WO2019064622A1 - 光学表示パネルの損傷検査方法 - Google Patents

光学表示パネルの損傷検査方法 Download PDF

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WO2019064622A1
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panel
optical display
display panel
inspection method
light
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PCT/JP2018/004177
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English (en)
French (fr)
Inventor
田村　宜之
知広 原
Original Assignee
日東電工株式会社
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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Definitions

  • the present invention relates to an inspection method for detecting damage to an optical display panel, and more specifically, the invention provides an optical display panel with strong light that causes the optical display panel to fly out and picks up an image of the reflected light.
  • the present invention relates to an inspection method for reliably detecting damage caused to the edge of an optical display panel.
  • an optical display panel such as a liquid crystal display panel or an organic EL display panel
  • a crack may occur due to the damaged portion.
  • the narrowing of the optical display panel has progressed, and in such an optical display panel having a narrow frame, a display area exists up to near the edge of the optical display panel. If damage such as cracking or chipping occurs at the edges or corners of the narrow frame optical display panel, the damage may extend to the display area, and in such a case, the optical display panel may not be able to display normally. There is. Therefore, it is required to detect a crack or chip that has occurred at the edge of the optical display panel without error.
  • Patent Document 1 proposes a technique for inspecting a scratch, a chip, a crack or the like of the outer shape, the surface and the end surface of the liquid crystal panel.
  • ring lighting with a larger aperture than the outer shape of the liquid crystal panel is disposed at the upper, outer and lower portions of the panel, and the light emitted to the panel from these ring lighting is reflected by the panel.
  • the image is captured by the imaging means disposed above.
  • the obtained image is subjected to binarization processing, and it is supposed that flaws, chips, cracks, etc. of the liquid crystal panel can be detected from the presence or absence of the white image appearing in the binarized image.
  • an image obtained based on the scattered light is subjected to image processing such as binarization, for example, to detect scratches, chips, cracks and the like of the optical display panel.
  • image processing such as binarization, for example, to detect scratches, chips, cracks and the like of the optical display panel.
  • the end face is not usually well-cleaned, and minute unevenness is often present, or foreign matter or glue stain is often attached.
  • in-line inspection is difficult in the prior art because it requires high-level image processing.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-247953
  • An object of the present invention is to provide an inspection method of an optical display panel capable of reliably detecting only damage to the edge of the optical display panel without performing image processing from an image obtained based on reflected light. I assume.
  • An object of the present invention is to intentionally create a state in which an internal pattern is not displayed as an image by making an area corresponding to the panel end white in an image obtained by photographing the panel end including the edge of the optical display panel. , Can be solved.
  • the present invention provides an inspection method for inspecting panel edge damage.
  • the inspection method according to the present invention comprises the steps of: irradiating the panel end with irradiation light; receiving the reflection light generated by the reflection of the irradiation light at the panel end; and receiving the reflection light Detecting an outline dividing an area corresponding to the panel edge and an area corresponding to the background of the panel edge in the image acquired based on the detected image.
  • the irradiation is performed with an intensity sufficient to cause the region corresponding to the panel edge to fly out so that no line other than the outline exists in the region corresponding to the panel edge in the acquired image Irradiating light.
  • the reflected light generated by being reflected at the panel edge is preferably specular light.
  • the specularly reflected light is reflected when the incident angle to the panel end surface of the irradiation light emitted toward the panel end and the reflection angle of the reflected light reflected from the panel end surface are the same angle It is light.
  • the brightness of the reflected light is preferably 3000 to 10000 cd / m 2 .
  • the illumination light is preferably light emitted from planar illumination.
  • the damage to be inspected by the inspection method according to the present invention is preferably an injury from one surface to the other surface at the panel end.
  • the acquired images are a plurality of images continuously acquired while moving the panel end.
  • the two temporally sequential images are taken so that they partially overlap each other.
  • An inspection apparatus for realizing an inspection method according to an embodiment of the present invention for inspecting a damage at a panel end is provided in a panel loading unit and / or a panel unloading unit and is a component block of an example of a polarizing film bonding apparatus Figure shows.
  • BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The outline
  • composition of an inspection device which realizes an inspection method by one embodiment of the present invention is shown, (a) is a figure which looked at an optical display panel and an inspection unit from the upper surface, (b) shows an optical display panel and an inspection unit in the side. It is the figure seen from the viewpoint. (A) shows an example of a photographed image of the panel end by the specularly reflected light photographed in the inspection method according to the embodiment of the present invention, (b) 2.) is an example of a photographed image of the panel end by scattered light in the conventional inspection method.
  • FIG. 7 is a flow diagram showing a method of determining the presence or absence of damage from the acquired image in the inspection method according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a block diagram of an example of an optical film bonding apparatus.
  • the optical film bonding apparatus 1 shown by FIG. 1 is an apparatus for bonding together optical films F, such as a polarizing film and retardation film, with optical display panels P0, such as a liquid crystal panel, for example.
  • the apparatus 1 incorporates an inspection apparatus which inspects the damage caused to the panel end Pe of the optical display panel P0.
  • the optical display panel P ⁇ b> 0 is loaded from the panel loading unit 30.
  • the loaded optical display panel P0 is conveyed to the bonding unit 50 for bonding the optical film F to the optical display panel P0 via the cleaning unit 40 for cleaning the foreign matter on the surface.
  • the optical film F is bonded to one surface or both surfaces of the optical display panel P0 as necessary.
  • the bonding section 50 after the optical film F is bonded to one surface of the optical display panel P0, the optical display panel P0 moves in parallel to the next conveyance path, and the other of the optical display panel P0 Another optical film F is pasted together on the surface of.
  • the optical display panel P1 to which the optical film F is bonded is carried into the pressure degassing unit 60.
