TWI500547B - Handling system and its setting method - Google Patents

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Tatsuya Kumehashi
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Description

搬運系統及其設定方法
本發明係關於具有讓被搬運物朝載置埠下降的搬運裝置之搬運系統及其設定方法。
作為讓被搬運物朝用來載置被搬運物的載置埠下降之搬運裝置的一例為專利文獻1。在專利文獻1揭示，搬運裝置讓被搬運物朝設置於製造裝置之載置埠下降的情況。在製造裝置的載置埠上載置被搬運物之後，對於該被搬運物實施各種加工處理。為了在製造裝置對被搬運物適當地實施加工處理，必須在製造裝置之載置埠之既定位置上高精度地載置被搬運物。因此，在被搬運物和載置埠上，如專利文獻2所示，為了互相在水平方向上進行對準而設置定位突起及定位孔等的定位手段是已知的。
[專利文獻1]日本特開2002-270660號公報(第1圖)
[專利文獻2]日本特開2009-105109號公報(第2圖)
如專利文獻2般設置定位手段，在搬運裝置，為了將被搬運物相對於載置埠嚴密地定位而進行載置，必須事先嚴密地設定依據搬運裝置之被搬運物的下降位置。上述般在製造裝置的載置埠上載置被搬運物的情況，為了在製造裝置對被搬運物適當地實施加工處理，這種嚴密的對準是 不可缺少的。
另一方面，以往，為了提昇被搬運物的搬運步驟整體的搬運效率，經常會設置可暫時保管被搬運物之暫置場。如果在這種暫置場也必須首製造裝置同樣地設定嚴密的對準的話，為了設置搬運系統整體所須的作業有變得過於龐大之虞。
本發明的目的，是為了提供一種設置作業簡易之搬運系統及其設定方法。
本發明的搬運系統，係具備：具有從上方載置被搬運物(下面形成有定位孔)的載置面之第1及第2載置埠、以及讓前述被搬運物下降至前述第1及第2載置埠之搬運裝置；在前述第1載置埠的前述載置面上，設有與前述定位孔對應的定位突起；在前述第2載置埠的前述載置面上，未設置前述定位突起而設有止滑構件，該止滑構件的上面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力大於前述第2載置埠的前述載置面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力；前述搬運裝置，在讓前述被搬運物下降至前述第1載置埠時，是讓前述定位孔和前述定位突起在水平方向上互相對準，在讓前述被搬運物下降至前述第2載置埠時，則是在前述止滑構件上載置前述被搬運物。
依據本發明的搬運系統，在第1載置埠是藉由定位突起和定位孔來嚴密地進行對準，在第2載置埠，並未設置定位突起，而僅是載置於止滑構件上。因此，在搬運裝置，為了在第2載置埠上載置被搬運物的對準作業非常容易 設定，為了設置搬運系統整體所須的作業變簡單。
此外，本發明較佳為，當前述搬運裝置將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面相對於水平方向呈傾斜；前述第2載置埠之前述載置面相對於水平方向呈傾斜，且其與前述搬運裝置將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面之間的角度，是小於該下面與水平方向之間的角度。依據被搬運物的重心位置、搬運裝置對於被搬運物的支承方法，會有無法將被搬運物水平地載置於第2載置埠的情況。在此情況，若勉強將被搬運物載置於載置面上，會有在被搬運物產生過大的負荷、衝擊之虞。依據上述構造，即使在這種情況，由於載置面呈傾斜而使被搬運物的下面和載置面之間的角度變小，因此可適當地將被搬運物載置於載置面上。
此外，本發明較佳為，前述被搬運物的下面，是包含第1面以及配置在比前述第1面更上方之第2面；前述止滑構件的厚度調整成：當前述被搬運物載置於前述第2載置埠時，前述止滑構件的上面抵接於前述第2面，且前述第1面與前述第2載置埠的前述載置面分離。如此，即使在被搬運物的下面具有段差的情況，由於止滑構件的厚度調整成使第1面與載置面分離，因此可避免第1面直接抵接於載置面而對被搬運物施加衝擊、負荷。
此外，在本發明，前述搬運裝置係具有：把持前述被搬運物之把持手段、以及將前述把持手段以吊掛的狀態沿鉛垂方向移動之移動手段亦可。在採用將被搬運物吊掛而 使其下降的方式的情況，被搬運物之水平方向上的定位大多很困難。因此，藉由和對準的設定變容易之本發明組合，效果明顯。此外，在採用將被搬運物吊掛而使其下降的方式的情況，起因於被搬運物之重心位置的偏移等，被搬運物容易發生傾斜。因此，藉由和讓載置面傾斜而使其與被搬運物的下面之角度變小的構造組合，效果明顯。
