TWI505901B - 移載裝置 - Google Patents

Description

移載裝置

本發明是有關於一種將電子零件自一收容體取出並搭載於另一收容體的移載裝置。

先前，有如下的移載裝置被提出，即，將電子零件自收容體中取出並載置於搬送路徑上的同時，一邊在設定於搬送路徑上的各加工點對電子零件實施加工，最後將該電子零件搭載於另一收容體中，上述移載裝置被實際用於電子零件的製造步驟中。

電子零件是用於電器的零件，包含半導體元件，作為半導體元件，可列舉電晶體、發光二極體(light-emitting diode，LED)或積體電路，此外亦可列舉電阻或電容器等。收容體例如為晶圓薄片(wafer sheet)、導線架(lead frame)、有機基板、無機基板、黏著性的托盤、基板、零件給料器(parts feeder)、或者形成著袋狀物的帶(tape)、托盤、分類箱等捆包容器。作為各加工點的對電子零件的加工，則有如下各種：外觀檢查、黏接劑塗佈、姿勢確認、分類、次品的強制排出、對基板的安裝、電氣特性檢查、加熱或冷卻之類的溫度調整，自電子零件延伸的端子的形狀加工，姿勢的矯正，作標記等。

尤其自晶圓薄片、托盤、帶、或零件給料器取出半導體元件，使其表背反轉，並經由黏接劑而黏接於導線架或安裝基板的移載裝置，被稱作黏晶裝置(die bonder)。

作為此種移載裝置，已知如下類型，即，具有多個旋轉台或旋轉式拾取器(rotary pickup)，利用旋轉式拾取器供給電子零件，在設置於旋轉台的保持部於一條直線上排列的位置處交付電子零件，藉此形成一個搬送路徑(例如，參照專利文獻1至專利文獻3)。

在此，澄清旋轉台與旋轉式拾取器的不同之處。就旋轉台而言，第一，例如轉塔式台(turret table)是作為主搬送路徑，第二，為了配置多個電子零件的加工點而與旋轉式拾取器相比大型且重量大，第三，因在加工點對電子零件進行加工的處理單元配置於下方，故保持電子零件的保持機構以與台平面正交的方式向下懸掛而配置。另一方面，就旋轉式拾取器而言，第一，為對主搬送路徑供給電子零件的供給用，向來不形成主搬送路徑，第二，與旋轉台相比小型且輕量，第三，將保持電子零件的保持機構與旋轉平面平行地配置，使保持機構的前端一直朝向外側。即，旋轉式拾取器為對旋轉台供給電子零件的供給用，而旋轉台形成電子零件的主搬送路徑，它們的用途、種類、大小不同。

專利文獻1的移載裝置具有拾取器單元與旋轉頭，拾取器單元與旋轉頭分別沿著圓周將多根噴嘴在與圓周平面正交的方向上延伸而配置。這些拾取器單元與旋轉頭以使外周的一部分重 疊的方式上下配置，且在重疊部分交付電子零件。拾取器單元進行水平旋轉，而可連同使噴嘴反轉180度，藉由在下方接收電子零件，並將電子零件交付至上方的旋轉頭，而完成反轉處理。

而且，在專利文獻2的移載裝置中，水平地設置著大小不同的3個以上的旋轉台，保持部在與圓周平面正交的方向上延伸。該移載裝置亦將旋轉台上下配置，且在外周的一部分具有重疊的部分。

在專利文獻3的移載裝置中，作為大型的旋轉台的保持裝置水平地配置，另一方面，作為小型的旋轉式拾取器的吸附裝置垂直地配置。該移載裝置中，亦為吸附裝置為對保持裝置供給電子零件的供給用，保持裝置自供給裝置接收電子零件，並形成電子零件的主搬送路徑，它們的用途、種類、大小不同。然而，該移載裝置亦將保持裝置與吸附裝置上下配置，且在外周的一部分具有重疊部分。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2000-315856公報

專利文獻2：日本專利第2667712號公報

專利文獻3：日本專利特開2011-66277公報

現有的移載裝置中具有多個旋轉台，在設置於旋轉台的保持部於一條直線上排列的位置交付電子零件，藉此形成一個搬送路徑，在此種類型的移載裝置中，彼此的旋轉台會產生重疊。

移載裝置中，必須實施多種加工，有時期望將多個加工點設置在搬送路徑上。然而，在旋轉台的互相重疊的部分，其他旋轉台或馬達等成為物理性障礙，使加工點的設置困難。因此，若嘗試設置多個加工點，則無法避免旋轉台的大型化。於是，為了設置移載裝置，大的空間是必需的。

若旋轉台大型化，則為了達成旋轉台的一定以上的旋轉速度，大的馬達是必需的。因此，為了設置移載裝置，所需的空間將越發增大。而且，若不使用大的馬達，則無法避免旋轉台的旋轉速度的降低。

如上，在將多個旋轉台以上下重疊的方式進行配置的移載裝置中，以小型化與加工點的增加來說存在折衷的關係。本發明是為了解決如上述的現有技術的問題而提出，目的在於提供一種可同時實現小型化與加工點的增加的移載裝置。

用以解決上述課題的移載裝置將電子零件自一收容體取出並搭載於另一收容體，上述移載裝置的特徵在於包括：保持部，以前端保持並脫離上述電子零件的一面；以及N架(N≧2)旋轉式拾取器，在旋轉軸周圍配置多個上述保持部，以上述前端一直朝向外側的方式且以上述旋轉軸為中心每次按照規定角度逐一間歇旋轉，藉由上述N架旋轉式拾取器的接續而形成自該收容體向該另一收容體的上述電子零件的主搬送路徑，相鄰的上述旋轉式拾取器以相互不重疊的方式，使上述旋轉軸平行而鄰接配置 於同一平面上，且具有雙方所具有的上述保持部的前端相互面對的共用的停止位置，將上述停止位置作為交付地點，而交付上述電子零件。

上述旋轉式拾取器為自該收容體對藉由轉塔式台而形成的主搬送路徑供給上述電子零件的供給用，也可以是使上述轉塔式台被排除，由上述旋轉式拾取器自身形成主搬送路徑，自該收容體向該另一收容體搬送上述電子零件。

上述旋轉式拾取器配置有奇數架，與該收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器，將自該收容體取出的上述電子零件的一面加以保持，直到搬送至上述交付地點為止，但也可以是與該另一收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器在上述交付地點保持上述電子零件的相反面，並向該另一收容體脫離。

上述N架旋轉式拾取器也可以是均為縱向放置而具有垂直的旋轉面。

在相鄰的上述旋轉式拾取器中的任一者，在相當於上述交付地點的上述停止位置進而配置進退驅動部，上述進退驅動部使停止在上述停止位置的上述保持部向離開上述旋轉軸的半徑方向外側推進，也可以是在上述交付地點面對的上述保持部中的任一者送出或接收作為交付對象的電子零件。

