WO2007013274A1

WO2007013274A1 - 真空ポンプ装置とそのコントローラ

Info

Publication number: WO2007013274A1
Application number: PCT/JP2006/313456
Authority: WO
Inventors: Satoshi Okudera; Takashi Kabasawa; Yoshiyuki Sakaguchi
Original assignee: Boc Edowards Japan Limited
Priority date: 2005-07-29
Filing date: 2006-07-06
Publication date: 2007-02-01
Also published as: JP2007032535A; JP4796795B2

Abstract

【課題】従来の強制空冷や水冷方式によらずにコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を効率よく除去し、振動をなくしつつ小型化を実現すること。【解決手段】ポンプ本体２の外部に装着され、その動作を制御する制御回路基板３４が内蔵されたコントローラ３において、コントローラ３の周囲を覆い外壁面に複数枚のフィン４３、４３、…を整列させたヒートシンク４を設け、そのフィン４３の向きをポンプ本体２の回転中心軸線Ｌに対し傾斜した状態にするとともに、コントローラケース３１の背面パネル３１－２と底面パネル３１－３に多数の通気孔３６，３６，…を開口する。これにより、ポンプ本体２が真空チャンバ１０に対していかなる姿勢であっても、フィン４３の放熱面が斜め上方を向いていてフィン４３、４３間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなるとともに、ケース内部の熱気が通気孔３６から外部に確実に抜けるので、高温化したコントローラ３の放熱効率を向上させることができる。

Description

明細書

真空ポンプ装置とそのコントローラ

技術分野

[0001] 本発明は、例えば半導体製造装置、電子顕微鏡、質量分析装置などの機器において使用される真空ポンプ装置とそのコントローラに関する。

背景技術

[0002] 従来、上記のような各種機器において、真空チャンバ内を高真空にするために真空ポンプ装置が利用されており、この種の真空ポンプ装置は、真空チャンバに取り付けられるポンプ本体とその動作を制御するコントローラを備えて構成されている。ボンプ本体としては一般にターボ分子ポンプが知られており、このターボ分子ポンプはポンプケース内にロータが回転可能に支持されており、ロータの外壁面に放射状かつ複数段のロータ翼が設けられ、これと対面するポンプケースの内壁面にロータ翼間に位置決めした複数段のステータ翼が配置されている。そして真空チャンバ内をある程度減圧した後、コントローラで制御したロータを高速回転させると、回転するロータ翼と固定のステータ翼に衝突したガス分子が運動量を付与され排気される。この排気動作により真空チャンバからポンプ本体内に吸引されたガス分子を圧縮しながら排気して、真空チャンバ内に所定の高真空度が形成される。

[0003] ところで、このような真空ポンプ装置において、コントローラの内部にはおもにロータの回転動作を制御するための制御回路基板が内蔵されている。制御回路基板には電子回路を構成する素子が実装されて、るが、その中にはトランジスタや抵抗のように動作時に熱を発生する素子があり、ポンプ本体の運転中これらの素子の熱により制御回路基板が非常に高温になる。このように、発熱する素子によって高温化した制御回路基板をそのままにしてポンプ本体の運転を続けると、その熱が原因で素子の寿命を著しく低下させることになるうえ、コントローラの故障に繋がり、ポンプ本体を正常に動作させることができなくなる。したがって、真空ポンプ装置ではコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を取り除くことが不可欠である。

[0004] その方法として、コントローラの内部に冷却ファンを設置し、冷却ファン力もの風を制御回路基板に直接当てて強制空冷する方法や、筐体内の高温ィヒした熱気を外部に排気して冷却する方法が知られて!/、るが、これら冷却ファンを用いた空冷方式によると次のような問題がある。例えば上記の真空ポンプ装置を電子顕微鏡のような防振環境を要する測定機器の真空チャンバに取り付ける場合、振動は大敵であるのでポンプ本体の振動を極力抑えなければならな、。そこで振動の発生源である回転するロータを支持する構造として磁気軸受を採用し、機械的な接触をなくしてポンプ本体の低振動化を図っている。ところが上記のようにコントローラの内部に冷却ファンを設置すると、その冷却ファンを駆動するモータの振動がコントローラを介してポンプ本体に伝わり、ポンプ本体の振動が測定機器に伝播してしまう。したがって、特に低振動性が求められる真空ポンプ装置においては、振動の要因となる冷却ファンによる強制空冷方式を採用するのはあまり望ましくな、。

