TWI408088B - 具橢圓門閂結構之前開式晶圓盒 - Google Patents

Description

具橢圓門閂結構之前開式晶圓盒

本發明係關於一種前開式晶圓盒，特別是關於一種配置於前開式晶圓盒之門體內部的門閂結構。

半導體晶圓由於需經過各種不同流程的處理且需配合製程設備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外界的污染，常會利用一密封容器以供自動化設備輸送。請參考第1圖所示，係習知技術之晶圓盒示意圖。此晶圓盒是一種前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)，係具有一盒體10及一門體20，盒體10內部係設有複數個插槽11可水平容置複數個晶圓(未顯示於圖中)，且在盒體10之一側面係具有一開口12可供晶圓的載出及載入，而門體20具有一個外表面21及一個內表面22，門體20係藉由內表面22與盒體10的開口12相結合，用以保護盒體10內部的複數個晶圓。此外，在門體20的外表面21上配置至少一個門閂開孔23，用以開啟或是封閉前開式晶圓盒。在上述前開式晶圓盒中，由於半導體晶圓係水平地置於盒體10內部，因此，在前開式晶圓盒搬運過程中需有一晶圓限制件(wafer restraint)，以避免晶圓因震動而產生異位或往盒體10的開口12方向移動。

請參考第2圖所示，係一美國第6,736,268號公告專利所揭露之一種前開式晶圓盒之門體示意圖。如第2圖所示，門體20之內表面22配置有一凹陷區域24，此凹陷區域24係從內表面22的頂端221延伸到底端222且係在左右二個門閂結構230(於門體內部)之間，而在凹陷區域24中再進一步配置有晶圓限制件模 組，此晶圓限制件模組係由左右二個晶圓限制件100所組成，而在每一個晶圓限制件100上係具有複數個晶圓接觸頭110，以利用此晶圓接觸頭110頂持其相對的晶圓，避免晶圓在傳送過程中因震動而異位或往盒體之開口方向移動。然而，上述晶圓限制件模組係設置於門體20內表面22的凹陷區域24之中，這使得晶圓僅能貼平門體20其內表面22或僅能稍微落入凹陷區域24，無法有效地讓晶圓落入凹陷區域24以縮短前開式晶圓盒前後徑的尺寸。此外，晶圓限制件模組與晶圓摩擦所產生的微粒粉塵容易累積在凹陷區域24內，在清潔上需先把晶圓限制件模組與門體20內表面22之凹陷區域24分離，如此反覆的分離及組裝，容易造成晶圓限制件模組的鬆脫。

此外，於另一件美國第5,711,427號公告專利中係揭露出前開式晶圓盒之門體20中的門閂結構230示意圖。如第3圖所示。門體20與盒體10的結合方式主要是在門體20中(即外表面21及內表面22之間)的兩側分別設置活動式插梢231，且在盒體10開口處之邊緣附近設有插孔13(請參考第1圖)可與插梢231相對應，並利用設於門體20外表面21上之門閂開孔23(請參考第1圖)的轉動，使插梢231與插孔互相結合進而達到將門體20固定於盒體10之目的，其中利用門閂開孔23的轉動來控制插梢231的往返活動係透過一個圓形之凸輪232即可達成。

而在半導體廠的實施操作中，前開式晶圓盒的開啟主要係藉由一晶圓裝載機構，晶圓裝載機構係至少具有一開啟閂，晶圓裝載機構係利用此開啟閂***前開式晶圓盒之門體20外表面21上的門閂開孔23，並轉動凸輪232以帶動活動式插梢231完成開啟或是封閉前開式晶圓盒。

另外，其他已揭露的前開式晶圓盒之門體中的門閂結構之美 國專利還有US5,915,562、US5,957,292、US6,622,883、US6,902,063等。這些門閂結構為了使門體與盒體接合時，達到氣密之目的，其活動式插梢會在縱向方向上產生位移，以便藉由活動式插梢將一彈性之氣密件卡固，以期同時達到關閉前開式晶圓盒以及氣密之目的。然而，這些習知的門閂專利皆是由複雜的機械結構來組成，除了會增加故障率外，也會在操動的過程中，產生過多的機械摩擦，而造成晶圓的污染；此外，使用活動式插梢的位移來卡固彈性氣密件，其氣密的效果欠佳，無法長時間保持氣密。

