TWI779382B - 基板保持手及基板搬送機器人 - Google Patents

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TWI779382B
TWI779382B TW109138070A TW109138070A TWI779382B TW I779382 B TWI779382 B TW I779382B TW 109138070 A TW109138070 A TW 109138070A TW 109138070 A TW109138070 A TW 109138070A TW I779382 B TWI779382 B TW I779382B
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清水一平
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Abstract

本發明之基板保持手係具備：機框；托板，係支撐基板；安裝構件，係支撐托板，並且用以將托板安裝於機框；及傾斜調整機構，係藉由調整安裝構件之相對於機框的傾斜，而可調整托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。

Description

基板保持手及基板搬送機器人
本發明係關於基板保持手及基板搬送機器人，且係關於具備支撐基板之托板(blade)的基板保持手及基板搬送機器人。
以往，已知有具備支撐基板之托板的基板保持手。此種手係揭示於例如日本特開2013-69914號公報。
上述日本特開2013-69914號公報中揭示有用以搬送基板的基板搬送用手(基板保持手)。該基板搬送用手係具備支撐基板的手本體部(托板)。該基板搬送用手係將收納在與例如SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International；國際半導體產業協會)規格的FOUP(Front Opening Unified Pod；前開式晶圓傳送盒)對應的基板收納容器的基板，以手本體部來支撐並搬送。
再者，雖然未於上述日本特開2013-69914號公報中明記，惟如上述日本特開2013-69914號公報所記載的以往的基板收納容器中，基板係以於側視時與水平方向平行的方式被收納。此情形下，如上述日本特開2013-69914號公報所記載的以往的基板搬送用手，係以與被收納於基板收納容器的基板對應的方式，手本體部以於側視時與水平方向平行的方式來設置。
然而，上述以往的基板搬送用手存在著下述問題點：於基板收納容器(收容容器)所收納的基板於側視時相對於水平方向傾斜時，難以配合基板之相對於水平方向的傾斜而調整支撐基板之手本體部(托板)之於側視時相對於水平方向的傾斜。
本發明之課題(目的)係在於提供一種即使於收容容器所收納的基板於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板之相對於水平方向的傾斜而簡單地調整支撐基板之托板之於側視時相對於水平方向的傾斜的基板保持手及基板搬送機器人。
本發明之第一型態所構成的基板保持手，係具備：機框；托板(blade)，係支撐基板；安裝構件，係支撐托板，並且用以將托板安裝於機框；及傾斜調整機構，係藉由調整安裝構件之相對於機框的傾斜，而可調整托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
本發明之第二型態所構成的基板搬送機器人，係具備：基板保持手；及臂部，係使基板保持手移動；基板保持手係具備：機框；托板(blade)，係支撐基板；安裝構件，係支撐托板，並且用以將托板安裝於機框；及傾斜調整機構，係藉由調整安裝構件之相對於機框的傾斜，而可調整托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
依據本發明，如以上所述，藉由設置會調整安裝構件之相對於機框的傾斜，而可調整托板之於側視下相對於水平方向之傾斜的傾斜調整機構，藉此，即使收容在收容容器(FOUP等)之基板於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板之托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於收容容器本身傾斜而使收容在收容容器之基板於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板之托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於托板之自重及以由托板保持基板時因基板的重量等使托板彎曲而使托板之於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板之托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
1:基板保持手
2:臂部
2a:第一臂部
2b:第二臂部
5:基座
6:臂部升降機構
31:機框
31a:側壁部
31b:基端部
32:托板
32a:主面
32b:前端部
32c:基端部
33:安裝構件
33a,33b,33c:支撐部
34:傾斜調整機構
34a:傾斜調整銷
35:鎖固構件