[0005] 一方、下記の特許文献 1には、冷却ファンを使用せずにコントローラを冷却する方法が開示されている。その方法は、ポンプ本体とコントローラを接続コネクタで連結するとともに、両者に密着させた冷却ジャケットを設置するというものである。そしてこの冷却ジャケット内の配管に冷却水を流し、冷却ジャケットを介してコントローラを水冷するようになつている。し力しこの冷却ジャケットを用いた水冷方式によると、冷却水を流すための配管設備が別途必要になり、真空ポンプ装置が大型化するとともにその取り回しが悪くなつてしまう。し力も、ポンプ本体の運転中に冷却水を流し続けなければならず、ランニングコストが高くなるという欠点もある。

[0006] 特許文献 1 :特開平 11 173293号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] 本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、従来の強制空冷や水冷方式によらずにコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を効率よく除去できるようにして、振動が少なくかつ小型化を実現できる真空ポンプ装置とそのコントローラを提供することにある。課題を解決するための手段

[0008] 上記の目的を達成するため、本発明に係る真空ポンプ装置は、真空チャンバに取り付けられ、上記真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気するポンプ本体と、上記ポンプ本体の外部に装着され、上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板が内蔵されたコントローラと、上記コントローラの周囲を覆い、上記制御回路基板に接触して熱伝導させ、その熱を外壁面に整列した複数枚のフィンカゝら外気に放熱するヒートシンクと、を備え、上記ポンプ本体が上記真空チャンバに対していかなる取り付け姿勢であっても、上記ヒートシンクのフィンの向きが上記ポンプ本体の回転中心軸線に対し傾斜した状態になるように構成されて、ることを特徴とする。

[0009] また、同様な目的を達成するため、本発明に係る真空ポンプ装置のコントローラは、真空ポンプ装置のポンプ本体外部に着脱自在に装着され、上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板と、上記制御回路基板に接触して熱伝導させ、その熱を外壁面に整列した複数枚のフィンカゝら外気に放熱するヒートシンクと、を備え、上記ヒートシンクのフィンの向きが上記ポンプ本体の回転中心軸線に対し傾斜した状態になるように構成されて、ることを特徴とする。

[0010] その一方、別の実施態様として、本発明に係る真空ポンプ装置は、真空チャンバに取り付けられ、上記真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気するポンプ本体と、上記ポンプ本体の外部に装着され、上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板が内蔵されたコントローラと、上記コントローラの周囲を覆い、上記制御回路基板の熱により高温化した熱気を外部に通気する通気孔が開口されたコントローラケースと、を備えたことを特徴とする。

[0011] また、本発明に係る真空ポンプ装置のコントローラは、真空ポンプ装置のポンプ本体外部に着脱自在に装着され、上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板と、上記制御回路基板の周囲を覆い、制御回路基板の熱により高温化した熱気を外部に通気する通気孔が開口されたコントローラケースと、を備えたことを特徴とする。

[0012] 上記真空ポンプ装置とそのコントローラにおいて、その具体的な態様として、ヒートシンクは外気と対面する外側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路を形成する構成を採用することができる。また、これと同様に、ヒートシンクはポンプ本体に対面する内側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路が形成されていてもよい。このような構成によると、両側のフィンの間を流れる空気がフィン間を通つて外気へと抜ける空気の自然対流が起こりやすくなり、高温化したヒートシンクと外気との熱交換効率が高まる。

[0013] また、別の態様としては、ヒートシンクはポンプ本体に対面する内側プレートのフィンの先端をポンプケースの外形に沿うように延ばす構成を採用することも可能である。この構成を採用すると、コントローラを装着した状態のままでポンプケースを取り外しできるようになるので、ポンプの組立作業性が向上する。