且，在目前常見的前開式晶圓盒之門體20內表面上還會配置有一些限制件，以便門體20蓋合盒體10時，這些限制件會與晶圓接觸，使得晶圓被完全固定，以降低晶圓在前開式晶圓盒中因運輸過程而產生異位。而為了避免限制件與晶圓接觸時，力量太大而造成晶圓的碰撞及摩擦，因此，如第4圖所示，有一些美國專利即揭露一種將彈性元件86配置在門閂結構230中的凸輪232及門體20之間，當凸輪232轉動並帶動活動式插梢231封閉前開式晶圓盒的過程中，此彈性元件86可以發揮阻尼的效果，使得配置於門體20內表面上的限制件可以在和緩且平順的狀態下與晶圓接觸，如此便可解決碰撞及摩擦的問題，另外與該設計相關之美國專利還包括US6,880,718、US7,168,587、US7,182,203等。然而，這種類似側向牽引的方式，容易在活動式插梢231移動之方向上產生一偏移力量，會造成無法卡入盒體10之插孔中，致使盒體10與門體20無法蓋合。同時，也會增加前開式晶圓盒之製造成本。

依據先前技術之前開式晶圓盒之門體結構中，其門閂皆是由複雜的機械結構來組成，除了會增加故障率外，也會在操動的過 程中，產生太多的機械摩擦，而可能造成晶圓的污染。為此，本發明之一主要目的在於提供一種前開式晶圓盒中配置有橢圓凸輪之門閂結構，使其滑動裝置僅於單一平面上進行往返運動，故可以簡化門閂之結構。

本發明之另一主要目的在於提供一種前開式晶圓盒中配置有橢圓凸輪之門閂結構，可藉由滑輪之設計，使其橢圓凸輪帶動滑動裝置於單一平面上進行往返運動時，可降低往返運動時的摩擦力，故可以降低污染。

本發明之再一主要目的在於提供一種前開式晶圓盒中配置有橢圓凸輪之門閂結構，其可在門閂結構之間形成一凹陷區域，使得此凹陷區域能有效的容置晶圓，故可縮短前開式晶圓盒前後徑的尺寸，且讓整體晶圓盒的重心較集中於晶圓盒的正中央，以增加晶圓盒的穩定度。

為達上述之各項目的，本發明揭露一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在盒體之一側面係形成一開口可供複數個晶圓之輸入及輸出，且於盒體開口處之邊緣配置至少一對插孔，以及一門體，係具有一外表面及一內表面，且於門體之邊緣配置至少一對與每一對插孔相應之閂孔，門體係以內表面與盒體之開口相結合，並用以保護盒體內部之複數個晶圓，其中前開式晶圓盒之特徵在於：盒體邊緣上的每一個插孔各具有一內槽，並於每一個內槽中設有一斜面以使內槽形成外寬內窄之結構，門體之內表面配置一凹陷區域且凹陷區域係位於兩凸出平台之間，每一凸出平台內部配置一門閂結構，每一個門閂結構都包括一橢圓凸輪、一對滑動裝置，每一滑動裝置以其第一端與橢圓凸輪圓周一點接觸且其一第二端具有一導引結構以及在第一端與第二端之間配置有一滑槽、至少一 對滑輪配置於凸出平台內部且每一個滑輪嵌入於每一個滑動裝置之滑槽中，以及一個與每一個滑動裝置連接成一體之定位彈片，藉由控制橢圓凸輪之轉動使得每一個滑動裝置往返於每一對插孔與閂孔中。

