WO2014025057A1 - 被覆工具 - Google Patents

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WO2014025057A1
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laminated structure
layers
coated tool
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翔太 浅利
正和 菊池
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株式会社タンガロイ
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    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick

Definitions

  • the present invention relates to a coated tool.
  • Patent Document 1 proposes a cutting tool having excellent wear resistance in which a specific metal element or a compound thereof and a specific alloy compound are stacked on the surface of a base material at a stacking cycle of 0.4 nm to 50 nm. .
  • Patent Document 2 also discloses a first thin layer of composite nitride represented by a composition formula of (Ti 1-X Al X ) N (atomic ratio, X: 0.30 to 0.70), aluminum oxide, 4 layers or more on the surface of the substrate alternately with the second thin layer having a phase ratio of 35 to 65% by mass in the total amount of the titanium nitride phase and an average layer thickness of 0.2 to 1 ⁇ m.
  • a cutting tool which is laminated to have an overall average layer thickness of 2 to 10 ⁇ m and exhibits excellent wear resistance even under heavy cutting conditions.
  • Patent Document 3 includes a layer having a thickness of 100 to 5000 nm, including a partial layer in which layers having a thickness of 1 to 50 nm are sequentially and repeatedly stacked, and a thickness of 100 to 5000 nm.
  • the cutting tool according to the invention of the above-mentioned Patent Document 1 has a problem that the tool is liable to be broken, although it shows high wear resistance, although it has a high wear resistance.
  • the cutting tool which consists of an alternating lamination with which each individual average layer thickness of patent document 2 is thick since the hardness of a film is inadequate, there exists a problem that abrasion resistance is inferior.
  • the cutting tool having the laminated structure of the thin film and the single layer film according to the invention of Patent Document 3 has insufficient fracture resistance, so that the required performance cannot be satisfied.
  • the present invention has been made to solve these problems, and an object thereof is to provide a coated tool having a long tool life with improved fracture resistance without reducing wear resistance.
  • the present inventors have conducted research on extending the tool life of the coated tool, and by improving the layer structure and composition of the coated layer, it is possible to improve the fracture resistance without reducing the wear resistance. As a result, the tool life of the coated tool could be extended.
  • the gist of the present invention is as follows. (1) It includes a substrate and a coating layer formed on the surface of the substrate, the coating layer includes a first laminated structure and a second laminated structure, and the first laminated structure has two or more layers having different compositions. In which the average layer thickness of each layer is periodically stacked so that the average layer thickness is 60 nm or more and 500 nm or less. The second stacked structure includes two or more layers having different compositions, and the average layer thickness of each layer is 2 nm or more.
  • the layers constituting the first laminated structure and the second laminated structure are Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo,
  • a metal comprising at least one metal element selected from W, Al, Si, Sr, Y, Sn and Bi; and a non-metal selected from at least one of these metal elements and carbon, nitrogen, oxygen and boron Consisting of at least one element Containing at least one selected from the group consisting of compounds, coated tools.
  • Each layer constituting the first laminated structure and each layer constituting the second laminated structure are at least two metal elements selected from Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr and Y.
  • the coated tool according to any one of (1) to (5).
  • the metal element contained in the layer constituting the first laminated structure is the same among the layers constituting the first laminated structure, and the metal contained in one layer constituting the first laminated structure Contains one or more metal elements whose absolute value of the difference between the element amount with respect to the whole element and the element amount with respect to the whole metal element contained in the layer constituting the first laminated structure adjacent to the layer is 5 atomic% or more
  • the coated tool according to any one of (1) to (6).
  • the metal element contained in the layer constituting the second laminated structure is the same among the layers constituting the second laminated structure, and the metal contained in one layer constituting the second laminated structure Contains one or more metal elements whose absolute value of the difference between the element amount relative to the entire element and the element amount relative to the entire metal element contained in the layer constituting the second stacked structure adjacent to the layer is 5 atomic% or more
  • the coated tool according to any one of (1) to (7).
  • the metal element contained in one layer constituting the first laminated structure is different from one or more metal elements contained in the layer constituting the first laminated structure adjacent to the layer, (1) to The coated tool according to any one of (6).
  • One or more kinds of metal elements contained in one layer constituting the second laminated structure and one or more metal elements contained in the layer constituting the second laminated structure adjacent to the layer are different (1) to ( The coated tool according to any one of 6) and (9).
  • coated tool of the present invention is excellent in wear resistance and fracture resistance, it has an effect that the tool life is longer than that in the past.
  • the coated tool of the present invention includes a base material and a coating layer formed on the surface of the base material.
  • the substrate in the present invention is not particularly limited as long as it is used as a substrate of a coated tool. Examples thereof include cemented carbide, cermet, ceramics, cubic boron nitride sintered body, diamond sintered body, high Speed steel etc. can be mentioned. Among these, it is more preferable that the base material is a cemented carbide because it is excellent in wear resistance and fracture resistance.
  • the total layer thickness of the entire coating layer in the coated tool of the present invention is less than 0.22 ⁇ m in average layer thickness, the wear resistance tends to decrease, and the total layer thickness of the entire coating layer is 12 ⁇ m in average layer thickness. When the thickness exceeds 1, the fracture resistance tends to be reduced. Therefore, the total thickness of the entire coating layer is preferably 0.22 to 12 ⁇ m in average layer thickness. Among these, the total thickness of the entire coating layer is more preferably 1.0 to 8.0 ⁇ m in terms of average layer thickness.
  • the coating layer in the coated tool of the present invention includes a specific first laminated structure and second laminated structure.
  • Each layer constituting the first laminated structure is A metal comprising at least one metal element selected from Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn and Bi; and It contains at least one selected from the group consisting of at least one of these metallic elements and at least one nonmetallic element selected from carbon, nitrogen, oxygen and boron, and is excellent in wear resistance.
  • the layers constituting the first laminated structure are A metal comprising at least two metal elements selected from Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr and Y; and Since it is hard to contain at least one selected from the group consisting of at least two of these metal elements and at least one nonmetallic element selected from carbon, nitrogen, oxygen and boron, preferable.
  • the metal or compound constituting the constituent layer of such a first laminated structure (Al 0.50 Ti 0.50 ) N, (Al 0.60 Ti 0.40 ) N, (Al 0.
  • the first laminated structure in the coating layer of the coated tool of the present invention has a structure in which two or more layers made of these metals or compounds are periodically laminated with the average layer thickness of each layer being 60 nm or more and 500 nm or less.
  • the structure laminated with a certain periodicity includes two or more layers having different compositions. It is preferable that two or more layers having different compositions are alternately laminated from the viewpoint of suppressing the progress of cracks and improving the fracture resistance.
  • FIG. 1 is an example of a schematic diagram of a cross-sectional structure of the coated tool of the present invention.
  • the lamination cycle will be described using this.
  • the A1 layer (5), the B1 layer (6), the C1 layer, and the D1 layer having different compositions from the base material 1 toward the surface of the coating layer 2 are A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ C1 layer ⁇ D1 layer ⁇ A1.
  • layers are repeatedly stacked in the order of layer ⁇ B1 layer ⁇ C1 layer ⁇ D1 layer ⁇ .
  • the A1 layer (5) and the B1 layer (6) having different compositions are moved from the base material 1 toward the surface of the coating layer 2, from the A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ .
  • the total thickness of the A1 layer and the B1 layer is defined as a “stacking period”.
  • each layer having an average layer thickness of 60 nm or more and 500 nm or less having a different composition By laminating each layer having an average layer thickness of 60 nm or more and 500 nm or less having a different composition with such periodicity, when a crack that has developed from the surface of the coating layer by using the coating tool reaches the first laminated structure, Therefore, cracks progress in a direction parallel to the interface between the layers having different compositions, and an effect of preventing the cracks from progressing to the base material is obtained.
  • Such an effect is preferable because an alternate laminated structure in which two or more layers having different compositions are alternately laminated is provided. Specifically, A1 layer and B1 layer having different compositions are alternately laminated in the order of two or more layers in the order of A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ A1 layer ⁇ B1 layer ⁇ .
  • a structure is preferable as the first laminated structure.
  • the average layer thickness of each layer constituting the first laminated structure is set to 60 nm or more and 500 nm or less.
  • the average layer thickness of each layer constituting the first laminated structure is more preferably 60 nm or more and 250 nm or less.
  • the average thickness of the first laminated structure is less than 0.2 ⁇ m, the number of repetitions of periodic lamination of layers having different compositions is reduced, and the effect of suppressing the cracks from progressing to the base material is reduced. On the contrary, if the thickness exceeds 6 ⁇ m, the residual compressive stress of the entire coating layer becomes high, and the coating layer tends to be peeled off or chipped.
  • the average thickness of the structure is more preferably 0.2 to 6 ⁇ m.