  • the uniform pressure is applied by compressed air while heating the optical display panel P1 to which the optical film F is bonded, thereby removing the air bubble that has entered between the adhesive and the panel surface.
  • the optical display panel P1 having exited the pressure degassing unit 60 is carried out of the panel carry-out unit 70.
  • an optical film bonding apparatus is not limited to the thing of the form bent in the intermediate part as shown in FIG. 1, The form from which the panel insertion part 30 to the panel discharge part 70 is arrange
  • the inspection unit 10 for carrying out the inspection method according to the present invention should be disposed on either or both of the panel loading unit 30 and the panel unloading unit 70 as the inspection unit 10 shown by the dotted line in FIG. Can.
  • the inspection unit 10 When the inspection unit 10 is disposed in the panel insertion unit 30, it can be mainly inspected whether the optical display panel P0 has already been damaged.
  • the inspection unit 10 is disposed in the panel loading unit 30 and the panel unloading unit 70, mainly, the factor causing damage to the optical display panel P0 or the optical display panel P1 inside the optical film bonding apparatus 1 is You can figure out if it exists.
  • FIG. 2 shows the outline, the arrangement position, and the relationship between the inspection apparatus and the flow of the optical display panel P0 in the inspection unit 10 provided in the panel insertion unit 30.
  • the inspection apparatus for realizing the inspection method according to the present invention processes the images acquired by the inspection units 11a, 11b, 11c, and 11d and the inspection units 11a, 11b, 11c, and 11d, and moves the moving speed of the optical display panel P0.
  • a processing / control unit 20 capable of controlling the timing of image acquisition in accordance with the above.
  • the inspection units 11a, 11b, 11c, 11d and the processing / control unit 20 may be connected using either wired communication or wireless communication (in addition, in FIG.
  • the drawings are not complicated, A line expressing that the inspection units 11a, 11b, 11c, 11d and the processing / control unit 20 are connected by wire or wireless is not drawn). Further, for example, the image acquired by the inspection units 11a, 11b, 11c, and 11d may be read by the processing / control unit 20 via the physical medium.
  • the position where the processing / control unit 20 is provided is not limited, and may be provided in the optical film bonding apparatus 1 or may be provided in a place away from the optical film bonding apparatus 1.
  • the inspection units 11a, 11b, 11c, and 11d are configured to include planar illuminations 12a, 12b, 12c, and 12d, and area cameras 13a, 13b, 13c, and 13d, respectively.
  • the light source of the planar illumination 12a, 12b, 12c, 12d is preferably an LED, but is not limited thereto.
  • the inspection units 11 a and 11 b can inspect the damage of the panel edges Pea and Peb in the long side areas 14 a and 14 b of the optical display panel P0 injected into the panel insertion unit 30. Arranged as.
  • inspection units 11c and 11d are arranged such that after inspection of panel edges Pea and Peb, damage to panel edges Pec and Ped in short side regions 14c and 14d of optical display panel P0 can be inspected. Be done. With respect to the optical display panel P0 on which the inspection by the inspection units 11c and 11d is completed, the identification mark 15 is read using an imaging device or the like (not shown) as needed, and the information of the optical display panel P0 specified by the identification mark 15 The test results are linked.
  • the inspection units 11a and 11b first inspect the long side regions 14a and 14b of the optical display panel P0 and change the advancing direction of the optical display panel P0 by 90.degree.
  • 11c, 11d are configured to inspect the short side regions 14c, 14d.
  • the present invention is not limited to such an inspection method.
  • the inspection units 11a and 11c and the inspection units 11b and 11d are respectively After arranging along the transport path of the optical display panel P0 and first inspecting the long side regions 14a and 14b of the optical display panel P0 by the inspection units 11a and 11b, and rotating the direction of the optical display panel P0 by 90 °
  • the inspection units 11c and 11d may be configured to inspect the short side regions 14c and 14d.
  • FIG. 3 shows a configuration example of a pair of inspection devices arranged in the inspection unit 10, and here, in FIG. 2, it is arranged to inspect the long side region 14a on the right side of the optical display panel P0 in the transport direction.
  • An example of composition of inspection unit 11a is shown.
  • the inspection units 11b, 11c, and 11d can also be configured the same as the inspection unit 11a.
  • FIG. 3A is a top view of the optical display panel P0 and the inspection unit 11a
  • FIG. 3B is a side view of the optical display panel P0 and the inspection unit 11a (upstream of the optical display panel P0 in the conveyance direction). It is the figure seen from).
  • the inspection unit 11a includes a planar illumination 12a and an area camera 13a.
  • the planar illumination 12a is disposed outward of the end portion Pe of the optical display panel P0 being transported, and the area camera 13a is of the optical display panel P0. It is preferable to be disposed inward of the end portion Pe.
  • the planar illumination 12a may be disposed inwardly of the end portion Pe of the optical display panel P0 to be conveyed, and the area camera 13a may be disposed outwardly of the end portion Pe of the optical display panel P0.
  • the planar illumination 12a is directed such that the illumination light Le is emitted towards the area 14a including the end Pe of the optical display panel P0.
  • the irradiation light Le is reflected by the panel end portion Pe of the optical display panel P0, and enters the area camera 13a as a reflection light Lr.
  • the reflected light Lr incident on the area camera 13a is incident on the light receiving element of the area camera 13a, and is sent to the processing / control unit 20 as an image obtained by photographing a predetermined area including the panel end Pe and its background.
  • the irradiation light is such that the reflected light Lr from the panel end Pe includes only the light reflected from the surface of the panel end Pe, not the light reflected inside the panel end Pe.
  • the intensity of Le and / or the incident angle to the surface of the panel end Pe is set.