本發明接著揭露一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在盒體之一側面係形成一開口可供複數個晶圓之輸入及輸出，且於盒體開口處之邊緣配置至少一對插孔，以及一門體，係具有一外表面及一內表面，且於門體之邊緣配置至少一對與每一對插孔相應之閂孔，門體係以內表面與盒體之開口相結合，並用以保護盒體內部之複數個晶圓，其中前開式晶圓盒之特徵在於：盒體邊緣上之每一個插孔各具有一內槽，並於每一個內槽中設有一斜面以使該內槽形成外寬內窄之結構，門體外表面及內表面之間係配置至少一門閂結構，每一個門閂結構都包括一橢圓凸輪、一對滑動裝置，每一滑動裝置以其第一端與橢圓凸輪圓周一點接觸且其第二端具有一導引結構以及在第一端與第二端之間配置有一滑槽、至少一對滑輪配置於門體外表面及內表面之間且每一個滑輪嵌入於每一滑動裝置之滑槽中，以及一個與每一個滑動裝置連接成一體之定位彈片，藉由控制橢圓凸輪之轉動使得每一個滑動裝置往返於每一對插孔與閂孔中。

由於本發明係揭露一種前開式晶圓盒，其具有一盒體及一門體，盒體內部係設有複數個插槽可水平容置複數個晶圓，且在盒體之一側面係具有一開口可供晶圓的載出及載入，而門體由其內表面與盒體的開口相結合，用以保護盒體內部的複數個晶圓。此外，在門體的外表面上配置至少一個門閂開孔，用以開啟或是封 閉前開式晶圓盒。由於，本發明所利用到的一些前開式晶圓盒之結構與上述相同，故其詳細製造或處理過程，故在下述說明中，並不作完整描述。而且下述內文中之圖式，亦並未依據實際之相關尺寸完整繪製，其作用僅在表達與本發明特徵有關之示意圖。此外，為使本發明所運用之技術內容、發明目的及其達成之功效有更完整且清楚的揭露，茲於下詳細說明之，並請一併參閱所揭之圖示及圖號。

請參考第5圖，係本發明之前開式晶圓盒之門體20中的門閂結構60上視圖。如第5圖所示，門體20的外表面及內表面之間包括一對門閂結構60，其中每一門閂結構60係由一橢圓凸輪62、一對與橢圓凸輪62兩端接觸之滑動裝置64、至少一個滑輪66配置於門體20外表面及內表面之間且嵌入於滑動裝置64之滑槽642中以及至少一個與滑動裝置64連接成一體之定位彈片68所組成。接著，請參考第6圖，係第5圖中之橢圓凸輪62與滑動裝置64接觸端之放大示意圖。如第6圖所示，在本發明之一較佳之實施例中，滑動裝置64在與橢圓凸輪62兩端接觸點之處，可以再配置一個定位滑輪644，當橢圓凸輪62轉動時，可以降低滑動裝置64與橢圓凸輪62間的摩擦力；此外，也可藉由橢圓凸輪62上的複數個定位槽622的設計，使得橢圓凸輪62轉動時，定位滑輪644可以很平順的滑入定位槽622，以作為橢圓凸輪62轉動時的限制點。在本發明之實施例中，橢圓凸輪62可以是金屬材質，其也可以是高分子塑膠材料所形成，本發明並不加以限制。

接著，請參考第7A圖至第7C圖，係本發明之門閂結構60之滑動裝置64之示意圖。滑動裝置64之一端上配置一定位滑輪644，而另一相對端上，則為一實體之平面646，而介於兩端之間 則形成一滑槽642，此滑槽642則可與固定在門體20內的滑輪66(如第7B圖所示)相嵌在一起。此外，滑動裝置64在靠近定位滑輪644端之附近，與定位彈片68之一端連接在一起，而定位彈片68之另一端則固定在門體20上。故當門體20要將盒體10之開口12關閉時，會先將門體20與盒體10結合，然後轉動橢圓凸輪62；當橢圓凸輪62轉動時，滑動裝置64會被橢圓凸輪62向門體20的邊緣方向推進，滑動裝置64之實體平面646得以穿過門體20上的閂孔27並伸入位於盒體10開口處邊緣附近並與閂孔27相對應之插孔13中，使得盒體10與門體20結合成一體以完成關閉盒體10之動作。此時，會使得定位彈片68被壓縮，故當門體20要打開時，隨著橢圓凸輪62轉動，定位彈片68也會依據虎克定律所提供之力，帶動滑動裝置64恢復至開啟狀態之位置。在本發明之實施例中，滑動裝置64及定位彈片68可以是金屬材質，其也可以是高分子塑膠材料所形成，本發明並不加以限制。而滑輪66之材質亦未加以限制。

