TWI718610B - 探針單元 - Google Patents

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TWI718610B
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酒井貴浩
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日商歐姆龍股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種能夠應對小型化的探針單元。本發明的探針單元包括：板狀的探針，於第一方向的兩端分別具有第一觸點部及第二觸點部；殼體，能夠於第一觸點部經由開口面的開口部配置於外部的狀態下，將探針收容於內部；擺動構件，以能夠沿著第一方向及開口面的延伸方向擺動的狀態支撐於殼體，並且具有能夠收容第一觸點部的收容孔；以及施力部，於第一方向上朝向初始位置將擺動構件施力至所述殼體，於開口面的延伸方向上朝向擺動構件的擺動範圍的中心將擺動構件施力至所述殼體。

Description

探針單元
本揭示是有關於一種探針單元。
於相機或液晶面板等電子零件模組中，一般而言，在其製造步驟中進行導通檢查及動作特性檢查等。該些檢查藉由使用探針(probe pin)將用於和設置於電子零件模組的本體基板連接的端子與檢查裝置的端子加以連接來進行檢查。
作為這種探針，有專利文獻1中記載的彈簧針式(pogo pin type)的探針。該探針包括：柱塞(plunger)部，具有接觸端子及與接觸端子同軸設置的柱塞本體部；以及筒(barrel)部，設置於柱塞部的外周側。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1] 日本專利特開2016-142644號公報
近年來，電子零件模組的小型化已取得進展，且要求用於檢查電子零件模組的檢查具亦應對小型化。一般而言，如所述探針般的彈簧針式的探針越小型化，剛性越低，越容易損傷。因 此，使用所述探針的檢查具會有無法應對小型化的疑慮。
本揭示的課題在於提供一種能夠應對小型化的探針單元。
本揭示的一例的探針單元包括：板狀的探針，於第一方向的兩端分別具有第一觸點部及第二觸點部；殼體，具有與所述第一方向交叉的開口面，且能夠於所述第一觸點部經由所述開口面的開口部配置於外部的狀態下，將所述探針收容於內部；擺動構件，以能夠沿著所述第一方向及所述開口面的延伸方向擺動的狀態支撐於所述殼體，並且具有於所述第一方向上貫通且能夠***述第一觸點部的收容孔；以及施力部，配置於所述殼體的內部，並且於所述第一方向上朝向最遠離所述開口面的初始位置將所述擺動構件施力至所述殼體，於所述開口面的延伸方向上朝向所述擺動構件的擺動範圍的中心將所述擺動構件施力至所述殼體。
根據所述探針單元，包括板狀的探針及擺動構件，所述擺動構件具有能夠收容探針的第一觸點部的收容孔。藉由這種構成，可以容易地實現能夠應對小型化的探針單元。
1:探針單元
10:殼體
11:基底殼體
12:芯殼體
13:殼體收容部
17:銷構件
18:槽部
20:探針
21:第一觸點部(觸點部)
22:第二觸點部(觸點部)
23、27:本體部
24、25:腳部
26:間隙
30:擺動構件
31:擺動板部
32:支撐部
33:凹部
34:收容孔
35、36:間隙
37:平坦部
38:凸緣部
50:盤簧(施力部)
111:第一開口面(開口面)
112:第二開口面(開口面)
113、114:開口部
115:收容槽
116、117、118:板構件
121:第一芯殼體(芯殼體)
122:第二芯殼體(芯殼體)
123:探針收容部
201:彈性部
202:第一接觸部
