WO2005125007A1 - 高周波素子及び電源供給素子、並びに通信装置 - Google Patents

Abstract

本発明は静電駆動型振動子に印加する直流バイアス電圧の安定化を図った高周波素子、安定した直流バイアス電圧を供給できる電源供給素子を供給する。また本発明は、上記高周波素子によるフィルタを備えた通信装置を提供する。本発明の高周波素子は、直流バイアス電圧を印加して動作される静電駆動型の振動子を含む高周波信号素子を有し、直流バイアス電圧を供給するパッドと振動子との間に、直流バイアス電圧を安定化される機能を有する回路が付加されて成る。電源供給素子は、高周波振動素子の駆動に供される電源供給素子であって、直流バイアス電圧を安定化させる機能を有する回路が付加されて成る。本発明の通信装置は、フィルタとして上記高周波素子によるフィルタを用いて成る。

Description

明細書

高周波素子及び電源供給素子、 並びに通信装置 技術分野

本発明は、 静電駆動型の 動子を構成 とする高周波信号素 子と 、 こ の高周波信号素子に直流ノ ィァス電圧を供給するための 直流電圧供給手段と を有した高周波素子に関す Ό

また 、 本発明は、 上記高周波信号素子 直流バイァス電圧を供 給するための電源供給素子に関する

また 、 本発明は、 上記高周波素子で構成されるフィルタ を用い た通信装置に関する。 背景技術

静電駆動型の 動子を 成 す 波信号素子におレヽて は、 その振動子に直流バィァス電

が印カロされる のよ う な静' の振動子に直流ノくィァス電圧を給 する場合 例えば単 純な 路を用いて給電する と ¾給電回路の不安定さに伴っ て 変動する電圧 あるいは ί可らかの要因で発生する高電圧が、 振動 子を駆動する 極 (レヽわゆる振動子の駆動部分あるいは下部電極） に印加される れ；^め のよ つ な場合には、 fe動子の fe動 fe 幅の変 が起き 、 高周波信号 ヾ子の信号処理特性の変動を招 < 。 電圧変 が著しい場合には、 振動子の駆動部分と下部電極が固着 する、 動部分と下部電極間での放電が起き る、 異常振動が発生 するなどの要因によ り 、 振動子が復旧不可能な状態にな

例えば、 M E M S (微小電気機械系 ) 素子を用いて構成した高 周波フィルタが提案されてレヽるが 、 このよ う な高周波フィノレタで は、 直流バイ ァス電圧の変動が起き る と、 振動子のイ ンピーダン スの時間変動が生じ、. 良好なフィルタ特性が得にく い。 M E M s素子をデジタル回路に組み込んで半導体集積回路を構成した場 合には、 デジタル信号処理部分の駆動回路と M E M S素子の電源 が共用され、 その安定性が特別に高められてはいないので、 電源 の電圧変動による M E M S素子の特性変動が懸念される。 M E M S素子を利用 した高周波フ ィ ルタは、 ミ シガン大学を始めとする 研究機関から提案されている （非特許文献 1 参照）。

〔非特許文献 1 〕 C . T . - N g u y e n , M i c r o m e c h a n i c a 1 c o m p o n e n t s f o r m ι n ι a t u r i z e d l o w— p o w e r c o m m u n i c a t i o n s ( i n v i t e d p l e n a r y ), p r o c e e d i n g s， 1 9 9 9 I E E E MT T— S I n t e r n a t i o n a 1 M i c r o w a v e S y m p o s i u m R F M E M S W o r k s h o p , J u n e , 1 8， 1 9 9 9， p p .4 8 - 7 7 . 発明の開示

高周波領域の微弱な信号を取り扱 う と き、 例えば高周波 （ R F ) 信号のフ ィ ルタ リ ングを行う と き、 振動子に印加される直流バイ ァス電圧の変動は、 振動子のィ ンピーダンスを変動させる こ と に な り 、フ ィ ルタ リ ング後の信号強度の変動を引き起こす。従って、 直流 （D C ) バイ アス給電回路が安定である こ とは、 良好なフ ィ ルタ リ ング特性を得る為の最重要な課題である。

本発明は、 静電駆動型の振動子に印加する直流バイ アス電圧の 安定性の向上を図った供給手段を有した高周波素子を提供するも のである。

また、 上記振動子に安定した直流バイアス電圧を供給でき る電 源供給素子を提供する ものである。

また、 本発明は、 上記高周波素子で構成したフ ィ ルタを用いて 信頼性化を図った通信装置を提供する ものである。

本発明に係る高周波素子は、 直流バイアス電圧を印加して動作 れる静電駆動型の振動子を含む高周波信号素子を有し、 直流バ ィ ァス電圧を供給するパッ ドと振動子との間に、 直流バイ アス電 圧を安定化させる機能を有する回路が付加された構成とする。

本発明に係る電源供給素子は、 直流バイアス電圧を印加して動 作される 駆動型の振動子を含む高周波信号素子を駆動するた めの電源供給素子であって、 直流バイァス電圧を安定化させる機 能を有する回路が付加された構成とする。

本発明に係る 信装置は、 送信信号及び 又は受信信号の帯域 制限を行う フィルタを備えた通信装置において、フイ ノレタ と して、 直流バイァス電圧を印加して動作される静電駆動型振動子を有し、 直流ノ ィ ァス電圧を供給するパッ ドと前記振動子と の間に、 直流 ノヽィァス電圧を安定化させる機能を有する回路が付加されてなる フ イ ノレタが用レ、られた構成とする。

本発明 係る高周波素子によればヽ 直流 /、ィァス電圧を供給す るパッ ドと静電駆動型の振動子との間に 、 直流バイ ァス電圧を安 定化させる機能を有する回路を付加しゝ 静電駆動型の振動子に安 定な直流バイァス電圧を供給する こ と によ 、 出力される高周波 信号の時間変動を抑制する こ とができる また 、 突発的に印加さ れる高電圧パノレス (サージ電圧） による振動子の破壊を防止する こ とができ る

本発明の電源供給素子によれば 、 直流電圧の安定性を増す機能

- を有する回路が付加されているのでゝ の電源供給素子を通じて 静電駆動型の振動子に直流バイ ァス電圧を印加する と さ 、 直流バ ィ ァス電圧を変動させる こ とがな < 、 振動子のィ ン ピ一ダンス の 変動を抑制 し 、 安定した信号強度の高周波信号を得る とができ る。 本発明の通信装置によれば、 フ ィ ルタを構成する静電駆動型振 合合 465- 動子と直流バイ アス電圧を供給するパッ ドと の間に、 直流バィ ァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路を付加し 、 静電駆動型振 動子に安定な直流バイ アス電圧を供給する こ と によ り 、 出力され る高周波信号又は z及び中間周波信号の時間変動を抑制する こ と がでさ 、 また、 突発的に印加される高電圧パルス (サージ電圧） による振動子の破壊を防止する こ と ができ、 信頼 '性の高い通信装 置を提供する こ と ができ る。 図面の簡単な説明

A、 Bは本 明に係る高周波素子の の基本的な構成を 示す概念図である。

図 2 は本発明に係る高周波素子の第 2 の基本的な構成を示す 概念図である。

図 3 は本発明に係る高周波素子の第 3 の基本的な構成を不す 概念図である。

図 は 1 つの M E M S静電駆動型振 子でフ ィ ルタ を形成し た の実施の形態の舰略図である。

図 は 1 つの M E M S静電駆動型振 子でフイノレタを形成し た の他の実施の形 の概略図である

図 は並列化した複数の M E M s静電駆動型振動子でフ ィ ル タを形成した場合の実施の形態の概略図である。

図 7 は並列化した複数の M E M s静電駆動型振動子でフ ィ ル タ形成した場合の他の実施の形態の概略図である。

図 8 A， B は本発明に週用される、 複合振動子型フ ィ ルタを構 成する複合振動子を示す平面図及び断面図である。

図 9 は本発明に適用される、 複合振動子型フ ィ ルタを構成する 並列化した複合振動子を示す平面図である。 図 1 0 は本発明に係る高周波素子の第 1 実施の形態を示す 平面図である。

図 1 1 は本発明に係る高周波素子の第 1 実施の形態を示す 断面図である。

図 1 2 A〜 B は本発明に係る高周波素子の製造方法の一実施 の形態を示す製造工程図 （その 1 ) である。

図 1 3 A〜 B は本発明に係る高周波素子の製造方法の一実施 の形態を示す製造工程図 （その 2 ) である。

図 1 4 A〜： B は本発明に係る高周波素子の製造方法の一実施 の形態を示す製造工程図 （その 3 ) である。

図 1 5 は本発明に係る高周波素子の製造方法の一実施の形態 を示す製造工程図 （その 4 ) である。

図 1 6 は本発明に係る高周波素子を 1 段構成のラ ダー型フ ィ ルタ に適用 した第 2実施の形態を示す等価回路図である。

図 1 7 は図 1 6 の 1 段構成のラ ダー型フ ィ ルタ の透過特性値 の周波数依存性を示すフ ィ ルタ特性図である。

図 1 8 は図 1 6 の等価回路におけるシャ ン ト振動子群の中心 周波数を 9 2 M H z と したと きの図 1 7 の要部の拡大図である。

図 1 9 は図 1 6 の等価回路におけるシャ ン ト振動子群の中心 周波数を 9 5 M H z と したと きの図 1 7 の要部の拡大図である。

図 2 0 は図 1 6 の等価回路におけるシャ ン ト振動子群の中心 周波数を 9 6 M H z と したと きの図 1 7 の要部の拡大図である。

図 2 1 は本発明に係る高周波素子を 2段構成のラダー型フ ィ ルタに適用 した第 3実施の形態を示す等価回路図である。

図 2 2 は図 2 1 の 2 段構成のラ ダー型フ ィルタの透過特性値 の周波数依存性を示すフ ィ ルタ特性図である。

図 2 3 は本発明に係る高周波素子を高周波共振器に適用 した第 4実施の形態を示す等価回路である。 図 2 4 は図 2 3 の咼周波共振器の透過特性値の周波数依存性を 示す特性図である。

