JP4419651B2 - 高周波素子 - Google Patents
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Description
C.T.−Nguyen,Micromechanical components for miniaturized low−powercommunications(invited plenary),proceedings,1999 IEEE MTT−S International Microwave Symposium RF MEMS Workshop, June,18,1999,pp,48−77.
本実施の形態のラダー型フィルタ31は、高周波信号線路32をマイクロストリップ線路で構成し、その信号線路33の入力端子Tin及びTout間に直列に並列化された複数の振動子(振動子群)で構成された振動子35が接続され、この直列振動子35の出力側とグランド線路34間に同様に並列化された複数の振動子(振動子群)で構成されたシャント振動子36が接続される。この直列振動子35及びシャント振動子36は、直流バイアス電圧の供給によって動作するように構成される。このため、直流電圧供給手段、例えば直流電源回路37と直流給電線路38を有した直流給電回路が設けられ、直流電源回路37から直流給電回路、すなわち直流給電配線38を通じて直列振動子35及びシャント振動子36の後述する信号線路33の一部となる駆動部分に接続される。直流電源回路37としては、例えば交流から定電圧・直流に変換して供給する回路構成、あるいは直流から電圧変換された定電圧・直流電圧に変換して供給する回路構成とすることができる。
本実施の形態の1段ラダー型高周波フィルタ31は、直列振動子35及びシャント振動子36からなる高周波回路ブロックと、直流電源回路37及び直流給電配線38を含む直流給電ブロックを同一の半導体チップ上に形成して構成される。
図4はシャント周波数依存性を示したフィルタ特性(図5〜図7で示す各シャント周波数を変えた曲線を重ねたもの)である。図5、図6、図7はそれぞれシャント振動子36の中心周波数を96MHz、95MHz、92MHzにしたときの図4の要部Aに対応した拡大周波数特性を示す。図4から明らかなように、いずれのシャント周波数の場合も、ゴースト(雑音)のない略同じ曲線を呈し、特に共振、***振のピーク部分では同じ曲線であり、雑音のない予想通りの周波数特性を示している。シャント振動子36の効果が不明瞭にしか観測できないのは、ネットワーク・アナライザの入力インピーダンスが50Ωであるためである。
本実施の形態のラダー型フィルタ61は、前述と同様にマイクロストリップ線路で構成された高周波信号線路32に、それぞれ並列化された複数の振動子(振動子群)で構成された直列振動子651、652とそれぞれ並列化された複数の振動子(振動子群)で構成されたシャント振動子661、662からなるラダー型フィルタが2段に接続されてなる。すなわち、その信号線路33の入力端子TIN及び出力端子Tout間に直列振動子651が接続され、直列振動子651の出力側とグランド線路34間にシャント振動子661が接続された1段目のラダー型フィルタが設けられ、その後段に同じく信号線路33に直列振動子652が接続され、直列振動子652の出力側とグランド線路34間にシャント振動子662が接続された2段目のラダー型フィルタが設けられる。
本実施の形態の高周波フィルタ61は、直列振動子651、652及びシャント振動子661、662からなる高周波回路ブロックと、直流電源回路37及び直流給電配線38を含む直流給電ブロックを同一の半導体チップ上に形成して構成される。
図10から明らかなように、雑音のない、98MHz付近にピークを持つ共振曲線が観測できる。
本実施の形態に係る高周波共振器81は、図12Bに示す基板82上に出力となる下部電極83とこれに空間84を挟んで対向配置した入力となる上部電極、いわゆるビーム85とを有した構造のMEMSフィルタ86を、図12Aに示すように、ビーム85が並行になるように2つ配列する。この2つのMEMSフィルタは、その並行する2つのビーム85[85A,85B]を一部が連結部86を介して繋がるように形成し、それぞれの下部電極83[83A,83B]を独立に形成した構造となる。ビーム85A,85Bを繋げる位置は、振動の節(不動点)を選ぶ。このようにして構成した高周波共振器81は、一方の下部電極83Aが信号の入力となり、他方の下部電極83Bが出力となる。この場合、直流バイアス電圧は、ビーム85に印加される。
