JP2003203962A - ウエハ把持装置 - Google Patents
ウエハ把持装置Info
- Publication number
- JP2003203962A JP2003203962A JP2002000949A JP2002000949A JP2003203962A JP 2003203962 A JP2003203962 A JP 2003203962A JP 2002000949 A JP2002000949 A JP 2002000949A JP 2002000949 A JP2002000949 A JP 2002000949A JP 2003203962 A JP2003203962 A JP 2003203962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- frame
- fork
- wafer
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】多段に組み付けされるフォークの組み付け及び
ピッチ調整を容易に行うことが可能なウエハ把持装置を
提供する。 【解決手段】前記した課題を解決するための手段とし
て、ウエハを搬送するためのフォークと、フォークが固
定されるベース２と、ベース２が取り付けられるフレー
ムより構成し、フレーム内に多段に配設した複数のベー
ス２を、各ベース２が独立した状態で揺動することが可
能となるように位置決めピンで支持し、フォークのピッ
チ調整完了後に固定ボルト９にてベース２をフレームに
固定するものとした。
ピッチ調整を容易に行うことが可能なウエハ把持装置を
提供する。 【解決手段】前記した課題を解決するための手段とし
て、ウエハを搬送するためのフォークと、フォークが固
定されるベース２と、ベース２が取り付けられるフレー
ムより構成し、フレーム内に多段に配設した複数のベー
ス２を、各ベース２が独立した状態で揺動することが可
能となるように位置決めピンで支持し、フォークのピッ
チ調整完了後に固定ボルト９にてベース２をフレームに
固定するものとした。
Description
【発明の詳細な説明】
【発明の属する分野】本発明は、半導体の製造工程に於
いて、複数枚のウエハを一度に搬送する際に用いられる
ウエハ把持装置に関するものである。 【従来の技術】半導体の製造工程に於いて、複数枚のウ
エハを一度に把持搬送を行うウエハ把持装置には特開平
６−３１０５８５号公報のようなウエハを保持するフィ
ンガを固定したブラケットを複数個積み重ね、ネジ止め
をする方式のものが知られている。前記方式の装置は、
フィンガを取り付けたブラケットを位置決めピンにより
位置決めを行い、積み重ねてネジ止めを行うように構成
され、調整機構を持たない装置であるため、ブラケット
の加工精度にばらつきが有った場合、フィンガに傾き
や、フィンガ間ピッチがばらつき、ウエハカセット内に
フィンガが侵入する際にウエハに干渉する等の問題が発
生してしまうため、非常に高精度に加工された部品が要
求される。また上記公報の他に、特開平７−１５３８１
７号公報のように、フィンガを調整しながら一段ずつ組
み付け、複数段積み上げ取り付けを行う装置が知られて
いる。前記構成の装置は、何らかの原因でフィンガの調
整にずれが生じ、再調整を必要とする場合、ずれが生じ
た段まで分解し、分解した全ての段について再度一段ず
つ調整をおこなわなければならず、再調整に非常に多く
の工数を必要とし、簡単にメンテナンスする事が困難で
あった。 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題に
鑑みてなされたもので、多段に組み付けされるフォーク
の組み付け及びピッチ調整を容易に行うことが可能なウ
エハ把持装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、前記
した課題を解決するための手段として、ウエハを搬送す
るためのフォークと、フォークが固定されるベースと、
ベースが取り付けられるフレームより構成し、フレーム
内に多段に配設した複数のベースを、各ベースが独立し
た状態で揺動することが可能となるように位置決めピン
で支持し、フォークのピッチ調整完了後に固定ボルトに
てベースをフレームに固定するものとした。フレーム内
に多段に配設された複数のベースを、各ベースが独立し
た状態で揺動することを可能な装置構成としたことで、
組み付け完了後に各フォークの傾き調整を行うことが出
来るようになった。 【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。本実施例のウエハ把持装置は、フレ
ーム３とフレーム内に多段に配設される複数のべース２
と、ベース２に固定されるフォーク１より構成されてい
る。フレーム３は、サイドプレート５、トッププレート
４、ベースプレート７、バックプレート６の組み合わせ
