆにより構成されている。例えば、ベースフィルムを、耐電圧性に優れたポリイミドから形成すれば、ベースフィルムの厚さを２５μｍ程度にまで薄くすることができる。また例えば、配線パターンを銅箔で形成すれば、膜厚を１８μｍ程度の薄さにすることができる。例えばこの組み合わせでフレキシブル基板Ｆを形成すれば、その厚みを１２７μｍ程度のものとすることができる。接続配線１００７における質量体１００１ｂ，１００１ｃの表面に沿って配設される部分１７１１，１７１２，１７１３が、このように薄いフレキシブル基板Ｆを用いて形成されることで、接続配線１００７が敷設されることに伴う装置の幅寸法の増大幅を、丸ケーブルを用いる場合と比べて格段に小さく抑えることができる。

　特に、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、装置のサイズ（特に、幅サイズ）を増大させることなく、送り搬送と戻り搬送を切り換えて行えるように構成されており、これによって、スペースがない現場への導入、多列配置による高い搬送効率の実現、などを実現しているところ、フレキシブル基板Ｆを含んで構成される接続配線１００７を採用することで、幅サイズがコンパクトな薄型の振動搬送装置１１００のメリットを損なうことなく、これを最大限に活かすことができる。

　また、上記の参考例に係る振動搬送装置１１００は、装置のサイズを増大させることなく、送り搬送と戻り搬送を切り換えて行えるようにするために、構造体Ｘに、比較的多数個の弾性体１００２ａ，１００２ｂ、ひいては、比較的多数個の圧電素子１００５を設けている。すなわち、接続対象部品の点数が多い。しかしながら、接続配線１００７の少なくとも一部を、フレキシブル基板Ｆを用いて形成すれば、振動搬送装置１１００の搬送性能を損なうことなく、多数の接続対象部品を難なく接続することができる。

　＜５．変形例＞
　上記の参考例に係る振動搬送装置１１００において、質量体１００１ｃ，１００１ｂの表面に、ここに沿って配設される各延設部分１７１１，１７１２，１７１３の形状に応じた溝が形成されて、各延設部分１７１１，１７１２，１７１３が、対応する溝の内部に収容されるようにして各表面に沿って配設されるようにしてもよい。ただし、この場合、溝の深さは、フレキシブル基板Ｆの厚み相当であれば十分であり、数ミリメートル程度のごく浅いものでよい。このような溝を形成しておくことで、フレキシブル基板Ｆの敷設作業をさらに簡易化することができる。

　また、上記の参考例においては、接続対象部品である圧電素子１００５と、被接続部品である加振制御部１００６とを接続する接続配線１００７の一部分が、フレキシブル基板Ｆにより構成されるものとしたが、接続配線７の全体がフレキシブル基板Ｆにより構成されてもよい。

　また、上記の参考例においては、接続配線１００７における、加振制御部１００６から延びるケーブルの端子１０６０と各圧電素子１００５とを接続する部分が、１個のフレキシブル基板Ｆにより構成されるものとしたが、該部分が例えば、複数のフレキシブル基板を含んで構成されてもよい。例えば、各延設部分１７１１，１７１２，１７１３に相当する部分をそれぞれ別個のフレキシブル基板により構成し、各亘り部分１７２１，１７２２，１７２３に相当する部分を、弛みをもって設けられた丸ケーブルにより構成してもよい。

　上記の参考例に係る接続配線１００７は、各種の振動搬送装置に適用することができる。例えば、振動搬送装置の中には、基台などに対して弾性的に支持された質量体を、電磁石で振動させることによって、該質量体の上面に形成された搬送面上の搬送対象物が搬送されるように構成されたものがある。このような振動搬送装置に、上記の参考例に係る接続配線７を適用してもよい。この場合、例えば、電磁石と加振制御部を接続する接続配線の少なくとも一部をフレキシブル基板により構成し、該フレキシブル基板の少なくとも一部が、質量体の表面に沿って配設されたものとすることができる。

　また例えば、振動搬送装置の中には、弾性体を介して接続された２個の質量体（可動部およびウェイト部）と、一方の質量体と接続された搬送台とを有し、該弾性体に貼り付けられた圧電素子に駆動電圧を印加して両質量体を逆位相で振動させることによって、搬送台に形成されている搬送面上の搬送対象物が搬送されるように構成されたものがある。このような振動搬送装置に、上記の参考例に係る接続配線１００７を適用してもよい。この場合、例えば、圧電素子と加振制御部を接続する接続配線の少なくとも一部をフレキシブル基板により構成し、該フレキシブル基板の少なくとも一部が、一方、あるいは、両方の質量体の表面に沿って配設されたものとすることができる。