此外，在本發明，前述移動手段具有：將前述把持手段以吊掛的狀態沿水平方向移動之移動臂亦可。若將把持手段以吊掛的狀態沿水平方向移動，移動臂有往下撓曲之虞。因此，被搬運物之水平方向上的對準容易發生困難，被搬運物容易發生傾斜。因此，藉由和對準的設定變容易之本發明組合，效果明顯，又藉由和讓載置面傾斜而使其與被搬運物的下面之角度變小的構造組合，效果明顯。
此外，在本發明，亦可進一步具備：對前述被搬運物實施加工處理之處理裝置、以及保管前述被搬運物之保管裝置；前述第1載置埠是設置於前述處理裝置之埠，前述第2載置埠是設置於前述保管裝置之埠。如此，由於在對被搬運物實施加工處理之處理裝置必須將被搬運物嚴密地定位，因此必須使用設有定位銷之第1載置埠。另一方面，由於在保管被搬運物之保管裝置不須那麼嚴密的定位，只要使用未設置定位銷之第2載置埠即可。如此般在不須嚴密定位的部位使用第2載置埠，對系統整體而言，可大幅減少對準的設定作業。
此外，依據本發明的其他觀點，係具備：用來對被搬 運物(在下面形成有定位孔)實施加工處理之處理裝置、保管前述被搬運物之保管裝置、具有從上方載置被搬運物之載置面且設置於前述處理裝置之第1載置埠、具有從上方載置被搬運物之載置面且設置於前述保管裝置之第2載置埠、鋪設於前述第1載置埠的上方之軌道、以及讓前述被搬運物以吊掛的狀態沿著前述軌道行走且讓前述被搬運物以吊掛的狀態下降至前述第1及第2載置埠之搬運台車；在前述第1載置埠的前述載置面上設有：與前述定位孔對應的定位突起；在前述第2載置埠的前述載置面上，未設置前述定位突起而設有止滑構件，該止滑構件的上面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力大於前述第2載置埠的前述載置面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力；前述搬運台車，在讓前述被搬運物下降至前述第1載置埠時，是讓前述定位孔和前述定位突起在水平方向上互相對準，在讓前述被搬運物下降至前述第2載置埠時，則是在前述止滑構件上載置前述被搬運物。
在搬運台車將被搬運物以吊掛的狀態搬運而朝處理裝置下降的情況，為了載置在設置於處理裝置的載置埠上，必須嚴密的定位。因此，處理裝置必須使用設有定位銷之第1載置埠。另一方面，由於保管裝置不須那麼嚴密的定位，只要使用未設置定位銷之第2載置埠即可。如此般在不須嚴密定位的部位使用第2載置埠之本發明，對系統整體而言，可大幅減少對準的設定作業。
此外，本發明之搬運系統之設定方法，是前述第1及 第2載置埠分別設有複數個之申請專利範圍第1至7項中任一項記載的搬運系統之設定方法，係具備：從前述搬運裝置朝前述第1載置埠各個一邊調整水平方向的位置一邊讓前述被搬運物下降的步驟；從前述搬運裝置朝一個前述第2載置埠上一邊調整水平方向的位置一邊讓前述被搬運物下降的步驟；以及根據朝前述第1及第2載置埠讓前述被搬運物下降的結果，來取得為了控制前述被搬運物與複數個前述第1載置埠及複數個前述第2載置埠分別進行對準之資訊。如此，關於第1載置埠，雖必須分別讓被搬運物下降來取得控制資訊，但關於第2載置埠，只要在一個載置埠讓被搬運物下降，關於其他載置埠也能取得控制資訊。因此，為了讓被搬運物下降之對準設定變容易。
〔第1實施形態〕
針對本發明的一實施形態，亦即第1實施形態的搬運系統1作說明。第1圖係搬運系統1所包含的軌道100之截面圖，以及沿著軌道100行走之搬運台車200的前視圖(移載中)。
搬運系統1，是設置於半導體基板的製造工廠等，用來在工廠內搬運構成被搬運物之容器F。容器F是大致長方體形狀的中空構件，如第2圖所示在下面形成段差。該段差，從容器F的正面31的前方觀察是分別形成於左右，藉此將下面區分成：形成於段差彼此之間的面23、形成 於一方的段差和側面32之間的面21、形成於另一方的段差和側面33之間的面22。三個面21~23都是互相平行且平坦的。面23配置在比面21及22更下方，面21和面22是在上下方向配置於相同位置。在一實施例中，段差高低差為2~3mm，俯視觀察下，面21的寬度(平面形狀之短邊長度)約15mm，面22也是同樣的。
在容器F內，收容著構成製造過程中各種加工處理對象之複數片半導體基板。在容器F的正面31設置可開閉自如的門，可打開此門而從容器F的內部取出半導體基板，或將半導體基板收容於容器F的內部。
