TWI645193B - Probe unit, probe unit manufacturing method and detection method - Google Patents

Abstract

實現輕量化。

包括探針銷2、及支撐探針銷2之支撐部3， 支撐部3包括：臂體11，12，呈帶狀，在彼此離隙相向之狀態下被配置；保持部13，保持各臂體11，12的各基端部21a，22a；以及探針銷2，做為連結各臂體11，12的各尖端部21b，22b們之連結部而作用；以構成容許探針銷2的直動或近似直動之四節連桿機構，各臂體11，12在比基端部稍微往尖端部側之部位，及比尖端部稍微往基端部側之部位上，形成有貫穿孔H1a，H1b，H2a，H2b，各貫穿孔間的中間部位21c，22c，係做為構成四節連桿機構之各連桿而作用，同時各貫穿孔的形成部位P1a，P1b，P2a，P2b，係做為構成四節連桿機構之接頭而作用。

Description

探針單元、探針單元製造方法以及檢測方法

本發明係關於一種包括探針銷及支撐探針銷之支撐部之探針單元、製造該探針單元之探針單元製造方法、以及使用該探針單元以檢測基板之檢測方法。

這種探針單元，眾所周知有在下述專利文獻1中，申請人開示過之探針。此探針包括探針本體及固定件。固定件包括：探針固定部，固定探針本體；安裝部，用於安裝到探針導引機構；以及一對連結用臂體，連結探針固定部與安裝部。在此情形下，在與各連結用臂體中之安裝部之連結處所，及與探針固定部之連結處所上，分別形成有使連結用臂體在厚度方向(上下方向)上，缺口成圓弧狀之支點。在此探針中，藉固定件中之探針固定部、安裝部、連結用臂體及各支點，構成有容許與探測方向相反之探針銷的直動或近似直動之四節旋轉機構。因此，在此探針中，自探針本體的尖端，接觸到探測對象的表面後之狀態開始，安裝部更加下降後，可減少在探測對象的表面上，產生由探針本體的尖端移動所造成之接觸痕跡。

【先行技術文獻】 【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利第4717144號公報(第5~6頁，第1圖)

而且，在上述先前之探針中，包括必須改善之以下課題。亦即，在此探針中，形成有藉使各連結用臂體，在厚度方向上缺口所形成之支點。在此情形下，在將缺口部分當作支點而作用時，必須使缺口部分的剛性，比其他部分低很多，為此，必須使缺口部分與其他部分(未缺口之部分)的厚度明確不同。因此，在先前之探針中，必須使連結用臂體的厚度(未缺口之部分之厚度)較厚一些。另外，當探測時，藉探針本體的尖端部與接觸對象之接觸，在接觸對象產生敲痕。在此情形下，探針整體的質量愈大，則敲痕愈大。因此，為使敲痕較小，必須使探針整體的質量較小。但是，在先前之探針中，如上所述，因為必須使連結用臂體的厚度較厚一些，所以，很難輕量化，而希望改善此點。

本發明係鑑於上述課題所研發出者，其主要目的在於提供一種可實現輕量化之探針單元、探針單元製造方法以及包括該探針單元而可實現效果之檢測方法。

必須達成上述目的之申請專利範圍第1項所述之探針單元，係一種探針單元，其包括探針銷、及支撐該探針銷之支撐部，其特徵在於：前述支撐部包括：第1臂體及第2臂體，呈帶狀，在將前述探針銷當作探測對象而探測時，沿著探 測方向彼此離隙相向之狀態下被配置；保持部，保持該各臂體的各基端部；以及連結部，可安裝前述探針銷地被構成，同時連結前述各臂體的各尖端部們；構成容許往與前述探測方向相反之方向之前述探針銷的直動或近似直動之四節連桿機構，前述各臂體係在比前述基端部稍微往前述尖端部側之部位，及比前述尖端部稍微往前述基端部側之部位上，分別形成有貫穿孔，該各貫穿孔間的中間部位，係做為構成前述四節連桿機構之各連桿之功能，同時該各貫穿孔的形成部位，係做為構成前述四節連桿機構之接頭之功能。

申請專利範圍第2項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，前述臂體被形成為該臂體中之寬度方向的端部與前述貫穿孔間之緣部的寬度，係隨著沿著該臂體的長度方向，自前述中間部位離隙而變寬。

申請專利範圍第3項所述之探針單元，係在申請專利範圍第2項所述之探針單元中，前述臂體被形成為夾著前述貫穿孔以相向之兩個前述緣部，係將沿著通過該臂體中之前述寬度方向的中心之前述長度方向之中心線，當作對稱軸，以成為線對稱之形狀。

申請專利範圍第4項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，被構成使得前述探針銷，係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。

申請專利範圍第5項所述之探針單元，係在申請專利範圍第2項所述之探針單元中，被構成使得前述探針銷， 係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。

申請專利範圍第6項所述之探針單元，係在申請專利範圍第3項所述之探針單元中，被構成使得前述探針銷，係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。

申請專利範圍第7項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，前述各臂體包括沿著該臂體的長度方向，形成於前述中間部位上之肋體。

申請專利範圍第8項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，使前述探針銷包括一對，同時使前述第1臂體及前述第2臂體分別包括一對，前述保持部係在前述一對第1臂體鄰接延長之狀態下，保持該各第1臂體的前述各基端部，同時在前述一對第2臂體鄰接延長之狀態下，保持該各第2臂體的前述各基端部。

申請專利範圍第9項所述之探針單元，係在申請專利範圍第8項所述之探針單元中，前述各第1臂體係在維持該各第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該各第1臂體後，在前述各基端部藉前述保持部被保持之狀態下，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，前述各第2臂體係在維持該各第2臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該各第2臂體後，在前述各基端部藉前述保持部被保持之狀態下，分離自該各第2臂體中之至 少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間。

申請專利範圍第10項所述之探針單元，係在申請專利範圍第9項所述之探針單元中，前述各第1臂體係在不包括導電性，而前述各基端部們被連結之狀態下，被一體製作，同時在該各基端部被連結之狀態下，藉前述保持部而被保持，前述各第2臂體係在不包括導電性，而前述各基端部們被連結之狀態下，被一體製作，同時在該各基端部被連結之狀態下，藉前述保持部而被保持。

申請專利範圍第11項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，其包括遮板，前述遮板係透過絕緣體，被配設在前述各臂體中之在前述探測時，位於前述探測對象側之臂體中之相向於該探測對象之面側上，包括導電性。

申請專利範圍第12項所述之探針單元製造方法，製造申請專利範圍第8項所述之探針單元，其特徵在於：在前述一對第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該兩第1臂體後，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製作該各第1臂體，在前述一對第2臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該兩第2臂體後，分離自該各第2臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製作該各第2臂體，而製造前述探針單元。

