WO2004095661A1

WO2004095661A1 - 露光用２ステ－ジレ－ザ装置

Info

Publication number: WO2004095661A1
Application number: PCT/JP2004/005490
Authority: WO
Inventors: Osamu Wakabayashi; Tatsuya Ariga; Takahito Kumazaki; Kotaro Sasano
Original assignee: Komatsu Ltd.; Gigaphoton Inc.
Priority date: 2003-04-22
Filing date: 2004-04-16
Publication date: 2004-11-04
Also published as: JP4530302B2; US7957449B2; US20140369373A1; US20070297483A1; JP2009283966A; JPWO2004095661A1; US20120224600A1; US20070091968A1; JP4657103B2; JP2009283967A; US8116347B2; JP2010004053A; JP2010004052A; US8817839B2; US20110216800A1

Abstract

本発明は、ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒ−レンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステ−ジレ−ザ装置に関するものであり、発振段レ−ザ（５０）と増幅段レ−ザ（６０）とからなる露光用２ステ−ジレ−ザ装置であって、発振段レ−ザ（５０）として発振レ−ザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レ−ザ（６０）は入力側ミラ−（１）と出力側ミラ−（２）とからなるファブリペロ−エタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成している。

Description

明細書露光用 2ステージレーザ装置

技術分野

本発明は、露細 2ステージレーザ装置に関し、特に、空間コヒ一レンス; いに適した 2ステージレーザ装置に関するものである。背景技術

、ら、高出力を得るために、レーザと、この^ レーザから放出されるレーザ光を増幅する増とからなる 2ステージレーザ装置が知られている。ダブルチャンバ一レーザシステムには、 MO P A (Master Oscillator Powe r Amplifier ) と MO P O (Master Oscillator Power Oscillator) の 2つの方知られている。前者は、増 Φ殿に «§を用いない後者は増 «{ 安^ βを用いる^;である。この MO Ρ Α¾¾と MO Ρ 0¾¾には次の體と^^ある。

ΜΟ ΡΑ

(ァ）空間コヒーレンス力 ¾い。すなわち、ビーム方向のシェア量（ピンホール間 I© を同じとした:^に、干 «のビジピリティー力 ¾い（利^。なお、シヱァ量、ビジピリティ一については、後月する。

(ィ）チャンバ一間の同期タイミンク漏に対して出力翻職で、ェネルギ安定 gい

(ゥ） MO P O:¾¾として低出力库でありヽ ^¾レーザからのレーザ (s e e d)エネルギが MO P 0；¾¾よりも颜次

(ェ）レーザからのレ一ザパルスの後半部はラゥンドトリツプカ哆くなるためスぺクトノ I 幅が狭く、この後半部の裾 » (t a i l)力 ¾曾幅できないため、スぺクト太い (¾

MOPO

(ァ） ¾f曰ヒーレンスが葛い。すなわち、ビーム賺方向のシェア量（ピンホール間隔）を同じとした:^に、干^!のビジピリティーが葛い (½)

(ィ）チャンバ一間の同期タイミング^ ¾に対して出力で、ェネルギ安定 feO ΦΙ^

(ゥ） ΜΟΡΑ¾¾と雌して高出力解であり、 ¾¾レ一ザからのレーザ (seed)エネルギが MO P A¾¾よりも小さくてよい猁^)

(ェ） ^¾レ一ザからのレーザパルスの後半部はラウンドトリップカ侈くなるためスぺクト 1曳幅か狭く、この後半部の裾 (t a i l)が増幅できるため、スぺクト赠田い（利点 J

上記のように、 MO P A と MO P 0¾¾の赚すると、（ァ）の空間コヒ —レンスの点を除くと、 MOPO の方が J点力多く、空間コヒーレンスを低くする纖辱られれば、エキシマレ一ザや F₂ レーザ等の^ 體翻の «として MO P 0¾¾ ^より適していることになる。

ところで、紘 MOP 0 にお L、て (11：記のよう { 安^ ¾が用 I、られており、その点に問勵あることカ汾かった。以下に、その廳を譜田に説明する。

なお、以下の説明で、レ一ザとは、域ィ! ¾¾レ一ザのことを。 MOPA¾¾^MOPO¾5¾i、 »的に、硫 1合のレーザと 1合の増 ΦΙ¾Χは増 «レ一ザによって滅されている。増 ϋ¾レ一ザに^！が鍵されていない齢、ここでは増と呼び、 ±曽»?？は光の濯がない。増酸レ一ザに器がされている齢を MO P 0 と呼ぶ。 ±曽にが識されている、増 ¾は増 ¾レーザとして機能し、光の織がある。したがって、増と增敏レーザを赚した齢、ェネルギが等しいときには、増) )1驟レーザの方が増より^^な増幅が可能となる。

¾έ¾、エキシマレ一ザ、の ΜΟ Ρ 0システムの

ミラーの中心に s e e d^^AT⁵ ^設けられた画鏡、出力側ミラーに凸面鏡を用いた不安^ βカ嘥われている。不安^^ »このような画鏡と凸謹配置は、 m m »^的な ¾^倍率 c を有する。不安^ の光雜率は 2 0倍程度あり、 ΜΟ Ρ Οシステムにおいて ¾ ^的に高出力、高コヒ一レンスレーザ光を得ること力目的であり、の i^gffl目的は、 m ¾¾の«としてであった。

體翻麓として、增酸レーザ ( ^安^^！を用いるものカ偫 m 1に驗されている。ここ^安^ 率を 1 0倍禾號まで下げている力空間コヒーレンスの低コヒーレンスィ匕は十分でないと本発明^ の実験から推測される。

すなわち、従来の MOP 0システムでは、 s e e d光の库的な増幅を目的としていたために、不安 ¾ ^が用いられていた。増 ¾レーザ内 ^安^^ 凸面鏡を設けて s e e d光を増レ一 1ί¾得搬体に広げて ¾λしヽ s e e d光の »的な増幅をしていた。

瞻節〕

徽第 2 8 2 0 1 0 3号

瞻想 1〕

ィニ他 2名「レーザのと応用」 p p. 3 0〜3 3 ( 口 6 1年 1月 2 0日、 (株）発行）

想 2〕

Sov. J. Quantum Electron 16(5), May 1986, pp.707-709 ^mレーザ装置におゝては、レーザ光プロフアイル断面での面内低可干渉性控間コヒ一レンス）力俳常に βな仕様としてある。ビームプロファイル内のー隱（シェア *) Aにある的ビームプロファイルの干渉 f生を雌してこの空間コヒーレンス tt何干渉!^)力讓される。この Aという隱は、ステツバ一等の^ ίφ¾^置の照明系の明るさムラを膀肖するためのフライアイレンズ"のレンズ Γ曰によって決まる値である。そして、そのシェア量 Αの 2 点、の空間コヒ一レンスの干渉は以下の式で^されるビジピリティ一 C¾g ) ^ffiされる。

ビジピリティー = (¾大フリンジ «I_raa∑—最 /J、フリンジ ¾gl_min )

÷ (^フリンジ敵 In _∑ +最小フリンジ敵 I_min )

(1)

ここで、フリンジ^^とは 2点からの光^渉させたときの干 ¾の ¾gである。図 71に、所定のシェア量にある 2点からの光の干 ¾ とその^:フリンジ敵 _a∑、最小フリンジ敵 _inを的に示す。図 72には、レーザ記した I干定のシェア量にある 2点からの光の干^とその最大フリンジ I_m 、最小フリンジ敵を^;的に示す。この図 ΐ 2は、ヤングの干渉計によるレーザ »、の空間的コヒーレンスを讓するための;^配置図と所定のシヱァ量 (=ピンホール間の g|D にある 2点からの光の干^とその最大フリンジ «I_ma∑、最小フリンジ敵 I_minをネ試的に示す。的に、空間コヒ ―レンスは、 ι底であるピンホールの位置から見た無の大きさと麓の献分布によって決まる。

本発明群の実験において、域化レーザのビジピリティ一祖 1麟果と、その »域化レーザ ¾¾¾レーザとし、不安^ 辦離レ一ザで i曽幅した場祖!^果とを図 73に示す。置からシェア量 AH±でビジピリティー vt以下の^ ^を満足すること力要求されている。そして、 »域化レーザ単体のビジピリティ一はこの要求を満足している。しかし、この実験で、増 ¾レ一ザに 5倍の駄率の不安^^を用いた:^、ビジピリティー V t以下となるシェア量は Bまで ¾Λしてしまつた。 Β ^ 5 X Αであり、所望のビジビリティ一V t以下となるシェア ¾»不安^ 率^ t|¾したことになる。この理由は、図 71ヘレ一ザ ¾Ι¾5·¾ίΙ記した図 72の配置図において、レ

—ザ葡とピンホールの間に、麵ミラ一と凸面ミラ一み合わせたビーム拡 *^¾615置された伏態で空間的コヒ一レンスを請面したことになる。この場合、ピンホールから見たときのの大きさは、ビ一ムの駄報だけ小さくなる。したがって、同じビジピリティー Vt以下となるシェア量は fife^だ〖伏きくなる。

本発明韓は、増 Ψ酸レーザ〖安を用いた齢、シェア動その不安^ 倍目当分 Sfc^"ることに着目し、側ミラ一、出力側ミラー共平面鏡を用いて率 1倍とした安 ^^を用いて MO Ρ 0システムを構成して実験を行った。その結レーザ単»なわち s e e d光と同等のシェア量 Aをこのを用いた MO P 0システムでできることカ纷かった (図 7 3)。すなわち、本発明鶴は、 MO P Oシステムの増酸レーザ { 安を用いると、不安^^ 率^シェア ^すること見し、これを防止すること力安^ βを用いることによつ T¾l ことを見 L、出した。後記するように、この点が本発明の 1つの雄である。

ここで、別の角度から、空間コヒーレンス及び不安^ を用いたにシェァ S¾¾yc ることに »する説明を行う。

図 7 4に、 ^¾レーザから放出されるレーザ光の断面（ビームプロファイル ) を示す。ビームプロファイル内の {¾HA 1離れたレーザ光 P 1、 P 2 ' 、及び、 J?離八2離れたレ一ザ光？1、 P 2 の可干渉 ί生を ¾¾ rる。図 7 5に材ょうに、近い S A 1にあるレーザ光 P 1、 P 2' の波の碰目は揃っているカヽ畴しい做目にある。しかし、互いの 1?» れていくに従い、 MMは同じであっても少し波の目がずれているために、赚的離れた!？瞧八2にぁるレ一15¾？ 1 、 P 2は空間的に干渉し難くなる。すなわち、ピンホール間の]?藤灕れていると千灘のビジピリティ一」、さくなる。

m ,増«レ—ザ « ^が不安^^であった。不安 ^^は

、図 7 8 (a) に示すように、側麵鏡と出力側凸面嶽ヽらなるもので、 s e e d光の断面を 1»^的に fefc^するタイプのであるので、増 βレ一ザも ¾«レ一ザも略同じサイズの面サイズ（¾M®†面サイ力の：^、レーザからの s e e d光は、図 7 6に示すように、全体のビーム断面から ¾A 3の^ ¾のビーム^が切り出されることになる。その切り出し内におヽて、レーザ光 Ρ 1と Ρ 3の] ¾Hは近づ、く @=F のビジピリティ一は高くなる。 A 3の Ϊ睡ではビジピリティ一力氐くても、 A 4の {?隱になると、干灘のビジピリティ一が Ί寄くなり、コヒーレンスかくなる。

上記のように、魏の増藏レーザ濯器は ifc^であったため、高コヒーレンスを維寺したままレーザ光を ½大したことになる。その結: ¾χ増のレーザ光 P 3カコヒーレンスの樹生したまま、図 7 7に示すように、 P 3 ' の位置へ広が'り.、 ^¾レーザでは A 5の ,コヒ一レンスの仕様を満たしていても、増！!!離では、不安による s e e d光のビームの駄によって、そ Φί Α 5をた]?隱 A 6においても高い干渉 ^しているので、低コヒ —レンスの仕様を満たさないということが問題として生じる。

図 7 8に、不安^ ¾器を用いた増 ¾レーザの図 7 6と図 7 7 明した s e e d光の広がりの »を示す。側の位置 Z 1におけるレーザ ¾β

(07 8 (b) ) は図 T 6に相当し、出力側凸面鏡の位置 Ζ 2におけるレーザ光醒（図 7 8 ( c) ) は図 7 7 目当する。 ¾ ^^では、増 Φ レ一ザ難器力不安^ βであった。不安は、図 8 1 (a) に示すように、側シリンドリカル型の麵鏡と出力側シリンドリカル凸面嶽ヽらなるのもで、 s e e d光の断面を学的に »向にるタイプの ¾β©齢に関し Tm明する。レーザからの s e e d光は、図 7 9に示すように、 s e e ά^βίίΚ される断面において、レーザ光 Ρ 1と Ρ 3の j¾HA 3 (シェア M) におけるビジピリティ一は、図 8 0に示す不安^ «器によって拡大された増幅段のビーム断面図にお Lヽては、同じ P 1と P 3の J¾|f A 3 (シェアでビジビリティ一を計測すると高くなる。と同等のビジピリティ一の^のレーザ光 P 1と P 3 , の赚 A 4は、不安駄報だけ長くなる。すなわち、空間的コヒ ―レンスカ稿くなることを意味している。

明したように、

においては、增 ¾レーザ i ^安^ ¾ ^を用いていたため、空間コヒ一レンスが不安^ βで s e e d光のビームカ¾& ^される倍率の害哈で、空間的な可干 mm)^ «««翻駕としては満足できるものではなかった。発明の開示本発明ばのこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、 MO P O¾¾の高安定 t生、高出細い線幅である禾 U点を? ¾6、しつつ、空間コヒ一レンスを低くした^ に適した 2ステ一ジレ一 ¾置を »することである。

上記目的を«する本発明の露光用 2ステージレーザ、装置は、レーザと、レーザでされたレ一ザ光を ΛΛしてそのレーザ光を増幅して出る増酸レーザとからなり、レーザ、増 ¾レーザ共にレーザガスか¾« されたチヤンバ一を備えている露光用 2ステージレーザ装置において、

«¾レ一ザとして纖レーザ光に発散を有するものが用いら^増酸レ一ザはフアブリペローエタロン « ^を備え、 ΙΐίΙΒΛ ^は安^^器を «していること^ ^とするものである。

この齢に、 5¾βは、レーザで赚されたレ一ザ¾^ ¾される側ミラーと、増幅されたレーザ;) b5出力される出力側ミラーとからなり、側ミラ一は、 ¾¾レ一ザでされたレーザ光を器中に導人する皿に全励ミラ―コ一ティングを有するミラーからなり、出力側ミラーはのミラーからなることが ¾まし L、。

また、側ミラーのの略中心部に、 ^¾レーザでされたレーザ光を中に導入するのはスリットカ設けられているものとしてもよい ο

また、側ミラ一の簾翅 «¾で難し、その透明繊の表面の略中心部の ^^レーザ'でされたレ一ザ光を^ β中に導入する形 ί犬の «Xはその开を含むスリットの周辺部に^ ¾ミラーコ一ティングが施されているものとしてもよい p

また、 ¾«レ一ザで難されたレーザ光を、 ΛΛ側ミラーの周¾¾ま^ ί ミラ一コ一ティングが施されていない周辺部から類器中に導入するように難されているものとしてもよい。

あるいは、は、レーザで麵されたレ一ザ¾^_\*される側ミラーと、増幅されたレーザ ¾¾出力される出力側ミラ一とからなり、側ミラーは » ミラ一からなり、出力側ミラーは平面のミラ一力、らなるものであってもよい。

また、レーザ、でされたレーザ光を、則ミラーの周¾、ら¾« 中に導入するように;！^されているものとしてもよい。

また、 ^¾レーザの出力側ミラーと増レーザの側ミラとが同"^^の両側の面に形成されているように繊してもよい。

また、側ミラ一は、 ¥面ミラ一、麵鏡、あるいは、円筒 H0»6ヽら灘すること力 <できる。

あるいは、は、レーザで擁されたレーザ ¾^λΛさかつ、増幅されたレーザ; ¾6 力される出力側ミラーと、リァ側ミラ一とからなり、出力側ミラーの籠錢明簾で難し、増幅されたレーザ ¾Λ出力される醫

生を有するように«されており、リァ側ミラーは ffiの^ ミラ一からなるものであってもよい。

また、は、 ¾¾レ一ザで簾されたレ一ザ¾> ^7さかつ、増幅されたレーザ;) ^出力される出力側ミラ一と、觀プリズムとからなり、出力側ミラ一の明謙で灘し、増幅されたレーザ ^HB力される «5¾|¾3· 生を有するように «されており、戯プリズムは Λ ί光 ¾ ^て^！^る全プリズムからなるものであってもよい。

また、発搬レ一ザで羅されたレーを、出力側ミラ一の周: axは反射 ί生を有さない周辺部から中に導入するように滅されているものとしてもよい。

また、出力側ミラ一がミラ一であってもよい。

この;^に、レーザで簾されたレーザ光を、出力側ミラ一の周 ¾6、ら中に導入するように載されているものとしてもよい。

また、出力側ミラ一は、平面ミラー、画鏡、あるいは、円筒 H»、ら難すること力できる。

また、本発明のの露細 2ステージレーザ装置において、 »ϋは、段レーザで藤されたレ一 1θ¾^ΛΛされる側ミラ一をとし、入力側ミラ一と出力側ミラーで «し、その扮 H«¾ ^させて ¾ ^レーザの出力光をへ λ するものであり、由とレーザの由とを ^させるようにしてもよい。

また、は、リア側ミラ一と出力側ミラ一で難し、リア側ミラ

—とリア側のレーザウィンドの間であって、かつ、 ¾ϋの ^¾ώ±にビームスプリッタを配置し、 ¾¾レ一ザでされたレーザ光をそのビームスプリッタへ ΛΙίさせ、そこからされるレーザ光の^!由を由と i§~^cさせるようにしてもよい。

また、 ^«は、リア側ミラーと出力仰 Jミラ一で «し、そのリア』ミラーとフロント側のレーザウインドの間であって、力、つ、錄 il©¾Hhにビ

—ムスプリッ夕を配置し、 ^^レーザ'でされたレーをそのビームスプリッ夕へ Λ¾させ、そこからされるレーザ光の^!由を由とさせるようにしてもよい。

また、 « ^は、リア側ミラーと出力側ミラ一で；！ ^し、その Λ¾ の外部であってヽかつ、 *¾麗のに^ ¾レーザでされたレ一 «Λ ΛΛされるビームスプリッタを配置し、レーザ'でされたレーザ'光をそのビームスプリッ夕へ Λ*ίさせ、そこからされるレーザ光の由を

»と BS^cさせて、かつ、出力側ミラー ¾i®させてレーザ光をするようにしてもよい。

また、レーザのフロントミラーを s^smとし、 ^¾レーザ、でされたレーザされる » ®λΛ側ミラーと雜化するようにしてもよい。

さらにまた、本発明の _¾±の露光用 2ステージレーザ装置において、：レ一ザで雖さ巾レーザにされるレーザ光の由と、 ± 1¾レーザの共由とが角度をなすように！されているものとしてもよい。

さらに、增¾レーザの *β長の略 2倍の長さ力レーザのスぺクトル線幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるように ¾Sされているものとしてもよい。また、レーザと増 ¾レーザとの間に、 ¾ ^レーザでされたレーザ光のビーム开 ^を ffi縮する機能と、レーザで ^^されたレーザ光のを ifc^rる機倉少なくとも一方を有する^ ^系を備えているようにしてもよい。

また、増 βレーザにされるレーザ光の発欢の餅を満足することが望ましい。

dh≥Tan— ¹ [ { (Ha -Hs ) /2} · (1/L) / (P · c/L) ] =T a n—¹ { (Ha一 Hs ) / (2 · P · c) }

• (2)

ΘΜ≥Tan一¹ [ { (Va -Vs ) /2} · (1/L) / (P c/L) ] =Tan— ¹ { (Va -Vs ) / (2 • P · c) }

(3) ここで、 Θ ヽはそれぞ曽¾レーザにされるレーザ光の垂向、水平方向の発翻、 P：錄、。ルス幅、 c ： y , L：濯器長、 Vs、 Hs ：増 Ψ酸レーザにされるレーザ光の垂 ϋ¾¾、水平; ¾Τ¾のビ一ム径、 Va、 H a ：出力光の垂向、 K平方向のビ一ム径である。

本発明のもう 1つの露細 2ステージレーザ装置は、 ¾ ^レーザと、レーザでされたレーザ光をしてそのレーザ光を増幅して出る增レーザとカヽらなり、レーザ、増 (USレーザ共にレーザガスか:？ ¾gされたチャンバ一を備えている露光用 2ステージレーザ装置において、

レーザとして纖レーザ光に発散を有するものが用いら l 増«レーザは、入出力用の »顾ミラ一と、該»励ミラーを経てされたレーザ光を M¾させて該位置へ戻 «の^ ミラーとを備えたリング型 *βを備え、 Ιΐί!3¾1^1ίミラー及び mtB»の^^ミラ一は平面からなることを^！とするものである。

この驗に、 |«レーザと増 ΐ殿レ一ザとの間に、レーザで藤されたレーザ光のビーム?^を压縮する機能を有する ^^系を備えているように «してもよい。また、リング！力レーザのスぺクト泉幅に対応する時曰的コヒ一レント長よりも長くなるようにされていること力ましい。本発明のさらにもう 1つの露: 2ステージレ一ザ、装置は、レーザと、 ¾¾レ一ザで発振されたレーザ光をしてそのレーザ光を増幅して出; Wる増 Φ酸レーザと力、らなり、レーザ、増 ¾レーザ共にレーザガスがされたチヤンバ一を備えている露光用 2ステージレ一If装置において、

增レ一ザはフアプリペローエタロンを備え、編 5¾¾器は安^^ βを «していて、 ¾¾¾レーザでさ tii曾 βレーザに ΛΛされるレーザ光の遞と、增¾レ一ザの « 由とが角度をなすように縦されていることをとするものである。

本発明のさらにもう 1つの露^ 2ステージレ一 If装置は、発 ¾レーザと、 ¾¾レ一ザで ^されたレーザ光をしてそのレーザ光を増幅して出； ^る増 βレーザと力、らなり、発 »レーザ、増^ ¾レーザ共にレーザガスか¾¾されたチヤンバーを備えている露光用 2ステージレ置において、

增レーザはフアプリペローエタロンを備え、 jf¾ ^は安鉄 βを難していて、増酸レ一ザの «II長の略 2倍の長さ力 ¾ レ一ザのスぺクトメ袞幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるようにされていることを ^とするものである。

本発明のさらにもう 1つの露光用 2ステージレー ¾置は、発 H¾レーザと、 ¾¾レ一ザ «されたレーザ光を ΛΛしてそのレ一 «を増幅して出 ΛτΤる増 ΐ!¾レーザとからなり、レーザ、増レーザにレ一ザガスカ^ ¾されたチヤンバーを備えている露光用 2ステージレーザ装置において、

增«レ一ザはフアプリペローエタロン a«器を備え、譜¾»は安^

^^を滅していて、 ^^レ一ザで簾さ ii曾酸レーザに ΛΛされるレーザ光の «と、増！ ^レーザの由とが角度をなすように縱されており

、かつ、増 Ψ§¾レーザの » ^長の略 2倍の長さ力レーザのスぺクトノ幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるように離されて、ることを 1とするものである。本発明のさらにもう 1つの露光用 2ステージレーザ、装置は、 ^¾レーザと、 ¾¾レ一ザで菊辰されたレーザ光をスカしてそのレーザ光を増幅して出方する増巾1¾レ一ザとからなり、 ^¾レーザ、増 βレーザ共にレーザガスかされたチヤンパ、一を備えている露光用 2ステージレーザ、装置において、

» 酸レ一ザはリァ側ミラーと出力側ミラ一からなる « ^を備え、 Η リァ側ミラー及び出力側ミラーのは平面で «さ t 113リァ側ミラー及び US出力側ミラ一の-^!^、 «¾レ一ザで発振さ i ^i^レーザにされるレーザ光の »に対して角度をなすように、かつ、相互に角度をなすように設定さ^ ^¾レーザで顯されたレーザ ¾δ雨方のミラ一間の隱より長い側から謂 ¾β内に ΛΛされることを «とするものである。

この^に、 ^^レーザでされたレーザ¾最初に A tするリァ側ミラ一又は出力側ミラーにおいて励されたレ一ザ¾0 両方のミラー間の g隱より短い側にされるように « ^を配置することが望ましい。

また、リァ個』ミラーと出力側ミラーが相互に 0. 0 1 m r a d〜0. 2 m r a dの範囲の角度をなすようにされて L、ることカ壞まし L、。

また、この齢も、増 Φ酸レーザの難器長の略 2倍の長さカ^ 1¾レーザのスぺクトノ幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるようにされていることカ雙ましい。

なお、 J¾ の露細 2ステージレーザ装置において、レーザで藤されたレ一 «を、讀の何れかの位置から¾ ^器中に導入するようにすることもできる。

の本発明の露 2ステージレーザ装置において、 ¾器を^ Tる各ミラーは、その各ミラ一を ώ ^向に対して "向に^ 1/させることカ^!能なミラーホルダによって^されているものとしてもよい。

