WO1989008192A1 - Turbomolecular vacuum pump - Google Patents
Turbomolecular vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- WO1989008192A1 WO1989008192A1 PCT/SU1988/000047 SU8800047W WO8908192A1 WO 1989008192 A1 WO1989008192 A1 WO 1989008192A1 SU 8800047 W SU8800047 W SU 8800047W WO 8908192 A1 WO8908192 A1 WO 8908192A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- gas
- blade
- lοπaτοchnοgο
- κοlesa
- sτοροny
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
- F04D29/324—Blades
Definitions
- the large vacuum pumps are characterized by a high-speed operation, a unique and efficient execution of which is reliable. 35
- the operating principle of a vacuum pump is included in the case of gas molecules, which is the result of consequent damage to persons - 2 -
- the speed is added to the tangential speed of the vehicle in the direction of rotation of the blade.
- a vacuum pump depends on how much of the gas molecule is delivered through the use of hand-held gas wheels and portable gas suction gas discharges.
- the vacuum-pumping pump is independent of C sv, ⁇ ,
- s ⁇ de ⁇ z haschy ⁇ ly s ⁇ a ⁇ in ⁇ sev ⁇ m ⁇ ve ⁇ s ⁇ ii ⁇ - ⁇ g ⁇ us ⁇ an ⁇ vlen ⁇ ⁇ at me ⁇ e two l ⁇ a ⁇ ch- yaymi ⁇ lesami between ⁇ ymi ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny za ⁇ e ⁇ lennye Ra s ⁇ a ⁇ e l ⁇ a ⁇ chnye dis ⁇ i, ⁇ l ⁇ s ⁇ ie l ⁇ a ⁇ i ⁇ y ⁇ ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny ⁇ d ugl ⁇ m ⁇ ⁇ l ⁇ s ⁇ im l ⁇ a ⁇ am l ⁇ a ⁇ chyay ⁇ ⁇ les
- the blade of the wheel is located on the hubs, so that the line of intersection of the surface of each blade
- the 30th vacuum pump allows you to increase its flow-rate performance.
- the speed of action is increasing, since linear accelerations of the GESZ molecule in the case of concomitance with the progression of the disease are increased, the
- the degree of GZZ compression increases due to an increase in the probability of the passage of molecules of the suction velocity - 5 - Bani gas in s ⁇ nu nagnz ⁇ eniya geze and um ⁇ nsh ⁇ niya ⁇ b ⁇ e ⁇ - n ⁇ g ⁇ ⁇ a ⁇ asse Ivan ha for, ⁇ s ⁇ l ⁇ u ⁇ i s ⁇ uda ⁇ enii with l ⁇ a ⁇ ami l ⁇ a ⁇ chn ⁇ g ⁇ ⁇ lesa, ⁇ as ⁇ l ⁇ zhenn ⁇ g ⁇ s ⁇ s ⁇ - 5 ⁇ ny nagne ⁇ aniya ss ha, ha m ⁇ le ⁇ uly for ⁇ luchayu ⁇ ⁇ adial- hydrochloric s ⁇ s ⁇ avlyayuschuyu in na ⁇ azlenii ⁇ The free end of the blade for the handheld blade.
- W is a view of the terminal ⁇ in Fig. 2, which shows a part of the exhausted gas discharge line
- Fig. 4 is a view of the side of the road in Fig. 2, showing a part of the second blade of the wheel of the suction line of 30 ha of land
- Fig. 5 is a view of the side of the road in Fig. 2, which is a part of the other part of the blade and the wheel suction of the gas
- ⁇ ig. ⁇ is a view of the village ⁇ in Fig. 2, displaying 35 parts of a four-wheeled portable wheel of the gas-desiccation plant; ⁇ ig. 7 - ⁇ az ⁇ z on ⁇ ig. depending on the direction of the UP-UP line, as agreed - 6 - Fig. 8 - without cutting in the direction of USh-Ush, according to the invention.
- the large vacuum pump is a combined vacuum pump and maintains a steady state of gas and small pumped gas.
- Portable blades can be different, as well as with other well-known vacuum cartridges. It might be two before and more and, as it is known,
- the degree of molecular gas production is provided by the external cylindrical gas
- the outlet cross-section decreases in the direction of the direction of suction of the gas in the direction of gas injection.
- 3 ⁇ 3 is mounted on shaft 15 and secured on the od-
- Status I consists of housing 17, which is secured with a threaded connection on flange 18. For sealing of the space of position I between flange 18 and the lower housing,
- Loaded discs II, 12, 13 are reserved for the internal part of the chassis 17, so that they are free between the chassis 22 and 17 of the ship, which is on the 25th of April, 23 of station I, the compression springs 27 were installed.
- Angle ⁇ ⁇ - this is the angle between the area of the blade 29 and the rear part of the shock-proof V of the exhaust gas pumping of the cleaned gas 7, free of charge.
- Angle £ ⁇ - this is the angle between the area of the opening 30 and the end of the road in the second place: V is lost; - - 8 - blade gas 8.
- the angle of the center is the angle between the area of the blade 32 and the rear part of the cylinder, which is in direct contact with the gas outlet and the pressure is cut off.
- These angles are c ⁇ with 2 , 3 ” ° ⁇ can be the same for all portable wheels of 7, 8, 9, 10, and so are different. ⁇ case if
- PLANE BLADES 29 (FIG. 3) FRONT SITES ⁇ - 9 - zsasyvaniya gas l ⁇ a ⁇ chn ⁇ g ⁇ ⁇ lesa 7 ⁇ avn ⁇ me ⁇ n ⁇ ⁇ as ⁇ - l ⁇ - ⁇ eny ⁇ ⁇ uzhn ⁇ s ⁇ i ⁇ adiusa n -
- Each blade at least one of the blade-
- angles ⁇ along the intersection lines of the intersections of the blades of the blade 30 with other surfaces, inpendicular axes of revolution 3, are comparative. are small and increase with increasing distance from the area ⁇ .
- the vacuum pump works with the following process.
- its flange 28 (Fig. ⁇ ) is connected to a pressurized camera (not shown otherwise) with an appropriate process unit
- Unit 21 connects to the unit (not shown on the drawing) for gas pumping.
- the pumped gas from the pressurized chamber is pressurized to a pressure of I to ⁇ "1 Pa. Then, by sending an explanation to the electric motor (not through)
- the shaft 15 is rotated with a speed of 3, turning to the direction of the hand wheels 7, 8, 9, 10.