203:第二接觸部
204:抵接部(第一抵接部)
205:抵接部
231、271:抵接部(第二抵接部)
232、272:一端
241、251:突起部
GP:重心
L1~L5:假想直線
P1:初始位置
P2:動作位置
X:第一方向
Y:第二方向
Z:板厚方向
圖1是表示本揭示一實施形態的探針單元的立體圖。
圖2是沿著圖1的II-II線的剖面圖。
圖3是沿著圖1的III-III線的剖面圖。
圖4是表示圖1的探針單元的擺動構件的立體圖。
圖5是圖4的擺動構件的平面圖。
圖6是圖1的探針單元的放大平面圖。
圖7是表示圖1的探針單元的探針的立體圖。
圖8是表示圖1的探針單元的變形例的立體圖。
圖9是沿著圖8的IX-IX線的剖面圖。
圖10是沿著圖8的VIII-VIII線的剖面圖。
圖11是圖8的探針單元的放大平面圖。
圖12是表示圖8的探針單元的探針的立體圖。
以下，根據隨附圖式對本揭示的一例進行說明。再者，在以下的說明中，視需要使用表示特定方向或位置的用語(例如包含「上」、「下」、「右」、「左」的用語)，但該些用語的使用是為了容易理解參照了圖式的本揭示，且本揭示的技術範圍不受該些用語的含義的限制。另外，以下的說明本質上僅為例示，並不意圖限制本揭示、其應用或其用途。進而，圖式是示意性的，各尺寸的比率等未必與實際一致。
如圖1所示，本揭示的一實施形態的探針單元1包括： 殼體10；板狀的探針20，收容於該殼體10的內部；以及擺動構件30，能夠擺動地支撐於殼體10。於該實施形態中，作為一例，多個探針20收容於殼體10的內部。如圖2及圖3所示，各探針20於第一方向X的兩端分別具有第一觸點部21及第二觸點部22，且於與第一方向X交叉(例如，正交)的板厚方向Z上空開間隔而配置。即，各探針20以板面彼此相互相向的狀態排列成一行而配置。
作為一例，如圖1所示，殼體10具有大致長方體形狀的基底殼體11及收容於該基底殼體11的內部的芯殼體12。
作為一例，如圖2所示，基底殼體11具有與第一方向X交叉的一對開口面111、112(以下稱為第一開口面111及第二開口面112)。於第一開口面111及第二開口面112的長邊方向(即板厚方向Z)的大致中央分別設置有大致矩形形狀的開口部113、開口部114。於基底殼體11的內部設置有收容芯殼體12的殼體收容部13。各開口部113、開口部114分別與該殼體收容部13連接。探針20的第一觸點部21及第二觸點部22分別經由各開口部113、開口部114配置於基底殼體11的外部。於該實施形態中，如圖1所示，基底殼體11包含於第一方向X上積層的三個大致矩形的板構件116、117、118。各板構件116、板構件117、板構件118藉由銷構件17而一體化。
於基底殼體11的芯殼體12周圍設置有收容槽115。收容槽115分別設置於基底殼體11的芯殼體12的板厚方向Z的兩 側。各收容槽115於基底殼體11的內部，於板厚方向Z且遠離芯殼體12的方向上延伸。於各收容槽115的內部分別收容有後述的擺動構件30的支撐部32及盤簧50(施力部的一例)，所述盤簧50對該支撐部32向第一方向X且從第二開口面112朝向第一開口面111的方向施力。
作為一例，如圖3所示，芯殼體12具有第一芯殼體121及第二芯殼體122，所述第一芯殼體121及所述第二芯殼體122分別於內部設置有能夠收容探針20的多個探針收容部123。各芯殼體121、芯殼體122中，探針收容部123彼此於與第一方向X及板厚方向Z交叉(例如，正交)的第二方向Y上鄰接而配置，且藉由基底殼體11相互獨立地定位並一體地保持。如圖2所示，各探針收容部123於板厚方向Z上空開間隔而排列成一行而配置。於各探針收容部123，一個探針20以相對於其他探針20電性獨立的狀態，並且以第一方向X的兩端的各觸點部21、觸點部22位於各芯殼體121、芯殼體122的外部的狀態被收容。
