TWI480651B - 液晶顯示裝置及其製造方法 - Google Patents

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TWI480651B
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Koichi Minato
Kenzo Fukuyoshi
Manabu Ito
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Toppan Printing Co Ltd
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Description

液晶顯示裝置及其製造方法 [相關申請案之交互參照]
本申請案係以2011年4月12日申請的日本專利申請案第2011-088274號為基礎及請求其優先權之利益,其全部內容併入此當作參考。
本發明關於液晶顯示裝置及其製造方法。
近年來,對於液晶顯示裝置等的薄型顯示裝置,要求更高畫質化、低價格化及省電力化。對於以液晶顯示裝置為取向的著色濾光片,要求充分的色純度、高對比、平坦性等實現更高畫質顯示之改善。
對於液晶顯示裝置,為了高畫質化,提案VA(垂直配向)、HAN(混合排列向列)、TN(扭轉向列)、OCB(光學補償彎曲)、CPA(連續焰火狀配向)等之液晶的配向方式及液晶驅動方式,藉由此等技術,謀求廣視野角.高速響應的液晶顯示裝置之實用化。
於VA方式中,開發出MVA(多域垂直配向)、PVA(圖案化垂直配向)、VAECB(垂直配向電控制雙折射)、VAHAN(垂直配向混合排列向列)、VATN(垂直配向扭轉向列)等各式各樣的改良模式。又,於如VA方式等之對液晶層的厚度方向施加驅動電壓之縱電場方式的液晶顯示裝置中,要求高速的液晶響應、廣視野角技術、更高的透過率。
對於基板表面呈初期垂直的液晶,在電壓施加時係 難以決定倒下的方向。因此,於MVA技術中,在液晶驅動的電壓施加時,為了消除垂直配向液晶的不安定,設置複數的狹縫(slit)狀之凸部,藉由在此等狹縫之間形成不同的配向方向之複數的液晶疇域(domain),以確保廣視野角。
專利文獻1(日本專利第3957430號公報)中,揭示使用第1及第2的配向管制構造體(狹縫)來形成液晶疇域之技術。
專利文獻2(特開2008-181139號公報)中,揭示使用光配向來形成4個液晶疇域之技術。於此專利文獻2中,為了確保廣視野角,說明在各自的液晶疇域中,必須有與嚴密的預傾角(自水平方向起89度)控制有關的複數次(4次)之配向處理,必須90°不同的配向軸。
專利文獻3(日本專利第2859093號公報)及專利文獻4(日本專利第4364332號公報)中,記載使用在彩色濾光片基板側藉由透明導電膜所形成的第1電極(或亦可稱為對向電極、透明電極、顯示電極或彩色濾光片側的共通電極),與陣列基板側的第1電極(亦稱為畫素電極)及第2電極(亦可稱為陣列基板側的共通電極),藉由斜電場來控制垂直配向的液晶之技術。專利文獻3中使用負的介電常數各向異性之液晶,專利文獻4中說明正的介電常數各向異性之液晶。另外,專利文獻4中沒有記載負的介電常數各向異性之液晶。
通常,VA方式或TN方式等的液晶顯示裝置之基本構成,係以具備第3電極的彩色濾光片基板、與具備驅動液 晶的複數之第1電極的陣列基板夾持液晶層。例如,第1電極係與TFT(薄膜電晶體)元件電連接,形成梳齒狀圖案狀之透明電極。於此通常的構成中,在彩色濾光片上的第3電極與陣列基板側所形成的第1電極之間施加驅動電壓,藉由此驅動電壓的施加來驅動液晶。形成第1電極及第3電極的透明導電膜,通常為ITO(銦錫氧化物:(銦.錫的金屬氧化物薄膜))、IZO(銦鋅氧化物)等的導電性金屬氧化物之薄膜。
專利文獻5(特開2009-92815號公報)中,揭示使用具有不同的預傾角之一對基板的液晶顯示裝置。
專利文獻6(特開2010-217867號公報)說明配向膜所用的配向劑。
如上述,於垂直配向的液晶顯示裝置所適用的MVA技術中,為了確保廣視野角,使用稱為狹縫的配向管制構造體來形成液晶疇域。當液晶為負的介電常數各向異性時,位於彩色濾光片等上所形成的2個樹脂製之狹縫之間的液晶,係在驅動電壓的施加前朝向相對於基板面而言的垂直方向,在驅動電壓的施加時,倒向對於2個狹縫呈垂直的方向,欲水平地排列在基板面上。然而,2個狹縫之間的中央之液晶,係不論電壓施加為何,也不能一概地決定倒下方向,會有取得擴散(splay)配向或彎曲配向之情況。如此液晶之配向紊亂係成為液晶顯示的偏差、顯示不均、透過率降低之原因。
又,當為MVA方式時,難以藉由驅動電壓來精細地控制液晶的倒下量,中間調顯示的控制係困難。特別地 ,於MVA方式中,驅動電壓與顯示(響應速度)的直線性低,以低的驅動電壓來進行中間調顯示係困難。
作為良好地進行中間調顯示之手法,如專利文獻3及專利文獻4中所示,使用第1電極、第2電極、第3電極,藉由斜電場方式來控制液晶配向之手法係有效。於斜電場方式中,可設定液晶的倒下方向。又,於斜電場方式中,容易控制液晶的倒下量,可有效地進行中間調顯示的控制。
然而,於此斜電場方式中,液晶的向錯(disclination)對策會不充分。所謂的向錯,就是由於非意圖的液晶之配向紊亂或未配向,而在畫素內發生光的透過率不同的區域。
專利文獻3中揭示藉由在第3電極的畫素中央設置無透明導電膜的配向控制窗,而將畫素中央的向錯固定化。然而,專利文獻3中沒有揭示畫素周邊的向錯之改善方法。又,雖然在畫素中央可將向錯固定化,但沒有揭示將向錯最小化之方法。再者,沒有檢討液晶的響應性之改善技術。
專利文獻4中由於在透明導電膜(透明電極)上積層介電體層,增加電場方式的效果而較佳。然而,如該專利文獻4之第7圖所示,即使在電壓施加後,在畫素中央及畫素端部也垂直配向的液晶殘留,透過率及開口率會降低。專利文獻4中,沒有檢討負的介電常數各向異性之液晶。使用正的介電常數各向異性之液晶時,由於畫素中央部的向錯,而難以提高透過率。因此,專利文獻4 之技術在半透射型的液晶顯示裝置中採用係困難。
專利文獻5中揭示使用具有不同的預傾角之一對基板的液晶顯示裝置。於此專利文獻5(尤其申請專利範圍第4項、第3圖、[0024]段落等)中,揭示於液晶層中進行因紫外光照射而聚合的單體之添加,於液晶胞化後,一邊施加電壓,一邊照射紫外光而形成配向膜之所謂PSA(聚合物穩定配向)技術。又,於專利文獻5的[0035]段落中,揭示使賦予TFT基板側的液晶分子之預傾角成為自基板的垂直方向起1°以上4°以下,使在彩色濾光片側基板的預傾角成為0°。又,於專利文獻5的[0048]段落中,揭示在彩色濾光片上配置ITO電極,更塗布形成有垂直配向膜的彩色濾光片之構成。於專利文獻5之第4圖至第6圖及[0022]段落中,揭示一畫素部分的截面構成。
然而,專利文獻5中沒有揭示在液晶顯示裝置的單位畫素(一畫素)內,形成2個或4個液晶配向之疇域,在1個疇域中使液晶配向於1個方向之技術。於1個疇域內液晶配向未均一化時,難以確保液晶顯示裝置的高透過率。於專利文獻5之第4圖至第6圖的液晶配向中,由於單位畫素內的液晶之排列係不均一,而難以成為高透過率。於專利文獻5的[0031]段落中,雖然自彩色濾光片基板側來照射紫外光,但由於紫外光透過率在彩色濾光片的紅.綠.藍等係有差異,故液晶的預傾角在不同的顏色之間會發生差異,液晶的響應在顏色之間會發生差異。再者,於專利文獻5中,對於TFT遮光部、彩色濾光片的黑色矩陣、紫外光透過率差的畫素等中之紫外光遮光所致的 未聚合單體之存在,及硬化不充分的配向膜所致的可靠性降低,沒有檢討。於將聚合性化合物加到液晶中及使光聚合之PSA手法中,由於未聚合的單體之存在,或由於硬化不充分的配向膜,會經時地發生液晶的響應性變化或燒灼。
於第1態樣中,液晶顯示裝置具有使陣列基板與對向基板相向而夾持液晶層之構成。陣列基板具備第1電極、第2電極與配向維持層。第1電極為梳齒狀,與主動元件電連接。第2電極係隔著第1電極與絕緣層而形成,為梳齒狀,於梳齒的並排方向中,含有自第1電極超出的部分。配向維持層係形成在與液晶層相接的面,於梳齒的並排方向中,在第2電極自第1電極超出的方向中進行液晶配向。對向基板具備在液晶驅動時於與第1電極之間施加電壓的第3電極。