  • the coating layer in the coating tool of the present invention includes the second laminated structure as described above.
  • the layers constituting this second laminated structure are A metal comprising at least one metal element selected from Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn and Bi; and It contains at least one selected from the group consisting of at least one of these metallic elements and at least one nonmetallic element selected from carbon, nitrogen, oxygen and boron, and is excellent in wear resistance.
  • the layers constituting the second laminated structure are A metal comprising at least two metal elements selected from Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr and Y; and Since it is hard to contain at least one selected from the group consisting of at least two of these metal elements and at least one nonmetallic element selected from carbon, nitrogen, oxygen and boron, preferable.
  • the metal or compound constituting the constituent layer of such a second laminated structure (Al 0.50 Ti 0.50 ) N, (Al 0.60 Ti 0.40 ) N, (Al 0.
  • the second laminated structure in the present invention has a structure in which two or more layers made of these metals or compounds are periodically laminated with the average layer thickness of each layer being 2 nm or more and less than 60 nm.
  • the structure laminated with a certain periodicity includes two or more layers having different compositions.
  • the second laminated structure is preferably an alternating laminated structure in which two or more layers having different compositions are alternately laminated from the viewpoint of increasing hardness and improving wear resistance.
  • the minimum unit thickness in which the layers are repeatedly laminated is referred to as “lamination cycle”.
  • lamination cycle For example, in FIG. 1, an A2 layer (7), a B2 layer (8), a C2 layer, and a D2 layer having different compositions are moved from the substrate 1 toward the surface of the coating layer 2, from the A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ C2 layer ⁇
  • the total thickness from the A2 layer to the D2 layer is defined as “lamination cycle”.
  • the A2 layer (7) and the B2 layer (8) having different compositions are moved from the base material 1 toward the surface of the coating layer 2, from the A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ .
  • the total thickness of the A2 layer and the B2 layer is defined as a “stacking cycle”.
  • the hardness of the second laminated structure in the coated tool of the present invention is increased, and the wear resistance is improved.
  • An effect is obtained.
  • Such an effect is preferable because an alternate laminated structure in which two or more layers having different compositions are alternately laminated is provided.
  • the A2 layer and B2 layer having different compositions are alternately laminated by repeating the lamination of two or more layers in the order of A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ .
  • the structure is more preferable as the second laminated structure.
  • the average layer thickness of each layer constituting the second laminated structure is set to 2 nm or more and less than 60 nm. From such a viewpoint, it is more preferable that the average layer thickness of each layer constituting the second laminated structure is 5 nm or more and 30 nm or less.
  • the average thickness of the second laminated structure is less than 0.02 ⁇ m, the number of repetitions of the periodic layers is reduced, and the effect of improving the hardness cannot be obtained, while the average thickness of the second laminated structure is obtained.
  • the thickness exceeds 6 ⁇ m, the residual compressive stress of the second laminated structure increases, and the coating layer is liable to be peeled or chipped, and the fracture resistance tends to decrease.
  • the thickness is preferably 0.02 to 6 ⁇ m.
  • the difference (T 1 ⁇ T 2 ) between the average value T 1 of the lamination period of the first laminated structure and the average value T 2 of the lamination period of the second laminated structure in the coated tool of the present invention is less than 20 nm. And a tendency for cracks to progress in a direction parallel to the interface between the first laminated structure and the second laminated structure and to suppress the cracks from progressing to the substrate tends to decrease, while T 1 and T 2 When the difference (T 1 -T 2 ) increases beyond 996 nm, the average thickness of the first stacked structure increases and the defect resistance tends to decrease. Therefore, the difference between T 1 and T 2 (T 1 -T 2 ) is preferably 20 to 996 nm. Among them, the difference (T 1 ⁇ T 2 ) between T 1 and T 2 is more preferably 20 to 500 nm, and further preferably 20 to 250 nm.
  • the average value of the lamination period is, for example, 100 repeating units when the A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ A2 layer ⁇ B2 layer ⁇ ... And A2 layer ⁇ B2 layer are repeated 100 times. Is the value obtained by dividing the sum of the respective lamination periods by 100, which is the number of repetitions of the sum of the lamination periods.
  • the metal element contained in the layer constituting the first laminated structure in the coated tool of the present invention is the same among the layers constituting the first laminated structure, and further contained in one layer constituting the first laminated structure.
  • Metal element whose absolute value of the difference between the element amount relative to the entire metal element and the element amount relative to the entire metal element contained in another layer constituting the first laminated structure adjacent to the layer is 5 atomic% or more It is preferable that 1 or more types exist.
  • the first laminated structure is an (Al 0.55 Ti 0.45 ) N layer
  • the metal elements of the two layers are the same between the Al element and the Ti element, but are included in the (Al 0.55 Ti 0.45 ) N layer.
  • the amount of Al element contained is 55 atomic% with respect to the entire metal element
  • the amount of Al element contained in the (Al 0.67 Ti 0.33 ) N layer is 67 atomic% with respect to the entire metal element. Since the difference in the amount of Al element in the two layers is 12 atomic%, this requirement is satisfied.
  • the metal elements of the two layers are Al element and Ti.
  • the difference in the amount of Ti element between the two layers is 3 atomic% and the difference in the amount of Cr element between the two layers is 4 atomic%, each of which is less than 5 atomic%. Since the difference in the amount of Al element in the layer is 7 atomic%, this requirement is satisfied.
  • the nitride when expressed as (M a L b ) N, it means that the atomic ratio of M element to the whole metal element is a, and the atomic ratio of L element is b.
  • (Al 0.55 Ti 0.45 ) N has an atomic ratio of Al element to the entire metal element of 0.55 and an atomic ratio of Ti element to the entire metal element of 0.45, that is, Al to the entire metal element. This means that the element amount is 55 atomic%, and the Ti element amount with respect to the whole metal element is 45 atomic%.
  • the metal element contained in the layer which comprises the 2nd laminated structure in the coating tool of this invention is the same between each layer which comprises the 2nd laminated structure, and also in one layer which comprises the 2nd laminated structure.
  • Metal whose absolute value of the difference between the element amount with respect to the whole metal element contained and the element amount with respect to the whole metal element contained in another layer constituting the second laminated structure adjacent to the layer is 5 atomic% or more It is preferable that one or more elements are present.
  • the metal element contained in one layer constituting the first laminated structure in the coated tool of the present invention and the metal element contained in another layer constituting the first laminated structure adjacent to the layer If one or more types are different, the crystal lattice becomes inconsistent at the interface between layers, and cracks tend to progress in a direction parallel to the interface between layers, and the effect of suppressing the cracks from progressing to the substrate has an effect. Since it becomes high, it is more preferable.
  • the metal elements contained in the two layers are In comparison, the two layers contain an Al element and a Ti element, but the Cr element is included in only one of the layers and therefore satisfies this requirement. Further, when the first laminated structure is composed of an (Al 0.50 Cr 0.50 ) N layer and an (Al 0.67 Ti 0.33 ) N layer, the metal elements contained in the two layers are compared. The two layers contain Al element, but Cr element is contained only in one layer, and Ti element is contained only in one layer, so this requirement is satisfied.
  • one kind of metal element contained in one layer constituting the second laminated structure and one metal element contained in another layer constituting the second laminated structure adjacent to the layer is different, the crystal lattice becomes mismatched at the interface between the layers, the cracks tend to progress in the direction parallel to the interface between the layers, and the effect of suppressing the cracks from progressing to the base material is enhanced. More preferred.
  • the coating layer in the coated tool of the present invention includes the first laminated structure having excellent fracture resistance and the second laminated structure having excellent wear resistance, and thus has excellent fracture resistance and wear resistance.
  • the coating layer may include an upper layer on the surface side of the coating layer opposite to the base material of the first laminated structure and the second laminated structure.
  • the said coating layer may also contain a lower layer in the base material side rather than a 1st laminated structure and a 2nd laminated structure.
  • the covering layer may include an intermediate layer between the first laminated structure and the second laminated structure.
  • the configurations of the upper layer, the intermediate layer, and the lower layer are not particularly limited as long as they are used as a coating layer of a coating tool, but among them, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, A metal comprising at least one metal element selected from W, Al, Si, Sr, Y, Sn and Bi; and a non-metal selected from at least one of these metal elements and carbon, nitrogen, oxygen and boron
  • a single layer of a layer composed of at least one selected from the group consisting of a compound composed of at least one element or a multilayer structure having no period is preferable because the wear resistance is improved.
  • the crack is likely to progress in a direction parallel to the interface between the first stacked structure and the second stacked structure. Since the effect which suppresses progressing to a base material is acquired and fracture resistance improves, it is further more preferable.
  • the first laminated structure is closest to the substrate, and the second laminated structure is closest to the surface of the coating layer opposite to the substrate. Either the second laminated structure closest to the substrate or the first laminated structure closest to the surface of the coating layer opposite to the substrate may be used.
