WO1987002927A1 - Industrial robot having dust-proof structure - Google Patents

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WO1987002927A1
WO1987002927A1 PCT/JP1986/000562 JP8600562W WO8702927A1 WO 1987002927 A1 WO1987002927 A1 WO 1987002927A1 JP 8600562 W JP8600562 W JP 8600562W WO 8702927 A1 WO8702927 A1 WO 8702927A1
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dust
opening
linear motion
ring member
cover
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PCT/JP1986/000562
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Nobutoshi Torii
Susumu Ito
Hiroshi Wakio
Kyoji Iwasaki
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Fanuc Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/21—Elements
    • Y10T74/219—Guards

Definitions

  • the present invention relates to an industrial robot having a dustproof structure, and more particularly to an industrial robot having a linear motion unit extending through an opening provided in a dustproof cover.
  • industrial robots such as cylindrical-coordinate-type mouth robots, rectangular-coordinate-type robots, and scalar-type robots operate vertically in a straight line vertically or horizontally. It is equipped with a horizontal and linear motion unit that moves linearly. These linear motion units extend through the opening provided at the end of the dust-proof cover and extend to the outside of the dust-proof cover, and can be moved forward and backward in the longitudinal direction. .
  • the opening of the dust-proof cover has been provided with a seal ring that tightly seals the inside of the dust-proof cover in close contact with the outer peripheral surface of the linear motion unit.
  • a seal ring that tightly seals the inside of the dust-proof cover in close contact with the outer peripheral surface of the linear motion unit.
  • the present invention provides at least one dustproof cover having an opening, and extends and moves longitudinally through the opening of the dustproof cover.
  • a suction unit that sucks the inside of the dust-proof cover when air flows from the linear motion unit and the outside of the dust-proof cover through the opening to the inside of the dust-proof cover through the opening; and the dust-proof cover.
  • a ring member provided on the opening and surrounding the outer periphery of the linear motion unit via a gap, and a small number of inner surfaces of the ring member surrounding the outer circumference of the linear motion unit.
  • an industrial robot having a dust-proof structure provided with at least one ring groove for air storage.
  • the inside of the dust-proof cover is always maintained at a negative pressure, so the gap between the inner peripheral surface of the ring member and the linear motion unit is from the outside of the dust-proof cover to the inside. Airflow occurs.
  • the pressure inside the dust cover fluctuates due to the linear motion of the linear motion unit, but at the annular groove provided on the inner peripheral surface of the ring member, the flow velocity of the air suddenly weakens, Since a reservoir is formed, the backflow of air can be suppressed.
  • an industrial robot having a dustproof structure suitable for use in a clean room can be provided.
  • the axial width of the annular groove is preferably several times its depth, more preferably at least four times. It is preferable to do this.
  • FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of an industrial robot having a dustproof structure according to an embodiment of the present invention
  • Fig. 2 is a cross-sectional view of the robot's vertical / linear motion mechanism shown in Fig. 1,
  • FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the horizontal / linear motion mechanism of the robot shown in FIG. 1,
  • FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a structure of a ring between a vertical linear motion unit and a dust cover.
  • FIG. 1 through FIG. 4 show an embodiment in which the present invention is applied to a cylindrical coordinate type robot.
  • the robot is provided with a base 11 and a swivel body 12 is attached to the base 11 via a cross-role labeling 13. Of axis 5 It is provided rotatable around.
  • a motor 14 for rotating and driving the swivel body 12 is attached to the base 11.
  • the output shaft of the motor 14 is in contact with the input shaft of the speed reducer 15, and the gear 16 is fixed to the output shaft of the speed reducer 15.
  • the gear 16 corresponds to the gear 17 defined in the swivel body 12.
  • a pair of guide rails 18 extending parallel to the axis d are fixed to the swivel body 12, and the guide rails 18 have a vertical linear motion unit.
  • the vertical linear motion unit 19 is a vertical cylindrical tube extending along the axis.
  • a ball screw 24 is rotatably supported by the swivel body 12 via a bearing (not shown).
  • a gear 27 is fixed to the lower end of the ball screw shaft 24.
  • a gear 28 is fitted on a gear 27 so as to be rotatable around an axis.
  • a motor 29 for rotating and driving the ball screw shaft 24 is attached to the base 11.
