WO2018167906A1 - フィルム貼付装置、elデバイスの製造装置、elデバイスの製造方法、及びコントローラ - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a film sticking apparatus for sticking a film such as an EL device including an EL (electroluminescence) element to a cover glass, an EL device manufacturing apparatus, an EL device manufacturing method, and a controller.
- a film sticking apparatus for sticking a film such as an EL device including an EL (electroluminescence) element to a cover glass, an EL device manufacturing apparatus, an EL device manufacturing method, and a controller.
- JP 2002-341323 A (published on November 27, 2002)”
- the pressing roller disposed so as to cross the cover glass becomes thinner. For this reason, the pressing roller bends in a direction away from the cover glass by a reaction force from the film pressed toward the cover glass. Therefore, a gap may be generated between the film and the cover glass to generate bubbles.
- the film sticking apparatus includes a stage on which a cover glass having curved portions that are curved on one surface side is placed on both ends, and one surface of the cover glass placed on the stage.
- a pressing member arranged to cross the cover glass for attaching the film, and the pressing member presses the film against the curved portion of the cover glass to have a radius of curvature of the curved portion. It has a curved surface part which has a small curvature radius, and the bending prevention part in which the cross section for preventing the bending of the said curved surface part along the transverse direction of the said press member was formed.
- a film can be satisfactorily attached to a cover glass that is curved at both ends.
- (A) is a perspective view which shows typically the structure of the film sticking apparatus which concerns on a comparative example
- (b) is a perspective view which shows the film stuck by the said film sticking apparatus
- (c) is the said film It is a perspective view which shows the stuck cover glass
- (d) is a perspective view which shows the said cover glass.
- (A) is a figure which shows the relationship between the sticking roller provided in the said film sticking apparatus, and a cover glass
- (b) is a figure which shows the relationship between the curved part of the said cover glass, and the said sticking roller.
- (C) is a figure which shows the relationship between the edge part of the said curved part, and the said sticking roller.
- FIG. (A) is sectional drawing along the cross direction which shows the OLED plane film affixed on the said cover glass, and the said sticking roller, (b) is a direction perpendicular
- FIG. (A) is the perspective view which shows the said sticking roller and the said reinforcing roller typically, (b) is the perspective view which drew so that the said sticking roller and the said reinforcing roller may approximate the actual dimension of a cross direction. It is. It is a figure which shows typically the structure of the film sticking apparatus which concerns on another comparative example. It is a perspective view which shows typically the structure of the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 1.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the said film sticking apparatus
- (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 2
- (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 3
- (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 4
- (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 5, (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- (A) is a perspective view which shows the press member provided in the film sticking apparatus which concerns on Embodiment 6, (b) is a front view which shows the said press member and a cover glass.
- FIG. 1A is a perspective view schematically showing a configuration of a film sticking apparatus 95 according to a comparative example
- FIG. 1B is a perspective view showing a film 17 stuck by the film sticking apparatus 95
- FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a cover glass 14 on which a film 17 is attached
- FIG. 1A is a perspective view schematically showing a configuration of a film sticking apparatus 95 according to a comparative example
- FIG. 1B is a perspective view showing a film 17 stuck by the film sticking apparatus 95
- FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a cover glass 14 on which a film 17 is attached
- the film sticking device 95 includes a stage 2 (CG positioning stage) on which a cover glass (CG) 14 is placed.
- the cover glass 14 is formed with curved portions 15 that are curved toward one surface at both ends.
- a film (OLED (Organic Light Emitting Diode) planar film) 17 affixed to the transfer sheet 18 is transported by a transport roller and supplied onto the cover glass 14.
- FIG. 2A is a view showing a relationship between the affixing roller 90 provided in the film affixing device 95 and the cover glass 14, and FIG. 2B is a diagram showing the curved portion 15 of the cover glass 14 and the affixing roller 90.
- (C) is a figure which shows the relationship between the edge part of the curved part 15, and the affixing roller 90.
- 3A is a cross-sectional view along the transverse direction showing the film 17 and the affixing roller 90 that are affixed to the cover glass 14, and
- FIG. 3B is a cross-sectional view between the affixing roller 90 and the reinforcing roller 92. It is sectional drawing along a perpendicular direction.
- FIG. 4A is a perspective view schematically showing the adhering roller 90 and the reinforcing roller 92
- FIG. 4B is an example in which the adhering roller 90 and the reinforcing roller 92 are approximated to actual dimensions in the transverse direction. It is the drawn perspective view.
- the film sticking device 95 includes a sticking roller 90 and a reinforcing roller 92 disposed so as to cross the cover glass 14, and a pair of support members 93 that support the sticking roller 90 and the reinforcing roller 92 on both sides.
- the reinforcing roller 92 is provided to reinforce the rigidity of the sticking roller 90.
- the affixing roller 90 is made of SUS or resin, has a diameter of 5 mm, for example, and has a radius of curvature R1 that is smaller than the radius of curvature R2 of the curved portion 15 of the cover glass 14.