- the proposed molecular vacuum pump may be used in various technical installations.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
ΤУΡБΟΜΟЛΕΚУЛЯΡΗЫЙ ΒΑΚУУΜΗЫй ΗΑСΟС Οбласτь τеχниκи Изοбρеτение οτнοсиτся κ ροτορным насοсам неοбъем- нοгο выτеснения газοв, а именнο κ мοлеκуляρным ваκуум- 5 ным насοсам с οсевым ποτοκοм газа для сοздания глубο- κοгο ваκуума, и κасаеτся τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнο- гο насοса.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Сοвρзменнοе ρазвлτие науκи и τеχниκи τρебуеτ бοль- 10 шοгο κοличесτва τиπορазмеροв мοлеκуляρныχ ваκуумныχ нэ- сοсοв, имеющиχ ρазличные οτκачные χаρаκτеρисτиκи, в ча- сτнοсτи бысτροτу дейсτвия и сτеπень сжаτия газа, κο- τορые οπρеделяюτ габаρиτы οснοвныχ κοнсτρуκτивныχ эле- менτοв эτиχ нэсοсοв. 15 Β зависимοсτи οτ οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ ρазличаюτ сοбсτвеннο мοлеκуляρные ваκуумные насοсы, имеющие τοль- κο сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, и τуρбοмοлеκуляρ- ные или κοмбиниροванные ваκуумные насοсы, имеющие дοποл- ниτельнο сτуπень τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа, сοдеρ- 20 жащую ροτορ и сτаτορ, усτанοвленные πο οднοй οси с ρο- τοροм и сτаτοροм сτуπени мοлеκуляρнοй οτκачκи газа сο сτοροны всасывания газа. Ηа ροτορе и сτаτορе сτуπени τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа ποοчеρеднο заκρеπлены сοοτвзτсτвеннο лοπаτοчные κοлеса и лοπаτοчные дисκи, 25 лοπаτκи κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм дρуг κ дρугу. Пρичём лοπаτκи лοπэτοчныχ κοлес наκлοнены κ πлοсκοсτям, πеρπендиκуляρным οси вρащения ροτορа, в сτοροну вρаще- ния ροτορа, а προχοдные сечения межлοπаτοчныχ κаналοв уменьшаюτся οτ лοπаτοчнοгο κοлеса, ρасποлοженнοгο сο 30 сτοροны всасывания газа, κ лοπаτοчнοму κοлесу, ρасποлο- женнοму сο сτοροны нагнеτания газа. Τуρбοмοлеκуляρные ваκуумные насοсы χаρаκτеρизуюτся высοκοй бысτροτοй дейсτвия, οднаκο иχ κοнсτρуκτивнοе выποлнение дοсτэτοч- нο слοжнοе. 35 Пρинциπ дейсτвия τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο на- сοса заκлючаеτся в τοм, чτο мοлеκулы газа, ποπадая на лοπаτκи вρащающегοся лοπаτοчнοгο κοлеса, ποлучаюτ им- πульс силы, вследсτвие чегο κ иχ сοбсτвеннοй τеπлοзοй
- 2 - сκοροсτи дοбавляеτся τангенциальяая κοмποнеяτа сκοροсτи в наπρавлении вρащения лοπаτοчяοгο κοлеса. За счеτ ποв- τορныχ сοудаρений с лοπаτκами лοπаτοчныχ κοлес ροτορа 5 яеуπορядοченнοе движение мοлеκул газа πρевρащаеτся в на- πρавленнοе движение сο сτοροны всасывания газа в сτοροяу яагнеτания, το есτь προисχοдиτ προцесс οτκачκи мοлеκул газа.
Β мοлеκуляρнοм ρежиме τечения газа сρедняя длина свο-
10 бοднοгο προбега мοлеκулы газа бοлыπе, чем ρассτοяние меж- ду сοседними лοπаτκами, и προцесс οτκачκи προисχοдиτ за счеτ τοгο, чτο мοлеκулы газа сτалκиваюτся с лοπаτκами ρο- τορа значиτельнο чаще, чем дρуг с дρугοм.
Эφφеκτивнοсτь ρабοτы или бысτροτа дейсτвия τуρбοмο-
15 леκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса зависиτ οτ τοгο, κаκая часτь мοлеκул газа προйдеτ сκвοзь лοπаτοчные κοлеса и лο- πаτοчные дисκи сο сτοροны зсасывания газа в сτοροну нагне- τания газа. йзвесτен τуρбοмοлеκуляρный ваκуумяый насοс С зυ , Α,
20 335443) , сοдеρжащий ποлый сτаτορ, в οсевοм οτвеρсτии κο- τοροгο усτанοвлен ροτορ πο меньшей меρе с двумя лοπаτοч- яыми κοлесами, между κοτορыми ρасποлοжены заκρеπленные яа сτаτορе лοπаτοчные дисκи, πлοсκие лοπаτκи κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм κ πлοсκим лοπаτκам лοπаτοчяыχ κοлес
25 ροτορа, ρасποлοженным πο οκρужнοсτи на сτуπице сοοτвеτ- сτвующегο лοπаτοчнοгο κοлеса τаκ, чτο προχοдные сечения κаналοв между οбρащедными дρуг κ дρугу шюсκοсτями сο- седниχ лοπаτοκ уменыπаюτся οτ лοπаτοчнοгο κοлеса, ρасπο- лοженнοгο сο сτοροны всасывания газа, κ лοπаτοчнοму κο-
30 лесу, ρасποлοженнοму сο сτοροны нагнеτания газа, и πлοсκο- сτи κοτορыχ наκлοнены κ πлοсκοсτям, πеρπендиκуляρным οси вρащения ροτορа, в сτοροну егο вρащения.
Лοπаτκи лοπаτοчяыχ κοлес ρасποлοжены на сτуπицаχ τаκ, чτο линии πеρесечеяия πлοсκοсτей κаждοй из лοπа-
35 τοκ с πлοсκοсτями, πеρπеядиκуляρными οси вρащеяия ροτο- ρа, ρасποлοжены πο οκρужнοсτи сτуπицы ρадиальнο.
Ρешающее значение ддя οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ τуρόο-
- 3 - мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса имзеτ зависимοсτь меж- ду сκοροсτью οτκачκи газа и сτеπенью егο сжаτия. Эτу зависимοсτь οπρеделяюτ геοмеτρичесκие πаρамеτρы лοπа-
5 τοчныχ κοлес и лοπаτοчныχ дисκοз , габаρиτы οснοвныχ κοнсτρуκτивныχ элеменτοв насοса.
Β извесτнοм τуρбοмοлеκуляρнοм ваκуумнοм насοсе мοлеκулы с зеρκальным заκοнοм οτρажения , движущиеся в πлοсκοсτяχ, κасаτельныχ κ οκρужнοсτям , κοаκсиальным
10 οκρужнοсτи сτуπицы и πеρесеκающим πлοсκοсτи лοπаτοκ , πρи сοудаρении с ними, ποлучая τангенциэльную сοсτав- ляющую сκοροсτи , часτичнο вοзвρащзюτся в οτκачиваемый οбьем , часτичнο πρеτеρπеваюτ ποвτορные сοудаρения в τеχ же πлοсκοсτяχ, ποлучая τοτ же имπульс силы. Эτοτ
15 φаκτορ снижаеτ бысτροτу дейсτвия насοса. Κροме τοгο, πρисуτсτвуеτ οбρа τный ποτοκ ρассе ивзния мοлзκул газа в зазορе между ροτοροм и сτаτοροм.
Ρасκρыτие изοбρеτения Β οснοву изοбρеτения ποсτавлена задача сοзда τь
20 τуρбοмοлеκуляρный ваκуумныи насοс с τаκим ρасποлοже- нием πлοсκοсτей лοπаτοκ лοπаτοчныχ κοлес , κοτοροе οбесπечилο бы увеличение οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ τуρбο- мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса без увеличения егο гэ- баρиτοз.