  • a pulley 30 is fixed to the output shaft of the motor 29, and the pulley 30 is connected to a pulley 31 fixed to the gear 28 via a belt 32.
  • the base 11 is provided with a dustproof cover 33 that covers the swivel body 12 and the motors 14, 29, etc.
  • the dustproof cover 33 has an opening 34 at the upper end, and the cylindrical tube 21 of the vertical linear motion unit 19 extends upward through the opening 34 of the dustproof cover 33. .
  • a horizontal arm base 35 is fixed to the upper end of the upper and lower cylinder 21.
  • a pair of guide rails 36 parallel to an axis R perpendicular to the axis are fixedly provided on the horizontal arm base 35.
  • a pair of sliders 38 fixed to a horizontal and linear motion unit or arm 37 are slidably fitted to the guide rails 36, respectively.
  • the horizontal translation arm 37 has a cylindrical tube 39 extending along the axis R, and a bracket 40 fixed to the tube 39, and the bracket 40 has A ball nut 41 is fixedly provided.
  • a ball screw shaft 42 extending parallel to the axis R is screwed into the ball nut 41, and the ball screw shaft 42 is connected to a horizontal arm base via a bearing (not shown). It is supported rotatably at 3 5.
  • a pulley 43 is fixed to the ball screw shaft 42.
  • a motor 44 for rotating and driving the ball screw shaft 42 is attached to the horizontal arm base 35.
  • a bull 45 is fixed to the output shaft of the motor 44, and the pulley 45 is connected to the pulley 43 along a belt 46.
  • a dust cover 4 7 is attached to the horizontal arm base 3 5. Puru. An opening 48 is provided at the tip of the dust cover 47, and the horizontal direct working arm 37 39 extends through the opening 48 to the outside. A wrist 49 for attaching a work attachment (not shown) such as a robot hand is provided at the end of the pipe 39. Toward the wrist part 49, etc., signal cables, moving cables, etc. are arranged inside the robot as schematically shown by broken lines C in FIG.
  • the inside of the dustproof cover 47 communicates with the inside of the dustproof cover 33 via the inside of the upper and lower cylindrical tubes 21.
  • the inside of the anti-dust cover 33 is surrounded by the suction side of a suction blower 50 provided on the base 11.
  • the exhaust side of the suction blower 50 is opened to the outside of the base 11 through the filter 51.
  • the blower 50 is incorporated in the robot.
  • the blower 50 is provided separately from the robot, for example, outside the clean room, and its suction side is connected to the piping. You can also connect inside the robot.
  • a ring member 52 is provided on the opening 34 of the dustproof cover 33. As shown in detail in FIG. 4, the space between the ring member 52 and the dust-proof cover 33 is sealed by a seal ring 53. A minute gap is formed between the inner peripheral surface 54 of the ring member 52 and the outer peripheral surface of the upper and lower cylindrical tube 21 of the vertical and linear motion unit 19. The inner peripheral surface 5 of the ring member 52 surrounds the outer periphery of the upper and lower cylindrical pipes 21 A plurality of annular grooves 55 for an air reservoir are formed at intervals in the axial direction.
  • the ring member 52 since the ring member 52 has a split structure, the ring member 52 is attached to the dustproof cover 33 after the upper and lower cylinders 21 and the dustproof cover 33 are assembled. be able to. Therefore, the assembling work of the ring member 52 becomes easy.
  • a ring member 56 having an annular groove 57 on the inner peripheral surface is provided on the opening 48 of the dustproof cover 47.
  • the annular groove 57 of the ring member 56 has substantially the same structure as the annular groove 55 of the ring 52.
  • a gap is secured between the inner peripheral surface 54 of the ring part forest 52 and the outer peripheral surface of the cylindrical pipe 21 of the vertical linear motion unit 19. Therefore, it is possible to prevent the generation of wear powder and the like due to sliding. Since a gap is also provided between the ring member 56 and the cylindrical tube 39 of the horizontal linear motion unit 37, it is possible to prevent the generation of wear powder and the like due to sliding.
  • the inside of the dust-proof covers 33, 47 is always maintained at a negative pressure, so that the inner circumferential surfaces of the ring members 52, 56 and the cylindrical tubes 21, 39 are not in contact with each other. In the gap, airflow is generated from the outside of the dustproof covers 33 and 47 to the inside.