申請專利範圍第13項所述之探針單元製造方法，係在申請專利範圍第12項所述之探針單元製造方法中，在前 述一對第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，在使前述一體製作之各第1臂體的前述各基端部，保持在前述保持部之狀態下，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，在使前述一體製作之各第2臂體的前述各基端部，保持在前述保持部之狀態下，分離自該各第2臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製造前述探針單元。

申請專利範圍第14項所述之檢測方法，係一種檢測方法，檢測基板，其特徵在於：使申請專利範圍第1項~第11項中任一項所述之探針單元的前述探針銷，對做為前述探測對象之前述基板進行探測，依據透過該探針銷以輸出入之電氣訊號，檢測該基板。

在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，在比帶狀之第1臂體及第2臂體中之基端部稍微往尖端部側之部位，及比尖端部稍微往基端部側之部位上，分別形成有貫穿孔，各貫穿孔間之中間部位，係當作各連桿而作用，同時各貫穿孔的形成部位，係當作接頭而作用之四節連桿機構，係藉支撐部構成。亦即，在此探針單元中，係在帶狀之各臂體上形成貫穿孔，使該貫穿孔的形成部位容易彈性變形，藉此，使形成部位做為接頭而作用。因此，當依據此探針單元時，其與使臂體在厚度方向上缺口，以使該部分當作接頭而作用(臂體需要某程度之厚度)之先前構成相比較下，可使各臂體充分薄形化，所以，可使各臂體充分輕量化，結果，可充分輕量化探針 單元。因此，當依據此探針單元時，可充分減少藉在探測時，探針銷接觸到探測對象，而在探測對象上產生之敲痕。

當依據申請專利範圍第2項所述之探針單元時，形成臂體，使得臂體中之寬度方向的端部與貫穿孔間之緣部的寬度，係隨著沿著臂體的長度方向，自中間部位離隙而變寬，藉此，可減少在探測時，產生在各緣部上之應力集中，所以，可確實防止由應力集中所做之緣部的破損。

當依據申請專利範圍第3項所述之探針單元時，臂體被形成為夾著貫穿孔以相向之兩個緣部，係將沿著通過臂體中之寬度方向的中心之中心線，當作對稱軸，以成為線對稱之形狀，藉此，在夾著貫穿孔以相向之兩個緣部中產生之應力，係將中心線當作對稱軸而成為線對稱，所以，可減少緣部中之應力集中，結果，更可確實防止各緣部的破損。

又，當依據申請專利範圍第4項~第6項所述之探針單元時，係構成探針單元，使得將探針銷當作連結部以作用，藉此，其與設置與探針銷為不同構件之連結部之構成相比較下，更可使探針單元輕量化。

又，當依據申請專利範圍第7項所述之探針單元時，包括沿著臂體的長度方向，形成於中間部位上之肋體，以構成臂體，藉此，可藉肋體，使中間部位的剛性高於其他部位(尤其，貫穿孔的形成部位)，所以，可使各貫穿孔的形成部位更容易彈性變形。因此，當依據此探針單元時，可減少在探測時，產生在探測對象上之敲痕。

又，在申請專利範圍第8項所述之探針單元中， 使探針銷包括一對，同時使第1臂體及第2臂體分別包括一對，保持部係保持一對第1臂體的各基端部，同時保持一對第2臂體的各基端部。亦即，在此探針單元中，一對探針銷係藉支撐部支撐。因此，當依據此探針單元時，在對於探測對象中之一個探測部位，探測兩個探針銷，由四端子法或四端子對法所做之測定或檢測中，可非常適用此探針單元，同時可減少在探測時，因為探針銷的敲擊所產生敲痕。

又，在申請專利範圍第9項所述之探針單元中，在維持一對第1臂體及一對第2臂體的各基端部，藉保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該各第1臂體及第2臂體後，在各基端部藉保持部被保持之狀態下，分離自基端部的附近至尖端部為止之間，而各第1臂體及各第2臂體被構成。因此，當依據此探針單元時，可使一對第1臂體及一對第2臂體，藉相同製作條件(使用相同材質的材料或相同材料的相同部分之相同加工條件)，分別一次製作，所以，可減少由材質性之參差或條件不同所致之各臂體中之尺寸或彈性率等之諸元之參差。又，當依據此探針單元時，在維持使各第1臂體及各第2臂體，一體製作後之位置關係之狀態下，可保持各第1臂體及各第2臂體在保持部，所以，可確實防止保持各第1臂體及各第2臂體在保持部時，各第1臂體們及各第2臂體們產生位置偏移。因此，當依據此探針單元時，可實現正確之探測。

又，在申請專利範圍第10項所述之探針單元中，各第1臂體及各第2臂體係在不包括導電性，而各基端部們被連結之狀態下，被一體製作，同時在各基端部被連結之狀態 下，藉保持部而被保持。因此，當依據此探針單元時，可一次性保持各第1臂體及各第2臂體在保持部，結果，可充分提高組立效率。

又，當依據申請專利範圍第11項所述之探針單元時，其包括遮板，遮板係透過絕緣體，被配設在探測時，位於探測對象側之臂體中之相向於探測對象之面側上，包括導電性，藉此，可充分減少臂體與探測對象間之浮游容量，因此，可確實防止由浮游容量所致之檢測精度之降低。

又，當依據申請專利範圍第12項所述之探針單元製造方法時，在維持一對第1臂體被保持時之位置關係後之狀態下，一體製作兩第1臂體後，分離自基端部的附近至尖端部為止之間，以製作各第1臂體，在維持一對第2臂體被保持時之位置關係後之狀態下，一體製作兩第2臂體後，分離自基端部的附近至尖端部為止之間，以製作各第2臂體，藉此，可使一對第1臂體及一對第2臂體，藉相同製作條件(使用相同材質的材料或相同材料的相同部分之相同加工條件)，分別一次製作。所以，當依據此探針單元製造方法時，可減少由材質性之參差或條件不同所致之各臂體中之尺寸或彈性率等之諸元之參差，結果，可製造可正確探測之探針單元。

又，當依據申請專利範圍第13項所述之探針單元製造方法時，在維持一體製作各第1臂體及各第2臂體時之位置關係後之狀態下，可保持各第1臂體及各第2臂體在保持部，所以，可確實防止保持各第1臂體及各第2臂體在保持部時，各第1臂體們及各第2臂體們產生位置偏移。因此，當依 據此探針單元製造方法時，可製造可更正確探測之探針單元。

又，當依據申請專利範圍第14項所述之檢測方法時，使上述探針單元的探針銷，對做為探測對象之基板進行探測，依據透過探針銷以輸出入之電氣訊號，檢測該基板，藉此，可充分減少探測時，探針銷接觸到基板，而在基板上產生之敲痕。

