KR102579642B1 - Oht 비히클 및 이의 동작 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 OHT 비히클 및 이의 동작 제어 방법으로서, OHT 비히클의 핸드 유닛이 반송 용기를 로드하여 목적지의 로드 포트에 언로드시 반송 용기의 기울어짐에 따른 반송 용기의 안착용 홈과 로드 포트의 위치결정 핀 간의 오차를 핸드 유닛의 위치 보정을 통해 해소하여 반송 용기를 로드 포트에 정확하게 안착시킬 수 있는 기술을 개시한다.

Description

OHT 비히클 및 이의 동작 제어 방법{Vehicle of OHT and method of controlling its operation}
본 발명은 OHT 비히클 및 이의 동작 제어 방법으로서, 보다 상세하게는 OHT 비히클의 핸드 유닛이 반송 용기를 로드하여 목적지의 로드 포트에 언로드시 반송 용기의 기울어짐에 따른 반송 용기의 안착용 홈과 로드 포트의 위치결정 핀 간의 오차를 핸드 유닛의 위치 보정을 통해 해소하여 반송 용기를 로드 포트에 정확하게 안착시킬 수 있는 기술에 대한 것이다.
반도체 제품의 생산 공정은 완제품에 이르기까지 수많은 공정이 수행되며, 반도체 제조 공정 수행 과정에서는 수십만건의 물류 이동이 발생된다. 이러한 물류 이송 과정에서 반도체 소재의 오염과 훼손 및 배달사고 등을 방지하기 위해 반도체 제조라인에서는 물류 이송 자동화 시스템으로서 OHT(Overhead Hoist Transfer)를 활용하고 있다.
OHT 비히클은 임의의 포트(port)에서 FOUP(front opening unified pod) 또는 FOSB(front opening shipping box) 등의 반송 용기를 파지하여 로드하고 천장에 설치된 선로를 따라 이동하여 목적지 포트(port)에 반송 용기를 언로드할 수 있다.
목적지 포트에는 OHT 비히클이 운송하는 반송 용기가 안착되는 로드 포트가 구비될 수 있는데, 예를 들면 사이드 버퍼 장치 또는 언더 버퍼 장치의 선반 상에는 일반적인 웨이퍼 카세트의 지지를 위한 로드 포트, FOUP(front opening unified pod)의 지지를 위한 로드 포트, FOSB(front opening shipping box)의 지지를 위한 로드 포트, 매거진의 지지를 위한 로드 포트 또는 반도체 패키지들의 수납을 위한 트레이들의 지지를 위한 로드 포트 등이 구비될 수 있다.
로드 포트에는 이송된 반송 용기가 안착되는 안착 테이블이 마련되며, 안착 테이블에는 반송 용기의 안착 위치를 결정하는 위치 결정 핀이 구비될 수 있다. 아울러 FOUP, FOSB 등의 반송 용기 하면에는 안착 테이블에 구비된 위치 결정 핀에 대응되는 안착용 홈이 마련될 수 있다.
다양한 요인으로 인해 OHT 비히클에 파지된 반송 용기가 기울어진 상태에서 OHT 비히클이 로드 포트의 안착 테이블 상에 반송 용기를 언로드하는 경우, 안착 테이블의 위치 결정 핀과 반송 용기 하면의 안착용 홈이 서로 어긋나 반송 용기가 적절한 위치에 안착되지 못하는 문제가 있다.
안착 테이블 상에 반송 용기의 위치가 어긋나 안착되면, 반송 용기의 도어를 개방하여 반송 용기 상의 웨이퍼 등을 반출하는데 오류가 발생되어 전체 공정 운영에 문제가 발생된다.
따라서 OHT 비히클이 운송한 반송 용기를 로드 포트의 안착 테이블 상에 정확한 위치로 언로드할 필요가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, OHT 비히클이 운송하는 반송 용기의 기울어짐 정도를 파악하고 반송 용기의 언로드 위치를 보정하여 로드 포트의 안착 테이블 상에 반송 용기를 정확하게 안착시킬 수 있는 방안을 제시하고자 한다.
특히, OHT 비히클에 파지된 반송 용기가 기울어진 상태로 언로드됨에 따라 안착 테이블의 위치 결정 핀과 반송 용기 하면의 안착용 홈이 서로 어긋나 반송 용기가 적절한 위치에 안착되지 못하는 문제를 해결하고자 한다.
나아가서 반송 용기의 기울어진 정도가 상황에 따라 다양하게 변화되어 로드 포트의 안착 테이블 상에 내려놓는 반송 용기의 바닥면 위치를 파악할 수 없는 문제를 해결하고자 한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
상기 과제를 해결하고자 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 일실시예는, 반송 용기를 로드하여 목적지 포트로 이동하는 이송 단계; 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 이격 거리를 측정하여 거리 측정치를 기초로 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 판단하는 오차 판단 단계; 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기를 언로드할 상기 목적지 포트의 로드 포트에 대응시켜 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 위치 보정 단계; 및 상기 반송 용기를 상기 목적지 포트의 로드 포트에 언로드하는 언로드 단계를 포함할 수 있다.
일례로서, 상기 오차 판단 단계는, 상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및 전단 거리 측정치를 기준치와 대하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함할 수 있다.
여기서 상기 기울어짐 판단 단계는, 상기 전단 거리 측정치와 상기 기준치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 오차 판단 단계는, 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및 후단 거리 측정치를 기준치와 대하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함할 수 있다.
여기서 상기 기울어짐 판단 단계는, 상기 후단 거리 측정치와 상기 기준치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 오차 판단 단계는, 상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리 및 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및 전단 거리 측정치와 후단 거리 측정치를 대비하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함할 수 있다.
여기서 상기 기울어짐 판단 단계는, 상기 전단 거리 측정치와 상기 후단 거리 측정치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 오차 판단 단계는, 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하는 안착용 홈 위치 산출 단계; 및 산출된 안착용 홈의 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리를 산출하는 오차 거리 산출 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 오차 거리 산출 단계는, 판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하고 상기 오차 거리를 기초로 보정 거리를 산출할 수 있다.