また、の本発明の露細 2ステージレーザ装置は、発繊レ一ザに繊したレーザ光を麟域化する »域ィ段を備え、例えば、 K r Fエキシマレ一ザ装置、 A r Fエキシマレ一ザ装置、フッ素子 (F₂ ) レーザ装置としてることカできる。あるいは、 ^¾レーザに!^したレーザ光の中 1本のラインを ¾Rする手段を備えるフッ素^ (F₂ ) レーザ装置としすること力できる。

あるいは、増驗レ一ザの出力側に出力されるレーザ光の中 1本の赚ライン

¾¾する手段を設けたフッ素分 f (F₂ ) レーザ装置として m¾することができる。本発明の露 2ステージレーザ装置によると、レーザとしてレーザ光に発散を有するもの力用いら增 Φ鞭レーザはファプリペローエタロン型を備え、その^！は安^ βを難しているので、あるいは、レーザとして »レーザ光に発散を有するものが用いら増 ¾レーザはヽ入出力用の » ミラ一と、 ^^ ミラーを経てされたレーザ光をさせ τ¾» «位置へ戻 t纖の^ wミラーとを備えたリングを備え、その纷ミラ一及びネ^:の^ ίミラーは平面からなるので、 MO P 0 ^の利点である、チャンノく一間の同期殿起タイミング^;に対して出力^; が«で、エネル^定高出力 $婢であり、発レーザからのレ一ザ（s e e d)エネルギが小さくてよく、 ^¾レーザからのレーザパルスの後半部はラゥンドトリツプカ多くなるためスぺクトノ H fe ^狭く、この後半部の裾 ¾¾ (t a i 1 ) を増幅できるため、線幅が細い観に加えて、 MO PA¾¾の利点である、空間コヒ一レンス力 Sい、すなわち、ビム«方向のシェア量 ( ピンホール間隔）を同じとした:^、干^!のビジピリティー力く空間的な可干難顿を備える。

ここで、 ¾¾レ一ザで簾さ li曽 Φΐ¾レーザに Λ¾されるレーザ光の由と

、增 ϋ¾レーザの Λβ© 由と力度をなすようにすれば、さらに空間的な可干秦權を備える。

また、増 «レ一ザの^!長の略 2倍の長さ力 ¾¾レ一ザのスぺクトノ 141 幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるようにすれば、あるいは、リンクカ^ »レーザのスぺク 1 幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるようにすれば、増レーザから出力されるレ一ザ光のビームプロフアイノレ上に ¾¾する干»、"ターンを ¾ ることができる。したがって、ビームプロファイルの文彌生し、麵を觸 1 ること力できる。そのため、露置のマスクへの照明の^ ^することができ、特に、翻に適した 2ステージレーザ装置力られる。

なお、レーザとしてレーザ光に発散を有するものをすることに跪されずに、 «¾レ一ザで藤さ^^離レーザにされるレーザ光の光軸と、增¾レ一ザの由とが角度をなすように!^することにより、 ΜΟ Ρ Ο ©上湖点に加えて、空間的な可干灘 « 同様に ^f$S光装 ffiに適した 2ステージレーザ、装置力尋られる。

さらに、リァ側ミラー及び出力側ミラーの励面は平面で難さ k リァ側ミラ一及び出力側ミラーの ¾H^、 ¾¾レ一ザで類さ ¾レ一ザにされるレーザ光の由に対して角度をなすように、かつ、相互に角度をなすように離さ^ ^¾レ一ザで発振されたレーザ俩方のミラ一間の J?隱なり長から内にされるように; ることにより、上記の増 βレーザに入力されるレーザ光の光軸を増幅段レーザの *»¾¾由と角度をなすように ^^る^利点に加えて、レーザ出力の i飮、パルス幅の伸長、增 ϋ¾レ一ザに ΛΛされるレーザ光の ¾λの自由度の確保、レーザのピーク敵の低下を図ること力可能になり、 ^*ί «¾翻により適した 2ステージレ一ザ装置力晷られる。

Still other objects and advantages of the invention will in part be ob vious and will in part be apparent from the specification.

The invention accordingly comprises the features of construction, combi nations of elements, and arrangement of parts which will be exemplified in the constrution hereinafter set forth, and the scope of the invention will be indicated in the claims. 酾の簡単な説明図 1は本発明の露光用 2ステージレーザ装置のの «を示す図である図 2 発明において s e e d光に要求される発散を定義するための図である図 3は增 m¾レーザに用いるミラー滅の 1例を示す図である。 . 図 4は増 ¾レーザに用いるミラー «の別の例を示す図である。図 5は增«レーザに用いるミラー難の別の例を示す図である。図 6は増 m¾レーザに用いるのミラーの別の例を示す図である。図 7は増レーザに用いる難器のミラー«の別の例を示す図である。図 8は增レ一ザに用いるミラー滅の別の例を示す図である。図 9はレーザと増 fe¾レーザの間に介在させる « ^系を説明するための図である。

図 1 0 ^系の 1例を示す図である。

図 1 1は^^系の別の例を示す図である。

図 1 2はさらに別の^^系を用いた本発明の露細 2ステージレーザ、装置を説明するための図である。

図 1 3は本発明のを備えた露光用 2ステ一ジレーザ装置の 1つの « 例の全#«図である。

図 1 4は図 1 3の露光用 2ステージレーザ装置の具体的な 1つの^!例の要部を示す図である。

図 1 5は図 1 4のの¾^©低コヒ一レンスのシェア量とビジピリティ一の睛を示す図である。

図 1 6は増幅段レーザの Λ¾側ミラ一の 1つの ^^例を備えた露光用 2ステ一ジレーザ装置を説明するための図である。

図 1 7は增 βレーザに用いる^ ΙΦΛΛ側ミラーの別の^^例を示す図である。

図 1 8は増 «レ一ザに用いる »©Ζ ΛΛ側ミラーの別の魏例を示す図である。図 1 9は増 βレーザの ΛΛ側ミラーの別の^ ¾を備えた露: 2ステージレーザ装置を説明するための図である。

図 2 0は增 Φ1 ^レーザの由と s e e d光の由と力角度をなすときの戴? ί乍 J1Sを説明するための図である。

図 2 1は増巾 1¾レーザの側ミラ一のさらに別の^^例を備えた露細 2ステ一ジレーザ装置を説明するための図である。

図 2 2は図 1 9の例において翻し得る側ミラーの^^例を示す図である ο

図 2 3は図 2 0の例にお L ^rmし得る λΛ側ミラ一の ^^例を^ 図である ο

図 2 4は図 2 1の例にお、てィ¾¾し得る側ミラ一の^^例を示す図である

0

図 2 5は本発明の露光用ステージレーザ装置の別の実施例の要部を示す図である。

図 2 6は図 2 5に示す露光用 2ステージレーザ装置を;！^る增レーザを示す図である。

図 2 7はミラ一ホルダーの^ ¾例を示す図である。

図 2 8は本発明の露光用 2ステージレーザ装置の別の »例の要部を示す図である。

図 2 9は本発明の露光用 2ステージレーザ装置の増幅段レーザの別の例を示す図である。

図 3 0は図 2 9に示曾¾レーザに麵するミラ一猶例を示す図である。

図 3 1は増巾酸レ一ザの^ β®λΛ側ミラーと出力側ミラ一をに配置する露:)^ 2ステージレーザ ¾ の例の図 1 6と同様の図である。

図 3 2は所定の回辦黝レ一ザの^！中を復して菊にレーザ出力として取り出し可能であるための^^を考えるための図である。

図 3 3は所定の辦離レーザの ¾¾中を ¾^して ¾¾¾にレーザ出力として取り出し可能であるための餅を考えるための別の図である。

図 3 4は所定の叵 Ifct曾 ^レーザの «中をして^ ¾にレーザ出力として取り出し可能であるための雜を考えるためのさらに別の図である。

図 3 5は ^せずに有効に出力側ミラ一からレーザ出力として^) に取り出すために必要な ΛΛ側ミラ一（リア側ミラ一）位置における s e e d光位置と角度との »を算出するための図である。

図 3 6は図 3 1の例において側ミラーのエツジを ¾Μ Ι¾のとさせた; チヤンバ一と寸側から見た図である。

図 3 7は側ミラーと出力側ミラ一を TO配置、側ミラ一のェッジを放電の«と^ ¾させた^^ ¾Jに取り出し可能な «の例を示す図である図 3 8は ΛΛ側ミラ一を傾けた^ に取り出し可能な «の例を示す図である。

図 3 9は λ¾側ミラーと出力側ミラーをよりとした方がより高いレ —ザ出力力ら、 °ルス幅力長することを説明するための図である。

図 4 0は増レーザのをる 2枚の平面ミラーを ^で¾^ る：^に傾き角度の！ ^を^ Tするための図である。

図 4 1は ¾Eな傾きを得るための範囲を^的に示す図である。

図 4 2 (i*発明の露;) fcffl 2ステージレーザ装置の図 2 5の ^と同様に s e e d光を λ!ίさせる別の «例を示す図である。 .

図 4 3は図 3 1の例にお、て翻し得る側ミラ一の ^^例を示す図である図 4 4は図 4 3の λ¾側ミラ一を用いときの図 3 1に対応する «を示す図である。

図 4 5は図 4 2の例においてし得る出力 ^ミラーの^^!)を示す図である図 4 6は図 4 6の出力側ミラ一を用いときの図 4 2に対応する «を示す図である。図 4 7は本発明の露光用 2ステージレーザの図 2 1の場合と同様に s e e d光を λ¾させる^ ¾別の難例を示す図である。

図 4 8は s e e d光を增レーザの^^!内のレーザ出射側と S¾側から s e e d光を- ¾λする 1¾S例を示す上 βである。

図 4 9は s e e d光を増驗レーザの内のレーザ出射側と^] "側から s e e d光を ¾λする別の^ S例を示す上 βである。

図 5 0は C a F ₂ の Ρ に対する反 ΙΨΙ^生を示す図である。

図 5 1は s e e d光を増巾 ΐ¾レーザの内のレーザ出射側と寸側から s e e ά光おする別の難例を示す上翻とその^ ©ウインドー謝の灘を示す図である。

図 5 2は s e e d光を增レーザの^!内のレーザ出射側と寸側から s e e d光を &λするさらに別の ¾例を示す上翻とその^ ©プリズムの難を示す図である。

図 5 3は s e e d光を増巾 1©レーザの出力側ミラーとチャンバ一の間から ¾λ する図 4 8に対応する»例を示す上 βである。

図 5 4は s e e d光を増 βレーザの出力側.ミラ一とチャンバ一の間から- ί¾λ する図 4 9に文寸応する »例を示す JiBSである。

図 5 5は s e e d光を増巾1¾レ一ザの出力側ミラ一とチャンバ一の間から ί¾λ する図 5 1に対応する «例を示す上面図とその^ 2ウインドーの^ ¾を示す図である。

図 5 6は s e e d光を增^ ¾レ一ザの出力側ミラ一とチャンバ一の間から ¾λ する図 5 2にォ応する ^^((を示す上 ®Ηである。

図 5 7は増！；！^レ一ザのレーザチャンバ一内に直接 s e e d光を導く 1実施例を示す上翻である。

図 5 8は増 βレーザのレーザチャンバ一内に賺 s e e d光を導く別の難例を示す上翻である。

図 5 9は増 «レ一ザ^ ¾Λ¾¾で s e e d光を導く難例を示す上面図である。図 6 0は λΛ側ミラー（リアミラ一の励率）と ίΐλ同 ST後のレーザ出力の関係を示す図である。

図 6 1は ΛΛミラーの麵から s e e d光を側ミラーに ¾λした: s e e d光の ¾Λ ^度 0inと位置 Xinに関し Τ¾ί力可能な!^を示す 1例の図である。

図 6 2は増幅段レーザの中のビ一ムスプリッタを介して s e e d光を増 Ψϊ^レーザ内^ λするの^例の上である。

図 6 3は増幅段レーザの中のビームスプリッタを介して s e e d光を増 βレーザ'内^ λする^;の別の ^例の上 βである。

図 6 4はビームスプリッタにより出力側ミラ一を逸 ί§させて s e e d光を増幅段レーザ内^ λする ¾例を示す上画である。

図 6 5は本発明の露光用 2ステージレーザ装置の別の実施例の要部を示す図である。

図 6 6 発明の露細 2ステージレーザ装置のさらに別の難例の要部を示す図である。

図 6 7は増レーザにリンクの« ^を用いる本発明の露細 2ステージレーザ、装置の 1 例のを示す図である。

図 6 8は増 Ψ酸レ一ザにリンクを用いる本発明の露細 2ステージレーザ装置の別の «例のを示す図である。，

図 6 9は露光用 2ステージレーザ装置において、干^^ヽ。タ一ンのを説明するための図である。

図 7 0は増幅段レーザの艮 Lの 2倍の長さと干 «パターンのビジピリティ一との関係を示す図である。

図 7 1は所定のシェア量にある 2点からの光の干とその ft^フリンジ ¾g 、最小フリンジを ^的に示す図である。

図 7 2はレーザ記した図 7 1と同様の図である。

図 7 3は »域化レーザのビジピリティ一 M ^果と、それを不安 ^¾±曾 «レーザで i曾幅した ¾ ^のビジビリティ一 !|¾果と、安^!^ I©レーザで i曽幅した^のビジピリティー祖果とを示す図である。

図 7 4は ¾ ^レーザから放出されるレーザ光の ®ϊ® (ビームプロファイル）を示す図である。

図 7 5はビームプロフアイノレ内の異なるれたレーザ光間の可干渉を検討するための図である。

図 7 6はレーザからの s e e d光からのビーム ¾ ^を切り出を示す図である。

図 7 7ば^ *の増 m¾レ一ザ^!でレーザ光を ifc ^した; ^に増離のレーザ ¾ό コヒーレンスの特性を賺したまま広がる »を示す図である。

図 7 8は不安^^を用いた増幅段レーザの図 7 6と図 7 7で説明した s e e d光の広がりの鮮をさらに示す図である。

図 7 9は図 7 6と同様の図である。

図 8 0は図 7 7と同様の図である。

図 8 1は不安 ^^を用いた増幅段レーザの図 7 9と図 8 0で説明した s e e ά光の広がりの »をさらに示す図である。発明を ¾するためのの形態

まず、本発明の露細 2ステージレーザ装置の雕を説明する。

図 Ί 8を参照にし Τ!¾明したように、発 »レーザと、その^ ¾レーザからされたレーザ光 (s e e dT© を ΛΛして増幅する増であって ΛΛ側ミラーと出力側ミラーとカヽらなる » ^を備えた增¾レ一ザとカヽらなる MO Ρ 0 システムにお Lヽて、増^ ¾レ一ザのでることにより、レーザと同等の空間コヒ一レンスの低コヒーレンスィ《できることが分かった。

まず、本発明の露細 2ステージレーザ装置の ¾*«の鹏を図 1に示す。本発明の露光用 2ステージレーザ装置は、上記のように、 ΜΟ Ρ Οシステムであり、 ^¾レーザ（ΜΟ： Master Oscillator ) 5 0と、 ¾¾レ一ザ 5 0で発振された s e e d光をして増幅してレー 1¾を出; ^ΤΤる增 ¾レーザ (P O ： Power Oscillator) 6 0とからなる。そして、増 ¾レ一ザ 6 0は ΛΛ側ミラ ― (リァ側ミラー） 1と出力側ミラ一（フロント側ミラー） 2とからなるファブリベロ一エタ口ン型¾ ^を備えており、その間にレーザガスかされたチャンバ一 3力 15置されている。さらには、チヤンバ一 3内のレーザガスをして禾 |J得繊 ¾?嫩る等を備えている。

また、 ^¾レ一ザ 5 0は、麵的には、例えぱ狱プリズムとグレーティングによって構成されてなる ¾f域化モジュール 5 1内の光^子が兼ねるリアミラ一とフロントミラー 5 2とで «されるレーザ内にレ一ザガスカ^ されたチヤンバ一 5 3を備え、チヤンバー 5 3内のレーザガスを励起して利 ί尋 «¾^"る¾¾¾1等を備元て ¾される。 .

また、レーザ 5 0と増 βレーザ 6 0の間には、必頌のものではないが、レーザ 5 0力ヽら增 βレーザ 6 0へ ΛΛ する s e e d光のビ一ム断鹏を縮小したり、レーザ 5 0からの s e e d光の発銷を麵する ^^系 7 0力 ¾Ξ置されて «される。

ここで、上言 Sのように、本発明のレーザシステムにおいては、増l^レーザ 6 0の ΛΛ側ミラ一 1と出力側ミラ一 2とからなる ^ β"ΐ?«#·ることにより、レーザと同等の空間コヒ―レンスの低コヒ一レンス化 ¾¾¾ するものである。

レ一ザにおける安^ βとしては、 HKtの曲を正、凸面鏡の曲幹径を負と定義し、 ΛΛ側ミラ一（リア側ミラ一） 1の曲^^を R1、出力側ミラ一 2の曲^ mを R2、ミラ一間隔を Lとするとき、

0≤ ( 1 -L/R1 ) ( 1 -L/R2 ) ≤1 · · · (a) を満足するである。

このような安^^は、レーザ 5 0に用いると同じような多モ —ドをものであり、そのため、このような安^ ¾を増 βレーザ 6 0に用いることにより、レーザ 5 0と同等の空間コヒ一レンスの低コヒーレンスィ ¾ ^できるものと考えられる。

ただし、このような安^ »を増レーザ 6 0に用いるだけでは、安 βから増幅レー，出 Mるとき s e e ά光は安^ «内^¾»^的なをしないので、増幅段レーザ 6 0におけるレーザガスの利得 ¾を s e e d 光で埋め的な増幅を^せることはできない。

そこで、本発明においては、レーザ 5 0から難された s e e d光として発散 (d i v e r g e n c e) を有するものを用いて、この s e e d光のを利用して、安^ ^内で回 Kiする間にその発散する s e e d»V- ザ、ガスの禾 iJi晷 «を埋めるようにして、 ^^で增幅を »せる。

ここでヽ ¥#ίΦ¾;¾¾Μ^«に用いるフッ素^ (F ₂ ) レーザヽ K r Fェキシマレ一ザ、 A r Fエキシマレ一ザ等のガスレーザは、多モードをしており、にレーザ光はある ¾^ ctるものであり、このようなガスレーザ ¾¾¾レーザ 5 0として用いると、增レーザ 6 0に AJrfる s e e d光は発散を^ ことになる。ただし、後記のように、その s e e d光の発は鮮系； ^して帝職何能であり、増 m¾レーザ 6 0に λΛ^る s e e d光の発 ¾ ^は所望の範囲に帝啣される。

そこで、 s e e d光に要求される親限の通は、増1©レーザ 6 0内でのパルス幅に依存して以下のように定義できる。

図 2 (a) に垂麵面図、図 2 (b) に水 ¾β!を示すように、増 ¾レ一ザ 6 0の^ βを ΛΛ側ミラ一 1と出力側ミラ一 2で «し、その間にレーザガスがされたチヤンバ一 3力 ¾5置さチヤンバ一 3内のレ一ザガスは、この例の上部 ¾14と下部 «¾ 5との間のによりさ；^1¾得«¾^成する。そして、側ミラ一；！と出力側ミラ一 2の間にはアバ一チャ（開口 6力置さこのアバ一チャにより出力レーザ光のビームサイズが決まる。

側ミラー 1側から; rTる s e e ヽ。ルス間内" ?«¾1Ι、増幅段レーザ 6 0の内で励して、利得 «画 »

e e d光で埋めること力¾ ある。よって、増レーザ 6 0内での^]パルス幅 Pの s e e d は、以下の式でま旋される垂向、水平方向の発 i^ 0v、力要求される。ただし、ここで、 P パルス幅、 c L 長、 Vs、 Hs ： s e e d光の垂 ¾¾■向、水平方向ビーム径、 Va、 Ha ：增幅光の垂向、水平方向ビーム径、である。ただし、ビーム径は¾ ^ピーク強度の 1 , e ²の位置でのビーム径とする。

6 ≥Ta n— ¹ [ { (Ha — Hs ) /2} · (l/L) / (P · c/L) ] = Tan一¹ { (Ha一 Hs ) / (2 · P · c) }

• (2) θ ≥Ta n—¹ [ { (Va -Vs ) /2} · (1ZL) / (P c/L) ] -Tan'¹ { (Va —Vs ) / (2 • P · c) }

(3) ここで、 0v、はそれぞレーザにされるレーザ光の垂向、フ平方向の発、 Ρ：戴かヽ°ノレス c ： ,, L： ¾β長、 Vs、 Hs ：增酸レ一ザに ΛΛされるレーザ光の垂向、 7平方向のビーム径、 Va、 H a ：出力光の垂舫向、水平方向のビーム径である。

例えば、 Vs =1 Omm、 Va = 16mm、 L=l 0 0 Ommで、鶴パルス幅续際に増 ¾レーザ 60内に ί¾λされるレーザパルス幅） Ρ = 10 n sの場合、 lmr a ά≤θγ また、 Hs =1 mm、 Ha = 3 mm、 L=l 00 Omm で、錄パルス幅 P=l 0 n sの：！^、 0. 3mr a d≤0hの嫌を i# s e e d¾^«となる。

ところで、上記の^ I"では、增レーザ 60の^ §|®λΛ側ミラ一 1、出力側ミラー 2共に平面鏡でるものとしたが、 s e e d光の発散を利用して禾リ得«を埋めるためには、出力側ミラ一 2は最初に Ri るミラーであるので平 « (R2 =∞)であること力要である。これに対して、 λ¾側ミラ一 1は、苹面鏡のみならず、 ±t¾ (a)を満足する範 Bkすなわち、 L≤R1を満た囲の曲^^の麵鏡であつてもよい。

上言 H¾ (2) と（3) を満たには、図 2 (a) 、 (b) に示す通り、発搬レーザ 50からの »域化レーザ ¾ ^増 Ψ殿レーザ 60内でその発カ杲によりその利得繊を満たす。レーザ 50からのレ一ザ光で満たされた繊は、 ^¾レーザ 50のスぺクトノ l f生を引き継い出力^ われるので、增 Ψ レ一ザ 60は、レーザ 50と同様の特性を有する ¾ 域レーザスぺクトルで藤する。

ここで、図 3〜図 8に増 ¾レーザ 6 0に用いるミラ一の I、くつかの例を示す。これら各図にお I、て、 (a 1 ) は λΛ側ミラ一 1の側から見た正翻、 (a 2) は麵翻、 (a 2 ' ) は疆面図、 (a 3 ) «¾®図であり、（b 1 ) は出力側ミラ一 2の ΛΛ側から見た正 β、 (b 2 ) は断 ®Ηである。なお、 (a 2) に付された矢印は s e e d光の λ¾向、（b 2 ) に付された矢印は ί±5Λレーザ光の出^向を示す。

図 3の例は、 ΛΛ側ミラ一 1はで誠し、その中心部に s e e d光を導人する円蘇し 7を設け、その平の «Ε (出力側）に高 ¾率

のミラ一コ一ティング 8を施し、表面側）に反射防止コ一ティング 9を施す力らコ—ティングを施さず、出力側ミラー 2はで難し、その平面の表面（ΛΛ側）に纷励ミラ一コーティング 1 0を施し、麵（出力側 ) に防止コーティング 1 1を施して «している。

なお、 ΛΛ側ミラ一 1の簾の s e e d¾A¾側の面にゥェッジを付けて (λ 射光に対して垂直ではない傾いた面にして） s e e d¾6その面で励して藤段レーザ 5 0で戻らないようにしてもよい。以下の例でも同じ。また、出力側ミラ一 2の^ M板にゥエツジを付けて^ Ιί防 itコ一ティング面からの «な ¾® ^ Φό^Λβ内へ戻らないようにしてもよい。以下の例でも同じ。

図 4の例は、側ミラ一： Iは平で難し、その中心部に s e e d光を導人するのを設けヽその平の ¾® (出力側）に高 M¾率のミラーコ一ティング 8を施し、表面側）に繊防止コ一ティング 9を i si らコーティングを施さず、出力側ミラ一 2は平 K¾で «し、その平の表面側）に»励のミラーコ一ティング 1 0を施し、 ¾® (出力側）に励防止コ一ティング 9を施し Τ«している。この例の讓の孔 7 ' は、段レーザ 5 0からの s e e d^ あるいは、 ^¾レーザ 5 0と増 Φ離レーザ 6 0との間に介される^ ^系 7 0で娜された s e e d光の ΛΛ側ミラー 1のにしい?^と寸¾©孔である。

図 5の例は、 ΛΛ側ミラ一 1は透明ので難し、その平の麵 (出力側）に、中,^の譲の繊 Γ を除いて高励率のミラ一コーティング 8を施し、その表面（ΛΛ側）と麵の襲の繊 7 " に励防止コーティング 9を施す力らコ一ティングを施さず、出力側ミラ一 2は平で滅し、その平!^の表面（ΛΛ側）に^ のミラ—コ一ティング 1 0を施し、 ¾®

(出力側）に励防止コーティング 1 1を施して難している。この例は、 s e e d麟 Afflの孔 7 ' を簾に設ける（図 4 )の代わりに、高励率のミラ一コ一ティング 8に孔 7 " を設ける例である。