另外，如圖1所示，探針單元1包括配置在殼體10的外部的擺動構件30。擺動構件30具有：擺動板部31，配置成與第一開口面111相向；以及一對支撐部32，分別從該擺動板部31的板厚方向Z的兩端向第一方向X延伸。擺動板部31經由一對支撐部32以能夠擺動的狀態支撐於殼體10。
如圖3所示，擺動板部31具有：凹部33，於第一方向X上設置於與和第一開口面111相向的面為相反一側的面；以及 多個收容孔34，設置於該凹部33的底面。凹部33例如構成為當使作為接觸對象物的一例的檢查對象物或檢查裝置的連接器與探針單元1接觸時，收容連接器的一部分而確定連接器相對於擺動構件30的位置。各收容孔34於第一方向X上貫通擺動板部31，且收容探針20的第一觸點部21。於該實施形態中，設置有與所收容的探針20對應的數量的收容孔34。
如圖2所示，各支撐部32中，第一方向X上的遠離擺動板部31的前端部收容於基底殼體11的收容槽115。於各支撐部32的前端部設置有凸緣部38，所述凸緣部38於相互遠離各支撐部32的方向上延伸。各凸緣部38配置為於第一方向X上，能夠與構成收容槽115的基底殼體11的內表面接觸，且藉由盤簧50被施力至基底殼體11。
如圖4及圖5所示，於所述探針單元1中，各凸緣部38藉由四個盤簧50被施力至基底殼體11。詳細地說，各凸緣部38具有於沿著第一方向X觀看的俯視下，第二方向Y成為長邊的大致矩形形狀，且於各凸緣部38的第二方向Y的兩端分別配置有盤簧50。換句話說，各盤簧50配置為於沿著第一方向X觀看的俯視下，分別位於圍繞探針20的四邊形的各頂點。
另外，如圖5所示，於沿著第一方向X觀看的俯視下，擺動構件30的重心GP位於四邊形的內部，該四邊形將穿過於第一方向X及第二方向Y上鄰接的兩個盤簧50的任意點(例如，中心)的四條假想直線L1~直線L4分別作為一邊。換句話說， 各盤簧50配置成擺動構件30的重心GP位於以各盤簧50為頂點的多邊形的內部。
如圖2及圖3所示，擺動構件30的向第一方向X的移動由凸緣部38及收容槽115限制於初始位置P1與動作位置P2之間。初始位置P1是擺動構件30能夠移動的第一方向X的位置中最遠離第一開口面111的位置。於未施加第一方向X的外力的狀態下，擺動構件30藉由盤簧50所施加的力被保持於初始位置P1。動作位置P2是擺動構件30能夠移動的第一方向X的位置中最接近第一開口面111的位置。
另外，如圖6所示，於沿著第一方向X觀看的俯視下，於擺動構件30的各支撐部32與收容槽115之間設置有第二方向Y的間隙35及板厚方向Z的間隙36。再者，於圖6中，僅示出了一個支撐部32。擺動構件30的向第二方向Y及板厚方向Z的移動被限制於間隙35、間隙36的範圍內。當將於第一開口面111的延伸方向(即，包含第二方向Y及板厚方向Z在內的平面的延伸方向)上，與收容槽115之間形成間隙35、間隙36的位置設為擺動範圍的中心時，擺動構件30於第一開口面111的延伸方向上藉由四個盤簧50被朝向擺動範圍的中心施力。
作為一例，如圖7所示，各探針20為於第一方向X上細長的薄板狀，且具有導電性。各探針20包括：彈性部201，能夠沿著第一方向X彈性變形；第一接觸部202，連接彈性部201的第一方向X的一端且設置有第一觸點部21；以及第二接觸部 203，連接彈性部201的第一方向X的另一端且設置有第二觸點部22。各探針20例如藉由電鑄法形成，且彈性部201、第一接觸部202及第二接觸部203沿著第一方向X串聯地配置且一體地構成。
作為一例，彈性部201包含相互空開間隙而配置的多個帶狀彈性片。各帶狀彈性片為細長的帶狀，且具有大致相同的剖面形狀。