第2態樣關於陣列基板與對向基板夾持液晶層而相向之液晶顯示裝置之製造。陣列基板含有:與主動元件電連接的梳齒狀之第1電極,隔著第1電極與絕緣層所形成之第2電極,與形成在與液晶層相接的面之配向膜。對向基板具備在液晶驅動時於與前述第1電極之間施加電壓之第3電極。對向基板係對第1至第3電極中的至少一個施加電壓,自陣列基板中的不與液晶層相接之側的表面來照射光,藉由配向膜來生成:於梳齒的並排方向中,在第2電極自第1電極超出的方向中,進行液晶配向的配向維持層。
以下,邊參照圖面邊說明本發明的實施形態。再者,於以下的說明中,對於相同或實質上相同的機能及構成要素,附有相同符號,按照需要進行說明。
於以下的實施形態中,僅說明特徵的部分,省略與一般的構成要素沒有差異的部分。
於以下的實施形態中,液晶顯示裝置的單一色之顯示單位係當作1個次畫素(subpixel)或1個畫素。
[第1實施形態]
於本實施形態中,說明減輕向錯,實現明亮的顯示,響應性及中間調顯示為良好的斜電場方式之液晶顯示裝置。
以下,於本實施形態中,預傾角係與基板面之垂直方向所成的角度。例如,與基板面垂直的預傾角表示0°。
第1圖係顯示本實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。此第1圖係對第1電極的梳齒部(線狀導體)之軸與第2電極的梳齒部之軸,顯示垂直的截面。
斜電場方式的液晶顯示裝置1具有以陣列基板2與對向基板3夾持液晶層4而貼合之構成。
陣列基板2係藉由在形成有TFT等的主動元件(液晶驅動元件)之透明基板40上,依順序形成絕緣層51、52、第2電極6、絕緣層53、第1電極7、配向維持層(配向膜)8而構成。具體地,陣列基板2係在透明基板40上具備絕緣層51及絕緣層52,在絕緣層52上具備梳齒狀的第2電極6 。再者,陣列基板2係在形成第2電極6的絕緣層52上,具備絕緣層53。陣列基板2係在絕緣層53上,具備梳齒狀的第1電極7。而且,陣列基板2係在梳齒狀的第1電極7及絕緣層53上,具備配向維持層8。
對向基板3係藉由在透明基板9上,依順序形成黑色矩陣10、透明導電膜的第3電極11、透明樹脂層12、配向維持層13而構成。第1圖中,顯示對向基板3的配向維持層13側接於液晶層4之狀態。
作為透明基板9,例如使用玻璃基板等。黑色矩陣10係藉由將透明基板9的平面(表面、上面)區劃成複數的開口區域(次畫素區域或畫素區域)而形成。開口區域的平面形狀係相對的邊平行之多角形狀。所謂的多角形,例如可使用正方形、長方形、平行四邊形、折彎的「<」狀(V字狀或回飛鏢狀)等。第3電極11係以覆蓋形成有黑色矩陣10的透明基板9之平面的方式來形成。作為第3電極11,使用透明導電膜。於第3電極11上,形成透明樹脂層12。透明樹脂層12係在與黑色矩陣10重疊的部分中成為突出狀態,在開口區域的中心線部分成為凹陷狀態。再者,於透明樹脂層12上形成配向維持層13。配向維持層13側的對向基板3之表面,係在黑色矩陣10的形成位置具有突出的凸部(重疊部)14,在中央線部具有凹陷的凹部15。
黑色矩陣10係為了提高液晶顯示的對比,於單位次畫素或單位畫素的周圍或單位次畫素或單位畫素之相對的2個邊所配設之遮光層的圖案。遮光層係在透明樹脂中 分散有遮光性的顏料之塗膜。遮光層一般係藉由賦予感光性,進行包含曝光.顯像的微影法而形成圖案之遮光性塗膜。
單位次畫素或單位畫素係對應於黑色矩陣10的開口區域。再者,畫素係與圖素同義。
配向維持層8、13係已進行配向處理的配向膜。於配向處理中,例如在組合陣列基板2、對向基板3、液晶層4成為液晶胞化狀態下,一邊對液晶施加電壓(例如1V至10V的交流或直流電壓),一邊對垂直配向膜照射光等電磁波而賦予預傾角。配向處理中所照射的光係可為偏光或非偏光。梳齒狀的第2電極6係在相對於第1圖的梳齒部之並排方向(以下稱為水平方向)的位置中,於單位次畫素或單位畫素內,含有自第1電極7超出的超出部2a。藉由對在水平方向的位置中有錯開的第1電極7與第2電極6之間施加電壓,液晶的倒下方向之決定係可能。因此,於本實施形態中,藉由配向維持層8、13所實現的預傾角係微小者佳。故,作為配向處理,可採用能增多曝光量的非偏光。
於此第1圖中,陣列基板2的配向維持層8與對向基板3的配向維持層13係互相隔著液晶層4而相向。即,配向維持層8、13係各自形成在陣列基板2及對向基板3之與液晶層4相接的面。配向維持層8、13例如約60nm的膜厚。
於對向基板3的配向維持層13側之面,與黑色矩陣10的重疊部分係突出,而形成凸部14。
於對向基板3的配向維持層13側之面,黑色矩陣10 所成的開口區域之中心線部分係凹陷,而形成凹部15。
於此第1圖中,偏光板、相位差板等由於與通常同樣地形成,故省略。液晶顯示裝置1係貼合於偏光板的形式,可具備1片至3片的相位差板。
茲說明具有如上述的構成之液晶顯示裝置的作用及效果。
於本實施形態的液晶顯示裝置中,使形成有對向電極的對向基板之配向維持層、與形成有液晶驅動元件的陣列基板之配向維持層相向,在其間夾持液晶層。
於液晶驅動時,在陣列基板2的第1電極7與第2電極6之間,及在陣列基板2的第1電極7與對向基板3的第3電極11之間,電位係不同。於本實施形態中,在液晶驅動時,利用在此等電極6、7、11之間所產生的斜電場。
第1電極7與第2電極6皆具有梳齒狀圖案。梳齒狀圖案係將2μm至40μm左右的寬度之2條以上的梳齒部(線狀導體)電連接至連繫部而形成。連繫部係形成在梳齒部的單側或兩側。連繫部在液晶顯示裝置1之位置,宜配置在開口區域之外。梳齒狀圖案的梳齒部之間隔係在約3μm至100μm之範圍,配合液晶胞條件、液晶材料來選擇。梳齒部的形成密度、間距、電極寬度係可在單位次畫素或單位畫素內變化。於第1圖的水平方向中,在單位次畫素或單位畫素內,第2電極6係比第1電極7在自截面中心C至黑色矩陣10的方向中還超出(偏移)。超出量係可藉由液晶材料、驅動條件、液晶層4的厚度等之尺寸來適宜調整。第2電極6的超出部2a之超出量即使為1μm至6μm的小 量也充分。第1電極7與第2電極6的重疊部2b亦可作為與液晶驅動有關的輔助容量。
配向維持層8、13係在陣列基板2及對向基板3中,於電極6、7、11之上直接或間接地形成之有機膜。配向維持層8、13係形成在與液晶層4相接的位置。配向維持層8、13係藉由對使液晶垂直配向的配向膜,以光或熱線等的放射線或在電場下所給予的此等放射線,賦予對液晶的預傾斜形成機能而形成。作為放射線,可使用紫外線。在單位次畫素或單位畫素內的平坦面部分所形成之配向維持層8、13所造成的預傾斜形成機能,實用上在0.1°至1.5°的範圍內,較佳在0.1°至1°的範圍內,給予液晶預傾角。液晶顯示裝置1由於利用斜電場,係即使為低於1°的微小預傾角,也可圓滑地驅動液晶層4的液晶分子。於常黑的垂直配向之液晶中,藉由配向維持層8、13所給予的預傾角愈小,則愈減少黑顯示時的光漏,可得到高對比。然而,通常預傾角小的垂直配向之液晶,係低電壓側的液晶驅動電壓變高,自黑顯示至中間調顯示的再現性降低。
然而,若使用本實施形態的配向維持層8、13,則即使微小的預傾角,也可藉由低電壓進行液晶響應快速的中間調顯示。此外,藉由此低電壓的驅動,低消耗電力係成為可能。再者,所謂的預傾角,就是指在不施加液晶驅動電壓時,對基板面的法線而言液晶分子之長軸方向的傾斜角度。垂直配向液晶的預傾角若大於1.5°,則有因光漏而使對比降低之傾向,從對比的觀點來看,預 傾角愈小愈佳。
於本實施形態中,說明介電常數各向異性為負的液晶,但對於介電常數各向異性為正的液晶亦同樣。當介電常數各向異性為正的液晶時,液晶為初期水平配向,藉由施加驅動電壓而液晶自基板面站起來。當介電常數各向異性為正的液晶時,必須對配向維持層8、13賦予水平配向機能。於使用感光性的配向膜之預傾角的形成中,為了加大預傾角,一般地增加曝光量。於如本實施形態的液晶顯示裝置1之斜電場方式,與縱電場方式比較下,容易以低電壓驅動液晶,由於只要進行給予預傾角低於1°的輕配向機能之處理即可,故配向處理係簡便。例如,作為介電常數各向異性為負的液晶,可使用在室溫附近的雙折射率為0.1左右之向列液晶。液晶層4的厚度係沒有必要特別限定,但本實施形態可有效地使用之液晶層4的△nd係約300nm至500nm之範圍。作為形成配向維持層8、13用的配向處理前之配向膜,例如可使用含有感光性聚有機矽氧烷或感光性聚有機矽氧烷與聚醯胺酸或聚醯亞胺等的聚合物之物質,亦可使用以矽氧烷肉桂醯胺為代表的矽氧烷系聚合物,也可使用感光性聚醯亞胺或感光性的聚合性液晶材料等之塗膜。又,作為配向膜,亦可使用採用偶氮苯衍生物的光配向膜,或含有在主鏈具有三鍵的聚醯胺酸之光配向膜。再者,預傾角例如可藉由Journal of Applied Physics,Vol.48No.5,p.1783-1792(1977)中記載的晶體旋轉等來測定。
