WO2018167906A1

WO2018167906A1 - フィルム貼付装置、ｅｌデバイスの製造装置、ｅｌデバイスの製造方法、及びコントローラ

Info

Publication number: WO2018167906A1
Application number: PCT/JP2017/010636
Authority: WO
Inventors: 忠司西岡
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2017-03-16
Filing date: 2017-03-16
Publication date: 2018-09-20
Also published as: US20190358945A1

Abstract

フィルム貼付装置（１）は、湾曲部（１５）が両端に形成されたカバーガラス（１４）を載置するステージ（２）と、カバーガラス（１４）を横断するように配置される押圧部材（３）とを備え、押圧部材（３）が、湾曲部（１５）の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部（４）と、曲面部（４）の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部（６）とを有する。

Description

フィルム貼付装置、ＥＬデバイスの製造装置、ＥＬデバイスの製造方法、及びコントローラ

　本発明は、ＥＬ（electroluminescence）素子を含むＥＬデバイス等のフィルムをカバーガラスに貼り付けるフィルム貼付装置、ＥＬデバイスの製造装置、ＥＬデバイスの製造方法、及びコントローラに関する。

　曲面状の積層型表示パネルを製造するために、第１表示サブパネルに対して第２表示パネルを貼り付けるにあたり、第１表示サブパネルに対向する側が凸面になるように撓ませた状態で第２表示パネルを保持しながら、その一端から他端に向かって押圧ローラにより押圧する構成が知られている（特許文献１）。

日本国公開特許公報「特開2002-341323号公報（2002年11月27日公開）」

　昨今、例えばフレキシブルなＥＬデバイスが形成された表示パネルのように、両端が湾曲する表示パネルに対する要望が高まっている。このような表示パネルでは、ＥＬデバイスが形成されたフィルムを両端が湾曲するカバーガラスに貼り付ける必要が生じる。このため、フィルムをカバーガラスに押圧する押圧ローラがカバーガラスを横断するように配置される。この場合、カバーガラスの湾曲する両端にフィルムを良好に貼り付けるために、この押圧ローラの曲率半径は、カバーガラスの湾曲する両端の曲率半径よりも小さくする必要が生じる。

　しかしながら、押圧ローラの曲率半径が小さくなると、カバーガラスを横断するように配置される押圧ローラが細くなる。このため、カバーガラスに向かって押圧されるフィルムからの反力により、押圧ローラがカバーガラスから遠ざかる方向に撓む。従って、フィルムとカバーガラスとの間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがある。

　本発明の一態様に係るフィルム貼付装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とする。

　本発明の一態様によれば、両端が湾曲するカバーガラスにフィルムを良好に貼り付けることができる。

（ａ）は比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は上記フィルム貼付装置により貼り付けられるフィルムを示す斜視図であり、（ｃ）は上記フィルムが貼り付けられたカバーガラスを示す斜視図であり、（ｄ）は上記カバーガラスを示す斜視図である。（ａ）は上記フィルム貼付装置に設けられた貼付ローラとカバーガラスとの間の関係を示す図であり、（ｂ）は上記カバーガラスの湾曲部と上記貼付ローラとの間の関係を示す図であり、（ｃ）は上記湾曲部の端部と上記貼付ローラとの間の関係を示す図である。（ａ）は上記カバーガラスに貼り付けられるＯＬＥＤ平面フィルムと上記貼付ローラとを示す横断方向に沿った断面図であり、（ｂ）は上記貼付ローラと補強ローラとの上記横断方向に垂直な方向に沿った断面図である。（ａ）は上記貼付ローラと上記補強ローラとを模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は上記貼付ローラと上記補強ローラとを横断方向の実際の寸法に近似するように描いた斜視図である。他の比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す図である。実施形態１に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す斜視図である。（ａ）は上記フィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。（ａ）は実施形態２に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。（ａ）は実施形態３に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。（ａ）は実施形態４に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。（ａ）は実施形態５に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。（ａ）は実施形態６に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材を示す斜視図であり、（ｂ）は上記押圧部材とカバーガラスとを示す正面図である。

　（実施形態の前提）
　まず、実施形態の前提を説明する。

　図１（ａ）は比較例に係るフィルム貼付装置９５の構成を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）はフィルム貼付装置９５により貼り付けられるフィルム１７を示す斜視図であり、（ｃ）はフィルム１７が貼り付けられたカバーガラス１４を示す斜視図であり、（ｄ）はカバーガラス１４を示す斜視図である。