図 6の例は、側ミラ一 1は図 3の齢と同様に «し、出力側ミラ一 2の ¾ ^反射ミラーコ一ティング 1 0にを加えたものであり、出力側ミラー 2はで難し、その平の表面（ΛΛ側）に中心部では赚的 M¾率の低ぃ»励のミラーコ一ティング 1 0，を施し、その周辺の励のミラ一コ一ティング 1 0は相対的に高い反射率のミラ一コ一ティングとした例である。この例において、 Ji救的率の低い纷のミラ一コーティング 1 0 ' を施すは、側ミラ— 1の円^ 7から導入された s e e άΜ^λΛ ミラ一

1と出力側ミラ一 2の間で励を繰り返さないで asAii る部分であり、利得 iM^ s e e d¾^»Tる短い分増幅されたレーザ光いので、この励率を雌 «くしている。

に、出力側ミラ一 2に施される部分励のミラーコーティングは、レーザ出力が默となるような ¾ な励率かする。出力側ミラ一 2の励ミラ―コ—ティング 1 0の S¾率 ¾®な率とすると、なレーザ出;^ を得ることはできる。しかし、上記したように、 s e e d;¾ ^利得を得る賺の隠で、出力ビ一ム纖の中心部のエネルギが小さくなり、レーザ ¾面 mm 方向）の出力分布 w¾—になる。

本例における出力側ミラ一 2のコ一ティングは、このような出力分布ができるだけ均一になるように出力側ミラー 2の中' I：、部におけるミラ一コーティング 1 0 ' とその周辺部におけるミラーコーティング 1 0とで率を変えたものである両コーティング共レーザ出力が駄となる fti な励率にはならないことカ哆く、レーザ出が婢の点では多少 IJとなる。しかしながら、出力されるレーザビーム断面の出力分布はとなる。

ここで、上記した例では、出力側ミラー 2の中心部におけるミラ一コ一ティング 1 0 ' の率にして、その周辺部におけるミラ一コーティング；！ 0の反射率が ·¾くなるようにされている力これに限るものではない。

上記した駄レーザ出力力られないときの M¾率は、当然ながら上言¾¾« 射率より大きいか若しくは小さい。すなわち、上記した最大レーザ出力より小さい所定のレーザ出力力嚼られるときのミラーコーティングの励率は嫩雜する。よって、上記した例において、出力側ミラ一 2の中心部におけるミラーコ一ティング 1 0 ' の反射率に]^して、その周辺部におけるミラーコ一ティング 1 0の励率力 ¾gくなるように離しても、上記の例と同等の効果を得られる齢ちる。

図 7、図 8の例は、側ミラー 1、出力側ミラー 2は図 4の齢と同様である。ただし、側ミラー 1の纖の Λ® (出力側）の蔵狱を ¥®でなく円筒にした例であり、図 7の ¾ ^はその円筒の "向（»の孔 7 , の^方向）を向いており、図 8のはその円筒 ]平方向（縦長の孔 7' の：方向に垂直な方向）を向いている例である。ただし、何れの例の ¾ ^も、その円筒の曲^ Sは、 |ijfH©L≤Rlの^^を満足するように誠されている。

図 3〜図 8は増レーザ 6 0に用いるミラ一 «の例であり、これらに！されるものではなく、それらのaみ合わせ »も当然ある。例えば、

ΛΛ側ミラ一 1の高率のミラ一コ一ティング 8を Jfet面としてもよい。

また、 ΛΛ側ミラー 1の出力側表蔽域に励のミラ一コ一ティングを施してもよい。この^"、図 3の例のような円开^？し 7や、図 5の例のような赚防止コーティング 9を施した孔 Γ を設ける必要がなく、製作が額である。ただし、 s e e d光の"^がに Κ ίされて増1¾レーザ 6 0にしきれないので、 s e e d光の利用 ¾ ^は低くなる。

次に、レーザ 5 0と増 ¾レーザ 6 0の間に配置される ^^系 7 0 につい τΐ½明する。上記したように、この^^系 7 0は機に応じて介在させるものであり、主として 2つの機倉何れかあるいは両方を行うものである。

~¾こ、増 ¾レーザ 6 0に λΛ^"る s e e d光のエネルギ密度が小さすぎる齡は、 ±曽レーザ 6 0でな増鍵を得ること力瞧となる。そのようなには、図 9に^ ように、 ¾ ^^系 Ί 0 ¾i在させて s e e d光のビーム径を縮小してエネルギ密度を i狀させてから増巾驟レーザ 6 0に "るようにすることカましい。

このような s e e d光のビーム碰小鮮系としては、図 1 0に示すようなビーム S S小プリズム 7 1、 7 2を用いる^ ¾Λある。この齢ヽプリズム 7 1 、 7 2 ½3¾屈折プリズムからなり、 Λ§ 』の ¥®に垂直に光を λ!ίさせると、 λ! 』の平面を暖直にし、射 tBfflの斜面で屈折しで紙面内の断面が ¾ 小する。した力つて、このようなプリズム 7 1、 7 2を、望ましくは偶数個用いることにより、 ι¾¾¾ "向向あるいは向）又は 2ί^¾¾·向 ( 向及び^^向）の s e e ά光のビ一ム径を縮小させてエネルギ密度を駄させること力できる。

また、 s e e d光のビーム碰小; ^系としては、図 1 1 (a)、（b) に示すような ¾¾¾ ^系を用いた^系を用いてもよい。図 1 1 (a) の齢は、焦点^ Hのより長い正レンズ 7 3と焦議それより短い正レンズ 7 4とを共焦点で配置しそなる鮮系であり、焦^ E隱の比分ビ一ム径か ¾小される。また、図 1 1 (t の齢は、 m ^匪のより長い正レンズ 7 5と焦 »《それより矢豆い負レンズ 7 6とを同様に共奪 j ^で配置してなる; ^系であり、この^^も焦点纖の比 m 分ビーム径か ¾/」ヽされる。

^^系 7 0の 1つの機能は、上記のような s e e d光のビーム径を縮小してエネルギ密度を i| ^させることである力もう 1つの機能は、 ¾ ^レーザ 5 0から出力された s e e d光の発 ^ OfSの式（2 )、 ( 3 )の隠を満足しなぃに、增巾驟レーザ 6 0に Mltる s e e d光の発翻 0v、 0hを式 (2 )、 ( 3)を満足するように大することである。そのような目的、すなわち、 s e e d光の発糊 0v、 0hの β ^必要な；^は、図 11 (a)、（b) に示すような^^系を用いて、正レンズ 73、 74間の^ H正レンズ 75、負レンズ 76間のを調節することによりできる。

ところで、 ¥#t*¾^Sffl«に用いるフッ素 (F₂ ) レーザ、 KrF エキシマレーザ、 A rFエキシマレーザ等のガスレ一ザは、 ¾M¾IS54、 55 間のによりレーザガスを殿起して利得 411 ^を形成しているため、レーザ 50からの s e e d光の狱は縦に糸帳いをしている（¾S¾g54 、 55力让下に配置されているため）。 s e e d光の断面が縦に帳い織の場合、水平方向の発散は窗 3の式（2)の瞎を満足しやすいが、垂 i ^向の発散は小さくなり、 ΙΪ3Ι3の式 (3)の離を満足しないことがある。そのような齢は、図 12 (a) に示すように、レーザ 50と增^ ¾レーザ 60の間に介在させる « ^系 7。として、図 12 (b) に三画を示すような «Λ水平方向にある円筒凹面 78を持ち、垂 ϋ方向にのみ負の屈折力を持ち、垂直方向に発散作用をし、水平方向には屈折力を持たない負シリンドリカルレンズ 77を用いる。このよ όな^^系 70¾>在させることにより、増 Φ鹏レーザ 60に λ^ΓΤる s e e d光の垂 fi^向、フ]平方向の発!^! 6>v , 6 カ洪に ΙΰΕの式 ( 2)ヽ（3) の «を満足するようにすること力 <できる。

次に、 hのような本発明のを備えた露細 2ステージレーザ装置の 1つの誠例を図 13の全図を参照にし Τ|½0月する。

本発明に基づく MOP 0システムがフッ素好 (F₂ ) レーザ装置のとき、発繊レ一ザ 50、増 ¾レーザ 60共にそれぞれのチャンバ一 53、 3は、フッ素（F₂ ) ガスと、ヘリウム（He)やネオン（Ne)等からなるバッファ—ガスとからなるレーザガスカ^ される。この MO P 0システムが K r Fエキシマレーザ装置のときには、レーザ 50、増 Φΐ¾レーザ 60共にそれぞれのチヤンバー 53、 3は、クリプトン（Kr)ガス、フッ素（F₂ ) ガスと、へリウム（He) やネオン（Ne)等からなるバッファーガスとからなるレーザガスが繊さこの MOP 0システムが A rFエキシマレーザ装置のときには、麵段レーザ 50、増 ¾レーザ 60共にそれぞれのチャンバ一 53、 3は、ァルゴン（A r)ガス、フッ素（F ₂ ) ガスと、ヘリウム（H e) やネオン（N e)等からなるバッファーガスとからなるレーザガスがされる。 ¾¾レ一ザ 5 0 、増廠レーザ 6 0共に、レーザチャンバ一 5 3、 3は内部にそれぞれ一対の放 ¾¾ 5 4と5 5、 4と 5からなるを有している。これらは紙面と TO方向に上下にされている一対の力ソード 5 5、 5、アノード鬮 5 4、 4からなる。これらの一対の ¾¾5 4と 5 5、 4と 5にそれぞれ 5 6、 1 6から高 βパルスが EP¾口されることにより、これら曰^ する

«¾レ一ザ 5 0と增レ一ザ 6 0共にチャンバ一 5 3、 3内に^!された一対の 5 4と 5 5、 4と 5の^由両端に、 C a F ₂等のレーザ発に対して ^ある材料によつて作られたウインドー ¾ ^才 5 7、 1 7力それぞれ鐘されている。ここでは、両ウインド一 ¾¾T 5 7、 1 7のチャンバ一 5 3、 3内とは寸側の露出面は互いに ¾に、そして、レーザ光に対して跌を « るためにブリュースタ角 «1されている。また、レーザ光の P偏カ平方向になるよう、ウインド一 7、 1 7は ¾Βされている。

また、図 1 3には図示されていないクロスフ口一ファンがチャンバ一 5 3、 3 内にされており、レーザガスをチャンバ一 5 3、 3内で循環させ、にレ一ザガスりでいる。また、 ^^レーザ 5 0、増 φ離レーザ 6 0共に、チャンパ、一 5 3、 3へ F₂ガス、パ、ッファーガスを供袷する F₂ガス供铪バッファーガス供給及び、チャンバ一 5 3、 3内のレーザガスを^ ¾するガスお^^本装置に備わっている。図 1 3では、これらをまとめて、ガス铪排 $啣バルブ 5 8、及び、ガス供袷お翻卿パルプ 1 8として図示してあるなお、 K r Fレーザ装置、 A r Fレーザ装置の齢は、各々 K rガス供袷 A rガス供铪系も備える。チャンバ一 5 3、 3内ガス励はそれぞれセンサ — P 1、 P 2によってモニタさ† それらガス] ϊΛί禁はユーティリテイコントローラ 8 1へ送られる。そして、ユーティリティコントローラ 8 1力ガス供袷配纖啣,くルプ 5 8、 1 8を§啣し、 ¾«チャ、ノ'く一 5 3並びに増チャンノ一³内ガス糸紘ガスがそれぞれ Φ御される。レーザ出力はガスによって変化する。そのために、ガス s 啣カ ^れている。ガス温度は、それぞれのチャンバ一 5 3、 3に設置された温度センサ一 T l、 Τ 2によってモニタさそれら' 信号はュ一ティリティコントローラ 8 1へ送られる。そして、ユーティリテイコントロ一ラ 8 1は、それぞ令去 Ρ水脚バルブ 5 9、 1 9によって冷却水 ¾i®を靴御する。その結チャンバ一 5 3、 3内のそれぞれ^^ 3 4、 4 4の ^!fi^それぞれ制御さそして¾6 1脚される。

：レ一ザ 5 0は、 ¾^プリズムとグレーティング（mi斤^ によって構成された »域化モジュール（L NM) 5 1を有し、この »域化モジュール 5 1内の^ ¾子とフロントミラー 5 2とでレーザ »¾|を «している。又は、図示していないが、挞大プリズム、グレーティングの代わりに、エタロンと^ Ε 射ミラーを用いた »域化モジュールを用いてもよい。

¾¾レ一ザ 5 0、増レーザ 6 0から放出されたレーザ光の"^は、図示されていないビームスプリッタによってさそれぞれモニタ一モジュール

3 5、 4 5に導光される。モニタ一モジュール 3 5、 4 5はそれぞれ^ ¾レ一ザ 5 0、増 fe¾レーザ 6 0の出力、線幅そして中のレーザをモニ夕する。図 1 3では、 ^¾レーザ 5 0と増 fp驟レ一ザ 6 0の両方にモニタ一モジュール 3 5、 4 5力 ¾gされている力どちらカー方のみの ¾Sでもよい。モニターモジユーノレ 3 5、 4 5からの中' の信号は、 ¾gコントローラ 8 2に送られる。そして、、藤コントロ一ラ 8 2は、ドライバ 8 3により »域化モジュール 5 1内の^ ¾子を専隱させて疆 ¾S¾して、発繊レーザ 5 0の中娠か所望の艱になるよう Μ¾Φ脚する。なお、上記した脚を、増 βレーザ 6 0力、ら放出されるレーザ光の^ ¾力導光されるモニターモジュール

4 5からの ¾©辭に基き、 ^¾レ一ザ 5 0から放出されるレーザ光のが所定の觀となるように、、藤コントローラ 8 2からドライバ 8 3に指令を出して行うことも可青ある。

モニタ一モジュール 3 5、 4 5からのレーザ出力信号は、エネルギコントローラ 8 4へ送られる。そして、同期コントローラ 8 5を経由し、 EffimmSが $1J®さレーザ 5 0、増 Φ1¾レーザ 6 0のエネルギか所望の値になるよう希啣される。モニタ一モジュール 4 5の出力信号を図の（1 )のようにエネルギコントローラ 8 4に送ってもよいが、 ( 1 )の代りに、露^ ¾置 1 0 0側に図示されていない出力モニタ一を設け、そこでの出力を (2 )のようにエネルギコント口 —ラ 8 4に送ってもよい。

レーザ 5 0からのレーザ光（s e e dレーザはモニタ一モジュール 3 5を愚した後、ミラ一等を含むビームステアリングュニット 8 6をし、

'¾λされる。変系 7 0は所定の発翻で^ ¾レ一ザ光 ( s e e d^)力辦離レーザ 6 されるよう、 ^¾レーザ 5 0の発!^を所定の値に帝 1 1] ^る ¾のような難を有している。本発明の ΜΟ Ρ Ο¾¾では、小 ΛΛでも増幅できるように、増巾酸レーザ 6 0には、側ミラ一（リア側ミラ一） 1と出力側ミラ一（フロント側ミラ一） 2とで «された安^ *β力 ¾用される。側ミラ一 1には孔 7 (図 3 )が開いており、この孔したレ一ザが図 1 3の矢印のように励し、また、 ¾λされた s e e άレーザ光を i& し、を^に通過し、レーザ光のパワーが il^tる。そして、出力側ミラ一 2よりレ一ザが出射される。

側ミラー 1の孔 7は空間的に開いているのではなく、孔部のみ励防止コ —ティングが施されたミラー繊を用いてもよい（図 5 )。

レーザ 5 0、增レ一ザ 6 0の各々一対の 5 4と 5 5、 4と 5には、それぞ 5¾«ϋ3 1 Zスィッチ 3 2/MP C « ^ヽ "ルス压縮回路） 3 3によって ¾された ¾ 5 6、そして、 5¾¾^4 1 /スィッチ 4 2 /MP C (^ヽ。ルス圧縮回路） 4 3によって截された ¾ 1 6より、高 mifパルスが EI¾Dさ上記 ¾5 4と 5 5、 4と 5間" じる。この ¾Μにより、それぞれレーザチヤンバ一 5 3、 S内にされたレーザガスカ¾される。それぞれの電原 5 6、 1 6において、器 3 1、 4 1によりコンデンサか充電される。コンデンサに 5¾ されたエネルギは、スィッチ 3 2、 4 2カ 0 忱態になると、パルスとして ^ヽ。ルス圧縮回路 3 3、 4 3に 5tさパルス ffi縮されへ上記した一-対の 5 4と 5 5、 4と 5に Efflnされる。図示を省咯したが、霞原 5 6、 1 6は昇圧トランスをさらに備え、パルスを昇圧する;！^ もある。

スィッチ 3 2、 4 2の0？^、 O F Fは、同期コントローラ 8 5からの ¾f¾旨令 (トリガ信号）によってなされる。

同期コントローラ 8 5は、レーザ 5 0から放出されるレーザ: ^増 ¾ レ一ザ 6 0に ¾λされるタイミングで、増巾§©レーザ 6 0におい Τ¾¾ ^^するように、 ¾¾H 3 1 /スィツチ 3 2 /MP C <¾^ヽ°ルス压縮回路） 3 3によつてされた電原 5 6、そして、 ¾m§|4 1 /スィッチ 4 2 /MP C (^ヽ ° ルス压縮回路） 4 3によって «された、1 6にトリガ信号出する。薩段レーザ 5 0、増1¾レーザ 6 0の ¾ のタイミングがずれると、 ^¾レーザ 5 0から放出されるレーザ光は $婢良く増幅されない。同期コントローラ 8 5は、それぞれ ^出器 3 6、 4 6からのレーザ 5 0及び増 Φ§¾レーザ 6 0 そして、エネルギコントローラ 8 4からのレーザ出力†f¾を ί レーザ 5 0の麵 5 6に送出するトリガ信号と増 Φΐ¾レーザ 6 0の電源 1 6に送出するトリガ信号との間の艇時間をする。

ュ一ティリティコントローラ 8 1、 iネノレギコントローラ 8 4、そして、職コントローラ 8 2はメインコントローラ 8 0とされている。また、メインコントロ一ラ 8 0は露;^置 1 0 0としている。メインコントローラ 8 0は露

0 0から旨令に従い、各コントローラ 8 1、 8 4、 8

り分け、その指令によって各コントローラ 8 1、 8 4、 8 2は分担する脚を行 ο

また、 ^¾レーザ 5 0から放出されたレーザ光は、増酸レーザ 6 0の觸観¾¾§するように、ミラ一 2枚からなるビ一ムステアリングュニット 8 6によってァライメントされる。ビームステアリングュニット 8 6をる 2枚のミラ一は、ドライバ 8 7により専隱されて角度啣さ ¾«レ一ザ 5 0から放出されるレーザ光の新方向を吿啣する。

このビ一ムステアリングュニット 8 6の具体的な Φ御は、次のようになる。例えば、 «¾レ一ザ 5 0から放出されたレーザ光の新方向が、増 Ψ離レーザ 6 0のするようにァライメントされていないとする。その^^、発レーザ 5 0から放出されたレーザ光の^ ¾しくは全てが、例えば増 ¾レ一ザ 6 0の 4、 5によつて: ϋ¾されたり、所望でない方向に励されたりして、增 βレ一ザ 6 0からレーザ;) b5放出されなかったり、レーザパヮが所望の値より小さくなる。そこで、増 ¾レーザ 6 0から放出されるレーザ光の出力をモニタモジュール 4 5でモタしながら、この出力がとなるようにビ一ムステアリングュニット 8 6を $IJ®1する。すなわち、図 1 3においては、モニタモジュ一ノレ 4 5でモニタされた結 ¾¾¾ ^コントローラ 8 2に送られる。コントローラ 8 2は、モニタモジュール 4 5から受け取ったレーザビームの出力結果に基づき、その出力が^ ζとなるようにドライバ 8 7に指令して、ビームステアリングュニット 8 6を馬, して、 ^¾レーザ 5 0から放出されるレーザ光の斷方向を纏する。

このような; ¾の露光用 2ステージレーザ装置の具体的な 1つの^!例の要部を図 1 4に示す。図 1 4はその要部の上面図 (a) と価図（b)であり、麵段レーザ 5 0、増 ΨΙ¾レーザ 6 0として- ¾¾1 9 3 nmの A r Fエキシマレーザを用い、増 βレ一ザ 6 0の^^は、図 3の ffiの側ミラー 1と ¥®の出力側ミラー 2とからなるもの用いている。レーザ 5 0力、らの s e e d光は 2枚のミラ一からなるピ'一ムステアリングュニット 8 6を用いて増レーザ 6 0の孔 7が開いた ΛΛ側ミラ一 1 される。側ミラー 1の面（チャンバ一 3側の S) には^ Wコ一ティングが施されている。そして、出力側ミラ一 2は »励ミラ一である。ここで、孔 7の直径は約 2 mm (=Vs =Hs )、また、増 βレーザ 6 0のサイズは Ha = 1 6 m 、 Va = 3 m m、そして、長 Lは約 l mである。また、 ^¾レーザ 5 0の戴 ir¾Xパレス幅 P = 2 0 n sである。

このにて、図 1 5に示すような低コヒ一レンスのデータ（シェア量とビジビリティーの

(本発器）の;^ ©図 7 3と同様の図の他、 ^¾レーザ 5 0 (オシレータ）からのシエア量とビジピリティーの & 8^、 ί»ο不安^ «を用いた;^のシェア量とビジピリティ一の関係を示してある。

上言では、水平方向の発觀 0hは、 0. 05mr ad<0h .垂向の発 lM θνは、 1. 2mr a d<^vの雜を満たす必要がある。上言^!例のレーザ 50の水平方向の発麵は 1 m r a d、垂訪向の ¾|½ Θ Vは 3mr a dであり、 fitSの ¾Φ式 (2)、 (3) を満たしている。そのため

、この難例では、

0は省いてある。

この結敷ヽら、の不安^ ^¾MO P 0を用いたレーザシステムと同等の線幅、エネルギ安定肩を持ちながら、の MOP Aを用いたレーザシステムと同等の低コヒーレンスを難することができることカ纷かつた。

ところで、レーザ 50からの s e e d光の増驟レ一ザ 60の Λβ^· の導法には、 Η±の図 3〜図 8のように、 ΛΛ側ミラー 1の中心部に s e e d光を導入する孔 7、 V を設けたり、側ミラー 1にコ一テングする高励率ミラーコ一ティング 8の中心部に孔 7" を設ける方法、あるいは、側ミラ ― 1の出力側表域に船励のミラ一コ一ティングを »方鶴力ある力、それの麵雜以下に示す。

図 16はその 1例の要部を示す図であり、その（a) は上面図、 (b) mm 図、（c) は増レーザ 60の側ミラ一 1をそのチャンバ一 3側から見た図である。この例では、増 Ψ酸レーザ 60の側ミラー 1を 2枚の高励率 ( ^M)の»©平面ミラ一、 1₂を同一面で ijさせ、そのエッジ間に隙間 21«成して; る例であり、增 ¾レーザ 60の ¾¾¾4、 5によつて形成されるお眞領喊 22の幅よりその隙間 21の間隔が狭くなるように 2枚の平面ミラ一 1! 、 1₂ を配置している。すなわち、 2枚の平面ミラー; 、 1₂ で間にスリット 21を形成して、その間から s e e d光 23を導入する。 2枚の面ミラ一、 1₂の高率ミラ一面は同一平面内にあるようにしているため、 2枚の平面ミラ一、 1₂の機能としては、スリットを^ l枚ミラーと同じである。この例は、図 4の側ミラ一 1と同じ機能を 2枚の高率のミラ一 1:、 1₂ によって^!している。このような «によっても、 ί¾*の不安 ^^を用いた MO P 0と同等の線エネルギ'安定 t生、そして、の MO Ρ Αを用いたレーザシステムと同等の低コヒーレンスを^ ¾すること力できる。図 1 6の例では、側ミラ一 1を 2枚の高 ¾率 (^Μ のミラー、 1 ₂を同一面で IJさせ、そのエッジ間に隙間 2 1を形成して難したが、 ΛΛ側ミラー 1を図 5の; »における中心部のの繊 7 " を、図 1 6 の例における隙間 2 1と同等のスリット伏に麵してもよい。その例を図 1 7、図 1 8に示す。

図: 1 7、図 1 8にお L、て、 (a) は λΛ側ミラ一 1の出力側（チャンノく一 3側 )力、ら見た正翻、 (b) ば囊翻である。また、（c) 、 (d) は、 ΑΛ側ミラ一 1と ¾B« 2 2との位置 «を示す図であり、かつヽ Λ側ミラー 1の出力側から見た図である。

図 1 7、図 1 8の例は、側ミラ一 1を C a F₂等の^ で難し、その平の出力個画（図 1 7 (a) ) に、中心部のスリツト状観並びに周 βを除いて高励率 (^ s)のミラ一コ一ティング 8を施し、佴 βび出力彻画の中心部のスリット伏 «2 1並びに周 ¾に励防止コーティング 9を施したものである。図 1 7は、平の开^ であり、図 1 8は、平の Mfc^円开狱である例である。

図 1 6に用いられる側ミラ一 1 (図 1 6 (c) ) は、 «B#©ミラー膽のため、ミラー β (Μ^ίΟ までのコ一ティングは困難である。そして、 C a F₂等の練 ¾5を精颇く麵な面にカ旺することは額ではない。鍵、製 «にに欠け力性じてしまう。そして、 «ま "ζ»欠けなく高励率 ( 励コーティング 8がなされないと、励率の低い ¾¾Sがロスの原因となり、赚婢が落ちる。