1,1A,1B,101,601‧‧‧探針單元

2‧‧‧探針銷

3,3A,103,603‧‧‧支撐部

11,11A,111,501,611‧‧‧臂體

12,12A,112,502,612‧‧‧臂體

13,113,613‧‧‧保持部

21a,21Aa,121a,621a‧‧‧基端部

22a,22Aa,122a,622a‧‧‧基端部

21b,21Ab,121b,621b‧‧‧尖端部

22b,22Ab,122b,622b‧‧‧尖端部

21c,22c,21Ac,22Ac,521c,522c‧‧‧中間部位

21Ae,21Af,22Ae,22Af‧‧‧側端部

21Ag,22Ag‧‧‧中心線

41‧‧‧絕緣片

42‧‧‧遮板

401,402,701,702‧‧‧中間體

411,631a,631b,711‧‧‧連結部

412,632a,632b,712‧‧‧連結部

511,512‧‧‧肋體

E1a~E1d,E2a~E2d‧‧‧緣部

H1a,H1b,H1Aa,H1Ab‧‧‧貫穿孔

H2a,H2b,H2Aa,H2Ab‧‧‧貫穿孔

P1a,P1b,P2a,P2b‧‧‧形成部位

W‧‧‧寬度

第1圖係表示探針單元1的構成之立體圖。

第2圖係固定移動機構300後之狀態之探針單元1之側面圖。

第3圖係探針單元1的俯視圖。

第4圖係探針單元1的仰視圖。

第5圖係說明探針單元1的動作之第1說明圖。

第6圖係說明探針單元1的動作之第2說明圖。

第7圖係表示探針單元101的構成之立體圖。

第8圖係說明臂體111的製作方法之第1說明圖。

第9圖係說明臂體111的製作方法之第2說明圖。

第10圖係說明臂體112的製作方法之第1說明圖。

第11圖係說明臂體112的製作方法之第2說明圖。

第12圖係表示臂體501的構成之俯視圖。

第13圖係第12圖中之X-X線剖面圖。

第14圖係表示臂體501中之肋體511的另一構成例之剖面圖。

第15圖係表示臂體502的構成之俯視圖。

第16圖係第15圖中之Y-Y線剖面圖。

第17圖係表示臂體502中之肋體512的另一構成例之剖面圖。

第18圖係探針單元1A的俯視圖。

第19圖係表示臂體11A中之貫穿孔H1Aa附近的構成之俯視圖。

第20圖係表示臂體11A中之貫穿孔H1Ab附近的構成之俯視圖。

第21圖係探針單元1A的仰視圖。

第22圖係表示臂體12A中之貫穿孔H2Aa附近的構成之俯視圖。

第23圖係表示臂體12A中之貫穿孔H2Ab附近的構成之俯視圖。

第24圖係探針單元1B的側視圖。

第25圖係表示探針單元601的構成之立體圖。

第26圖係說明探針單元601的製造方法之第1說明圖。

第27圖係說明探針單元601的製造方法之第2說明圖。

第28圖係說明探針單元601的製造方法之第3說明圖。

第29圖係說明探針單元601的製造方法之第4說明圖。

以下，參照附圖說明探針單元、探針單元製造方法以及檢測方法的實施形態。

最初，說明當作探針單元的一例之第1圖所示探 針單元1的構成。如第1圖所示，探針單元1之構成，係包括探針銷2及支撐部3。

如第1圖所示，探針銷2係尖端部2a形成為尖銳之圓柱狀。此探針銷2係當探針單元1藉移動機構300(參照第2圖)移動時，尖端部2a探測(接觸)到探測對象(例如第1圖所示之基板200)。

支撐部3之構成，係可支撐探針銷2。具體說來，如第1圖及第2圖所示，支撐部3之構成，係包括臂體11(第1臂體)、臂體12(第2臂體)及保持部13。

如第1圖~第4圖所示，臂體11，12係分別形成為帶狀(細長的板狀)。在此情形下，臂體11，12之一例係以金屬形成，包括導電性。又，臂體11，12係在沿著探測探針銷2時之探測方向(第2圖中之往下)彼此離隙，各表面們相向之狀態下被配置。又，臂體11，12係基端部21a，22a被保持部13保持。

又，如第2圖~第4圖所示，在臂體11中之比基端部21a稍微往尖端部21b側之部位，形成有貫穿孔H1a，在臂體11中之比尖端部21b稍微往基端部21a側之部位，形成有貫穿孔H1b。又，在臂體12中之比基端部22a稍微往尖端部22b側之部位，形成有貫穿孔H2a，在臂體12中之比尖端部22b稍微往基端部22a側之部位，形成有貫穿孔H2b。而且，在以下之說明中，當不區別各貫穿孔H1a，H1b，H2a，H2b時，皆稱做「貫穿孔H」。

在此，在臂體11，12形成貫穿孔H，藉此，各貫 穿孔H的形成部位P1a，P1b，P2a，P2b(參照第1圖~第4圖：以下，當不區別時，也稱做「形成部位P」)的剛性，係低於臂體11，12中之其他部位的剛性，藉此，在各形成部位P中，變得容易彈性變形。

又，如第2圖~第4圖所示，在臂體11，12的各尖端部21b，22b，分別形成有用於貫穿固定探針銷2的基端部2b之插孔21d，22d。

如第1圖及第2圖所示，保持部13係以三個保持構件31~33構成，保持各臂體11，12的各基端部21a，22a。在此情形下，如第2圖所示，保持部13係在保持構件31，32之間夾入臂體11，在保持構件32，33之間夾入臂體12，貫穿固定用螺絲34到各保持構件32，33的插孔，以螺入到保持構件31的螺孔，藉此，保持各臂體11，12的各基端部21a，22a。又，在保持構件31形成有用於固定探針單元1在移動機構300上之固定用孔31a。

如第2圖所示，在此探針單元1中，探針銷2的基端部2b側，係被固定在各臂體11，12的各尖端部21b，22b，各尖端部21b，22b們藉探針銷2被連結。亦即，在此探針單元1中，探針銷2係做為連結部而作用。在此情形下，固定探針銷2的基端部2b側到各臂體11，12的各尖端部21b，22b上之方法，可採用以導電性接著劑接著之方法、使用鑞銲或雷射以熔接之方法、及壓入探針銷2的基端部2b到臂體11，12的插孔21d，22d之方法等之各種方法。

