TWI456189B - 基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法 - Google Patents

基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法 Download PDF

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Claims (19)

  1. 一種基板檢查裝置，係對可能於貼合第1基板層及第2基板層而形成之基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生的微小空洞檢查者，其包含有：照明單元，係將預定波長之檢查光照射成對前述基板之表面傾斜地入射者；線型感測器照相機，係夾著以前述檢查光形成於前述基板之帶狀照明區域且配置於與前述照明單元相反之側之預定位置者；移動設備，係使前述基板與前述線型感測器照相機及前述照明單元，在橫過前述帶狀照明區域之方向進行相對移動者；及圖像處理單元，係處理來自前述線型感測器照相機之影像信號者；該圖像處理單元具有：基板圖像資訊生成機構，係於以前述移動設備進行前述照明單元及前述線型感測器照相機與前述基板之相對移動之際，依據從前述線型感測器輸出之影像信號，生成顯示前述基板之圖像之基板圖像資訊者；及檢查結果資訊生成機構，係依據前述基板圖像資訊，生成對可能於前述基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生之微小空洞的檢查結果資訊者。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述線型感測器照相機設定成該線型感測器照相機之拍攝線為 從形成於前述基板之帶狀照明區域之照度分佈最大之帶狀部份往遠離前述照明單元之方向偏離預定距離的位置。
  3. 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述線型感測器照相機設定成該線性照相機之拍攝線為從形成於前述基板之帶狀照明區域之中心線往遠離前述照明單元之方向偏離預定距離的位置。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之基板檢查裝置，其中前述檢查結果資訊生成機構具有一機構，該機構係依據前述基板圖像資訊，檢測在該基板圖像資訊顯示之基板圖像中，對應於產生於前述第1基板層與前述第2基板層之界面之微小空洞的微小空洞部份者，並生成包含與所檢測出之前述微小空洞部份之形狀相關的資訊之前述檢查結果資訊。
  5. 如申請專利範圍第4項之基板檢查裝置，其中前述檢查結果資訊生成機構具有算出與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊以作為與前述微小空洞部份之形狀相關的資訊之機構，並生成包含與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊的前述檢查結果資訊。
  6. 如申請專利範圍第5項之基板檢查裝置，其中算出與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊的機構具有從所檢測出之前述微小空洞部份抽出環狀圖像部份之機構，並依據所抽出之前述環狀圖像部份之干涉條紋之形狀，算出與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊。
  7. 一種基板檢查方法，係對可能於貼合第1基板層及第2基板層而形成之基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生的微小空洞檢查者，其包含有：基板掃瞄步驟，係在照明單元將預定波長之檢查光照射成對前述基板之表面傾斜地入射之狀態下，使前述基板，與夾著以前述檢查光形成於前述基板之帶狀照明區域且配置於與前述照明單元相反之側之預定位置的線型感測器照相機及該照明單元，在橫過前述帶狀照明區域之方向進行相對移動者；基板圖像資訊生成步驟，係於進行前述基板與前述照明單元及前述線型感測器照相機之相對移動之際，依據從前述線型感測器輸出之影像信號，生成顯示前述基板之圖像之基板圖像資訊者；及檢查結果資訊生成步驟，係依據前述基板圖像資訊，生成對可能於前述基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生之微小空洞的檢查結果資訊者。
  8. 如申請專利範圍第7項之基板檢查方法，其中前述檢查結果資訊生成步驟具有一步驟，該步驟係依據前述基板圖像資訊，檢測在該基板圖像資訊顯示之基板圖像中對應於產生於前述第1基板層與前述第2基板層之界面之微小空洞的微小空洞部份者，並生成包含與所檢測出之前述微小空洞部份之形狀相關的資訊之前述檢查結果資訊。
  9. 如申請專利範圍第8項之基板檢查方法，其中前述檢查結果資訊生成步驟具有算出與前述微小空洞部份之厚 度相關之資訊以作為與前述微小空洞部份之形狀相關的資訊之步驟，並生成包含與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊的前述檢查結果資訊。
  10. 如申請專利範圍第9項之基板檢查方法，其中算出與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊的步驟具有從所檢測出之前述微小空洞部份抽出環狀圖像部份之步驟，並依據所抽出之前述環狀圖像部份之干涉條紋之形狀，算出與前述微小空洞部份之厚度相關之資訊。
  11. 一種基板檢查裝置，係對可能於貼合第1基板層及第2基板層而形成之基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生的微小空洞檢查者，其包含有：照明單元，係將預定波長之檢查光照射成帶狀且對前述基板之表面傾斜地入射者；線型感測器照相機及面型感測器照相機，係夾著以前述檢查光形成於前述基板之帶狀照明區域且於與前述照明單元相反之側以預定位置關係排列配置者；照相機調整設備，係使前述線型感測器照相機及前述面型感測器照相機一體地移動，而調整該線型感測器照相機及該面型感測器照相機對前述基板之前述帶狀照明區域之相對的位置及姿勢者；移動設備，係使前述基板與前述線型感測器照相機及前述照明單元在橫過前述帶狀照明區域之方向進行相對移動者；圖像處理單元，係處理分別來自前述面型感測器照 相機及前述線型感測器照相機之影像信號者；及顯示單元；前述圖像處理單元具有：面型圖像顯示控制機構，係依據來自前述面型感測器照相機之影像信號，使前述顯示單元顯示圖像者；基板圖像資訊生成機構，係於以前述移動設備進行前述照明單元及前述線型感測器照相機、與前述基板的相對移動之際，依據從前述線型感測器照相機輸出之影像信號而生成顯示前述基板之圖像之基板圖像資訊者，且前述線型感測器照相機係以前述照相機調整設備調整成與前述基板之前述帶狀照明區域成預定位置關係；及檢查結果資訊生成機構，係依據前述基板圖像資訊，生成對可能於前述基板之前述第1基板層與前述第2基板層之界面產生之微小空洞的檢查結果資訊者。
  12. 如申請專利範圍第11項之基板檢查裝置，其中前述面型感測器照相機與前述線型感測器照相機以拍攝方向相同之位置關係排列配置。
  13. 如申請專利範圍第12項之基板檢查裝置，其中前述面型感測器照相機與前述線型感測器照相機以前述面型感測器照相機之拍攝中心與前述線型感測器照相機之拍攝中心在同一線上之位置關係排列配置。
  14. 如申請專利範圍第13項之基板檢查裝置，其中前述照相機調整設備具有使前述線型感測器照相機及前述面型 感測器照相機一體地於前述基板之前述帶狀照明區域延伸之方向滑動之滑動設備。
  15. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中前述線型感測器照相機之對前述基板之前述帶狀照明區域之相對的位置，藉由前述照相機調整設備，調整成前述線型感測器照相機在前述基板之表面之拍攝線為從前述基板之前述帶狀照明區域之照度分佈最大的帶狀部份往遠離前述照明單元之方向偏離預定距離之位置。
  16. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中前述線型感測器照相機之對前述基板之前述帶狀照明區域之相對的位置，藉由前述照相機調整設備，調整成前述線型感測器照相機在前述基板之表面之拍攝線為從前述基板之前述帶狀照明區域之中心線往遠離前述照明單元之方向偏離預定距離的位置。
  17. 一種前述基板檢查裝置之調整方法，係如申請專利範圍第11至16項中任一項之基板檢查裝置之調整方法，其包含有：面型感測器照相機調整步驟，係一面使顯示單元顯示依據來自前述面型感測器照相機之影像信號之圖像，一面藉由前述照相機調整設備使前述面型感測器照相機及前述線型感測器照相機一體地移動，而調整該面型感測器照相機與該線型感測器照相機之對前述基板之前述帶狀照明區域的相對位置及姿勢，以使形成於前 述基板之帶狀照明區域之影像在前述顯示單元之畫面上之預定位置者；及線型感測器照相機調整步驟，係藉由前述照相機調整設備使前述線型感測器照相機及前述面型感測器照相機一體地移動，而使前述線型感測器照相機之對前述基板之前述帶狀照明區域的相對位置關係，與由前述面型照相機調整步驟所調整之前述面型感測器照相機對前述基板之前述帶狀照明區域的相對位置關係相同者。
  18. 如申請專利範圍第7項之基板檢查裝置之調整方法，其中應調整之基板檢查裝置係如申請專利範圍第14項之基板檢查裝置，前述線型感測器照相機調整步驟係以前述滑動設備使前述線型感測器照相機及前述面型感測器照相機一體地滑動，而使前述線型感測器照相機之對前述基板之前述帶狀照明區域之相對位置關係，與由前述面型照相機調整步驟所調整之前述面型感測器照相機對前述基板之前述帶狀照明區域之相對位置關係相同。
  19. 如申請專利範圍第17或18項之基板檢查裝置之調整方法，其中前述面型感測器照相機調整步驟具有：第1步驟，係以前述照相機調整設備使前述面型感測器照相機及前述線型感測器照相機一體地移動，以使前述面型感測器照相機之拍攝中心為前述基板之前述帶狀照明區域之照度分佈為最大之帶狀部份的位置者；及 第2步驟，係以前述照相機調整設備使前述面型照相機感測器及前述線型感測器照相機一體地移動，以使前述面型感測器照相機之拍攝中心為往遠離前述照明單元之方向偏離預定距離之位置者。
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