　フィルム貼付装置９５は、カバーガラス（ＣＧ）１４が載置されるステージ２（ＣＧ位置決めステージ）を備える。カバーガラス１４には一方の面側に湾曲する湾曲部１５が両端に形成される。転写シート１８に貼り付けられたフィルム（ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode、有機発光ダイオード）平面フィルム）１７が搬送ローラにより搬送されてカバーガラス１４上に供給される。

　図２（ａ）はフィルム貼付装置９５に設けられた貼り付けローラ９０とカバーガラス１４との間の関係を示す図であり、（ｂ）はカバーガラス１４の湾曲部１５と貼り付けローラ９０との間の関係を示す図であり、（ｃ）は湾曲部１５の端部と貼り付けローラ９０との間の関係を示す図である。図３（ａ）はカバーガラス１４に貼り付けられるフィルム１７と貼り付けローラ９０とを示す横断方向に沿った断面図であり、（ｂ）は貼り付けローラ９０と補強ローラ９２との横断方向に垂直な方向に沿った断面図である。図４（ａ）は貼り付けローラ９０と補強ローラ９２とを模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は貼り付けローラ９０と補強ローラ９２とを横断方向の実際の寸法に近似するように描いた斜視図である。

　フィルム貼付装置９５は、カバーガラス１４を横断するように配置された貼り付けローラ９０及び補強ローラ９２と、貼り付けローラ９０及び補強ローラ９２を両側で支持する一対の支持部材９３とを備える。補強ローラ９２は貼り付けローラ９０の剛性を補強するために設けられる。貼り付けローラ９０は、ＳＵＳ又は樹脂により構成され、例えば直径５ｍｍであり、カバーガラス１４の湾曲部１５の曲率半径Ｒ２よりも小さい曲率半径Ｒ１を有する。

　カバーガラス１４を横断するように配置された貼り付けローラ９０が、回転しながらカバーガラス１４の一方の面に沿って移動して転写シート１８の上からフィルム１７をカバーガラス１４に向かって押圧することにより、フィルム１７がカバーガラス１４に貼り付けられる。

　貼り付けローラ９０の曲率半径Ｒ１がカバーガラス１４の湾曲部１５の曲率半径Ｒ２よりも小さいため、カバーガラス１４の一方の面に沿って貼り付けローラ９０を移動させてフィルム１７をカバーガラス１４に押圧することにより、湾曲部１５にも良好にフィルム１７を貼り付けることができる。

　貼り付けローラ９０がフィルム１７をカバーガラス１４に対して押圧する領域は、面状の領域ではなく、線状の領域である必要がある。このため、貼り付けローラ９０のように押圧部材の断面を円形等にして貼り付けローラ９０とカバーガラス１４との間に逃しのための空間Ｓが形成される必要がある。

　しかしながら、フィルム１７及びカバーガラス１４の横断方向のサイズが大きくなると、貼り付けローラ９０も、例えば５００ｍｍ程度以上に長くする必要が生じる。そして、カバーガラス１４の湾曲部１５の曲げサイズ（曲率半径Ｒ２）が小さいと、貼り付けローラ９０の曲率半径Ｒ１も小さくする必要がある。この結果、貼り付けローラ９０が細くなる。

　このように貼り付けローラ９０が細長くなると、カバーガラス１４に向かって押圧されるフィルム１７からの反力により、図３（ａ）に示すように、貼り付けローラ９０がカバーガラス１４から遠ざかる方向に向かって撓む。従って、フィルム１７とカバーガラス１４との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがあるという問題がある。

　図５は、他の比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す図である。このフィルム貼付装置には、先端が円形状に形成された平板状のスキージ９４が設けられる。このスキージ９４は、基端側に設けられた軸９４ａの周りに回動可能に構成される。カバーガラス１４の表面に対応する軌道に沿ってスキージ９４が移動しながら軸９４ａの周りに回動することにより、フィルム１７をカバーガラス１４に向かって線状の領域でスキージ９４の先端が押圧する。

　しかしながら、カバーガラス１４にフィルム１７を線状の領域で押圧する回動機構を有するスキージ９４を移動させる軌道の設定が複雑になるという問題がある。

　（実施形態１）
　図６は実施形態１に係るフィルム貼付装置１の構成を模式的に示す斜視図である。フィルム貼付装置１は、カバーガラス１４を載置するステージ（ＣＧ位置決めステージ）２を備える。カバーガラス１４には、一方の面側に湾曲する湾曲部１５が両端に形成される。転写シート１８に貼り付けられたフィルム１７が搬送ローラにより搬送されてカバーガラス１４上に供給される。フィルム貼付装置１には、ステージ２に載置されたカバーガラス１４の一方の面にフィルム（ＯＬＥＤ平面フィルム）１７を貼り付けるためにカバーガラス１４を横断するように配置される押圧部材３が設けられる。フィルム１７にはＥＬ素子が形成される。