  • both the one closest to the substrate and the one closest to the surface opposite to the substrate of the coating layer may be the first laminated structure or the second laminated structure.
  • the residual compressive stress of the first laminated structure is lower than the residual compressive stress of the second laminated structure, and when the first laminated structure is closest to the substrate and the second laminated structure is closest to the surface, Since the tendency which the peeling resistance of a coating layer improves is seen, it is still more preferable.
  • the manufacturing method of the coating layer in the coated tool of the present invention is not particularly limited, for example, using a physical vapor deposition method such as ion plating method, arc ion plating method, sputtering method, ion mixing method, A method of forming each layer such as the first laminated structure and the second laminated structure described above on the substrate can be mentioned.
  • the arc ion plating method is more preferable because it has excellent adhesion between the coating layer and the substrate.
  • the coated tool of the present invention can be obtained by forming each layer on the surface of a substrate by a conventional coating method, and examples thereof include the following production methods.
  • the base material processed into the tool shape is put into a reaction vessel of a physical vapor deposition apparatus, and the inside of the reaction vessel is evacuated until a vacuum of 1 ⁇ 10 ⁇ 2 Pa or less is obtained.
  • the substrate is heated with a heater in the reaction vessel until the temperature of the substrate reaches 200 to 800 ° C.
  • Ar gas is introduced into the reaction vessel so that the pressure is 0.5 to 5.0 Pa.
  • After the surface of the substrate is subjected to ion bombardment treatment, it is evacuated until a pressure of 1 ⁇ 10 ⁇ 2 Pa or less is reached.
  • a reaction gas such as nitrogen gas is introduced into the reaction vessel, the pressure in the reaction vessel is set to 0.5 to 5.0 Pa, a bias voltage of ⁇ 10 to ⁇ 150 V is applied to the substrate, and the metal of each layer
  • Each layer can be formed on the surface of the substrate by evaporating a metal evaporation source corresponding to the component by arc discharge.
  • Two or more types of metal evaporation sources placed at separate positions are simultaneously evaporated by arc discharge, and a rotary table on which a substrate is fixed is rotated to form a layer constituting the first laminated structure or the second laminated structure.
  • the layer thickness of each layer constituting the first laminated structure or the second laminated structure can be controlled by adjusting the number of rotations of the turntable to which the base material in the reaction vessel is fixed.
  • the first laminated structure is adjusted by adjusting the arc discharge time of each metal evaporation source.
  • the layer thickness of each layer constituting the second stacked structure can be controlled.
  • the layer thickness of each layer constituting the coating layer in the coated tool of the present invention can be measured from the cross-sectional structure of the coated tool using an optical microscope, a scanning electron microscope (SEM), a transmission electron microscope (TEM), or the like.
  • the average layer thickness of each layer in the coated tool of the present invention is the layer thickness of each layer from three or more cross sections in the vicinity of a position of 50 ⁇ m from the blade edge of the surface facing the metal evaporation source toward the center of the surface. Can be obtained by measuring and calculating the average value.
  • composition of each layer of the coated tool of the present invention is measured from the cross-sectional structure of the coated tool of the present invention using an energy dispersive X-ray analyzer (EDS), a wavelength dispersive X-ray analyzer (WDS), or the like. Can do.
  • EDS energy dispersive X-ray analyzer
  • WDS wavelength dispersive X-ray analyzer
  • coated tool of the present invention include cutting inserts, drills, end mills and the like.
  • Example 1 An ISO standard SEEN1203 insert shape cemented carbide equivalent to P10 was prepared as a base material. A metal evaporation source having the composition of each layer shown in Tables 1 to 3 was placed in the reaction vessel of the arc ion plating apparatus. The prepared base material was fixed to the fixture of the turntable in the reaction vessel.
  • Ion bombardment treatment with Ar gas on the surface of the substrate by applying a bias voltage of ⁇ 1000 V to the substrate in an Ar gas atmosphere at a pressure of 5.0 Pa, causing a current of 10 A to flow through the tungsten filament in the reaction vessel. For 30 minutes. After completion of the ion bombardment treatment, the reaction vessel was evacuated until the pressure became 5.0 ⁇ 10 ⁇ 3 Pa or less.
  • the A1 layer and the B1 layer of the inventive products 1 to 11 were alternately evaporated by arc discharge to form the A1 layer and the B1 layer.
  • the layer thickness of the A1 layer and the layer thickness of the B1 layer were controlled by adjusting respective arc discharge times.
  • the X layer and the Y layer were similarly formed by alternately evaporating the metal evaporation source of the X layer and the metal evaporation source of the Y layer by arc discharge.
  • the thickness of the X layer and the thickness of the Y layer were controlled by adjusting the respective arc discharge times.
  • the A2 layer metal evaporation source and the B2 layer metal evaporation source were simultaneously evaporated by arc discharge to form the A2 layer and the B2 layer.
  • the layer thickness of the A2 layer and the layer thickness of the B2 layer were controlled by adjusting the rotation speed of the rotary table in the range of 0.2 to 10 min ⁇ 1 .
  • the X layer and the Y layer were formed by simultaneously evaporating the X layer metal evaporation source and the Y layer metal evaporation source by arc discharge.
  • the thickness of the X layer and the thickness of the Y layer were controlled by adjusting the number of rotations of the rotary table in the range of 0.2 to 10 min ⁇ 1 .
  • the heater was turned off and the sample was taken out from the reaction vessel after the sample temperature became 100 ° C. or lower.
  • the average layer thickness of each layer of the obtained sample was measured by TEM observation of three cross sections in the vicinity of the position of 50 ⁇ m from the cutting edge of the surface facing the metal evaporation source of the coated tool toward the center of the surface. The layer thickness was measured and the average value was calculated.
  • the composition of each layer of the obtained sample was measured using EDS in a cross section at a position from the cutting edge of the surface facing the metal evaporation source of the coated tool to the center part up to 50 ⁇ m. The results are also shown in Tables 1 to 3. Note that the composition ratio of the metal element in each layer in Tables 1 to 3 indicates the atomic ratio of each metal element to the entire metal element in the metal compound constituting each layer.
  • the inventive product has a longer working length and a longer tool life than the comparative product having an alternate laminated structure in which layers of various uniform thicknesses are alternately laminated.
  • Example 2 An ISO standard SEEN1203 insert shape cemented carbide equivalent to P10 was prepared as a base material. A metal evaporation source having the composition of each layer shown in Table 5 was placed in the reaction vessel of the arc ion plating apparatus, and samples having the layer configuration shown in Tables 5 and 6 were produced by the same manufacturing method as in Example 1.
  • Example 7 The average layer thickness and composition of each layer of the obtained sample were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 5 and 6. Further, using the obtained sample, face milling was performed under the same test conditions as in Example 1 to evaluate fracture resistance. The evaluation results are shown in Table 7.
  • the inventive product has a longer working length and a longer tool life than the comparative product having an alternate laminated structure in which layers of various uniform thicknesses are alternately laminated.
  • Example 3 An ISO standard SEEN1203 insert shape cemented carbide equivalent to P10 was prepared as a base material. Inventive products 23 and 25 to 35 and comparative products 3 and 5 to 15 are obtained by disposing a metal evaporation source having the composition of each layer shown in Tables 8 and 10 in the reaction vessel of the arc ion plating apparatus. Samples having the layer structure shown in Tables 9 and 10 were formed by the same production method as in Example 1.
  • Inventive product 24 and comparative product 4 are arranged in a reaction vessel when forming each layer by disposing a metal evaporation source having the composition of each layer shown in Table 8 and Table 10 in the reaction vessel of the arc ion plating apparatus.
  • Samples having a layer configuration shown in Tables 9 and 10 were prepared in the same manner as in Example 1.
  • Example 1 The layer thickness and composition of each layer of the obtained sample were measured in the same manner as in Example 1. The results are also shown in Tables 8 to 10. In addition, the composition ratio of the metal element of each layer of Tables 8 and 10 indicates the atomic ratio of each metal element to the whole metal element in the metal compound constituting each layer. Using the obtained sample, face milling was performed under the same test conditions as in Example 1 to evaluate fracture resistance. The evaluation results are shown in Table 11 and Table 12.
  • the inventive product has a longer working length and a longer tool life than the comparative product having an alternate laminated structure in which layers of various uniform thicknesses are alternately laminated.