図 2 5 は本発明に係る通信装置の一実施の形態を示す回路図で める。 発明を実施するための最良の形態

本発明の実施の形 に係る高周波素子は、 直流バイ アス電圧を 印加して動作される静電駆動型の振動子を含む高周波素子を有し 直流バィ ァス電圧を供給するパッ と振動子との間に、 直流バィ ァス電圧を安定化させる機能を有する回路を付加して構成される 高周波信号素子と しては、 複数の静電駆動型の振動子に高周波 信号を並列に通過させて信号処理を行う振動子群を回路要素と し て有する構成とする とができ る。

¾流バイ ァス電圧を安定化させる機能を有する回路と しては 、 直流給電線路に直列に揷入した抵抗と 、 この直流給電線路と接地 と の間に挿入した容量と によ り構成する こ とができ る。

また 、 直流ノ^ィァス電圧を安定化させる機能を有する回路と し 高周波信号素子が形成された同 じ基板に設ける こ とができ る

高周波信号素子と しては、 入力された高周波信号から所望の周 波数帯域の信号を選別する機能を有した構成とする こ とがでさ る 高周波信号素子と しては、 高周波信号の基準信号を発生する機 能を有した構成とするこ とができ る。

本発明の実施の形態に係る電源供給素子は、 直流バイ アス電圧 を印加 して動作される静電駆動型の振動子を含む高周波信号素子 を駆動するための電源供給素子であってゝ 直流バィ ァス電圧を安 定化させる機能を有する回路を付加して構成され Ό 。

本発明の実施の形態に係る通信装置はヽ ^ f¾信号及び/又は受 信信号の帯域制限を行フ フ ィ ノレタを備えた通 1§装置において、 フ ィノレタ と して、 直流ノくィァス電圧を印加して動作される静電駆動 型振動子を有し、 直流ノくィァス電圧を供給する ッ ドと前記 ¾動 子との間に、 直流ノ ィァス電圧を安定化させる機能を有する回路 が付加されてなる フィルタを用レ、て構成される

上記フィルタ と してはヽ 複数の静電駆動型振動子に高周波信号 または中間周波信号を並列に通過せて信号処理を行う振動子群を 回路要素と して有した構成とする こ とができ る。

直流バイァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路と しては、 直流給電線路に直列に挿入された抵抗と、 糸口 称と接地と の間に 挿入された容量と によ り 構成する こ とができ る。

直流バイ ァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路と しては、 フ ィ ルタ が形成された同じ基板上に設ける こ とがでさ る

本発明の実施の形態に係る高周波素子によれば 、 直流 /ヽィァス 電圧を供給するパッ ドと静電駆動型の振動子との間に、 直流バイ ァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路を付加し 、 静電駆動型 の振動子に安定な直流バィァス電圧を供給する こ と によ り 、 出力 される高周波信号の時間変動を抑制するこ とがでさ Ό。 また 、 突 発的に印加される高電圧パノレス （サージ電圧） による振動子の破 壊を防止する こ と ができ る

本発明の実施の形態の高周波素子は 、 高周波信号素子に静電駆 動型の振動子を用いて高周波フ ィ ルタ 、 例えばラダ一型フィルタ と して構成する こ とができ る。 そ して 、 高周波信号選択 子と な る振動子の駆動部分あるいは下部電極に安定な直流バイァス電圧 を印加する こ と によ り 、 フ ィ ノレタ リ ングされた高周波信号の時間 変動を抑圧する こ とがでさ る。 また、 サージ電圧によ る復旧不可 能な振動子への損害を最小限度にする こ とができ る 本発明の実施の形態の高周波素子は、 高周波信号素子に静電駆 動型の素子を用い、基準信号発生器と して構成する こ とができ る。 そ して、 高周波信号発生素子と なる振動子の駆動部分あるいは下 部電極に安定な直流バイ アス電圧を印加する こ と によ り 、 発生信 号の強度、中心周波数の時間変動を抑圧する こ とができ る。また、 外部からのサージ電圧による復旧不可能な振動子への損害を最小 限度にする こ とができる。

本発明の実施の形態の高周波素子は、 高周波信号素子に静電駆 動型の振動子を用い、 この複数の振動子を機械的に結合し複合振 動子型フイ ノレタ と して構成する こ とができ る。 そ して、 複合振動 子型フィル を構成する振動子の駆動部分あるいは下部電極に安 定な直流バイ アス電圧を印加する こ と によ り 、 フィルタ リ ングさ れた高周波信号の時間変動を抑圧する こ とができ る。 また 、 サー ジ電圧による復旧不可能な振動子への損害を最小限度にする こ と がでさ る ο

本発明の実施の形態の電源供給素子によれば、 直流電圧の安定 性を増す機能を有する回路が付加されているので、 こ の電源供給 素子を通じて静電駆動型の振動子に直流バイ アス電圧を印加する と さ 直流バイ アス電圧を変動させる こ とがなく 、 振動子のイ ン ピーダンス の変動を抑制 し、 安定した信号強度の高周波信号を得 る こ と ができ る。

本発明の実施の形態の通信装置によれば、 フ ィ ルタを構成する 静電駆動型振動子と直流バイ ア ス電圧を供給するパッ ドと の間に 直流ノ ィァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路を付加し、 B尹 電駆動型振動子に安定な直流バイ ア ス電圧を供給する こ と によ り 出力される高周波信号又はノ及び中間周波信号の時間変動を抑制 する とができ 、 また、 突発的に印加される高電圧パルス (サー ジ電圧） による振動子の破壊を防止する こ とができ、 信頼性の高 い通信装置を提供するこ とができ る。

以下、 図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。

先ず、 図 1 に、 本発明に係る高周波素子の第 1 の基本的な構成 (概念） を示す。 こ の高周波素子 1 は、 図 1 A及び Bに示すよ う に、 静電駆動型の振動子 2 を含む高周波信号素子と、 この振動子 2 に直流バイ アス電圧を供給するための直流電圧供給手段と なる 直流電源 3 と を有して成る。 振動子 2 は、 基板 4 の表面上に下部 電極 、 すなわち入力電極 5 と 出力電極 6 を互いに所要間隔を置い て配置し、これら入出力電極 5、 6 をブリ ッジ状に跨ぐ振動部分、 レヽわゆる ビーム （梁） 型の振動電極 （以下、 ビーム といラ ) 7 を 配置して構成される。 基板 4 の裏面には接地面 8 が形成されてレヽ 直流電源 3 は、 ビーム 7 と接地面 8 との間に接続される。 さ らに 、 直流電源 3 と ビーム 7 間の給電線路 9 に直列に抵抗 R a を 挿入し、 給電線路 9 と接地面 8 間に容量 （シャ ン ト容量 ) C a を 挿入し、 これら抵抗 R a と容量 C a と によって直流バィァス電圧 を安定化させるための直流電圧安定化回路 1 0 が形成され

の高周波素子 1 の振動子 2 では、 入力端子 T i n を通じて入 カ電極 5 に高周波信号が入力される と、 直流電源 3 から直流バイ ァス電圧が供給されたビーム 7 と 、 入力電極 5 との間に生じる静 電気的な力でビーム 7 が共振し、 出力電極 6 から出力端子 T o u t を通じて所望周波数の高周波信号が出力される。 そ して 、 振動 子 2 には、 直流電圧安定化回路 1 0 を通じて安定な直流 ィ ァス 電圧が供給される ので、 出力される高周波信号の時間変動を抑制 する こ と ができ る。 また、 突発的に印加される高電圧ハ⁰ルス （サ 一ジ電圧） による振動子 2 の破壊を防止する こ と がでさる ο

図 2 に、 本発明の高周波素子の第 2 の基本的な構成 (概念） を 示す 。 こ の高周波素子 1 1 は、 図 1 と 同様の構成の振動子 2 を含 む高周波信号素子を有し、 直流電源 3 を入力電極 5 と接地面 8 と の間に接続し、 直流電源 3 と入力電極 5 間の給電線路 9 に直列に 抵抗 R a を挿入し、 こ の給電線路 9 と接地面 8 間に容量 C a を挿 入し、 抵抗 R a と容量 C a によ り 直流電圧安定化回路 1 0 を形成 して構成される。 ビーム 7 は、 電気的に浮いた状態にする。

こ の高周波素子 1 1 の振動子 2 では、 入力電極 5 に直流バイ ァ ス電圧と高周波信号が重畳された形で入力される。 こ の高周波素 子 1 1 の振動子 2 の動作及び効果は、 基本的に図 1 の高周波素子 1 と同様である。

図 3 に、 本発明の高周波素子の第 3 の基本的な構成 （概念） を 示す。 この高周波素子 1 2 は、 静電駆動型の振動子 1 3 を含む高 周波信号素子と、 振動子 1 3 に直流バイ アス電圧を供給するため の直流電圧供給手段と なる直流電源 3 と を有してなる 。 振動子 1