나아가서 상기 위치 보정 단계는, 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기를 언로드할 상기 목적지 포트의 로드 포트에 대응시켜 슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 이동시킬 수 있다.
바람직하게는 상기 위치 보정 단계는, 슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시킬 수 있다.
또한 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예는, 선로를 따라 이동 가능한 이송 모듈; 반송 용기를 파지하는 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수직 이동시키는 호이스트 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 슬라이딩 유닛을 구비하는 호이스트 모듈; 상기 핸드 유닛에 장착되어 상기 핸드 유닛과 상기 핸드 유닛에 파지된 반송 용기 간의 거리를 측정하는 변위 측정 수단; 및 상기 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 상기 반송 유닛의 기울어짐 정도를 판단하여 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 제어부를 포함할 수 있다.
일례로서, 상기 변위 측정 수단은, 상기 핸드 유닛의 전단 또는 후단 중 어느 하나에 배치되어 상기 핸드 유닛의 전단 또는 후단과 상기 반송 용기의 전단 또는 후단 간의 이격 거리를 측정하는 거리 측정 센서를 포함할 수 있다.
다른 일례로서, 상기 변위 측정 수단은, 상기 핸드 유닛의 전단에 배치되어 상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리를 측정하는 전단 거리 측정 센서; 및 상기 핸드 유닛의 후단에 배치되어 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 후단 거리 측정 센서를 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 제어부는, 상기 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 상기 반송 유닛의 기울어짐 정도를 판단하고, 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하여 상기 안착용 홈 위치에 따른 오차 거리를 산출하는 오차 판단부; 및 상기 오차 거리를 기초로 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 위치 보정부를 포함할 수 있다.
일례로서, 상기 오차 판단부는, 상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 전단 거리 측정치 또는 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 후단 거리 측정치를 기준치와 대비하여 기울어짐 각도를 산출하고, 상기 기울어짐 각도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단할 수 있다.
바람직하게는 상기 오차 판단부는, 판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하고 상기 오차 거리를 기초로 상기 보정 거리를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 위치 보정부는, 상기 슬라이드 유닛을 제어하여 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시킬 수 있다.
바람직하게는 상기 제어부는, 상기 위치 보정부를 통해 상기 핸드 유닛의 위치를 보정한 후 상기 호이스트 유닛을 제어하여 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀에 상기 반송 용기의 안착용 홈이 대응되도록 상기 핸드 유닛을 하강시켜 상기 반송 용기를 언로드할 수 있다.
한걸음 더 나아가서 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 바람직한 일실시예는, 반송 용기를 로드하여 목적지 포트로 이동하는 이송 단계; 핸드 유닛의 전단 또는 후단 중 어느 하나 이상과 상기 반송 용기의 전단 또는 후단 중 어느 하나 이상 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 측정된 전단 거리 측정치 또는 후단 거리 측정치와 기준치를 대비하거나, 측정된 전단 거리 측정치와 측정된 후단 거리 측정치를 대비하여 상기 반송 용기의 기울어짐 정도에 따른 기울어짐 각도를 산출하는 기울어짐 판단 단계; 상기 기울어짐 각도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하는 안착용 홈 위치 판단 단계; 판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하는 오차 거리 산출 단계; 상기 오차 거리를 기초로 상기 반송 용기의 위치를 보정할 보정 거리를 산출하는 보정 거리 산출 단계; 슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시키는 위치 보정 단계; 및 호이스트 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 하강시켜 상기 반송 용기를 상기 목적지 포트의 로드 포트에 언로드하는 언로드 단계를 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, OHT 비히클이 운송하는 반송 용기의 기울어짐 정도를 파악하고 반송 용기의 언로드 위치를 보정하여 로드 포트의 안착 테이블 상 반송 용기를 정확하게 안착시킬 수 있다.
특히, OHT 비히클에 파지된 반송 용기가 기울어진 상태로 언로드됨에 따라 안착 테이블의 위치 결정 핀과 반송 용기 하면의 안착용 홈이 서로 어긋나 반송 용기가 적절한 위치에 안착되지 못하는 문제를 해결할 수 있다.
나아가서 기판 처리 설비 등과 연계되는 로드 포트의 안착 테이블에 OHT 비히클이 반송 용기를 기울어진 상태로 언로드함에 따라 용기 도어와 포트 도어가 긴밀하게 밀착되지 못함으로써 기판 처리 설비의 내부 공간의 밀폐된 상태가 해제되어 전체적인 반도체 공정 수행이 적절하게 이루어질 수 없는 문제를 해소할 수 있다.
본 발명의 효과는 위에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예를 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 OHT 비히클이 이송하는 반송 용기의 일실시예를 도시한다.
도 3은 OHT 비히클을 통해 반송 용기를 이송하여 목적지 포트에 언로드하는 일례를 도시한다.
도 4는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 호이스트 모듈과 제어부의 일실시예에 대한 구성도를 도시한다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예를 측면에서 바라본 모습을 도시한다.
도 7은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에 대한 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에서 반송 용기의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정에 대한 제1 실시예의 흐름도를 도시한다.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 제1 실시예를 통해 위치를 보정하여 반송 용기를 언로드하는 일례를 도시한다.
도 12는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에서 반송 용기의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정에 대한 제2 실시예의 흐름도를 도시한다.
도 13 내지 도 16은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 제2 실시예를 통해 위치를 보정하여 반송 용기를 언로드하는 일례를 도시한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 설명하기 위하여 이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하고 이를 참조하여 살펴본다.
먼저, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은 OHT 비히클의 핸드 유닛이 반송 용기를 로드하여 목적지의 로드 포트에 언로드시 반송 용기의 기울어짐에 따른 반송 용기의 안착용 홈과 로드 포트의 위치결정 핀 간의 오차를 핸드 유닛의 위치 보정을 통해 해소하여 반송 용기를 로드 포트에 정확하게 안착시킬 수 있는 방안을 제시한다.
