WO2004040388A1

WO2004040388A1 - System for managing worker, unit for managing worker, and method for managing worker

Info

Publication number: WO2004040388A1
Application number: PCT/JP2003/013841
Authority: WO
Inventors: Kenya Iwasaki; Hiroshi Nishikawa
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2002-10-29
Filing date: 2003-10-29
Publication date: 2004-05-13
Also published as: CN1708738A; CN100440088C; JPWO2004040388A1; TWI311288B; AU2003280595A1; TW200411512A

Abstract

A system for managing workers comprising a factory (100) divided into a plurality of work areas depending on the content of a work, a data base (220) for storing work-specific information associating each work area (112), or the like, with the content of a work being done thereat, and worker sensors (130) provided in respective work areas. A work area where a worker is present is specified based on the output from the worker detecting means, and the work being done currently by that worker is specified from the work area of the specified worker based on the work-specific information in the work specific information data base. Based on the current work thus specified, a decision is made for that worker whether to continue the current work or to do a new work, and execution of work is designated for that worker depending on the decision results. Specification of a work being done currently by the worker, allocation of a new work, re-allocation of a work, and the like, are thereby facilitated and the work efficiency of each worker can be enhanced by posting the right worker in the right place.

Description

作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法 Worker management system, worker management device and worker management method

技術分野明 Technical field

本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に関する。田背景技術 The present invention relates to a worker management system, a worker management device, and a worker management method. Field background technology

例えば半導体製造工場などの作業場では，半導体製造装置等が設置されたクリーンルームの装置室を含め，様々なェリァで様々な作業が発生する。例えばクリーンルームでは装置室外では半導体装置の生産のための入力作業，装置室内では半導体製造装置のトラブル対応作業，またクリーンルーム外でも例えば保管庫の部品管理作業などが発生する。これら作業によっては，その作業を行うのに必要なスキル（技能）も異なるため，様々なスキル（技能）を有する作業者が必要となる場合も多い。 For example, in a workplace such as a semiconductor manufacturing plant, various tasks occur in various areas, including the equipment room of a clean room in which semiconductor manufacturing equipment is installed. For example, in a clean room, input work for the production of semiconductor devices occurs outside the equipment room, trouble-shooting work for semiconductor manufacturing equipment occurs in the equipment room, and parts management work in storage, for example, occurs outside the clean room. Depending on the type of work, the skills (skills) required to perform the work are different, and therefore, workers with various skills (skills) are often required.

ところが，このような様々なスキルを有する作業者を管理するのは容易ではなく，作業の分配効率が悪いと作業者一人あたりの作業効率も低下する。従って，いかに作業者を適材適所に配置して各作業者の作業効率を高めるかが課題となる。そのためには，必要なタイミングで，その作業に最も適した作業者を選択して指示を出すのが理想的であるが，実際には困難がある。例えば，作業者が作業を行っている間に別の新たな作業が発生した場合には，その作業者に新たな作業を行う指示を出すことはできない。この場合，作業者の現在行っている作業を把握できなければ，その現在の作業を中断させて新たな作業を行ってよいかの判断もできない。また，代りの作業者を探して新たな作業を行わせればよいとも考えられる。ところが，新たな作業によってはそれを行うのに必要なスキル（技能）を有する作業者の手が空いているとは限らなレ、。従って，先ず作業者が現在行っている作業を特定する必要がある。しかしながら，半導体製造工場などでは上述したように作業の種類が多く，各作業者が行っている作業を特定することは極めて困難である。作業の特定を行うために，例えば特開平 8— 1 0 7 0 9 6 に示すようにパスヮードによって作業の種類ごとにオペレーションパネルの画面に入力できる者を予め決めておくようにすれば，作業者がどのような作業を行っているかをパスヮードによってある程度特定できる。オペレータはオペレータ用画面の入力だけを行うことができ，エンジニアはパスヮードによりエンジニア用画面の入力も可能となる。ところが，このような技術では，オペレータ，エンジニアといつた作業者の種類（作業者分類）がわかるだけで，特定の作業者がどのような作業を行っているかを検出することはできない。この点，予め作業者ごとに I Dを決めておき，作業者 I Dを入力してからォペレーションパネルの画面を操作するようにしておけば，その I D を有する作業者がどのような作業を行っているかを検出することができるとも考えられる。ところが，このような作業者 I Dによる入力では，画面入力などの操作を行わない作業については作業の特定ができないという問題がある。一方，作業者が作業を行う度に作業内容をオペレーションパネルの画面などに入力させて記録をとつておくようにすれば各作業者の作業を特定することもできる。ところが，すべての作業者が作業を行う度に作業内容を入力するのは煩わしく，却って作業効率が落ちるおそれもある。特に火災やトラブルなどの緊急時においては作業者はできる限り早くトラブル対応作業などに取りかかる必要があるため，作業者管理のために作業内容を入力させるのは適切ではない。ところで，半導体製造工場などでは，クリーンルーム内外，装置室内外などの作業エリアが多数あり，その作業エリアによって作業がある程度特定できると考えられる。従って，本出願人は，作業者が居るエリアを特定できればその作業者の作業が特定できるとの考えに至った。本発明は，このような半導体製造工場など作業エリアによってある程度作業が特定できるような分野の特質に鑑みてなされたものである。そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所に指示することができ，各作業者の作業効率を高めることができる作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法を提供することにある。発明の開示上記課題を解決するために，本発明の第 1の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業ェリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前 E作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。このような本発明の作業者管理システムによれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。また，作業者が作業を行うごとに作業内容を入力する手間も省けるため，作業者の作業効率が向上する上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業ェリアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。このような本発明の作業者管理システムによれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によつて得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業を行うことができる者として抽出された作業者に，さらにその新作業に最も適する作業者分類（例えばェンジユア，オペレータ，定期作業者など）の優先度を高くするように優先順位をつけて，優先順位の高い作業者から現在作業と新作業との優先度も比較しつつ，新作業を行う作業者を決定することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。 However, it is not easy to manage workers with such various skills, and if the work distribution efficiency is poor, the work efficiency per worker also decreases. Therefore, the issue is how to place workers in the right places at the right places to improve the work efficiency of each worker. To do this, it is ideal to select the most appropriate worker for the task at the required timing and issue an instruction, but in practice it is difficult. For example, if another new task occurs while the worker is performing the task, the worker cannot be instructed to perform the new task. In this case, if the worker's current work cannot be grasped, it cannot be determined whether the current work should be interrupted and a new work performed. It may also be necessary to search for a substitute worker and perform a new task. However, depending on the new work, workers who have the necessary skills (skills) to perform it are not always available. Therefore, it is first necessary to identify the work that the worker is currently performing. However, as described above, there are many types of work in semiconductor manufacturing factories and the like, and it is extremely difficult to identify the work being performed by each worker. In order to specify the work, for example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-107696, it is possible to determine in advance who can input on the operation panel screen for each type of work by password. Can be identified to some extent by the password. The operator can only enter the screen for the operator, and the engineer can also enter the screen for the engineer by using a password. However, with such technology, it is only possible to know the types of operators (operator classification), such as operators and engineers, and it is not possible to detect what kind of work a particular worker is performing. In this regard, if an ID is determined for each worker in advance and the operator's ID is entered before operating the operation panel screen, the ID can be obtained. It can be considered that it is possible to detect what kind of work the worker having is performing. However, there is a problem in that input using a worker ID cannot identify the work that does not perform operations such as screen input. On the other hand, each worker's work can be specified by inputting the contents of the work to the operation panel screen and keeping a record every time the worker performs the work. However, it is cumbersome to input the details of the work every time all workers perform the work, and on the contrary, the work efficiency may be reduced. In particular, in the event of an emergency such as a fire or trouble, it is not appropriate to input work details for worker management because workers need to start work on troubleshooting as soon as possible. By the way, in semiconductor manufacturing factories, etc., there are many work areas inside and outside the clean room, inside and outside the equipment, and it is thought that work can be specified to some extent by the work areas. Therefore, the applicant has come to the conclusion that the work of the worker can be specified if the area where the worker is located can be specified. The present invention has been made in view of the characteristics of a field in which work can be specified to some extent by a work area such as a semiconductor manufacturing factory. Therefore, the present invention has been made in view of such a problem, and its purpose is to facilitate identification of work currently performed by an operator, distribution of new work, redistribution of work, and the like. To provide a worker management system, a worker management device and a worker management method capable of instructing workers to the right person in the right place and improving the work efficiency of each worker. It is in. DISCLOSURE OF THE INVENTION In order to solve the above problems, according to a first aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, a work area of the work area, and each of the work areas. Work identification information storage means for storing work identification information in association with the content of work to be performed; worker detection means provided in each of the work areas; and the worker based on an output from the worker detection means. Means for identifying the work area in which the worker is located, and, based on the work identification information in the work identification information storage means, from the work area of the worker identified by the previous E worker location identification means. Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker, and allowing the worker to continue the current work based on the current work specified by the current work specifying means, or A worker management system characterized by comprising a judgment means for judging whether or not to perform a task, and an instruction means for giving an instruction to execute the work to the worker according to the judgment result of the judgment means. Is provided. According to such a worker management system of the present invention, an area (place) where a worker is located is detected, and the work currently performed by the worker is easily detected from the work associated with the area. Can be. Therefore, for example, when a new work occurs, it is easy to distribute the new work, redistribute the work, etc., to make the workers work in the right place at the right place, and to improve the work efficiency of each worker . In addition, since the work of inputting the contents of the work every time the worker performs the work can be omitted, the work efficiency of the worker can be reduced. According to another aspect of the present invention, there is provided a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, a work area divided into a plurality of work areas and each work area. Work identification information storage means for storing task identification information in association with the content of work to be performed; worker detection means provided in each of the work areas; A worker position specifying means for specifying whether the worker is in the work area, and the worker's current area from the worker's work area specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means. Current work specifying means for specifying the work being performed; and worker skill information storage means for storing worker skill information in which each of the workers is associated with a work that can be performed by each of the workers. Work priority information storage means for storing work priority information; new work detection means for detecting that a new work has occurred; and when the new work detection means detects a new work, the worker skill information A worker extraction unit for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the storage unit; and a current work identification of the worker extracted by the worker extraction unit. Means for obtaining the priority of the current work and the priority of the new work based on the work priority information of the work priority information storage means, and comparing the priority of the new work with the priority of the new work. Worker identification means for performing a worker identification process for identifying a worker having a higher job number as the worker of the new work; and performing the work of the new work for the worker identified by the worker identification means. Worker management system characterized by comprising an instruction unit issues an instruction is provided to Migihitsuji. According to the worker management system of the present invention as described above, the detected current work and the new work are compared in priority, and if the new work has a higher priority, the new work is performed by the worker. Give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not to allow the worker to perform a new work in accordance with the priority with the current work. Work can be processed as quickly as possible. As a result, workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution can be optimized. The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker and stores work skill information in which each work is associated with a worker class having a skill capable of performing each work. A work skill information storage unit, and a worker classification obtained by the worker skill information storage unit for each worker extracted by the worker extraction unit; A priority assigning means for acquiring the worker classification of the new work based on the skill information and assigning a priority to the worker so that the worker having the same acquired worker classification has a higher priority. The worker identification means is provided by the worker extracted by the worker extracting means, which has the highest priority given to the worker assigned by the priority assigning means. The worker identification processing may be performed in order. According to this, workers who are selected as those who can perform new work should be given a higher priority for the worker classification (eg, engine, operator, regular worker, etc.) that is most suitable for the new work. Priority is assigned to the current work and the new work from the workers with the highest priority. The operator who performs the new work can be determined while comparing the priorities. As a result, the most appropriate worker for the new work can be found more quickly, and the worker can be instructed to the right person at the right place.

