TWI573698B - 圖案轉印系統以及圖案轉印方法 - Google Patents

Description

圖案轉印系統以及圖案轉印方法

本發明是關於一種對半導體晶片(semiconductor wafer)、液晶顯示裝置用玻璃(glass)基板、電漿顯示器(plasma display)用玻璃基板、磁碟(magnetic disk)或光碟(optical disk)用玻璃或陶瓷(ceramic)基板、有機電激發光(Electroluminescence，EL)用玻璃基板、太陽電池用玻璃基板或矽(silicon)基板、其他可撓性(flexible)基板及印刷(printed)基板等適於電子機器的各種被處理基板轉印圖案(pattern)的技術。

為了對半導體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、電漿顯示器用玻璃基板、磁碟或光碟用玻璃或陶瓷基板、有機EL用玻璃基板、太陽電池用玻璃基板或矽基板、其他可撓性基板及印刷基板等適於電子機器的基板形成圖案，而利用光刻(photolithography)法。然而，在利用光刻法的情况下，必須經過光阻(photoresist)的塗布步驟或曝光及顯影(development)步 驟等各種步驟，而有處理時間變長且製造成本(cost)變高的問題。因此，近年來，提出了利用可降低成本的套版(offset)印刷法(例如，專利文獻1)。

平版印刷法主要包括通過使印刷版抵壓並接觸塗布著轉印劑的橡皮布(blanket)而對橡皮布上轉印圖案的步驟(第一轉印步驟)、以及通過使該橡皮布抵壓並接觸基板而對基板轉印圖案的步驟(第二轉印步驟)。此外，還提出了一些用以實施各圖案轉印步驟的各印刷裝置(例如，專利文獻2)。

[背景技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-158799號公報

[專利文獻2]日本專利特開2010-234714號公報

為了利用所述平版印刷法批量生產形成著圖案的基板，而考慮排列依次執行所述各步驟的各裝置而構築生產線(manufacturing line)。然而，適合利用平版印刷法批量生產適於電子機器的基板的生產線至今未知。

因此，本發明的目的在於提供一種適合利用平版印刷法批量生產適於電子機器的基板的技術。

為了解决所述課題，第一實施方式是一種圖案轉印系統，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其包括：清洗部，清洗印 刷版；塗布部，對橡皮布塗布轉印劑；第一轉印部，通過將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；第二轉印部，通過將已被轉印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉印圖案；以及搬送部，將已由所述第一轉印部對所述橡皮布轉印圖案的所述印刷版朝向所述清洗部搬送。

此外，第二實施方式是一種圖案轉印系統，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其包括：清洗部，清洗橡皮布；塗布部，對已由所述清洗部清洗的所述橡皮布塗布轉印劑；第一轉印部，通過將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；第二轉印部，通過將已被轉印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉印圖案；以及搬送部，將已由所述第二轉印部對所述基板轉印圖案的所述橡皮布朝向所述清洗部搬送。

此外，第三實施方式是根據第一實施方式或第二實施方式的圖案轉印系統，其中所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置。

此外，第四實施方式是根據第三實施方式的圖案轉印系統，其中所述清洗裝置一邊向一方向搬送所述橡皮布及所述印刷版，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。

此外，第五實施方式是根據第四實施方式的圖案轉印系統，其中所述清洗裝置包括：傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進行搬送；以及支撑部，支撑所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側的側端部。

此外，第六實施方式是根據第四實施方式或第五實施方式的圖案轉印系統，其中所述橡皮布從所述塗布部到所述第一轉印部的移動方向為與所述一方向相反的方向。

此外，第七實施方式是根據第二實施方式的圖案轉印系統，其還包括第二清洗部，該第二清洗部以與所述清洗部不同的實施方式清洗已由所述清洗部清洗的所述橡皮布；且所述塗布部對已由所述第二清洗部清洗的所述橡皮布塗布所述轉印劑。

此外，第八實施方式是一種圖案轉印方法，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其包括如下步驟：(a)清洗印刷版；(b)對橡皮布塗布轉印劑；(c)通過將已由所述(b)步驟塗布所述轉印劑的所述橡皮布及已由所述(a)步驟清洗的印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；以及(d)通過將已由所述(c)步驟轉印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉印圖案；且由所述(a)步驟清洗的所述印刷版為已由所述(c)步驟對所述橡皮布轉印圖案的所述印刷版。

此外，第九實施方式是一種圖案轉印方法，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其包括如下步驟：(A)清洗橡皮布；(B)對已由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布塗布轉印劑；(C)通過將 已由所述(B)步驟塗布所述轉印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；以及(D)通過將已被轉印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉印圖案；且由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布為已由所述(D)步驟對所述基板轉印所述圖案的所述橡皮布。

根據第一實施方式的圖案轉印系統及第八實施方式的圖案轉印方法，在轉印處理中使用過的印刷版被再次利用。由此，可减少圖案轉印中所使用的印刷版的數量。

根據第二實施方式的圖案轉印系統及第九實施方式的圖案轉印方法，在轉印處理中使用過的橡皮布被再次利用。由此，可减少圖案轉印中所使用的橡皮布的數量。

此外，根據第三實施方式的圖案轉印系統，可利用共用的清洗裝置清洗橡皮布及印刷版。因此，與設置分別專門清洗橡皮布及印刷版的清洗裝置的情况相比，可縮小圖案轉印系統的占有面積。

此外，根據第四實施方式的圖案轉印系統，可將橡皮布及印刷版分別一邊朝向後續的處理裝置搬送，一邊進行清洗。

此外，根據第五實施方式的圖案轉印系統，即便在橡皮布及印刷版的尺寸不同的情况下，也可以利用支撑部使重力方向下側的側端部的位置對齊而搬送橡皮布及印刷版。由此，可容易地實現橡皮布及印刷版的定位，所以可良好地進行清洗處理。

此外，根據第六實施方式的圖案轉印系統，因為能以在圖案轉印系統內進行U形轉彎(U-turn)的方式搬送橡皮布，所以可縮短圖案轉印系統的尺寸。

此外，根據第七實施方式的圖案轉印系統，能以至少兩種不同的實施方式對橡皮布進行清洗處理。

1、1A、100‧‧‧圖案轉印系統

9‧‧‧基板

11‧‧‧第一清洗部(清洗部)

11A、11B‧‧‧清洗部

13‧‧‧第二清洗部(第二清洗部)

14‧‧‧預濕部

15‧‧‧藥液處理部

16‧‧‧沖洗部

17‧‧‧傾斜輥(傾斜部)

18‧‧‧支撑輥(支撑部)

21、21A、21B‧‧‧交接部

23‧‧‧交接搬送部(搬送部)

31、31A‧‧‧預處理部

41‧‧‧塗布部

51‧‧‧轉印部(第一轉印部)

53‧‧‧轉印部(第二轉印部)

55‧‧‧載置台

57‧‧‧導引部

61、63‧‧‧剝離部

71、73‧‧‧機器臂搬送部

81‧‧‧橡皮布處理部

83‧‧‧印刷版處理部

85‧‧‧轉印處理部

87‧‧‧基板搬入部

89‧‧‧基板搬出部

91‧‧‧橡皮布

91T‧‧‧橡皮布側端部

93‧‧‧印刷版

93T‧‧‧印刷版側端部

111‧‧‧清洗裝置

131‧‧‧搬送輥

133‧‧‧清洗用刷子

141、161‧‧‧噴頭

151‧‧‧雙流體噴嘴

171‧‧‧車輪

173、181‧‧‧軸

511、531‧‧‧轉印裝置

611、631‧‧‧剝離裝置

700‧‧‧無人搬送區域

701~707、711、731、751、771、791‧‧‧搬送機器臂

L1、L2‧‧‧寬度

S1~S11‧‧‧步驟

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

圖1是第一實施方式的圖案轉印系統的概略俯視圖。

圖2是表示第一清洗部所包括的清洗裝置的概略的側視圖。

圖3是朝向+X側觀察在第一清洗部被搬送的橡皮布及印刷版時的概略前視圖。

圖4是表示第二清洗部的概略的側視圖。

圖5是表示在圖案轉印系統中製造轉印有圖案的基板9的流程的流程圖。

圖6是比較例的圖案轉印系統的概略俯視圖。

圖7是第二實施方式的圖案轉印系統的概略俯視圖。

下面，一邊參照附圖，一邊說明本發明的實施方式。另外，在附圖中，為了容易理解而有視需要誇大或簡化各部分的尺寸或數量進行圖示的情况。

<1.第一實施方式>

<1.1.構成及功能>

圖1是第一實施方式的圖案轉印系統1的概略俯視圖。在圖1及以後的各圖中，為了方便說明，將以X軸方向及Y軸方向這兩個方向定義的平面設為水平面，且將與這兩個方向垂直的Z軸方向定義為鉛垂方向。

圖案轉印系統1為如下系統，即，在將橡皮布91與印刷版93重疊而對橡皮布91轉印圖案之後，將該橡皮布91貼合在基板9上而將橡皮布91的圖案轉印至基板9，由此批量生產形成著圖案的基板9。

橡皮布91為大致平板狀的構件，為了實現對印刷版93及基板9的良好的接觸而構成為可柔軟地變形。橡皮布91可列舉例如矽酮橡膠(silicone rubber)或氟樹脂(fluoro resin)等。

印刷版93是對橡皮布91轉印規定圖案的構件。作為印刷版93，可應用例如具有凹部的凹版(gravure offset)印刷版、或使用不具有凹凸的平版的套版(offset)印刷版等。