[0014] なお、上記の真空ポンプ装置において、ポンプ本体内部のポンプ機構が磁気軸受式の回転体であると、その真空ポンプ装置を真空チャンバに対し水平姿勢で取り付けることも可能になるから、真空ポンプ装置の取り付け姿勢が変わっても放熱性能を低下させることなく同様な空冷作用が得られるという本発明の利点が生力される。発明の効果

[0015] 本発明に係る真空ポンプ装置とそのコントローラによれば、ポンプ本体が真空チヤンバに対していかなる取り付け姿勢であっても、コントローラの周囲を覆うヒートシンクのフィンの放熱面が斜め上方を向き、フィン間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなり、また、コントローラケースの通気孔力熱気が外部に抜けるようになっているので、高温ィ匕したコントローラの放熱効率が大幅に向上する。したがって、従来の強制空冷方式のようにコントローラの内部に冷却ファンを設置しなくても充分な空冷効果が得られるので、冷却ファンを廃止することが可能になる。これにより機械動作による振動がまったくなくなり、低振動性が求められる真空ポンプ装置を実現できるとともに、コントローラの小型化も同時に図ることができる。また従来の水冷方式に比べても、別途配管設備の必要がなぐ取り扱い作業性に優れるとともにランニングコストを抑えることちでさる。

[0016] また、本発明に係る真空ポンプ装置とそのコントローラにおいて、ヒートシンクの内側プレートのフィン先端をポンプケースの外形に沿うように延ばす構成を採用することにより、コントローラを装着した状態のままでポンプケースの取り外しや取り付けができるようになるので、ポンプの組立作業性が向上する。このため、ポンプ本体のメンテナンス作業を容易に行うことができるとともに、組立作業に要する時間が短縮されコストダウンを図ることができる。

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、本発明の一実施例について、添付した図面を参照しながら説明する。図 1は真空ポンプ装置の外観を示す正面図、図 2は同装置の左側面図、図 3は同装置の上面図、図 4は同装置の底面図、図 5は同装置の背面図、図 6は同装置の変形例を示す拡大平面図、図 7は同装置の部分拡大断面図、図 8は同装置の取り付け姿勢を示す説明図である。

[0018] 本実施例の真空ポンプ装置 1は、その用途として半導体製造装置、電子顕微鏡、質量分析装置などの対象機器の真空チャンバ 10 (図 8参照）内を高真空にする手段として利用される。図 1に示すようにこの真空ポンプ装置 1は、真空チャンバ 10からガス分子を吸引して排気するポンプ本体 2と、ポンプ本体 2の動作を制御するコントローラ 3と、コントローラ 3の熱を取り除くヒートシンク 4とを一体ィ匕して構成されている。

[0019] ポンプ本体 2は、ベース 21の上に円筒状のポンプケース 22をかぶせ、図 4に示すベース 21の底面開口部を円盤状の底蓋 23で塞いだ構造である。ポンプケース 22の底部周縁にはフランジ 24が設けられて!/、て、このフランジ 24をベース 21の上に載せ、図 3のように周方向に等間隔でボルト 52、 52、…を締結することにより、ポンプケース 22がベース 21に対し着脱自在に取り付けられるようになって!/、る。ポンプケース 22 の上面開口部はガス分子の吸気口 25とされ、ベース 21の側面にはガス分子の排気口 26力開口される。また、ポンプケース 22の内部にはターボ分子ポンプ等力もなるポンプ機構（図示せず）が内蔵されており、このポンプ機構によって吸気口 25から吸引したガス分子を圧縮しながら移送し、そのガス分子を排気口 26からポンプ本体 2の外部へと排気するようになっている。なお、ポンプケース 22の内部構造については周知のポンプ機構を適用でき、本発明の要旨とは関係ないのでその詳細な説明は省略する。