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリァに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。このような本発明の作業者管理システムによれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率ィ匕を図ることができる。また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。これによれば，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合に，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリァに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。このような本発明の作業者管理システムによれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。また，前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，その場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。上記課題を解決するために，本発明の第 2の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリァとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか, 又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。このような本発明の作業者管理装置によれば，作業者のいるエリァ（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。このような本発明の作業者管理装置によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。また，前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によつて得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリァにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。このような本発明の作業者管理装置によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリァにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。このような本発明の作業者管理装置によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。また，上記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，上記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合に，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。上記課題を解決するために，本発明の第 3の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業ェリァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。このような本発明の作業者管理方法によれば，作業者のいるエリァ（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出ェ程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，前記作業者特定工程によつて特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。 ' このような本発明の作業者管理方法によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業.との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，前記作業者抽出工程により抽出された各作業者について，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与工程とを有し，前記作業者特定工程は，前記作業者抽出工程で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与工程によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定ェ程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。このような本発明の作業者管理方法によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。また，上記作業再分配工程は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段における作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程とを有するようにしてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定ェ程と，所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，前記作業情報記憶工程によつて記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。このような本発明の作業者管理方法によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。また，上記作業報告書作成工程は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成工程は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。なお，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，作業ェリァ検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業エリァとして特定するようにしてもよレ、。これにより，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行つている作業を容易に検出することができる。また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業ェリアとして特定するようにしてもよレ、。これによつても，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。 In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas in accordance with work contents, each work area of the work area, and work performed in each work area. Work identification information storage means for storing work identification information with associated contents; worker detection means provided in each of the work areas; and which work area the worker determines based on an output from the worker detection means. Based on the worker position specifying means and the work specifying information in the work specifying information storage means, from the work area of the worker specified by the worker position specifying means, Current work identification means for identifying the work being performed, work priority information storage means for storing priority information of the work, new work detection means for detecting that a new work has occurred, When the means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and the work priority information of the work priority information storage means is used for all the work including the new work in the current work. Work redistribution means for assigning all tasks to all workers in descending order of priority, and instruct all workers to the work assigned by the work redistribution means. An operator management system comprising an instruction unit is provided. According to such a worker management system of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and all the work including the current work and the new work are redistributed. About all work including new work More appropriate workers can be assigned. As a result, the worker can be instructed to the right person in the right place, and the efficiency of work distribution and the efficiency of work can be improved. In addition, the work redistribution means converts the work having a higher priority to a new work, and stores worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker. Information storage means, worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and worker extraction means The current work of the worker is specified by the current work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means, There may be provided a worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work. According to this, when redistributing all work including new work, workers are determined in order of work priority, so that the more important work, the faster the work can be determined. . Also, when redistributing all work including new work, the priority of the detected current work and that of the new work are compared, and if the new work has a higher priority, the new work is given to that worker. You can give instructions to do business. As a result, more important workers with higher priorities can select more optimal workers, so that workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution and work efficiency can be improved. Can be. According to another aspect of the present invention, there is provided a workplace divided into a plurality of work areas according to work contents, each work area of the workplace, and work performed in each work area. Work identification information storage means for storing work identification information with associated contents; worker detection means provided in each of the work areas; and the work area to which the worker is based on the output from the worker detection means. Based on the worker position specifying means and the work specifying information in the work specifying information storage means, from the work area of the worker specified by the worker position specifying means, Current work specifying means for specifying the work being performed, and work information storage for specifying the current work of all workers by the current work specifying means at predetermined time intervals and storing the current work for each worker And a work report creating means for creating a work report including the work performed by a desired worker at predetermined time intervals based on the work information in the work information storage means. An operator management system is provided. According to the worker management system of the present invention, a work report such as a daily work report and a monthly work report can be easily created. Furthermore, since the work of the worker is automatically detected and the work information used as the basis of the worker report is created, it is not necessary to input from a portable information terminal or the like every time the worker performs the work. , Work efficiency is improved. Also, since there is no need to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created. The work report creation means also stores a work unit price when each work is performed for each work. A work report including the work unit price of the work and the total amount of the work unit may be prepared. Further, the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in that case, the worker may be a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place. According to this, for example, when charging a fee for work performed by a dispatched worker to a dispatched company, the work unit price and total amount of each work are also printed on a work report, and the total amount is used to determine the work content. It will also be possible to charge a corresponding fee. In order to solve the above problems, according to a second aspect of the present invention, there is provided a worker management device for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area in the work area is associated with the content of work performed in each work area; and output from worker detection means provided in each work area. A worker position specifying means for specifying which worker area the worker is in based on the work identification information, and a worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means. Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker from the work area, and causing the worker to continue the current work based on the current work specified by the current work specifying means. Or a determination means for determining whether or not to perform a new work, and an instruction means for instructing the worker to execute a work in accordance with a result of the determination by the determination means. Is provided. According to the worker management device of the present invention, an area (place) where a worker is located is detected, and the work associated with the area is detected. The work currently performed by the trader can be easily detected. Therefore, for example, when new work occurs, it is easy to distribute the new work, redistribute the work, etc., and to have the workers work in the right place at the right place, thereby improving the work efficiency of each worker. it can. In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, A work identification information storage unit that stores work identification information that associates each of the work areas with the contents of the work performed in each of the work areas; and A worker position specifying means for specifying which work area the worker is in; and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means. A worker task identification means for identifying a worker's current work, and a worker skill information for storing worker skill information in which each worker is associated with the work that each worker can perform; Information storage means, work priority information storage means for storing work priority information, new work detection means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detection means detects a new work, the work Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and the current work of the worker extracted by the worker extraction means as the current work. The work priority is specified by the work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means. A worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work; And an instructing means for instructing the worker identified by the worker identifying means to perform the work of the new work. According to the worker management apparatus of the present invention, the priority of the detected current work is compared with the priority of the new work, and if the new work has a higher priority, the new work is performed by the worker. Give instructions to In this way, even when a new task occurs, it is possible to determine whether or not to allow the worker to perform a new task according to the priority with the current task. Work can be processed as quickly as possible. As a result, workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution can be optimized. The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and stores work skill information in which each work is associated with a worker class having a skill capable of performing each work. A work skill information storage unit, and a worker classification obtained by the worker skill information storage unit for each worker extracted by the worker extraction unit; A priority assigning means for acquiring the worker classification of the new work based on the skill information and assigning a priority to the worker so that the worker having the same acquired worker classification has a higher priority. The worker identification means is provided by the worker extracted by the worker extracting means, which has the highest priority given to the worker assigned by the priority assigning means. The worker identification processing may be performed in order. According to this, the worker who is most appropriate for the new work can be found out more quickly. To the right person in the right place. In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area of the work area is associated with the content of work performed in each work area; and an output from a worker detection means provided in each work area. A worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means. Current work identification means to identify the work that the worker is currently performing, work priority information storage means to store work priority information, and new work to detect the occurrence of a new work Output means, and when the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and, for all the work including the new work in the current work, the work priority information. A task re-distribution means for assigning priorities of work based on the work priority information in the storage means and re-assigning all works to all workers from a work having a higher priority. And an instruction means for instructing the worker. According to such a worker management apparatus of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. Therefore, more appropriate workers can be assigned to all works including new works. As a result, workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution and work efficiency can be improved. Can be planned. In addition, the work redistribution means converts the work having a higher priority to a new work, and stores worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker. Information storage means, worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and worker extraction means The current work of the worker is specified by the current work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means, There may be provided a worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work. According to this, the more important the higher priority work, the more optimal worker can be selected, so that the worker can be instructed to the right person in the right place, and work distribution is optimized and work efficiency is improved. be able to. In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area of the work area is associated with the content of work performed in each work area; and an output from a worker detection means provided in each work area. A worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means. From the worker's current work Current work specifying means for specifying, work information storage means for specifying the current work of all workers by the current work specifying means at predetermined time intervals, and storing the current work for each worker; and the work information storage means And a work report creating means for creating a work report including the contents of work performed by a desired worker at predetermined time intervals based on the work information of the worker. You. According to such a worker management device of the present invention, a work report such as a work daily report and a work monthly report can be easily created. Moreover, since the work of the worker is automatically detected and the work information based on the worker report is created, it is not necessary to input the information from a portable information terminal or the like every time the worker performs the work. Work efficiency is improved. Also, since there is no need to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created. The work report creation means also stores the work unit price for each work when each work is performed, and the work report creation means includes the work unit cost of the work and the total amount of the work unit costs. A work report may be prepared. Further, the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place. Good. According to this, for example, when charging a fee for work performed by a dispatch worker to a dispatch company, the work unit price and total amount of each work are also printed on the work report, and the total amount is used in accordance with the work content. It will also be possible to charge for such charges. In order to solve the above problems, according to a third aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing a worker who works in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, A worker position specifying step of specifying which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each of the work areas; Based on the work identification information in the work identification information storage unit that stores the work identification information associated with the work to be performed, the worker's current work location of the worker identified in the worker location identification process is used. A current work identification process for identifying the work to be performed, and allowing the worker to continue the current work based on the current work identified in the current work identification process, or to perform a new work. A worker management method is provided, comprising: a judgment step of judging whether or not to give; and an instruction step of giving an instruction to execute the work to the worker according to the judgment result in the judgment step. . According to the worker management method of the present invention, an area (place) where a worker is located is detected, and the work currently performed by the worker is easily detected from the work associated with the area. Can be. Therefore, for example, when new work occurs, it is easy to distribute the new work, redistribute the work, etc., and to have the workers work in the right place at the right place, thereby improving the work efficiency of each worker. it can. According to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents. Based on the output from the worker detection means provided in each of the work areas, A worker position specifying step of specifying whether the user is at the rear, and work specifying information of a work specifying information storage unit that stores the work specifying information in which each of the work areas is associated with the contents of the work performed in each of the work areas. A current work identification process for identifying the worker's current work from the work area of the worker identified in the worker location identification process, a new work detection process for detecting that a new work has occurred, When the new work detecting step detects a new work, the worker skill information of the worker skill information storage means for storing worker skill information in which each worker is associated with a work that can be performed by each worker. A worker extraction step of extracting a worker who can perform the new work based on the current work; and a current work identification of the worker extracted in the worker extraction step. The priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means that stores the work priority information. A worker specifying step of performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work; and a work specified by the worker specifying step. And an instruction step of instructing a worker to perform the work of the new work.によ According to the worker management method of the present invention, the priority of the detected current work is compared with the priority of the new work, and if the new work has a higher priority, the new work is performed on the worker. To give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not to allow the worker to perform a new work in accordance with the priority of the current work. The more work is done, the sooner it can be processed. This In this way, workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution can be optimized. Further, the worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and can perform each work and each work for each worker extracted in the worker extraction step. A worker class obtained by a worker skill information storage unit that stores work skill information associated with a worker class having skills is acquired, and the new work is performed based on the work skill information in the work skill information storage unit. And a priority assigning step of assigning priorities to the workers so that the workers with the same acquired worker classification have the same priority. Performs the worker identification process in order from the worker extracted in the worker extraction step, the worker having the highest priority given to the worker in the priority assignment step. You may do so. According to this, the most suitable worker for the new work can be found earlier, and the worker can be instructed to the right person in the right place. According to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents. A worker position specifying step of specifying which work area the worker is in based on the output from the worker detecting means provided in each of the work areas; and a work area of the work place and each of the work areas. The work area of the worker specified in the worker position specifying step is based on the work specifying information in the work specifying information storage unit that stores the work specifying information in which the work performed in the area is associated. When a new work is detected by the current work identification process that identifies the worker's current work, a new work detection process that detects that a new work has occurred, and a new work detection process that detects the new work, The current work identification process identifies the current work of all workers, and the work priority information of the work priority information storage means for storing the work priority information for all the work including the new work. A work redistribution step of reassigning all work to all workers from a work having a higher priority, and instructing all workers of the work assigned in the work redistribution step. An operator management method characterized by having an instruction step. According to the worker management method of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. Therefore, more appropriate workers can be assigned to all works including new works. As a result, workers can be instructed to the right person in the right place, and work distribution can be made more efficient and work can be made more efficient. In the work redistribution process, the work with the highest priority is selected as a new work, and the worker skill storing the worker skill information relating each worker and the work that can be performed by the worker is stored. A worker extraction step for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the information storage means, and a current work of the worker extracted in the worker extraction step is referred to as the current work. The priority of the current work and the priority of the new work are acquired and compared based on the work priority information in the work priority information storage means. And a worker specifying step of performing a worker specifying process of specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work. According to this, the most important work having a higher priority can select the most appropriate worker, so that the worker can be instructed to the right person in the right place, and work distribution is optimized and work efficiency is improved. be able to. According to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents. A worker position specifying step of specifying which work area the worker is in based on the output from the worker detecting means provided in each of the work areas; and a work area of the work place and each of the work areas. Based on the work identification information in the work identification information storage means that stores the work identification information associated with the work contents performed by the worker, the worker's current work area specified in the worker location identification step is used to identify the current work of the worker. A current work specifying process for specifying the work being performed, and work information for specifying the current work of all workers by the current work specifying process at predetermined time intervals and storing the current work for each worker Storage step, and a work report creation step of creating a work report including the work performed by a desired worker at predetermined time intervals based on the work information stored in the work information storage step. Thus, a worker management method is provided. According to the worker management method of the present invention, a work report such as a work daily report and a work monthly report can be easily created. In addition, it automatically detects the worker's work and creates work information based on the worker report. This eliminates the need to input from a portable information terminal or the like each time the worker performs work, thus improving work efficiency. Also, since there is no need to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created. In addition, the work report preparation step described above also stores the work unit price of each work when each work is performed, and the work report preparation step includes the work unit cost of the work and the total amount of the work unit costs. A work report may be prepared. Further, the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place. According to this, for example, when charging a fee for work performed by a dispatched worker to a dispatched company, the work unit price and total amount of each work are also printed on a work report, and the total amount is used to determine the work content. It will also be possible to charge a corresponding fee. The worker management system, the worker device, and the worker detecting means in the worker method are provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker. Each worker is set to transmit an electromagnetic wave having a different frequency, and the worker position specifying means finds the worker detecting means which has received the electromagnetic wave of the worker's frequency to be a work area detection target. A work area provided with worker detection means may be specified as a work area where the worker is located. As a result, it is possible to easily detect where a specific worker is located in the work area, and easily detect the work that the worker is currently performing from the work area information. Also, the worker management system, the worker device, and the worker detecting means in the worker method are provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker. An electromagnetic wave carrying identification information for identifying a worker is set for each worker, and the worker position specifying means acquires the worker identification information from the worker detecting means, and detects a work area. It is also possible to find out the worker detecting means which has received the identification information of the worker to be used, and to specify the work area provided with the worker detecting means as the work area where the worker is located. According to this, it is also possible to easily detect where a specific worker is located in the work area, and to easily detect the work currently performed by the worker from the work area information.

また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報（装置に対する作業情報であり，本明細書では「装置情報」ともいう）を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定するようにしてもよい。これによれば，作業者がいる作業エリア情報からある程度の作業内容（例えばトラブル対応処理，通常オペレーション作業などの作業分類）が検出でき，作業情報からさらに細かな作業内容（例えばトラブル対応処理の中でも，電気系トラブル対応処理，機械系トラブル対応処理）を検出できる。図面の簡単な説明図 1は本発明の第 1実施形態にかかる作業者管理システムの全体構成を示すブロック図である。図 2は同実施形態におけるグリーンルームの装置室内での作用を説明する図である。図 3は同実施形態にかかる作業者管理装置の構成を示すプロック図である。図 4は図 3に示す各種データベースの例を示すプロック図である図 5は同実施形態にかかる作業特定情報データベースの 1例を示す図である。図 6は同実施形態にかかる作業優先度情報データベースの 1例を示す図である。図 7は同実施形態にかかる作業スキル情報データベースの 1例を示す図である。図 8は同実施形態にかかる作業者スキル情報データベースの 1例を示す図である。図 9は同実施形態にかかるエラーコード情報データベースの 1例を示す図である。図 1 0は同実施形態にかかる検查結果情報データベースの 1例を示す図である。図 1 1は同実施形態にかかる新作業配分処理メィンルーチンを示す流れ図である。図 1 2は同実施形態にかかる作業者優先順位付与処理サブルーチンを示す流れ図である。図 1 3は同実施形態にかかる作業者決定処理サブルーチンを示す流れ図である。図 1 4は同実施形態にかかる作業者の作業検出処理サブルーチンを示す流れ図である。図 1 5は本発明の第 2実施形態にかかる新作業配分処理メインル一チンを示す流れ図である。図 1 6は同実施形態にかかる全作業の再配分処理サブルーチンを示す流れ図である。図 1 7は本発明の第 3実施形態にかかる作業データベース作成処理を示す流れ図である。，図 1 8は同実施形態にかかる作業日報作成処理を示す流れ図である。図 1 9は同実施形態で作成される作業日報の 1例を示す図。図 2 0は作業者管理システムの変形例を示すプロック図である。発明を実施するための最良の形態以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及ぴ図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 (第 1実施形態） In addition, there is provided work information acquisition means for acquiring work information of the worker from the work management system, the worker device, and the work device provided in the work area in the worker method. In addition to the work area information specified as the work area where the worker is located, the work information from the work device on which the worker is performing work from the work information acquisition means (work information for the device. In this case, it is also possible to acquire “device information” and specify the current work of the worker based on the area information and the work information. According to this, a certain degree of work content (for example, work classification such as trouble handling processing and normal operation work) can be detected from the work area information where the worker is, and more detailed work contents (for example, trouble handling processing) can be detected from the work information. Above all, it is possible to detect electrical system trouble handling and mechanical trouble handling. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an entire configuration of a worker management system according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view for explaining the operation of the green room in the device room according to the embodiment. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the worker management device according to the embodiment. FIG. 4 is a block diagram showing an example of various databases shown in FIG. 3. FIG. 5 is a diagram showing an example of a work identification information database according to the embodiment. FIG. 6 is a diagram showing an example of the work priority information database according to the embodiment. FIG. 7 is a diagram showing an example of the work skill information database according to the embodiment. FIG. 8 is a diagram showing an example of the worker skill information database according to the embodiment. FIG. 9 is a diagram showing an example of an error code information database according to the embodiment. FIG. 10 is a diagram showing an example of a detection result information database according to the embodiment. FIG. 11 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the embodiment. FIG. 12 is a flowchart showing a worker priority assigning process subroutine according to the embodiment. FIG. 13 is a flowchart showing an operator determination processing subroutine according to the embodiment. FIG. 14 is a flowchart showing a worker's work detection processing subroutine according to the embodiment. FIG. 15 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the second embodiment of the present invention. FIG. 16 is a flowchart showing a subroutine for redistribution of all operations according to the embodiment. FIG. 17 shows a work database creation process according to the third embodiment of the present invention. It is a flowchart which shows a process. FIG. 18 is a flowchart showing a work daily report creation process according to the embodiment. FIG. 19 is a diagram showing an example of a work daily report created in the embodiment. FIG. 20 is a block diagram showing a modification of the worker management system. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this specification and the drawings, components having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. (First Embodiment)

