JP2020016625A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】測定装置の接触子の耐久性を向上させる。【解決手段】測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路（マイクロストリップ線路）が設けられる伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有し、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置に関するものである。

特許文献１には、測定対象である複数の集積回路が形成されたウェハを載置する昇降可能なステージと、集積回路の高周波特性を測定する高周波プローブ装置と、を有する高周波特性測定装置が開示されている。この高周波プローブ装置は、略同一平面上に並列に所定の間隔をあけて配置されている、シグナル針とグラウンド針とにより構成されるプローブを有する。プローブは、ばね性を有する導電材料から形成され、プローブを撓ませるようにウェハに所定の接触圧で接触させて、プローブとウェハとが電気的に接続される。

特開２００５−２２３１７０号公報

上記のような測定装置では、プローブ（接触子）と測定対象との良好な接触状態を得るために、プローブは撓みながら所定の押し付け圧により測定対象に押し付けられる。

しかしながら、上記の測定装置では、プローブにばね性が求められるため、プローブの硬度を高くして耐久性を向上させることが難しい。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、測定装置の接触子の耐久性を向上させても、なお良好な接触状態を得ることができる測定装置を提供することを目的とする。

本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、複数の接触子が取り付けられる本体部と、複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板と、を備え、本体部は、ベース部と、複数の接触子を保持する保持部と、ベース部に取り付けられ保持部を支持する支持部と、を有し、支持部は、測定対象への複数の接触子の押し付けに伴って弾性変形する。

この態様によれば、複数の接触子を測定対象に押し付ける際には、本体部の支持部が弾性変形することにより所定の押し付け力で複数の接触子を接触させることができる。よって、複数の接触子を積極的に撓ませなくてよいため、複数の接触子の耐久性を向上させることができる。

本発明の実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る測定装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る測定装置の第一本体部を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る測定装置の第一接触子を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す底面図である。 本発明の実施形態の変形例に係る接触子を示す平面図である。 本発明の実施形態の変形例に係る測定装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態の変形例に係る伝送基板を示す平面図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る測定装置１００について説明する。

測定装置１００は、例えば回路基板を電気的に検査する検査装置（図示省略）に用いられる。測定装置１００は、回路基板に含まれる測定対象Ｔ（図２参照）として、配線パターンがプリントされた半導体ウェハや電子回路基板、半導体ウェハや電子回路基板が実装された電子回路実装基板などにおいて発生する電磁波の高周波特性を測定する。

図１及び図２に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子としての第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備える。

第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられて測定対象Ｔから高周波信号が入力される電極である。第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔの接触面Ｔｓ（図３参照）に垂直な方向から測定対象Ｔに押し付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、焼結によって形成される焼結金属、より具体的には、工具鋼により形成される。

第一接触子１と第二接触子２は、図２及び図３に示すように、所定の間隔をあけて互いに平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜するように本体部１０に取り付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有するピンであり、その先端部が先細りの形状に形成されて測定対象Ｔに接触する。第一接触子１及び第二接触子２の基端部は、伝送基板６０に接着される。第一接触子１と第二接触子２とは、同一形状である。よって、以下では、第一接触子１を例に具体的構造について説明し、第二接触子２の構造の詳細な説明は、適宜省略する。図４中の括弧内の符号は、第一接触子１の各構成に対応する第二接触子２の構成を示すものである。

第一接触子１の先端部は、図４に示すように、測定対象Ｔに接触する先端Ｐから基端側に向けて離れるにつれて、幅Ｗ及び厚さＴｈが増加する。ここで、「幅」とは、図２中左右方向であって第一接触子１と第二接触子２とが隣接する方向（隣接方向）の長さである。また、「厚さ」とは、第一接触子１及び第二接触子２が延びる方向（延在方向）と隣接方向とに垂直な方向の長さである。

以下では、第一接触子１において、伝送基板６０に接着される面を「下面１ａ」、下面１ａに平行な面を「上面１ｂ」、下面１ａ及び上面１ｂに垂直であって互いに平行な面をそれぞれ「側面１ｃ」、「側面１ｄ」と称する。側面１ｃは、第二接触子２に対向する対向面である。

