JPS61171966A - シ−ル構造 - Google Patents

シ−ル構造

Info

Publication number
JPS61171966A
JPS61171966A JP60010523A JP1052385A JPS61171966A JP S61171966 A JPS61171966 A JP S61171966A JP 60010523 A JP60010523 A JP 60010523A JP 1052385 A JP1052385 A JP 1052385A JP S61171966 A JPS61171966 A JP S61171966A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
hollow shaft
bearing
dust
pocket unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60010523A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0459116B2 (ja
Inventor
Kazuhito Yasukawa
員仁 安川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP60010523A priority Critical patent/JPS61171966A/ja
Publication of JPS61171966A publication Critical patent/JPS61171966A/ja
Publication of JPH0459116B2 publication Critical patent/JPH0459116B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、回転あるいは摺動部分からの塵埃の発生を防
止するためのシール構造に関する。
発明の背景および従来技術 産業用ロボットは、元々特殊な環境での作業を進めるた
めに開発されたが、今日では、クリーンルーム内の作業
にも応用されている。このような産業用ロボットがクリ
ーンルーム内で利用されるとき、関節の回転部分、ある
いはロボットの基体部分の摺動部分に十分な防塵対策が
必要となる。
従来、このような防塵対策は、もっばら、最も安価なオ
イルシールによって行われている。ところが、この種の
オイルシールでは、リップの摩耗およびその呼吸作用が
あるため、十分な防塵対策は不可能となる。
一方、これに代わる対策として、静圧軸受けや磁性流体
軸受は等が考えられる。しかし、これらの軸受けは、特
殊な軸受けであるため、産業用ロボット等の関節部分の
組み込み用として簡易性に欠け、さらには高価となって
しまい、実用化の点で問題を残す。
発明の目的およびその解決手段 ここに、本発明の目的は、産業用ロボット等の回転ある
いは摺動部分からの発塵を防止し、特殊な作業環境、例
えばクリーンルーム内の装置に用いられうるシール構造
を提供することである。
そこで、本発明は、回転部分、あるいは摺動部分の外側
にオイルシール等のシール部材を設け、このシール部材
の外側、すなわち外部に通じる位置にポケット部を形成
し、このポケット部に吸気手段を連結するようにしてい
る。ここで、この吸気手段は、回転運動あるいは摺動運
動中に、負圧空気流によって、その部分で発生する塵埃
を吸引し、クリーンルーム内等の作業場に飛散しないよ
うにする。したがって、このようなシール構造によると
、特殊な軸受けが必要とされず、またシール材の部分が
外部に連通していても、その部分がらの外部への塵埃の
流出が確実に防止できる。
実施例の構成 以下、本発明の一実施例の構成を多関節ロボットに組み
込んだ場合について、図面に基づいて具体的に説明する
多関節ロボット1は、基台2の支持スタンド3に対し上
下動自在に支持されている。この支持スタンド3は、中
空体であり、内部の送りねじユニット等によって、スラ
イダー4を上下動自在に支持している。このスライダー
4は、その上端部で、第1のケーシング5、第2のケー
シング6、および第3のケーシング7を組み合わせ状態
で固定している。これらのケーシング5.6.7は、側
面から見て、コ字状に組み合わせられており、その内部
で第1アーム11の駆動用のモータ8、第2アーム12
の駆動用のモータ9および第2アーム12の先端に設け
られた作業用の中空軸13を駆動するためのモータ10
を収納している。
上記モータ8は、ケーシング5.6の連結部分で、下向
きに取り付けられており、タイミングベルト・プーリ1
7により減速機14の入力側に連結されている。この減
速機14は、ハーモニックドライブ式のものであり、第
1のケーシング5に対し、第1アーム11の垂直な回転
中心と同一の軸線上で取り付けられ、その出力側で、直
接、第1アーム11の下面に取り付けられている。また
この第1アーム11の上面側は、中空軸18により、ケ
ーシング7の軸受は部分に対し、第1アーム11の回転
中心上で、回動自在に支持されている。なお、この第1
アーム11は、上下の面で開口しており、上カバー19
、および下カバー20によって、閉じられており、先端
の下面側に形成された軸受は部分で、垂直方向の軸線を
中心とし7、tt=l!Ilh 21 GIl、、、l
fi&Ci*L、−to=t==xs*   ’21の
下端部分で第2アーム12の一端を保持している。また
、この第2アーム12は、第1アーム11と同様に、上
カバー22、下カバー23によって、閉じられており、
先端の下面側の軸受は部分で、前記中空軸13を垂直方