先ず，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第 1実施形態を図面を参照しながら説明する。図 1は，作業場の 1例としての半導体製造工場における作業者管理システムの全体構成を示す図で， 1 0 0は半導体製造工場であり，工場 1 0 0内の間取りの 1例を示したものである。 2 0 0は作業者管理装置である。半導体製造工場 1 0 0は，図 1に示すように，例えば主としてェ場内のクリーンルームェリア 1 1 0とタリーンルーム以外のェリァ 1 2 0 (以下，「クリーンルーム外エリア」と称する）に分けられる。さらに，クリーンルームエリア 1 1 0は，例えば複数の装置室ェリア 1 1 2と装置室以外のエリア 1 1 4 (以下，「装置室外エリア」と称する）に分けられる。装置室エリア 1 1 2には，プロセス装置，計測装置等の半導体製造装置 1 4 0が配設されている。プロセス装置としては，例えばエッチング装置， C V D ( Chemical vapor deposition :化学気相成長法）装置，コータデベロッパ，洗浄装置， C M P (Chemical Mechanical Polishing：化学的機械的研磨)装置， P V D (Physical Vapor Deposition：物理気相成長法）装置，露光装置，イオンインプランタなどがある。計測装置としては，例えば膜厚装置， O D P (Optical Digital Profiler) , F T I Rなどがある。なお，装置室ェリア 1 1 2には各装置室ェリア 1 1 2ごとに異なる種類の半導体製造装置 1 4 0を配設してもよく，同じ装置室ェリア 1 1 2に複数種類の半導体製造装置 1 4 0を配設してもよい。上記装置室エリァ 1 1 2には，メンテナンスゃ定期点検などの作業を行う場合に装置室エリア 1 1 2内の各半導体製造装置 1 4 0を室内から制御等する室内制御部 1 1 6を設け，この室内制御部 1 1 6によりその装置室内の半導体製造装置 1 4 0を制御する。装置室の外側から半導体製造装置 1 4 0の制御等を行う室外制御部 1 1 8 を設けてもよい。また半導体製造装置 1 4 0の制御部は各半導体製造装置 1 4 0自体に設けて，その制御部からその半導体製造装置 1 4 0を制御等するようにしてもよい。上記室内制御部 1 1 6 , 室外制御部 1 1 8，その他の制御部は，例えば操作パネルで構成する。これら各制御部 1 1 6， 1 1 8及び半導体製造装置 1 4 0は作業者管理装置 2 0 0の入出力部 2 0 8と通信回線等により電気的に接続しており，アクセス情報，装置の状態情報などの装置情報（装置に対する作業情報）の送受信ができるようになつている。上記各制御部により半導体製造装置などを制御する場合には，その作業に応じて制御部から作業者の I D , パスワードを入力してアクセスする。これによりどの作業者が制御しているのかを特定できるようにする。装置室外ェリア 1 1 4は，ここでは上記室外制御部 1 1 8を設置するエリアを示す。なお，装置室外エリア 1 1 4は必ずしも室外制御部 1 1 8の設置エリアに限られず，装置室エリア 1 1 2間に形成される通路などを含めてもよい。クリーンルーム外ェリア 1 2 0は，クリーンルーム以外の工場内エリアを示す。例えば中央監查室エリア 1 2 2，用力室エリア 1 2 4，保管庫エリア 1 2 6，オフィスエリア 1 2 8 , 休憩室エリア 1 2 9 (トイレなどを含んでいてもよい）などがある。上記クリーンルームェリア 1 1 0内における装置室ェリア 1 1 2 , 装置室外ェリア 1 1 4，クリーンルーム外ェリア 1 2 0における中央監査室ェリア 1 2 2 ,用カ室ェリア 1 2 4，保管庫ェリア 1 2 6 , オフィスエリア 1 2 8，休憩室エリア 1 2 9の各エリアには，作業者を検出する作業者検出手段としての作業者検出センサ 1 3 0が設けられている。作業者検出センサ 1 3 0は作業者管理装置 2 0 0の入出力部 2 0 8と通信ケーブル等により電気的に接続しており，作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報の送受信ができるようになつている。上記作業者検出センサ 1 3 0は，例えば各作業者が携帯する送信機の電磁波（又は電波）を受信するセンサで構成する。作業者検出センサ 1 3 0は，例えば各エリアの天井や壁などに取付ける。図 2に作業者検出センサ 1 3 0として例えば受信機 1 3 4をタリーンルームェリア 1 1 0の装置室ェリア 1 1 2に設置した例を示す。受信機 1 3 4は装置室エリァ 1 1 2の区画となる装置室 1 3 2の天井に取り付ける。一方，作業者 1 3 6は送信機 1 3 8を常に携帯しながら半導体製造装置 1 4 0などの作業を行う。作業者 1 3 6が半導体製造装置 1 4 0の例えばメンテナンス作業を行うべく，装置室 1 3 2に入ると，天井に設けられた受信機 1 3 4が作業者が携帯する送信機 1 3 8からの電磁波を受信する。これにより，作業者 1 3 6が装置室エリア 1 1 2にいることを検出することができる。この場合，上記送信機 1 3 8は，作業者ごとに異なる周波数（無線周波数）の電磁波を送信させるようにしてもよい。そして各作業者と各作業者の周波数とを関連づけた周波数情報は周波数情報記憶 '手段の 1例としての周波数情報データベースに記憶しておく。この周波数情報データベースは，図 3に示す各種データベース 2 1 0に含まれるようにしてもよい。この周波数情報データベースの周波数情報に基づいて，作業者検出センサ 1 3 0から受信した電磁波の周波数によってその作業者検出センサ 1 3 0を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。作業者管理装置 2 0 0は，各作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した作業者検出センサ 1 3 0を見つけ出し，この作業者検出センサ 1 3 0が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。また，上記送信機 1 3 8は，各作業者を識別する識別情報としての I Dのデータを符号化し変調等により電磁波に変換して送信し，受信機 1 3 4は送信機 1 3 8から受信した電磁波を復調等して複合化した I Dのデータをセンサ情報として作業者管理装置 2 0 0に送出するようにしてもよい。この I Dは図 8に示す作業者スキル情報データベース 2 5 0に記憶されている。この作業者スキル情報データベース 2 5 0の I D (識別情報）に基づいて，作業者検出センサ 1 3 0から受信した I D (識別情報）によってその作業者検出センサ 1 3 0を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。これにより，作業者管理装置 2 0 0は，各作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の I D (識別情報）を受信した作業者検出センサ 1 3 0を見つけ出し，この作業者検出センサ 1 3 0が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。なお，送信機 1 3 8は携帯電話，後述する携帯型情報端末などで構成してもよい。また，受信機 1 3 4，送信機 1 3 8はともに送受信機としてもよい。この場合の具体例は後述する。また，作業者の I D (識別情報）は，その作業者の持つ送信機 1 3 8の記憶手段（図示しない）に予め記憶されていてもよく，またバーコ一ド化された J Dを読取って送信機 1 3 8の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。具体的には例えば携帯電話や携帯型情報端末などで構成された送信機 1 3 8に赤外線読取手段などのバーコ一ド読取手段を設け，このパーコード読取手段によりバーコ一ド化された I Dを読取って送信機 1 3 8の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。 (作業者管理装置） First, a first embodiment of a worker management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing factory will be described with reference to the drawings. Figure 1 is a diagram showing the overall configuration of a worker management system in a semiconductor manufacturing plant as an example of a workplace. 100 is a semiconductor manufacturing plant. It is a thing. Reference numeral 200 denotes a worker management device. As shown in Fig. 1, the semiconductor manufacturing plant 100 mainly consists of, for example, a clean room area 110 in the factory and an area other than the tallen room. 120 (hereinafter referred to as “the area outside the clean room”). Furthermore, the clean room area 110 is divided into, for example, a plurality of equipment room areas 112 and areas 114 other than the equipment room (hereinafter referred to as “outside equipment room area”). In the equipment room area 112, semiconductor manufacturing equipment 140 such as process equipment and measuring equipment is provided. Process equipment includes, for example, etching equipment, CVD (Chemical vapor deposition) equipment, coater developer, cleaning equipment, CMP (Chemical Mechanical Polishing) equipment, PVD (Physical Vapor Deposition: Physical vapor deposition) equipment, exposure equipment, ion implanter, etc. Examples of measuring devices include a film thickness device, ODP (Optical Digital Profiler), and FTIR. In the equipment room area 112, different types of semiconductor manufacturing equipment 140 may be provided for each equipment room area 112, and multiple types of semiconductor manufacturing equipment may be provided in the same equipment room area 112. The manufacturing apparatus 140 may be provided. The above equipment room area 112 has an indoor control unit 116 that controls each semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112 from inside the room when performing work such as maintenance and periodic inspections. The semiconductor control unit 140 in the equipment room is controlled by the indoor control unit 116. An outdoor control unit 118 that controls the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the outside of the apparatus room may be provided. Further, the control unit of the semiconductor manufacturing apparatus 140 may be provided in each semiconductor manufacturing apparatus 140 itself, and the control unit may control the semiconductor manufacturing apparatus 140. The indoor control unit 116, the outdoor control unit 118, and other control units are configured by, for example, an operation panel. Each of these control units 1 16 and 1 18 and the semiconductor manufacturing equipment 140 is an operator. It is electrically connected to the input / output unit 208 of the management device 200 via a communication line, etc., so that device information (work information for the device) such as access information and device status information can be transmitted and received. ing. When a semiconductor manufacturing device is controlled by each of the above control units, the control unit inputs and accesses the operator's ID and password according to the work. Thus, it is possible to specify which operator is controlling. The equipment outdoor area 114 here indicates the area where the outdoor controller 118 is installed. The equipment outdoor area 114 is not necessarily limited to the installation area of the outdoor control unit 118, and may include a passage formed between the equipment room areas 112. The area 120 outside the clean room indicates the area inside the factory other than the clean room. For example, there are a central monitoring room area 122, a utility room area 124, a storage area 126, an office area 128, and a rest room area 129 (which may include toilets). Equipment room area 112 in the above clean room area 110, area outside the equipment room 114, central audit room area 122 outside the clean room area 120, room area for the use room 124, storage area 1 In each of the areas 26, office area 128, and rest room area 127, worker detection sensors 130 are provided as worker detection means for detecting workers. The worker detection sensor 130 is electrically connected to the input / output unit 208 of the worker management device 200 via a communication cable, etc., and can transmit and receive sensor information from the worker detection sensor 130. It is like that. The worker detection sensor 130 is composed of, for example, a sensor that receives electromagnetic waves (or radio waves) from a transmitter carried by each worker. The worker detection sensor 130 is mounted, for example, on the ceiling or wall of each area. FIG. 2 shows an example in which, for example, a receiver 134 is installed as an operator detection sensor 130 in the equipment room 112 of the tarin room 110. The receiver 1 34 is mounted on the ceiling of the equipment room 132, which is a section of the equipment room area 112. On the other hand, the worker 136 works on the semiconductor manufacturing equipment 140 while always carrying the transmitter 138. When the worker 1336 enters the equipment room 132 to perform, for example, maintenance work on the semiconductor manufacturing device 140, the receiver 1334 provided on the ceiling turns the transmitter 1 carried by the worker. 3 Receive electromagnetic waves from 8. This makes it possible to detect that the worker 1 36 is in the equipment room area 1 12. In this case, the transmitter 1338 may transmit electromagnetic waves of different frequencies (radio frequencies) for each worker. The frequency information that associates each worker with the frequency of each worker is stored in a frequency information database as an example of a frequency information storage unit. This frequency information database may be included in the various databases 210 shown in FIG. Based on the frequency information of this frequency information database, the worker in the work area where the worker detection sensor 130 is installed can be specified by the frequency of the electromagnetic wave received from the worker detection sensor 130. The worker management device 200 is a worker detection sensor 13 that receives an electromagnetic wave of the worker's frequency which is a target of the work area detection from the sensor information from each worker detection sensor 130. 0 is found, and the work area provided with the worker detection sensor 130 is specified as the work area where the worker is located. In addition, the transmitter 1338 encodes ID data as identification information for identifying each worker, converts the data into an electromagnetic wave by modulation or the like, and transmits it. The receiver 1334 receives from the transmitter 1338 The data of the ID obtained by demodulating the electromagnetic wave obtained by the demodulation or the like may be transmitted to the worker management device 200 as sensor information. This ID is stored in the worker skill information database 250 shown in FIG. Based on the ID (identification information) of the worker skill information database 250, the work area where the worker detection sensor 130 is to be installed by the ID (identification information) received from the worker detection sensor 130. Workers can be identified. As a result, the worker management device 2000 receives the worker ID (identification information) of the worker whose work area is to be detected from the sensor information from each worker detection sensor 130. Then, the work area where the worker detection sensor 130 is provided is specified as the work area where the worker is located. The transmitter 138 may be constituted by a mobile phone, a portable information terminal described later, or the like. In addition, both the receiver 1 34 and the transmitter 1 38 may be a transceiver. A specific example in this case will be described later. Also, the worker's ID (identification information) may be stored in advance in the storage means (not shown) of the transmitter 138 of the worker, or the barcode JD is read and transmitted. The information may be stored in the storage means of the machine 13. Specifically, for example, a bar code such as an infrared reading means is attached to a transmitter 1 38 composed of a mobile phone or a portable information terminal. A code reading means may be provided, and the barcode-read ID may be read by the par code reading means and stored in the storage means of the transmitter 138. (Worker management device)

作業者管理装置 2 0 0は，例えば上記作業者検出センサ 1 3 0からのデータを入力し，この作業者検出センサ 1 3 0からのデータに基づいて各作業者がいるエリアを検出する。作業者管理装置 2 0 0 は，図 3に示すように， C P U (中央処理装置）， R O M (リード . オンリ ' メモリ）， R A M (ランダム · アクセス · メモリ）などのメモリを有する制御部 2 0 2 , 各種情報を表示するディスプレイなどの表示部 2 0 4，各種データを入力するための入力部 2 0 6，上記作業者検出センサ 1 3 0からのデータを入力する入出力部 2 0 8 , 各種データベース 2 1 0の他，図示はしないがプログラムなどを記憶するハードディスク装置などの記憶手段などを備える。上記制御部 2 0 2のメモリは， C P Uによってアクセスするためのプログラムゃデータが格納されるもので例えば必要に応じて上記ハードディスク装置などの記録媒体に記憶したプログラムが読み出されて格納される。上記各種データベース 2 1 0としては，図 4に示すように作業特定情報データベース 2 2 0，作業優先度情報データベース 2 3 0，作業スキル情報（作業技能情報）データベース 2 4 0，作業者スキル（作業者技能情報）情報データベース 2 5 0，トラブル情報（異常情報）データベース 2 6 0などがある。 (作業特定情報データベース） The worker management device 200 inputs, for example, data from the worker detection sensor 130, and detects an area where each worker is present based on the data from the worker detection sensor 130. As shown in FIG. 3, the worker management device 200 is a control unit 200 having a memory such as a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory), and a RAM (random access memory). 2, a display section 204 such as a display for displaying various information; an input section 206 for inputting various data; an input / output section 208 for inputting data from the worker detection sensor 130; In addition to the various databases 210, a storage device such as a hard disk device for storing programs and the like (not shown) is provided. The memory of the control unit 202 stores programs and data to be accessed by the CPU. For example, a program stored in a recording medium such as the hard disk device is read and stored as needed. You. As shown in Fig. 4, the above-mentioned various databases 210 include a work identification information database 220, a work priority information database 230, a work skill information (work skill information) database 240, and worker skills. (Worker skill information) Information database 250, trouble information (abnormal information) database 260, etc. (Work identification information database)

作業特定情報データベース 2 2 0は，図 5に示すようにェリァ情報 2 2 2と装置情報（装置に対する作業情報） 2 2 4と作業内容 2 2 6とを関連づけた作業特定情報を記憶している。この作業特定情報は，例えば作業者が行っている作業を特定するときに用いられる。具体的には作業者検出センサ 1 3 0により検出した作業者のいるェリア情報と半導体製造装置 1 4 0のアクセス情報などの作業特定情報とによりその作業者が現在行っている作業（現在作業）を特定する。エリア情報 2 2 2は，図 1.に示す工場の各エリアの情報である。本実施の形態では，クリーンルームェリア 1 1 0内における装置室エリア 1 1 2，装置室外エリア 1 1 4，クリーンルーム外エリア 1 2 0における中央監查室エリア 1 2 2，用力室エリア 1 2 4，保管庫エリア 1 2 6，オフィスエリア 1 2 8，休憩室エリア 1 2 9を各エリアとしている。装置情報 2 2 4は，例えば上記半導体製造装置 1 4 0の室内制御部 1 1 6，室外制御部 1 1 8などの制御部へのアクセス情報，異常時に発生する半導体製造装置 1 4 0のアラーム，ランプ点灯などの異常報知情報，メンテナンスが必要なときに発生する半導体製造装置 1 4 0のアラーム，ランプ点灯などのメンテナンス報知情報などである。制御部へのアクセス情報としては例えば半導体製造装置 1 4 0のメンテナンスなどの各作業を行うためのアクセスがあつたか否かの情報である。作業内容 2 2 6は，各エリアで行われる作業の種類である。ここで，各エリアごとに判断される作業内容 2 2 6の 1例を図 5 を参照しながら説明する。先ずクリーンルームェリア 1 1 0の装置室エリア 1 1 2における作業としては，トラブル対応作業（トラブル対応メンテナンス），定期作業が挙げられる。上記装置室エリア 1 1 2の作業内容におけるトラブル対応作業は, 装置室ェリア 1 1 2内の半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生したときにそのトラブルを解消するための作業である。このトラブル対応作業には装置の電気系統に異常があった場合の電気系トラブル対応作業，装置の機械系統に異常があった場合の機械系トラブル対応作業，エッチング処理などのプロセス過程に異常があった場合のプロセス系トラブルなどがある。半導体製造装置 1 4 0のトラブルは，その装置の報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などによりトラブル発生の有無やトラブルの種類がわかるようになっている。従って，作業者が装置室エリア 1 1 2にいることが判断されたときに，さらに作業特定情報によってトラブルが発生していれば，その作業者がトラブル対処作業を行っていることを判断できる。このとき，作業特定情報のトラブルの種類（例えば電気系，機械系，プロセス系など）によってより詳細なトラブル対処作業が判断できる。なお，半導体製造装置 1 4 0の報知（アラーム）があった場合には通常は作業者が室内制御部 1 1 6などから当該半導体製造装置 1 4 0にアクセスしてメンテナンスモードに切換え，チェック動作を行うなどの作業を行うので，そのときの作業者のアクセス情報からトラブル対処作業を判断してもよい。上記装置室エリア 1 1 2の作業内容における定期作業は，例えば半導体製造装置 1 4 0に対して部品交換ゃゥエツトクリーユングを行う作業である。ウエットクリーニングは，作業者が装置室エリア 1 1 2で半導体製造装置 1 4 0の処理室を開けて薬液を用いて洗浄するものである。ここでは装置室ェリア 1 1 2での作業であるためクリ一ユングとしてウエットタリ一ユングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。なお，部品交換やウエットタリーニングを行う場合にも報知（アラーム）やランプの点灯などによるメンテナンス報知や室内制御部 1 1 6などからメンテナンスモードに切換えて作業を行うために当該半導体製造装置 1 4 0にアクセスする場合がある。このため，作業者が装置室エリア 1 1 2にいると判断されたときに，これらのアクセス情報ゃメンテナンス報知情報などの作業特定情報によれば，その作業者が定期作業を行っていることを判断できる。次いで，クリーンルームエリァ 1 1 0の装置室外ェリア 1 1 4での作業としては，通常オペレーション作業，定期作業，その他の作業が挙げられる。通常オペレーション作業は，例えば室外制御部 1 1 8から半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウェハが収納されたキャリア（F O U P ) をセットしたり，移動したりする作業である。なお，キャリア（F O U P ) をセットしたり，移動したりする作業は，装置室エリア 1 1 2内で行われるが，その後に室外制御部 1 1 8から半導体装置の生産指示などを行うので，装置室外エリア 1 1 4での作業に含めている。但し，これらの作業を装置室エリア 1 1 2で行う場合には装置室エリア 1 1 2の作業としてもよい。このように，通常オペレーション作業は，通常は室外制御部 1 1 8などから半導体製造装置 1 4 0にアクセスするので，作業者が装置室エリァ 1 1 2にいると判断されたときに，アクセス情報によれば，その作業者が通常オペレーション作業を行っていることを判断できる。装置室外エリア 1 1 4における定期作業は，例えば半導体製造装置 1 4 0に対するドライクリ一ユングやシーズニングなどがある。ドライクリーニングは，通常室外制御部 1 1 8などから半導体製造装置 1 4 0にアクセスし，必要情報を入力することにより半導体製造装置 1 4 0の処理室などを洗浄するものである。ここでは装置室外ェリア 1 1 4での作業であるためクリ一ユングとしてドライクリ一エングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。装置室外エリア 1 1 4におけるその他の装置室外作業（図 6における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる）は，半導体製造装置 1 4 0の監視や周囲の清掃などがある。これらは装置室外エリァ 1 1 4に作業者がいると判断されたときに，アクセス情報，メンテナンス報知情報などの作業特定情報がなかった場合にその他の作業を行っていると判断できる。これらの作業をより詳細に判断するには，例えば作業者の携帯型情報端末から監視，清掃など作業内容を入力するようにしてもよい。この入力された作業内容の情報を作業特定情報として作業を判断してもよい。続いて，クリーンルーム外エリア 1 2 0の作業としては，中央監查室ェリア 1 2 2，用カ室ェリア 1 2 4 , 保管庫ェリア 1 2 6，ォフィスエリア 1 2 8での作業がある。これらの作業はすべて図 6における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる。また休憩室ェリア 1 2 9では休憩やトイレの使用が考えられる。上記中央監査室エリア 1 2 2 , 用力室エリア 1 2 4，保管庫エリア 1 2 6，オフィスエリア 1 2 8での作業としては，例えば生産準備作業（工程管理作業としてもよい）がある。生産準備作業としては，中央監査室ェリア 1 2 2では例えば半導体装置の生産全体の監視や生産スケジュ —ル（生産工程計画）の作業の変更などを行い，保管庫エリア 1 2 6では部品の管理作業などを行い，オフィスエリア 1 2 8では部品の発注その他の雑務を行う。用力室エリァ 1 2 4ではクリーンルーム内の空気清浄機等の故障等のトラブル対応作業や空気清浄機等の定期メンテナンス等の定期的作業などを行う。このように作業者がどのェリァにいるかによつて行っている作業を判断できる。なお，上述した例では，工場内にあるエリアについての作業を説明したが，工場外においてもクリーユングなどで使用する薬品を収容しておく薬品タンクへの受け入れ作業などの工場外ェリァでの作業を行う。従って，作業者が工場外エリアにいることが検出された場合は工場外作業を行っていると判断できる。作業者が工場外ェリァにいるか否かは例えば工場内に配設した作業者検出センサ 1 3 0 により作業者の居場所が検出できなかった場合に，その作業者が出勤していれば工場外エリアにいると判断してもよい。このように，本実施の形態では，作業特定情報としてエリア情報 2 2 2ど装置情報 2 2 4により作業者の現在作業を特定している。これは作業者がどこのエリァにいるかのエリァ情報 2 2 2によってその作業者が行っている現在作業が大まかに判断でき，大まかな作業の中のさらに詳細な作業はアクセス情報などの装置情報 2 2 4から判断できるからである。但し，必ずしもこれに限られず，作業特定情報としてエリア情報 2 2 2のみにより現在作業を特定してもよい。例えば工場内外のエリアをさらに細かく分けることにより，ェリァ情報 2 2 2のみによってもある程度詳細に現在作業を特定することもできる。また，作業特定情報としてアクセス情報などの装置情報 2 2 4のみにより現在作業を特定してもよい。 As shown in Fig. 5, the work identification information database 220 stores work identification information that associates the carrier information 222 with the equipment information (work information for the equipment) 222 and the work content 222. I have. This work identification information is used, for example, when identifying the work being performed by the worker. Specifically, based on the area information of the worker detected by the worker detection sensor 130 and the work identification information such as access information of the semiconductor manufacturing equipment 140, the work that the worker is currently performing (currently Work). Area information 222 is information on each area of the factory shown in Fig.1. In the present embodiment, the equipment room area 112 in the clean room area 110, the equipment outside area 114, the central monitoring room area 122 in the clean room outside area 120, the utility room area 124, The storage area 1 26, the office area 1 28, and the rest room area 1 29 are designated as the respective areas. The device information 224 includes, for example, access information to control units such as the indoor control unit 116 and the outdoor control unit 118 of the semiconductor manufacturing device 140, and an alarm of the semiconductor manufacturing device 140 that occurs when an abnormality occurs. Information on abnormalities such as lamps and lamp lighting, alarms on semiconductor manufacturing equipment 140 that occur when maintenance is required, and information on maintenance such as lamp lighting. The access information to the control unit is, for example, information as to whether or not access for performing each operation such as maintenance of the semiconductor manufacturing apparatus 140 has been made. Work content 2 26 is the type of work performed in each area. Here, an example of the work contents determined for each area is described with reference to FIG. First, work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 includes trouble-shooting work (trouble-shooting maintenance) and periodic work. The trouble handling work in the work contents of the equipment room area 112 is a work for solving the trouble when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112. In this trouble-shooting work, there is an abnormality in the process of the equipment such as an electrical system trouble when there is an abnormality in the electric system of the equipment, a work in the mechanical system when there is an abnormality in the mechanical system of the equipment, and the etching process. If there is, there is a process related trouble. When a trouble occurs in the semiconductor manufacturing equipment 140, the presence or absence of the trouble and the type of trouble can be identified by alarms and other means using the alarm means of the equipment and lamp lighting by means of the lamp. Therefore, when it is determined that the worker is in the equipment room area 1 and 12 and if a trouble is generated by the work identification information, it can be determined that the worker is performing the troubleshooting work. . At this time, more detailed troubleshooting work can be determined based on the type of trouble in the work identification information (for example, electrical, mechanical, process, etc.). When a notification (alarm) is given to the semiconductor manufacturing apparatus 140, the worker normally accesses the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the indoor control unit 116 to switch to the maintenance mode and perform a check operation. To perform tasks such as performing tasks such as You may judge the trouble handling work. The periodic work in the work contents of the above-mentioned equipment room area 112 is, for example, a work of exchanging parts and cleaning the semiconductor manufacturing equipment 140. In wet cleaning, an operator opens the processing chamber of the semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112 and performs cleaning using a chemical solution. Here, since the work is performed in the equipment room area 112, the wet tang is taken as an example of the clear jung, but it is not necessarily limited to this. Even when replacing parts or performing wet cleaning, the semiconductor manufacturing equipment is required to perform maintenance work by notifying (alarms) and turning on lamps, and switching from the indoor control unit to maintenance mode to perform maintenance work. May access 0. For this reason, when it is determined that the worker is in the equipment room area 112, according to the work identification information such as these access information / maintenance notification information, it is clear that the worker is performing regular work. I can judge. Next, work in the outside room 114 of the clean room area 110 includes normal operation work, periodic work, and other work. In normal operation work, for example, input of process conditions and the like are performed from the outdoor control unit 118 to issue a semiconductor device production instruction, and a carrier (FOUP) containing semiconductor wafers is set or moved. Work. The work of setting and moving the carrier (FOUP) is performed in the equipment room area 112, after which the outdoor control unit 118 issues a semiconductor device production instruction and so on. Including work in the outdoor area 1 1 4 I have. However, if these operations are performed in the equipment room area 112, they may be performed in the equipment room area 112. As described above, the normal operation work normally accesses the semiconductor manufacturing equipment 140 from the outdoor control unit 118 or the like, and therefore, when it is determined that the worker is in the equipment room area 112, the access operation is performed. According to the information, it can be determined that the worker is performing normal operation work. Periodic work in the equipment outside area 114 includes, for example, dry cleaning and seasoning for the semiconductor manufacturing equipment 140. Dry cleaning involves cleaning the processing room of the semiconductor manufacturing device 140 by accessing the semiconductor manufacturing device 140 from the normal outdoor control unit 118 and inputting necessary information. Here, dry cleaning is used as an example of the cleaning because the work is performed in the exterior room 114, but this is not necessarily the case. Other equipment outside work in the equipment outside area 114 (included in other work in the work classifications described below in Fig. 6) includes monitoring of semiconductor manufacturing equipment 140 and cleaning of the surroundings. When it is determined that there is a worker in the outside room 114 of the equipment, it can be determined that other work is being performed if there is no work identification information such as access information or maintenance notification information. In order to judge these operations in more detail, the contents of the operations such as monitoring and cleaning may be input from the worker's portable information terminal. The work may be determined using the input work content information as work identification information. Next, work in the area 120 outside the clean room includes work in the central monitoring room area 122, the work room area 124, the storage area 126, and the office area 128. All of these tasks are included in other tasks in the task category described below in Figure 6. In the break room area 12 9 it is possible to take a break or use a toilet. The work in the central audit room area 122, utility room area 124, storage area 126, and office area 128 may be, for example, production preparation work (or process management work). In the production preparation work, the central audit office area 122 monitors the entire production of semiconductor equipment and changes the work of the production schedule (production process plan), and the storage area 126 stores parts. They perform management tasks and other tasks, and order and order other parts in the office area 128. In the utility room area 124, periodic work such as trouble handling such as breakdown of the air purifier in the clean room and periodic maintenance such as regular maintenance of the air purifier will be performed. In this way, the work being performed can be determined based on the worker's location. In the above example, the work in the area inside the factory was explained. However, even outside the factory, the work outside the factory, such as receiving the chemicals used for cleaning, etc., into a chemical tank, was performed. Do the work. Therefore, if it is detected that the worker is outside the factory area, it can be determined that work outside the factory is being performed. Whether the worker is outside the factory is determined, for example, if the worker's whereabouts cannot be detected by the worker detection sensor 130 installed in the factory. It may be determined that you are in an area outside the factory. Thus, in the present embodiment, the area information is used as the work identification information. The current work of the worker is specified by the device information 2 2 4. This is based on the area information of where the worker is located. The work currently performed by the worker can be roughly determined, and the more detailed work in the rough work is device information such as access information. This is because it can be determined from 224. However, the present invention is not necessarily limited to this, and the current work may be specified using only the area information 222 as the work specifying information. For example, by dividing the area inside and outside the factory into smaller pieces, the current work can be specified in some detail using only the journal information 222. In addition, the current work may be specified using only the device information 222 such as access information as the work specifying information.