亦可以是使上述進退驅動部包括產生使上述保持部推進的推力的馬達，上述馬達使上述的推進保持部的移動速度隨著接近面對的另一保持部而減慢。

亦可以是使上述進退驅動部包括音圈馬達(voice coil motor)，上述音圈馬達是控制對於作為交付對象的上述電子零件對上述推進的保持部賦予的負載。

亦可以是使上述音圈馬達，在尚未到達上述作為交付對象的電子零件的狀態下，而對上述保持部賦予其自上述保持部受到的抵抗力的對抗推力，且吸收上述作為交付對象的電子零件與上述保持部的衝撞。

亦可以使上述進退驅動部包括音圈馬達，上述音圈馬達針對在尚未到達上述交付對象的電子零件的狀態下，自上述保持部受到的抵抗力而對上述保持部賦予對抗推力，且基於藉由上述作為交付對象的電子零件與上述保持部的接觸而產生的上述音圈馬達的動作變化，來決定用以使上述保持部推進的上述馬達的旋轉量。

亦可以是使上述N架旋轉式拾取器為基於同一設計圖而成的同一產品。

亦可以是使上述移載裝置還包括一支共用的支架，上述支架限制上述第一旋轉式拾取器及第二旋轉式拾取器的旋轉軸的位置。

亦可以是在上述N架旋轉式拾取器中的排列為第奇數個的一架旋轉式拾取器及排列為第偶數個的一架旋轉式拾取器上，分別配置著對電子零件的外觀進行攝影的攝影光學系統。

亦可以是使一攝影光學系統對上述電子零件的上述一 面以外的五面進行攝影，另一攝影光學系統對上述電子零件的上述一面進行攝影。而且，亦可為一攝影光學系統對上述電子零件的上述相反面以外的五面進行攝影，另一攝影光學系統對上述電子零件的上述相反面進行攝影。

亦可以是使在與該另一收容體相對應而配置的旋轉式拾取器中，配置著對電子零件的姿勢進行攝影的攝影光學系統，使該另一收容體以與被攝影的姿勢中的位置及旋轉一致的方式進行二維方向移動及旋轉。

亦可為該收容體及該另一收容體為晶圓薄片、導線架、有機系基板、無機系基板、黏著性的托盤、基板、零件給料器、或者形成著袋狀物的帶、托盤、分類箱中的任一種或兩種的組合。

亦可為在與該另一收容體相對應而配置的旋轉式拾取器中，配置著對上述電子零件塗佈黏接劑的膏塗佈裝置。

根據本發明，在旋轉式拾取器中不存在無法設置加工點的重疊部分，在能設置更多的加工點的同時且無須使直徑大型化，從而可實現省空間化。此外，藉由旋轉式拾取器的小型化，不但能實現旋轉式拾取器的縱向放置，亦可實現馬達的小型化。因此，使得更為省空間化。進而，若可使旋轉式拾取器小型化，則亦可提高旋轉式拾取器的旋轉速度，從而使電子零件的搬送速度提高。

1‧‧‧移載裝置

2、2a、2b、2c‧‧‧旋轉式拾取器

3‧‧‧膏塗佈裝置

4‧‧‧平台裝置

4a、4b‧‧‧平台裝置

5、5a、5b‧‧‧收容體

6、61、62、63、64、65、66、67‧‧‧攝影光學系統

7‧‧‧支架

8‧‧‧排出容器

80、81‧‧‧排出管

82‧‧‧分類管

21‧‧‧保持部

21a‧‧‧遞交側的保持部

21b‧‧‧接收側的保持部

22‧‧‧軸架

23‧‧‧馬達

24‧‧‧可動機構

24a‧‧‧套筒

24b‧‧‧滑動軸

24c‧‧‧臂部

24d‧‧‧凸緣

25‧‧‧進退驅動裝置

25b‧‧‧彈簧

25c‧‧‧突起部

25d‧‧‧旋轉馬達

25e‧‧‧圓筒凸輪

25f‧‧‧凸輪從動件

25g‧‧‧音圈馬達

25h‧‧‧彈簧部

25i‧‧‧桿

31‧‧‧衝壓銷

32‧‧‧托盤

50、50a、50b‧‧‧環支持器

71‧‧‧貫通孔

250‧‧‧滑動構件

251‧‧‧側面板

252‧‧‧頂板

253‧‧‧突起支持板

A‧‧‧交付地點

B‧‧‧拾取地點

C‧‧‧脫離地點

D‧‧‧外觀檢查地點

E‧‧‧塗佈地點

F‧‧‧姿勢確認地點

F0‧‧‧音圈馬達的推力

F1‧‧‧桿所受到的抵抗力

F2‧‧‧壓縮力

F3‧‧‧新的抵抗力

G‧‧‧排出地點

P‧‧‧基板

R‧‧‧相反面

W‧‧‧電子零件

X、Y、θ‧‧‧方向

圖1是表示本實施形態的移載裝置的整體構成的正面圖。

圖2是旋轉式拾取器的前視圖。

圖3是旋轉式拾取器的側視圖。

圖4是旋轉式拾取器的俯視圖。

圖5是表示進退驅動裝置的示意圖。

圖6是表示支架的立體圖。

圖7是表示移載裝置的動作的說明圖。

圖8是表示搭載著電子零件的收容體的移動的立體圖。

圖9是表示進退驅動裝置的動作的示意圖。

圖10是表示搭載著電子零件的收容體的移動的俯視圖。

圖11是表示移載裝置的另一例的示意圖。

圖12是表示移載裝置的又一例的示意圖。

(1.整體構成)

以下，一邊參照圖式一邊對本發明的移載裝置的本實施形態進行詳細說明。圖1是表示本實施形態的移載裝置1的整體構成的前視圖。移載裝置1將電子零件W自一收容體5a取出，並經由各種加工點而搭載於另一收容體5b。

電子零件W為用於電器的零件，可列舉半導體元件及半導體元件以外的電阻或電容器等，作為半導體元件，可列舉電晶體、二極體、LED、電容器、及閘流體等離散半導體(discrete semiconductor)，積體電路(integrated circuit，IC)或大規模積體電路(large-scale integrated circuit，LSI)等積體電路等。收容體5a、5b例如為晶圓薄片、導線架、有機系基板、無機系基板、黏著性的托盤、基板、零件給料器、或者形成著袋狀物的帶、托盤、分類箱等捆包容器。本實施形態中，將電子零件W自托盤取出並安裝於基板。

該移載裝置1包括具有相對於設置面垂直的旋轉面的兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b。該旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b藉由間歇旋轉而將電子零件W沿外周搬送。兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b作為電子零件W的搬送路徑前半部分及後半部分，藉由電子零件W的交付而形成一連續的搬送路徑。亦即，該移載裝置1為了形成主搬送路徑而具備對主搬送路徑供給電子零件W的供給用的旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b。

各旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b包括以前端保持並脫離電子零件W的多個保持部21。該保持部21在同一圓周上設置於圓周均等配置位置，自其圓周中心沿半徑方向延伸，且與該圓周平面平行地使前端朝向外側配置。旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b使保持電子零件W的保持部21，以通過該圓周中心而與該半徑方向正交的軸為旋轉中心每次按照規定角度旋轉。

兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b鄰接配置，且使保持部21旋轉的旋轉軸為平行，且以保持部21在同一個配置平 面的方式進行配置。換言之，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b不重疊。而且，保持部21彼此前端面對面的位置為電子零件W的交付地點A，藉由將旋轉式拾取器2a所保持的電子零件W遞交給旋轉式拾取器2b，而搬送路徑前半部分與搬送路徑後半部分得以連續。

在交付地點A，遞交側的保持部21(21a)以其前端保持電子零件W的一面。即，使電子零件W的相反面R朝向在交付地點A相對向的接收側的保持部21(21b)。接收側的保持部21(21b)以前端保持其相反面R，且伴隨著旋轉式拾取器2b的旋轉，在該狀態下保持電子零件W直至另一收容體5b為止。亦即，兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b為自一收容體5a到另一收容體5b為止的一連續的搬送路徑，並且亦為電子零件W的表背反轉機構。

而且，保持部21的交付地點A以外的所有停止位置，並不存在由旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的重疊所引起的物理性障礙，因而可分別設定為電子零件W的加工點。

例如，在各旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的一加工點，分別各配置一架平台裝置4a、平台裝置4b。一平台裝置4a一邊載置將被取出電子零件W的收容體5a，(參見圖8)收容體5a一邊在與載置收容體5a的平面平行的XY平面上移動，藉此使收容體5a內的各電子零件W逐個地處於拾取地點B。另一平台裝置4b一邊載置預定搭載電子零件W的收容體5b一邊沿XY方向移 動，藉此使電子零件W的各搭載部位逐個部位地處於電子零件W的脫離地點C。

拾取地點B是作為搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a所具備的保持部21距離收容體5a最近的停止位置，脫離地點C是作為搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b所具備的保持部21距離收容體5b最近的停止位置。本實施形態中，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b為縱向放置，保持部21的旋轉軌跡相對於設置面垂直，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的各自的正下方成為拾取地點B及脫離地點C。

在搭載著電子零件W的收容體5b為導線架或者基板的情況下，移載裝置1預先將焊料或樹脂膏等黏接劑塗佈於電子零件W。該移載裝置1在搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b的一加工點具備膏塗佈裝置3。

而且，移載裝置1在自一收容體5a向另一收容體5b移載電子零件W的過程中，對該移載中的電子零件W的六面進行外觀檢查。該移載裝置1在各旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的一加工點分別配置對電子零件W的外觀進行攝影的攝影光學系統6。

配置於一旋轉式拾取器2a的攝影光學系統61將電子零件W的五面的像傳導至相機。另一面保持於旋轉式拾取器2a的保持部21，並朝向旋轉中心側。配置於另一旋轉式拾取器2b的攝影光學系統62藉由將電子零件W表背反轉，而將自保持部21解除 的另一面的映像傳導至相機。

請參考圖10，進而，移載裝置1在電子零件W即將搭載於另一收容體5b前對電子零件W的姿勢進行檢查，按照電子零件W以適當的姿勢搭載於該收容體5b的方式，來調整該收容體5b的姿勢。亦即，使預定搭載電子零件W的收容體5b，藉由沿XY方向移動的平台裝置4b而可在XY平面內以θ進行旋轉，而且，在該收容體5b中搭載電子零件W的旋轉式拾取器2b的一加工點，配置對電子零件W的姿勢進行攝影的攝影光學系統63。

(2.詳細構成) (旋轉式拾取器)

圖2是旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的前視圖，圖3是旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的側視圖。圖4是旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的俯視圖。如圖2至圖4所示，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b為基於同一設計圖而由相同零件組裝而成的同一產品，具有相同的形狀、構造、及大小。這是為了能夠在交付地點A將保持部21的前端高精度地排列於同一條線上。該旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b為小型，因而可縱向放置，其半徑約為5cm~30cm。

該旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以保持部21的前端一直朝向外側的方式在軸架22的軸周圍，配置在圓周均等配置位置，利用馬達23使軸架22間歇地進行軸旋轉，藉此使保持部21同時以各旋轉角度停止。保持部21經由可動機構24而設置於 軸架22上，且可沿著旋轉式拾取器2的半徑方向朝向外側，換言之，朝向離開旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的中心的方向而推進並縮回。而且，在保持部21的幾個停止位置，配置著可對保持部21賦予推進並縮回的推進力的進退驅動裝置25。所謂幾個停止位置，為拾取地點B、交付地點A、及脫離地點C。

保持部21例如為具有沿著旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向的軸的吸附噴嘴。吸附噴嘴為噴嘴前端開口的中空狀的筒，使噴嘴前端朝向拾取器的半徑方向外側，且噴嘴內部經由管道而與真空產生裝置的氣壓回路連通。該吸附噴嘴藉由真空產生裝置的負壓的產生而吸附電子零件W，並藉由真空破壞或正壓的產生而使電子零件W脫離。

軸架22為在一端呈大致圓盤狀而延伸的圓筒，作為保持部21的支持體，並且與馬達23連接而成為旋轉軸。軸架22的圓筒部分同軸固定在馬達23的旋轉軸上。具體而言，是將馬達23的旋轉軸嵌入至軸架22的圓筒部分中並由螺栓等緊固。

馬達23為具有旋轉軸的例如伺服馬達，交替地重複進行定角度的旋轉與定時間的停止。該馬達23使任一個保持部21位於正下方的拾取地點B及脫離地點C，並使另外任一個保持部21位於正旁邊的交付地點A。

馬達23的旋轉角度與保持部21的設置角度相等。保持部21例如在圓周均等配置位置配置8支，且以保持部21的設置角度中整數倍地包含於90度的方式進行配設。藉此，保持部21 在正下方的拾取地點B、脫離地點C及正旁邊的交付地點A停止。

而且，馬達23的旋轉停止的時間對應於電子零件W的拾取時間、黏接劑的塗佈時間、對外觀進行攝影的時間、排出次品的時間、包含調整姿勢的平台的移動在內的搭載時間中的最長時間。

可動機構24藉由如下而形成，即，在固定於沿軸架22的圓盤部分的周圍延設的支桿(stay)上的套筒24a中，使滑動軸24b以沿拾取器的半徑方向可滑動的方式貫通其中，並在該滑動軸24b的拾取器的半徑方向外側端上，將臂部24c加以固定。保持部21固定於該臂部24c上。臂部24c與滑動軸24b正交而固定，且與旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的旋轉軸平行地延伸，一端自軸架22的圓盤表面突出地延伸，另一端延伸到達軸架22的圓盤背側。保持部21在自軸架22的圓盤表面突出的臂部24c的一端，沿著旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向而延設。

(進退驅動裝置25)