　図７（ａ）はフィルム貼付装置１に設けられた押圧部材３を示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３とカバーガラス１４とを示す正面図である。押圧部材３は、フィルム１７をカバーガラス１４の湾曲部１５に押圧するために湾曲部１５の曲率半径よりも小さい曲率半径の断面が形成された円柱部４（曲面部）を有する。この円柱部４の周面に溝５が中心軸方向に沿って形成される。押圧部材３は、押圧部材３の横断方向に沿った円柱部４の撓みを防止するための断面が形成された平板６（撓み防止部）をさらに有する。平板６は溝５に挿入されて嵌合する。円柱部４の上記撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板６の厚みｔ１は円柱部４の直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。

　フィルム貼付装置１は、押圧部材３の円柱部４をカバーガラス１４の一方の面に沿って平行移動させる平行移動機構１６をさらに備える。フィルム貼付装置１には、押圧部材３の円柱部４がカバーガラス１４の一方の面に沿って平行移動するように平行移動機構１６を制御する制御回路２２（コントローラ）が設けられる。

　このように、実施形態１に係る押圧部材３には、円柱部４の中心軸方向に沿って形成された溝５の深さ方向に沿って寸法の長い断面が形成された平板６が溝５に嵌合する。このため、押圧部材３の横断方向に沿った円柱部４の中央部にも撓みが無くなる。従って、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡って転写シート１８を介してカバーガラス１４に向けってフィルム１７に圧力をかけることができる。この結果、フィルム１７とカバーガラス１４との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれが無くなる。これにより、良好なＥＬデバイスを製造することができる。

　また、平行移動機構１６は、押圧部材３の円柱部４を回転させずに転写シート１８のカバーガラス１３と反対側の面上を滑らせてフィルム１７をカバーガラス１４に貼り付ける。このため、図５で前述したスキージ９４のように回転機構が不要であり、フィルム貼付装置の構成が簡素になる。

　フィルム１７にはＥＬ素子が形成されることが好ましい。このＥＬ素子は、ＯＬＥＤ（有機発光ダイオード）であってもよいし、無機発光ダイオードあるいは量子ドット発光ダイオードであってもよい。後述する実施形態も同様である。

　（実施形態２）
　図８（ａ）は実施形態２に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材３Ａを示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３Ａとカバーガラス１４とを示す正面図である。前述した構成要素と同様の構成要素には同様の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。後述する実施形態も同様である。

　押圧部材３Ａは板部１９Ａ（撓み防止部）を有する。板部１９Ａには、平板６と、平板６の剛性を補強するために平板６の両面に設けられる一対の補強板７（撓み防止部）とが設けられる。円柱部４の撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板６の厚みｔ１は円柱部４の直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。平板６のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部１９Ａの一対の補強板７の厚みの合計と平板６の厚みｔ１とを加算した寸法ｔ２は、平板６の厚みｔ１の４倍以上であることが好ましい。

　このように平板６の両面に設けられた一対の補強板７により、平板６のソリが防止される。このため、実施形態２によれば、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム１７に圧力をかけることができるという実施形態１の効果に加えて、平板６のソリが防止されるので、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の形状がより直線に近くなるという効果を奏する。従って、円柱部４からフィルム１７に圧力を作用させる領域の形状をより直線に近くすることができる。

　（実施形態３）
　図９（ａ）は実施形態３に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材３Ｂを示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３Ｂとカバーガラス１４とを示す正面図である。

　押圧部材３Ｂは板部１９Ｂ（撓み防止部）を有する。板部１９Ｂには、円柱部４の溝５に挿入される挿入部９（撓み防止部）と、挿入部９の剛性を補強するために挿入部９の厚みよりも厚く形成された剛性部１０（撓み防止部）とが形成される。円柱部４の撓みをより一層効果的に防止する観点から、挿入部９の厚みｔ１は円柱部４の直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。挿入部９のソリをより一層効果的に防止する観点から、剛性部１０の厚みｔ２は、挿入部９の厚みｔ１の４倍以上であることが好ましい。

　このように円柱部４に溝５を形成して剛性形状の板部１９Ｂを溝５に挿入するので、実施形態１及び２と同様に円柱部４の中央部にも撓みが無くなり、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム１７に圧力をかけることができる。また、実施形態２と同様に円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。