基板9為適於電子機器的基板，例如為半導體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、電漿顯示器用玻璃基板、磁碟或光碟用玻璃或陶瓷基板、有機EL用玻璃基板、太陽電池用玻璃基板或矽基板、其他可撓性基板及印刷基板等。對基板9轉印形成在橡皮布91的圖案而在其表面形成微細圖案。

圖案轉印系統1包括第一清洗部11、第二清洗部13、交接部21、交接搬送部23、預處理部31、塗布部41、轉印部51、轉印部53、剝離部61、剝離部63及機器臂(robot)搬送部71、 機器臂搬送部73。

圖2是表示第一清洗部11所包括的清洗裝置111的概略的側視圖。第一清洗部11包括在X軸方向延伸且可清洗橡皮布91及印刷版93這兩者的清洗裝置111。第一清洗部11將橡皮布91或印刷版93一邊通過滾輪(roller)搬送(輥(roller)搬送)向+X方向搬送，一邊利用水或藥液等進行清洗處理。

如圖2所示，清洗裝置111包括預濕(Pre-Wet)部14、藥液處理部15及沖洗(rinse)部16。預濕部14、藥液處理部15及沖洗部16是朝向+X方向依次鄰接配置。預濕部14、藥液處理部15及沖洗部16分別包括收容至少1個橡皮布91或印刷版93的空間。此外，在預濕部14、藥液處理部15及沖洗部16的交界部分，以橡皮布91或印刷版93可通過的方式形成著開口。

預濕部14、藥液處理部15及沖洗部16中的橡皮布91或印刷版93的搬送是由隔開規定間隔而配置的多個傾斜輥17進行搬送。

圖3是朝向+X側觀察在第一清洗部11中被搬送的橡皮布91及印刷版93時的概略前視圖。如圖3所示，各傾斜輥17是相對於水平面(XY平面)傾斜配置。因此，支撑於各傾斜輥17的上端的橡皮布91或印刷版93以相對於水平面傾斜的狀態被搬送。此外，橡皮布91或印刷版93的重力方向下側(-Z側)的側端部91T、側端部93T通過與支撑輥18的表面接觸而被支撑。

支撑輥18構成為可繞著在與橡皮布91或印刷版93的表 面垂直的方向延伸的軸181旋轉。如果通過傾斜輥17的驅動將橡皮布91或印刷版93向+X方向搬送，則支撑輥18跟隨橡皮布91或印刷版93的移動而繞著軸181旋轉。由此，橡皮布91或印刷版93不會向重力方向下側滑落，而被朝向+X方向搬送。另外，支撑輥18還可以構成為通過未圖示的驅動力(電動機(motor)等)而主動地旋轉，也可以構成為作為自由輥(free roller)而被動地旋轉。

預濕部14是將水或規定的藥液從噴頭(shower nozzle)141供給至橡皮布91或印刷版93而將橡皮布91或印刷版93預濕。藥液處理部15是將清洗用藥液從雙流體噴嘴(two fluid nozzle)151供給至橡皮布91或印刷版93而對橡皮布91或印刷版93進行清洗處理。沖洗部16是將水等沖洗液從噴頭161供給至橡皮布91或印刷版93而洗去清洗用藥液。在搬送中，橡皮布91或印刷版93相對於水平面傾斜。因此，供給至橡皮布91或印刷版93的液體隨時會流向重力方向下側。第一清洗部11以此方式進行濕式(wet)清洗。

在本實施方式中，如圖3所示，橡皮布91的寬度(Y軸方向的長度)L1大於印刷版93的寬度L2。如此一來，通過傾斜輥17及支撑輥18可在重力方向下側的位置(也就是支撑輥18的支撑位置)使搬送對象物對齊而進行搬送。由此，即便為寬度不同的多種搬送對象物，也可以容易且確實地進行搬送對象物的定位。因此，可良好地進行橡皮布91及印刷版93這兩者的清洗處 理。

傾斜輥17包括以等間隔配置的多個車輪171、及安裝著多個車輪171的軸173。該多個車輪171的間隔根據兩個搬送對象物即橡皮布91及印刷版93的柔軟度而决定。也就是說，在本實施方式中，橡皮布91如上所述般是由比較柔軟的原材料形成。因此，如果車輪171與車輪171之間的距離過大，則有橡皮布91中的被兩個車輪171支撑的兩個支撑部分的內側部分會沉入車輪171與車輪171之間，而產生清洗不良之虞。在該情况下，通過根據橡皮布91的柔軟性來縮短車輪171與車輪171之間的距離，可抑制橡皮布91的變形。由此，可减少橡皮布91產生清洗不良。

交接部21是鄰接於第一清洗部11的+X側而設置。經第一清洗部11清洗的橡皮布91由交接部21搬送至鄰接於+X側的第二清洗部13。此外，經第一清洗部11清洗的印刷版93由交接部21傳送至鄰接於+Y側的機器臂搬送部71的搬送機器臂711。交接部21包括將搬送對象物向+X方向搬送的例如多個搬送輥等。