  • the state in which the reflected light Lr includes only the light reflected from the surface of the panel end Pe, not the light reflected by the internal pattern or the like present at the panel end Pe, is the internal pattern of the panel end Pe Not only when the reflected light is not included in the reflected light Lr at all, but also to the extent that it does not affect the determination of the presence or absence of damage to the panel edges Pea, Peb, Pec, and Ped in the image obtained by imaging the reflected light Lr. It also includes the case where light reflected by the internal pattern or the like of the end portion Pe is included in the reflected light Lr.
  • the reflected light Lr was imaged so that the reflected light Lr from the panel end Pe includes only the light reflected from the surface of the panel end Pe, not the light reflected from the internal pattern of the panel end Pe, etc.
  • the illumination light Le is emitted from the planar illumination 12 a at an intensity sufficient to cause the region corresponding to the panel end Pe of the image to be blown out.
  • the incident angle of the irradiation light Le from the planar illumination 12a (the angle between the normal to the surface of the panel end Pe which is a reflection surface and the irradiation light Le) and the reflection at the panel end Pe
  • the reflection angle of the reflected light Lr (the angle between the normal to the surface of the panel end Pe and the reflected light Lr) is preferably the same angle ⁇ .
  • Reflected light Lr reflected at the same angle as the incident angle of the irradiated light Le is called regular reflected light or specularly reflected light, and this reflected light Lr is not light reflected by the internal pattern of the panel end Pe or the like but a panel Only the light reflected from the surface of the end Pe is included.
  • the luminance of the reflected light Lr is preferably 3000 to 10000 cd / m 2 , more preferably 3500 to 9500 cd / m 2 , and still more preferably 3600 to 9100 cd / m 2 .
  • FIG. 4 shows a comparison between an image (a) taken in the inspection method according to the present invention and an image (b) taken in the conventional inspection method.
  • the scattered light of the area 14a including the panel end portion Pe is photographed.
  • the area corresponding to the panel end Pe is expressed in white, and the area corresponding to the background of the panel end Pe Since bk is expressed in black, an outline that divides the area corresponding to the panel end Pe and the area corresponding to the background of the panel end Pe, that is, the panel edge Pea clearly appears.
  • the inspection method according to the present invention detects an outline that divides the panel edge Pe and the background from the acquired image, and occurs in the panel edges Pea, Peb, Pec, and Ped from the state of the outline.
  • the damage to be detected is preferably a damage from one side to the other at the panel end.
  • the inspection unit 11a preferably comprises rails 16a, 16b and 16c for moving the planar illumination 12a and the area camera 13a separately in the vertical and horizontal directions.
  • the planar illumination 12a can be moved along the rail 16a in the direction shown as arrow h1 in FIG. 3, and the area camera 13a is moved along the rail 16b in the direction shown as arrow h2 in FIG. be able to.
  • the rails 16a and 16b can be moved along the rails 16c in the directions indicated by arrows h3 and h4, respectively.
  • the flat illumination 12a is preferably connected to the rail 16a via the axis 121a
  • the area camera 13a is preferably connected to the rail 16b via the axis 131a.
  • the planar illumination 12a is rotatable around the axis 121a in the direction shown by the arrow r1
  • the area camera 13a is rotatable around the axis 131a in the direction shown by the arrow r2.
  • the bright illumination 12a and the area camera 13a can adjust the position in the vertical direction, the distance between each other, the irradiation angle of the irradiation light, and the light reception angle of the reflected light independently of each other.
  • the position and the angle can be appropriately determined so that the area corresponding to the panel end of the captured image can be whitened.
  • the method of adjusting the position and angle of the planar illumination 12a and the area camera 13a so that the region corresponding to the panel end Pe of the captured image can be whited out is, for example, It is as First, the position and the angle of the area camera 13a are adjusted so that the panel end Pe is in the field of view of the area camera 13a. This adjustment can be performed by changing the position in the direction of h2 and h4, and the rotation angle of r2. Next, in a state where the aperture of the area camera 13a is narrowed, the focus of the area camera 13a is adjusted. After the area camera 13a is focused on the panel end Pe, the aperture is opened.
  • the angle at which the irradiation light Le from the planar illumination 12a is incident on the surface of the panel end Pe, and the reflected light Lr reflected from the surface of the panel end Pe The position and the angle of the planar illumination 12a are adjusted so that the angle is approximately equal and the light is irradiated as uniformly as possible to the entire panel end Pe. This adjustment can be made by changing the position in the direction of h1 and h3 and the rotation angle of r1. Further, while confirming the captured image on a monitor or the like, the position and angle of the planar illumination 12a are finely adjusted so that the panel end Pe is whitened.
  • FIG. 5 is a flow chart showing an example of a method for determining the presence or absence of damage to the panel end portion Pe from the acquired image in the inspection method according to the present invention.
  • the damage can be determined, for example, as follows. First, in the captured image, the luminance for each pixel is acquired. Based on the acquired luminance, a set of pixels having a luminance difference greater than or equal to a predetermined threshold between adjacent pixels is detected. A plurality of sets of pixels are detected. The threshold value at this time can be appropriately set according to conditions such as the type of panel and the type of light source.
  • the recognized area is searched along the panel edge Pea, Peb, Pec, Ped, and the luminance of the pixel recognized as the panel edge Pea, Peb, Pec, Ped is acquired.
  • pixels having a luminance difference equal to or greater than a predetermined threshold are detected from pixels recognized as panel edges Pea, Peb, Pec, and Ped. If there is a portion where a luminance difference occurs at a size equal to or greater than a predetermined size, it is determined that the optical display panel P0 is damaged.
  • the threshold value and the size of the luminance difference at this time can be appropriately set according to the allowable size of the damage to be detected and the like.