、 基板 1 4 -

3 ほ の表面上に下部電極 1 5 を配置し 、 の下部電極

1 5 をプリ ッジ状に跨いたビーム 1 6 を配置して構成される。 基 板 1 4 の裏面には接地面 1 7 が形成されている。 直流電源 3 は、 ビ一ム 1 6 と接地面 1 7 との間に接続される。 さ らに 、 直流電源

3 と ビーム 1 6 間の 厶 線路 9 に直列に抵抗 R a を揷入し、 この 給 線路 9 と接地面 1 7 間に容量（シャ ン ト容量） C a を揷入し、 これら抵抗 R a と容量 C a と によって直流バイァス電圧を安定化 させるための直流電圧安定化回路 1 0 が形成される

の高周波素子 1 2 の振動子 1 3 では、 ビーム 1 6 が入力電極 と な り 、 下部電極 1 5 が出力電極と なる。 ビーム 1 6 に直流バイ ァス電圧と高周波信号が重畳された形で入力される と 、 ビーム 1

6 と下部電極 （出力電極 ) 1 5 と の間に生じる静電気的な力でビ 一ム 1 6 が共振し、 下部電極 1 5 から所望周波数の高周波信号が 出力される。 そ して 、 振動子 1 3 には、 直流電圧安定化回路 1 0 を通じて安定な直流バイァス電圧が供給される ので 出力される 高周波信号の時間変動を抑制する こ とができ る。 また、 突発的に 印加される高電圧パルス （サージ電圧） による振動子 1 3 の破壊 を防止する こ とができ る。

図 4 〜図 7 に、本発明の高周波素子の実施の形態の概略を示す。 高周波信号素子と しては、 M E M S静電駆動型振動子からなる フィルタで形成するこ とができ る。 このと き、 例えばフィルタ を 1 つの M E M S静電駆動型振動子 2 1 で作製した場合、 上述の抵 抗 R a と容量 C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 (直流電圧安定化回路） 1 0 は、 図 4 に示すよ う に、 フィルタへ の直流電源入力パッ ド、 すなわち直流電源に接続された直流電源 入力パッ ド 2 2 と 、 1 つの振動子 2 1 の ビーム 7 と の間に接続す る こ と ができ る。

また、 同様にフィルタを 1 つの M E M S静電駆動型振動子 2 1 で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構成される直流電 圧を安定させる R C回路 (直流き圧安定化回路） 1 0 はヽ 図 5 に 示すよ う に、 フ ィ ルタ の直流電源入力パッ ド、 すなわち直流電 源 3 に接続された E 源入力 -y ド 2 2 と、 1 つの振動子 2 1 の入力電極 5 と の間に接続する こ とができ る。

また、 例えばフ ィ ルタをビーム 7 が並列化された複数の M E M

S静電駆動型振動子 2 3 で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量

C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安定 化回路） 1 0 は、 図 6 に示すよ ラ に 、 フ イ ノレタへの直流電源入力 パッ ド、 すなわち直流電源 3 に接続された直流電源入力パッ ド、 2

2 と、 複数の振動子 2 3 、 即ちその並列化されたビ一ム 7 との間 に接続する こ とがでさ る

また、 同様にフィルタを振動電極が並列化された複数の M E M

S静電駆動型振動子 2 3 で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量

C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安定 化回路） 1 0 は、 図 7 に示すよ う に 、 フ イ ノレタへの直流電源入力 パッ κ、 すなわち直流電源 3 に接続された直流電源入力パッ ド 2

2 と、 複数の振動子 2 3 、 即ちその入力電極 5 と の間に接続する こ とがでさ

上述した直流電圧を安定化させる R C回路 （直流電圧安定化回 路） 1 0 は 、 フィルタ と 同一の基板上に形成する こ と ができ る。

図示しないが、 上述の R C回路 （直流電圧安定化回路） 1 0 は、 図 4 〜図 7 でのフ ィ ノレタへの直流電源入力パッ ド 2 2 と、 フ ィ ル タ の] VI Ε M S静電駆動型振動子を駆動するための直流'電源 3 と の 間に形成される線路の一部と して形成する こ と もでき る。

上記フィルタにおいて、 M E M S静電駆動型振動子を図 3 の構 成のものに置き換えて構成する こ と も可能である。

本実施の形態に係る高周波信号素子は、 M E M S静電駆動型振 動子からなる標準信号発生器で形成する こ とができ る。このと き、 例えば標準信号発生器を 1 つの M E M S静電駆動型振動子で作成 した場 a 、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構成される直流電圧を安 定させる R C回路 （直流電圧安定化回路） 1 0 は、 図 4 に示すと 同 に (但し、 フ ィ ルタ を標準信号発生器に置き換える）、 標準信 号発生 の直流電源入力パッ ド、 すなわち直流電源 3 に接続さ れた直流電源入力パ ッ ド 2 2 と、 1 つの振動子 2 1 の ビーム 7 と の間に接続する こ とができ る。

また、 同様に標準信号発生器を 1 つの M E M S静電駆動型振動 子で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構成される直流 電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安定化回路） 1 0 は、 図 5 に示すと同様に（但し、フィルタを標準信号発生器に置き換える）、 標準信号発生器への直流電源入力パッ ド、 すなわち直流電源 3 に 接続された直流電源入力パッ ド 2 2 と、 1 つの振動子 2 1 の入力 電極 5 との間に接続する こ とができ る。

また、 例えば標準信号発生器をビームが並列化された複数の M E M S静電駆動型振動子で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安定 化回路） 1 0 は、 図 6 に示すと 同様に （但し、 フ ィ ルタを標準信 号発生器に置き換える）、標準信号発生器への直流電源入力パッ ド、 すなわち直流電源 3 に接続された直流電源入力パッ ド 2 2 と、 複 数の振動子 2 3 、 即ちその並列化されたビーム 7 との間に接続す る こ とができ る。

また、 同様に標準信号発生器を振動電極が並列化された複数の M E M S静電駆動型振動子で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容 量 C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安 定化回路） 1 0 は、 図 7 に示すと同様に （伹し、 フ ィ ルタ を標準 信号発生器に置き換える）、標準信号発生器への直流電源入力パッ ド、すなわち直流電源 3 に接続された直流電源入力パッ ド 2 2 と、 複数の振動子 2 3 、 即ちその入力電極 5 と の間に接続する こ とが でき る。

上述した直 電圧を安定化させる R C回路 （直流電圧安定化回 路 ) 1 0 は 、 標準信号発生器と 同一の基板上に形成するこ と で さ る o

図示しないが 、 上述の R C回路 （直流電圧安定化回路） 1 0 は、 標準信号発生器への直流電源入力パッ ド 2 2 と、 標準信号発生器 の M E M S静電駆動型振動子を駆動するための直流電源 3 と の間 に形成される線路の一部と して形成する こ と もでき る。

本実施の形態に係る高周波信号素子は、 M E M S静電駆動型振 動子からな 、 機械的な結合で構成された複合振動子型フイノレタ で形成する こ とができ る。 こ の複合振動子型フィルタを構成する 複合振動子の概略構成を図 8 に示す。 こ の複合振動子 2 4 は、 2 つの ビーム 7 C 7 A , 7 B〕 が並行に配置され、 2 つの ビーム 7

A ， Bの一部が連結部 2 5 によって機械的に繋が り 、 一方のビ ーム 7 Aの下方に下部電極 2 6 からなる入力電極 2 6 Aが配置さ れ、 他方のビーム 7 Bの下方に下部電極 2 6 からなる出力電極 2 6 Bが配置さて構成される。 連結部 2 5 の位置は、 振動の節 （不 動点） を選ぶ。 この場合、 直流バイ アス電圧は、 ビーム 7 [ 7 A ,

7 B 〕 に印加される。

このよ う な複合振動子 2 4 を複数並列化して 、 高周波信号を並

- 列的にフ ィ ルタ リ ングするよ う に構成する と もでき る。例えば、 複合振動子 2 7 は、 図 9 に示すよ う に、 一方の複数の並列する ビ ーム 7 A力 らなる ビ一ム群 7 1 に対して 1 つの下部電極からなる 入力電極 2 6 Aを配置し、 こ の ビーム群 7 1 に並列する よ う に、 他方の複数の並列する ビーム 7 Bからなる ビ一ム群 7 2 に対して

1 つの下部電極からなる出力電極 2 6 B を配置し、 两ビーム群 7

1 及び 7 2 間を連結部 2 5 で繋いで構成される

こ のと さ、 例えば複合振動子型フ ィ ルタを 1 つの複合振動子 2

4 (図 8参照 ) で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構 成される直流電圧を安定させる R C回路 (直流電圧安定化回路）

1 0 は 、 図 4 に示すと 同様に （伹し、 フィルタを複合振動子型フ イ ノレタに置き換える）、複合振動子型フィルタ の直流電源入力パ ッ ド-、 すなわち直流電源 3 に接続された直 電源入力パッ ド 2 2 と、 1 つの複合振動子 2 4 のビーム 7 〔 7 A 7 B〕 との間に接 続する こ とができ る。

また 、 例えば複合振動子型フイ ノレタを 1β数の並列化された複合 振動子 2 7 (図 9参照） で作製した場合、 上述の抵抗 R a と容量 C a で構成される直流電圧を安定させる R C回路 （直流電圧安定 化回路） 1 0 は、 図 4 に示すと 同様に （但し、 フ ィ ルタを複合振 動子型フィルタに置き換える）、複合振動子型フィルタへの直流電 源入力パッ ド、 すなわち直流電源 3 に接続された直流電源入力パ ッ ド 2 2 と、 複数の並列化された複合振動子 2 7 、 即ちその並列 化されたビーム 7 1 、 7 2 との間に接続する こ とができ る。