圖4是表示第二清洗部13的概略的側視圖。第二清洗部13是以與第一清洗部11不同的實施方式清洗橡皮布91的部分。在本實施方式中，第二清洗部13是如圖4所示般通過隔開規定間隔而配置的多個搬送輥131向+X方向搬送橡皮布91。並且，第二清洗部13進行所謂乾式(dry)清洗，該乾式清洗是通過將在Y軸方向延伸的清洗用刷子(brush)133抵壓至橡皮布91的上表面而擦去其表面的污垢等。

預處理部31接收在第二清洗部13已完成乾式清洗的橡皮布91並進行預處理。作為預處理，可列舉例如烘烤(bake)處理等。預處理部31相對於第二清洗部13而鄰接配置在+Y側。雖省略圖示，但橡皮布91在第二清洗部13‧預處理部31之間的移動例如是通過利用搬送輥等的滾輪搬送而得以實現。已完成預處理的橡皮布91被搬送至塗布部41。

塗布部41鄰接配置在預處理部31的-X側。塗布部41對已完成預處理的橡皮布91的表面塗布轉印劑。轉印劑是根據例如所要製造的基板9的類別而决定。例如，在製造適於彩色濾光片(color filter)的基板9的情况下，在塗布部41中，塗布彩色濾光片用樹脂等作為轉印劑，此外，在製造適於有機EL裝置的基板的情况下，塗布有機EL材料作為轉印材料。另外，塗布部41中的轉印劑的塗布還可以通過例如一邊從形成著狹縫(slit)狀噴出口的狹縫噴嘴(slit nozzle)噴出轉印劑一邊使該狹縫噴嘴相對於橡皮布91相對地移動，而在橡皮布91的表面形成轉印劑的膜。或者，還可以利用旋轉塗布(spin coating)法對橡皮布91塗布轉印劑。

機器臂搬送部71鄰接配置在塗布部41的-X側的位置且交接部21的+Y側。機器臂搬送部71包括搬送機器臂711。搬送機器臂711包括多個爪(finger)部。搬送機器臂711通過在使多個爪部***橡皮布91或印刷版93的下側之後使這些爪部上升，而從下側捧起並支撑橡皮布91或印刷版93。此外，搬送機器臂 711可將在Z軸方向延伸的軸作為旋轉軸而使爪部旋轉。

具體來說，搬送機器臂711從+X側的塗布部41接收塗布著轉印劑的橡皮布91，並通過向右旋轉(或向左旋轉)180°而將支撑於爪部的橡皮布91傳送至轉印部51。此外，搬送機器臂711接收配置在交接部21的濕式清洗處理後的印刷版93並向左旋轉90°而將支撑於爪部的印刷版93傳送至轉印部51。

轉印部51鄰接配置在機器臂搬送部71的-X側。轉印部51包括將橡皮布91貼合在印刷版93上而轉印圖案的轉印裝置511。搬送機器臂711將橡皮布91傳送至該轉印裝置511，並將印刷版93傳送至載置台(stage)55。然後，轉印裝置511通過將橡皮布91從其中一個端部到另一個端部逐漸壓抵於固定在載置台55的印刷版93而將與印刷版93的印刷圖案對應的圖案轉印至橡皮布91上。作為轉印裝置511，考慮採用例如將專利文獻2(日本專利特開2010-234714號公報)中記載的印刷裝置變形而得者。

剝離部61鄰接配置在轉印部51的-X側，其包括將貼合在印刷版93的橡皮布91從印刷版93剝離的剝離裝置611。由轉印部51貼合的橡皮布91及印刷版93的複合體通過沿著載置台55的導引(guide)部57向-X方向直線移動而被搬送至剝離部61的剝離裝置611。剝離裝置611將橡皮布91從其中另一個端部(或其中一個端部)到其中一個端部(或另一個端部)逐漸地從印刷版93剝離。作為剝離裝置611，考慮採用例如與轉印裝置511同樣地將專利文獻2(日本專利特開2010-234714號公報)中記載的 印刷裝置變形而得者。

另外，還可以組合轉印部51的轉印裝置511與剝離部61的剝離裝置611而以一台裝置進行轉印(貼合)處理與剝離處理。

機器臂搬送部73鄰接配置在剝離部61的-X側。機器臂搬送部73包括與搬送機器臂711大致相同構成的搬送機器臂731。在剝離部61中被從印刷版93剝離的橡皮布91由機器臂搬送部73的搬送機器臂731從剝離裝置611取出並搬送至轉印部53。此外，保持在載置台55的印刷版93由搬送機器臂731取出並被傳送至交接搬送部23。

機器臂搬送部73從外部補充或向外部排出橡皮布91或印刷版93。例如，在橡皮布91或印刷版93的使用次數達到規定次數的情况、或橡皮布91或印刷版93產生了損傷等的情况下，由機器臂搬送部73執行橡皮布91或印刷版93的排出及補充。

轉印部53鄰接配置在機器臂搬送部73的-X側，且與轉印部51同樣地包括轉印裝置531。轉印裝置531從-X側接受基板9的供給並且從+X側接受自搬送機器臂731的橡皮布91的供給。然後，與之前所述的轉印部51中的橡皮布91及印刷版93的貼合同樣地進行橡皮布91及基板9的貼合。由此，將形成在橡皮布91的圖案轉印至基板9。由轉印部53貼合的橡皮布91及基板9的複合體由搬送機器臂731從轉印裝置531取出並被傳送至交接搬送部23。

交接搬送部23鄰接配置在機器臂搬送部73的-Y側的位 置且第一清洗部11的-X側。雖省略圖示，但交接搬送部23包括例如隔開所需間隔而配置的多個搬送輥。交接搬送部23將從搬送機器臂731接收的橡皮布91及基板9的複合體向-X側的剝離部63搬送。此外，交接搬送部23將從搬送機器臂731傳送來的印刷版93向+X側的第一清洗部11搬送。由此，在轉印處理中被使用過一次的印刷版93通過由第一清洗部11清洗而被再次利用於轉印處理。也就是說，交接搬送部23構成將轉印處理後的印刷版93朝向第一清洗部11搬送的搬送部。

剝離部63鄰接配置在交接搬送部23的-X側，其包括將橡皮布91從基板9剝離的剝離裝置631。在剝離部63中被剝離了橡皮布91的基板9被向-X側搬出。此外，被剝離的橡皮布91被向交接搬送部23搬送。向交接搬送部23傳送的使用過的橡皮布91通過交接搬送部23的驅動而被向第一清洗部11搬送。由此，已使用於對基板9轉印的橡皮布91通過由第一清洗部11清洗而再次被再利用於轉印部51、53中的轉印處理。也就是說，交接搬送部23構成將轉印處理後的橡皮布91朝向第一清洗部11搬送的搬送部。

<1.2.圖案轉印>

圖5表示在圖案轉印系統1中製造轉印有圖案的基板9的流程的流程圖。另外，圖5所示的流程圖為一例，各步驟的執行順序等可視需要進行適當變更。

首先，利用第一清洗部11對橡皮布91進行濕式清洗(圖 5：步驟(step)S1)。然後，通過交接部21將已由第一清洗部11清洗的橡皮布91搬送至第二清洗部並進行乾式清洗(圖5：步驟S2)。如圖1所示，該步驟S1及S1中的橡皮布91的移動方向成為+X方向。

橡皮布91的乾式清洗完成後，將該橡皮布91搬送至預處理部31並進行預處理(圖5：步驟S3)。該預處理例如為烘烤處理。此外，如圖1所示，在從第二清洗部13向預處理部31搬送時，橡皮布91的移動方向從在此之前的+X方向轉換成+Y方向。

已完成預處理的橡皮布91被搬送至塗布部41。然後，在塗布部41，在橡皮布91的表面上的規定範圍內塗布轉印劑(圖5：步驟S4)。轉印劑的塗布完成後，橡皮布91由搬送機器臂711被向轉印部51搬送。

此外，在進行從橡皮布91的清洗到轉印劑的塗布的處理(步驟S1~步驟S4)的同時，在第一清洗部11進行印刷版93的清洗(圖5：步驟S5)。在第一清洗部11被清洗的印刷版93由搬送機器臂711向轉印部51搬送。然後，印刷版93被固定於在X軸方向直線移動的載置台55。

被搬送至轉印部51的橡皮布91通過轉印裝置511而與固定在載置台55的印刷版93貼合。然後，將橡皮布91及印刷版93的複合體搬送至剝離部61的剝離裝置611，將橡皮布91從印刷版93剝離。由此，將與印刷版的印刷圖案對應的規定圖案形成在橡皮布91(第一圖案轉印，圖5：步驟S6)。

完成步驟S6的圖案轉印後，印刷版93由搬送機器臂731向交接搬送部23搬送，並進而搬送至第一清洗部11。然後，對印刷版93進行清洗(圖5：步驟S7)。也就是說，經第一清洗部11清洗的印刷版93為已對橡皮布91轉印圖案的印刷版。如此一來，通過將已對橡皮布91轉印圖案的印刷版93向第一清洗部11搬送，可再次利用印刷版93。由此，可减少在圖案轉印系統1中使用的印刷版93的數量。

在進行步驟S7的同時將基板9搬入至轉印部53(圖5：步驟S8)。另外，還可以在比步驟S7更早的時間將基板9搬入至轉印裝置531。然後，被搬入至轉印部53的橡皮布91通過轉印裝置531而與基板9貼合。其後，通過搬送機器臂731將橡皮布91與基板9的複合體從轉印裝置531取出並搬送至交接搬送部23。然後，將複合體從交接搬送部23搬送至剝離部63，並通過剝離裝置631將橡皮布91從基板9剝離。由此，對基板9轉印與印刷版93的印刷圖案對應的圖案(第二圖案轉印，圖5：步驟S9)。

已由步驟S9對基板9轉印圖案的橡皮布91通過交接搬送部23而被搬送至第一清洗部11進行清洗處理(圖5：步驟S10)。也就是說，由第一清洗部11清洗的橡皮布91成為已對基板9轉印圖案的橡皮布。如此一來，通過清洗在圖案轉印中被使用過的橡皮布91可將其再利用。由此，可减少在圖案轉印系統1中使用的橡皮布91的數量。此外，在進行步驟S10的同時，形成著圖案的基板9被從剝離部63搬出至外部(圖5：步驟S11)。

以如上所述方式在圖案轉印系統1中製造轉印有圖案的基板9。此外，通過重複進行所述各步驟，在圖案轉印系統1中批量生產基板9。

<1.3.比較例>

圖6是比較例的圖案轉印系統100的概略俯視圖。在比較例的圖案轉印系統100中，將第一清洗部11、預處理部31、塗布部41、轉印部51、剝離部61、轉印部53及剝離部63依次排列成一列。此外，在各處理部的側方部分設置著無人搬送(AGV)區域(area)700。在AGV區域700內，將橡皮布91及印刷版93從第一清洗部11側搬入，且向剝離部63側搬出。此外，在AGV區域700內，從剝離部63側搬入基板9，且將轉印有圖案的基板9從剝離部63側搬出。進而，AGV區域700與各處理部之間的橡皮布91、印刷版93或基板9的搬送是由搬送機器臂701~搬送機器臂707進行。

在比較例的圖案轉印系統100的情况下，需要AGV區域700及最少七台搬送機器臂701~搬送機器臂707，這些部件的占有面積明顯變大。與此相對，在圖案轉印系統1的情况下，因為可省略至少AGV區域700及搬送機器臂701~搬送機器臂707的一部分，所以具有可减少與之相應的占有面積的優點。

此外，橡皮布91及印刷版93未被再次利用而被從圖案轉印系統100搬出。因此，在圖案轉印系統100中所使用的橡皮布91及印刷版93的數量會增大。與此相對，在圖案轉印系統1 的情况下，因為將橡皮布91及印刷版93循環再利用，所以具有可節省數量的優點。

此外，為了提高基板9的圖案形成的精度，必須通過將塗布著轉印劑的狀態的橡皮布91、該橡皮布91與印刷版93的複合體、形成著圖案的狀態的橡皮布91、以及橡皮布91與基板9的複合體(下面，將這些部件還稱作「附帶轉印劑的基材」)保持為所需溫度，來抑制附帶轉印劑的基材產生變形。因此，必須利用高效空氣過濾器單元(High Efficiency Particulate Air Filter unit)等調溫機器對搬送附帶轉印劑的基材的區域(圖6中由陰影所示的區域)進行調溫，並且設置用以將該區域與其他區域隔開的壁而謀求與周邊環境的分離。與此相對，在圖案轉印系統1的情况下，因為可省略至少AGV區域700及搬送機器臂703~搬送機器臂707的一部分，所以具有可减少相當於其占有面積量的調溫管理成本的優點。

<2.第二實施方式>

在第一實施方式的圖案轉印系統1中，以向+X方向或-X方向直線搬送橡皮布91及印刷版93而進行各處理的方式配置著各處理部。然而，各處理部的配置方法並不限定於此。

圖7是第二實施方式的圖案轉印系統1A的概略俯視圖。另外，在本實施方式的說明中，對具有與第一實施方式的圖案轉印系統1的要素相同功能的要素標注相同符號並省略其說明。

圖案轉印系統1A包括：橡皮布處理部81，用以處理橡 皮布91；印刷版處理部83，用以處理印刷版93；以及轉印處理部85，進行橡皮布91與印刷版93之間的圖案轉印、以及橡皮布91與基板9之間的圖案轉印。

在橡皮布處理部81，在中央配置著搬送機器臂751，在搬送機器臂751的周圍配置著清洗部11A、預處理部31、塗布部41及交接部21A。在清洗部11A，雖省略圖示，但在例如上下位置分別分層配置著通過滾輪搬送等將橡皮布91從外部朝向搬送機器臂751搬送的搬送單元、以及對橡皮布91進行清洗處理的清洗單元。交接部21A與轉印處理部85連接。交接部21A提供用以暫時載置在塗布部41被塗布了轉印劑的橡皮布91、及在轉印處理部85已對基板9轉印圖案的橡皮布91的空間。交接部21A構成為例如將多個橡皮布91上下隔開所需間隔而分層保管。