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Abstract

　本発明は、基材と、該基材の表面に形成された被覆層とを含み、前記被覆層は第１積層構造（３）と第２積層構造（４）とを含み、前記第１積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の厚みとして周期的に積層した構造であり、前記第２積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を２ｎｍ以上６０ｎｍ未満の厚みとして周期的に積層した構造であり、前記第１積層構造を構成する層および前記第２積層構造を構成する層は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、 Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む、被覆工具である。

Description

被覆工具
　本発明は、被覆工具に関するものである。
　近年、切削加工の高能率化の需要の高まりに伴い、従来よりも工具寿命の長い切削工具が求められている。このため、工具材料の要求特性として、切削工具の寿命に関係する耐摩耗性の向上および耐欠損性の向上が一段と重要になっている。そこで、これらの特性を向上させるため、被膜を交互に積層した交互積層膜を基材上に形成した被覆工具が用いられている。
　そこで、このような交互積層膜の特性を改善するための様々な技術が提案されている。たとえば特許文献１には、特定の金属元素あるいはその化合物と、特定の合金化合物とを積層周期０．４ｎｍ～５０ｎｍで母材表面に積層した、耐摩耗性に優れた切削工具が提案されている。
　また、特許文献２には、（Ｔｉ１－ＸＡｌＸ）Ｎ（原子比で、Ｘ：０．３０～０．７０）の組成式で示される複合窒化物の第１薄層と、酸化アルミニウム相の割合が窒化チタン相との合量に占める割合で３５～６５質量％である第２薄層とを、個々の平均層厚０．２～１μｍにて、基体の表面に４層以上交互積層して全体平均層厚２～１０μｍとした、重切削条件においても優れた耐摩耗性を示す切削工具が提案されている。
　さらに、特許文献３には、１～５０ｎｍの厚さを有する層が順次周期的に繰り返し積層されてなる部分層を含む、１００～５０００ｎｍの厚さを有する層と、１００～５０００ｎｍの厚さを有する単一層とが、硬質母材上に交互に１０層以上積層されてなる、耐摩耗性および耐溶着性に優れた切削工具が提案されている。
特開平７－２０５３６１号公報 特開２００３－２００３０６号公報 特開平１１－１２７１８号公報
　近年の切削加工では高速化や高送り化および深切り込み化がより顕著となり、加工中に刃先にかかる負荷により工具表面から発生したクラックが基材へと進展したり、刃先温度の急激な増減により基材から発生したクラックが被覆層中に進展したりすることに起因した工具の欠損が多々見られるようになってきた。
　この様な背景により上記特許文献１の発明の積層周期が０．４～５０ｎｍと薄膜の積層からなる切削工具では高い耐摩耗性は示すものの、工具の欠損が生じやすいという問題がある。また、特許文献２の発明の個々の平均層厚が厚い交互積層からなる切削工具では、被膜の硬度が不十分なため、耐摩耗性が劣るという問題がある。さらに、特許文献３の発明の薄い膜の積層と単一層膜との積層構造を有する切削工具では耐欠損性が不十分なため、上記要求の性能を満たせなくなってきている。
　本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、耐摩耗性を低下させずに耐欠損性を向上させた工具寿命の長い被覆工具を提供することを目的とする。
　本発明者らは被覆工具の工具寿命の延長について研究を重ねたところ、被覆層の層構成と組成を改良することによって、耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることが可能となり、その結果、被覆工具の工具寿命を延長することができた。
　すなわち、本発明の要旨は以下の通りである。
　（１）基材と、基材の表面に形成された被覆層とを含み、該被覆層は第１積層構造と第２積層構造とを含み、前記第１積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の厚みとして周期的に積層した構造であり、前記第２積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を２ｎｍ以上６０ｎｍ未満の厚みとして周期的に積層した構造であり、前記第１積層構造を構成する層および第２積層構造を構成する層は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む、被覆工具。
　（２）前記第１積層構造は、組成が異なる２層を交互に各２層以上積層した交互積層構造である（１）の被覆工具。
　（３）前記第２積層構造は、組成が異なる２層を交互に各２層以上積層した交互積層構造である（１）または（２）の被覆工具。
　（４）前記被覆層は、前記第１積層構造と第２積層構造とを交互に２つ以上連続して積層した構造を含む（１）～（３）のいずれかの被覆工具。
　（５）前記第１積層構造の積層周期の平均値Ｔ１と、前記第２積層構造の積層周期の平均値Ｔ２との差（Ｔ１－Ｔ２）が２０ｎｍ～９９６ｎｍである、（１）～（４）のいずれかの被覆工具。
　（６）前記第１積層構造を構成する各層および前記第２積層構造を構成する各層は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、ＳｒおよびＹから選択される金属元素の少なくとも２種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも２種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む、（１）～（５）のいずれかの被覆工具。
　（７）前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第１積層構造を構成する各層の間で同一であり、前記第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、当該層に隣接した前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上である金属元素が１種以上含まれる、（１）～（６）のいずれかの被覆工具。
　（８）前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第２積層構造を構成する各層の間で同一であり、前記第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、当該層に隣接した前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上である金属元素が１種以上含まれる、（１）～（７）のいずれかの被覆工具。
　（９）前記第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、当該層に隣接する前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素が１種以上異なる、（１）～（６）のいずれかの被覆工具。
　（１０）前記第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、当該層に隣接する前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素が１種以上異なる（１）～（６）及び（９）のいずれかの被覆工具。
　（１１）前記被覆層全体の総層厚は平均層厚で０．２２～１２μｍである（１）～（１０）のいずれかの被覆工具。
　（１２）前記第１積層構造の平均厚さは０．２～６μｍである（１）～（１１）のいずれかの被覆工具。
　（１３）前記第２積層構造の平均厚さは０．０２～６μｍである（１）～（１２）のいずれかの被覆工具。
　本発明の被覆工具は、耐摩耗性および耐欠損性に優れるので、従来よりも工具寿命が長いという効果を奏する。
本発明の被覆工具の断面組織の模式図の一例である。
　本発明の被覆工具は、基材と基材の表面に形成された被覆層とを含む。本発明における基材は被覆工具の基材として用いられるものであれば特に限定はされないが、その例として、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体、高速度鋼などを挙げることができる。その中でも、基材が超硬合金であると、耐摩耗性および耐欠損性に優れるので、さらに好ましい。
　本発明の被覆工具における被覆層全体の総層厚は、平均層厚で０．２２μｍ未満であると耐摩耗性が低下する傾向がみられ、被覆層全体の総層厚が平均層厚で１２μｍを超えて厚くなると耐欠損性が低下する傾向がみられるので、被覆層全体の総層厚は平均層厚で０．２２～１２μｍであることが好ましい。その中でも、被覆層全体の総層厚は平均層厚で１．０～８．０μｍであるとさらに好ましい。
　次に、上述の通り本発明の被覆工具における被覆層は、特定の第１積層構造及び第２積層構造を含む。その第１積層構造を構成する各層は、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、
これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物
からなる群より選ばれた少なくとも１種を含み、耐摩耗性に優れる。
　その中でも、第１積層構造を構成する層は、
Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、ＳｒおよびＹから選択される金属元素の少なくとも２種からなる金属；並びに、
これら金属元素の少なくとも２種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物
からなる群より選ばれた少なくとも１種を含むと、硬質であるので、さらに好ましい。そのような第１積層構造の構成層を構成する金属または化合物として具体的には、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．５０）Ｎ、（Ａｌ０．６０Ｔｉ０．４０）Ｎ、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）Ｎ、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）ＣＮ、（Ａｌ０．４５Ｔｉ０．４５Ｓｉ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．４５Ｔｉ０．４５Ｙ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ti０．３０Ｃｒ０．２０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｎｂ０．０５）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｔａ０．０５）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｗ０．０５）Ｎ、（Ｔｉ０．９０Ｓｉ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｃｒ０．５０）Ｎなどを挙げることができる。
　本発明の被覆工具の被覆層における第１積層構造は、これらの金属または化合物からなる２層以上を、各層の平均層厚を６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の厚みとして周期的に積層した構造を持つ。この一定の周期性をもって積層される構造には、組成が異なる２層以上の層が含まれている。これらの組成が異なる層は、交互に各２層以上積層することが、クラックが進展するのを抑制し、耐欠損性が向上する観点から好ましい。
　本発明において層の積層が繰り返される最小単位の厚さを「積層周期」という。図１は本発明の被覆工具の断面組織の模式図の一例であるが、以下、これを利用して積層周期について説明する。例えば、組成が異なるＡ１層（５）、Ｂ１層（６）、Ｃ１層、Ｄ１層を、基材１から被覆層２の表面に向かって、Ａ１層→Ｂ１層→Ｃ１層→Ｄ１層→Ａ１層→Ｂ１層→Ｃ１層→Ｄ１層→…と繰り返し積層した場合、Ａ１層からＤ１層までの層厚の合計を「積層周期」とする。また、組成が異なるＡ１層（５）とＢ１層（６）を、基材１から被覆層２の表面に向かって、Ａ１層→Ｂ１層→Ａ１層→Ｂ１層→Ａ１層→Ｂ１層→…と繰り返し積層した場合、Ａ１層の層厚とＢ１層の層厚の合計を「積層周期」とする。