- Affixing rollers 90 arranged so as to cross the cover glass 14 move along one surface of the cover glass 14 while rotating, and press the film 17 from the top of the transfer sheet 18 toward the cover glass 14. As a result, the film 17 is attached to the cover glass 14.
- the affixing roller 90 Since the radius of curvature R1 of the affixing roller 90 is smaller than the radius of curvature R2 of the curved portion 15 of the cover glass 14, the affixing roller 90 is moved along one surface of the cover glass 14 to bring the film 17 into the cover glass 14. By pressing, the film 17 can be satisfactorily adhered to the curved portion 15 as well.
- the area where the affixing roller 90 presses the film 17 against the cover glass 14 needs to be a linear area, not a planar area. For this reason, it is necessary to form a space S for escape between the affixing roller 90 and the cover glass 14 with the cross section of the pressing member being circular or the like as in the affixing roller 90.
- the sticking roller 90 becomes thin.
- the affixing roller 90 When the affixing roller 90 is elongated in this way, the affixing roller 90 moves away from the cover glass 14 due to a reaction force from the film 17 pressed toward the cover glass 14 as shown in FIG. Deflection toward. Therefore, there is a problem that a gap may be generated between the film 17 and the cover glass 14 to generate bubbles.
- FIG. 5 is a diagram schematically showing a configuration of a film sticking apparatus according to another comparative example.
- This film sticking apparatus is provided with a flat squeegee 94 having a circular tip.
- the squeegee 94 is configured to be rotatable around a shaft 94a provided on the base end side.
- the tip of the squeegee 94 presses the film 17 toward the cover glass 14 in a linear region by rotating around the shaft 94a while moving along the track corresponding to the surface of the cover glass 14. .
- FIG. 6 is a perspective view schematically showing the configuration of the film sticking apparatus 1 according to the first embodiment.
- the film sticking apparatus 1 includes a stage (CG positioning stage) 2 on which a cover glass 14 is placed.
- the cover glass 14 is formed with curved portions 15 that are curved on one surface side at both ends.
- the film 17 affixed to the transfer sheet 18 is conveyed by a conveyance roller and supplied onto the cover glass 14.
- the film sticking apparatus 1 is provided with a pressing member 3 arranged so as to cross the cover glass 14 in order to stick a film (OLED flat film) 17 to one surface of the cover glass 14 placed on the stage 2. It is done.
- An EL element is formed on the film 17.
- FIG. 7A is a perspective view showing the pressing member 3 provided in the film sticking apparatus 1, and FIG. 7B is a front view showing the pressing member 3 and the cover glass 14.
- the pressing member 3 has a cylindrical portion 4 (curved surface portion) in which a cross section having a radius of curvature smaller than the radius of curvature of the curved portion 15 is formed in order to press the film 17 against the curved portion 15 of the cover glass 14. Grooves 5 are formed in the circumferential surface of the cylindrical portion 4 along the central axis direction.
- the pressing member 3 further includes a flat plate 6 (a deflection preventing portion) in which a cross section for preventing the cylindrical portion 4 from bending along the transverse direction of the pressing member 3 is formed. The flat plate 6 is inserted into the groove 5 to be fitted. From the viewpoint of more effectively preventing the bending of the cylindrical portion 4, the thickness t ⁇ b> 1 of the flat plate 6 is preferably half or more of the diameter D of the cylindrical portion 4.
- the film sticking device 1 further includes a translation mechanism 16 that translates the cylindrical portion 4 of the pressing member 3 along one surface of the cover glass 14.
- the film sticking apparatus 1 is provided with a control circuit 22 (controller) that controls the translation mechanism 16 so that the cylindrical portion 4 of the pressing member 3 translates along one surface of the cover glass 14.
- the pressing member 3 includes the flat plate 6 in which a cross section having a long dimension is formed along the depth direction of the groove 5 formed along the central axis direction of the cylindrical portion 4. To fit. For this reason, the central portion of the cylindrical portion 4 along the transverse direction of the pressing member 3 is not bent. Therefore, pressure can be applied to the film 17 toward the cover glass 14 via the transfer sheet 18 over the entire surface from one end to the other end of the linear region where the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18. As a result, there is no possibility that a gap is generated between the film 17 and the cover glass 14 to generate bubbles. Thereby, a favorable EL device can be manufactured.
- the parallel movement mechanism 16 slides the surface of the transfer sheet 18 on the side opposite to the cover glass 13 without rotating the cylindrical portion 4 of the pressing member 3 and attaches the film 17 to the cover glass 14. For this reason, unlike the squeegee 94 described above with reference to FIG. 5, a rotating mechanism is unnecessary, and the configuration of the film sticking apparatus is simplified.
- the EL element may be an OLED (organic light emitting diode), an inorganic light emitting diode, or a quantum dot light emitting diode. The same applies to the embodiments described later.
- FIG. 8A is a perspective view showing a pressing member 3A provided in the film sticking apparatus according to the second embodiment
- FIG. 8B is a front view showing the pressing member 3A and the cover glass 14.