在工廠內設有：包含種種製造裝置之各種處理裝置、容器F的保管裝置。處理裝置，係對容器F內的半導體基板實施種種的加工處理。在第2圖及第3圖，作為處理裝置和保管裝置的一例是顯示製造裝置99和保管裝置300。在製造裝置99設有：在上面載置容器F之載置埠98。載置埠98是上面平坦的平板構件，以上面呈水平的方式固定於製造裝置99。
軌道100，是在工廠的頂棚附近，沿著通過載置埠98的上方附近之既定的搬運路徑鋪設，藉由固定構件110來固定在頂棚。第1圖係顯示軌道100之與上述既定的搬運路徑正交的方向之截面。亦即，從第1圖之裡側朝向外側的方向，是軌道100的延伸方向。在軌道100內形成空洞，後述的搬運台車200之行走機構210是收容於此空洞內。
搬運台車200(搬運裝置)，具有行走機構210。行走機構210，例如是以線性馬達方式沿著軌道100讓搬運台車200行走的機構。在採用線性馬達方式的情況，行走機構210，藉由與設置於軌道100內之2次側永久磁鐵101的磁性相互作用，在沿著軌道100的方向讓搬運台車200移動。在行走機構210的下部設置行走車輪211，行走車輪211是抵接於軌道100內的底面而在該底面上支承搬運台車200。此外，亦可採用線性馬達方式以外的行走方式。例如，行走車輪211藉由驅動馬達來驅動以沿著軌道100行走，而以這種方式來構成行走機構210亦可。
在行走機構210，是透過框架212來吊掛本體外殼201。又為了便於看圖，在第1圖是用虛線表示本體外殼201，在第2圖以下是省略本體外殼201的圖示。在本體外殼201內設有：升降機構220及用來吊掛升降機構220之水平位置調整機構213。水平位置調整機構213是用來調整升降機構220的水平位置之機構。水平位置調整機構213係具有：臂213a、213b及用來驅動其等的驅動手段。臂213a、213b可從第1圖所示的位置朝左右方向滑動，是藉由驅動手段而往左方或右方移動或返回第1圖的位置。第3(a)圖的虛線，是作為一例而顯示臂213a、213b從第1圖的位置往右方移動的狀態。藉由使臂213a、213b移動，升降機構220會朝左右方向移動，又臂213a、213b不是朝左右兩方向，而僅朝右方或左方移動亦可。此外，在水平位置調整機構213也設有：用來調整升降機構220 之沿著水平面之旋轉方向的位置之機構。
升降機構220具有四根吊掛帶體214。又在第1圖中，僅圖示四根當中的兩根吊掛帶體214。升降機構220，是透過這四根吊掛帶體214來吊掛把持機構215(把持手段)。把持機構215具有臂215a。臂215a，可將容器F的頂凸緣34從左右夾住而予以把持，或將所把持的頂凸緣34予以釋放。如此，例如在載置埠98上載置容器F之後，能使把持機構215釋放容器F；或讓載置埠98上所載置的容器F由把持機構215所把持。又只要是能支承容器F的機構即可，不是像把持機構215這樣可把持容器F的機構亦可。
此外，升降機構220係具有：用來捲取或送出四根吊掛帶體214之驅動手段。藉由驅動手段捲取吊掛帶體214來使把持機構215上升，藉由驅動手段送出吊掛帶體214來使把持機構215下降。如此，在第1圖中之虛線位置和實線位置之間讓把持機構215所把持的容器F進行升降。
在本實施形態，水平位置調整機構213及升降機構220是對應於本發明的移動手段。水平位置調整機構213及升降機構220的動作是由升降控制部230來控制。升降控制部230是由：設置於本體外殼201內的處理器電路和各種記憶機器等的硬體、以及讓這些硬體執行控制處理(用來控制水平位置調整機構213及升降機構220的動作)之軟體所構築而成。
製造裝置99，是將容器F的蓋子打開後，從容器F 內取出半導體基板而實施各種的加工處理。製造裝置99，為了適當地從容器F內取出半導體基板而實施加工處理，必須使容器F嚴密地載置於載置埠98上的既定位置。於是，為了使容器F相對於載置埠98進行嚴密的定位，如第2圖所示，在容器F的下面23形成三個定位孔11，在載置埠98的上面(第1載置埠的載置面)形成與三個定位孔11對應之三個定位突起12。以定位突起12可分別嵌入各定位孔11的方式在載置埠98上載置容器F，藉此規定容器F的水平方向上之載置位置。
為了以定位突起12嵌入定位孔11的方式讓容器F適當地載置於載置埠98，必須讓升降控制部230適當地控制水平位置調整機構213及升降機構220的動作。亦即，必須控制成：藉由升降機構220使把持機構215下降，且藉由水平位置調整機構213來適當地微調容器F之水平位置。因此，在設置本搬運系統1時，為了使容器F能適當地載置於載置埠98之既定位置必須執行教示(teaching)處理，以誘導水平位置調整機構213，藉此取得適當的水平移動距離和方向，並將其資訊儲存於升降控制部230。
