JP4545996B2 - ロボットハンドの駆動装置 - Google Patents
ロボットハンドの駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4545996B2 JP4545996B2 JP2001202754A JP2001202754A JP4545996B2 JP 4545996 B2 JP4545996 B2 JP 4545996B2 JP 2001202754 A JP2001202754 A JP 2001202754A JP 2001202754 A JP2001202754 A JP 2001202754A JP 4545996 B2 JP4545996 B2 JP 4545996B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- robot hand
- horizontal
- rotation mechanism
- vertical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロボットハンドの駆動装置、詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ用ガラス基板等薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、スカラロボットなど、薄型基板を保持して移動可能なハンドを有するロボットにおいて、図18に示すような、ハンド6をハンド長手方向と一致する水平軸31回りに回転させる垂直回転機構部32を備えたタイプのロボットが知られている。
【0003】
そして、従来の垂直回転機構部32を備えたロボットは、図18に示すようにアーム4、5を前方へ伸ばした状態でハンド6を上下反転させたり、あるいは、図19に示すようにハンド6を第1アーム5から十分に離れた高い位置に設定することによって、ハンド6を上下反転させる際に薄型基板8がアーム4、5と干渉しないような対策が講じられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の場合、フットプリント(ロボットの公称旋回範囲)が拡大するという問題があり、また、後者の場合、基板パスラインが上昇するという問題があった。また、両者共、ダブルアーム式のロボットへの適用が困難であった。
【0005】
本発明は上記のような従来のロボットの問題点を解決し、フットプリントの縮小化を図るとともに基板パスラインの上昇を防止し、さらにダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能にすることを目的とする。
【0006】
【課題解決するための手段】
本発明によるロボットハンドの駆動装置は、薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、
ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる垂直回転機構部と、垂直軸回りに前記ロボットハンドを回転させる水平回転機構部とを備え、
前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記垂直回転機構部によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御することを特徴とする。
【0008】
前記水平回転機構部は前記垂直回転機構部を水平方向へ回転させることによって前記ロボットハンドを水平方向へ回転させる。
【0009】
前記薄型基板を保持している水平状態にあるロボットハンドを前記垂直回転機構部により垂直方向へ90°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この鉛直状態にあるロボットハンドを前記水平回転機構部により水平方向へ180°回転させて前後反転状態に変化させ、次に、この前後反転状態にあるロボットハンドを垂直方向へ90°回転させて上下反転状態に変化させることにより、前記薄型基板を保持している水平状態にあるロボットハンドを上下反転させた状態に変化させる。
【0010】
前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機構が配設される。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0012】
図1は、一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたスカラロボットの側面図、図2は、同スカラロボットの要部の概略斜視図を示す。
【0013】
図1及び図2において、スカラロボット1は、機台2と胴体3と第2アーム4と第1アーム5とハンド6とを備える。第1アーム5及び第2アーム4の内部には、公知のプーリ、タイミングベルトなどが配備されており、ハンド6は、公知のスカラロボットのハンドと同様、基本的に、胴体部3の昇降動作及び旋回動作を基に昇降及び旋回し、また、第2アーム4及び第1アーム5の屈伸動作によって水平面上の直線軌道上を移動可能に構成されている。また、ハンド6は、本実施形態の場合、真空吸着式ハンドであり、通常の状態つまり上下反転していない状態ではその上面6a側でガラス基板8を吸着保持する。
【0014】
駆動装置7はハンド6の元部6bに配設され、垂直回転機構部100と水平回転機構部200とにより構成される。
【0015】
垂直回転機構部100は、ハンド長手方向と直交する水平軸9回りにハンド6を回転させる機構を有し、ハンド6は、最大180°+α(αはハンド6の撓みを考慮した補正角度である。)回転可能である。
【0016】
水平回転機構部200は、垂直軸51回りにハンド6を回転させる機構を有し、ハンド6は、最大180°+α(αはハンド6の撓みを考慮した補正角度である。)回転可能である。
【0017】
図3は、垂直回転機構部100及び水平回転機構部200を正面から見た断面図、図4は、垂直回転機構部100のハウジング内部の構成を示す平面図、図5は、垂直回転機構部200を側面から見た断面図、図6は、ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図をそれぞれ示す。
【0018】
図3において、水平回転機構部200は、第1アーム5内部のプーリ(図示せず)に固着されるブラケット52を備え、このブラケット52にモータ53が保持されている。モータ53の出力軸には小径ギヤ54が固着され、この小径ギヤ54に大径ギヤ55が噛み合っている。大径ギヤ55は軸受56を介してブラケット52の円筒部57の外周に回動自在に保持されている。大径ギヤ55の上部はフランジ部60に固着されており、フランジ部60は垂直回転機構部100のハウジング10の下端部に固着されている。