- the pressing member 3A has a plate portion 19A (a deflection preventing portion).
- the plate portion 19 ⁇ / b> A is provided with the flat plate 6 and a pair of reinforcing plates 7 (deflection preventing portions) provided on both surfaces of the flat plate 6 in order to reinforce the rigidity of the flat plate 6.
- the thickness t ⁇ b> 1 of the flat plate 6 is preferably one half or more of the diameter D of the cylindrical portion 4.
- the dimension t2 obtained by adding the total thickness of the pair of reinforcing plates 7 of the plate portion 19A and the thickness t1 of the flat plate 6 is four times the thickness t1 of the flat plate 6. The above is preferable.
- the pair of reinforcing plates 7 provided on both surfaces of the flat plate 6 prevents the flat plate 6 from warping.
- the effect of the first embodiment is that pressure can be applied to the film 17 over the entire surface from one end to the other end of the linear region where the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18.
- the shape of the linear region where the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18 becomes closer to a straight line. Therefore, the shape of the region in which pressure is applied from the cylindrical portion 4 to the film 17 can be made closer to a straight line.
- FIG. 9A is a perspective view showing the pressing member 3B provided in the film sticking apparatus according to the third embodiment
- FIG. 9B is a front view showing the pressing member 3B and the cover glass 14.
- the pressing member 3B has a plate portion 19B (a deflection preventing portion).
- the plate portion 19B includes an insertion portion 9 (a deflection preventing portion) inserted into the groove 5 of the cylindrical portion 4, and a rigid portion 10 formed thicker than the insertion portion 9 in order to reinforce the rigidity of the insertion portion 9. (A deflection preventing portion) is formed.
- the thickness t ⁇ b> 1 of the insertion portion 9 is preferably equal to or more than half of the diameter D of the cylindrical portion 4.
- the thickness t ⁇ b> 2 of the rigid portion 10 is preferably four times or more the thickness t ⁇ b> 1 of the insertion portion 9.
- the central portion of the cylindrical portion 4 is not bent similarly to the first and second embodiments. Can apply pressure to the film 17 over the entire surface from one end to the other end of the linear region in contact with the transfer sheet 18. Further, as in the second embodiment, the shape of the linear region in which the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18 becomes more straight.
- FIG. 10A is a perspective view showing the pressing member 3C provided in the film sticking apparatus according to the fourth embodiment
- FIG. 10B is a front view showing the pressing member 3C and the cover glass 14.
- the pressing member 3C has a cylindrical portion 4C and a rigid portion 10C.
- the cylindrical portion 4C and the rigid portion 10C are integrally formed.
- the cylindrical portion 4C corresponds to the cylindrical portion 4 of the third embodiment
- the rigid portion 10C corresponds to the plate portion 19B of the third embodiment.
- the thickness t1 of the lower portion of the rigid portion 10C is preferably half or more of the diameter D of the cylindrical portion 4C.
- the thickness t2 of the upper portion of the rigid portion 10C is preferably not less than four times the thickness t1 of the lower portion of the rigid portion 10C.
- the central portion of the cylindrical portion 4 is not bent as in the first to third embodiments, and the line where the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18 is eliminated.
- a pressure can be applied to the film 17 over the entire surface from one end to the other end of the shaped region. Further, as in the second and third embodiments, the shape of the linear region in which the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18 becomes more straight.
- FIG. 11A is a perspective view showing a pressing member 3D provided in the film sticking apparatus according to the fifth embodiment
- FIG. 11B is a front view showing the pressing member 3D and the cover glass 14.
- the pressing member 3D includes a semicircular portion 8 (curved surface portion) having a central axis along the cutting direction of the pressing member 3D and a semicircular cross section, and a plate portion 11 (flexure) formed integrally with the semicircular portion 8. Prevention part).
- a relief groove 12 is formed between the semicircular portion 8 and the plate portion 11. From the viewpoint of more effectively preventing the bending of the semicircular portion 8, the thickness t ⁇ b> 1 of the portion where the relief groove 12 is formed is preferably one half or more of the diameter D of the semicircular portion 8. From the viewpoint of more effectively preventing warping at the location where the escape groove 12 is formed, the thickness t2 of the plate portion 11 is preferably at least twice the thickness t1 of the location where the escape groove 12 is formed.
- the central portion of the semicircular portion 8 is not bent similarly to the first to fourth embodiments. Pressure can be applied to the film 17 over the entire surface from one end to the other end of the linear region where the portion 8 contacts the transfer sheet 18. Further, as in the second to fourth embodiments, the shape of the linear region where the semicircular portion 8 contacts the transfer sheet 18 becomes more straight.
- the region where the semicircular portion 8 presses the film 17 against the curved portion 15 of the cover glass 14 is not a planar region but a linear region. Can be an area.
- FIG. 12A is a perspective view showing the pressing member 3E provided in the film sticking apparatus according to the sixth embodiment
- FIG. 12B is a front view showing the pressing member 3E and the cover glass 14.