向に回転自在に支持している。この中空軸13は、下面
の取り付はプレート24によって、チャック等の作業部
材に取り付けられる。
一方、前記モータ9.1oは、それぞれ減速機15.1
6の入力側に取り付けられており、またそれぞれの減速
機15.16は、第1アーム11の回転の中心線を境と
して、それらの逆側に配置されており、ケーシング6.
7の連結部分で、取り付は板25により上向きに取り付
けられている。
そして、第2アーム12の駆動用の減速機15の回転は
、タイミングベルト・プーリ26により、前記中空軸1
8の内部におさめられた中空軸27に伝達される。この
中空軸27は、中空軸18に対し、玉軸受により同心的
で、回転自在に支持されており、その回転は、第1アー
ム11の内部におさめられたタイミングベルト・プーリ
28により、前記中空軸21に伝達され、最終的に第2
アーム12の360度の回転運動として伝達される。
また、中空軸13駆動用の減速機16の出力側の回転は
、同様にタイミングベルト・プーリ29により、中空軸
27の内部に同心的におさめられた中空軸30に伝達さ
れる。この中空軸30は、中空軸27の内部で、玉軸受
により回転自在に支持されており、その回転は、下方の
タイミングベルト・プーリ31により第1アーム11の
中間部分に設けられた中空軸32に伝達される。この中
空軸32は、第1アーム11と一体的に形成された軸受
はハウジングに対し、玉軸受によって、回転自在に支持
されており、その上端部分のタイミングベルト・プーリ
33によって、中空軸21の内部に同心的におさめられ
た中空軸34の上端に伝達される。この中空軸34は、
玉軸受によって中空軸21に対し回転自在に支持されて
おり、その回転は、下端部分のタイミングベルト・プー
リ35により、作業用の中空軸13に伝達される。
上記タイミングベルト・プーリ28.35は、べルト部
分の緩みを吸収するために、それぞれテンションプーリ
36.37を経てブーり間に巻き掛けられている。
なおケーシング5の下面は、カバー38によって閉じら
れており、またケーシング7の上面は、3つのカバー3
9.40によってそれぞれふさがれている。この1つの
カバー39は、中空軸18.27.30の中心線上で、
回転位置検出器41を固定している。この回転位置検出
器41の検出端は、第1アーム11の回転位置を検出す
るために、中心軸42に連結され、第1アーム11の下
カバー20の上面に固定されている。
また、第1アーム11、第2アーム12およびケーシン
グ5.6.7は、内部空間で、電線43、および吸引手
段としてのチューブ44を必要な位置まで案内するため
に、ガイド部材45を収納している。これらのガイド部
材45は、適当な位置で、ロッド46によりそれぞれの
ケーシング7あるいは第1アーム11、第2アーム12
に固定されている。これらのガイド部材45は、それぞ
れ中空軸30.32.34の部分で窪み状の案内孔47
を形成している。したがって、電線43およびチューブ
44は、この案内孔47および中間軸30.32.34
の内部を通って、必要な位置に案内される。なお第2ア
ーム12の内部のガイド部材45は、左右の両測部で立
ち上がり壁4・8を形成し、電線43またはチューブ4
4をタイミングベルト・プーリ35の内側を通って中空
軸21の内部に導いている。この電線43は、給電用の
ものであり、またチューブ44は、以下に詳記するよう
に、関節部分換言すると、軸支部分の発塵を防止するた
めの吸気に用いられる。
次に、第3図および第4図は、本発明の要部すなわちシ
ール構造を示している。
まず、第3図は、第1アーム11と第2アーム12との
間の軸支部分を示している。前記中空軸21は、第1ア
ーム11の先端部分でベアリング49により回転自在に
支持されている。そしてこ       !のベアリン
グ49は、第1アーム11の下面側に取り付けられたベ
アリングカバー50によって抜は止め状態となっている
。このベア+7ングカバー50は、外周で0−リング5
1を介在させた状態で゛、第17−ム11の軸受は部分
に密着しており、また内周部分で、オイルシールなどの
シール部材52によって中空軸21の外周面に間接的に
接し、さらに、その近くの下方部分で、環状のポケット
部53を一体的に形成している。このポケット部 ′5
3は、ベアリングカバー50に形成された連通路54、
第1アーム11の軸受は部分に形成された連通路55お
よび配管継手56によって、前記チューブ44に接続さ
れている。なお連通路54.55の間に、0−リング5
7が介在している。
次に、第4図は、中空軸13でのシール構造を示してい
る。
この中空軸13は、分割されており、その分割部分でベ
アリング58により、軸受は筒59に対し回転自在に支
持されている。この軸受は筒59は、外周部分で、第2
アーム12の軸受は部、およびシールカバー61に対し
0−リング60を介在させながら密着状態で固定されて
いる。そしてこのシールカバー61は、内周面で、オイ
ルシールなどのシール部材62を保持しており、またそ
の外側部分でポケット部63を一体的に形成している。
このポケット部63は、第3図と同様に、連通路64.
65.66および配管継手67を経てチューブ44に接
続されている。もちろん接合部にO−リング68が介在
している。
ここで第3図および第4図においても、ポケット部53
.63は、対応のシール部材52.62よりも外側、つ
まりそれぞれのシール部材52.62と外側の空間との
間に形成されている。
そして、これらのシール構造は、その他の回転部分、す
なわちケーシング7と一番外側の中空軸18との間や、
減速器14の固定側のケーシング部分と、第1アーム1
1との連結部分、さらに基台2とスライダー4との軸線