接著，針對構成探針單元1之各構成要素的尺寸 的一例，參照圖面做說明。探針銷2係形成為全長4mm，直徑0.2mm。又，如第2圖所示，探針銷2係在基端部2b貫穿分別形成在支撐部3中之臂體11，12的各尖端部21b，22b上之插孔21d，22d，被***插孔21d之部分(第2圖中之上側的端部)，與被***臂體12的插孔21d(第2圖中之上下方向的中間部分)的距離成為2mm之狀態下，被固定在各尖端部21b，22b。

支撐部3的臂體11，係形成為全長12.7mm，寬度1mm，厚度0.05mm。又，臂體11係被規定為自支撐部3中之保持構件31的尖端部(第1圖中之右側的端部)，突出之部分的長度係6mm。又，臂體11的貫穿孔H1a，H1b，係各邊分別形成為0.6mm之概略矩形。又，貫穿孔H1a係被形成在保持構件31的尖端部與位於保持構件31的尖端部側上之緣部間之距離成為0.2mm之位置。又，貫穿孔H1b係被形成在被形成於臂體11的尖端部21b上之探針銷2貫穿之插孔21d(參照第2圖)，與位於插孔21d側之緣部間之距離成為0.3mm之位置。

支撐部3的臂體12，係形成為全長13mm，寬度1mm，厚度0.05mm。又，臂體12係被規定為自支撐部3中之保持構件33的尖端部(第1圖中之右側的端部)，突出之部分的長度係10mm。又，臂體11的貫穿孔H2a，H2b，係各邊分別形成為0.6mm之概略矩形。又，貫穿孔H2a係被形成在保持構件33的尖端部與位於保持構件33的尖端部側上之緣部間之距離成為0.2mm之位置。又，貫穿孔H2b係被形成在被形成於臂體12的尖端部22b上之探針銷2貫穿之插孔22d(參照第2圖)，與位於插孔22d側之緣部間之距離成為0.3mm之位 置。而且，上述各構成要素的尺寸，係一例，可適宜變更。

在此，此探針單元1中，如上所述，臂體11，12係在各貫穿孔H的各形成部位P中，很容易彈性變形。因此，如第5圖所示，在探針單元1中，於保持部13被固定在移動機構300之狀態下，當對於探針銷2的尖端部2a，施加與探測方向相反(同圖中之往上方向)之力量時，將各形成部位P當作支點，臂體11的中間部位21c、臂體12的中間部位22c、臂體11，12的各尖端部21b，22b及探針銷2旋轉(移動)。這種探針單元1的各構成要素的旋轉動作，如第6圖所示，係與中間部位21c，22c做為連桿(節)以作用，同時各形成部位P做為接頭(關節或支點)以作用之四節連桿機構(四節旋轉機構)的旋轉動作相同。亦即，在此探針單元1中，藉臂體11，12、保持部13及做為連結部以作用之探針銷2，構成四節連桿機構。又，在此探針單元1中，當對於探針銷2施加與探測方向相反(同圖中之往上方向)之力量時，如同圖所示，臂體11，12(中間部位21c，22c)的長度或臂體11，12的間隔被規定，使得容許探針銷2的尖端部2a直動或近似直動。

又，在此探針單元1中，在形成為帶狀之臂體11，12上，形成貫穿孔H，使該貫穿孔H的形成部位P容易彈性變形，藉此，使形成部位P做為接頭以作用。因此，在此探針單元1中，與使臂體在厚度方向上缺口，而使該部分當作接頭以作用之先前構成，亦即，與在臂體上必須有某程度之厚度之構成相比較下，可使臂體11，12充分薄形化，因此，可使臂體11，12輕量化，結果，此部分可使探針單元1輕量化。

接著，針對使用探針單元1，檢測做為探測對象的一例之基板200之檢測方法及探測時之探針單元1的動作，參照圖面以詳細說明。

如第2圖所示，此探針單元1係貫穿固定用螺絲301，到被形成在保持部13的保持構件31上之固定用孔31a，螺入固定用螺絲301到移動機構300的螺孔，藉此，被移動機構300固定。

當對於移動機構300下達探測指示後，移動機構300係使探針單元1移動到做為探測對象之基板200的上方。接著，移動機構300下降(往下移動)探針單元1。接著，隨著探針單元1之下降，如第2圖所示，探針銷2的尖端部2a接觸到基板200的表面201。

接著，如第5圖所示，移動機構300更下降探針單元1。伴隨於此，探針銷2的尖端部2a係往下按壓基板200的表面201。又，相對於探針銷2的尖端部2a而言，按壓力的反作用力係往上施加。此時，如同圖所示，將臂體11，12的各形成部位P當作支點，臂體11的中間部位21c、臂體12的中間部位22c、臂體11，12的各尖端部21b，22b及探針銷2，係以與四節連桿機構相同之動作旋轉。具體說來，中間部位21c係將形成部位P1a當作支點，往同圖中之左邊旋轉(逆時針旋轉)，中間部位22c係將形成部位P2a當作支點，往同圖中之左邊旋轉。又，被探針銷2連結之尖端部21b，22b及探針銷2，係將形成部位P1b，P2b當作支點，往同圖中之右邊旋轉(順時針旋轉)。

接著，移動機構300在使探針單元1僅下降事先決定之距離後之時點，停止下降。

在此情形下，在此探針單元1中，如上所述，臂體11，12的長度或臂體11，12的間隔被規定，使得容許探針銷2的尖端部2a直動或近似直動(參照第6圖)。因此，在自探針銷2的尖端部2a接觸到基板200的表面201後，至探針單元1停止下降之間，被維持位於最初之接觸位置之狀態。因此，在此探針單元1中，可確實防止由探針銷2的尖端部2a，在基板200的表面201上移動所致之傷痕產生。

又，在探針單元1中，如上所述，係薄形化臂體11，12以充分輕量化，藉此，可輕量化探針單元1。因此，可充分減少因為在探測時，探針銷2的尖端部2a接觸到基板200(探測對象)，導致在基板200的表面201上產生之敲痕。

接著，圖外之基板檢測裝置，係依據透過探針銷2輸出入之電氣訊號，執行基板200之檢測。

接著，當檢測結束，對於移動機構300下達探測結束之指示後，移動機構300上升探針單元1(保持部13)。伴隨於此，由探針銷2所做之對於基板200的表面201之按壓被解除，相對於探針銷2的尖端部2a而言，往上施加之按壓力的反作用力被解除。此時，臂體11，12的各中間部位21c，22c、臂體11，12的各尖端部21b，22b及探針銷2，係做為四節連桿機構以動作，亦即，分別往與上述探測時之方向相反之方向旋轉，自第5圖所示之狀態，回復到第2圖所示之初期狀態。