これに対して、図 1 7、図 1 8のような ΛΛ側ミラ一 1を、図 1 6 (a) 、 ( b)で示すレーザ装置に用いれば、高励率 (^m) コ一ティング 8の¾» ¾ ^額になり、 s e e d光 2 3と増 Ψΐ^レーザ 6 0内での増幅レーザ光との境界部まで高 ¾率コ一ティング 8をことカ^] ¾となる。図 1 7、図 1 8に示す ΛΛ側ミラ一 1の大きさは、図 1 7 (c) 、（d)、及び図 1 8 ( c ) 、 (d) に示すように、励防止コ一ティング 9を施した中心部のスリット状繊 2 1の:^方向の長さが、 ±曽巾 ΐ¾レーザ 6 0の¾¾¾ 4、 5 によって开城される ¾Μ«2 2の： ^方向の長さより長くなる大きさであること力Μましい。

すなわち、入力側ミラー 1はレーザチャンく一 3の外部に^されて t、るため、 ¾»34、 5間の]？隱より大きくなるように ¾Mするでも、励防止コーティング 9を施した中心部のスリット状繊 2 1の;^方向の大きさの範囲内であれば、レーザチャンノく一 3からのレーザ光は、 ΛΛ側ミラー 1からはみ出すことカない。

ここで、図 1 7 (c)、図 1 8 (c) は、防止コ一ティング 9を施した中心部のスリット伏繊 2 1の: ^方向が、増レーザ 6 0の ¾M¾1 4、 5によって形成される ¾« 1¾2 2の:^方向と B^~¾ る ¾ ^を示す。また、図 1 7 (d)、図 1 8 (d) は、 ¾防止コ一ティング 9を施した中心部のスリット mm 2 1の ®ί方向が、増巾鞭レーザ 6 0 4、 5によって形成される 2 2の: 方向と略 «するを示す。

なお、図 1 7、図 1 8に示す側ミラ一; [において、平の ΛΛ ®¾ び出力仰履の中、部のスリット状 H¾ 2 1並びに周^ 15には^ ¾f防止コーティング 9を施さなくてもよい。このような^ ¾こすることにより、コーティング（高 m (^ )のミラ一コ一ティング 8) を施す ¾!纷が 2箇所です <?κかつ、防 itコ一ティング 9がないため、コ一ティングの劣、ィない分側ミラ一 1のレ一 «に ¾ る if久 f生を! させること力できる。

また、図 1 6に示すレーザ装置の例では、ミラ一 1 (図 1 6 ( c)、図 1 7、図 1 8 )及び » ίミラー 2は平面ミラーとしたが、これに] されることはなく、両ミラ一 1、 2力安^ «を«#~れは'よい。

図 1 9は、もう 1つの例の要部を ^"図 1 6と同様の図である。この例では、増 βレーザ 6 0の ΛΛ側ミラ一 1を 1枚の高励率 (^Μ で孔のない ® ミラ一で « る例であり、その 1枚の側ミラー:!は » ^レーザ 5 0からの s e e d光に対して水平方向に偏心して配置されて、 ΛΛ側ミラ一 1のエッジが増 m¾レーザ 6 0 (D m 4、 5によって形成される ¾«繊 2 2内又は放電観 2 2近傍に位置するように配置されている。そのエッジに接するようにその外側から s e e d光 2 3を導入する。この配置においては、増 ¾レーザ 6 0 から出力されるレーザ光プロフアイルにじる（ビーム中央部に ¾Sの弱いところができる）ことを防止すること力できる。なお、 ΛΛ側ミラ一 1と出力側ミラ一 2の由に対して s e e d光 2 3の由をわずかにィ頃けて s e e

¾¾ を満たすようにしてもよい。

本発明溝は、実験を行った結果、特に、 ΛΛ側ミラ一 1と出力側ミラー 2の由 Dに対して s e e d光 2 3の由 Cをわずかに傾けて s e e άτ¾ ^¾Μ« を満たすようにすることにより、さらに低コヒ一レンスィ可倉となり、効率良く増レーザ 6 0におヽて增 φ纖されること見した。

この理由は、以下のように考えられる。図 2 0に、側ミラー 1と出力側ミラー 2の由 Dに対して s e e d光 2 3の由 C力わずかに傾くように舰して、增レ一ザ 6 0の ¾1«2 2の 5»6ヽら s e e d光 2 3を λ!ίさせたの増 ^レーザ 6 0の謝乍画図を示す。ここで、図 2 0 (a) は、増 ¾レーザ 6 0の^ ®上翻、図 2 0 (b) は、増^ ¾レーザ 6 0の彻臓を示す。

図 2 0 (a) の上翻に示すように、レーザ 5 0 (図 1 9 M)から出力される »域ィ匕された s e e d 2 3光は、 λΛ彻 jミラ一（^Κ ίミラー） 1の e¾i®U 2の御酒から増驟レ一ザ 6 0に ¾λされる。この s e e d光 2 3は、その ¾由じ力増レーザ 6 0の^^ © 由 Dに対してわずかに傾いた角度 α (例えば、約 0. 5 m r a d) にされた、菌で Λ ίし、放電繊 2 2において増幅さ出力側ミラー（励ミラ一） 2にる。出力側ミラー 2にス射した増幅されたレーザ光のは、出力側ミラ一 2 してレーザ光 Κ 1として出力される。また、出力側ミラー 2に Λ ίした増幅されたレーザ光の一部は出力側ミラ一2によってされる。

この光は、 xmmm2 2 ¾ι ^して増幅さ側ミラー ιに λ¾ さ; TU再び觸繊 2 2に戻さ lil幅される。そして、増幅されたレーザ光は出力側ミラ一 2に λ¾し、 ~ ^は還してレーザ光 Κ 2として出力さ一部は ¾«繊の方へ励される。このような簾 »、り返すことにより增 βレ一ザ 6 0の出力としてレーザ光 Κ 3が出力される。ここで、出力側ミラー 2への s e e d光 2 3の λ ¾、側ミラ一 1及び出力側ミラ一 2への増§¾の λ!ί 角及び Ht^は、増 Φ酸レーザ 6 0の»¾翅 Dに対して角度 αとなる。なお、図 2 0 (a) には、出カレ一ザ光 K 1〜： K 3の強^布も^的に示してあ。

このようにして、 s e e d光 2 3は、図 2 0 (a)の上翻に示すように、出力側ミラ一（咅盼 ίミラ一） 2と側ミラー ^^ミラー） 1との間をジグザグに多る。この灘は、出力側ミラ一 2に徹の点¾ (S l、 S 2及び S 3) を設けたと同等の効果を生む。空間的コヒーレンスは、 «の大きさ力大きくなると低くなること力ヽら、仰 Jミラー 1と出力側ミラー 2の由 D に対して s e e d光 2 3の; ¾由。力わずかに傾くように «tると、結果的に増中 ΐ¾レーザ 6。において、空間的コヒ一レンスの低いレーザ光の增 ήι^^か可能となったと i iftjされる。

なお、図 2 0に示曽レ一ザ 6 0の^ βでは、出力されるレーザ光 K 1 、 Κ 2及び Κ 3の出射位置が相互にずれているため（図 2 0の例では、 7平方向に所隔でず'れる。その i¾P曰の例としては、約 l mm)、出射俾 Jミラ一 2 から出力されるレーザ光のプロファイル（エネルギ分布）がトップハツト波状の分布）に近くなる。そのため、レーザ光面内のエネルギ密度がガウシアンビームのよりも低くなる。その結増 Φ酸レーザ 6 0の^ β内^ ¾子

(例えば、ウィンド一雜 1 7、側ミラ一 1及び出力側ミラー 2 )、及び、増 ¾レーザ 6 0から出力されたレーザ光を衞するための^ ¾子 m 2 ステ—ジレーザ装置と露;^置を纖するビームデリ , -?リ一ュニット内に纖されている^ ミラー、ビームエキスパンダ等）に与えるダメージをること力できる。

なお、 s e e d光 2 3の^!由 Cに财る増 βレーザ 6 0の由 Dの傾き角度 a ( r a d) としては、增レ一ザ 6 0の^!長を Lとするとき、

0. 0 0 0 5≤2 L≤0. 0 0 1 5 · · · (4) の «を満足することが望ましい。以下の、他の开»¾ ^も同じ。

また、譜麟明ばる力增レ一ザ 6 0の»^による幾差（レ一ザ光 K 1と K 2の間あるいは K 2と K 3の間の ¾ )を、 ¾»レ一ザ 5 0から出力される »域化された s e e d光 2 3のスぺクトノ! ¾幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くすることにより、 K l、 Κ 2及び Κ 3のレーザ光は互いに千^:ず、增レーザ 6 0から出力されたレ一ザ光のビームプロファイル上に干力しなくなる。そのため、出力されたレーザ光のビームプロファィルの¾¾^生はし、その麵も難 l] ることができる。これにより、露置でのマスク及び露:^像（例えばゥ、）上での均一照明が可能となる。さらに、上記のように増翻レーザ 6 0 ©¾βΖ)τ¾ώϋに対して s e e d光 2 3の由 Cをわず、かに傾くようにして、 s e e d光 2 3を ¾ffi«2 2に ¾λ することにより、 s e e d光 2 3の発 f ^力小さくても、増 ¾レーザ 6 0の放電繊 2 2内を s e e d光 2 3又はその増就で満たすことカ可能となる。これにより、增による増レ一ザ 6 0の簾か可能となる。

例では、側ミラー 1及び出力側ミラー 2は平面ミラーとしたが、これに跪されることばなく、両ミラーが安^^をばよい。例えば、 ΛΛ側ミラー 1又は出力側ミラ一 2を円筒 CMにすることによつてさらなる空間的コヒ一レンスの翻何能となる。すなわち、円筒 β鏡の勝 ¾方向と觸方向の中' ^由がるように円筒画鏡を配置すると、 «モードが増えるため、 ¾®¾ "向に対して垂直な方向に対してさらなる空間コヒ一レンスの ί藤可能となる。

図 2 1は、さらにもう 1つの例の要部を示す図 1 6と罔様の図である。この例では、増酸レーザ 6 0の側ミラ一 1を 1枚の高励率 (^ で孔のない ®ミラ—でる例であり、その 1枚の ΛΛ側ミラ一 1は^ ¾レ一ザ 5 0からの s e e d光に対して垂向に、図の ^は J^ M心して配置されている。そして、その偏心配置された側ミラー 1の偏心方向とは反対側のエツジに接するようにその外側から s e e d光 2 3を導入する。この配置においては、増レーザ 6 0から出力されるレーザ光プロファイルに;^ じる（ビーム中央部にの弱いところができる）ことを防止することができる。なお、入力側ミラ一 1と出力側ミラ一 2の光軸に対して s e e d光 2 3の光库由をわずカヽに傾けて s e e d¾ ^腹観を満たすようにしてもよい。編 3したように、このようにることにより、さらに低コヒ一レンスィ可食となり、 ¾ ^良く増 ΦΙ^レーザ 6 0において増巾驟振される。

図 1 9、図 2 1の例では、 ΛΛ側ミラ— 1を高励率 c-^m) で孔のない平面ミラー 1枚で難したが、それぞれ図 2 2ヽ図 2 3、図 2 4のチャンバ一 3側から見た図 (a) と断 β (b) に示すように、 C a F₂等の^!

板の出力佃洒の s e e d¾A¾«には励防止コーティング 9を施し、残りの領 I或には高率 (^ ϋのミラーコ一ティング 8を施してそれぞれの側ミラー 1を麵するようにしてもよい。すなわち、図 1 6〜図 2 1に用いられる λ¾側ミラ一 1は、ミラー{¾§©ため、ミラー fflまでのコ一ティングは «■である。そして、 C a F₂等の ¾β ^を精く [^な面に力 P すること « ^ではない。 it 、製辦にに欠け力性じてしまう。そして、 H& 欠けなく高率 (^ i コ一ティング 8がなされないと、率の低いがロスの原因となり、発^^が落ちる。図 2 2、図 2 3、図 2 4のような ΛΛ側ミラー 1を用いれば、高 KM率 (^ i) コーティング 8の «3S力く額になり、 s e e d光 2 3と增 Φϊ¾レーザ 6 0内での増幅レーザ光との^^部まで高率コーティング 8を»ことカ^ となる。

ここで、図 2 3の（c)及び（d) は、図 1 9若しくは図 2 1に示す 2ステ一ジレー 1Γ装置に適用した^ ©ΛΛ彻 jミラ— 1とお領或 2 2との位置 »を示す図であり、 ΛΛ側ミラー:!の出力側 ( s e e d光 2 3の ΛΛ側）から見た図である。ここで、図 2 3 (c) は、高励率 ^M のミラ一コーティング 8を施した應のミラー周 »®Jではない側の ¾5の方向が、増 ^^レーザ 6 0の放 4、 5によって形成される 2 2の: ^方向と K^Hi ^る；^を示す。また、図 2 3 (d) は、高率 (^Μ)のミラ一コ一ティング 8を施したのミラー周 Wi』ではない側のの方向が、増レ一ザ 6 0の ¾¾* 極 4、

向と略 e¾する^を示す。図 2 3 (c)及び（d)では、鍵観 2 2に対して、 ΛΛ側ミラ一 1の高励率 ^δ ί) のミラ一コーティング 8を施した » わる «Xと側ミラ ― 1の防止コ一ティング 9を施したわる «Υの害哈は少なくとも、 Xく Υであること力ましい。この理由は、 Χ >Υの^、増レーザ 6 0の^ ¾¾¾レーザ 5 0に戻るため、レーザ 5 0の ¾ ^子（特にフロントミラ一 5 2 ) に損傷を与え、さらに、 ¾¾レ一ザ 5 0のフロントミラ一5 2から出力されるレーザ出力（s e e d光 2 3の出力）のィ氐下を招くためである。

図 2 2、図 2 3、図 2 4に示す ΛΛ側ミラー 1の大きさは、例えば ¾ 2 3 (c ) 、 (d) に示すように、高励率 (^Μ)のミラーコ一ティング 8を施した繊のミラ一周ではない側の βの長さが、增 βレーザ 6 0の ¾me 4、 5によつて形成される觸繊 2 2の辭方向の長さより長くなる大きさであること力ましい。

すなわち、側ミラー 1はレーザチヤンバ一 3の外部に ¾gされて L、るため、 ¾ββ 4、 5間の J¾^より大きくなるように麵する;^でも、高励率 (^ΒΜ)のミラ一コ一ティング 8及び防止コ一ティング 9を施した遞のミラ一周 M ではな、ヽ側の βの長さの範囲内であれば、レーザチャ 'く一 3 力、らのレーザ光は、側ミラー 1カヽらはみ出すことがない。

なお、図 2 2、図 2 3、図 2 4に示す入力側ミラ一 1において、平の高 m (^ Μ)のミラーコ一ティング 8j¾外の部分は反射防土コーティング 9 を施さなくてもよい。このような «にすることにより、コーティング（ϋ ί 率 ^¾) のミラ一コーティング 8 ) を施す »が 1®^ですみ、かつ、 M 防止コ一ティング 9がな、、ため、コ一ティングの劣ィない分 ΛΛ側ミラー 1のレーザ光に ¾ る ft久†生をさせること力できる。

餾3した 2ステージレーザ装置の職例は、 ^¾レーザ 5 0力、らの s e e d 光 2 3が增^ ¾レ一ザ 6 0に & される際、増廠レーザ 6 0の *¾を«^ るミラーの一方のミラ一（ΛΛ個 Jミラ一 1 )カヽら s e e d光 2 3力¾λされへ他方のミラ一（出力側ミラー 2 )力、ら s e e d光 2 3が増幅されたレーザ ¾)出力されるものであった。以下の難例では、レーザ 5 0力、らの s e e d光 2 3が ¾λされるミラーと s e e d光 2 3が増幅されたレーザ出力されるミラ

―と力用されてヽる^ «につ、τ ^明する。

図 2 5に、出力側ミラー 2から^ ^¾レーザ 5 0からの s e e d光 2 3を λ!ί させる^ 例を示す。図 2 5は、レーザ 5 0と i曽レーザ 6 0 ® lSHである。 »域化モジュール 5 1を有する ¾域ィレーザ 5 0からの s e e d光 2 3は、 2個の 4 5度直角プリズム 1 0 1及び 1 0 2により順に反射さ増 ¾レ一ザ 6 0の *βを; »Τる一方のミラ一である出射側ミラ一 ( 励ミラー） 2に AWる。出射側ミラー 2の面において s e e d光 2 3はわずかに励されるものの、大 »は出射佃 Jミラ一 2を廳して増 ¾レ一ザ 6 0 ^¾λされる。 ' ¾λされた 13 s e e d光 2 3は、增レーザ 6 0の ¾C¾«4、 5によって形成される ¾SH¾2 2を通し、增レーザ 6 0の

ミラーであるリァ』ミラ一ミラー） 1 1 1によつてさ MMfM2 2 ¾g§後ヽ出力ミラー 2より出力される。

においても、先に説明した通り、肅試（2) と（3 )を満たすような発散を有する s e e d光 2 3を i曽 βレーザ 6 0 ¾λするようにしてもよい。さらには、リア側ミラ一 1 1 1と出力側ミラー 2の由 Dに対して s e e d光 2 3の由 Cをわずかに傾けて s e e d¾^¾SH^を満たすように ί¾λすることにより、さらに低コヒ一レンスィ坷能となり、 ¾ ^良く増巾 ΐ¾レーザ 6 0において i曽される。

図 2 6に、図 2 5の; 1 ^例において、リァ側ミラー 1 1 1と出力側ミラー 2の由 Dに対して s e e ά光 2 3の由 C力わずかに傾くように戮して、増 Φ酸レーザ 6 0の ¾«繊2 2の^から s e e d光 2 3を Λ ίさせた^ ®増 ΐ¾ レーザ 6 0を示す。ここでヽ図 2 6 (a) はヽ增 ^^レーザ 6 0の^ 上面図、図 2 6 (b) は、增 Ψ驟レ一ザ 6 0の Λβ©仴議を示す。図 2 6 (a)の上翻に示すように、 ^¾レーザ 5 0から出力される»域ィ匕された s e e d 2 3光は 2個の 4 プリズム 1 0 1及び 1 0 2により順に励され（図 2 5参膨、増殿レーザ 6 0の »||を«#"る一方のミラーである出射仰】ミラ一 2にス射する。出射側ミラ— 2のス射面において s e e d光 2 3はわずかに励されるものの（図に «mで示す。）、大は出射側ミラー 2 ¾¾する。纖した s e e d光 2 3は纖繊 2 2の佴面から増 g¾レーザ 6 0に ¾Λされる。

この s e e d光 2 3は、その由 C力增酸レーザ 6 0の由 Dに対して、わずかに傾いた角度 αにされた; I 態で Λ ίし、 ¾¾繊2 2において増幅されへリア側ミラー 1 1 1に λ!ίし、する。この光は、再び繊 2 2 ¾® して増幅さ U増幅されたレーザ光の^ 15は麵側ミラ一（顾ミラ一） 2 ¾1 ^して、レーザ光 K 1として出力される。増幅されたレーザ光の残りは出射側ミラー 2により励され MSH¾¾ 2 2に戻さ tli曽幅される。そして、再びリァ彻 jミラー 1 1 1に λΐίし、する。この ¾光は再び放電繊 2 2 ¾1 ^して増幅さ増幅されたレ一ザ光の^^は出射側ミラ一（部分ミラー） 2 して、レーザ光 Κ 2として出力される。増幅されたレ一ザ光の残りは出射』ミラー 2により励され Τ¾¾¾ 2 2に戻さ lJ#幅される。このようなを繰り返すことにより増レーザ 6 0の出力としてレ一ザ光 K 3が出力される。

ここで、出力側ミラ一 2への s e e d光 2 3の ΛΜ¾、リア ffi!lミラ一 1 1 1及び出力側ミラー 2への増巾就の λ ^及び^!^は、 ± 藏レ一ザ 6 0のの 5¾¾Dに対して角度 αとなる。このようにして、 s e e d光 2 3は、図 2 6 ( a )の上面図に示すように、出力側ミラ一（Si ^励ミラ一） 2とリァ側ミラ一ミラー） 1 1 1との間をジグザグに多 msit る。このようにして、図

2 0の ¾ pjf¾図を用い明したときと同様ので空間的コヒーレンスの低減を難できる。なお、出力側ミラ一（励ミラー） 2の麵率は、例えば

3 0 %である。この:^、 s e e d光 2 3の ±曽||)|¾レーザ 6 0への Λ ί¾^は 7 0 %となる。

この; の利点は、增レーザ 6 0の « ^をるリァ側ミラー 1 1 1 及び出力側ミラ一 2に、図 1 7、図 1 8、図 2 2、図 2 3、図 2 4に示すような的なコ一ティングを; ¾ 必要なく、全面に均一にコ一ティングした； I 態で使用できる。このため、ミラ一の製作が簡単で ¾iffiとなり、コーティングの品質が高く耐久する。また、出力側ミラ一（¾ ^励ミラ一） 2の励率がく、 s e e d光 2 3の' ^婢力悪くなる:^は、 ¾λ部の部分にコ一ティングを施さないようにしもよい。

：例では、リァ側ミラ一 1 1 1及び出力側ミラー 2は平面ミラ一としたが、これに PS¾されることはなく、両ミラ一力安を: jfg^ればよい。 m^- ば、リァ側ミラー 1 1 1又は出力側ミラ一 2を円筒匪鏡にすることによってさらなる空間的コヒ一レンスの可能となる。すなわち、円筒 β鏡の泉方向と ¾ ^向の中由かるように円筒 ia«を配置すると、 «モードが増えるため、向に対して垂直な方向に対してさらなる空間コヒ一レンスの » ^可能となる。

また、增レーザ 6 0の内部におけるレーザ光のエネルギは、増 Φ離出力側ミラ一 2より出力されるレーザ光のエネノレギょりも高くなる。そのため、リア側ミラー 1 1 1及び出力側ミラ一 2のレーザ光にる耐久' fe6 廳となるそこで、この麵を嫩すために、これらミラーのを^的に /させて ¾することによって、耐久性を畐にさせること力できる。そのための纖例を図 2 7に示す。

図 2 6 (a) の矢印 E及び F方向から見たリア側ミラ一 1 1 1、出力側ミラ一 2をそれぞれ麟するミラーホルダを図 2 7に示す。図 2 7 (a) は、リア側ミラ一 1 1 1側（図 2 6 (a)の E側）から見た麵ステージ付きミラ一ホルダ 2 1 0を示す。また、図 2 7 (b) は、出力側ミラー 2側（図 2 6 (a) の F側）から見た移動ステージ付きミラ一ホルダ 2 1 1を示す。これらの移動ステージ付きミラ一ホルダ 2 1 0及び 2 1 1は、增レーザ 6 0の^ ¾を歐するための図示しないプレートに固定されている。ここで、リァ側ミラー 1 1 1を鶴するミラーホルダ 2 1 0につい τΐ¾明する

。リァ側ミラー 1 1 1はミラ一ホルダ部 2 0 6にされており、このミラーホルタ部 2 0 6は、ミラ一ホルダガイド 2 0 4及び 2 0 5 ¾ ^して、ミラーホルダステージプレート 2 0 3に移動可能に g ^されている。ミラ一ホノレタ部 2 0 6は、ミラーホルダガイド 2 0 4及び 2 0 5によって:光舳が変化せずに水平方向.（図 2 7 (a) に示す矢 E防向）に対して麵可能となっている。

ミラーホルダガイド 2 0 4及び 2 0 5力設けられている側と幽をなす側のミラ一ホルダステージプレート 2 0 3のには、雌ねじ部が設けられたスクリュ一 gl ^プレート 2 0 2が設けられている。この雌ねじ部に雄ねじ部を有するノプ付きスクリュー 2 0 1力される。ノプ付きスクリュ一 2 0 1の¾«にはボール 2 1 2が gl¾されている。このボール 2 1 2がミラーホルダ部 2 0 6の彻と擁するように、ノブ付きスクリュー 2 0 1がねじ込まれる。

一方、ミラーホルダガイド 2 0 4及び 2 0 5力設けられている側と鎖をなす側のミラ一ホルダステージプレート 2 0 3の ft»|5には、パネ才 2 0 8が設けられている。このパネ g»W2 0 8にバネ 2 0 9の"" 醜されている。また、パ、ネ 2 0 9のがミラ一ホルダ部 2 0 6に設けられた^部 2 0 7 に揷入されている。パネ 2 0 9は、その弾¾¾がミラ一ホルダ部 2 0 6力己ノブ付きスクリユー 2 0 1のに gl¾されたポール 2 1 2に押しつけられるようにィ乍用するように、されている。なお、ミラ一ホノレタ！ 52 0 6に設けられた^部 2 0 7は、ノブ付きスクリュー 2 0 1と略同車 ώ±の位置に設けられる。

このような滅において、ノブ付スクリュー 2 0 1をさせることにより、リア側ミラー 1 1 1を、 ¾由が変化しないようにフ平^;させること力できる。出射側ミラ一 2を職するミラ一ホルダ 2 1 1の灘も、ミラーホルダー 2 1 0 と同様でる。

