TWI687365B - 物品搬送設備及檢查單元 - Google Patents

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Abstract

物品搬送設備具備將移載至搬送對象地點的檢查單元的位置對準於適當支撐位置之位置對準部，且在檢查單元具備有檢測已設置在保持部的被檢測部之位置的位置檢測裝置。將檢查單元對準於適當支撐位置，且依據保持部位於解除位置或解除移動位置的狀態中的位置檢測裝置的檢測資訊，量測保持部相對於適當支撐位置在水平方向上的偏移量。

Description

物品搬送設備及檢查單元 發明領域
本發明是有關於一種物品搬送設備及檢查單元。
發明背景
物品搬送設備的一個例子，所使用的是具備有保持搬送物的保持部、移動前述保持部的移動操作部、及為了搬送前述搬送物至搬送對象地點而控制前述移動操作部及前述保持部的作動之搬送控制部之設備。又，在這種物品搬送設備中，會使用檢查單元。這種物品搬送設備及檢查單元的以往的例子已記載在日本專利特開2005-170544號公報(專利文獻1)上。
專利文獻1的物品搬送設備是構成為可以使保持有物品的保持部移動至搬送用位置並將物品移載至移載對象地點。
又，在專利文獻1的物品搬送設備中，在相對於搬送用位置於正上方僅距離設定量的位置上設定有檢測用位置。在此物品搬送設備中，是在使保持有檢查單元的的保持部 移動至檢測用位置後，用配備於檢查單元的的檢測裝置檢測出已設置在檢查對象地點的被檢測部的水平方向的位置。並且，依據檢測裝置的檢測資訊，偏移量量測部量測搬送對象地點與位於檢測用位置的保持部在水平方向上的偏移量，並依據此偏移量量測部的量測結果，使位置更新部更新搬送用位置。
像這樣，在專利文獻1的物品搬送設備是構成為可以使保持部移動至檢測用位置，從該保持部所保持的檢查單元檢測出已設置在搬送對象地點上的被檢測部的位置，並量測搬送對象地點與保持部在水平方向上的偏移量。
然而，專利文獻1的物品搬送設備及檢查單元中，在搬送對象地點必須配備被檢測部。因此，在平時要在搬送對象地點上配備被檢測部是困難的情況下，當要以檢查單元量測偏移量時，作業者必須在搬送對象地點上設置被檢測部。又，在存在多數個搬送對象地點的情況下，作業者必須對多數個搬送對象地點的每一個設置被檢測部。因此，會使要量測在使保持部位於檢查用位置的狀態下之保持部相對於搬送對象地點的水平方向上的偏移量之作業的作業效率變差。
發明概要
於是，需要一種物品搬送設備及檢查單元，可以有效率地量測保持部相對於搬送對象地點在水平方向上的 偏移量。
物品搬送設備具備保持搬送物的保持部、使前述保持部沿著垂直方向及水平方向移動的移動操作部、為了將前述保持部所保持的前述搬送物搬送至搬送對象地點而控制前述移動操作部及前述保持部的作動之搬送控制部、在前述搬送物被移載至前述搬送對象地點時或移載至前述搬送對象地點後，將前述搬送物的位置對準到作為移載後的適當的支撐位置之適當支撐位置上的位置對準部、及將前述搬送物移載至前述搬送對象地點時量測前述保持部相對於前述適當支撐位置在水平方向上的偏移量的偏移量量測部。
前述保持部可以保持搬送作業對象之物品、並且可以取代前述搬送作業對象的物品而保持檢查單元，來作為前述搬送物。
在前述保持部設置有被檢測部。
在前述檢查單元具備有檢測出前述被檢測部的位置之位置檢測裝置。
前述搬送控制部實行檢查用搬送控制，該檢查用搬送控制是將保持在前述保持部的前述檢查單元移載至前述搬送對象地點，解除前述保持部對前述檢查單元的保持後，使前述保持部位在作為解除了前述檢查單元的保持之位置的解除位置、或作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動預先決定的量之位置的解除移動位置。
前述偏移量量測部依據在藉由前述位置對準部將前述 檢查單元對準於前述適當支撐位置並且使前述保持部位在前述解除位置或前述解除移動位置的狀態下的前述位置檢測裝置的檢測資訊，量測前述保持部的前述解除位置或前述解除移動位置相對於前述適當支撐位置在水平方向上的偏移量。
檢查單元具備被搬送裝置的保持部所保持的被保持部、及位在比前述被保持部更下方的單元本體部。
在前述單元本體部的底部具備有被卡合部，該被卡合部可於將前述單元本體藉由保持有前述被保持部的前述保持部的下降移動而移載至搬送對象地點時，從上方卡合於設置在該搬送對象地點上的卡合部。
前述被卡合部具備有被引導部分，該被引導部分於將前述單元本體部藉由前述保持部的下降移動而移載至前述搬送對象地點時，接觸前述卡合部並將前述單元本體部在水平方向上的位置引導至作為移載後的適當的支撐位置之適當支撐位置。
前述單元本體部具備有量測用資訊取得部，該量測用資訊取得部於使前述保持部位在作為解除了前述被保持部的保持的位置之解除位置、或作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動預先決定之量的位置之解除移動位置的狀態下，取得用於量測前述單元本體部與前述保持部的相對的位置關係的資訊。
藉由這些構成，可以有效率地量測保持部相對於搬送對象地點在水平方向上的偏移量。
本發明的進一步的特徴及優點，應可藉由參照圖式記載的以下的例示性且非限定性的實施形態的說明，而變得更為明確。
1‧‧‧天花板搬送車
2‧‧‧處理裝置
3‧‧‧支撐台(搬送對象地點)
5a‧‧‧容器本體部
5b‧‧‧單元本體部
6a‧‧‧容器凸緣部
6b‧‧‧單元凸緣部(被保持部)
7‧‧‧底面凹部(第2被卡合部、被卡合部)
7a‧‧‧容器底面凹部
7b‧‧‧單元底面凹部
8‧‧‧上表面凹部(第1被卡合部)
8a‧‧‧容器上表面凹部
8b‧‧‧單元上表面凹部
9‧‧‧定位構件(第2卡合部、卡合部)
10a‧‧‧搬送通訊部
10b‧‧‧單元通訊部
11a‧‧‧搬送控制部(位置更新部)
11b‧‧‧單元控制部(偏移量量測部)
13‧‧‧攝像裝置(位置檢測裝置)
14‧‧‧支撐檢測裝置
15‧‧‧傾斜檢測裝置
16‧‧‧檢測用孔
17‧‧‧嵌合部分
21‧‧‧行走軌道
22‧‧‧行走部
22a‧‧‧行走車輪
22b‧‧‧行走用馬達(行走驅動部、移動操作部)
23:本體部
24:支撐機構(保持部)
24a:把持爪(下方支撐具)
24b:把持用馬達
24c:按壓部(第1卡合部)
25:升降操作機構
25a:捲繞體
25b:捲取帶
25c:升降用馬達(升降驅動部、移動操作部)
26:滑動操作機構
26a:中繼部
26b:滑動用馬達(橫向驅動部、移動操作部)
27:旋轉操作機構
27a:旋轉部(保持部)
27b:旋轉用馬達
28:罩蓋體
29:移動操作部
31:目標板(被檢測部)
G:位置對準部
H:上位控制器
W:搬送物
Wa:容器(物品)
Wb:檢查單元
圖1是顯示天花板搬送車支撐有容器的狀態之物品搬送設備的側面圖。
圖2是顯示支撐台支撐有容器的狀態之物品搬送裝置的側面圖。
圖3是支撐有容器的天花板搬送車的側面圖。
圖4是顯示支撐台中的容器之適當支撐位置的平面圖。
圖5是支撐有檢查單元的天花板搬送車的側面圖。
圖6是顯示支撐台中的檢查單元之適當支撐位置的平面圖。
圖7是支撐機構及檢查單元的重要部位放大圖。
圖8為控制方塊圖。
圖9是容器接收處理的流程圖。
圖10是容器移交處理的流程圖。
圖11是學習處理的流程圖。
圖12是顯示移載前的檢查單元與支撐機構之圖。
圖13是顯示移載後的檢查單元與支撐機構之圖。
圖14是顯示使支撐機構移動至解除移動位置的狀態之圖。
用以實施發明之形態
以下，依據圖式來說明物品搬送設備的實施形態。
如圖1及圖2所示，物品搬送設備具備有作為在天花板附近沿著行走路徑行走而搬送容器Wa的物品搬送裝置之天花板搬送車1、對收容在容器Wa的基板進行處理的處理裝置2、及在相鄰於該處理裝置2的狀態下設置在地面上的支撐台3。
再者，在本實施形態中，將收容半導體基板的FOUP(Front Opening Unified Pod)作為容器Wa(物品的一個例子)。又，將天花板搬送車1行走的方向稱為行走方向，將以平面視相對該行走方向垂直之方向稱為橫向方向來進行說明。