さ らに、 図示せざる も上述の R C回路 （直流電圧安定化回路） 1 0 は、 複合振動子型フィルタへの直流電源入力パッ ド 2 2 と、 複合振動子型フ ィ ルタ の複合振動子 2 4 または 2 7 を駆動するた めの直流電源 3 と の間に形成される線路の一部と して形成するこ とができ る。

そ して、 上述した直流電圧を安定化させる R C回路 （直流電圧 安定化回路） 1 0 は、 複合振動子型フィルタ と同一の基板上に形 成する こ とができ る。

なお、 複合振動子 2 4 または複合振動子 2 7 においては、 図 5 に示すよ う に、 直流電圧安定化回路 1 0 を振動子の入力電極 2 6 Aと直流電源入力パッ ド 2 2 と の間に接続する こ と もでき る。

高周波信号素子と直流バイ アス電圧を供給するための直流電圧 供給手段、 例えば R C回路と は、 同一の基板上 （同一のダイ 内） に形成する こ とができ る。 高周波信号素子と直流バイ ア ス電圧を 供給するための直流電圧供給手段と は、 互いに別の基板上に形成 し、 両者を接続して形成する こ と もでき る。

次に、 図 1 0 (平面図） 及び図 1 1 (模式的な断面図） に、 本 発明に係る高周波素子の第 1 実施の形態を示す。 本例は M E M S 静電駆動型振動子を機械的な結合で構成した複合振動子型フ ィ ル タに適用 した場合である。

本実施の形態に係る複合振動子型フィルタ 1 0 1 は、 共通の基 板 1 0 2上に複数の複合振動子 1 0 3 、 1 0 4 と、振動子 1 0 3 、 1 0 4 のビーム 1 0 6 、 1 0 7 間の高周波 （ R F ) 信号の漏洩を 防ぐための抵抗 R 1 ， R 2 と、 抵抗 R a と一対の櫛歯型電極 1 0 8及び 1 0 9 を所要間隔を置いて形成してなる容量 C a からなる、 直流電圧安定化回路 （いわゆる R C回路） 1 0 と、 直流電源供給 用の電極パッ ド、 いわゆる直流電源入力パッ ド 2 2 とが設けられ て成る。

基板 1 0 2 は、例えば半導体基板の表面に絶縁膜を有した基板、 絶縁性基板等の基板、 本例では半導体基板 1 2 1 の表面に絶縁膜 1 2 2 を有した基板が用いられる。 こ の基板 1 0 2 の表面上に下 部電極、 すなわち入力電極 1 1 2 と 出力電極 1 1 3 が形成され、 入力電極 1 1 2 をプリ ッジ状に跨ぐ複数の振動部分すなわち両持 ち梁構造のビーム 1 0 6 が並列的に配置され、 同様に出力電極 1 1 3 をブリ ッジ状に跨ぐ複数 （上記と 同数または異なる数） の振 動部分すなわち両持ち梁構造のビーム 1 0 7 が並列的に配置され る。 入力電極 1 0 6 を跨ぐ複数のビーム 1 1 2 は、 ビーム 1 1 2 の支持部 （アンカー部） 1 1 4 を介して互いに基板 1 0 2上に形 成した配線部 1 1 7 に共通接続される。 また、 出力電極 1 1 3 を 跨ぐ複数のビーム 1 0 7 も、 同様にビーム 1 1 3 の支持部 （アン カー部） 1 1 5 を介して互いに基板 1 0 2上に形成した配線部 1 1 8 に共通接続される。 基板 1 0 2 の表面には、 複合振動子 1 0 3、 1 0 4、 抵抗 1 1， R 2 、 直流電圧安定化回路 1 0 、 直流電 源入力パッ ド 2 2 を囲むよ う にシール ド電極（接地）面と なる導電 層 1 1 9 が形成さ る。 基板 1 0 2 の裏面には絶縁膜 1 2 3 を介し て接地面、 すなわち接地電位が印加される接地電極 1 2 0 が形成 される。

R F信号の漏洩を防ぐための抵抗 R 1 ， R 2 は、 それぞれ一端 が 2 つの ビーム群 1 0 6， 1 0 7 の配線部 1 1 7， 1 1 8 に、 配 線部 1 2 8 を介して接続され、 抵抗 R l , R 2 の他端が配線部 1 2 5 に共通に接続される。 一方、 直流電圧安定化回路 1 0 を構成 する抵抗 R a の一端が配線部 1 2 5 に接続され、 抵抗 R a の他端 が配線部 1 2 9 を介して容量 C a を構成する一方の櫛歯型電極 1 0 8 に接続される。 こ の一方の櫛歯型電極 1 0 8 は直流電源入力 パッ ド 2 2 に接続される。 容量 C a を構成する他方の櫛歯型電極 1 0 9 は、 基板 1 0 2表面に形成されたシール ド用の導電層 1 1 9 に接続される と共に、 例えば基板 1 0 2 に設けたスルホール、 あるいは基板側面を通して、 本例ではスルホール 1 2 6 を通して 基板裏面の接地電極 1 2 0 に接続される。

上述した本実施の形態に係る複合振動子型フ ィ ルタ 1 0 1 によ れば 、 抵抗 R a と容量 C a からなる直流電圧安定化回路 1 0 を通 して振動子 1 0 3 、 1 0 4 のビーム 1 0 6 、 1 0 7 に直流バイ ァ ス電圧が印加されるので、 フィルタ リ ングされた高周波信号の時 閬変動を抑制する こ とができ る。 また、 サージ電圧による振動子 への損害を最小限度に抑える こ とができ る。

本発明は、高周波フ ィ ルタ等の M E M S素子を他の半導体回路、 例えばデジタル回路に組み込んで半導体集積回路を構成し、 M E

M S 子とデジタル回路への電圧供給を共通の電源供給手段を用 レヽて行う場合にも適用でき る。

次に 、 図 1 2 〜図 1 5 を用いて本発明の高周波素子の製造方法 の実施の形態を説明する。 なお、 図 1 2〜図 1 5 の製造工程は、

M E S静電駆動型振動子と、 抵抗 R a 及び容量 C a からなる直 圧安定化回路 1 0 と を有する高周波素子の例であるが、 上述 した複合振動子型フ ィ ルタ 1 0 1 の製造にも適用でき る。 本例の 製造工程は通常の MO S作製プロセスで用レ、られる ものと 同等で ある

先ず、 図 1 2 Aに示すよ う に、 基板 1 3 0 を用意する。 こ の例 では高抵抗シ リ コ ン （ S i ) ウェハ 1 3 1 上に絶縁膜、 例えば酸 化シ リ コ ン薄膜 （ H D P膜 ： High Density Plasma酸化膜） とェ ツチング防止膜と なる窒化シ リ コ ン薄膜 （上面側） と からなる複 合絶縁膜 1 3 2 を所要の膜厚、 例えば 2 0 0 n m程度の膜厚で成 膜する。 続けて、 こ の複合絶縁膜 1 3 2上に導電性を有する リ ン ド ー プ多結晶 シ リ コ ン薄膜 （ P D A S ： Phosphorus doped amorphous silicon) 1 3 3 を所要の膜厚、 3 8 0 n m程度の膜厚 で成膜する。

次に、 多結晶シ リ コ ン薄膜 1 3 3 上に、 複合振動子の下部電極 となる入力電極及び出力電極と、 複合振動子の両持ち梁構造のビ ームの支持部を接続する配線部 （固定台に相当） と、 抵抗に対応 したパターンを有する レジス ト マス ク （図示せず） を形成する。 そ して、 図 1 2 B に示すよ つ に 、 こ の レジス マス ク を介して多 結.晶シリ コ ン薄膜 1 3 3 を選択エッチング、 例えば ドラィエッチ ング法によ り選択ェツチングして、 入力電極 1 3 6及び出力電極

1 3 7 と、 配線部 1 3 8 [ 1 3 8 A , 1 3 8 B 〕 と、 抵抗 R a を 形成する。

次に、図 1 3 Aに示すよ う に、基板 1 3 0上に入出電極 1 3 6 、

1 3 7 、 配線部 1 3 8 [ 1 3 8 A , 1 3 8 B 及び抵抗 R a の相 互間を埋め込むよ Ό に基板全面に犠牲層 と なる例えば酸化シリ コ ン薄膜 （H D P ) 1 3 9 を成膜する。 その後 、 酸化シ y ン薄膜

1 3 9 を平坦化する 。 例えば化学機械研磨法 ( C M P ) によ り 平 坦化し、 入出電極 1 3 6 , 1 3 7 、 配線部 1 3 8 〔 1 3 8 A , 1

3 8 B〕 及び抵抗 R a の表面を露出させる。

次に、 図 1 3 B に示すよ う に 、 平坦化した表面上に入出力電極

1 3 6 、 1 3 7 と、後に形成する ビーム と の間隔に対応した膜厚、 この例では 5 0 n m程度の膜厚の犠牲層となる例えば酸化シリ コ ン薄膜 （低圧 T E O S ) 1 4 0 を形成する。