依據水平位置調整機構213之容器F的水平位置的調整，是對每個載置埠98執行。這是因為製造裝置99等的處理裝置分成許多種類，且設置精度都不一樣。依據某個實施例，設置於處理裝置之載置埠98合計有500~數千個。關於1台搬運台車200設定教示資訊後，對不同的搬運台車200，如後述般，根據對成為基準之載置埠98執行教 示處理的結果來執行教示處理亦可。在此情況，至少必須執行次數相當於搬運台車200的台數之教示處理。又每個搬運台車200，都對所有的載置埠98執行教示處理亦可。
此外，如上述般，在搬運系統1，除了製造裝置以外還設有暫時保管容器F之保管裝置。保管裝置，是為了謀求搬運步驟的效率化等而設置的，在某個實施例可能以數千台的規模來設置。第3(a)圖及第4圖係顯示該保管裝置的一例(保管裝置300a~300c)。在搬運系統1中，至少設置保管裝置300a~300c當中任一個。保管裝置300a~300c分別具有大致相同的構造，是具備底板322及支柱321。支柱321分別沿著鉛垂方向，其上端固定於頂棚。在支柱321的下端，呈水平地固定著底板322(具有矩形的平面形狀之平板構件)。該支柱是由軌道10所支承亦可。
在底板322的上面，呈水平地設置四個載置埠301。各載置埠301是配置於軌道100的正下方，而從上方載置各一個容器F。亦即，保管裝置300可保管合計四個容器F。在支柱321的下端附近，固定著用來防止載置埠301上所載置的容器F從底板322掉落之防掉落構件302。防掉落構件302，是由四片平板構件(沿著鉛垂方向的平板構件302a~302d)所構成。平板構件302a~302d，是以包圍載置埠301上所載置的容器F周圍的方式，俯視觀察下是沿著底板322的四邊而配置。
保管裝置300a，是以載置埠301位於軌道100正下方的方式，配置在載置埠98不會位於其下方的區域。在保 管裝置300a載置容器F時，搬運台車200是如第3(a)圖的箭頭P1所示，一邊微調其水平位置一邊從軌道100讓把持著容器F之把持機構215下降至大致正下方。保管裝置300b及300c，以載置埠301配置在比保管裝置300a的情況稍上方的方式，在第3(a)圖是配置在軌道100的右鄰及左鄰。保管裝置300b及300c，在下方並未設置製造裝置99等的處理裝置，或即使在下方設有處理裝置，由於裝置的高度不是那麼高，而能設置在頂棚附近之空間上有餘裕的區域。在保管裝置300b或300c載置容器F時，搬運台車200，如第3(a)圖的箭頭P2所示藉由水平調整機構213使把持機構215水平移動，且如箭頭P3所示讓把持著容器F之把持機構215下降。又當搬運台車200的水平位置調整機構213具有僅能讓升降機構220朝一側移動之構造的情況，能夠僅設置保管裝置300b及300c之任一方。
針對載置埠301，根據第3(b)圖、第4圖、第5(a)圖作更詳細的說明。載置埠301具有矩形的平面形狀，其上面是平坦的。在載置埠301的上面(第2載置埠的載置面)固定著平板狀的兩片止滑構件311。各止滑構件311具有沿著載置埠301的邊延伸之矩形的平面形狀。一方的止滑構件311配置在載置埠301的端部附近，另一方的止滑構件311配置在其相反側的端部附近。兩個止滑構件311互相隔著既定的距離，以在彼此間嵌入從容器F的下面21及22之間往下方突出的突出部A(參照第3(b)圖)。
容器F，如第3(b)圖所示，是以下面21及22抵接在止滑構件311的上面且突出部A嵌入兩個止滑構件311彼此間的方式，載置在止滑構件311上。將止滑構件311之鉛垂方向的厚度調整成：使容器F的下面23與載置埠301的上面分離。亦即，止滑構件311的厚度是形成：比面21及面23(面22及面23)之鉛垂方向上的分離距離更大。如此，可避免面23直接抵接在載置埠301的上面而使衝擊、負荷施加於被搬運物。
在上述實施例的情況，面21及面23之鉛垂方向上的分離距離，亦即段差高低差為2~3mm，止滑構件311是形成超過3mm的厚度。兩個止滑構件311互相分離成具有一定程度的餘裕，即使容器F的位置在水平方向上發生若干偏移，突起部A仍不致鉤卡到止滑構件311而能配置在止滑構件311彼此之間。或是，以面23的兩端部附近分別載置於止滑構件311上的方式來配置止滑構件311亦可。在此情況，不必限制止滑構件311的厚度。
止滑構件311的構成材料，在其與容器F的下面之間產生的靜摩擦力，比載置埠301的上面和容器F的下面之間產生的靜摩擦力更大。例如是由摩擦係數大的材料，亦即橡膠等的樹脂所構成。又若想定搬運系統1是在無塵室內使用的情況，較佳為使用不容易產生釋氣(outgas)且耐磨耗性優異之聚胺酯橡膠、矽橡膠、氟橡膠等。
在載置埠301的上面，如第5圖所示形成有表示容器F的載置位置之標記301a。標記301a，如第3(b)圖所示， 在載置埠301上的適當位置載置容器F時，俯視觀察下是沿著容器F外形所配置的位置而形成之矩形平面形狀的線。標記301a，是使用於後述的教示處理。
如以上般，在載置埠301並未形成像載置埠98的定位突起12那樣的突起。而且，兩個止滑構件311，是如上述般互相分離成具有一定程度的餘裕。因此，在將容器F載置於載置埠301時，與載置於載置埠98的情況不同，在水平方向上不須進行嚴密地定位而能適當地載置於既定的場所。此外，由於是載置在止滑構件311上，一旦載置後，容器F的載置位置就不容易在水平方向發生偏移。再者，由於設有防掉落構件302，即使萬一容器F的載置位置發生偏移，也能避免從保管裝置300掉落。
又第5(b)圖係可取代載置埠301而採用的載置埠401的立體圖。載置埠401，是在平坦的上面設置四片的止滑構件411。其中兩片的止滑構件411是在載置埠401一方的端部附近沿著端緣配置，剩下兩片的止滑構件411是在其相反側的端部附近沿著端緣配置。若在載置埠401上載置容器F，容器F下面的突起部A會嵌入其中一方的兩片止滑構件411和另一方的兩片止滑構件411之間，使下面21及22抵接在止滑構件411的上面，且下面23與載置埠401的上面分離。
在兩片止滑構件411彼此之間分別形成有貫通孔401a。該貫通孔401a，是用來從下方確認載置埠401上所載置的容器F的載置位置之孔。例如，在容器F下面的既定位 置形成作為記號之孔或標記等，在此情況是通過貫通孔401a而從下方確認該記號，藉此能夠確認容器F已適當地載置。
〔第2實施形態〕
以下針對本發明的另一實施形態，亦即第2實施形態作說明。第2實施形態的許多構造是與上述第1實施形態相同。然而，在第2實施形態，不同於第1實施形態，如第6(a)圖和第6(b)圖示般，所想定的情況，在搬運台車200吊掛容器F時，容器F的下面從水平變傾斜。如此般容器F呈傾斜吊掛的原因包括：(1)容器F的重心位置從依據把持機構215的把持位置沿水平方向移位(第6(a)圖)；(2)水平位置調整機構213的臂213a及213b沿水平方向滑動時，整體往下撓曲(第6(b)圖)，因此升降機構220會傾斜，升降機構220所吊掛之把持機構215也會發生傾斜等。此外，也會有(3)容器F本身變形而使下面呈傾斜的情況。例如，在某個實施例，當容器F為第6(b)圖的狀況時，容器F下面的傾斜角度相對於水平面為0.5度~0.7度。又在本說明書中，面彼此間的角度，是相當於面的法線彼此間所形成的銳角角度。
若在這種情況也是像第1實施形態般將載置埠301呈水平設置，在讓把持機構215把持容器F時，傾斜的把持機構215之臂215a可能碰撞容器F的頂凸緣34，而對容器F產生衝擊或產生大的振動。此外，容器F從載置埠 301分離或載置於載置埠301時，由於容器F在傾斜狀態和水平狀態之間移位，止滑構件311和容器F下面之間會摩擦，有止滑構件311磨耗而產生粉塵或耐久性逐漸降低之虞。
於是，在第2實施形態，是配合容器F的傾斜而讓載置埠301呈傾斜。具體而言，如第6(a)圖和第6(b)圖所示，以載置埠301的上面與容器F的下面平行的方式，將載置埠301呈傾斜狀態固定於保管裝置300。例如，藉由將載置埠301固定於底板322之固定具312，使載置埠301的一側與底板322分離，而讓載置埠301整體呈傾斜。
如以上所述般藉由使載置埠301呈傾斜，在讓把持機構215把持容器F時可避免臂215a碰撞頂凸緣34，在載置埠301上載置容器F時可避免容器F和止滑構件311摩擦。又關於載置埠301的傾斜，只要至少調整成讓載置埠301的上面和容器F的下面之夾角比載置埠301的上面呈水平時載置埠301的上面和容器F的下面之夾角更小，即可抑制上述的問題。
〔設定方法〕
以下，關於上述第1及第2的實施形態，說明為了使搬運台車200將容器F適當地載置於載置埠98及301上的設定方法。第7圖係顯示該設定方法的一連串的流程之流程圖。又在第2實施形態的情況，關於載置埠301的傾斜，是在設計搬運系統整體時，取得搬運台車200所吊掛 的容器F的下面相對於水平方向的傾斜程度，藉此來事先設定。在此，容器F的傾斜方向、傾斜角度的傾向，只要容器F的形狀、大小等決定即可大致決定出，因此只要對一個容器F設定載置埠301的傾斜就大致足夠了。然而，亦可讓容器F內的收容物的數量、收容狀況、載置埠301的設置場所、載置埠301和軌道100的位置關係等的條件作各種的變化以取得容器F的傾斜，藉此考慮每個條件的傾斜角度來設定各載置埠301的傾斜。