[容器]
如圖1所示，天花板搬送車1的支撐機構24可支撐搬送作業對象的容器Wa來作為搬送物W。如圖3所示，容器Wa具備有配備在其上端部而被天花板搬送車1的支撐機構24支撐的容器凸緣部6a、及位在比容器凸緣部6a更下方而收容複數片半導體基板的容器本體部5a。又，容器Wa具備有將形成在容器本體部5a前面的基板存取用之基板出入口關閉之裝卸自如的蓋体(圖未示)。天花板搬送車1被構成為可以在懸吊支撐容器凸緣部6a的狀態下搬送容器Wa。
如圖3及圖4所示，容器本體部5a的底面(容器Wa的底面)上設置有朝上方凹入的複數個(本例有3個)容器底 面凹部7a。複數個容器底面凹部7a形成為溝狀。複數個容器底面凹部7a是形成為使各自的長度方向以底面基準位置作為中心而沿著放射狀延伸。又，複數個容器底面凹部7a各自形成為愈上方愈細小的頭細形狀，且將容器底面凹部7a的內側面形成為傾斜面。
如圖1所示，容器底面凹部7a是設置在將容器Wa移載至支撐台3時，使在支撐台3上所具備的定位構件9從下方卡合的位置上。並且，使支撐容器凸緣部6a的支撐機構24下降移動而將容器Wa移載至支撐台3時，容器Wa相對於支撐台3的適當支撐位置在水平方向上偏移的情況下，是使定位構件9的上端部接觸容器底面凹部7a的內側面來使容器Wa在水平方向上移動。藉此，變得可將容器Wa在水平方向上的位置修正至支撐台3的適當支撐位置上。
如圖3所示，容器凸緣部6a的上表面(容器Wa的上表面)，設置有朝下方凹入的容器上表面凹部8a。容器上表面凹部8a是形成為圓錐形狀。容器上表面凹部8a是形成為愈下方愈細小的頭細形狀，且將容器上表面凹部8a的內側面形成為傾斜面。
容器上表面凹部8a是構成為在如圖2所示地使支撐機構24下降移動時，使支撐機構24的按壓部24c從上方卡合。並且，當天花板搬送車1使支撐機構24下降移動時，若支撐機構24相對於載置支撐在支撐台3的容器Wa在水平方向上偏移時，按壓部24c的外側面會接觸於容器上表面凹部8a的內側面而使支撐機構24在水平方向上移動。藉此，將支撐 機構24在水平方向上的位置引導至相對於容器Wa適當的位置上。
[檢查單元]
如圖5所示，天花板搬送車1的支撐機構24也可以支撐檢查單元Wb作為搬送物W，而取代搬送作業對象的容器Wa。接著，對於此檢查單元Wb進行說明。
檢查單元Wb具備有配置在檢查單元Wb的上端部作為被天花板搬送車1的支撐機構24支撐的被保持部之單元凸緣部6b、及位在單元凸緣部6b下方以支撐檢查用裝置的單元本體部5b。檢查用裝置設置有攝像裝置13、支撐檢測裝置14、及傾斜檢測裝置15等。天花板搬送車1是構成為可以在懸吊支撐有單元凸緣部6b的狀態下搬送檢查單元Wb。
如圖5及圖6所示，單元本體部5b的底面(檢查單元Wb的底面)上設置有朝上方凹入的複數個(與容器底面凹部7a數量相同，在本例為3個)單元底面凹部7b。複數個單元底面凹部7b形成為溝狀。複數個單元底面凹部7b是形成為各自的長度方向以底面基準位置為中心沿著放射狀延伸。又，複數個單元底面凹部7b的每一個被形成為愈上方愈細小的頭細形狀，且將單元底面凹部7b的內側面形成為傾斜面。
單元底面凹部7b是設置在支撐有單元凸緣部6b的支撐機構24下降移動而檢查單元Wb被移載至支撐台3時，可使配備在支撐台3的定位構件9從下方卡合的位置上。並且，檢查單元Wb被移載至支撐台3時，檢查單元Wb相對於支撐 台3的適當支撐位置在水平方向上偏移時，定位構件9的上端部會接觸單元底面凹部7b的內側面而使檢查單元Wb在水平方向上移動。藉此，將檢查單元Wb在水平方向上的位置修正至適當支撐位置上。
如圖5所示，單元凸緣部6b的上表面(檢查單元Wb的上表面)設置有朝下方凹入的單元上表面凹部8b。單元上表面凹部8b是形成為圓錐形狀。單元上表面凹部8b是形成為愈下方愈細小的頭細形狀，且將單元上表面凹部8b的內側面形成為傾斜面。
單元上表面凹部8b是構成為可在檢查單元Wb已載置於支撐台3的狀態下，且天花板搬送車1使支撐機構24下降移動時，使支撐機構24的按壓部24c卡合。並且，天花板搬送車1使支撐機構24下降移動時，在支撐機構24相對於載置支撐在支撐台3的檢查單元Wb在水平方向上偏移的情況下，是使按壓部24c的外側面接觸單元上表面凹部8b的內側面而使支撐機構24在水平方向上移動。藉此，將支撐機構24在水平方向上的位置引導至相對於檢查單元Wb的適當位置上。
像這樣，由天花板搬送車1所搬送的搬送物W(容器Wa及檢查單元Wb)的上部，設置有作為第1被卡合部的上表面凹部8(容器上表面凹部8a及單元上表面凹部8b)。又，搬送物W的底部設置有作為第2被卡合部的底面凹部7(容器底面凹部7a及單元底面凹部7b)。
並且，按壓部24c相當於從上表面凹部8上方卡合的第1 卡合部，而按壓部24c中的接觸容器上表面凹部8a的內側面的部分相當於第1引導部分。
又，定位構件9相當於從底面凹部7下方卡合的第2卡合部，而定位構件9中的接觸容器底面凹部7a的內側面的部分相當於第2引導部分。
位置對準部G是具備有複數個(與容器底面凹部7a及單元底面凹部7b相同數量，本例中為3個)定位構件9而構成。移載至支撐台3的搬送物W相對於適當支撐位置在水平方向上偏移的情況下，是藉由位置對準部G，以在將搬送物W移載至支撐台3時將搬送物W的位置對準至適當支撐位置。
定位構件9相當於在作為搬送對象地點之支撐台3上所具備的卡合部，單元底面凹部7b相當於使在支撐台3上所具備的定位構件9從下方卡合的被卡合部。又，在單元底面凹部7b中的接觸於定位構件9的上端部的部分相當於被引導部分。
容器Wa與檢查單元Wb是形成為在位於支撐台3的適當支撐位置的狀態下，使容器凸緣部6a與單元凸緣部6b位在相同高度。
針對檢查單元Wb進一步說明，如圖5所示，檢查單元Wb具備有撮像裝置13、支撐檢測裝置14、及傾斜檢測裝置15。撮像裝置13會拍攝配備在天花板搬送車1的支撐機構24的下端部的目標板31(參照圖7)。支撐檢測裝置14會檢測檢查單元Wb是否受支撐機構24的把持爪24a支撐著。傾 斜檢測裝置15檢測檢查單元Wb相對於水平方向的傾斜。又，檢查單元Wb具備有用於在與天花板搬送車1之間藉由無線通訊而傳送接收各種資訊的單元通訊部10b、及控制撮像裝置13或單元通訊部10b的作動的單元控制部11b(參照圖8)。
如圖7所示，在單元凸緣部6b上所形成的單元上表面凹部8b上形成有嵌合按壓部24c的嵌合部分17、及在上下方向上貫通的檢測用孔16。嵌合部分17形成為使頂點朝向下方的圓錐形狀。檢測用孔16是形成為位於嵌合部分17的中央處。如此，藉由嵌合部分17及檢測用孔16而形成有漏斗狀的孔。
撮像裝置13是設置在單元上表面凹部8b的正下方。更詳細地說，撮像裝置13是設置在形成於單元上表面凹部8b的中央的檢測用孔16的正下方。並且，將撮像裝置13以拍攝方向朝向正上方的姿勢設置成可使位於其正上方的檢測用孔16整體進入拍攝範圍內。因此，在從撮像裝置13鉛直向上看時為目標板31存在於進入檢測用孔16內的位置之狀態下，形成為可以用撮像裝置13拍攝目標板31。像這樣，藉由在支撐機構24的按壓部24c上配備目標板31，在單元凸緣部6b上形成檢測用孔16，則可以藉由位在單元上表面凹部8b正下方的撮像裝置13拍攝位在單元上表面凹部8b正上方的目標板31。
再者，撮像裝置13相當於檢測目標板31的位置之位置檢測裝置。
如圖5所示，支撐檢測裝置14是在用支撐機構24 的把持爪24a支撐檢查單元Wb的狀態下，以位在該把持爪24a的正下方的方式設置在單元本體部5b上。此支撐檢測裝置14是由可檢測從該支撐檢測裝置14到支撐機構24的把持爪24a為止之距離的距離感測器所構成。
傾斜檢測裝置15是由檢測檢查單元Wb的相對於水平方向的傾斜之角度感測器所構成。
[天花板搬送車]
如圖3及圖5所示，天花板搬送車1具備有行走部22及本體部23。行走部22是構成為可沿著設定在支撐台3上方的行走路徑行走自如。行走部22可沿著設置在天花板附近的行走軌道21行走自如。本體部23是受到行走部22懸吊支撐而位在行走軌道21的下方，並且，讓支撐搬送物W的支撐機構24沿著橫向方向及上下方向移動。
行走部22具備有在沿著行走路徑而設置的行走軌道21上轉動的行走車輪22a、及旋轉驅動該行走車輪22a的行走用馬達22b。行走部22是構成為藉由利用行走用馬達22b的驅動來旋轉驅動行走車輪22a，以沿著行走軌道21(行走路徑)行走。
本體部23具備有支撐機構24、升降操作機構25、旋轉操作機構27、及罩蓋體28。支撐機構24發揮作為懸吊支撐搬送物W的支撐部之功能。升降操作機構25使支撐機構24相對於行走部22升降移動。滑動操作機構26使支撐機構24相對於行走部22在橫向方向上滑動移動。旋轉操作機構27使支撐機構24相對於行走部22以繞縱軸心的方式旋轉。 罩蓋體28會覆蓋藉由位在上升設定位置(圖1等所示之位置)上的支撐機構24所支撐的搬送物W的上方側及行走方向兩側(前側及後側)。再者，支撐機構24相當於保持搬送物W的保持部。
滑動操作機構26具備有相對於行走部22沿著橫向方向滑動移動自如地被支撐的中繼部26a、及讓中繼部26a沿著橫向方向滑動移動的滑動用馬達26b(參照圖8)。滑動操作機構26是構成為藉由以滑動用馬達26b的驅動來使中繼部26a沿著橫向方向滑動移動，以使支撐機構24及升降操作機構25沿著橫向方向移動。藉由配備這樣的滑動操作機構26，即使由於例如行走軌道21的設置誤差或天花板搬送車1的長年劣化而造成的歪斜等，而使水平設定位置相對於行走用位置在橫向方向上僅稍微偏移，仍然可以從行走用位置將支撐機構24在水平設定位置上微調節。關於行走用位置及水平設定位置，將於之後敘述。
旋轉操作機構27具備有相對於中繼部26a以繞縱軸心的方式旋轉自如地被支撐著的旋轉部27a、及使旋轉部27a以繞縱軸心的方式旋轉的旋轉用馬達27b(參照圖8)。旋轉操作機構27是構成為可藉由以旋轉用馬達27b的驅動來使旋轉部27a旋轉，以使支撐機構24及升降操作機構25沿著縱軸心周圍旋轉。
升降操作機構25具備有被旋轉部27a支撐的捲繞體25a、被捲繞在捲繞體25a上並在前端部連結支撐有支撐機構24的捲取帶25b、及使捲繞體25a旋轉驅動的升降用馬 達25c(參照圖8)。升降操作機構25是構成為藉由升降用馬達25c使捲繞體25a朝正向或逆向旋轉驅動，以藉由對捲取帶25b進行捲取操作及陸續放出操作，而使支撐機構24及受其支撐的搬送物W升降移動。
支撐機構24具備有一對把持爪24a、及使一對把持爪24a的每一個沿著水平方向互相接近移動及分開移動的把持用馬達24b(參照圖8)。並且，支撐機構24是藉由以一對把持用馬達24b使一對把持爪24a相互接近移動，以實現一對把持爪24a支撐搬送物W的凸緣部6的支撐狀態(參照圖1)。另一方面，支撐機構24藉由以一對把持用馬達24b使一對把持爪24a相互分開移動，以實現解除一對把持爪24a對搬送物W的凸緣部6的支撐之支撐解除狀態(參照圖2)。像這樣，支撐機構24是構成為藉由驅動控制一對把持用馬達24b，而在支撐狀態與支撐解除狀態之間切換自如。
一對把持爪24a的每一個以側面視之均形成為L字形。以側面視之為L字形的把持爪24a是用其下端部從下方支撐凸緣部6。一對把持爪24a相當於從下方支撐搬送物W的下方支撐具。像這樣，支撐機構24是構成為升降自如地支撐在行走部22上，並且懸吊支撐搬送物W。
又，如圖2所示，支撐機構24具備有按壓部24c，該按壓部24c可在使支撐機構24下降移動時，從上方嵌合位於支撐台3上的搬送物W的上表面凹部8。
按壓部24c是形成為朝下方膨出的圓錐形狀。此按壓部24c的下端部具備有作為被檢測部的目標板31。因此，在已 用支撐機構24支撐檢查單元Wb的狀態下，會形成為按壓部24c嵌合於檢查單元Wb的單元上表面凹部8b，且使該已嵌合的按壓部24c的目標板31在平面視角下位在檢測用孔16的中心。
如同上述，其是構成為藉由行走部22的驅動使支撐機構24沿著行走方向移動、藉由升降操作機構25的驅動使支撐機構24沿著鉛直方向移動、藉由滑動操作機構26的驅動使支撐機構24在橫向方向上移動。
亦即，藉由這些行走部22、升降操作機構25、及滑動操作機構26，構成使支撐機構24沿著鉛直方向及水平方向移動的移動操作部29。此移動操作部29是配備於天花板搬送車1上。
再者，行走用馬達22b相當於使行走部22沿著行走路徑行走的行走驅動部。升降用馬達25c相當於相對於行走部22使支撐機構24升降的升降驅動部。滑動用馬達26b相當於相對於行走部22使中繼部26a沿著橫向方向移動的橫向驅動部。
如圖5所示，天花板搬送車1具備有用於在與檢查單元Wb的單元通訊部10b之間藉由無線通訊傳送接收各種資訊的搬送通訊部10a、與控制移動操作部29、支撐機構24及搬送通訊部10a的作動的搬送控制部11a(參照圖8)。
對於複數個支撐台3的每一個，事先設定有行走設定位置、旋轉設定位置、橫設定位置、及下降設定位置。行走設定位置是行走部22停止的位置。旋轉設定位置是規 定支撐機構24相對於行走部22繞縱軸心的旋轉位置之位置。橫設定位置是規定支撐機構24相對於行走部22在橫向方向上的位置之位置。下降設定位置是規定支撐機構24相對於行走部22在上下方向上的位置之位置。搬送控制部11a上儲存有顯示這些行走設定位置、旋轉設定位置、橫設定位置、及下降設定位置的每一個的資訊。
並且，藉由行走設定位置及橫設定位置所規定的支撐機構24的位置相當於作為將搬送物W移載至支撐台3前的支撐機構24的基準位置之水平設定位置。
又，將行走部22行走時的支撐機構24的繞縱軸心的位置設為旋轉基準位置，將行走部22行走時的支撐機構24在橫向方向上的位置設為橫基準位置，將行走部22行走時的支撐機構24在上下方向上的位置設為上升設定位置。
並且，將支撐機構24以繞縱軸心的方式位在旋轉基準位置、且在橫向方向上位在橫基準位置、並且在上下方向上位在上升設定位置之位置設為支撐機構24的行走用位置。在支撐機構24位在此行走用位置上的狀態下，使行走部22行走。
搬送控制部11a是構成為根據來自設置在地上側的上位控制器H的搬送指令，控制用以實行容器接收處理及容器移交處理之設置在天花板搬送車1的馬達類的作動。容器接收處理是從搬送起點的支撐台3接收容器Wa之處理。容器移交處理是將容器Wa移交到搬送目的地的支撐台3之處理。天花板搬送車1會實行容器接收處理而從搬送起點的 支撐台3接收物品、並實行容器移交處理以將物品移交至搬送目的地的支撐台3，藉此將容器Wa從搬送起點的支撐台3搬送至搬送目的地的支撐台3。
[容器接收處理]
依據圖9所示之流程圖，說明容器接收處理。
在容器接收處理中，是將行走控制、下降準備控制、下降控制、爪接近控制、上升控制、及基準移動控制依照記載的順序實行。
容器接收處理的行走控制是在未以支撐機構24支撐搬送物W的狀態下實行。在此行走控制中，搬送控制部11a會控制用以使行走部22行走至對應搬送起點的支撐台3的行走設定位置的行走用馬達22b的作動。
在下降準備控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24滑動移動至對應搬送起點的支撐台3的橫設定位置的滑動用馬達26b的作動。之後，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24旋轉至對應搬送起點的支撐台3的旋轉設定位置的旋轉用馬達27b的作動。像這樣，藉由搬送控制部11a在行走控制之後實行下降準備控制，使支撐機構24位在對應搬送起點的支撐台3的下降準備位置上。
在下降控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24以搬送用下降速度下降至對應搬送起點的支撐台3的下降設定位置的升降用馬達25c的作動。在爪接近控制中，搬送控制部11a會控制用以將支撐機構24從支撐解除狀態切換為支撐狀態的把持用馬達24b的作動。
像這樣，藉由搬送控制部11a實行下降控制與爪接近控制，以將把持爪24a的前端部***被支撐台3所支撐的容器Wa之容器本體部5a與容器凸緣部6a之間。