藉此，對於基板200之探針單元1的探針銷2的探測及探測解除就結束。

如此一來，在此探針單元1中，在比帶狀之臂體11，12中之基端部21a稍微往尖端部21b側之部位，及比尖端部21b稍微往基端部21a側之部位上，分別形成有貫穿孔H，各貫穿孔H間之中間部位21c，22c，係當作各連桿而作用，同時各貫穿孔H的各形成部位P，係當作接頭而作用之四節連桿機構，係藉支撐部3構成。亦即，在此探針單元1中，係在帶狀之臂體11，12上形成貫穿孔H，使該貫穿孔H的形成部位P容易彈性變形，藉此，使形成部位P做為接頭而作用。因此，當依據此探針單元1時，其與使臂體在厚度方向上缺口，以使該部分當作接頭而作用(臂體需要某程度之厚度)之先前構成相比較下，可使臂體11，12充分薄形化，所以，可使臂體11，12充分輕量化，結果，可充分輕量化探針單元1。因此，當依據此探針單元1時，可充分減少藉在探測時，探針銷2接觸到探測對象(基板200)，而在探測對象上產生之敲痕。

又，當依據此探針單元1時，構成探針單元1，使得探針銷2做為連結部以作用，藉此，其與設置與探針銷2為不同構件之連結部之構成相比較下，可更輕量化探針單元1。因此，當依據此探針單元1時，可充分減少藉在探測時，探針銷2接觸到探測對象(基板200)，而在探測對象上產生之敲痕。

又，在此檢測方法中，係使用上述探針單元1，檢測做為探測對象之基板200，藉此，可實現探針單元1所包括之上述各效果，亦即，可實現可充分減少在探測時，於基板200 上產生之敲痕之效果。

接著，說明做為探針單元1的另一例之第7圖所示探測單元101的構成。而且，在以下之說明中，針對與上述探針單元1相同之構成要素，係賦予相同編號，省略重複說明。

如第7圖所示，探針單元101之構成係包括一對探針銷2及支撐部103。支撐部103之構成係包括一對臂體111(第1臂體)、一對臂體112(第2臂體)、及保持部113。各臂體111，112係與探針單元1的臂體11，12相同地，分別以金屬形成帶狀。又，在各臂體111，112上，係與臂體11，12相同地，形成有貫穿孔H。

如第7圖所示，保持部113係以三個保持構件131~133構成，在各臂體111鄰接以平行延伸之狀態(在一個假想平面上，被鄰接配置之配置狀態)下，保持各臂體111的各基端部121a，同時在各臂體112鄰接以平行延伸之狀態(在一個假想平面上，被鄰接配置之配置狀態)下，保持各臂體112的各基端部122a。又，在保持構件131形成有用於固定探針單元101到移動機構300上之固定用孔131a。

在此探針單元101中，一對探針銷2被支撐部103支撐。因此，在相對於探測對象中之一個探測部位而言，進行探測兩個探針銷2之由四端子法或四端子對法所做之測定或檢測中，非常適合使用探針單元101。又，即使在此探針單元101中，也可實現與上述探針單元1相同效果，亦即，可實現防止探測時之由探針銷2的移動所致之損傷產生，及抑制探測時之由探針銷2的敲擊所致之敲痕產生。又，即使在使用此探針單 元101之檢測方法中，也可實現與使用上述探針單元1之檢測方法相同之效果。

接著，針對製造上述探針單元101之探針單元製造方法，以臂體111，112的製作方法為中心做說明。當製作使用在此探針單元101之臂體111時，如第8圖所示，首先，製作使一對臂體111一體化之中間體401。如同圖所示，此中間體401係在維持一對臂體111的各基端部121a被保持部113保持時之位置關係(參照第7圖)之狀態下，成為各臂體111被連結部411連結之形狀。在此情形下，中間體401的製作方法，可採用由電鑄所做之製作方法、由衝壓所做之方法及由切削所做之製作方法等。

接著，使中間體401(成為一體之各臂體111)的連結部411，在第8圖虛線所示之處所切斷以分離，接著，如第9圖所示，分離各臂體111。藉此，製作一對臂體111。

又，當製作臂體112時，如第10圖所示，使一體化一對臂體112之中間體402，以與中間體401的製作方法相同之製作方法製作。如同圖所示，此中間體402係在維持一對臂體112的各基端部122a被保持部113保持時之位置關係(參照第7圖)之狀態下，成為各臂體112被連結部412連結之形狀。

接著，使中間體402(成為一體之各臂體112)的連結部412，在第10圖虛線所示之處所切斷以分離，接著，如第11圖所示，分離各臂體112。藉此，製作一對臂體112。

接著，以保持部113保持各臂體111，112的基端 部121a，122a。接著，固定探針銷2到各臂體111，112的尖端部121b，122b。藉此，製造探針單元101。

當依據此製造方法時，以上述製作方法製作臂體111，112，藉此，可藉相同製作條件製作一對臂體111，可藉相同製作條件製作一對臂體112。具體說來，例如當以電鑄製作臂體111，112時，可使用相同電鑄材料，以相同電鑄條件，分別一次製作各臂體111及各臂體112，例如當以衝壓或切削製作臂體111，112時，可使用加工材料(金屬板或金屬塊)中之同一部分，以相同衝壓條件或相同切削條件，分別一次製作各臂體111及各臂體112。因此，當依據此製造方法時，可減少由材質性之參差或條件不同所致之各臂體111，112中之尺寸或彈性率等之諸元之參差，結果，可製造可正確探測之探針單元101。又，當依據使用此探針單元101之檢測方法時，可進行正確的探測。

而且，在上述之例中，在切斷中間體401，402(一體化後之各臂體111，112)，以分離一對臂體111及一對臂體112後，保持各臂體111，112的各基端部121a，122a在保持部113，以製造探針單元101，可如下地製造探針單元101。首先，在製作中間體401，402後，僅分離中間體401，402中之各臂體111，112的各基端部121a，122a側的部分。接著，在該狀態(在各基端部121a，122a側以外之部分被連接，各臂體111，112分別成為一體之狀態)下，保持各基端部121a，122a在保持部113。接著，在此狀態下，分離自中間體401，402中之各基端部121a，122a的附近，至各尖端部121b，122b 為止之間。亦即，在此時點，各臂體111，112係自各基端部121a，122a，至各尖端部121b，122b為止被分離。在如上製造之探針單元101中，於維持形成中間體401，402後之各臂體111及各臂體112之位置關係之狀態下，可保持各臂體111及各臂體112在保持部113，所以，可確實防止當保持各臂體111及各臂體112在保持部113時，各臂體111們及各臂體112們產生位置偏移。因此，當依據此製造方法時，可製造可更正確探測之探針單元101。又，當依據使用此探針單元101之檢測方法時，可更正確進行探測。