如第7圖所示，首先，將成為基準之一台搬運台車200(以下稱搬運台車A)驅動，使容器F朝載置埠98下降，實施教示處理(步驟S1)。教示處理，主要是教示在水平方向上搬運台車200讓容器F下降的位置之處理。具體而言如第8(a)圖所示，以朝載置埠98上之讓容器F的定位孔11嵌入定位突起12之位置載置容器F的方式，誘導水平位置調整機構213。藉此在未圖示的控制裝置儲存資訊，該資訊是為了使搬運台車200將容器F適當地載置於載置埠98之既定位置。該資訊是包含：為了藉由水平位置調整機構213來進行水平方向的微調之關於X、Y、θ各方向的資訊。該處理，是對每個載置埠98驅動搬運台車A來執行。亦即，按照設置於搬運系統1之載置埠98的數目而反覆進行教示處理。藉此，取得搬運台車A之關於所有的載置埠98之教示資訊。
接著，對於尚未完成教示處理之搬運台車200(以下稱搬運台車B)，執行關於成為基準之一個載置埠98或專用 載置埠98之教示處理(步驟S2)。藉此，關於成為基準之一個載置埠98，取得在搬運台車A取得的教示資訊和在搬運台車B取得的教示資訊之差異。該差異，是在一個相同的載置埠98上，關於X、Y、θ各方向之搬運台車A和搬運台車B之教示資訊所產生的差異。亦即，是因搬運台車200的個體差所產生的差異。
於是，在上述S1所取得之搬運台車A之關於各載置埠98的教示資訊，加入上述S1及S2所取得之上述個體差資訊而獲得的教示資訊，是設定成搬運台車B之關於各載置埠98的教示資訊(步驟S3)。例如，搬運台車A之關於各載置埠98的教示資訊為XA、YA、θA且上述個體差資訊為△XB、△YB、△θB時，將搬運台車B的教示資訊設定成：使搬運台車B之關於各載置埠98的教示資訊XB、YB、θB分別滿足以下的關係。又△XB、△YB、△θB，分別為搬運台車B的教示資訊相對於搬運台車A的教示資訊之差異。
XB=XA+△XB，YB=YA+△YB，θB=θA+△θB
若對於一台搬運台車B執行上述處理後，判定是否還存在尚未設定教示處理之搬運台車200(S4)。若判定還存在有尚未設定教示處理之搬運台車200(S4，是)，將該搬運台車200作為下個搬運台車B而反覆進行步驟S2及S3。若判定尚未設定教示處理之搬運台車200已不存在(S4 ，否)，移至步驟S5。
接著，對載置埠301執行教示處理(步驟S5、S6)。第8(b)圖，作為一例是顯示與軌道100鄰接設置之二個保管裝置300b。各保管裝置300b，是設置成與軌道100具有一定的位置關係，是以既定程度嚴密地定位設置成：對於軌道100上的位置Q1和位置T1具有既定的位置關係。
在步驟S5，驅動一台的搬運台車200，實施成為基準之任一個載置埠301之教示處理。亦即，朝成為基準之任一個載置埠301，使搬運台車200讓容器F下降，在載置埠301上的標記301a上載置容器F。作為成為基準之載置埠301，是選擇設置精度已確認的載置埠301。
例如，在第8(b)圖，以設置於左側的保管裝置300b之最左方的載置埠301為基準。在此情況，首先，在與成為基準之載置埠301鄰接之軌道100上的位置Q1配置一台搬運台車200。接著，一邊誘導水平位置調整機構213以調整水平方向上之升降機構220的位置，一邊讓把持機構215下降而在載置埠301上載置容器F。藉此，作為關於X、Y、θ各方向的資訊，是取得從位置Q1至載置埠301的位置為止之關於沿著箭頭R1水平移動之教示資訊。
接著，將藉由步驟S5之教示處理所取得的資訊，作為其他所有的搬運台車200朝其他載置埠301的教示資訊而進行複製(S6)。具體而言，首先，將步驟S5所取得的關於水平移動R1的教示資訊，設定成第8(b)圖的從位置 Q2~Q4往載置埠301之關於水平移動R2~R4的教示資訊。進一步，將關於水平移動R1的教示資訊，設定成第8(b)圖的從位置T1~T4往載置埠301之關於水平移動S1~S4的教示資訊。對於其他所有的搬運台車200也是，作為關於所有的載置埠301之教示資訊，是設定步驟S5所取得之關於水平移動R1的教示資訊。
如此般，關於載置埠301，可將對一台搬運台車200在一個載置埠301執行教示處理的結果，作為關於其他搬運台車200和其他載置埠301的教示處理的結果來使用。這是因為，在保管裝置300b等不須像製造裝置99那麼嚴密的定位，因此載置埠301不使用定位突起，而不要求像在載置埠98上載置容器F的處理那麼嚴密的對準。此外，在保管裝置300b等的相同保管裝置相對於軌道100以相同位置關係來設置的情況，只要能既定程度地確保各保管裝置的設置精度，將關於一個載置埠301之教示資訊複製到其他所有的載置埠301亦可。