本實施形態的配向維持層8(如需要的話配向維持層 13)係對垂直配向膜(預傾角為0°),在電場的存在下進行光配向處理,形成微小的預傾角之層。作為配向維持層8、13的配向膜,例如可使用專利文獻6中記載的配向劑。
當TFT的通道係以可見範圍為透明的氧化物半導體來形成時,可細化黑色矩陣10等的遮光層之圖案的線寬,可提高液晶顯示裝置1的明亮度。於本實施形態中,為了有效率地進行光配向且提高液晶顯示裝置1的可靠性,可使用氧化物半導體TFT。於以往的PSA技術中,由於使用加有光聚合性的單體之液晶,因佔有與矽半導體有關的面積之TFT遮光部或著色濾光層的黑色矩陣、紫外光透過率差的著色濾光片等之紫外光遮光所造成的未聚合單體殘存、硬化不充分之配向膜,而液晶顯示裝置的可靠性會降低。然而,於本實施形態的液晶顯示裝置1中,由於減少遮光部面積,以廣面積進行曝光,不使用光聚合性單體,故可大幅提高可靠性。與如此氧化物半導體TFT比較下,矽半導體TFT由於對可見範圍的光具有感度,必須以黑色矩陣10等的遮光層將TFT大一點地遮光。
於氧化物半導體中,可採用可見範圍為透明的複合金屬氧化物。以此等金屬氧化物作為成分的半導體材料,係含有鋅、銦、錫、鎢、鎂、鎵中的2種類以上之元素的氧化物,例如可使用氧化鋅、氧化銦、氧化銦鋅、氧化錫、氧化鎢(WO)、氧化鋅鎵銦(In-Ga-Zn-O)、氧化銦鎵(In-Ga-O)、氧化鋅錫(Zn-Sn-O)、氧化鋅矽.錫(Zn-Sn-Si-O)等的材料,亦可使用其他材料。此等材料係 實質上透明,帶隙較佳為2.8eV以上,更佳為3.2eV以上。此等材料的構造可為單晶、多晶、微結晶、結晶/非晶形的混晶、奈米結晶散佈存在的非晶形、非晶形中的任一者。氧化物半導體層的膜厚宜為10nm以上。氧化物半導體層係使用濺鍍法、脈衝雷射沈積法、真空蒸鍍法、CVD(化學蒸氣沈積)法、MBE(分子束磊晶)法、噴墨法、印刷法等之方法來形成。氧化物半導體層較佳為藉由濺鍍法、脈衝雷射沈積法、真空蒸鍍法、噴墨法、印刷法來形成。於濺鍍法中,可使用RF磁控濺鍍法、DC濺鍍法,更佳為使用DC濺鍍法。濺鍍用的起始材料(靶材料)係可使用氧化物陶瓷材料或金屬靶材料。為了真空蒸鍍,可使用加熱蒸鍍、電子束蒸鍍、離子鍍法。印刷法係可使用轉印印刷、膠版印刷、凹版印刷、凹版平版印刷等,亦可使用其他方法。作為CVD法,可使用熱線CVD法、電漿CVD法等。再者,亦可使用使上述金屬的無機鹽(例如氯化物)的水合物溶解於醇等中,煅燒.燒結而形成氧化物半導體等之其他方法。
於本實施形態的對向基板3中,以直接或間接地覆蓋黑色矩陣10之方式,配設透明樹脂層12。與黑色矩陣10重疊的透明樹脂層12之表面,係形成自其他透明樹脂層13的表面突出之凸部14。於對向基板3中的通過單位次畫素或單位畫素之中心的區域,形成凹部15。如此的對向基板3之凸部14及凹部15係可利用於液晶的配向控制。凸部14係由黑色矩陣10與透明樹脂層13的直接的或間接的重疊部所構成。於本實施形態中,利用在凸部14的傾斜 部或肩部(肩之部分)的液晶配向於驅動電壓施加時的液晶之倒下。
於凹部15中,亦同樣地,利用在透明樹脂層13的傾斜部或肩部之液晶配向於液晶之倒下。
凸部14的高度H較佳為0.4μm至2μm之範圍。高度H為0.3μm以下時,電壓施加時的「液晶之倒下的觸發」之效果會不充分,高度H若超過2μm,則在液晶胞製造時的液晶之流動會發生障礙。
凹部15的深度D宜為0.3μm以上。再者,凹部15亦可以在第3電極11的狹縫(未形成有透明導電膜的線狀或十字狀之圖案)來代替。
第2圖係顯示本實施形態之具備著色濾光片(彩色濾光片)層的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
液晶顯示裝置16具有以夾持液晶層4的形式,貼合陣列基板2與對向基板17之構成。
對向基板17係在透明基板9上,依順序形成黑色矩陣10、第3電極11、透明圖案41、具備著色濾光片(紅濾光片R、綠濾光片G、藍濾光片B)的著色濾光層18、透明樹脂層12、配向維持層13而構成。例如,於透明樹脂層12上,以約60nm的膜厚積層配向維持層13。黑色矩陣10與透明圖案41中的至少一者亦可作為著色濾光層18的一部分。透明圖案30上所形成的著色濾光片R、G、B,係以薄的膜厚平坦地形成。例如,透明圖案30的膜厚可為約0.6μm,透明圖案30上所重疊形成的著色濾光片R、G、B之部分可為約1.4μm,未形成透明圖案30的區域上所形成 的著色濾光片R、G、B之其他部分可為約2.0μm。
於形成著色濾光片R、G、B的平面區域之中,將形成有透明圖案41的平面區域當作動態顯示區域。另一方面,於形成著色濾光片R、G、B的平面區域之中,將未形成有透明圖案41的平面區域當作通常顯示區域。於本實施形態中,動態顯示區域係位於著色濾光片R、G、B的平面形狀之中央部。
著色濾光片(亦可稱為著色畫素)係在透明樹脂中分散有有機顏料之塗膜。著色濾光片係藉由微影法對單位次畫素或單位畫素形成圖案。於本實施形態中,著色濾光片含有紅濾光片R、綠濾光片G、藍濾光片B。著色濾光片的有效大小係與矩陣圖案的開口區域大致相同。
對向基板17係在與液晶層4相接的表面上,具有黑色矩陣10、第3電極11、著色濾光層18、透明樹脂層12、在積層有配向維持層13的位置之凸部14、與在開口區域中央線的位置之凹部15。
配向維持層8、13例如以約60nm的膜厚,形成在陣列基板2及對向基板17之與液晶層4相接的面上。於此第2圖中,省略偏光板、相位差板等。
於對向電極11上具備著色濾光層18的對向基板17中,著色濾光片R、G、B間的比介電常數之差若超過0.8或1.0,則在液晶顯示中會發生色不均或光漏。於本實施形態中,著色濾光片R、G、B的比介電常數,係藉由色劑的有機顏料之選擇、顏料比率、母材的樹脂、分散材、其他材料之選擇,可將比介電常數之值壓制在4以下。例 如,如後述,於綠濾光片G的有機顏料中,與鹵化銅酞花青綠色顏料比較下,鹵化鋅酞花青綠色顏料係較佳。藉由使用鹵化鋅酞花青綠色顏料於綠濾光片G的色材,可減小綠濾光片G的比介電常數,而容易使綠濾光片G的比介電常數之值與紅濾光片R及藍濾光片B的比介電常數之值一致。又,於液晶驅動中液晶的站起來,當在光的短波長側(藍濾光片B)快,在長波長側(紅濾光片R)慢時,可依照光的波長之順序來調整著色濾光片R、G、B的比介電常數之大小。又,與作為液晶顯示裝置16使用的液晶之介電常數各向異性△ε之值比較下,藉由更減小著色濾光片R、G、B的構成構件之比介電常數之值,可提供不對液晶驅動造成障礙的條件。於著色濾光片R、G、B之形成中,亦可使用感光性的丙烯酸樹脂。一般地,丙烯酸樹脂等的透明樹脂之比介電常數係約2.8左右。調査的結果,有機顏料的分散系之著色濾光片R、G、B的比介電常數之下限係約2.9。
本實施形態的液晶顯示裝置16之陣列基板2側的第1電極7及第2電極6之材料,例如可使用ITO等的導電性金屬氧化物薄膜。又,亦可使用導電性比金屬氧化物薄膜高的金屬薄膜來形成第1電極及第2電極。當液晶顯示裝置16為反射型或半透射型時,於第1電極7、第2電極6的任一者中,亦可使用鋁、鋁合金的薄膜。
第1電極7與第2電極6,係在厚度方向中被絕緣層53所電絕緣。著色濾光層18、透明樹脂層12及絕緣層53的厚度,係可按照液晶層4的厚度、介電常數、施加電壓、 驅動條件來調整。當絕緣層53為SiNx(氮化矽)時,此絕緣層53的實用膜厚之範圍,例如為0.1μm至0.6μm。第1電極7與第2電極6之膜厚方向的位置亦可為相反的位置。又,於本實施形態的液晶顯示裝置16中,為了更有效地利用斜電場,藉由在包含液晶層4及透明樹脂層12的膜厚方向中,擴大驅動電壓施加時的電力線之涉及範圍,可提高透過率。再者,藉由與導電性金屬氧化物的ITO具有低接觸性的鋁合金之單層來形成閘極配線及源極配線等信號線之技術,例如係揭示於特開2009-105424號公報中。於第1電極7上更積層絕緣層,有液晶驅動時的液晶燒灼(電荷的偏倚或蓄積所影響)之緩和效果而較佳。