- the pressing member 3E has a plate portion 19E (a deflection preventing portion) similar to the configuration shown in FIG.
- the plate portion 19E is provided with the flat plate 6 and a pair of reinforcing plates 7E provided on both surfaces of the flat plate 6 in order to reinforce the rigidity of the flat plate 6.
- the thickness t ⁇ b> 1 of the flat plate 6 is preferably one half or more of the diameter D of the cylindrical portion 4.
- the dimension t2 obtained by adding the total thickness of the pair of reinforcing plates 7E of the plate portion 19E and the thickness t1 of the flat plate 6 is four times the thickness t1 of the flat plate 6. The above is preferable.
- the central portion of the cylindrical portion 4 is not bent similarly to the first to fifth embodiments, and the cylindrical portion 4 becomes the transfer sheet 18.
- a pressure can be applied to the film 17 over the entire surface from one end to the other end of the linear region in contact with the film.
- the reinforcing plates 7E are provided on both surfaces of the flat plate 6 to prevent the flat plate 6 from warping, and the warp of the flat plate 6 is corrected by the push screw 20 and the pulling screw 21, so that the cylindrical portion 4 contacts the transfer sheet 18.
- the shape of the linear region becomes closer to straight.
- the film sticking apparatus attaches a film to a stage on which a cover glass having curved portions that are curved on one side is formed at both ends, and one surface of the cover glass placed on the stage. And a pressing member arranged to cross the cover glass, the pressing member having a radius of curvature smaller than the radius of curvature of the curved portion in order to press the film against the curved portion of the cover glass.
- a curved surface portion having a cross section for preventing the curved surface portion from bending along the transverse direction of the pressing member.
- it further includes a translation mechanism that translates the curved surface portion along one surface of the cover glass.
- the curved surface portion includes a cylindrical portion having a central axis along the transverse direction, a groove is formed along the transverse direction on a circumferential surface of the cylindrical portion, and the bending prevention portion is the groove. Including a plate portion to be fitted.
- the plate portion includes a flat plate inserted into the groove and a pair of reinforcing plates provided on both sides of the flat plate to reinforce the rigidity of the flat plate.
- the plate part includes an insertion part inserted into the groove and a rigid part formed thicker than the thickness of the insertion part in order to reinforce the rigidity of the insertion part.
- the cylindrical portion and the plate portion are integrally formed.
- the curved surface portion includes a semicircular portion having a central axis along the transverse direction and having a semicircular cross section, and the deflection preventing portion is formed integrally with the semicircular portion.
- An escape groove is formed between the semicircular portion and the plate portion.
- a warp correction member for correcting a warp along the transverse direction of the flat plate is provided on the reinforcing plate.
- an EL element is formed on the film.
- the EL device manufacturing apparatus includes a stage on which a cover glass having curved portions that are curved on one surface side is placed on both ends, and a film on one surface of the cover glass placed on the stage.
- a pressing member arranged to cross the cover glass for pasting, an EL element is formed on the film, and the pressing member presses the film against the curved portion of the cover glass.
- a curved portion having a smaller radius of curvature than the radius of curvature of the curved portion; and a deflection preventing portion having a cross section for preventing the curved portion from bending along the transverse direction of the pressing member.
- the EL device manufacturing method includes a placing step of placing a cover glass having curved portions that are curved on one surface side on both ends on a stage, and a pressure arranged so as to cross the cover glass. And an attaching step of attaching a film to one surface of the cover glass placed on the stage by the member, an EL element is formed on the film, and the pressing member attaches the film to the cover glass.
- the supplying step of supplying the film attached to the transfer sheet to the one surface of the cover glass, and the attaching step to the one surface of the cover glass A translating step of translating the curved surface portion so that the curved surface portion slides on the surface of the transfer sheet opposite to the cover glass.
- a controller of aspect 13 is a controller that controls the EL device manufacturing apparatus according to aspect 10, wherein the EL device manufacturing apparatus translates the curved surface portion along one surface of the cover glass.
- a moving mechanism is further provided, and a control circuit is provided that controls the parallel moving mechanism so that the curved surface portion moves in parallel along one surface of the cover glass.