作為一例，第一接觸部202具有：本體部23，從與第一方向X交叉的方向連接彈性部201；以及一對腳部24、25，從該本體部23向第一方向X且遠離彈性部201的方向延伸。
本體部23具有抵接部231，所述抵接部231設置於在第一方向X上靠近彈性部201的端部，且於第二方向Y上延伸。
各腳部24、腳部25於第二方向Y上空開間隙26而配置，且構成為能夠於第二方向Y上彈性變形。於各腳部24、腳部25的前端分別設置有第一觸點部21。各第一觸點部21構成為能夠從第一方向X與接觸對象物(例如，檢查對象物的凸觸點)接觸。另外，各腳部24、腳部25具有突起部241、突起部251，所述突起部241、突起部251設置於在第二方向Y上相向的側面。 各突起部241、突起部251以堵住一對腳部24、腳部25之間的間隙26的方式突出，而防止接觸對象物過量***間隙26。
再者，如圖2及圖3所示，各第一觸點部21收容於對應的擺動構件30的收容孔34，且於擺動構件30位於初始位置P1的狀態下，各第一觸點部21的一部分從凹部33的底面突出。
作為一例，第二接觸部203具有本體部27，所述本體部27從第二方向Y連接彈性部201。本體部27具有抵接部271，所述抵接部271從所述第一方向X上的彈性部201側的端部向第二方向Y延伸。本體部27的第一方向X的前端具有大致三角形形狀，所述大致三角形形狀於第一方向X且隨著遠離彈性部201而前端變細，且構成第二觸點部22。
第一接觸部202及第二接觸部203分別配置於穿過第一接觸部202的一對腳部24、25的第二方向Y的中心並且於第一方向X上延伸的假想直線L5上。彈性部201及各抵接部231、抵接部271分別相對於假想直線L5而配置於第二方向Y上的相同側。
如圖3所示，於將探針20收容於芯殼體12的各探針收容部123的狀態下，第一接觸部202的抵接部231及第二接觸部203的抵接部271分別構成為於第一方向X上與構成各探針收容部123的第一芯殼體121及第二芯殼體122的內表面抵接。即，藉由各抵接部231、抵接部271確定第一方向X上的探針20的各觸點部21、觸點部22的位置。
再者，彈性部201相對於第一接觸部202的本體部23的寬度方向(即第二方向Y)的一端232以及第二接觸部203的本體部27的寬度方向的一端272配置於一側。再者，於該實施形態中，第一接觸部202的本體部23的一端232與第二接觸部203的本體部27的一端272配置於與假想直線L5平行的直線上。
探針單元1用於例如包括相機模組等企業對企業 (Business-to-Business，B to B)連接器作為連接媒體的模組，以及小外形封裝(Small Outline Package，SOP)、四面扁平封裝(Quad Flat Package，QFP)、球柵陣列(Ball grid array，BGA)等半導體封裝的導通檢查或者動作特性檢查等。於這種檢查中，各探針20一般而言頻繁地反覆進行對於接觸對象物的一例的檢查對象物或者檢查裝置的接觸及解除接觸，因此要求耐久性。當將探針20小型化時，該耐久性的要求進一步增強。
另外，檢查對象物的對於第一觸點部21的接觸及解除接觸的反覆頻率高於檢查裝置的對於第二觸點部22的接觸及解除接觸的反覆頻率。因此，於將探針單元1小型化方面確保第一觸點部21的耐久性成為重要的要素。
此外，作為確保探針20的耐久性的方法之一，可以考慮變更探針20的材料。當由鎳合金或者鈦合金等硬度高的材料形成探針20時，有可能會損傷接觸對象物。相反，當由鈹鋼或者磷青銅等硬度低的材料形成探針20時，有時探針20無法具備充分的耐久性，且因藉由反覆進行對於接觸對象物的接觸及解除接觸導致的滑動的磨損，觸點部會劣化。因此，藉由變更材料來確保探針20的耐久性並不容易。