次に、 図 1 4 Aに示すよ う に 、 犠牲層 となる酸化シジ コ ン薄膜

(低圧 T E O S ) 1 4 0上に必要に応じて例んば 2 0 n m程度の 膜厚の リ ン ド一プ多結晶シリ コン薄膜 （ P D A S膜） 1 4 1 を成 膜した後、多結晶シリ コ ン薄膜 1 4 1 と共に酸化シリ コン薄膜（低 圧 T E O S ) 1 4 0 に、 ビーム と配線部 1 3 8 A， 1 3 8 B と の 間を接続するための貫通孔 1 4 2 [ 1 4 2 A , 1 4 2 B ] を選択 エッチング、 例えば ドライエッチング法によ り 形成する

次に、 図 1 4 B に示すよ う に、 貫通孔 1 4 2 A ， 1 4 2 B 内を 含んで表面上に所望の膜厚の リ ン ドープ多結晶シリ ン薄膜 （ P

D A S膜） を形成し、 ビーム形状にパタ一二ングし、 例 ば ドラ ィエッチング法によ り ノ タ 一ニングして 、 多結曰曰シリ ン薄膜に よる ビーム、 すなわちビーム 1 4 5 とその支持部 1 4 6 A ， 1

6 Bを形成する。 更に、 例えば ドライエッチング法によ "9パター ニ ングして、 配線部 1 3 8 Aと抵抗 R a との間、 抵抗 R a に接 する配線部及び容量 C a の部分に開 口 1 4 2 C , 1 4 2 Dを形成 する。 この と き、 ビーム 1 4 5 の支持部 1 4 6 A及び 1 4 6 Bは 配線部 1 4 2 A , 1 4 2 B に機械的かつ電気的に接続される。

次に、 図 1 5 に示すよ う に、 接続配線、 容量、 直流電源入力パ ッ ドと なる薄膜、 例えば A 1 — S i 膜を成膜し、 レジス ト マス ク 及びフ ッ化水素溶液 （ D H F :Diluted HF) を用いてパターニ ン グし、 A 1 一 S i 膜による容量 C a 、 接続配線 1 4 8及び直流電 源入力パッ ド 1 5 0 を形成する。 すなわち、 配線部 1 4 2 Aと抵 抗 R a 間の接続配線 1 4 8 a 、 容量 C a を構成する対の櫛歯型電 極、 一方の櫛歯型電極に接続する電極パッ ド 1 5 0及び一方の櫛 歯型電極と抵抗 R a 間の接続配線 1 4 8 b を形成する。

同時に、 このフ ッ化水素溶液 （D H F ) によ り 、 犠牲層と なる 酸化シ リ コ ン薄膜 （H D P ) 1 4 0 を除去して、 ビーム 1 4 5 と 入出力電極 1 3 6 、 1 3 7 間に空間 1 5 1 を形成する。 これによ つて、 同一の基板 1 3 0上に M E M S静電駆動型振動子 1 5 2 と 直流電圧安定化回路 1 0 と直流電源入力パッ ド 1 5 0 を形成して なる 目的の高周波素子 1 5 3 を得る （図 1 5参照）。

次に、 高周波領域の微弱な信号を取 り扱う と きの、 信号経路以 外の回路を迂回する信号の漏洩を抑制 し、 高周波信号の信号 Z雑 音比の向上と、 上述した直流バイアス電圧の安定性の向上と を図 つたゝ 本発明に係る高周波素子の他の 施の形 について説明す 実 態

o

信号の漏洩を抑制する高周波素子と してはヽ 直流ノ ィァス電圧 を高周波信号線路の一部に印加して動作される高周波信号素子を 有し 、 高周波信号線路のイ ンピ一ダンス と 、 直流バイァス電圧を 供給する直流給電配線のィ ンピ一ダンス と の間をイ ンピ一ダンス 不整 α にす

また 、 信号の漏洩を抑制する高周波 子と しては、 直流バイァ ス電圧を高周波信号線路の一部に印加して動作される高周波信号 素子と 、 向周波信号素子を駆動するための直 電圧供給手段と を 有し、高周波信号線路に接続される他の配線のイ ンピーダンスを、 高周波信号線路のィ ンピ一ダンスに対して不整口 す 0

信号の漏洩を抑制する高周波素子の具体例と しては 、 1 つある いは複数の高周波ブロ クク （例えば並列振動子 ) に 、 直流バィ ァ ス電圧を給電する場合に 、 高周波回路ブロ ッ ク を週切に分割しヽ その間を、 高周波回路ブロ ック 内の R F信号線の一部をなす直流 給電部からみた R F信号線路のィ ンピーダンス と は異なるィ ンピ 一ダンスで接続する。 のよ う な接続方法を用いて直流給電配線 を形成する と、 高周波回路ブロ ック 内で直流バィァス電圧と高周 波信号が混在して印加されている信号線路から 、 直流給電回路を 通じてブロ ッ ク外への漏洩を最小限に抑制する こ とができ る ο 最 良の接続方法は、 ロ ー ノヽ⁰ス フィルタ を通じて直流給電配線を接 するこ とであるが、 抵抗の差異のみであっても十分な効果を得る こ とができ る。 特に M E M S (微小電気機械系 ) 静電駆動型 (ビ

—ム型） 振動子群を用レ、て高周波素子を構成する場 σ は、 M E M

S振動子の直流でのィ ンピ一ダンス は極めて大さ く 直流給電線 路には極めて微小な直 電流しか流れないために、 かな り 大きな 抵抗、 例えば数 M Ωの抵 振動子群と直流給電配線の間に挿入 しても、 抵抗によ る電圧の降下が起こ らず、 従って、 効果的なィ ンピーダンス不整合を実現でき る。

本実施の形態は、 このよ う なイ ンピーダンス不整合によって漏 洩を抑制でき る よ う に した高周波素子に、 さ らに振動子への直流 バイアス電圧の安定した供給を可能に している。

図 1 6 は、 本発明に係る高周波素子を 1 段構成のラダー型フィ ルタに適用 した第 2 実施形態の等価回路である。

本実施の形態のラダー型フィルタ 3 1 は、 高周波信号線路 3 2 をマイ ク ロス ト リ ップ線路で構成し、 その信号線路 3 3 の入力端 子 T i n及び T o u t 間に直列に並列化された複数の振動子 （振 動子群） で構成された振動子 3 5 が接続され、 この直列振動子 3 5 の出力側と グラ ン ド線路 3 4 間に同様に並列化された複数の振 動子（振動子群）で構成されたシャン ト振動子 3 6 が接続される。 この直列振動子 3 5及びシャン ト振動子 3 6 は、 直流バイアス電 圧の供給によって動作するよ う に構成される。 このため、 直流電 圧供給手段、 例えば直流電源回路 3 7 と直流給電線路 3 8 を有し た直流給電回路が設けられ、直流電源回路 3 7 から直流給電回路、 すなわち直流給電配線 3 8 を通じて直列振動子 3 5及びシャン ト 振動子 3 6 の後述する信号線路 3 3 の一部と なる駆動部分に接続 される。 直流電源回路 3 7 と しては、 例えば交流から定電圧 · 直 流に変換して供給する回路構成、 あるいは直流から電圧変換され た定電圧 · 直流電圧に変換して供給する回路構成とする こ とがで さ る。

そ して、 この直列振動子 3 5及びシャ ン ト振動子 3 6 における 信号線路 3 3 の直流給電端子側から見たイ ンピーダンス と直流給 電配線 3 8 のィ ンピーダンス との間にィ ンピーダンスの不整合が 存する よ う構成される。 すなわち、 直列振動子 3 5及びシャン ト 振動子 3 6 における信号線路 3 3 と 、 直流給電配線 3 8 との間に イ ンピーダンス不整合を形成するための素子を接続する。 こ の素 子と しては、 本例では抵抗素子 R 1 ， R 2 が用いられている。 本 例では、 直列振動子 3 5 のビームと直流給電配線 3 8 との間に抵 抗素子 R 1 が接続され、 シャ ン ト振動子 3 6 の ビーム と直流給電 配線 3 8 と の間に抵抗素子 R2 が接続される。 さ らに、 こ の直流 給電配線 3 8 と直流電源回路 3 7 に接続された直流電源入力パッ ド 2 2 と の間に抵抗 R a と容量 C a からなる直流電圧安定化回路 1 0 が接続される。 この場合、 抵抗 R a を省略して、 抵抗 R 1 、 R 2 兼用 して抵抗 R.1 ， R 2 と容量 C a で直流電圧安定化回路 1 0 を形成する こ と も可能である。

直列振動子 3 5及びシャ ン ト振動子 3 6 と しては、 M E M S静 電駆動型振動子で形成される。こ の M E M S静電駆動型振動子は、 前述の図 1 及び図 2 と 同様の構成、 すなわち回路系を除いた振動 子そのものの構造を採る。

図 1 6 における直列振動子 3 5 は、 こ の個別の M E M S静電駆 動型振動子 2 を複数、 例えば 4 0個並列化して構成される。 シャ ン ト振動子 3 6 は、 複数、 例えば 1 6 0個の M E M S静電駆動型 振動子 2 を並列化して構成される。 直列振動子 3 5 の合成イ ンピ 一ダン、 Z s は、 例えば直列抵抗 R X = 5 k Ω、 接地 C 0 = 1 X 1 0— ^{1 3} F'からなる。 シャ ン ト振動子 3 6 の合成イ ンピーダンス Z p は、 例えば直列抵抗 R x = l k Q、 接地容量 C O = 8 X 1 0 一 ^{1 3} Fからなる。 信号線路 3 3 の一部をなすビーム と直流給電線 路 3 8 間に接続される上記抵抗素子 R 1 ， R 2 は、 例えば多結晶 シリ コン膜による細線を用いて形成され、 その抵抗値は、 例えば R 1 ， R 2 = 1 Μ Ω とする こ と ができ る。 図 1 6 に示された信号 線路 3 3 の特性イ ン ピーダンスは、 シャン ト振動子 3 6 の合成ィ ンピーダンス Ζ ρ と 同じに設計される。