  • the pressure inside the dust-proof covers 33, 47 fluctuates with the linear motion of the cylindrical tubes 21, 39, but the ring formed on the inner peripheral surface of the ring members 52, 56 At the locations of the grooves 55 and 57, the flow velocity of the air rapidly decreases and an air reservoir is formed, so that the backflow of the air can be suppressed. Therefore, dust in the dustproof covers 33, 47, Fine particles can be prevented from being emitted to the outside of the dustproof covers 33 and 47.
  • the axial width of the annular grooves 55, 57 is preferably several times the depth thereof, more preferably, less. It is preferably at least 4 times.
  • the tube 39 of the horizontal translation arm 37 may have an outer peripheral shape of a rectangular cross section, in this case, between the ring member 56 and the outer peripheral surface of the rectangular tube 39.
  • the inner surface of the ring member 56 is formed in a rectangular shape while ensuring a constant width gap.
  • the present invention can be similarly applied to a cylindrical coordinate type industrial robot, a rectangular coordinate type mouth robot having a linear motion unit, that is, a linear arm, a polar coordinate type robot, a scalar type robot, and the like. Can be.

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Description

明 細 書
防塵構造の産業用ロボッ ト 技術分野
本発明は防塵構造の産業用ロボッ トに関し、 更に詳し く は、 防塵カバーに設けられた開ロを貫通して延びる直動ュニッ トを 備ぇた産業用ロボッ トの防塵構造に関する。 背景技術
ー般に、 円筒座標形口ボッ ト、 直交座標形ロボッ ト、 スカ ラ ー形ロボッ ト等のょぅな産業用ロボッ トは上下方向に直線運勛 する上下直勳ュニッ ト或ぃは水平方向に直線運動する水平直動 ュニ ッ ト等を備ぇてぃる。 これらの直動ュニ ッ トは防塵カバー の先端に設けられた開ロを貫通して防塵カバーの外部に延びて ぉり、 且っ、 長手方向に進退移動されるょぅになってぃる。
産業用ロボッ トをク リ ーンルーム内で使用する場合には、 ロ ボッ トから塵埃、 澗滑材等の微粒子がルーム内に放出されるこ とを極カ防止する必要がぁる。 特に、 防塵カバーの内部は直動 ュニ ッ トの進退移動に伴って容積が変化するので、 防塵カバー 内部の呼吸作用にょり、 防塵カバーの内部の塵埃、 澗滑材等の 微粒子が防塵カバーの開ロと直動ュニッ ト との間の隙間からク リ ー ンルーム内に放出され易く なる。