  • the processing / control unit 20 controls the timing of acquiring an image according to the moving speed of the panel end portion Pe passing below the area cameras 13a, 13b, 13c, 13d.
  • the timing for acquiring the image is a part corresponding to the conveyance direction backward of the image acquired earlier in time and a part corresponding to the conveyance direction forward of the image acquired next,
  • the same portion of the panel end portion Pe is set to be imaged.
  • the area of the overlapping portion can be appropriately set as needed. In this manner, by continuously capturing the panel edge Pe so that the panel edge Pe is partially overlapped in the transport direction in the captured image, the entire panel edge Pe can be imaged without omission, so the panel edge Pea , Peb, Pec and Ped can be improved in detection accuracy.
  • a line camera may be used instead of an area camera as an imaging device of the inspection units 11a, 11b, 11c, and 11d.
  • a line camera is used, an image of the panel end Pe of the optical display panel P0 can be acquired as a continuous image.

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Abstract

反射光に基づいて得られる画像から、画像処理を施すことなく光学表示パネル縁部の損傷のみを確実に検出することが可能な、光学表示パネルの検査方法を提供する　本発明に係る検査方法は、パネル端部に向けて照射光を照射する工程と、照射光がパネル端部で反射されることによって生成された反射光を受光する工程と、受光した反射光に基づいて取得された画像において、パネル端部に対応する領域とパネル端部の背景に対応する領域とを区画する輪郭線を検出する工程とを含む。照射光を照射する工程は、取得された画像においてパネル端部に相当する領域に輪郭線以外の線が存在しないように、パネル端部に相当する領域を白飛びさせるのに十分な強度で照射光を照射することを含む。

Description

光学表示パネルの損傷検査方法
　本発明は、光学表示パネルの損傷を検出するための検査方法に関し、より具体的には、光学表示パネルが白飛びする程度の強い光を光学表示パネルに当てて、その反射光を撮像することにより、光学表示パネルの縁部に生じた損傷を確実に検出する検査方法に関する。
　液晶表示パネルや有機ＥＬ表示パネル等の光学表示パネルにおいて、光学表示パネルの縁や角の割れや欠けなどの損傷が存在すると、その損傷部分をきっかけとしてクラックが発生するおそれがある。また、近年は光学表示パネルの狭額縁化が進んでおり、このような狭額縁の光学表示パネルにおいては、光学表示パネルの縁の近くまで表示領域が存在している。狭額縁の光学表示パネルの縁や角に割れや欠けなどの損傷が生じると、損傷が表示領域にまで及ぶことがあり、このような場合には、光学表示パネルは正常な表示ができなくなるおそれがある。したがって、光学表示パネルの縁に生じた割れや欠けを誤りなく検出することが求められる。
　光学表示パネルの外観検査は、一般に、光学表示パネルの縁を含むパネル端部領域に光を照射して光学表示パネルからの反射光を撮影し、撮影した画像に画像処理を施すことによって行われている。例えば、特許文献１には、液晶パネルの外形、表面及び端面の傷、欠け、割れなどを検査する技術が提案されている。この技術は、液晶パネルの外形より大きい口径のリング照明を、パネルの上部、外周及び下部に配置し、これらのリング照明からパネルに照射された光がパネルで反射した反射光を、パネルの真上に配置した撮像手段によって捉えるものである。得られた画像は二値化処理され、二値化画像中に現れた白画像の有無から、液晶パネルの傷、欠け、割れなどを検出することができるものとされている。
　しかし、特許文献１を含む従来の検査技術においては、光学表示パネルから反射した反射光のうち散乱光を撮像手段によって捉えるため、光学表示パネルの縁に近い位置に存在する内部パターンなどからの散乱光も撮影されてしまい、最も外側の内部パターンを光学表示パネルの縁として誤って検出する場合がある。このような誤検出は、特に、光学表示パネルの縁に近い位置まで表示領域が存在する狭額縁の光学表示パネルの場合に多くなる。
　また、従来の検査技術では、散乱光に基づいて得られた画像に対して、例えば二値化などの画像処理を行うことによって光学表示パネルの傷、欠け、割れなどを検出する。しかし、光学表示パネルの縁においては、通常、端面がきれいに整っていることはなく、微小な凹凸が存在していたり、異物や糊汚れが付着していたりすることが多い。そのような縁を撮影した画像から傷、欠け、割れなどを検出しようとすると、高度な画像処理を要するため、従来の技術ではインラインでの検査は困難であった。
特開２００３－２４７９５３
　本発明は、反射光に基づいて得られる画像から、画像処理を施すことなく光学表示パネル縁部の損傷のみを確実に検出することが可能な、光学表示パネルの検査方法を提供することを課題とする。
　本発明の課題は、光学表示パネルの縁を含むパネル端部を撮影した画像において、パネル端部に相当する領域を白く光らせることにより内部パターンが画像として表示されない状態を意図的に創出することによって、解決することができる。
　本発明は、パネル端部の損傷を検査するための検査方法を提供する。本発明に係る検査方法は、パネル端部に向けて照射光を照射する工程と、照射光がパネル端部で反射されることによって生成された反射光を受光する工程と、受光した反射光に基づいて取得された画像において、パネル端部に対応する領域とパネル端部の背景に対応する領域とを区画する輪郭線を検出する工程とを含む。照射光を照射する工程は、取得された画像においてパネル端部に相当する領域に輪郭線以外の線が存在しないように、パネル端部に相当する領域を白飛びさせるのに十分な強度で照射光を照射することを含む。