第 2実施の形態の 1 段ラダー型高周波フ ィ ルタ 3 1 は、 直列振 動子 3 5及びシャ ン ト振動子 3 6 からなる.高周波回路プロ ック と、 直流電源回路 3 7 と、 直流電圧安定化回路 1 0及び直流給電配線 3 8 を含む直流給電プロ ック を同一の半導体チップ上に形成して 構成される。

図 1 7〜図 2 0は、 図 1 6 の等価回路で表される 1段構成のラ ダー型フィルタ 3 1 のフィルタ特性を示す。 すなわちシ リ コ ン半 導体プロセスによ り 作製され M E M S静電駆動型振動子群を用い て構成されたラダー型フ ィ ルタ 3 1 を、 ァ ドバンテッ ク社製ネ ッ ト ワーク · アナライザ _{3 7} 6 7 Gを用いて測定した透過特性値 S 2 1 ( Sパラメ ータ） の周波数依存性を示す。 直列振動子 （振動 子群） 3 5及びシャ ン ト振動子 （振動子群） 3 6 には、 共通電源 を用い直流一 1 5 Vを印加した。 直列振動子 （振動子群） 3 5 の 共振周波数は 9 8 MH z 、 シャ ン ト振動子 （振動子群） 3 6 の中 心周波数は、 直列振動子のそれよ り 2 MH z 、 3 MH z 、 6 M H z低い、 9 6 MHz 、 9 5 MHz 、 9 2 MH z にそれぞれ設定して 測定した。

図 1 7はシャン ト周波数依存性を示したフィルタ特性 （図 1 8 〜図 2 0で示す各シャ ン ト周波数が異なる曲線を重ねたも の） で ある。 図 1 8、 図 1 9、 図 2 0 はそれぞれシャ ン ト振動子 3 6の 中心周波数を 9 6 MH z 、 9 5 MH z 、 9 2 MH z にしたと きの図 1 7の要部 Aに対応した拡大周波数特性を示す。 図 1 7から明 ら かなよ う に、 いずれのシャ ン ト周波数の場合も、 ゴース ト （雑音） のない略同じ曲線を呈し、 特に共振、 ***振のピーク部分では同 じ曲線であ り 、 雑音のない予想通り の周波数特性を示 している。 シャ ン ト振動子 3 6 の効果が不明瞭にしか観測でき'ないのは、 ネ ッ ト ワーク . アナライザの入力イ ンピーダンスが 5 0 Ωであるた めである。

第 2実施形態の 1段構成のラダー型フ ィ ルタ 3 1 によれば、 M E M S静電駆動型振動子で形成された直列振動子 3 5及びシャ ン ト振動子 3 6 の、 信号線路 3 3 の一部をなすビーム と直流給電配 線 3 8 と の間にイ ン ピーダンス不整合とする抵抗素子 R 1 ， R 2 を接続する こ と によ り 、 直流給電配線 3 8 を通 じての高周波信号 の迂回が抑制され、 フ ィ ルタ リ ングされた高周波信号の信号/雑 音比を向上する こ とができ る。 また、 複数の独立電源を必要と し ないので 、 電源に係わる コス ト を低減する こ とができ る

カロえて 、 直列振動子. 3 5 と シャ ン ト振動子 3 6 に直流電圧安定 ィ匕回路 1 0 を通じて直流バイ アス電圧を印加するので、 フ イ ノレタ リ ングされた高周波信号の時間変動を抑圧する こ とができ る。 ま た、 サージ電圧による直列振動子 3 5 、 シャ ン ト振動子 3 6 への 損害を最小限度に抑えるこ とができ る。

図 2 1 は 、 本発明に係る高周波素子を 2段構成のラダ一型フィ ノレタに適用 した第 3実施の形態の等価回路である

第 3 実施の形態のラダー型フィルタ 6 1 は、 前述と 同様にマイ ク ロス ト ジ ップ線路で構成された高周波信号線路 3 2 に 、 それぞ れ並列化された複数の振動子 （振動子群） で構成された直歹 IJ振動 子 6 5 1 、 6 5 2 と、 それぞれ並列化された複数の振動子 （振動 子群） で構成されたシャ ン ト振動子 6 6 1、 6 6 2 とからなる、 ラダー型フイ ノレタが 2段に接続されてなる。 すなわち、 その信号 線路 3 3 の入力端子 T i n及び出力端子 T o u t 間に直列振動子

6 5 1 が接続され、 直列振動子 6 5 1 の出力側と グラ ン ド線路 3

4 間にシャン ト振動子 6 6 1 が接続された 1段目 のラダ一型フィ ルタが設けられ、 その後段に同 じく 信号線路 3 3 に直列振動子 6

5 2が接続され、 直列振動子 6 5 2 の出力側と グラ ン ド線路 3 4 間にシャ ン ト振動子 6 6 2が接続された 2段目 のラダー型フ ィ ル タが設けられる。

各直列振動子 6 5 1、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 6 6 1 , 6 6 2 は、 直流バイァス電圧の供給によって動作する よ う に構成され る o こ のため、 ¾u述と 同様に直流電圧供給手段、 例えば直流電源 回路 3 7 と直流給電線路 3 8 を有した直流給電回路が設けられ、 直流電源回路 3 7 から直流給電回路、 すなわち直流給電配線 3 8 を通じて直歹 IJ振動子 6 5 1 、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 6 6 1 、

6 6 2 の信号線路 3 3 の一部となる ビームに接続される。

そして 、 こ の直列振動子 6 5 1 、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 6

6 1 、 6 6 2 における信号線路 3 3 のイ ンピーダンス と直流給電 配線 3 8 のイ ンピ一ダンス と の間にィ ンピーダンスの不整合が存 するよ う構成される。 すなわち、 直列振動子 6 5 1 、 6 5 2及び シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 における信号線路 3 3 と、 直流給 電配線 3 8 との間にィ ンピーダンス不整合を形成するための素子 例 ば抵抗素子 R 3 〜 R 6 を接続する。 さ らに、 こ の直流給電配

3 8 と直流電源回路 3 7 に接続された直流電源入力パッ ド 2 2 と の間に抵抗 R a と容量 C a からなる直流電圧安定化回路 1 0 が 接続される。 こ の士 -县 A口 、 抵抗 R a を省略する こ と も可能である。

直列振動子 6 5 1 、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 はヽ 刖 ¾Eと同 ¾ (こ M E M S静電駆動型振動子 2で構成される。 そ して 、 1 段目 の直列振動子 6 5 1 のビームと直流給電配線 3 8 と の間に抵抗素子 R 3 が接続され、 シャ ン ト振動子 6 6 1 の ビーム と直流給電配線 3 8 と の間に抵抗素子 R 4 が接続される。 また、

2段目 の直列振動子 6 5 2 のビーム と直流給電配線 3 8 との間に 抵抗素子 R 5 が接続され、 シャ ン ト振動子 6 6 2 の ビーム と直流 ホロ電配線 3 8 と の間に抵抗素子 R 6 が接続される。

図 2 1 における直列振動子 6 6 1 、 6 6 2 は、 個別の M E M S 静電駆動型振動子 2 を複数、例えば 4 0個並列化して構成される。 シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 は、 複数、 例えば 1 6 0 個の M E M S静電駆動型振動子 2 を並列化して構成される。 直列振動子 6 5 1 、 6 5 2 のイ ンピーダンス Z s は、 例えば直列抵抗 R x = 5 k Ω , 接地容量 C O = 1 X 1 0 — ^{1 3} F力 らなる。 シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 のイ ンピーダンス Z p は、 例えば直列抵抗 R X = l k Q、接地容量 C O = 8 X 1 0— ^{1 3} Fからなる。抵抗素子 R 3 ， R 4 ， R 5 ， R 6 は、 例えば多結晶シ リ コ ン膜による細線を用い て形成され、 その抵抗値は、 例えば R 3 ， R 4 ， R 5 , R 6 = 1 Μ Ω とする こ とができ る。 図 2 1 に示された信号線路 3 3 の特性 イ ンピーダンスは、 シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 のイ ンピーダ ンス Ζ ρ と 同 じに設計される。

第 3実施の形態の高周波フ ィ ルタ 6 1 は、 直列振動子 6 5 1 、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 からなる高周波回路ブ ロ ック と、 直流電源回路 3 7 と、 直流電圧安定化回路 1 0及び直 流給電配線 3 8 を含む直流給電プロ ッ ク を同一の半導体チップ上 に形成して構成される。