根據探針單元1，包括板狀的探針20及擺動構件30，該擺動構件30具有能夠收容探針20的第一觸點部21的收容孔34。探針20具有板狀，因此，例如，與彈簧針式的探針相比，即使小型化，亦可以抑制探針20的剛性下降而確保耐久性。另外， 將探針20的第一觸點部21收容於擺動構件30的收容孔34，因此即使於將探針20小型化的情況下，亦可以減少第一觸點部21的損傷的產生。即，藉由這種構成，可以容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
另外，擺動構件30藉由盤簧50以能夠沿著第一方向X及第一開口面111的延伸方向(即，包含第二方向Y及板厚方向Z在內的平面的延伸方向)擺動的狀態支撐於殼體10。藉由這種構成，即使探針單元1相對於接觸對象物的位置偏移，亦可以根據接觸對象物更準確地對探針20定位。
另外，施力部包含至少三個盤簧50，且於沿著第一方向X觀看的俯視下，擺動構件30的重心位於以各盤簧50為頂點的多邊形的內部。藉由這樣構成，可以不僅沿著第一方向X而且沿著包含第二方向Y及板厚方向Z在內的平面更可靠地使擺動構件30擺動。
另外，施力部具有四個盤簧50，所述四個盤簧50配置於在沿著第一方向X觀看的俯視下，圍繞探針20的四邊形的各頂點。藉由這種構成，可以不僅沿著第一方向X而且沿著包含第二方向Y及板厚方向Z在內的平面更可靠地使擺動構件30擺動。
另外，探針20包括：彈性部201，能夠沿著第一方向X彈性變形；第一接觸部202，連接彈性部201的第一方向X的一端且設置有第一觸點部21；以及第二接觸部203，連接彈性部201的第一方向X的另一端且設置有第二觸點部22。第一接觸部202 及第二接觸部203具有抵接部231、抵接部271，所述抵接部231、所述抵接部271分別沿著第二方向Y延伸，並且於第一方向X上與殼體10的內表面抵接而限制探針20的向第一方向X的移動。藉由這種構成，可以更容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
另外，殼體10具有：第一芯殼體121及第二芯殼體122，分別具有能夠收容保持探針20的探針收容部123；以及基底殼體11，於各芯殼體121、芯殼體122的探針收容部123於第二方向Y上鄰接而配置的狀態下，將各芯殼體121、芯殼體122相互獨立地定位並一體地保持。藉由這種構成，例如，可以將基底殼體11及芯殼體12通用化而構成為能夠相對於一個基底殼體11對預先決定的不同的多個種類的芯殼體12相互獨立地定位並一體地保持，藉此提高探針單元1的生產率。
再者，施力部不限於包含四個盤簧50的情況，只要包含至少三個盤簧50即可。例如，於由三個盤簧50構成施力部的情況下，只要於其中一個凸緣部38的第二方向Y的中央配置一個盤簧50，於另一個凸緣部38的第二方向的兩端分別各配置一個盤簧50即可。
另外，探針單元1例如亦能夠以如圖8~圖12所示般構成。於圖8~圖12所示的探針單元1中，擺動構件30配置於殼體10的內部，而不是殼體10的外部。如圖9及圖10所示，除了芯殼體12之外，基底殼體11的殼體收容部13經由第一方向X而圍繞擺動構件30且以能夠於第一方向X上擺動的狀態收容擺動構件 30。於基底殼體11的第一開口面111設置有槽部18，所述槽部18於第二方向Y上延伸並與開口部113及基底殼體11的外部連通。
如圖9及圖10所示，擺動構件30配置於開口部113，所述開口部113於基底殼體11的第一開口面111開口。如圖11所示，於沿著第一方向X觀看的俯視下，於擺動構件30的擺動板部31與開口部113之間設置有第二方向Y的間隙35及板厚方向Z的間隙36。
如此，於圖8~圖12所示的探針單元1中，於初始狀態P1處，第一觸點部21的大致整體被殼體10及擺動構件30覆蓋。因此，可以進一步減少第一觸點部21的損傷的產生，因此可以更容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