此外，如第7B圖所示，在一較佳實施例中，滑輪66係成對地配置在門體20的內部，且彼此相距一適當距離。因此，當滑輪662及滑輪664嵌入在滑動裝置64之滑槽642中時，此對滑輪66係可以正確且平順地引導滑動裝置64之平面646得以穿過門體20上的閂孔27。

在此要強調，本發明在前述之過程中，均是一個橢圓凸輪62及一個滑動裝置64來說明門閂結構60之操作過程，但實際上，每一個橢圓凸輪62係與一對滑動裝置64相接觸，且每一門體20內部則配置一對門閂結構60(如第5圖所示：此時本發明之門體20是處在打開之狀態)。由於本發明之門閂結構60中的凸輪係為一種橢圓凸輪62，此橢圓凸輪62於門體20之外表面21上形成 一對門閂開孔(未顯示於圖中)。由於橢圓凸輪62具有一較長之半徑Y及一較短之半徑X，故本發明即是藉由此橢圓凸輪62之不同半徑之間的差異來做為控制滑動裝置64往返移動的啟動元件；例如，若要能夠將滑動裝置64向門體20的兩側邊上或下移動10mm~30mm，以便能將滑動裝置64之前端穿過門體20，則此時的橢圓凸輪62之較長半徑及較短半徑之間的長度差至少要有10mm~30mm。由於橢圓凸輪62在門體20打開時，其較短半徑之兩端是與一對位於兩端之滑動裝置64接觸在一起，很明顯地，當門體20與盒體10蓋合後，即可藉由轉動橢圓凸輪62，使得位於兩端之滑動裝置64變成與橢圓凸輪62之較長半徑接觸在一起；由於，橢圓凸輪62之較長半徑及較短半徑之間的長度差至少要有10mm~30mm，故當橢圓凸輪62轉動一至長半徑Y位置上之定位槽622時，即可使得滑動裝置64之前端平面646穿過門體20上的閂孔27，如第8圖所示。在此要強調，由於滑動裝置64在靠近定位滑輪644端附近，與定位彈片68之一端連接在一起，而定位彈片68之另一端則固定在門體20上。故當橢圓凸輪62轉動至長半徑Y位置上之定位槽622時，滑動裝置64會被橢圓凸輪62向門體20邊緣上的閂孔27推，此時，會使得定位彈片68被壓縮，故當門體20要打開時，隨著橢圓凸輪62轉動至短半徑X位置上之定位槽622的過程中，定位彈片68也會依據虎克定律所提供之力，帶動滑動裝置64恢復至開啟狀態之位置(即橢圓凸輪62停留在短半徑X位置上之定位槽622)。

很明顯地，本發明之門閂結構60在橢圓凸輪62的帶動下，其只進行前進及後退之往返運動，而沒有在任何縱向(即垂直)方向上產生位移，因此，本發明之門閂結構60係一較簡單的設計。當本發明之門體20與盒體10蓋合時，固定於門體20內表面22 之複數個晶圓限制件(未顯示於圖中)直接與晶圓接觸在一起，且凸輪62係帶動一對滑動裝置64向門體20之邊緣移動，然後將滑動裝置64之前端平面646穿過門體20上的閂孔27(如第8圖)並卡固在盒體10開口處邊緣附近並與閂孔27相對應之插孔13(如第1圖)中。最後，可再經由一充氣裝置對配置於門體20與盒體10之間的氣密件(未顯示於圖中)進行充氣，以使得盒體10內部與外部隔離。

接著，請參考第9圖~第13A圖與第13B圖，係本發明另一較佳實施例之前開式晶圓盒之門體中的門閂結構上視圖。前開式晶圓盒之基本結構如前述第1圖所示，包括一盒體10及一門體20，盒體10內部係設有複數個插槽11可水平容置複數個晶圓，且在盒體10之一側面係具有一開口12可供晶圓的載出及載入，而門體20具有一個外表面21及一個內表面22，門體20係藉由內表面22與盒體10的開口12相結合，用以保護盒體10內部的複數個晶圓。此外，在門體20的外表面21上配置至少一個門閂開孔23，用以開啟或是封閉前開式晶圓盒；其中，在本實施例中，主要是揭露另一種配置在門體20上門閂結構，如第9圖~第13A圖與第13B圖所示。

首先，請先參考第13A圖，盒體10上的插孔13各具有一內槽131，且在每一個內槽131中設有一個斜面132，使內槽131會形成一種外寬內窄的結構。

接著，請參考第9圖，係本發明之又一種前開式晶圓盒之門體示意圖。如第9圖所示，每一門閂結構70係由一橢圓凸輪71、一對滑動裝置72，每一滑動裝置72以其第一端721與橢圓凸輪71圓周一點接觸且其第二端722具有一導引結構73以及在第一端721與第二端722之間配置有一滑槽76、至少一對滑輪76配 置於門體20之外表面21及內表面22間且每一個滑輪76嵌入於每一個滑動裝置72之滑槽723中，以及一個與每一個滑動裝置72連接成一體之定位彈片78所組成。很明顯地，上述之每一個門閂結構70係配置於門體20的外表面21及內表面22之間。

再接著，請參考第10圖，係第9圖中之橢圓凸輪與滑動裝置接觸端之放大示意圖。如第10圖所示，在本實施例中，一對滑動裝置72之第一端721與橢圓凸輪71圓周一點接觸，而在每一個滑動裝置72之第一端721與橢圓凸輪71接觸之處，配置有一個定位結構74，此定位結構74係與滑動裝置72係連接為一體，並以射出成型之方式所製成，其中，定位結構74係為一簍空之彈片結構741，簍空之彈片結構741具有一簍空部分741a，定位結構74具有一定位部742，定位部742突出自彈片結構741，並位於簍空部分741a。此外，又於橢圓凸輪71上配置複數個定位槽712，此定位槽712之形狀可為U型或V型等形狀。當橢圓凸輪71轉動時，定位結構74之定位部742會與橢圓凸輪71之定位槽712相互卡合定位，以提供自動對準定位並停止之功能，並藉此作為橢圓凸輪71轉動時的限制點。在本實施例中，橢圓凸輪71可以是金屬材質，其也可以是高分子塑膠材料所形成，對此橢圓凸輪71之材質，本發明並不加以限制。

請繼續參考第10圖，由於滑動裝置72之第一端721配置有一個定位結構74，而在滑動裝置72之第二端722上則設有一個導引結構73，而介在滑動裝置72之第一端721與端第二端722之間則形成一滑槽723，此滑槽723可與固定在門體20內的滑輪76相嵌在一起。此外，定位彈片78之一端固定在門體20上，而定位彈片78之另一端則連接於滑動裝置72在靠近定位結構74端之附近。