도 1은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예를 도시한다.
OHT 비히클(100)은 주행 모듈(110), 조향 모듈(150), 호이스트 모듈(200), 제어부(미도시) 등을 포함할 수 있다.
OHT 비히클(110)은, 주행 모듈(110)을 통해 선로 상에서 주행이 가능하며, 조향 모듈(150)을 통해 주행 방향 변경이 가능할 수 있다.
일례로서, OHT 비히클(100)에는 전단 주행 유닛(110a)과 후단 주행 유닛(110b)이 배치될 수 있으며, 전단 주행 유닛(110a)에 대응되어 전단 조향 유닛(150a)과 후단 주행 유닛(110b)에 대응되어 후단 조향 유닛(150b)이 배치될 수 있다.
주행 모듈(110)과 조향 모듈(150)은 다양하게 변형될 수 있으며, 주행 모듈(110)과 조향 모듈(150)에 대한 구성 및 동작 관계는 공지된 다양한 기술이 적절하게 적용될 수 있다.
호이스트 모듈(200)은 특정 포트에서 반송 용기(10)를 로드하여 파지하고 목적지 포트에 도달시 반송 용기(10)를 언로드할 수 있다.
제어부(미도시)는 비히클(100)의 각 구성들의 동작을 제어할 수 있다. 특히 본 발명에서 제어부는 호이스트 모듈(200)의 동작을 제어하여 위치 보정을 통해 반송 용기를 목적지 포트의 로드 포트 상의 해당 위치에 정확하게 언로드시킬 수 있다. 이러한 본 발명의 기술적 특징에 대해서는 이후 실시예를 통해 자세히 설명하기로 한다.
OHT 비히클(110)이 이송하는 반송 용기(10)와 관련하여, 도 2는 본 발명에 따른 OHT 비히클이 이송하는 반송 용기의 일실시예를 도시한다.
반송 용기(10)로서 FOUP(front opening unified pod)를 예로 들어 설명하나, 본 발명은 이에 국한되지 않고 다양한 반송 용기를 이송하는데 적용될 수 있다.
반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 등의 사이즈는 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격으로서 표준화되어 있으며, 이에 따라 FOUP(front opening unified pod), FOSB(front opening shipping box) 등의 반송 용기(10)의 사이즈도 이송하는 웨이퍼 사이즈에 대응되어 규격화될 수 있다. 물론, 본 발명은 규격화되지 않은 반송 용기를 운송하는 경우에도 적용될 수 있다.
반송 용기(10)는 용기 몸체(12)와 용기 도어(13)를 포함하며, 용기 몸체(12)에는 내부 공간(17)이 마련되어 웨이퍼 등의 반송물이 보관될 수 있다. 일례로서, 웨이퍼를 보관하는 반송 용기(10)의 내부 공간(17)의 측벽에는 다수의 웨이퍼가 순차적으로 삽입되어 적층 가능한 다수의 슬롯(19)이 구비될 수 있다. 용기 몸체(12)는 용기 도어(13)에 의해 전방이 개폐될 수 있다.
용기 몸체(12)의 하면에는 복수의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 마련될 수 있다. 반송 용기(10)에 마련된 복수의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)은 목적지 포트의 로드 포트에 마련된 안착 테이블 상의 위치 결정 핀에 대응되어 형성될 수 있다. 즉, 로드 포트의 안착 테이블 상에 마련된 위치 결정 핀의 배치 위치, 개수, 사이즈 등에 대응되어 용기 몸체(12)의 하면 상에 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 형성될 수 있다.
OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)이 반송 용기(10)를 목적지 포트의 로드 포트 상에 마련된 안착 테이블에 언로드시 용기 몸체(12)의 하면 상에 형성된 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 안착 테이블 상의 위치 결정 핀에 체결되어 안착 테이블 상에 반송 용기(10)가 안착될 수 있다.
용기 몸체(12)의 상면에는 플랜지(Flange)(15)가 구비될 수 있다. OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)이 반송 용기(10)의 플랜지(15)를 파지하여 OHT 비히클(100)을 통해 반송 용기(10)의 이송이 이루어질 수 있다.
OHT 비히클(100)이 반송 용기(10)를 파지하여 이송시, 다양한 요인으로 반송 용기(10)가 기울어진 상태가 될 수 있다. 예를 들어 반송 용기(10)의 용기 몸체(12)와 플랜지(15)는 개별적으로 구성되어 용기 몸체(12) 상에 플랜지(15)가 결합 체결되는 방식으로 조립될 수 있다.
이러한 용기 몸체(12)와 플랜지(15)의 체결 조립 구조로 인해 용기 몸체(12)와 플랜지(15)가 틀어져 기울기가 발생될 수 있다. 아울러 용기 몸체(12)와 플랜지(15)의 무게 중심이 일치하지 않음에 따라 OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)이 반송 용기(10)를 파지시 반송 용기(10)가 기울어질 수도 있다. 또한 반송 용기(10)에 적재되는 반송물의 무게와 수량에 따라 무게 중심이 이동되어 OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)이 반송 용기(10)를 파지시 반송 용기(10)가 기울어질 수도 있다.
이러한 다양한 요인으로 인해 OHT 비히클(100)에 파지되어 이송된 반송 용기(10)가 기울어진 상태가 될 수 있다.
반송 용기(10)가 기울어진 상태에서는 OHT 비히클(100)이 반송 용기(10)를 목적지 포트의 로드 포트 상에 마련된 안착 테이블에 정확하게 언로드시킬 수 없게 된다.
이와 관련하여, 도 3은 OHT 비히클을 통해 반송 용기를 이송하여 목적지 포트에 언로드하는 일례를 도시한다.