【0019】
水平回転機構部200は、モータ53の停止時には、小径ギヤ54と大径ギヤ55との噛み合いにより、垂直軸51を回転軸とする垂直回転機構部100のハウジング10の回転位置を一定に保つ。モータ53が回転すると、小径ギヤ54を介して大径ギヤ55が回転し、垂直軸51回りにハウジング10を回転させる。なお、本実施形態の水平回転機構部200は、小径ギヤ54と大径ギヤ55の組み合わせであるが、他に、プーリーとベルトとの組み合わせ、又はウオーム軸とウオームホイールとの組み合わせ、又はダイレクトドライブモータによっても実現可能である。
【0020】
図3〜図6において、垂直回転機構部100は、ハンド6の元部6bに固着され、ハンド6の直線軌道(長手方向)と直交する水平軸(反転軸)9を備える。
水平軸9は、ハウジング10に配設された軸受部11、12によって回転自在に保持されており、水平軸9の一端にウオームホイール13が固着されている。ウオームホイール13は、ハンド6の直線軌道と平行に配置されたウオーム軸14と噛合しており、ウオーム軸14はプーリ15に固着されている。ハウジング10の内部にはモータ16が配設されている。モータ16の出力軸にはプーリ17が固着されており、このプーリ17と上記プーリ15との間にタイミングベルト18が掛け渡されている。
【0021】
垂直回転機構部100において、ハンド6が図2に実線で示す通常状態に維持されているときにモータ16を所定の期間回転させると、動力伝達機構(プーリ17、タイミングベルト18、プーリ15、ウオーム軸14及びウオームホイール13)を介して水平軸9が回転し、ハンド6は図2に二点鎖線で示す鉛直状態へと変わることができる。その後、ハンド6が鉛直状態において180°垂直軸51回りに回転した後、モータ16を所定の期間上記回転方向と同一方向へ回転させると、動力伝達機構17、18、15、14、13を介して水平軸9が回転し、ハンド6は通常状態に復帰することができる。ところで、ハンド6は、図6(A)に示すような鉛直状態付近において、ギヤ装置14、13のバックラッシュによりハンド6にがたつきが発生するおそれがある。このため、ギヤバックラッシュ抑制機構を設けることが好ましい。図3に示すコイルばね41は、第1のギヤバックラッシュ抑制機構を構成する。コイルばね41は、水平軸9に外嵌されており、水平軸9が鉛直方向へ回転するときこの回転方向と反対方向の力を水平軸9に対して加えるよう構成され、バックラッシュを防止する。図6(B)、(C)は、第2のギヤバックラッシュ抑制機構の構成を概念的に示す。このギヤバックラッシュ抑制機構は、互いに対向配置された一対の板ばね19、20の間に、水平軸9と一体となって回転するロータ部21を配して構成される。ロータ部21は両端に板ばね19、20と当接可能なローラ22、23を備える。ロータ部21は、ハンド6が通常状態にあるときは図6(B)に示すように二つのローラ22、23が一対の板ばね19、20から離れた状態にあり、ハンド6の回転時、ハンド6が通常状態から90°回転する前において一対の板ばね19、20と当接を開始して板ばね19、20を弾性変形させ、ハンド6が90°回転したとき図6(C)に示すように一対の板ばね19、20から十分大きな弾性復帰力(押圧力)を受けるよう動作する。これにより、バックラッシュを防止できハンド6にがたつきが発生しなくなる。上述した第1、第2のギヤバックラッシュ抑制機構は、いずれか一方のみ装備するようにしてもよいし、両方装備するようにしてもよい。
【0022】
ハンド6の水平軸9回りの回転時、水平軸9が直線軌道上の定位置を維持しながらハンド6を回転させること、換言すると、第1アーム5及び第2アーム4を一切動かさないでハンド6のみを回転させることを積極的に除外するものではないが、ハンド6の回転時にガラス基板8が受ける風圧を考慮すると、水平軸9の直線軌道上の位置を変えながらハンド6を回転させること、換言すると、第1アーム5及び第2アーム4を動かしながらハンド6を回転させることの方が好ましい。この場合、図7に示すように、ガラス基板8の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第1アーム5及び第2アーム4の動作を制御する、換言すると、ハンド6の直線軌道方向における位置を制御するようにする。なお、このような制御は、図示しない制御回路による演算処理に基づいて行われる。
【0023】
次に、上記のように構成されたスカラロボット1の一連の動作例を図8〜図15に基づいて説明する。
【0024】
まず、図8(A)、(B)に示すように、カセット24内からガラス基板8を取り出すため、スカラロボット1をカセット24に正対させる。次に、図9(A)、(B)に示すように、取り出したいガラス基板8の真下までハンド6を前進させ、ハンド6を上昇させてハンド6の上面6aにガラス基板8を載せるとともに吸着する。次に、図10(A)、(B)に示すように、ハンド6を図8(A)、(B)と同じ位置まで後退させる。次に、垂直回転機構部100によりハンド6を90°水平軸9回りに回転させる。この回転の間、上述したように、ガラス基板8の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第1アーム5及び第2アーム4の動作が制御される、換言すると、ハンド6の直線軌道方向における位置が制御される。図11(A)、(B)は、この回転時、ガラス基板8が鉛直状態となったときのスカラロボット1の形態を示す。次に、水平回転機構部200によりハンド6を180°垂直軸51回りに回転させ、スカラロボット1を図12(A)、(B)に示す状態、つまり、ハンド6の前後が反転した状態にする。次に、垂直回転機構部100によりハンド6を図10(A)、(B)と略同じ水平状態に戻すように90°水平軸9回りに回転させる。この回転の間、上述したようなハンド6を水平軸9回りに回転させたときと同様、ガラス基板8の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第1アーム5及び第2アーム4の動作を制御する。図13(A)、(B)は、ハンド6が水平状態に戻ったときのスカラロボット1の形態を示し、ハンド6は、図10の状態から上下が反転した状態となり、通常状態のときに上面6aとなる保持面が下側に位置し、この保持面で下方からガラス基板8を吸着保持する。次に、胴体3を180°旋回させ、スカラロボット1を図14(A)、(B)に示すような形態にした後、図15に示すように、ハンド6を前進させ載置台25の上にガラス基板8を載せる。
【0025】