接著，請參考第11圖，係本發明門閂結構之導引結構之示意圖。如第11圖所示，導引結構73係配置於滑動裝置72之第二端722上，此導引結構73係為一滾輪結構731，例如一種長條形之滾輪。再請參考第12A圖，在門體20之外表面21與內表面22之間另樞設有一頂壓件75，此頂壓件75係為一片體且其形狀大致為矩形，於矩形片體較長之一側邊上具有一樞設部751，頂壓件75是以樞設部751固定於門體20內部，而樞設完成之頂壓件75，其與滾輪結構731之相對位置為大致對應且相互垂直，其中，頂壓件75是由高分子塑膠材料所形成之。因此，藉由控制橢圓凸輪71之轉動，可使得每一個滑動裝置72往返於每一對插孔13與閂孔27中，故當門體20要將盒體10之開口12關閉時，會先將門體20與盒體10結合，如第12A圖與第13A圖所示，此時滑動裝置72尚未開始動作，因此滾輪結構731與頂壓件75之相對位置為大致對應且相互垂直；當橢圓凸輪71轉動時，滑動裝置72會受橢圓凸輪71之帶動而向門體20的邊緣方向推進，使得滑動裝置72之滾輪結構76得以穿過門體20上的閂孔27(如第8圖)並伸入位於盒體10開口邊緣之插孔13(如第1圖)中，使得盒體10與門體20結合成一體以完成關閉盒體10之動作，其中，當滾輪結構731伸入插孔13中時，滾輪結構731會順著內槽131之斜面132滑動，而由於內槽131係一種外寬內窄的結構，因此滾輪結構731滑動時，會使得滑動裝置72產生一向盒體位移之作用，進而造成門體20產生一向盒體10壓合之力量，使得門體20與盒體10得以緊密的結合，而也因為滑動裝置72的影響，而使得滾輪結構731與頂壓件75相互接觸，因此當滾輪結構731滑動時，便會帶動頂壓件75轉動，而頂壓件75之轉動則會受到內槽131開口之限制，使得滾輪結構731停止滑 動，藉此滑動會使得滾輪結構731與頂壓件75之夾角，由原本的相互垂直變成一銳角；例如，當滾輪結構731在斜面132上滑動約10~15mm時，形成之銳角約為40~60度，如第12B圖與第13B圖所示。然而，當滾輪結構731滑動至內槽131之底部時，卻會因為內槽131之斜面132與地心引力的影響，使得滾輪結構731會往滑動裝置72移動之反方向滑動，此時因為滑動裝置72仍然存在一向盒體10壓合之力量，並與頂壓件75相接觸，藉此頂壓件75便能提供一頂持之作用力，使得滑動裝置72停止滑動並使得滾輪結構731固定於內槽131中。也由於盒體10與門體20結合成一體，會使得定位彈片78被壓縮，如第10圖所示，故當門體20要打開時，隨著橢圓凸輪71轉動，定位彈片78也會依據虎克定律所提供之力，帶動滑動裝置72恢復至開啟狀態之位置。在本發明之實施例中，滑動裝置72及定位彈片78可以是金屬材質，其也可以是高分子塑膠材料所形成，本發明並不加以限制。而滑輪76之材質亦未加以限制。

請繼續參考第14圖，係本發明門閂結構之導引結構之另一實施方式示意圖。導引結構73係配置於滑動裝置72之第二端722上，此導引結構具有一拋光之圓弧面732，而插槽13中的斜面132則係具有一弧度，此構造會使其相互接觸之部位具有低磨耗、低阻力之特性，如15A圖所示。藉由控制橢圓凸輪71之轉動，可使得每一個滑動裝置72往返於每一對插孔13與閂孔27中，故當門體20要將盒體10之開口12關閉時，會先將門體20與盒體10結合，如第15A圖所示，此時滑動裝置72尚未開始動作；當橢圓凸輪71轉動時，拋光之圓弧面732會受橢圓凸輪71之帶動而向門體20的邊緣方向推進，使得滑動裝置72之拋光之圓弧面732得以穿過門體20上的閂孔27並伸入位於盒體 10開口邊緣之插孔13中，使得盒體10與門體20結合成一體以完成關閉盒體10之動作，其中，當拋光之圓弧面732伸入插孔13中時，拋光之圓弧面732會順著內槽131之斜面132滑動，而由於內槽131係一種外寬內窄的結構且其斜面132具有一弧度，因此拋光之圓弧面732滑動時，會使得滑動裝置72產生一向盒體位移之作用，進而造成門體20產生一向盒體10壓合之力量，使得門體20與盒體10得以緊密的結合，而也因為滑動裝置72產生的影響，滑動裝置72仍然存在一向盒體10壓合之力量，而使得拋光之圓弧面732固定於內槽131中，如第15B圖所示。在本發明之實施例中，滑動裝置72及引導部76係由不同材質所製成，其中引導部76可以是高分子塑膠材料所形成，例如PEEK或鐵氟龍等，具有耐磨耗、潤滑等特性。