일례로서, 기판 처리 설비 등과 연계되는 로드 포트(50)는 EFEM(Equipment Front End Module)의 일부를 구성할 수 있다. 로드 포트(50)에는 반송 용기(10)가 안착되는 안착 테이블(70)이 마련되며, 안착 테이블(70)에는 OHT 비히클(100)이 내려놓는 반송 용기(10)의 정확한 위치가 맞춰질 수 있도록 위치 결정 핀(70a, 70b, 70c)이 구비될 수 있다. 안착 테이블(70) 상의 위치 결정 핀은 키네마틱 핀(Kinematic Pin) (70a, 70b, 70c)이 적용될 수 있다.
OHT 비히클(100)은 반송 용기(10)를 안착 테이블(70) 상에 언로드시 반송 용기(10)의 하면에 형성된 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 안착 테이블(70)의 위치 결정 핀(70a, 70b, 70c)에 대응되어 체결될 수 있도록 반송 용기(10)를 내려놓게 된다.
이와 같이 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 안착 테이블(70)의 위치 결정 핀(70a, 70b, 70c)에 대응되도록 반송 용기(10)가 안착 테이블(70) 상에 안착되어야 반송 용기(10)의 용기 도어(13)가 로드 포트(50)의 포트 도어(51)에 일치되면서 용기 도어(13)와 포트 도어(51)의 개방시, 반송 용기(10)의 내부 공간(17)과 로드 포트(50)에 연계된 기판 처리 설비의 내부 공간이 상호 연결되면서 외부와는 밀폐된 상태를 유지시킬 수 있게 된다.
허나 앞서 설명한 바와 같이 다양한 요인으로 인해 OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)에 파지된 반송 용기(10)가 기울어진 상태가 될 수 있고, 반송 용기(10)가 기울어진 상태에서 반송 용기(10)를 로드 포트(50)의 안착 테이블(70)에 내려놓는 경우, 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 안착 테이블(70)의 위치 결정 핀(70a, 70b, 70c)에 적절하게 대응되어 체결될 수 없게 된다. 특히, 반송 용기(10)를 안착 테이블(70) 상의 정확한 위치에 안착시키지 못한 상태에서 용기 도어(13)와 포트 도어(51)를 개방하면, 기판 처리 설비의 내부 공간의 밀폐된 상태가 해제됨으로써 전체적인 반도체 공정 수행이 적절하게 이루어질 수 없는 문제가 발생된다.
이러한 제반 문제를 해소하기 위해 본 발명에 따른 OHT 비히클(100)은 반송 용기(10)의 기울어진 정도를 핸드 유닛(250)에 구비된 변위 측정 수단(260)을 통해 파악하여 반송 용기(10)의 위치를 보정함으로써 반송 용기(10)를 로드 포트(50)의 안착 테이블(70) 상의 정확한 위치에 언로드할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 OHT 비히클(100)에 대하여 상기 도 1의 실시예와 함께 보다 구체적인 실시예로서, OHT 비히클(100)의 호이스트 모듈(200)과 제어부의 구성에 대하여 도 4 내지 도 6을 참조하여 살펴보기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 호이스트 모듈과 제어부의 일실시예에 대한 구성도를 도시하며, 도 5는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예를 측면에서 바라본 모습을 도시하며, 도 6은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 일실시예를 전방에서 바라본 상황에서 비히클 몸체(210)를 제거한 상태의 모습을 도시한다.
본 실시예에서 제어부(300)가 호이스트 모듈(200)만을 제어하는 것으로 도시하고 설명하나, 이는 본 발명에 대한 설명의 편의를 위한 것으로서 제어부(300)는 호이스트 모듈(200)뿐만 아니라 OHT 비히클(100)에 포함된 다양한 구성들을 제어할 수 있으며, 이를 위해 각 구성들을 제어하기 위한 추가적인 제어 수단들을 포함할 수 있다.
호이스트 모듈(200)은 비히클 몸체(210), 슬라이드 유닛(230), 호이스트 유닛(240), 핸드 유닛(250), 변위 측정 수단(260) 등을 포함할 수 있다.
비히클 몸체(210)는 주행 모듈(110)의 하부에 위치되며, 반송 용기(10)가 삽입되어 보관되는 내부 공간이 마련될 수 있다. 호이스트 유닛(240)은 비히클 몸체(210)의 내부 공간 상단에 배치될 수 있다.
핸드 유닛(250)은 반송 용기(10)를 파지하여 지지할 수 있다. 이를 위해 핸드 유닛(250)은 반송 용기(10)의 플랜지(15)를 파지하는 그립퍼(255)와 그립퍼(255)를 구동시키는 그립퍼 구동수단(미도시) 등을 포함할 수 있다.
호이스트 유닛(240)은 핸드 유닛(250)을 승강시킬 수 있다. 호이스트 유닛(240)은 반송 용기(10)를 로드시 핸드 유닛(250)을 하강시켜 핸드 유닛(250)이 반송 용기(10)를 파지하면 핸드 유닛(250)을 상승시킬 수 있다. 아울러 호이스트 유닛(240)은 반송 용기(10)를 언로드시 핸드 유닛(250)을 하강시켜 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)를 목적지 포트에 내려놓을 수 있다.
이를 위해 호이스트 유닛(240)은 승강 밸트(245)와 승강 밸트(245)를 승강시키는 밸트 구동수단(미도시) 등을 포함할 수 있다. 승강 밸트(245)는 필요에 따라 그 개수와 배치되는 위치 등이 적절히 변경될 수 있다.
슬라이드 유닛(230)은 호이스트 유닛(240)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 일례로서, 슬라이드 유닛(230)은 호이스트 유닛(240)을 지지하면서 좌우 방향으로 이동시킬 수 있는 슬라이드 레일(미도시)과 슬라이드 구동 수단(미도시) 등을 포함할 수 있다.
변위 측정 수단(260)은 핸드 유닛(250)과 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10) 간의 이격 거리를 측정할 수 있다. 이를 위해 변위 측정 수단(260)은 거리 측정 센서를 포함할 수 있으며, 거리 측정 센서로는 광 센서나 음파 센서 등 거리 측정이 가능한 다양한 센서가 적용될 수 있다.