25 Пοсτавленная задача ρешена τзм , чτο в τуρбοмοле- κуляρнοм ваκуумнοм насοсе , сοдеρжащем ποлый сτаτορ , в οсевοм οτвеρсτии κοτοροгο усτанοвлен ροτορ πο меньшей меρе с двумя лοπаτοчными κοлесами, между κοτορыми ρас- ποлοжены заκρеπленные на сτаτορе лοπа τοчные дисκи ,
30 πлοсκие лοπаτκи κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм κ πлοс- κим лοπаτκзм лοπаτοчныχ κοлес ροτορа , ρасποлοженным πο οκρужнοсτи на сτуπице сοοτве τсτвующегο лοπаτοчнοгο κο- леса τаκ , чτο προχοдные сечения κаналοв между οбρащен- ными дρуг κ дρугу πлοсκοсτями сοседниχ лοπаτοκ умень-
35 шаюτся οτ лοπаτοчнοгο κοлеса , ρасποлοженнοгο сο сτορο- ны всасывания газа , κ лοπаτοчнοму κοлесу , ρас-ποлοжен- нοму сο сτοροны нагнеτания газэ , и πлοсκοсτπ κοτορыχ наκлοнены κ πлοсκοсτям , πеρπендиκуляρным οси вρащения
- . _ ροτορа , в сτοροну егο вρащения , сοгласнο изοбρеτению , κаждая лοπаτκа πο меньшей меρе οднοгο из лοπаτοчныχ κο- лес ρэсποлοжена τаκ , чτο линии πеρесечения ее πлοсκοс-
5 τей с πлοсκοсτями, πеρπендиκуляρными οси вρащения ροτο- ρа , ρэсποлοнены ποд углοм κ ρэдиусам οκρужнοсτи сτуπи- цы, в τοчκи πеρесечения эτиχ линий с οκρужнοсτями сτу- πицы и наπρавлены πο меньшей меρе для οднοгο лοπэτοчнο- гο κοлеса , ρасποлοженнοгο с ο сτοροны нзгнзτания газа , в
10 сτοροну вρащения ροτορа , а πο меньшей меρе для οднοгο лοπэτοчнοгο κοлеса , ρэсποлοженнοгο с ο сτοροны всэсывэ- ния гэзз , - в προτивοποлοжную сτοροну.
Целесοοбρэ знο , чτοбы в τуρбοмοлеκуляρнοм ззκуумнοм нзсοсе πρи οдинэκοвοм угле нэκлοна πлοсκοсτей лοπаτοκ
15 всеχ лοπэτοчныχ κοле с κ πлοсκοсτям , πеρπендиκуляρным οси вρащения ροτορа , и πρи οдинаκοвοм κοличесτзе лοπа- τοκ на всеχ лοπэτοчныχ κοлзсаχ, ροτορ имзл πлοсκοсτь , πзρπβндиκуляρную егο οси вρащения , πο οдну сτοροну κο- τοροй с увеличенизм ρассτοяния οτ зτοй πлοсκοсτи углы
20 наκлοна линий πеρесечения πлοсκοсτей лοπаτοκ увзличива- юτся , и πο ρазные сτοροны κοτοροй линии πзρесечения πлοсκοсτзй лοπэτοκ нэκлοнены в ρззные сτοροны οτнοси- τельнο нэπρавления зρзщения ροτορэ , πρи эτοм κаждοе лο- πаτοчнοе κοлесο смещенο οτнοсиτельнο дρугиχ на угοл ,
25 πρи κοτοροм для κаждοй лοπэτκи κаждοгο лοπаτοчнοгο κο- леса имееτся πο οднοй лοπаτκе κаждοгο дρугοгο лοπаτοч- нοгο κοлеса , с κοτορыми ее πлοсκοсτи, οбρащенные в οдну сτοροну, лежаτ в οднοй οбщей πлοсκοсτи.
Τаκοе κοнсτρуκτивнοе зыποлнение τуρбοмοлеκуляρнο-
30 гο ваκуумнοгο насοса ποзвοляеτ ποвысиτь егο οτκачные χаρэκτеρисτиκи. Бысτροτа дейсτвия увеличиваеτся , πο- сκοльκу линейные сκοροсτи мοлеκул гэзз πρи сοудзρении с ποвеρχнοс τями лοπэτοκ лοπаτοчнοгο κοлесэ , ρэсποлοжен- нοгο сο сτοροны всвсывэния гэзэ , увеличивэюτся , τэκ κэκ
35 οни, κροме τангенциальнοй сοсτэвляющей сκοροсτи , πο- лучзюτ и ρздизльную сοсτэвляющую сκοροсτи.
Α сτеπень сжзτия гзза увеличиваеτся за счёτ увели- чения веροяτнοсτи προχοждения мοлеκул сο сτοροны всасы-
- 5 - вания газа в сτοροну нагнзτэния гэзэ и умβньшβния οбρэ τ- нοгο ποτοκа ρассе ивания га за , ποсκοльκу πρи сοудаρении с лοπаτκами лοπаτοчнοгο κοлеса , ρасποлοженнοгο сο сτο- 5 ροны нагнеτания га зз , мοлеκулы га за ποлучаюτ ρадиаль- ную сοсτавляющую в наπρазлении οτ свοбοднοгο κοнца лο- πаτκи κ цзнτρу лοπаτοчнοгο κοлβса.
Пρаκτичесκи πρедлοженный τуρбοмοлеκуляρный ваκуум- ный насοс имееτ бысτροτу дзйсτвия , πο сρавнению с изве- 10 сτными τуρбοмοлеκуляρными ваκуумными нэсοсзми πρи τзχ же гзбаρиτаχ, не менее чем на 20 выше , а сτеπень сжэ- τия га за πρи эτοм увеличенз πο 'меяьшей меρз з 5 ρаз. Κρаτκοβ οπисание чеρτежей Ъ дальнейшем изοόρеτениз ποясняеτся οπисанием κοн- 15 κρеτнοгο ваρианτз егο выποлнения и πρила гаемыми чзρτз- жами , на κοτορыχ: φиг. Ι изοбρажэβτ οбщий вид τуρбοмοлеκуляρнοгο ва- κуумнοгο насοса (προдοльный ρазρез) , сοгласнο изοбρеτе- нию 20 φиг.2 - ροτορ τуρбοмοлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нэсο- са с чеτыρьмя лοπаτοчными κοле сами сτуπени τуρбοмοлеκу- ляρнοй οτκачκи газа и ρасποлοженными πο винτοвοй линии πазами сτуπени мοлеκуляρнοй οτκачκи га за , сοглз снο изο- бρзτению; 25 φиг. З - вид πο сτρелκе Α на φиг.2 , изοбρажзющий часτь πзρвοгο лοπэτοчнοгο κοлесз сο сτοροны всэсывания газа ; φиг.4 - вид πο сτρелκе Α на φиг.2 , изοбρажэющий чэсτь вτοροгο лοπаτοчнοгο κοлеса сο сτοροны всасывания 30 га зз ; φиг.5 - вид πο сτρелκе Α на φиг.2 , изοбρажзющий часτь τρзτьегο лοπаτοчнοгο κοлеса сο сτοροны всасыза- ния га зз ; φиг. β - вид πο сτρелκе Α на φиг.2, изοбρажающий 35 часτь чеτвеρτοгο лοπаτοчнοгο κοлеса сο сτοροны всэсывэ- ния гэза ; φиг.7 - ρазρβз на φиг. з наπρавлении линии УП-УП, сοгласнο изοбρе τению
- 6 - φиг.8 - ρазρез нз φиг.2 в наπρавлении УШ-УШ , сο- гласнο изοбρеτению.
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения
5 Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс сοдеρжиτ ποлый сτаτορ I (φиг.Ι) , в οсевοм οτвеρсτии 2 κοτοροгο усτа- нοвлен ροτορ 3. Пρи эτοм зазορ - между наρужнοй цилинд- ρичесκοй ποвеρχнοсτью 5 ροτορа 3 и внуτρенней цилиндρи- чесκοй ποвеρχнοсτью 6 сτаτορа I дοсτаτοчнο мал, κаκ
10 извесτнο, οн сοсτазляеτ οτ 0 ,15 дο 0 ,03 мм и сοздаеτ сρавниτельнο бοльшοе сοπροτивление οбρаτнοму ποτοκу газа , το есτь πρеπяτсτвуеτ πеρеτеκанию газэ сο сτορο- ны ж (на чеρτеже οбοзначенэ сτρелκοй) нэгнеτэния га- зз в сτοροну ν (нэ чеρτеже ποκазанз сτρелκοй) всасы-
15 зания газа.
Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс являеτся κοмби- ниροванным ваκуумным насοсοм и сοдеρжиτ сτуπени гуρбο- мοлеκуляρнοй и мοлеκуляρнοй οτκачκи газа.
Сτуπень τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа сοдβρжиτ
20 πο меньшей меρе два .лοπаτοчныχ κοлеса , между κοτсρыми ρасποлοжен лοπаτοчный дисκ. Κοличесτзο лοπаτοчныχ κο- лес мοжеτ быτь ρазличным , κаκ и в дρугиχ извесτныχ κοн- сτρуκцияχ τуρбοмοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв. Οнο мο- жеτ быτь οτ двуχ дο дзадцаτи и бοлее и, κаκ извесτнο,
25 зэвисиτ οτ геοмеτρичесκиχ πаρзмеτροв κοнсτρуκτивныχ элеменτοв насοсэ , в чзсτнοсτи οτ πлοщади προχοднοгο сечения межлοπаτοчныχ κаналοв лοπаτοчныχ κοлес и οτ τρебуемыχ οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса.
30 Β ваρианτе τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса , ποκазаннοм на чеρτеже , имееτся чеτыρе лοπаτοчныχ κοле- са 7 , 8, 9 , 10 и τρи лοπаτοчныχ дисκа II , 12, 13.
Сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа πρедсτавляеτ сοбοй выποлненные на наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχ-
35 нοсτи 5 ροτορа 3 πэзы 14, ρэсποлοженные πο винτοвοй линии , в виде мнοгοззχοднοй винτοвοй наρезκи πρямο- угοльнοгο προφиля, οбρазующие с внуτρенней цилиндρи- чесκοй ποвеρχнοсτью 6 сτаτορа I κаналы οτκачκи газз ,
- 7 - προχοднοе сечение κοτορыχ уменьшаеτся в наπρавлении сο сτοροны ν всасывания газз в сτοροну н- нагнеτания газа. Ροτορ 3 усτанοвлен на валу 15 и заκρеπлен на οд-
5 нοм егο κοнце с ποмοщью винτа 16. Дρугοй κοнец вала 15 связан с элеκτροдвигаτелем (на чеρτеже не ποκазан) . Сτаτορ I сοдеρжиτ κορπус 17 , заκρеπленный с ποмοщью ρезьбοвοгο сοединения на φланце 18. Для геρмеτизации ποлοсτи сτаτορа I между φланцем 18 и нижним τορцзм κορ-
10 πуса 17 имееτся уπлοτниτельнοе κοльцο 19. Ηа φланце 18 имееτся οτвеρсτие 20 , сοοснο с κοτορым на φланце 8 сο сτοροны Ν нагнеτания газэ ззκρеπлβн πэτρубοκ 21 для сοβдинβния с τρубοπροвοдοм (на чеρτеже не ποκазан) φορваκуумнοй οτκачκи газа.
15 Лοπз τοчные дисκи II , 12, 13 заκρеπлены на внуτρен- ней ποвеρχнοсτи κορπуса 17 τаκ , чτο иχ свοбοдные κοн- цы зажзτы между буρτοм 22 κορπуса 17 сτаτορэ I и κοль- цами 23, , 25. Μежду κοльцοм 25 и буρτοм 26 κορπуса 17 сτаτορа I усτанοвлены πρужины 27 сжаτия. Ηа κορπу-
20 се 17 сο сτοροны V всасывания газа имееτся φланец 28 для сοединения с геρмеτизиρуемοй κамеροй ( на чеρτе- же не ποκазэна) сοοτзеτсτвующей τеχнοлοгичесκοй усτа- нοвκи.
Плοсκие лοπэτκи 29 , 30 , 31 , 32 сοοτвеτсτвейκο πеρ- Ъ вοгο, вτοροгο, τρеτьегο и чеτвеρτοгο сο сτοροны ν всасывания газа лοπаτοчκыχ κοлес 7 , 8 , 9 , 10 наκлοне- ны ποд οсτρыми углами ыл (φиг.2) , ο(2 > с 3 > <ы.ц κ πлο- сκοсτям , πеρπендиκуляρным οси 0 вρащения ροτορа' 3, и наπρавлены в сτοροну вρащения ροτορа 3 (наπρавление
30 зρащения на шиг. Ι , 2, 3, 4, 5, 6 ποκазанο сτρелκοй
Сύ ).
Угοл ό ^ - эτο угοл между πлοсκοсτью лοπаτκи 29 и τορцевοй ποвеρχнοсτью πеρзοгο сο сτοροны V зса- сывания газз лοπаτοчнοгο κοлеса 7 , οбρащеннο Б сτορο- 55 ну ν всасывания газа.
Угοл £ζ - эτο угοл между πлοсκοсτью лοπзτκи 30 и τορцевοй ποзеρχнοсτью вτοροгο сο сτοροнь: V зсась;-
- 8 - вания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 8.
Угοл <=^з - угοл между πлοсκοсτью лοπаτκи 31 и τορ- цевοй ποвеρχнοсτью τρеτьегο сο сτοροны ν всасывания
5 газа лοπагοчнοгο κοлеса 9.
Угοл Сц - угοл между πлοсκοсτью лοπаτκи 32 и τορ- цевοй ποвеρχнοсτью чеτвеρτοгο сο сτοροны ν ц^щ πеρвοгο сο сτοροны Ν нагнеτания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 10.
10 Углы сСή , ο£2, ο^3»ο^мοгуτ быτь οτ 10° дο 60°, κаκ и з дρугиχ извесτныχ κοнсτρуκцияχ τуρбοмοлеκуляρ- ныχ заκуумныχ насοсοв. Эτи углы сΟ } σс2 , 3 » °^ мοгуτ быτь κаκ οдинаκοвыми для всеχ лοπаτοчныχ κοлес 7, 8, 9, 10, τаκ и ρэзличными. Β случае, если
15 ΨοСъ Φ ο , для всеχ лοπаτοчныχ κοлес 7, 8, 9, 10 οн дοлжен уменьшаτься οτ лοπаτοчнοгο κοлесз 7, ρасπο- лοженнοгο сο сτοροны γ всасывания газа , κ лοπаτοчнο- му κοлесу 10, ρасποлοженнοму сο сτοροны И" нагнеτа- ния газа, το есτь οС^> бζ> Съ>οС . Εсли ЭΤИ углы
20 οдинэκοвы, το есτь ο^=οС2 - <х> =° , το, κэκ изве- сτнο, целесοοбρэзнο для οбесπечения эφφеκτивнοгο προ- цессэ οτκачκи газа увеличиваτь κοличесτвο лοπаτοκ 29, 30, 31, 32 οτ πеρзοг-ο лοπэτοчнοгο κοлзсз, ρасποлοжβн- нοгο сο сτοροны ν всасывания газа κ лοπаτοчнοму κο-
25 лесу 10, ρасποлοженнοму сο сτοροны Ν нагнеτэния газа, или увеличиваτь шиρину лοπаτοчныχ κοлес 7, 8, 9, 10, либο выποлняτь и το и дρугοе οднοзρеменнο.
Κοличесτзο лοπаτοκ 29, 30, 31, 32 сοοτвеτсτвеннο на κаждοм из лοπаτοчныχ .κοлес 7, 8, 9, 10 мοжеτ быτь,
30 κаκ и в дρугиχ извесτныχ κοнсτρуκцияχ τуρбοмοлеκуляρ- ныχ ваκуумныχ насοсοв κаκ οдинаκοвым, τаκ и ρазличным.