由於本發明門閂結構70之發明與前述大致相同，均係使用橢圓凸輪71及滑動裝置72相互配合操作，使得滑動裝置72得以往返於插孔13與閂孔27之中，其更為詳細之實施方式與前述相同，故在此不再重複贅述。

根據上述，除了可將門閂結構70係配置於門體20的外表面21及內表面22間之外，也可將門閂結構70配置於門體20之內表面上的兩凸出平台25之內部，其相關結構亦與前述相同，故不再重複敘述。此外，本發明在此所揭露之門閂結構70，亦與前述相同，故在此亦不重複贅述。惟在此實施方式中，頂壓件75樞設的位置是在門體20之每一個凸出平台25的內部，而其相關之作動方式亦與前述相同，故在此亦不重複贅述。

雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視 本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧盒體

100‧‧‧晶圓限制件

110‧‧‧晶圓接觸頭

11‧‧‧插槽

12‧‧‧開口

13‧‧‧插孔

131‧‧‧內槽

132‧‧‧斜面

20‧‧‧門體

21‧‧‧外表面

22‧‧‧內表面

221‧‧‧頂端

222‧‧‧底端

23‧‧‧門閂開孔

230‧‧‧門閂結構

231‧‧‧插梢

232‧‧‧凸輪

24‧‧‧凹陷區域

25‧‧‧凸出平台

27‧‧‧閂孔

60‧‧‧門閂結構

62‧‧‧橢圓凸輪

622‧‧‧定位槽

64‧‧‧滑動裝置

642‧‧‧滑槽

644‧‧‧定位滑輪

646‧‧‧實體之平面

66‧‧‧滑輪

662‧‧‧滑輪

664‧‧‧滑輪

68‧‧‧定位彈片

70‧‧‧門閂結構

71‧‧‧橢圓凸輪

712‧‧‧定位槽

72‧‧‧滑動裝置

721‧‧‧滑動裝置第一端

722‧‧‧滑動裝置第二端

723‧‧‧滑槽

73‧‧‧導引結構

731‧‧‧滾輪結構

732‧‧‧拋光之圓弧面

74‧‧‧定位結構

741‧‧‧簍空之彈片結構

741a‧‧‧簍空部分

742‧‧‧定位部

75‧‧‧頂壓件

751‧‧‧樞設部

76‧‧‧滑輪

78‧‧‧定位彈片

86‧‧‧彈性元件

第1圖 係習知之前開式晶圓盒之示意圖。

第2圖 係習知之前開式晶圓盒之門體示意圖。

第3圖 係習知之前開式晶圓盒之另一門體示意圖。

第4圖 係習知之前開式晶圓盒之又另一門體示意圖。

第5圖 係本發明之一種前開式晶圓盒之門體示意圖。

第6圖 係本發明第5圖門閂結構之部份放大示意圖。

第7A圖~第7C圖 係本發明之門閂結構之滑動裝置之放大示意圖。

第8圖 係本發明之門閂結構之關閉時之示意圖。

第9圖 係本發明之又一種前開式晶圓盒之門體示意圖。

第10圖 係本發明一種門閂結構之示意圖。

第11圖 係本發明之一種導引結構之示意圖。

第12A圖 係本發明之門閂結構開啟之剖面圖。

第12B圖 係本發明之門閂結構關閉之示意圖。

第13A圖與第13B圖 係本發明之導引結構之側視圖。

第14圖~第15B圖 係本發明之另一種門閂結構開啟與關閉之示意圖。

10‧‧‧盒體

20‧‧‧門體

70‧‧‧門閂結構

71‧‧‧橢圓凸輪

712‧‧‧定位槽

72‧‧‧滑動裝置

723‧‧‧滑槽

73‧‧‧導引結構

74‧‧‧定位結構

76‧‧‧滑輪

78‧‧‧定位彈片

Claims (10)