36:可動支撐單元
36a:支撐構件
36b,37b,38b:空氣壓缸
37:第一可動推壓單元
37a,38a:推壓構件
38:第二可動推壓單元
39:機殼(罩蓋)
100:基板搬送機器人
321:前支撐部
322:後支撐部
C1:旋轉軸線
W:基板
圖1係顯示本發明之一實施型態的基板搬送機器人之構成的圖。
圖2係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之構成的斜視圖。
圖3係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之構成的俯視圖。
圖4係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之構成的側視圖。
圖5A係用以說明本發明之一實施型態之托板之傾斜調整的圖。
圖5B係用以說明本發明之一實施型態之托板之傾斜調整的圖。
[較佳的實施型態的說明]
以下根據圖式來說明將本發明具體化後之本發明的一實施型態。
參照圖1至圖5來說明本實施型態之基板搬送機器人100的構成。
如圖1所示，基板搬送機器人100係具備基板保持手1及使基板保持手1移動的臂部2。如圖2至圖5所示，基板保持手1係包含：機框31；支撐基板(半導體晶圓)W的托板32；支撐托板32並且用以將托板32安裝於機框31的安裝構件33；及藉由調整安裝構件33之相對於機框31的傾斜，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的傾斜調整機構34。
依據本實施型態，如以上所述，藉由設置會調整安裝構件33之相對於機框31的傾斜，而可調整托板32之於側視下相對於水平方向之傾斜的傾斜調整機構34，即使收容在收容容器(FOUP等)之基板W於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於收容容器本身傾斜而使收容在收容容器之基板W於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於托板32之自重及以由托板32保持基板W時之因基板W的重量等使托板32彎曲而使托板32之於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
基板保持手1係如圖2至圖5所示，具備機框31、托板32、安裝構件33及傾斜調整機構34。
如圖3至圖5所示，傾斜調整機構34係包含傾斜調整銷34a。傾斜調整銷34a係***安裝構件33，並且以使安裝構件33可繞著預定的旋轉軸線C1旋轉 之方式支撐安裝構件33，且以朝側方(X方向)延伸的方式來設置，該旋轉軸線C1係沿水平方向之中與機框31與托板32所排列之前後方向(Y方向)正交之側方(X方向)延伸之軸線。此外，在圖5中，為了容易理解，乃以誇張的方式圖示托板32之傾斜的調整。
安裝構件33係包含用以將托板32之基端部32c之一方側及另一方側各自安裝於機框31的一對安裝構件33。傾斜調整銷34a係包含與一對安裝構件33對應的一對傾斜調整銷34a。傾斜調整機構34係以藉由將一對傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使一對安裝構件33繞著預定的旋轉軸線C1旋轉，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜。
傾斜調整銷34a係以被機框31支撐並且從機框31之側方突出而***安裝構件33的方式來設置。
傾斜調整機構34係藉由以傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使安裝構件33繞著預定的旋轉軸線C1旋轉，在調整了安裝構件33之傾斜的狀態下，藉由鎖固構件35將安裝構件33鎖緊固定於機框31，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。鎖固構件35係以與預定的旋轉軸線C1平行地延伸的方式來設置，且從側方(X方向)經由安裝構件33而安裝於機框31。
托板32係包含各自支撐基板W之複數個(四個)托板32。安裝構件33係共同地支撐複數個托板32。傾斜調整機構34係藉由調整安裝構件33之相對於機框31的傾斜，而能夠一次性地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
複數個托板32係以預定的間距沿與托板32之主面32a垂直的方向(Z方向)排列配置。傾斜調整機構34係在維持與托板32之主面32a垂直的方向(Z方 向)之複數個托板32之間的間距的狀態下，能夠一次性地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
安裝構件33係從側方安裝於機框31的側面。
如圖1所示，臂部2係水平多關節機器手臂。臂部2係包含第一臂部2a及第二臂部2b。第一臂部2a係以一方端部作為轉動中心而可相對於後述的基座5轉動的方式來構成。具體而言，第一臂部2a之一方端部係藉由第一關節而可轉動地連接於基座5。第二臂部2b係以一方端部作為轉動中心而可相對於第一臂部2a轉動的方式來構成。具體而言，第二臂部2b之一方端部係藉由第二關節而可轉動地連接於第一臂部2a的另一端部。再者，基板保持手1藉由第三關節而可轉動地連接於第二臂部2b之另一方端部。於第一關節、第二關節及第三關節之各關節設有驅動機構，該驅動機構係包含：屬於旋轉驅動之驅動源的伺服馬達；檢測伺服馬達之輸出軸之旋轉位置的旋轉位置感測器；及將伺服馬達之輸出傳達至關節的動力傳達機構。