另外，如圖8所示，於擺動板部31的凹部33周圍設置有平坦部37，所述平坦部37於第一方向X上配置於第一開口面111與槽部18的底面之間。
如圖9所示，將基底殼體11的各板構件116、板構件117、板構件118一體化的銷構件17從第二開口面112向第一方向X突出，且銷構件17的一部分位於殼體10的外部。
如圖12所示，彈性部201包含相互空開間隙而配置的多個彈性片(於本實施形態中為兩個帶狀的彈性片)。各彈性片具有包含四個延伸部及三個彎曲部的曲折形狀，所述四個延伸部分別於第二方向Y上延伸，所述三個彎曲部分別與鄰接的延伸部連 接。配置於第一方向X的兩端的延伸部分別構成抵接部204、抵接部205。如圖10所示，各抵接部204、抵接部205構成為於收容於芯殼體12的狀態下，於第一方向X上與構成各探針收容部123的第一芯殼體121及第二芯殼體122的內表面抵接。
即，殼體10不限於所述實施形態，只要具有與第一方向X交叉的開口面111，且能夠於第一觸點部21經由開口面111的開口部113配置於外部的狀態下，將探針20收容於內部即可。
另外，探針20不限於所述實施形態，只要是在第一方向X的兩端分別具有第一觸點部21及第二觸點部22的板狀即可。例如，可以將圖12的探針20用於圖1的探針單元1，亦可以將圖7的探針20用於圖8的探針單元1。
再者，關於抵接部204、抵接部205，既可以僅於第一方向X的兩端的任一者設置抵接部204、抵接部205，亦可以兩者都省略。於此情況下，亦可以設置從第一接觸部202或第二接觸部203向第二方向Y延伸的抵接部231、抵接部271，來代替於彈性部201設置抵接部204、抵接部205。
另外，施力部不限於盤簧50，可以採用任何能夠於第一方向X上朝向初始位置P1且於開口面111的延伸方向上朝向擺動範圍的中心對擺動構件30施力的構成。
以上，參照圖式對本揭示的各種實施形態進行了詳細說明，最後，對本揭示的各種態樣進行說明。再者，於以下的說明中，作為一例，亦附上參照符號加以記載。
本揭示的第一態樣的探針單元1包括：板狀的探針20，於第一方向X的兩端分別具有第一觸點部21及第二觸點部22；殼體10，具有與所述第一方向X交叉的開口面111，且於所述第一觸點部21經由所述開口面111的開口部113配置於外部的狀態下，能夠將所述探針20收容於內部；擺動構件30，以能夠沿著所述第一方向X及所述開口面111的延伸方向擺動的狀態支撐於所述殼體10，並且具有於所述第一方向X上貫通且能夠***述第一觸點部21的收容孔34；以及施力部50，配置於所述殼體10的內部，並且於所述第一方向X上朝向最遠離所述開口面111的初始位置P1將所述擺動構件30施力至所述殼體10，於所述開口面111的延伸方向上朝向所述擺動構件30的擺動範圍的中心將所述擺動構件30施力至所述殼體10。
根據第一態樣的探針單元1，包括板狀的探針20及擺動構件30，該擺動構件30具有能夠收容探針20的第一觸點部21的收容孔34。藉由這種構成，可以容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
本揭示的第二態樣的探針單元1中，所述施力部包含至少三個盤簧50，於沿著所述第一方向觀看的俯視下，所述擺動構件30的重心位於以各所述盤簧50為頂點的多邊形的內部。
根據第二態樣的探針單元1，能夠以可更可靠地於第一方向X及開口面111的延伸方向上擺動的狀態支撐擺動構件30。其結果，即使探針單元1相對於接觸對象物的位置偏移，亦可以根據接觸對象物更準確地對探針20定位。