　上記の参考例においては、接続配線１００７における接続対象部品は圧電素子１００５であるとしたが、接続対象部品は圧電素子１００５に限られるものではなく、例えば上記の変形例のように、電磁石であってもよいし、各種のセンサ部品などであってもよい。

　上記の参考例においては、接続配線１００７における被接続部品は加振制御部１００６であるとしたが、被接続部品は、これに限られるものではない。

　また、フレキシブル基板Ｆの基材や配線の形成材料は、上記の参考例において例示したものに限定されない。

　また、振動搬送装置における搬送対象物は、ＩＣチップ、微小なコイル等のワークに限られるものではない。

　その他の構成も、本参考例の発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

　本発明は、搬送対象物を所定方向に搬送可能な振動搬送装置及びそれを備える多列振動搬送システムに適用することができる。

１　振動搬送装置
２　基台
２ｃ　支持面
５　可動部（第１質量体）
６　固定部（第２質量体）
８　トラフ（第１質量体）
８ｔ　リニア搬送面
１０　駆動バネ（駆動弾性体）
１２　トラフ支持台（第１質量体）
５０　防振バネ（防振弾性体）
５１　第１アーム部
５２　第２アーム部
２０１　振動搬送装置
２１０　駆動バネ
２１２ａ　メインブロック（第２質量体）
２１２ｂ　サブブロック（第２質量体）
２１３ａ　メインブロック
２１３ｂ　サブブロック
３５０　防振バネ（防振弾性体）
３５１　第１アーム部
３５２　第２アーム部
３５３　湾曲部
Ａ１　第１固定部
Ａ２　第２固定部
Ｔ　振動体
Ｘ　構造体
　１００１ａ　第１質量体
　１００１ｂ　第２質量体
　１００１ｃ　第３質量体
　１００２ａ　第１弾性体
　１００２ｂ　第２弾性体
　１００３　基台
　１００４　カバー部材
Ｙ　加振部
　１００５　圧電素子（接続対象部品）
　１００５ｐ　加振用圧電素子
　１００５ｑ　検出用圧電素子
　１００６　加振制御部（被接続部品）
　１００７　接続配線
　Ｆ　フレキシブル基板
　１７１１　下側延設部分
　１７１２　前側延設部分
　１７１３　後側延設部分
　１７２１　第１亘り部分
　１７２２　第２亘り部分
　１７２３　第３亘り部分
　１１００　振動搬送装置

Claims (5)

1. 　振動によってリニア搬送面上の搬送対象物を搬送する振動搬送装置であり、
   　前記リニア搬送面を有する第１質量体と、
   　前記第１質量体と逆位相で振動する第２質量体と、
   　前記第１質量体と前記第２質量体を接続する駆動弾性体と、
   　前記第１質量体、前記第２質量体及び前記駆動弾性体を含む振動体に対して搬送方向上流側及び搬送方向下流側において、前記振動体の高さ方向中央部または前記振動体の重心位置より上方に配置される支持面を有する基台と、
   　前記支持面に対して前記振動体を接続する防振弾性体とを備えることを特徴とする振動搬送装置。
2. 　前記防振弾性体は、
   　前記支持面に取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部と、
   　前記第１アーム部に垂直に配置され且つ前記振動体に取り付けられる第２アーム部とを有することを特徴とする請求項１に記載の振動搬送装置。
3. 　前記防振弾性体は、
   　前記支持面に取り付けられ垂直成分の振動を減衰させる第１アーム部と、
   　前記第１アーム部に垂直に配置され且つ前記振動体に取り付けられる第２アーム部と、
   　前記第１アーム部と前記第２アーム部とを接続し且つ凸状に湾曲する湾曲部とを有することを特徴とする請求項１に記載の振動搬送装置。
4. 　前記振動体と前記防振弾性体との第１固定部は、前記支持面と前記防振弾性体との第２固定部より下方に配置されることを特徴とする請求項１～３の何れかに記載の振動搬送装置。
5. 　請求項１～４の何れかに記載の振動搬送装置を複数備え、
   　前記複数のリニア搬送面が略平行に配置されることを特徴とする多列振動搬送システム。

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