在上升控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24上升至上升設定位置的升降用馬達25c的作動。像這樣，藉由搬送控制部11a實行上升控制，而在使支撐機構24從下降設定位置上升到上升設定位置的途中，使容器Wa被把持爪24a拾取而受支撐機構24支撐。
在基準移動控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24旋轉至旋轉基準位置的旋轉用馬達27b的作動。之後，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24滑動移動至橫基準位置的滑動用馬達26b的作動。像這樣，藉由搬送控制部11a實行基準移動控制，使支撐有容器Wa的支撐機構24位於行走用位置。
[容器移交處理]
依據圖10所示之流程圖，說明容器移交處理。
在容器移交處理中，是將行走控制、下降準備控制、下降控制、爪分開控制、上升控制、及基準移動控制依照記載的順序實行。再者，關於在容器移交處理中的行走控制、下降準備控制、下降控制、上升控制、及基準移動控制，其控制內容與在容器接收處理中的對應之各控制是同樣的。因此，在此省略其等的說明。
在容器移交處理中，藉由在行走控制之後實行下降準備控制，使支撐有容器Wa的支撐機構24位於對應搬送 目的地的支撐台3的下降準備位置。並且，藉由搬送控制部11a實行下降控制，以在支撐機構24下降至下降設定位置的途中將容器Wa移載至支撐台3。在此下降控制中，是藉由使支撐機構24進一步下降並下降至下降設定位置為止，使把持爪24a相對於容器Wa的容器凸緣部6a朝下方分開，而將支撐機構24對容器Wa的支撐解除。
在爪分開控制中，搬送控制部11a會控制用以將支撐機構24從支撐狀態切換成支撐解除狀態的把持用馬達24b的作動。
並且，藉由搬送控制部11a在上升控制之後實行基準移動控制，以使未支撐有容器Wa的支撐機構24位在行走用位置。
[學習處理]
搬送控制部11a是構成為除了容器接收處理及容器移交處理外，還可依據來自上位控制器H的檢查指令而實行學習處理。此學習處理是將檢查單元Wb搬送至學習對象的支撐台3，學習支撐機構24相對於學習對象之支撐台3的適當支撐位置在水平方向上的偏移量之處理。並且，藉由將此學習處理對複數個支撐台3各自進行，可以個別地學習對複數個支撐台3的支撐機構24在水平方向上的偏移量。
依據圖11所示之流程圖，說明學習處理。
在學習處理中，是將行走控制、下降準備控制、單元下降控制、爪分開控制、分開移動控制、接近下降控制、爪接近控制、上升控制、及基準移動控制依照記載的順序 實行。再者，關於在學習處理中的行走控制、下降準備控制、爪分開控制、爪接近控制、上升控制、及基準移動控制，其控制內容與在容器接收處理或容器移交處理中的對應之各控制是同樣的。因此，在此省略其等的說明。
學習處理是藉由與上述之容器接收處理同樣的處理，在以支撐機構24支撐有檢查單元Wb的狀態下實行。在學習處理中，藉由搬送控制部11a在行走控制之後實行下降準備控制，使支撐機構24位在對應搬送目的地的支撐台3的下降準備位置。
在單元下降控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24以單元下降速度下降，並於當在此支撐機構24的下降中從檢查單元Wb接收到支撐解除資訊時，即停止支撐機構24的下降的升降用馬達25c的作動。再者，單元下降速度是設定在比容器接收處理的下降控制或在後述之接近下降控制中作為使支撐機構24下降時的速度的搬送用下降速度更慢的速度。
針對此單元下降控制進一步說明，當藉由單元下降控制使支撐機構24以單元下降速度下降時，在該下降途中，受支撐機構24支撐的檢查單元Wb會被移載至支撐台3。並且，當藉由單元下降控制以單元下降速度使支撐機構24進一步下降時，則會使支撐單元凸緣部6b的把持爪24a相對於單元凸緣部6b朝下方移動而朝下方從單元凸緣部6b分開。如此進行以將支撐機構24對檢查單元Wb的支撐解除。
像這樣，當在把持爪24a從單元凸緣部6b朝下方分開為 止使支撐機構24下降時，即可如後述地從檢查單元Wb向天花板搬送車1傳送支撐解除資訊。搬送控制部11a會依據由檢查單元Wb所傳送的支撐解除資訊，結束單元下降控制。再者，此單元下降控制結束時支撐機構24停止的位置是已解除檢查單元Wb的保持的位置之解除位置。
在單元下降控制中，搬送控制部11a會量測該單元下降控制中的支撐機構24的下降量，即從上升設定位置到解除位置為止的支撐機構24的下降量。在物品搬送設備中，以圖形或關係式的形態預先儲存有升降用馬達25c的作動量(旋轉角度)與支撐機構24的下降量之關係。例如，搬送控制部11a會量測升降用馬達25c的作動量、與依據上述的圖形或關係式，因應升降用馬達25c的作動量之支撐機構24的下降量。
在分開移動控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24移動至設定在比解除位置高僅設定量的位置之分開位置上的升降用馬達25c的作動。之後，搬送控制部11a會向檢查單元Wb傳送分開完成資訊。此分開位置相當於下列的解除移動位置：相對於解除位置在事先決定的方向(在本例為鉛直方向朝上)上僅移動事先決定之量(在本例為上述的設定量)之位置。分開位置是設定在使按壓部24c的下端位於比位於支撐台3的適當支撐位置的檢查單元Wb中的上表面凹部8的上端更上方的高度上。又，分開位置是設定在使支撐機構24的下端(支撐解除姿勢的把持爪24a的下端)位於比如上述地定位的檢查單元Wb的上端(單元凸緣 部6b的上端)更上方的高度上。藉由使支撐機構24移動至已設定在這種高度的分開位置上，使檢查單元Wb與支撐機構24成為不互相干渉的狀態。
然而，藉由單元下降控制將檢查單元Wb移載至支撐台3時，有因支撐機構24的水平方向的偏移為起因，而如圖12所示，使檢查單元Wb相對於支撐台3的適當支撐位置在水平方向上偏移之情形。在所述狀況下，如圖13所示，可藉由位置對準部G的作用，將檢查單元Wb在水平方向上的位置修正至支撐台3的適當支撐位置。這時，隨著檢查單元Wb的位置修正，暫時性地，支撐機構24也與檢查單元Wb一體地在水平方向上移動。之後，如圖14所示，藉由以分開移動控制使支撐機構24移動至分開位置，使支撐機構24在水平方向上的位置回復至下降準備位置的正下方的位置(解除位置)。在此狀態下，實行偏移量量測處理。關於偏移量量測處理，將在之後敘述。
在接近下降控制中，搬送控制部11a會控制用以使支撐機構24以搬送用下降速度下降至解除位置的升降用馬達25c的作動。再者，搬送控制部11a在實行接近下降控制時，有支撐機構24相對於位於支撐台3的適當支撐位置的檢查單元Wb在水平方向上偏移之情形。在這種狀況下，可藉由使按壓部24c卡合在檢查單元Wb的單元凸緣部6b中的上表面凹部8，以將在水平方向中的支撐機構24的位置修正至相對於檢查單元Wb適當的位置上。
並且，可藉由搬送控制部11a實行下降控制及爪接近控 制，以將把持爪24a的前端部***被支撐台3所支撐的檢查單元Wb之單元本體部5b與單元凸緣部6b之間。
並且，可藉由搬送控制部11a在上升控制之後實行基準移動控制，使支撐檢查單元Wb的支撐機構24位於行走用位置上。
[偏移量量測處理]
單元控制部11b是構成為當從天花板搬送車1接收到顯示已因分開移動控制的完成而使支撐機構24移動至分開位置的分開完成資訊時，即實行偏移量量測處理。單元控制部11b是構成為當接收分開完成資訊時，即控制用以藉由撮像裝置13拍攝目標板31的撮像裝置13的作動。又，單元控制部11b是構成為依據撮像裝置13所拍攝到的撮像資訊、及預先儲存的主圖像資訊，來量測偏移量。再者，主圖像資訊是包含在支撐機構24相對於檢查單元Wb為適當的位置及姿勢的狀態下，以撮像裝置13所拍攝的目標板31的圖像之資訊。此主圖像資訊會預先儲存在單元控制部11b中。
偏移量是作為相對於主圖像資訊中的目標板31之位置的撮像裝置13之撮像資訊中的目標板31之位置在水平方向的偏移幅度而被量測。這相當於相對於為在適當支撐位置的檢查單元Wb的基準位置之檢測用孔16的中心位置，在分開位置的支撐機構24的目標板31的中心點的水平方向的偏移幅度。又，量測偏移量時，是使從檢測用孔16的中心位置朝向目標板31的中心點的方向對齊而量測。如此進行，單元控制部11b會量測偏移量，作為包含方向成分 及偏移幅度成分兩者的向量。
此外，單元控制部11b是構成為控制單元通訊部10b的作動，用以立即向天花板搬送車1傳送顯示該偏移量的偏移量資訊。單元控制部11b是構成為除了偏移量資訊外，也控制單元通訊部10b的作動而用以向天花板搬送車1傳送顯示支撐機構24的下降量之下降量資訊。
單元控制部11b是構成為依據當檢查單元Wb藉由位置對準部G對準適當支撐位置，且支撐機構24位於解除移動位置的狀態下的撮像裝置13的撮像資訊，來量測將檢查單元Wb移載至支撐台3時的相對於適當支撐位置之支撐機構24在水平方向上的偏移量。於單元控制部11b上具備有作為偏移量量測部的功能。
再者，撮像裝置13相當於在支撐機構24已位於分開位置(解除移動位置)的狀態下，取得用於量測單元本體部5b與支撐機構24的相對的位置關係之資訊的量測用資訊取得部。
[支撐解除檢知處理]
單元控制部11b預先儲存有基準距離資訊，該基準距離資訊顯示在藉由天花板搬送車1的支撐機構24支撐檢查單元Wb的狀態下，從支撐檢測裝置14到支撐機構24的把持爪24a為止的距離。單元控制部11b在當藉由支撐檢測裝置14檢測出比基準距離資訊顯示之距離還短了設定值以上之距離時，則判斷為以支撐機構24所形成的檢查單元Wb的支撐已被解除。並且，單元控制部11b是構成為控制單元通訊部 10b的作動，用以立即向天花板搬送車1傳送顯示支撐已解除的支撐解除資訊。
[傾斜檢知處理]
在單元控制部11b上預先儲存有下列資訊：將檢查單元Wb被支撐在支撐台3的適當支撐位置的姿勢中的檢查單元Wb的相對於水平方向之傾斜作為基準角度，而顯示此基準角度的基準角度資訊。單元控制部11b在當以傾斜檢測裝置15檢測出相較於基準角度更傾斜了設定值以上的角度時，即判斷為檢查單元Wb已形成異常的傾斜。並且，單元控制部11b是構成為控制單元通訊部10b的作動，用以立即向天花板搬送車1傳送顯示檢查單元Wb已形成異常的傾斜的傾斜資訊。
[更新處理]
搬送控制部11a是構成為若接收來自檢查單元Wb的偏移量資訊及下降量資訊時，即實行更新處理。再者，圖11中雖然將在學習處理中實行更新處理之情形的例子作為一個例子而顯示，但並不受限於此種構成，在學習處理已完成後實行更新處理亦可。在此更新處理中，搬送控制部11a是依據偏移量資訊而更新行走停止位置、水平停止位置、及角度。又，搬送控制部11a在更新處理中，是依據下降量資訊而更新下降停止位置。亦即，本實施形態的搬送控制部11a是依據以偏移量量測部所量測到的支撐機構24在水平方向上的偏移量而更新水平設定位置，並且依據在檢查用搬送控制中的支撐機構24的下降量而更新下降設定位置。 搬送控制部11a上配備有作為位置更新部的功能。
又，搬送控制部11a若在學習處理中(單元下降控制中)接收到來自檢查單元Wb來的傾斜資訊時，即實行緊急停止天花板搬送車1並中斷學習處理的緊急停止處理。像這樣，搬送控制部11a是構成為依據傾斜檢測裝置15的檢測資訊，當在學習處理的實行中藉由傾斜檢測裝置15檢測到預先設定的設定值以上的傾斜時，即中斷學習處理。亦即，在學習處理的實行中，當檢測到預先設定的設定值以上的傾斜時，即中止通常會在其後實行的偏移量量測處理及更新處理。在這種情況下，也可做成之後於實行上升控制及基準移動控制，以使支撐檢查單元Wb的支撐機構24位於行走用位置後，才輸出錯誤資訊。
再者，在學習處理中的從行走控制到分開移動控制為止的控制相當於檢查用搬送控制，該檢查用搬送控制是將保持在支撐機構24的檢查單元Wb移載至支撐台3而將由支撐機構24所形成之對檢查單元Wb的保持解除後，將支撐機構24定位在作為已解除檢查單元Wb的保持之位置的解除位置，或作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動了預先決定的量之位置的解除移動位置。在此檢查用搬送控制中，在已使支撐機構24移動至水平設定位置的狀態下使支撐機構24下降，而在此支撐機構24的下降中藉由支撐檢測裝置14檢測出檢查單元Wb沒有被把持爪24a支撐的狀態時，即停止支撐機構24的下降，而將檢查單元Wb移載至支撐台3，之後，使支撐機構24位於解除移動位置 上。
又，在容器移交處理中的從行走控制到爪分開控制為止的控制相當於物品用搬送控制，該物品用搬送控制是已使支撐機構24停止在作為將容器Wa移載至支撐台3前的支撐機構24的基準位置之水平設定位置上之後，使支撐機構24下降以將容器Wa移載至支撐台3。在此物品用搬送控制中，是控制移動操作部29之作動，用以在使支撐機構24停止在水平設定位置之後，以已使支撐機構24移動至水平設定位置的狀態來使支撐機構24下降至下降設定位置，藉此完成容器Wa往支撐台3的搬送。
像這樣，在本實施形態的物品搬送設備中，是在使檢查單元Wb位在支撐台3的適當支撐位置的狀態下，藉由設置在該檢查單元Wb的撮像裝置13檢測位於解除移動位置的支撐機構24上所設置的目標板31的位置。並且，構成為藉由單元控制部11b，量測支撐機構24相對於支撐台3的適當支撐位置在水平方向上的偏移量。藉由如此進行而量測偏移量，變得不需要在支撐台3配備目標板31，且因為作業者不須在支撐台3上設置目標板31，故可以減輕作業者的負擔。據此，可以有效率地量測支撐機構24相對於支撐台3在水平方向上的偏移量。
並且，因為依據所量測到的支撐機構24在水平方向上的偏移量來更新水平設定位置，所以在其後的物品用搬送控制中，要將容器Wa移載至支撐台3的水平方向的適當位置變得較容易。即使在例如由於物品搬送設備的長期 劣化等而使支撐機構24相對於適當支撐位置在水平方向上的位置偏移的情況下，仍然可以藉由例如定期地實行學習處理，而早期地修正該偏移。據此，容易使物品搬送設備歷經長時間而維持在適當的狀態。水平設定位置正因為是依據在沒有逾越到定位構件9上的情形下適當地就位的檢查單元Wb的量測資料而被更新，所以可以避免進行錯誤的位置更新之類的事態，而可以提高水平設定位置的位置精度。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，是做成在物品搬送裝置上具備滑動操作機構26(中繼部26a及橫向驅動部)，以藉由行走部22的行走及滑動操作機構26的滑動移動而使支撐機構24移動至水平設定位置。然而，並不受限於該種構成，亦可做成將水平設定位置設定在以平面視之為在行走部22的移動路徑上，而僅利用行走部22的行走使支撐機構24移動至水平設定位置。
(2)在上述實施形態中，雖然使搬送對象地點位在行走軌道21的正下方，但是使搬送對象地點設置成相對於行走軌道21以平面視之位在橫側邊亦可。亦即，在上述實施形態中，是藉由用以在水平設定位置相對於行走用位置在橫向方向上僅稍微偏移的情況下將支撐機構24朝橫向方向微調節之滑動用馬達26b，來使中繼部26a朝橫向方向移動。然而，並不受限於該種構成，亦可做成藉由用以使支撐機構24從行走用位置移動到相對於該行走用位置積極 地朝橫向方向錯開而設定的水平設定位置之滑動用馬達26b，來使中繼部26a朝橫向方向移動。
(3)在上述實施形態中，是將被檢測部配備在支撐機構24的第1卡合部上，且在檢查單元Wb的第1被卡合部的正下方配備撮像裝置13，並且在第1被卡合部形成有檢測用孔16而可以藉由撮像裝置13拍攝被檢測部。然而，並不受限於該種構成，亦可做成將被檢測部配備在與支撐機構24中的第1被卡合部為在水平方向的不同地點上，並在以支撐機構24支撐檢查單元Wb的狀態下，於被檢測部的正下方配備撮像裝置13。如此進行，亦可做成即使在第1被卡合部上未形成檢測用孔16仍然可以藉由撮像裝置13拍攝被檢測部。