進退驅動裝置25設置在拾取地點B、脫離地點C及交付地點A，為了對臂部24c及至圓盤背面的部位賦予推進力，而配置在軸架22的圓盤背側。在交付地點A，進退驅動裝置25僅設置在單方的旋轉式拾取器2b上。亦即構成為如下：在交付地點A，一保持部21(21b)單方地迎向另一保持部21(21a)以進行電子零件W的交付。而且進行如下控制：至少在交付地點A，使保持部21(21b)的推進速度隨著接近電子零件W而減慢，進而進行控制 將對電子零件W的負載降低為接近於零。

該進退驅動裝置25賦予用以使保持部21向旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向外側推進的推力，及用以使保持部21朝半徑方向中心縮回的推力。更詳細而言，藉由將固定著保持部21的臂部24c向半徑方向外側推出，而使固定於該臂部24c的保持部21推進。而且，解除對臂部24c的推力的施加，使可動機構24的滑動軸24b發揮回到半徑方向中心的作用力，藉此使固定於滑動軸24b的臂部24c及保持部21後退。

具體而言，如圖5所示，進退驅動裝置25包括在拾取器的半徑方向上可移動的滑動構件250。該滑動構件250為L字狀的板構件。形成L字的一平板為由其板面向拾取器的半徑方向擴展的側面板251，另一平板為向旋轉式拾取器2a、2b的旋轉軸方向擴展的頂板252。頂板252位於比側面板251更靠近拾取器的半徑方向中心側處。

該滑動構件250在拾取器的半徑方向上可移動。而且，在滑動構件250的頂板252上，經由彈簧25b將一塊突起支持板253以彼此的面相對向的方式加以連接。突起支持板253位於比頂板252更靠近拾取器的半徑方向外側處，且在拾取器的半徑方向外側的面設置著突起部25c。該突起部25c位於臂部24c的延伸至軸架22的背面為止的部分的正上方。

在上述進退驅動裝置25中，藉由滑動構件250向拾取器的半徑方向外側移動，而突起部25c抵接於臂部24c，從而可經 由臂部24c使保持部21向拾取器的半徑方向外側推進。而且，藉由使突起支持板253能夠向拾取器的半徑方向外側移動，而可調整保持部21的前端對影響所及的電子零件W的負載。

作為用以使滑動構件250移動的推力產生源，具備旋轉馬達25d、圓筒凸輪25e、及凸輪從動件25f。而且，作為用以對突起支持板253施加負載的推力產生源，而具備了音圈馬達25g。

凸輪從動件25f為圓筒構件，且立設於滑動構件250的側面板251上，藉此沿拾取器的旋轉軸方向延伸。圓筒凸輪25e具有沿拾取器的旋轉軸方向延伸的軸，且該軸被軸支撐在位置固定的旋轉馬達25d上，將周面作為凸輪面，而使凸輪面自拾取器的半徑方向中心側抵接於凸輪從動件25f的周面。凸輪面上局部地形成著擴大圓筒凸輪25e的直徑的凸出部分。

因此，若使旋轉馬達25d驅動則圓筒凸輪25e旋轉，凸輪從動件25f通過圓筒凸輪25e的凸出部分時，圓筒凸輪25e的旋轉中心與凸輪從動件25f的距離擴大。因圓筒凸輪25e自拾取器的半徑方向中心側對於凸輪從動件25f抵接，故圓筒凸輪25e的旋轉中心與凸輪從動件25f的朝向拾取器的半徑方向外側的距離擴大。由此，凸輪從動件25f藉由圓筒凸輪25e而被朝向拾取器的半徑方向外側下壓。凸輪從動件25f與滑動構件250處於固定關係，因此滑動構件250亦被朝向拾取器的半徑方向外側下壓。不久，突起部25c與臂部24c抵接從而使保持部21推進。

音圈馬達25g為其電流與推力處於比例關係的線性馬 達，且具有磁鐵、環狀線圈、及與環狀線圈連接的桿25i。藉由通電的環狀線圈與磁鐵的電磁相互作用而在環狀線圈產生勞侖茲力(Lorentz force)，從而使桿25i自馬達框體推進。該音圈馬達25g固定於頂板252上，且配置於頂板252與突起支持板253之間。桿25i向拾取器的半徑方向外側延伸，前端自拾取器的半徑方向中心側而連接至突起支持板253。

若驅動音圈馬達25g，將與彈簧25b的收縮力及自臂部24c受到的反作用力的合計的對抗推力施加至桿25i，則該推力經由突起支持板253、突起部25c、臂部24c、保持部21的前端而施加至電子零件W。而且，若在保持部21尚未到達電子零件W的狀態下將與桿25i所受到的抵抗力抵抗的推力施加至桿25i，則保持部21到達電子零件W時所產生的衝撞會藉由桿25i的包埋而被吸收，因此可對電子零件W施加接近於零的負載。

其次，進退驅動裝置25包括彈簧部25h來作為用以使保持部21縮回的推力產生源，該彈簧部25h將經由臂部24c而固定保持部21的滑動軸24b，往旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向中心施力。該彈簧部25h如圖2所示，以可動機構24所具備的套筒24a的邊緣作為支承面而使一端得到固定。固定著彈簧部25h的套筒24a的邊緣為旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向中心側的一端。而且，滑動軸24b亦自套筒24a向半徑方向中心側突出，在突出部分形成凸緣24d。彈簧部25h的另一端固定於該凸緣24d。

因此，若滑動軸24b向旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑方向外側移動，則彈簧部25h藉由套筒24a的邊緣與滑動軸24b的凸緣24d的間隙縮小而被壓縮。若朝向推進方向的推力被解除，則彈簧部25h將藉由該壓縮而蓄積的作用力釋放，並經由臂部24c及滑動軸24b而使保持部21向旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的拾取器的半徑方向中心後退。

(3.組裝調整) (支架)

兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以馬達23的旋轉軸受到限制的方式嵌入至自設置面垂直地延伸的共用的支架7上，且一邊被定位一邊得到組裝。這是為了能夠在交付地點A將保持部21的前端高精度地排列於同一條線上。

圖6是表示支架7的立體圖。支架7是限制兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的位置關係的平板。該支架7在背面形成著使各旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的馬達23的一面貼合而緊固的緊固區域。而且，在支架7形成著貫穿表背的2個貫通孔71。貫通孔71是具有與旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的馬達軸大致相同尺寸的軸承。

兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b使馬達軸通過對應的貫通孔71而將馬達23固定於緊固區域，之後，將安裝著保持部21的軸架22自支架7的表面側嵌入至馬達軸中，藉此得到定位並固定。

另外，貫通孔71在相同的高度以規定的間隔而穿設。規定的間隔是在旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的半徑的2倍上加上保持部21的預定的推進距離與電子零件W的厚度所得的長度。藉此，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以在正旁邊停止的保持部21彼此高精度地對接噴嘴開口的方式得到定位並支持。

(保持部推進量調整)