[0020] 一方、コントローラ 3は上記ポンプ本体 2のポンプ機構の動作を制御するもので、図 1に示すようにコントローラケース 31を構成する正面パネル 31 - 1に各種周辺機器を接続するインターフェース 32として、シリアル通信用の RS232Cポートや RS422ポート、ミニ DSUBコネクタ等が設けられている。また、その近傍には LEDで構成された表示部 33があり、コントローラ 3の動作状態などの表示が行われる。図 1において 3 個の LEDはそれぞれコントローラ 3の電源オン Zオフと、コントローラ 3と周辺機器との通信状態の正常 Z異常を点灯表示する。

[0021] 図 7に示すように、コントローラケース 31の内部には、おもにロータの回転動作を制御するための制御回路基板 34が収容されている。同図において制御回路基板 34は 2枚設置されているが、コントローラ 3の薄型化を図るため、 2枚の制御回路基板 34、 34をコントローラケース 31の内部に起立した状態で配置してある。

[0022] 上記構成からなるコントローラ 3は、コントローラケース 31の周囲をヒートシンク 4によつて覆い、自然空冷によりその放熱性を高めるようにした。ヒートシンク 4は熱伝導率の高、金属材料からなり、図 7のようにコントローラ 3に内蔵された制御回路基板 34を内壁面にネジ 53で固定して熱伝導させるようにし、その熱を外気に放熱するために外壁面に複数枚のフィン 43、 43、…を整列させたプレート型にした。また、このヒートシンク 4は外気に対面する外側プレート 41と、ポンプ本体 2に対面する内側プレート 4 2の 2枚に分割したプレートで構成され、外側プレート 41はなるべく広い面積で外気に触れるように外側に向けて湾曲形成されて、る。そしてこの外側プレート 41と内側プレート 42でコントローラケース 31を外側と内側力も挟み付け、両プレートをそれぞれボルト 54でコントローラケース 31に固定するとともにプレートどうしをボルト 55で連結し、コントローラ 3とヒートシンク 4が一体化されて!/、る。

[0023] このようなプレート型のヒートシンク 4は、フィン 43、 43間を通過する空気の流れで放熱性能が大きく左右されることから、本実施例ではフィン 43の向きを以下のように設定し、空気の自然対流が起こりやすいようにしてある。すなわち、外側プレート 41を図 2のように正面から見たとき、フィン 43の向きがポンプ本体 2の回転中心軸線 Lに対し所定の角度で傾斜した状態になって、る。本実施例ではポンプ本体 2を真空チヤンバ 10に対して垂直又は水平のどちらの姿勢で取り付けた場合でも、フィン 43の放熱面が斜め上方を向くように傾斜角度を 45度に設定した。さらに詳しくは、外側プレート 41の左右両側にそれぞれ同じ高さのフィン 43が形成されている力左側のフィン 43— 1と右側のフィン 43— 2は互いに任意の角度 (本実施例では 90度)で交差しており、その両側のフィンどうしの交点を結んだ中心位置に空気の通り抜ける連通路 44 が形成されている。

[0024] 一方、内側プレート 42は、図 3に示すように複数枚のフィン 43が上下方向に整列して設けられている力そのフィン 43の高さが異なっている。放熱性を良くするためにフィン 43の高さは極力大きくする必要がある力ポンプ本体 2側に向けて無造作に高くするとポンプケース 22の組立時に邪魔になるので、干渉を避けるために内側プレート 42のフィン 43— 3の先端はそれぞれポンプケース 22の外形に沿うようにフランジ 24の手前まで延びて!/、る。

[0025] なお、内側プレート 42の構成について、図 3に示すフィン形状の替わりに図 6に示すフィン形状に変形してもよい。図 6の形状は、外側プレート 41と同様に内側プレート 42のフィン 43も傾斜させたもので、内側プレート 42を正面から見てベース 21の部分を避けた略上半部分にフィン 43が設けられ、その向きがポンプ本体 2の回転中心軸線 Lに対し所定角度 (本実施例では 45度)で傾斜している。また、左右両側のフィン 43— 1と 43— 2とが互いに任意の角度 (本実施例では 90度)で交差し、両側のフィンどうしの交点を結んだ中心位置に空気が通り抜ける連通路 44が形成されている。