本揭示的第三態樣的探針單元1中，所述施力部具有四個所述盤簧50，所述四個所述盤簧50配置於在沿著所述第一方向X觀看的俯視下，圍繞所述探針20的四邊形的各頂點。
根據第三態樣的探針單元1，能夠以可更可靠地於第一方向X及開口面111的延伸方向上擺動的狀態支撐擺動構件30。 即使探針單元1相對於接觸對象物的位置產生了偏移，亦可以根據接觸對象物更準確地對探針20定位。
本揭示的第四態樣的探針單元1中，所述探針20包括：彈性部201，能夠沿著所述第一方向X彈性變形；第一接觸部202，連接所述彈性部201的所述第一方向X的一端且設置有所述第一觸點部21；以及第二接觸部203，連接所述彈性部201的所述第一方向X的另一端且設置有所述第二觸點部22；且所述彈性部201具有第一抵接部204，所述第一抵接部204沿著與所述第一方向X及所述探針20的板厚方向Z交叉的第二方向Y延伸，並且構成所述彈性部201的所述第一方向X的一端及 所述彈性部201的所述第一方向X的另一端的至少一者，所述第一抵接部204於所述第一方向X上與所述殼體10的內表面抵接，而限制所述探針20的向所述第一方向X的移動。
根據第四態樣的探針單元1，可以更容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
本揭示的第五態樣的探針單元1中，所述探針20包括：彈性部201，能夠沿著所述第一方向X彈性變形；第一接觸部202，連接所述彈性部201的所述第一方向X的一端且設置有所述第一觸點部21；以及第二接觸部203，連接所述彈性部201的所述第一方向X的另一端且設置有所述第二觸點部22；且所述第一接觸部202及所述第二接觸部203的至少一者具有第二抵接部231、第二抵接部271，所述第二抵接部231、第二抵接部271沿著與所述第一方向X及所述探針20的板厚方向Z交叉的第二方向Y延伸，並且於所述第一方向X上與所述殼體10的內表面抵接，而限制所述探針20的向所述第一方向X的移動。
根據第五態樣的探針單元1，可以更容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
本揭示的第六態樣的探針單元1中，所述殼體10包括：第一芯殼體121及第二芯殼體122，分別具有能夠收容保持 所述探針20的探針收容部123；以及基底殼體11，於所述第一芯殼體121的所述探針收容部123及所述第二芯殼體122的所述探針收容部123於所述第二方向上鄰接而配置的狀態下，將所述第一芯殼體121及所述第二芯殼體122相互獨立地定位並一體地保持。
根據第六態樣的探針單元1，例如，可以將基底殼體11及芯殼體12通用化，且構成為能夠相對於一個基底殼體11對預先決定的不同的多個種類的芯殼體12相互獨立地定位並一體地保持，藉此提高探針單元1的生產率。
本揭示的第七態樣的探針單元1中，所述基底殼體11具有殼體收容部13，所述殼體收容部13於能夠於所述第一方向X上擺動的狀態下***述擺動構件30，且經由所述第一方向X而圍繞所述擺動構件30。
根據第七態樣的探針單元1，可以進一步減少第一觸點部21的損傷的產生，因此可以更容易地實現能夠應對小型化的探針單元1。
再者，藉由將所述各種實施形態或變形例中的任意的實施形態或變形例適當組合，而可獲得各自具有的效果。另外，實施形態彼此的組合或實施例彼此的組合或實施形態與實施例的組合是可能的，並且不同的實施形態或實施例中的特徵彼此的組合亦是可能的。
本揭示的探針單元可以用於例如包括相機模組等B to B (Business-to-Business)連接器作為連接媒體的模組，以及SOP(Small Outline Package)、QFP(Quad Flat Package)、BGA(Ball grid array)等半導體封裝的檢查等。
1‧‧‧探針單元