本實施形態中,著色濾光片R、G、B的比介電常數係比較重要的特性,但不能藉由作為著色劑所添加的有機顏料相對於透明樹脂之比率來大致一概地決定。因此,極端大地調整比介電常數者會有困難。換言之,著色濾光片R、G、B中的有機顏料之種類或含量,係根據作為液晶顯示裝置16所必要的色純度來設定,因此亦大致決定著色濾光層18的比介電常數。再者,藉由提高有機顏料的比率,將著色濾光層18薄膜化,可使比介電常數成為4以上。又,藉由使用高折射率材料當作透明樹脂,可若干地提高比介電常數。
著色濾光層18及透明樹脂層12的厚度係在與液晶的晶胞間隙(液晶層4的厚度)之關係中最合適化。於必要的電特性之觀點中,例如當著色濾光層18及透明樹脂層12的厚度變薄時,可增厚液晶層4的厚度。當著色濾光層18 及透明樹脂層12的膜厚為厚時,對應於此,可減薄液晶層4的厚度。
於以下,對向基板17係在垂直方向中具備黑色矩陣10、第3電極11、著色濾光層18、透明樹脂層12、積層有配向維持層13的凸部14,具備通過開口區域的中央線部分之凹部15,液晶層4的介電常數各向異性為負,茲說明具備此對向基板17及液晶層4的液晶顯示裝置16之作用及效果。
第3圖係顯示在賦予預傾角之前,具備初期狀態為垂直配向的液晶之液晶顯示裝置16的一例之部分截面圖。於此第3圖中,顯示上述第2圖的綠濾光片G部分之左側一半。再者,此第3圖中沒有圖示的偏光板係形正交尼科耳。液晶顯示裝置16為常黑。偏光板例如係藉由將含有碘的聚乙烯醇系有機高分子予以延伸而生成,在延伸方向具有吸收軸。
第3圖係顯示配向處理前的垂直配向液晶(液晶分子)4a~4k之初期配向狀態。再者,凸部14的肩部分、凹部15的肩部分附近之液晶4a、4g係對於肩部分大概垂直地配向,在配向初期的階段賦予大一點的預傾角。藉由實行配向處理而成為配向維持層8、13的配向膜係約60nm的膜厚,形成陣列基板2及對向基板17之與液晶層4相接的面。第3圖中,省略偏光板、相位差板等。於以下的說明中,最接近配向維持層8、13的液晶係強烈地受到錨固作用,於液晶動作的說明上,由於此等液晶係不需要,故最接近的液晶係在第3圖中省略。
第4圖係顯示對液晶層4中所含有的液晶4a~4k已賦予預傾角的液晶顯示裝置16的一例之部分截面圖。於第4圖的液晶顯示裝置16中,對第3圖的配向維持層8、13,賦予大概0.4°至0.9°的預傾角θ之配向機能。因此,第3圖中已垂直配向的液晶4b~4f、4h~4k係在第4圖中具有低於1°的預傾角。
第5圖係顯示在對第1電極7施加液晶驅動電壓後立即之具備第4圖中所示的配向維持層8、13之液晶顯示裝置16的一例之部分截面圖。於此第5圖中,顯示單位次畫素或單位畫素的左一半之截面。對第1電極7施加液晶驅動電壓後不久,液晶4a~4k係倒向第5圖的箭號方向。
於此第5圖中,第2電極6及第3電極11係成為共通的電位。以驅動電壓施加為基礎,首先液晶4a、4h、4i開始倒下,接著此等液晶4a、4h、4i周邊的液晶係倒下。具體地,於凸部14的肩部分中,液晶4a係預先被預傾斜,而且由於在黑色矩陣10上形成有第3電極11,第1電極7與第3電極11之間的電極間距離係小,與單位次畫素或單位畫素的中央線部分不同,所施加的驅動電壓容易傳達至液晶4a。因此,凸部14的肩部分附近之液晶4a係成為對向基板17側的其他液晶之倒下動作的觸發。
陣列基板2側的液晶4h、4i,係在第1電極7與第2電極6之間側僅為絕緣層53之厚度(例如0.4μm),變成被有效地強之驅動電壓所施加,最初開始倒下。液晶4a~4k由於藉由配向維持層8、13稍微形成預傾角,以低的電壓容易倒下。因此,本實施形態的液晶顯示裝置16係提高 低電壓下的控制性,提高液晶4a~4k的響應性與中間調顯示性能。換言之,在第5圖中來自成為倒下之觸發的液晶4a、4h、4i,對其他液晶4b~4f、4j、4k的橫向倒下之傳播係顯著變快,響應速度升高。液晶4b~4f、4j、4k例如係如第2圖中所示的箭號,自單位次畫素或單位畫素的中央部起在兩端方向中以分為2部分的狀態快速地倒下。
第6圖係顯示在施加液晶驅動電壓後,經過一定時間後之液晶顯示裝置16的一例之部分截面圖。此第6圖由於顯示綠次畫素或綠畫素的左一半之截面,表示綠顯示的狀態。再者,於未具備著色濾光層18的對向基板17時,液晶4a~4k若倒下則成為白顯示。
第6圖中,透明圖案41係由透明樹脂所形成。透明圖案41係形成在形成有著色濾光片R、G、B的平面區域之中心部。將形成有此透明圖案41的平面區域當作動態顯示區域。另一方面,於著色濾光片R、G、B的平面區域之中,將形成有透明圖案41的區域當作通常顯示區域。著色濾光片R、G、B的動態顯示區域之膜厚係比著色濾光片R、G、B的通常顯示區域之膜厚還薄。因此,動態顯示區域的透光量係比通常顯示區域的透光量還多,可比通常顯示區域還明亮地顯示動態顯示區域。配置於動態顯示區域的液晶4f,係藉由與開口區域的外側之梳齒部7b不同的主動元件來驅動第1電極7的複數之梳齒部中的開口區域之內側的梳齒部7a,而可獨立地控制,可調整次畫素或畫素的明亮度。
雖然在上述第5圖及第6圖中未圖示,但於次畫素或 畫素的相反側(右側)之一半中,液晶的倒下方向係成為第5圖及第6圖的反向。於本實施形態中,在單位次畫素或單位畫素內的右一半與左一半,液晶的傾斜梯度成為相反,可確保廣視野角。
於本實施形態中,例如在單位次畫素或單位畫素內,藉由使梳齒狀電極的第1電極7與第2電極6之梳齒部的並排方向、或第2電極6的超出方向成為複數方向,可在單位次畫素或單位畫素內,形成配向方向不同的複數之液晶疇域,可增廣視野角。再者,第1電極7與第2電極6的重疊部2b係可作為輔助容量利用於液晶驅動。
第7圖至第9圖係顯示單位次畫素或單位畫素的平面形狀之第1至第3例的平面圖。
單位次畫素或單位畫素的平面形狀(由黑色矩陣所形成的開口區域之平面形狀),例如可成為如正方形、長方形、平行四邊形、「<」狀(V字狀或回飛鏢狀)之相對邊互相平行的多角形圖案。
第7圖至第9圖中顯示單位次畫素或單位畫素的平面形狀與第1電極7之關係。第7圖中為長方形狀的單位次畫素或單位畫素之平面圖之例。第8圖中為「<」狀的單位次畫素或單位畫素之平面圖之例。第9圖係平行四邊形的單位次畫素或單位畫素之平面圖之例。第7圖至第9圖的箭號表示液晶的倒下方向。第7圖至第9圖中,第1電極7的梳齒部之軸向係對於單位次畫素或單位畫素的側邊或長邊呈平行地形成。
為了實現液晶顯示的廣視野角,單位次畫素或單位 畫素的平面形狀較佳成為第8圖的「<」狀或第9圖的平行四邊形。
於單位次畫素或單位畫素中形成複數的主動元件,藉由各自的主動元件與梳齒形狀的畫素電極,可分割驅動單位次畫素或單位畫素,使用於視角控制或立體畫素顯示。「<」狀或平行四邊形的單位次畫素或單位畫素之組合,係對於此等單位次畫素或單位畫素的長邊方向,呈平行地配設畫素電極的梳齒部及共通電極的梳齒部。藉此,可在單位次畫素或單位畫素內,形成複數的疇域。可按照液晶的預傾角之形成方向來形成複數的疇域,而增廣視野角。按照共通電極對畫素電極在水平方向的超出方向,決定液晶的倒下方向,可形成複數的疇域,可增廣視野角。
藉由使單位次畫素或單位畫素的平面形狀例如成為「<」狀或平行四邊形狀,可形成配向方向不同的複數之液晶疇域。
以往,為了擴大視野角,形成複數的液晶疇域時,必須配向維持層的複數次。複數方向之摩擦、或複數次的光配向及自複數方向的光配向。然而,於本實施形態中,即使不實施複數次的配向處理,也可形成配向方向不同的複數之液晶疇域,可擴大視野角。
第10圖係顯示對單位次畫素或單位畫素所具備的複數之第1電極及複數之主動元件的一例之平面圖。
於此第10圖中,在單位次畫素或單位畫素內,配置梳齒的並排方向不同的複數之第1電極7。在複數之第1 電極7,電連接1個以上的主動元件19。於此第10圖中,在複數的各自之第1電極7,連接主動元件19。於單位次畫素或單位畫素中,複數之第2電極6對複數之第1電極7在水平方向之超出方向,係成為複數的方向。如此地,藉由在單位次畫素或單位畫素內實現複數的配向方向,可增廣視野角。
第11圖係顯示在第1電極7的液晶側之表面所形成的條紋(flaw line)之第1例的平面圖。