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Abstract
フィルム貼付装置(1)は、湾曲部(15)が両端に形成されたカバーガラス(14)を載置するステージ(2)と、カバーガラス(14)を横断するように配置される押圧部材(3)とを備え、押圧部材(3)が、湾曲部(15)の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部(4)と、曲面部(4)の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部(6)とを有する。
Description
本発明は、EL(electroluminescence)素子を含むELデバイス等のフィルムをカバーガラスに貼り付けるフィルム貼付装置、ELデバイスの製造装置、ELデバイスの製造方法、及びコントローラに関する。
曲面状の積層型表示パネルを製造するために、第1表示サブパネルに対して第2表示パネルを貼り付けるにあたり、第1表示サブパネルに対向する側が凸面になるように撓ませた状態で第2表示パネルを保持しながら、その一端から他端に向かって押圧ローラにより押圧する構成が知られている(特許文献1)。
昨今、例えばフレキシブルなELデバイスが形成された表示パネルのように、両端が湾曲する表示パネルに対する要望が高まっている。このような表示パネルでは、ELデバイスが形成されたフィルムを両端が湾曲するカバーガラスに貼り付ける必要が生じる。このため、フィルムをカバーガラスに押圧する押圧ローラがカバーガラスを横断するように配置される。この場合、カバーガラスの湾曲する両端にフィルムを良好に貼り付けるために、この押圧ローラの曲率半径は、カバーガラスの湾曲する両端の曲率半径よりも小さくする必要が生じる。
しかしながら、押圧ローラの曲率半径が小さくなると、カバーガラスを横断するように配置される押圧ローラが細くなる。このため、カバーガラスに向かって押圧されるフィルムからの反力により、押圧ローラがカバーガラスから遠ざかる方向に撓む。従って、フィルムとカバーガラスとの間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがある。
本発明の一態様に係るフィルム貼付装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とする。
本発明の一態様によれば、両端が湾曲するカバーガラスにフィルムを良好に貼り付けることができる。
(実施形態の前提)
まず、実施形態の前提を説明する。
まず、実施形態の前提を説明する。
図1(a)は比較例に係るフィルム貼付装置95の構成を模式的に示す斜視図であり、(b)はフィルム貼付装置95により貼り付けられるフィルム17を示す斜視図であり、(c)はフィルム17が貼り付けられたカバーガラス14を示す斜視図であり、(d)はカバーガラス14を示す斜視図である。
フィルム貼付装置95は、カバーガラス(CG)14が載置されるステージ2(CG位置決めステージ)を備える。カバーガラス14には一方の面側に湾曲する湾曲部15が両端に形成される。転写シート18に貼り付けられたフィルム(OLED(Organic Light Emitting Diode、有機発光ダイオード)平面フィルム)17が搬送ローラにより搬送されてカバーガラス14上に供給される。
図2(a)はフィルム貼付装置95に設けられた貼り付けローラ90とカバーガラス14との間の関係を示す図であり、(b)はカバーガラス14の湾曲部15と貼り付けローラ90との間の関係を示す図であり、(c)は湾曲部15の端部と貼り付けローラ90との間の関係を示す図である。図3(a)はカバーガラス14に貼り付けられるフィルム17と貼り付けローラ90とを示す横断方向に沿った断面図であり、(b)は貼り付けローラ90と補強ローラ92との横断方向に垂直な方向に沿った断面図である。図4(a)は貼り付けローラ90と補強ローラ92とを模式的に示す斜視図であり、(b)は貼り付けローラ90と補強ローラ92とを横断方向の実際の寸法に近似するように描いた斜視図である。
フィルム貼付装置95は、カバーガラス14を横断するように配置された貼り付けローラ90及び補強ローラ92と、貼り付けローラ90及び補強ローラ92を両側で支持する一対の支持部材93とを備える。補強ローラ92は貼り付けローラ90の剛性を補強するために設けられる。貼り付けローラ90は、SUS又は樹脂により構成され、例えば直径5mmであり、カバーガラス14の湾曲部15の曲率半径R2よりも小さい曲率半径R1を有する。
カバーガラス14を横断するように配置された貼り付けローラ90が、回転しながらカバーガラス14の一方の面に沿って移動して転写シート18の上からフィルム17をカバーガラス14に向かって押圧することにより、フィルム17がカバーガラス14に貼り付けられる。
貼り付けローラ90の曲率半径R1がカバーガラス14の湾曲部15の曲率半径R2よりも小さいため、カバーガラス14の一方の面に沿って貼り付けローラ90を移動させてフィルム17をカバーガラス14に押圧することにより、湾曲部15にも良好にフィルム17を貼り付けることができる。
貼り付けローラ90がフィルム17をカバーガラス14に対して押圧する領域は、面状の領域ではなく、線状の領域である必要がある。このため、貼り付けローラ90のように押圧部材の断面を円形等にして貼り付けローラ90とカバーガラス14との間に逃しのための空間Sが形成される必要がある。
しかしながら、フィルム17及びカバーガラス14の横断方向のサイズが大きくなると、貼り付けローラ90も、例えば500mm程度以上に長くする必要が生じる。そして、カバーガラス14の湾曲部15の曲げサイズ(曲率半径R2)が小さいと、貼り付けローラ90の曲率半径R1も小さくする必要がある。この結果、貼り付けローラ90が細くなる。
このように貼り付けローラ90が細長くなると、カバーガラス14に向かって押圧されるフィルム17からの反力により、図3(a)に示すように、貼り付けローラ90がカバーガラス14から遠ざかる方向に向かって撓む。従って、フィルム17とカバーガラス14との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがあるという問題がある。
図5は、他の比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す図である。このフィルム貼付装置には、先端が円形状に形成された平板状のスキージ94が設けられる。このスキージ94は、基端側に設けられた軸94aの周りに回動可能に構成される。カバーガラス14の表面に対応する軌道に沿ってスキージ94が移動しながら軸94aの周りに回動することにより、フィルム17をカバーガラス14に向かって線状の領域でスキージ94の先端が押圧する。
しかしながら、カバーガラス14にフィルム17を線状の領域で押圧する回動機構を有するスキージ94を移動させる軌道の設定が複雑になるという問題がある。
(実施形態1)