以上説明したように、本実施形態に係るロボットハンド6の駆動装置7は、薄型基板(ガラス基板)8を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、ハンド長手方向と直交する水平軸9回りにロボットハンド6を回転させる垂直回転機構部100と、垂直軸51回りにロボットハンド6を回転させる水平回転機構部200とを備える。本実施形態によると、ロボット1のアーム4、5を屈状態にしたままの状態で、水平状態にあるハンド6を垂直回転機構部100により垂直方向へ90°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この鉛直状態にあるハンド6を水平回転機構部200により水平方向へ180°回転させて前後反転状態に変化させ、次に、この前後反転状態にあるハンド6を垂直方向へ90°回転させて上下反転状態に変化させることにより、薄型基板8を保持している水平状態にあるハンド6を上下反転させた状態に変化させることができ、この間薄型基板8とアーム4、5との干渉が発生しないため、フットプリントが縮小される。また、ハンド6をアーム4、5から近い高さ位置に設定しておいても、薄型基板8とアーム4、5との干渉を招くことなくハンド6を反転させることができるため、基板パスラインの上昇を防止することができる。
【0026】
また、本実施形態は、薄型基板8を保持しているロボットハンド6を垂直回転機構部100によって回転させる間、薄型基板8の中心位置を直線軌道方向(ハンド長手方向)において定位置に維持するようロボットハンド6の直線軌道方向(ハンド長手方向)における位置を制御する。このため、ハンド6の回転時に薄型基板8が受ける風圧を減少させることができ、ハンド6の回転速度の増大を図ることができる。
【0027】
また、ギヤバックラッシュ抑制機構(一対の板ばね19、20、ロータ部21、ローラ22、23、コイルばね41)を設けることにより、ハンド6が鉛直状態付近を通過するときのギヤ装置14、13のバックラッシュによるハンド6のがたつきを防止することができる。
【0028】
なお、上記実施形態はガラス基板8を搬送するロボットについて説明したが、ガラス基板8の代わりに半導体ウエハなど、その他の薄型基板を搬送するロボットにも容易に適用できることは言うまでもない。また、多関節ロボットにも適用可能である。
【0029】
図16(A)、(B)は、本発明の他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様のスカラロボット26の上側のハンド27に垂直回転機構部100及び水平回転機構部200を設けたものである。垂直回転機構部100及び水平回転機構部200は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【0030】
また、図17(A)、(B)は、さらに他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様の直動型ロボット28の上側のハンド29に垂直回転機構部100及び水平回転機構部200を設けたものである。垂直回転機構部100及び水平回転機構部200は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【0031】
図16及び図17から明らかなように、本発明は、ダブルアーム式ロボット26、28に対しても容易に適用可能である。
【0032】
【発明の効果】
本発明によると、ハンドを最終的に反転させる際、フットプリントの縮小化を図ることができるとともに基板パスラインの上昇を防止することができる。また、ダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボットの側面図である。
【図2】同スカラロボットの要部の概略斜視図である。
【図3】駆動装置(垂直回転機構部及び水平回転機構部)を正面から見た断面図である。
【図4】垂直回転機構部のハウジング内部の構成を示す平面図である。
【図5】垂直回転機構部の側面から見た断面図である。
【図6】ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図である。
【図7】ハンドの水平軸回りの回転時のガラス基板の状態変位図である。
【図8】スカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図9】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図10】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図11】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図12】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図13】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図14】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図である。
【図15】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図である。
【図16】本発明の他の実施形態に係るダブルアーム仕様のスカラロボットの斜視図及び正面図である。
【図17】本発明のさらに他の実施形態に係るダブルアーム仕様の直動型ロボットの斜視図及び正面図である。
【図18】従来のスカラロボットの垂直回転機構部の問題点を示す斜視図である。
【図19】同じく従来のスカラロボットの垂直回転機構部の問題点を示す側面図である。
【符号の説明】
4、5 アーム
6 ハンド(ロボットハンド)
7 駆動装置
8 ガラス基板(薄型基板)
9 水平軸
19、20 一対の板ばね(ギヤバックラッシュ抑制機構)
21 ロータ部(ギヤバックラッシュ抑制機構)
22、23 ローラ(ギヤバックラッシュ抑制機構)
41 コイルばね
51 垂直軸
100 垂直回転機構部
200 水平回転機構部
Claims (4)
- 薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、
ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる垂直回転機構部と、垂直軸回りに前記ロボットハンドを回転させる水平回転機構部とを備え、
前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記垂直回転機構部によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御することを特徴とするロボットハンドの駆動装置。 - 前記水平回転機構部は前記垂直回転機構部を水平方向へ回転させることによって前記ロボットハンドを水平方向へ回転させることを特徴とする請求項1記載のロボットハンド駆動装置。
