JP6532755B2 - プローブユニット、プローブユニット製造方法および検査方法 - Google Patents
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Description
2 プローブピン
3,3A,103,603 支持部
11,11A,111,501,611 アーム
12,12A,112,502,612 アーム
13,113,613 保持部
21a,21Aa,121a,621a 基端部
22a,22Aa,122a,622a 基端部
21b,21Ab,121b,621b 先端部
22b,22Ab,122b,622b 先端部
21c,22c,21Ac,22Ac,521c,522c 中間部位
21Ae,21Af,22Ae,22Af 側端部
21Ag,22Ag 中心線
41 絶縁シート
42 シールド板
401,402,701,702 中間体
411,631a,631b,711 連結部
412,632a,632b,712 連結部
511,512 リブ
E1a〜E1d,E2a〜E2d 縁部
H1a,H1b,H1Aa,H1Ab 貫通孔
H2a,H2b,H2Aa,H2Ab 貫通孔
P1a,P1b,P2a,P2b 形成部位
W 幅
Claims (10)
- プローブピンと、当該プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、前記プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置された帯状の第1アームおよび第2アームと、当該各アームの各基端部を保持する保持部と、前記プローブピンを取り付け可能に構成されると共に前記各アームの各先端部同士を連結する連結部とを備えて、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、
前記各アームは、前記基端部よりもやや前記先端部側の部位および当該先端部よりもやや当該基端部側の部位に貫通孔がそれぞれ形成されて、当該各貫通孔の間の中間部位が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、当該各貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、かつ当該アームの長さ方向に沿って前記中間部位に形成されたリブを備えて構成されているプローブユニット。 - プローブピンと、当該プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、前記プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置された帯状の第1アームおよび第2アームと、当該各アームの各基端部を保持する保持部と、前記プローブピンを取り付け可能に構成されると共に前記各アームの各先端部同士を連結する連結部とを備えて、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、
前記各アームは、前記基端部よりもやや前記先端部側の部位および当該先端部よりもやや当該基端部側の部位に貫通孔がそれぞれ形成されて、当該各貫通孔の間の中間部位が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、当該各貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、
前記各アームのうちの前記プロービングの際に前記プロービング対象側に位置するアームにおける当該プロービング対象に対向する面側に絶縁体を介して配設された導電性を有するシールド板を備えているプローブユニット。 - 前記アームは、当該アームにおける幅方向の端部と前記貫通孔との間の縁部の幅が、当該アームの長さ方向に沿って前記中間部位から離間するに従って広くなるように形成されている請求項1または2記載のプローブユニット。
- 前記アームは、前記貫通孔を挟んで対向する2つの前記縁部が、当該アームにおける前記幅方向の中心を通る前記長さ方向に沿った中心線を対称軸として線対称の形状となるように形成されている請求項3記載のプローブユニット。
- 前記プローブピンが前記第1アームの前記先端部および前記第2アームの前記先端部に固定されて当該プローブピンが前記連結部として機能するように構成されている請求項1から4のいずれかに記載のプローブユニット。
- 前記プローブピンを一対備えると共に、前記第1アームおよび前記第2アームをそれぞれ一対備え、
前記保持部は、前記一対の第1アームが隣接して延在する状態で当該各第1アームの前記各基端部を保持すると共に、前記一対の第2アームが隣接して延在する状態で当該各第2アームの前記各基端部を保持する請求項1から5のいずれかに記載のプローブユニット。 - 前記各第1アームは、非導電性を有して前記各基端部同士が連結された状態で前記保持部によって保持され、
前記各第2アームは、非導電性を有して前記各基端部同士が連結された状態で前記保持部によって保持されている請求項6記載のプローブユニット。 - 請求項6記載のプローブユニットを製造するプローブユニット製造方法であって、
前記一対の第1アームの前記各基端部が前記保持部によって保持されるときの位置関係を維持した状態で当該両第1アームを一体に作製した後に、当該各第1アームにおける少なくとも前記基端部の近傍から前記先端部までの間を分離させて当該各第1アームを作製し、
前記一対の第2アームの前記各基端部が前記保持部によって保持されるときの位置関係を維持した状態で当該両第2アームを一体に作製した後に、当該各第2アームにおける少なくとも前記基端部の近傍から前記先端部までの間を分離させて当該各第2アームを作製して前記プローブユニットを製造するプローブユニット製造方法。 - 前記一対の第1アームの前記各基端部が前記保持部によって保持されるときの位置関係を維持した状態で、
前記一体に作製した各第1アームの前記各基端部を前記保持部に保持させた状態で当該各第1アームにおける少なくとも前記基端部の近傍から前記先端部までの間を分離させ、
前記一体に作製した各第2アームの前記各基端部を前記保持部に保持させた状態で当該各第2アームにおける少なくとも前記基端部の近傍から前記先端部までの間を分離させて前記プローブユニットを製造する請求項8記載のプローブユニット製造方法。 - 基板を検査する検査方法であって、
請求項1から7のいずれかに記載のプローブユニットの前記プローブピンを前記プロービング対象としての前記基板にプロービングさせ、当該プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査する検査方法。
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