従来、 防塵カバーの開ロには、 直動ュニッ トの外周面に密着 して防塵カバーの内部を気密にシ—ルする シールリ ングが設け られてぃた。 しかしながら、 このょぅなシ ー ル構造の場合、 シ ールリ ングと直動ュニッ トとの摩擦にょって摩耗微粒子が発生 し、 ク リ ー ンルームを汚す虞れがぁった。 発明の開示
上記問題点を解決するための手段として、 本発明は、 開ロを 有する少な く とも 1 っの防塵カバーと、 前記防麈カバーの開ロ を貫通して延び且っ長手方向に進退移動される直動ュニッ ト と 前記防塵カバーの外部から前記開ロを介して前記防塵カバーの 内部に向かぅ空気の流れが生じるょぅに前記防塵カバーの内部 を吸引する吸引ュニッ トと、 前記防塵カパーの前記開ロに設け られて前記直動ュニッ トの外周を隙間を介して包囲する リ ング 部材とを備ぇ、 前記リ ング部材の内周面に前記直動ュニッ トの 外周を包囲する少な く とも 1 っの空気溜め用の環伏溝が設けら れて.なる防塵構造の産業用ロボッ トを提供する。
本発明にょる上記防麈構造の産業用ロボッ トにぉぃては、 リ ング部材の内周面と直動ュニツ ト との間に隙間が確保されてぃ るので、 摩耗粉等の生成が防止される。 ー方、 吸引手段の作動 中、 防塵カバーの内部は常時負圧に保たれるので、 リ ング部材 の内周面と直動ュニッ ト との間の隙間には、 防塵カバーの外部 から内部に向かぅ空気流が生じる。 防塵カバーの内部の圧カは 直動ュニッ トの直線運動にょり変動するが、 リ ング部材の内周 面に設けられてぃる環状溝の箇所では空気の流速が急激に弱ま り、 空気溜ができるので、 空気の逆流を抑ぇることができる。 したがって、 防塵カバー内の塵埃、 澗滑材等の微粒子が防塵カ バーの外部に放出されることを防止することができる。 したが って、 本発明にょれば、 ク リ ー ンルーム内での使用に適した防 塵構造の産業用ロボッ トを提供することができる。
リ ング部材の環状溝の空気溜め機能を高めるために、 環状溝 の軸線方向幅はその深さの数倍でぁるこ とが好ま し く 、 更に好 ま し く は、 少な く とも 4倍以上でぁることが好ま しぃ。
また、 リ ング部材の内周面には複数個の環状溝がリ ング部材 の軸線方向に間隔を隔てて設けられてぃることが望ま しぃ。 本発明の上記及び他の特徴及び利点は添付図面を参照した以 下の詳細な説明にょり更に明らかになるでぁろぅ。 図面の簡単な説明
第 1図は本発明のー実施例に係る防塵構造の産業用ロボッ ト の概略縦断面図、
第.2図は第 1図に示すロボッ トの上下直動機構を示す横断面 図、
第 3図は第 1図に示すロボッ トの水平直動機構を示す縦断面 図、
第 4図は上下直動ュニ ッ ト と防塵カバーとの間のリ ングの構 造を示す縦断面図でぁる。 発明を実施するための最良の形態
第 1図なぃし第 4図は本発明を円筒座標形ロボッ トに適用し た場合のー実施例を示すものでぁる。 はじめに第 1図を参照す ると、 ロボッ トはべース 1 1 を備ぇてぉり、 べース 1 1 には旋 回ボデー 1 2がク ロスロ一ラべァリ ング 1 3を介して軸線 5の 周りに回転可能に設けられてぃる。 べース 1 1 には旋回ボデー 1 2を回転駆動するためのモータ 1 4が取り付けられてぃる。 モータ 1 4の出カ軸は減速機 1 5 の入カ軸に接繞されてぉり、 減速機 1 5 の出カ軸にはギァ 1 6が固定されてぃる。 ギァ 1 6 は旋回ボデ- 1 2 に画定されたギァ 1 7に嚙み合ってぃる。
第 2図に示すょぅに、 旋回ボデー 1 2 には軸線 dに平行に延 びるー対のガィ ドレ—ル 1 8が固定されてぉり、 ガィ ドレール 1 8には上下直動ュニ 'ン ト 1 9に固定されたー対のスラィダ
2 0がそれぞれ摺動可能に嵌合してぃる。
上下直動ュニッ ト 1 9 は軸線 に沿って延びる上下円筒管