而且，探針單元、探針單元製造方法以及檢測方法，係不侷限於上述構成及方法。例如也可以採用取代臂體11，12(臂體111，112)，而使用分別表示於第12圖及第15圖所示之臂體501，502之構成及方法。如第12圖所示，臂體501(第1臂體)之構成，係在各貫穿孔H間的中間部位521c，包括沿著臂體501的長度方向形成之肋體511。在此情形下，肋體511係做為一例，如第13圖所示，係形成有剖面形狀往上方突出之直徑為0.3mm之半圓筒形(半橢圓筒形)。又，臂體501係做為一例，形成寬度為1mm，如第12圖所示，肋體511被形成在臂體501的寬度方向的中央部。因此，自肋體511的寬度方向的兩端，至臂體501的寬度方向的兩緣部為止之各長度成為0.35mm。而且，如第14圖所示，也可以使肋體511形成為半圓筒形(半橢圓筒形)之剖面形狀。

又，如第15圖所示，臂體502(第2臂體)之構成，係在各貫穿孔H間的中間部位522c，包括沿著臂體502 的長度方向形成之肋體512。在此情形下，肋體512係做為一例，如第16圖所示，與臂體501的肋體511同樣地，係形成有剖面形狀往上方突出之直徑為0.3mm之半圓筒形(半橢圓筒形)。又，臂體502係做為一例，形成寬度為1mm，如第15圖所示，肋體512被形成在臂體502的寬度方向的中央部。因此，自肋體512的寬度方向的兩端，至臂體502的寬度方向的兩緣部為止之各長度成為0.35mm。而且，如第17圖所示，也可以使肋體512形成為半圓筒形(半橢圓筒形)之剖面形狀。當依據此構成時，藉形成在中間部位521c，522c上之肋體511，512，可使中間部位521c，522c的剛性高於其他部分(特別是貫穿孔H的形成部位P)，所以，可使形成有各貫穿孔H之各形成部位P，更容易彈性變形。因此，當依據此構成時，可更加減少探測時之產生在探測對象上之敲痕。

又，直接固定探針銷2到臂體11，12(臂體111，112)的尖端部21b，22b(尖端部121b，122b)上之構成，亦即，使探針銷2的基端部2b側做為連結部以作用之構成例係敘述如上，但是，也可以採用包括與探針銷2為不同個體，可安裝(裝卸)探針銷2，以連結尖端部21b，22b(尖端部121b，122b)之連結部之構成。

又，可採用第18圖所示之探針單元1A。而且，在以下之說明中，針對與上述探針單元1，101相同之構成要素，係賦予相同編號，省略重複之說明。

如第18圖~第20圖所示，在此探針單元1A中，在構成支撐部3A之臂體11A的側端部21Ae，21Af(寬度方向 的端部)，與被形成在比臂體11A中之基端部21Aa稍微往尖端部21Ab側之部位上之貫穿孔H1Aa間之緣部E1a，E1b的寬度W，係隨著沿著臂體11A的長度方向(各圖中之左右方向)自中間部位21Ac離隙(隨著接近基端部21Aa)而變寬。具體說來，在此探針單元1A中，做為一例，最靠近緣部E1a，E1b中之中間部位21Ac之部位中之寬度W係0.1mm，最離開緣部E1a，E1b中之中間部位21Ac之部位中之寬度W係0.15mm。在此情形下，緣部E1a，E1b(夾持貫穿孔H1Aa以相向之兩個緣部)，係被形成使得將沿著通過臂體11A中之寬度方向的中心之長度方向之中心線21Ag，當作對稱軸以成為線對稱之形狀。

又，如第18圖~第20圖所示，在此探針單元1A中，在臂體11A的側端部21Ae，21Af，與被形成在比臂體11A中之尖端部21Ab稍微往基端部21Aa側之部位上之貫穿孔H1Ab間之緣部E1c，E1d的寬度W，係隨著沿著臂體11A的長度方向，自中間部位21Ac離隙(隨著接近尖端部21Ab)而變寬。具體說來，在此探針單元1A中，做為一例，最靠近緣部E1c，E1d中之中間部位21Ac之部位中之寬度W係0.1mm，最離開緣部E1c，E1d中之中間部位21Ac之部位中之寬度W係0.15mm。在此情形下，緣部E1c，E1d(夾持貫穿孔H1Ab以相向之兩個緣部)，係被形成使得將臂體11A的中心線21Ag，當作對稱軸以成為線對稱之形狀。

同樣地，如第21圖~第23圖所示，在此探針單元1A中，在構成支撐部3A之臂體12A的側端部22Ae，22Af (寬度方向的端部)，與被形成在比臂體12A中之基端部22Aa稍微往尖端部22Ab側之部位上之貫穿孔H2Aa間之緣部E2a，E2b的寬度W，係隨著沿著臂體12A的長度方向(各圖中之左右方向)自中間部位22Ac離隙(隨著接近基端部22Aa)而變寬。具體說來，在此探針單元1A中，做為一例，最靠近緣部E2a，E2b中之中間部位22Ac之部位中之寬度W係0.1mm，最離開緣部E2a，E2b中之中間部位22Ac之部位中之寬度W係0.15mm。在此情形下，緣部E2a，E2b(夾持貫穿孔H2Aa以相向之兩個緣部)，係被形成使得將沿著通過臂體12A中之寬度方向的中心之長度方向之中心線22Ag，當作對稱軸以成為線對稱之形狀。

又，如第21圖~第23圖所示，在此探針單元1A中，在臂體12A的側端部22Ae，22Af，與被形成在比臂體12A中之尖端部22Ab稍微往基端部22Aa側之部位上之貫穿孔H2Ab(以下，當不區別貫穿孔H1Aa，H1Ab，H2Aa，H2Ab時，也稱做「貫穿孔H」)間之緣部E2c，E2d(以下，當不區別緣部E1a~E1d，E2a~E2d時，也稱做「緣部E」)的寬度W，係隨著沿著臂體12A的長度方向，自中間部位22Ac離隙(隨著接近尖端部22Ab)而變寬。具體說來，在此探針單元1A中，做為一例，最靠近緣部E2c，E2d中之中間部位22Ac之部位中之寬度W係0.1mm，最離開緣部E2c，E2d中之中間部位22Ac之部位中之寬度W係0.15mm。在此情形下，緣部E2c，E2d(夾持貫穿孔H2Ab以相向之兩個緣部)，係被形成使得將臂體12A的中心線22Ag，當作對稱軸以成為線對稱之形狀。

如第18圖~第23圖所示，在此探針單元1A中，使各貫穿孔H的形狀略呈梯形，藉此，形成臂體11A，12A，使得各緣部E的寬度W或形狀滿足上述條件。

在此探針單元1A中，係形成臂體11A，12A，使得各緣部E的寬度W係隨著自中間部位21Ac，22Ac離隙而變寬，藉此，可減少在探測時，各緣部E產生之應力集中。具體說來，在如臂體11A，12A之樑狀構件中，當橫剖面之形狀及面積，係在臂體11A，12A的長度方向中之任一位置也為一定時，探測時產生之應力，係隨著自中間部位21Ac，22Ac離隙(在基端部21Aa，22Aa側中，愈接近基端部21Aa，22Aa，在尖端部21Ab，22Ab側中，愈接近尖端部21Ab，22Ab)而變大。因此，在各緣部E的寬度W係一定之構成中，各緣部E產生之應力，係愈自中間部位21Ac，22Ac離隙則變大，在最離開中間部位21Ac，22Ac之部位上應力集中。相對於此，在此探針單元1A中，係形成臂體11A，12A，使得各緣部E的寬度W係隨著自中間部位21Ac，22Ac離隙而變寬，所以，可減少在探測時，各緣部E產生之應力集中。因此，當依據此探針單元1A及使用此探針單元1A之檢測方法時，可確實防止由應力集中所致之各緣部E之破損。

又，在此探針單元1A中，係形成臂體11A，12A，使得夾住各貫穿孔H以相向之兩個緣部E，將臂體11A，12A的中心線21Ag，22Ag當作對稱軸，而成為線對稱之形狀，所以，在夾住各貫穿孔H以相向之兩個緣部E中產生之應力分佈，係將中心線21Ag，22Ag當作對稱軸，而成為線對稱。亦 即，在夾住各貫穿孔H以相向之兩個緣部E中產生之應力分佈，係在第18圖~第23圖中之上下方向中成為均等。因此，當依據此探針單元1A及使用此探針單元1A之檢測方法時，可減少各緣部E中之應力集中，結果，可更確實防止各緣部E的破損。

又，也可採用第24圖所示之探針單元1B。而且，在以下之說明中，針對與上述探針單元1，101，1A相同之構成要素，係賦予相同編號，省略其重複說明。

如第24圖所示，此探針單元1B係在上述探針單元1包括之各構成要素外，還包括絕緣片41及遮板42。絕緣片41係絕緣體的一例，其中，以塑膠等的非導電性(絕緣性)之材料形成片狀。遮板42係藉例如銅或鋁等包括導電性之金屬，形成為薄板狀。如同圖所示，此遮板42係在臂體11，12中之在相向於臂體12中之基板200之表面(同圖中之下表面：以下，稱做「相向面」)側，透過絕緣片41(在相對於臂體12而言，被絕緣之狀態下)被配設，臂體12係位於探測時，做為探測對象之基板200側，遮板42係藉固定用螺絲35，被固定在保持部13(保持構件31，32)。又，遮板42係透過圖外之配線，例如被連接到接地電位(基準電位)。

在此情形下，在不包括遮板42之構成中，臂體12係以金屬形成，所以，臂體12與探測對象間之浮遊容量有時會變大，因為此浮遊容量，檢測精度有降低之虞。相對於此，當依據此探針單元1B時，配設遮板42到臂體12的相向面側，藉此，可充分減少臂體12與探測對象間之浮遊容量。因此， 當依據此探針單元1B及使用此探針單元1B之檢測方法時，可確實防止由浮遊容量所致之檢測精度降低。而且，即使讓用在遮板42之固定之固定用螺絲35為金屬製，遮板42與固定用螺絲35會導通，所以，因為固定用螺絲35所產生之浮遊容量也可取消。又，遮板42形成為薄板狀，所以，可確保探測時之臂體12與探測對象間之充分間隙，結果，可避免對探測產生障礙之事態。

又，雖然說明過使用以金屬形成之臂體11，12(臂體111，112)之例，但是，也可以採用使用藉射出成形等所形成之塑膠製臂體(第1臂體及第2臂體)之構成。在此情形下，當使用塑膠製之臂體時，也可以採用在臂體的表面的全部或局部上，形成導電膜(導電層)，藉此，使探針銷2與保持部13(保持部113)之間，透過該導電膜而電性連接之構成。又，如上述探針單元101，當在包括一對探針銷2之探針單元中，使用塑膠製臂體時，也可以採用在切離一對臂體(探針單元101中之一對臂體111及一對臂體112)時，僅切離自各臂體中之基端部附近至尖端部為止之間，於連結各基端部們之狀態下，藉保持部保持之構成(分離自各臂體中之至少基端部附近至尖端部為止之間之構成的一例)。採用此構成之具體例，係針對第25圖所示之探針單元601，說明如下。而且，針對與上述探針單元1，101，1A，1B相同之構成要素，係賦予相同編號，省略其重複說明。

如第25圖所示，此探針單元601之構成，係包括一對探針銷2及支撐部603。支撐部603之構成，係包括一對 臂體611(第1臂體)、一對臂體612(第2臂體)及保持部613。如第27圖所示，各臂體611係在各基端部621a們被包括非導電性(絕緣性)之材料連結之狀態下，被一體製作(將一體化各臂體611者，稱做「中間體701」)，同時如第25圖所示，各基端部621a在被連結之狀態下，被保持部613保持。又，各臂體611之構成，係在維持各基端部621a被保持部613保持時之位置關係之狀態下，一體製作兩臂體611後(在製作中間體701後)，於各基端部621a被保持部保持之狀態下，自基端部621a的附近至尖端部621b為止之間被分離。在此情形下，如同圖所示，在此探針單元601中，被保持部613保持時之各臂體611之位置關係，係成為各臂體611在一個假想平面上鄰接，而且，各臂體611係隨著自基端部621a往尖端部621b，彼此接近之位置關係。又，如第27圖所示，在臂體611形成有用於使探針銷2電性連接到圖外之基板檢測裝置等之導體線路641。

如第29圖所示，各臂體612係在各基端部622a們被包括非導電性之材料連結之狀態下，一體被製作(將一體化各臂體612者，稱做「中間體702」)，同時如第25圖所示，各基端部622a在被連結之狀態下，被保持部613保持。又各臂體612係與各臂體611之構成同樣地，係在維持各基端部622a被保持部613保持時之位置關係之狀態下，一體製作兩臂體612後(在製作中間體702後)，於各基端部622a被保持部保持之狀態下，自基端部622a的附近至尖端部621b為止之間被分離。在此情形下，如同圖所示，被保持部613保持時之各 臂體612之位置關係，係成為各臂體612在一個假想平面上鄰接，而且，各臂體612係隨著自基端部622a往尖端部622b，彼此接近之位置關係。又，如第29圖所示，在臂體612形成有用於使探針銷2電性連接到圖外之基板檢測裝置等之導體線路642。

