TWI567040B - 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物 - Google Patents

具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物 Download PDF

Info

Publication number
TWI567040B
TWI567040B TW104144229A TW104144229A TWI567040B TW I567040 B TWI567040 B TW I567040B TW 104144229 A TW104144229 A TW 104144229A TW 104144229 A TW104144229 A TW 104144229A TW I567040 B TWI567040 B TW I567040B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
glass
mgo
temperature
oxide
sio
Prior art date
Application number
TW104144229A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201627245A (zh
Inventor
依利森亞當詹姆斯
凱仁司基提曼詹姆斯
Original Assignee
康寧公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 康寧公司 filed Critical 康寧公司
Publication of TW201627245A publication Critical patent/TW201627245A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI567040B publication Critical patent/TWI567040B/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/11—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen
    • C03C3/112—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine
    • C03C3/115—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron
    • C03C3/118—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron containing aluminium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
    • C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
    • C03C3/087—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal containing calcium oxide, e.g. common sheet or container glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C1/00—Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
    • C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/11—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/11—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen
    • C03C3/112—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Description

具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物
本發明係關於一種玻璃組成物，其具有高熱及化學穩定性。本申請案根據專利法之規定主張2011年1月25日申請之美國臨時專利申請案第61/435,987號之優先權，該案之內容以引用的方式併入本文中。
主動式矩陣液晶顯示裝置(AMLCD)等液晶顯示器之生產非常複雜，且基板玻璃之性質極其重要。首要地，用於生產AMLCD裝置之玻璃基板之物理尺寸需受到嚴格控制。下拉薄片拉伸製程(downdraw sheet drawing process)及詳述於美國專利第3,338,696號及第3,682,609號(兩者皆屬於Dockerty)之熔融製程，皆不需要研磨及拋光等高成本的後成型處理操作，即能生產可用作基板之玻璃片。然而，熔融製程對玻璃性質有相當嚴格之限制，其要求比較高之液相線黏度。
在液晶顯示器領域，基於多晶矽製作之薄膜電晶體(TFT)較佳，因為其能更為有效地傳遞電子。多晶矽電晶體(p-Si)之特徵在於其具有比非晶矽電晶體(a-Si)更高之載子遷移率。如此可以製備較小及速度較快之電晶體。對於目前最流行的手持裝置而言，P-Si顯示器為核心所在。該p-Si薄膜電晶體陣列消耗功率極低，可以非常小巧精緻(對小型顯示器而言很重要)並提供高亮度。
用來製造p-Si TFT之製程常包括熱偏移至相當高之溫度以促進矽結晶。在一些製程中，僅利用溫度來產生結晶，且在此類製程中，峰值溫度 非常高，相較於在a-si電晶體製造中所應用之350℃峰值溫度，這類製程溫度非常典型地大於650℃。在該等溫度下，多數AMLCD玻璃基板會經歷緊縮的過程，除非自下方支撐，否則將過度變形。緊縮(compaction)，亦被稱為熱穩定性或尺寸變化，為由於玻璃虛擬溫度之變化而引起的玻璃基板中之不可逆尺寸變化(收縮或膨脹)。緊縮幅度取決於製造玻璃之製程及玻璃之黏彈性質。在自玻璃產生薄片產品之浮式製程中，自熔融狀態慢慢地冷卻玻璃薄片，因此，是在相對來說較低的溫度結構中「凍結」成玻璃。對比之下，熔融製程使熔融狀態之玻璃薄片非常迅速地淬火，且在相對較高溫度結構中進行凍結。因此，當和由熔融製程生產之玻璃相比時，由浮式製程生產的玻璃具有較低緊縮性。在玻璃產品本身中，緊縮最終可能造成與彩色濾光器對位不準，若太大時，則對於裝置效能產生不利的影響。因此，需要使由下拉製程生產玻璃基板，以使緊縮程度最小化。商業上使用的玻璃產品Jade®(Corning Incorporated,Corning NY)係經專門開發以解決此問題。相較於習知的非晶矽基板玻璃，該玻璃產品具有極高退火點，即使在習知非晶矽基板之應變點溫度以上再加熱時，仍顯示低緊縮性。
雖然Jade®產品已被證實足以用於許多p-Si製程，但仍存在對更低之緊縮程度，及/或在更高溫度(有時超過700℃)下承受熱處理能力之需求。經退火之低退火點p-Si基板玻璃經最優化後，可提供較低的緊縮程度，但其在升高溫度後之變形量隨著此次增強之退火，僅得到些微的改善。該Jade®產品比經退火之低退火點玻璃在升高溫度下具有更低的變形量，但對一些應用而言，緊縮過高，且在一些最新開發循環之極端條件下，可能需要具有更高的抗變形能力。為了在現存製程中提供所需較低緊縮性以及實現新穎較高溫度製程之開發，需要具有超過785℃之退火點之玻璃。
根據所揭示材料之用途，如本文所體現及概括描述之化合物、組成物、物品、裝置及方法是無鹼、硼鋁矽酸鹽玻璃，其用在諸如主動式矩陣液晶顯示器(AMLCD)及主動式矩陣有機發光二極體顯示器(AMOLED)之平板顯示裝置中，作為基板時，展現了所要求的物理及化學性質。根據其某一實施例中，該等玻璃具有作為應變點溫度函數之良好尺寸穩定性。具體而言，本文所述之玻璃為熔融相容玻璃，具有超過785℃之退火點、在黏度200泊之溫度為1730℃或者更低、小於2.65g/cc之密度，及在氟化物基之無機酸中，蝕刻速率在10%範圍以內，此範圍是由習知a-Si基板材料所顯示的。其他優點將部分闡明於以下實施方式，且將根據實施方式而部分清楚了解，或可藉由下述態樣之實施而習得。下列優點尤其可藉由在附加申請專利範圍中，所指出之元素及組成來實現及獲得。應瞭解，前述發明內容及以下實施方式兩者僅為用來作為實例及闡明本發明之精神，並不對本發明構成限制。
併入及組成本說明書一部分之附隨圖式闡明下述數個態樣。
圖1為本發明之典型玻璃與典型p-Si玻璃的緊縮性比較。
圖2顯示相對於本發明之典型玻璃，市售p-Si玻璃在700℃下之熱凹陷(量測在y軸上的「變形」)。顯然，GBII玻璃在700℃下，凹陷的情況比其他p-Si玻璃低，從而實現客戶之製程中之較高溫度熱循環。
圖3說明本揭示案之玻璃用之(SiO2+Al2O3)/(1-B2O3)與RO-Al2O3之莫耳%。
本文所述之材料、化合物、組成物、物品、裝置及方法，可藉由參考以下實施方式中所揭示標的之特定態樣及本文所包括之實施例及參考圖式而更易理解。
在揭示及描述本發明之材料、化合物、組成物、物品、裝置及方法前，應瞭解下述態樣不受限於特定合成方法或特定試劑，因而當然可改變。亦應瞭解，本文所用之術語僅用於描述特定態樣且不構成限制。
同樣，貫穿本說明書，引用各種出版物。該等出版物之揭示內容之全文係以引用之方式併入本申請案中，以更全面描述所揭示物質所屬之目前先進技術。所揭示之參考文獻關於其中所含之材料亦以引用的方式個別及明確地併入本文中，該材料係在參考所依賴之句子中討論。
貫穿本說明書之實施方式及申請專利範圍，單詞「包含」及該單詞之其他形式意謂包括但不限於，且不排除例如其他添加劑、組份、事物或步驟。
本文所揭示之某些材料、化合物、組成物及組份可自市場獲得，或使用熟習此項技術者通常所知之技術輕易合成。舉例而言，用來製備所揭示之化合物及組成物之起始材料及試劑可自商業供應商獲得抑或藉由熟習此項技術者所知之方法而製備。
同樣，本文揭示之材料、化合物、組成物及組份可用於所揭示方法及組成物，可與所揭示方法及組成物聯合使用，可用於製備所揭示方法及組成物之產物，或為所揭示方法及組成物之產物。該等及其他材料揭示於本文中，且應瞭解，當揭示該等材料之組合、子集、相互作用、群組等時，雖然未明確揭示各種個別及共同組合各者之特定參考及該等化合物之置換，但各者係明確地涵蓋及描述於本文中。
現將詳細參考所揭示之材料、化合物、組成物、物品及方法之特定態樣，該等特定態樣之實例在附隨實例及圖式中加以說明。
本發明中所描述是具有高應變點從而具有良好尺寸穩定性(亦即，低緊縮性)之無鹼玻璃及其製造方法。高應變點的玻璃可防止在玻璃製造後之熱處理期間，由緊縮/收縮引起的平板變形。
本揭示案之範圍所表示之組成物包含SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO及BaO，且澄清劑可包括氧化錫(SnO2)、氧化鐵(Fe2O3)、氧化鈰(CeO2)、各種鹵化物(主要為F、Cl及Br)、As2O3或Sb2O3。在一實施例中，組成物包含無鹼玻璃，該無鹼玻璃以氧化物之莫耳百分比計包含：70SiO2 74.5
10.5Al2O3 13.5
0B2O3 2.5
3MgO7
3CaO7
0SrO4
1.5BaO6
0SnO2 0.3
0CeO2 0.3
0As2O3 0.5
0Sb2O3 0.5
0.01Fe2O3 0.08
F+Cl+Br0.4其中a)1.05(MgO+CaO+SrO)/Al2O3 1.7
b)0.2MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)0.45 其中Al2O3、MgO、CaO、SrO及BaO表示所代表的氧化物組份之莫耳百分比。在另一實施例中，MgO/RO為0.29MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)0.39。
在一實施例中，組成物進一步被限制如下：SiO2+Al2O3=86.97-0.713 *(MgO+CaO+SrO+BaO-Al2O3)±0.8
在另一實施例中，所揭示範圍內之玻璃實質上不含氧化砷(As2O3)或氧化銻(Sb2O3)，以使得該等氧化物之任一者之濃度或兩者總合之濃度低於0.05重量%。當情況如此時，可較佳添加其他多價氧化物，諸如SnO2、Fe2O3及/或CeO2，以確保最終玻璃中之含有最小量的氣包體。
在一實施例中，本揭示案之玻璃密度小於2.65g/cc。在另一實施例中，玻璃密度小於2.6g/cc。
處於以上界定之範圍內之組成物展示於表1中。
對應於黏度200泊之溫度，常作為玻璃之適當熔融溫度之粗略準則。表1中，玻璃之200泊溫度在大多數情況下極高，通常大於約1670℃。而對於該創新玻璃來說，卻意外獲得之結果是，創新範圍中，在低B2O3含量下，大多數耐火批料、尤其SiO2(或沙)之熔融速率快於具有較高B2O3含量之玻璃。正因如此，且由於該等玻璃，相較於具有較高B2O3含量之玻璃而言，具有相對較低的電阻率，所以當創新玻璃在具有鉑精煉爐(platinum finer)及光學攪拌器(optical stirrer)之焦耳促進CU熔化器(joule-boosted CU melter)中熔融時，在約200泊與450泊之間的任意熔化器溫度下，均可獲得優異的玻璃品質。
對應於35,000泊黏度之溫度，被視為將玻璃傳遞至等靜壓管(isopipe)溝槽時之標準溫度。通常需要此溫度儘可能低，以最小化等靜壓管耐火物質隨時間而產生的潛變。該等創新玻璃35,000泊所對應的溫度點通常在約1280℃與1345℃之間，但在此範圍之上限，等靜壓管可能需要使用特 殊的耐火物質，以獲得可接受之等靜壓管壽命。因此，在一實施例中，該等創新玻璃之35,000泊溫度小於1320℃，且在另一實施例中，小於1310℃。
熔融拉伸玻璃具有高虛擬溫度，且這使得當再加熱至接近退火點之溫度時，玻璃結構大幅度失衡。若欲將初拉伸的玻璃用於p-Si製程中，則最小化緊縮性的唯一方式，是使玻璃在接近退火點之溫度下退火，並藉此從部分地或整體地結構上釋放玻璃內應力，或升高玻璃之退火點，以使得結構等靜壓管之速率降低，且最小化p-Si製程中結構弛豫之幅度。然而，在p-Si製程中產生低程度緊縮性所需之退火點視製程細節而定，並且，在不使具有多種退火點之玻璃經過感興趣熱循環之情況下，難以預計所需之退火點溫度。一般而言，為提供客戶一致產品來做不同的p-Si製程，最好的方式是最小化緊縮性，使退火點儘量提高以合理地符合可製造性及其他客戶相關限制因素。該等創新玻璃具有大於約790℃的退火溫度，大於AMLCD中所應用之任一市售基板之溫度，且因此足以在p-Si製程中產生最小緊縮性。在另一實施例中，退火溫度超過800℃。在又一實施例中，退火溫度超過810℃。在另一實施例中，退火溫度超過815℃。
該等創新玻璃中之各氧化物成分具有重要用途。二氧化矽或SiO2為主要的玻璃形成氧化物，且為熔融玻璃提供黏度。對既定液相線溫度而言，增加黏度來增加液相線黏度，也因此改良與熔融製程之相容性。然而，若黏度變得太高，則可能出現諸如微氣泡(fining bubble)之熔融相關缺陷，且耐火物質可能被極度侵蝕，而鉑老化可能會太快，以致於無法在連續製程中長期使用。而且，隨著二氧化矽增加，由於白矽石之穩定性增加，液相線溫度亦可升高，白矽石是SiO2結晶體的同質異形物，是在連續製程中最不欲見的去玻相(devitrification phase)。相較於氧化硼(B2O3)外之每一氧化物 而言，SiO2用來降低創新玻璃的密度及熱膨脹係數，且相對於B2O3，SiO2可改良耐久性。在該等創新玻璃中，SiO2範圍在70莫耳%與74.5莫耳%之間。
氧化鋁或Al2O3亦在該等創新玻璃中用作玻璃形成材料。如同SiO2一樣，其提供黏度，且當小心地與SiO2濃度及鹼土金屬之相對及絕對濃度相平衡時，可用來降低液相線溫度，從而提高液相線黏度。相對於除SiO2之外的每一氧化物而言，增加Al2O3會使創新玻璃在各種酸系蝕刻劑的耐久性得到改良，前述的酸蝕刻劑在基於非晶矽之蝕刻製程中常用於蝕刻顯示器玻璃。如同SiO2，相對於鹼土金屬之Al2O3增加通常可使創新玻璃密度降低，熱膨脹係數降低，並改良耐久性。尤其重要地，增加Al2O3置換除SiO2之外的任一組份，通常將提高退火點，且因此需要可獲得p-Si應用所需之高退火點的最少量的Al2O3。由於需要使Al2O3與其他氧化物平衡，因此該等創新玻璃之Al2O3含量之全範圍係在10.5莫耳%與13.5莫耳%之間。
氧化硼或B2O3亦為玻璃形成氧化物，且係用來降低黏度，且更為重要地，係用來降低液相線溫度。一般而言，B2O3增加1莫耳%會導致同等黏度下之溫度下降10-14℃，視玻璃組成物之細節及討論中之黏度而定。然而，每莫耳%之B2O3可降低液相線溫度18-22℃，因此其降低液相線溫度之效應較降低黏度之效應更快，從而增加液相線黏度。當吾人將B2O3含量降到極低點，同時將所有其他氧化物保持在其各別範圍中時，通常越難以獲得高達130kpoise或更佳大於170kpoise之液相線黏度，而液相線黏度大於170kpoise則為與目前實施之熔融製程相容所需之先決條件。若吾人打算減少其他玻璃組份，來增加氧化硼濃度，則CTE及密度通常會降低，但退火點降低將更迅速，每莫耳%將急劇降低差不多14℃，其對p-Si基板的應用極為有害。另一方面，相對於其他可降低黏度之組份(主要為鹼土金屬氧化物)，增加氧化硼實際上改良在含氟酸中之耐久性，使得玻璃與為非晶矽基板玻璃而設計之 蝕刻製程更相容。由於該等原因，較佳將B2O3保持在0莫耳%與2.5莫耳%之間。在一實施例中，玻璃基本上不含B2O3。
令人驚訝之發現為，無硼玻璃中可獲得具有相對較低的液相線溫度，及由此所致之具有高液相線黏度之玻璃。如上所述，氧化硼降低液相線溫度之速率快於其降低黏度之速率，因此一般而言，B2O3之添加提高液相線黏度。而且，硼傾向於降低液相線溫度之組成依賴性，使得特定氧化物之相對濃度變化，將傾向於使無硼玻璃之液相線溫度變化，大於含硼玻璃。本文所述之意外結果在於，對於不是B2O3之氧化物之窄範圍而言，可獲得低液相線溫度，且由於該等玻璃因上述原因黏性很高，因此相應液相線黏度可極高且適用於熔融製程。舉例而言，表1中之玻璃之液相線黏度為約130,000泊或更高，從而使其與熔融製程相容。此外，熔融製程在特定黏度範圍中運作：玻璃在對應於20,000-35,000泊之黏度下傳遞至等靜壓管之溝槽，且玻璃在對應於100,000或更高之黏度下以黏性帶形式離開等靜壓管之根部。在該等創新玻璃之極高傳遞溫度下，每單位面積之輻射熱損失速率大於較小黏性玻璃，僅因為玻璃之黑體輻射之實質部分係在可見及近紅外波長下，在該等波長下玻璃實質上為透明的。因此，相較於可能用於非晶矽基板玻璃之液相線黏度，熔融製程中，創新玻璃實際實施可能需要高液相線黏度。因此，在一實施例中，玻璃組成物具有至少170,000泊之液相線黏度。
鹼土金屬氧化物MgO、CaO、SrO及BaO為用於製造之基本成分。如同B2O3一樣，相對於SiO2或Al2O3增加鹼土金屬總會降低在定溫下玻璃熔體之黏度。由於高溫為限制玻璃槽及形成設備壽命之主要因素，因此常需要降低熔融及形成溫度，以儘可能地和傳遞給客戶的玻璃性質之適當系列保持一致。不同於SiO2、Al2O3及B2O3，相對於玻璃形成組份來說，增加鹼土金屬通常會使應用於p-Si的重要性質退化：CTE及密度通常隨著鹼土金屬氧化物組 份相對於SiO2、Al2O3及B2O3的比例增加而增加，退火點通常降低，且耐久性與標準非晶矽基板玻璃的差距越來越大。較高鹼土金屬濃度對於最終玻璃性質來說，唯一的益處是楊氏模數，且對於鹼土金屬增加之一些組合而言，為比模數。楊氏模數決定玻璃薄片之硬度，且因此儘可能高的楊氏模數對玻璃處理很有價值。在恆溫下，在下方具有相隔甚遠之支撐物的玻璃薄片的凹陷係由比模數支配，或由楊氏模數與密度之比率支配。高鹼土金屬濃度通常增加密度，且因此使楊氏模數之增加不如預期。然而，MgO及CaO增加密度之速率遠慢於大型鹼土金屬Sr及Ba，且因此鹼土金屬之相對比例可經操縱以獲得與熔融相容性一致之楊氏模數與密度之最佳組合。在一實施例中，比模數大於30GPa cm3/gm。在另一實施例中，比模數大於31GPa cm3/gm。在又一實施例中，比模數大於31.5GPa cm3/gm。
亦需要鹼土金屬混合物來獲得低液相線溫度。其背後原因複雜。在不希望受到理論約束之情況下，各種鹼土金屬之創新範圍具有使創新範圍內之大多數玻璃，其液相線上形成兩種或兩種以上結晶相之效應，該等結晶相之一者為白矽石(SiO2)，且該等結晶相之另一者為鹼土金屬鋁矽酸鹽。在富含鋇之玻璃中，鹼土金屬鋁矽酸鹽常為六方鋇長石(hexacelsian)及其中之固溶體，其近似地表示為Ba1-x-y,Srx,CayMgzAl2-zSi2+zO8，其中x、y及z通常小於0.5。在具有低鋇濃度且由此具有相應較高CaO+SrO濃度之玻璃中，鹼土金屬鋁矽酸鹽常為鈣長石(anorthite)或其中之固溶體，其近似地表示為Ca1-x-ySrxBayAl2Si2O8。對富含Mg之組成物而言，液相線相(liquidus phase)有時為堇青石(cordierite)或其中之固溶體，近似地為Mg2Al4Si5O18。最佳液相線溫度通常係當兩種或兩種以上不同鋁矽酸鹽相及白矽石處於或接近液相線溫度時而獲得。玻璃成分各相之相對競爭具有使其他相失去穩定性之 效應，從而不僅降低液相線溫度，而且降低當在製造製程中過度冷卻時之去玻化趨勢。
在鹼土金屬氧化物之固定含量下，當Ba、Sr或Ca由Mg置換時，熔融及形成溫度通常降低。當(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3(亦被稱為RO/Al2O3)接近1.0時，由於其高熔融溫度使其幾乎不可能熔融，上述情況尤其重要。然而，MgO為六方鋇長石及堇青石中之參與者，且在低(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3下可使富鋁紅柱石(mullite)穩定。因此，MgO需限制在總鹼土金屬氧化物濃度之窄範圍中以獲得黏度與液相線溫度之最佳平衡：莫耳比MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)較佳保持在0.2至0.45之範圍中。在另一實施例中，此莫耳比保持在0.29至0.39之範圍中。在又一實施例中，此莫耳比保持在0.31至0.35之範圍中。
對液相線溫度具有最大有利影響之鹼土金屬氧化物為氧化鋇(BaO)。然而，當用其取代任一其他鹼土金屬氧化物時，其亦具有提高熔融及傳遞溫度之效應，且對諸如密度、CTE及退火點之最終玻璃性質之損害程度大於任一其他鹼土金屬氧化物。可以減少鋇而增加氧化鍶(SrO)，以抵消該等不利影響中之部分，但對液相線溫度之效益顯著減少。由於六方鋇長石實質上為具有相對較低CaO及BaO之鋇鍶鋁矽酸鹽，因此通常需要具有可與BaO+SrO之組合濃度相當之CaO濃度。由於該等理由，創新玻璃將具有在1.5莫耳%與6莫耳%之間的BaO、在0莫耳%與4莫耳%之間的SrO，及在3莫耳%與7莫耳%之間的CaO。該等界限內之組成具有吸引人的物理性質及液相線黏度，可適用於諸如熔融製程之下拉製程。
即使熔融溫度相對較低，熔融設備之細節仍使得難以自玻璃熔體中清除氣包體。殘餘之氣包體表現為最終製品中之缺陷。P-Si TFT製造商對使玻璃薄片表面變形之缺陷極為敏感，且由於不能預計氣包體相對於薄片表 面將在何處終止，因此須不惜任何代價避免氣包體。而且，為了加工簡易性，TFT製造商常尋求用TFT製造製程中所用之相同基板材料製成彩色濾光器玻璃，在此情況下，氣包體可妨礙像素，從而損害整體裝置之效能。為在將玻璃熔體製成薄片之前自玻璃熔體中清除氣態缺陷，習知為添加澄清劑。澄清劑為在高溫下釋放氣體之多價陽離子或鹵化物。例示性多價澄清劑包括(但不限於)As2O3、Sb2O3、SnO2及Fe2O3。含砷及銻之廢流在一些國家被視為危險材料，且由於此原因，可能需要限制其在創新玻璃中之濃度。在創新玻璃之較佳實施例中，As2O3、Sb2O3或其組合保持在500ppm(0.05重量%)或更低之含量。
可用作澄清劑之鹵素包括F、Cl及Br。含有鹵素之廢流在一些國家亦可被視為危險材料，且其在熔融製程期間之釋放可對鐵管道及支撐物造成過度腐蝕。另一方面，熔融系統可經設計以安全地處理鹵素廢氣，且可利用各種原料選擇來影響其在最終玻璃中之滯留。鹵素通常呈穩定鹽之形式添加，其可包括(但不限於)鹼土金屬或鋁之簡單鹽及水合鹽，諸如MgF2、CaF2、SrF2、BaF2、MgCl2、CaCl2、SrCl2、BaCl2、MgCl2．4H2O、CaCl2．4H2O、SrCl2．4H2O、BaCl2．4H2O、MgBr2、CaBr2、SrBr2、BaBr2、MgBr2．4H2O、CaBr2．4H2O、SrBr2．4H2O、BaBr2．4H2O、AlCl3、AlCl3．6H2O，及熟習此項技術者熟知之原料選擇之其他形式。澄清在相對較低含量之鹵素添加下通常最佳，因此創新玻璃具有在0莫耳%與0.4莫耳%之間的F+Cl+Br濃度。在較佳實施例中，F+Cl+Br小於200ppm或0.02重量%。
圖1說明本發明之典型玻璃(X)與典型p-Si玻璃之比較。緊縮性係在內部緊縮性量測及顯示器製造循環兩者中相對於鹼組成物1而量測的，其中1之50%被視為可接受之緊縮程度且低於1之25%為較佳。已使玻璃1、2及3經過顯示器製造製程以及吾人發明者之模擬內部測試，且包括該等玻璃 以用實際顯示器製造者之反饋來顯示內部模擬之透明性。玻璃4為Corning之Jade®組成物且玻璃5為典型的經退火p-Si組成物，兩者皆顯示可接受之緊縮程度。玻璃6為「退火程度更高」之p-Si玻璃，其相對於「典型」玻璃5顯示較低緊縮性。顯然，本發明之玻璃(以玻璃X為代表)具有與兩種經退火之p-Si玻璃相當(如果不是更好的話)的緊縮效能，及相對於Jade®明顯更好之緊縮性。
圖2說明相對於本發明之典型玻璃(「X」)，典型p-Si玻璃(玻璃6及Jade®)在700℃下之熱凹陷(量測在y軸上的「變形」)。顯然，X玻璃在700℃下凹陷的情況相較於其他兩種p-Si玻璃低，從而實現在顯示器製造商之製程中使用較高溫度熱循環。
圖3說明關於SiO2+Al2O3含量與1-B2O3含量及RO-Al2O3含量之比率觀察到之重要關係。本發明之許多有利組成位於線y=0.7132 x+86.965上，如圖3圖解顯示。換言之，在一實施例中，本發明之玻璃屬於以下關係：SiO2+Al2O3=86.97-0.713 *(MgO+CaO+SrO+BaO-Al2O3)±0.8。
實例
下文提出以下實例以說明根據所揭示主題之方法及結果。該等實例不欲包括本文所揭示之主題之所有態樣，而是說明代表方法及結果。該等實例不欲排除對熟習此項技術者而言顯而易知之本發明之同等物及變化。
已努力確保關於數字(例如量、溫度等)之精確度，但應考慮一些錯誤及偏差。除非另有所指，否則份數為重量份，溫度為℃或周圍溫度，且壓力為大氣壓或接近大氣壓。反應條件，例如組份濃度、溫度、壓力及其他反應範圍及可用來最佳化自所述製程獲得之產物純度及產量之條件，可存在許多變體及組合。僅需要合理及常用實驗來最佳化此類製程條件。
表1顯示基於表2中之實例16的例示性創新玻璃組成物的實例，及用於製造該實例之原料之特定選擇。如熟習玻璃製造技術者已知，由於原始原料係藉由熔融製程轉化為單一均勻玻璃，所以原料之特定選擇不影響最終玻璃組成。然而，原料之實際選擇可不同於根據特定要求所指定者，該等特定要求受到特定熔融系統之限制或由原料成本或由該兩者影響。
SiO2之主要來源為沙。可自多種來源，包括沙沈積物(海灘或沙丘)、砂岩、石英岩或熟習原料選擇技術者所知之其他來源中之一或多種獲得沙。在無鹼玻璃中，鹼性污染之主要來源常為沙，因此仔細選擇來源材料對最小化此種重要污染物而言可謂重要。沙粒之大小可影響熔融速率，且詳言之，大沙粒可能無法完全熔融，其在磨損中呈現為包裹體(knot)或石頭。為避免此種情況，通常較佳使超過90%之所有沙粒通過標準#80 U.S標準篩孔大小。氧化鋁本身通常為添加Al2O3至玻璃之最便宜的原料，但當原料成本不太重要時，可使用諸如鋁矽酸鹽高嶺土或氧化鋁水合形式或Al2O3多晶型物之其他材料取而代之。
雖然實例16不是有意含有B2O3，但其他實例也如此。B2O3可呈硼酸酐(大約為94+% B2O3，其餘大部分為H2O)或硼酸(大約為B(OH)3)之形式分批給料。
MgO通常呈氧化物形式添加，而其他鹼土金屬通常呈碳酸鹽形式分批給料。CaO之適合碳酸鹽來源包含石灰石及沈澱碳酸鈣(精煉石灰石產物)。MgO可與白雲石形式之CaO分批給料，但此亦可能增加玻璃中之鐵量，且因此與可預期性較高之純鐵來源相比可能不合需要。大多數鍶及鋇通常呈藉由工業化學製程獲得之碳酸鹽形式添加。然而，為使批料充分氧化，通常亦需要包括硝酸鹽來源。硝酸鍶係在批料中指定，而硝酸鋇同樣適用。在該兩種情況下，通常需要分批給料不超過約1莫耳%之呈硝酸鹽形式之鹼土金 屬氧化物，以減少NOx排放，但在其他方面，硝酸鹽可有助於熔融，所以效果最好之準確量通常為試誤研究之主題。
SnO2作為澄清劑而包括於其常用用途中。更多SnO2通常等同於增進澄清能力，但由於其為相對昂貴之原料，所以添加量不應超過驅散氣包體以達到適當低含量所需之量。創新玻璃之SnO2含量較佳在0.02莫耳%與0.3莫耳%之間。
此實例包括少量ZrO2(氧化鋯)。其在玻璃熔融或澄清行為中不具有實際作用，且在此低含量下不賦予重要性質。在實驗室規模批料中包含ZrO2為有用的，然而，由於其將藉由使熱玻璃與氧化鋯系之耐火材料在熔化器中接觸而引入，所以監控其在玻璃中之含量對於判定槽隨著時間之磨損率可能很重要。一實施例之最終玻璃中之ZrO典型量小於0.05莫耳%。在另一實施例中，ZrO之量小於500ppm。
批料顯示低含量鐵。然而，某些鐵幾乎不可避免，此乃因原料，特別是沙及典型MgO來源所引入的污染。亦可添加鐵以有助於澄清、氫滲透或兩者皆有幫助。若有意添加，則草酸鐵為特別有用的原料，但亦可採用鐵之其他化合物。若鐵變得過度氧化，則其會使玻璃具有顏色，因此鐵含量較佳在0.01莫耳%與0.08莫耳%之間以獲得氣包體控制與顏色過深之間的最佳平衡。
硼酸及沙伴隨大量的水，且伴隨碳酸鹽原料存在顯著量之二氧化碳。CO2微溶於玻璃中，所以大多數CO2在熔融之最早階段就已丟失，且在本實例中，氣包體中所截留之CO2通常係藉由澄清劑(例如SnO2)之作用而移動。然而，顯著含量之水可呈溶解OH-離子之形式保留在玻璃中。此產生近紅外區中之接近3600cm-1之可測OH-振動帶。大於背景值的此譜帶強度，通過1mm厚路徑長度的強度被稱為βOH。其範圍在習知非晶矽基板玻璃中通 常在低達0.2至高達0.7之間。溶解之OH-對無鹼玻璃之退火點具有較大影響，且因此需要為任一既定玻璃保持OH-儘可能在合理低值。習知電動熔化器(electric-boost melter)通常採用在玻璃表面上方之燃燒器，其產生高水分壓造成較高含量之水併入玻璃中。可使用鹵化物來降低所保持之水含量，且提昇經由電極傳遞之功率，及降低經由燃燒器傳遞之功率亦有所幫助。同樣，選擇相對乾燥之沙可導致溶解之OH-產生足夠變化以顯著影響退火點。創新玻璃之βOH在一實施例中小於0.55，在另一實施例中小於0.5.，且在又一實施例中小於0.45，以最大化最終玻璃之退火點。
當此實例中之實際組成物及原料選擇相當特殊時，熟習此項技術者將瞭解可用替代原料來獲得相同的最終玻璃組成物，且因此特別原料組須經選擇以最適用於既定熔融/澄清/形成製程。產生相等組成物之任一其他原料組將因此產生滿足低溫多晶矽應用所需之高退火點、低密度、低CTE及高耐久性之基本需求的玻璃。
而且，雖然所揭示玻璃之期望用途係用於p-Si應用中，但應注意，亦可考慮將玻璃用於a-Si彩色濾光器基板或其中所揭示性質被認為有利之其他應用中。
實例-測試樣品之製備
表2闡述以莫耳%計之例示性玻璃組成，其自玻璃批料中以氧化物計。該等實例玻璃係藉由在特定溫度及時間下(例如，在鉑坩堝中在約1625℃之溫度下經過約4-16小時之時間)，將各玻璃組成物之1,000-25,000公克批料熔融，以產生相對均勻之玻璃組成物來製備。亦闡述各玻璃組成物之相關玻璃性質，其是根據玻璃技藝中習知之技術的玻璃基礎上確定。因此，在溫度範圍0-300℃中之線性熱膨脹係數(CTE)係以x 10-7/℃為單位來表示，軟化點(Soft.Pt.)、退火點(Ann.Pt.)及應變點(Str.Pt.)係以℃為單位來表示。此等值係自纖維拉長技術(分別為ASTM參考E228-85、C338及C336)確定。以g/cm3為單位之密度(Den.)係經由阿基米德方法(ASTM C693)量測。
200泊溫度(Melt.Temp.℃)(定義為玻璃熔體顯示200泊[20Pa.s]黏度時之溫度)係採用適合於高溫黏度資料之弗切爾方程式(Fulcher equation)(經由旋轉圓柱黏度測定法，ASTM C965-81量測)計算。玻璃之液相線溫度(Liq.Temp.)係使用標準液相線方法量測。此包含將粉碎玻璃粒子置於鉑晶舟中，將晶舟置於具有梯度溫度區域之爐中，在適當溫度區域中將晶舟加熱24小時，及藉由顯微鏡檢查確定玻璃內部出現晶體時之最高溫度。自此溫度及弗切爾方程式之係數確定液相線黏度(Liq.Visc.，以泊計)。
列於表2中之其餘性質係經由熟習此項產業者熟知之標準測試實現。
可對本文所述之材料、方法及物品進行各種修改及變更。考量本文所揭示之材料、方法及物品之規格及實施，則本文所述之材料、方法及物品之其他態樣將顯而易知。預期說明書及實例被視為例示性的。

Claims (20)

  1. 一種玻璃，該玻璃以氧化物之莫耳百分比計包含：70SiO2 74.5 10.5Al2O3 13.5 0B2O3 2.5 3MgO7 3CaO7 0SrO4 1.5BaO6 0SnO2 0.3 0CeO2 0.3 0As2O3 0.5 0.01Fe2O3 0.08 F+Cl+Br0.4其中(SiO2+Al2O3)/(1-B2O3/100)=86.97-0.713*(RO-Al2O3)/(1-B2O3/100)±0.8其中(i)RO=MgO+CaO+SrO+BaO；且(i)SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO及BaO表示所代表的氧化物組份之莫耳百分比。
  2. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃具有超過785℃之退火點。
  3. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃具有超過800℃之退火點。
  4. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃包含小於0.05重量%之As2O3、Sb2O3或其組合。
  5. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃包含小於0.02重量%之F、Cl、Br或其組合。
  6. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃包含小於約1000ppm之鹼性氧化物。
  7. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃包含上至約500ppm之ZrO2。
  8. 如請求項1所述之玻璃，其中0.29MgO/RO0.39。
  9. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃以氧化物之莫耳百分比計滿足以下關係：0B2O3 1.0。
  10. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃以氧化物之莫耳百分比計滿足以下關係：0B2O3 0.5。
  11. 如請求項1所述之玻璃，其中該玻璃實質上不含B2O3。
  12. 如請求項1所述之玻璃，其中1.05RO/Al2O3 1.7。
  13. 如請求項1所述之玻璃，其中0.2MgO/RO0.45。
  14. 一種玻璃，該玻璃以氧化物之莫耳百分比計包含：70SiO2 74.5 10.5Al2O3 13.5 3MgO7 3CaO7 0SrO4 1.5BaO6 0SnO2 0.3 0CeO2 0.3 0As2O3 0.5 0Sb2O3 0.5 0.01Fe2O3 0.08 F+Cl+Br0.4其中(a)1.05RO/Al2O3 1.7；(b)0.2MgO/RO0.45；且(c)該玻璃不含硼；其中(i)RO=MgO+CaO+SrO+BaO；且(ii)SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO及BaO表示所代表的氧化物組份之莫耳百分比。
  15. 如請求項14所述之玻璃，其中該玻璃包含小於0.05重量%之As2O3、Sb2O3或其組合。
  16. 如請求項14所述之玻璃，其中該玻璃包含小於約1000ppm之鹼性氧化物。
  17. 如請求項14所述之玻璃，其中該玻璃包含上至約500ppm之ZrO2。
  18. 如請求項14所述之玻璃，其中0.29MgO/RO0.39。
  19. 如請求項14所述之玻璃，其中(SiO2+Al2O3)/(1-B2O3/100)=86.97-0.713*(RO-Al2O3)/(1-B2O3/100)±0.8。
  20. 如請求項14所述之玻璃，其中該玻璃具有至少130,000poise之液相線黏度。
TW104144229A 2011-01-25 2012-01-30 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物 TWI567040B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161435987P 2011-01-25 2011-01-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201627245A TW201627245A (zh) 2016-08-01
TWI567040B true TWI567040B (zh) 2017-01-21

Family

ID=45567135

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104144229A TWI567040B (zh) 2011-01-25 2012-01-30 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物
TW101102867A TWI522330B (zh) 2011-01-25 2012-01-30 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101102867A TWI522330B (zh) 2011-01-25 2012-01-30 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物

Country Status (7)

Country Link
US (2) US8993465B2 (zh)
EP (1) EP2668141B1 (zh)
JP (1) JP5941067B2 (zh)
KR (1) KR101927555B1 (zh)
CN (2) CN107244806A (zh)
TW (2) TWI567040B (zh)
WO (1) WO2012103194A1 (zh)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8975199B2 (en) * 2011-08-12 2015-03-10 Corsam Technologies Llc Fusion formable alkali-free intermediate thermal expansion coefficient glass
KR101927555B1 (ko) * 2011-01-25 2018-12-10 코닝 인코포레이티드 높은 열적 및 화학적 안정성을 갖는 유리 조성물
US9162919B2 (en) 2012-02-28 2015-10-20 Corning Incorporated High strain point aluminosilicate glasses
EP2935134B1 (en) * 2012-12-21 2019-01-16 Corning Incorporated Glass with improved total pitch stability
WO2014175215A1 (ja) * 2013-04-23 2014-10-30 旭硝子株式会社 無アルカリガラス基板およびその製造方法
JP6365826B2 (ja) * 2013-07-11 2018-08-01 日本電気硝子株式会社 ガラス
JP6256744B2 (ja) * 2013-10-17 2018-01-10 日本電気硝子株式会社 無アルカリガラス板
CN104276756B (zh) * 2013-10-31 2017-06-27 东旭集团有限公司 一种无碱玻璃
KR20170015297A (ko) * 2014-06-04 2017-02-08 아사히 가라스 가부시키가이샤 도광판용 유리판
JP6031613B2 (ja) 2014-06-30 2016-11-24 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置
JP6082434B2 (ja) 2014-06-30 2017-02-15 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法及びガラス基板
KR102559244B1 (ko) * 2014-10-31 2023-07-25 코닝 인코포레이티드 치수적으로 안정한 급속 에칭 유리
JP7060915B2 (ja) * 2014-12-12 2022-04-27 日本電気硝子株式会社 無アルカリガラス
JP7004488B2 (ja) * 2015-03-10 2022-01-21 日本電気硝子株式会社 ガラス基板
CN107207322A (zh) 2015-04-03 2017-09-26 日本电气硝子株式会社 玻璃
JP7219538B2 (ja) * 2015-04-03 2023-02-08 日本電気硝子株式会社 ガラス
US10410883B2 (en) 2016-06-01 2019-09-10 Corning Incorporated Articles and methods of forming vias in substrates
US10794679B2 (en) 2016-06-29 2020-10-06 Corning Incorporated Method and system for measuring geometric parameters of through holes
CN109843817B (zh) * 2016-12-20 2021-11-02 日本电气硝子株式会社 玻璃
KR20230165865A (ko) * 2016-12-28 2023-12-05 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리
CN107162414B (zh) * 2017-05-04 2019-10-29 湖北戈碧迦光电科技股份有限公司 一种光学玻璃
US10580725B2 (en) 2017-05-25 2020-03-03 Corning Incorporated Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same
US11078112B2 (en) 2017-05-25 2021-08-03 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
EP3617164B1 (en) * 2017-09-08 2022-11-16 Nitto Boseki Co., Ltd. Glass composition for glass fiber, glass fiber, and glass fiber-reinforced resin composition using same
JP6631942B2 (ja) * 2017-11-28 2020-01-15 日本電気硝子株式会社 無アルカリガラス板
JP6787872B2 (ja) * 2017-11-28 2020-11-18 日本電気硝子株式会社 無アルカリガラス板
US11554984B2 (en) 2018-02-22 2023-01-17 Corning Incorporated Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness
KR20240096724A (ko) * 2018-06-19 2024-06-26 코닝 인코포레이티드 고 변형점 및 고 영률 유리
CN109485252B (zh) * 2018-06-19 2021-09-28 原思平 一种高透可见光和吸收近红外线的功能玻璃的着色添加剂、应用及功能玻璃
EP4197978A1 (en) * 2018-10-09 2023-06-21 Corning Incorporated Compositions and method for preventing baggy warp defects
CN109231816A (zh) * 2018-10-09 2019-01-18 成都中光电科技有限公司 一种可用于ltps的玻璃基板及其制备方法
CN109231819B (zh) * 2018-10-16 2021-04-09 东旭光电科技股份有限公司 无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用
CN109160727B (zh) 2018-10-16 2020-10-13 东旭光电科技股份有限公司 铝硅酸盐玻璃组合物、铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用
JP7478340B2 (ja) * 2018-10-17 2024-05-07 日本電気硝子株式会社 無アルカリガラス板
DE102018133413A1 (de) * 2018-12-21 2020-06-25 Schott Ag Chemisch beständige, Bor- und Alkali-freie Gläser
KR20240089604A (ko) * 2021-11-10 2024-06-20 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 무알칼리 유리판
EP4296243A1 (en) 2022-06-20 2023-12-27 IPGR e. V. Mixture of raw materials, method for reducing the content of sodium oxide (na2o) in glass and container glass

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW308582B (zh) * 1994-03-14 1997-06-21 Corning Inc
CN1285325A (zh) * 1999-08-21 2001-02-28 肖特玻璃制造厂 无碱铝硼硅酸盐玻璃及其应用
US20050096209A1 (en) * 2002-06-10 2005-05-05 Asahi Glass Company, Limited Glass and method for producing glass
CN101400614A (zh) * 2006-02-10 2009-04-01 康宁股份有限公司 具有高的热稳定性和化学稳定性的玻璃组合物及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3338696A (en) 1964-05-06 1967-08-29 Corning Glass Works Sheet forming apparatus
BE757057A (fr) 1969-10-06 1971-04-05 Corning Glass Works Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree
JP3804112B2 (ja) * 1996-07-29 2006-08-02 旭硝子株式会社 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル
JPH1054522A (ja) 1996-08-12 1998-02-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ゴミ焼却プラント
US6677260B2 (en) 1998-11-02 2004-01-13 Corning Incorporated Ultraviolet absorbing and yellow light filtering glass article
US6319867B1 (en) * 1998-11-30 2001-11-20 Corning Incorporated Glasses for flat panel displays
JP4576680B2 (ja) * 1999-08-03 2010-11-10 旭硝子株式会社 無アルカリガラス
DE10034985C1 (de) * 2000-07-19 2001-09-06 Schott Glas Verfahren zur Herstellung von Aluminosilicatgläsern, Aluminosilicatgläser sowie deren Verwendungen
DE10306427B4 (de) * 2002-03-26 2016-07-07 Schott Ag Verwendung eines Glases zur Herstellung von Lampenkolben von Fluoreszenzlampen und Lampenkolben von Fluoreszenzlampen
JP5435394B2 (ja) * 2007-06-08 2014-03-05 日本電気硝子株式会社 強化ガラス基板及びその製造方法
US7709406B2 (en) * 2007-07-31 2010-05-04 Corning Incorporation Glass compositions compatible with downdraw processing and methods of making and using thereof
RU2010154445A (ru) * 2008-05-30 2012-07-10 Фостер Вилер Энергия Ой (Fi) Способ и система для генерации энергии путем сжигания в чистом кислороде
KR101927555B1 (ko) * 2011-01-25 2018-12-10 코닝 인코포레이티드 높은 열적 및 화학적 안정성을 갖는 유리 조성물

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW308582B (zh) * 1994-03-14 1997-06-21 Corning Inc
CN1285325A (zh) * 1999-08-21 2001-02-28 肖特玻璃制造厂 无碱铝硼硅酸盐玻璃及其应用
US20050096209A1 (en) * 2002-06-10 2005-05-05 Asahi Glass Company, Limited Glass and method for producing glass
CN101400614A (zh) * 2006-02-10 2009-04-01 康宁股份有限公司 具有高的热稳定性和化学稳定性的玻璃组合物及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5941067B2 (ja) 2016-06-29
CN107244806A (zh) 2017-10-13
JP2014503465A (ja) 2014-02-13
US20150175474A1 (en) 2015-06-25
TW201233655A (en) 2012-08-16
KR20140017560A (ko) 2014-02-11
EP2668141B1 (en) 2020-09-16
US9440875B2 (en) 2016-09-13
CN103347830A (zh) 2013-10-09
TWI522330B (zh) 2016-02-21
WO2012103194A1 (en) 2012-08-02
TW201627245A (zh) 2016-08-01
KR101927555B1 (ko) 2018-12-10
EP2668141A1 (en) 2013-12-04
US20130296157A1 (en) 2013-11-07
US8993465B2 (en) 2015-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI567040B (zh) 具有高熱及化學穩定性的玻璃組成物
JP6289578B2 (ja) 高熱および化学安定性を有する無アルカリガラス組成物
TWI623506B (zh) 尺寸穩定之快速蝕刻玻璃
KR101409534B1 (ko) 평판 디스플레이용 유리 기판 및 그의 제조 방법
TWI558680B (zh) 尺寸安定之耐損壞的玻璃片、平板顯示器裝置
CN102603184A (zh) 下拉法制造无碱玻璃板的方法
TW201307239A (zh) 平面顯示器用玻璃基板及其製造方法
TW201343591A (zh) 高應變點的鋁矽酸鹽玻璃
KR20150029632A (ko) 무알칼리 유리 및 그 제조 방법
TWI635062B (zh) 鋁矽酸鹽玻璃
CN108698911A (zh) 不含碱的硼铝硅酸盐玻璃
CN117550799A (zh) 一种玻璃用组合物、无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用
TW202005922A (zh) 高應變點及高楊氏模數玻璃