再者，基板搬送機器人100係更具備：供臂部2安裝的基座5；及供基座5安裝的臂部升降機構6。基座5係以一方端部連接於第一臂部2a之一方端部，並且另一方端部連接於臂部升降機構6的方式來構成。臂部升降機構6係以藉由使基座5升降而使臂部2升降的方式來構成。臂部升降機構6係包含：屬於升降驅動之驅動源的伺服馬達；檢測伺服馬達之輸出軸之旋轉位置的旋轉位置感測器；及將伺服馬達之輸出傳達至基座5(臂部2)的動力傳達機構。
如圖2所示，於基板保持手1設有複數個(四個)托板32。亦即，基板保持手1係以可搬送(可保持)複數個(四個)基板W的方式來構成。
如圖2及圖3所示，基板保持手1係具備機框31、托板32及安裝構件 33。機框31係支撐托板32的支撐體。機框31係包含一對側壁部31a，及將一對側壁部31a連接的基端部31b。一對側壁部31a係以壁面沿著與一對前支撐部321排列的方向平行的方向(X方向)而相對向的方式分開來設置。再者，一對側壁部31a係以與一對前支撐部321排列的方向正交，且沿與托板32之主面32a平行的方向(Y方向)延伸的方式來設置。基端部31b係將一對側壁部31a之各自的基端部(Y2方向側的部分)連接。基端部31b係具有朝基端側(Y2方向側)彎曲成凸狀的形狀。從與托板32之主面32a垂直的方向來看，一對側壁部31a與基端部31b係以形成U字狀的方式來設置。
托板32為支撐基板W之薄板狀的支撐板。托板32係具有：設於前端部32b側(Y1方向側)的前支撐部321；及設於基端部32c側(Y2方向側)的後支撐部322。再者，托板32之前端部32b側具有分成二分支的形狀。在托板32中，分成二分支的部分之各者分開設置有一對前支撐部321。一對前支撐部321係具有相互設於不同高度之複數個(二個)支撐面。再者，一對後支撐部322具有與設於一對前支撐部321的下側(Z2方向側)之支撐面大致相同高度的支撐面。此外，所指的「高度」係指於與托板32之主面32a垂直的方向(Z方向)中與托板32之主面32a的距離。
一對前支撐部321與一對後支撐部322係設於托板32的主面32a上。一對前支撐部321與一對後支撐部322之各支撐面係以從下側支撐大致圓形狀之基板W之外周緣部之背面(Z2方向側的面)的方式來構成。
安裝構件33係從側方安裝於機框31的側壁部31a。具體而言，X1方向側的安裝構件33係從外側的側方(X1方向側)安裝於機框31之X1方向側之側壁部31a之前端部側的部分。再者，X1方向側的安裝構件33係藉由X1方向側的鎖 固構件35而固定於機框31之X1方向側之側壁部31a之前端部側的部分。再者，X2方向側的安裝構件33係從外側的側方(X2方向側)安裝於機框31之X2方向側之側壁部31a之前端部側的部分。再者，X2方向側的安裝構件33係藉由X2方向側的鎖固構件35而固定於機框31之X2向側之側壁部31a之前端部側的部分。鎖固構件35係沿X方向***安裝構件33，並且鎖固於機框31之側壁部31a的鎖固孔。
再者，如圖4及圖5所示，安裝構件33係具有支撐托板32的托板狀的支撐部33a、33b及33c。支撐部33a、33b及33c係以排列於與托板32之主面31c垂直的方向(Z方向)的方式來配置。再者，支撐部33a、33b及33c係以從機框31側(Y2方向側)朝向托板32之前端部32b側(Y1方向側)而延伸方式來設置。支撐部33a係於上表面側支撐上側(Z1方向側)之端部的托板(第一段的托板)32。支撐部33b係共同地支撐中間的托板(第二段及第三段的托板)32。支撐部33b係於上表面側及下表面側之各側支撐托板32。支撐部33c係於下表面側支撐下側(Z2方向側)之端部的托板(第四段的托板)32。
藉由傾斜調整機構34調整傾斜時，係以在將鎖固構件35鬆弛的狀態，將傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使安裝構件33繞著旋轉軸線C1旋轉。藉此，安裝構件33之支撐部33a、33b及33c所支撐之複數個托板32係以維持複數個托板32間之間距的狀態而繞著旋轉軸線C1旋轉。結果，可一次性地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，藉由鎖緊鎖固構件35而固定複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
再者，基板保持手1係更具備：用以支撐基板W並且進行進退移動的可動支撐單元36；及用以推壓基板W並且進行進退移動的第一可動推壓單元37及第二可動推壓單元38。可動支撐單元36係具有：支撐基板W之一對支撐構件 36a；及作為用以使一對支撐構件36a沿Y方向進行進退移動之致動器的空氣壓缸36b。可動支撐單元36係以藉由空氣壓缸36b而使一對支撐構件36a沿Y1方向前進，而能夠配置於支撐基板W之支撐位置的方式來構成。再者，可動支撐單元36係以藉由空氣壓缸36b而使一對支撐構件36a沿Y2方向後退，而能夠配置於不支撐基板W的退避位置的方式來構成。再者。一對支撐構件36a係具有支撐面，一對支撐構件36a之支撐面係設成與一對前支撐部321之上側(Z1方向側)之支撐面大致相同的高度。一對支撐構件36a之各支撐面係以從下側支撐大致圓形狀之基板W之外周緣部之背面(Z2方向側之面)的方式來構成。