により構成されている。フレーム３には、ベース２を固
定するための固定ボルト９を通す貫通孔と、位置決めピ
ン８がフレーム３の内側に突出した状態で配設されてい
る。ベース２には両側面の対称な位置には、ベース２と
フレーム３を固定する為のネジ穴と、位置決めピン用の
穴が設けられ、フレーム３の内壁面に突出した状態に取
り付けられた位置決めピン８が挿入され、ベース２が位
置決めピン８を支点に揺動可能に支持された状態で、固
定ボルト９によりフレーム３に固定されている。ベース
２にはウエハを支持するフォーク１がフレーム３より突
出した状態に取り付けられている。フォーク１には、ウ
エハの位置決めを行う為のワーク位置決めピン１０と、
位置決めされたワークを支持するワーク支持ピン１１が
装着され、ウエハを支持可能にしている。次にフォーク
１の調整方法について述べる。ベース２を固定している
フレーム３側面の固定ボルト９をゆるめると、フレーム
３に設けられた固定ボルト９を通すための貫通孔の直径
が、通常設けられる貫通孔の直径に較べ若干大きく設定
されているため、フォーク１が取り付けられたベース２
を位置決めピン８を支点として揺動させることが可能と
なり、貫通孔の直径と固定ボルト９の直径の差により生
じるベース２の揺動範囲内においてフォーク１の傾き及
びピッチ調整を行い、調整完了後に固定ボルト９を絞め
再度ベース２をフレーム３に固定し調整が完了する。 【発明の効果】本発明のウエハ搬送装置は、フォークが
固定された各ベースを独立してフレームに固定する装置
構成としたことにより、組み付け完了後に各ベースを調
整することが可能となり、一段づつ調整を行いながら多
段に組み付けを行う従来方法と異なり組み付け時間の短
縮を図ることが可能となった。また、ベースがフレーム
に独立して固定されるため、中間位置に配設されるフォ
ークの調整も可能となった。更に、ベースを独立してフ
レームに固定する構成のため、ベースを積み重ねる従来
方式のように高精度な加工を必要とせず安価に製作する
ことが可能となった。
いて、複数枚のウエハを一度に搬送する際に用いられる
ウエハ把持装置に関するものである。 【従来の技術】半導体の製造工程に於いて、複数枚のウ
エハを一度に把持搬送を行うウエハ把持装置には特開平
６−３１０５８５号公報のようなウエハを保持するフィ
ンガを固定したブラケットを複数個積み重ね、ネジ止め
をする方式のものが知られている。前記方式の装置は、
フィンガを取り付けたブラケットを位置決めピンにより
位置決めを行い、積み重ねてネジ止めを行うように構成
され、調整機構を持たない装置であるため、ブラケット
の加工精度にばらつきが有った場合、フィンガに傾き
や、フィンガ間ピッチがばらつき、ウエハカセット内に
フィンガが侵入する際にウエハに干渉する等の問題が発
生してしまうため、非常に高精度に加工された部品が要
求される。また上記公報の他に、特開平７−１５３８１
７号公報のように、フィンガを調整しながら一段ずつ組
み付け、複数段積み上げ取り付けを行う装置が知られて
いる。前記構成の装置は、何らかの原因でフィンガの調
整にずれが生じ、再調整を必要とする場合、ずれが生じ
た段まで分解し、分解した全ての段について再度一段ず
つ調整をおこなわなければならず、再調整に非常に多く
の工数を必要とし、簡単にメンテナンスする事が困難で
あった。 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題に
鑑みてなされたもので、多段に組み付けされるフォーク
の組み付け及びピッチ調整を容易に行うことが可能なウ
エハ把持装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、前記
した課題を解決するための手段として、ウエハを搬送す
るためのフォークと、フォークが固定されるベースと、
ベースが取り付けられるフレームより構成し、フレーム
内に多段に配設した複数のベースを、各ベースが独立し
た状態で揺動することが可能となるように位置決めピン
で支持し、フォークのピッチ調整完了後に固定ボルトに
てベースをフレームに固定するものとした。フレーム内
に多段に配設された複数のベースを、各ベースが独立し
た状態で揺動することを可能な装置構成としたことで、
組み付け完了後に各フォークの傾き調整を行うことが出
来るようになった。 【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。本実施例のウエハ把持装置は、フレ
ーム３とフレーム内に多段に配設される複数のべース２
と、ベース２に固定されるフォーク１より構成されてい
る。フレーム３は、サイドプレート５、トッププレート
４、ベースプレート７、バックプレート６の組み合わせ
により構成されている。フレーム３には、ベース２を固
定するための固定ボルト９を通す貫通孔と、位置決めピ
ン８がフレーム３の内側に突出した状態で配設されてい