ここで、このミラーホルダ 2 1 0、 2 1 1のノブ付スクリユー 2 0 1力増 1ΐ¾ レーザ 6 0の同じ偵陋に位置し、それらのメインテナンス側が同じ方向に位置するようにするために、ミラ一ホルダ 2 1 0とミラ一ホルダ 2 1 1の難は、図 2 7の xx軸 ¾iる紙面に垂直な面に対して蔵播になるように «rることがましい。

図 2 7に示す例の齢、出カレ一ザ光 2 1 3は、ミラ一ホルダ 2 1 0及びミラ —ホルダ 2 1 1を用いてリア側ミラ一 1 1 1、出力側ミラ一 2を^/させることにより、同じミラ一 1 1 1、 2をそれぞれ 3 すること力でき、ミラ一の寿命を 3衞申ばすことカ^!能となる。この例では、ミラーホルダ部 2 0 6力一方向のみ移 Sr る例を示した力、これに,されることなく、 2軸のステージ上にミラ一ホノレダ部 2 0 6を^するようにしてもよい。また、この例では、リア側ミラ一 1 1 1、出力側ミラー 2の 3¾由 !» に必要なミラ一の傾きの図示は 8 &した力ミラーホルダ 2 0 6に! ¾1するようにしてもよい。

次に、レーザ 5 0力、らの s e e d光 2 3力¾λされるミラ一と s e e d 光 2 3が増幅されたレ一ザ¾ ^出力されるミラーとが兼用されているもう 1つの実施例について、図 2 8を用いて説明する。

図 2 8に示レーザ 6 0は、図 2 6に示した增 figレーザ 6 0に換えて、図 2 5に示す 2ステージレ一 " g置の増！^レ一ザ 6 0として用いられるものである。図 2 6に示した増 βレーザ 6 0とのの相 ¾ ^は、図 2 6の増幅段レーザ 6 0に設置されている^ βのリア (ミラ一（^^ミラ一） 1 1 1の代わりに、 ^S iit^プリズム（ルーフプリズム） 1 0 3を用いて光を折り返す子を翻した;^ ©例を示すものであり、その他の素は、図 2 6に示すものと同様である。

すなわち、図 2 8は、図 2 5の雄例において、 ^S i賴プリズム 1 0 3と出力側ミラ一 2の由 Dに対して s e e d光 2 3の由 C力わずかに傾くように «して、増 βレーザ 6 0 OmfM2 2の ¾»ヽら s e e d光 2 3を Λ ίさせた増ΐ¾レーザ 6 0を示すものである。ここで、図 2 8 (a) は、増幅段レーザ 6 0の上画、図 2 8 (b) は、增 ΦΙ^レーザ 6

画を示す。

したがって、においても、鎖プリズム 1 0 3と出力側ミラ一 2 の¾由1)に対して s e e d光 2 3の由 Cをわずかに傾けて s e e d^¾S 域をすように' &λしているので、先に説明した通り、さらに低コヒ一レンスィ可能となり、 ¾ ^良く増レーザ 6 0において增 Φϊ¾される。

図 2 8 (a)の上画に示すように、 ¾^レ一ザ 5 0から出力される »域ィ匕された s e e d光 2 3は 2個の 4 5¾1 ^プリズム 1 0 1及び 1 0 2により順に励され（図 2 5参 )、増 Ψ驟レ一ザ 6 0の^ βを; ^Tる一方の^ ¾ 子である出力側（¾¾ ^ミラ—） 2にる。出射側ミラ一 2の AM面において s e e d光 2 3はわずかに固されるものの（図に磁泉で示す。 )、大は出細則ミラー 2をする。透過した s e e d光 2 3はお領域 2 2の佴画から増 Φϊ¾レーザ 6 0に ¾Λされる。

この s e e d光 2 3は、その^ ί由 C力曽»レーザ 6 0の由 Dに対してわずかに傾いた角度 αにされた忧態で A tし、観観 2 2において増幅さプリズム 1 0 3の面 1 0 3 及び面 1 0 3 ₂でフレネルの全 m

によって^ s¾される。

ここで、例は以下の点で、図 2 6の難例と作用力異なる。すなわち、この^ δΐίϋ^プリズム 1 0 3は ΛΙίしたレーザ光を面 1 0 3 i及び面 1 0 3 ₂ で 2[ϋ^ΚΙίするので、出力されるレーザ光は入射方向と寸方向へ反転する。この反転したレーザ^ び¾*«2 2を βすることにより ±曽幅される。 i曽幅されたレーザ光の^ ϋは出射側ミラ一（¾¾^¾ミラ一） 2¾ ίι¾して、レ一ザ光 Κ 1として出力される。増幅されたレーザ光の残りの光は出射側ミラー 2によりされ 2 2に戻さ; i曾幅される。 .

そして、再 ^lilMプリズム 1 0 3に Λ¾し、 "る。この^ ¾されたレ一ザ光は再び反転して、 2 ¾®¾して増幅さ; 増幅されたレーザ光の^ 15は出射側ミラ一（¾ ^励ミラ一） 2 ¾ ©して、レーザ光 K 2として出力される。増幅されたレーザ光の残りは出射側ミラー 2によりさ LT¾¾»2 2に戻さ li曾幅される。このようなを繰り返すことにより増

Ψΐ^レーザ 6 0の出力としてレーザ光 Κ 3が出力される。

ここで、出力側ミラ一 2への s e e d光 2 3の λ!^、 ^ ίϊΙ^プリズム 1 0 3及び出力側ミラ一 2への増巾就の λ¾¾及び^!^は αとなる。このようにして、 s e e d光 2 3は、図 2 8 (a)の上翻に示すように、出力側ミラー（ミラー 2 ) と^ ¾直角プリズム 1 0 3との間をジグザグに多 fiS tT る。このようにして、図 2 0の ¾fFJ a図を用い Tl½明したときと同様の ¾でヽ空間的コヒーレンスの«を «できる。

図 2 8 明した難例においては、図 2 6 tf¾明した先の麵例と同等の効果に加え、さらに以下の効 ¾) 晷られる。例では、 ^ i蘭プリズム 1

0 3によってレーザ光は反転し斤り返される。そのため、 2である増幅ゲインの »向（W^向）の増幅^布一力した:^においても、 tmM2 2の上部 n¾と H¾I^を共に «するので、出力されるレ一ザ光は»向に対し T¾iW扱び安定 ¾ ^改善される。

具勺 jとしては、レーザの^^り返し |¾6镇くなると（伊 jえば、 3 0 0 0 ~ 4 0 0 0 H z)では、 ¾ffi¾4、 5間の放霓により^ ¾による^ Ε¾Λ¾ 生し、に増幅ゲイン分布及び屈折率の^！一力魁する。これに対し、 ^^蘭プリズム 1 0 3によってレーザ光を反転して再び増幅させることにより、増§¾のレーザ光の均生、 »ί生、安定 (生¾1 ^することか可能となる。また、このによってさらなる低コヒーレンスィ ^可能となる。なお、このような果を得るには、角プリズム 1 0 so i 0 と

1 0 3 ₂の纖（M根面の樹泉）は、向に対して β直な方向に向ける必要がある（図 2 8 ( ) 。

この例において、プリズム 1 0 3の λ¾面に防 «コートを施してもよいし、付けなくてもよい。ただし、この^ プリズム 1 0 3 の Λ ί面は、增及び s e e d光の由 Cに対して ¾ ^を W るために、出力側ミラ一 2の励面に対して傾ける必要がある。

i:の 2ステージレ一ザ、装置の «例は、 ^¾レーザ 5 0からの s e e ά光 2 3が増 ¾レ一ザ 6 0に ¾λされる際、増レ一ザ 6 0の^!をるミラ一の一方のミラ一 CA^側ミラ一 1 )力、ら s e e d光 2 3が ¾λさ;

のミラ一（出力側ミラー 2 )力、ら s e e d光 2 3が増幅されたレーザ ¾δ出力されるものであった。また、 ¾ ^レ一ザ 5 0からの s e e d光 2 3力ί¾λされるミラーと s e e d光 2 3力増幅されたレ一ザ^出力されるミラーとが用されているものであった。これらの例は、何れの:^も、 s e e d光 2 3力《増幅段レーザ 6 0の^ ¾を»^るミラーの一方のミラーに λ!ίして @«、直ぐに放電領域 2 2を iBiするものであつた。

図 2 9、図 3 0を用いて、以下に説明する実施例では、増幅段レーザ 6 0の共攝を «tるミラーの一方のミラ一（ΛΛ側ミラー 1)から s e e d光 2 3が ¾λさのミラ一（出力側ミラー 2 )力、ら s e e d光 2 3が増幅されたレ一ザ ¾¾出力される例の^^である。すなわち、 s e e d光 2 3が増 Ψΐ^レーザ 6 0の ΛΛ側ミラ一 1に λ¾して後、 ¾Μ« 2 2 して、出力側ミラー 2に至噠して H T後、その M¾¾&¾¾S«2 2 ¾®itする例である。

この難例は、 t M2 2からみれば、レーザ 5 0からの s e e d光 2 3力 ¾Λされるミラーと s e e d光 2 3が増幅されたレ一¾《出力されるミラーと力兼用されている齢と同様となる。すなわち、 s e e d光 2 3は纏領域 2 2の出力側から A*tし、増幅さ出力される。

図 2 9に增¾レーザ 6 0の «例を;^。ここで、図 2 9 (a) は、増 Φϊ¾ レーザ 6 0の上翻、図 2 9 (b) は、増 Ψΐ¾レーザ 6 0の^ 側翻を示す。

；^ ½例における側ミラー 1の滅は、図 3 0 (a)の図 2 9 (a)の矢印 E方向から見た図に示す通り、図 2 2、図 2 3、図 2 4に示す側ミラ一 1 と同様の; «である。すなわち、 C a F₂等の紫外; の s e e d光 2 3 λ¾観には励防止コ一ティング 9を施し、残りの繊には高励率（全 ί)のミラーコ一ティング 8を；^"。

一方、出力側ミラ一 2の難はヽ図 3 0 (b) の図 2 9 (a) の矢印 F方向から見た図に示す通りであり、 C a F₂等の辦; ¾1 ^翻反の s e e d光 2 3 A ii!或には高反射率 (^ )のミラ一コ一ティング 8を施し、残りの領域には扮のミラ一コ一ティング 1 0を»₀

図 2 9において、レーザ 5 0 (図 1 9若しくは図 2 1参照 Jから出力された s e e d光 2 3は、 ΑΛ側ミラ一 1の^ «繊防止コ一ティング 9を施した繊からして、増 βレーザ 6 0©¾S«2 2ではない観 ¾ U出力側ミラ— 2の^ li部 GS励率 ( i)のミラ一コ一ティング 8を施した» ΚλΜして、驢繊 2 2ヘ^^される。

ここで、図 2 9に示曽レーザ 6 0においては、由 Dに対して s e e d光 2 3の由 Cを角度 αだけわずカヽに傾くように^ ¾されている。したがって、 «g¾こおいても、 ¾®¾¾Dに対して s e e d光 2 3の光軸 Cをわずかに傾けて s e e d¾^¾S«を満たすように ίΐλしているので、先に説明した通り、さらに低コヒーレンスィ可能となり、 $脾良く増レーザ 6 0において増巾^^される。

出力側ミラ一 2の部に λ!ίして、 ¾«« 2 2へ^ された s e e d 光 2 3は、 mm 2 2 ¾1¾して増幅さ ΛΛ側ミラ一 1の^ 部 G¾反射率 (^M のミラーコ一ティング 8を施した » に λ¾し、る。この光は、再び 2 2 ¾Β して増幅さ出力側ミラ一 2 i (き盼のミラ一コーティング 1 0を施した■ に A tする。出力側ミラ一 2の励部に Λ ίした増幅されたレーザ光の^ は、出力側ミラ一 2 して、レーザ光 K 1として出力される。また、残りの光は^ ¾され T¾¾ 2 2に戻される。

この ¾R«2 2に戻された ΜΙί光はヽ再び ¾Β«2 2をして増幅される。そして、 Λί則ミラ一 1の^ t部に Λ ίし、する。この ^光は再 <^¾*«2 2 ¾® して増幅される。そして、増幅されたレ一ザ光は出力側ミラ一 2の纷^ Wミラ一 2に Λ ίする。出力側ミラー 2の部に Λ ίした増幅されたレーザ光の^^は、出力側ミラ一 2 して、レーザ光 K 2として出力される。また、残りの光は励され T¾SH¾2 2に戻される。このような ¾を繰り返すことにより増 1 ¾レーザの出力として T 3が出力される。ここで、出力側ミラ一 2への s e e d光 2 3の Λ¾¾、側ミラ一 1及び出力側ミラ一 2への増 Φ就の λ ^及びは、増レーザ 6 0の光軸 Dに対して角度 αとなる。

このようにして、 s e e d光 2 3は、図 2 9 (a)の上面図に示すように、出カ側ミラ一 2と側ミラ一 1との間をジグザグに多する。

この難例の利点は、 s e e d光 2 3おか率良く' ¾Λすること力できる点にある。図 3 0 (a) に、図 2 9 (a)の矢印 E方向から見た λ¾側ミラ一 1と ¾¾S x e e d光 2 3の位置 »を示す。また、図 3 0 (b) にヽ図 2 9 (a ) の矢印 F方向から見た出力側ミラー 2と漏職び s e e d光 2 3の位置関係を示す。

この^!例では、 s e e d光 2 3は λ¾側ミラ一:!の ¾¾5から増驗レ一ザ 6 0の S¾¾H^2 2からやや離れた位置から A t る。ここで、 E方向（図 2 9 (a)参から見たとき、 ¾¾衝或2 2はスカ佴 IIミラ一 1の全部と重なり

、 -mm 2の βと ^»の¾と力る配置となっている（図 3

0 (a) )。また、 F方向（図 2 9 (a)参 )カヽら見たとき、出力側ミラー 2 の^ ときとの; ^線と ¾¾«2 2のとカ ! ^し、 ¾¾領域 2 2は励部と重なるように配置されている（図 3 0 (b) )

また、 ΛΛ側ミラ— 1の jl»と出力側ミラ一 2の ^部にコーティング

1 0をしない；^は、以下の 3つの利点がある。すなわち、

( 1 )両ミラ一 1、 2は湖可能となる。

(2)両ミラ一; 2の製作もとなる。

(3) 出力側ミラー 2の » Ιί部に顾膜（.コ一ティング 1 0 )がないために、コーティングの劣ィない分耐久する（励のミラーコーティング 1 0がなくとも、フレネル ίにより ¾¾^ ίミラ一となる。）。なお、図 2 0の例や図 2 9の例のように、側ミラ一; Iから s e e d光 2 3 を、遍 Dに対して s e e d光 2 3の遍 Cが角度 αだけわずかに傾くように ¾λする ¾^にも、高 (^Μ)のミラーコ一ティング 8を施した ΛΛ側ミラ一 1のりに、図 2

ズム ( ルーフプリズム） 1 0 3を用いるようにしてもよい。

ところで、図 2 0、図 2 6、図 2 9の例のように、增巾顧レーザ 6 0の^^ を«する ®の λΛ側ミラー 1あるいはリァ側ミラ一 1 1 1と平面の出力側ミラ一 2の由 Dに対して、 s e e d光 2 3の由 Cがわずかに傾くように難して、増巾酸レーザ 6 0の ¾¾領或 2 2の βから s e e d光 2 3を Λ ίさせる場合に、例えば出力 1ミラー 2に対して、 ΛΛ側ミラ一 1あるいはリァ側ミラ一 1 1 1¾ 切に傾けることにより、低コヒーレンスの特性を ϋ したまま、レーザシステムとしてより $か率的な能であることを見出した。この点を以下に説明する。

まず、 s e e d光 2 3の' ¾Λ^ の自由度について観してみる。例えば、典型的に、図 1 9の配置と類似する図 3 1の配置において、増 ¾レ一ザ 6 0の入力側ミラ一（Xは、リァ個 jミラー） 1と出力側ミラー 2との ί灘を^！長としてこれをとする。また、増幅に効く^)的な ¾Μ«2 2の幅を、図 1 9 (a )の断面においては Wx mm、 (b)の断面においては Wy mmとする。

ここで、 s e e d光 2 3の λΛ側ミラー 1位置での位置と角度に着目し、戸リ：淀の酸レーザ 6 0の (ΛΛ側ミラ一 1と出力側ミラー 2 ) 中を往復し力にレーザ出力として取り出し可^ あるための雜を考える。例えば 3 2に増 βレーザ 6 0の ¾βと觸繊 2 2の¾¾¾"向と垂直な方向（X方向）の献的な断翻に示すように、 s e e d光 2 3力く側ミラ一（リア側ミラ一） 1の高蹄率コートが施されているに Λ ίしてしまう齢は、どんな角度を持っていようとも側ミラー（リア側ミラ一） 1で励されてしまう。した力つて、レーザ出力とし T¾¾)に取り出すことは^! となる。

次に、側ミラ一（リア側ミラ一） 1のエッジ部に碰した位置から A # る;^を考える。このとき、 AMする角度が浅すぎる（出力側ミラ一 2に垂直に近い角と、図 3 3に示すように、 s e e d光 2 3は觸繊2 2に入ること力できず'、また、 «器をしたときに側ミラー（リァ彻ミラ一） 1の高癒率ミラーコ一ティング繊に AWること力できず、系から逃げてしまう。逆に、 Λ ^戯きっすぎる（出力側ミラー 2に斜めに Λ ί)齡は、図 3 4 に示すように、 s e e d光 2 3は出力個 Jミラー 2でされた Ί ¾S«2 2 から«してしまい、にレーザ出力となつて取り出すこと力《できな、、。このような観に立って考えると、 s e e d光 2 3か所定の »辦驟レーザ

6 0の中を往復して、出力レーザ光とし力に出力されるための ΛΛ側ミラ一（リア側ミラー） 1での、 s e e d光 2 3の位置と角度とに必要とされるが算出される。

例えは "03 5に示すように、 ¾¾« 2 2中心 ¾1り¾¾¾¾こ沿う方向に ζ 軸、向と垂直な方向に X軸をし、 ΛΛ側ミラー（リア側ミラ一） 1位置に鼠を定め、 X軸に関しては、図の "を +とし、 s e e d光 2 3及びミラ一 1、 2の角度に関しては反晴十方向を +とし、ミラ一の^！^ z車肪向に向く齢には 0とする。このときの s e e d光 2 3の λΛ側ミラ一（リァ側ミラー） 1位置での ¾λ位置と角度をそれぞれ Xin、 0 inとして、 *β長を: L、 ΛΛ側ミラ一（リア側ミラー） 1の傾き角度を^ 、出力側ミラ一 2の傾き角度を 0とすると、 n往復（ΛΛ側ミラ一（リア側ミラー） 1位 S)、若しくは、 n+ 0. 5往復（出力側ミラー 2位置）目における s e e d光 2 3の位置 Xn、 Xn+0. 5 は、

Xn =Xin+ 2 n · L · 6> in+ 2 n (n - 1 ) · L · θ' · · · ( 5 ) Xn+0. 5 ==Xin+ ( 2 n + 1 ) - L - ^in+ 2 n ² · L - θ'

• · · ( 6 ) と ¾t己でさる。

この結果より、 mm 2 2 せずにに出力側ミラ一 2からレーザ出力とし力に取り出すために必な側ミラ一（リァ側ミラ一） 1位置における s e e d光 2 3の ¾λ位置と角度との βが、着眼する往復 »に応じて算出できる。

： β的な^半としてヽ ΛΛ側ミラー 1力 s e e d光 2 3に対して水平方向 (x 車肪向）に偏心して配置される例（図 3 1 ) において、 « ^長 L= l m、観 = 2. 5 mm、 λΛ側ミラー 1と出力側ミラ一 2は TO配置、 ΛΛ側ミラ —1のエッジを觸繊 2 2の ¾と ^(させた;^ (図 3 6 ) の 6餓を考えると、図 3 7で示された多角繊内の餅であれば、 »に取り出し可能となる。 'ί¾λする s e e d光 2 3のサイズや広がり角等にもィ游する力傾向としては、この多角形繊の確勖口することか望まい、。

図 3 7は、側ミラー 1と出力側ミラ一 2カ配置の ¾ ^であつたが、入力側ミラ一 1を + 0. 0 4 m r a dだけ傾けた ¾^©、同じく有効に取り出し可能な繊を求めると、図 3 8のようになる。図 3 8から明らかなように、側ミラ一 1をわずかに傾けることで、 1¾に取り出し可能な »0 勧口し（s e e d光 2 3の- ¾λの自由度が葛くなり）、さらに、 TOE置の^と同様に低コヒ一レンスィ可能となり、レーザシステムとしての出力も ί¾±する。

このときの側ミラー 1の出力側ミラー 2に対して傾ける方向は、側ミラー 1と出力側ミラ一 2との]?隱 Lに着眼したときに、一方のミラ一を傾けることでミラ一曰大きくなる供ヽら、 ¾¾レ一ザ 5 0で発振された s e e d 光 2 3が A t るような方向に λΛ側ミラ一 1力頃くこととなる。

また、增レーザ 6 0の 2枚の平面ミラ一からなる力TOでなくて一方がわずかに傾いているので、増 Ψ鞭レーザ 6 0のするスぺクトル幅力ブロードな自然 J出光に対してはゲインが小さくなつており、その結プロ ―ドバンド脾が 2枚のミラ一を TOに配置する齢に比べて '»している。そのため、特願 2 0 0 3 - 1 3 0 4 4 7号に示されているように、所定のブロードバンド ϋ摔以下の^ ^を満たすためには望の^ ¾レ一ザ 5 0のピーク必要となるのであるが、上記のように、 » ^を 2枚の^ mなミラーでることにより、このレベルが格段に小さくなる。

また、内での往復 in敷に着眼すると、 «器ミラ一力なときと、適切な傾きを持つたときとでの ^が広がること力、ら、レーザ光のパノレス Ψϊ^申長することになる。レーザパルス幅は^ Ei )^置の^ ^を考えた齢、できるだけ長い方が望ましい。

この点をると、図 3 9 (a) に示すように、ミラーが適切なィ頃きを持ったとき、 λΛί則ミラー 1のエツジ部と領域 2 2との W±、 s e e d 光 2 3はに対して斜めに; Wる。ミラー力な図 3 9 (b) の齢に対して、適切に一方のミラーを傾けた図 3 9 (a)の齢は、増 Ψ廳レ一ザ 6 oの^ β中をより多くの HIT維すること力何倉 'あり、そのためより高いレーザ出力カらさらにパノレス幅も伸長する。

なお、側ミラ一 1の高励率を^ 側の平面と出力側ミラー 2 (Dmm 率を^ 側の平面と力であるときに対して、レーザシステム出力が上回る入力側ミラ一 1の傾き範囲は、 0. Omrad〜0. 16mradである。もちろん、 » ^長や漏墓、さらには、着眼する往復議変化すれば、編5の式（ 5)、 (6)からも分かるように、この範囲も変化する。例えば、 3往復に着眼すれば、 0. Omrad〜0. 87mr a dの範囲であれば、ミラーが TOであるときの出力を上回る。

何れにせよ、上記の範囲はの式に基づけば単に導出可能であり、その範囲に入るように « ^を «することで、レ一ザ出力の i| 、パルス幅の伸長、 s e e d光の ¾λの自由度の確保、！^^レ一ザのピーク ¾gの低下を図ることカ^]!になる。

ここで、を変えて、增レ一ザ 60の «§を«する 2枚の平面ミラ一をでする:^にヽ側ミラ一（リア』ミラー） 1と出力側ミラ一 2を s e e d光 23の由 C (図 20参 )に対してどのように傾ければよいかを ^[しておく。

図 40に示すように、図 35の場合とは異なり、 s e e d光 23の進行方向に z軸、向あるいはその ^向と垂直な方向に X軸をし、原を Λ¾ 側ミラ一（リア側ミラー） 1で s e e d光 23が入射する位置に定め、 x軸に関しては、図のを +とし、励びミラー 1、 2の角度に関しては賴十方向を +とし、ミラ一 1、 2の ¾H^'z幸肪向に向く齢には 0とする。そして、入力側ミラー（リア側ミラ一） 1の傾き角度を (9_K、出力側ミラ一 2の傾き角度を Θ, とする。 X車鐘ネ E に s e e d光 23力頃き角度 0で ¾λされる。

各ミラ一 1、 2で励された後の光の進度は、

で表される。ここで、サフィックスの "NF"、 "NR" はそれぞれ出力側ミラ ― 2、 ΛΛ側ミラー（リァ側ミラー） 1で Ν回目の Ef後の »を表す。

において、励点の座標に関しては、

X_NR-2N² Θ, L-2N (N-l) 0_R L

(N+l) L-2N² _R L

と裁できる。この；^ ©サフイツクスの "N F "、 "N R" はそれぞれ出力側ミラー 2、 ΛΛ側ミラ一（リァ側ミラー） 1で N回目の反射点を表す。また、 L は増レーザの »ϋ長を表す。

ここで、 X_1R>0を満たさないと、 1往復したときに ΛΛ側ミラ一（リア側ミラ一） 1で励されない。これより、

Θ_Ρ > 0

を-満足する'i¾力《ある。

N碰したときに、側ミラ一（リア側ミラ一） 1で ^ΙίΤるための餅は

となる。したがって、

<Ν/ (Ν— 1)

•BL 5、ら、したときに、側ミラー（リア側ミラ一） 1で ^i るための維ま、

θ_¥ >0

力、つ、

θ_κ <Ν/ (Ν-1) Χθ？

となる。

さて、 Ψσ^ (0_F ) に増して^ ^幅を増やすためには、 1往復したときの側ミラ一（リア側ミラ一） 1若しくは出力側ミラ一 2における位 ¾^が、と共に «されることである。何れのミラーに着眼しても同様の結辱られるので、ここでは出力側ミラ一 2に着眼する。

上言は、 XN+2 F ― XN+1 F く XN+1 F ― XNF

となる。これより、

Θ F <

力られる。これと上記出えられた^ を組み合わせることにより、 Nft¾まで出力側ミラ一 2で癒さかつ、位 » ^カ穩されるための餅は、 .

O<0_Fく <N/ (N-1) X · · · (7) となる。

すなわち、図 40において、側ミラ一（リア側ミラ一） 1、出力側ミラ一 2共に瞎十方向に傾いており、出力側ミラー 2の傾き角度がのとき、側ミラ一（リア側ミラー） 1の傾き角度 0 _R力 W _Fよりも多少大き、ことが必要である。これは、 s e e d光 23は、ミラー 1、 2間の足灘より長く相互に開いている側から' ¾λすることとである。

雌例として、 N=5、 0_F =0. 5mr adとすると、

0. 5mr a d<6_R < 0. 625mr a d

となり、 ΛΛ側ミラ一（リア側ミラー） 1と出力側ミラ一 2の間の開き角は、 0 〜0. 125mr a dの範囲になる。

Lhの漏では、位！^に関しての不^;に脑値を付けて考えなかつたが

、蘭値を付けて雌する方がより望ましい。その理由は、 mnm^^m 合には、； b5 x軸の: 向にずれる分に関してはいくらでも許容しているからである。

mrn る伏態では、

I ϊΙ+2 F ^— XN+I F I \ I XN+I F ^— ANF I

から、

θτ < θ^ < (2N+3) / (2N+2) ^F

カかォレ θ >0の牛と組み合わせることにより、 ^まで出力佴 ijミラ一 2で励さかつ、位^^の徹寸値力種されるための餅は、

O<0F < θ く（2Ν+ 3) / (2Ν+ 2) 0_F · · · (8) となる。 β例としてヽ N=5、 0_F =0. 5mr adとすると、

0. 5mr a dく R < 0. 542mr a d

となり、 ΛΛ側ミラ一（リア側ミラー） 1と出力側ミラ一 2の間の開き角は、 0 〜0. 042m r a dの範图になる。

何れにしても、側ミラ一（リァ側ミラー） 1、出力側ミラー 2は共に s e e d光 23©¾^C (図 20参 ) に対して同じ方向に傾いて配置し、側ミラー（リァ側ミラ一） 1の傾き角度 Θ _Rが出力側ミラ一 2の傾き角度 ^ Fよりも多少大きく傾けら s e e d光 23をミラー 1、 2間の ]2»より長く相互に開 L ^Tlヽる側か ¾Aすること力要であることカ份かる。そして、両ミラー 1 、 2間の開き角は、 0. 0 lmr ad~0. 2m r a dの範囲にあること力ましい。なお、出力側ミラー 2個ヽら s e e d光 23を ¾λするときは、 0_Rと 0

F は入れ換わる。

図 31は、 Lhのように、側ミラー 1、出力側ミラ一 2カ哄に s e e d光 23の由 Cに対して同じ方向に傾いて配置し、側ミラ一 1の傾き角度を出力側ミラー 2の傾き角度より多少大きく傾け、 s e e d光 23をミラ一 1、 2間の g«) り長く相互に開いている側から' ¾λする例の図 16と同様の図である。なお、ここでは説明のため、 s e e d光 23力增 (？酸レーザ 60内を 1. 5往復しかしていない力実際は往復 Hittまより多く離される。また、同じく説明のため、光を 1本の線として示してあるが、実際は有限の幅と有限の広がりを持つたビームである。さらに、以下の側ミラ一（リア側ミラ一 111) 1、出力側ミラ一 2 頃ける例に財る図においては、説明の者哈上、ミラー由の傾けのを^!して図示してある。

この例は、図 19と同様に、増 ϋ¾レーザ 60の側ミラー; Iを 1枚の高反射率 (^ Μ で孔のない平面ミラーでる例であり、 ΛΛ側ミラー 1においては、麵的には、增レーザ 60のチャンバ一 3に近い側の全面に高励率コートが施されている。また、その麵は 2® ^での干渉を防ぐために、麵的には、全面に無^ ί率コート騰防止コーティング:）力なされる力 \又は/ 及び、厳なゥエッジ角をように難されている。また、出力側ミラー 2は、難的には、增酸レーザ 6 0のチャンバ一 3に近い側の全面に、当該レ一ザシステムにおいての ¾ϋな ΗΙί率をとるような部^ Ιίミラ一コーティング（ft 型的には、励率 1 0 %~ 5 0 %)力 ¾|されている。また、その ¾®は 2®^での干渉を防ぐために、鐘的には、全面に無顾率コート蘭防止コーティン T)がなされる力 \又はび、避なゥヱッジ角をように誠されているそして、 ΛΛ側ミラー 1は、レーザ 5 0力、らの s e e d光 2 3に対して水平方向 CJ:面図（a)の面内）に偏,!、し、かつ、その高率を側の率面を出力側ミラー 2の率を側の平面とは TOとせず、ここでは、上面図（a) に着眼したときに: @ΙΕな傾きを^ ように配置されて、側ミラ一 1 のエッジが増!!酸レーザ 6 0の、 ¾β§ 4、 5によって形成される ¾¾繊 2 2内又は腦繊 2 2近傍に位置するように配置されている。また、その傾きの方向は、 ΛΛ側ミラー 1の高励率 ¾# 側の ®と出力側ミラー 2の励率を^ 側の平面に着眼したとき、 s e e d光 2 3力傳入される側ミラ一 1 のェッジ部にお、て、 2枚のミラ一間の側のミラ一間の隱ょりも長くなる方向に傾けられている。そして、上記したように、式（7 )又は（8 ) をこすように、 s e e d光 2 3の遍 Cに対して側ミラ一 1の傾き角度を出力側ミラー 2の傾き角度より同じ側に多少大きなるように傾けられて L、る。この配置においては、増 Ψ藏レ一ザ 6 0から出力されるレーザ光プロファイルに性じる（ビーム中央部に ¾gの弱いところができる）ことを防止すること力できる。

なお、ここで βな傾き/ Sとは、具体的な数値は ftf3した通りであり、具体的な^ ¾こおけるガス圧、 Ε(¾Ρ¾Ϊ、 s e e d光 2 3のエネルギといった他の要因を gl¾して考えた^ レーザシステム出力が、図 4 1に示すように、側ミラ一 1の高 S¾率を ^側の ¥®と出力側ミラ一 2の» 率を^ 3側の平面とカ^であるとき（図 2 0 )のレーザシステム iil^Sを下回らない範囲 G内に

¾5ζΛίΞ ^れる

図 4 2に、増廠レ一ザ 6 0のを 2枚の^ TOなミラーで « る:^ に、図 2 5の齢と同様に、出力側ミラー 2からレーザ 5 0からの s e e d光 2 3を A させる^^ ¾¾例を示す。図 4 2 (a) はそのの上画、 (b) は側面図、（c) は増幅段レーザ 6 0の出力側ミラー 2をそのチャンバ一 3側から見た図である。この例では、 s e e d光 2 3が出力側ミラ一 2のエッジに接するようにその外側から導入する。この齢は、出力側ミラー 2からしているので、それと^ [側のミラ一をリァ側ミラ一 1 1 1とる。リァ側ミラー 1 1 1においては、麵的には、增レーザ 6 0のチャンバ一 3に近い側の全面に高励率コートが施されている。また、その ¾Eは 2®¾での干渉を防ぐために、麵的には、全面に無繊率コ一ト繊防止コ一ティング〕力なされるカ \又は/ ¾び、避なゥエッジ角をように猶されている。また、出力側ミラ一 2は、： β的には、増！ ¾レーザ 6 0のチヤンバ一 3に近い側の全面に、当該レーザシステムにおいての ¾@な励率をとるような ¾¾»ίミラ一コ —ティング麵的には、励率 1 0 %〜5 0 %)力施されている。また、その ¾®は 2耐曰¾での干渉を防ぐために、颠的には、全面に率コート繊防止コーティンめ力なされる力 \又は ¾び、纖なゥエッジ角 ¾# ように «されている。

この場合に、出力 fflミラー 2は、 ¾gレーザ 5 0からの s e e d光 2 3に対して水平方向 OL画 (a) の面内）に偏心し、かつ、その ¾ ^励率を^ o側の ¥®をリァ側ミラ一 i 1 1の高励率を^側の平面とは TOとせず、ここでは、上翻 (a) に着眼したときに舰な傾きをように配置されて、出力側ミラ一 2のエツジが增 ¾レーザ 6 0の、 ¾¾¾ 4、 5によつて形成される放電繊 2 2内又は滅繊 2 2近傍に位置するように配置されている。また、その傾きの方向は、出力側ミラー 2の部分励率を^ 側の平面とリァ側ミラ一 1 1 1の高励率を側の平面に着眼したとき、 s e e d光 2 3力導入される出力側ミラ一 2のエツジ部において、 2枚のミラー間の »6 ^寸 ®のミラ一間の足隱よりも長くなる方向に傾けられている。そして、この齢は、 s e e d光 2 3 CDMA Cに対して tto f側ミラ一 2の傾き角度がリ 7HIミラー 1 1 1の傾き角度より同じ側に多少大きなるように傾けられている（図 4 0の^"とは^ t) 。このも、 ¾Eな 4頃き 3とはヽ具体的な数値はした通りであり、図 4 1 に示すように、リァ側ミラー 1 1 1の高励率を側のと出力側ミラ一 2 の » 率を^ 側の ®とカ^であるとき（図 2 0 ) のレーザシステム出力 Sを下回らない範囲 G内にされる。そして、その傾きの方向は、出力側ミラー 2の率を側の平面とリァ側ミラ一 1 1 1の高率をの平面に着眼したとき、 s e e d光 2 3力導入される出力側ミラ一 2のエツジ部において、 2枚のミラー曰の] 寸側のミラー間の]？瞧ょりも長くなる方向に傾けられている。

この配置においては、 s e e d光 2 3力酸レ一ザ 6 0に ¾Λされるときに、初めに高率を ί# リァ』ミラ一 1 1 1を経由するため、 s e e d光 2 3力より小さくてす¾¾点がある。ただし、図 4 2 (c) に示されるように、 s e e d光 2 3を λΛ^るために出力側ミラ一 2を偏心させているため、ビームサイズカ侈少小さくなつてしまうというがある。なお、図 4 2では、説明のため s e e d光 2 3力増 1¾¾レーザ 6 0内を 2 しかしていないが、実際は ¾ はより多くされる。また、同じく説明のため、光を 1本の線として示してあるが、実際は有限の幅と有限の広がりを持ったビームである。

図 3 1の例では、 ΛΛ側ミラー 1を高励率 (^ t)で孔のない率面ミラ一 1枚で «したが、図 4 3のチャンバ一 3側から見た図（a ) と断面図 (b) に示すように、 C a F₂等の辦; の出力麵の s e e ά^άλΜίΜ には Μ ί防止コーティング 9を施し、残りの繊には高励率 (^ Μ)のミラ —コ一ティング 8を施して λΜι】ミラ一 1を！^するようにしてもよい。すなわち、図 3 1に用いられる側ミラー 1は、 ^β ®ミラ一ため、ミラ一 βまでのコーティングは醒である。そして、 C a F₂等の蔬 βを精艘く ,な面に力 o することは^ではない。製 «に ¾に欠け力じてしまう。そして、 «ま«5欠けなく高励率 (^Μ) コ一ティング 8がなされないと、励率の低い ¾5がロスの原因となり、 ^が落ちる。図 4 3 に示したような側ミラー 1を用いれば、高 ¾率 (^ i) コ一ティング 8 のになり、 s e e d光 2 3と增 ¾レーザ 6 0内での増幅レーザ光との^部まで高率コーティング 8を施すこと力 ¾J倉となる。また、防止コ一ティング 9を施す代わりに何らコーティングなしとしてもよい。この入力側ミラ一 1を用いときの図 3 1に対応する；！^を同様の図である図 4 4に示すまた、図 4 2の例では、出力側ミラー 2 ¾ ^励率を^ で孔のない平面ミラー 1枚で «したが、同様の理由で、図 4 5のチャンバ一 3側から見た図（a ) と断翻 (b) に示すように、 C a F ₂等ののチャンバ一 3側の面の s e e ά¾λ!ί繊には顾防止コーティング 9を施し、残りの繊には^ S¾ミラ一コ一ティング 1 0を施して出力側ミラ一 2を^ ¾するようにしてもよい。この出力側ミラ一 2を用いときの図 4 2に対応する ¾を同様の図である図 4 6に示す。

なお、 ΰθ:の難例において、 ΛΛ側ミラ一 1、リア側ミラ一 1 1 1、出力側ミラ一 2に関して、 »ttのものとしていたが、これに跪されず、趣旨しない限りは、任意の形状であってもよい。

さらに、增 1 ©レーザ 6 0の «Hを 2枚の ^なミラーで «する場に、図 2 1の場合と同様にヽスカ側ミラ一 1を s e e d光 2 3に対して垂痛方向に偏心して配置することもできる。 s e e d光 2 3カ缚入される ΛΛ側ミラ一 1のエツジ部において、 2枚のミラー間の g»< ^寸側のミラ一間のよりも長く離されている限りは、ミラ一 1、 2を傾ける麵は任意の断面であってよい。図 4 7に、增 «レーザ 6 0のを 2枚の^ mなミラーでる^ D 図 2 1と同様の図を示す力その御細 (b) に着眼したときに、 s e e d光 2 3の由 Cに対して、側ミラ一 1と出力側ミラ一 2を傾ける ^を示す。この:^、 s e e d光 2 3を ί¾λする画でケラレカ继してしまうので、 &J 明したきた上画に着眼したときに傾ける例に比べると、多少レーザシステムの雜誓する。

もちろん、この齢にも、ミラー 1、 2の傾き角度は、 ΛΛ側ミラー 1の高反射率を ί# ϋの平面と出力側ミラー 2の励率を ί 側の βとカであるとき（図 2 0 ) のレーザシステム出力 Sを下回らない範囲 G内に離される。また、ミラー 1、 2のエツジでなく、コーティングにより繊を確保するようにしてもよい（図 4 3〜図 4 6参

さて、の本発明の全ての露光用 2ステージレーザ装置において、 ¾¾レ —ザ 5 0から放出される s e e d光 2 3は、增 βレーザ 6 0 ©¾β¾«Τ る側ミラー 1側あるいは出力側ミラ一 2側からその入されていたが、增¾レーザ 6 0の^ g»ミラー 1、 2間の何れの位置からでも s e e d 光 2 3を增レーザ 6 0のレーザ発讓妨向に導入すること力できる。そのような齢は、出力側ミラー 2に対向するミラーは側ミラ―と言えな L、ので、リア佴 IJミラー 1 1 1と呼ぶことにする。

以下に、リア側ミラー 1 1 1とチャンバ一 3の間（¾e®W)から導入する齢と、出力側ミラー 2とチヤンバ一 3の間から導入する:^と、チヤンバ一 3内に雄 s e e d光 2 3を導く^^とに分けて難例を説明する。なお、以下では、增 Φ藏レーザ 6 0の難に絞って難例を説明する。そして、增レ一ザ 6 0のを示す図は、特別の^^を除いて、上部から見た図（±翻）を示す。各図にされていない力ソードとアノードの ®C¾¾g 4、 5か«に垂直方向に配置されており、レーザは紙面に対し垂直に生じているものである。また、これらの例では、 ^向（力ソード一ァノート T曰より ¾¾¾ ^に対して垂直な方向において s e e d光 2 3の導入の自由戯いので、この ¾B 方向に対してな方向において s e e d光 2 3を導入する鎌例を示す。しかし、 s e e d光 2 3を導入する方向はこの垂直な方向に限ったものではないので、予めことわっておく。

図 4 8は、増レーザ 6 0のレーザ出射と^側から s e e d光 2 3を注入する 1難例を示す _h翻である。 ¾ ^レーザ 5 0から放出される s e e d 光 2 3はの^ ^ミラー 1 2 1を経て増レーザ 6 0内に '¾λされる図 4 8では 2枚目の^ ¾ミラー 1 2 1を経由し、レーザ i iと^ ί側のゥィンドー辦才 1 7 ¾1 して増巾1¾レーザ 6 0のチヤンバー 3内される。 ¾λされた s e e d光 2 3は ¾«¾ 4、 5間の Φ ^ ) 2 2の側面（紙面の下側）又は ¾¾«2 2 ¾»して出力側ミラー 2側のウインド一部材 1 7 ¾ ^して出力側ミラ一 2に至耐る。出力側ミラー 2は、 "^的に片側の面にミラ一コーティング 1 0を、そしてその反対側の面に防止コ —ティング 9力 ¾|してある。出力側ミラ一 2のミラーコーティング 1 0 がチヤンバ一 3側又はレーザ出加向に向いているかは特に跪されないが、図 4 8ではチャンバ一 3側に施されている。なお、図 4 8にの《¾κ出力側ミラー 2 の部分 ίミラーコーティング 1 0と防止コ一ティング 9をしてある力、以下の例でも同様である。

また、出力側ミラ一 2は、ミラ一コ一ティング 1 0と防止コーテイング 9がされていない鮮纖で誠してもよい。例えば、レーザ光の、藤力 1 9 3 nmの龄、の表 ΒΚ ίは 4 %ggであり、 ®¾表面のの ίを用いると、約 8 %の Η¾率を 9 3 nm用出力ミラ一をコーティングなしで^ ¾することかである。

この出力側ミラ一 2の»励ミラーコ一ティング 1 0で励した s e e d光 2 3は、レ一ザ^ β«に耀してあるリア側ミラ一 (^ ίミラ一） 1 1 1 に向かってされる。そして、 s e e d光 2 3は^^!をるこれら出力側ミラ一 2とリア側ミラー 1 1 1の間で多 fiK^tし、的には ¾¾繊 2 2が s e e d光 2 Sによって満たされる。

s e e d光 2 3が腿観 2 2を満たす過程で、又は、満たした後に增レ —ザ 6 0の ¾1繊2 2に ¾¾¾ じると、レーザ 5 0からの s e e d光 2 3の線幅を引き継いだ出力鶴域化レーザ ¾ ^増 «レーザ 6 0より発振する。

図 4 9は、プリユースタ角に識されていないレーザ出射側と^側のウインドー辦才 1 7での表面 ίを用いて、増 ΦΙ¾レーザ 6 0内に s e e d光 2 3を注入する難例を示す上翻である。鶴域ィレーザ 5 0からの s e e d光 2 3はの^ «ミラ一 1 2 1 由してリア側のウインド一部材 1 7に照射される。照射された s e e d光 2 3はこのウインドー部 1 7の表面 β¾でリァ仰』ミラー 1 1 1 ^½ヽれる。 s e e d光 2 3はリア |ミラ一 1 1 1 で励され出力側ミラ一 2 ,、れる。そして、 «器を^ Tる出力側ミラー 2とリア彻 jミラー 1 1 1の間で多 fiSI†する。

ウィンドー雜 1 7には、 M^C a F₂力用いられている。そして、多くの場合、 s e e d光 2 3は偏光は P偏光である。 C a F₂のに ¾ る^ f生は図 5 0に示す通りである。 s e e d光 2 3のウインドー才 1 7への度はウィンド一雜 1 7の俱斜角度（± 5°以内）と畴しいこと力ましい o そのため、ウィンドー霸 1 7の度がプリユース夕角でない齢に、この例のは儀である。

図 5 1 (a) は、レーザ出射側と寸側のウィンド一 » 1 7の^^に高励率 ^Κ Φ コ一ティング 8を施して、增 ΐΐ^レーザ 6 0内に s e e d光 2 3を ¾λする例を示す上 βである。ウィンド一部衬 1 7がブリュース夕角等でチャンバ一 3にされている;^、図 5 0に示す通り、な s e e d光 2 3 のできない。このには、図 5 1 (b) に示すように、レーザ出射側と寸側のウィンド一 » 1 7のの s e e d光 2 3をる嫩に高反射率 (^Μ) コ一ティング 8を施してある。その他の領域 Jには反射防 itコ一ティングを齡カ\又は、コ一ティングが施されていない。又は、増離レーザく還する «Ηにのみ励防止コーティングを施す力 \又は、コ一ティング力施されていない。そして、その他の ¾¾¾ s e e d光 2 3の ί¾Λに合わせ高反射率 (^Μ) コーティング 8を施す。

この例では、 s e e d光 2 3はウインド一謝 1 7の高励率 (^M) コ一ティング 8の纷で M¾されへリア側ミラー 1 1 1に導かれる。そして、 s e e d光 2 3はリア側ミラ一 1 1 1で励され出力側ミラー 2 ^6、れる。そして、を «する出力側ミラ一 2とリア側ミラ一 1 1 1の間で多 ¾¾fする。図 5 2 (a) は、増酸レーザ 6 0の ¾ §内にビームエキスパンダープリズム系（ビーム 6 1を ¾1した^)、 «II®»から增¾レーザ 6

0内に s e e d光 2 3をする例を示す上面図である。この例では、増幅段レーザ 6 0のリア側ミラ一 1 1 1に Wるレーザ光と出力側ミラー 2 Μ するレーザ光のビームを ife^Tるために、それぞれウインドー謝 1 7とリァ側ミラ一 1 1 1の間、及び、別のウインドー雜 1 7と出力側ミラー 2の間にビ一ムエキスパンダープリズム系 6 1、 6 1力 ¾5置されており、それぞれのビームェキス/、°ンダ一プリズム系 6 1はこの例では 2個の 3¾プリズム 6 2、 6 3力、ら構成されており、 3¾プリズム 6 2の 1面に銷に Λ ίしたビームは別の面に赚駄きな Λ ί¾で内部からして向にビームされて射出し、そのビーム径カされたビーム t ljの H¾プリズム 6 3の；！面に雄に λ!ίし、另の面に ]¾ きなで内部から λ*ίして :¾¾·向にさらにビ一ム径カ¾£^されて射出するものである。

この例において、 s e e d光 2 3を lfegUの^ ίミラ一 1 2 1にてビームエキスパンダープリズム系 6 1へ照 JtTる。 s e e d光 2 3力廳されるプリズム 6 2は、図 5 2 (b) に示すように、内で ¾1するレ一する面 6 4の廳繊 Kに赚防止コ一ティングを施す力 \又は、コーティングが施されていない。 s e e d光 2 3はそのに A†tる。このプリズム 6 2 の面 6 4の雇繊 K外には高励率 (^ M) コ一ティング 8力施してある。図 5 2 (b)の難例では、プリズム 6 2の簡側に高励率 (^Μ) コ―テイング 8か施してあるが、この限りではない。このプリズム 6 2の高率（全 i) コ一ティング 8で励した s e e d光 2 3は増1¾レ一ザ 6 0内 ¾®§して出力側ミラー 2 、れる。そして、 *βをる出力側ミラー 2とリア lミラ一 1 1 1の間で多 MS i る。

なお、図 5 2 (a)の難例では、チャンバ一 3に近い方のプリズム 6 2から s e e d光 2 3がチャンバ一 3内^、れている力この限りではない。ビームエキスパンダープリズム系 6 1力 2個 J¾±プリズムからなる:^は、どのプリズムのどの面を删して s e e d光 2 3を増レ一ザ 6 0内に導いてもよい。次に、增¾レーザ 6 0の出力側ミラー 2とチヤンバー 3の間から s e e d光 2 3を ¾λする例を説明する。

図 5 3は、図 4 8に対応する «例の上 βである。この例では、増 βレーザ 6 0の出力側ミラ一 2とレーザチヤンバ一 3の間からから s e e d光 2 3をレ —ザチヤンバー 3内する難例である。 s e e d光 2 3はの:!枚 J¾±の^ ミラー 1 2 1雄て增 βレーザ 6 0内に' ¾λされる。図 5 3では、出力側ミラ一 2とレーザチヤンバー 3の間の 2枚目の^ Wミラ一 1 2 1雄由し、ウィンド一 ¾¾才1 7を透過して增レーザ 6 0のチャンバ一 3内^ される。 '¾λされた s e e d光 2 3 mMM Φ ^) 2 2の仴 Ι滅（紙面の下側）又は觸 «2 2 ¾i ^してリア側ミラー 1 1 1側のウィンド一謝 1 7 ¾S過して、

0の^ βのチヤンバ一 3を挟んで出力側ミラーの Η¾側に! ¾Sされた^ Κ¾ミラーのリァ側ミラ一 1 1 1に至 1 する。そして、その s e e d光 2 3はまた出力側ミラ一 2へ向けてさ tk さらに、その s e e d光 2 3は出力側ミラ一 2の励ミラーコーティング 1 0 (図 4 8 )で励され、的には出力 ί則ミラ一 2とリァ側ミラ一 1 1 1の間で s e e d光 2 3の多される。そして、には ¾^領或 2 2力 s e e d光 2 3によつて満たされる。出力側ミラ一 2は、勺に片側の面に敏励ミラ一コ一ティング 1 0を、そしてその ^寸側の面に防止コーティング 9力施してある。出力側ミラ一 2の »顾ミラ一コ一ティング 1 0力《チャンバ一 3側又はレーザ出; "向に向いているかは特にされない（図 4 8の説明参 )

s e e d光 2 3力 ¾(S^2 2を満たす過程でヽ又は、満たした後に増 ΦΙ^レ —ザ 6

2に方 ¾®6性じると、レーザ 5 0力ヽらの s e e d光 2 3の線幅を引き継いだ萵出力域化レ一ザ¾ ^増 ¾レーザ 6 0より藤する。

図 5 4は、図 4 9に対応する難例の上面図である。この例では、 ^¾レ一ザ 5 0からの s e e d光 2 3は lfe&Lhのミラー 1 2 1での励を経由して出力側ミラー 2側のウインドー謝 1 7に廳される。廳された s e e d光 2 3はこのウィンドー辦才 1 7の表面励で出力側ミラ一 2 導かれる。 s e e d光 2 3は出力側ミラ一 2 扮 Ιίミラ一コーティング 1 0 (図 4 8 )で励さォレリア^ミラ一 1 1 1 ,、れる。そして、 «11を«する出力側ミラ一 2 とリァ側ミラー 1 1 1の間で多る。

この齢も、ウィンド一辦才 1 7には、 ffi C a F₂力用いられている。そして、多くの^、 s e e d光 2 3はは P である。 C a F₂の P に対する^ f生は図 5 0に^ "通りである。 s e e d光 2 3のウィンド一辦才 1 7 への AI^度はウィンド一才 i Ϊの鍵俱斜角度（± 5°以内）と嶋しいことカ璧ましい。そのため、ウィンド一誠才 1 7の^^^^プリユースタ角でない；^に、この例の'; ¾λ¾¾はである。

図 5 5は、図 5 1に対応する¾例の上である。この ¾例は、レーザ出射側のウィンド一 l 7のに高^ Ιί率 (^Μ コ—ティング 8を施して、増 βレーザ 6 0内に s e e d光 2 Sを' ¾Λする ¾!S例であり、ウインド一部材 1 7がブリュース夕角等でチャンバ一 3に ¾1されている^"、図 5 O ^ 通り、な s e e d光 2 3の^! ^湖待できない。この^^には、図 5 5 (b ) に示すように、レーザ出射側のウィンド一部讨 1 7の^ g|5の s e e d光 2 3を ^»る«に高反射率（^S ) コ一ティング 8を施してある。その他の « Jには励防止コ一ティングを »カ\又は、コ一ティングが施されていない。又は、增レ一ザ:^ ¾!¾する敏 Hにのみ励防止コ一ティングを ¾ 力 \ 又は、コ一ティングが施されていない。そして、その他の »に s e e d光 2 3 の ¾λに合わせ高率コ一ティング 8を施す。

この例では、 s e e d光 2 3はウィンド一 7の高 KSi率 (^ ) コ— ティング 8の船で励さ† 出力側ミラ一 2に 6、れる。そして、 s e e d光 2 3は出力側ミラー 2で繊されリア側ミラー 1 1 1 ^6、れる。そして、器を «する出力側ミラー 2とリア側ミラ一 1 1 1の間で多 MK tする。

図 5 6は、図 5 2に対応する雄例の上翻である。ただし、この難例では、増^ ¾レーザ 6 0の出力側ミラ一 2に Altするレ一ザ光のビームを拡大するためにだけウインドー l 7と出力側ミラ一 2の間にビームエキスパンダ一プリズム系 6 1力 ¾置されており、リア側ミラ一 1 1 1側には配置されていない。このビームエキスパンダープリズム系 6 1はこの例では 2個の三角プリズム 6 2、 6 3から難されており、 ¾プリズム 6 2の 1面に飽に λ!ίしたビームは別の面にきなで内部から λ!ίして 1¾¾ ^向にビームされて射出し、そのビーム擦 ¾Λされたビーム tt^ijのプリズム 6 3の 1面に直角に λ¾し、別の面にきな Λ ^で内部から λ!ίして "向にさらにビーム ¾έΛされて射出するものである。レーザ 5 0からの s e e d光 2 3力照射されるプリズム 6 2は、図 5 2 (b)のような纖をしている。このプリズム 6 2の高励率 (^ ) コ―ティング 8で励した s e e d光 2 3は増酸レーザ 6 0内 ¾® してリア側ミラ — 1 1 1 ^¾、れる。そして、をる出力側ミラ一 2とリア側ミラ一 1 1 1の間で多る。

なお、図 5 6の ^例では、チャンバ一 3に近い方のプリズム 6 2力、ら s e e d光 2 3力チャンバ一 3内^ Eかれている力この限りではない。ビームエキスパンダープリズム系 6 1力 2個 J:プリズムからなるは、どのプリズムのどの面を麵して s e e d光 2 3を増 ¾レ一ザ 6 0内に導いてもよい。

次に、增廠レ一ザ 6 0のレーザチャンバ一 3内に雄 s e e d光 2 3を導く難例を翻する。

図 5 7は、增廠レ一ザ 6 0のレーザチャンバ一 3の仰湎に s e e d光 2 3を ¾λするための s e e d3¾aXウインド一 6 5を取り付け、 s e e d光 2 3を放電御或 2 2 するようにした Λ例の上である。 s e e d«Aゥィンド一 6 5の βには、防止コーティングを施してもよい力、必ずしも必要なものではない。 s e e d光 2 3は l

ミラー 1 2 1より i曽レ一ザ 6 0内に ίίλされる。図 5 7では、チャンバ一 3内の 2枚目の^ ¾fミラ一 1

2 1 由して増レーザ 6のチヤンバ一 3内の霜領域 2 2 ^ίϊΛされる。 ¾λされた s e e d光 2 3は観 2 2の彻雁（紙面の下側）又は ¾S« 2

2 ¾Mして、リア側ミラ一 1 1 1側のウインド一してリア側ミラ一 1 1 1に至 »る。このリア側ミラー 1 1 1で励した s e e d光 2 3はレ —ザに ¾1してある出力側ミラー 2に向かう。そして、 s e e d光 2

3は^ ¾を "るこれら出力側ミラ一 2のミラ一コ一ティング 1 0

(図 4 8 ) とリア側ミラー 1 1 1の間で多 mS iし、纖的には觸繊 2 2が s e e d光 2 3によって満たされる。

s e e d光 2 3か観繊 2 2を満たす過程で、又は、満たした後に增¾レ —ザ 6 0の ¾^ |¾ 2 2にじると、 ^¾レーザ 5 0力、らの s e e d光

2 3の線幅を引き継いだ葛出力域化レーザ増レーザ 6 0より難する o

なお、図 5 7の例では、リア側ミラ一 1 1 1に向かって s e e d光 2 3力 ¾λ されているが、この限りではない。出力側ミラ一 2へ向かって ¾λするようにしてもよい。

図 5 8は、チャンバ一 3内に配置する s e e d光 2 3 ¾¾ "る謝として、ミラー 1 2 1の代わりに^ ^プリズム 1 2 2を用いた例であり、それ J¾Hは図 5 7の^"と同様であるので、 ^^プリズム 1 2 2についてのみ説明する。 ^SIiプリズム 1 2はコーティングが施されていない C a F₂製のプリズムである。この ^¾プリズム 1 2 2を用いると、 ^^ミラー 1 2 1を用いた龄に生じる高 H¾率 (^Μϋ ミラ一コ一ティングのレーザガス又はレーザ装置内による劣ィ 5な子としての何能となる図 5 9は、入力ミラー 1に纷膜 1 0をコーティングすることにより、入カミラ一 1のから ΛΛミラ一 ¾1 ^させて、 s e e d光 2 3を ¾λする難例を示す上翻である。これを以下、 ¾¾λ¾¾という。 ¾=f域ィレ一ザ 5 0からの s e e d光 2 3は 1¾¾±の^ Κ ίミラー 1 2 1を経由して増レーザ 6 0の^ ¾)リァ側のミラ一であるミラー 1の ¾®に増酸の

»，由とさせて導人、される。このミラ一 1には、 rn

1 0か施されており、 s e e d光 2 3のは、増内部に ¾λされ、残りの s e e d光 2 3は励される。そして、器を«する出力彻 jミラ一

2と側ミラー 1の間力 s e e d光 2 3によって満たされる。そして、葡 §4 、 5間に高 Eを El¾口し觸する。この ¾Sにより、 s e e d光 2 3は誘教出により増幅さ^かつ、雄により増驟レーザ 6 0がレーザ難する。この:^:のメリットはゝ増ΐ¾レーザ 6 0の 3¾由と s e e d光 2 3の由力一致しているため、（1 ) ァライメントカ^ であること、（2 ) s e e d光 2 3 の由ず'れの溶範隨広くなること、（ 3 )增酸レーザ^^内を s e e d 光 2 3で満たすのに、 0. 5往復でよいので、 A S Eのを嫌 IJできる可能力ある。 £Lhのような ββλ^Γ^®となるのが、ミラー 1の率の顧化である。

図 6 0に、 ΛΛ側ミラー 1 (リアミラ一の励率）と ¾λ同後のレーザ出力の隱を示す。禱由と樾由は、それぞれ默出力で湖匕したときの相対出力とミラーの Ιί率を示す。これは、 ^¾レーザの出力とし、出力ミラ約 3 0 %の励率で ΛΛミラ一 1の励率を変化させたときの同期後の出力である ο このグラフから、出力が駄となるミラーの励率は約 9 0 %であり、駄出力の 1ノ 2となるミラ一の励率の範囲は約 3 6 %から約 9 8 %であつた。したがって、このような ¾¾Λ^¾における ΛΛ側ミラーの励率の «I値は約 9 0 %であり、觀可能なミラ— 1の励率の範囲は、鍵値の出力の約粉とすると、範囲はおおよそ 3 6 %から 9 8 %となった。

図 6 1は、図 3 5の^と同一座標軸かつ同一増巾! ¾レ一ザ長 L

= 1 0 0 O mm ¾¾fSW = 2. 5 mm ΛΛ側ミラー 1と出力ミラーは TO 配置で、 6往復のとし、 ΛΛミラ一 1の ¾®から s e e d光 2 3を λΛ』ミラ一 1に ¾λした^ ©、 s e e d光 2 3の ¾ ^度 Sinと位置 Xinに関して铺可能な観を示す。この図における多角 TO繊は、図 3 7及び図 3 8で求めた多角に比べて大きくなつた。このことは、図 3 5に示すような斜め λ!ίによる ¾λ¾¾の場合と職して、図 5 9に示すような ¾¾λ ^の:^ の方が、 s e e d光 2 3の由の麵讓勛《広くなる。その結レ一ザの性能（エネルギ安定 ¾、同期許容値等）の安定 ¾Λ良くなる。

図 6 2及び図 6 3に、 ±曽¾レーザ 6 0の^ 中のビームスプリッタ 1 1 2 ¾ ^して s e e d光 2 3を增レーザ 6 0内入する^;の難例の上面図を示す。図 6 2の;^は、 ^^膜 8をコ一ティングしたリア側ミラ一 1 1 1 とリア側のウィンド一 1 7と間に、部分 ^膜 1 0をコーティングしたビームスプリッタ 1 1 2を配置して、增¾レ一ザ 6 0内に s e e d光 2 3を導入した例である。図 6 3の:^は、フロント側ウインド一 1 7と出力側ミラー 2との間に m i oをコ一ティングしたビ一ムスプリッタ 1 1 2を配置して、増幅段レーザ 6 0内に s e e d光 2 3を導入した例である。 »域ィヒ¾¾レーザ 5 0 からの s e e d光 2 3は：の^ Mミラー 1 2 1を経由して増レーザ 6 0の内に配置されているビ一ムスプリッタ 1 1 2に導入、照射される。このビームスプリッタ 1 1 2には、膜 1 0力施されており、 s e e d光 2 3が"^ さ k増 ^^βω内部に由と [して &λされる。残りの透過した s e e d光 2 3は捨てられる。そして、 » ^を^^するリァ側ミラ一 1 1 1と ΛΛ側ミラ一 2の曰 ¾5 s e e d光 2 3によって満たされる。そして、廳4、 5間に高紐を口し ¾¾Τる。この漏により、 s e e d光 2 3は誘出により増幅し、かつ、そのにより、増驗レーザ 6 0がレ —ザ聽する。この例は、図 5 9の例に比べると、増1¾レーザ 6 0の内にビームスプリッタ 1 1 2を ¾Sすることにより鉄 ¾¾¾するため、出力 « Jヽさくなる。ただし、前述したメリット（1)〜（3) は膽可能である。

なお、図 6 2及び図 6 3の例のでは、ビームスプリッタ 1 1 2 して中に s e e d光 2 3を導入した力^ レーザウインド一 1 7に ¾ ^励膜をコーティングして、これに上記のビームスプリッタと同様のを持たせて、と略同軸となるように導入してもよい。また、ビ一ムスプリッタ 1 1 2により、まず、の方向に s e e d光 2 3を導入した力、リァ側ミラー 1 1 1方向又は出力側ミラー 2方向に導入するようにしてもよい。何れの齢も、ミラーから増 βレーザへる ¾ ^増幅される。ただし、この齢、 s e e d光 2 3は、図 6 2及び図 6 3の;^に比べて、 s e e d光 2 3の ί鉄力大きくなるため、レーザ 5 0の出力を高くする必要がある。

図 6 4は、ビームスプリッタ 1 1 2により出力側ミラ一 1を透過させて s e e d光 2 3を ¾Λする難例を示す上翻である。 3蝶域ィ!^繊レ一ザ 5 0からの s e e d光 2 3は、 1 ¾¾±の^ ミラ一 1 2 1を経由して増 βレーザ 6 0の共出力側ミラ一 2にビームスプリッタ 1 1 2 ¾ ^して増幅段の^ » の由と [させて導入、照射される。このビ一ムスプリッタ 1 1 2には、部分励膜 1 0力施されており、 s e e d光 2 3の; »は捨てら励光は出力側ミラー 2に入力される。 s e e d光 3 2の出力側ミラ一 1の増幅内部に ¾λされる。残りの s e e d光 2 3は出力側ミラ一 1により反射される。そして、を J¾する出力側ミラー 2とリア個 jミラ一 1 1 1の間で s e e d光 2 3によって満たされる。そして、 4、 5間に高 ¾ϊを E|¾口し ¾® る。この觸により、 s e e d光 2 3は^ ¾出により増幅さかつ、そのにより増 βレーザ 6 0力レーザする。この例は、図 5 9の^ より、ビ一ムスプリッタ 1 1 2及び出力側ミラー 2 ¾ して &λ¾^力ぃため、図 5 9のに比べて、 s e e ά光の損失が大きくなるため、 ^¾レ一ザ 5 0の出力を高くする必要がある。ただし、前述したメリット（1)〜（3) は維持可能である。

ところで、レーザ 5 0からのレーザ光径と増巾 ϊ¾レーザ 6 0からの出力レーザ光径カ等しく、 ^^系 7 0 ¾ ^在させなくともよい齢に、 |«レ —ザ 5 0のフロントミラー 5 2と増 ¾レーザ 6 0の ΛΛ側ミラー 1とを^"させる S5¾とすることも可能である。その H½例の W»¾を図 6 5の上面図に示す。この例では、この^ "ミラ一 5 2 _ 1 ¾¾¾レーザ 5 0と増 βレーザ 6 0カ^■するように] してし、ミラー 5 2 _ 1の透明の表面レーザ 5 0のフロントミラ一 5 2のためのミラ一面として部分励ミラ一コ一ティングし、雜ミラ一 5 2— 1の透 ¾¾¾©¾®を増 ¾レ —ザ 6 0の側ミラー 1用に、例えば ® 5に示したように、 s e e d體入孔 7" を除いたに高励率のミラ一コーティングを施して; ればよい。なお、離ミラー 5 2— 1の透明繊の表面は、 ^¾レーザ 5 0のための^! のフロントミラ一 5 2のためのとし、その ¾®は、増 βレーザ 6 0の入力側ミラ一 1のための ¾ある Lヽは麵とする。

図 6 6に、 ¾Κλの^ ^ϊζを示す。レーザ 5 0からのレー 1 ^径と増^ ¾レーザ 6 0からの出力レーザ光径がしく、 ^^系 7 0 ¾ ^在させなくてもよい;^に、 ¾ ^レーザ 5 0のフロントミラ一 5 2と增巾§ ^レーザ 6

ングした ΛΛ側ミラ一 5 2— 2を^ させるとすることも可能である。なお、

oのコ一ティングは、側ミラ —の

oを片面に施した共ミラ一 2 5— 2 ¾¾«レーザ 5 0と増 βレーザ 6 0力するように 1¾#を«してする。 »域ィ匕モジュール 5 1と共苜ミラ一 2 5一 2 のき盼面ととして ^^レーザ 5 0力し、 s e e d ^ ミラ - 2 5 - 2の扮 H¾面から出力されると同時に、 * ミラ一 2 5— 2と出力側ミラ一2からなる ¾ ^レーザ 6 0の内部に謹 s e e d光として ΛΛされる。そして、 ¾4、 5間に高 ¾ϊを Effi)口し ¾Μする。このにより s e e d光は誘«出により増幅さかつ、そのにより增 ¾レーザ 6 0がレ一ザ難する。この^ Φ«ミラーの励率は、図 6 0の範囲であれば織である。

この^のメリットを ¾®¾λ¾¾のメリット（；！）〜（3 ) に ϋ¾口して J¾下に示す。レーザ 5 0のフロントミラーと増 βレーザの ΛΛ側ミラーに部分励膜を施した ¾ミラ一 5 2— 2により ¾ 化しているため、（1 ) s e e d光を導人するための λ¾^不用で、そのためコンパクトで安価となる。（ 2 ) s e e ά光を跌させることなく i igレーザ、の内部への' 可肯で、このため、レーザの出力は小さく、かつ、コンパクトなレーザでよい。（3) レーザと增i¾レーザの由が ¾ ^しているため、 ym

IM かつ由の安定^よくなる。

図 6 5及び図 6 6の実施例の効果の違 t、は、図 6 6の実施例の場^方が、発レ一ザ 5 0のフロントミラーと増 βレーザ 6 0の側ミラ一を片面の部分励膜を施した贿ミラ一 5 2— 2により蹄化しているため、レーザ 5 0の出力が口スすることなく、増 βレーザ 6 0の内に全て s e e d光 2 3が注入されるため、レーザの出力が小出力でよい。このため、発 ¾^ レーザ 5 0の/」ィ b¾D¾Sコストィ ^ f能となる。

さて、本発明のの露細 2ステージレーザ装置は、 ¾»レ一ザと同等の空間コヒーレンスの低コヒーレンスィ匕るために、増 ¾レーザにファプリぺロ一エタ口ン型のある、はその 2枚のミラ一を相互に ¾=P傾けたを用いるものであり、かつ、增レーザのレーザガスの利得 H¾を s e e d光で埋め婢的な増幅をせるために、 ^¾レーザから顯された s e e d光として通を有するものを用いるものであるが、增 Ψϊ ^レーザに徵のミラ一からなるリンクの^^!を用いても、空間コヒーレンスの低コヒーレンスィ匕 ¾i ^ること力できる。

そのようなリング型のを用いる «例の 1つのを図 6 7の側面図に示す。この例では、レーザ 5 0力、らの s e e d光は 9雜て « ^系 7 0で所望のビーム «小さ増 βレーザ 6 0に λλΓΤる。.増 ¾レーザ 6 0は、入出力用の纷励ミラー 9 1と、扮ミラ一 9 1を透過した s e e d光を耐する^ *tミラー 9 2と、湖面を 2βえ、 λΜ^ 向に B§TOな寸方向に励させる^ プリズム（ルーフプリズム） 9 3 とからなるリング 3 ^器を備えており、リンク全ての面は ffi からなる。そのため、 ¾i¾ S iミラ一 9 1及 D^S iミラー 9 2と^ Mt¾プリズム 9 3の間に位置するチャンバ一 3内の利得観幌繊散を s e e d^このリンク内を回りながら埋めることカ^ llとなり、そこで i曽幅されたレーザ光は ^ ミラー 9 1 ¾ 過して出力される。

図 6 8はリンクを用いる別の雄例の鐘の平翻であり、麵段レーザ 5 0からの s e e d光は Ιίミラ一 9 9 ¾¾て、増 βレーザ 6 0に入方する。 i曽^レーザ 6 0は、入出力用の扮ミラー 9 1と、纷 tミラ一 9 1 ¾¾¾した s e e d光を II頃に励して敏励ミラ一 9 1へ戻す 3枚の全励ミラ一 9 2、 9 4、 9 5とからなるリンク ¾¾¾を備えており、リンク全ての励面は平面からなる。そのため、 ¾ ^励ミラー 9 1及射ミラ一 9 2と^ ¾ミラ一 9 4及び 9 5の間に位置するチヤンバ一 3内の利得繊 w ¾¾¾を s e _e d¾ ^このリンク！内を回りながら埋めることカ^]!となり、そこで曾幅されたレーザ光は » ミラ一 9 1 ¾§ 過して出力される。

ところで、本発明鶴は、先に説明してきた MO P 0;¾S;の敲定性、高出力細い線幅である利点を'? ¾6、しつつ、空間コヒ一レンスを低くした 2ステ一ジレーザ装置において、さらに、以下に示すように增 βレーザの

長を^することで、より^ ίΦ«¾ に適した 2ステージレーザ装置を提供できることを見出した。本発明 ¾ ^は、実験を重ねた結果、増レーザのによってはヽ増 Φ驟レ一ザから出力されたレ一ザ光のビームプロファィノ赚に干 »、°夕 ―ンカする^があることを発見した。

この干ヽ°ターンの！^により、ビームプロフアイノ1«の文匕する。また、 ^¾レーザ 5 0から出力される s e e d光 2 3の中機の変ィ. L 増 Φ離レーザ 6 0の長の変ィ! ^によって干嫩ヽ。ターンが時 ¾ と共に移 SrTるので、ビームプロファイルの安定性も悪くなる。

露; ^置の露である 2ステージレーザ装置から出力されるレーザ光のビームプロファィノ纖は、露置のマスク均一照明に及ぼす景大きく、そのため、 (例えば、ゥ、）上での露纖 δに大きな景揚を及ぼす。また、この干、。ターンの麵によってレーザ光の出力が大きく麵し、レ一ザ光の出力啣か灘しくなっていた。

干^!^ターンの融について、図 6 9ヽ図 7 0を用い Τ|½明する。図 6 9は、本発明を適用した MO P 0¾¾の 2ステージレーザ装置の梅鹏図と、レーザ光樹生とを示す図である。ここで、 (a) は、本発明した MO P 0¾¾の 2 ステージレーザ、装置の «図、 (b) は、 ^ ¾レ一ザから出力される »域化されたレーザ光のスペクトルプロファイル、（c) は、増レーザから出力されたレ一ザ光の断 β (ビームプロファイノ 1«) を示す。

図 6 9において、例えば、 ¾ ^レーザ 5 0から出力される »域化されたレ —ザ光 ( s e e d光 2 3)のスぺクトルプ口ファイルが図 6 9 (b) に示すものであったとする。この s e e d光 2 3を増 βレーザ 6 0の (例えば、入力側ミラー 1と出力側ミラ一 2とで «される）内に ¾λし、增« ^させる。ここで、増巾酸レ一ザ 6 0の讓安^ «あるいはその 2枚のミラーを相互に^頃けた *βで、かつ、 ΛΛ側（^Κ Φ ミラー 1と出力御 ( ^m) ミラ一 2とで m¾されている^ヽ s e e d光 2 3は、 ΛΛ個 jミラー増レーザ 6 0の繊 2 2 ¾®gして増幅される。 ¾¾繊 2 2 ¾1Μした增 Φ就は »励ミラ一である出力側ミラ一 2にし、その一部は、出力側ミラ一 2 して第 1のレーザ光 K 1として出力される。

一方、出力側ミラ一 2よりされた増は、 ¾S«22¾®ϋϋΤϋΨΐ さ^ 側ミラー 1にる。 ΛΛ側ミラ一 1で^^された増 Ψ就は、放電繊 2 して増幅さ出力側ミラー 2に λ¾し、その"^は出力側ミラ一 2 ¾1 ^して第 2のレーザ光 Κ 2として出力される。また、残りの增 Ψ就は

、出力側ミラー 2により増幅1^22へ励される。增レーザ 60の *β では、このような濯喿り返す。

謂 3した第 1のレーザ光 Κ 1及び第 2のレーザ光 Κ 2は、両レーザ光の舰差力 ¾搬レ一ザ 50から出力される s e e d光 23のスぺクトル幅に対応する時間的コヒ一レント長 Lc より短い ¾ ^に、干渉する。