例如,當梳齒狀的第1電極7之寬度超過4μm時,或以對應於大型液晶顯示器或250ppi(pixel per inch)以下的畫素之方式,使用粗間距所形成的寬幅之第1電極7時,為了維持液晶分子的倒下容易性或液晶配向的不波動(fluctuation),可在第1電極7的表面(液晶側之面)上形成凹部或條紋。於第11圖之例中,在梳齒狀的第1電極7之表面上,以與第2電極6超出的方向實質上呈直角的方式,形成寬度1μm以下的1條以上之條紋71。
第12圖係顯示在第1電極7的液晶側之表面上所形成的條紋之第2例的平面圖。
例如,在梳齒狀的第1電極7之表面上,以與第2電極6超出的方向實質上呈平行的方式,形成寬度1μm以下的1條以上之條紋72。
條紋71、72係形成在第1電極7的表面上,藉此在第1電極7上所形成的配向膜或配向維持層中,出現作為條紋的紋理(texture)。具體地,當以如ITO的透明導電膜來形成第1電極7時,例如對於150nm的厚度之ITO的表面,以 線狀進行輕微蝕刻,形成20nm至40nm的深度、約1μm的寬度之條紋71、72。再者,藉由在第1電極7上,以50nm左右的薄之膜厚來形成配向膜或配向維持層,條紋71、72的紋理係出現在配向膜或配向維持層之面。條紋71、72之形成係可藉由20nm至40nm的深度之輕微蝕刻來實現,也可成為小於1μm寬度且50nm以上之深度。於俯視時,在第1電極7與第2電極6不重疊的部分中,以相當於透明導電膜之大致厚度的深度,形成條紋71、72,亦可在第1電極7中形成空隙。於截面看時,可在條紋71、72中形成錐形。藉由蝕刻等所形成的條紋之寬度,只要條紋的底部之寬度為1μm以下即可,形成條紋71、72間距例如可為2μm至10μm左右。
在第1電極7與第3電極(對向電極)11之間若產生斜電場,則藉由在第1電極7上形成與該第1電極7之長度方向呈平行或直角的條紋71、72,可使液晶分子在第1電極7上均一地倒下。於未形成條紋71、72的寬幅之第1電極7中,在該第1電極7的俯視中的角落部分與中央部分,發生液晶分子的倒下之不均衡,在第1電極7上及次畫素內變容易發生透過率的明暗及不均。如此的明暗及不均係成為次畫素的透過率降低之原因。此外,條紋71、72上部的液晶分子雖然為垂直配向,但也受到因條紋所出現的紋理之影響,而在低的電壓下容易倒下,可高速驅動。條紋71、72係對應於第1電極7的寬度,形成1條或複數條。當第1電極7的寬度為4μm以下的窄時,亦可不形成。
再者,於後述的第4實施形態中,說明一邊對第1電極7、第2電極6、第3電極11施加電壓,一邊照射光,使感光性的配向膜保持預傾斜,形成配向維持層之技術。藉由在畫素電極的第1電極7之表面上預先形成上述條紋71、72,更容易成為使感光性的配向膜均勻地形成預傾斜之配向維持層。
於以上所說明的本實施形態中,可提高液晶顯示裝置1、16的顯示精度,可將該液晶顯示裝置的製程簡單化。
於本實施形態中,可提高垂直配向液晶的低電壓側之中間調顯示及響應性。
於本實施形態的液晶顯示裝置1、16中,對液晶的施加電壓係作為等電位線之形狀均質擴展。因此,於對向基板3、17中,在第3電極11上積層透明樹脂層12與著色濾光層18中的至少一者作為介電體。於本實施形態,藉由等電位線均勻地擴展,可增大單位次畫素或單位畫素內的液晶之倒下,因此可提高透過率。
於本實施形態中,在對向電極3、17上積層透明樹脂層12與著色濾光層18中的至少一者作為介電體。於此構成中,管制液晶胞間隙的間隔物,係可藉由積層透明樹脂層12與著色濾光層18中的至少一者而形成。藉此,對向基板3、17變成不接於陣列基板2,可消除因對向短路所造成的亮度缺點,而且於本實施形態中,第3電極11亦可形成在靠近液晶層4的位置(例如比透明樹脂層12還靠近液晶層4側,或比著色濾光層18還靠近液晶層4側)。
[第2實施形態]
於本實施形態中,說明在上述第1實施形態所說明的綠濾光片G中較佳的綠色顏料。再者,以下的實施形態所示的組成含量係質量比,份係質量份。
(綠色顏料的比介電常數之測定)
綠色顏料的比介電常數係使用阻抗分析器,在電壓3V的條件下,以120、240、480Hz的頻率進行測定。測定試料係在形成有由鋁薄膜所成的導電膜之圖案的玻璃基板上,塗布綠濾光片G,成為硬膜(膜厚例如為2μm),再於綠濾光片G上形成由鋁薄膜所成的導電膜圖案。
對於使用以下所示之含有綠色顏料1的綠色組成物1、含有綠色顏料2的綠色組成物2、含有綠色顏料3的綠色組成物3而得之3種綠濾光片G,測定比介電常數。
(綠色顏料1之調製)
均勻攪拌混合下述的組成之混合物後,使用直徑1mm的玻璃珠,藉由砂磨機分散5小時後,以5μm的過濾器來過濾以製作紅色顏料1的分散體。
(綠色顏料2之調製)
使用下述的組成之混合物,藉由與綠色顏料1同樣的方法,製作綠色顏料2的分散體。
綠色顏料:C.I.顏料綠58 10.4份
(綠色顏料3之調製)
使用下述的組成之混合物,藉由與綠色顏料1同樣的方法,製作綠色顏料3的分散體。
(綠色組成物1之調製)
攪拌混合下述的組成之混合物直到變均勻後,以5μm的過濾器來過濾而生成製作綠色組成物1。
(綠色組成物2之調製)
除了使用綠色顏料2作為分散體以外,藉由與綠色組成物1同樣的組成及方法,生成綠色組成物2。
(綠色組成物3之調製)
除了使用綠色顏料3作為分散體以外,藉由與綠色組成物1同樣的組成及方法,生成綠色組成物3。
(綠色組成物1至綠色組成物3的比介電常數之比較)
表1中顯示綠色組成物1、綠色組成物2、綠色組成物3的比介電常數。
液晶顯示裝置16用的著色濾光層18之藍濾光片B中所用的藍色顏料、紅濾光片R中所用的紅色顏料之組成物的塗膜之比介電常數,由於可調整大概3.1至3.7之範圍,故作為綠濾光片G的主要綠色顏料,如上述第1實施形態所說明,鹵化鋅酞花青綠色顏料係比鹵化銅酞花青綠色顏料較合適。再者,所謂之主要綠色顏料,就是意味在綠濾光片G中最多含有的綠色顏料。
[第3實施形態]
以下,例示上述第1實施形態的對向基板3、17中所用的透明樹脂及有機顏料等。
(透明樹脂)
黑色矩陣10等的遮光層或著色濾光片R、G、B之形成時所用的感光性著色組成物,係除了顏料分散體,還含有多官能單體、感光性樹脂或非感光性樹脂、聚合引發劑、溶劑等。例如,將如感光性樹脂及非感光性樹脂 等之本實施形態可用的透明性高之有機樹脂總稱為透明樹脂。
作為透明樹脂,可舉出熱塑性樹脂、熱硬化性樹脂或感光性樹脂。作為熱塑性樹脂,例如可使用縮丁醛樹脂、苯乙烯-馬來酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、聚醋酸乙烯酯、聚胺基甲酸酯系樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸系樹脂、醇酸樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚醯胺樹脂、橡膠系樹脂、環化橡膠系樹脂、纖維素類、聚丁二烯、聚乙烯、聚丙烯、聚醯亞胺樹脂等。又,作為熱硬化性樹脂,例如可使用環氧樹脂、苯并胍胺樹脂、松香改性馬來酸樹脂、松香改性富馬酸樹脂、三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、酚樹脂等。熱硬化性樹脂係可使三聚氰胺樹脂與含有異氰酸酯基的化合物反應而生成。
(鹼可溶性樹脂)
於本實施形態所用的黑色矩陣10等之遮光圖案、透明圖案、著色濾光片R、G、B之形成中,較佳為使用可藉由微影術形成圖案的感光性樹脂組成物。此等透明樹脂宜為已賦有鹼可溶性的樹脂。作為鹼可溶性樹脂,可使用含有羧基或羥基的樹脂,也可使用其他樹脂。作為鹼可溶性樹脂,例如可使用環氧丙烯酸酯系樹脂、酚醛清漆系樹脂、聚乙烯酚系樹脂、丙烯酸系樹脂、含羧基的環氧樹脂、含羧基的胺基甲酸酯樹脂等。於此等之中,作為鹼可溶性樹脂,較佳為使用環氧丙烯酸酯系樹脂、酚醛清漆系樹脂、丙烯酸系樹脂,特佳為環氧丙烯酸 酯系樹脂或酚醛清漆系樹脂。
(丙烯酸樹脂)
作為本實施形態可適用的透明樹脂之代表,例示以下的丙烯酸系樹脂。
作為丙烯酸系樹脂,可使用例如(甲基)丙烯酸,(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸月桂酯等的(甲基)丙烯酸烷酯,(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯等之含羥基的(甲基)丙烯酸酯,(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸環氧丙酯等之含醚基的(甲基)丙烯酸酯,及(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯等之脂環式(甲基)丙烯酸酯等作為單體而得之聚合物。
再者,此處例示的單體係可單獨使用,或可併用2種以上。再者,丙烯酸樹脂係可使用與此等單體可共聚合的苯乙烯、環己基馬來醯亞胺及苯基馬來醯亞胺等的化合物之共聚物來生成。
又,例如藉由使(甲基)丙烯酸等之具有乙烯性不飽和基的羧酸共聚合所得之共聚物、與甲基丙烯酸環氧丙酯等之含有環氧基及不飽和雙鍵的化合物反應,亦可生成具有感光性的樹脂。例如,藉由對於甲基丙烯酸環氧丙酯等之含有環氧基的(甲基)丙烯酸酯之聚合物、或此聚合物與其他(甲基)丙烯酸酯之共聚物,附加(甲基)丙烯酸等之含有羧酸的化合物,可生成具有感光性的樹脂。
(有機顏料)
作為紅色顏料,例如可使用C.I.顏料紅7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、246、254、255、264、272、279等。
作為黃色顏料,例如可使用C.I.顏料黃1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、144、146、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等。
作為藍色顏料,例如可使用C.I.顏料藍15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等,於此等之中,較佳為C.I.顏料藍15:6。
作為紫色顏料,例如可使用C.I.顏料紫1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等,於此等之中,較佳為C.I.顏料紫23。
作為綠色顏料,例如可使用C.I.顏料綠1、2、4、7 、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55、58等,於此等之中,較佳為鹵化鋅酞花青綠色顏料的C.I.顏料綠58。
(遮光層之色材)
遮光層或矩陣圖案中所含有的遮光性色材,係藉由在可見光波長區域具有吸收而顯示遮光機能之色材。於本實施形態的遮光性色材中,例如可使用有機顏料、無機顏料、染料等。作為無機顏料,例如可使用碳黑、氧化鈦等。作為染料,例如可使用偶氮系染料、蒽醌系染料、酞花青系染料、醌亞胺系染料、喹啉系染料、硝基系染料、羰基系染料、次甲基系染料等。作為有機顏料,可採用前述的有機顏料。再者,遮光性成分係可使用1種,也可以適當的比率組合2種以上。又,藉由此等色材之表面的樹脂被覆,亦可進行高體積電阻化,相反地,藉由相對於樹脂的母材而言,提高色材的含有比率,而賦予若干的導電性,亦可進行低體積電阻化。然而,如此的遮光性材料之體積電阻值由於是約1×108 ~1×1015 Ω.cm之範圍,故不是影響透明導電膜的電阻值之程度。同樣地,遮光層的比介電常數亦可藉由色材的選擇或含有比率而在約3~20之範圍中調整。黑色矩陣10、著色濾光層18、透明樹脂層12的比介電常數係按照液晶顯示裝置1、16的設計條件及液晶驅動條件,可在前述比介電常數之範圍內調整。
[第4實施形態]
於本實施形態中,說明上述第2圖所示的液晶顯示裝 置16之具體例。液晶顯示裝置16的陣列基板2具備:透明基板40、電連接至氧化物半導體TFT(未圖示)的第1電極7、隔著第1電極7與絕緣層53配置的第2電極6。配向維持層8、13係形成在陣列基板2及對向基板17之接於液晶層4側的表面上。配向維持層8、13係藉由併用電壓施加與光照射之製造方法,對感光性的配向膜賦予預傾斜機能而形成。對配向維持層8、13賦予預傾角者,係對第1電極7、第2電極6、第3電極11施加液晶驅動電壓,如第4圖所示地在使液晶4a~4k傾斜的狀態下照射紫外光而進行。如第4圖所示,液晶4a~4k係在水平方向中倒向第2電極6自第1電極7超出的方向,預傾角的朝向係相對於梳齒部的並排方向,形成在第2電極6自第1電極7超出的方向。液晶層4含有介電常數各向異性為負的液晶。
(黑色矩陣10之形成) <黑色矩陣形成用之光阻>
作為遮光層的材料之黑色矩陣形成用光阻,係使用以下的材料來生成。
碳黑分散液
透明樹脂(固體成分56.1質量%)
光聚合性單體
引發劑
溶劑:丙二醇單甲基醚乙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯
均平劑
用以下的組成比,將此材料混合攪拌,而生成黑色 矩陣形成用光阻(固體成分中的顏料濃度:約20%)。
<黑色矩陣形成條件>
於無鹼玻璃的透明基板上,旋塗上述黑色矩陣形成用光阻,使乾燥而生成膜厚1.5μm的塗膜。將此塗膜在100℃乾燥3分鐘後,使用曝光用的光罩,使用超高壓水銀燈作為光源,進行200mJ/cm2 之照射。
其次,對基板,以2.5%碳酸鈉水溶液進行60秒之顯像,顯像後充分水洗基板,再乾燥後,對基板進行230℃、60分鐘的加熱處理,使硬膜而在基板上形成黑色矩陣10。第2圖中所示的黑色矩陣10之畫線寬例如約16μm。黑色矩陣的單位次畫素或單位畫素之平面形狀,例如可使用第7圖中所示的平行四邊形。
(對向電極11之形成)
使用濺鍍裝置,以覆蓋黑色矩陣10的圖案之全面的方式,形成0.14μm的膜厚的由ITO所成之第3電極11。
(透明圖案41之形成)
使用後述的感光性樹脂液A及具有對應於透明圖案 41的開口圖案之光罩,藉由照相法,在單位次畫素或單位畫素的平面之中央部(黑色矩陣10的開口區域之中央部),形成與黑色矩陣10平行的透明圖案41。例如當開口區域為平行四邊形狀時,透明圖案41成為平行四邊形狀。透明圖案41的膜厚例如約0.6μm。
(著色濾光片R、G、B之形成) <著色濾光片形成用分散液>
作為在著色濾光片R、G、B中分散的有機顏料,使用以下的顏料。
使用以上的顏料,生成紅色、綠色及藍色的各色分散液。
<紅色分散液>
均勻攪拌上述的組成之混合物後,使用玻璃珠,藉由砂磨機分散5小時,以5μm過濾器來過濾,而生成紅色分散液。
<綠色分散液>
對上述的組成之混合物,使用與紅色分散液同樣的生成方法,生成綠色分散液。
<藍色分散液>
對上述的組成之混合物,使用與紅色分散液同樣的生成方法,生成藍色分散液。
於曝光.顯像及硬膜後,各著色濾光片R、G、B的膜厚例如約2μm。
(透明樹脂層12之形成) <樹脂A之合成>
於可分離式燒瓶中,添加686質量份的丙二醇單甲基醚乙酸酯、332質量份的甲基丙烯酸環氧丙酯、6.6質量份的偶氮雙異丁腈,在氮氣環境下,以80℃加熱6小時,生成樹脂溶液。
其次,於樹脂溶液中,添加168質量份的丙烯酸、0.05 質量份的氫醌單甲基醚、05質量份的三苯基膦,邊吹入空氣邊以100℃加熱24小時,生成附加丙烯酸的樹脂溶液。
再者,於所生成之附加丙烯酸的樹脂溶液中,添加186質量份的四氫苯二甲酸酐,以70℃加熱10小時,生成樹脂A溶液。
<感光性樹脂液A之調製>
用以下的組成來調製負型的感光性樹脂液A。
使用上述的感光性樹脂液A及具有凹部圖案的光罩,藉由微影法,形成第2圖中所示之具備8μm寬度、深度0.5μm的凹部15之線狀圖案的透明樹脂層12。
(配向維持層13之形成)
對於對向基板17,形成配向維持層13者,係如後述。
(氧化物半導體TFT及陣列基板2之構成)
陣列基板2係在透明基板40的玻璃基板上,如第2圖所示,依順序具備絕緣層51、52、第2電極6、絕緣層53、第1電極7、配向維持層8。陣列基板2雖然未圖示,但具備對第1電極7施加液晶驅動電壓用之主動元件19、電連接至主動元件19之閘線及源線。
主動元件19例如具有底閘型頂部接觸蝕刻阻擋構造。
於主動元件19的製造中,首先藉由DC磁控濺鍍法形成140nm的ITO薄膜。其次,在著色濾光片R、G、B的各單位次畫素或單位畫素之位置,將ITO薄膜圖案化成所欲的形狀,形成閘電極及輔助電容電極。再於其上,使用電漿CVD法,以SiH4 、NH3 、H2 作為原料氣體,形成350nm的SiHX 薄膜,而成為透明的絕緣層之閘極絕緣膜。再者,作為通道層,使用InGaZnO4 靶,藉由DC濺鍍法形成40nm的非晶形In-Ga-Zn-O薄膜,圖案化成所欲的形狀,形成透明的通道層。更且,使用Si3 H4 靶,藉由RF濺鍍法,邊導入Ar及O2 邊形成SiON薄膜,圖案化成所欲的形狀,形成通道保護層。再者,藉由DC磁控濺鍍法形成140nm的ITO薄膜,圖案化成所欲的形狀,形成源.汲電極。
(配向維持層8、13之構成與製造方法)
配向維持層(已賦有預傾角的配向膜)8、13係各自形成在陣列基板2及對向基板17的表面。
於陣列基板2及對向基板17,印刷預先溶解在正甲基-2-吡咯啶酮與丁基溶纖劑之混合溶劑中的感光性聚有機矽氧烷與聚醯胺酸之混合的垂直配向劑,以形成垂直配向膜。印刷後的乾燥溫度為180℃,垂直配向膜的膜厚例如皆約60nm。
將含有3.6μm的球狀間隔物之環氧黏著劑作為液晶的密封部而印刷在對向基板17上,於此對向基板17的中央,滴下介電常數各向異性為負的液晶,以不使空氣進 入的方式來貼合陣列基板,形成液晶胞。此液晶胞係一次加溫至150℃為止,使液晶成為各向同性。
其次,一邊對陣列基板2的第1電極7施加交流電壓,一邊自透明基板40的玻璃面,而且自玻璃面的法線方向(與玻璃面垂直的方向),照射2000J/m2 的非偏光之紫外光。再者,第1電極6及第3電極11係成為0V的接地電位。
藉由驅動電壓的大小、電壓的賦予方法、紫外光的照射量、來自斜方向的偏光紫外光之併用等,將各種的預傾角賦予配向膜,可形成配向維持層8、13。於本實施形態中,陣列基板2上的配向維持層8之預傾角係大概0.4°至0.9°之範圍,朝水平方向中第2電極6自第1電極7超出的方向傾斜。
於已進行配向處理的液晶胞之兩面,黏貼偏光板,而形成液晶顯示裝置16。本實施形態的液晶顯示裝置16,在液晶驅動電壓無施加時的常黑下之光漏係幾乎沒有,可實現良好的黑顯示。
又,本實施形態的液晶顯示裝置16,由於採用第1電極7、第2電極6、第3電極11所造成的斜電場驅動方式,故即使配向維持層8、13的預傾角為微小,也可進行低電壓側的良好中間調顯示。
[第5實施形態]
於本實施形態中,說明上述第2圖的液晶顯示裝置16之變形例。
第13圖係顯示本實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
液晶顯示裝置20之對向基板21,係著色濾光層18和第3電極11的構成順序與第2圖的對向基板17調換。具體地,本實施形態的對向基板21,係在透明基板9的表面上形成黑色矩陣10,形成著色濾光層18,形成第3電極11,形成透明樹脂層12,形成配向維持層13。對向基板21所使用的材料及步驟條件係可與上述第2圖的對向基板18同樣。
[第6實施形態]
於本實施形態中,說明上述第2圖的液晶顯示裝置16之變形例。
第14圖係顯示本實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
於液晶顯示裝置22的對向基板23中,在著色濾光層18的中央線部形成凹部24之點,係不同於在透明樹脂層12的中央線部形成有凹部15但在著色濾光層18的中央線部未形成凹部15的上述第2圖之對向基板17。
凹部24係可藉由與上述第2圖的對向基板17之凹部15同樣步驟來形成。例如,在著色濾光層18的開口區域之縱中央部(單位次畫素或單位畫素圖案的中央線部),使用以半色調形成有透過率不同的線狀圖案之光罩,形成凹部24。
於本實施形態的對向基板23之製程中,可省略上述第2圖的對向基板17之製程所必要的透明樹脂層12之微影步驟。即,於本實施形態中,可在透明樹脂層12使用熱硬化的樹脂材料,僅藉由塗布與熱硬化來形成透明樹 脂層12。為了在著色濾光層18中形成凹部24,透明樹脂層12及配向維持層13係成為不埋沒此著色濾光層18的凹部24之程度的膜厚。
[第7實施形態]
於本實施形態,補充與上述第1圖的液晶顯示裝置1有關的說明。
上述第1圖的液晶顯示裝置1之對向基板3,係省略上述第2圖的液晶顯示裝置16之對向基板17的著色濾光層18之形成。此對向基板17例如係在以白黑顯示的小型攜帶機器為取向的液晶顯示裝置或以場順序法的彩色顯示用液晶顯示裝置中所具備。
液晶顯示裝置1,係除了著色濾光片形成的步驟以外,與上述第2圖的液晶顯示裝置16同樣地,使用陣列基板2、對向基板3、介電常數各向異性為負的液晶層4而晶胞化。於對向基板3側,印刷預先溶解在正甲基-2-吡咯啶酮與丁基溶纖劑之混合溶劑中的聚醯亞胺之垂直配向劑,以形成垂直配向膜。於陣列基板2側,印刷感光性聚有機矽氧烷與聚醯胺酸之混合的垂直配向劑,以形成垂直配向膜。
於上述第1圖的液晶顯示裝置1中,藉由與上述第2圖的液晶顯示裝置16同樣地進行液晶胞化,對電場下的液晶照射紫外線,對陣列基板2上的配向膜賦予預傾角,而形成配向維持層8。於本實施形態中,對向基板3的配向膜係不具有感光性。因此,於對向基板3中,未附加預傾角的垂直配向膜係成為配向維持層13。上述第1圖的黑 色矩陣10之開口區域的形狀,例如可成為第8圖中所示的「<」狀之圖案。
[第8實施形態]
於本實施形態中,說明上述第1圖的液晶顯示裝置1之變形例。
第15圖係顯示本實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
液晶顯示裝置25的對向基板26係不具備著色濾光層18。對向基板26例如係在以白黑顯示的小型攜帶機器為取向的液晶顯示裝置或以場順序法的彩色顯示用液晶顯示裝置中所具備
於對向基板26的透明樹脂層12中,不形成凹部15,作為其之替代,在第3電極11的中央線部形成狹縫(沒有透明導電膜的線狀開口部)27。狹縫27係在第3電極11的形成後,藉由使用蝕刻技術的微影法,形成在各單位次畫素或單位畫素的中央線部。配向維持層13之形成係與上述第1圖的情況同樣。
於本實施形態中,即使不設置凹部15,藉由設置狹縫27,也可得到與上述第1實施形態同樣之作用效果。
[第9實施形態]
於本實施形態中,說明使用採用反射偏光板的半透射型液晶顯示裝置,具備上述第1至第8的實施形態所說明之對向基板3、17、21、23、26之液晶顯示裝置。再者,關於不是半透射型液晶顯示裝置的其他液晶顯示裝置,亦可採用上述第1至第8的實施形態所說明之對向基板3 、17、21、23、26。
第16圖係顯示本實施形態的使用反射偏光板的半透射型液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。作為反射偏光板,例如可使用日本專利第4177398號公報中記載的反射偏光板。
此第16圖所示的液晶顯示裝置28,雖然具備上述第2圖中所示的對向基板17,但亦可使用上述各實施形態所說明的其他對向基板3、21、23、26。
在陣列基板2及對向基板17之接於液晶層4的側所形成的配向維持層8、13,係印刷形成有感光性聚有機矽氧烷與聚醯胺酸之混合的垂直配向劑之垂直配向膜。於配向維持層8、13,如上述,施加液晶驅動電壓而進行光配向處理。
液晶顯示裝置28具有使陣列基板2及對向基板17相向地配置,在陣列基板2與對向基板17之間夾持介電常數各向異性為負的液晶層4之構成。
於對向基板17的2個表面之中,在與液晶層4相反側的表面上,配置有光學補償層29及偏光板30。
於陣列基板2的2個表面之中,在與液晶層4相反側的表面上,依順序具備偏光板31、光擴散層32、反射偏光板33、光學補償層34、稜鏡片35、光擴散層36、導光板37、光反射板38。於導光板37上,例如具備LED等的光源39。
光源39宜為RGB個別發光元件,但亦可為模擬白色LED。又,代替LED,亦可使用冷陰極線管或螢光燈。使 用RGB個別發光元件作為光源39時,可每色個別地調整各自的發光強度,進行最合適的色顯示。又,於立體影像顯示或視野角控制中亦可採用RGB個別發光元件。藉由顯示畫面的區域控制來調整背光的明亮度而提高對比之技術的局部調光法,亦容易適用LED光源。於本實施形態中,藉由併用通常顯示區域與動態顯示區域,可提高畫質。於局部調光法中,不是如第16圖的邊緣光方式,藉由在液晶顯示裝置28的背面所配置的正下方型之背光方式來採用RGB個別發光元件,可以精細的區域控制來進行高畫質顯示。本實施形態的液晶顯示裝置28,係藉由使用使RGB個別發光元件與液晶動作同步的場順序法,而能彩色顯示。
再者,本實施形態的液晶顯示裝置28之單位次畫素或單位畫素的平面形狀,係以單位次畫素或單位畫素的平面中心為基準,可分為線對稱的2個區域或點對稱的4個區域。如上述第10圖中所示,例如藉由在單位次畫素或單位畫素中具備2個以上主動元件19與連接於此主動元件19的第1電極7,使用對每個主動元件19施加不同的電壓之驅動方式,可進行有效率的的視角調整或立體影像顯示。