1. 一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，該盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在該盒體之一側面係形成一開口可供該複數個晶圓之輸入及輸出，而該盒體開口處之邊緣配置至少一對插孔，以及一門體，係具有一外表面及一內表面，且於該門體之邊緣配置至少一對與每一該對插孔相應之閂孔，該門體係以該內表面與該盒體之該開口相結合，並用以保護該盒體內部之該複數個晶圓，其中該前開式晶圓盒之特徵在於：該盒體邊緣上之每一該插孔各具有一內槽，並於每一該內槽中設有一斜面以使該內槽形成外寬內窄之結構，該門體之該內表面配置一凹陷區域且該凹陷區域係位於兩凸出平台之間，每一該凸出平台內部配置一門閂結構，每一該門閂結構包括一橢圓凸輪、一對滑動裝置，每一該滑動裝置以其一第一端與該橢圓凸輪之圓周一點接觸且其一第二端具有一導引結構以及在該第一端與該第二端之間配置有一滑槽、至少一對滑輪配置於該門體之每一該凸出平台內部且每一該滑輪嵌入於每一該滑動裝置之該滑槽中，以及一個與每一該滑動裝置連接成一體之定位彈片，藉由控制該橢圓凸輪之轉動使得每一該滑動裝置往返於每一該對插孔與該閂孔中。
2. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其中該導引結構係為一滾輪結構。
3. 如申請專利範圍第2項所述之前開式晶圓盒，其進一步具有一頂壓件樞設於該門體之每一該凸出平台內部且垂直於該滾輪結構。
4. 如申請專利範圍第3項所述之前開式晶圓盒，其中該頂壓 件係為一片體。
5. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其中該導引結構具有一拋光之圓弧面，該插槽之斜面具有一弧度。
6. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其中該導引結構與該滑動裝置係由不同材質所製成。
7. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其進一步於每一該滑動裝置之第一端配置一定位結構且該定位結構與該橢圓凸輪接觸，該定位結構由一簍空之彈片結構與一定位部所組合而成。
8. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其進一步於該橢圓凸輪上配置複數個定位槽。
9. 如申請專利範圍第1項所述之前開式晶圓盒，其進一步於該兩凸出平台上各配置至少一限制件模組。
10. 一種前開式晶圓盒，主要包括一盒體，該盒體內部係設有複數個插槽以容置複數個晶圓，且在該盒體之一側面係形成一開口可供該複數個晶圓之輸入及輸出，而該盒體開口處之邊緣配置至少一對插孔，以及一門體，係具有一外表面及一內表面，且於該門體之邊緣配置至少一對與每一該對插孔相應之閂孔，該門體係以該內表面與該盒體之該開口相結合，並用以保護該盒體內部之該複數個晶圓，其中該前開式晶圓盒之特徵在於：該盒體邊緣上之每一該插孔各具有一內槽，並於每一該內槽中設有一斜面以使該內槽形成外寬內窄之結構，該門體之該內表面與該外表面之間係配置至少一門閂結構，每一該門閂結構包括一橢圓凸輪、一對滑動裝置，每一該滑動裝置以其第一端與該橢圓凸輪圓周一點接觸且其第二端具有 一導引結構以及在該第一端與該第二端之間配置有一滑槽、至少一對滑輪配置於該門體之該內表面與該外表面之間且每一該滑輪嵌入於每一該滑動裝置之該滑槽中，以及一個與每一該滑動裝置連接成一體之定位彈片，藉由控制該橢圓凸輪之轉動使得每一該滑動裝置往返於每一該對插孔與該閂孔中。