　（実施形態４）
　図１０（ａ）は実施形態４に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材３Ｃを示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３Ｃとカバーガラス１４とを示す正面図である。

　押圧部材３Ｃは円柱部４Ｃと剛性部１０Ｃとを有する。円柱部４Ｃと剛性部１０Ｃとは一体に形成される。円柱部４Ｃは実施形態３の円柱部４に対応し、剛性部１０Ｃは実施形態３の板部１９Ｂに対応する。円柱部４Ｃの撓みをより一層効果的に防止する観点から、剛性部１０Ｃの下部の厚みｔ１は円柱部４Ｃの直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。剛性部１０Ｃの下部のソリをより一層効果的に防止する観点から、剛性部１０Ｃの上部の厚みｔ２は、剛性部１０Ｃの下部の厚みｔ１の４倍以上であることが好ましい。

　このように円柱部４Ｃと剛性部１０Ｃとが一体に形成されるので、実施形態１から３と同様に円柱部４の中央部にも撓みが無くなり、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム１７に圧力をかけることができる。また、実施形態２及び３と同様に円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。

　（実施形態５）
　図１１（ａ）は実施形態５に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材３Ｄを示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３Ｄとカバーガラス１４とを示す正面図である。

　押圧部材３Ｄは、押圧部材３Ｄの断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部８（曲面部）と、半円部８と一体に形成される板部１１（撓み防止部）とを有する。そして、半円部８と板部１１との間に逃し溝１２が形成される。半円部８の撓みをより一層効果的に防止する観点から、逃し溝１２が形成される箇所の厚みｔ１は半円部８の直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。逃し溝１２が形成される箇所のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部１１の厚みｔ２は、逃し溝１２が形成される箇所の厚みｔ１の２倍以上であることが好ましい。

　このように先端に半円状の半円部８を形成して基端に板部１１を設けるので、実施形態１から４と同様に半円部８の中央部にも撓みが無くなり、半円部８が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム１７に圧力をかけることができる。また、実施形態２から４と同様に半円部８が転写シート１８に接触する線状領域の形状がより真っ直ぐに近くなる。

　また、板部１１の両面に逃し溝１２が形成されるので、半円部８がフィルム１７をカバーガラス１４の湾曲部１５に対して押圧する領域を、面状の領域ではなく、線状の領域とすることができる。

　（実施形態６）
　図１２（ａ）は実施形態６に係るフィルム貼付装置に設けられた押圧部材３Ｅを示す斜視図であり、（ｂ）は押圧部材３Ｅとカバーガラス１４とを示す正面図である。

　押圧部材３Ｅは、図８に示す構成と同様の板部１９Ｅ（撓み防止部）を有する。板部１９Ｅには、平板６と、平板６の剛性を補強するために平板６の両面に設けられる一対の補強板７Ｅとが設けられる。そして、平板６の前記横断方向に沿った反りを矯正するための押しネジ２０（反り矯正部材）及び引きネジ２１（反り矯正部材）が補強板７Ｅに設けられる。円柱部４の撓みをより一層効果的に防止する観点から、平板６の厚みｔ１は円柱部４の直径Ｄの２分の１以上であることが好ましい。平板６のソリをより一層効果的に防止する観点から、板部１９Ｅの一対の補強板７Ｅの厚みの合計と平板６の厚みｔ１とを加算した寸法ｔ２は、平板６の厚みｔ１の４倍以上であることが好ましい。

　このように円柱部４に溝５を形成して平板６を溝５に挿入するので、実施形態１から５と同様に円柱部４の中央部にも撓みが無くなり、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の一端から他端までの全面に渡ってフィルム１７に圧力をかけることができる。

　また、平板６の両面に補強板７Ｅを設けて平板６の反りを防止し、且つ、押しネジ２０及び引きネジ２１により平板６の反りを矯正するので、円柱部４が転写シート１８に接触する線状領域の形状がより一層真っ直ぐに近くなる。

　〔まとめ〕
　態様１のフィルム貼付装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。

　態様２では、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備える。

　態様３では、前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有する円柱部を含み、前記円柱部の周面に前記横断方向に沿って溝が形成され、前記撓み防止部が、前記溝に嵌合する板部を含む。

　態様４では、前記板部が、前記溝に挿入される平板と、前記平板の剛性を補強するために前記平板の両面に設けられる一対の補強板とを含む。

　態様５では、前記板部が、前記溝に挿入される挿入部と、前記挿入部の剛性を補強するために前記挿入部の厚みよりも厚く形成された剛性部とを含む。

　態様６では、前記円柱部と前記板部とが一体に形成される。

　態様７では、前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部を含み、前記撓み防止部が、前記半円部と一体に形成される板部を含み、前記半円部と前記板部との間に逃し溝が形成される。