る。ベース２には両側面の対称な位置には、ベース２と
フレーム３を固定する為のネジ穴と、位置決めピン用の
穴が設けられ、フレーム３の内壁面に突出した状態に取
り付けられた位置決めピン８が挿入され、ベース２が位
置決めピン８を支点に揺動可能に支持された状態で、固
定ボルト９によりフレーム３に固定されている。ベース
２にはウエハを支持するフォーク１がフレーム３より突
出した状態に取り付けられている。フォーク１には、ウ
エハの位置決めを行う為のワーク位置決めピン１０と、
位置決めされたワークを支持するワーク支持ピン１１が
装着され、ウエハを支持可能にしている。次にフォーク
１の調整方法について述べる。ベース２を固定している
フレーム３側面の固定ボルト９をゆるめると、フレーム
３に設けられた固定ボルト９を通すための貫通孔の直径
が、通常設けられる貫通孔の直径に較べ若干大きく設定
されているため、フォーク１が取り付けられたベース２
を位置決めピン８を支点として揺動させることが可能と
なり、貫通孔の直径と固定ボルト９の直径の差により生
じるベース２の揺動範囲内においてフォーク１の傾き及
びピッチ調整を行い、調整完了後に固定ボルト９を絞め
再度ベース２をフレーム３に固定し調整が完了する。 【発明の効果】本発明のウエハ搬送装置は、フォークが
固定された各ベースを独立してフレームに固定する装置
構成としたことにより、組み付け完了後に各ベースを調
整することが可能となり、一段づつ調整を行いながら多
段に組み付けを行う従来方法と異なり組み付け時間の短
縮を図ることが可能となった。また、ベースがフレーム
に独立して固定されるため、中間位置に配設されるフォ
ークの調整も可能となった。更に、ベースを独立してフ
レームに固定する構成のため、ベースを積み重ねる従来
方式のように高精度な加工を必要とせず安価に製作する
ことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本実施例の平面図
【図２】本実施例の側面図
【図３】サイドプレートを外した状態の側面図
【図４】要部を示すＡ−Ａ断面図
【図５】従来例を示す断面図
【符号の説明】
１フォーク
２ベース
３フレーム
４トッププレート
５サイドプレート
６バックプレート
７ベースプレート
８位置決めピン
９固定ボルト
１０ワーク位置決めピン
１１ワーク支持ピン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】複数のウエハを同時に把持し搬送を行うた
めのウエハ把持装置において、フォークと、フォークを
固定したベースと、ベースを固定するフレームからな
り、ベースの両側面に設けた位置決め穴と、フレームに
設けた位置決め穴が位置決めピンで連結されるとともに
各ベースとフレームがそれぞれ独立して固定されている
ことを特長とするウエハ把持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000949A JP2003203962A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ウエハ把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000949A JP2003203962A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ウエハ把持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003203962A true JP2003203962A (ja) | 2003-07-18 |
Family
ID=27641187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002000949A Pending JP2003203962A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ウエハ把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003203962A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7427796B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
-
2002
- 2002-01-07 JP JP2002000949A patent/JP2003203962A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7427796B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
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