2 1 と、 該円筒管 2 1 に固定されたブラケ ッ ト 2 2 とを備ぇて ぃる。 ブラケ ッ ト 2 2にはボールナ ッ ト 2 3が固定されて設け られてぉり、 ボールナッ ト 2 3には軸線 に平行に延びるボー ルねじ蚰 2 4が螺合してぃる。 ボ-ルねじ铀 2 4 は図示しなぃ べァ リ ングを介して旋回ボデー 1 2に回転可能に支持されてぃ る。 ボ一ルねじ軸 2 4の下端にはギァ 2 7が固定されてぃる。 旋回ボデー 1 2 の下端にはギァ 2 7 に嚙み合ぅギァ 2 8が軸線 の周りに回転可能に取り付けられてぃる。 べ―ス 1 1 にはボ ールねじ軸 2 4を回転駆動するためのモータ 2 9が取り付けら れてぃる。 モータ 2 9 の出カ軸にはブーリ 3 0が固定されてぉ り、 プーリ 3 0 はギァ 2 8 に固定されたプー リ 3 1 にべルト 3 2を介して連結されてぃる。
モータ 2 9を作動させるとボールねじ軸 2 4が回転するので、 上下直動ュニッ ト 1 9がボールナ ッ ト 2 3 と共に軸線 5に沿っ て直線運動を行なぅ。 べース 1 1 には旋回ボデー 1 2ゃモータ 1 4 , 2 9等を覆ぅ 防塵カバー 3 3が取り付けられてぃる。 防塵カバー 3 3 は上端 に開ロ 3 4を有してぉり、 上下直動ュニッ ト 1 9 の円筒管 2 1 は防塵カバー 3 3 の開ロ 3 4を貫通して上方に延びてぃる。
第 1図に示すょぅに、 上下円筒誉 2 1 の上端には水平ァーム べース 3 5が固定されてぃる。 第 3図に示すょぅに、 水平ァー ムべース 3 5 には軸線 に直交する軸線 Rに平行なー対のガィ ドレール 3 6が固定されて設けられてぃる。 ガィ ドレール 3 6 には水平直動ュニッ ト即ちァーム 3 7に固定されたー対のス ラ ィダ 3 8がそれぞれ摺動可能に嵌合してぃる。
水平直動ァーム 3 7 は軸線 Rに沿って延びる円筒状の管 3 9 と、 該管 3 9 に固定されたブラケ ッ ト 4 0 とを備ぇてぉり、 ブ ラケ ッ ト 4 0 にはボールナ ッ ト 4 1 が固定されて設けられてぃ る。 ボールナ ッ ト 4 1 には軸線 Rに平行に延びるボールねじ軸 軸 4 2が螺合してぉり、 ボールねじ軸 4 2 はべァリ ング （図示 せず） を介して水平ァームべース 3 5 に回転可能に支持されて ぃる。 ボ―ルねじ軸 4 2 にはプーリ 4 3が固定されてぃる。 水 平ァームべ—ス 3 5 にはボールねじ軸 4 2を回転駆動するため のモータ 4 4が取り付けられてぃる。 モータ 4 4の出カ軸には ブー リ 4 5が固定されてぉり、 プ-リ 4 5 はべル ト 4 6 にょっ てプ一リ 4 3 に連結されてぃる。
モータ 4 4を作動させるとボールねじ軸 4 2が回転するので、 水平直動ァーム 3 7がボールナ ッ ト 4 1 と共に軸線 Rに沿って 直線運動を行なぅ。
水平ァー厶べース 3 5 には防塵カバー 4 7が取り付けられて ぃる。 防塵カバー 4 7 の先端には開ロ 4 8が設けられてぉり、 水平直勤ァーム 3 7 の 3 9 は開ロ 4 8を貫通して外部に延びて ぃる。 管 3 9 の先端にはロボッ トハン ドのょぅな作業ァタ ッチ メ ン ト （図示せず） を取り付けるための手首部 4 9が設けられ てぃる。 手首部 4 9等に向かぅ信号ケーブル、 動カケーブル等 は第 1図中破線 Cで概略的に示すょぅにロボッ ト内部に配設さ れる。
防塵カバー 4 7 の内部は上下円筒管 2 1 の内部を介して防塵 カバー 3 3 の内部と連通してぃる。 防麈カバー 3 3 の内部はべ ース 1 1 に設けられた吸引用ブロヮー 5 0 の吸込側に接繞され てぃる。 吸引用ブロヮ一 5 0 の排気側はフィ ルタ 5 1 を介して べ―ス 1 1 の外部に開放されてぃる。
ブロヮ一 5 0 を作動させると、 べ一ス 1 1及び防麈カバー . 3 3., 4 7 の内部が吸引されるので、 それらの内部は負圧に保 たれる。
図示実施例では、 ブロヮー 5 0 はロボッ トに組み込まれてぃ るが、 ブロヮ一 5 0 をロボッ ト とは別個に、 例ぇばク リ ー ンル ームの外に設けてその吸込側を配管にょり ロボッ トの内部に接 続してもょぃ。
防塵カバー 3 3 の開ロ 3 4にはリ ング部材 5 2が設けられて ぃる。 第 4図に詳細に示すょぅに、 リ ング部材 5 2 と防塵カバ — 3 3 との間はシールリ ング 5 3 にょり シールされてぃる。 リ ング部材 5 2 の内周面 5 4と上下直動ュニッ ト 1 9 の上下円筒 管 2 1 の外周面との間には微小な隙間が形成されてぃる。 リ ン グ部材 5 2 の内周面 5 には上下円筒管 2 1 の外周を包囲する 空気溜め用の複数個の環状溝 5 5が軸線方向に互ぃに間隔を隔 てて形成されてぃる。
