JP6102222B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
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- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
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Description
さらに好ましい実施形態では、基板は、筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の、第1放熱フィンが形成された領域の内周面と、凹部壁面と接触する接触面に対応する領域の内周面との両方に接触している。
さらに、コネクタを筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の外周面に配置するのが好ましい。
さらに好ましい実施形態では、ベースの側周面には、周方向に延びる第2放熱フィンが、ポンプ軸方向に1以上設けられている。
さらに好ましい実施形態では、第1放熱フィンの延在方向に送風するファンを備える。
Claims (5)
- ロータを高速回転させて、ポンプ吸気口から吸入した気体をベースに設けられたポンプ排気口から排出するポンプユニットと、
電子部品が搭載された基板、前記基板が収納される筐体および外部装置との接続に用いられるコネクタを有して、前記ポンプユニットの動作を制御するコントロールユニットと、を備え、
前記ポンプユニットのベース側面には前記筐体を収納する凹部が形成され、
前記筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の内周面には前記基板が接触固定され、
前記筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の外周面には、前記凹部から露出している領域に第1放熱フィンが形成され、かつ、前記筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の、前記凹部に収納される領域の外周面に、該凹部壁面と接触する接触面が形成されている、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記基板は、前記筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の、前記第1放熱フィンが形成された領域の内周面と、前記凹部壁面と接触する前記接触面に対応する領域の内周面との両方に接触している、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記コネクタを前記筐体のポンプ吸気口側に向く上壁部の外周面に配置した真空ポンプ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ベースの側周面には、周方向に延びる第2放熱フィンが、ポンプ軸方向に1以上設けられている真空ポンプ。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1放熱フィンの延在方向に送風するファンをさらに備えた真空ポンプ。
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Family Applications (1)
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