　一実施形態においては、パネル端部で反射されることによって生成された反射光は正反射光であることが好ましい。正反射光は、パネル端部に向けて照射された照射光のパネル端部表面に対する入射角と、パネル端部表面から反射された反射光の反射角とが同じ角度となっているときの反射光である。一実施形態においては、反射光の輝度は、３０００～１００００ｃｄ／ｍ２であることが好ましい。一実施形態においては、照射光は、平面型照明から放射される光であることが好ましい。
　一実施形態においては、本発明に係る件検査方法によって検査される損傷は、パネル端部において一方の面から他方の面までに及ぶ損傷であることが好ましい。また、一実施形態においては、取得された画像は、パネル端部を移動させながら連続的に取得された複数の画像であることが好ましい。ここで、時間的に前後する２つの画像は、それぞれ一部が重なるように撮像されたものである。
パネル端部の損傷を検査する本発明の一実施形態による検査方法を実現するための検査装置が、パネル投入部及び／又はパネル搬出部に設けられた、偏光フィルム貼合装置の一例の構成ブロック図を示す。 本発明の一実施形態による検査方法を実現する検査装置の構成の概要、配置位置、及び検査装置と光学表示パネルの流れとの関係を示す。 本発明の一実施形態による検査方法を実現する検査装置の構成例を示し、（ａ）は光学表示パネル及び検査ユニットを上面からみた図であり、（ｂ）は光学表示パネル及び検査ユニットを側面からみた図である。 パネル端部に光を照射した場合の撮影画像を示し、（ａ）は、本発明の一実施形態による検査方法において撮影された正反射光によるパネル端部の撮影画像の例であり、（ｂ）は、従来の検査方法における散乱光によるパネル端部の撮影画像の例である。 本発明の一実施形態による検査方法において、取得された画像から損傷の有無を判定する方法を示すフロー図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明に係る検査方法を実現する装置の実施形態を詳細に説明する。
　図１は、光学フィルム貼合装置の一例のブロック図である。図１に示される光学フィルム貼合装置１は、例えば偏光フィルムや位相差フィルムなどの光学フィルムＦを、例えば液晶パネルなどの光学表示パネルＰ０に貼り合わせるための装置である。この装置１には、光学表示パネルＰ０のパネル端部Ｐｅに生じた損傷を検査する検査装置が組み込まれている。
　光学フィルム貼合装置１においては、光学表示パネルＰ０は、パネル投入部３０から投入される。投入された光学表示パネルＰ０は、表面の異物を洗浄するための洗浄部４０を経由して、光学表示パネルＰ０に光学フィルムＦを貼り合わせるための貼合部５０に搬送される。貼合部５０においては、必要に応じて光学表示パネルＰ０の一方の面又は両方の面に、光学フィルムＦが貼り合わされる。この実施形態においては、貼合部５０では、光学表示パネルＰ０の一方の面に光学フィルムＦが貼り合わされた後、光学表示パネルＰ０が隣の搬送路に平行移動し、光学表示パネルＰ０の他方の面に別の光学フィルムＦが貼り合わされる。
　次に、光学フィルムＦが貼り合わされた光学表示パネルＰ１は、加圧脱泡部６０に搬入される。加圧脱泡部６０においては、光学フィルムＦが貼り合わされた光学表示パネルＰ１を加熱しながら圧縮空気によって均等な圧力を加えることにより、粘着剤とパネル表面との間に入り込んだ気泡を除去する。加圧脱泡部６０を出た光学表示パネルＰ１は、パネル搬出部７０から搬出される。
　なお、光学フィルム貼合装置は、図１に示されるような中間部において屈曲した形態のものに限定されるものではなく、パネル投入部３０からパネル搬出部７０までが直線状に配置された形態の装置など、他の形態の光学フィルム貼合装置であってもよい。
　本発明に係る検査方法を実施するための検査部１０は、図１において点線で示される検査部１０のように、パネル搬入部３０及びパネル搬出部７０のいずれか一方又はその両方に配置することができる。検査部１０がパネル投入部３０に配置される場合には、主に、光学表示パネルＰ０にすでに損傷が生じているかどうかを検査することができる。検査部１０が、パネル投入部３０及びパネル搬出部７０に配置される場合には、主に、光学フィルム貼合装置１の内部で光学表示パネルＰ０又は光学表示パネルＰ１に損傷を生じさせる要因が存在するかどうかを把握することができる。
　図２は、パネル投入部３０に設けられた検査部１０における検査装置の概要、配置位置、及び、検査装置と光学表示パネルＰ０の流れとの関係を示す。本発明に係る検査方法を実現する検査装置は、検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄと、検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄによって取得された画像を処理するとともに、光学表示パネルＰ０の移動速度に応じて画像取得のタイミングを制御することができる処理・制御部２０とを含む。検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄと処理・制御部２０とは、有線通信又は無線通信のどちらを用いて接続されていても良い（なお、図２においては、図面が煩雑にならないように、検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄと処理・制御部２０とが有線又は無線によって接続されていることを表現する線は描いていない）。また、たとえば検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄによって取得された画像を、物理メディアを介して処理・制御部２０に読み込ませるようにしても良い。処理・制御部２０が設けられる位置は、限定されるものではなく、光学フィルム貼合装置１に設けられていてもよく、光学フィルム貼合装置１から離れた場所に設けられていてもよい。
　検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは、それぞれ、平面型照明１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと、エリアカメラ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄとを含むものとして構成される。平面型照明１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄの光源は、ＬＥＤが好ましいが、これに限定されるものではない。図２に示される実施形態においては、検査ユニット１１ａ、１１ｂは、パネル投入部３０に投入された光学表示パネルＰ０の長辺領域１４ａ、１４ｂにおけるパネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂの損傷を検査することができるように配置される。また、検査ユニット１１ｃ、１１ｄは、パネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂの検査が行われた後に、光学表示パネルＰ０の短辺領域１４ｃ、１４ｄにおけるパネル縁Ｐｅｃ、Ｐｅｄの損傷を検査することができるように配置される。検査ユニット１１ｃ、１１ｄによる検査が終了した光学表示パネルＰ０は、必要に応じて、図示されない撮像装置等を用いて識別標識１５が読み取られ、識別標識１５によって特定される光学表示パネルＰ０の情報と検査結果とが紐付けされる。