(作業優先度情報データベース） (Work priority information database)

作業優先度情報データベース 2 3 0は，大きく分けた作業分類とその作業分類に属する作業の優先度（優先順位）情報である作業優先度情報を記憶している。例えば図 6に示すように最も高い優先度である優先度 1から最も低い優先度 5まで優先度 2 3 2と作業分類 2 3 4からなる。最も優先度の高い優先度 1の作業分類は，非常時作業である。この非常時作業としては，火災が発生した際の消火作業，ガス検知器からの報知に基づいてガス漏れに対応するガス漏れ対応作業などが挙げられる。これらの作業の特定は，例えば各装置室エリア 1 1 2 に設けられた火災報知器などの災害用のセンサなどから判断する。優先度 2の作業分類は，装置室エリア 1 1 2に設けられた半導体製造装置 1 4 0のトラブルへ対応するトラブル対応作業である。こ 3 のトラブル対応作業には，図 5に示すクリーンルームエリァ 1 1 0 の装置室エリァ 1 1 2におけるトラブル対応作業が含まれる。このトラブル対応作業は，上述したように例えば電気系トラブル，機械系トラブル，プロセス系トラブルなどのトラブルに対応するメンテナンスなどがある。またトラブル対応作業には，用力室エリア 1 2 4における空気清浄機などの電気系トラブル，機械系トラブルも含まれる。これらの作業は半導体装置の生産，品質を阻害し，歩留りの低下などに起因するものである。このためトラブルの対応作業は，非常時ではない通常時の作業のうちでは最も優先される。優先度 3の作業分類は，通常オペレーション作業である。この通常オペレーション作業は，図 5に示すクリーンルームェリァ 1 1 0 の装置室外ェリア 1 1 4における通常オペレーション作業が含まれる。この通常オペレーション作業は，例えば上述の半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウェハが収納されたキャリア（F O U P ) をセットしたり，移動したりする作業である。通常時において原則として何らかのトラブルがない限り通常オペレーション作業が優先される。通常オペレーシヨン作業は半導体装置の生産のための作業だからである。優先度 4の作業分類は，定期作業である。この定期作業は，図 5 に示すクリーンルームェリア 1 1 0の装置室ェリア 1 1 2における定期作業と，装置室外エリア 1 1 4における定期作業の両方が含まれる。この定期作業としては，上述したように例えばウエットタリ一ユング，ドライクリーニング，部品交換などのメンテナンスが挙げられる。さらに用力室エリア 1 2 4の空気清浄機などの定期的なメンテナンスも含まれる。これらは原則として半導体装置の生産を中止してまで行うものではないので，本実施の形態では通常オペレーシヨン作業よりも優先度を低くしている。但し，必ずしもこれに限られることはなく，優先度に拘らず例えば半導体装置の生産過程において全体又は前後の生産スケジュールを判断して最も適当と思われるところで作業を行うようにしてもよい。この場合，どのタイミングで定期作業を入れるかは工程管理の技能（スキル）を有する作業者が全体又は前後の生産スケジュールを判断して決定し，上記優先度をタイミングに応じて適宜変更するようにしてもよい。優先度 5の作業分類は，その他の作業である。ここでいうその他の作業には，図 5に示すクリーンルームェリア 1 1 0の装置室外ェリア 1 1 4におけるその他の装置室外作業の他，クリーンルーム外エリア 1 2 0の中央監查室ェリア 1 2 2の作業，保管庫ェリア 1 2 6の作業，オフィスエリア 1 2 8の作業，休憩室エリア 1 2 9の作業，及ぴ工場外エリアの作業が含まれる。従って，ここでいうその他の作業としては，例えば部品発注作業，半導体装置の生産スケジユーリング作業の調整，半導体製造装置 1 4 0の監視，清掃などが含まれる。なお，本実施の形態では作業の優先度を 5つに分けたが，必ずしもこれに限られることはなく， 6つ以上の優先度にしてもよく， 4 つ以下の優先度にしてもよい。また作業の分け方もこれに限られることはない。 The work priority information database 230 stores work classes that are broadly divided and work priority information that is the priority (priority) information of the work belonging to the work class. For example, as shown in FIG. 6, priority 2 3 2 and work classification 2 3 4 are assigned from priority 1 which is the highest priority to priority 5 which is the lowest. The highest-priority work classification of priority 1 is emergency work. These emergency operations include fire extinguishing operations in the event of a fire and gas leak handling operations that respond to gas leaks based on notification from gas detectors. The identification of these operations is determined, for example, from disaster sensors such as fire alarms installed in each equipment room area 112. The work classification of priority 2 is trouble-shooting work corresponding to the trouble of the semiconductor manufacturing equipment 140 provided in the equipment room area 112. This The trouble-shooting work 3 includes the trouble-shooting work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 shown in Fig. 5. This trouble-shooting work includes, as described above, maintenance for troubles such as electrical troubles, mechanical troubles, and process troubles. Trouble-shooting work also includes electrical and mechanical problems such as air purifiers in the utility room areas 124. These tasks hinder the production and quality of semiconductor devices and result in lower yields. For this reason, trouble-shooting work has the highest priority among normal, non-emergency work. The work classification of priority 3 is usually operation work. This normal operation includes the normal operation in the outside room 114 of the clean room area 110 shown in Fig. 5. This normal operation involves, for example, inputting process conditions and the like in order to issue the above-mentioned semiconductor device production instructions, and setting and moving a carrier (FOUP) containing semiconductor wafers. Work. As a general rule, normal operations take precedence unless there is any trouble. Usually, the operation operation is an operation for manufacturing semiconductor devices. The work classification of priority 4 is scheduled work. This regular work includes both regular work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 shown in Fig. 5 and regular work in the equipment room area 114. As described above, such periodic work includes maintenance such as wet tiling, dry cleaning, and part replacement. In addition, regular maintenance such as air purifiers Maintenance is also included. In principle, these operations are not performed until the production of semiconductor devices is stopped. Therefore, in the present embodiment, the priority is lower than that of the normal operation operation. However, the present invention is not necessarily limited to this. Regardless of the priority, for example, in the production process of a semiconductor device, the whole or before and after production schedules may be determined and the work may be performed at the most suitable place. In this case, the timing at which the periodic work is to be performed should be determined by a worker with process management skills (skills) by judging the overall or previous and subsequent production schedules, and the above priorities should be changed appropriately according to the timing. It may be. The work classification of priority 5 is other work. The other operations mentioned here include, in addition to the other equipment outdoor work in the equipment outdoor area 114 of the clean room area 110 shown in Fig. 5, the central monitoring room area 122 of the area 120 outside the clean room. Work, storage area 126 work, office area 128 work, break room work area 127 work, and work outside the factory. Therefore, the other operations here include, for example, parts ordering operations, adjustment of semiconductor device production scheduling operations, monitoring of semiconductor manufacturing equipment 140, and cleaning. In this embodiment, the work priorities are divided into five. However, the work priorities are not necessarily limited to five, and may be six or more priorities, or four or less priorities. Good. Also, the method of dividing the work is not limited to this.

(作業スキル情報データベース）作業スキル情報データベース 2 4 0は，作業自体に必要なスキル情報（作業技能情報）を記憶するものであり，作業者の持つスキル情報（作業者技能情報）を記憶する後述の作業者スキル情報データベース 2 5 0と異なる。作業スキル情報データベース 2 4 0は，具体的には図 7に示すように作業 2 4 2と大きく分けた作業者分類 2 4 4とを関連づける作業スキル情報を記憶している。上記作業 2 4 2は，さらに作業分類 2 4 6とその作業分類 2 4 6 に含まれる作業内容 2 4 8とに分けられる。ここでの作業分類 2 4 6は図 6に示す作業分類 2 3 4に対応している。この作業分類 2 4 6ごと又はその作業分類に属する作業内容 2 4 8ごとにその作業を行うのに最適な作業者分類 2 4 4を関連づけている。先ず，火災に対する消火作業などの非常時対応作業は，作業者分類 2 4 4に関係なく，全員で行うのが最適である。トラブル対応作業は，エンジニアが行うのが最適である。さらにトラブル対応作業のうちの電気系トラブル対応作業は電気系エンジニア，機械系トラブル対応作業は機械系ェンジ.亍ァ，プロセス系トラブル対応作業はプロセス系エンジニアがそれぞれ行うのが最適である。これは，作業者がエンジニアの場合にはそれぞれの作業者が専門分野を有しているため，専門に応じたエンジニアが作業にあたることが最適と考えられるからである。つまり，必ず専門のエンジニアが行わなければならないという意味ではなく，専門以外のエンジニアであってもそのトラブルに対応できるエンジニアがいればその作業者が作業を行ってもよレヽ。通常オペレーション作業は，半導体製造装置 1 4 0に半導体装置の生産をさせるために上記制御部 1 1 6等を操作する作業などである。このため，オペレータである作業者が行うのが最適である。なお，通常オペレーション作業は必ずオペレータが行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニアは通常，オペレータとしてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行つてもよい。定期作業は，例えばクリーニング，部品交換などのメンテナンス作業である。従って，定期作業者が行うのが最適である。なお，この定期作業についても上記と同様に必ず定期作業者が行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニア，オペレータは通常，定期作業者としてのスキルも有するので，エンジニアが通常ォペレーションを行ってもよレ、。その他の作業は，例えば半導体装置の生産スケジユーリングなどの作業である。従って，その他の作業は，その作業に対応できるスキルを有する，その他の作業者が行うのが最適である。 (作業者スキル情報データベース） (Work skill information database) The work skill information database 240 stores the skill information (work skill information) necessary for the work itself, and the worker skill information data described later that stores the skill information (worker skill information) possessed by the worker. Different from base 250. The work skill information database 240 stores the work skill information that specifically associates the work 242 with the worker class 244, which is roughly divided as shown in FIG. The above-mentioned work 242 is further divided into a work class 246 and work contents 248 included in the work class 246. The work class 2 46 here corresponds to the work class 2 3 4 shown in FIG. The most appropriate worker class 244 for performing the work is associated with each work class 246 or each work content 248 belonging to the work class. First of all, it is best to perform emergency response work such as fire extinguishing work by everyone, regardless of worker classification 244. The trouble-shooting work is best performed by an engineer. In addition, it is best that the electrical system engineer works for electrical troubles, the mechanical engineer works for mechanical troubles, and the process engineer works for process troubles. This is because if the workers are engineers, each worker has a specialized field, and it is considered optimal to have engineers who are specialized in the work. In other words, this does not mean that a specialized engineer must always perform the task. Even if a non-specialized engineer can deal with the trouble, the worker may do the work. The normal operation work includes the operation of the control unit 116 and the like in order to cause the semiconductor manufacturing equipment 140 to produce semiconductor devices. For this reason, it is optimal for the operator to be the operator. Note that normal operation does not necessarily mean that the operator must perform the operation. For example, an engineer usually has the skills as an operator, so the engineer may perform normal operations. Regular work is maintenance work such as cleaning and parts replacement. Therefore, it is best to be performed by regular workers. This does not mean that the periodic work must be performed by the regular workers, as described above. For example, engineers and operators usually have the skills of a regular worker, so engineers can perform normal operations. The other work is, for example, the work of scheduling semiconductor device production. Therefore, other tasks are optimally performed by other workers who have the skills to handle the task. (Worker skill information database)

作業者スキル情報データベース 2 5 0は，図 8に示すように作業者の持つ作業者スキル情報（作業者技能情報）' を記憶する。この作業者スキル情報は，例えば作業者の整理番号 2 5 1，氏名 2 5 2， I D 2 5 3 , ノスワード 2 5 4 , 所属 2 5 5 , 作業者分類 2 5 6 ，作業 2 5 7などの項目で記憶される。なお，これらの項目の他に例えば作業者のシフト（時間），半導体製造装置の運転スケジュールなどを記憶してもよい。また，作業分類ごとにその作業を行う際の単価を記憶しておいてもよい。この作業の単価は例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合に利用できる。整理番号 2 5 1は作業者の通し番号であり，氏名 2 5 2と I D 2 5 3は作業者を特定するものである。上記所属 2 5 5にはその作業者が所属する工場名，事業所名，会社名等を記憶する。例えば作業者が本発明にかかる作業者管理システムを備える工場の作業者である場合には，所属 2 5 5にその工場名を記憶する。また，本発明にかかる作業者管理システムを備える工場に別の工場に所属する作業者が派遣されている場合には，所属 2 5 5にはその所属する別の工場名を記憶する。さらに後述するように半導体製造装置 1 4 0を販売する会社（販売会社）とその半導体製造装置 1 4 0を購入する顧客である会社（購入会社）がある場合，販売会社の従業員が作業者として販売会社の工場に派遣されている場合には，所属 2 5 5にはその販売会社名を記憶する。作業者分類 2 5 6には，その作業者の図 7に示す作業者分類を記憶する。その作業者がオペレータのスキルを有する場合にはォペレータとし，その作業者が定期作業を行うスキルを有する場合には定期作業者とする。また作業者がエンジニアであれば機械系ェンジ二ァのようにその専門まで記載することが好ましい。上記作業 2 5 7には，その作業者がスキルを有する作業を記憶する。上記作業 2 5 7は，図 7に示す作業 2 4 2に対応している。具体的には作業 2 5 7は作業分類と作業内容に分けられる。作業者がその作業を行うことができるか否かは，例えば〇， △, Xで表す。The worker skill information database 250 stores the worker skill information (worker skill information) 'of the worker as shown in FIG. This worker skill information includes, for example, the worker's reference number 251, name 252, ID 253, nosword 254, affiliation 255, worker classification 256, work 2557, etc. The item is stored. In addition to these items, for example, shifts (time) of workers, operation schedules of semiconductor manufacturing equipment, etc. Any may be stored. Also, the unit price for performing the work for each work class may be stored. The unit price of this work can be used, for example, when sending a worker from one company to another factory and setting a fee according to the work. Reference number 25 1 is the serial number of the worker, and name 25 2 and ID 25 3 identify the worker. The affiliation 255 stores the name of the factory, office, company, etc. to which the worker belongs. For example, if the worker is a worker of a factory equipped with the worker management system according to the present invention, the factory name is stored in the affiliation 255. Further, when a worker belonging to another factory is dispatched to a factory equipped with the worker management system according to the present invention, the belonging 255 stores the name of another factory to which the worker belongs. As described further below, if there is a company that sells semiconductor manufacturing equipment 140 (sales company) and a company that purchases semiconductor manufacturing equipment 140 (purchasing company), employees of the sales company If a worker is dispatched to the factory of a sales company as an operator, the affiliation 255 stores the name of the sales company. In the worker class 256, the worker class shown in Fig. 7 is stored. If the worker has the skills of an operator, the operator is the operator. If the worker has the skills to perform the periodic work, the operator is the regular worker. If the worker is an engineer, it is preferable to describe his / her specialty like a mechanical engineer. In work 2 57 above, the work for which the worker has skills is stored. You. The above operation 257 corresponds to operation 242 shown in FIG. Specifically, work 257 is divided into work classification and work content. Whether or not a worker can perform the work is represented by, for example, 〇, △, and X.