- 前記薄型基板を保持している水平状態にあるロボットハンドを前記垂直回転機構部により垂直方向へ90°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この鉛直状態にあるロボットハンドを前記水平回転機構部により水平方向へ180°回転させて前後反転状態に変化させ、次に、この前後反転状態にあるロボットハンドを垂直方向へ90°回転させて上下反転状態に変化させることにより、前記薄型基板を保持している水平状態にあるロボットハンドを上下反転させた状態に変化させることを特徴とする請求項1又は2記載のロボットハンド駆動装置。
- 前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機構が配設されることを特徴とする請求項1、2又は3記載のロボットハンドの駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001202754A JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001202754A JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003019687A JP2003019687A (ja) | 2003-01-21 |
JP4545996B2 true JP4545996B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=19039502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001202754A Expired - Fee Related JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4545996B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103978564A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板加工装置 |
EP3415282A1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-12-19 | Aida Engineering, Ltd. | Workpiece conveying apparatus for a pressing machine |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4751997B1 (ja) | 2010-02-17 | 2011-08-17 | 住友化学株式会社 | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
JP5170912B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-03-27 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
WO2011122005A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
KR101108405B1 (ko) * | 2010-04-23 | 2012-01-30 | 수미토모 케미칼 컴퍼니 리미티드 | 편광필름의 접합장치 및 이것을 구비하는 액정표시장치의 제조시스템 |
JP5323867B2 (ja) | 2011-01-19 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板反転装置、基板反転方法、剥離システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP5281725B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2013-09-04 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
JP5144777B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2013-02-13 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構 |
CN103802090A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双臂搬运机械手 |
JP5532111B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-25 | 株式会社安川電機 | ロボットアーム、ロボットおよびロボットの動作方法 |
US10354899B2 (en) * | 2014-10-10 | 2019-07-16 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Wafer transfer method and wafer transfer device |
WO2019207687A1 (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
US20230311339A1 (en) * | 2020-09-03 | 2023-10-05 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate holding hand and substrate conveying robot |
CN112857937B (zh) * | 2021-01-25 | 2022-07-01 | 吉林省吉科软信息技术有限公司 | 一种基于食品安全的自动化农残检测*** |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62198086U (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | ||
JPH04348895A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-12-03 | Orii:Kk | ワーク搬送用多関節型ロボット |
JPH05192890A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-03 | Igm Robotersyst Ag | 産業ロボットの継手駆動用ギヤ機構 |