[0026] さらに、本実施例では放熱性能をより向上させる観点から、コントローラ 3それ自体にも次のような力卩ェが施されている。すなわち、図 5に示すようにコントローラケース 3 1を構成する背面パネル 31— 2にケース内部へ貫通する多数の通気孔 36, 36,… を開口し、コントローラケース 31内部の熱気を通気孔 36から外部に通気できるようにしてある。これらの通気孔 36はケース内部に異物が入り込まないように数ミリ程度の微小な孔とされ、より多くの空気が抜けるように各々の孔を千鳥状に配置して高密度に形成されている。その形成方法としては、本実施例のようにパンチングメタル力ゝらなる背面パネル 31 - 2の周縁をネジ 56によってコントローラケース 31に取り付ける方法のほか、コントローラケース 31の背面に直接孔を開ける方法を採用してもよい。また、これと同様にして、図 4に示したコントローラケース 31の底面についても、多数の通気孔 36, 36,…を開口した底面パネル 31— 3がネジ 56によってコントローラケース 31 に取り付けられている。なお、図示しないが、コントローラケース 31の上面にも同じような通気孔が形成されてヽるのが好まヽ。 [0027] 上記のようにしてヒートシンク 4によって覆われたコントローラ 3はポンプ本体 2に装着されるが、ここで両者の固定構造を説明する。図 7に示すように、このヒートシンク 4 付きのコントローラ 3は、ブラケット 51を介してポンプ本体 2に装着される。そのための構造としてコントローラ 3につ V、ては、コントローラケース 31の背面下方が突き出て！/、て、そこに平板状のブラケット 51を取り付けるための平坦な取付面 31aが設けられている。一方、ポンプ本体 2には、図 4のようにベース 21の側面にコント口一ラ 3の外形に合わせて周縁一部を切り欠いた取付面 21aが設けられる。なお、ブラケット 51にはコントローラケース 31へ締結するケース用取付穴（図示せず)と、電流導線や制御信号線が内蔵されたコネクタを連結するための貫通穴 51aが中央に形成され、ベ一ス 2 1へ締結するベース用取付穴 51bが左右両側の上下に形成されている。

[0028] ポンプ組立時には、まずブラケット 51のケース用取付穴に通したネジ（図示せず)をコントローラケース 31の取付面 31aに締結し、ブラケット 51をコントローラ 3に固定する。次いで、このブラケット 51付きのコントローラ 3をベース 21側へ近づけ、コント口一ラケース 31から突設した雌型コネクタ 35に対し、ベース 21から突設した雄型コネクタ 27をブラケット 51の貫通穴 51aを通して嵌めることにより、コントローラ 3とポンプ本体 2が電気的に接続される。最後に、ブラケット 51のベース用取付穴 5 lbを通したポルト 56をベース 21の取付面 21aに締結して固定することにより、コントローラ 3のポンプ本体 2への装着が完了する。

[0029] 以上が本実施例の真空ポンプ装置の構成であるが、以下その作用について説明する。 -図 8に示すように、この真空ポンプ装置 1は例えば電子顕微鏡を用!/ヽた測定機器の真空チャンバ 10に接続して使用することができる。

[0030] 図 8 (A)は真空ポンプ装置 1を垂直姿勢で取り付けたときの状態を示すもので、ポンプ本体 2の吸気口フランジ 28と真空チャンパ 10の排気口フランジ 11とを突き合わせて締結することにより、真空ポンプ装置 1が宙吊り状態で取り付けられる。

[0031] このように垂直姿勢で取り付けた真空ポンプ装置 1において、コントローラ 3の電源を入れてポンプ本体 2を作動させると、真空チャンパ 10内のガス分子がポンプ本体 2 内に吸引され、回転するロータ翼と固定のステータ翼に衝突しながら圧縮され排気される。このとき、コントローラ 3に内蔵された制御回路基板 34はトランジスタや抵抗等の発熱する素子によって高温になる力 S、その熱はヒートシンク 4の自然空冷により以下のようにして取り除かれる。