Β οπисываемοм ваρианτе τуρбοмοлеκуляρнοгο взκуум- нοгο насοса κοличесτвο лοπзτοв 29, 30, 31, 32 для всеχ лοπэτοчныχ κοлес 7, 8, 9, 10 οдинаκοвο и ρэвнο τρидцэ-
35 τи шесτи. Углы οСή , «с^г ? °^з 7 °^ ц нэκлοна сοοτвеτсτвен- нο лοπзτοκ 29, 30, 31, 32 τзκже οдинзκοвы и ρавны 45°, το есτь £?с, = ,= ^з= ^ = ^5°.
Плοсκие лοπаτκи 29 (φиг.З) πеρвοгο сο сτοροны ν
- 9 - зсасывания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 7 ρавнοмеρнο ρасπο- лο-χены πο οκρужнοсτи ρадиуса н-| сτуπицы 33 и οбρазу- юτ между οбρащенными навсτρечу дρуг дρугу πлοсκοсτями
5 κаналы 34. Плοсκие лοπаτκи 30 (φиг.4) вτοροгο сο сτο- ροны ν всасывания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 8 ρавнο- меρнο ρасποлοжены πο οκρужнοсτи ρадиуса н2 сτуπицы 35 и οбρазуюτ κаналы 36. Плοсκие лοπаτκи 31 (φиг.5) τρеτьегο сο сτοροны ν всасывания газа лοπаτοчнοгο
ΙС κοлеса 9 ρавнοмеρнο ρасποлοжены πο οκρужнοсτи ρадиуса Ε- сτуπицы 37 и οбρазуюτ κаналы 38. Плοсκие лοπзτκи 32 (φиг.б) чеτвеρτοгο сο сτοροны ν всасывания газа лοπэτοчнοгο κοлзса 10 ρзвнοмеρнο ρасдοлοжены πο οκρуж- нοсτи ρадиуса н. сτуπицы 39 и οбρазуюτ межлοπаτοчные
15 κаналы 40.
Пρи эτοм дιиρина , (φиг.2), αζ ? αъ . сι^ сοοτ- веτсτвеннο лοπаτοчныχ κοлес 7, 8, 9, 10 увеличиваеτся οτ πеρвοгο лοπаτοчнοгο κοлеса 7, ρасποлοженнοгο сο сτοροны V всасывания газа, κ лοπаτοчнοму κοлесу 10,
20 ρасποлοженнθ'νϊу сο сτοροны Ν нагнеτания газа, το есτь _2..< Сιг< 0-ъ< & . Пροχοдные сечения κаналοв 34 (φиг.3), 36 (φиг.4), 38 (φиг.5), 40 (φиг.6) уменьшаюτ- ся οτ лοπэτοчнοгο κοлеса 7, ρэсποлοженнοгο сο сτοροны ν всасывания газа, κ лοπаτοчнοму κοлесу 10, ρасποлο-
25 женнοму сο сτοροны κ нагнеτания газа, за счёτ τοгο, чτο уменьшэеτся длина лοπаτοκ 30, 31, 32, το есτь ч (φиг.7) > __ 2ъ > Ζ-ч 7 где ή - длина лοπаτοκ 29 лοπаτοчнοгο κοлеса 7 _?2 - длина лοπаτοκ 30 лοπаτοчнοгο κοлеса 8
30 3 - длина лοπаτοκ 31 лοπаτοчнοгο κοлеса ч - длина лοπаτοκ 32 лοπаτοчнοгο κοлеса 10. Сοοτвеτсτвеннο увеличиваюτся ρадиусы /2 , /?3 Κ сτуπиц 35, 37, 39 лοπаτοчныχ κοлес 8, 9, 10, το есτь η < Я2 < Яъ < Κ .
Κаждая лοπаτκа πο меньшей меρе οднοгο из лοπаτοч-
35 ныχ κοлес ρасποлοжена τаκ, чτο линии πеρесечения ее πлοсκοсτей с πлοсκοсτями, πеρπендиκуляρными οси вρаще- ния ροτορа, ρасποлοжены ποд углοм κ ρадиусам οκρужнοс-
- 10 - τей егο с τуπицы, προведенным в τοчκи πеρесечения эτиχ линий с οκρужнοсτями сτуπиц, и наπρавлены πο меньшей меρе для οднοгο лοπаτοчнοгο κοлеса , ρасποлοженнοгο сο сτοροны нагнеτэния газа , в сτοροну вρащения ροτορа , а πο меньшей меρе для οднοгο лοπаτοчнοгο κοлеса , ρасπο- лοженнοгο сο сτοροны всасывания газа , - в προτивοποлοж- ную сτοροну.
Β οπисываемοм ваρианτе τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуум- нοгο насοса κаждая лοπаτκа 29 (φиг. З) πеρвοгο сο сτο- ροны ν всасывания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 7 ρасποлο- жена τзκ, чτο линия т πеρесечения οднοй из ее πлοс- κοсτей с τορцевοй ποвеρχнοсτью лοπаτοчнοгο κοлеса 7 , οбρащеннοй в сτοροну ν всасывания газа , ρасποлοжена ποд οсτρым углοм β - 30° κ ρадиусу н., οκρужнοсτи сτуπицы 33, προведеннοму в τοчκу з πзρесечения линии ιη с οκρужнοсτью сτуπицы 33, и κаκлοнена в сτοροну, προτивοποлοжную наπρавлению сο вρащения ροτορа 3. Κаждая лοπаτκа 30 (φиг.2,8) вτοροгο сο сτοροны ν всасывания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 8 ρасποлοжена τаκ,' чτο, если не учиτываτь τοлщину лοπаτκи, линия η πе- ρесечения ее πлοсκοсτей с πлοсκοсτью Κ, πеρπендиκу- ляρнοй οси 0 вρащения ροτορа 3, προχοдящей πο сρедин- нοму сечению лοπаτοчнοгο κοлеса 8, ρасποлοжены ρадиаль- нο. Пρи эτοм углы β наκлοнэ линий πеρесечения πлοс- κοсτей лοπаτκи 30 с дρугими πлοсκοсτями, πеρπендиκу- ляρными οси вρащения ροτορа 3, сρавниτельнο. невелиκи и увеличиваюτся с увеличением ρзссτοяния οτ πлοсκοсτи Κ. Κροме τοгο , линии η πеρесечения πлοсκοсτей лοπаτ- κи 30 с πлοсκοсτями , ρасποлοженными πο ρазные сτοροны οτ πлοсκοсτи Κ, налρавлены в ρазные сτοροны οτ сοοτ- зеτсτвующиχ ρадиусοв н2 οκρужнοсτей сτуπицы 35.
Κаждая лοπаτκэ 31 (φиг.5) τρеτьегο сο сτοροны ν зсэсывания газа или вτοροгο сο сτοροны и нагнеτания газа лοπаτοчнοгο κοлеса 9 ρасποлοжена τзκ , чτο линия ρ πеρесечения οднοй из ее πлοсκοсτей с τορцевοй πο- зеρχнοсτью лοπаτοчнοгο κοлеса 9 , οбρащеннοй в сτοροну V всасывания газа , ρасποлοжена ποд οсτρым углο;.:
- II - 5 = 20° κ ρадиусу Η^ οκρужнοсτи сτуπицы 37 , προве- деннοму в τοчκу з^ πзρесечения линии ρ с οκρужнοсτью сτуπицы 37 , и нэκлοнена в сτοροну и) вρащения ροτορэ 3.