由旋轉馬達25d實現的保持部21的推進量由編碼器管理，保持部21的前端抵接於電子零件W的點，即保持部21的停止點，藉由檢測音圈馬達25g的桿25i所受到的抵抗力而預先設定。藉由該保持部21的推進量調整，而可使保持部21高速地移動，並且不需要對電子零件W施加過剩的負載。

亦即，在將兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b進行組裝後，在交付地點A使保持部21b向拾取器的半徑方向外側推進。在保持部21b推進時，對桿25i賦予推力，該推力是抵抗針對桿25i的彈簧25b的壓縮力與自臂部24c受到的抵抗力的合計的力。若由保持部21a與保持部21b夾持電子零件W，則桿25i受到來自電子零件W的新的抵抗力而欲向包埋方向移動。新的抵抗力是對應於桿25i的重量及包埋時的摩擦力。檢測該包埋方向上的移動的瞬間，將檢測時的旋轉馬達25d的旋轉量與面對面的保持部21a與保持部21b的組合資訊、或交付地點A等停止點資訊建立關聯來加以記憶。另外，在推進量調整中，無須使用實際的電 子零件W，使用其模擬體來進行即可。

(4.動作)

該移送裝置1的動作為如下所示。首先，該動作例中表示的移送裝置1如圖7所示，各旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b將8支保持部21配置在圓周均等配置位置，在搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a的正下方，配置著對收容有電子零件W的收容體5a進行載置的平台裝置4a，在搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b的正下方，配置著對預定搭載並收容電子零件W的收容體5b進行載置的平台裝置4b。

兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b逆時針地旋轉。亦即，電子零件W的搬送路徑自拾取地點B逆時針地延續至交付地點A，且自交付位置進而逆時針地延續至脫離地點C。

在以拾取地點B作為第1處，按照搬送路徑順序計數各停止位置而在位於第5處的位置，配置對電子零件W的五面進行外觀檢查的攝影光學系統61。第7處為交付地點A，在第8處配置著對電子零件W的另一面進行外觀檢查的攝影光學系統62。位於搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b的頂點的第9處，配置著對電子零件W塗佈黏接劑的膏塗佈裝置3。在第11處，配置著對電子零件W的姿勢進行攝影的攝影光學系統63。在位於脫離地點C的一近前位置的第12處，配置著排出次品的排出容器8。而且，第13處為離脫離地點C。

在第1處的拾取地點B，平台裝置4a將電子零件W搬 運至拾取地點B，位於旋轉式拾取器2a的第1處的保持部21保持該電子零件W。如圖8所示，平台裝置4a使平台沿XY方向移動。使電子零件W移動至拾取地點B的順序，是依照控制裝置(未圖示)而定。

例如，在收容體5a中以2維態樣收容著電子零件W的情況下，當在X行殘留著電子零件W時，X方向移動機構使平台往一方向移動1個間距，Y方向移動機構則不使平台移動。在將X行的電子零件W全部取下的情況下，為了能夠使電子零件W在下一Y列依次移動，X方向移動機構使平台向反方向移動整行距離，Y方向移動機構使平台往一方向以1間距而移動。

而且，進退驅動裝置25使保持部21沿著旋轉式拾取器2a的半徑方向，往在拾取地點B的電子零件W下降。保持部21由可動機構24沿拾取器的半徑方向而被導引。若保持部21抵接於電子零件W的一面，則藉由真空產生裝置而在噴嘴內產生負壓，藉此而使保持部21保持電子零件W的一面。若保持部21保持電子零件W，則進退驅動裝置25解除使保持部21推進的推進力。而且，藉由彈簧部25h，使保持著電子零件W的保持部21回到上方。

在第5處的外觀檢查地點D，對由保持部21保持的電子零件W的除一面外的五面的外觀進行攝影，並分為良品或次品。攝影光學系統61中，將五面的像導引至相機的各稜鏡配置於在第5處停止的電子零件W的周圍，並在自稜鏡出射的光學系統 的延長線上配置著具有互補式金氧半導體(complementary metal-oxide semiconductor，CMOS)等圖像元件的相機。而且，攝影光學系統61具有針對電子零件W的光源。光源例如將LED呈環狀配置，並使光線通過孔部。由相機被攝像的電子零件W的圖像藉由圖像處理部(未圖示)而進行圖像解析，並判斷有無損傷等，使根據判斷結果而將表示良品或次品的資訊建立關聯。

在第7處的交付地點A，作為搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b的保持部21b去接收電子零件W。保持著電子零件W的保持部21a藉由真空破壞或吹氣而使電子零件W脫離，去接收的保持部21b藉由真空產生裝置而在噴嘴內產生負壓，而將電子零件W朝著拾取器的半徑方向外側的相反面R保持住。

此時，使保持部21b推進的進退驅動裝置25對保持部21b的推進速度、及保持部21b施加於電子零件W的負載進行控制。亦即，進退驅動裝置25的旋轉馬達25d隨著推進的保持部21b接近保持著電子零件W的保持部21a而降低轉速，並減慢保持部21b的推進速度，在保持部21b的前端抵接於電子零件W時使推進速度為零。減速可為線性，亦可為階段性。而且，進退驅動裝置25的旋轉馬達25d在保持部21b抵接於電子零件W時，對音圈馬達25g的推力進行調節，使得施加至電子零件W的負載接近於零。

具體而言，如圖9所示，進退驅動裝置25藉由旋轉馬達25d的驅動使圓筒凸輪25e旋轉。使凸輪從動件25f通過凸輪面 的凸出部分，從而將安裝著凸輪從動件25f的滑動構件250向半徑方向外側推出。連接於滑動構件250的突起支持板253的突起部25c在某時間點，與臂部24c抵接，並將保持部21b連同臂部24c一併推出。保持部21b由可動機構24導引，並朝向等待的保持部21a所保持的電子零件W推進。

此時，進退驅動裝置25的旋轉馬達25d在保持部21b的前端到達電子零件W的正前方之前，以使保持部21b高速移動的方式以高轉速進行旋轉，在到達正前方時，以使保持部21b低速移動的方式以低轉速進行旋轉，在到達與電子零件W的抵接位置時則使速度為零。而且，在到達電子零件W的前後在轉矩限制上設有差異。在保持部21b的前端到達電子零件W的正前方後，以降低最大轉矩的方式嚴格進行限制。在該速度或轉矩控制中，是以面對面的保持部21a與保持部21b的組合資訊或交付地點A等停止點資訊建立關聯的旋轉馬達25d的旋轉量來做參考。藉此，預先防止對電子零件W施加過大的負載。

而且，音圈馬達25g預先將音圈馬達的推力F0施加至桿25i，該音圈馬達的推力F0是抵抗桿25i所受到的抵抗力F1與彈簧25b的壓縮力F2的合計的推力，其中抵抗力F1是使尚未到達電子零件W的保持部21b推進時由桿25i所受到的抵抗力，彈簧25b的壓縮力F2是支持突起支持板253的彈簧25b的壓縮力。藉此，桿25i既不推進，亦不包埋於音圈馬達25g的框體內。

