JPS59232474A - 炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59232474A JPS59232474A JP10709183A JP10709183A JPS59232474A JP S59232474 A JPS59232474 A JP S59232474A JP 10709183 A JP10709183 A JP 10709183A JP 10709183 A JP10709183 A JP 10709183A JP S59232474 A JPS59232474 A JP S59232474A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- smoothing filter
- condenser
- common electrode
- power circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、炭酸ガスレーザ装置の改良に関する。
従来、パルス動作を行なう横流形炭酸ガスレーザ装置は
、第1図に示すように構成され、放電部!内に共通電極
(陽極)2と分割電極(陰極)3を設けている。そして
、共通電極2は平滑フィルタ4に、又、分割電極3は安
定化抵抗5を介して平滑フィルタ4に接続され、この平
滑フィルタ4は例えばスイッチングレギュレータのよう
なパルス電源6に接続されている。
、第1図に示すように構成され、放電部!内に共通電極
(陽極)2と分割電極(陰極)3を設けている。そして
、共通電極2は平滑フィルタ4に、又、分割電極3は安
定化抵抗5を介して平滑フィルタ4に接続され、この平
滑フィルタ4は例えばスイッチングレギュレータのよう
なパルス電源6に接続されている。
このような従来の炭酸力゛スレーザ装置において、パル
ス動作を行なわせた場合、そのパルス波形は第2図に示
すように立上り、立下りがなまるのが一般的である(図
中のaがレーザパルス波形、bが放電々流波形である)
。その理由は、第1図から容易に理解できる。即ち、平
滑フィルタ4のコンデンサ7を電源とし、各分割電極3
に直列に接続された安定化抵抗5及び放電部分を負荷と
している。このとき、コンデンfC,安定化抵抗R1及
び配線のインダクタンスLからなる等価回路は第3図に
示すように表わされ、パルスの立上り、立下りは当然な
まってくる。尚、図中のZは放電インピーダンスを示す
。
ス動作を行なわせた場合、そのパルス波形は第2図に示
すように立上り、立下りがなまるのが一般的である(図
中のaがレーザパルス波形、bが放電々流波形である)
。その理由は、第1図から容易に理解できる。即ち、平
滑フィルタ4のコンデンサ7を電源とし、各分割電極3
に直列に接続された安定化抵抗5及び放電部分を負荷と
している。このとき、コンデンfC,安定化抵抗R1及
び配線のインダクタンスLからなる等価回路は第3図に
示すように表わされ、パルスの立上り、立下りは当然な
まってくる。尚、図中のZは放電インピーダンスを示す
。
ところが炭酸ガスレーザ装置により金属などの物質を加
工する場合、レーザパルス波形が第2図に示すような立
上り、立下りのなまったものではなく、立上りの急峻な
ものが望ましい場合がある。
工する場合、レーザパルス波形が第2図に示すような立
上り、立下りのなまったものではなく、立上りの急峻な
ものが望ましい場合がある。
この発明の目的は、レーザパルス波形の立上りを急峻に
して敢えてオーバーシュートさせ、金属などの物質を加
工する場合に使用して好適な炭酸ガスレーザ装置を提供
することである。
して敢えてオーバーシュートさせ、金属などの物質を加
工する場合に使用して好適な炭酸ガスレーザ装置を提供
することである。
この発明は、安定化抵抗に並列にコンデンサを接続した
炭酸ガスレープ装置である。
炭酸ガスレープ装置である。
この発明の横流形炭酸ガスレーザ装置は第4図に示すよ
うに構成され、従来例(第1図)と同一箇所は同一符号
を付すことにする。
うに構成され、従来例(第1図)と同一箇所は同一符号
を付すことにする。
即ち、放電部1内には、1個の共通電極(陽極)2と複
数の分割電極(陰極)5とが所定間隔で対向配設されて
いる。上記共通電極2は電源回路の+側に接続され、て
いる。即ちチョークコイル8とコンデンサ7からなる平
滑フィルタ4に接続され、上記各分割電極3はそれぞれ
安定化抵抗5を介して電源回路の一側に接続されている
。即ち、上記平滑フィルタ4に接続されている。この平
滑フィルタ4は例えばスイッチングレギュレータのよう
なパルス電源6に接続されており、このノぐルス電源6
と平滑フィルタ4とで電源回路を形成している。更にこ
の発明では、上記各安定化抵抗5にそれぞれ並列にコン
デ゛ンサ9が接続され、この発明の特徴となっている。
数の分割電極(陰極)5とが所定間隔で対向配設されて
いる。上記共通電極2は電源回路の+側に接続され、て
いる。即ちチョークコイル8とコンデンサ7からなる平
滑フィルタ4に接続され、上記各分割電極3はそれぞれ
安定化抵抗5を介して電源回路の一側に接続されている
。即ち、上記平滑フィルタ4に接続されている。この平
滑フィルタ4は例えばスイッチングレギュレータのよう
なパルス電源6に接続されており、このノぐルス電源6
と平滑フィルタ4とで電源回路を形成している。更にこ
の発明では、上記各安定化抵抗5にそれぞれ並列にコン
デ゛ンサ9が接続され、この発明の特徴となっている。
そして動作時にパルス動作を行なわせた場合、レーザパ
ルス波形と放電々原波形は第5図a。
ルス波形と放電々原波形は第5図a。
bK示すようになり、レーザパルス波形の立上りが急峻
になっている。
になっている。
この発明によれば、レーザパルス波形の立上りが急峻に