　組成が異なる平均層厚６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の各層を、このような周期性を持たせて積層することで、被覆工具の使用により被覆層の表面から進展したクラックが第１積層構造に到達すると、そこで組成の異なる層と層との界面に平行な方向にクラックが進展するようになり、クラックが基材まで進展することを防止する作用が得られる。このような効果は、組成が異なる２層が交互に各２層以上積層した交互積層構造であるとさらに高くなるので、好ましい。具体的には、組成が異なるＡ１層とＢ１層を、基材から被覆層の表面に向かって、Ａ１層→Ｂ１層→Ａ１層→Ｂ１層→…と交互に２層以上積層を繰り返す交互積層構造が、第１積層構造として好ましい。
　本発明の被覆工具の被覆層における第１積層構造を構成する各層について、その平均層厚が６０ｎｍ未満であるとクラックが基材まで進展することを防止する作用が低下し、一方５００ｎｍを超えて厚くなると耐欠損性が低下するので、前記第１積層構造を構成する各層の平均層厚を６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下とした。その中でも、前記第１積層構造を構成する各層の平均層厚が６０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であるとさらに好ましい。
　また、前記第１積層構造の平均厚さは、０．２μｍ未満であると組成の異なる層の周期的な積層の繰り返し数が少なくなり、基材までクラックが進展することを抑制する作用が低下する傾向を示し、逆に６μｍを超えて厚くなると被覆層全体の残留圧縮応力が高くなり、被覆層の剥離や欠損を生じやすく耐欠損性が低下する傾向を示すので、本発明において第１積層構造の平均厚さは、０．２～６μｍであるとさらに好ましい。
　次に、本発明の被覆工具における被覆層は、上述の通り第２積層構造を含む。この第２積層構造を構成する層は、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、
これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物
からなる群より選ばれた少なくとも１種を含み、耐摩耗性に優れる。
　その中でも、第２積層構造を構成する層は、
Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、ＳｒおよびＹから選択される金属元素の少なくとも２種からなる金属；並びに、
これら金属元素の少なくとも２種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物
からなる群より選ばれた少なくとも１種を含むと、硬質であるので、さらに好ましい。そのような第２積層構造の構成層を構成する金属または化合物として具体的には、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．５０）Ｎ、（Ａｌ０．６０Ｔｉ０．４０）Ｎ、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）Ｎ、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）ＣＮ、（Ａｌ０．４５Ｔｉ０．４５Ｓｉ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．４５Ｔｉ０．４５Ｙ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ti０．３０Ｃｒ０．２０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｎｂ０．０５）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｔａ０．０５）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．４５Ｗ０．０５）Ｎ、（Ｔｉ０．９０Ｓｉ０．１０）Ｎ、（Ａｌ０．５０Ｃｒ０．５０）Ｎなどを挙げることができる。
　本発明における第２積層構造は、これらの金属または化合物からなる２層以上を、各層の平均層厚を２ｎｍ以上６０ｎｍ未満の厚みとして周期的に積層した構造を持つ。この一定の周期性をもって積層された構造には、組成が異なる２層以上の層が含まれている。前記第２積層構造は、この組成が異なる層を交互に各２層以上積層させた交互積層構造であることが、硬度が高くなり耐摩耗性が向上する観点から好ましい。
　第２積層構造についても、層の積層が繰り返される最小単位の厚さを「積層周期」という。例えば、図１において、組成が異なるＡ２層（７）、Ｂ２層（８）、Ｃ２層、Ｄ２層を、基材１から被覆層２の表面に向かって、Ａ２層→Ｂ２層→Ｃ２層→Ｄ２層→Ａ２層→Ｂ２層→Ｃ２層→Ｄ２層→…と繰り返し積層した場合、Ａ２層からＤ２層までの層厚の合計を「積層周期」とする。また、組成が異なるＡ２層（７）とＢ２層（８）を、基材１から被覆層２の表面に向かって、Ａ２層→Ｂ２層→Ａ２層→Ｂ２層→Ａ２層→Ｂ２層→…と繰り返し積層した場合、Ａ２層の層厚とＢ２層の層厚の合計を「積層周期」とする。
　組成が異なる平均層厚２ｎｍ以上６０ｎｍ未満の各層を、このような周期性を持たせて積層することで、本発明の被覆工具における第２積層構造の硬度が高くなり、耐摩耗性を向上させる効果が得られる。このような効果は、組成が異なる２層が交互に各２層以上積層した交互積層構造であるとさらに高くなるので、好ましい。具体的には、組成が異なるＡ２層とＢ２層を、基材から被覆層の表面に向かって、Ａ２層→Ｂ２層→Ａ２層→Ｂ２層→…と交互に２層以上積層を繰り返す交互積層構造が、第２積層構造としてさらに好ましい。
　前記第２積層構造を構成する各層について、その平均層厚が２ｎｍ未満であると均一な厚さの層を形成することが困難であり、第２積層構造を構成する層の平均層厚が６０ｎｍ以上になると、硬度が低下して耐摩耗性が低下する。さらに第２積層構造と第１積層構造との層厚差が少なくなり、第１積層構造と第２積層構造の界面に平行な方向にクラックが進展することで基材までクラックが進展することを抑制する効果が十分に得られない。そのため、本発明において第２積層構造を構成する各層の平均層厚を２ｎｍ以上６０ｎｍ未満とした。このような観点から、前記第２積層構造を構成する各層の平均層厚が５ｎｍ以上３０ｎｍ以下であるとさらに好ましい。
　また、前記第２積層構造の平均厚さが０．０２μｍ未満であると、周期的な層の繰り返し数が少なくなり、硬度が向上する作用が得られず、一方第２積層構造の平均厚さが６μｍを超えて厚くなると、第２積層構造の残留圧縮応力が高くなって、被覆層の剥離や欠損が生じやすくなり、耐欠損性が低下する傾向を示すことから、第２積層構造の平均厚さは０．０２～６μｍであることが好ましい。
　次に、本発明の被覆工具における第１積層構造の積層周期の平均値Ｔ１と、第２積層構造の積層周期の平均値Ｔ２との差（Ｔ１－Ｔ２）が２０ｎｍ未満であると、第１積層構造と第２積層構造の界面と平行な方向にクラックが進展してクラックが基材まで進展することを抑制する作用が低下する傾向が見られ、一方Ｔ１とＴ２との差（Ｔ１－Ｔ２）が９９６ｎｍを超えて大きくなると、第１積層構造の平均厚さが厚くなり耐欠損性が低下する傾向が見られるので、Ｔ１とＴ２との差（Ｔ１－Ｔ２）は２０～９９６ｎｍであることが好ましい。その中でもＴ１とＴ２との差（Ｔ１－Ｔ２）が２０～５００ｎｍであるとより好ましく、２０～２５０ｎｍであるとさらに好ましい。
　なお、積層周期の平均値とは、例えば、Ａ２層→Ｂ２層→Ａ２層→Ｂ２層→Ａ２層→Ｂ２層→…とＡ２層→Ｂ２層を１００回繰り返し積層した場合、１００個の繰り返し単位の各積層周期の合計を求め、その積層周期の合計を繰り返した回数である１００で割った値のことをいう。
　本発明の被覆工具における第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第１積層構造を構成する各層の間で同一であり、さらに第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、その層に隣接した第１積層構造を構成する別の層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上であるような金属元素が１種以上存在することが好ましい。
　このような構成であると、第１積層構造を構成するある層とその隣接層の密着性を低下させずに、層と層の界面において結晶格子の不整合性が得られる。そのため、第１積層構造を構成する層と層の界面と平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が高くなるので、さらに好ましい。
　上記の「差の絶対値が５原子％以上であるような金属元素が１種以上存在する」ということについて、例えば、第１積層構造が（Ａｌ０．５５Ｔｉ０．４５）Ｎ層と、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）Ｎ層とからなる場合、２つの層の金属元素は、Ａｌ元素とＴｉ元素で同一であるが、（Ａｌ０．５５Ｔｉ０．４５）Ｎ層に含まれるＡｌ元素量は金属元素全体に対して５５原子％であり、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）Ｎ層に含まれるＡｌ元素量は金属元素全体に対して６７原子％であり、これら二つの層におけるＡｌ元素量の差は１２原子％であるので、この要件を満たす。また、（Ａｌ０．４９Ｔｉ０．３９Ｃｒ０．１２）Ｎ層と（Ａｌ０．５６Ｔｉ０．３６Ｃｒ０．０８）Ｎ層のように、２つの層の金属元素はＡｌ元素とＴｉ元素とＣｒ元素で同一であり、２つの層のＴｉ元素量の差は３原子％、２つの層のＣｒ元素量の差は４原子％と、それぞれ５原子％未満であっても、２つの層のＡｌ元素量の差は７原子％であるので、この要件を満たす。
　なお、本発明において窒化物を（ＭａＬｂ）Ｎと表記する場合は、金属元素全体に対するＭ元素の原子比がａ、Ｌ元素の原子比がｂであることを意味する。例えば、（Ａｌ０．５５Ｔｉ０．４５）Ｎは、金属元素全体に対するＡｌ元素の原子比が０．５５、金属元素全体に対するＴｉ元素の原子比が０．４５、すなわち、金属元素全体に対するＡｌ元素量が５５原子％、金属元素全体に対するＴｉ元素量が４５原子％であることを意味する。
　また、本発明の被覆工具における第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、第２積層構造を構成する各層の間で同一であり、さらに第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、その層に隣接した第２積層構造を構成する別の層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上であるような金属元素が１種以上存在することが好ましい。
　このような構成であると、第２積層構造を構成する層とその隣接層の密着性を低下させずに、層と層の界面において結晶格子の不整合性が得られる。そのため、第２積層構造を構成する層と層の界面と平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が高くなるので、さらに好ましい。前記の「差の絶対値が５原子％以上であるような金属元素が１種以上存在する」の意味は、上記の第１積層構造について説明したのと同様である。
　また、別の態様として、本発明の被覆工具における第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、その層に隣接した第１積層構造を構成する別の層に含まれる金属元素が１種以上異なると、層と層の界面で結晶格子が不整合となり、層と層の界面に平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が高くなるので、さらに好ましい。例えば、第１積層構造が（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．５０）Ｎ層と（Ａｌ０．５０Ｔｉ０．３０Ｃｒ０．２０）Ｎ層とからなる場合、２つの層に含まれる金属元素を比較すると、２つの層はＡｌ元素とＴｉ元素を含むが、Ｃｒ元素については一方の層のみに含まれるので、この要件を満たす。また、第１積層構造が（Ａｌ０．５０Ｃｒ０．５０）Ｎ層と、（Ａｌ０．６７Ｔｉ０．３３）Ｎ層とからなる場合も、２つの層に含まれる金属元素を比較すると、２つの層はＡｌ元素を含むが、Ｃｒ元素については一方の層のみに含まれ、Ｔｉ元素については一方の層のみに含まれるので、この要件を満たす。