第一接触子１の先端Ｐは、図２及び図４に示すように、第一接触子１の隣接方向の中央に位置するように設けられる。第一接触子１は、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面１ａに向けて厚さＴｈが増加する。第一接触子１の先端部には、下面１ａに接続され測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面１ｅと、それぞれ側面１ｃ及び１ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面１ｅに接続される第二テーパ面１ｆ及び第三テーパ面１ｇと、が形成される。先端Ｐは、上面１ｂ、第一テーパ面１ｅ、第二テーパ面１ｆ、及び第三テーパ面１ｇにより形成される。

第二接触子２の先端部には、第一接触子１と同様に、接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面２ｅと、それぞれ側面２ｃ及び２ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面２ｅに接続される第二テーパ面２ｆ及び第三テーパ面２ｇと、が形成される。第二接触子２も、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面２ａに向けて厚さＴｈが増加する。

このように、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ先端Ｐに向かうにつれ断面積が小さくなる先細りの形状の先端部を有するため、先端Ｐを測定対象Ｔに接触させやすい。また、第一接触子１及び第二接触子２の下面１ａ，２ａには、測定対象Ｔから離れるように傾斜する第一テーパ面１ｅ，２ｅが形成されるため、先端Ｐ以外での第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触（干渉）を回避できる。

図１から３に示すように、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有する。

図１に示すように、ベース部２０は、互いにボルト２０ａにより結合される第一ベース部２１及び第二ベース部２５により構成される。ベース部２０は、検査装置の昇降装置（図示省略）によって鉛直上下方向（測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直な方向）に移動される。ベース部２０が上下に移動することで、第一接触子１及び第二接触子２が測定対象Ｔに対して接触・離間する。

保持部３０は、第一接触子１及び第二接触子２（複数の接触子）のそれぞれを個別に保持する複数のホルダ部として第一保持部３１及び第二保持部３５を有する。第一保持部３１は、第一接触子１を保持する。第二保持部３５は、第二接触子２を保持する。また、支持部４０は、第一保持部３１及び第二保持部３５（複数のホルダ部）のそれぞれを個別に支持する複数のホルダ支持部として第一支持部４１及び第二支持部４５を有する。第一支持部４１は、第一ベース部２１に取り付けられ第一保持部３１を支持する。第二支持部４５は、第二ベース部２５に取り付けられ第二保持部３５を支持する。

第一ベース部２１、第一保持部３１、及び第一支持部４１は、樹脂によって互いに一体成形され、第一本体部１１を構成する。第二ベース部２５、第二保持部３５、及び第二支持部４５は、樹脂によって互いに一体成形され、第二本体部１５を構成する。つまり、第一本体部１１と第二本体部１５とによって本体部１０が構成される。

第一本体部１１と第二本体部１５とは、図２に示すように、所定の間隔（隙間）をあけて隣接して設けられる。第一本体部１１と第二本体部１５とは、第一接触子１及び第二接触子２に平行であって両者の中間にある仮想の基準面Ｒに対して対称構造を有する。よって、以下では、第一本体部１１の具体的構造について主に説明し、第二本体部１５の構造についての詳細な説明は適宜省略する。図３中の括弧内の符号は、第一本体部１１の構成に対応する第二本体部１２の構成を示すものである。

図３に示すように、第一保持部３１には、第一接触子１が挿入される第一挿入孔３２が形成される。第一挿入孔３２は、第一保持部３１において第二保持部３５に対向する面に開口するスリット状に形成される。第一挿入孔３２の内周には、第一接触子１に形成される段差面１ｈに接触する第一規制部としてのストッパ面３２ａが形成される。ストッパ面３２ａが第一接触子１の段差面１ｈに接触することで、先端Ｐが第一挿入孔３２内へ向かうような第一接触子１の移動、言い換えれば、測定対象Ｔから離間する方向への移動が規制される。このように、第一接触子１は、ストッパ面３２ａに接触して、位置決めされる。

第一保持部３１によって第一接触子１を保持させるには、まず、第一接触子１が、伝送基板６０に接着される基端部から第一挿入孔３２に挿入される。第一接触子１は、段差面１ｈがストッパ面３２ａに接触するまで基端部から第一挿入孔３２に挿入される。この状態で第一接触子１と第一保持部３１に接着剤が塗布され、第一接触子１は第一保持部３１に接着される。これにより、第一接触子１は、第一保持部３１から測定対象Ｔに向けて先端Ｐが突出した状態で第一保持部３１によって保持される。