第一可動推壓單元37係具有：推壓基板W的一對推壓構件37a；作為用以使一對推壓構件37a朝Y方向進行進退移動之致動器的空氣壓缸37b。第一可動推壓單元37係以藉由空氣壓缸37b使一對推壓構件37a朝Y1方向前進而能夠推壓基板W的方式來構成。再者，第一可動推壓單元37係以藉由空氣壓缸37b使一對推壓構件37a朝Y2方向後退而能夠配置於不推壓基板W的退避位置的方式來構成。
第二可動推壓單元38係具有：推壓基板W的一對推壓構件38a；作為用以使一對推壓構件38a朝Y方向進行進退移動之致動器的空氣壓缸38b。第二可動推壓單元38係以藉由空氣壓缸38b使一對推壓構件38a朝Y1方向前進而能夠推壓基板W的方式來構成。再者，第二可動推壓單元38係以藉由空氣壓缸38b使一對推壓構件38a朝Y2方向後退而能夠配置於不推壓基板W的退避位置的方式來構成。
在基板保持手1中，一對前支撐部321之上側(Z1方向側)的支撐面及可動支撐單元36之一對支撐構件36a的支撐面係支撐處理後(洗淨後)的基板 W。第一可動推壓單元37之一對推壓構件37a係對由一對前支撐部321之上側(Z1方向側)的支撐面及可動支撐單元36之一對支撐構件36a的支撐面所支撐的處理後(洗淨後)的基板W進行推壓。
再者，在基板保持手1中，一對前支撐部321之下側(Z2方向側)的支撐面及一對後支撐部322的支撐面係支撐處理前(洗淨前)的基板W。第二可動推壓單元38之一對推壓構件38a係對由一對前支撐部321之下側(Z2方向側)的支撐面及一對後支撐部322的支撐面所支撐的處理前(洗淨前)的基板W進行推壓。一對前支撐部321、一對後支撐部322、可動支撐單元36、第一可動推壓單元37及第二可動推壓單元38係依處理前(洗淨前)的基板W與處理後(洗淨後)的基板W而分別使用。
再者，可動支撐單元36的空氣壓缸36b、第一可動推壓單元37的空氣壓缸37b及第二可動推壓單元38的空氣壓缸38b係作為機框內側構件40a而配置於機框31的內側。再者，可動支撐單元36的空氣壓缸36b、第一可動推壓單元37的空氣壓缸37b及第二可動推壓單元38的空氣壓缸38b係於機框31的內側沿與托板32之主面32a垂直的方向(Z方向)排列而配置。具體而言，從與托板32之主面32a垂直的方向(Z方向)來看，可動支撐單元36的空氣壓缸36b、第一可動推壓單元37的空氣壓缸37b及第二可動推壓單元38的空氣壓缸38b係以重疊的方式來設置。藉此，由於空氣壓缸36b、37b及38b並未沿機框31之寬度方向(X方向)排列而配置，所以能夠將空氣壓缸36b、37b及38b精簡地配置於機框31之寬度方向(X方向)。
再者，基板保持手1更具備與機框31個別地設置的罩蓋(機殼)39(參照圖2)。罩蓋39係以覆蓋機框31、可動支撐單元36、第一可動推壓單元37及第 二可動推壓單元38的一部分(配置於機框31之內側的部分)的方式來設置。
[本實施型態的功效]
依據本實施型態，可獲得以下所述的功效。
本實施型態係如上述內容，設置藉由調整安裝構件33之相對於機框31的傾斜，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的傾斜調整機構34，藉此即使收容在收容容器(FOUP等)之基板W於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於收容容器本身傾斜而使收容在收容容器之基板W於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，即使起因於托板32之自重及由托板32保持基板W時因基板W的重量等使托板32彎曲而使托板32之於側視時相對於水平方向傾斜時，也能夠配合基板W之相對於水平方向的傾斜，而簡單地調整支撐基板W之托板32之於側視下相對於水平方向的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整機構34係包含傾斜調整銷34a。此外，傾斜調整銷34a係***安裝構件33並且以使安裝構件33可繞著預定的旋轉軸線C1旋轉之方式支撐安裝構件33，且以朝側方延伸的方式來設置，該預定的旋轉軸線C1係沿水平方向之中與機框31與托板32所排列之前後方向正交之側方延伸之軸線。藉此，由於能夠以傾斜調整銷34a作為旋轉軸心而簡單且確實地使安裝構件33繞著往側方延伸之預定的旋轉軸線C1旋轉，所以藉由包含傾斜調整銷34a的傾斜調整機構34，能夠簡單且確實地調整托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，安裝構件33係包含用以將托板32之基端部32c之一方側及另一方側各自安裝於機框31的一對安裝構件33。此外，傾斜調整銷34a係包含與一對安裝構件33對應的一對傾斜調整銷34a。再者，傾斜調整機構34係藉由以一對傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使一對安裝構件33繞著往側方延伸之預定的旋轉軸線C1旋轉，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜。藉此，由於使用一對傾斜調整銷34a而使一對安裝構件33繞著預定的旋轉軸線C1簡單且確實地旋轉，所以藉由包含一對傾斜調整銷34a的傾斜調整機構34，能夠簡單且確實地調整托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整銷34a係以被機框31所支撐，並且從機框31的側方突出而***安裝構件33的方式來設置。藉此，能夠在藉由機框31將傾斜調整銷34a牢固地支撐的狀態下，藉由傾斜調整銷34a使安裝構件33繞著預定的旋轉軸線C1旋轉。結果，能夠容易地調整托板32之於側視下相對於水平方向的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整機構34係藉由以傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使安裝構件33繞著預定的旋轉軸線C1旋轉，在調整了安裝構件33之傾斜的狀態，藉由鎖固構件35將安裝構件33鎖緊固定於機框31，而可調整托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。藉此，由於僅藉由鎖固構件35將安裝構件33鎖緊固定於機框31，能夠將托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜固定於調整後的傾斜，所以能夠簡單地進行托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整作業。
再者，本實施型態如上述內容，托板32係包含各自支撐基板W之複數個托板32。安裝構件33係共同地支撐複數個托板32。傾斜調整機構34係藉由 調整安裝構件33之相對於機框31的傾斜，而能夠一次性地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。藉此，與需要個別地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜的情形相比較，由於能夠節省複數個托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整作業的勞力，所以能夠簡單地進行複數個托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整作業。
再者，本實施型態如上述內容，複數個托板32係以預定的間距沿與托板32之主面32a垂直的方向排列配置。再者，傾斜調整機構34係在維持與托板32之主面32a垂直的方向(Z方向)之複數個托板32之間的間距的狀態，能夠一次性地調整複數個托板32之於側視時相對於水平方向的傾斜。藉此，由於在複數個托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整作業後，不須要進行複數個托板32之間之間距(托板32之中心間距離)的調整作業，所以能夠更簡單地進行托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整作業。
再者，本實施型態如上述內容，安裝構件33係從側方安裝於機框31的側面。藉此，與安裝構件33係從上方或下方安裝於機框31的情形相比較，由於能夠簡單地從側方調整托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜，所以能夠簡單地進行藉由調整安裝構件33的傾斜而進行之托板32之於側視時相對於水平方向之傾斜的調整。
[變形例]
此外，應理解以上所揭示的實施型態係所有的內容均為例示而非用以限制本發明者。本發明的範圍係以申請專利範圍來表示而非上述實施型態的說明，且更包含與申請專利範圍均等的涵義及範圍內之所有的變更(變形例)。
例如，上述實施型態係表示臂部為水平多關節機器手臂的例子。 然而本發明不限定於此例子。例如，臂部也可為垂直多關節機器手臂等水平多關節機器手臂以外的臂部。
再者，上述實施型態中，表示了基板保持手設有複數個托板的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，基板保持手也可為設有一個托板。
再者，上述實施型態中，表示了基板保持手設有四個托板的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，基板保持手也可為設有四個托板以外的複數個托板。
再者，上述實施型態中，表示了托板具有分成二分支之形狀的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，托板也可為具有分成二分支之形狀以外的形狀。
再者，上述實施型態中，表示了托板係以能夠以相互不同的高度支撐二個基板的方式來構成的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，托板也可構成為僅能夠支撐一個基板(僅能夠以一個高度支撐基板)。
再者，上述實施型態中，表示了設有可動支撐單元的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可未設有可動支撐單元。
再者，上述實施型態中，表示了可動支撐單元相對於一個基板為包含一對支撐構件的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為可動支撐單元相對於一個基板為包含一個支撐構件。
