WO1996034437A1 - Oscillateur laser a decharge dans un gaz - Google Patents
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- WO1996034437A1 WO1996034437A1 PCT/JP1996/001161 JP9601161W WO9634437A1 WO 1996034437 A1 WO1996034437 A1 WO 1996034437A1 JP 9601161 W JP9601161 W JP 9601161W WO 9634437 A1 WO9634437 A1 WO 9634437A1
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Definitions
- the present invention relates to a gas laser oscillation device using gas discharge excitation.
- FIG. 4 shows a circuit of a high-voltage DC power supply of a conventional gas laser oscillation device.
- Fig. 4 1 is an inverter, 2 is a step-up transformer, 3 is a rectifier diode, 5 is a laser tube, and 7 is a smoothing capacitor.
- a high-frequency voltage is generated by an inverter unit 1, and the high-frequency voltage is boosted to a high-frequency high voltage by a boosting transformer 2.
- the high-frequency high voltage is rectified by a rectifier diode 3, the rectified high voltage is smoothed by a smoothing capacitor 7, a DC high voltage is supplied to a laser tube 5, and The filled laser gas medium is excited by discharge to obtain laser light.
- the above-described conventional configuration has a problem that the discharge current is disturbed when the laser light is operated in a pulsed manner.
- the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and has as its object to provide a gas laser oscillation device which can obtain a stable laser output.
- a gas laser oscillation device includes a power supply unit, a rectifier connected to the power supply, a smoothing capacitor connected in parallel to the rectifier, and a choke coil connected in series to the rectifier. And a laser tube connected in parallel with the smoothing capacitor and connected in series with the choke coil.
- the smoothing capacitor C and the inductance L of the choke coil are provided.
- FIG. 1 is a circuit diagram of a high-voltage current power supply of a gas laser oscillation device according to one embodiment of the present invention
- FIG. FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the smoothing capacitor capacity and the frequency at which discharge is disturbed
- FIG. 4 is a circuit diagram of a high-voltage DC power supply of a conventional gas laser oscillation device.
- Fig. 1, 4 is the capacity C
- I a choke coil of inductance L, which is connected in series with the rectifier diode 3 and the laser tube 5 used as rectifier means.
- a high-frequency voltage is generated by an inverter unit 1 constituting a power supply unit, and the high-frequency voltage is boosted to a high-frequency high voltage by a boosting transformer 2 similarly constituting a power supply unit.
- the high frequency high voltage is rectified by the rectifier diode 3.
- the current ripple becomes large and sufficient smoothness cannot be obtained.However, as a countermeasure for this, in the present invention, the choke coil 6 is connected. Current ripple is reduced.