Κаждая лοπа τκа 32 (φиг.6) чеτвеρτοгο сο сτοροны ν всасывания газа или πеρвοгο сο сτοροны Ν нагне- τания газэ лοπаτοчнοгο κοлеса 10 ρасποлοжена τаκ, чτο линия *" πеρесечения οднοй из ее πлοсκοсτей с τορце- вοй ποвеρχнοсτью лοπаτοчнοгο κοлеса 10 , οбρащеннοй в сτοροну ν всасывания газа , ρасποлοжена ποд οсτρым углοм βц - 30° κ ρздиусу Η^ οκρужнοсτи сτуπицы 39 , προведеннοму в τοчκу 5^ πеρесечения линии с οκ- ρужнοсτью сτуπицы 39 , и наκлοнена в сτοροну ш вρа- щения ροτορа 3. Пρи эτοм с увеличением ρассτοяния οτ πлοсκοсτи Κ углы уЗ наκлοна линий πеρесечения πлοс- κοсτей лοπаτοκ 29 , 30 , 31 , 32 увеличиваюτся. Эτи углы мοгуτ увеличиваτься дο 60°. Μаκсимальная величина эτиχ углοв зависиτ οτ угла σс наκлοна лοπаτοκ и οτ τρебуе- мыχ οτκачныχ χаρзκτеρисτиκ τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуум- нοгο насοса.
Β ваρианτе , ποκазаннοм на φиг.2 , πлοсκο сτь Κ ρас- ποлοжена в сρеднем сечении вτοροгο лοπаτοчнοгο κοлеса
8 , лοπаτκи 30 κοτοροгο ρа сποлοжены πρаκτичесκи ρадизль- нο , лοπаτκи 29 и 31 , 32 οсτальныχ лοπаτοчныχ κοлес 7 ,
9 , 10 , ρасποлοженныχ πο ρазные сτοροны эτοй πлοсκοсτи Κ наκлοнены в ρазные сτοροны οτ ρэдиальнοгο наπρэвле- ния.
Μесτο ρасποлοжения эτοй πлοсκοсτи Κ в κаждοπ κοн- κρеτнοй κοнсτρуκции τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο на- сοса выбиρаеτся ρасчеτным πуτем и зависиτ οτ τρебуемыχ геοмеτρичесκиχ πаρамеτροв лοπаτοчныχ κοлес , κοличесτва лοπаτοκ , πлοщади προχοднοгο сечения межлοπаτοчныχ κа- налοв , углοв наκлοна лοπаτοκ. Β οπисызаемοм заρианτе все лοπэτοчные κοлеса 7 , 8,
9 , 10 ποвеρнуτы οτнοсиτельнο дρуг дρуга вοκρуг οси 0 вρащения ροτορа 3 τаκ , чτο для κаждοгο лοπа τοчнοгο κο- леса 7 , 8, 9 , 10 имееτся πο οднοи лοπаτκе 29 , 30 , 31 ,32
- 12 - с κοτορыми ее πлοсκοсτи, οбρащенные в οдну сτοροκу, ле- жаτ в οднοй πлοсκοсτи ζ .
Τаκοе κοнсτρуκτивнοе выποлнение τуρбοмοлеκуляρнο- 5 гο ваκуумнοгο насοса ποзвοляеτ изгοτοвиτь егο ροτορ 3 мοнοжτным, чτο значиτельнο уπροщаеτ τеχнοлοгичесκий προцесс изгοτοвления ροτορа 3, сοκρащаеτ вρемя, заτρа- чиваемοе на егο изгοτοвление πο меньшей меρе в 5 ρаз, и ποвышаеτ эκсπлуаτациοнные χаρаκτеρисτиκи τρубοмοле-
10 κуляρнοгο ваκуумнοгο насοса.
Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс ρабοτаеτ сле- дующим οбρазοм. Пρи усτанοвκе насοса егο φланец 28 (φиг.Ι) сοединяеτся с геρмеτизиρуемοй κамеροй (на чеρ- τеже не ποκазана) сοοτвеτсτвующей τеχнοлοгичесκοй ус-
15 τанοвκи. Паτρубοκ 21 сοединяеτся с τρубοπροзοдοм (на чеρτеже не ποκазан) φορваκуумнοи οτκачκи газа. Пροиз- вοдиτся φορваκуумная οτκачκа газа из геρмеτичнοй κаме- ρы дο давления οτ I дο ΙΟ"1 Па. Заτем ποдачей наπρяясе- ния на сτаτορ элеκτροдвигаτеля (на чеρτеже не ποκазан)
20 πρивοдиτся вο вρащение вал 15 с ροτοροм 3, πρивοдя вο вρащение в наπρавленш Сύ лοπаτοчные κοлеса 7, 8, 9, 10.
Пρи вρащении ροτορа 3 мοлеκулы газа из οτκачива- емοгο οбъема геρмеτизиρуемοй κамеρы ποπадаюτ в ποлοсτь
25 насοса и заχваτьгваюτся лοπаτκами 29 πеρвοгο лοπаτοчнο- гο κοлеса 7 сο сτοροны V всасывания газа. Κ сοбсτ- веннοκ τеπлοвοй сκοροсτи мοлеκул газа дοбавляеτся им- πульс сκοροсτи, ποлученный πρи сοудаρении с вρащающими- ся лοπаτκами 29. Пοсле мнοгοκρаτныχ οτρажений οτ лοπа-
30 τοκ 29 лοπаτοчнοгο κοлеса 7 мοлеκулы газа ποπадаюτ на лοπаτοчный дисκ II и далее на лοπаτκи 30 вτοροгο лοπа- τοчный дисκ II и далее на лοπаτκи 30 вτοροгο лοπаτοчнο- гο κοлеса 8. Μοлеκулы, имеющие зеρκалышй заκοн οτρаже- ния, дшижущиеся в πлοсκοсτяχ, κасаτельныχ κ οκρуж-
35 нοсτям, κοаκсиальным οκρужнοсτи сτуπицы и πеρесеκающм 1ζ πлοсκοсτи лοπаτοκ 29, ποπадая на πеρвοе лοπаτοчнοе κοлесο 7 ποлучаюτ, κροме τангенциальнοй сοсτавляю- щей сκοροсτи еще и ρадиальную, чτο сποсοбсτвуеτ иχ πе-
- 13 - ρемещению κ πеρиφеρии лοлаτοκ 23 , где линейные сκοροс- τи лοπа τοκ 29 увеличиваюτсл. Βследсτвие эτοгο мοлеκу- лы газа ποлучаюτ бοлее высοκиκ имπульс силы и бысτρее
5 удаляюτся сο сτοροны ν всасывания га за в сτοροну Ν нагнеτания газа. Эτим οбесπечиваеτся ποвышение бысτρο- τы дейсτвия τуρбοмοлеκуляρнοгο заκуумнοгο насοса . Пροй- дя чеρез лοπа τοчный дисκ ΙΙ, мοлеκулы га за ποπадаюτ на зτοροе лοπаτοчнοе κοлесο 8, линии πеρесечения πлοсκοс-
10 τей лοπаτοκ 30 κοτοροгο ρасποлοжены ποчτи ρадиальнο. Пρи сοудаρении с лοπаτκами 30 лοπаτοчнοгο κοлеса 8 , мοлеκулы газа ποлучаюτ τοльκο τангенциальную сοсτазля- ющую и οτκачκа га за οсущесτвляеτся, κаκ в дρугиχ извесτ- ныχ κοнсτρуκπияχ τуρбοмοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοс οв.
15 Пοсле мнοгοκρаτныχ οτρажений οτ лοπаτοκ 30 лοπаτοчнο- гο κοлеса 8 мοлеκулы газа ποπадаюτ на лοπа τοчный дисκ 12 и далее на лοπаτοчнοе κοлесο 9 , линии πеρесечения πлοсκοсτей лοπа τοκ 31 κοτοροгο наκлοнены в сτοροну вρа- щения ροτορа 3. Μοлеκулы газа πρи сτοлκнοвении с набе-
20 гающей бοκοвοй ποвеρχнοсτью лοπа τοκ 31 лοπаτοчнοгο κο- леса 9 ποлучаюτ имπульс силы, наπρавленный οτ πеρиφе- ρии лοπаτοκ 9 κ οси 0 вρащения ροτορа 3 , οбесπечивая οτκачκу мοлеκул газа из зазορа 4 и уменыιιая οбρаτный ποτοκ ρассеивания мοлеκул газа. Пροйдя лοπа τοчнοе κο-
25 лесο 9,мοлеκулы ποπадаюτ на лοπаτοчный дисκ 13 и далее на лοπаτκи 32 лοπаτοчнοгο κοлеса 10. Ρабοτа лοπаτοчнοгο κοлеса 10 οсущесτзляеτся τаκ же , κаκ и лοπаτοчнοгο κο- леса 9. Ηο ποсκοльκу угοл β^ >β эφφеκτивнοсτь уда- ления мοлеκул газа из зазορа 4 увеличиваеτся за счёτ
30 уменьшения οбρаτнοгο ποτοκа ρассеивания газа , чτο, з свοю οчеρедь, πρизοдиτ κ увеличению с τеπени сжаτия газа .
Далее с лοπаτοκ 32 лοπаτοчнοгο κοлеса 10 мοлеκу- лы газз ποπадаюτ в πазы 14 сτуπени мοлеκуляρнοй οτκач- κи газа , ρабοτа κοτοροй οсущесτвляеτся иззесτным οбρа-
35 зοм.
Τаκим οбρазοм πρи ρа бοτе τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκу- .умнοгο насοса наκлοн линий πеρесечения πлοсκοсτег: лοπа- τοκ οτ ρадиальнοгο наπρавления в сτοροну зρащения ρο-
- 14 - ρορа πρивοдиτ κ увеличению сτеπени сжаτия газа , а в προτивοποлοжную сτοροну - κ увеличению бысτροτы дейсτ- вия. Бсе эτο з ρезульτаτе ποвышаеτ οτκачные χаρаκτеρис-
5 τиκи τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса без увеличе- ния егο габаρиτοв.
Пροмышленная πρименимοсτь Пρедлагаемый мοлеκуляρный ваκуумный насοс мοжеτ быτь исποльзοван в ρазличныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοв-
10 κаχ для сοздания и ποддеρжания ваκуума с οсτа τοчным давлением газа οτ 10 Па дο 10 Па , наπρимеρ , в элеκτροниκе πρи изгοτοвлении миκροсχем , πρи выρащива- нии исκуесτвенныχ κρисτаллοв , а τаκже в ρазличκыχ ис- следοваτельсκиχ усτанοвκаχ и πρибορаχ, κοτορые ρабοτа-
15 юτ с исποльзοванием ваκуума , наπρимеρ в усκορиτеляχ элеменτаρныχ часτиц, в масс-сπеκτροмеτρаχ, элеκτροнныχ миκροсκοπаχ.
Claims
1. Τуρбοмοлеκуляρный заκуумный насοс, сοдеρжащий ποлый сτаτορ (I), в οсевοм οτвеρсτии (2) κοτοροгο ус-
5 τанοвлен ροτορ (3) πο меньшей меρе с двумя лοπаτοчными κοлесами (7, 8, 9, 10), между κοτορыми ρасποлοжены за- κρеπленные на сτаτορе (I) лοπаτοчные дисκи (II, 12, 13), πлοсκие лοπаτκи κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм κ πлοс- κим лοπаτκам (29, 30, 31, 32) лοπаτοчныχ κοлес (7, 8,
10 9, 10) ροτορа (3), ρасποлοженным πο οκρужнοсτи на сτу- πице сοοτвеτсτвующегο лοπаτοчнοгο κοлеса (7, 8, 9, 10) τаκ, чτο προχοдные сечения κаналοв между οбρащенными дρуг κ дρугу πлοсκοсτями сοседниχ лοπаτοκ (29, 30, 31, 32) уменьшаюτся οτ лοπаτοчнοгο κοлеса (7), ρасποлοжен-
15 нοгο сο сτοροны ( ν ) всасывания газа, κ лοπаτοчнοму κοлесу (10), ρасποлοженнοму сο сτοροны, ( Ν ) нагнеτа- ния газа , и πлοсκοсτи κοτορыχ наκлοнены κ πлοсκοсτям, πеρπендиκуляρным οси вρащения ροτορа (3), в сτοροну егο вρащения, ο τ л и ч а ю щ'и й с я τем, чτο κаж-
20 дая лοπаτκа (29, 30, 31, 32) πο меньшей меρе οднοгο из лοπаτοчныχ κοлес (7, 8, 9, 10) ρасποлοжена τаκ, чτο линии πеρесечения её πлοсκοсτей с πлοсαοсτями, πеρπен- диκуляρными οси вρащения ροτορа (3), ρасποлοжены ποд углοм κ ρадиусам οκρужнοсτей сτуπицы в τοчκи πеρесече-
2.5 ния эτиχ линий с οκρужнοсτями сτуπицы и наπρавлены πο меньшей меρе для οднοгο лοπаτοчнοгο κοлеса (10), ρас- ποлοженнοгο сο сτοροны Ν ) нагнеτания газа, в сτορο- ну вρащения ροτορа (3), а πο меньшей меρе для οднοгο лοπаτοчнοгο κοлеса (7), ρасποлοженнοгο сο сτοροны ( ν)
30 всасывания газа, - в προτивοποлοжную сτοροну.
2. Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс πο π.Ι, ο τ- л и ч а ю щ и й с я τем, чτο πρи οдинаκοвοм угле на- κлοна πлοсκοсτеκ лοπаτοκ (29, 30, 31, 32) всеχ лοπаτοч- ныχ κοлес (7, 8, 9, 10) κ πлοсκοсτям, πеρπендиκуляρным
35 οси вρащения ροτορа (3), и πρи οдинаκοвοм κοличесτзе лοπаτοκ (29, 30, 31, 32) на всеχ лοπаτοчныχ κοлесаχ (7, 8, 9, 10) ροτορ (3) имееτ πлοсκοсτь, πеρπендиκу- ляρную егο οси вρащения, πο οдну сτοροну κοτοροй с уве- 
- 16 - личением ρассτοяния οτ эτοй πлοсκοсτи углы наκлοна ли- ний πеρесечения πлοсκοсτей лοπаτοκ (29, 30, 31, 32) и πο ρазные сτοροны κοτοροй увеличиваюτся,линии πеρесе- чения πлοсκοсτей лοπаτοκ (29, 30, 31, 32) наκлοнены в ρазные сτοροны οτнοсиτельнο наπρавления вρащения ροτο- ρа (5 ), πρи эτοм κаждοе лοπаτοчнοе κοлесο (29, 30, 31, 32) смещенο οτнοсиτельнο дρугиχ на угοл, πρи κοτο- ροм для κаждοй лοπаτκи (29, 30, 31, 32) κаждοгο лοπа- τοчнοгο κοлеса (7, 8, 9, 10 имееτся πο οднοй лοπаτκе (29, 30, 31, 32) κаждοгο дρугοгο лοπаτοчнοгο κοлеса (7, 8, 9, 10), с κοτορыми ее πлοсκοсτи, οбρащенные з οдну сτοροну, лежаτ в οднοй οбщей πлοсκοсτи.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/427,097 US5052887A (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolecular vacuum pump |
| DE883891263T DE3891263T1 (de) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolekular-vakuumpumpe |
| JP63503954A JPH02503702A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | ターボ分子真空ポンプ |
| GB8921649A GB2226603B (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolecular vacuum pump |
| PCT/SU1988/000047 WO1989008192A1 (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolecular vacuum pump |
| CH3843/89A CH674552A5 (ru) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | |
| FR888808388A FR2633674B1 (fr) | 1988-02-26 | 1988-06-22 | Pompe turbomoleculaire a vide |
| FI894271A FI894271A0 (fi) | 1988-02-26 | 1989-09-11 | Turbomolekular vakuumpump. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1988/000047 WO1989008192A1 (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolecular vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1989008192A1 true WO1989008192A1 (en) | 1989-09-08 |
Family
ID=21617205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1988/000047 WO1989008192A1 (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Turbomolecular vacuum pump |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5052887A (ru) |
| JP (1) | JPH02503702A (ru) |
| CH (1) | CH674552A5 (ru) |
| DE (1) | DE3891263T1 (ru) |
| FI (1) | FI894271A0 (ru) |
| FR (1) | FR2633674B1 (ru) |
| GB (1) | GB2226603B (ru) |
| WO (1) | WO1989008192A1 (ru) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5238362A (en) * | 1990-03-09 | 1993-08-24 | Varian Associates, Inc. | Turbomolecular pump |
| FR2683277B1 (fr) * | 1991-11-04 | 1995-01-13 | Cit Alcatel | Entretoise a epaisseur ajustable. |
| US5592618A (en) * | 1994-10-03 | 1997-01-07 | International Business Machines Corporation | Remote copy secondary data copy validation-audit function |
| GB9719634D0 (en) * | 1997-09-15 | 1997-11-19 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
| US6179573B1 (en) * | 1999-03-24 | 2001-01-30 | Varian, Inc. | Vacuum pump with inverted motor |
| DE19937392A1 (de) * | 1999-08-07 | 2001-02-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe mit pumpaktiven Elementen |
| GB9921983D0 (en) * | 1999-09-16 | 1999-11-17 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
| US6514035B2 (en) * | 2000-01-07 | 2003-02-04 | Kashiyama Kougyou Industry Co., Ltd. | Multiple-type pump |
| DE10010371A1 (de) * | 2000-03-02 | 2001-09-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| JP2002070787A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-08 | Kashiyama Kogyo Kk | 真空ポンプ |
| DE10046766A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-04-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Compound-Reibungsvakuumpumpe |
| JP2002327697A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
| DE10210404A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Herstellung des Rotors einer Reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem Verfahren hergestellter Rotor |
| DE10331932B4 (de) * | 2003-07-15 | 2017-08-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| GB0322883D0 (en) * | 2003-09-30 | 2003-10-29 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| GB0503946D0 (en) * | 2005-02-25 | 2005-04-06 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| US7645116B2 (en) | 2005-04-28 | 2010-01-12 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| JP2006307795A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| CN102007298B (zh) * | 2008-02-15 | 2014-04-30 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| GB2498816A (en) | 2012-01-27 | 2013-07-31 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
| CN103398013B (zh) * | 2013-08-12 | 2016-08-24 | 北京中科科仪股份有限公司 | 涡轮分子泵 |
| GB2552793A (en) | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
| GB2553323A (en) * | 2016-09-01 | 2018-03-07 | Edwards Ltd | Pump assemblies with sealing |
| WO2023137526A1 (en) * | 2022-01-22 | 2023-07-27 | Nihill Jack | Heat engine |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2244370A5 (ru) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| DE2255618C2 (de) * | 1971-11-16 | 1982-12-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris | Molekular-Vakuumpumpe |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (de) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2035063C3 (de) * | 1970-07-15 | 1974-05-30 | Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar | Laufrad für eine Turbomolekularpumpe |
| DE2229724B2 (de) * | 1972-06-19 | 1980-06-04 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Turbomolekularpumpe |
| DE2554995A1 (de) * | 1975-12-06 | 1977-06-16 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Turbomolekularpumpe |
| DE2654055B2 (de) * | 1976-11-29 | 1979-11-08 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich | Rotor- und Statorscheibe für Turbomolekularpumpe |
| SU715821A1 (ru) * | 1978-01-05 | 1980-02-15 | Предприятие П/Я В-2058 | Пакет дисков турбомолекул рного насоса |
| IT1146663B (it) * | 1981-12-10 | 1986-11-12 | Mion Nastrificio Spa A | Procedimento per il taglio ed eventuale fissaggio su supporto di wtichette tessute ed etichette cosi' ottenute |
| US4732529A (en) * | 1984-02-29 | 1988-03-22 | Shimadzu Corporation | Turbomolecular pump |
| JPS61283794A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-13 | Nippon Soken Inc | タ−ボ分子ポンプ |
| JPH0765592B2 (ja) * | 1986-02-22 | 1995-07-19 | 守彦 木俣 | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS6341695A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS63159695A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ |
| DE3728154C2 (de) * | 1987-08-24 | 1996-04-18 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Mehrstufige Molekularpumpe |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP63503954A patent/JPH02503702A/ja active Pending
- 1988-02-26 WO PCT/SU1988/000047 patent/WO1989008192A1/ru active Application Filing
- 1988-02-26 DE DE883891263T patent/DE3891263T1/de not_active Withdrawn
- 1988-02-26 CH CH3843/89A patent/CH674552A5/de not_active IP Right Cessation
- 1988-02-26 GB GB8921649A patent/GB2226603B/en not_active Expired
- 1988-02-26 US US07/427,097 patent/US5052887A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-06-22 FR FR888808388A patent/FR2633674B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-09-11 FI FI894271A patent/FI894271A0/fi not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2255618C2 (de) * | 1971-11-16 | 1982-12-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris | Molekular-Vakuumpumpe |
| FR2244370A5 (ru) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (de) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2633674A1 (fr) | 1990-01-05 |
| GB2226603B (en) | 1992-07-29 |
| JPH02503702A (ja) | 1990-11-01 |
| US5052887A (en) | 1991-10-01 |
| CH674552A5 (ru) | 1990-06-15 |
| DE3891263T1 (de) | 1990-03-15 |
| FR2633674B1 (fr) | 1990-11-23 |
| GB2226603A (en) | 1990-07-04 |
| FI894271A0 (fi) | 1989-09-11 |
| GB8921649D0 (en) | 1990-02-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1989008192A1 (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| US5118251A (en) | Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure | |
| US7488151B2 (en) | Vortical flow rotor | |
| JP4395210B2 (ja) | 真空ポンプの改良 | |
| JP3961155B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| EP0770781A1 (en) | Turbomolecular vacuum pumps | |
| CN109312757B (zh) | 低噪音高效率离心式鼓风机 | |
| EP0445855B1 (en) | Improved turbomolecular pump | |
| KR102213998B1 (ko) | 진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품 | |
| JP2003515037A (ja) | 半径方向流ターボ分子真空ポンプ | |
| KR20140125287A (ko) | 연료전지 차량용 공기 블로워 | |
| US6371735B1 (en) | Vacuum pumps | |
| EP0902190B1 (en) | Vacuum pumps | |
| CN104895806A (zh) | 向心式压气机 | |
| WO1991005956A1 (en) | Fan | |
| EP1108145B1 (en) | Self-propelled vacuum pump | |
| JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| JPS60182394A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| Tu et al. | A new design for the disk‐type molecular pump | |
| JP2865888B2 (ja) | マルチターボ型真空ポンプ | |
| JP3233364U (ja) | 真空システム | |
| JPS61283794A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| SU1749550A1 (ru) | Осевой многоступенчатый вентил тор | |
| JPS58197497A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JPH0381000B2 (ru) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CH DE FI GB HU JP US |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 894271 Country of ref document: FI |
|
| RET | De translation (de og part 6b) |
Ref document number: 3891263 Country of ref document: DE Date of ref document: 19900315 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 3891263 Country of ref document: DE |