なお、第一保持部３１と同様に、第二保持部３５には、第二接触子２が挿入される第二挿入孔３７が形成される。第二挿入孔３７の内周には、第二接触子２に形成される段差面２ｈに接触する第二規制部としてのストッパ面３７ａが形成される。ストッパ面３７ａが第二接触子２の段差面２ｈに接触することで、先端Ｐが第二挿入孔３７内へ向かうような第二接触子２の移動が規制される。

第一支持部４１は、一対のリンク部４２，４３を有するリンク機構により構成される。一対のリンク部４２，４３は、それぞれ接触面Ｔｓに対して平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直方向に並ぶ。一方のリンク部４２は、矩形断面を有するロッド部４２ａと、ロッド部４２ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４２ｂと、ロッド部４２ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４２ｃと、を有する。同様に、他方のリンク部４３は、矩形断面を有するロッド部４３ａと、ロッド部４３ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４３ｂと、ロッド部４３ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４３ｃと、を有する。一方のリンク部４２のロッド部４２ａは、他方のリンク部４３のロッド部４３ａよりも短く形成される。

一方のリンク部４２におけるロッド部４２ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。同様に、他方のリンク部４３におけるロッド部４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。各切り欠きは、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに平行で長手方向（図３中左右方向）に対して垂直に延びる。これにより、ロッド部４２ａ，４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間に、ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃが設けられる。各ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃは、ロッド部４２ａ，４３ａの長手方向に直交する断面積がロッド部４２ａ，４３ａよりも小さく、ロッド部４２ａ，４３ａと比較して弾性変形しやすく構成される。

第一ベース部２１を鉛直方向下方に移動させて第一接触子１が測定対象Ｔに押し付けられると、その反力（以下、「押し付け反力」とも称する。）によってリンク部４２のジョイント部４２ｂ，４２ｃ及びリンク部４３のジョイント部４３ｂ，４３ｃが弾性変形し、各ロッド部４２ａ，４３ａが第一保持部３１及び第一ベース部２１に対して傾動（相対回転）する。一方のリンク部４２を例に説明すると、一方のジョイント部４２ｂを中心としてロッド部４２ａが第一保持部３１に対して相対回転し、他方のジョイント部４２ｃを中心としてロッド部４２ａが第一ベース部２１に対して相対回転する。このように、第一接触子１を測定対象Ｔに押し付ける際、第一支持部４１が変形することにより、鉛直方向における第一ベース部２１と第一保持部３１との相対移動が許容される。また、一方のロッド部４２ａが他方のロッド部４３ａより短いため、より直線的に第一ベース部２１と第一保持部３１とを鉛直方向へ相対移動させることができる。

第一支持部４１と同様に、第二支持部４５は、一対のリンク部４６，４７を有するリンク機構により構成される。一方のリンク部４６は、矩形断面を有するロッド部４６ａと、ロッド部４６ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４６ｂと、ロッド部４６ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４６ｃと、を有する。他方のリンク部４７は、矩形断面を有するロッド部４７ａと、ロッド部４７ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４７ｂと、ロッド部４７ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４７ｃと、を有する。

第二接触子２が測定対象Ｔに押し付けられると、第一支持部４１と同様に、第二支持部４５が弾性変形し、第二保持部３５と第二ベース部２５との鉛直方向における相対移動が許容される。第一支持部４１と第二支持部４５とは、両者の間に隙間が設けられそれぞれ独立して第一ベース部２１と第二ベース部２５とに接続されるため、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動することができる。

また、第一支持部４１及び第二支持部４５は、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形する。言い換えれば、第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられる際、第一支持部４１及び第二支持部４５が優先して弾性変形する程度の耐久性を有する。

伝送基板６０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板である。伝送基板６０は、外力により変形が可能である。伝送基板６０の一端部（図５中上端部）には、図１及び図２に示すように、第一接触子１及び第二接触子２が接着される。伝送基板６０の図示しない他端部は、ベース部２０と共に移動するコネクタ（図示省略）を通じて、同軸ケーブル（図示省略）に電気的に接続される。第一接触子１及び第二接触子２から入力される電気信号は、伝送基板６０の高周波伝送線路によって伝送され、同軸ケーブルを通じて制御装置に入力される。

伝送基板６０は、高周波伝送線路としてマイクロストリップ線路を形成する積層構造を有する基板である。伝送基板６０では、図５及び図６に示すように、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。

伝送基板６０は、第一接触子１及び第二接触子２のそれぞれが接着される複数の接着部として第一接着部６５及び第二接着部６６を有する。第一接着部６５には、第一接触子１が接着される。第二接着部６６には、第二接触子２が接着される。第一接着部６５と第二接着部６６との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられることで、互いに独立して移動可能（変形可能）に構成される。

基材６１は、柔軟性を有する材質で形成される。伝送基板６０の裏面には、図６に示すように、基材６１を露出させる矩形の複数の凹部６１ａが規則的に並んで設けられている。言い換えれば、伝送基板６０の裏面のグランド線６３は、格子状（メッシュ状）に設けられる。これにより、裏面の全面にグランド線６３が設けられる場合と比較して、伝送基板６０が撓みやすくなる。

シグナル線６２は、伝送基板６０の幅方向（図５中左右方向）の中央において、所定の幅を有して長手方向に沿って延びて設けられる。シグナル線６２の一端部は、第一接着部６５上に位置する。第一接着部６５上のシグナル線６２の一端部は、他の部位と比較して幅広に設けられ、第一接触子１が電気的に接続される。第一接触子１は、シグナル線６２と電気的に接続された状態で、接着剤により第一接着部６５に接着される。

第二接着部６６の表面には、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４が設けられる。第二接着部６６には、表面と裏面とに開口する貫通孔６６ａが設けられる。貫通孔６６ａの内周面には、第二接着部６６の表面の接続層６４と裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６７が設けられる。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４に電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

次に、測定装置１００の作用について説明する。

測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、測定対象Ｔに対して垂直に（本実施形態では鉛直方向に）ベース部２０を移動させ、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔの接触面Ｔｓに接触させる。この状態からベース部２０をさらに下方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１及び第二接触子２をさらに押し付けるのに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に優先して第一支持部４１及び第二支持部４５が弾性変形する。よって、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。

このように、第一接触子１及び第二接触子２に対して第一支持部４１及び第二支持部４５が優先的に弾性変形して押し付け力が確保されるため、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に弾性変形させなくてもよい。よって、第一接触子１及び第二接触子２の材質選択の自由度が向上する。測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、焼結金属である工具鋼によって形成されるため、高い耐久性を有する。

また、一般に、測定装置の測定対象は、測定面に高低差（凹凸）が生じることがある。特に、測定対象が電子回路基板である場合には、半導体ウェハである場合よりも大きな凹凸が生じやすい。測定対象に高低差がある場合、高さが相対的に高い部位に対して一方の接触子が先に接触してしまい、高さが相対的に低い部位には他方の接触子が充分に接触しないおそれがある。このように、測定対象に凹凸が生じる場合には、第一接触子及び第二接触子と測定対象との接触状態が不均一になり、良好な接触状態を得られないおそれがある。

これに対し、測定装置１００では、第一接触子１を保持する第一保持部３１と第二接触子２を保持する第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能に構成される。また、伝送基板６０は変形可能に構成されるものであるため、第一接触子１と第二接触子２とが独立して移動することを妨げない。よって、測定装置１００によれば、測定対象Ｔ（特に回路基板）に凹凸が生じているような場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２の一方が測定対象Ｔに接触し、さらに他方が移動して測定対象Ｔに接触することができる。つまり、第一接触子１と第二接触子２とは、測定対象Ｔの高さの差を許容するように、互いに異なる移動量で独立して移動することができるため、第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。これにより、第一接触子１及び第二接触子２を所定の押し付け力により測定対象Ｔに押し付けて、良好な接触状態を得ることができる。

次に、本実施形態の作用効果についてまとめて説明する。

本実施形態では、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有し、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。

また、本実施形態に係る測定装置１００では、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形するように構成される。

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際には、本体部１０の支持部４０が弾性変形することにより所定の押し付け力で第一接触子１及び第二接触子２を接触させることができる。よって、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に撓ませなくてもよく、第一接触子１及び第二接触子２の耐久性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ焼結金属によって形成される。

また、本実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ工具鋼によって形成される。

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、耐久性が高く、耐摩耗性に優れた材質によって形成されるため、摩耗に伴う測定装置１００の測定精度の低下が抑制される。

また、本明細書には、以下の形態も含まれる。

本実施形態では、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに接触する第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が設けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、ベース部２０に接続され第一接触子１を保持する第一保持部３１と、ベース部２０に接続され第二接触子２を保持する第二保持部３５と、を有し、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能にベース部２０に取り付けられる。