搬送機器臂751包括與搬送機器臂711、搬送機器臂731大致相同的構成，且將由清洗部11A的搬送單元從外部搬入的橡皮布91、或載置在交接搬送部23的轉印後的橡皮布91搬入至清洗部11A的清洗單元。此外，搬送機器臂751將清洗後的橡皮布91適當搬送至預處理部31、塗布部41、交接部21A。由此，利用各處理部對橡皮布91進行處理。

在印刷版處理部83，在中央配置著搬送機器臂771，在搬送機器臂771的周圍配置著清洗部11B、預處理部31A及交接部21B。清洗部11B與清洗部11A同樣地將搬送單元及清洗單元分別配置在例如上下位置。交接部21B與轉印處理部85連接。交 接部21B提供用以暫時載置已由預處理部31A完成規定預處理(烘烤處理等)的印刷版93、及在轉印處理部85中已對橡皮布91轉印圖案的印刷版93的空間。交接部21B構成為將多個印刷版93例如上下隔開所需間隔而分層保管。

搬送機器臂771包括與搬送機器臂751大致相同的構成，其將由清洗部11B的搬送單元從外部搬入的印刷版93、或載置在交接部21B的轉印後的印刷版93搬入至清洗部11B的清洗單元。此外，搬送機器臂771將清洗後的印刷版93適當搬送至預處理部31A、交接部21B。由此，利用各處理部對印刷版93進行處理。

在轉印處理部85，在中央配置著搬送機器臂791，在搬送機器臂791的周圍配置著轉印部51、轉印部53、剝離部61、剝離部63、基板搬入部87及基板搬出部89。搬送機器臂791與搬送機器臂711等同樣地通過多個爪部支撑橡皮布91、印刷版93或基板9。但，搬送機器臂791為了可進出各處理部而包括用以在水平方向移動的移動機構(未圖示)、及用以使多個爪部上下升降的升降機構(未圖示)。

搬送機器臂791從交接部21A獲取塗布著轉印劑的橡皮布91並將其搬送至轉印部51。此外，從交接部21B獲取已完成清洗及預處理的印刷版93並將其搬送至轉印部51。由此，利用轉印部51進行橡皮布91及印刷版93的貼合。

此外，搬送機器臂791接收已由轉印部51貼合的橡皮布 91及印刷版93的複合體並將其搬送至剝離部61。然後，利用剝離部61進行橡皮布91及印刷版93的剝離。

進而，搬送機器臂791獲取被剝離的印刷版93並將其搬送至交接部21B。此外，搬送機器臂791從剝離部61獲取被從印刷版93剝離的橡皮布91並將其搬送至轉印部53。此外，獲取從外部供給至基板搬入部87的基板9並將其搬送至轉印部53。由此，利用轉印部53進行橡皮布91及基板9的貼合。

此外，搬送機器臂791從轉印部53獲取橡皮布91及基板9的複合體並將其搬送至剝離部63。然後，利用剝離部63進行橡皮布91及基板9的剝離。

進而，搬送機器臂791獲取被剝離的基板9並將其搬送至基板搬出部89。由此，可將形成著圖案的基板9搬出至外部。此外，從剝離部63獲取被從基板9剝離的橡皮布91並將其搬送至交接部21A。

如上所述，即便在本實施方式的圖案轉印系統1A中也可以實現橡皮布91及印刷版93的再利用。因此，可分別减少在圖案轉印系統1A中所使用的橡皮布91及印刷版93的數量。

此外，在圖案轉印系統1A中，採用在搬送機器臂751、搬送機器臂771及搬送機器臂791的周圍配置各處理部的所謂的集群(cluster)配置。通過採用集群配置，例如能以中央的搬送機器臂791的動作為基準而分別規定轉印處理部85的各處理部(轉印部51、轉印部53、剝離部61、剝離部63、基板搬入部87及基 板搬出部89)的動作的執行時間。進而，只要决定轉印處理部85的各處理部的動作的執行時間，便可以决定橡皮布處理部81及印刷版處理部83的各處理部(包含搬送機器臂751、搬送機器臂771)的動作時間。也就是說，通過採用集群配置而容易進行圖案轉印系統1A所包括的各要素的動作的控制(或排程(scheduling))。

<3.變形例>

以上，對實施方式進行了說明，但本發明並不限定於如上所述的實施方式，可進行各種變形。

例如，所述實施方式的圖案轉印系統1、圖案轉印系統1A構成為將橡皮布91及印刷版93這兩者再利用，但也可以構成為僅將其中一者再利用。

此外，所述各實施方式及各變形例中所說明的各構成只要不相互矛盾便可以適當組合。

雖對本發明進行了詳細說明，但所述說明在所有實施方式中為例示，本發明並不限定於此。未例示的無數的變形例可理解為可不脫離本發明的範圍而假定者。

1‧‧‧圖案轉印系統

9‧‧‧基板

11‧‧‧第一清洗部

13‧‧‧第二清洗部

21‧‧‧交接部

23‧‧‧交接搬送部

31‧‧‧預處理部

41‧‧‧塗布部

51、53‧‧‧轉印部

55‧‧‧載置台

57‧‧‧導引部

61、63‧‧‧剝離部

611、631‧‧‧剝離裝置

71、73‧‧‧機器臂搬送部

91‧‧‧橡皮布

93‧‧‧印刷版

511、531‧‧‧轉印裝置

711、731‧‧‧搬送機器臂

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

Claims (11)