　図２に示される実施形態においては、最初に検査ユニット１１ａ、１１ｂが光学表示パネルＰ０の長辺領域１４ａ、１４ｂを検査し、光学表示パネルＰ０の進行方向を９０°変化させた後に、検査ユニット１１ｃ、１１ｄが短辺領域１４ｃ、１４ｄを検査するように構成されている。しかし、このような検査方法に限定されるものではなく、例えば、パネル投入部３０における光学表示パネルＰ０の搬送経路を直線状にするとともに、検査ユニット１１ａと１１ｃ、検査ユニット１１ｂと１１ｄを、それぞれ光学表示パネルＰ０の搬送経路にそって配置し、最初に検査ユニット１１ａ、１１ｂによって光学表示パネルＰ０の長辺領域１４ａ、１４ｂを検査して、光学表示パネルＰ０の向きを９０°回転させた後に検査ユニット１１ｃ、１１ｄによって短辺領域１４ｃ、１４ｄを検査するように構成してもよい。
　図３は、検査部１０に配置される１組の検査装置の構成例を示し、ここでは、図２において光学表示パネルＰ０の搬送方向右側の長辺領域１４ａを検査するために配置されている検査ユニット１１ａの構成例を示す。検査ユニット１１ｂ、１１ｃ、及び１１ｄも、検査ユニット１１ａと同様の構成とすることができる。図３（ａ）は、光学表示パネルＰ０及び検査ユニット１１ａを上面からみた図であり、図３（ｂ）は、光学表示パネルＰ０及び検査ユニット１１ａを側面（光学表示パネルＰ０の搬送方向上流側）からみた図である。
　図３に示されるように、検査ユニット１１ａは、平面型照明１２ａとエリアカメラ１３ａとを備える。図３（ａ）に示されるように上面からみたときに、平面型照明１２ａは、搬送される光学表示パネルＰ０の端部Ｐｅより外方に配置され、エリアカメラ１３ａは、光学表示パネルＰ０の端部Ｐｅより内方に配置されることが好ましい。別の実施形態においては、平面型照明１２ａを搬送される光学表示パネルＰ０の端部Ｐｅより内方に配置し、エリアカメラ１３ａを光学表示パネルＰ０の端部Ｐｅより外方に配置することもできるが、パネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、及びＰｅｄのより高精度な検出の観点から、図３（ａ）に示される配置がより好ましい。図３（ｂ）に示されるように、平面型照明１２ａは、照射光Ｌｅが光学表示パネルＰ０の端部Ｐｅを含む領域１４ａに向けて放射されるように方向付けられる。照射光Ｌｅは、光学表示パネルＰ０のパネル端部Ｐｅで反射され、反射光Ｌｒとしてエリアカメラ１３ａに入射する。エリアカメラ１３ａに入射した反射光Ｌｒは、エリアカメラ１３ａの受光素子に入射し、パネル端部Ｐｅとその背景とを含む所定の領域を撮影した画像として、処理・制御部２０に送られる。
　本発明に係る検査方法においては、パネル端部Ｐｅからの反射光Ｌｒが、パネル端部Ｐｅの内部において反射した光ではなくパネル端部Ｐｅの表面から反射した光のみを含むように、照射光Ｌｅの強度及び／又はパネル端部Ｐｅの表面への入射角度が設定される。なお、反射光Ｌｒが、パネル端部Ｐｅに存在する内部パターン等によって反射された光ではなく、パネル端部Ｐｅの表面から反射した光のみを含む状態は、パネル端部Ｐｅの内部パターン等において反射した光が反射光Ｌｒにまったく含まれない場合だけでなく、反射光Ｌｒを撮像した画像においてパネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、及びＰｅｄの損傷の有無を判定するのに影響しない程度に、パネル端部Ｐｅの内部パターン等で反射した光が反射光Ｌｒに含まれる場合も含む。パネル端部Ｐｅからの反射光Ｌｒが、パネル端部Ｐｅの内部パターン等において反射した光ではなくパネル端部Ｐｅの表面から反射した光のみを含むようにするために、反射光Ｌｒを撮像した画像のパネル端部Ｐｅに相当する領域を白飛びさせるのに十分な強度で、平面型照明１２ａから照射光Ｌｅが照射される。
　一実施形態においては、平面型照明１２ａからの照射光Ｌｅの入射角（反射面であるパネル端部Ｐｅの表面の法線と照射光Ｌｅとの間の角度）と、パネル端部Ｐｅで反射した反射光Ｌｒの反射角（パネル端部Ｐｅの表面の法線と反射光Ｌｒとの間の角度）とは、同じ角度θであることが好ましい。照射光Ｌｅの入射角と同じ角度で反射する反射光Ｌｒは、正反射光又は鏡面反射光と呼ばれ、この反射光Ｌｒには、パネル端部Ｐｅの内部パターン等において反射した光ではなくパネル端部Ｐｅの表面から反射した光のみが含まれる。反射光Ｌｒの輝度は、３０００～１００００ｃｄ／ｍ２であることが好ましく、３５００～９５００ｃｄ／ｍ２であることがより好ましく、３６００～９１００ｃｄ／ｍ２であることがさらに好ましい。
　図４は、本発明に係る検査方法において撮影された画像（ａ）と、従来の検査方法において撮影された画像（ｂ）との比較を示す。従来の検査方法では、パネル端部Ｐｅを含む領域１４ａの散乱光が撮影される。図４に示されるように、本発明に係る検査方法において撮影された画像（ａ）では、パネル端部Ｐｅに相当する領域が白飛びして表現され、パネル端部Ｐｅの背景に相当する領域ｂｋが黒く表現されているため、パネル端部Ｐｅに相当する領域とパネル端部Ｐｅの背景に相当する領域とを区画する輪郭線、すなわちパネル縁Ｐｅａが明瞭に現れている。一方、従来の検査方法において撮影された画像（ｂ）では、パネル端部Ｐｅに相当する領域に、パネル端部Ｐｅの内部に存在するパターン等が撮影されてしまうため、パネル端部Ｐｅと背景ｂｋとを区画する輪郭線と内部パターン等の線とが区別しにくくなり、パネル縁Ｐｅａを精度よく検出することが難しい。
　このように、本発明に係る検査方法は、取得された画像からパネル端部Ｐｅと背景とを区画する輪郭線を検出し、その輪郭線の状態からパネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄに生じた損傷の有無を判定するものである。したがって、検出される損傷は、パネル端部において一方の面から他方の面までに及ぶ損傷であることが好ましい。
　再び図３を参照すると、検査ユニット１１ａは、平面型照明１２ａ及びエリアカメラ１３ａを別個に鉛直方向及び水平方向に移動させるためのレール１６ａ、１６ｂ、及び１６ｃを備えることが好ましい。平面型照明１２ａは、レール１６ａに沿って図３の矢印ｈ１として示される方向に移動させることができ、エリアカメラ１３ａは、レール１６ｂに沿って、図３の矢印ｈ２として示される方向に移動させることができる。また、レール１６ａ及びレール１６ｂは、レール１６ｃに沿って、それぞれ矢印ｈ３、ｈ４として示される方向に移動させることができる。