図 2 2 は、 図 2 1 の等価回路で表される 2段構成のラダー型フ ィルタ 6 1 のフィルタ特性を示す。 すなわちシリ コン半導体プロ セスによ り 作製された M E M S ビーム型振動子群を用いて構成さ れたラ ダー型フ ィ ルタ 6 1 を、 ア ドバンテ ッ ク社製ネ ッ ト ヮー ク *アナライザ 3 7 6 7 Gを用いて測定した透過特性値 S 2 1 ( S パラメータ） の周波数依存性を示す。 直列振動子 （振動子群） 6 5 1 、 6 5 2及びシャ ン ト振動子 （振動子群） 6 6 1 、 6 6 2 に は、 共通電源を用い直流一 1 5 Vを印加した。 直列振動子 （振動 子群） 6 5 1 、 6 5 2 の共振周波数は 9 8 MH z 、 シャ ン ト振動 子 （振動子群） 6 6 1 、 6 6 2 の中心周波数は、 直列振動子のそ れよ り 4 MH z 低い、 9 4 MH z にそれぞれ設定して測定した。 この図 2 2 の特性曲線から明らかなよ う に、 雑音のない予想通り の周波数特性を示している。 シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 の効 果が不明瞭にしか観測できないのは、 ネッ ト ワーク · アナライザ の入力ィ ンピ一ダンスカ 5 0 Ωであるためである ο

第 3実施形態の 2段構成のラダー型フ ィ ノレタ 6 1 によれば、 M

E M S 電駆動型振動子で形成された直列振動子 6 5 1 、 6 5 2 及ぴシャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 の 、 信 路 3 3 の一部と な る ビームと直流給電配線 3 8 と の間にイ ンピーダンス不整合とす る抵抗素子 R 3 ， R 4 , R 5 , R 6 を接続する こ と によ り 、 直流 給電配線 3 8 を通じての高周波信号の迂回が抑制され 、 フ イ ノレタ リ ングされた高周波信号の信号 雑音比を向上する こ とができ る。 また、 複数の独立電源を必要と しないので、 電源に係わる コ ス ト を低減する こ とができ る。

加えて 、 直列振動子 6 5 1 、 6 5 2 と シャ ン ト振動子 6. 6 1 、

6 6 2 に直流電圧安定化回路 1 0 を通じて直流バィ ァス電圧を印 加するので、 フィルタ リ ングされた高周波信号の時間変動を抑圧 する こ とができ る o よ iしヽ サージ電圧による直列振動子 6 5 1 、

6 5 2 、 シャ ン ト振動子 6 6 1 、 6 6 2 への損害を最小限度に抑 える こ とができ る。

図 2 3 は、 本発明に係る r¾周波素子を咼周波共振器に週用 した 第 4実施の形態の等価回路であ ο 第 4実施の形態に係る高周波 共振器 7 1 は、 マィ ク 口ス 卜 リ ップ線路で構成された高周波信号 線路 7 2 の、 信号線路 7 3 の入出力端子 T i n及び T o u t 間に 並列化された複数の振動子 (振動子群 ) で構成された振動子 7 5 が接続され、 この振動子 7 5 を動作させるための直流電源回路 7

7 力 らの直流袷電配 8 と振動子 7 5 の信号線路の一部となる ビ一ム との間に 実効的にィ ンピーダンスを不整合にする素子、 本例では口一パスフィノレタ 7 9 を接続して構成される。 さ らに、 こ の直流給電配線 7 8 と直流電源回路 7 7 に接続された直流電源 入力パク ド、 2 2 と の間に抵抗 R a と容量 C a 力 らなる直流電圧安 定化回路 1 0 が接 される 。 振動子 7 5 と しては、 前述と に 図 1 及び図 2 の M E M S駆動型振動子 2 で構成される。

図 2 3 における振動子 7 5 は、 前述と 同様に複数、 例えば 5 0 個の M E M S ビーム型振動子 2 を並列化して構成される。 振動子 7 5 の合成イ ンピーダンス Z s は、 直列抵抗 R x = 5 k Q、 接地 容量 C O = 1 X I 0— ^{1 3} Fからなる。 高周波信号線路 7 2 の信号 線路 7 3 の特性イ ンピーダンスは、 振動子 7 5 のイ ン ピーダンス Z s と 同 じに設計される。 C 1 は直流給電配線 7 8 の浮遊容量、 あるいはローパス回路の一部をなす容量を示す。

図 2 4 は、 図 2 3 の等価回路で表された高周波共振器 7 1 の共 振特性を示す。 すなわち、 シ リ コ ン半導体プロ セスによ り 作製さ れた M E M S静電駆動ビーム型振動子群を用いて構成された高周 波共振器 7 1 を、 ア ドバンテック社製ネ ッ ト ワーク · アナライザ 3 7 6 7 Gを用いて測定した透過特性値 S 2 1 ( Sパラ メ ータ） の周波数依存性を示す。 振動子群にはロ ーパス フ ィ ルタ 7 9 が組 み込まれた直流電源回路 7 7 を用い、 直流— 2 0 Vを印加した。 信号線路 7 3 の一部となる振動子 7 5 の ビーム と 、 直流電源回路 7 7側のロ ーパス フ ィ ルタ 7 9 と はワイ ヤー · ボン ド法によ り A u細線で接続した。 図 2 4 から明 らかなよ う に、 雑音のない、 9 8 M H z 付近にピーク を持つ共振曲線が観測でき る。

なお、 図 2 3 の例では、 実効的にイ ン ピーダンスを不整合にす るための素子 と して、ローパス フ ィ ルタ 7 9 を用いたが、その他、 R C回路、 抵抗素子などを用いる こ と もでき る。

第 4実施形態の高周波共振器 7 1 によれば、 M E M S静電駆動 型振動子で形成された振動子 7 5 の、 信号線路 7 3 の一部と なる ビーム と直流給電配線 7 8 と の間に口 一パス フ ィ ルタ 7 9 を接続 する こ と によ り 、 直流給電配線 7 8 を通じての高周波信号の不要 反射が抑制され、 共振周波数の高周波信号の信号 雑音比を向上 する こ とができ る。 加えて、 振動子 7 5 に直 電圧安定化回路 1 0 を通じて直流バ ィァス電圧を印加するので 、 共振された高周波信号の時間変動を 抑圧する こ とができ る た 、 サージ電圧による振動子 7 5への 損害を最小限度に抑える こ とができ る。

上例では、 本発明を複数の M E M S静電駆動型振動子を電気的 な結合で構成したラダ一型フィルタあるいは共振器に適用 したが その他、 複数の M E M S ビ一ム型振動子を機械的な結合で構成し た複合静電駆動振動子型フィルタ （図 8 、 図 9参照） に適用する こ とができ る。 この A

Π、 複合振動子型フィルタを構成する振動 子あるいは振動子群への直流バイ ア ス電圧を高周波信号線路のィ ンピーダンス と は不整合な状態で供給する よ う になす。 これによ つて、 上述と同様に 、 フィ.ルタ リ ングされた高周波信号の信号ノ 雑音比を向上する こ とがでさ 、 また、 複数の独立電源を必要と し ないので、 電源に係わる 3 ス ト を低減する こ とができ る。

本発明の第 5実施の形態は、複合振動子を複数個並列に設置し、 高周波信号を並列的にフィルタ リ ングする よ う に構成する こ とが でき る。 そ して、 かかる複合振動子型フィルタ を構成する振動子 あるいは振動子群への直流バイ ァス電圧を 、 高周波信 線のィ ン ピーダンス と は不整合な状態で供給し、 さ らに振動子に直流電圧 安定化回路 1 0 を介して直流バィァス電圧を供給するなど 、 前述 と 同様に構成する。

この第 5 実施の形 に係る高周波共振 ¾5においても 、 述と 同 様の作用効果を奏する

上述のラダー型フィルタ 、 複合振動子型フィルタ等の複合的な 振動子によるフィルタを構成する場合、 隣り 合う振動子 （並列化 された複数の振動子で構成された振動子 （振動子群）） 間の配線の 長さ、 複数段のフィルタ間の配線の長さ を、 取り扱う 高周波信号 の波長に比較して十分に短く する こ と によ り 、 高周波信号の遅延 に起因する信号歪を抑制する こ とができ る。

上例においては 、 本発明を高周波フ イ ノレタ 、 高周波共振器に適 用 したが 、 その他 、 静電駆動型 M E M S素子を用いた高周波スィ ツチ、 分配器等の受動素子、 M E M S (微小機械システム） 等に 適用する こ とができ る。

上述した本発明の高周波素子は 、 れらを構成する高周波回路 ブ口 ック と、 こ の高周波回路プロ yク を動作されるための電源回 路ブロ ック と を、 同一のウ エノヽチ yプ 、 すなわち 1 つの半導体チ ップ上に形成して構成する こ とがでさ •0。 ま 7こ【ま 、 本発明の高周 波素子は 、例えば高周波回路プロ ッ ク を形成した半導体チップと、 上記電源回路プロ ック を形成した半導体チップと を有して、 両チ ップ間をワイヤーで接続して構成する こ とができ ό 。

また イ ンピーダンスを不整合にするための手段は、 直流電源 回路側に挿入してもよ く 、 あるいは高周波信号素子側に挿入して よい。

上述した各実施の形態の静電駆動型振動子によるフ ィ ルタは、 r¾周波 ( R F ) フィルタ、 中間周波 ( I F ) フ ィルタ等と して用 レヽる こ と ができ る o

本発明は、 上述した実施の形態のフィルタ を備えた通信装置、 すなわち例えば携帯電話機、無線 L A N機器、無線 ト ラ ンシーバ、 テレビチュ ' ~ナ 、 フジォチュ ナ等の 、 電磁波を利用 して通信す る通信装置を提供する こ とができ る o