ここで、レーザ光の時間的コヒ一レンス長 L_cは、レーザ光の、をス、スぺクトノ幅を厶スとしたとき、式（9) により定義される文献 1)。

Lc =λ^ζ / · · · (9) ここで、空間的コヒ一レンスの讓のときと同様に、図 69 (a) の B— B断 ®_hの干 ^1†生は、ビジピリテイ一と «差 " iffiすること力できる。このの差は、レーザ光 (s e e d7¾)力^^に Λίしてからその ¾S ^から出力されるまでに it/だ ί隱に相当するので、増 ¾レーザ 60の ¾β長 Lの略

2倍とすること力できる。また、ビジピリティ一は Ι3 (10)式により求めること力できる。

ビジピリティ一

—干 ^^ターンの最小フリンジ嫩 I_min ) ÷ (干 »、°ターンの駄フリンジ敵 I_mas

+干 »ヽ°ターンの最小フリンジ舊 I_min )

• · · (10) 図 70に、增 11¾：レーザの長 Lの 2倍と干 «、°ターンのビジピリティ —との隱を示す。図 70から明らかなように、増レ一ザ 60の共長の 2倍の長さ 1のレーザ光 Κ 1と第 2のレーザ光 Κ 2との^^に略力くなるにつれて増レーザ 6 0から出力されるレーザ光のビームプ口ファイル上に数するの干 « ^ターンのビジピリティ一が小さくなる。また、 ¾ ^レーザ 5 0カヽら出力される s e e d光 2 3の時間的コヒーレンス長 Lc よりも増 Ιΐ©レーザ 6 0の *β長 Lの略 2倍の長さカくなると、干ヽ。タ ―ンはほとんど消えること力明らかになつた。

例えば、 A r Fレ一ザ、の MO P 0¾¾の露 ^ S^ 2ステージレーザ、装置において、レーザ 5 0から出力される s e e d光 2 3のスぺクトノ HI幅 (^ίί ) が厶 λ 0. 2 p m、 ¾S* = 1 9 3. 4 nmの；！^、時間的コヒーレンス長 L_c は（9 )式から Lc = 0. 1 8 6 m@gになる。した力つて、出力されたレーザ光のビームプロフアイルに干、 °ターン ¾¾4させないためには、増 βレーザ 6 0の^ ¾長 Lは 0. 1 8 6 / 2 = 0. 0 9 3 mJ^Lhの長さ力く必要となる。

図 6 7及び図 6 8に示すような增巾酸レーザ 6 0の器としてリンク ¾の共 βを用いる^"において、増巾酸レーザ 6 0から出力されるレーザ光のビームプロフアイル上に干タ一ンカ徵しないようにするためには、以下のような雜を満たせばよい。

図 6 7の; ^は、 s e e d光 2 3 (レーザが励ミラー 9 1 ΚλΜ^ して出力される位置から、そのレ一ザ¾6^¾ミラ一 9 2、 ^ΚΙί鎖プリズム 9 3経由して再び扮 Η ίミラ一 9 1に至 I»るまでの;) が、時間的コヒーレント長 Lc よりも長ければよい。

図 6 8の： ^は、 s e e d光 2 3 (レーザ力敝励ミラー 9 1に λ» »して出力される位置から、そのレーザミラ一 9 2、 9 4、 9 5を経由して再び ¾^« 9 1に至 i るまでの力、時間的コヒ一レント長 Lcよりも長ければよい。すなわち、図 6 7、図 6 8において、船励ミラ一 9 1によって儘されたレーザ ¾¾ び重ね合わせられたときに、それぞれの光の«¾カ¾¾レ一ザから出力される s e e d光 2 3のスぺク HI幅に対応する時間的コヒーレント長 Lc よりも長くすることによって、増驗レーザ 6 0から出力されるレーザ光のビームプロフアイノレ上に干、°ターンカ链するのを嫌ることができ h、本発明の露光用 2ステージレーザ装置をその∞と¾¾例に基づい Τ|½ 明してきたが、本発明はこれら »例に,され «々の河能である。例えば、本発明の露細 2ステージレーザ装置がフッ素好 (F₂ ) レーザ装置である齢、レーザ 5 0は、 »域化モジュール 5 1のりに、レ一る側からに配置された少なくとも 1つの角^ 子と^ ¾ ミラーとからなるラインセレクトモジュールを備えていてもよい。

すなわち、 F₂ レーザ装置から出力されるレーザ光には、主な麵觀が 2つ

( λ！ =157. 6299m, λ ₂ -157. 5233nm： 2 ) する。両ラインのスぺクト幅 (FWHM) は約 1 p mggである。露置の露系が反射屈折系 (catadioptric system ) の:^、碰3したのスぺクトメ幅でも力柳えられる。

よって、この: ^は、通常はフリーラン時において認 3両ラインの中の強度の強い; I i (=157. 6299m)のラインを、したラインセレクトモジュ —ルによりする。

なお、このようなラインセレクトモジュールは必ずしも発 ¾gレーザ 5 0に設ける必要はなく、増 Ψ畐段レーザ 6 0の出力側ミラ一 2の出力; W中に設けてもよい。

ここで、增レ一ザ 6 0から出力されるレーザ光のビームプロファイル上に干^!^ターンカ徵するのを綱るは、 ^¾レーザ 5 0の時間的コヒ —レント長 Lc と厳して、 Ιϋ!3したように増酸レーザ 6 0の ¾β長 Lを設る。このとき、時間的コヒーレント長 Lcを ( 9)式から求める際、発レーザ 5 0のスぺクトノ I泉幅厶 λは以下のようになる。ここで、露光用 2ステージレーザ装置が、レーザ 5 0のリァ側にラインセレクトモジュールを備える F₂ レーザ、装置である^、ラインセレクトモジュ —ルで娠 λ！ (=157.6299m) ¾S したときのレーザ光（ s e e d光 2 3 ) の出力とラインセレクトモジュールで 2 (=157.5233m) ¾SRしたときのレーザ光 (s e e d光 2 3)の出力とを厳すると、、藤 1₂のレ一ザ光の出力は觀のレーザ光の出力に対し" 0^ 2 0 %小さいにすぎない。よって、この^^は、 ¾¾λ₂をラインセレクトモジュールで ¾することも可倉である。すなわち、嫌 3スぺクトノ幅 Δ λは、ラインセレクトモジュールで徹された «λ _χ (=157.6299m)又は- ₂ (=157.5233m) のラインのスぺクト赠幅である。

また、 2ステージレーザ装置が、増 βレーザ 6 0の出力側ミラ一 2の外部にラインセレクトモジュールを設けた F ₂ レーザ装置である^、スぺクトノ HI幅厶スは、 =157.6299 、觀 λ ₂ =157.5233 の 2つの主な発振ラインの中、 ¾gの強い-^ g; ラインのスぺクトノ i ¾幅である。の利用可能 t生

本発明の露 2ステージレーザ、装置によると、レーザとして麵レーザ光に発散を有するものが用いらすレ増レーザはファプリペローエタ口ン型を備え、その « ^は安 ^^を霞しているので、あるいは、レーザとして赚レ一ザ光に発散を有するものが用いら增 $酸レーザは、入出力用の励ミラーと、 ¾§Ι¾}·Μ*ίミラーを経てされたレーザ光を励させ T¾g|^«位置へ戻 «のミラーとを備えたリング^ «を備え、その扮ミラー及びの^ Wミラーは平面からなるので、 MO P 0 の利点である、チャンバ一間の同期タイミンク麵に対して出力麵カ«で、エネル按定 ' 稿く、高出力 $婢であり、レーザからのレーザ（s e e d)エネルギが小さくてよく、 ¾¾レ一ザからのレーザパルスの後半部はラゥンドトリッブカ^くなるためスぺク I泉幅が狭く、この後半部の裾 » ( t a i 1 )を増幅できるため、線巾勖細い観に加えて、 ΜΟ ΡΑ^ϊζ© 禾 ij点である、空間コヒ一レンスカ¾い、すなわち、ビーム方向のシェア量 ( ピンホール間隔）を同じとした：^、干應のビジピリティーカ^く空間的な可干渉剛氐ぃ観を備える。

ここで、レーザでさ曾レーザに ΛΛされるレーザ光の^ ώと、増 Ψ ¾レーザの由と力角度をなすように ¾¾Τれば、さらに空間的な可干渉 Sぃ觀を備える。

また、增 ¾レーザの *β長の略 2倍の長さ力レーザのスぺク H泉幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるように離すれば、あるいは、リング ¾^«®mg力レーザのスぺクトノ 1泉幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるようにすれば、増レーザから出力されるレ —ザ光のビームプロフアイル上に数する干 »、°タ一ンを嫌 litること力できる。したがって、ビームプロファイルの ¾$w生を «し、を fitiirることができる。そのため、露體置のマスクへの照明の均 ~生 ¾ tすることカでき、特に、體翻に適した 2ステージレーザ装置カ^られる。

なお、レーザとして纖レ一ザ光に発散を有するものを割することに

ΜΟ Ρ Ο¾¾の上 t ij点に加えて、空間的な可干満生力^

装 Mfflに適した 2ステージレーザ装置カ尋られる。

さらに、リァ側ミラ一及び出力側ミラ一の励面は ¾で灘さ t リァ側ミラ一及び出力側ミラーの瀬 ¾«レ一ザで難さ ii曾 Φ離レーザに ΛΛされるレーザ光の由に対して角度をなすように、かつ、相互に角度をなすように離さレーザで藤されたレーザ ¾^雨方のミラー間の議より長い側から^ ¾内にされるように « ることにより、上記の増 βレーザに ΛΛされるレーザ光の由を増敏レ一ザの由と角度をなすように ¾ ^る^ ©利点に加之て、レーザ出力の i| ^：、パルス幅の伸長、増 ¾レーザにされるレーザ光の ¾λの自由度の確保、 ^¾レーザのピークの低下を図ること力可能になり、半置用により適した 2ステージレーザ装置カ尋られる c

Claims

請求の範囲

1. ：レ一ザと、 ¾ ^レーザで ^されたレーザ光をしてそのレーザ光を増幅して出る増レーザとからなり、 ^¾レーザ、増 ¾レ —ザ共にレーザガスが 3¾¾されたチヤンバ一を備えている露 2ステージレ一ザ装置において、

«¾レ一ザとして繊レーザ光に発散を有するものが用いら増 βレーザはフアブリペローエタロンを備え、は安^ ^を «していることを特敷とする露光用 2ステージレーザ装置。

2. fOIS^は、レーザで ¾gされたレ一ザ¾^ ^7される側ミラ一と、増幅されたレ一ザ¾ ^出力される出力側ミラーとからなり、 ΙυΙΗλ 力側ミラ一は、認^ ¾レ一ザで藤されたレーザ光を謂 S«中に導入するに^ ¾ミラーコ一ティングを有する^ ¾ミラーからなり、 |配出力側ミラーは平面の励ミラーからなることをとする請求項 1言 Ε¾の露光用 2ステージレーザ装置。

3. t Jimミラーの @¾の略中、部に、レーザ'でされたレーザ光を中に導入するの子 LXはスリットカ設けられていることを «とする請求項 2言凍の露 2ステージレーザ装置。

4. 謂 ΗλΛ側ミラーの明謙で難し、該透明纖の表面の略中心部の ΙϋΙ^Κ:レーザでされたレーザ光を器中に導人する^^ の！ Ι¾ はその?^を含むスリットの周辺部に^ ¾ミラーコ一ティングが施されていることを!^とする請求項 2言藤の露;^ 2ステージレーザ装置

5. E^gレーザ、で^されたレーザ光を、 ΙίϋΕλΛ側ミラ一の周辺又は^ ¾ミラ一コ一ティングか施されていない周辺部から應¾«中に導入するように: wされていること ¾ mとする請求項 2から 4の何れか 1 rnrn^ 露光用 2ステージレーザ装置。

6. Ιί]|¾»は、レーザで赚されたレーザ ¾6 λΛされる ΛΛ 側ミラ一と、増幅されたレ一ザ¾ ^出力される出力側ミラ一とからなり、 ΙϋΙΗλ カ側ミラーは §1^励ミラ一からなり、 ΙϋΚ出力側ミラーは平面の »励ミラ一からなることを ^ ^とする請求項 1 ^ m 2ステージレーザ装置。

7. レーザでされたレーザ光を、 ΙΟΙΗλΛ側ミラーの周迈から中に導入するように «されていることを mとする請求項 6記載の露光用 2ステージレーザ、装置。

8. レーザの出力側ミラーと IitBt曾レーザの側ミラーとが同 ~«の両側の面に形成されていることを霞とする請求項 2から 7の何れか 1 の露光用 2ステ一ジレーザ装置。

9. ΙίίΙΞΛΛ側ミラ一はミラーからなることを«とする請求項 2から 8の何れか 1 の露光用 2ステージレーザ装置。

1 0. ΙΗλΛ側ミラ一は ΙΗβΛヽらなることを«とする請求項 2から

8の何れか 1 m ^ m 2ステ一ジレーザ装置。

1 1. 窗 ΗΛΛ側ミラーは円筒 Dfl»、らなることを«とする請求項 2 から 8の何れか 1

2ステージレーザ装置。

1 2. 饍は、レーザで癒されたレ一 "«^ΛΛさ t かつ、増幅されたレ一ザ¾ ^出力される出力側ミラーと、リァ側ミラーとからなり

、認 3出力側ミラ一の纖¾1明纖で霞し、増幅されたレーザ ^出力される »¾1¾¾#ί生を有するように ¾g¾されており、 lj!3リア彻 jミラ一は平面のミラーからなることを mとする請求項 1 t ^m^ 2ステージレーザ

1 3. 編は、 ¾¾レ一ザで繊されたレーザ ¾Λ λΛさ t かつ、増幅されたレーザ ¾6出力される出力側ミラ一と、鎖プリズムとからなり、編 S出力側ミラ一の纖¾1日月纖で載し、増幅されたレーザ ¾6出力される «*¾ι^ι^生を有するように誠されており、 t ai^プリズムは Λ ί光 ^ m^^ m - >;ズムからなることを觀とする請求項 ι の露光用 2ステージレーザ装置。

1 4. |¾^¾レ一ザでされたレーザ光を、 113出力側ミラーの周 axは ¾^^t†生を有さ、周辺部から ΐΐϋ¾β中に導入するようにされていることを«とする請求項 1 2又は 1 3言凍の露;) feffl 2ステージレーザ、装置

1 5. 認己出力 ϋミラーが Sl^ iミラーであることとする請求項 1 2又は 1 3言の露光用 2ステージレーザ装置。

1 6. レーザでされたレーザ光を、 ME出力側ミラーの周、ら中に導人するように «されて、ることを：とする請求項 1

5言凍の露光用 2ステージレーザ、装置。

1 7. ΙΐίΙΒ出力側ミラーは 3 ミラーからなることをとする請求項 1 2から 1 6の何れか 1 の露光用 2ステージレ一ザ装置。

1 8. 窗3出力側ミラ一は ϋ«δヽらなることを難とする請求項 1 2から 1

1 9. 出力側ミラ一は円筒画嶽、らなることをとする請求項 1 2力、ら 1 6の何れか 1： ^凍の露^ 2ステージレーザ装置。.

2 0. 編 ¾ ^は、 ^^レーザで繊されたレーザ ¾^λΛされる入力側ミラーを » «とし、 ΗλΛ側ミラーと出力ミラ一で «し、 B させ ^»レーザの出力光を謂器へ λΛ"Τるものであり、由と ΙϋΙ^»レーザの ^由とを Β ^させることを特徴とする請求項 1 t omm 2ステージレーザ装置。

2 1. ¾«は、リア側ミラ一と出力側ミラーで灘し、前記リァ側ミラ一とリァ側のレーザウインドの間であつて、かつ、 ΙϋΙ^^ϋの光 tt_hにビームスプリッ夕を配置し、レーザで ^されたレーザ光を! (配ビ —ムスプリツ夕へ λ!ίさせ、そこからされるレーザ光の由を jf¾«© 由と Kg ^させることとする請求項 1 の露光用 2ステージレーザ装置。

2 2. 餾¾¾は、 ^SI®リァ側ミラーと出力側ミラーで難し、前記リァ側ミラーとフロント側のレーザウインドの間であつて、かつ、 fulE^M のにビームスプリッタを配置し、レーザでされたレーザ光を前記ビ一ムスプリッ夕へ Λ ίさせ、そこから^ ¾されるレーザ光の由を tO!S^ 由と ffl§^させることをとする請求項 1 ^mm 2ステージレー

2 3. ΐϋ¾¾は、 ^¾|¾リァ illミラーと出力 fflijミラ一でし、前言外部であって、かつ、肅纖器の¾吐に^ ¾レーザで発振されたレ一ザ^ λΛされるビ一ムスプリッタを配置し、 ^¾レーザ 7ϋされたレーザ光を 113ビームスプリッ夕へ Λ ίさせ、そこからされるレーザ光の光軸を ΙϋΙΚβ© 由と Β§ ^させて、かつ、出力側ミラ一 ¾ϋίι§させ TtijfBレ —ザ光をすることを ^ [とする請求項 1 の露光用 2ステージレーザ装置

2 4. ^¾レーザ、のフロントミラ一^^ «とし、 10!^¾レ一ザで ^されたレーザ ¾δ λΛされる Ιΐϋ^βθλΛ側ミラーと *f化したことをとする請求項 1 の露細 2ステージレーザ、装置。

2 5. レーザで藤さ ii曽レーザに ΛΛされるレーザ光の由と、増レーザの由とが角度をなすように縦されていることを特徵とする請求項 1力、ら 2 4の何れか 1 ^ ^ 2ステージレーザ装置。

2 6. 増レーザの^!長の略 2倍の長さ力 ¾¾レ一ザのスぺクトノ I泉幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるようにされていることを^!とする請求項 1から 2 5の何れか 1 ^m^m 2ステージレーザ装

2 7. 謂^ ¾レーザと龍曾レーザとの間に、認搬レーザでされたレーザ光のビーム形 I犬を ffi縮する機倉と、 Ιϋ!3^¾レーザで ¾ されたレーザ光の繊を Sfc^ る機倉少なくとも一方を有する^^系を備えていることを ^とする請求項 1から 2 6の何れか 1瑪の露 2ステ一ジレーザ装置。

2 8. tO!Bt辦 g¾レーザにされるレーザ光の ¾tfcW欠の^ Φを満足することを ί ^とする請求項 1から 2 5の何れか 1 ^m m 2ステージレ一 dh ^Tan"¹ [ { (Ha一 Hs ) /2} · (1/L) / (P · c/L) ] = Tan -¹ { (Ha - Hs ) / (2 · P · c) }

• · · (2) θν ^Tan-¹ [ { (Va -Vs ) /2} · (1/L) / (P · c/L) ] =T a n'¹ { (Va - Vs ) / (2 · P · c) }

• · · (3) ここで、 Θ ヽ 0hはそれぞレーザにされるレーザ光の垂 ί!¾"向、水平方向の Ρ：穀か、。ルス幅、 c： L：器長、 Vs、 Hs ：増 βレ一ザにされるレーザ光の向、水平方向のビ一ム径、 Va、 H a ：出力光の垂訪向、水平方向のビーム径である。

29. »¾レ一ザと、レーザで簾されたレ一ザ光をしてそのレーザ光を増幅して出对る増レ一ザとからなり、 ^¾レ一ザ、レーザ共にレーザガスがされたチヤンバ一を備えている露^ 2ステージレ —ザ装置において、

レーザとして発振レーザ光に発散を有するものカ佣いら増中驗レーザは、入出力用の SI纷ミラ一と、 ¾¾¾ ^ミラー ^てスカされたレーザ光をさせて該¾纷^«位置へ戻の^ ミラーとを備えたリンクを備え、ミラー及び！ i!Bi»D^S¾ミラ一は⁵ P®からなることを! ^とする露;^ 2ステージレーザ、装置。

30. 謳 ^^レーザと謂 Bt曾 Φϊ^レーザとの間に、レーザでされたレーザ光のビーム?^を压縮する機能を有する^^系を備えていることを 1とする請求項 29 の露光用 2ステージレーザ装置。

31. リンク！ ^&D«¾力レーザのスぺクトノ 1 1幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるようにされていることを if ^とする請求項 29又は 30 t ^mm 2ステ一ジレーザ装置。

32. ¾gレーザと、 ^¾レーザで ¾されたレーをしてそのレーザ光を増幅して出る增 «レーザとからなり、 ^¾レーザ、増 Φ離レーザ共にレーザガスがされたチヤンバ一を備えている露光用 2ステージレ一ザ装置において、

増廳レ一ザはフアブリペローエタロンを備え、 ΐ ΐ¾βは安揚を難していて、 ¾ ^レーザで藤さ酸レーザに ΛΛされるレーザ光の^ iと、増^ ¾レーザの由と力度をなすように^されていることを «とする露光用 2ステージレーザ装置。

3 3. レーザと、レーザでされたレーザ光をしてそのレーザ光を増幅して出对る増 if! ^レーザとからなり、 ^¾レーザ、 i» レーザ共にレーザガス力されたチヤンバーを備えている露; 2ステージレ —ザ装置において、

増レーザはフアプリペローエタロン^ « ^を備え、 H¾ ^は安揚を難していて、増 ¾レーザの^!長の略 2倍の長さ力 ¾ ^レ一ザのスぺクトメ m幅に対応する時間的コヒ一レント長よりも長くなるようにされていることを «とする露: 2ステージレーザ装置。

3 4. ^¾レーザと、 «レーザでされたレーザ光を ΛΛしてそのレーザ光を増幅して出财る增 (？酸レーザとからなり、 « ^レーザ、 ϋΨ§¾ レーザにレ—ザガスが ymされたチャンノ —を備えて、、る露 2ステージレ一ザ装置において、

増巾 g¾レーザはフアプリペローエタロンを備え、 t ^

婦を難していて、レーザで繊さ ¾レーザに ΛΛされるレ一ザ光の由と、增¾レ一ザの^ §© 由と力角度をなすように離されており、かつ、增廠レーザの長の略 2倍の長さ力搬レ一ザのスぺクトノ ½1 幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるようにされて、ることを 1 [とする露 2ステージレーザ、装置。

3 5. レーザと、レーザでされたレーザ光を ΛΛしてそのレーザ光を増幅して出财る増 Ψ酸レーザとからなり、レーザ、增 Φ酸レーザ共にレーザガス力^!されたチヤンバーを備えている露 2ステージレ

—ザ装置において、 lOIBt曾 «レーザはリア側ミラ一と出力側ミラーからなる^!を備え、 lutB リア側ミラ一及び出力側ミラ一の励面はで滅さ耀3リア側ミラ一及び H 出力側ミラ一の- レーザでさ ii »レーザに ΛΛされるレー ii¾の由に対して角度をなすように、かつ、相互に角度をなすように設定さ ^^レーザで難されたレ一ザ¾ ^両方のミラー間の藝より長い側から Ιδ!¾β内にされることを鐘とする露細 2ステージレー ¾置

3 6. レーザでされたレーザ^最初に Λ ίする ΙϋΙ3リア側ミラー又は ¾¾¾出力側ミラーにおいて KMされたレーザ光が、両方のミラ一 f曰の S巨働より短い側に励されるように編か碰されていることを籠とする請求項 3 5言の露光用 2ステ一ジレーザ装置。

3 7. リァ側ミラーと出力 IJミラ一カ目互に 0. 0 1 m r a d〜 0 ·

2 m r a dの範囲の角度をなすようにされていることを »とする請求項 3 5又は 3 6言職の露光用 2ステ一ジレーザ装置。

3 8. 増レーザの *S長の略 2倍の長さ力 ¾gレーザのスぺクトノ Ιϋ幅に対応する時間的コヒーレント長よりも長くなるようにされていることを憶とする請求項 3 5力、ら s 7の何れか 1 Dm 2ステ一ジレーザ

3 9. IB^¾レーザでされたレ一ザ光を、の何れかの位置から l!S^e中に導人するようにされていることを Mとする請求項 1、 3 2 ~3 8のの何れ力、 1 ^W 2ステージレーザ装置。

4 0. Ιΐ¾¾«をる各ミラーは、該各ミラーを«» ^^向に対して βϋ^向に移動させることか可能なミラ一ホルダによってされていることをとする請求項 1力、ら 3 9の何れか 1瑪纖の露細 2ステージレ —ザ装置。

4 1. K r Fエキシマレ一ザ装置として難さ^ ¾¾レ一ザに発振するレーザ光を ¾ ^域ィする域ィ段を備 iることを «とする請求項 1から 0

2ステージレーザ装置。

4 2. A r Fエキシマレーザ装置として難さレーザに藤するレーザ光を »域ィヒする^ ¾f ?段を備 iることを «とする請求項 1から 4 0の何れか 1 3¾の露: 2ステージレー ¾置。

4 3. フッ素好 (F₂ ) レーザ、装置として «さ ^¾レーザに発振するレ一ザ光を ¾^域ィる^ »f ^段を備えることを «とする請求項 1 力、ら 4 0の何れか 1瑪¾¾の露光用 2ステージレーザ装置。

4 4. フッ素^? (F₂ ) レーザ、装置として «さレーザに発振するレーザ光の中 1本のライン¾1^する手段を備えることを特徵とする請求項 1力、ら 4 0の何れか 1德の露細 2ステ一ジレ一ザ装置。

4 5. フッ素分 (F₂ ) レーザ装置とし T«さ增レーザの出力側に出力されるレーザ光の中 1本のライン¾¾¾する手段を設けたことをとする請求項 1から 4 0の何れか 1 mm 2ステージレ一