　平面型照明１２ａは、軸１２１ａを介してレール１６ａと連結され、エリアカメラ１３ａは、軸１３１ａを介してレール１６ｂと連結されることが好ましい。平面型照明１２ａは、軸１２１ａの周りに矢印ｒ１に示される向きに回転可能であり、エリアカメラ１３ａは、軸１３１ａの周りに矢印ｒ２に示される向きに回転可能である。このように、平明型照明１２ａ及びエリアカメラ１３ａは、鉛直方向の位置、互いの間の距離、照射光の照射角度、及び反射光の受光角度をそれぞれ独立に調整できるようになっており、そのため、光学表示パネルＰ０のサイズや種類に応じて、撮影された画像のパネル端部に相当する領域を白飛びさせることができるように位置や角度を適切に定めることができる。
　本発明に係る検査方法において、撮影された画像のパネル端部Ｐｅに相当する領域を白飛びさせることができるように平面型照明１２ａ及びエリアカメラ１３ａの位置及び角度を調整する方法は、例えば以下のとおりである。まず、エリアカメラ１３ａの位置及び角度を、パネル端部Ｐｅがエリアカメラ１３ａの視野に入るように調整する。この調整は、ｈ２及びｈ４の方向の位置、並びにｒ２の回転角度を変更して行うことができる。次に、エリアカメラ１３ａの絞りを絞った状態で、エリアカメラ１３ａの焦点の調整を行う。エリアカメラ１３ａの焦点がパネル端部Ｐｅに合わせられた後、絞りを開放する。
　次に、エリアカメラ１３ａの位置及び角度を考慮しながら、平面型照明１２ａからの照射光Ｌｅがパネル端部Ｐｅの表面に入射する角度と、パネル端部Ｐｅの表面から反射する反射光Ｌｒの角度とが概ね等しくなるとともに、パネル端部Ｐｅの全体にできるだけ均一に光が照射されるように、平面型照明１２ａの位置及び角度を調整する。この調整は、ｈ１及びｈ３の方向の位置、並びにｒ１の回転角度を変更することによって行うことができる。さらに、撮像された画像をモニタ等で確認しながら、パネル端部Ｐｅが白飛びするように、平面型照明１２ａの位置及び角度の微調整を行う。
　図５は、本発明に係る検査方法において、取得された画像からパネル端部Ｐｅの損傷の有無を判定するための方法の一例を示すフロー図である。損傷は、例えば以下のようにして判定することができる。まず、撮影された画像において、画素ごとの輝度を取得する。取得した輝度に基いて、近接する画素間で所定の閾値以上の輝度差を有する画素の組を検出する。この画素の組は複数検出される。このときの閾値は、パネルの種類や光源の種類等の条件に応じて適宜設定することができる。検出された画素の組の各々において輝度の高い画素と輝度の低い画素との境界を見つけ出し、所定間隔で抽出した境界を結んだ線を、パネル端部Ｐｅと背景とを区画する輪郭線、すなわちパネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄとして認識する。
　次に、認識した領域をパネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄに沿ってサーチし、パネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄとして認識された画素の輝度を取得する。サーチした領域内において、パネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄとして認識された画素と所定の閾値以上の輝度差が生じている画素を検出する。所定サイズ以上の大きさで輝度差が生じている箇所があれば、当該光学表示パネルＰ０には損傷が存在すると判定される。このときの輝度差の閾値及びサイズは、検出すべき損傷の許容サイズ等に応じて適宜設定することができる。
　本発明に係る検査方法においては、搬送される光学表示パネルＰ０を移動させながら、時間的に前後して撮像された画像の一部が重なるように連続的にパネル端部Ｐｅを撮影する方法が用いられることが好ましい。この方法においては、処理・制御部２０は、エリアカメラ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄの下方を通過するパネル端部Ｐｅの移動速度に応じて、画像を取得するタイミングを制御する。
　具体的には、画像を取得するタイミングは、時間的に先に取得された画像の搬送方向後方に相当する一部と、次に取得された画像の搬送方向前方に相当する一部とに、パネル端部Ｐｅの同じ部分が撮像されるように設定される。重なる部分の面積は、必要に応じて適宜設定することができる。このように、パネル端部Ｐｅを、撮像された画像において搬送方向に一部重なるようにして連続的に撮影することにより、パネル端部Ｐｅの全体をもれなく撮像することができるため、パネル縁Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄに生じた損傷の検出精度を向上させることができる。
　なお、別の実施形態においては、検査ユニット１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの撮像装置として、エリアカメラではなくラインカメラを用いてもよい。ラインカメラを用いた場合は、光学表示パネルＰ０のパネル端部Ｐｅの画像を連続画像として取得することができる。
Ｐ０　光学表示パネル
Ｐｅ　パネル端部
Ｐｅａ、Ｐｅｂ、Ｐｅｃ、Ｐｅｄ　パネル縁
Ｐ１　光学フィルム貼合済み光学表示パネル
１　光学フィルム貼合装置
　１０　検査部
　　１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ　検査ユニット
　　　１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ　平面型照明
　　　１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ　エリアカメラ
　　　１６ａ、１６ｂ、１６ｃ　移動用レール
　　１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ　検査領域
　　２０　処理・制御部
　１５　識別標識
　３０　パネル投入部
　４０　洗浄部
　５０　貼合部
　６０　加圧脱泡部
　７０　パネル搬出部
 

 

Claims (6)

  1. 　光学表示パネルにおけるパネル端部の損傷を検査するための検査方法であって、
    　パネル端部に向けて照射光を照射する工程と、
    　照射光が前記パネル端部で反射されることによって生成された反射光を受光する工程と、
    　受光した反射光に基づいて取得された画像において、前記パネル端部に対応する領域と前記パネル端部の背景に対応する領域とを区画する輪郭線を検出する工程と
    を含み、
    　照射光を照射する工程は、前記取得された画像において前記パネル端部に相当する領域に前記輪郭線以外の線が存在しないように、前記パネル端部に相当する領域を白飛びさせるのに十分な強度で照射光を照射することを含む、
    検査方法。
  2. 　反射光は正反射光である、請求項１に記載の検査方法。
  3. 　反射光の輝度が３０００～１００００ｃｄ／ｍ２である、請求項２に記載の検査方法。
  4. 　検出される損傷は、前記パネル端部において一方の面から他方の面までに及ぶ損傷である、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の検査方法。