〇はその作業者が行うことができる作業であり， △はその作業者が行うのは難しいができないことはない作業であり， Xはその作業者が行うことができない作業である。なお，作業 2 4 2には，作業者自らの専門の作業のみならず，実際に行うことができる作業を記憶してもよい。例えばその作業者の作業者分類が機械系エンジニアであれば，自らの専門に属する機械系トラブル対応作業が〇となるが，一般にエンジニアであれば通常オペレーション作業を行うこともできるので，通常オペレーション作業も〇にする。また，その作業者が電気系エンジニアであっても，自らの専門ではない機械系トラブル対応作業を行うことができる場合がある。このような場合には電機系トラブル対応作業のみならず，機械系トラブル対応作業を〇にしてもよい。〇 is a task that the worker can perform, Δ is a task that is difficult but not impossible for the worker, and X is a task that the worker cannot. The work 242 may store not only the work of the worker himself / herself but also the work that can be actually performed. For example, if the worker classification of the worker is a mechanical engineer, the task is to deal with mechanical troubles belonging to his / her specialty. However, in general, an engineer can perform normal operation work. Make it worse. In some cases, even if the worker is an electrical engineer, he or she can perform mechanical system troubleshooting work that is not his / her specialty. In such a case, not only the electrical system trouble-shooting operation but also the mechanical system trouble-shooting operation may be changed to (1).

(トラブル情報データベース） (Trouble information database)

トラブル情報（異常情報）データベース 2 6 0は，半導体製造装置 1 4 0のエラーコードによるトラブル情報を記憶するエラーコード情報データベース 2 6 2と，半導体装置の検査結果によるトラブル情報を記憶する検查結果情報データベース 2 6 4とを有する。エラーコード情報データベース 2 6 2は，図 9に示すように半導体製造装置 1 4 0にトラブル（異常）があったときのエラーコード，そのエラーコードの内容，そのエラーに対応できるスキル (技能) を有する作業者分類を関連づけたエラーコード情報を記憶する。例えばエラーコード「A A B B 0 1」は，半導体製造装置 1 4 0として例えば高周波電力を印加して処理室内に発生させたプラズマによりエッチング処理を行うプラズマエッチング装置における処理室内の高周波反射波が上限値を越えた場合のエラーである。この場合にはプラズマエッチング装置に設けられた高周波ジェネレータや整合器（マッチヤー）などがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル (技能) を有する作業者分類は電気系エンジニアである。これに対してエラーコード「C C D D 0 1 J は，ポンプの冷却水の流量低下によるエラーである。この場合にはポンプュニットなどがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル (技能）を有する作業者分類は機械系エンジニアである。検査結果情報データベース 2 6 4は，図 1 0に示すようにプラズマエッチング装置などの半導体製造装置 1 4 0によって製造された半導体装置に検査異常があつたとき検査結果，その検査結果による異常に対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけた検査結果情報を記憶する。例えば半導体製造装置 1 4 0によって製造されたウェハなどは，検查装置により様々な検査が行われる。これらの検査結果によるトラブルは，主としてプロセス系エンジニアがトラブル対応作業を行う。このようなトラブル情報データベース 2 6 0を利用すれば，トラブルの種類に応じてそのトラブル対応作業を行う最適な作業者分類を決定できる。 The trouble information (abnormal information) database 260 is an error code information database 262 that stores trouble information based on the error codes of the semiconductor manufacturing equipment 140, and a check information that stores trouble information based on the inspection results of the semiconductor devices.查 It has a result information database. As shown in Fig. 9, the error code information database 262 stores the error code when the semiconductor manufacturing device 140 has a problem (abnormality), the content of the error code, and the skills (skills) that can respond to the error. ) Error code information associated with the worker classification having For example, the error code “AABB 0 1” is a high-frequency reflected wave in a processing chamber of a plasma etching apparatus that performs etching using plasma generated in the processing chamber by applying high-frequency power as a semiconductor manufacturing apparatus 140. Is an error when exceeds the upper limit. In this case, the high-frequency generator and matching device (matcher) provided in the plasma etching equipment are the target sites for errors. Therefore, the type of operator who has the skills (skills) that can perform the work to troubleshoot this error is the electrical engineer. On the other hand, the error code “CCDD 0 1 J” is an error caused by a decrease in the flow rate of the cooling water of the pump. In this case, the error target is the pump unit, etc. Therefore, it is possible to perform troubleshooting work for this error Workers with skills (skills) are classified as mechanical engineers The inspection result information database 264 is a semiconductor device manufactured by a semiconductor manufacturing device 140 such as a plasma etching device as shown in Fig. 10 Inspection result information that is associated with the inspection result when there is an inspection abnormality in a semiconductor and the classification of workers who have the skills (skills) that can respond to the abnormality based on the inspection result, for example, a wafer manufactured by the semiconductor manufacturing equipment 140 Various inspections are performed by inspection equipment, etc. Troubles caused by these inspection results are mainly caused by process engineer. Using the trouble information database 260 as described above, it is possible to determine the optimal worker classification to perform the trouble-shooting work according to the type of trouble.

(作業者管理装置が行う処理）次に，作業者管理装置 2 0 0が行う新作業分配処理についての具体例を図 1 1〜図 1 4を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。本実施形態における新作業分配処理は，新たな作業が発生した場合に，作業者の現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか又は新たな作業を行わせるかを判断し（判断手段），前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す（指示手段）ものである。新作業の作業内容及び作業者のスキル，現在行っている作業と新作業との優先度などを考慮しつつ，最適な作業者を選択して指示を与える処理である。新作業分配処理は，具体的には図 1 1に示すように先ずステップ S 1 1 0にて新たな作業が発生したか否かを判断する。例えば半導体製造装置 1 4 0にエラー情報の他，報知（アラーム）情報などから判断し，新作業を特定する。例えば半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生した場合は，作業者管理装置 2 0 0は半導体製造装置 1 4 0からアラームを受信するとともにエラーコードを含むエラー情報を受信する。トラブル情報データベース _{2 6} 0のうちのエラーコード情報データベース 2 6 2 を利用すれば，上記エラー情報のエラーコードに基づいてその新作業がどのようなトラブルに対する作業（電気系トラブル対応作業，機械系トラブル対応作業) かを特定することができる。また半導体製造装置 1 4 0のうちの検査装置からの検査結果を受信して，その検査結果に異常があった場合には，トラブル情報データベース 2 6 0のうちの検査結果情報データベース 2 6 4を利用すれば，新作業がプロセス系トラブル対応作業であることを特定でき，さらにそのトラブルの詳細も取得できる。また半導体製造装置 1 4 0のロットが終了した場合は，ロット終了の通知がある。これにより新作業は F O U Pの移動等，次ロットに対する準備作業などの定期作業，通常オペレーション作業などであることが特定できる。半導体製造装置 1 4 0からクリーニングなどの通知があった場合は，新作業が定期作業であることが特定できる。次いでステップ S 1 2 0にてその新作業を行うことができる作業者を抽出する（作業者抽出手段の例）。例えば作業スキル情報データベース 2 4 0によりその新作業を行うのに最適な作業者分類を検索し，その作業者分類を有する作業者を作業者スキル情報データべ一ス 2 5 0に基づいて抽出する。また，その新作業を行うのに最適な作業者分類に属する作業者でなくても，作業者スキル情報データべース 2 5 0の作業 2 5 7の欄に〇と△がついている作業者は新作業を行うことができる。従ってこれらの作業者も抽出の対象とする。なお，作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業 2 5 7の欄では，例えば電気系エンジニアは電気系トラブル対応作業には必ず〇がついているように，作業者分類の専門の作業には必ず〇がついている。また専門以外の作業でも〇がついている作業者がいる場合があり，専門以外の作業でもできないことはない場合には△がついている。従って，作業者分類によらず，作業者スキル情報データべ一ス 2 5 0の作業 2 5 7の欄のみに基づいて〇と△がついている作業者だけを抽出するようにしてもよい。続いて，ステップ S 1 3 0にて作業者に優先順位を付与する（優先順位付与手段）。作業スキル及び作業者スキルに基づいて最も適した作業者から優先順位をつける。例えば作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業の欄に〇がついている作業者の優先順位を高くする。その作業が専門の作業者を優先的に作業に当らせることができるようにするためである。なお，作業者に優先順位をつける処理の詳細は後述する。次にステップ S 1 4 0にて作業を行う作業者を決定する。作業者の決定は，例えば優先順位の高い作業者から順に，その作業者が現在行っている作業と新たな作業との優先度に基づいて行う。なお，この作業者を決定する処理の詳細は後述する。次いでステップ S 1 5 0にてステップ S 1 4 0で決定された作業者に新作業を実行させる指示を出す（指示手段）。このとき例えばその作業者が持つ携帯型情報端末に新作業を実行するように指示を出すようにしてもよレ、。続いてステップ S 1 6 0にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップ S 1 4 0の作業者決定処理において現在作業を検出しているので（図 1 3に示すステップ S 3 2 0 ) , その結果を利用 4 して判断する。このようにしたのは，新作業を指示する作業者に現在作業があった場合には，その現在作業について代りの作業者を選択して指示を出す必要があるためである。ステップ S 1 6 0にてその作業者に現在作業があると判断した場合には，ステップ S 1 7 0 にて現在作業を新作業としてステップ S 1 2 0の処理に戻り，その作業を代りに行うものを決定する。またステップ S 1 6 0にてその作業者に現在作業がないと判断した場合には，この処理を終了する。ここで，上記ステップ S 1 3 0における作業者の優先順位付与処理（作業者優先順位付与手段）の 1例を図 1 2に示すサブルーチンを参照しながら説明する。ステップ S 2 1 0にて新作業とされる作業について作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業 2 5 7の欄に〇がついていることを第 1のキーとして，そのような作業者の優先順位を高くするようにソートする。続いてステップ S 2 2 0にて新作業の作業者分類を第 2のキーとしてこの作業者分類に一致する作業分類の作業者についての優先順位を最も高くするようにソートする。こうして，作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業の欄に〇がついており，かつ新作業の作業者分類が一致する作業者が最も優先順位が高くなる。例えばその新作業の作業スキルを有する作業者の作業者分類が電気系エンジニアの場合には，抽出された作業者の中に機械系エンジニアが含まれていても，電気系エンジニアの優先順位の方が高くなる。これにより，ステップ S 1 4 0にて作業者を決定する際に，新作業に最も適切な作業者から順番に新作業を担当させてよいか否かを判断することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができる。次に，ステップ S 1 5 0にて作業者を決定する処理の 1例を図 1 3に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップ S 3 1 0にて図 1 3に示すステップ S 1 4 0で得られた作業者の優先順位 k = l とし，優先順位の高い順に作業者決定処理を行う。次いでステップ S 3 2 0にて作業者の現在行っている作業（現在作業）を検出する（現在作業特定手段の例）。作業者の現在作業の検出は例えばその作業者がどのエリアにいるかなどに基づいて行う。この作業者の作業を検出する処理については例えば図 1 4に示すサブルーチンのように行う（現在作業特定手段の例）。先ずステップ S 4 1 0にてその作業者が存在するエリア情報を検出する。これによりある程度の作業（作業分類）が検出できる。具体的にはタリーンルームェリア 1 1 0内における装置室ェリア 1 1 2などの上記各エリアのうち，作業者がどのェリアにいるかを作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報に基づいて検出する。例えばその作業者の周波数が検出された作業者検出センサ 1 3 0の設置エリアを作業者のいるエリアとする。その作業者の周波数が，クリーンルームエリア 1 1 0内における装置室エリア 1 1 2に設置された作業者検出センサ 1 3 0で検出されれば，その作業者は装置室ェリア 1 1 2にいると判断され，装置室外エリア 1 1 4に設置された作業者検出センサ 1 3 0で検出されればその作業者は装置室外エリア 1 1 4にいると判断される。次に，ステップ S 4 2 0にて半導体製造装置 1 4 0へのアクセス情報などの装置情報を検出する。これにより，さらに詳しい作業を検出できる。半導体製造装置 1 4 0や制御部 1 1 6， 1 1 8などからアクセスした装置情報は，作業者管理装置 2 0 0により受信される。このアクセス情報から I Dとパスワードによりその作業者を特定し，その作業者がどのような作業を行っているかを判断する。また半導体製造装置 1 4 0の報知（アラーム）情報などの装置情報も作業者管理装置 2 0 0により受信される。この報知情報からも作業を検出できる。続いてステップ S 4 3 0にて上記エリア情報及ぴ上記装置情報により，図 5に示す作業特定情報データベース 2 2 0の作業特定情報に基づいて，その作業者の現在作業を特定する。例えばエリア情報としてクリーンルームェリア 1 1 0における装置室ェリア 1 1 2にその作業者がいると判断され，さらに装置情報として報知情報，トラブル対応ァクセスがあったと判断された場合には，現在作業の作業内容としてトラブル対応作業を行っていると判断する。次に，図 1 3に示すステップ S 3 3 0にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップ S 3 2 0により作業が特定された場合には現在作業ありと判断し，作業が特定されない場合は現在作業なしと判断する。ステップ S 3 3 0にて現在作業がないと判断した場合には，ステップ S 4 0 0にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する（作業者特定手段）。これに対してステップ S 3 3 0にて現在作業ありと判断された場合は，ステップ S 3 4 0にて作業優先度情報データベース 2 3 0の作業優先度情報に基づいて現在作業の優先度を取得し，ステップ S 3 5 0にて新作業の優先度を取得する。次いでステップ S 3 6 0にて現在作業の優先度（U 1 ) の方が現在優先度（U 2 ) よりも高いか否か又は優先度が同じか否かを判断する。ステップ S 3 5 0にて現在作業の優先度の方が現在優先度よりも高いと判断した場合又は優先度が同じと判断した場合は，ステップ S 3 7 0にて優先順位 k をインクリメント ( k = k + 1 ) する。続いて，ステップ S 3 8 0 にて優先順位が付与されたすベての作業者について処理を行ったか否かを判断する。例えば抽出され優先順位が付与された作業者数を Nとしておき，優先順位 k = N + 1になったか否かで判断する。ステツプ S 3 8 0にて未だ優先順位の付与されたすベての作業者について処理していないと判断した場合，例えば優先順位 k == N + 1になっていないと判断した場合は，ステップ S 3 2 0の処理に戻って次の優先順位の作業者について処理を行う。上記ステップ S 3 5 0にてその作業者における現在作業の優先度の方が現在優先度よりも低いと判断した場合には，ステップ S 4 0 0にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する。こうして決定された作業者には図 1 1に示すステップ S 1 5 0により新作業を行うよう指示が与えられる。このように検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処 5 理させることができる。これにより，作業配分の最適化を図ることができる。また，上記ステップ S 3 8 0にて優先順位の付与されたすベての作業者について処理したと判断した場合，例えば優先順位 k = N + 1になったと判断した場合は，ステップ S 3 9 0にてエラー処理を行う。エラー処理としては例えば該当する作業者が見つからない旨の表示を表示部 2 0 4に行う。この場合には例えばその作業を行うことが可能な作業者にその旨を通知するようにしてもよい。上記のような処理によれば，優先度の高い処理ほど作業者が見つかる場合が多いから，作業者が見つからない処理は優先度の低い処理になる可能性が高い。従って，例えば時間をずらして上記の処理を再度行うようにしてもよレ、。なお，ステップ S 3 9 0のエラー処理では，作業スキル情報データベース 2 4 0の作業スキル情報に基づいて作業者が見つからなかつた作業からその作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類を検索し，上記作業，作業者分類，日時などをログファイルなどにより記憶するようにしてもよい。例えば作業者が見つからなかった作業が機械系トラブル対応作業の場合，その作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類としては機械系エンジニアが検索できるので，口グファイルには機械系トラブル対応作業, 機械系ェンジ二ァなどを記憶する。これにより，その工場では機械系エンジニアが不足している可能性があることがわかる。このように，上記ログファイルは，その工場における作業者の増減が必要か否かの判断材料にすることができる。例えば，エラー処理が頻繁に起る場合には作業者が不足しており，どの作業者分類の作業者が不足しているかも推測できる。また，エラー処理が起らない程度に作業者を削減することにより余分な作業者を削減することもできる。これにより，その工場に真に必要な作業者分類の作業者を必要な数だけ配属させることができるので，作業者一人あたりの作業の効率化を図ることができるだけでなく，作業者数の効率化を図ることもできる。このような処理によれば，例えば新作業として機械系トラブル対応作業が発生し，その新作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアの A氏，機械系エンジニアの B氏，ォペレータの C氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアの B氏，電気系エンジニアの A氏，オペレータの C氏の順となり，この順に処理される。この場合， B氏の現在作業がなければ，新作業の作業者は B氏に決定される。また B氏に現在作業があつた場合であつても，その現在作業が例えば通常オペレーション作業であった場合には，図 6に示す作業優先度情報データベース 2 3 0によれば Bさんの現在作業である通常オペレーション作業よりも新作業である機械系トラブル対応作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者は B氏に決定される。この場合， B氏の現在作業である通常オペレーション作業は，新作業として処理が繰返される。このときの作業者の優先順位は，ォペレータの C氏，電気系エンジニアの A氏，機械系エンジニアの B 氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータの C氏に現在作業がなければ，新作業の作業者は C氏に決定される。また C氏に現在作業があっても，その現在作業が定期作業であつた場合には，図 6に示す作業優先度情報データベース 2 3 0によれば C氏の現在作業である定期作業よりも新作業である通常オペレーション作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はその C氏に決定される。ところが， C氏の現在作業が別のェリァでの通常オペレーション作業の場合には，図 6に示す作業優先度情報データベース 2 3 0によれば現在作業と新作業とは優先度に優劣がないため， C氏には現在作業を続行してもらい。電気系エンジニアの A氏の現在作業がなければ，新作業の作業者は A氏に決定される。 (Processing performed by the worker management device) Next, specific examples of the new work distribution process performed by the worker management device 200 will be described with reference to FIGS. The processing in the present embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device. In the new work distribution process in this embodiment, when a new work occurs, it is determined based on the worker's current work whether the worker should continue the current work or perform a new work. (Instruction means), and instructs the worker to execute the work in accordance with the result of the judgment by the above-mentioned judgment means (instruction means). This is the process of selecting the best worker and giving an instruction, taking into account the work content of the new work, the skills of the workers, and the priorities of the current work and the new work. Specifically, in the new work distribution processing, as shown in FIG. 11, first, it is determined in step S110 whether a new work has occurred. For example, the new work is identified by judging the semiconductor manufacturing equipment 140 from error information as well as notification (alarm) information. For example, when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140, the worker management apparatus 200 receives an alarm from the semiconductor manufacturing apparatus 140 and error information including an error code. By using the error code information database 2 6 2 of the trouble information database _{2 6} 0, the work for the new industry what trouble based on the error code of the error information (electrical problem corresponding work, mechanical troubles Response work). In addition, when an inspection result from the inspection equipment of the semiconductor manufacturing equipment 140 is received and there is an abnormality in the inspection result, the inspection result information database 260 of the trouble information database 260 is received. By using 4, it is possible to specify that the new work is a process-related work, and to obtain the details of the trouble. In addition, when the lot of the semiconductor manufacturing equipment 140 is completed, there is a notice of the lot end. As a result, it is possible to specify that the new work is a regular work such as a preparation work for the next lot, such as the movement of a FOUP, and a normal operation work. If a notification such as cleaning is sent from the semiconductor manufacturing equipment 140, it can be specified that the new work is a regular work. Next, in step S120, workers who can perform the new work are extracted (an example of worker extracting means). For example, the most appropriate worker class for performing the new work is searched from the work skill information database 240, and the worker having that worker class is extracted based on the worker skill information database 250. I do. In addition, even if the worker does not belong to the optimal worker classification to perform the new work, the worker who has “〇” and “△” in the column of “Work 257” in the worker skill information database 250. Can do new work. Therefore, these workers are also to be extracted. Note that, in the column of work 255 in the worker skill information database 250, for example, electrical engineers must always be marked with 〇 for electrical trouble-shooting work. 〇 is attached. In addition, there are cases where there are workers who Yes, it is marked with “できない” when there is nothing that cannot be done by non-specialized work. Therefore, regardless of the worker classification, only the workers marked with (1) and (2) may be extracted based on only the column of work 2570 in the worker skill information database 250. Subsequently, in step S130, the priorities are assigned to the workers (priority assigning means). Prioritize the most suitable workers based on their work and worker skills. For example, the priority of the worker who is marked with “〇” in the work column of the worker skill information database 250 is raised. This is to ensure that the work can be given priority to specialized workers. The details of the process for assigning priorities to workers will be described later. Next, in step S140, the worker who performs the work is determined. The decision of the worker is made based on the priority of the current work and the new work, for example, in order from the worker with the highest priority. The details of the process for determining the worker will be described later. Next, in step S150, an instruction to execute the new work is issued to the worker determined in step S140 (instruction means). At this time, for example, the portable information terminal of the worker may be instructed to execute a new work. Subsequently, in step S160, it is determined whether there is any current work of the worker. Since the work is currently detected in the worker determination process in step S140 (step S320 shown in Fig. 13), the result is used. 4 to judge. This is because if a worker who instructs a new task has a current task, it is necessary to select an alternative worker for the current task and issue an instruction. If it is determined in step S160 that the worker has a current work, in step S170 the current work is set as a new work and the process returns to step S120 and the work is replaced. Decide what to do. If it is determined in step S160 that the worker has no work, the process is terminated. Here, an example of the worker priority ordering process (worker priority ordering means) in step S130 will be described with reference to a subroutine shown in FIG. In the step S210, regarding the work to be a new work, the キー in the column of the work 257 in the worker skill information database 250 is used as the first key, and Sort in order of preference. Subsequently, in step S220, the sorting is performed so that the priority of the worker of the work category that matches the worker category is set to be the highest using the worker category of the new work as the second key. In this way, the worker with the 〇 in the work column of the worker skill information database 250 and with the same worker classification as the new work has the highest priority. For example, if the worker classification of a worker who has the work skill of the new work is an electrical engineer, even if the extracted workers include a mechanical engineer, the priority of the electrical engineer is higher than that of the extracted engineer. Will be higher. As a result, when deciding the worker in step S140, it is possible to determine whether or not the new work can be assigned to the new work in order from the most appropriate worker. With this, new work The most appropriate workers can be found faster. Next, an example of the process of determining an operator in step S150 will be described with reference to a subroutine shown in FIG. First, in step S310, the worker's priority k = l obtained in step S140 shown in Fig. 13 is set to k = l, and the worker determination processing is performed in descending order of priority. Next, in step S320, the work currently performed by the worker (current work) is detected (an example of the current work specifying means). The current work of the worker is detected based on, for example, which area the worker is in. The process of detecting the worker's work is performed, for example, as a subroutine shown in Fig. 14 (an example of the current work specifying means). First, in step S410, information on the area where the worker exists is detected. This allows some work (work classification) to be detected. Specifically, in each of the above-mentioned areas such as the equipment room area 112 in the tarry room area 110, which area the worker is in is detected based on sensor information from the worker detection sensor 130. For example, the installation area of the worker detection sensor 130 where the frequency of the worker is detected is set as the area where the worker is located. If the worker's frequency is detected by the worker detection sensor 130 installed in the equipment room area 112 in the clean room area 110, the worker is in the equipment room area 112. It is determined that the worker is in the equipment room area 114 if it is detected by the worker detection sensor 130 installed in the equipment room area 114. Next, access to the semiconductor manufacturing equipment 140 is performed in step S420. Detect device information such as information. As a result, more detailed work can be detected. The device information accessed from the semiconductor manufacturing device 140 and the control units 116, 118 is received by the worker management device 200. From this access information, the worker is identified by the ID and password, and what kind of work the worker is performing is determined. In addition, device information such as notification (alarm) information of the semiconductor manufacturing device 140 is also received by the worker management device 200. Work can also be detected from this broadcast information. Subsequently, in step S430, the current work of the worker is specified based on the work identification information in the work identification information database 220 shown in FIG. 5 based on the area information and the device information. For example, if it is determined that the worker is in the equipment room area 112 in the clean room area 110 as the area information, and it is also determined that the broadcast information and the trouble-corresponding access have been determined as the equipment information, It is determined that trouble handling work is being performed. Next, in step S330 shown in FIG. 13, it is determined whether the worker has a current work. If a work is specified in step S320, it is determined that there is a current work. If no work is specified, it is determined that there is no work. If it is determined in step S330 that there is no work, the worker is determined as a worker who performs a new work in step S400 (worker identification means). On the other hand, if it is determined in step S330 that there is work, the work priority information database 230 is stored in step S340. The priority of the current task is acquired based on the task priority information, and the priority of the new task is acquired in step S350. Next, in step S360, it is determined whether the current work priority (U1) is higher than the current work priority (U2) or the same. If it is determined in step S350 that the priority of the current work is higher than the current priority, or if it is determined that the priority is the same, the priority k is incremented (k in step S370). = k + 1). Subsequently, in step S380, it is determined whether or not processing has been performed for all the workers to which the priorities have been assigned. For example, the number of extracted and prioritized workers is set to N, and it is determined based on whether or not the priority k = N + 1. When it is determined in step S380 that all the workers to which the priorities have not yet been processed have been processed, for example, when it has been determined that the priorities k == N + 1 have not been established. Returns to the process of step S320, and performs the process for the worker of the next priority. If it is determined in step S350 that the priority of the current work of the worker is lower than the current priority, the worker who performs the new work is determined in step S400. To be determined. The worker thus determined is instructed to perform a new work in step S150 shown in FIG. The priority of the current task and the new task detected in this way is compared, and if the new task has a higher priority, the worker is instructed to perform the new task. In this way, even when a new task occurs, it is possible to determine whether or not to allow the worker to perform the new task according to the priority of the current task. The quicker the work 5 This makes it possible to optimize work distribution. If it is determined in step S380 that all the workers assigned priority have been processed, for example, if it is determined that the priority k = N + 1, the process proceeds to step S390. Perform error processing with 0. As the error processing, for example, a display indicating that the corresponding worker cannot be found is displayed on the display unit 204. In this case, for example, a worker who can perform the work may be notified to that effect. According to the processing described above, a worker with a higher priority often finds a worker, so that a processing in which a worker is not found is likely to be a processing with a lower priority. Therefore, for example, the above processing may be performed again with a delay. In the error processing in step S390, based on the work skill information in the work skill information database 240, the worker classification of the worker who has the necessary skills for the work from the work for which no worker was found is determined. It is also possible to search and store the above work, worker classification, date and time, etc. in a log file or the like. For example, if the work for which no worker was found is a machine-related trouble-handling work, the mechanical system engineer can search for the worker classification of workers who have the necessary skills for the work. Work, mechanical engineer, etc. are stored. This indicates that there may be a shortage of mechanical engineers at the factory. Thus, the log file described above increases the number of workers in the factory. It can be used as a material for determining whether reduction is necessary. For example, if error processing occurs frequently, the number of workers is insufficient, and it can be inferred which type of worker is insufficient. In addition, unnecessary workers can be reduced by reducing the number of workers to the extent that error processing does not occur. As a result, the required number of workers of the required worker classification can be assigned to the factory, so that the efficiency of work per worker can be improved and the efficiency of the number of workers can be improved. Can also be planned. According to such processing, for example, a work to deal with mechanical trouble occurs as a new work, and it was found that Mr. A, an electrical engineer, and B, a mechanical engineer, were extracted as workers who could perform the new work. If Mr. and Mr. C were the operators, the priority of these workers would be in the order of B, a mechanical engineer, A, an electrical engineer, and C, an operator. In this case, if there is no current work of Mr. B, the worker of the new work is decided to Mr. B. Even if Mr. B had a current job, if the current job was, for example, a normal operation job, according to the work priority information database 230 shown in FIG. The new work is assigned to Mr. B in this case, too, because the new work, the mechanical work, is the higher priority than the normal operation work, which is the current work. In this case, the normal operation work, which is Mr. B's current work, is repeated as a new work. The priority of the worker at this time is Pererator C, electrical engineer A, and mechanical engineer B are processed in this order. At this time, if there is no current work for operator C, the operator for the new work is determined to be Mr. C. Also, if Mr. C has a current work, but the current work is a regular work, the work priority information database 230 shown in FIG. Since the new operation, the normal operation operation, has a higher priority, the operator of the new operation is also determined to be Mr. C in this case. However, if Mr. C's current work is a normal operation work in another area, according to the work priority information database 230 shown in Fig. 6, the current work and the new work have no priority. , And have Mr. C continue his work. If Mr. A, an electrical engineer, does not have a current job, Mr. A is determined as the worker for the new job.