して、金属などの物質を加工する場合に好適なパルスレ
ーザ発振を得ることができる。
して、金属などの物質を加工する場合に好適なパルスレ
ーザ発振を得ることができる。
第1図は従来の炭酸ガスレーザ裂開を示す回路構成図、
第2図(a)、 (b)は従来の装置におけるレーザ・
ぞルス波形と放電lr流波形を示す波形図、第3図は従
来の装置の等他回路を示す回路構成図、第4図はこの発
明の一実施例に係る炭酸がスレーザ装信を示す回路構成
図、第5 因(a)、 (b)はこの発明の装置(τに
おけるレーザ・ぐルス波形と放電々原波形を示す波形図
である。 1・・・放電1;iべ 2・・・共通笥゛極1.?・・
・分割電極、4・・・平滑フィルタ、5・・・安定化抵
抗、6・・・パルス電源、9・・・コンデンサ。 出願入代P人 弁升士 鈴 江 武 彦第1図 4 第 2 図 第 3 図
第2図(a)、 (b)は従来の装置におけるレーザ・
ぞルス波形と放電lr流波形を示す波形図、第3図は従
来の装置の等他回路を示す回路構成図、第4図はこの発
明の一実施例に係る炭酸がスレーザ装信を示す回路構成
図、第5 因(a)、 (b)はこの発明の装置(τに
おけるレーザ・ぐルス波形と放電々原波形を示す波形図
である。 1・・・放電1;iべ 2・・・共通笥゛極1.?・・
・分割電極、4・・・平滑フィルタ、5・・・安定化抵
抗、6・・・パルス電源、9・・・コンデンサ。 出願入代P人 弁升士 鈴 江 武 彦第1図 4 第 2 図 第 3 図
Claims (1)
- 共通電極と分割電極を有する放電部と、上記共通電極が
+側に上記分割電極が安定化抵抗を介して一側にそれぞ
れ接続されている電源回路とを具備してなる炭酸ガスレ
ーデ装置において、上記安定化抵抗に並列にコンデンサ
を接続したことを%徴とする炭酸ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10709183A JPS59232474A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10709183A JPS59232474A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59232474A true JPS59232474A (ja) | 1984-12-27 |
Family
ID=14450232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10709183A Pending JPS59232474A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59232474A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62136086A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器の発振制御方法 |
US4748635A (en) * | 1986-03-05 | 1988-05-31 | Mclellan Edward J | Apparatus and method for uniform ionization of high pressure gaseous media |
WO1988008629A1 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-03 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
EP0798829A1 (en) * | 1995-04-28 | 1997-10-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillation apparatus |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP10709183A patent/JPS59232474A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62136086A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器の発振制御方法 |
US4748635A (en) * | 1986-03-05 | 1988-05-31 | Mclellan Edward J | Apparatus and method for uniform ionization of high pressure gaseous media |
WO1988008629A1 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-03 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
JPS63273377A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置 |
EP0798829A1 (en) * | 1995-04-28 | 1997-10-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillation apparatus |
EP0798829A4 (en) * | 1995-04-28 | 1998-07-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | GAS DISCHARGE LASEROSCILLATION DEVICE |
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