依據以上所說明的第1及第2實施形態，對於不要求嚴密的定位之載置埠301，不須執行像載置埠98那樣的教示處理。例如，在1000個部位設置載置埠301之實施例，假定對於載置埠301也要執行與載置埠98同樣嚴密的教示處理。若對於一個部位的載置埠98執行教示處理所須時間為10分鐘，對1000個部位的載置埠301執行每一台搬運台車200的教示處理所須的合計時間為10000分鐘，約167小時。
然而，依據上述實施形態，由於在載置埠301未使用定位突起，不致發生定位突起碰撞容器F的下面之虞。因此，容器F的位置從既定的載置位置稍微偏移也沒有問題。亦即，關於載置埠301不須進行像載置埠98那麼嚴密的對準。因此，只要對於一台搬運台車200執行教示處理，再將所獲得的教示資訊複製到其他搬運台車200即可。此外，關於一個部位的載置埠301進行教示處理所須的時間也比載置埠98大幅地減少。如此，相較於所有的載置埠都使用定位突起的情況，可大幅縮短教示處理所須的時間。
<其他的變形例>
以上是說明本發明的較佳實施形態，但本發明並不限定於上述實施形態，只要是在用來解決課題的手段所記載的範圍內，可進行各種的變更。
例如，在上述實施形態形成於載置埠301之標記301a，是對於所有的載置埠301都形成亦可。這是為了(1)在搬運系統1的設置完成後，當不小心使載置埠301本身的位置偏移的情況，要返回原先的位置時可一邊確認容器F的載置位置一邊進行回復，(2)在維修時等作業員將容器F從載置埠301抬起後，要使容器F返回載置埠301上的原先位置時可作為記號。然而，標記301a僅形成在任一個必要的載置埠301上亦可，在任一個都不形成亦可。關於使用載置埠401的情況之貫通孔401a也是與上述相同的 。
此外，在上述的實施形態，雖是想定在頂棚附近設置保管裝置300a~300c，但在地板上設置用來保管容器F之暫置台亦可。在此情況，也是在暫置台的上面固定著載置埠301。此外，如第2實施形態般藉由固定具312使載置埠301呈傾斜，以載置埠301的上面與容器F的下面平行的方式將載置埠301固定於暫置台上亦可。
1‧‧‧搬運系統
11‧‧‧定位孔
12‧‧‧定位突起
21~23‧‧‧容器F的下面之面
31‧‧‧容器F的正面
32~33‧‧‧容器F的側面
34‧‧‧容器F的頂凸緣
98、301、401‧‧‧載置埠
99‧‧‧製造裝置
100‧‧‧軌道
101‧‧‧2次側永久磁鐵
110‧‧‧固定構件
200‧‧‧搬運台車
201‧‧‧本體外殼
210‧‧‧行走機構
211‧‧‧行走車輪
212‧‧‧框架
213‧‧‧水平位置調整機構
213a、213b‧‧‧臂
214‧‧‧吊掛帶體
215‧‧‧把持機構
215a‧‧‧臂
220‧‧‧升降機構
230‧‧‧升降控制部
300a~300c‧‧‧保管裝置
301a‧‧‧標記
302‧‧‧防掉落構件
302a~302d‧‧‧平板構件
311‧‧‧止滑構件
312‧‧‧固定具
321‧‧‧支柱
322‧‧‧底板
401a‧‧‧貫通孔
411‧‧‧止滑構件
A‧‧‧突出部
F‧‧‧容器
第1圖係本發明的一實施形態，亦即第1實施形態的搬運系統所包含的軌道之截面圖及沿著軌道行走之搬運台車的前視圖。
第2圖係搬運台車所搬運的容器和載置埠的立體圖。
第3(a)圖係軌道的截面圖以及搬運台車和保管裝置的前視圖，第3(b)圖係載置埠上所載置的容器之前視圖，是保管裝置的右側視圖。
第4圖係保管四個容器的狀態之保管裝置的立體圖。
第5(a)(b)圖係載置埠的立體圖。
第6(a)(b)圖係本發明的另一實施形態，亦即第2實施形態之搬運台車及保管裝置之前視圖。
第7圖係使搬運台車朝載置埠適當地載置容器之設定方法的流程圖。
第8(a)圖係顯示設置於製造裝置之載置埠和容器的位置關係之俯視圖，第8(b)圖係顯示作為保管裝置而設置於 軌道側邊之載置埠和軌道上的各位置之關係的俯視圖。
21、22、23‧‧‧容器F的下面之面
31‧‧‧容器F的正面
32、33‧‧‧容器F的側面
100‧‧‧軌道
200‧‧‧搬運台車
213‧‧‧水平位置調整機構
213a、213b‧‧‧臂
214‧‧‧吊掛帶體
215‧‧‧把持機構
220‧‧‧升降機構
300a、300b、300c‧‧‧保管裝置
301‧‧‧載置埠
302‧‧‧防掉落構件
311‧‧‧止滑構件
321‧‧‧支柱
322‧‧‧底板
A‧‧‧突出部
F‧‧‧容器