然而，若保持部21b的前端抵接於電子零件W，而自電 子零件W受到新的抵抗力F3，則桿25i包埋於音圈馬達25g中。亦即，音圈馬達25g藉由桿25i對框體的沒入，而吸收保持部21b與電子零件W接觸時所伴隨的衝撞。因此，保持部21b對電子零件W賦予的負載在相當程度上得以降低。

因此，藉由定位誤差而保持部21a、保持部21b的位置在交付地點A發生偏移，一點為支點，另一點為力點，從而有時會在電子零件W產生旋轉力矩。然而，該進退驅動裝置25中，因施加至電子零件W的負載接近於零，故可避免電子零件W的姿勢偏移，或最壞的情況下的電子零件W的橫轉。

進而，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b為同一產品，且組裝於共用的支架7上。因此，只要在支架7上組裝兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b，則兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的位置就定位完成，從而在交付地點A，面對面的保持部21a、保持部21b就能高精度地排列於一條直線上。因此，極力防止了面對面的保持部21a、保持部21b的位置偏移的事態的發生。

回到動作說明中，若保持部21b保持電子零件W，則進退驅動裝置25藉由旋轉馬達25d的驅動而使圓筒凸輪25e逆旋轉，若凸輪從動件25f從凸輪面的凸出部分脫離，則朝向臂部24c的推進力被解除。彈簧部25h藉由可動機構24所具有的滑動軸24b的推進而被壓縮，若朝向臂部24c的推進力被解除，則發揮恢復的作用力，從而使滑動軸24b回到半徑方向中心。若滑動軸24b回到半徑方向中心，則經由臂部24c而固定於滑動軸24b的保持 部21b以保持著電子零件W的狀態，回到旋轉式拾取器2b的中心方向。

在第8處外觀檢查地點D，對無法在搬送路徑前半部分被攝影的電子零件W的相反面R的外觀進行攝影，並分為良品或次品。作為搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a中，因一面由保持部21保持，且朝向旋轉式拾取器2a的旋轉中心側，故外觀攝影變得困難。另一方面，搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b中，藉由交付而電子零件W自動地進行表背反轉，因此使無法被攝影的相反面R朝向外側，而可以進行攝影。

在第9處的塗佈地點E，對電子零件W的朝向外側的面塗佈黏接劑。膏塗佈裝置3在第9處的塗佈地點E的正上方朝向衝壓銷31的前端而待機。衝壓銷31為前端逐漸變細的棒狀構件。

該膏塗佈裝置3具備貯存黏接劑的托盤32，預先使衝壓銷31移動至托盤內，並將衝壓銷31的前端浸漬於黏接劑中，然後，在第9處的塗佈地點E待機。在將電子零件W運至塗佈地點E時，使衝壓銷31下降，對停止在塗佈地點E的電子零件W塗佈黏接劑。

在第11處的姿勢確認地點F，確認電子零件W的姿勢，並檢測電子零件W的XYθ方向的偏移。在該姿勢確認地點F，亦配置著與第8處的外觀檢查地點D相同的攝影光學系統63，根據電子零件W的圖像而算出偏移。以圖像的一點為基準，測定到電子零件W的各點的距離而算出偏移。並將XYθ方向的偏移量的資 訊與電子零件W建立關聯而加以記憶。

在第12處的排出地點G，將判斷為次品的電子零件W強制排出。在該第12處的排出地點G，在落下方向配置著開設開口的排出容器8。在外觀檢查中，若將與表示次品的資訊建立關聯的電子零件W運至排出地點G，則真空產生裝置使保持部21的噴嘴內部產生正壓，吹飛所保持的電子零件W並使其落至排出容器8內。

在第13處的脫離地點C，平台裝置4b將搭載部位運至脫離地點C，位於旋轉式拾取器2b的第13處的保持部21使電子零件W脫離。如圖10所示，平台裝置4b使平台沿XY方向移動，且向θ方向旋轉。在X行上殘留有空的搭載部位的情況下，朝向X方向的移動為在朝向一方向的1間距量上加上所記憶的X方向的偏移量所得的量。在X行上不再存在空的搭載部位的情況下，朝向Y方向的移動為在朝向一方向的1間距量上加上所記憶的Y方向的偏移量所得的量。進而，θ旋轉相當於所記憶的θ方向的偏移量。

若預先使平台沿XY方向及θ方向移動，若該移動結束時，進退驅動裝置25使位於第13處的脫離地點C的保持部21下降，從而使電子零件W向搭載部位脫離。在載置於平台裝置4b的收容體5b為基板P的情況下，塗佈有黏接劑的面朝向基板P，經由黏接劑而將電子零件W與基板P黏接。此時，進退驅動裝置25對旋轉馬達25d或音圈馬達25g進行控制而對電子零件W賦予 一定的負載，從而促進電子零件W與基板P的黏接。

(5.作用效果)

如上，本實施形態的移載裝置1具備兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b來作為搬送路徑。兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以保持部21的前端一直朝向拾取器的半徑方向外側的方式且以旋轉軸為中心而每次按照規定角度間歇旋轉。旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以相互不重疊的方式，使旋轉軸平行而鄰接配置於同一平面上。而且，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b具有雙方所具有的保持部21a與保持部21b的前端相互面對面的共用的停止位置，將該停止位置作為交付地點A，而交付電子零件W。

如此，旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以相互不重疊的方式，使旋轉軸平行而鄰接配置於同一平面上，藉此可在旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的周圍設置多個加工點。加工點是對電子零件W實施外觀檢查、黏接劑塗佈或姿勢確認等各種加工的部位。

亦即，在旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b部分重疊的情況下，無法在該兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的重疊部分及其附近設置加工點。這是因為，一旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b或馬達23等會成為物理性障礙。然而，本實施形態的移載裝置1中並無上述重疊部分，從而可在旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的除交付地點A外的其他所有地點設置加工點。

而且，該移載裝置1中，因可設置多個加工點，故無須使拾取器的直徑大型化，從而可實現省空間化。並且，藉由旋轉式拾取器2的小型化，而實現旋轉式拾取器2的縱向放置，且亦可實現馬達23的小型化。因此，使得更為省空間化。

而且，若能夠使旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b小型化，則亦可提高旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的旋轉速度。因此，電子零件W的搬送速度提高。在兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b中，電子零件W的交付處理亦為電子零件W的反轉處理，因此無須在交付處理中另外添加反轉處理，便可使電子零件W反轉。因此而使得電子零件W的搬送速度進一步提高。

此種兩個旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的高度的位置對準成為必需。就該點而言，在本實施形態的移載裝置1中，旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b是基於同一設計圖的同一產品，且使用將旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的旋轉軸的位置加以限制的一根共用的支架7。

藉此，僅需將旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b嵌入至支架7中，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的高精度的定位便完成，從而以簡便的定位作業，便使得在交付地點A，使前端面對面的保持部21高精度地排列於同一條直線上。因此，即便具有在上述旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b之間交付電子零件W的構造，電子零件W的良率亦良好，作為裝置相當富於實效性。