변위 측정 수단(260)의 센서는 핸드 유닛(250) 상에 배치될 수 있으며, 바람직하게는 핸드 유닛(250)의 하면 외각 부위에 배치될 수 있다.
일례로서, 상기 도 6의 (a)와 같이 변위 측정 수단은 핸드 유닛(250)의 일방향 전단에 배치된 전단 거리 측정 센서(260)를 포함하여, 핸드 유닛(250)의 일방향 전단과 반송 용기(10)의 일방향 전단 간의 이격 거리 DF를 측정할 수 있다. 또는 변위 측정 수단은 핸드 유닛(250)의 일방향 후단에 배치된 후단 거리 측정 센서를 포함하여, 핸드 유닛(250)의 일방향 후단과 반송 용기(10)의 일방향 후단 간의 이격 거리 DR을 측정할 수 있다.
다른 일례로서, 상기 도 6의 (b)와 같이 변위 측정 수단은 핸드 유닛의 일방향 전단에 배치된 전단 거리 측정 센서(260a)와 핸드 유닛(250)의 일방향 후단에 배치된 후단 거리 측정 센서(260b)를 포함하여, 핸드 유닛(250)의 일방향 전단과 반송 용기(10)의 일방향 전단 간의 이격 거리 DF 및 핸드 유닛(250)의 일방향 후단과 반송 용기(10)의 일방향 후단 간의 이격 거리 DR을 모두 측정할 수도 있다.
제어부(300)는 호이스트 모듈(200)의 각 구성들을 제어할 수 있다. 특히, 제어부(300)는 오차 판단부(310)와 위치 보정부(330) 등을 포함하여 변위 측정 수단(260)을 통해 측정된 핸드 유닛(250)과 반송 용기(10) 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 반송 유닛(10)의 기울어짐 정도를 판단하여 핸드 유닛(250)의 위치를 조정할 수 있다.
이를 위해 제어부(300)는 오차 판단부(310), 위치 보정부(330) 등을 포함할 수 있다.
오차 판단부(310)는, 핸드 유닛(250)과 반송 용기(10) 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 반송 유닛(10)의 기울어짐 정도를 판단하고, 반송 용기(10)의 기울어짐 정도를 기초로 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c) 위치를 판단하여 안착용 홈 위치에 따른 오차 거리를 산출할 수 있다.
즉, 오차 판단부(310)는 반송 용기(10)가 기울어짐 상태에서 로드 포트의 안착 테이블에 반송 용기(10)를 내려놓을 경우, 안착 테이블에 배치된 위치 결정 핀과 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c) 간의 어긋나는 정도에 따른 오차 거리를 산출할 수 있다.
일례로서, 변위 측정 수단(260)이 핸드 유닛(250)의 전단과 반송 용기(10)의 전단 간의 이격 거리를 측정하여 전단 거리 측정치를 획득하거나 핸드 유닛(250)의 후단과 반송 용기(10)의 후단 간의 이격 거리를 측정하여 후단 거리 측정치를 획득하는 경우, 오차 판단부(310)는 전단 거리 측정치 또는 후단 거리 측정치를 기준치와 대비하여 기울어짐 각도를 산출하고, 기울어짐 각도를 기초로 반송 용기의 안착용 홈(30a, 30b, 30c) 위치를 판단할 수 있다.
여기서 상기 기준치는 반송 용기(10)가 기울어지지 않은 정상 상태에서의 핸드 유닛(250)과 반송 용기(10) 간의 이격 거리로 설정될 수 있다.
나아가서 오차 판단부(310)는 판단된 안착용 홈(30a, 30b, 30c)의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하고 오차 거리를 기초로 보정 거리를 산출할 수 있다.
위치 보정부(330)는 오차 판단부(310)에서 산출된 오차 거리를 기초로 핸드 유닛(250)의 위치를 조정할 수 있다. 일례로서, 위치 보정부(330)는 슬라이드 유닛(230)을 제어하여 오차 판단부(310)에서 산출된 보정 거리만큼 핸드 유닛(250)의 위치를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한 제어부(300)는, 위치 보정부(330)를 통해 핸드 유닛(250)의 위치를 보정한 후 호이스트 유닛(240)을 제어하여 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀에 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 대응되도록 핸드 유닛(250)을 하강시켜 반송 용기(10)를 로드 포트의 안착 테이블에 언로드할 수 있다.
또한 본 발명에서는 상기에서 살펴본 본 발명에 따른 OHT 비이클에 대한 동작 제어 방법을 제시하여 OHT 비히클에 파지된 반송 용기의 기울어짐에 따른 반송 용기의 안착용 홈과 로드 포트의 위치결정 핀 간의 오차를 핸드 유닛의 위치 보정을 통해 해소함으로써 반송 용기를 로드 포트에 정확하게 안착시킬 수 있는데, 이하에서는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에 대하여 실시예를 통해 살펴보기로 한다. 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법은 앞서 설명한 본 발명에 따른 OHT 비히클에서 구현되므로, 본 발명에 따른 OHT 비히클의 실시예를 함께 참조하기로 한다.
도 7은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에 대한 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
OHT 비히클(100)은 특정 포트에서 반송 용기(10)를 로드하여 목적지 포트로 이동(S110)할 수 있다.
특정 포트에서 반송 용기를 로드한 경우, 또는 목적지 포트로 이동 중인 경우, 또는 목적지 포트에 도달한 경우, 변위 측정 수단(260, 260a, 260b)을 통해 핸드 유닛(250)과 반송 용기(10) 간의 이격 거리를 측정(S130)를 측정할 수 있다.
제어부(300)는 변위 측정 수단(260, 260a, 260b)의 거리 측정치를 기초로 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)의 기울어짐 정도를 판단하고, 반송 용기(10)의 기울어짐 정도에 따른 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b, 30c)이 정상 위치에서 어긋난 정도의 오차 거리를 산출(S150)할 수 있다.