Claims (7)

  1. 一種搬運系統，其特徵在於，係具備：具有從上方載置被搬運物(下面形成有定位孔)的載置面之第1及第2載置埠、以及讓前述被搬運物下降至前述第1及第2載置埠之搬運裝置；前述搬運裝置，是沿著通過前述第1載置埠的上方之軌道行走的搬運台車；前述搬運台車係具備：本體外殼、吊掛用來把持被搬運物的把持機構之升降機構、以及用來吊掛升降機構之水平位置調整機構，該水平位置調整機構可相對於本體外殼往右方及/或左方滑動移動，在滑動時從本體外殼往右方及/或左方突出；在前述第1載置埠的前述載置面上，設有與前述定位孔對應的定位突起；前述第2載置埠是配置在前述軌道的右鄰或左鄰，前述搬運台車，在讓前述被搬運物下降至前述第1載置埠時，是讓前述定位孔和前述定位突起在水平方向上互相對準，當前述搬運台車將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面相對於水平方向呈傾斜；前述第2載置埠之前述載置面相對於水平方向呈傾斜，且其與前述搬運台車將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面之間的角度，是小於該下面 與水平方向之間的角度。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的搬運系統，其中，在前述第2載置埠的前述載置面上，未設置前述定位突起而設有止滑構件，該止滑構件的上面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力大於前述第2載置埠的前述載置面和前述被搬運物的下面之間產生的靜摩擦力；前述被搬運物的下面，是包含第1面以及配置在比前述第1面更上方之第2面；前述止滑構件的厚度調整成：當前述被搬運物載置於前述第2載置埠時，前述止滑構件的上面抵接於前述第2面，且前述第1面與前述第2載置埠的前述載置面分離。
  3. 如申請專利範圍第1或2項記載的搬運系統，其中，前述搬運台車係具有：把持前述被搬運物之把持手段、以及將前述把持手段以吊掛的狀態沿鉛垂方向移動之移動手段。
  4. 如申請專利範圍第3項記載的搬運系統，其中，前述移動手段具有：將前述把持手段以吊掛的狀態沿水平方向移動之移動臂。
  5. 如申請專利範圍第1或2項記載的搬運系統，其中，進一步具備：對前述被搬運物實施加工處理之處理裝置、以及保管前述被搬運物之保管裝置； 前述第1載置埠是設置於前述處理裝置之埠，前述第2載置埠是設置於前述保管裝置之埠。
  6. 一種搬運系統，其特徵在於，係具備：用來對被搬運物(在下面形成有定位孔)實施加工處理之處理裝置、保管前述被搬運物之保管裝置、具有從上方載置前述被搬運物之載置面且設置於前述處理裝置之第1載置埠、具有從上方載置前述被搬運物之載置面且設置於前述保管裝置之第2載置埠、鋪設於前述第1載置埠的上方之軌道、以及讓前述被搬運物以吊掛的狀態沿著前述軌道行走且讓前述被搬運物以吊掛的狀態下降至前述第1及第2載置埠之搬運台車；前述搬運台車係具備：本體外殼、吊掛用來把持被搬運物的把持機構之升降機構、以及用來吊掛升降機構之水平位置調整機構，該水平位置調整機構可相對於本體外殼往右方及/或左方滑動移動，在滑動時從本體外殼往右方及/或左方突出；在前述第1載置埠的前述載置面上設有：與前述定位孔對應的定位突起；前述第2載置埠是配置在前述軌道的右鄰或左鄰，前述搬運台車，在讓前述被搬運物下降至前述第1載置埠時，是讓前述定位孔和前述定位突起在水平方向上互 相對準，當前述搬運台車將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面相對於水平方向呈傾斜；前述第2載置埠之前述載置面相對於水平方向呈傾斜，且其與前述搬運台車將前述被搬運物載置於前述第2載置埠之前該被搬運物的下面之間的角度，是小於該下面與水平方向之間的角度。
  7. 一種搬運系統之設定方法，是前述第1及第2載置埠分別設有複數個之申請專利範圍第1至6項中任一項記載的搬運系統之設定方法，其特徵在於，係具備：從前述搬運台車朝前述第1載置埠各個一邊調整水平方向的位置一邊讓前述被搬運物下降的步驟；從前述搬運台車朝一個前述第2載置埠上一邊調整水平方向的位置一邊讓前述被搬運物下降的步驟；以及根據朝前述第1及第2載置埠讓前述被搬運物下降的結果，來取得為了控制前述被搬運物與複數個前述第1載置埠及複數個前述第2載置埠分別進行對準之資訊。
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