(4)在上述實施形態中，雖然是藉由攝像裝置13構成位置檢測裝置，但是以例如距離感測器或光電感測器等其他檢測裝置構成位置檢測裝置亦可。以例如距離感測器構成位置檢測裝置時，是在使被檢測部的檢測面朝行走方向或橫向方向傾斜的狀態下設置，以做成藉由使距離感測器相對於被檢測部在水平方向上偏移以藉由距離感測器使所檢測的到被檢測部的檢測面的距離不同。如此進行，而使偏移量量測部依據藉由距離感測器所檢測出的到被檢測部的距離來量測偏移量亦可。又，藉由光電感測器構成位置檢測裝置時，是做成使複數個光電感測器排列設置在行走方向或橫向方向上，並藉由複數個光電感測器使檢測被檢測部的組合不同。如此進行，而使偏移量量測部依據 藉由複數個光電感測器所檢測出的檢測資訊來量測偏移量亦可。
(5)在上述實施形態中，是在支撐機構24位於解除移動位置的狀態下，藉由位置檢測裝置檢測出被檢測部的位置。然而，並不受限於該種構成，亦可做成在未設置按壓部24c的情況下或分開位置的把持爪24a對於適當支撐位置的檢查單元Wb無接觸之虞的情況下，在使支撐機構24位於解除位置的狀態下，藉由位置檢測裝置檢測被檢測部的位置。亦即，將作為偏移量量測部的搬送控制部11a構成為依據當檢查單元Wb藉由位置對準部G對準適當支撐位置，且支撐機構24位於解除位置的狀態中的撮像裝置13的撮像資訊，來量測將檢查單元Wb移載至支撐台3時的支撐機構24相對於適當支撐位置在水平方向上的偏移量亦可。
(6)在上述實施形態中，雖然將第1卡合部形成為朝下方突出的形狀，並將第1被卡合部形成為朝下方凹入的形狀，但是將第1卡合部形成為朝上方凹入的形狀，並將第1被卡合部形成為朝上方突出的形狀亦可。又，雖是將第2卡合部形成為朝上方凹入的形狀，並將第2被卡合部形成為朝上方突出的形狀，但是將第2卡合部形成為朝下方突出的形狀，並將第2被卡合部形成為朝下方凹入的形狀亦可。
(7)上述突施形態中，是構成為使位置對準部G具備從下方卡合配備在搬送物W上的第2被卡合部之第2卡合部而構成，且在將搬送物W移載至搬送對象地點時，藉由使第2卡合部卡合於第2被卡合部以將搬送物W的位置對準 於適當支撐位置。然而，並不受限於該種構成，亦可構成為使位置對準部G具備從側方按壓操作搬送物W的按壓操作部而構成，且在將搬送物W移載至搬送對象地點後，藉由以按壓操作部按壓操作搬送物W來將搬送物W的位置對準於適當支撐位置。
(8)上述實施形態中，構成為在檢查單元Wb上具備傾斜檢測裝置15，而在已將檢查單元Wb移載至搬送對象地點時，在檢查單元Wb傾斜而未被適當地移載時，中斷檢查用搬送控制。然而，並不受限於此種構成，亦可構成為在檢查單元Wb上具備檢測該檢查單元Wb已適當地就位在搬送對象地點的就位感測器，而在已將檢查單元Wb移載至搬送對象地點時，於檢查單元Wb因逾越到位置對準部G上等而未適當地就位在移載對象地點的情況下，中斷檢查用搬送控制。
(9)上述實施形態中，是構成為將保持部作為已配備在天花板搬送車1的支撐機構24以懸吊支撐搬送物W的凸緣部6。然而，並不受限於該種構成，亦可構成為將保持部作為堆高式起重機的移載裝置，以藉由移載裝置的物品支撐部從下方支撐搬送物W的本體部23。
(10)在上述實施形態中，雖然使單元控制部11b具備有作為偏移量量測部的功能，但是使搬送控制部11a具備有作為偏移量量測部的功能亦可。又，單元控制部11b雖然是在接收到來自天花板搬送車1的分開完成資訊後，控制用以檢測出被檢測部的位置之位置檢測裝置的作動，但是 將單元控制部11b做成在從判斷支撐機構24對檢查單元Wb的支撐已解除到設定時間後，控制位置檢測裝置的作動亦可。
(11)在上述實施形態中，是於天花板搬送車1上配備搬送通訊部10a，並於檢查單元Wb上配備單元通訊部10b，以藉由無線通訊進行天花板搬送車1與檢查單元Wb之間的資訊的傳送接收。然而，並不受限於該種構成，藉由通訊電纜連接天花板搬送車1與檢查單元Wb，以藉由有線通訊進行天花板搬送車1與檢查單元Wb之間的資訊的傳送接收亦可。
(12)在上述的各實施形態(包含上述實施形態及其他實施形態；以下同)中所揭示的構成，只要不會產生矛盾，均可以與在其他的實施形態中所揭示的構成組合而適用。本說明書中所揭示的實施形態全部都是例示，其他的構成只要在不脫離本發明的主旨的範圍內，均可適宜改變。
[實施形態的概要]
本實施形態的物品搬送設備具備：保持部，保持搬送物；移動操作部，使前述保持部沿著鉛直方向及水平方向移動；搬送控制部，控制前述移動操作部及前述保持部的作動，以將保持在前述保持部的前述搬送物搬送至搬送對象地點；位置對準部，在將前述搬送物移載至前述搬送對象地點時或已移載至前述搬送對象地點後，使前述搬送物的位置對準作為移載後的適當的支撐位置之適當支撐位置； 及偏移量量測部，量測將前述搬送物移載至前述搬送對象地點時的相對於前述適當支撐位置之前述保持部的水平方向上的偏移量。前述保持部可保持搬送作業對象之物品、並且可取代前述搬送作業對象之物品而保持檢查單元，以作為前述搬送物。在前述保持部設置有被檢測部。在前述檢查單元具備有檢測前述被檢測部的位置之位置檢測裝置。前述搬送控制部實行檢查用搬送控制，該檢查用搬送控制是將保持在前述保持部的前述檢查單元移載至前述搬送對象地點並將前述保持部對前述檢查單元的保持解除後，使前述保持部位在作為解除了前述檢查單元的保持之位置的解除位置、或作為相對該解除位置在預先決定的方向上僅移動了預先決定之量的位置之解除移動位置。前述偏移量量測部依據將前述檢查單元藉由前述位置對準部對準於前述適當支撐位置並且使前述保持部位在前述解除位置或前述解除移動位置的狀態中的前述位置檢測裝置的檢測資訊，量測前述保持部的前述解除位置或前述解除移動位置相對於前述適當支撐位置在水平方向上的偏移量。
根據此構成，可以使保持有物品的保持部藉由移動操作部移動而將該物品搬送至搬送對象地點，或使保持有檢查單元的保持部藉由移動操作部移動而將該檢查單元搬送至搬送對象地點。
被搬送至搬送對象地點的搬送物(物品及檢查單元)是在被搬送至搬送對象地點時或已被搬送至搬送對象地點後，藉由位置對準部對準於適當支撐位置。
藉由使搬送控制部實行檢查用搬送控制，在已將檢查單元移載至搬送對象地點後，保持部會移動至對應搬送對象地點的解除位置或解除移動位置。並且，在像這樣使保持部位在解除位置或解除移動位置的狀態下，如同上述，檢查單元會藉由位置對準部的位置對準作用而位於適當支撐位置。
保持部的解除位置是已將檢查單元移載至搬送對象地點後，解除對檢查單元的保持之位置。像這樣，藉由解除對檢查單元的保持，可以使位在適當支撐位置的檢查單元與保持部分開。又，即使在保持部位在解除位置的狀態下，仍有藉由以位置對準部使檢查單元在水平方向上移動等而使檢查單元與保持部接觸之情形。在該種狀況下，可以藉由使保持部移動至解除移動位置，而使位在適當支撐位置的檢查單元與保持部分開。像這樣，可以藉由使保持部位在解除位置或解除移動位置，而使保持部從位在適當支撐位置的檢查單元分開，以使保持部不干涉檢查單元。
並且，在使檢查單元位於搬送對象地點的適當支撐位置的狀態下，藉由該檢查單元所具備的位置檢測裝置檢測出位在解除位置或解除移動位置的保持部所具備的被檢測部的位置，以藉由偏移量量測部量測保持部相對於搬送對象地點的適當支撐位置在水平方向上的偏移量。藉由像這樣量測偏移量，變得不需要在搬送對象地點配備被檢測部，且因為作業者不須在搬送對象地點上設置被檢測部，故可以減輕作業者的負擔。據此，可以有效率地量測保持 部相對於搬送對象地點在水平方向上的偏移量。
在一個態樣中，較理想的是，前述搬送控制部實行物品用搬送控制，該物品用搬送控制是在使前述保持部停止在作為將物品移載至前述搬送對象地點前的前述保持部的基準位置的水平設定位置後，使前述保持部下降並將物品移載至前述搬送對象地點，前述物品搬送設備更具備有依據以前述偏移量量測部所量測到的前述保持部在水平方向上的偏移量而更新前述水平設定位置的位置更新部。