JPH1053499A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | ウエーハ熱処理装置及びそのウエーハ装填方法 |
JPH1177566A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-23 | Mecs:Kk | 薄型基板の搬送ロボット |
WO2000007780A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Genmark Automation, Inc. | Robot having multiple degrees of freedom |
JP2000506789A (ja) * | 1996-03-22 | 2000-06-06 | ジェンマーク オートメーション インコーポレイテッド | 多自由度ロボット |
-
2001
- 2001-07-03 JP JP2001202754A patent/JP4545996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62198086U (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | ||
JPH04348895A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-12-03 | Orii:Kk | ワーク搬送用多関節型ロボット |
JPH05192890A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-03 | Igm Robotersyst Ag | 産業ロボットの継手駆動用ギヤ機構 |
JP2000506789A (ja) * | 1996-03-22 | 2000-06-06 | ジェンマーク オートメーション インコーポレイテッド | 多自由度ロボット |
JPH1053499A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | ウエーハ熱処理装置及びそのウエーハ装填方法 |
JPH1177566A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-23 | Mecs:Kk | 薄型基板の搬送ロボット |
WO2000007780A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Genmark Automation, Inc. | Robot having multiple degrees of freedom |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103978564A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板加工装置 |
EP3415282A1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-12-19 | Aida Engineering, Ltd. | Workpiece conveying apparatus for a pressing machine |
US10293444B2 (en) | 2017-06-14 | 2019-05-21 | Aida Engineering, Ltd. | Workpiece conveying apparatus for a pressing machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003019687A (ja) | 2003-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3806802B2 (ja) | ロボットハンドの駆動装置 | |
JP4545996B2 (ja) | ロボットハンドの駆動装置 | |
KR101434811B1 (ko) | 회전체의 회전범위 규제기구 및 산업용 로봇 | |
JPH0538686A (ja) | 搬送装置 | |
JPH11188671A (ja) | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 | |
JPH09323276A (ja) | 搬送装置及びロボットアーム | |
JPH02311237A (ja) | 搬送装置 | |
US20090003983A1 (en) | Articulated Robot | |
JP2919065B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP2002164402A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
JPH1022364A (ja) | 搬送装置における吸着ハンド | |
JPH10202511A (ja) | 両面研磨装置 | |
JP3890896B2 (ja) | 基板搬送用ロボット | |
JPH10180658A (ja) | 直線移動型ロボット | |
JP2002093881A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
JPH04300190A (ja) | 産業用ロボットの手首装置 | |
JP2001315951A (ja) | 移送部材の回転装置 | |
JP2004148455A (ja) | 産業用ロボット | |
JPH04122589A (ja) | 真空中における多関節搬送装置 | |
KR0137102B1 (ko) | 텔레비젼 수상기 회전장치 | |
JP2000024981A (ja) | 産業用ロボット | |
JP2019181624A (ja) | 手首ユニット | |
CN215789846U (zh) | 一种具有辅助底座的智能工业机器人 | |
JP2005007532A (ja) | 回転テーブル装置 | |
JPH0832292A (ja) | 電子部品移載装置及び電子部品実装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040908 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080619 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100701 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |