JPS58197497A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS58197497A JPS58197497A JP7828282A JP7828282A JPS58197497A JP S58197497 A JPS58197497 A JP S58197497A JP 7828282 A JP7828282 A JP 7828282A JP 7828282 A JP7828282 A JP 7828282A JP S58197497 A JPS58197497 A JP S58197497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vanes
- speed
- drive shaft
- turbo
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/024—Multi-stage pumps with contrarotating parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はターボ分子ポンプに係り、%に超高真空を必
要とする機器に用いられるターボ分子ポンプに関するも
のである。
要とする機器に用いられるターボ分子ポンプに関するも
のである。
ターボ分子ポンプは核融合装置、電子顕微鏡。
レーザプラズマ装置等の超扁真空贋を必要とする機器に
用いられる。
用いられる。
従来のターボ分子ポンプを第1図によって説明する。
図において、aは回転胴で軸受す、cに支承されたモー
タdの軸に結合されている。このモータdには給電コネ
クタeを介して給′龜される。回転胴aには動翼fが軸
方向に多数配列されている。
タdの軸に結合されている。このモータdには給電コネ
クタeを介して給′龜される。回転胴aには動翼fが軸
方向に多数配列されている。
この動gf間には静翼gが配置されスペーサhを介し吸
気ケーシングiに固定されている。畷気ケ−シンクLは
排気ケーシングJにボルト等で収付けられる。kri吸
気口でこの前方に排気されるべき機器がフランジpによ
シ接続される。気体は吸気口により動翼f、静翼gを交
互に通り排気口mより排気される。排気口mにはフラン
ジnが設けられており、この前方に補助真空を得るため
の真空ポンプが結合される。
気ケーシングiに固定されている。畷気ケ−シンクLは
排気ケーシングJにボルト等で収付けられる。kri吸
気口でこの前方に排気されるべき機器がフランジpによ
シ接続される。気体は吸気口により動翼f、静翼gを交
互に通り排気口mより排気される。排気口mにはフラン
ジnが設けられており、この前方に補助真空を得るため
の真空ポンプが結合される。
上記のターボ分子ポンプの性能、すなわち圧縮比および
排気速度は動@fの回転速度が犬きくなるに従って向上
するが、強度上の問題から動#i!fの速度が十分大き
く取れない。
排気速度は動@fの回転速度が犬きくなるに従って向上
するが、強度上の問題から動#i!fの速度が十分大き
く取れない。
このため、超高真空の状態でポンプ自体の構成部分の表
面より排出される表面吸着ガスや内S@蔵ガスを十分排
気できず、これが到達真空式の限界を与えていた。
面より排出される表面吸着ガスや内S@蔵ガスを十分排
気できず、これが到達真空式の限界を与えていた。
この発明は隣接する翼車が互いに反対方向に回動し得る
ように構成し、対拘する翼車の相対速度を大きくするこ
とにより高性能なターボ分子ポンプを得ることを目的と
するものである。
ように構成し、対拘する翼車の相対速度を大きくするこ
とにより高性能なターボ分子ポンプを得ることを目的と
するものである。
以下、この発明の実施例を第2図〜第5図にっいて説明
する。
する。
図において、1は第1の翼車駆動軸で、この駆動軸lの
一端には回転81ii12が、他端には第1のモータ3
が取付けられ軸受4,5によυ支承されている。Eはば
ねでケーシング6に@受5を介し駆動軸1を弾性的に支
承している。7は軸支持筒で軸受J4.5(]l−介し
駆動@1を支承する。回転胴2には軸方向に間隔をおい
て第1の動翼8が固着されている。この第1の動翼8間
には第2の動X9がスペー+j10を介して積l−され
ている。積jI#された第2の動翼9は第2の翼車駆動
軸11の内周面に多段に配列される。第2の翼車駆動軸
11には第2のモニタ12が取付けられ軸受13,14
によりケーゾング15,16に支承されている。
一端には回転81ii12が、他端には第1のモータ3
が取付けられ軸受4,5によυ支承されている。Eはば
ねでケーシング6に@受5を介し駆動軸1を弾性的に支
承している。7は軸支持筒で軸受J4.5(]l−介し
駆動@1を支承する。回転胴2には軸方向に間隔をおい
て第1の動翼8が固着されている。この第1の動翼8間
には第2の動X9がスペー+j10を介して積l−され
ている。積jI#された第2の動翼9は第2の翼車駆動
軸11の内周面に多段に配列される。第2の翼車駆動軸
11には第2のモニタ12が取付けられ軸受13,14
によりケーゾング15,16に支承されている。
第2の翼車駆動@11の外周と対向するケーシング15
の内筒面にはねじ#15aが刻設されており、排気口B
の気体が吸気口A、に漏洩するのを阻止する。@気口A
にはフランジA′が設けられてお#)、#気すべき機器
が接続される。C,I)はそれぞれ給電コネクタであり
、第1I第2のモータ3.12に給電する。第2の翼車
駆動軸110対向面のケーシング15に設けたねじ溝1
5aは駆動軸11の外周面に設けるようにしてもよい。
の内筒面にはねじ#15aが刻設されており、排気口B
の気体が吸気口A、に漏洩するのを阻止する。@気口A
にはフランジA′が設けられてお#)、#気すべき機器
が接続される。C,I)はそれぞれ給電コネクタであり
、第1I第2のモータ3.12に給電する。第2の翼車
駆動軸110対向面のケーシング15に設けたねじ溝1
5aは駆動軸11の外周面に設けるようにしてもよい。
また、ねじ擲に代えてラビリンスノくツキンによって流
通する流体の封鎖手段とすることも可能である。
通する流体の封鎖手段とすることも可能である。
この発明は上記構成であり1次にその動作について説明
する。
する。
第1.第2のモータ3.12に給電す乞ことにより第1
.第2の動翼8.9を互いに反対方向に駆動し、動翼8
.9の高速の相対回転を容易にし。
.第2の動翼8.9を互いに反対方向に駆動し、動翼8
.9の高速の相対回転を容易にし。
崗圧縮比、尚排気速度の性能が得られることは次のこと
から理解される。すなわち、ターボ分子ポンプの単段の
翼の圧縮比は、隣接する翼との相対速度の指数にほぼ比
例し、排気速度は%隣接する翼との相対速度にほぼ比例
する。例えば、第3図でg角αが300m節弦比8+
=8/、、eが0.5の翼の場合について考えると翼速
度比C(=隣接する麺との相対真速度■)/(気体分子
の最大確率速度)K対して、最大圧縮比(pt/pt
)=、、、最大排気速度効率Qm a mは、第4図、
第5図に示すようになる。ここで、排気速度効率は、吸
気側翼開口部に飛来する分子のうち併気側へ排気される
分子の割合を表わす。従来のターボ分子ポンプは一般に
強度上の問題により空気に対する翼速度比は0.6程度
であり、第4図、第5図に示されるように最大圧縮比は
3.1程度、最大排気速度効率は0.26程度である。
から理解される。すなわち、ターボ分子ポンプの単段の
翼の圧縮比は、隣接する翼との相対速度の指数にほぼ比
例し、排気速度は%隣接する翼との相対速度にほぼ比例
する。例えば、第3図でg角αが300m節弦比8+
=8/、、eが0.5の翼の場合について考えると翼速
度比C(=隣接する麺との相対真速度■)/(気体分子
の最大確率速度)K対して、最大圧縮比(pt/pt
)=、、、最大排気速度効率Qm a mは、第4図、
第5図に示すようになる。ここで、排気速度効率は、吸
気側翼開口部に飛来する分子のうち併気側へ排気される
分子の割合を表わす。従来のターボ分子ポンプは一般に
強度上の問題により空気に対する翼速度比は0.6程度
であり、第4図、第5図に示されるように最大圧縮比は
3.1程度、最大排気速度効率は0.26程度である。
ここで、一方の−を従来のターボ分子ポンプの動翼と同
゛じ速度で回し、隣接する他方の翼ヲ従来のターボ分子
ポンプの0.4倍で回す場合について考えると、隣接す
る挑との相対速度は、従来のターボ分子ポンプの興の1
.4倍となり、st速度比Cは0.84となる。従って
、最大圧縮比は4.3.@大排気速度効系は0.35と
なり、従来のターボ分子ポンプの−に比べ減大圧縮比は
、はぼ1,4倍、最大排気速度効率は1.3倍となる。
゛じ速度で回し、隣接する他方の翼ヲ従来のターボ分子
ポンプの0.4倍で回す場合について考えると、隣接す
る挑との相対速度は、従来のターボ分子ポンプの興の1
.4倍となり、st速度比Cは0.84となる。従って
、最大圧縮比は4.3.@大排気速度効系は0.35と
なり、従来のターボ分子ポンプの−に比べ減大圧縮比は
、はぼ1,4倍、最大排気速度効率は1.3倍となる。
よって、多段の場合について考えると者しい性能の向上
がある。
がある。
以上説明したように、この発明によれば隣接する翼車が
互いに反対方向に回動し得るように構成したから、各方
向に回動する翼車の回転速度を上げることなく相対翼速
度を高めることができ、ポンプの性能すなわち圧縮比、
排気速度を同上できる。
互いに反対方向に回動し得るように構成したから、各方
向に回動する翼車の回転速度を上げることなく相対翼速
度を高めることができ、ポンプの性能すなわち圧縮比、
排気速度を同上できる。
第1図は、従来の細流ターボ分子ポンプの断面図、第2
図は、この発明の実施例の断面図、第3図は軸流ターボ
分子ポンプ翼の円筒展開面図、第4図は軸流の単段の翼
車の真速度比に対する圧縮比を表わす図、第5図は一流
の単段の翼車の真速度比に対する排気速度効率を表わす
図である。 1・・・第1の翼車駆動軸、3・・・第1のモータ%7
・・・軸支持筒、8・・・第1の動X、 9・・・第2
の動翼。 11・・・第2の翼車駆動軸、12・・・第2のモータ
。 15a・・・ねじ婢。 第1 菌 矛2 図 り 55
図は、この発明の実施例の断面図、第3図は軸流ターボ
分子ポンプ翼の円筒展開面図、第4図は軸流の単段の翼
車の真速度比に対する圧縮比を表わす図、第5図は一流
の単段の翼車の真速度比に対する排気速度効率を表わす
図である。 1・・・第1の翼車駆動軸、3・・・第1のモータ%7
・・・軸支持筒、8・・・第1の動X、 9・・・第2
の動翼。 11・・・第2の翼車駆動軸、12・・・第2のモータ
。 15a・・・ねじ婢。 第1 菌 矛2 図 り 55
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真、軸方向に多段に配列したS束群によって排気を行う
ターボ分子ポンプにおいて、隣接する翼車が互いに反対
方向に回動し得るように構成したことを特徴とするター
ボ分子ポンプ。 2、特許請求の範囲第1項において、第1の翼車駆動軸
と、前記駆動軸の外周に配置され該軸を支承する軸支持
筒と、前記支持筒の外周に配列された第2の翼車駆動軸
とから構成される駆動機構を備えてなることを特徴とす
るターボ分子ポンプ。 3、特許請求の範囲第1項において、内周面に軸方向に
多段に配列した翼車群を欅設する前記第2の#iIL東
軸の外周囲、あるいはこれと対向するケーシング内周面
に流体の流通を阻止する封鎖手段e411J成したこと
を特徴とするターボ分子ポンプ。 4、特許請求の範囲第3項において、前記封鎖手段はね
じ溝であることを特徴とするターホ分・子ボンダ。 s、 wf+請求の範囲第3項において、前記封鎖手
段はラビリンスパツキンであることを特徴とするターボ
分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7828282A JPS58197497A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7828282A JPS58197497A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58197497A true JPS58197497A (ja) | 1983-11-17 |
Family
ID=13657601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7828282A Pending JPS58197497A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58197497A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
CN111503021A (zh) * | 2019-01-30 | 2020-08-07 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
-
1982
- 1982-05-12 JP JP7828282A patent/JPS58197497A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
CN111503021A (zh) * | 2019-01-30 | 2020-08-07 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
US11293447B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-04-05 | Shimadzu Corporation | Turbo-molecular pump blade design |
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