10‧‧‧殼體
11‧‧‧基底殼體
12‧‧‧芯殼體
17‧‧‧銷構件
20‧‧‧探針
30‧‧‧擺動構件
31‧‧‧擺動板部
32‧‧‧支撐部
111‧‧‧第一開口面(開口面)
113‧‧‧開口部
115‧‧‧收容槽
116、117、118‧‧‧板構件
X‧‧‧第一方向
Y‧‧‧第二方向
Z‧‧‧板厚方向

Claims (6)

  1. 一種探針單元，包括：板狀的探針，於第一方向的兩端分別具有第一觸點部及第二觸點部；殼體，具有與所述第一方向交叉的開口面，且能夠於所述第一觸點部經由所述開口面的開口部配置於外部的狀態下，將所述探針收容於內部；擺動構件，以能夠沿著所述第一方向及所述開口面的延伸方向擺動的狀態支撐於所述殼體，並且具有於所述第一方向上貫通且能夠***述第一觸點部的收容孔；以及施力部，配置於所述殼體的內部，並且於所述第一方向上朝向最遠離所述開口面的初始位置將所述擺動構件施力至所述殼體，於所述開口面的延伸方向上朝向所述擺動構件的擺動範圍的中心將所述擺動構件施力至所述殼體；且所述殼體包括：第一芯殼體及第二芯殼體，分別具有能夠收容保持所述探針的探針收容部；以及基底殼體，於所述第一芯殼體的所述探針收容部與所述第二芯殼體的所述探針收容部於和所述第一方向及所述探針的板厚方向交叉的第二方向上鄰接而配置的狀態下，將所述第一芯殼體及所述第二芯殼體相互獨立地定位並一體地保持；且所述施力部將所述擺動構件施力至所述基底殼體。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的探針單元，其中所述施力部具有至少三個盤簧，於沿著所述第一方向觀看的俯視下，所述擺動構件的重心位於以各所述盤簧為頂點的多邊形的內部。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的探針單元，其中所述施力部具有四個所述盤簧，四個所述盤簧配置於在沿著所述第一方向觀看的俯視下圍繞所述探針的四邊形的各頂點。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的探針單元，其中所述探針包括：彈性部，能夠沿著所述第一方向彈性變形；第一接觸部，連接所述彈性部的所述第一方向的一端且設置有所述第一觸點部；以及第二接觸部，連接所述彈性部的所述第一方向的另一端且設置有所述第二觸點部；且所述彈性部具有：第一抵接部，沿著與所述第一方向及所述探針的板厚方向交叉的第二方向延伸，並且構成所述彈性部的所述第一方向的一端及所述彈性部的所述第一方向的另一端的至少一者，所述第一抵接部於所述第一方向上與所述殼體的內表面抵接，而限制所述探針的向所述第一方向的移動。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的探針單 元，其中所述探針包括：彈性部，能夠沿著所述第一方向彈性變形；第一接觸部，連接所述彈性部的所述第一方向的一端且設置有所述第一觸點部；以及第二接觸部，連接所述彈性部的所述第一方向的另一端且設置有所述第二觸點部；且所述第一接觸部及所述第二接觸部的至少一者具有第二抵接部，所述第二抵接部沿著與所述第一方向及所述探針的板厚方向交叉的第二方向延伸，並且於所述第一方向上與所述殼體的內表面抵接，而限制所述探針的向所述第一方向的移動。
  6. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的探針單元，其中所述基底殼體具有殼體收容部，所述殼體收容部於能夠於所述第一方向上擺動的狀態下***述擺動構件，且經由所述第一方向而圍繞所述擺動構件。
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