図6は実施形態1に係るフィルム貼付装置1の構成を模式的に示す斜視図である。フィルム貼付装置1は、カバーガラス14を載置するステージ(CG位置決めステージ)2を備える。カバーガラス14には、一方の面側に湾曲する湾曲部15が両端に形成される。転写シート18に貼り付けられたフィルム17が搬送ローラにより搬送されてカバーガラス14上に供給される。フィルム貼付装置1には、ステージ2に載置されたカバーガラス14の一方の面にフィルム(OLED平面フィルム)17を貼り付けるためにカバーガラス14を横断するように配置される押圧部材3が設けられる。フィルム17にはEL素子が形成される。
図6は実施形態1に係るフィルム貼付装置1の構成を模式的に示す斜視図である。フィルム貼付装置1は、カバーガラス14を載置するステージ(CG位置決めステージ)2を備える。カバーガラス14には、一方の面側に湾曲する湾曲部15が両端に形成される。転写シート18に貼り付けられたフィルム17が搬送ローラにより搬送されてカバーガラス14上に供給される。フィルム貼付装置1には、ステージ2に載置されたカバーガラス14の一方の面にフィルム(OLED平面フィルム)17を貼り付けるためにカバーガラス14を横断するように配置される押圧部材3が設けられる。フィルム17にはEL素子が形成される。
図7(a)はフィルム貼付装置1に設けられた押圧部材3を示す斜視図であり、(b)は押圧部材3とカバーガラス14とを示す正面図である。押圧部材3は、フィルム17をカバーガラス14の湾曲部15に押圧するために湾曲部15の曲率半径よりも小さい曲率半径の断面が形成された円柱部4(曲面部)を有する。この円柱部4の周面に溝5が中心軸方向に沿って形成される。押圧部材3は、押圧部材3の横断方向に沿った円柱部4の撓みを防止するための断面が形成された平板6(撓み防止部)をさらに有する。平板6は溝5に挿入されて嵌合する。円柱部4の上記撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板6の厚みt1は円柱部4の直径Dの2分の1以上であることが好ましい。
フィルム貼付装置1は、押圧部材3の円柱部4をカバーガラス14の一方の面に沿って平行移動させる平行移動機構16をさらに備える。フィルム貼付装置1には、押圧部材3の円柱部4がカバーガラス14の一方の面に沿って平行移動するように平行移動機構16を制御する制御回路22(コントローラ)が設けられる。
このように、実施形態1に係る押圧部材3には、円柱部4の中心軸方向に沿って形成された溝5の深さ方向に沿って寸法の長い断面が形成された平板6が溝5に嵌合する。このため、押圧部材3の横断方向に沿った円柱部4の中央部にも撓みが無くなる。従って、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡って転写シート18を介してカバーガラス14に向けってフィルム17に圧力をかけることができる。この結果、フィルム17とカバーガラス14との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれが無くなる。これにより、良好なELデバイスを製造することができる。
また、平行移動機構16は、押圧部材3の円柱部4を回転させずに転写シート18のカバーガラス13と反対側の面上を滑らせてフィルム17をカバーガラス14に貼り付ける。このため、図5で前述したスキージ94のように回転機構が不要であり、フィルム貼付装置の構成が簡素になる。
フィルム17にはEL素子が形成されることが好ましい。このEL素子は、OLED(有機発光ダイオード)であってもよいし、無機発光ダイオードあるいは量子ドット発光ダイオードであってもよい。後述する実施形態も同様である。
(実施形態2)
図8(a)は実施形態2に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Aを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Aとカバーガラス14とを示す正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。後述する実施形態も同様である。
図8(a)は実施形態2に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Aを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Aとカバーガラス14とを示す正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。後述する実施形態も同様である。
押圧部材3Aは板部19A(撓み防止部)を有する。板部19Aには、平板6と、平板6の剛性を補強するために平板6の両面に設けられる一対の補強板7(撓み防止部)とが設けられる。円柱部4の撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板6の厚みt1は円柱部4の直径Dの2分の1以上であることが好ましい。平板6のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部19Aの一対の補強板7の厚みの合計と平板6の厚みt1とを加算した寸法t2は、平板6の厚みt1の4倍以上であることが好ましい。
このように平板6の両面に設けられた一対の補強板7により、平板6のソリが防止される。このため、実施形態2によれば、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム17に圧力をかけることができるという実施形態1の効果に加えて、平板6のソリが防止されるので、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の形状がより直線に近くなるという効果を奏する。従って、円柱部4からフィルム17に圧力を作用させる領域の形状をより直線に近くすることができる。
(実施形態3)
図9(a)は実施形態3に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Bを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Bとカバーガラス14とを示す正面図である。
図9(a)は実施形態3に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Bを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Bとカバーガラス14とを示す正面図である。
押圧部材3Bは板部19B(撓み防止部)を有する。板部19Bには、円柱部4の溝5に挿入される挿入部9(撓み防止部)と、挿入部9の剛性を補強するために挿入部9の厚みよりも厚く形成された剛性部10(撓み防止部)とが形成される。円柱部4の撓みをより一層効果的に防止する観点から、挿入部9の厚みt1は円柱部4の直径Dの2分の1以上であることが好ましい。挿入部9のソリをより一層効果的に防止する観点から、剛性部10の厚みt2は、挿入部9の厚みt1の4倍以上であることが好ましい。
このように円柱部4に溝5を形成して剛性形状の板部19Bを溝5に挿入するので、実施形態1及び2と同様に円柱部4の中央部にも撓みが無くなり、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム17に圧力をかけることができる。また、実施形態2と同様に円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。