再者，上述實施型態中，表示了設有第一可動推壓單元與第二可動推壓單元的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為僅設有一個可動推壓單元。
再者，上述實施型態中，表示了可動推壓單元包含一對推壓構件 的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為可動推壓單元僅包含一個推壓構件。
再者，上述實施型態中，表示了傾斜調整機構包含傾斜調整銷的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為傾斜調整機構包含傾斜調整銷以外的傾斜調整螺絲等傾斜調整構造。
再者，上述實施型態中，表示了傾斜調整機構能夠一次性地調整複數個托板之於側視下相對於水平方向之傾斜的例子，然而本發明不限定於此例子。本發明中，也可為傾斜調整機構能夠個別地調整複數個托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。再者，也可為傾斜調整機構能夠一次性地調整複數個托板的一部分之於側視時相對於水平方向的傾斜。
31:機框
32:托板
33:安裝構件
33a,33b,33c:支撐部
34:傾斜調整機構
34a:傾斜調整銷
35:鎖固構件
321:前支撐部
322:後支撐部
C1:旋轉軸線
W:基板

Claims (9)

  1. 一種基板保持手，係具備：機框；托板，係支撐基板；安裝構件，係支撐前述托板，並且用以將前述托板安裝於前述機框；及傾斜調整機構，係藉由調整前述安裝構件之相對於前述機框的傾斜，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向的傾斜；前述安裝構件係包含用以將前述托板之基端部之一方側及另一方側各自安裝於前述機框的一對安裝構件，前述傾斜調整機構係藉由調整前述一對安裝構件的傾斜，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向之傾斜。
  2. 如請求項1所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整機構係包含傾斜調整銷，前述傾斜調整銷係***前述安裝構件並且以使前述安裝構件可繞著預定的旋轉軸線旋轉之方式支撐前述安裝構件，且以朝側方延伸的方式來設置，前述旋轉軸線係沿水平方向之中與前述機框與前述托板所排列之前後方向正交之前述側方延伸。
  3. 如請求項2所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整銷係包含與前述一對安裝構件對應的一對傾斜調整銷，前述傾斜調整機構係藉由以前述一對傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述一對安裝構件繞著前述預定的旋轉軸線旋轉，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向之傾斜。
  4. 如請求項2所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整銷係以被前述機框支撐並且從前述機框之側方突出而***前述安裝構件的方式來設置。
  5. 如請求項2所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整機構係藉由以前述傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述安裝構件繞著前述預定的旋轉軸線旋轉，在調整了前述安裝構件之傾斜的狀態，藉由鎖固構件將前述安裝構件鎖緊固定於前述機框，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
  6. 如請求項1所述之基板保持手，其中，前述托板係包含各自支撐前述基板之複數個托板，前述安裝構件係共同地支撐前述複數個托板，前述傾斜調整機構係藉由調整前述安裝構件之相對於前述機框的傾斜，而能夠一次性地調整前述複數個托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
  7. 如請求項6所述之基板保持手，其中，前述複數個托板係以預定的間距沿與前述托板之主面垂直的方向排列配置，前述傾斜調整機構係在維持與前述托板之主面垂直的方向之複數個托板之間的間距的狀態，能夠一次性地調整前述複數個托板之於側視時相對於水平方向的傾斜。
  8. 如請求項1所述之基板保持手，其中，前述安裝構件係從側方安裝於前述機框的側面。
  9. 一種基板搬送機器人，係具備：基板保持手；及臂部，係使前述基板保持手移動；前述基板保持手係具備： 機框；托板，係支撐基板；安裝構件，係支撐前述托板，並且用以將前述托板安裝於前述機框；及傾斜調整機構，係藉由調整前述安裝構件之相對於前述機框的傾斜，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向的傾斜；前述安裝構件係包含用以將前述托板之基端部之一方側及另一方側各自安裝於前述機框的一對安裝構件，前述傾斜調整機構係藉由調整前述一對安裝構件的傾斜，而可調整前述托板之於側視時相對於水平方向之傾斜。
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