方向の摺動部分にも前記実施例とほぼ同様の構造で組み
込まれる。しかし、第2図は、複雑化を避けるため、概
略的に示している。
発明の作用 次に、上記多関節ロボット1の動作を発明の作用ととも
に説明する。
多関節ロボット1の運転に際し、スライダー4は、予め
送りねしユニットによって適当な高さに設定される。こ
の状態で、モータ8.9.10を駆動することによって
、第1アーム11、第2アーム12および中空軸13は
、所定の作業に必要な旋回運動および回転運動を行う、
すなわち、モータ8が回転すると、その回転は、減速機
14で減速され、第1アーム11に伝達されるため、第
1アーム11は、中空軸18の軸線を中心として、水平
面上で旋回運動を行う。また、モータ9が回転すると、
その回転は、タイミングベルト・ブーIJ26、中空軸
27、タイミングベルト・プーリ28および中空軸21
を介して、第2アーム12に伝達される。したがって、
この第2アーム12は、その中空軸21の中心線を回転
中心として、水平面上で360度の旋回運動を行う。こ
れらの第1アーム11および第2アーム12の旋回運動
によって、先端の中空軸13は、水平面上で必要な作業
位置に高い精度のもとに移動する。なおタイミングベル
ト・ブーIJ 17.26.28.29.31.33.
35等のバフクラソシは、クローズトループ系のフィー
ドバック制御によって補正できる。
一方、モータlOが回転すると、その回転は、タイミン
グベルト・プーリ29、中空軸30、タイミングベルト
・ブーIJ31、中間の中空軸32、タイミングベルト
・プーリ33、中空軸34およびタイミングベルト・プ
ーリ35を経て作業用の中空軸13に伝達される。ここ
で、作業用の中空軸13は、取り付はプレート24に回
転運動を与え、それに取り付けられたチャックなどによ
り、必要な作業を行う。
このような動作中に、吸引手段すなわちチューブ44ば
、常に負圧空気流によって、ポケット部53.63の部
分の空気を吸い込んでいる。このゞ“・′−″部材52
・62(D’J77”部分0摩耗    Yや、その呼
吸作用によって、塵埃が発生したとしても、それは、そ
の吸引空気によって、直ちに多関節ロボット1の内部に
吸引され、チューブ44を経て、所定の位置に導かれる
。このため、回転部分や摺動部分に塵埃が発生したとし
ても、クリーンルーム等の室内側に飛散せず、必要な作
業環境が確保できることになる。
発明の変形例 上記実施例は、シール部材52.62としてオイルシー
ルを示しているが、このシール部材52.62は、0−
リングやラビリンスパツキン等であってもよい。
また上記実施例は、多関節ロボット1に本発明のシール
構造を応用した例を示しているが、このシール構造は、
一般の機械の回転支持部、あるいは摺動支持部の防塵対
策としても応用できる。
また、上記実施例は、基台2および支持スタンド3を床
面等に取り付けることを予定して設計されている。しか
し、この多関節ロボット1は、構造的には上下を逆の方
向とし、基台2を天井面に向けて取り付けて用いること
もできる。
発明の効果 本発明では、回転部分あるいは摺動部分のシール部材の
外側にポケット部が設けられ、そこに吸気手段が連結さ
れているから、回転あるいは摺動部分に塵埃が発生した
としても、外部に飛散せず、必要な位置に吸引される。
したがって、本発明のシール構造は、クリーン度を保持
する特殊な作業環境の回転あるいは摺動軸部分の防塵対
策として有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は多関節ロボットの平面図、第2図は多関節ロボ
ットの一部の垂直断面図、第3図および第4図は本発明
のシール構造の一部の拡大断面図である。 1・・多関節ロボット、2・・基台、3・・支持スタン
ド、5.6.7・・ケーシング、8.9.10・・モー
タ、11・・第1アーム、12・・・第2アーム、13
.18.21.27.30.32.34・・中空軸、1
4.15.16・・・減速機、17.26.28.29
.31.33.35・・タイミングベルト・プーリ、4
1・・回転位置検出器、44・・吸気手段としてのチュ
ーブ、45・・ガイド部材、50・・ベアリングカバー
、52.62・・シール部材、53・・ポケット部、5
4.55.64.65.66・・連通路、56.67・
・配管継手、59・・軸受は筒、61・・シールカバー
、63・・ポケット部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 回転あるいは摺動する軸支部分の外側に設けたシール材
    の外側にポケット部を形成し、このポケット部に吸気手
    段を連結してなることを特徴とするシール構造。
JP60010523A 1985-01-22 1985-01-22 シ−ル構造 Granted JPS61171966A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60010523A JPS61171966A (ja) 1985-01-22 1985-01-22 シ−ル構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60010523A JPS61171966A (ja) 1985-01-22 1985-01-22 シ−ル構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61171966A true JPS61171966A (ja) 1986-08-02
JPH0459116B2 JPH0459116B2 (ja) 1992-09-21