藉由此構成，在使保持有物品的保持部位在水平設定位置後，使該保持部下降而將物品移載至搬送對象地點。並且，由於依據藉由偏移量量測部所量測的保持部在水平方向上的偏移量，以藉由位置更新部更新水平設定位置，因此在其後的物品搬送控制上，要在長期間內將物品移載至搬送對象地點的水平方向的適當位置會變得較容易。此時，由於水平設定位置是依據所量測到的偏移量而藉由位置更新部自動更新，因此與作業者以手動方式更新水平設定位置的情況相比，可以減輕作業者的負擔。
在一個態樣中，較為理想的是，前述保持部具備從下方支撐前述搬送物的下方支撐具，前述檢查單元具備檢測該檢查單元是否受前述下方支撐具所支撐的支撐檢測裝置，前述檢查用搬送控制是下述的控制：在使前述保持部移動至前述水平設定位置的狀態下使前述保持部下降，且在前述保持部的下降中當以前述支撐檢測裝置檢測出前述檢查單元為未受前述下方支撐具支撐的狀態時，即停止 前述保持部的下降，而將前述檢查單元移載至前述搬送對象地點。前述物品用搬送控制是下述的控制：控制前述移動操作部的作動，以在已使前述保持部移動至前述水平設定位置的狀態下使前述保持部下降至下降設定位置為止，藉此完成物品之往前述搬送對象地點的搬送。且前述位置更新部依據前述檢查用搬送控制中的前述保持部的下降量而更新前述下降設定位置。
藉由此構成，當藉由檢查用搬送控制，在已使保持部移動至水平設定位置的狀態下使保持部下降時，則可藉由該下降將檢查單元移載至搬送對象地點。若進一步使保持部下降時，則保持部相對於已移載至搬送對象地點的檢查單元朝下方移動，而將藉由下方支撐具從下方支撐的保持部對檢查單元的保持解除。當像這樣將保持部對檢查單元的保持解除時，即可在藉由支撐檢測裝置檢測該情形後，依據支撐檢測裝置的檢測資訊，使保持部的下降停止。
並且，藉由物品用搬送控制，而在水平方向上已使保持部位在水平設定位置的狀態下使該保持部下降至下降設定位置為止，藉此可以將物品移載至搬送對象地點。此下降設定位置是依據將檢查單元移載至該搬送對象地點時的保持部的下降量而更新，因此在其後的物品用搬送控制上，可以在長期間內，使保持部相對於搬送對象地點下降至適當的高度。此時，下降設定位置是依據所量測到的保持部的下降量而藉由位置更新部自動地更新，因此與作業者用手動方式更新下降設定位置的情況相比，可以減輕作業者 的負擔。
在一個態樣中，較理想的是，具備沿著設定在比前述搬送對象地點更上方的行走路徑而行走自如的行走部，前述移動操作部為具備使前述行走部沿著前述行走路徑行走的行走驅動部、及相對於前述行走部使前述保持部升降的的升降驅動部而構成，並將前述保持部構成為懸吊支撐前述搬送物。
根據此構成，可以藉由在使行走部行走至相對於搬送對象地點預先設定的停止位置的狀態下來使保持部下降，以使保持部移動至解除位置。並且，可以依據藉由偏移量量測部所量測到的偏移量，更新行走部的停止位置。
在一個態樣中，較理想的是，將相對於前述行走部行走的行走方向在平面視角下為交叉的方向設為橫向方向，且前述物品搬送設備具備：在前述行走部於前述橫向方向上移動自如地被支撐的中繼部、在前述中繼部升降自如地被支撐且懸吊支撐前述搬送物的前述保持部、相對於前述行走部使前述中繼部沿著前述橫向方向移動的橫向驅動部、及相對於前述中繼部使前述保持部升降移動的前述升降驅動部，且前述移動操作部是具備前述橫向驅動部而構成。
根據此構成，可以藉由在使行走部行走至相對於搬送對象地點預先設定的停止位置，且使中繼部朝橫向方向移動至相對於搬送對象地點而設定的橫移動位置的狀態下使保持部下降，以使保持部移動至解除位置。並且，可 以依據用偏移量量測部所量測到的偏移量，更新行走部的停止位置或中繼部的移動位置。
在一個態樣中，較理想的是，於前述搬送物的上部具備第1被卡合部，於前述保持部具備從上方卡合前述第1被卡合部的第1卡合部，前述第1卡合部具備在卡合於前述第1被卡合部時前述保持部相對於前述搬送物在水平方向上偏移的情況下，接觸前述第1被卡合部以將前述保持部在水平方向上的位置引導至相對於前述搬送物適當的位置的第1引導部分，前述被檢測部設置在前述保持部中的前述第1卡合部，且前述位置檢測裝置由拍攝前述被檢測部的撮像裝置所構成，並將前述偏移量量測部構成為依據藉由前述撮像裝置所拍攝的撮像資訊來量測前述偏移量，前述撮像裝置是設置在前述檢查單元中的前述第1被卡合部的正下方，在前述第1被卡合部形成有可藉由前述攝像裝置拍攝位在該第1被卡合部的正上方的前述被檢測部之檢測用孔。
根據此構成，藉由以攝像裝置拍攝配備在第1卡合部的被檢測部的位置，並依據該撮像裝置的撮像資訊來量測偏移量，而易於適當地量測保持部相對於適當支撐位置在水平方向上的偏移量。
又，因為在第1被卡合部上形成檢測用孔，且在第1被卡合部的正下方設置撮像裝置並且可以拍攝保持部的被檢測部，所以藉由攝像裝置拍攝配備在第1卡合部的被檢測部變得較容易。
在一個態樣中，較理想的是，前述解除移動位置 是設定在使前述第1卡合部的下端比位在前述適當支撐位置的前述檢查單元中的前述第1被卡合部的上端更上方的位置。
根據此構成，可以藉由使保持部移動至解除移動位置，以使保持部從位在適當支撐位置的檢查單元適當地分開。
在一個態樣中，較理想的是，於前述搬送物的底部具備第2被卡合部，於前述位置對準部具備從下方卡合前述第2被卡合部的第2卡合部，前述第2卡合部具備有接觸於藉由前述保持部的下降移動而被移載至前述搬送對象地點的前述搬送物的前述第2被卡合部，以將前述搬送物在水平方向上的位置引導至前述適當支撐位置的第2引導部分。
根據此構成，可在將搬送物移載至搬送對象地點時搬送物相對於適當支撐位置在水平方向上偏移的情況下，使第2被卡合部接觸第2卡合部的第2引導部分而被引導，藉此將物品對準於適當支撐位置。
像這樣，可以利用將搬送物移載至搬送對象地點時的搬送物的下降移動，將搬送物的位置對準於適當支撐位置。據此，可以謀求位置對準部的構造的簡單化。例如，與將位置對準部構成為將已下降至搬送對象地點的搬送物在水平方向上按壓操作而將搬送物的位置對準於適當支撐位置的方式相比，可以簡單地構成位置對準部。
在一個態樣中，較理想的是，前述檢查單元具備檢測該檢查單元的相對於水平方向的傾斜的傾斜檢測裝置， 當前述搬送控制部依據前述傾斜檢測裝置的檢測資訊，在前述檢查用搬送控制的實行中檢測出預先設定的設定值以上的傾斜時，即中斷前述檢查用搬送控制。
根據此構成，可以進行藉由將檢查單元逾越到第2卡合部上時的檢查單元的傾斜以下的值作為設定值而預先設定，以依據傾斜檢測裝置的檢測結果，判定檢查單元之往第2卡合部的逾越。亦即，可以做到於搬送控制部實行檢查用搬送控制而將檢查單元下降至搬送對象地點時，在藉由傾斜檢測裝置檢測出設定值以上的傾斜的情況下，判定檢查單元逾越到第2卡合部上而第2卡合部並未適當地卡合於第2被卡合部。
並且，由於在已判定為第2卡合部並未適當地卡合於第2被卡合部情況下會中斷檢查用搬送控制，所以可以避免在檢查單元沒有位在適當支撐位置的狀態下量測偏移量之情形。據此，在例如具備依據所量測到的偏移量而更新水平設定位置之類的構成之情況中，可以避免依據在不適當狀態下的量測資料而進行錯誤的位置更新之類的事態。
本實施形態的檢查單元具備：被保持部，被搬送裝置的保持部所保持；及單元本體部，位在比前述被保持部更下方。在前述單元本體部的底部具備有被卡合部，該被卡合部可在藉由保持有前述被保持部的前述保持部的下降移動而將前述單元本體部移載至搬送對象地點時，從上方卡合於設置在該搬送對象地點的卡合部。前述被卡合部具備有被引導部分，該被引導部分可在藉由前述保持部的 下降移動而將前述單元本體部移載至前述搬送對象地點時，接觸於前述卡合部而將前述單元本體部在水平方向上的位置引導至作為移載後的適當的支撐位置之適當支撐位置。前述單元本體部具備有量測用資訊取得部，該量測用資訊取得部是在前述保持部位在作為解除了前述被保持部的保持的位置之解除位置、或作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動預先決定的量之位置的解除移動位置的狀態下，取得用於量測前述單元本體部與前述保持部的相對的位置關係的資訊。