그리고 제어부(300)는 반송 용기(10)의 기울어짐 정도를 기초로 반송 용기(10)를 언로드할 목적지 포트의 로드 포트에 대응시켜 핸드 유닛(250)의 위치를 조정하여 보정(S170)할 수 있다. 가령, 제어부(300)는 산출된 오차 거리를 기초로 슬라이드 유닛(230)을 제어하여 핸드 유닛(250)을 수평 이동시킴으로써 반송 용기(10)의 언로드 위치가 조정될 수 있다.
핸드 유닛(250)의 위치 보정에 따라 반송 용기(10)의 언로드 위치가 조정되면, 제어부(300)는 호이스트 유닛(240)을 제어하여 핸드 유닛(250)을 하강시키고 핸드 유닛(250)의 파지 상태를 해제하여 반송 용기(10)를 목적지 포트의 로드 포트에 언로드(S190)할 수 있다.
본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에 대하여 좀더 구체적인 과정을 실시예를 통해 살펴보기로 한다.
도 8은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에서 반송 용기의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정에 대한 제1 실시예의 흐름도를 도시하며, 도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 제1 실시예를 통해 위치를 보정하여 반송 용기를 언로드하는 일례를 도시한다.
본 실시예는 변위 측정 수단의 거리 측정 센서(260)가 핸드 유닛(250)의 전단에 배치된 경우에 반송 용기(10)의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정을 나타낸다.
핸드 유닛(250)의 전단에 배치된 전단 거리 측정 센서(260)를 통해 핸드 유닛(250)의 전단과 반송 용기(10)의 전단 간의 이격 거리 DF1을 측정(S230)할 수 있다.
핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)가 기울어진 경우, 전단 거리 측정 센서(260)를 통해 측정된 전단 거리 측정치 DF1은 반송 용기(10)가 정상 상태에서의 핸드 유닛(250)의 전단과 반송 용기(10)의 전단 간의 이격 거리 DF와 차이가 발생된다.
제어부(300)는 전단 거리 측정치 DF1을 기준치와 대비(S251)하여 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)의 기울어짐 정도를 판단할 수 있다. 여기서 상기 기준치는 정상 상태의 이격 거리 DF로 설정될 수 있다.
제어부(300)는 반송 용기(10)의 기울어짐 정도로서 전단 거리 측정치 DF1과 기준치 DF 간의 비율에 따른 기울어짐 각도 AF1을 산출(S253)할 수 있으며, 기울어짐 각도 AF1을 기초로 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치를 판단(S255)할 수 있다. 아울러 기울어짐 각도 AF1을 기초로 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리 S1을 산출(S257)할 수 있다.
상기 도 10에 도시된 개념도를 참조하여 설명하자면, 반송 용기(10)는 SEMI 규격에 의하거나 또는 반송 용기(10)의 제작시 사이즈 설정에 따라 반송 용기(10)에 대한 폭 길이 UL 및 높이 SL 정보를 사전에 획득할 수 있다.
정상 상태의 반송 용기(10a)와 기울어진 상태의 반송 용기(10b)에 대하여 기울어진 정도에 따른 수직 거리 오차 D1은 전단 거리 측정치 DF1와 정상 상태의 이격 거리 DF를 대비하여 산출 가능하다. 가령, 전단 거리 측정치 DF1에서 정상 상태의 이격 거리 DF를 빼면 수직 거리 오차 D1이 산출될 수 있다.
수평 방향의 기울어짐 각도 A1는 폭 길이 UL와 수직 거리 오차 D1을 통해 산출 가능하다. 가령, 기울어짐 각도 A1은 하기 [식 1]을 통해 산출할 수 있다.
[식 1]
수직 방향의 기울어짐 각도는 수평 방향의 기울어짐 각도와 동일하므로, 수직 방향 기울어짐 각도 A1을 파악할 수 있다.
수직 방향의 기울어짐 각도 A1이 파악됨으로써, 수직 방향에서 각도 A1만큼 틀어진 위치에 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)이 위치되는 것을 파악할 수 있게 된다.
아울러 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리 S1은 하기 [식 2]를 통해 산출할 수 있다.
[식 2]
여기서 산출된 오차 거리 S1은 상기 도 9에 도시된 바와 같이 안착용 홈(30a, 30b)의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 안착 테이블(70)의 위치결정 핀(70a, 70b) 간의 오차 거리 S1이 될 수 있다.
이와 같은 과정을 통해 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)과 안착 테이블(70)의 위치 결정 핀(70a, 70b) 간의 오차 거리 S1이 파악될 수 있다.
아울러 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)과 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 마련된 위치 결정 핀(70a, 70b) 간의 오차를 해소하기 위하여 핸드 유닛(250)을 이동시키는 보정 거리가 산출될 수 있다.
본 실시예에서 핸드 유닛(250)을 이동시키는 보정 거리는 산출된 오차 거리 S1에 대응될 수 있다.
그리고 상기 도 11에 도시된 바와 같이 제어부(300)는 슬라이드 유닛(230)의 동작을 제어(S271)하여 핸드 유닛(250)을 수평 방향으로 보정 거리 S1만큼 이동시킴으로써 반송 용기(10)의 위치를 보정(S273)할 수 있다.
핸드 유닛(250)의 위치 보정을 통해 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)은 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 구비된 위치 결정 핀(70a, 70b)과 수직 선상에서 정확하게 일치되도록 위치될 수 있다.
제어부(300)는 반송 용기(10)의 위치를 보정한 상태에서 호이스트 유닛(240)을 통해 핸드 유닛(250)을 하강시켜 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 구비된 위치 결정 핀(70a, 70b) 위치에 정확하게 대응되어 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)이 체결되도록 반송 용기(10)를 언로드할 수 있다.
상기 실시예에서는 핸드 유닛(250)의 전단에 배치된 거리 측정 센서(260)를 통해 핸드 유닛(250)의 전단과 반송 용기(10)의 전단 간의 이격 거리를 기초로 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하였는데, 본 실시예는 핸드 유닛(250)의 후단에 거리 측정 센서를 배치하여 핸드 유닛(250)의 후단과 반송 용기(10)의 후단 간의 이격 거리를 기초로 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 경우에도 적용될 수 있다.