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、伝送基板６０に電気的に接続されると共に、互いに独立して移動可能な第一保持部３１及び第二保持部３５によって保持される。これにより、第一接触子１と第二接触子２とが、互いに独立して移動することができる。このように、第一保持部３１及び第二保持部３５の移動により、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動するため、第一接触子１と第二接触子２の移動量を大きく確保することができる。したがって、測定対象Ｔにおいて高低差が生じているような場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに均一に接触させて、接触状態を良好にすることができる。よって、測定装置１００の測定精度が向上する。

また、本実施形態では、伝送基板６０は、第一接触子１に接着される第一接着部６５と、第二接触子２に接着される第二接着部６６と、を有し、第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられ互いに独立して移動可能に構成される。

このような本実施形態によれば、第一接着部６５と第二接着部６６が独立して移動可能であるため、第一接触子１と第二接触子２との相対移動が伝送基板６０により阻害されることが抑制される。よって、第一接触子１と第二接触子２とを、より大きく相対移動させることができる。このため、測定対象Ｔの凹凸が大きくても、精度よく測定が可能となる。つまり、本実施形態によれば、精度よく測定するために許容できる測定対象Ｔの凹凸量（高さの差）が大きくなる。

また、本実施形態では、本体部１０は、ベース部２０に設けられ第一保持部３１を支持する第一支持部４１と、ベース部２０に設けられ第二保持部３５を支持する第二支持部４５と、をさらに有し、第一支持部４１は、測定対象Ｔへの第一接触子１の押し付けに伴って弾性変形し、第二支持部４５は、測定対象Ｔへの第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。

このような実施形態によれば、第一支持部４１と第二支持部４５とが独立し、それぞれ弾性変形可能であるため、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動することができる。このため、第一接触子１と第二接触子２を撓ませる場合よりも、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって、より大きな移動量で第一接触子１と第二接触子２とを独立して移動させることができる。つまり、本体部１０は、第一接触子１及び第二接触子２と比べて大きな部材であるため、独立して移動させる移動量を容易に確保することができる。

次に、本実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。

上記実施形態では、伝送基板６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、伝送基板６０は、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。さらに、第一接触子１と第二接触子２とを独立して移動させない場合には、伝送基板６０は、基材６１が柔軟性を有しておらず硬質であるリジット基板であってもよい。

また、上記実施形態では、本体部１０は、互いに対称構造を有する第一本体部１１及び第二本体部１５により構成される分割構造である。また、第一接触子１と第二接触子２とは、互いに独立して移動可能である。これに対し、第一接触子１と第二接触子２の耐久性を向上させるためには、本体部１０を分割構造ではなく一体に形成し、第一接触子１と第二接触子２とは独立して移動可能でなくてもよい。測定装置１００では、第一接触子１と第二接触子２の耐久性を向上させるためには、測定対象Ｔへの第一接触子１と第二接触子２の押し付けに伴い、支持部４０が弾性変形する構造であればよい。

また、上記実施形態では、支持部４０（第一支持部４１，第二支持部４５）は、リンク機構により構成される。これに対し、支持部４０（第一支持部４１，第二支持部４５）は、第一接触子１と第二接触子２に優先して弾性変形する限り、リンク機構に限らず任意の構成とすることができる。

また、上記実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有する四角柱状の端子である。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、これに限られず、例えば、円形断面を有する円柱や、四角形以外の多角形断面を有する角柱（多角柱）に形成されてもよい。なお、いずれの場合であっても、先端部は、上記実施形態のように先細りの形状に形成することが望ましい。

また、上記実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状である。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、それぞれの幅方向（隣接方向）の中央に設けられる。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状に限られず、任意の形状とすることができる。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、幅方向の中央に限らず、例えば、図７（ａ）に示すように、それぞれの先端Ｐは、互いに近接するように、互いに対向する側面１ｃ，２ｃ（対向面）上に配置されてもよいし、図７（ｂ）に示すように、互いに離間するように、側面１ｄ，２ｄ上に配置されてもよい。図７（ａ）や（ｂ）に示す形状では、第一接触子１と第二接触子２とは、基準面Ｒに対して面対称の構造となる。