接著，說明探針單元601的製造方法。首先，如第26圖所示，使用包括塑膠等之非導電性(絕緣性)之材料，製作中間體701。中間體701在維持一對臂體611的各基端部621a被保持部613保持時之位置關係(參照第25圖)之狀態下，各臂體611被連結部631a，631b連結。中間體701的製作方法，可採用由射出成形所做之製作方法、由切削所做之製作方法、及使用3D列印之製作方法等。接著，如第27圖所示，自中間體701中之各臂體611的基端部621a至尖端部621b，形成導體線路641。

接著，如第28圖所示，使用包括塑膠等之非導電性之材料，以與中間體701的製作方法相同之製作方法，製作中間體702。中間體702係在維持一對臂體612的各基端部622a被保持部613保持時之位置關係(參照第25圖)之狀態下，各臂體611被連結部632a，632b連結。接著，如第29圖所示，自中間體702中之各臂體612的基端部622a至尖端部622b，形成導體線路642。

接著，以保持體613保持中間體701，702的基端部側(連結部631a，632a)。接著，使中間體701，702的尖端部側，亦即，使各臂體611，612的尖端部621b，622b側的連 結部631b，632b，在第27圖及第29圖所示虛線之處所，切斷以分離，分離自各臂體611，612中之基端部621a，622a的附近，至尖端部621b，622b為止之間。藉此，製造探針單元601。

在此探針單元601中，如上所述，係在各臂體611及各臂體612，連結各基端部621a們及各基端部622a們之狀態下，分別被一體製作，同時在連結各基端部621a們及各基端部622a們之狀態下，被保持部613保持。因此，當依據此探針單元601時，在維持被保持部613保持時之各臂體611及各臂體612之位置關係之狀態下，可製作各臂體611及各臂體612，而且，可在確實維持製作後之位置關係之狀態下，保持(安裝)在保持部613。因此，當依據此探針單元601時，可減少在製作各臂體611及各臂體612時，由材質性之參差或條件不同所致之各臂體611們及各臂體612們的尺寸或彈性率等之諸元之參差，同時可確實防止保持各臂體611及各臂體612在保持部613時，各臂體611們及各臂體612們的位置偏移。結果，當依據此探針單元601、及使用此探針單元601之檢測方法時，可更正確進行探測。又，當依據此探針單元601時，可保持一對臂體611及一對臂體612在保持部613，所以，可充分提高探針單元601的組立效率。

Claims (14)

1. 一種探針單元，包括探針銷、及支撐該探針銷之支撐部，其特徵在於：前述支撐部包括：第1臂體及第2臂體，呈帶狀，在將前述探針銷當作探測對象而探測時，沿著探測方向彼此離隙相向之狀態下被配置；保持部，保持該各臂體的各基端部；以及連結部，可安裝前述探針銷地被構成，同時連結前述各臂體的各尖端部們，前述各臂體係具有在比前述基端部稍微往前述尖端部側形成之尖端部側的貫穿孔，及在比前述尖端部稍微往前述基端部側形成之基端部側的貫穿孔，前述支撐部係將在前述各臂體中之前述各貫穿孔間的各中間部位、前述連結部、以及前述保持部當作連桿而作用，同時將在前述各臂體中之前數個貫穿孔的形成部位當作接頭而作用，以構成將前述基端部側的貫穿孔的形成部位當作支點令前述中間部位轉動、使往與前述探測方向相反之方向之前述探針銷的直動或近似直動為可能的四節連桿機構。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，前述臂體被形成為該臂體中之寬度方向的端部與前述貫穿孔間之緣部的寬度，係隨著沿著該臂體的長度方向，自前述中間部位離隙而變寬。
3. 如申請專利範圍第2項所述之探針單元，其中，前述臂體被形成為夾著前述貫穿孔以相向之兩個前述緣部，係將沿 著通過該臂體中之前述寬度方向的中心之前述長度方向之中心線，當作對稱軸，以成為線對稱之形狀。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，被構成使得前述探針銷，係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。
5. 如申請專利範圍第2項所述之探針單元，其中，被構成使得前述探針銷，係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。
6. 如申請專利範圍第3項所述之探針單元，其中，被構成使得前述探針銷，係被固定在前述第1臂體的前述尖端部及前述第2臂體的前述尖端部上，該探針銷係被當作前述連結部而作用。
7. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，前述各臂體包括沿著該臂體的長度方向，形成於前述中間部位上之肋體。
8. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，使前述探針銷包括一對，同時使前述第1臂體及前述第2臂體分別包括一對，前述保持部係在前述一對第1臂體鄰接延長之狀態下，保持該各第1臂體的前述各基端部，同時在前述一對第2臂體鄰接延長之狀態下，保持該各第2臂體的前述各基端部。
9. 如申請專利範圍第8項所述之探針單元，其中，前述各第1 臂體係在維持該各第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該各第1臂體後，在前述各基端部藉前述保持部被保持之狀態下，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，前述各第2臂體係在維持該各第2臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該各第2臂體後，在前述各基端部藉前述保持部被保持之狀態下，分離自該各第2臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間。
10. 如申請專利範圍第9項所述之探針單元，其中，前述各第1臂體係在不包括導電性，而前述各基端部們被連結之狀態下，被一體製作，同時在該各基端部被連結之狀態下，藉前述保持部而被保持，前述各第2臂體係在不包括導電性，而前述各基端部們被連結之狀態下，被一體製作，同時在該各基端部被連結之狀態下，藉前述保持部而被保持。
11. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，其包括遮板，前述遮板係透過絕緣體，被配設在前述各臂體中之在前述探測時，位於前述探測對象側之臂體中之相向於該探測對象之面側上，包括導電性。
12. 一種探針單元製造方法，製造申請專利範圍第8項所述之探針單元，其特徵在於： 在前述一對第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該兩第1臂體後，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製作該各第1臂體，在前述一對第2臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，一體製作該兩第2臂體後，分離自該各第2臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製作該各第2臂體，而製造前述探針單元。
13. 如申請專利範圍第12項所述之探針單元製造方法，其中，在前述一對第1臂體的前述各基端部，藉前述保持部被保持時之位置關係之狀態下，在使前述一體製作之各第1臂體的前述各基端部，保持在前述保持部之狀態下，分離自該各第1臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，在使前述一體製作之各第2臂體的前述各基端部，保持在前述保持部之狀態下，分離自該各第2臂體中之至少前述基端部的附近至前述尖端部為止之間，以製造前述探針單元。
14. 一種檢測方法，檢測基板，其特徵在於：使申請專利範圍第1至11項中任一項所述之探針單元的前述探針銷，對做為前述探測對象之前述基板進行探測，依據透過該探針銷以輸出入之電氣訊號，檢測該基板。