- FIG. 2 compares the time change of the laser output of the gas laser oscillator according to the present embodiment with the time change of the laser output of the conventional gas laser oscillator. As is clear from FIG. 2, the gas laser oscillation device according to the present embodiment has an excellent effect in terms of stability of laser output.
- the present invention provides a capacitance C
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Description
明 細 書
発明の名称
ガス レーザ発振装置
技術分野
本発明はガス放電励起によるガスレーザ発振装置に関する も のである。
背景技術
第 4 図は従来のガスレーザ発振装置の高電圧直流電源の回路 を示すものである。
第 4 図において、 1 はイ ンバータ部、 2 は昇圧 ト ラ ンス、 3 は整流ダイォー ド、 5 はレーザ管、 7 は平滑コ ンデンサである。
以上のよう に構成された高電圧直流電源の回路について以下 その動作について説明する。 まずイ ンバータ部 1 によ り高周波 電圧を発生し、 昇圧 ト ラ ンス 2 によ り前記高周波電圧を高周波 高電圧に昇圧する。 次に整流ダイオー ド 3 によ り前記高周波高 電圧を整流し、 平滑コ ンデンサ 7 によ り整流後の高電圧を平滑 し、 レーザ管 5 に直流高電圧を供給し、 前記レーザ管 5 内に満 たされたレーザガス媒質を放電励起し、 レーザ光を得る。
しかしながら上記従来の構成では、 レーザ光をパルス状に動 作する と放電電流が乱れる という 問題を有していた。
すなわち、 第 4 図のよう に、 動作周波数 f の値によ っては、 放電電流が不安定になる領域が存在するこ と となり、 ある動作 周波数 f のパルス発振時にレーザ出力が不安定となってしま う という 問題点があった。
発明の開示
本発明は上記従来の問題点を解決したもので、 安定したレー ザ出力を得るガス レーザ発振装置を提供する こ とを目 的 とす る。
本発明のガス レーザ発振装置は、 電源部と、 電源部に接続さ れた整流手段と、 整流手段に並列に接続された平滑コ ンデンサ と、 整流手段に直列に接続されたチ ョ ーク コイルと、 平滑コ ン デンサに並列に接続され、 チ ョーク コイルと直列に接続された レーザ管とを備え、 平滑コ ンデンサ容量 C とチ ョーク コイルの イ ンダクタ ンス Lを
f > 1 2 7Γ，/L C
したこ とを特徴と している。
この構成によって、 前記平滑コ ンデンサの容量 Cを
に設定しても、 レーザ管に流れる電流の リ ッ プルは従来よ り小 さ く な り、 安定したレーザ出力を得るこ とができる。
図面の簡単な説明
第 1 図は本発明の一実施例におけるガスレーザ発振装置の高 電圧電流電源の回路図、 第 2 図は本発明のガスレーザ一発振装 置と従来のガス レーザ発振装置のレーザ出力の時間変化の比較 を示す図、 第 3 図は平滑コ ンデンサ容量と放電が乱れる周波数 との関係を示す図、 第 4 図は従来のガスレーザ発振装置の高電 圧直流電源の回路図である。
発明を実施するための最良の形態
以下本発明の一実施例について、 図面を参照しながら説明す る。
第 1 図において、 4 は容量 Cを、
f > 1 / 2 7Γ C
と設定した平滑コ ンデンサ、 6 はイ ンダク タ ンス Lのチ ョ ーク コイルで、 整流手段と して用いている整流ダイォー ド 3 と レ一 ザ管 5 と直列に接続されている。
以上のよう に構成されたガス レーザ発振装置についてその動 作を説明する。
まず電源部を構成するィ ンバータ部 1 によ り高周波電圧を発 生し、 同じ く 電源部を構成する昇圧 ト ラ ンス 2 によ り前記高周 波電圧を高周波高電圧に昇圧する。 次に整流ダイオー ド 3 によ り前記高周波高電圧を整流する。
次ぎに、 ホン発明の特有の構成について説明する。
平滑コ ンデンサ 4 を
と設定しているため、 電流の リ ップルが大き く な り充分な平滑 度が得られないが、 こ の対策と して本発明では、 チ ョ ーク コィ ル 6 を接続するこ とによ り電流の リ ップルを小さ く している。
本実施例によるガスレーザ発振装置のレーザ出力の時間変化 と従来のガスレーザ発振装置のレーザ出力の時間変化を第 2 図 で比較している。 こ の第 2 図から明らかなよう に、 本実施例に よるガスレーザ発振装置は、 レーザ出力の安定性の点で優れた 効果が得られる。
産業上の利用の可能性
以上の説明から明らかなよう に本発明は、 容量 Cを
f > 1 ノ 2 7Γ /L C
と した平滑コ ンデンサと レーザ媒質と直列にチ ョーク コイルを 設けるこ とによ り 、 安定したレーザ出力が得られ、 安定した加 ェが実現できる優れたガス レーザ発振装置を実現できる もので め 。
Claims
1 . ガス レーザ媒質を、 高周波電圧を発生するイ ンバータ部と 前記高周波電圧を昇圧する昇圧 トラ ンス と昇圧した高周波 高電圧を整流するための整流ダイォ一 ドと整流後の高電圧
5 を平滑する平滑コ ンデンサから成る高電圧直流電源で放電 励起し、 連続またはパルス状に レーザ光を発するガス レー ザ発振装置において、 レーザ光をパルス状に動作する動作 周波数 f と前記昇圧 ト ラ ンスの固有イ ングク タ ンスしから 平滑コ ンデンサ容量 Cを
1 0 f > 1 / 2 π L C
と した前記平滑コ ンデ ンサと、 直流電圧を平滑する ため に、 ガス レーザ媒質と直列に接続したチ ョーク コイルを具 備したガスレーザ発振装置。
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Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| US08/765,148 US5825795A (en) | 1995-04-28 | 1996-04-26 | Gas laser oscillator apparatus |
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Applications Claiming Priority (2)
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| JP7/105504 | 1995-04-28 |
Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (5)
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Families Citing this family (1)
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Non-Patent Citations (1)
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