Family

ID=11752602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60010523A Granted JPS61171966A (ja) 1985-01-22 1985-01-22 シ−ル構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61171966A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62120993A (ja) * 1985-11-06 1987-06-02 ファナック株式会社 産業用ロボットの防塵装置
JPH01289691A (ja) * 1988-05-11 1989-11-21 Nitta Ind Corp 自動工具交換装置
JP2011056844A (ja) * 2009-09-11 2011-03-24 Kojima Press Industry Co Ltd 搬送用アーム機構
JP2019150940A (ja) * 2018-02-28 2019-09-12 セイコーエプソン株式会社 ロボット

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55278A (en) * 1979-03-29 1980-01-05 Sekisui Plastics Co Ltd Synthetic resin form and production thereof
JPS5741503U (ja) * 1980-08-22 1982-03-06

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55278A (en) * 1979-03-29 1980-01-05 Sekisui Plastics Co Ltd Synthetic resin form and production thereof
JPS5741503U (ja) * 1980-08-22 1982-03-06

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62120993A (ja) * 1985-11-06 1987-06-02 ファナック株式会社 産業用ロボットの防塵装置
JPH0358873B2 (ja) * 1985-11-06 1991-09-06 Fanuc Ltd
JPH01289691A (ja) * 1988-05-11 1989-11-21 Nitta Ind Corp 自動工具交換装置
JPH0536198B2 (ja) * 1988-05-11 1993-05-28 Nitta Kk
JP2011056844A (ja) * 2009-09-11 2011-03-24 Kojima Press Industry Co Ltd 搬送用アーム機構
JP2019150940A (ja) * 2018-02-28 2019-09-12 セイコーエプソン株式会社 ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0459116B2 (ja) 1992-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7878088B2 (en) Sealing device for joint section of robot and articulated robot having the same
TWI418452B (zh) 機械手臂之腕關節結構
JP2012228733A (ja) スカラ型ロボット
JP2000141270A (ja) 多関節型ロボット
KR850001395B1 (ko) 산업용 로보트의 로보트 손목
JPS61171966A (ja) シ−ル構造
WO1988000515A1 (en) Wrist mechanism of a robot used in a clean air atmosphere
KR900003642B1 (ko) 방진 구조물을 구비한 산업용 로보트
JPS61168478A (ja) 多関節ロボツト
US5591071A (en) Polishing device
JP2009257458A (ja) 送り装置及びロボット
JPH0585318B2 (ja)
JPH0755465B2 (ja) 工業用ロボツト
JPH0440873Y2 (ja)
JPH0885090A (ja) ロボット
JPH0118314Y2 (ja)
CN217620675U (zh) 一种机器人手腕关节结构
CN215471253U (zh) 一种机械臂
CN109565207A (zh) 马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置
JPH01222887A (ja) 産業用ロボット
KR102357934B1 (ko) 스카라 로봇
JPS62173192A (ja) 工業用ロボツトの関節部の防液構造
JPH06155367A (ja) 産業用ロボット
JPH0437742Y2 (ja)
JPH0347999B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees