TWI505980B

TWI505980B - Transfer system

Info

Publication number: TWI505980B
Application number: TW099103528A
Authority: TW
Inventors: Kazutoshi Sawado; Yoshiaki Fujiwara; Masanao Murata; Takashi Yamaji; Naofumi Kirihata
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2009-02-10
Filing date: 2010-02-05
Publication date: 2015-11-01
Also published as: KR101453828B1; TW201036890A; US8287222B2; JP2010184760A; KR20100091890A; US20100202861A1

Description

移載系統

本發明，是有關於在例如半導體製造裝置等的處理裝置、及沿著軌道行走的車輛等的搬運車之間，移載半導體製造用的各種基板被收容的容器等的被搬運物用的移載系統的技術領域。

這種的移載系統是被固定於處理裝置的外框或是外箱的外部，在與該處理裝置之間、及在搬運車之間分別將被稱為FOUP(前開口式通用容器、Front Opening Unified Pod)的容器等的被搬運物移載者已被製品化。具體而言，此移載系統是在最上部，裝備2基在與搬運車之間移載FOUP用的通口等的棚，在比通口更下方裝備6基將FOUP暫時地載置用的作為緩衝儲存器等的棚(例如專利文獻1參照)。

且，提案具備：可分別支撐晶圓支撐容器等的被搬運物的複數棚、及可移動至該複數棚所包含的X-Z平面內任何位置的夾子的系統。具體而言，藉由此系統，將晶圓支撐容器供給至半導體處理工具及測量工具等的處理裝置(例如專利文獻2參照)。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4182521號公報

[專利文獻2]日本特表2001-509465號公報

但是，上述專利文獻1及2的移載系統，是強力地被固定在處理裝置的外框或是外箱。即，將該移載系統本體一旦固定在處理裝置的話，將該固定解除的作業就需要很多的時間。且，移載系統本體是被固定於處理裝置時，會成為塞住處理裝置的前面(特別是，被搬運物出入用的通口存在的壁面部分)的狀態。因此，移載系統本體被固定的狀態下欲直接進行處理裝置的改修、故障及維修的作業是非常困難的或是不可能的。即，為了進行改修等的作業，會發生將移載系統本體從處理裝置取下的耗費勞力和時間的相關作業。進一步其後，也會發生再度將移載系統本體固定在處理裝置時，要求某程度的定位精度的兩者間的固定作業。且，這些的移載系統本體，是在謀求工場內的處理裝置周圍的省空間化時，因為會有無法忽視程度的外觀形狀變大且固定場所也被限定，所以具有欲達成該省空間化時成為大的障礙的技術上的問題點。

本發明是鑑於例如上述的問題點，其課題是提供一種移載系統，可將系統本體小型地構成，且對於處理裝置容易地固定。

本發明的移載系統是為了解決上述課題，在與沿著軌道行走並且將被搬運物搬運的搬運車之間、及在與對於被收容於前述被搬運物的被處理物進行處理的處理裝置中的讓前述被搬運物或是前述被處理物可出入的通口之間分別移載前述被搬運物，具備：第1棚，將從前述搬運車移載前述被搬運物的移載位置至前述通口的原移載進路的途中遮住的方式被配置，在與前述搬運車之間可移載前述被搬運物；及第2棚，至少可暫時地載置前述被搬運物；及移動手段，在對於前述處理裝置接近及分離的方向的第1方向，對於前述第1棚及前述通口使前述被搬運物可往復移動，並且在從前述第1棚及前述通口只有至少前述被搬運物的部分朝前述第1方向分離的第1方向位置，使前述被搬運物朝與前述第1方向交叉的第2方向可往復移動；及通訊手段，可將前述搬運車的要求移載的指令的第1系訊號，從前述搬運車收訊或是對於前述搬運車發訊，並且可將前述第1棚的許可移載的指令的第2系訊號，對於前述搬運車發訊或是從前述搬運車收訊，且可將前述第1系訊號對於前述處理裝置發訊或是從前述處理裝置收訊並且將前述通口的前述第2系訊號從前述處理裝置收訊或是對於前述處理裝置發訊；及控制手段，將從前述搬運車被移載至前述第1棚或是從前述第1棚被移載至第2棚前述被搬運物，在前述通口移動的情況時，在與前述處理裝置之間進行前述第1系訊號及前述通口的前述第2系訊號的送收訊的方式控制前述通訊手段，並且依據從前述處理裝置收訊或是對於前述處理裝置發訊的前述通口的前述第2系訊號，移載至前述通口的方式控制前述移動手段。

本發明中的處理裝置是例如處理裝置、檢查裝置等的半導體製造裝置，對於例如FOUP等的被搬運物，實際上，被收容在被搬運物的內部的晶圓等的被處理物進行預定的處理(例如曝光處理、鍍膜處理、熱處理等)。該處理進行時，典型是將被進行處理的搬運物，藉由沿著例如半導體製造工場等的設施中的頂棚被舖設的軌道行走的例如OHT(懸掛式搬運系統、Over head Hoist Transport)等的搬運車，朝處理裝置被搬運，並且從搬運車或是朝搬運車移載至可移載的口。此後，例如被收容在口上的被搬運物的被處理物，是藉由處理裝置中的移動手段，從被搬運物內部被取出，朝處理裝置內部被出入。且，處理對象，是在處理裝置內部作為被出入的被處理物的形態的話，例如處理裝置是具備暫存器的裝置的話，不是如上述被處理物單體，而是被搬運物本身(即，收納有被處理物的被搬運物的狀態)也可以。且，搬運車及處理裝置之間的移載的控制及動作，典型是依據E84 EPI/O(Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface)(SEMI規格，以下只稱為「E84」)所規定的次序進行，但是不限定於此。

在此，在例如半導體製造中，為了使製造設備不會擴大，可確保更多的生產量，提高處理裝置的運轉率是成為課題。例如，因為藉由第一的搬運車，將處理完成的被搬運物從通口被搬走，所以藉由第二的搬運車，使處理從此被進行的被搬運物被搬運至通口為止的被搬運物的等待時間(即處理裝置的非運轉時間)是數分鐘。對於此，在1個被搬運物的處理若同樣需要數分鐘的情況時，處理裝置的運轉率是成為50%。如此，為了提高因等待時間所導致的低下的運轉率，是要求藉由在處理裝置將處理完成的被搬運物從通口迅速地搬走，使接著處理被進行的搬運物迅速地載置至通口(即將通口上的被搬運物迅速地替換)，來短縮處理裝置的非運轉時間。

依據本發明的移載系統，該移載系統，是對於將藉由處理裝置使處理進行或是被進行的被搬運物，暫時地載置或是保持的例如暫存系統或是裝置等的一時保持系統或是裝置，藉由具備與各部連接的CPU、ROM及RAM等的控制器等的控制手段，使後述的移動手段及通訊手段被控制。依據這種移載系統，例如，在其動作時，首先藉由將該移載系統、搬運車及處理裝置(以下適宜稱為「三要素」)總括地控制的例如製造系統中的控制手段，依據例如半導體製造時程，對於三要素，要求對於第一被搬運物的搬運及處理。如此的話，將第一被搬運物搬運的搬運車被停止在對應第1棚的位置，從搬運車朝第1棚使第一被搬運物被移載。在此「第1棚」，是例如被稱為「OHT通口」，是指具有可載置從搬運車或是朝搬運車被移載的被搬運物的載置面的棚的意思。該第一被搬運物被移載至第1棚的情況時，藉由紅外線等的可光通訊的送收訊機，或是與通訊目的地相互連接的通訊纜線等的通訊手段(即，通訊目的地是搬運車的情況時，例如送收訊機)，在與搬運車之間，許可要求移載的指令的第1系訊號及移載的第2系訊號被送收訊。在此「搬運車的第1系訊號」，是進行對於移載例如第1棚的移載的指令傳達至系統用的訊號，進行對於將或是通口的移載的指令傳達至處理裝置用的訊號。對於此「第1棚的第2系訊號」，是許可對於將例如第1棚的移載的指令傳達至搬運車用的訊號。因此，第一被搬運物是被移載至第1棚的情況時，許可移載的指令的第2系訊號是成為由搬運車被收訊。被移載至第1棚的第一被搬運物，是藉由可把持例如FOUP的凸緣的機械手臂，及可將被搬運物從其下方支撐的移載機構等的移動手段，從第1棚被移載至口。該第一被搬運物被移載至通口的情況時，藉由通訊手段(即，通訊目的地是處理裝置的情況時，例如為通訊纜線)，在與處理裝置之間使第1系訊號及第2系訊號被送收訊。在此，處理裝置的「第1系訊號」，是將進行對於例如通口的移載的指令傳達至處理裝置用的訊號。對於此，「通口的第2系訊號」，是將許可對於移載例如通口的移載的指令傳達至系統用的訊號，或是將同指令傳達至搬運車用的訊號。因此，第一被搬運物被移載至通口的情況時，許可移載的指令的第2系訊號是成為由移載系統被收訊。

第一被搬運物被移載至通口之後，藉由處理裝置中的例如內外移動手段，使被收容在第一被搬運物內部的被處理物從通口上的第一被搬運物內部朝處理裝置內部被移動。如此的話，在處理裝置內部對於被處理物進行處理。接著，對於三要素，要求對於接著應處理的第二被搬運物的搬運及處理。如此的話，將第二被搬運物搬運的搬運車是在對應第1棚的位置被停止，從搬運車被移載(即搬運)至第1棚第二被搬運物。如此的話，第1棚上的第二被搬運物，是藉由移動手段，從第1棚被移載至第2棚。在此「第2棚」，是具有為了將例如被稱為「暫存器」或是「暫存器棚」的通口上的被搬運物，從處理完成的第一被搬運物，替換為接著被處理的第1棚上的第二被搬運物，而將一或二的任第一被搬運物可暫時地載置的載置面的棚的意思。接著，第一被搬運物(實際上，對於第一被搬運物中的被處理物)的處理完成的話，藉由內外移動手段，使被處理物從處理裝置內部朝口上的第一被搬運物內部被移動。如此的話，對於在未將被搬運物搬運的空的搬運車之中與該移載裝置或是處理裝置最近的搬運車，要求處理完成的第一被搬運物的搬運(即搬走)。在此後，藉由移動手段，與通口上的第一被搬運物從通口被移載至第1棚(即使處理完成的第一被搬運物遠離通口)，並且對於三要素，要求第二被搬運物之後應處理的第三被搬運物的搬運及處理(即叫入)。接著，第2棚上的第二被搬運物是從第2棚被移載至通口，通口上的被搬運物的切換是迅速地被進行。此後，藉由處理完成的第一被搬運物的搬運被要求的搬運車，使第1棚上的第一被搬運物從第1棚被移載至搬運車的(即搬走)。另一方面，通口上的第二被搬運物(實際上，對於第二被搬運物中的被處理物)的處理完成的話，對於空的與該移載裝置或是處理裝置最近的搬運車，要求處理完成的第二被搬運物的搬運(即搬走)。如此，處理從此被進行的搬運物是依序被移載至第1棚，將該第1棚上的被搬運物、及通口上的處理完成的被搬運物，藉由使用第2棚有效率地替換，就可提高處理裝置的運轉率。且，在上述的例中，要求移載的指令的第1系訊號，是分別從搬運車朝移載系統，從移載系統朝處理裝置被發訊，並且許可移載的指令的第2系訊號，是分別從移載系統朝搬運車，從處理裝置朝移載系統被發訊，但是第1及第2系訊號的送收訊，是與其相反方向也可以。此情況，第1系訊號，是分別從移載系統朝搬運車，從處理裝置朝移載系統被發訊，並且第2系訊號是分別，從搬運車朝移載系統，從移載系統朝處理裝置被發訊。即，要求移載及許可的對象，與上述的例是成為相反。

如上述，本發明的移載系統，是可將被搬運物載置或是移載的棚，因為只有具備：進行1個通口中的被搬運物的切換用的1個第2棚、及在搬運車之間移載被搬運物用的第1棚，所以該移載系統本體可小型且輕量地構成。且，在移載系統本體被小型化的狀況中，因為可將移載系統本體對於1個通口(或是處理裝置)容易地固定，具備可在1個通口、第1棚及第2棚之間移動的移動裝置，所以其連接也可以不用。

且特別是，藉由本發明的移載系統中的例如利用紅外線等的光通訊可將並列訊號通訊的通訊手段，使從搬運車被收訊的訊號、及在處理裝置被發訊的訊號，是顯示移載的指令的第1系訊號(例如E84中的「TR_REQ」)。另一方面，在搬運車被發訊的訊號、及從處理裝置被收訊的訊號，是顯示許可移載的指令的第2系訊號(例如E84中的「READY」)。這是指，在不透過移載系統在搬運車及處理裝置之間進行移載的情況時，也與本發明同樣，可進行由第1系訊號及第2系訊號所產生的通訊是的意思。即，本發明的實施時，不需要進行搬運車及處理裝置中的系統上的變更。因此，即使單純將移載系統移除，在搬運車及處理裝置之間的第1及第2系訊號的往來，也幾乎或是完全不需要變更。相反地，即使將移載系統安裝在處理裝置，在搬運車及處理裝置之間的第1及第2系訊號的往來，也幾乎或是完全不需要變更。換言之，從搬運車的立場的話，幾乎或是完全不需要意識對於移載系統進行訊號的送收訊或是對於處理裝置進行訊號的送收訊(即移載系統是否位在處理裝置的前方)。相反地，從處理裝置的立場的話，幾乎或是完全不需要意識對於移載系統進行訊號的送收訊或是對於搬運車進行訊號的送收訊(即移載系統是否位在搬運車的前方)。且，藉由通訊手段，對於搬運車，在許可上述的移載的第2系訊號之前，要求移載的指令的第1或是第2系訊號(例如E84中的「L_REQ」等)被發訊也可以。

因此，在系統上，也可將移載系統本體對於1個通口容易地固定。

且，依據本發明的移載系統，對於其內部配置及外部配置，首先，第1棚，是從搬運車移載被搬運物的移載位置，典型是朝鉛直方向縱移載的移載位置，將至通口的原移載進路，在途中遮住的方式被配置。因此，從搬運車側看的話，對於移載系統不存在的情況時的通口的移載動作、及對於移載系統存在的情況時的第1棚的移載動作，成為可由幾乎同樣的要領實行。

即，對於物理的配置，從搬運車看的話，設在移載系統的第1棚及通口是高度不同，因為兩者皆是被配置於同一的原移載進路，所以除了進行縱移載等的移載以外，幾乎或是完全不需要進行區別。相反地，從處理裝置看的話，因為搬運車、及具有移載系統的移動手段是高度不同，兩者皆是在同一的原移載進路在同一通口上移載被搬運物或是從同一通口移載被搬運物，所以對於進行任一的移載，幾乎或是完全不需要進行區別。

因此，不只在系統上，對於物理配置上，也可將移載系統本體對於1個通口容易地固定。

且，移動手段，是對於處理裝置，更具體而言對於處理裝置中設有通口的外框面或是外箱面或是側面或是側壁，在接近及分離的方向的第1方向(例如水平一方向)，使被搬運物對於第1棚及通口可往復移動。進一步，移動手段，是在從第1棚及通口只有朝第1方向分離的至少被搬運物的部分的第1方向位置(例如水平方向位置)，使被搬運物朝第2方向(例如鉛直方向)可往復移動。因此，將移載系統本體內中的被搬運物移動用的通路或是空間，可以非常省空間地收納。特別是作為暫存器功能的第2棚的存在，是加上在第1棚及通口之間不會直接阻撓被搬運物往復移動時的通路或是空間的方式的條件的話，如此將移載系統本體內中的被搬運物移動用的通路或是空間，是可以接近最小限度。即，在通口的寬度以內，可以減小將移載系統本體內中的被搬運物移動用的通路或是空間的寬度。因此，對於具備複數通口的1個處理裝置，將與通口同數的移載系統本體沿著軌道呈一列地並列的方式配置也可以。即，將移載系統本體的外框或是外箱等的外形寬度是與通口的間距相同或是同一以下也可以。由此，適宜選擇是否對於各通口使用移載系統也可以。

在本發明的移載系統的一態樣中，前述第2棚，是被配置於前述第1方向位置之中不會妨害前述移動手段將前述被搬運物在前述第1棚及前述通口間朝前述第1方向及前述第2方向移動的位置。

依據此態樣，第2棚，是被配置在第1方向位置(例如從處理裝置中設有通口的外壁的水平方向的距離被固定的位置)之中，不會妨害將被搬運物在第1棚及通口之間朝第1方向(例如水平方向)及第2方向(例如鉛直方向)移動的位置。具體而言例如，第2棚是被配置在接近被配置於第1棚的下方的通口，且位於通口的若干下方的水平方向位置中的移動手段的鉛直方向的可動範圍的下限附近。或是第2棚是被配置在位於第1棚的若干上方的水平方向位置中的移動手段的鉛直方向的可動範圍的上限附近。因此，特別是作為暫存器功能的第2棚的存在，是在第1棚及通口之間不會直接阻撓被搬運物移動時的通路或是空間，且將移載系統本體內中的被搬運物移動用的通路或是空間，是可以接近最小限度。因此，移載系統本體的外框或是外箱等的外形形狀可以接近最小限度。

或是在本發明的移載系統的其他的態樣中，前述第2棚，是被配置於前述原移載進路中的前述第1棚及前述通口之間。

依據此態樣，第2棚，是被配置於原移載進路中的第1棚及通口之間，這些第1棚及第2棚以及通口的三者，皆是在原移載進路彼此之間隔有距離的形式被重疊配置。因此，在第2方向位置，在這三者之間不會阻撓被搬運物移動時的通路或是空間，且將移載系統本體內中的被搬運物移動用的通路或是空間，是可以接近最小限度。因此，移載系統本體的外框或是外箱等的外形形狀可以接近最小限度。

在本發明的移載系統的其他的態樣中，前述處理裝置，是具有複數前述通口，該移載系統本體，是在其外形尺寸具有前述通口的配列間距以下的寬度，並且使前述第1方向與對於前述通口被配列方向垂直交叉的方向一致的方式被配置。

依據此態樣，移載系統本體，是在其外形尺寸具有通口的配列間距以下的寬度，並且典型是第1方向與對於沿著軌道的方向也就是通口是被配列方向垂直交叉的方向一致，所以將複數移載系統本體與通口成為一對一地對應配備的也可以。對於通口的寬度方向因為移載系統本體的寬度較狹窄，所以如此將移載系統本體配合通口的配列複數配列也可以。

在本發明的移載系統的其他的態樣中，前述搬運車，是將前述被搬運物朝鉛直方向縱移載，前述第1方向，是對於前述鉛直方向垂直也就是水平一方向，前述第2方向，是前述鉛直方向。

依據此態樣，搬運車，是在處理裝置未配備移載系統的情況時，可以沿著朝鉛直方向延伸的原移載進路對於通口縱移載，即使處理裝置配備有移載系統的情況時，也可以由相同要領沿著原移載進路對於第1棚縱移載。且，藉由移動手段，將被載置至第1棚的被搬運物，朝水平一方向及鉛直方向移動，就可以被移動直到第2棚或是通口為止。或是藉由移動手段，將被載置至通口的被搬運物，朝水平一方向及鉛直方向移動，就可以被移動直到第2棚或是第1棚為止。

在此態樣中，搬運車，是具備可將例如被搬運物昇降的吊車機構，在搬運時(即包含搬運中的行走時)，將被搬運物保持在搬運車內，在移載時中，在例如處理裝置等的通口或是貯藏庫等的移載用棚之間，將被搬運物朝鉛直方向降下或是拉起。在此，搬運車中的「縱移載」，是藉由鉛直方向的移動將移載被搬運物的意思。在軌道的鉛直方向中，典型是被設置於處理裝置中的通口。此情況時，依據此態樣，第1棚，是被配置在停止於移載位置的搬運車及通口之間，第2棚，是被配置於在此第1棚的下方中，具體而言在第1棚及通口之間，或是比通口更下方。

在本發明的移載系統的其他的態樣中，前述移動手段是具有：將前述被搬運物把持的把持手段、及將前述把持手段朝前述第1方向可往復移動的第1移動部、及將前述把持手段朝前述第2方向可往復移動的第2移動部。

依據此態樣，移動手段，是在其動作時，藉由可將例如被搬運物的上部把持的夾子、將被搬運物從下方可支撐的移載機構等的把持手段，將被搬運物把持。接著，藉由例如致動器、馬達等的動力被驅動，藉由例如水平移動部也就是第1移動部、及例如鉛直移動部也就是第2移動部，在通口、第1棚及第2棚之間(即3要素)的第1方向(例如水平一方向)及第2方向(例如鉛直方向)，使將被搬運物把持的移動手段被移動。如此，藉著由二方向的移動部所產生的簡單的2軸動作，在3要素中的任一的載置面皆可迅速地將被搬運物移動。

本發明的作用及其他的增益可從接著說明的發明實施用的最佳形態而明白。

以下，對於本發明的實施例一邊參照圖一邊說明。

[實施例] [製造系統的構成]

首先，對於具備實施例的移載系統的製造系統的結構參照第1圖～第3圖說明。在此第1圖，是意示具備實施例的移載系統的製造系統的外觀的立體圖，第2圖，是將第1圖的移載裝置由一方向(即第1圖中的前後方向)切斷的情況的剖面概略地顯示的一方向剖面圖，第3圖，是將第1圖的移載裝置由另一方向(即第1圖中的左右方向)切斷的情況的剖面概略地顯示的另一方向剖面圖。

在第1圖中，製造系統100，是具備：軌道1、及車輛10、及製造裝置20、及暫存裝置30。製造系統100，是具有：車輛10沿著軌道1走行並且可將複數晶圓收容的FOUP(即本發明的「被搬運物」的一例)3朝製造裝置20搬運的搬運功能、及在製造裝置20藉由對於FOUP3內的晶圓施加各種處理來製造半導體元件的製造功能。

軌道1，是本發明的「軌道」的其中一例，可達成讓車輛10行走用的軌道的功能。軌道1，是被舖設於設有製造系統100的設施的頂棚。

車輛10，是本發明的「搬運車」的其中一例，將線性馬達作為動力被驅動的OHT(高架行走車、Over head Hoist Transport)，由軌道1吊下的形式被安裝。車輛10，是沿著軌道1行走，並且製造裝置20以外，在未圖示的貯藏庫、OHT暫存器及大型貯藏庫等將FOUP3搬運。車輛10中的行走及搬運等的動作，是藉由後述的車輛控制器被控制。且，在此為了方便說明，在軌道1上，雖只圖示1台的車輛10，但典型是具備更多(例如數十台或是數百台)的車輛10。

車輛10，是在內部具備：設有未圖示的捲取軸的捲取部12、及捲取皮帶13、及由夾子14所構成的吊車機構11。捲取皮帶13的一端，是被固定於捲取軸，另一端，是被固定於夾子14。捲取部12，是將未圖示的馬達作為動力使捲取軸旋轉，可將捲取皮帶13從一端捲取或是捲出地構成。夾子14可變位至：在朝內側彎曲的兩端部將FOUP3的上部(即凸緣)3a把持的把持狀態，或是將FOUP3的凸緣3a解放的解放狀態。具有這種構成的吊車機構11，是藉由使捲取皮帶13被捲取或是捲出，在軌道1的下方將夾子14在鉛直方向昇降，並且藉由在鉛直位置將夾子14變位，而可將FOUP3從車輛10側朝後述的暫存裝置30側移載，或是從暫存裝置30側朝車輛10側移載。如此在本實施例中，由車輛10所進行的移載進路，是從車輛10的移載位置(即如第1圖所示的停止位置)朝鉛直下方延伸，將FOUP3縱移載的方式構成。

製造裝置20，是本發明的「處理裝置」的其中一例，對於FOUP3，實際上為被收容在FOUP3的晶圓進行預定的處理。製造裝置20，是在內部，具備對於晶圓施加預定的處理的未圖示的處理部，在該處理部設有使應處理的晶圓可出入的2個開口H1、H2。製造裝置20，是在分別相鄰接於2個開口H1、H2的外部且軌道1的下方具備2個裝載埠LP1、LP2，在與暫存裝置30之間作為移載FOUP3用的通口的功能。製造裝置20是具備未圖示的內外移載機構，將分別被移載至2個裝載埠LP1、LP2的FOUP3內部的晶圓，透過開口H1或是H2朝處理部出入。製造裝置20中的預定的處理、晶圓的出入等的動作，是藉由後述的製造控制器被控制。且，在此為了方便說明，在軌道1的下方中，雖只圖示1機的製造裝置20，但典型是具備可對於FOUP3進行不同的處理的更多(例如數台或是數百台)的製造裝置20。且，對於開口及裝載埠的個數也不限定於2個，3個以上也可以，對於那些的配置也可有各種的態樣。

暫存裝置30，是本發明的「移載系統」的其中一例，在車輛10及製造裝置20之間使FOUP3有效率地交接的方式，在與車輛10之間及與製造裝置20之間分別移載FOUP3。且，在此為了方便說明，在具備2個裝載埠LP1、LP2的製造裝置20中，雖只圖示對應一方的裝載埠LP1的1機的暫存裝置30，但對於其他的實施例，具備分別對應雙方的裝載埠LP1、LP2的2機的暫存裝置30也可以。

暫存裝置30，是具備：本體部31、及OHT通口P1、及暫存器P2、及移載機構32。在第2圖中，本體部31，是對於裝載埠LP1從其前面側(即第2圖中的左側)可組裝地構成逆L字形的框體。本體部31，是在其組裝時，使長度方向沿著與軌道1的方位垂直的方向(即本發明的「水平一方向」的一例，第2圖中的X方向)的方式被配置。本體部31，是具有在X方向可配置至少2個FOUP3的長度(即第2圖中的長度Lx)，在軌道1的方位具有可配置至少1個FOUP3的長度(即第3圖中的長度Lw)。且，在此為了方便說明，只說明本體部31是組裝在裝載埠LP1的狀態的暫存裝置30的構成。

在本體部31內部中，設有OHT通口P1、及暫存器P2、及移載機構32。本體部31，是在對應軌道1的鉛直方向(即第2圖及第3圖中的一點鎖線G1)的上面，設置在OHT通口P1及車輛10之間可交接FOUP3的開口H11。且，在鄰接於被載置在裝載埠LP1上的FOUP3的側面，設置在裝載埠LP1(即在製造裝置20)之間可交接FOUP3的開口H12。

OHT通口P1，是本發明的「第1棚」的其中一例，將在製造裝置20使預定的處理進行或是被進行的FOUP3，透過開口H11在與車輛10之間移載用的作為暫存裝置30中的口的功能。OHT通口P1，是使車輛10可藉由縱移載(即在移載時使FOUP3只有鉛直方向被移動的移載)短時間移載FOUP3的方式設在比軌道1的鉛直方向中的裝載埠LP1更上方。從第1圖～第3圖明顯可知，OHT通口P1，是假設將暫存裝置30搬走的情況時，車輛10是存在於對製造裝置20的裝載埠LP1將FOUP3縱移載時遮住移載進路(即將本發明的「原移載進路」的位置。因此，從車輛10看的話，無論暫存裝置30的存否，對於平面視同一位置，即，移載位置的鉛直下方的通口進行移載動作即可。即，只有從車輛10所見通口的高度不同的差異的話，對於使車輛10進行移載動作的控制，是無論暫存裝置30的存否，因為可幾乎相同所以實踐上大有利。

暫存器P2，是本發明的「第2棚」的其中一例，作為在製造裝置20使預定的處理進行或是被進行的FOUP3至少暫時地載置用的一時載置棚的功能。暫存器P2，是不會妨害後述的移載機構32的FOUP3的移載的方式，被設在比軌道1的鉛直方向中的裝載埠LP1更下方且X方向。

移載機構32，是本發明的「移動手段」的其中一例，在裝載埠LP1、及OHT通口P1、及暫存器P2之間移動，並且在那些之間移載FOUP3。移載機構32，是具備：把持部33、及水平移動機構34、及昇降機構35，且被設在本體部31中的最前面側(即在第2圖中的左側)。把持部33，是本發明的「把持部」的一例，具有一對的平板狀的部位，此部位是藉由在凸緣3a的下方從X方向進入並且將凸緣3a的兩端部從下方支撐，將FOUP3把持。如第2圖所示，水平移動機構34，是本發明的「水平移動部」的一例，具備：長度方向是與X方向平行地的方式被設置的軌道部34a、及沿著其軌道部在X方向可滑動的滑動部34b。在水平移動機構34的前端部(即滑動部34b中的製造裝置20側的端部)，固定有把持部33。昇降機構35，是本發明的「鉛直移動部」的一例，具備：將未圖示的馬達作為動力源在鉛直方向可轉動的轉動帶35a、及被固定於其轉動帶且隨著轉動帶的轉動朝鉛直方向移動的昇降部35b。在昇降部35b中，固定有軌道部34a的一端部。

移載機構32，是藉由上述的水平移動機構34及昇降機構35的相互動作，將把持部33，在裝載埠LP1、OHT通口P1及暫存器P2之間朝X方向(即本發明的「第1方向」的一例)及鉛直方向(即本發明的「第2方向」的一例)移動，並且藉由以把持部33將FOUP3把持或是解放，在那些之間移載FOUP3。移載機構32中的移動，FOUP3的移載等的動作，是藉由後述的暫存器控制器被控制。

[製造系統的系統構成]

接著，對於製造系統100的系統構成參照第5圖及第6圖說明。在此，第5圖，是顯示第1圖的製造系統100的系統構成的方塊圖，第6圖，是說明第5圖中的暫存裝置30、車輛10及製造裝置20(本實施例的移載系統、搬運車及處理裝置)之間的通訊方法用的說明圖。

在第5圖中，製造系統100，是控制系統，具備：製造指示部101、及搬運指示部102、及將車輛10中的各部控制的車輛控制器10a、及將製造裝置20中的各部控制的製造控制器20a、及將暫存裝置30中的各部控制的暫存器控制器30a。

製造指示部101，是從由製造系統管理者被輸入的資訊，生成半導體製造時程，依據被生成的半導體製造時程，對於藉由有線被連接的各製造控制器20a，指示對於預定的FOUP3(實際上為被收容在FOUP3的晶圓)的處理，並且對於藉由有線被連接的搬運指示部102，指示處理被施加的預定的FOUP3的搬運。製造指示部101，是作為製造系統100中的主機電腦的功能。

搬運指示部102，是包含OHVC(Over head Hoist Vehicle Controller)。搬運指示部102，是依據來自製造指示部101的要求，生成搬運時程，依據被生成的搬運時程，對於藉由無線被連接的各車輛控制器10a，軌道1上，指示預定的FOUP3的搬運，並且對於藉由有線被連接的各暫存器控制器30a，指示組裝的製造裝置20中的處理被施加的預定的FOUP3的移載。

在第6圖中，車輛控制器10a，是具備E84通訊用的送收訊部10b，透過送收訊部10b，藉由紅外線與暫存器控制器30a連接。車輛控制器10a，是從車輛10朝OHT通口P1的移載時，將「E84(A)」訊號(即本發明的「第1系訊號」的一例)朝暫存器控制器30a發訊。在此，車輛控制器10a中的「E84(A)」，是顯示在例如OHT通口P1上移載FOUP3的指令(換言之，移載的要求)的訊號。車輛控制器10a，是依據來自暫存器控制器30a的返送，朝OHT通口P1移載FOUP3的方式控制吊車機構11。

暫存器控制器30a，是本發明的「控制手段」的一例及「通訊手段」的一部分，具備與車輛控制器10a同樣的送收訊部30b(本發明的「通訊手段」的一部分)，透過送收訊部30b，與車輛控制器10a連接。暫存器控制器30a，是應答來自車輛控制器10a的「E84(A)」訊號，將「E84(P)」訊號(即本發明的「第2系訊號」的一例)朝車輛控制器10a發訊。在此，暫存器控制器30a中的「E84(P)」，是顯示FOUP3是否被載置在例如OHT通口P1上，及/或是FOUP3可是否移載至OHT通口P1上的指令(換言之，移載的許可)的訊號。

另一方面，暫存器控制器30a，是藉由有線與製造控制器20a連接，在從OHT通口P1或是暫存器P2朝裝載埠LP1的移載時，將與從車輛控制器10a朝暫存器控制器30a被發訊的訊號同系的「E84(A)」訊號朝製造控制器20a發訊。在此，暫存器控制器30a中的「E84(A)」，是顯示在例如裝載埠LP1上移載FOUP3的指令(換言之，移載的要求)的訊號。暫存器控制器30a，是依據來自製造控制器20a的返送，朝裝載埠LP1移載FOUP3的方式控制移載機構32。

製造控制器20a，是應答來自暫存器控制器30a的「E84(A)」訊號，將與從暫存器控制器30a朝車輛控制器10a被發訊的訊號同系的「E84(P)」訊號朝暫存器控制器30a發訊。在此，製造控制器20a中的「E84(P)」，是顯示：FOUP3是否被載置在例如裝載埠LP1上、FOUP3是否可移載在裝載埠LP1上及/或是在製造裝置20內部是否對於裝載埠LP1上的FOUP3中的晶圓進行處理的指令(換言之，移載的許可)的訊號。

如上述，車輛控制器10a所發訊的訊號及暫存器控制器30a朝製造控制器20a發訊的訊號是同系，並且製造控制器20a所發訊的訊號及暫存器控制器30a朝車輛控制器20a發訊的訊號是同系。由此，無論進行或不進行經由暫存裝置30的移載，皆不需要變更分別在車輛控制器10a及製造控制器20a往來的訊號、控制命令、處理或是程式等。因此，在系統上，也可以對於裝載埠LP1將暫存裝置30容易地組裝，可提高暫存裝置30的組裝的自由度。且，對於上述的「E84(A)」或是「E84(P)」訊號的往來，以下總稱並適宜記載為「E84通訊」。

[製造系統中的移載動作處理]

接著，對於透過製造系統100中的移載裝置的搬運車及處理裝置之間的移載動作，參照第4圖說明。第4圖，是顯示本實施例的移載動作處理的流程圖。

在第4圖中，首先，依據由製造指示部101所產生的半導體製造時程，對於製造裝置20，指示對於預定的FOUP3的處理。且，依據該半導體製造時程，藉由搬運指示部102，對於車輛10，指示製造裝置20中的處理應施加的FOUP3的搬運，並且對於暫存裝置30，指示製造裝置20中的處理被施加的FOUP3的移載。在此，成為最初搬運的對象的FOUP為「FOUP0」。此後，在車輛控制器10a的控制下，車輛10(即第4圖的「OHT」)是沿著軌道1行走，在對應暫存裝置30的預定的移載位置(即第1圖～第3圖所示的停止位置)被停止。如此的話，藉由車輛控制器10a及暫存器控制器30a之間的E84通訊，可確認被搬運至車輛10的FOUP0從車輛10被移載至OHT通口P1。如此的話，藉由吊車機構11，將FOUP0把持的夾子14，是從車輛10內部透過暫存裝置30中的開口H11朝鉛直方向下降，以FOUP0與OHT通口P1上面接觸的鉛直位置，從夾子14使FOUP0被解放。即，從車輛10朝OHT通口P1使FOUP0被移載(步驟S51)。

接著，在暫存裝置30中，在暫存器控制器30a的控制下，藉由水平移動機構34及昇降機構35，使把持部33朝OHT通口P1上的FOUP0的凸緣3a下方被移動後，把持部33被上昇直到與凸緣3a下面接觸為止。如此的話，藉由把持部33使FOUP0被把持。如此的話，藉由暫存器控制器30及製造控制器20a之間的E84通訊，可確認FOUP0從OHT通口P1被移載至裝載埠LP1。如此的話，將FOUP0把持的把持部33，是透過開口H12朝裝載埠LP1(即第6圖的「L通口」)上方被移動之後，FOUP0是被下降直到與裝載埠LP1接觸為止。如此的話，從OHT通口P1朝裝載埠LP1使FOUP0被移載(步驟S52)。在此後，把持部33，是朝裝載埠LP1上的FOUP0的側方水平被移動，從把持部33使FOUP0被解放。被移載至裝載埠LP1的FOUP0內部的晶圓，是在製造控制器20a的控制下，一旦被收容在製造裝置20內部，在其內部使預定的處理被施加之後再度被載置於裝載埠LP1上的FOUP0內部。

接著，依據來自搬運指示部102的新的指示，與步驟S51的動作同樣地，在車輛控制器10a的控制下，藉由暫存器控制器30a之間的E84通訊，可確認FOUP3被移載至OHT通口P1，但是從到達與前次不同的新的移載位置的車輛10，朝OHT通口P1使成為第2搬運的對象的FOUPn(即「n」是顯示FOUP3是被搬運的順序的變數)被移載(步驟S53)。如此的話，在暫存器控制器30a的控制下，藉由水平移動機構34及昇降機構35，將OHT通口P1中的FOUPn把持的把持部33，是朝暫存器P2上方被移動之後，FOUPn是被下降直到與暫存器P2接觸為止。如此的話，從OHT通口P1朝暫存器P2使FOUPn被移載(步驟S54)。

接著，藉由暫存器控制器30a及製造控制器20a之間的E84通訊，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，判別製造裝置20中的預定的處理否是完成(步驟S55)。此判別的結果，被判別為預定的處理是未完成的情況時(步驟S55：NO)，直到預定的處理完成為止是成為待機狀態。

另一方面，步驟S55的判別的結果，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，被判別為預定的處理完成的情況時(步驟S55：YES)，藉由移載機構32，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的FOUP被移載(步驟S56)。此時，處理完成的FOUP，是從被載置在暫存器P2的FOUPn的上方抽離的方式，被移動至OHT通口P1為止。接著，藉由暫存器控制器30a及製造控制器20a之間的E84通訊，可確認FOUP3被移載在裝載埠LP1上，藉由空的(即未把持FOUP3)移載機構32，從暫存器P2朝裝載埠LP1使FOUPn被移載(步驟S57)。

在此後，依據來自搬運指示部102的指示，空的(即未把持FOUP3)的車輛10是在預定的移載位置被停止。如此的話，在車輛控制器10a的控制下，藉由與暫存器控制器30a之間的E84通訊，可確認應移載的FOUP3是被載置在OHT通口P1，且藉由吊車機構11，使空的夾子14透過開口H11朝鉛直方向被下降，藉由夾子14，使處理完成的FOUP被把持。即，從OHT通口P1朝車輛10使處理完成的FOUP被移載(步驟S58)。在此後，藉由吊車機構11，將處理完成的FOUP保持的夾子14被上昇，被保持於車輛10內部。如此的話，車輛10是成為可行走的狀態。

接著，藉由車輛10及暫存裝置30之間的E84通訊，判別是否有由搬運指示部102所產生的應施加處理的FOUP3的搬運的指示(步驟S59)。此判別的結果，被判別為其指示是有的情況時(步驟S59：YES)，成為第3搬運的對象的FOUP為「FOUPn+1」(步驟S60)。如此的話，與步驟S51的動作同樣，再度進行步驟S53的動作，但是成為從到達與前回不同的新的移載位置的車輛10朝OHT通口P1使成為第3搬運的對象的FOUPn+1被移載。在此後，步驟S54至S59的動作，從OHT通口P1朝暫存器P2使FOUPn+1被移載。接著，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUPn)，判別預定的處理是否完成，被判別為預定的處理完成的話，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的FOUP被移載。接著，從暫存器P2朝裝載埠LP1使FOUPn+1被移載之後，從OHT通口P1朝車輛10使處理完成的FOUP被移載的話，判別是否進一步有應施加處理的FOUP3的搬運的指示。

另一方面，步驟S59的判別的結果，被判別為無進一步的指示的情況時(步驟S59：NO)，進行步驟S55、S56及S58的動作，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUPn+x(即「n+x」顯示成為最後的搬運的對象的FOUP3))，判別預定的處理是否完成，若預定的處理完成的話，處理完成的最後的FOUP是從裝載埠LP1朝OHT通口P1被移載的話，該最後的FOUP是從OHT通口P1朝車輛10被移載。由此，在製造裝置20使預定的處理被施加的全部的FOUP3，是透過暫存裝置30被移載至車輛10，終了一連的移載動作處理。

如此，依據本實施例的移載動作處理，使用進行裝載埠LP1中的FOUP3的切換用的暫存器P2，藉由有效率地替換：處理從此被施加的FOUP3、及處理完成的FOUP3，就可提高製造裝置20的運轉率。

且，步驟S58的動作，是在步驟S56的動作也就是朝OHT通口P1使處理完成的FOUP3被移載之後的話，與步驟S57一起先後進行也可以。

本發明，不限定上述的實施例，在不違反從申請專利範圍及說明書整體可讀取的發明的實質或是思想的範圍內可適宜地變更，如此變更的移載裝置也被包含於本發明的技術的範圍。例如，對於2個通口具備2個第2棚(即，將實施例的暫存裝置30呈2體並列配置)的移載系統，是被包含於本發明的技術的範圍。

P1．．．OHT通口

P2．．．暫存器

1．．．軌道

2．．．製造裝置

3．．．FOUP

3a．．．凸緣

10．．．車輛

10a．．．車輛控制器

10b．．．送收訊部

11．．．吊車機構

12．．．捲取部

13．．．捲取皮帶

14．．．夾子

20．．．製造裝置

20a．．．製造控制器

30．．．暫存裝置

30a．．．暫存器控制器

30b．．．送收訊部

31．．．本體部

32．．．移載機構

33．．．把持部

34．．．水平移動機構

34a．．．軌道部

34b．．．滑動部

35．．．昇降機構

35a．．．轉動帶

35b．．．昇降部

100．．．製造系統

101．．．製造指示部

102．．．搬運指示部

[第1圖]顯示具備實施例的移載系統的製造系統的整體構成的立體圖。

[第2圖]第1圖的移載裝置的一方向的剖面圖。

[第3圖]第1圖的移載裝置的另一方向的剖面圖。

[第4圖]顯示實施例的移載動作處理的流程圖。

[第5圖]顯示第1圖的製造系統的系統構成的方塊圖。

[第6圖]說明第1圖的製造系統中的通訊方法的說明圖。