도 12는 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법에서 반송 용기의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정에 대한 제2 실시예의 흐름도를 도시하며, 도 13 내지 도 16은 본 발명에 따른 OHT 비히클의 동작 제어 방법의 제2 실시예를 통해 위치를 보정하여 반송 용기를 언로드하는 일례를 도시한다.
본 실시예는 변위 측정 수단이 핸드 유닛(250)의 전단에 배치된 전단 거리 측정 센서(260a)와 핸드 유닛(250)의 후단에 배치된 후단 거리 측정 센서(260b)를 포함하여, 전단과 후단의 이격 거리를 통해 반송 용기(10)의 기울어짐을 판단하여 위치를 보정하는 과정을 나타낸다.
핸드 유닛(250)의 전단에 배치된 전단 거리 측정 센서(260a)를 통해 핸드 유닛(250)의 전단과 반송 용기(10)의 전단 간의 이격 거리 DF21을 측정(S330)할 수 있다. 또한 핸드 유닛(250)의 후단에 배치된 후단 거리 측정 센서(260b)를 통해 핸드 유닛(250)의 후단과 반송 용기(10)의 후단 간의 이격 거리 DF22를 측정(S330)할 수 있다.
상기 도 13에서 X 부분과 Y 부분을 확대한 상기 도 14를 참조하면, 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)가 기울어진 경우, 전단 거리 측정 센서(260a)를 통해 측정된 전단 거리 측정치 DF21과 후단 거리 측정 센서(260b)를 통해 측정된 후단 거리 측정치 DF22 간에는 차이가 발생된다.
제어부(300)는 전단 거리 측정치 DF21와 후단 거리 측정치 DF22를 대비(S351)하여 핸드 유닛(250)에 파지된 반송 용기(10)의 기울어짐 정도를 판단할 수 있다.
제어부(300)는 반송 용기(10)의 기울어짐 정도로서 전단 거리 측정치 DF21과 후단 거리 측정치 DF22 간의 비율에 따른 기울어짐 각도 AF2를 산출(S353)할 수 있으며, 기울어짐 각도 AF2를 기초로 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치를 판단(S355)할 수 있다. 아울러 기울어짐 각도 AF2를 기초로 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리 S2를 산출(S357)할 수 있다.
상기 도 15에 도시된 개념도를 참조하여 설명하자면, 반송 용기(10)는 SEMI 규격에 의하거나 또는 반송 용기(10)의 제작시 사이즈 설정에 따라 반송 용기(10)에 대한 폭 길이 UL 및 높이 SL 정보를 사전에 획득할 수 있다.
정상 상태의 반송 용기(10a)와 기울어진 상태의 반송 용기(10c)에 대하여 기울어진 정도에 따른 수직 거리 오차 D2는 전단 거리 측정치 DF21과 후단 거리 측정치 DF22를 대비하여 산출 가능하다. 가령, 전단 거리 측정치 DF1에서 후단 거리 측정치 DF22를 빼면 수직 거리 오차 D2가 산출될 수 있다.
수평 방향의 기울어짐 각도 A2는 폭 길이 UL와 수직 거리 오차 D2를 통해 산출 가능하다. 가령, 기울어짐 각도 A2는 하기 [식 3]을 통해 산출할 수 있다.
[식 3]
수직 방향의 기울어짐 각도는 수평 방향의 기울어짐 각도와 동일하므로, 수직 방향 기울어짐 각도 A1을 파악할 수 있다.
수직 방향의 기울어짐 각도 A2가 파악됨으로써, 수직 방향에서 각도 A2만큼 틀어진 위치에 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)이 위치되는 것을 파악할 수 있게 된다.
아울러 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b) 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리 S2는 하기 [식 4]를 통해 산출할 수 있다.
[식 4]
여기서 산출된 오차 거리 S2는 상기 도 13에 도시된 바와 같이 안착용 홈(30a, 30b)의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 안착 테이블(70)의 위치결정 핀(70a, 70b) 간의 오차 거리 S2가 될 수 있다.
이와 같은 과정을 통해 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)과 안착 테이블(70)의 위치 결정 핀(70a, 70b) 간의 오차 거리 S2가 파악될 수 있다.
아울러 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)과 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 마련된 위치 결정 핀(70a, 70b) 간의 오차를 해소하기 위하여 핸드 유닛(250)을 이동시키는 보정 거리가 산출될 수 있다.
본 실시예에서 핸드 유닛(250)을 이동시키는 보정 거리는 산출된 오차 거리 S2에 대응될 수 있다.
그리고 상기 도 16에 도시된 바와 같이 제어부(300)는 슬라이드 유닛(230)의 동작을 제어(S371)하여 핸드 유닛(250)을 수평 방향으로 보정 거리 S2만큼 이동시킴으로써 반송 용기(10)의 위치를 보정(S373)할 수 있다.
핸드 유닛(250)의 위치 보정을 통해 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)은 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 구비된 위치 결정 핀(70a, 70b)과 수직 선상에서 정확하게 일치되도록 위치될 수 있다.
제어부(300)는 반송 용기(10)의 위치를 보정한 상태에서 호이스트 유닛(240)을 통해 핸드 유닛(250)을 하강시켜 로드 포트의 안착 테이블(70) 상에 구비된 위치 결정 핀(70a, 70b) 위치에 정확하게 대응되어 반송 용기(10)의 안착용 홈(30a, 30b)이 체결되도록 반송 용기(10)를 언로드할 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명을 통해 OHT 비히클이 운송하는 반송 용기의 기울어짐 정도를 파악하고 반송 용기의 언로드 위치를 보정하여 로드 포트의 안착 테이블 상 반송 용기를 정확하게 안착시킬 수 있다.
