WO2008149947A1 - ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法 - Google Patents

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Abstract

　 　本発明は、酸解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法を提供する。該ポジ型感光性樹脂組成物は、感度、残膜率、保存安定性に優れ、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いた硬化膜形成方法により、耐熱性、密着性、透過率などに優れた硬化膜を提供できる。
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