　同様に、本発明の被覆工具において、第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、その層に隣接した第２積層構造を構成する別の層に含まれる金属元素が１種以上異なると、層と層の界面で結晶格子が不整合となり、層と層の界面に平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が高くなるので、さらに好ましい。
　本発明の被覆工具における被覆層は耐欠損性に優れる第１積層構造と耐摩耗性に優れる第２積層構造とを含むことで、耐欠損性および耐摩耗性に優れる。前記被覆層は、第１積層構造および第２積層構造よりも被覆層の基材と反対側の表面側に上部層を含んでもよい。また、前記被覆層は、第１積層構造および第２積層構造よりも基材側に下部層を含んでもよい。さらに前記被覆層は、第１積層構造と第２積層構造の間に中間層を含んでもよい。
　これら上部層、中間層及び下部層の構成は、被覆工具の被覆層として用いられるものであれば特に限定はされないが、その中でも、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種からなる層の単層または周期を有さない多層構成であると、耐摩耗性が向上するので、好ましい。
　また、第１積層構造と第２積層構造とを交互に２つ以上連続して積層すると、クラックが第１積層構造と第２積層構造との界面と平行な方向に進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が得られ、耐欠損性が向上するため、さらに好ましい。第１積層構造と第２積層構造の位置関係については、基材に最も近いのが第１積層構造、被覆層の基材と反対側の表面に最も近いのが第２積層構造であっても、基材に最も近いのが第２積層構造、被覆層の基材と反対側の表面に最も近いのが第１積層構造であっても、いずれでもよい。さらに、基材に最も近いもの及び被覆層の基材と反対側の表面に最も近いものの双方を第１積層構造又は第２積層構造としてもよい。その中でも、第２積層構造の残留圧縮応力よりも第１積層構造の残留圧縮応力の方が低く、第１積層構造を基材に最も近くして第２積層構造を前記表面に最も近くすると、被覆層の耐剥離性が向上する傾向が見られるので、さらに好ましい。
　本発明の被覆工具における被覆層の製造方法は特に限定されるものではないが、例えば、イオンプレーティング法、アークイオンプレーティング法、スパッタ法、イオンミキシング法などの物理蒸着法を使用して、基材上に上記で説明した第１積層構造や第２積層構造等の各層を形成していく方法を挙げることができる。その中でもアークイオンプレーティング法は被覆層と基材の密着性に優れるので、さらに好ましい。
　本発明の被覆工具は、基材の表面に従来の被覆方法で各層を形成することで得られるが、例えば、以下の製造方法を挙げることができる。
　工具形状に加工した基材を物理蒸着装置の反応容器内に入れ、反応容器内を圧力１×１０－２Ｐａ以下の真空になるまで真空引きする。真空引きした後、反応容器内のヒーターで基材の温度が２００～８００℃になるまで加熱する。加熱後、反応容器内にＡｒガスを導入して圧力を０．５～５．０Ｐａとする。圧力０．５～５．０ＰａのＡｒガス雰囲気にて、基材に－２００～－１０００Ｖのバイアス電圧を印加し、反応容器内のタングステンフィラメントに５～２０Ａの電流を流して、基材の表面をＡｒガスによるイオンボンバードメント処理をする。基材の表面をイオンボンバードメント処理した後、圧力１×１０－２Ｐａ以下の真空になるまで真空引きする。
　次いで、窒素ガスなどの反応ガスを反応容器内に導入し、反応容器内の圧力を０．５～５．０Ｐａにして、基材に－１０～－１５０Ｖのバイアス電圧を印加し、各層の金属成分に応じた金属蒸発源をアーク放電により蒸発させて基材の表面に各層を形成することができる。なお、離れた位置に置かれた２種類以上の金属蒸発源を同時にアーク放電により蒸発させ、基材を固定した回転テーブルを回転して第１積層構造もしくは第２積層構造を構成する層を形成する場合は、反応容器内の基材を固定した回転テーブルの回転数を調整することによって、第１積層構造もしくは第２積層構造を構成する各層の層厚を制御することができ、２種類以上の金属蒸発源を交互にアーク放電により蒸発させて第１積層構造もしくは第２積層構造を構成する層を形成する場合は、それぞれの金属蒸発源のアーク放電時間を調整することによって第１積層構造もしくは第２積層構造を構成する各層の層厚を制御することができる。
　本発明の被覆工具における被覆層を構成する各層の層厚は、被覆工具の断面組織から光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などを用いて測定することができる。なお、本発明の被覆工具における各層の平均層厚は、金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって５０μｍの位置の近傍において、３箇所以上の断面から各層の層厚を測定して、その平均値を計算することで求めることができる。
　また、本発明の被覆工具の各層の組成は、本発明の被覆工具の断面組織からエネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＥＤＳ）や波長分散型Ｘ線分析装置（ＷＤＳ）などを用いて測定することができる。
　本発明の被覆工具の種類として具体的には、切削インサート、ドリル、エンドミルなどを挙げることができる。
　［実施例１］
　基材としてＩＳＯ規格ＳＥＥＮ１２０３インサート形状のＰ１０相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に表１～３に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。用意した基材を反応容器内の回転テーブルの固定金具に固定した。
　その後、反応容器内の圧力が５．０×１０－３Ｐａ以下の真空になるまで真空引きした。真空引き後、反応容器内のヒーターで基材の温度が５００℃になるまで加熱した。加熱後、反応容器内の圧力が５．０ＰａになるようにＡｒガスを導入した。
　圧力５．０ＰａのＡｒガス雰囲気にて、基材に－１０００Ｖのバイアス電圧を印加して、反応容器内のタングステンフィラメントに１０Ａの電流を流して、基材の表面にＡｒガスによるイオンボンバードメント処理を３０分間行った。イオンボンバードメント処理終了後、反応容器内の圧力が５．０×１０－３Ｐａ以下の真空になるまで真空引きした。
　真空引き後、窒素ガスを反応容器内に導入し、圧力２．７Ｐａの窒素ガス雰囲気にした。基材には－５０Ｖのバイアス電圧を印加してアーク電流２００Ａのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて各層を形成した。
　なお、発明品１～１１のＡ１層とＢ１層を形成するときは、Ａ１層の金属蒸発源とＢ１層の金属蒸発源を交互にアーク放電により蒸発させてＡ１層とＢ１層を形成した。このときＡ１層の層厚とＢ１層の層厚はそれぞれのアーク放電時間を調整して制御した。層厚が厚い比較品１も同様にＸ層の金属蒸発源とＹ層の金属蒸発源を交互にアーク放電により蒸発させてＸ層とＹ層を形成した。このときＸ層の層厚とＹ層の層厚はそれぞれのアーク放電時間を調整して制御した。
　また、発明品１～１１のＡ２層とＢ２層を形成するときは、Ａ２層の金属蒸発源とＢ２層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させてＡ２層とＢ２層を形成した。このときＡ２層の層厚とＢ２層の層厚は回転テーブルの回転数を０．２～１０ｍｉｎ－１の範囲で調整することで制御した。層厚が薄い比較品２の層厚も同様にＸ層の金属蒸発源とＹ層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させてＸ層とＹ層を形成した。このときＸ層の層厚とＹ層の層厚は回転テーブルの回転数を０．２～１０ｍｉｎ－１の範囲で調整することで制御した。
　基材の表面に所定の層厚まで各層を形成した後に、ヒーターの電源を切り、試料温度が１００℃以下になった後で、反応容器内から試料を取り出した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　得られた試料の各層の平均層厚は、被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって５０μｍの位置の近傍において、３箇所の断面をＴＥＭ観察し、各層の層厚を測定し、その平均値を計算することで求めた。得られた試料の各層の組成は、被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から中心部に向かって５０μｍまでの位置の断面でＥＤＳを用いて測定した。それらの結果も、表１～３にあわせて示す。なお、表１～３の各層の金属元素の組成比は、各層を構成する金属化合物における金属元素全体に対する各金属元素の原子比を示す。
　得られた試料を用いて、以下の試験条件で正面フライス加工を行って耐欠損性を評価した。その評価結果を表４に示す。
［試験条件］
被削材：ＳＣＭ４４０、
被削材形状：１０５ｍｍ×２００ｍｍ×６０ｍｍの直方体（但し、正面フライス加工を行う直方体の１０５ｍｍ×２００ｍｍの面に直径φ３０ｍｍの穴が６箇所明けられている。）
切削速度：２５０ｍ／ｍｉｎ、
送り：０．４ｍｍ／ｔｏｏｔｈ、
切り込み：２．０ｍｍ、
切削幅：１０５ｍｍ、
クーラント：無し、
カッター有効径:φ１２５ｍｍ、
評価項目：試料が欠損する（試料の切れ刃部に欠けが生じる）までの加工長を測定する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
　表４の結果より、発明品は、均一な各種の層厚の層を交互に積層させた交互積層構造を備える比較品よりも加工長が長く、工具寿命が長いことが分かる。
　［実施例２］
　基材としてＩＳＯ規格ＳＥＥＮ１２０３インサート形状のＰ１０相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に表５に示す各層の組成となる金属蒸発源を配置して、実施例１と同様な製造方法で表５及び６に示す層構成の試料を作製した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
　得られた試料の各層の平均層厚及び各層の組成を実施例１と同様にして測定した。それらの結果を表５及び６に示す。また得られた試料を用いて、実施例１と同じ試験条件で正面フライス加工を行って耐欠損性を評価した。その評価結果を表７に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
　表７より、発明品は、均一な各種の層厚の層を交互に積層した交互積層構造を持つ比較品よりも加工長が長く、工具寿命が長いことが分かる。
　［実施例３］
　基材としてＩＳＯ規格ＳＥＥＮ１２０３インサート形状のＰ１０相当の超硬合金を用意した。発明品２３、２５～３５および比較品３、５～１５は、アークイオンプレーティング装置の反応容器内に表８及び表１０に示す各層の組成となる金属蒸発源を配置して、実施例１と同様な製造方法で表９及び１０に示す層構成の試料を形成した。
　また、発明品２４と比較品４は、アークイオンプレーティング装置の反応容器内に表８及び表１０に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置して、各層を形成するときの反応容器内の雰囲気をＮ２ガスとＣＨ４ガスの分圧比がＮ２：ＣＨ４＝１：１となるように混合した混合ガスとし、反応容器内の圧力２．７Ｐａにすること以外は、実施例１と同様に表９及び１０に示す層構成の試料を作製した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