특히, 반송 용기를 로드 포트의 안착 테이블 상의 정확한 위치에 내려놓지 못하는 경우에 발생되는 다양한 제반 문제들을 해결할 수 있게 된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 반송 용기,
30a, 30b, 30c : 안착용 홈,
70 : 안착 테이블,
70a, 70b, 70c : 위치 결정 핀,
100 : OHT 비히클,
110 : 주행 모듈,
150 : 조향 모듈,
200 : 호이스트 모듈,
230 : 슬라이드 유닛,
240 : 호이스트 유닛,
250 : 핸드 유닛,
260 : 변위 측정 수단,
300 : 제어부,
310 : 오차 판단부,
330 : 위치 보정부.

Claims (20)

  1. 반송 용기를 로드하여 목적지 포트로 이동하는 이송 단계;
    핸드 유닛에 장착된 변위 측정 수단을 통해 상기 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 이격 거리를 측정하여 거리 측정치를 기초로 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 판단하는 오차 판단 단계;
    상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기를 언로드할 상기 목적지 포트의 로드 포트에 대응시켜 슬라이드 유닛을 통해 호이스트 유닛을 수평 이동시켜 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 위치 보정 단계; 및
    상기 반송 용기를 상기 목적지 포트의 로드 포트에 언로드하는 언로드 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 오차 판단 단계는,
    상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및
    전단 거리 측정치를 기준치와 대하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기울어짐 판단 단계는,
    상기 전단 거리 측정치와 상기 기준치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 오차 판단 단계는,
    상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및
    후단 거리 측정치를 기준치와 대하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기울어짐 판단 단계는,
    상기 후단 거리 측정치와 상기 기준치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 오차 판단 단계는,
    상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리 및 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계; 및
    전단 거리 측정치와 후단 거리 측정치를 대비하여 기울어짐 정도를 판단하는 기울어짐 판단 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기울어짐 판단 단계는,
    상기 전단 거리 측정치와 상기 후단 거리 측정치 간의 비율에 따른 기울어짐 각도를 산출하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 오차 판단 단계는,
    상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하는 안착용 홈 위치 산출 단계; 및
    산출된 안착용 홈의 위치에 대한 정상 위치와의 오차 거리를 산출하는 오차 거리 산출 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 오차 거리 산출 단계는,
    판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하고 상기 오차 거리를 기초로 보정 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 보정 단계는,
    상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기를 언로드할 상기 목적지 포트의 로드 포트에 대응시켜 슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 이동시키는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 위치 보정 단계는,
    슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
  12. 선로를 따라 이동 가능한 이송 모듈;
    반송 용기를 파지하는 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수직 이동시키는 호이스트 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 슬라이드 유닛을 구비하는 호이스트 모듈;
    상기 핸드 유닛에 장착되어 상기 핸드 유닛과 상기 핸드 유닛에 파지된 반송 용기 간의 거리를 측정하는 변위 측정 수단; 및
    상기 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 판단하고 상기 슬라이드 유닛을 제어하여 상기 호이스트 유닛을 수평 이동시켜 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 측정 수단은,
    상기 핸드 유닛의 전단 또는 후단 중 어느 하나에 배치되어 상기 핸드 유닛의 전단 또는 후단과 상기 반송 용기의 전단 또는 후단 간의 이격 거리를 측정하는 거리 측정 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 측정 수단은,
    상기 핸드 유닛의 전단에 배치되어 상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 이격 거리를 측정하는 전단 거리 측정 센서; 및
    상기 핸드 유닛의 후단에 배치되어 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 이격 거리를 측정하는 후단 거리 측정 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 핸드 유닛과 상기 반송 용기 간의 거리 측정치를 기초로 파지된 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 판단하고, 상기 반송 용기의 기울어짐 정도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하여 상기 안착용 홈 위치에 따른 오차 거리를 산출하는 오차 판단부; 및
    상기 오차 거리를 기초로 상기 핸드 유닛의 위치를 조정하는 위치 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 오차 판단부는,
    상기 핸드 유닛의 전단과 상기 반송 용기의 전단 간의 전단 거리 측정치 또는 상기 핸드 유닛의 후단과 상기 반송 용기의 후단 간의 후단 거리 측정치를 기준치와 대비하여 기울어짐 각도를 산출하고, 상기 기울어짐 각도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 오차 판단부는,
    판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하고 상기 오차 거리를 기초로 보정 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 위치 보정부는,
    상기 슬라이드 유닛을 제어하여 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 위치 보정부를 통해 상기 핸드 유닛의 위치를 보정한 후 상기 호이스트 유닛을 제어하여 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀에 상기 반송 용기의 안착용 홈이 대응되도록 상기 핸드 유닛을 하강시켜 상기 반송 용기를 언로드하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클.
  20. 반송 용기를 로드하여 목적지 포트로 이동하는 이송 단계;
    핸드 유닛의 전단 또는 후단 중 어느 하나 이상과 상기 반송 용기의 전단 또는 후단 중 어느 하나 이상 간의 이격 거리를 측정하는 이격 거리 측정 단계;
    측정된 전단 거리 측정치 또는 후단 거리 측정치와 기준치를 대비하거나, 측정된 전단 거리 측정치와 측정된 후단 거리 측정치를 대비하여 상기 반송 용기의 기울어짐 정도에 따른 기울어짐 각도를 산출하는 기울어짐 판단 단계;
    상기 기울어짐 각도를 기초로 상기 반송 용기의 안착용 홈 위치를 판단하는 안착용 홈 위치 판단 단계;
    판단된 안착용 홈의 위치에 대한 하방 수직 연장선과 상기 목적지 포트의 로드 포트에 구비된 위치결정 핀 간의 오차 거리를 산출하는 오차 거리 산출 단계;
    상기 오차 거리를 기초로 상기 반송 용기의 위치를 보정할 보정 거리를 산출하는 보정 거리 산출 단계;
    슬라이드 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 보정 거리만큼 수평 이동시키는 위치 보정 단계; 및
    호이스트 유닛을 통해 상기 핸드 유닛을 하강시켜 상기 반송 용기를 상기 목적지 포트의 로드 포트에 언로드하는 언로드 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 비히클의 동작 제어 방법.
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