[0032] 図 7に示すように、 2枚の制御回路基板 34、 34はそれぞれ熱伝導率の高い外側プレート 41と内側プレート 42に接触してレ、るので、制御回路基板 34の熱は両プレート 41、 42に素早く熱伝達される。そして両プレート 41、 42の外壁面は複数枚のフィン 4 3、 43、…によって表面積が拡大されており、これらのフィン 43の外表面力外気へと放熱される。ここで、図 8のように外側プレート 41の左右両側のフィン 43— 1、 43- 2の向きが共に斜め上方を向！/、て！/、るので、フィンが下向きや横向きのものに比べ放熱性が優れている。さらに、左右両側のフィン 43— 1、 43— 2の間を流れる空気は上方を向いた隙間力抜けやすぐしカも中心に向力て流れる空気についてもフィン間にこもらず連通路 44から確実に外気に逃げるようになっているので、この空気の流れによって、高温化したヒートシンク 4と外気との熱交換効率が高まる。これに加えて、本実施例ではコントローラケース 31の背面パネノレ 31― 2と底面パネル 31— 3にそれぞれ複数の通気孔 36, 36,…が開口されているので、ケース内部の熱気がこれらの通気孔 36から外部に抜けてケ一ス内部にこもらない。このように本実施例によると、フイン 43の放熱面が斜め上方を向いていてフィン 43、 43間を流れる空気の自然対流が起こりやす!/、ことと、コントローラケース 31の通気孔 36から熱気が確実に抜けることにより、コントローラ 3の放熱効率が大幅に向上する。

[0033] したがって、従来の強制空冷方式のようにコントローラ 3の内部に冷却ファンを設置しなくても充分な空冷効果が得られるので、空冷ファンを廃止することが可能になる。これにより機械動作による振動;^まったくなくなり、低振動性が求められる真空ポンプ装置 1を実現できるとともに、コントローラ 3の小型化も同時に図ることができる。また従来の水冷方式に比べても、別途配管設備の必要がなぐ取り扱い作業性に優れるとともにランニングコストを抑えることもできる。

[0034] また、本実施例の真空ポンプ装置 1では、ポンプ本体 2のポンプ機構として磁気軸受式のターボ分子ポンプを採用しているので、図 8 (B)のように真空ポンプ装置 1を真空チャンパ 10に対し水平姿勢で取り付けることも可能である。このように真空ボンプ装置 1を水平姿勢で取り付けた場合にも、垂直姿勢のときと同様、ヒートシンク 4のフィン 43が傾いて斜め上方を向き、かつフィン 43、 43間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなつている。したがって、真空ポンプ装置 1の取り付け姿勢が変わっても放熱性能を低下させることなぐ同様な空冷効果が得られるという利点もある。

[0035] さらに、本実施例の真空ポンプ装置 1はその組立作業性も優れている。図 3で説明したように、ヒートシンク 4の内側プレート 42において、フィン 43— 3の先端はポンプケース 22のフランジ 24外形に沿って延びている。このため、ボルト 52を緩めるときにフイン 43 - 3が邪魔にならず、し力もボルト 52を外してポンプケース 22を垂直に持ち上げれば、このヒートシンク 4付きのコントローラ 3をポンプ本体 2に装着した状態のままで取り外すことができる。また取り外したポンプケース 22を取り付けるときも、コント口ーラ 3を脱着せずに行うことが可能である。このように、コントローラ 3を装着したままポンプケース 22の取り外しや取り付けが可能になるので、ポンプ本体 2のメンテナンス作業を容易に行うことができるとともに、組立作業に要する時間が短縮されコストダウンを図ることができる。