　得られた試料の各層の層厚及び各層の組成を実施例１と同様にして測定した。それらの結果を、表８～１０に併せて示す。なお、表８及び１０の各層の金属元素の組成比は、各層を構成する金属化合物における金属元素全体に対する各金属元素の原子比を示す。得られた試料を用いて、実施例１と同じ試験条件で正面フライス加工を行って耐欠損性を評価した。その評価結果を表１１及び表１２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
　表１１及び表１２より、発明品は、均一な各種の層厚の層を交互に積層させた交互積層構造を備える比較品よりも加工長が長く、工具寿命が長いことが分かる。
１　基材
２　被覆層
３　第１積層構造
４　第２積層構造
５　Ａ１層
６　Ｂ１層
７　Ａ２層
８　Ｂ２層

Claims (13)

  1. 　基材と、基材の表面に形成された被覆層とを含み、該被覆層は第１積層構造と第２積層構造とを含み、
    　前記第１積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を６０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の厚みとして周期的に積層した構造であり、
    　前記第２積層構造は組成が異なる２層以上の層を、各層の平均層厚を２ｎｍ以上６０ｎｍ未満の厚みとして周期的に積層した構造であり、
    　前記第１積層構造を構成する層および第２積層構造を構成する層は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｙ、ＳｎおよびＢｉから選択される金属元素の少なくとも１種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも１種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む、被覆工具。
  2. 　前記第１積層構造は、組成が異なる２層を交互に各２層以上積層した交互積層構造である請求項１に記載の被覆工具。
  3. 　前記第２積層構造は、組成が異なる２層を交互に各２層以上積層した交互積層構造である請求項１または２に記載の被覆工具。
  4. 　前記被覆層は、前記第１積層構造と第２積層構造とを交互に２つ以上連続して積層した構造を含む請求項１～３のいずれか１項に記載の被覆工具。
  5. 　前記第１積層構造の積層周期の平均値Ｔ１と、前記第２積層構造の積層周期の平均値Ｔ２との差（Ｔ１－Ｔ２）が２０ｎｍ～９９６ｎｍである、請求項１～４のいずれか１項に記載の被覆工具。
  6. 　前記第１積層構造を構成する各層および前記第２積層構造を構成する各層は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、ＳｒおよびＹから選択される金属元素の少なくとも２種からなる金属；並びに、これら金属元素の少なくとも２種と炭素、窒素、酸素および硼素から選択される非金属元素の少なくとも１種とからなる化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の被覆工具。
  7. 　前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第１積層構造を構成する各層の間で同一であり、
    　前記第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、当該層に隣接した前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上である金属元素が１種以上含まれる、請求項１～６のいずれか１項に記載の被覆工具。
  8. 　前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第２積層構造を構成する各層の間で同一であり、
    　前記第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素全体に対する元素量と、当該層に隣接した前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素全体に対する元素量との差の絶対値が５原子％以上である金属元素が１種以上含まれる、請求項１～７のいずれか１項に記載の被覆工具。
  9. 　前記第１積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、当該層に隣接する前記第１積層構造を構成する層に含まれる金属元素が１種以上異なる、請求項１～６のいずれか１項に記載の被覆工具。
  10. 　前記第２積層構造を構成する一の層に含まれる金属元素と、当該層に隣接する前記第２積層構造を構成する層に含まれる金属元素が１種以上異なる請求項１～６及び９のいずれか１項に記載の被覆工具。
  11. 　前記被覆層全体の総層厚は平均層厚で０．２２～１２μｍである請求項１～１０のいずれか１項に記載の被覆工具。
  12. 　前記第１積層構造の平均厚さは０．２～６μｍである請求項１～１１のいずれか１項に記載の被覆工具。
  13. 　前記第２積層構造の平均厚さは０．０２～６μｍである請求項１～１２のいずれか１項に記載の被覆工具。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015147241A1 (ja) * 2014-03-27 2015-10-01 株式会社タンガロイ 被覆工具
WO2015156383A1 (ja) * 2014-04-10 2015-10-15 株式会社タンガロイ 被覆工具
JP6004366B1 (ja) * 2015-04-27 2016-10-05 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US20180044773A1 (en) * 2014-12-22 2018-02-15 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon AlCrN-Based Coating Providing Enhanced Crater Wear Resistance
US20180099335A1 (en) * 2016-03-28 2018-04-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same
WO2018100849A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
WO2019044715A1 (ja) * 2017-08-29 2019-03-07 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
WO2019044714A1 (ja) * 2017-08-29 2019-03-07 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
JP2020089923A (ja) * 2018-12-03 2020-06-11 株式会社タンガロイ 穴あけ加工用被覆切削工具

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090252794A1 (en) 2006-08-09 2009-10-08 Tetsuya Suzuki Tablet
US10300533B2 (en) 2014-08-01 2019-05-28 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
EP3322837B1 (en) * 2015-07-13 2021-03-17 Sandvik Intellectual Property AB Coated cutting tool
JP6577037B2 (ja) 2015-09-04 2019-09-18 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
RU2637865C1 (ru) * 2016-10-11 2017-12-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
KR101887287B1 (ko) 2016-12-14 2018-08-09 이종하 내식성 및 내마모성이 우수한 의료용 공구 및 이의 제조 방법
JP7083448B2 (ja) * 2017-01-07 2022-06-13 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
RU2638874C1 (ru) * 2017-03-10 2017-12-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP6507399B2 (ja) * 2017-03-28 2019-05-08 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN110709197B (zh) * 2017-05-30 2021-04-27 京瓷株式会社 被覆工具和具备其的切削工具
CN107177825B (zh) * 2017-07-03 2019-08-06 济宁学院 ZrNbC/ZrNbCN叠层涂层刀具及其制备工艺
CN107177829B (zh) * 2017-07-03 2019-08-06 济宁学院 AlNbC/AlNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺
US11976350B2 (en) * 2018-02-27 2024-05-07 Proterial, Ltd. Covering member and method for manufacturing the same
EP3808477B1 (en) * 2018-06-15 2022-11-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and process for producing same
WO2019239654A1 (ja) * 2018-06-15 2019-12-19 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具、及びその製造方法
CN112239846B (zh) * 2019-07-19 2023-01-31 株洲钻石切削刀具股份有限公司 一种多元复合涂层切削刀具
RU2735478C1 (ru) * 2019-10-01 2020-11-03 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP7033824B1 (ja) 2021-06-28 2022-03-11 株式会社ディスコ 単結晶ダイヤモンドの製造方法および単結晶ダイヤモンド
EP4170064A1 (en) 2021-10-20 2023-04-26 AB Sandvik Coromant Coated cutting tool

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07205361A (ja) 1994-01-21 1995-08-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 耐摩耗性に優れた表面被覆部材
JPH1112718A (ja) 1997-06-19 1999-01-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆硬質工具
JP2002363750A (ja) * 2001-03-27 2002-12-18 Seco Tools Ab Ａｌ２Ｏ３−Ｔｉの多層を有する被覆ボディ
JP2003200306A (ja) 2001-12-27 2003-07-15 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層が重切削条件で被削材に対して良好な食いつき性を示す表面被覆超硬合金製切削工具
WO2008146727A1 (ja) * 2007-05-30 2008-12-04 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. 表面被覆切削工具
JP2010099769A (ja) * 2008-10-23 2010-05-06 Kyocera Corp 表面被覆工具
JP2010207916A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2011506115A (ja) * 2007-12-14 2011-03-03 ケンナメタル インコーポレイテッド ナノレイヤ被覆方式による被覆物
JP2011104722A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Mitsubishi Materials Corp 耐欠損性、耐溶着性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
JP2012035379A (ja) * 2010-08-09 2012-02-23 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917348C2 (de) * 1979-04-28 1984-07-12 Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen Verschleißfester Verbundkörper
SU1132446A1 (ru) * 1983-12-12 1990-01-15 Всесоюзный Научно-Исследовательский Инструментальный Институт Износостойкое покрытие режущего инструмента
SU1723840A1 (ru) * 1990-01-22 1997-01-20 Институт Физики Прочности И Материаловедения Со Ан Ссср Способ повышения износостойкости поверхности изделий из металлов и сплавов
JPH08503023A (ja) * 1992-10-29 1996-04-02 アルミナム カンパニー オブ アメリカ 靭性を強化した金属マトリックス複合材および製造方法
DE10332101B4 (de) * 2003-07-15 2016-02-04 Kennametal Inc. Schneidwerkzeug und Verfahren zu dessen Herstellung
RU2266350C2 (ru) * 2003-10-31 2005-12-20 Ульяновский государственный технический университет Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
SE528108C2 (sv) 2004-07-13 2006-09-05 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, speciellt för svarvning av stål, samt sätt att tillverka detsamma
RU2346078C2 (ru) * 2007-03-22 2009-02-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия
JP5257750B2 (ja) * 2008-04-04 2013-08-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5056949B2 (ja) * 2008-07-14 2012-10-24 株式会社タンガロイ 被覆部材
JPWO2010010648A1 (ja) * 2008-07-22 2012-01-05 日本特殊陶業株式会社 切削インサート及び切削工具
ES2699177T3 (es) * 2010-01-11 2019-02-07 Iscar Ltd Herramienta de corte recubierta
KR101190324B1 (ko) * 2010-02-11 2012-10-11 대구텍 유한회사 절삭공구

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07205361A (ja) 1994-01-21 1995-08-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 耐摩耗性に優れた表面被覆部材
JPH1112718A (ja) 1997-06-19 1999-01-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆硬質工具
JP2002363750A (ja) * 2001-03-27 2002-12-18 Seco Tools Ab Ａｌ２Ｏ３−Ｔｉの多層を有する被覆ボディ
JP2003200306A (ja) 2001-12-27 2003-07-15 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層が重切削条件で被削材に対して良好な食いつき性を示す表面被覆超硬合金製切削工具
WO2008146727A1 (ja) * 2007-05-30 2008-12-04 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. 表面被覆切削工具
JP2011506115A (ja) * 2007-12-14 2011-03-03 ケンナメタル インコーポレイテッド ナノレイヤ被覆方式による被覆物
JP2010099769A (ja) * 2008-10-23 2010-05-06 Kyocera Corp 表面被覆工具
JP2010207916A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2011104722A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Mitsubishi Materials Corp 耐欠損性、耐溶着性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
JP2012035379A (ja) * 2010-08-09 2012-02-23 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2883637A4

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015147241A1 (ja) * 2014-03-27 2015-10-01 株式会社タンガロイ 被覆工具
US10265775B2 (en) * 2014-03-27 2019-04-23 Tungaloy Corporation Coated tool
US20180071829A1 (en) * 2014-03-27 2018-03-15 Tungaloy Corporation Coated tool
CN106132603A (zh) * 2014-03-27 2016-11-16 株式会社图格莱 包覆工具
JPWO2015147241A1 (ja) * 2014-03-27 2017-04-13 株式会社タンガロイ 被覆工具
EP3124146A4 (en) * 2014-03-27 2017-11-01 Tungaloy Corporation Coated tool
WO2015156383A1 (ja) * 2014-04-10 2015-10-15 株式会社タンガロイ 被覆工具
CN106163708A (zh) * 2014-04-10 2016-11-23 株式会社图格莱 包覆工具
US20170029931A1 (en) * 2014-04-10 2017-02-02 Tungaloy Corporation Coated tool
JPWO2015156383A1 (ja) * 2014-04-10 2017-04-13 株式会社タンガロイ 被覆工具
EP3130418A4 (en) * 2014-04-10 2017-11-01 Tungaloy Corporation Coated tool
US20180044773A1 (en) * 2014-12-22 2018-02-15 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon AlCrN-Based Coating Providing Enhanced Crater Wear Resistance
US11035035B2 (en) * 2014-12-22 2021-06-15 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon AlCrN-based coating providing enhanced crater wear resistance
CN107530786B (zh) * 2015-04-27 2020-05-05 株式会社泰珂洛 被覆切削工具
WO2016175166A1 (ja) * 2015-04-27 2016-11-03 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN107530786A (zh) * 2015-04-27 2018-01-02 株式会社泰珂洛 被覆切削工具
EP3290137A4 (en) * 2015-04-27 2018-12-26 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
JP6004366B1 (ja) * 2015-04-27 2016-10-05 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US20180099335A1 (en) * 2016-03-28 2018-04-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same
US11872636B2 (en) * 2016-03-28 2024-01-16 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same
WO2018100849A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JPWO2018100849A1 (ja) * 2016-11-29 2019-10-17 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JPWO2019044715A1 (ja) * 2017-08-29 2020-09-17 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
JPWO2019044714A1 (ja) * 2017-08-29 2020-09-17 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
WO2019044714A1 (ja) * 2017-08-29 2019-03-07 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
WO2019044715A1 (ja) * 2017-08-29 2019-03-07 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
JP2020089923A (ja) * 2018-12-03 2020-06-11 株式会社タンガロイ 穴あけ加工用被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2014025057A1 (ja) 2016-07-25
JP5817932B2 (ja) 2015-11-18
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RU2588946C1 (ru) 2016-07-10
CA2880949A1 (en) 2014-02-13
US10501842B2 (en) 2019-12-10
BR112015002527A2 (ja) 2018-05-22
CA2880949C (en) 2016-07-12
KR101684412B1 (ko) 2016-12-08
EP2883637B1 (en) 2018-02-28

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