(第 2実施形態） (Second embodiment)

次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第 2実施形態を図面を参照して説明する。なお，第 2実施形態においては，図 1〜図 1 0までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第 1実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。第 2実施形態における作業者管理装置 2 0 0が行う新作業分配処理についての他の具体例を図 1 5，図 1 6を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することがでさる。第 2実施形態における新作業配分処理において，第 1実施形態における図 1 1に示す場合と異なるのは，新作業が発生するとこの新作業とすべての作業者の現在作業とを含めた全作業について，各作業の優先度，作業スキル，作業者スキルなどを考慮しつつ，最適な作業者が作業を行うことができるように作業の再配分を行う点である。具体的には，図 1 5に示すように先ずステップ S 5 1 0にて新たな作業が発生したか否かを判断する。上記ステップ S 3 1 0と同様に例えば半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生した場合のエラー情報，報知情報などから判断する。次いでステップ S 5 2 0にてすベての作業者の現在作業を検出する。この作業者の現在作業の検出処理は，例えば図 1 4に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。次にステップ S 5 3 0にて新作業及び現在作業を含めた全作業についての再分配を行う（作業再配分手段）。このように，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。なお，作業の再分配の処理の詳細は後述する。続いてステップ S 5 4 0にて各作業者に対してその作業者に分配された作業を行うように指示を出す。例えば各作業者が持つ携帯型情報端末にそれぞれ該当する作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。次いでステップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っているかを判断する。ステップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っていると判断した場合はステップ S 5 6 0にて対応可能な作業者に対して未分配の作業があるので対応するようにとの通知をして処理を終了する。ステップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っていないと判断した場合はそのまま処理を終了する。ここで，ステップ S 5 3 0における作業再分配処理（作業再配分手段）の 1例を図 1 6に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップ S 6 1 0にて新作業と現在作業を含めたすべての作業について，作業優先度情報データベース 2 3 0の作業優先度情報に基づいて優先度の高い順にソートする。このときの作業の優先順位を Wとする。続いてステップ S 6 2 0にて優先順位 W = 1とし優先順位の最も高い作業から以降の処理により最適な作業者を決定してレ、 < ₀ 次いでステップ S 6 3 0にてその作業を行うことができる作業者を抽出する。続いてステップ S 6 4 0にて作業者に優先順位をつける。この優先順位付与の処理は，例えば図 1 2に示すサブルーチンにより行う。続いて，ステップ S 6 5 0にて作業者を決定する。この作業者決定の処理は，例えば図 1 3に示すサブルーチンにより行う次に，ステップ S 6 6 0にて作業の優先順位 Wをィンクリメントし（W = W + 1 ) , ステップ S 6 7 0にて該当するすべての作業について処理したかを判断する。こうして，原則としてすべての作業について作業者が決定される。伹し，作業によっては適切な作業者が見つからない場合もある。この場合は，図 1 5に示すステップ S 5 5 0， 5 6 0により未分配の作業として作業が可能な作業者にその旨を通知する。このような処理によれば，例えば新作業が発生すると，全作業者の現在作業を検出し，新作業を含めたすべての作業について作業優先度情報データベース 2 3 0に基づいて優先順位を付与する。優先順位の高い作業からその作業を行う作業者を決定していく。例えばすべての作業の優先順位が機械系トラプル対応作業，通常オペレーション作業であったとすると，先ず機械系トラブル対応作業から作業者を決定される。最初の作業である機械系トラブル対応作業については，その作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアの A氏，機械系エンジニアの B氏，オペレータの C氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアの B氏，電気系エンジニアの A氏，オペレータの C氏の順となり，この順に処理される。この場合， B氏の現在作業がなければ，機械系トラブル対応作業の作業者は B氏に決定される。 5 次に，通常オペレーション作業について作業者が決定される。このときの作業者の優先順位は，オペレータの C氏，電気系ェンジ二ァの A氏，機械系エンジニアの B氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータの C氏に現在作業がなければ，新作業の作業者は C氏に決定される。このように，新作業が発生した場合に，新作業を含めた全作業の再配分を行い，その際，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業配分の最適化を作業の効率化を図ることができる。 Next, a second embodiment of the worker management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing plant will be described with reference to the drawings. Note that, in the second embodiment, the configuration from FIG. 1 to FIG. 10 is the same, and a detailed description thereof will be omitted. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Another specific example of the new work distribution process performed by the worker management device 200 in the second embodiment will be described with reference to FIGS. Note that the processing in this embodiment is typically performed by a hard disk drive. It can be implemented by a program recorded in a recording medium such as. The difference between the new work distribution processing in the second embodiment and the case shown in Fig. 11 in the first embodiment is that when a new work occurs, all the work including this new work and the current work of all workers is performed. The task is to redistribute the work so that the most suitable worker can perform the work, taking into account the priority of each work, work skills, worker skills, and so on. Specifically, as shown in FIG. 15, it is first determined in step S510 whether a new operation has occurred. In the same manner as in step S310 above, for example, judgment is made from error information and notification information when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140. Next, in step S520, the current work of all workers is detected. The process of detecting the worker's current work is performed for all workers, for example, by repeating the subroutine shown in Fig. 14 for each worker. Next, in step S530, redistribution is performed for all the work including the new work and the current work (work redistribution means). Thus, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. And more appropriate workers can be assigned. This makes it possible to improve work distribution efficiency and work efficiency. The details of the work redistribution process will be described later. Subsequently, in step S540, each worker is instructed to perform the work distributed to the worker. For example, an instruction may be given to execute the work corresponding to the portable information terminal possessed by each worker. Next, in step S550, it is determined whether or not unallocated work remains. If it is determined in step S550 that undistributed work remains, a notice is sent in step S560 to workers who can respond, as there is undistributed work and they will be dealt with. To end the processing. If it is determined in step S550 that there is no undistributed work, the process ends. Here, an example of the work redistribution process (work redistribution means) in step S530 will be described with reference to a subroutine shown in FIG. First, in step S610, all tasks including the new task and the current task are sorted in descending order of priority based on the task priority information in the task priority information database 230. The priority of the work at this time is W. Subsequently, in step S620, the priority order is set to W = 1, the optimal worker is determined by the subsequent processing from the work with the highest priority, and then < _0. Then, the work is performed in step S630. Extract workers who can do it. Subsequently, in step S640, the workers are prioritized. This priority assignment process is performed, for example, by a subroutine shown in FIG. Subsequently, an operator is determined in step S650. This worker determination process is performed, for example, by a subroutine shown in FIG. Next, in step S660, the work priority order W is incremented (W = W + 1), and in step S670, it is determined whether or not all applicable works have been processed. Thus, in principle, workers are determined for all work. However, depending on the task, an appropriate worker may not be found. In this case, a worker who can work as an undistributed work is notified of this in steps S550 and S560 shown in FIG. According to such processing, for example, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and priorities are assigned to all the work including the new work based on the work priority information database 230. I do. The worker who performs the work is determined from the work with the highest priority. For example, assuming that the priority of all operations is the mechanical system trapping operation and the normal operation operation, the operator is first determined from the mechanical system troubleshooting operation. Regarding the first task, which is a mechanical trouble-shooting task, it is assumed that electrical engineers A, mechanical engineers B, and operator C were extracted as workers who can perform the task. Then, the priorities of these workers are as follows: mechanical engineer B, electrical engineer A, and operator C, and are processed in this order. In this case, if Mr. B has no current work, Mr. B is determined to be the worker for the mechanical trouble-shooting work. 5 Next, workers are determined for normal operation work. The priorities of the workers at this time are Mr. C of the operator, Mr. A of the electrical engineer, and Mr. B of the mechanical engineer, and are processed in this order. At this time, if there is no current work for operator C, the worker for the new work is determined to be Mr. C. In this way, when a new work occurs, all the work including the new work is redistributed, and at that time, the workers are determined in the order of the priority of the work. Can be determined. Also, when redistributing all work including new work, the priority of the detected current work is compared with that of the new work. You can give instructions to do new work. As a result, the more important the higher the priority work, the more optimal workers can be selected, so that the work distribution can be optimized and the work efficiency can be improved.