根據此構成，可以藉由在將檢查單元移載至搬送對象地點時檢查單元相對於適當支撐位置在水平方向上偏移的情況下，使卡合部接觸於被卡合部的被引導部分，以將檢查單元對準於適當支撐位置。
並且，解除位置是已將檢查單元移載至搬送對象地點後，解除對檢查單元的保持之位置。像這樣，藉由解除對檢查單元的保持，可以使位在適當支撐位置的檢查單元與保持部分開。又，即使保持部位在解除位置的狀態下，仍會藉由以位置對準部在水平方向上移動等而有使檢查單元與保持部接觸之情形。在該種狀況下，可以藉由使保持部移動至解除移動位置，而使位在適當支撐位置的檢查單元與保持部分開。像這樣，可以藉由使保持部位在解除位置或解除移動位置，而使保持部從位在適當支撐位置的檢查單元分開，以使保持部不干涉檢查單元。
並且，藉由以量測用資訊取得部取得用於量測單 元本體部與保持部的相對位置關係的資訊，因而不需要將用於藉由量測用資訊取得部取得資訊的被檢測部配備在搬送對象地點。因為作業者不須在搬送對象地點上設置被檢測部，故可以減輕作業者的負擔。因此，可以有效率地量測保持部相對於搬送對象地點在水平方向上的偏移量。
再者，關於檢查單元，也可以適當地組裝入有關物品搬送設備的上述之適當的構成中。
3‧‧‧支撐台(搬送對象地點)
7b‧‧‧單元底面凹部
9‧‧‧定位構件(第2卡合部、卡合部)
13‧‧‧攝像裝置(位置檢測裝置)
24‧‧‧支撐機構(保持部)
24c‧‧‧按壓部(第1卡合部)
31‧‧‧目標板(被檢測部)
G‧‧‧位置對準部
Wb‧‧‧檢查單元

Claims (10)

  1. 一種物品搬送設備，具有以下的特徵：該物品搬送設備具備：保持部，保持搬送物；移動操作部，使前述保持部沿著鉛直方向及水平方向移動；搬送控制部，控制前述移動操作部及前述保持部的作動，以將保持在前述保持部的前述搬送物搬送至搬送對象地點；位置對準部，在將前述搬送物移載至前述搬送對象地點時或已移載至前述搬送對象地點後，使前述搬送物的位置對準移載後之適當的支撐位置即適當支撐位置；以及偏移量量測部，量測將前述搬送物移載至前述搬送對象地點時的相對於前述適當支撐位置之前述保持部的水平方向上的偏移量，前述保持部可保持搬送作業對象之物品來作為前述搬送物，並且可保持檢查單元而取代前述搬送作業對象之物品，在前述保持部設置有被檢測部，檢測前述被檢測部的位置之位置檢測裝置、與被前述保持部所保持的被保持部一體地設置於前述檢查單元， 前述搬送控制部實行檢查用搬送控制，該檢查用搬送控制是將保持在前述保持部的前述檢查單元移載至前述搬送對象地點並將前述保持部對前述檢查單元的保持解除後，使前述保持部位在作為解除了前述檢查單元的保持之位置的解除位置、或作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動了預先決定之量的位置之解除移動位置，前述偏移量量測部依據將前述檢查單元藉由前述位置對準部對準於前述適當支撐位置並且使前述保持部位在前述解除位置或前述解除移動位置的狀態中的前述位置檢測裝置的檢測資訊，量測前述保持部的前述解除位置或前述解除移動位置相對於前述適當支撐位置在水平方向上的偏移量。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中，前述搬送控制部實行物品用搬送控制，該物品用搬送控制是在使前述保持部停止在作為將物品移載至前述搬送對象地點前的前述保持部的基準位置的水平設定位置後，使前述保持部下降並將物品移載至前述搬送對象地點，前述物品搬送設備更具備有依據以前述偏移量量測部所量測到的前述保持部在水平方向上的偏移量而更新前述水平設定位置的位置更新部。
  3. 如請求項2的物品搬送設備，其中，前述保持部具備從下方支撐前述搬送物的下方支 撐具，前述檢查單元具備檢測該檢查單元是否受前述下方支撐具所支撐的支撐檢測裝置，前述檢查用搬送控制是下述的控制：在使前述保持部移動至前述水平設定位置的狀態下使前述保持部下降，且在前述保持部的下降中當以前述支撐檢測裝置檢測出前述檢查單元為未受前述下方支撐具支撐的狀態時，即停止前述保持部的下降，並將前述檢查單元移載至前述搬送對象地點，前述物品用搬送控制是下述的控制：控制前述移動操作部的作動，以在已使前述保持部移動至前述水平設定位置的狀態下使前述保持部下降至下降設定位置為止，藉此完成物品之往前述搬送對象地點的搬送，前述位置更新部依據前述檢查用搬送控制中的前述保持部的下降量而更新前述下降設定位置。
  4. 如請求項1至3中任1項的物品搬送設備，其中，具備沿著設定在比前述搬送對象地點更上方的行走路徑而行走自如的行走部，前述移動操作部是具備使前述行走部沿著前述行走路徑行走的行走驅動部、及相對於前述行走部使前述保持部升降的升降驅動部而構成，並將前述保持部構成為懸吊支撐前述搬送物。
  5. 如請求項4的物品搬送設備，其中，將相對於前述行走部行走的行走方向在平面視下 交叉的方向設為橫向方向，且前述物品搬送設備具備：在前述行走部於前述橫向方向上移動自如地被支撐的中繼部、在前述中繼部升降自如地被支撐且懸吊支撐前述搬送物的前述保持部、相對於前述行走部使前述中繼部沿著前述橫向方向移動的橫向驅動部、及相對於前述中繼部使前述保持部升降移動的前述升降驅動部，且前述移動操作部是具備前述橫向驅動部而構成。
  6. 如請求項4的物品搬送設備，其中，於前述搬送物的上部具備第1被卡合部，於前述保持部具備從上方卡合前述第1被卡合部的第1卡合部，前述第1卡合部具備在卡合於前述第1被卡合部時前述保持部相對於前述搬送物在水平方向上偏移的情況下，接觸前述第1被卡合部以將前述保持部在水平方向上的位置引導至相對於前述搬送物為適當的位置的第1引導部分，前述被檢測部設置在前述保持部中的前述第1卡合部，且前述位置檢測裝置由拍攝前述被檢測部的撮像裝置所構成，並將前述偏移量量測部構成為依據藉由前述撮像裝置所拍攝到的撮像資訊來量測前述偏移量， 前述撮像裝置是設置在前述檢查單元中的前述第1被卡合部的正下方，在前述第1被卡合部形成有可藉由前述攝像裝置拍攝位在該第1被卡合部的正上方的前述被檢測部之檢測用孔。
  7. 如請求項6的物品搬送設備，其中，前述解除移動位置是設定在使前述第1卡合部的下端比位在前述適當支撐位置的前述檢查單元中的前述第1被卡合部的上端更上方的位置。
  8. 如請求項1至3中任1項的物品搬送設備，其中，於前述搬送物的底部具備第2被卡合部，前述位置對準部具備從下方卡合前述第2被卡合部的第2卡合部，前述第2卡合部具備有接觸於藉由前述保持部的下降移動而被移載至前述搬送對象地點的前述搬送物的前述第2被卡合部，以將前述搬送物在水平方向上的位置引導至前述適當支撐位置的第2引導部分。
  9. 如請求項8的物品搬送設備，其中，前述檢查單元具備檢測該檢查單元的相對於水平方向的傾斜的傾斜檢測裝置，當前述搬送控制部依據前述傾斜檢測裝置的檢測資訊，在前述檢查用搬送控制的實行中檢測出預先設定的設定值以上的傾斜時，即中斷前述檢查用搬送控制。
  10. 一種檢查單元，具有以下的特徵： 該檢查單元具備被保持部及單元本體部，前述被保持部與前述單元本體部設置成一體，前述被保持部是被搬送裝置的保持部所保持，前述單元本體部是位在比前述被保持部更下方，在前述單元本體部的底部具備有被卡合部，該被卡合部是在藉由保持有前述被保持部的前述保持部的下降移動而將前述單元本體部移載至搬送對象地點時，會從上方卡合於設置在該搬送對象地點的卡合部，前述被卡合部具備有被引導部分，該被引導部分是在藉由前述保持部的下降移動而將前述單元本體部移載至前述搬送對象地點時，會接觸於前述卡合部而將前述單元本體部在水平方向上的位置引導至移載後之適當的支撐位置即適當支撐位置，前述單元本體部具備有量測用資訊取得部，該量測用資訊取得部是在前述保持部位在作為解除了前述被保持部的保持的位置之解除位置、或位在作為相對於該解除位置在預先決定的方向上僅移動預先決定的量之位置的解除移動位置的狀態下，取得用於量測前述單元本體部與前述保持部的相對的位置關係的資訊。
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