(実施形態4)
図10(a)は実施形態4に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Cを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Cとカバーガラス14とを示す正面図である。
図10(a)は実施形態4に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Cを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Cとカバーガラス14とを示す正面図である。
押圧部材3Cは円柱部4Cと剛性部10Cとを有する。円柱部4Cと剛性部10Cとは一体に形成される。円柱部4Cは実施形態3の円柱部4に対応し、剛性部10Cは実施形態3の板部19Bに対応する。円柱部4Cの撓みをより一層効果的に防止する観点から、剛性部10Cの下部の厚みt1は円柱部4Cの直径Dの2分の1以上であることが好ましい。剛性部10Cの下部のソリをより一層効果的に防止する観点から、剛性部10Cの上部の厚みt2は、剛性部10Cの下部の厚みt1の4倍以上であることが好ましい。
このように円柱部4Cと剛性部10Cとが一体に形成されるので、実施形態1から3と同様に円柱部4の中央部にも撓みが無くなり、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム17に圧力をかけることができる。また、実施形態2及び3と同様に円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。
(実施形態5)
図11(a)は実施形態5に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Dを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Dとカバーガラス14とを示す正面図である。
図11(a)は実施形態5に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Dを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Dとカバーガラス14とを示す正面図である。
押圧部材3Dは、押圧部材3Dの断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部8(曲面部)と、半円部8と一体に形成される板部11(撓み防止部)とを有する。そして、半円部8と板部11との間に逃し溝12が形成される。半円部8の撓みをより一層効果的に防止する観点から、逃し溝12が形成される箇所の厚みt1は半円部8の直径Dの2分の1以上であることが好ましい。逃し溝12が形成される箇所のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部11の厚みt2は、逃し溝12が形成される箇所の厚みt1の2倍以上であることが好ましい。
このように先端に半円状の半円部8を形成して基端に板部11を設けるので、実施形態1から4と同様に半円部8の中央部にも撓みが無くなり、半円部8が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム17に圧力をかけることができる。また、実施形態2から4と同様に半円部8が転写シート18に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。
また、板部11の両面に逃し溝12が形成されるので、半円部8がフィルム17をカバーガラス14の湾曲部15に対して押圧する領域を、面状の領域ではなく、線状の領域とすることができる。
(実施形態6)
図12(a)は実施形態6に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Eを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Eとカバーガラス14とを示す正面図である。
図12(a)は実施形態6に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材3Eを示す斜視図であり、(b)は押圧部材3Eとカバーガラス14とを示す正面図である。
押圧部材3Eは、図8に示す構成と同様の板部19E(撓み防止部)を有する。板部19Eには、平板6と、平板6の剛性を補強するために平板6の両面に設けられる一対の補強板7Eとが設けられる。そして、平板6の前記横断方向に沿った反りを矯正するための押しネジ20(反り矯正部材)及び引きネジ21(反り矯正部材)が補強板7Eに設けられる。円柱部4の撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板6の厚みt1は円柱部4の直径Dの2分の1以上であることが好ましい。平板6のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部19Eの一対の補強板7Eの厚みの合計と平板6の厚みt1とを加算した寸法t2は、平板6の厚みt1の4倍以上であることが好ましい。
このように円柱部4に溝5を形成して平板6を溝5に挿入するので、実施形態1から5と同様に円柱部4の中央部にも撓みが無くなり、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム17に圧力をかけることができる。
また、平板6の両面に補強板7Eを設けて平板6の反りを防止し、且つ、押しネジ20及び引きネジ21により平板6の反りを矯正するので、円柱部4が転写シート18に接触する線状領域の形状がより一層真っ直ぐに近くなる。
〔まとめ〕
態様1のフィルム貼付装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。
態様1のフィルム貼付装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。
態様2では、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備える。
態様3では、前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有する円柱部を含み、前記円柱部の周面に前記横断方向に沿って溝が形成され、前記撓み防止部が、前記溝に嵌合する板部を含む。
態様4では、前記板部が、前記溝に挿入される平板と、前記平板の剛性を補強するために前記平板の両面に設けられる一対の補強板とを含む。
態様5では、前記板部が、前記溝に挿入される挿入部と、前記挿入部の剛性を補強するために前記挿入部の厚みよりも厚く形成された剛性部とを含む。
態様6では、前記円柱部と前記板部とが一体に形成される。
態様7では、前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部を含み、前記撓み防止部が、前記半円部と一体に形成される板部を含み、前記半円部と前記板部との間に逃し溝が形成される。
態様8では、前記平板の前記横断方向に沿った反りを矯正するための反り矯正部材が前記補強板に設けられる。