進而，該移載裝置1中，在交付地點A面對面的保持部 21中的任一者，可送出或接收作為交付對象的電子零件W，進退驅動裝置25使推進的保持部21的移動速度隨著接近面對面的另一保持部21而減慢，進而，對推進的保持部21施加於作為交付對象的電子零件W的負載進行控制。

藉此，即便萬一因組裝精度等而在交付地點A在保持部21的排列中產生了偏移，藉由在電子零件W的表背施加負載的點發生偏移的產生，對於電子零件W的旋轉力矩亦變得極小，從而不會因進行交付而使電子零件W的姿勢發生改變，或不會出現電子零件W橫轉而接收錯誤的情況。因此，在該點，電子零件W的良率亦良好，作為裝置而而言富於實效性。

(6.變形例)

例如，只要該移載裝置1將旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以相互不重疊的方式，使旋轉軸平行而鄰接配置於同一平面上，則可設置多個加工點，亦可將旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以與設置面為水平的方式進行橫向放置。

作為加工點，除本實施形態中列舉的外觀檢查、黏接劑塗佈、姿勢確認、次品的強制排出、對基板的安裝之外，亦可做電氣特性檢查、加熱或冷卻之類的溫度調整、自電子零件W延伸的端子的形狀加工、姿勢的矯正、作標記等其他各種設置。

關於保持部21，除藉由真空的產生及破壞或正壓的產生而使電子零件W吸附及脫離的吸附噴嘴之外，亦可配置靜電吸附方式、伯努利卡盤(Bernoulli chuck)方式，或機械性地夾持電子 零件W的卡盤機構。

而且，設置於旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的保持部21並不限於1種，亦可配置2種。例如，以相同種類的保持部21每隔一個而並列的方式，在第奇數個與第偶數個設置以種類不同的保持部21，在供給第1品種的電子零件W的情況下由第奇數個保持部21保持，在供給第2品種的電子零件W的情況下由第偶數個保持部21保持。在連續供給同一品種的情況下，使旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b每次以二個間距進行旋轉，在供給不同品種的情況下，使旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b以一個間距進行旋轉，從而保持該不同的品種。在多品種且少量的生產中，當頻繁發生品種更換時，因省去了依品種而更換保持部21的麻煩，而能使生產效率進一步提高。

進而，在本實施形態中，在交付地點A，採用作為搬送路徑後半部分的旋轉式拾取器2b的保持部21b接收電子零件W的方式，亦可採用作為搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a的保持部21a遞交電子零件W的方式。進而，亦可為雙方相互移動至中間地點為止的方式。該情況下，亦可相對於作為搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a而在交付地點A配置進退驅動裝置25，也可以是在兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b上配置進退驅動裝置25。

即便不使用一根共用的支架7，亦可藉由手動操作等而進行定位作業。而且，例如，作為膏塗佈裝置3，而採用使用了衝 壓銷31的銷轉印方式，亦可採用利用氣壓或機械壓力使封入到注射器的液體自噴嘴的前端噴出的分配器方式。

而且，在本實施形態中，是將一收容體5a作為托盤，而將另一收容體5b作為安裝基板，但並不限於此，亦可採用托盤、基板、晶圓薄片、形成著袋狀物的帶中的任一種或兩種組合中的任一個。進而，外觀檢查的攝影光學系統6的其中一個，採用一次性攝影五面的方式，但亦可以分為若干面而配置在其他停止位置的方式來進行。

例如，圖11是表示移載裝置1的另一例的示意圖。該移載裝置1中一收容體5為晶圓薄片。將作為搬送路徑的前半部分的旋轉式拾取器2a的與交付位置相反的正旁邊停止位置作為第1處，兩旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b自第1處逆時針地旋轉。

在作為正旁邊位置的第1處的停止位置，取代平台而配置著環支持器(ring holder)50。在第3處的停止位置，配置著對在作為搬送路徑前半部分的旋轉式拾取器2a中朝向半徑方向外側的電子零件W的一面進行攝影的攝影光學系統6。第5處的停止位置為交付地點A。在比第1處而向順時針方向離開兩處的停止位置上，配置著排出管80。該排出管80將在第5處的交付地點A將交付失敗的電子零件W予以排出。這是因為若保持部21為保持著電子零件W的狀態，則在第1處的拾取地點B，會造成兩塊電子零件W重疊。

在第6處，配置著攝影光學系統6，該攝影光學系統6為了藉由設置於第7處的膏塗佈裝置3來塗佈黏著劑，而對電子零件W的黏接劑塗佈面進行攝影。利用該攝影光學系統6對電子零件W的XYθ方向的偏移量進行檢測，並根據偏移量來修正衝壓銷31的位置。

在第8處的停止位置，配置著用以對黏接劑塗佈面進行外觀檢查的攝影光學系統6。該攝影光學系統6中，對黏接劑塗佈面及黏接劑的塗佈形態進行檢查。在第9處的停止位置，配置著用以對電子零件W的側方四個面進行外觀檢查的攝影光學系統6。

在第10處的停止位置，代替排出管80而設置著分類管82。該分類管82收容雖不是次品但等級不高的電子零件W。各外觀檢查中，按照電子零件W的良品的程度劃分等級(rank)，對於與規定的等級建立關聯的電子零件W而言，保持部21以排風方式而將其排出至分類管82中。

在第11處的停止位置，配置著載置導線架等安裝基板的平台。未脫離第10處的分類管82及第11處的平台的次品被廢棄至設置於第12處的排出管81中。這是因為旁邊為交付地點A，若保持部21為保持電子零件W的狀態，則在交付地點A，會造成兩塊電子零件W重疊。

而且，在本實施形態中，是以移載裝置1由兩架旋轉式拾取器2形成搬送路徑為前提，但形成搬送路徑的旋轉式拾取器2的數量並不限於兩架，亦可為連續的三架、四架...、N架(N≧2)。

圖12表示藉由將三架旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b、旋轉式拾取器2c並列而形成有搬送路徑的移載裝置1。旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b、旋轉式拾取器2c沿著同一垂直平面縱向放置而連接配置。兩端的旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b的高度相同，正中間的旋轉式拾取器2c相對於兩端的旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b而配置於斜上方。這是為了縮短3架旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b、旋轉式拾取器2c的排列長度。

旋轉式拾取器2a自一環支持器50a所保持的晶圓環逐個提起電子零件W。正中間的旋轉式拾取器2c自旋轉式拾取器2a接收電子零件W並遞交給旋轉式拾取器2b。旋轉式拾取器2b對另一環支持器50b所保持的晶圓環貼附電子零件W。

該移載裝置1亦作為用以檢查電子零件W的外觀的檢查裝置而使用，在旋轉式拾取器2a、旋轉式拾取器2b、旋轉式拾取器2c所形成的搬送路徑上的多個加工點，配置著針對電子零件W的攝影光學系統64~攝影光學系統67。