次に 、 上述した本発明の実施の形 、匕のフィルタを適用 した通信 装置の構成例を 、 図 2 5 を 昭 して aft明する。

まず送信系の構成につレヽて 明する と、 I チャ ンネルの送信デ 一タ と Qチャンネルの送信テ一タを 、 それぞれデジタル Zァナ口 グ変換 ( D A C ) 2 0 1 I 及び 2 0 1 Qに供給してァナ口 グ信 号に変換する。 変換された各チャ ンネルの信号は、 バン ド ' パス · フ ィ ルタ 2 0 2 I 及び 2 0 2 Qに供給して、 达 1B i 号の帯域以外 の信号成分を除去し、 ノくン ド ' ノ ス · フィルタ 2 0 2 I 及び 2 0

2 Qの出力を 、 変調器 2 1 0 に供給する

変調器 2 1 0 では、 各チャ ンネルごと にノ sッファアンプ 2 1 1

I 及び 2 1 1 Qを介して ミ キサ 2 1 2 I 及び 2 1 2 Qに供給して 送信用の P L L ( p nase -locke d loop ) 回路 2 0 3 から供給される 送信周波数に対応した周波数信号を混 a して変調し 、 両混合信号

口

を加算器 2 1 4 で加算して 1 系統の送信信 とする 。 この場合、 ミ キサ 2 1 2 I に供給する周波数信号はゝ 移相器 2 1 3 で信号位 相を 9 0 ° シフ ト させてあ り 、 I チヤ ンネルの信号と Qチャ ンネ ノレの信号とが直交変調されるよ う に してある

加算器 2 1 4 の出力は、 ノく ッ フ ァ ァンプ 2 1 5 を介して電力増 幅器 2 0 4 に供給し、 所定の送信電力と なる よ う に増幅する。 電 力増幅器 2 0 4 で増幅された信号は、 送受信切換器 2 0 5 と高周 波フィルタ 2 0 6 を介してアンテナ 2 0 7 に供給し 、 アンテナ 2

0 7 から無線送信させる。 高周波フ ィ ルタ 2 0 6 は 、 こ の通信装 置で送信及び受信する周波数帯域以外の信号成分を除去するバン ド · ノ ス · フ ィ ルタである。

受信系の構成と しては、 アンテナ 2 0 7 で受信した信号を、 高 周波フ ィ ノレタ 2 0 6及び送受信切換器 2 0 5 を介して高周波部 2

2 0 に供給する。 高周波部 2 2 0 では 、 受信信号を低ノ イ ズアン プ （ L N A ) 2 2 1 で増幅した後、 バン ド、 • ノヽ °ス · フ ィ ルタ 2 2

2 に供給して 、 受信周波数帯域以外の信号成分を除去し、 除去さ れた信号をバッフ ァアンプ 2 2 3 を介して 、、 キサ 2 2 4 に供給す る。 そ して、 チャ ンネル選択用 P L L回路 2 5 1 から供給される 周波数信号を混合して、 所定の送信チャ ンネルの信号を中間周波 信号と し、 その中間周波信号をバ ッ フ ァ ァ ンプ 2 2 5 を介して中 間周波回路 2 3 0 に供給する。 中間周波回路 2 3 0 では、 供給される中間周波信号をバ ッ フ ァ アンプ 2 3 1 を介してバン ド ·パス 'フイ ノレタ 2 3 2 に供給して、 中間周波信号の帯域以外の信号成分を除去し、 除去された信号を 自動ゲイ ン調整回路 （A G C回路） 2 3 3 に供給して、 ほぼ一定 のゲイ ンの信号とする。 自動ゲイ ン調整回路 2 3 3 でゲイ ン調整 された中間周波信号は、 バッファアンプ 2 3 4 を介して復調器 2 4 0 に供給する。

復調器 2 4 0 では、 供給される中間周波信号をバ ッ フ ァ ア ンプ 2 4 1 を介して ミ キサ 2 4 2 I 及び 2 4 2 Qに供給して、 中間周 波用 P L L回路 2 5 2 から供給される周波数信号を混合して、 受 信した I チャ ンネルの信号成分と Qチャ ンネルの信号成分を復調 する。 この場合、 I 信号用の ミ キサ 2 4 2 1 には、 移相器 2 4 3 で信号位相を 9 0 ° シフ ト させた周波数信号を供給するよ う に し てあ り 、 π交変調された I チャ ンネルの信号成分と Qチャ ンネル の信号成分を復調する。

復調された I チャ ンネルと Qチヤ ンネルの信号は、 それぞれバ ッ フ ァ ァ ンプ 2 4 4 I 及び 2 4 4 Qを介して /、ン ド ' ノヽ。ス · フ ィ ルタ 2 5 3 I 及び 2 5 3 Qに供給してヽ I チャ ンネル及び Qチヤ ンネノレの信号以外の信号成分を除去し 、 除去された信号をアナ口 グ /デジタル変換器 （A D C ) 2 5 4 I 及び 2 5 4 Qに供給して サンプリ ングしてデジタルデータ化し 、 I チャ ンネルの受信デー タ及び Qチャ ンネルの受信データを得る

まで説明 した構成において、 各ノくン ド • ノヽ °ス · フィルタ 2

0 2 I ， 2 0 2 Q , 2 0 6 , 2 2 2 ラ 2 3 2 2 5 3 1 , 2 5 3

Qの一部又は全て と して、 上述した実施の形 の構成のフィノレタ を週用 して帯域制限するこ とが可能であ -3。

本実施の形態の通信装置によれば 、 フィノレタを構成する静電駆 動型振動子に安定な直流バイァス電圧を供給する こ とができ るの で、 出力される高周波信号又は Z及び中間周波信号の時間変動を 抑制するこ とができ、 また、突発的に印加される高電圧パルス （サ シ 圧） による振動子の破壊を防止する こ とがでさヽ 信頼性の 高レ、通信装置を提供するこ とがでさ る

図 2 5 の例では 、 各フィルタをノ、ン K - ノヽ⁰ス · フィルタ と して 構成したが 、 所定の周波数よ も下の 波数帯域だけを通過させ る π 一 • パス • フイ ノレタや 、 所定の周波数よ り ち上の周波数 域 だけを通過させるノヽィ · パス • フィルタ と して構成して 、 それら の フィノレタに上述した各実施の形 の構成の フ ィ ルタ を週用 して もよレ、 また 、 図 2 5 の例ではヽ 挺ハ、、線送信及び無線受信を行ラ通 信装置と したが、 有線の伝送路を介して送信及び受信を行ラ通信 装置が備 るフィルタ に週用 してち よ < 、 さ らに送信処理だけを 行 通信装置ゃ受信処理だけを行ラ 通信 置が備える フィルタに 上述した実施の形態の構成のフ ィルタ を週用 してちよレ、

Claims

oH求の範囲

1 . 直流バイアス電圧を印カロして動作される静電駆動型の振動子 を含む高周波信号素子を有し、 刖記直流ノ ィ ァス電圧を供給する パッ ドと J記振動子との間に、 刖記直流ノくィ ァス電圧を安定化さ せる機能を有する回路が付加されてレ、る こ と を特徴とする高周波 子。

2 . 前記高周波信号素子は、 複数の 電駆動型の振動子に高周波 信号を並列に通過させて信号処理を行 振動子群を回路要素と し て有してレヽる こ と を特徴とするロ冃求の範囲第 1 項記載の高周波 子。

3 . 刖記直流バイァス電圧を安定化させる機能を有する回路は 、 直流給電線路に直列に挿入された抵抗と 、 給電線と接地と の間に 揷入された容量と によ り構成される こ と を特徴とする δ冃永の 囲 第 1 項記載の高周波素子。

4 . 記直流バイ ァス電圧を安定化させる機能を有する回路は 、 前目し r¾周波信号素子が形成された同 じ基板上に設けられる こ と を 特徴とする請求の範囲第 1 項記載の高周波 ナ。

5 記高周波信号素子は 、 入力された高周波信号から所望の周 波数帯域の信号を選別する機能を有する こ と を特徴とする 求の 範囲第 1項記載の高周波素子

6 . 肓リ記高周波信号素子は、 高周波信号の基準信号を発生する機 能を有する こ と を特徴とする曰冃求の範囲第 1 項記載の高周波 "^子。

7 . 直流バイアス電圧を印加して動作される静電駆動型の振動子 を含む高周波信号素子の駆動に供される電源供給素子であつて 直流バィ ァス電圧を安定化させる機能を有する回路が付加され ている こ と を特徴とする電源供給素子

8 . 送信信号及び/又は受信信号の帯域制限を行う フ イ ノレタ を備 えた通信装置において 、 刖 5己フィルタ と して、 直流バィ ァ ス電圧 を印加して動作される静電駆動型振動子を有し、 前記直流バイ ァ ス電圧を供給するノヽ⁰ ソ Kと Wi記饭動子と の間に 、 刖曰己直流バイ ァ ス電圧を安定化させる機能を有する回路が付加されてなるフ ィ ル いられてい - タが用 る と を特徴とする通信装置

9 記フイ ノレタは 、 複数の静電駆動型振動子に高周波信号また は中間周波信号を並列に通過せて信号処理を行う fe動子群を回路 素と して有してレ、る と を特徴とする請求の範囲第 8項記載の 通信装置。

1 0 .前記直流バイ アス電圧を安定化させる機能を有する回路は、 直流給電線路に直列に挿入された抵抗と、 給電線と接地と の間に 挿入された容量と によ り構成される こ と を特徴とする請求の範囲 第 8項記載の通信装置。

1 1 .前記直流バイ ア ス電圧を安定化させる機能を有する回路は、 前記フ ィ ルタ が形成された同 じ基板上に設けられる こ と を特徴と する請求の範囲第 8項記載の通信装置。