(第 3実施形態） (Third embodiment)

次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第 3実施形態を図面を参照して説明する。第 3実施形態においては，図 1〜図 1 0までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第 1実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。第 3実施形態における作業者管理装置 2 0 0が行う作業情報記憶手段の 1例としての作業データベースの作成処理について図 1 6を参照しながら説明する。作業データベースは，後述する各作業者の作業日報を作成するための元になるデータベースである。従って，作業データベースには作業者ごとに所定時間ごとに行った作業を記憶しておく。従って，この作業データベースの作成処理は，作業日報に記載する時間に応じて所定時間ごとに実行する。例えば 1時間ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を 1時間ごとに実行し， 3 0分ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を 3 0分ごとに実行する。作業データベースの作成処理は，先ずステップ S 7 1 0にてすべての作業者が現在行っている作業（現在作業）を検出する。各作業者の現在作業の検出処理は，例えば図 1 4に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。ステップ S 7 2 0にて各作業者ごとに検出した現在作業を記憶する。こうして，所定時間ごとに作業者の現在作業を検出して記憶していけば，各作業者ごとに作業データベースが作成される。この作業データベースは，例えば図 3に示す各種データベース 2 1 0に含まれるようにしてもよい。次に，作業者管理装置 2 0 0が行う作業報告書作成手段の 1例としての作業日報作成処理について図 1 8を参照しながら説明する。作業日報作成処理は，作業者ごとに作業日報を自動的に作成するものである。先ずステップ S 8 1 0にて作業者の特定を行う。作業日報を作成する作業者を特定する。ここでは操作画面に作業者を入力するようにして特定の作業者の作業日報を作成できるようにしてもよく，また各作業者を自動的に次々と特定していき，すべての作業者について作業日報を作成できるようにしてもよい。次いでステップ S 8 2 0にて図 1 7に示す処理により作成された作業データベースに基づいてその作業者の作業日報データを作成する。作業日報データはその作業者の該当日における作業を抽出して作成する。 ' 次にステップ S 8 3 0にて作業日報を印刷する。例えば作業者管理装置 2 0 0に接続したプリンタにより，作業日報を印刷して出力してこの処理を終了する。こうして作成された作業日報の 1例を図 1 9に示す。この作業日報は，所定時時間として 1時間ごとに図 1 7に示す作業データベース作成処理を行って作業者の現在作業を検出した場合の例である。なお，この作業日報は，例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合にも利用できる。作業者スキル情報データベース 2 5 0に作業単価を記憶している場合には，各作業の作業単価も検索して印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。また，作業データベースから月ごとのデータを取出せば，作業月報も作成して印刷可能である。このように，本実施の形態によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業データベースを作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。このような本発明によれば，作業者が現在行っている作業を容易に特定することができるため，例えば新たな作業が発生した場合でも現在の作業と新作業との優先度を考慮しつつ，最も適切な作業者を選択して作業を行わせることができる。このように，各作業者を適材適所に配置させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。なお，上述した実施形態においては，図 1に示すように作業者検出センサ 1 3 0として各エリア 1 1 0， 1 2 0に配設する例えば受信機 1 3 4は，作業者管理装置 2 0 0に通信ケーブル等によって接続する場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，通信ケーブル等の代りにネットワークにより接続するようにしてもよい。また，図 2に示す受信機 1 3 4は，送受信機能を有する送受信機であってもよく，送信機 1 3 8は送受信機能を有する携帯型情報端末であってもよい。この場合，携帯型情報端末に臭気センサなど各種センサを設け，これらセンサの検出値に基づいて異常判断を行うようにしてもよい。具体的には，図 2 0に示すように，例えば装置室エリア 1 1 2にネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続機能付送受信機 3 20を配設する。ネットワーク接続機能付送受信機 3 2 0はネットワーク 300を介して作業者管理装置 2 00に接続する。作業者管理装置 200はネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続装置 340を介してネットワーク 300に接続する。作業者が携帯する図 2に示すような送信機 1 3 8は，送受信機能を有する携帯型情報端末 3 6 0により構成してもよい。なお，このような携帯型情報端末 3 6 0 としては例えば P D A (Personal Digital Assistant), ノート型コンピュータ，ペン入力可能なコンピュータ（例えばタブレット P C) などが挙げられる。携帯型情報端末 3 6 0は，異常検知のために音や臭いなどを検知する臭気センサ，高周波センサ，低周波センサなどの各種センサ 3 6 2の他，制御部 3 64, 変復調部 3 6 6，通信インタフェース 3 6 8などを備える。変復調部 3 6 6は，通信インタフェース 3 6 8 を介して送信するデータを例えば無線信号に変調したり，通信ィンタフエース 3 6 8を介して受信したデータを復調したりするものである。ネットワーク 3 0 0は，インターネットなどの公衆回線網であつてもよく，また WAN (Wide Area Network) , LAN (Local Area Network ) , I P— V P N ( InternetProtocol― Virtual Private Network) などの閉鎖回線網であってもよい。また接続媒体は， FD D I (Fiber Distributed Data Interface) などによる光ファイバケープノレ， E t h e r n e tによる同軸ケープノレ又はツイストペアケーブル，もしくは I EEE 8 0 2. 1 1 bなどによる無線など，有線無線を問わず，衛星ネットワークなどであってもよい。上記ネットワーク接続機能付送受信機 3 20は，例えば無線ルータ機能を有するように構成し，携帯型情報端末 3 6 0の通信インタフェース 3 6 8は無線 LANカードなどで構成することにより，ネットワーク接続機能付送受信機 3 20と携帯型情報端末 3 6 0との間は無線 LANによりデータを送受信可能としてもよい。携帯型情報端末 3 6 0の各種センサ 3 6 2は，音については例えば人間が感知できないような周波数，周期などを検出するものであつてもよい。また各種センサ 3 6 2として臭気センサを設ける場合には，例えばセンサ表面に臭い成分が吸着することにより検出するものであってもよい。臭気センサは例えばガス探知センサで構成し， CO, C 1等のハロゲンガスなど人体に有害なガスを検出するようにしてもよい。また，例えば半導体製造装置の処理室を排気する排気ポンプの油の蒸気から油の摩擦度，粘度を検出するようにしてもよい。具体的には各種センサ 3 6 2としては，オシロスコープ，スぺクトラムアナライザー，ファーストフーリエトンスレッシュホルドーシヨン（F FT), 振動解析器，振動水晶子センサ，半導体センサ，光センサなどが挙げられる。携帯型情報端末 3 6 0は各種センサ 3 6 2の切換スィッチ（図示しない）を備え，作業者は切換スィッチにより所望のセンサを選択して使用することができるようにしてもよい。なお，携帯型情報端末 3 6 0に設けられた入力手段から作業者が入力したデータ（外部環境情報）をセンサデータとしてもよい。外部環境情報としては例えば作業者が計測器を用いて計測したデータやオペレーションパネルにより表示されるデータなど様々なデータをセンサデータとして入力してもよい。入力手段は, キー入力, タツチパネル入力など公知の入力手段であってもよい。携帯型情報端末 3 6 0の制御部は 3 6 4は，例えば各種センサ 3 6 2からの検出値に基づいて半導体製造装置などの異常判断を行う。例えば音や臭いが検出されると異常が発生していると判断してもよく，また異常か否かの閾値を記憶部（図示しない）などに記憶しておき，その閾値を越える音や臭いが検出されると，異常が発生していると判断する。これにより，例えば図 9に示すようなエラーが発生する前に異常を判断することができる。そして，異常が発生していると判断した場合には，携帯型情報端末 3 6 0は各種センサ 3 6 2のうち該当するセンサからのデータをネットワーク 3 0 0を介して作業者管理装置 2 0 0へ送信する。作業者管理装置 2 0 0では，携帯型情報端末 3 6 0から受信したセンサデータに基づいて，例えば図 1 1に示すステップ S 1 1 0，図 1 5に示すステップ S 5 1 0の新作業が発生したかを判断する。具体的には図 9に示すようなエラーが発生する前の兆候を事前情報として記憶する例えばエラー事前情報データベース（図示しない）を各種データベース 2 1 0に設け，エラー事前情報データベースに記憶した兆候に基づいて総合的に作業を特定し，新作業が発生したものと判断する。この場合，作業者管理装置 2 0 0は，異常と判断された半導体製造装置 1 4 0にアクセスして，報知手段によるァラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などを行わせるようにしてもよい。エラー事前情報データベースに記憶される具体例は以下の通りである。エラー事前情報データベースには，例えば真空側エラー事前情報として，リークレート増大（兆候 1 ) ,ベースプレツシャ上昇（兆候 2 ) , 大気側エラー事前情報として異音（兆候 3 )，振動増大（兆候 4 ) が記憶されている。. リークレート増大（兆候 1 ) は例えば半導体製造装置の処理室に設けられた Oリングの劣化により大気が処理室内に流入する場合の兆候である。ベースプレツシャ上昇（兆候 2 ) は例えば処理室内を真空引きする真空ポンプの疲労や異物の堆積で真空引き能力が不足する場合の兆候である。異音（兆候 3 ) は例えば真空ポンプの劣化に加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のパランス不良を生じている場合の兆候である。振動増大（兆候 4 ) は例えば異物の堆積，真空ポンプの劣化などに加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。兆候 1， 2は，例えば作業者によって携帯型情報端末 3 6 0に入力された外部環境情報に基づいて判断することができる。兆候 3， 4は各種センサ 3 6 2から検出されたセンサデータに基づいて判断することができる。このような兆候がエラー事前情報データベースに記憶されている合，例えば作業者によって携帯型情報端末 3 6 0に入力された外部環境情報に基づき，兆候 1のみであると判断され，兆候 3， 4がない場合には，真空ポンプは正常の可能性が高く，チャンバリーク (処理室内にリークが発生）している可能性が高いので，チャンパリークの発生に基づくメンテナンスを行うという新作業が発生したものと判断する。従って，図 1 1 , 図 1 5によりその新作業を行うように特定された作業者に新作業を行うように指示を出す。具体的には例えば作業者管理装置 2 0 0は，ネットワーク 3 0 0を介してその作業者の携帯型情報端末 3 6 0に指示を送信する。なお，図 2 0に示す携帯型情報端末 3 6 0で検出されたり，入力されたりしたセンサデータは，その都度作業者管理装置 2 0 0に送信されるようにしてもよく，また図 1 4に示すステップ S 4 1 0のエリア情報を検出する際に，作業者の識別情報とともに作業者管理装置 2 0 0に送信されるようにしてもよい。そして，作業者管理装置 2 0 0で異常か否かの判断を行い，新作業の発生を判断するようにしてもよい。また，上記ネットワーク接続機能付送受信機 3 2 0 , 携帯型情報端末 3 6 0の送受信機能は，無線による送受信機能に限られず，赤外線による送受信機能など様々な送受信機能を適用することができる。さらに，携帯型情報端末 3 6 0に， G P S (Global Positioning System) を設け， G P Sに基づいて作業者の位置を検出するようにしてもよい。以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば，本発明は，半導体製造工場を所有する企業の作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよく，また半導体製造工場にこれを所有する企業とは異なる企業からの作業者を派遣した場合にその作業者を含めて管理する作業者管理システムとして適用してもよい。特に，半導体製造装置を購入又は使用する企業である客先に，その半導体製造装置を製造又は販売する企業の従業員を作業者として派遣して半導体製造装置のメンテナンスや半導体製造などの作業を行わせる場合に，その作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよい。これにより，派遣にかかる作業者一人当りの作業効率を最大限に高めることができ，その派遣した工場の特質に応じた作業者分類，作業者数を決定することができる。これにより，半導体製造装置の製造又は販売元の企業にとっては，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業に対して派遣する作業者を必要最小限にとどめることができる。一方，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業にとっては，半導体製造装置の製造又は販売元の企業から派遣された作業者にかかる人件費を必要最小限に抑えることができる。産業上の利用の可能性本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に適用可能である。 Next, a third embodiment of the worker management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing plant will be described with reference to the drawings. In the third embodiment, the configuration from FIG. 1 to FIG. 10 is the same, and therefore detailed description is omitted. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Note that the processing in the present embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device. Work information storage performed by the worker management device 200 in the third embodiment A process of creating a work database as an example of the means will be described with reference to FIG. The work database is a database from which a daily work report for each worker, which will be described later, is created. Therefore, the work database stores the work performed for each worker at predetermined time intervals. Therefore, this work database creation process is executed at predetermined time intervals according to the time stated in the work daily report. For example, if a daily work report is created every hour, the above-mentioned work database creation process is executed every hour, and if a daily work report is created every 30 minutes, the above work database creation process must be performed three times. Run every 0 minutes. In the work database creation process, first, in step S710, the work currently performed by all workers (current work) is detected. The process of detecting the current work of each worker is performed for all workers, for example, by repeating the subroutine shown in Fig. 14 for each worker. In step S720, the current work detected for each worker is stored. In this way, if the current work of the worker is detected and stored at predetermined time intervals, a work database is created for each worker. This work database may be included in, for example, various databases 210 shown in FIG. Next, the work daily report creation processing as an example of the work report creation means performed by the worker management device 200 will be described with reference to FIG. The daily work report creation process automatically creates a daily work report for each worker. First, in step S810, an operator is specified. Create daily work report Identify workers to do. Here, it may be possible to create a daily report for a specific worker by inputting the worker on the operation screen, and to automatically identify each worker one after another, It may be possible to create a daily work report. Then, in step S820, daily work report data of the worker is created based on the work database created by the processing shown in FIG. The daily work report data is created by extracting the work of the worker on the corresponding day. 'Next, a work daily report is printed in step S830. For example, a work day report is printed and output by a printer connected to the worker management device 200, and the process is terminated. Fig. 19 shows an example of the work daily report created in this way. This daily work report is an example of the case where the current work of the worker is detected by performing the work database creation processing shown in Fig. 17 every hour as a predetermined time. This daily work report can also be used, for example, when dispatching workers from a different company to a certain factory and setting a fee for the work. If the work unit price is stored in the worker skill information database 250, it is also possible to search and print the work unit price for each work, and to charge a fee according to the work content from the total amount. Become. By extracting monthly data from the work database, a work monthly report can be created and printed. As described above, according to the present embodiment, a work report such as a work daily report and a work monthly report can be easily created. You. Moreover, since the work database is automatically created based on the worker's report by detecting the worker's work, it is not necessary to input from a portable information terminal or the like every time the worker performs the work. Work efficiency is improved. In addition, since it is not necessary to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created. According to the present invention, since the work currently performed by the worker can be easily specified, even when a new work occurs, for example, the priority of the current work and the new work is considered. At the same time, it is possible to select the most appropriate worker to perform the work. In this way, each worker can be placed in the right place at the right place, and the work efficiency of each worker can be improved. In the above-described embodiment, as shown in FIG. 1, the receivers 134 provided as the worker detection sensors 130 in the respective areas 110 and 120 are, for example, a worker management device. Although the case where the connection is made to 200 with a communication cable or the like has been described, the invention is not necessarily limited to this, and the connection may be made with a network instead of the communication cable or the like. Also, the receiver 1334 shown in FIG. 2 may be a transceiver having a transmission / reception function, and the transmitter 1338 may be a portable information terminal having a transmission / reception function. In this case, various sensors such as an odor sensor may be provided in the portable information terminal, and the abnormality may be determined based on the detection values of these sensors. Specifically, as shown in Fig. 20, for example, a network connection function having a network connection function such as a router function in the equipment room area 112 Transceiver with function 3 20 is installed. The transceiver 320 with a network connection function connects to the worker management device 200 via the network 300. The worker management device 200 connects to the network 300 via a network connection device 340 having a network connection function, for example, a router function. The transmitter 138 shown in FIG. 2 carried by the worker may be constituted by a portable information terminal 360 having a transmitting / receiving function. Examples of such a portable information terminal 360 include a PDA (Personal Digital Assistant), a notebook computer, and a computer capable of pen input (for example, a tablet PC). The portable information terminal 360 has various sensors such as odor sensors, high-frequency sensors, and low-frequency sensors that detect sound and odor for abnormality detection, as well as a control unit 364 and a modem unit 366. , Communication interface 368, etc. The modem 366 modulates data transmitted via the communication interface 368 to, for example, a radio signal, and demodulates data received via the communication interface 368. The network 300 may be a public network such as the Internet, or a closed network such as a WAN (Wide Area Network), a LAN (Local Area Network), or an IP—VPN (Internet Protocol—Virtual Private Network). You may. The connection medium is an optical fiber cape notch by FD DI (Fiber Distributed Data Interface) or the like, a coaxial cape notch by Ethernet, or a twisted pair. A satellite network may be used regardless of wired or wireless, such as wireless using cable or IEEE 802.11b. The transceiver 320 with the network connection function described above is configured to have a wireless router function, for example, and the communication interface 368 of the portable information terminal 360 is configured by a wireless LAN card or the like. Data may be transmitted and received between the transceiver with connection function 320 and the portable information terminal 360 by wireless LAN. The various sensors 362 of the portable information terminal 360 may detect, for example, frequencies and periods of sound that cannot be detected by humans. In the case where an odor sensor is provided as the various sensors 362, the odor sensor may be, for example, a sensor that detects an odor component adsorbed on the sensor surface. The odor sensor may be constituted by a gas detection sensor, for example, to detect gases harmful to the human body such as halogen gas such as CO and C1. Also, for example, the degree of friction and viscosity of oil may be detected from the oil vapor of an exhaust pump that exhausts a processing chamber of a semiconductor manufacturing apparatus. Specifically, examples of various sensors 362 include oscilloscopes, spectrum analyzers, first Fourierton threshold holders (FFT), vibration analyzers, vibrating quartz crystal sensors, semiconductor sensors, and optical sensors. Can be The portable information terminal 360 may be provided with a switch (not shown) for the various sensors 362 so that the operator can select and use a desired sensor with the switch. The data (external environment information) input by the operator from the input means provided in the portable information terminal 360 may be used as the sensor data. As the external environment information, various data such as data measured by a worker using a measuring instrument and data displayed on an operation panel may be input as sensor data. The input means may be a known input means such as a key input or a touch panel input. The control unit of the portable information terminal 360 determines the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus or the like based on, for example, the detection values from the various sensors 362. For example, if a sound or smell is detected, it may be determined that an abnormality has occurred. In addition, a threshold value for determining whether or not an abnormality is present is stored in a storage unit (not shown), and a sound or the like exceeding the threshold value is stored. If an odor is detected, it is determined that an abnormality has occurred. As a result, for example, an error can be determined before an error as shown in Fig. 9 occurs. If it is determined that an abnormality has occurred, the portable information terminal 360 transmits data from the corresponding sensor among the various sensors 362 via the network 300 to the worker management device 2. 0 Send to 0. Based on the sensor data received from the portable information terminal 360, the operator management device 200 uses, for example, the new work of step S110 shown in FIG. 11 and step S510 shown in FIG. Is determined to have occurred. Specifically, for example, an error prior information database (not shown) that stores signs before the occurrence of an error as shown in FIG. 9 as prior information is provided in various databases 210, and is stored in the error prior information database. Work is comprehensively specified based on the stored signs, and it is determined that a new work has occurred. In this case, the worker management device 200 accesses the semiconductor manufacturing device 140 that has been determined to be abnormal, and causes the alarm device or the like to notify the user of an alarm or to turn on the lamp by the lamp device. You may do so. Specific examples stored in the error prior information database are as follows. The error prior information database contains, for example, leak rate increase (sign 1), base pressure rise (sign 2), abnormal noise (sign 3), and vibration increase (atmospheric side error prior information) as vacuum side error prior information. Sign 4) is memorized. An increase in the leak rate (Sign 1) is a sign that the air flows into the processing chamber due to, for example, deterioration of the O-ring provided in the processing chamber of the semiconductor manufacturing equipment. An increase in base pressure (sign 2) is a sign that the vacuum pump is insufficiently evacuated due to, for example, fatigue of a vacuum pump for evacuating the processing chamber or accumulation of foreign matter. The abnormal noise (sign 3) is, for example, a sign that the bearing is deteriorated in addition to the vacuum pump, resulting in poor balance of the semiconductor manufacturing equipment. Vibration increase (sign 4) is a sign that, for example, bearing deterioration has occurred in addition to foreign matter accumulation, vacuum pump deterioration, and the like, resulting in imbalance in semiconductor manufacturing equipment. The signs 1 and 2 can be determined, for example, based on external environment information input to the portable information terminal 360 by a worker. The signs 3 and 4 can be determined based on sensor data detected from the various sensors 362. If such a sign is stored in the prior error information database, for example, the information input to the portable information terminal 360 by the worker If there are no signs 3 and 4 based on the environmental information, it is highly possible that the vacuum pump is normal and there is a possibility that a chamber leak (leak occurred in the processing chamber). Therefore, it is determined that a new task of performing maintenance based on the occurrence of a champer leak has occurred. Therefore, the worker who is specified to perform the new work according to Figs. 11 and 15 is instructed to perform the new work. Specifically, for example, the worker management device 200 transmits an instruction to the portable information terminal 360 of the worker via the network 300. The sensor data detected or input by the portable information terminal 360 shown in FIG. 20 may be transmitted to the worker management device 200 each time. When the area information in step S410 shown in FIG. 4 is detected, the information may be transmitted to the worker management device 200 together with the identification information of the worker. Then, the operator management device 200 may determine whether there is an abnormality and determine whether a new operation has occurred. The transmission / reception functions of the transceiver with network connection function 320 and the portable information terminal 360 are not limited to wireless transmission / reception functions, and various transmission / reception functions such as infrared transmission / reception functions can be applied. You. Furthermore, a GPS (Global Positioning System) may be provided in the portable information terminal 360 to detect the position of the worker based on the GPS. Although the preferred embodiment according to the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it goes without saying that the present invention is not limited to the example. Absent. It is clear that a person skilled in the art can envisage various changes or modifications within the scope of the claims, which also fall within the technical scope of the present invention. It is understood. For example, the present invention may be applied as a worker management system that manages the workers of a company that owns a semiconductor manufacturing plant, or that employs workers from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing plant. It may be applied as a worker management system that manages the dispatched workers including the workers. In particular, employees of a company that manufactures or sells semiconductor manufacturing equipment are dispatched to a customer who is a company that purchases or uses semiconductor manufacturing equipment to perform maintenance of semiconductor manufacturing equipment and operations such as semiconductor manufacturing. In this case, it may be applied as a worker management system that manages the worker. As a result, the work efficiency per worker involved in dispatching can be maximized, and the classification and number of workers can be determined according to the characteristics of the dispatched factory. As a result, for a company that manufactures or sells semiconductor manufacturing equipment, it is possible to minimize the number of workers dispatched to a customer company that purchases or uses semiconductor manufacturing equipment. On the other hand, for a customer company that purchases or uses semiconductor manufacturing equipment, labor costs for workers dispatched from the company that manufactures or sells semiconductor manufacturing equipment can be minimized. Industrial potential The present invention is applicable to a worker management system, a worker management device, and a worker management method.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims

( 1 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と， (1) Work identification information storage means for storing a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, and work identification information in which each work area of the work area is associated with the contents of work performed in each work area. And worker detection means provided in each of the work areas;

前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on an output from the worker detecting means;

前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker from the work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means;

前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と， Determining means for determining whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work specified by the current work specifying means;

前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段と， Instruction means for instructing the worker to execute a work in accordance with the result of the judgment by the judgment means;

を備えたことを特徴とする作業者管理システム。 A worker management system comprising:

( 2 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (2) The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し， The transmitter is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies for each worker,

前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 1に記載の作業者管理システム。 The worker position locating means finds the worker detecting means that has received the electromagnetic wave of the frequency of the worker to be detected in the work area, and locates the worker area provided with the worker detecting means with the worker. 2. The operator's pipe according to claim 1, wherein the operator is specified as a work area. Management system.

( 3 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (3) The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し， The transmitter is set to transmit an electromagnetic wave carrying identification information for identifying each worker,

前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 1に記載の作業者管理システム。 The worker position identification means acquires the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the identification information of the worker to be detected in the work area, 2. The worker management system according to claim 1, wherein a work area provided with the detection means is specified as a work area where the worker is located.

( 4 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け， (4) Work information acquiring means for acquiring the worker's work information from the working device provided in the work area is provided,

前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業ェリァ情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらェリァ情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項 1に記載の作業者管理システム。 The current work specifying means obtains, from the work information obtaining means, work information from a work device on which the worker is performing work, in addition to the work query information specified as a work area where the worker is present. 2. The worker management system according to claim 1, wherein the current work of the worker is specified based on the query information and the work information.

( 5 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， (5) a work area divided into a plurality of work areas according to the work contents, work specifying information storage means for storing the work specifying information relating the work areas and the work contents performed in each of the work areas,

前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と， Worker detection means provided in each of the work areas;

前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行つている作業を特定する現在作業特定手段と， Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on an output from the worker detecting means; Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker from the work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means;

前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と， A worker skill information storage unit for storing worker skill information that associates each worker with a work that can be performed by each worker; a work priority information storage unit for storing work priority information;

新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と， New work detecting means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detecting means detects a new work, the new work is performed based on the worker skill information in the worker skill information storage means. Worker extraction means for extracting workers who can

前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と， The current work of the worker extracted by the worker extracting means is specified by the current work specifying means, and the priority of the current work and the new work are determined based on the work priority information in the work priority information storage means. And a worker specifying means for performing a worker specifying process for obtaining and comparing the priority of the new work as a worker of the new work having a higher priority than the current work, and

前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段と， Instruction means for instructing the worker identified by the worker identification means to perform the work of the new work;

( 6 ) 前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し， (6) The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker,

各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け， A work skill information storage unit for storing work skill information in which each work is associated with a worker class having a skill capable of performing each work; and the worker for each worker extracted by the worker extraction unit. When acquiring the worker classification obtained by the skill information storage means In both cases, the worker classification of the new work is acquired based on the work skill information in the work skill information storage means, and the priority of the worker having the same acquired worker classification is higher than that of the worker. And a priority assigning means for assigning a priority.

前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うことを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。 The worker identifying means performs the worker identifying process in order from the worker extracted by the worker extracting means, the worker having the highest priority given to the worker assigned by the priority assigning means. The worker management system according to claim 5, wherein

( 7 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (7) The worker detection means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。 The worker position identification means finds the worker detection means that has received the electromagnetic wave of the frequency of the worker to be detected in the work area, and locates the worker area in which the worker detection means is provided. 6. The worker management system according to claim 5, wherein the worker management system is specified as a work area.

( 8 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (8) The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業ェリアとして特定することを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。 The worker position identification means obtains the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means which has received the identification information of the worker to be detected in the work area, Detection means 6. The worker management system according to claim 5, wherein the provided work area is specified as a work area where the worker is located.

( 9 ) 前記作業ェリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け， (9) Work information acquiring means for acquiring the worker's work information from the working device provided in the work area is provided;

前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。 The current work identification means acquires, in addition to the work area information specified as the work area where the worker is present, work information from a work device on which the worker is working from the work information acquisition means. The worker management system according to claim 5, wherein the current work of the worker is specified based on the area information and the work information.

( 1 0 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場と， (10) A work area divided into multiple work areas according to the work content;

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と， Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area of the workplace is associated with the work content performed in each work area; worker detection means provided in each work area;

作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と， Work priority information storage means for storing work priority information;

新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 3 報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と， New work detecting means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means identifies the current work of all workers, and For all work including new work, the work priority information stored in the work priority information storage means A task redistribution means that assigns priorities to tasks based on three reports and reassigns all tasks to all workers from tasks with higher priority;

前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段と， Instruction means for instructing all workers of the work assigned by the work redistribution means;

( 1 1 ) 前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし， (11) The work redistribution means changes the work with the highest priority to the new work,

前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， Worker skill information storage means for storing worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker;

前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means; and a current work of the worker extracted by the worker extraction means. Based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means. 10. The worker according to claim 10, further comprising: an operator specifying unit that performs an operator specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work. Management system.

( 1 2 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (12) The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 ( 1 3 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， The worker position identification means finds the worker detection means that has received the electromagnetic wave of the frequency of the worker to be detected in the work area, 10. The worker management system according to claim 10, wherein a work area provided with the worker detection means is specified as a work area where the worker is located. (13) The worker detection means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 ( 1 4 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け， The worker position identification means acquires the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the identification information of the worker to be detected in the work area, 10. The worker management system according to claim 10, wherein a work area provided with the detection means is specified as a work area where the worker is located. (14) Work information acquiring means for acquiring the worker's work information from the working device provided in the work area is provided,

前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらェリァ情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 The current work identification means acquires, in addition to the work area information specified as the work area where the worker is present, work information from a work device on which the worker is working from the work information acquisition means. 10. The worker management system according to claim 10, wherein the current work of the worker is specified based on the query information and the work information.

( 1 5 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と， (15) A work area divided into a plurality of work areas according to the work content;

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と， A work identification information storage unit for storing work identification information in which each work area of the workplace is associated with the content of work performed in each work area; Worker detection means provided in each of the work areas;

所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と， A work information storage means for specifying the current work of all workers by the current work specifying means at predetermined time intervals, and storing the current work for each worker;

前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段と， A work report creating means for creating a work report including the work performed by a desired worker at predetermined time intervals based on the work information in the work information storage means;

を設けたことを特徴とする作業者管理システム。 ( 1 6 ) 前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し， The worker management system characterized by having provided. (16) The work report preparation means also stores the work unit price when each work is performed for each work.

前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成することを特徴とする請求項 1 5に記載の作業者管理システム。 16. The worker management system according to claim 15, wherein the work report creating means creates a work report including a work unit price of the work and a total amount of the work unit price.

( 1 7 ) 前記作業場は，半導体製造工場であることを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 (17) The worker management system according to claim 10, wherein the workplace is a semiconductor manufacturing factory.

( 1 8 ) 前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることを特徴とする請求項 1 7に記載の作業者管理システム。 ( 1 9 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって， (18) The worker management system according to claim 17, wherein the worker is a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the workplace. (19) A worker management device for managing workers who work in a work area divided into a plurality of work areas according to the work content,

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， A work identification information storage unit for storing work identification information in which each work area of the workplace is associated with the contents of the work performed in each work area; and a work identification information storage unit provided in each work area. A worker position specifying means for specifying which work area the worker is based on,

を備えたことを特徴とする作業者管理装置。 An operator management device comprising:

( 2 0 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって， (20) A worker management device for managing workers who work in a work area divided into a plurality of work areas according to the work content,

前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， Work identification information storage means for storing task identification information in which each of the work areas is associated with the content of the work performed in each of the work areas;

前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， Worker position specifying means for specifying which work area the worker is based on output from worker detecting means provided in each of the work areas;

前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， Based on the work identification information in the work identification information storage means, Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker from the work area of the worker specified by the worker position specifying means;

を備えたことを特徴とする作業者管理装置。 ( 2 1 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって， An operator management device comprising: (21) A worker management device that manages workers who work in a work area divided into multiple work areas according to the work content.

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業ェリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， 8 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， A work identification information storage unit that stores work identification information that associates each work area of the work area with the work content performed in each work area; A worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, (8) a current work specifying means for specifying a work currently performed by the worker from a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means;

新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と， New work detecting means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means identifies the current work of all workers, and A work redistribution means for assigning work priorities to all work including new work based on the work priority information in the work priority information storage means, and re-assigning all work to all workers from the work having the highest priority. When,

を備えたことを特徴とする作業者管理装置。 ( 2 2 ) 前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし， An operator management device comprising: (22) The work redistribution means changes the work with the highest priority to the new work,

前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。 Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means; The priority of the current work and the priority of the new work are acquired and compared based on the work priority information in the work priority information storage means, which is specified by the current work specifying means. 21. The method according to claim 21, further comprising: a worker specifying unit that performs a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work. Worker management device.

( 2 3 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (23) The worker detection means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。 The worker position identification means finds the worker detection means that has received the electromagnetic wave of the frequency of the worker to be detected in the work area, and locates the worker area in which the worker detection means is provided. 22. The worker management device according to claim 21, wherein the worker management device is specified as a work area.

( 2 4 ) 前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け， (24) The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker,

前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業ェリァ検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業ェリアとして特定することを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。 The worker position specifying means obtains the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the identification information of the worker to be subjected to the work error detection, 22. The worker management device according to claim 21, wherein the work area provided with the detection means is identified as a work area where the worker is located.

( 2 5 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け， (25) Work information acquisition means for acquiring the worker's work information from the work device provided in the work area is provided,

前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業ェリァ情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。 ( 2 6 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって， The current work specifying means includes, in addition to the work area information specified as the work area where the worker is present, the work information obtaining means. 21. The work according to claim 21, wherein the work information is obtained from work equipment on which the worker is performing work, and the current work of the worker is specified based on the area information and the work information. Person management device. (26) A worker management device that manages workers who work in a work area divided into a plurality of work areas according to the work content.

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， A work identification information storage unit that stores work identification information that associates each work area of the work area with the work content performed in each work area; and a work identification information storage unit that is based on an output from a worker detection unit provided in each work area. A worker position specifying means for specifying which work area the worker is based on,

を設けたことを特徴とする作業者管理装置。 An operator management device, comprising:

( 2 7 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって， (27) A worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,

前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， A worker position feature that identifies which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided for each worker area. Fixed process,

前記作業場の各作業ェリァとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と， Based on the work identification information in the work identification information storage means for storing work identification information that associates each work area in the work area with the work performed in each work area, the worker location identification step is performed. Current work identification process to identify the work currently performed by the worker from the work area of the worker

前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と， A determining step of determining whether to cause the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work specified in the current work specifying step;

前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程と， An instruction step of giving an instruction to perform the work to the worker according to the result of the determination in the determination step;

を有することを特徴とする作業者管理方法。 ( 2 8 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって， A worker management method comprising: (28) A worker management method for managing workers who work in a work area divided into a plurality of work areas according to the work content.

前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， A worker position specifying step for specifying which work area the worker is based on an output from the worker detecting means provided in each of the work areas;

前記各作業ェリァとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と， The worker specified in the worker position specifying step is based on the work specifying information of the work specifying information storage unit that stores the work specifying information that associates the respective work queries with the contents of the work performed in the respective work queries. A current work identification process that identifies the work that the worker is currently performing from the work area of

新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と， A new work detecting step for detecting that a new work has occurred; and, when the new work detecting step detects a new work, worker skill information in which the workers are associated with works that can be performed by the workers. To A worker extraction step of extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information of the worker skill information storage means to be stored;

前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と， The current work of the worker extracted in the worker extraction step is identified by the current work identification step, and the priority of the current work is determined based on the work priority information in the work priority information storage means for storing the priority information of the work. The priority of the new work and the priority of the new work are acquired and compared, and a worker specifying process is performed to specify a worker having a higher priority of the new work than the current work as a worker of the new work. Worker identification process,

前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程と， An instruction step of instructing the worker identified in the worker identification step to perform the work of the new work;

を有することを特徴とする作業者管理方法。 A worker management method comprising:

( 2 9 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって， (29) A worker management method for managing workers who work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,

前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， A worker position specifying step for specifying which work area the worker is in based on an output from a worker detecting means provided in each of the worker queries;

前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と， The work location information is identified in the worker location identification step based on the work identification information in the work identification information storage unit that stores the work identification information that associates each work area of the work place with the work content performed in each work area. Current work identification process to identify the work currently performed by the worker from the work area of the worker

新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定ェ程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と， A new work detection step for detecting that a new work has occurred, and, if the new work detection step detects a new work, the current work identification step identifies the current work of all workers, and New work Work priority information that stores the work priority information for all work, including work, and assigns work priorities based on the work priority information in the storage means, and reassigns all work to all workers from the work with the highest priority. Redistribution process,

前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程と， An instruction step of instructing all workers of the work assigned in the work redistribution step,

( 3 0 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって， (30) A worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,

前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， A worker position specifying step of specifying which work area the worker is based on an output from worker detection means provided in each of the work areas;

所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と， A work information storage step of specifying the current work of all workers by the current work specifying step at predetermined time intervals, and storing the current work for each worker;

前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程と， A work report creation step of creating a work report including the work performed by the desired worker at predetermined intervals based on the work information stored in the work information storage step;