態様9では、前記フィルムに、EL素子が形成される。
態様10のELデバイスの製造装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記フィルムに、EL素子が形成され、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。
態様11のELデバイスの製造方法は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材により、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付ける貼り付け工程とを包含し、前記フィルムに、EL素子が形成され、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。
態様12では、前記貼り付け工程が、転写シートに貼り付けられた前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に供給する供給工程と、前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に貼り付けるために、前記転写シートの前記カバーガラスと反対側の面を前記曲面部が滑るように前記曲面部を平行移動させる平行移動工程とを含む。
態様13のコントローラは、態様10に記載のELデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、前記ELデバイスの製造装置が、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備え、前記曲面部が前記カバーガラスの一方の面に沿って平行移動するように前記平行移動機構を制御する制御回路を備える。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
1 フィルム貼付装置
2 ステージ(CG位置決めステージ)
3 押圧部材
4 円柱部(曲面部)
5 溝
6 平板(撓み防止部)
7 補強板(撓み防止部)
8 半円部(曲面部)
9 挿入部(撓み防止部)
10 剛性部(撓み防止部)
11 板部(撓み防止部)
12 逃し溝
16 平行移動機構
17 フィルム
19A、19B、19E 板部(撓み防止部)
20 押しネジ(反り矯正部材)
21 引きネジ(反り矯正部材)
22 制御回路
2 ステージ(CG位置決めステージ)
3 押圧部材
4 円柱部(曲面部)
5 溝
6 平板(撓み防止部)
7 補強板(撓み防止部)
8 半円部(曲面部)
9 挿入部(撓み防止部)
10 剛性部(撓み防止部)
11 板部(撓み防止部)
12 逃し溝
16 平行移動機構
17 フィルム
19A、19B、19E 板部(撓み防止部)
20 押しネジ(反り矯正部材)
21 引きネジ(反り矯正部材)
22 制御回路
Claims (13)
- 一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、
前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、
前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするフィルム貼付装置。 - 前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備える請求項1に記載のフィルム貼付装置。
- 前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有する円柱部を含み、
前記円柱部の周面に前記横断方向に沿って溝が形成され、
前記撓み防止部が、前記溝に嵌合する板部を含む請求項1に記載のフィルム貼付装置。 - 前記板部が、前記溝に挿入される平板と、
前記平板の剛性を補強するために前記平板の両面に設けられる一対の補強板とを含む請求項3に記載のフィルム貼付装置。 - 前記板部が、前記溝に挿入される挿入部と、
前記挿入部の剛性を補強するために前記挿入部の厚みよりも厚く形成された剛性部とを含む請求項3に記載のフィルム貼付装置。 - 前記円柱部と前記板部とが一体に形成される請求項3に記載のフィルム貼付装置。
- 前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部を含み、
前記撓み防止部が、前記半円部と一体に形成される板部を含み、
前記半円部と前記板部との間に逃し溝が形成される請求項1に記載のフィルム貼付装置。 - 前記平板の前記横断方向に沿った反りを矯正するための反り矯正部材が前記補強板に設けられる請求項4に記載のフィルム貼付装置。
- 前記フィルムに、EL素子が形成される請求項1に記載のフィルム貼付装置。
- 一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、
前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、
前記フィルムに、EL素子が形成され、
前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするELデバイスの製造装置。 - 一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、
前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材により、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付ける貼り付け工程とを包含し、
前記フィルムに、EL素子が形成され、
前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするELデバイスの製造方法。 - 前記貼り付け工程が、転写シートに貼り付けられた前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に供給する供給工程と、
前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に貼り付けるために、前記転写シートの前記カバーガラスと反対側の面を前記曲面部が滑るように前記曲面部を平行移動させる平行移動工程とを含む請求項11に記載のELデバイスの製造方法。 - 請求項10に記載のELデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、
前記ELデバイスの製造装置が、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備え、
前記曲面部が前記カバーガラスの一方の面に沿って平行移動するように前記平行移動機構を制御する制御回路を備えることを特徴とするコントローラ。
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- 2017-03-16 US US15/761,445 patent/US20190358945A1/en not_active Abandoned
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