  5. 　前記取得された画像は、前記パネル端部を移動させながら連続的に取得された複数の画像であり、時間的に前後する２つの画像は、それぞれ一部が重なるように撮像されたものである、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の検査方法。
  6. 　照射光は平面型照明から放射される光である、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の検査方法。
     

     
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7030914B1 (ja) * 2020-08-27 2022-03-07 花王株式会社 シート状部材の製造方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003247953A (ja) * 2002-02-25 2003-09-05 Seiko Epson Corp 液晶パネル外観検査方法及び検査装置
WO2004079352A1 (ja) * 2003-03-04 2004-09-16 Mitsuboshi Diamond Industrial Co. Ltd. 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法
WO2004088399A1 (en) * 2003-03-31 2004-10-14 Hits Co., Ltd. Lcd cell edge inspection apparatus and method thereof
JP2006208259A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Aisin Seiki Co Ltd 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2006220540A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Central Glass Co Ltd ガラス板の端面の欠陥検出装置および検出方法
JP2011232324A (ja) * 2010-04-09 2011-11-17 Nippon Steel Corp 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及びプログラム
JP2015169564A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 株式会社ダイヘン 画像検査装置及び画像検査方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3025946B2 (ja) * 1995-10-11 2000-03-27 茨城県 物体表面の粗さ測定方法及び装置
JPH11271035A (ja) * 1998-03-24 1999-10-05 Hitachi Metals Ltd 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
US6628381B1 (en) * 2000-06-20 2003-09-30 Applied Materials, Inc. Optical inspection method and apparatus utilizing a collection angle design
JP4703911B2 (ja) * 2001-08-10 2011-06-15 日新製鋼株式会社 金属帯の孔状欠陥検査装置
KR100418357B1 (ko) * 2003-03-31 2004-02-14 (주)에이치아이티에스 엘시디(lcd) 패널의 측면검사장치 및 방법
JP5015824B2 (ja) * 2008-02-29 2012-08-29 日東電工株式会社 粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置
CA2779873C (en) * 2009-12-17 2014-08-12 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Inspection apparatus for tubular product and inspection method therefor
JP2011257257A (ja) * 2010-06-09 2011-12-22 Panasonic Corp 検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法
CN204215118U (zh) * 2014-12-02 2015-03-18 北京兆维电子(集团)有限责任公司 液晶屏外观检测装置
JP6344290B2 (ja) * 2015-04-01 2018-06-20 東芝三菱電機産業システム株式会社 平面形状測定装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003247953A (ja) * 2002-02-25 2003-09-05 Seiko Epson Corp 液晶パネル外観検査方法及び検査装置
WO2004079352A1 (ja) * 2003-03-04 2004-09-16 Mitsuboshi Diamond Industrial Co. Ltd. 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法
WO2004088399A1 (en) * 2003-03-31 2004-10-14 Hits Co., Ltd. Lcd cell edge inspection apparatus and method thereof
JP2006208259A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Aisin Seiki Co Ltd 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2006220540A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Central Glass Co Ltd ガラス板の端面の欠陥検出装置および検出方法
JP2011232324A (ja) * 2010-04-09 2011-11-17 Nippon Steel Corp 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及びプログラム
JP2015169564A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 株式会社ダイヘン 画像検査装置及び画像検査方法

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