本実施の形態は、例えば、このような構成の複合振動子を複数個並列に設置し、高周波信号を並列的にフィルタリングするように構成することができる。
そして、本実施の形態に係る高周波共振器81においては、かかる複合振動子型フィルタを構成する振動子あるいは振動子群への直流バイアス電圧を、高周波信号線のインピーダンスとは不整合な状態で供給するなど、前述と同様に構成する。
本実施の形態に係る高周波共振器81においても、前述と同様の作用効果を奏する。
また、インピーダンスを不整合にするための手段は、直流電源回路側に挿入してもよく、あるいは高周波信号素子側に挿入してよい。
Claims (8)
- 複数のMEMSビーム型振動子を並列化した振動子群を有するフィルタと、
前記振動子群に直流給電配線を介して接続され、前記複数のMEMSビーム型振動子の各ビームに直流バイアス電圧を供給する1つの共通した直流電源回路と、
前記フィルタに接続された高周波信号線と、
前記直流給電配線と前記振動子群のビームとの間に介挿され、前記高周波信号線と前記直流給電配線との間をインピーダンス不整合とする素子と
を有する高周波素子。 - 複数のMEMSビーム型振動子を並列化した振動子群による直列振動子と、複数のMEMSビーム型振動子を並列化した振動子群によるシャント振動子とで構成されたラダー型フィルタと、
前記直列振動子及びシャント振動子に直流給電配線を介して接続され、前記直列振動子及び前記シャント振動子を構成する前記振動子群の複数のMEMSビーム型振動子の各ビームに直流バイアス電圧を供給する1つの共通した直流電源回路と、
前記ラダー型フィルタに接続された高周波信号線と、
前記直列振動子のビームと前記直流給電配線との間、及び前記シャント振動子のビームと前記直流給電配線との間にそれぞれ介挿され、前記高周波信号線と前記直流給電配線との間をインピーダンス不整合とする素子と
を有する高周波素子。 - 複数のMEMSビーム型振動子を並列化した振動子群を有する共振器と、
前記振動子群に直流給電配線を介して接続され、前記複数のMEMSビーム型振動子の各ビームに直流バイアス電圧を供給する1つの共通した直流電源回路と、
前記共振器に接続された高周波信号線と、
前記直流給電配線と前記振動子群のビームとの間に介挿され、前記高周波信号線と前記直流給電配線との間をインピーダンス不整合とする素子と
を有する高周波素子。 - 複数のMEMSビーム型振動子のビームが連結された複合MEMSビーム型振動子を複数、並列化した振動子群を有する複合振動子型フィルタと、
前記振動子群に直流給電配線を介して接続され、前記複数のMEMSビーム型振動子の各ビームに直流バイアス電圧を供給する1つの共通した直流電源回路と、
前記複合振動子型フィルタに接続された高周波信号線と、
前記直流給電配線と前記振動子群のビームとの間に介挿され、前記高周波信号線と前記直流給電配線との間をインピーダンス不整合とする素子と
を有する高周波素子。 - 前記フィルタと、前記直流電源回路及び前記直流給電配線を有する直流給電回路と、前記インピーダンス不整合とする素子とが同一のウェハチップ上に形成されている
請求項1記載の高周波素子。 - 前記ラダー型フィルタと、前記直流電源回路及び前記直流給電配線を有する直流給電回路と、前記インピーダンス不整合とする素子とが同一のウェハチップ上に形成されている
請求項2記載の高周波素子。 - 前記共振器と、前記直流電源回路及び前記直流給電配線を有する直流給電回路と、前記インピーダンス不整合とする素子とが同一のウェハチップ上に形成されている
請求項3記載の高周波素子。 - 前記複合振動子型フィルタと、前記直流電源回路及び前記直流給電配線を有する直流給電回路と、前記インピーダンス不整合とする素子とが同一のウェハチップ上に形成されている
請求項4記載の高周波素子。
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