また、上記実施形態では、高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、コプレーナ線路やストリップ線路など、その他のものであってもよい。測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じた数の接触子を備えるように構成すればよい。つまり、測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じて、三つ以上の接触子を備えるものでもよい。また、測定装置１００の本体部１０は、接触子の数に応じて、互いに独立して移動可能となるように分割された構造であってもよい。

また、上記実施形態では、高周波伝送線路はマイクロストリップ線路であり、測定装置１００は、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１とグランド線６３に電気的に接続される第二接触子２との二つの接触子を備える。これに対し、マイクロストリップ線路が高周波伝送線路として設けられる場合には、測定装置は、三つの接触子を備えていてもよい。以下、図８及び図９を参照して、変形例に係る測定装置１０１について具体的に説明する。

変形例に係る測定装置１０１は、図８に示すように、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１と、グランド線６３に電気的に接続される第二接触子２及び第三接触子３と、を有する。

測定装置１０１の本体部１０は、第一本体部１１、第二本体部１５、及び第三本体部１９を有する。第一本体部１１及び第二本体部１５は、上記実施形態と同様の構成である。第三接触子３が取り付けられる第三本体部１９は、第二本体部１５と共に第一本体部１１を挟むようにして並んで設けられる。第三本体部１９は、第一本体部１１及び第二本体部１５と同様の構成を有するものである。このため、詳細な説明及び図示は省略するが、第三本体部１９は、第三ベース部２９と、第三接触子３を保持するホルダ部である第三保持部３９と、第三保持部３９を移動可能に支持するホルダ支持部である第三支持部４９と、を有する。第一ベース部２１、第二ベース部２５、及び第三ベース部２９は、ボルト２０ａにより結合されベース部２０を構成する。第三保持部３９は、第一保持部３１及び第二保持部３５と共に保持部３０を構成する。第三支持部４９は、第一支持部４１及び第二支持部４５と共に支持部４０を構成し、第一接触子１及び第二接触子２とは独立して第三接触子３を移動可能に支持する。

伝送基板６０では、上記実施形態と同様に、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。

伝送基板６０は複数の接着部として、図９に示すように、第一接触子１が接触される第一接着部６５、第二接触子２が接触される第二接着部６６、及び第三接触子３が接着される第三接着部６８を有する。第一接着部６５と第二接着部６６との間、及び、第二接着部６６と第三接着部６８との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５、第二接着部６６、及び第三接着部６８は、スリット６０ａによって互いに隔てられることで独立して移動可能（変形可能）に構成される。

第二接着部６６は、上記実施形態と同様であり、接続層６４ａ（上記実施形態における接続層６４に相当）と、貫通孔６６ａと、貫通層６７と、を有する。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４ａに電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４ａ及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

第三接着部６８は、第二接着部６６と同様に、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４ｂと、表面と裏面とに開口する貫通孔６８ａと、貫通孔６８ａの内周面に設けられ、第三接着部６８の表面の接続層６４ｂと裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６９と、を有する。第三接触子３は、第三接着部６８の接続層６４ｂに電気的に接続され、接着剤によって第三接着部６８に接着される。第三接触子３は、接続層６４ｂ及び貫通層６９を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

このような変形例においても、上記実施形態と同様の効果を奏する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

１ 第一接触子（接触子）
２ 第二接触子（接触子）
３ 第三接触子（接触子）
１０ 本体部
２０ ベース部
３０ 保持部
４０ 支持部
６０ フレキシブルプリント基板（伝送基板）
１００ 測定装置
１０１ 測定装置

Claims (4)

1. 測定装置であって、
   それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、
   前記複数の接触子が取り付けられる本体部と、
   前記複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板と、を備え、
   前記本体部は、
   ベース部と、
   前記複数の接触子を保持する保持部と、
   前記ベース部に取り付けられ前記保持部を支持する支持部と、を有し、
   前記支持部は、前記測定対象への複数の接触子の押し付けに伴って弾性変形する、
   測定装置。
2. 請求項１に記載の測定装置であって、
   前記支持部は、前記測定対象への複数の接触子の押し付けに伴い、複数の接触子に対して優先して弾性変形するように構成される、
   測定装置。
3. 請求項１または２に記載の測定装置であって、
   複数の接触子は、それぞれ焼結金属によって形成される、
   測定装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置であって、
   複数の接触子は、それぞれ工具鋼によって形成される、
   測定装置。

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