図面の簡単な説明

[0036] [図 1]本発明に係る真空ポンプ装置の外観を示す正面図。

[図 2]図 1の真空ポンプ装置の外観を示す左側面図。

[図 3]図 1の真空ポンプ装置の外観を示す上面図。

[図 4]図 1の真空ポンプ装置の外観を示す底面図。

[図 5]図 1の真空ポンプ装置の外観を示す背面図。

[図 6]図 1の真空ポンプ装置におけるコントローラの変形例を示す拡大平面図。

[図 7]図 1の真空ポンプ装置におけるポンプ本体とコントローラの固定構造を示す部分拡大断面図。

[図 8]図 1の真空ポンプ装置の取り付け姿勢を示す説明図。

符号の説明

[0037] 1 真空ポンプ装置

2 ポンプ本体

3 コントローラ

4 ヒートシンクベースポンプケース底蓋

フランジ吸気口排気口雄型コネクタコントローラケース- -1 正面パネル- -2 背面パネル- -3 底面パネルインターフェース表示部制御回路基板雌型コネクタ通気孑し外側プレート内側プレートフィン

連通路ブラケット

Claims

請求の範囲

[1] 真空チャンバに取り付けられ、

上記真空チャンバ内のガス分子を吸弓 Iして排気するポンプ本体と、

上記ポンプ本体の外部に装着され、上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板が内蔵されたコントローラと、

上記コントローラの周囲を覆い、上記制御回路基板に接触して熱伝導させ、その熱を外壁面に整列した複数枚のフィンカゝら外気に放熱するヒートシンクと、を備え、上記ポンプ本体が上記真空チャンバに対して!/、かなる取り付け姿勢であっても、上記ヒートシンクのフィンの向きが上記ポンプ本体の回転中心軸線に対し傾斜した状態になるように構成されて、ることを特徴とする真空ポンプ装置。

[2] 真空チャンバに取り付けられ、

上記コントローラの周囲を覆い、上記制御回路基板の熱により高温化した熱気を外部に通気する通気孔が開口されたコントローラケースと、

を備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。

[3] 上記ヒートシンクは外気と対面する外側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路が形成されて、ることを特徴とする請求項 1に記載の真空ポンプ装置。

[4] 上記ヒートシンクは上記ポンプ本体に対面する内側プレートのフィンの先端がボンプケースの外形に沿うように延びて、て、上記コントローラを装着した状態のままで上記ポンプケースを取り外しできるように構成されて、ることを特徴とする請求項 1に記載の真空ポンプ装置。

[5] 上記ヒートシンクは上記ポンプ本体に対面する内側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路が形成されて、ることを特徴とする請求項 1に記載の真空ポンプ装置。

[6] 上記ポンプ本体内部のポンプ機構が磁気軸受式の回転体力なることを特徴とする請求項 1乃至 5のいずれ力 1項に記載の真空ポンプ装置。

[7] 真空ポンプ装置のポンプ本体外部に着脱自在に装着され、

上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板と、

上記制御回路基板に接触して熱伝導させ、その熱を外壁面に整列した複数枚のフインカも外気に放熱するヒートシンクと、を備え、

上記ヒートシンクのフィンの向きが上記ポンプ本体の回転中心軸線に対し傾斜した状態になるように構成されていることを特徴とする真空ポンプ装置のコントローラ。

[8] 真空ポンプ装置のポンプ本体外部に着脱自在に装着され、

上記ポンプ本体の動作を制御する制御回路基板と、

上記制御回路基板の周囲を覆い、制御回路基板の熱により高温ィ匕した熱気を外部に通気する通気孔が開口されたコントローラケースと、

を備えたことを特徴とする真空ポンプ装置のコントローラ。

[9] 上記ヒートシンクは外気と対面する外側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路が形成されていることを特徴とする請求項 7に記載の真空ポンプ装置のコントローラ。

[10] 上記ヒートシンクは上記ポンプ本体に対面する内側プレートのフィンの先端がボンプケースの外形に沿うように延びて、ることを特徴とする請求項 7に記載の真空ボンプ装置のコントローラ。

[11] 上記ヒートシンクは上記ポンプ本体に対面する内側プレートに互いに任意の角度で傾斜してなる両側のフィンを有し、その両側のフィンどうしの交点を結んだ位置に空気の通り抜ける連通路が形成されていることを特徴とする請求項 7に記載の真空ポンプ装置のコントローラ。