　態様８では、前記平板の前記横断方向に沿った反りを矯正するための反り矯正部材が前記補強板に設けられる。

　態様９では、前記フィルムに、ＥＬ素子が形成される。

　態様１０のＥＬデバイスの製造装置は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。

　態様１１のＥＬデバイスの製造方法は、一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材により、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付ける貼り付け工程とを包含し、前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有する。

　態様１２では、前記貼り付け工程が、転写シートに貼り付けられた前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に供給する供給工程と、前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に貼り付けるために、前記転写シートの前記カバーガラスと反対側の面を前記曲面部が滑るように前記曲面部を平行移動させる平行移動工程とを含む。

　態様１３のコントローラは、態様１０に記載のＥＬデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、前記ＥＬデバイスの製造装置が、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備え、前記曲面部が前記カバーガラスの一方の面に沿って平行移動するように前記平行移動機構を制御する制御回路を備える。

　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　１　フィルム貼付装置
　２　ステージ（ＣＧ位置決めステージ）
　３　押圧部材
　４　円柱部（曲面部）
　５　溝
　６　平板（撓み防止部）
　７　補強板（撓み防止部）
　８　半円部（曲面部）
　９　挿入部（撓み防止部）
１０　剛性部（撓み防止部）
１１　板部（撓み防止部）
１２　逃し溝
１６　平行移動機構
１７　フィルム
１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｅ　板部（撓み防止部）
２０　押しネジ（反り矯正部材）
２１　引きネジ（反り矯正部材）
２２　制御回路

Claims

　一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、
　前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、
　前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
　前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするフィルム貼付装置。
　前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備える請求項１に記載のフィルム貼付装置。
　前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有する円柱部を含み、
　前記円柱部の周面に前記横断方向に沿って溝が形成され、
　前記撓み防止部が、前記溝に嵌合する板部を含む請求項１に記載のフィルム貼付装置。
　前記板部が、前記溝に挿入される平板と、
　前記平板の剛性を補強するために前記平板の両面に設けられる一対の補強板とを含む請求項３に記載のフィルム貼付装置。
　前記板部が、前記溝に挿入される挿入部と、
　前記挿入部の剛性を補強するために前記挿入部の厚みよりも厚く形成された剛性部とを含む請求項３に記載のフィルム貼付装置。
　前記円柱部と前記板部とが一体に形成される請求項３に記載のフィルム貼付装置。
　前記曲面部が、前記横断方向に沿った中心軸を有して断面が半円の半円部を含み、
　前記撓み防止部が、前記半円部と一体に形成される板部を含み、
　前記半円部と前記板部との間に逃し溝が形成される請求項１に記載のフィルム貼付装置。
　前記平板の前記横断方向に沿った反りを矯正するための反り矯正部材が前記補強板に設けられる請求項４に記載のフィルム貼付装置。
　前記フィルムに、ＥＬ素子が形成される請求項１に記載のフィルム貼付装置。
　一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスを載置するステージと、
　前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付けるために前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材とを備え、
　前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、
　前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
　前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするＥＬデバイスの製造装置。
　一方の面側に湾曲する湾曲部が両端に形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、
　前記カバーガラスを横断するように配置される押圧部材により、前記ステージに載置されたカバーガラスの一方の面にフィルムを貼り付ける貼り付け工程とを包含し、
　前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、
　前記押圧部材が、前記フィルムを前記カバーガラスの湾曲部に押圧するために前記湾曲部の曲率半径よりも小さい曲率半径を有する曲面部と、
　前記押圧部材の横断方向に沿った前記曲面部の撓みを防止するための断面が形成された撓み防止部とを有することを特徴とするＥＬデバイスの製造方法。
　前記貼り付け工程が、転写シートに貼り付けられた前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に供給する供給工程と、
　前記フィルムを前記カバーガラスの一方の面に貼り付けるために、前記転写シートの前記カバーガラスと反対側の面を前記曲面部が滑るように前記曲面部を平行移動させる平行移動工程とを含む請求項１１に記載のＥＬデバイスの製造方法。
　請求項１０に記載のＥＬデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、
　前記ＥＬデバイスの製造装置が、前記カバーガラスの一方の面に沿って前記曲面部を平行移動させる平行移動機構をさらに備え、
　前記曲面部が前記カバーガラスの一方の面に沿って平行移動するように前記平行移動機構を制御する制御回路を備えることを特徴とするコントローラ。