1. 一種圖案轉印系統，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其特徵在於，包括：清洗部，清洗印刷版；塗布部，對平板狀的橡皮布塗布轉印劑；第一轉印部，通過將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的所述印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；第二轉印部，通過將已被轉印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉印圖案；交接搬送部，將已由所述第一轉印部對所述橡皮布轉印圖案的所述多個印刷版朝向所述清洗部依序搬送；以及機器臂搬送部，將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的多個所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的多個所述印刷版朝向所述第一轉印部依序搬送，所述清洗部一邊將多個所述印刷版向一方向依序搬送，一邊對所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述印刷版。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的圖案轉印系統，其中：所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置，所述清洗裝置一邊將多個所述橡皮布及多個所述印刷版向一方向依序搬送，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理 液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。
3. 根據申請專利範圍第2項所述的圖案轉印系統，其中：所述清洗裝置包括：傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進行搬送；以及支撑部，支撑所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側的側端部。
4. 根據申請專利範圍第2項所述的圖案轉印系統，其中：所述橡皮布從所述塗布部到所述第一轉印部的移動方向為與所述一方向相反的方向。
5. 一種圖案轉印系統，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其特徵在於，包括：清洗部，清洗平板狀的橡皮布；塗布部，對已由所述清洗部清洗的所述橡皮布塗布轉印劑；第一轉印部，通過將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至所述橡皮布；第二轉印部，通過將已被轉印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉印圖案；交接搬送部，將已由所述第二轉印部對所述基板轉印圖案的多個所述橡皮布朝向所述清洗部依序搬送；以及機器臂搬送部，將已由所述塗布部塗布所述轉印劑的多個所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的多個所述印刷版朝向所述第一 轉印部依序搬送，所述清洗部一邊將多個所述橡皮布向一方向依序搬送，一邊對多個所述橡皮布的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布。
6. 根據申請專利範圍第5項所述的圖案轉印系統，其中：所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置，所述清洗裝置一邊將多個所述橡皮布及多個所述印刷版向一方向依序搬送，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。
7. 根據申請專利範圍第6項所述的圖案轉印系統，其中：所述清洗裝置包括：傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進行搬送；以及支撑部，支撑所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側的側端部。
8. 根據申請專利範圍第6項所述的圖案轉印系統，其中：所述橡皮布從所述塗布部到所述第一轉印部的移動方向為與所述一方向相反的方向。
9. 根據申請專利範圍第5項所述的圖案轉印系統，其中：還包括第二清洗部，所述第二清洗部以與所述清洗部不同的實施方式清洗已由所述清洗部清洗的所述橡皮布，所述第二清洗部為進行乾式清洗；且所述塗布部對已由所述第二清洗部清洗的所述橡皮布塗布所 述轉印劑。
10. 一種圖案轉印方法，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其特徵在於：包括如下步驟：(a)依序清洗多個印刷版；(b)對多個平板狀的橡皮布依序塗布轉印劑；(c)通過將已由所述(b)步驟塗布所述轉印劑的多個所述橡皮布及已由所述(a)步驟清洗的多個所述印刷版依序貼合，而將與多個所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至多個所述橡皮布；以及(d)通過將已由所述(c)步驟轉印所述圖案的多個所述橡皮布貼合在多個所述基板上，而對多個所述基板轉印圖案；且由所述(a)步驟清洗的多個所述印刷版為已由所述(c)步驟對多個所述橡皮布分別轉印圖案的多個所述印刷版，且由所述(c)步驟再次利用已由所述(a)步驟清洗的多個所述印刷版。
11. 一種圖案轉印方法，利用平版印刷法對基板轉印圖案，其特徵在於，包括如下步驟：(A)依序清洗多個平板狀的橡皮布；(B)對已由所述(A)步驟清洗的多個所述橡皮布依序塗布轉印劑；(C)通過將已由所述(B)步驟塗布所述轉印劑的多個所述橡皮布及多個所述印刷版依序貼合，而將與多個所述印刷版的印刷圖案對應的圖案轉印至多個所述橡皮布；以及 (D)通過將已被轉印所述圖案的多個所述橡皮布依序貼合在多個所述基板上，而對多個所述基板轉印圖案；且由所述(A)步驟清洗的多個所述橡皮布為已由所述(D)步驟對多個所述基板分別轉印所述圖案的多個所述橡皮布，且由所述(D)步驟再次利用已由所述(A)步驟清洗的多個所述橡皮布。