図示実施例では、 リ ング部材 5 2 は 2っ割り構造を有してぃ るので、 上下円筒間 2 1及び防塵カバー 3 3 の組付け後にリ ン グ部材 5 2を防塵カバー 3 3 に取り付けることができる。 した がって、 リ ング部材 5 2 の組付け作業が容易になる。
防塵カバー 4 7 の開ロ 4 8 には内周面に環状溝 5 7を有する リ ング部材 5 6が設けられてぃる。 リ ング部材 5 6 の環状溝 5 7 は実質的にリ ング 5 2 の環状溝 5 5 と同様の構造を有して ぃる。
上記防塵構造の産業用ロボッ トにぉぃては、 リ ング部林 5 2 の内周面 5 4 と上下直動ュニッ ト 1 9 の円筒管 2 1 の外周面と の間に隙間が確保されてぃるので、 摺動にょる摩耗粉等の生成 を防.止することができる。 リ ング部材 5 6 と水平直動ュニソ ト 3 7 の円筒管 3 9 との間にも隙間が確保されてぃるので、 摺動 にょる摩耗粉等の生成を防止することができる。
ブロヮ一 5 0 の作動中、 防塵カバー 3 3 , 4 7 の内部は常時 負圧に保たれるので、 リ ング部材 5 2 , 5 6 の内周面と円筒管 2 1 , 3 9 との間の隙間には、 防塵カバー 3 3 , 4 7 の外部か ら内部に向かぅ空気流が生じる。
防塵カバー 3 3 , 4 7 の内部の圧カは円筒管 2 1 , 3 9 の直 線運動にょり変動するが、 リ ング部材 5 2 , 5 6 の内周面に設 けられてぃる環状溝 5 5 , 5 7 の箇所では空気の流速が急激に 弱まり、 空気溜ができるので、 空気の逆流を抑ぇることができ る。 したがって、 防塵カバー 3 3 , 4 7内の塵埃、 澗滑材等の 微粒子が防塵カバー 3 3 , 4 7の外部に放出されることを防止 することができる。
環状溝 5 5 , 5 7 の空気溜め機能を高めるために、 環状溝 5 5 , 5 7 の軸線方向幅はその深さの数倍でぁることが好ま し く 、 更に好まし く は、 少な く とも 4倍以上でぁることが好ま し ぃ。
以上、 図示実施例にっき説明したが、 本発明は上記実施例の 態様のみに限定されるものではなく請求の範囲に記載した発明 の範囲内にぉぃて種々の変更を加ぇることができる。
例ぇば、 水平直動ァーム 3 7 の管 3 9 は断面矩形の外周輪郭 を有してぃてもょ く 、 この場合、 リ ング部材 5 6 と矩形管 3 9 の外周面との間にー定幅の隙間が確保されるょぅに、 リ ング部 材 5 6 の内面形状が矩形に形成される。 産業上の利用可能性
本発明は円筒座標形産業用ロボツ トのほか、 直動ュニ ッ ト即 ち直勛ァームを有する直交座標形口ボッ ト、 極座標形ロボッ ト スカ ラー形ロボッ ト等にも同様に適用することができる。

Claims

- 1 o. 請 求 の 範 囲
1. ー端に開ロを有する少な く とも 1 っの防塵カバーと、 前記防塵カバーの開ロを貫通して延び且っ長手方向に進退移 動される直動ュニッ ト と、
前記防塵カバーの外部から前記開ロを介して前記防塵カバー の内部に向かぅ空気の流れが生じるょぅに前記防塵カバーの内 部を吸引する吸引ュニッ ト と、
前記防塵カバーの前記開ロに設けられて前記直動ュニツ トの 外周を隙間を介して包囲する リ ング部材とを備ぇ、 前記リ ング
10 部材の内周面に前記直動ュニッ トの外周を包囲する少な く とも
1 っの空気溜め用の環状溝が設けられてなる防塵構造の産業用 ϋホ 'ン ト。
2. 前記環状溝の軸線方向幅が少な く ともその深さの数倍で ぁることを特徴とする特許請求の範囲第 1 項に記載の防塵構造 の産業用ロボッ ト。
3. 前記リ ング部材の内周面には複数偭の前記環状溝が軸線 方向に間隔を隔てて設けられてぃることを特徵とする特許請求 の範囲第 1 項に記載の防塵構造の産業用ロボッ ト。
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