第1攝影光學系統64在旋轉式拾取器2a的附近，且配置於自一環支持器50a提起的電子零件W最初停止的第1停止部位。該第1攝影光學系統64包含鏡面與相機，並判定電子零件W為良品還是次品。並將被判定為次品的電子零件W迅速自搬送路徑脫離。

第2攝影光學系統65為旋轉式拾取器2c的附近，且配 置於自旋轉式拾取器2a接收的電子零件W所最初停止的第2停止部位。該第2攝影光學系統65包含稜鏡與相機，為了修正電子零件W的位置而預先對電子零件W測定位置偏移。在第2停止部位的正後方的停止部位，基於測定出的位置偏移來修正電子零件W的位置。

第3攝影光學系統66為旋轉式拾取器2b的附近，且配置於自旋轉式拾取器2c接收的電子零件W所最初停止的第3停止部位。該第3攝影光學系統66亦包含稜鏡與相機，且在電子零件W的搬送路徑中判定有無損傷等。被判定為存在損傷等的次品的電子零件W在另一環支持器50b中不貼附於晶圓環，而使其自搬送路徑脫離。

而且，第4攝影光學系統67在旋轉式拾取器2b旁邊且配置於即將貼附於另一晶圓環之前電子零件W所最後停止的第4停止部位。該第4攝影光學系統67包含鏡面與相機，為了修正電子零件W的對晶圓環的貼附位置而預先對電子零件W測定位置偏移。基於測定出的位置偏移而環支持器50b平行移動，從而調整電子零件W的貼附位置。

(其他實施形態)

如以上般對本發明的各實施形態及變形例進行了說明，在不脫離發明的主旨的範圍內，可進行各種省略、置換、變更、組合。而且，該些實施形態或其變形包含於發明的範圍或主旨內，並且包含於申請專利範圍中所記載的發明及其均等的範圍內。

1‧‧‧移載裝置

2a、2b‧‧‧旋轉式拾取器

3‧‧‧膏塗佈裝置

4a、4b‧‧‧平台裝置

5a、5b‧‧‧收容體

6、61、62、63‧‧‧攝影光學系統

8‧‧‧排出容器

21‧‧‧保持部

21a‧‧‧遞交側的保持部

21b‧‧‧接收側的保持部

A‧‧‧交付地點

B‧‧‧拾取地點

C‧‧‧脫離地點

D‧‧‧外觀檢查地點

E‧‧‧塗佈地點

F‧‧‧姿勢確認地點

G‧‧‧排出地點

R‧‧‧相反面

W‧‧‧電子零件

Claims (16)

1. 一種移載裝置，將電子零件自一收容體取出並搭載於另一收容體，上述移載裝置的特徵在於包括：保持部，以前端保持並脫離上述電子零件的一面；以及N架(N≧2)旋轉式拾取器，在旋轉軸周圍配置多個上述保持部，以上述前端一直朝向外側的方式且以上述旋轉軸為中心每次按照規定角度間歇旋轉，藉由上述N架旋轉式拾取器的接續而形成自該收容體向該另一收容體的上述電子零件的主搬送路徑，其中相鄰的上述旋轉式拾取器以相互不重疊的方式，使上述旋轉軸平行而鄰接配置於同一平面上，且具有共用的停止位置，該停止位置是相鄰的上述旋轉式拾取器雙方所具有的上述保持部的前端相互面對面的位置，將上述停止位置作為交付地點，而交付上述電子零件。
2. 如申請專利範圍第1項所述的移載裝置，其中，上述旋轉式拾取器配置有奇數架，與該收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器將自該收容體取出的上述電子零件的一面予以保持，直到搬送至上述交付地點為止，與該另一收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器在上述交付地點將上述電子零件的相反面予以保持，並使其向該另一收容體脫離。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，上述N架旋轉式拾取器均為縱向放置而具有垂直的旋轉面。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，在相鄰的上述旋轉式拾取器中的任一者，在相當於上述交付地點的上述停止位置，更配置有進退驅動部，上述進退驅動部使停止在上述停止位置的上述保持部向離開上述旋轉軸的半徑方向外側推進，以在上述交付地點面對面的上述保持部中的任一者送出或接收作為交付對象的電子零件。
5. 如申請專利範圍第4項所述的移載裝置，其中，上述進退驅動部包括產生使上述保持部推進的推力的馬達，上述馬達使上述推進的保持部的移動速度隨著接近面對面的另一保持部而減慢。
6. 如申請專利範圍第4項所述的移載裝置，其中，上述進退驅動部包括音圈馬達，上述音圈馬達控制上述推進的保持部對作為交付對象的上述電子零件賦予的負載。
7. 如申請專利範圍第6項所述的移載裝置，其中，上述音圈馬達在尚未到達上述作為交付對象的電子零件的狀態下，對上述保持部賦予自上述保持部受到的抵抗力的對抗推力，且上述音圈馬達吸收上述作為交付對象的電子零件與上述保持部的衝撞。
8. 如申請專利範圍第4項所述的移載裝置，其中，上述進退驅動部包括：產生使上述保持部推進的推力的馬達；以及音圈馬達，上述音圈馬達在尚未到達上述作為交付對象的電子零件的狀態下，對上述保持部賦予自上述保持部受到的抵抗力的對抗推力，且上述進退驅動部基於藉由上述作為交付對象的電子零件與上述保持部的接觸而產生的上述音圈馬達的動作變化，來決定用以使上述保持部推進的上述馬達的旋轉量。
9. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，上述N架旋轉式拾取器為基於同一設計圖而成的同一產品。
10. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，還包括一支共用的支架，上述N架旋轉式拾取器包括第1旋轉式拾取器和第2旋轉式拾取器，上述支架限制上述第1旋轉式拾取器及上述第2旋轉式拾取器的上述旋轉軸的位置。
11. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，在上述N架旋轉式拾取器中的第奇數個排列的一架旋轉式拾取器及第偶數個排列的一架旋轉式拾取器上，分別配置著對電子零件的外觀進行攝影的攝影光學系統。
12. 如申請專利範圍第11項所述的移載裝置，其中，該攝影光學系統對上述電子零件的上述一面以外的五面進行攝影， 該另一攝影光學系統對上述電子零件的上述一面進行攝影。
13. 如申請專利範圍第11項所述的移載裝置，其中，該攝影光學系統對上述電子零件的相反面以外的五面進行攝影，該另一攝影光學系統對上述電子零件的上述相反面進行攝影。
14. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，在與該另一收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器中，配置著對電子零件的姿勢進行攝影的攝影光學系統，使該另一收容體以與被攝影的姿勢中的位置及旋轉一致的方式進行二維方向移動及旋轉。
15. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，該收容體及該另一收容體為晶圓薄片、導線架、有機基板、無機基板、黏著性的托盤、基板、零件給料器、或者形成著袋狀物的帶、托盤、分類箱中的任一種或兩種的組合。
16. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中，在與該另一收容體相對應而配置的上述旋轉式拾取器中，配置著對上述電子零件塗佈黏接劑的膏塗佈裝置。