於上述各實施形態的液晶顯示裝置1、16、20、22、25、28之製造方法中,藉由對第1電極7施加交流電壓,將第2電極6及第3電極11當作共通電位的接地,照射紫外光,而對配向維持層8、13形成預傾角。可按照液晶顯示裝置1、16、20、22、25、28的各種尺寸、所用的液晶 之材料特性、配向維持層8、13之形成時所配向膜等,適宜調整電壓的施加手法、光照射量、曝光的波長。例如,交流電壓亦可為非對稱性矩形波。又,關於液晶驅動電壓的施加,使第1電極7、第2電極6、第3電極11中的任一者成為浮動狀態,或使共通電位移動至正或負等的各種調整係可能。
於不改變本發明的宗旨之範圍內,上述的各實施形態係可進行各式各樣的變更而適用。
1‧‧‧液晶顯示裝置
2‧‧‧陣列基板
2a‧‧‧超出部
2b‧‧‧重疊部
3‧‧‧對向基板
4‧‧‧液晶層
6‧‧‧第2電極
7‧‧‧第1電極
8‧‧‧配向維持層
9‧‧‧透明基板
10‧‧‧黑色矩陣
11‧‧‧第3電極
12‧‧‧透明樹脂層
13‧‧‧配向維持層
14‧‧‧凸部
15‧‧‧凹部
16‧‧‧液晶顯示裝置
17‧‧‧對向基板
18‧‧‧著色濾光層
19‧‧‧主動元件
20‧‧‧液晶顯示裝置
21‧‧‧對向基板
22‧‧‧液晶顯示裝置
23‧‧‧對向基板
24‧‧‧凹部
25‧‧‧液晶顯示裝置
26‧‧‧對向基板
27‧‧‧狹縫
28‧‧‧液晶顯示裝置
30‧‧‧透明圖案
31‧‧‧偏光板
32‧‧‧光擴散層
33‧‧‧反射偏光板
34‧‧‧光學補償層
35‧‧‧稜鏡片
36‧‧‧光擴散層
37‧‧‧導光板
38‧‧‧光反射板
39‧‧‧光源
40‧‧‧透明基板
41‧‧‧透明圖案
51、52、53‧‧‧絕緣層
71、72‧‧‧條紋
4a~4k‧‧‧液晶
7a、7b‧‧‧梳齒部
第1圖係顯示第1實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
第2圖係顯示第1實施形態的具備著色濾光層之液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
第3圖係顯示於賦予預傾角之前,具備初期狀態為垂直配向的液晶之液晶顯示裝置的一例之部分截面圖。
第4圖係顯示對液晶已賦予預傾角的第1實施形態之液晶顯示裝置的一例之部分截面圖。
第5圖係顯示對第1電極施加液晶驅動電壓後立即的第1實施形態之液晶顯示裝置的一例之部分截面圖。
第6圖係顯示在施加液晶驅動電壓後,經過一定時間後的第1實施形態之液晶顯示裝置的一例之部分截面圖。
第7圖係顯示單位次畫素或單位畫素之平面形狀的第1例之平面圖。
第8圖係顯示單位次畫素或單位畫素之平面形狀的第2例之平面圖。
第9圖係顯示單位次畫素或單位畫素之平面形狀的第3例之平面圖。
第10圖係顯示對於單位次畫素或單位畫素所具備的複數之第1電極及複數之主動元件的一例之區塊圖。
第11圖係顯示在第1電極的液晶側之表面上所形成之條紋的第1例之平面圖。
第12圖係顯示在第1電極的液晶側之表面上所形成之條紋的第2例之平面圖。
第13圖係顯示第5實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
第14圖係顯示第6實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
第15圖係顯示第8實施形態的液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
第16圖係顯示第9實施形態之使用反射偏光板的半透射型液晶顯示裝置之構成的一例之部分截面圖。
1‧‧‧液晶顯示裝置
2‧‧‧陣列基板
2a‧‧‧超出部
2b‧‧‧重疊部
3‧‧‧對向基板
4‧‧‧液晶層
6‧‧‧第2電極
7‧‧‧第1電極
8‧‧‧配向維持層
9‧‧‧透明基板
10‧‧‧黑色矩陣
11‧‧‧第3電極
12‧‧‧透明樹脂層
13‧‧‧配向維持層
14‧‧‧凸部
15‧‧‧凹部
40‧‧‧通明基板
51、52、53‧‧‧絕緣層

Claims (16)

  1. 一種液晶顯示裝置,其係陣列基板與對向基板夾持液晶層而相向之液晶顯示裝置,其中該陣列基板具備:與主動元件電連接的梳齒狀之第1電極,隔著該第1電極與絕緣層所形成,梳齒狀且於梳齒的並排方向中含有自該第1電極超出的部分之第2電極,及形成在與該液晶層相接之面,於該梳齒的並排方向中,在該第2電極自該第1電極超出的方向中,對液晶給予預傾角之配向維持層;該對向基板具備在液晶驅動時於與該第1電極之間施加電壓之第3電極,且在與該液晶層相接的側之表面中,於單位次畫素或單位畫素的多角形圖案之相對的2邊部分具有凸部,於該2邊部分的中央部分具有凹部。
  2. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該超出方向係以該梳齒的並排方向中之單位次畫素或單位畫素的中心部作為邊界,互相相反的2個方向。
  3. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中於單位次畫素或單位畫素內,具有複數的該梳齒之並排方向。
  4. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該第1電極係在該液晶層側的表面上具有至少一條的條紋。
  5. 如申請專利範圍第4項之液晶顯示裝置,其中該條紋的長度方向係與該第2電極自該第1電極超出的方向呈垂 直或平行。
  6. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該液晶層含有垂直配向的液晶。
  7. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該主動元件係含有透明源電極、透明汲電極、透明間電極、透明絕緣層、含1種類以上之金屬氧化物的透明通道層之薄膜電晶體。
  8. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中單位次畫素或單位畫素的平面形狀係相對邊互相平行的多角形圖案。
  9. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該第3電極係由透明導電膜所形成,在單位次畫素或單位畫素的中央部具有線狀或十字狀的狹縫。
  10. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該對向電極更具備紅濾光片、綠濾光片、藍濾光片。
  11. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置,其中該綠濾光片含有鹵化鋅酞花青綠色顏料。
  12. 一種液晶顯示裝置之製造方法,其係陣列基板與對向基板夾持液晶層而相向之液晶顯示裝置的製造方法,其中該陣列基板具備:與主動元件電連接的梳齒狀之第1電極,隔著該第1電極與絕緣層而形成之第2電極,及形成在與該液晶層相接的面之配向膜;該對向基板具備在液晶驅動時於與該第1電極之 間施加電壓之第3電極,且在與該液晶層相接的側之表面中,於單位次畫素或單位畫素的多角形圖案之相對的2邊部分具有凸部,於該2邊部分的中央部分具有凹部;該方法係:對該第1至第3電極中的至少一者施加電壓,自該陣列基板中的不與該液晶層相接之側的表面來照射光,藉由該配向膜來生成:於該梳齒的並排方向中,在該第2電極自該第1電極超出的方向中,給予液晶的預傾角之配向維持層。
  13. 如申請專利範圍第12項之液晶顯示裝置之製造方法,其中該第1至該第3電極係藉由透明導電膜來形成。
  14. 如申請專利範圍第12項之液晶顯示裝置之製造方法,其中該主動元件係使用可見範圍為透明的複合金屬氧化物之氧化物半導體薄膜電晶體。
  15. 如申請專利範圍第12項之液晶顯示裝置之製造方法,其中該第2電極為梳齒狀,於梳齒的並排方向中,含有自該第1電極超出的部分。
  16. 如申請專利範圍第12項之液晶顯示裝置之製造方法,其中該液晶層含有介電常數各向異性為負的液晶。
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