TWI447882B - 包括混合框架面板的互連構造 - Google Patents

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Donald Stephen Bitting
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Gen Electric
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Description

包括混合框架面板的互連構造
本發明包括有關於一互連結構之實施例。特別是，本發明之實施例係有關於包括一框架面板的互連結構。
將例如半導體晶片、分散型被動元件、球柵陣列(BGA)載體等電子裝置、或其他電子元件接合到印刷電路板、基板、互連結構或軟性電路上係通常利用焊錫或黏膠來完成。在一區域陣列的焊錫接合組件中，可以經由加溫使焊錫回焊(該焊錫遇冷將固化)的方式製造該電性連結。在應用例中該電子裝置的熱膨脹係數(CTE)不相近匹配於附著基板的熱膨脹係數之時，熱循環會施加應力於該焊錫接合點而產生焊錫疲勞破壞。克服此問題的方法係將一聚合物樹脂底層填充物例如填充環氧樹脂包覆於該焊錫接合點，以釋放該焊錫接合點的應力。該類底層填充物可藉由施加液態樹脂於構件之一邊或多邊上並使樹脂藉由毛細力作用而流到該構件下方。
在目前的嵌埋式晶片製程，稱為嵌入式晶片組裝技術(Embedded Chip Build-Up,ECBU)或是晶片首次組裝技術(Chip First Build-Up,CFBU)，裸晶片的封裝係與周長或周邊的輸入/輸出(I/O)焊墊或是與分布於上表面的I/O焊墊陣列為之以形成一高密度的互連結構，而不需要焊錫接合點或線路接點。ECBU或是CFBU製程可以用於形成一晶片載體以互運一複雜半導體晶片於較大的接觸焊墊，該接觸焊墊能相容於板材水平組件例如印刷電路板。該互連結構可以包括一基底絕緣層。該基底絕緣層可以支撐位於其上之金屬化選擇層。假如有一支撐結構提供剛性給該基底絕緣層，該支撐結構係能夠抵抗該互連結構的可靠度測試，像是以應力、溫度、溼度為基準的測試。
期望能具有一項或多項與目前電子裝置不同性質或特性的電子裝置。
在一實施例中，本發明提供一電子構件。該電子構件包括具有第一表面及第二表面之一基底絕緣層；至少一電子裝置，具有第一表面及第二表面，其中該電子裝置係貼合於該基底絕緣層；至少一I/O接點位於該電子裝置的第一表面上；且一框架面板界定有一孔，其中該電子裝置係配置於該孔內，且該框架面板係一多功能結構具有包含有第一材料之第一區域，其中該第一區域的表面係貼合於該基底絕緣層；以及第二區域包含有第二材料，其中該第一材料與該第二材料係相互不同且對於該基底絕緣層具有不同的黏著度。
在一實施例中，一電子構件係包括具有第一表面及第二表面之一基底絕緣層；一電子裝置具有第一表面及第二表面，且該電子裝置係貼合於該基底絕緣層；一第一I/O接點位於該電子裝置的該第一表面；且一框架面板界定有一孔，其中該電子裝置係配置於該孔內，且該框架面板係為一多功能結構，具有一第一區域貼合於該基底絕緣層，其中該第一區域係定義為對於該基底絕緣層具有相對高的吸附性或黏著性；且一第二區域對於該基底絕緣層具有相對低的吸附性或黏著性，但是相較該第一區域，具有相對高的尺寸穩定性、應力阻抗、溫度或濕度阻抗。
本發明包括有關於一互連結構之實施例。特別是，本發明之實施例係有關於包括一框架面板的互連結構。
如圖1所示，係為一電子構件10包括有具有第一表面14及第二表面16之一基底絕緣層12。一電子裝置18係固定至該基底絕緣層。該電子裝置係具有第一表面20及第二表面22。至少一個I/O接點24係位於該電子裝置的第一表面上。一框架面板26包括由第一材料組成之第一區域28以及由第二材料組成之第二區域30。該第一材料與該第二材料係相互不同。該框架面板之第一區域的表面係固定至該基底絕緣層。該框架面板亦包括至少一孔，其中該電子裝置係配置於該孔內。
該基底絕緣層是由一電絕緣材料所形成。此外，該基底絕緣層可以是聚合物薄膜，使得一導電性材料能夠固定至該基底絕緣層。作為基底絕緣層使用的合適材料可以包括聚醯亞胺(polyimide,PI)、聚醚醯亞胺(polyetherimide)、聯二苯環丁二烯(benzocyclo-butene,BCB)、液晶聚合物(Liquid Crystal Polymer)、雙順丁醯二酸醯亞胺/三氮樹脂(BT樹脂)、環氧樹脂或矽氧樹脂其中之一或更多。商業上可獲得之適合作為基底絕緣層的材料可以包含有KAPTON H聚醯亞胺或KAPTON E聚醯亞胺(由E.I.du Pont de Nemours & Co.製造)、APICAL AV聚醯亞胺(由Kanegafugi化學工業公司製造)、UPILEX聚醯亞胺(由UBE工業公司製造)、以及ULTEM聚醯亞胺(由GE公司製造)。在所示實施例中，該基底絕緣層為充分固化的KAPTON H聚醯亞胺。
該基底絕緣層可以形成一互連結構、軟性電路、電路板、或其他結構。該互連結構可安裝且互連於一個或多個電子裝置。關於一實施例，做為該基底絕緣層的選擇性質包括彈性模數、和提供在處理期間最小尺寸變化的熱和溼膨脹係數。為了維持撓性，該基底絕緣層的厚度可以最小化。該基底絕緣層一定要具有足夠剛性(歸因於厚度、支持結構或是材料特性)以選擇性地支撐金屬化層，該金屬化層係位於該基底絕緣層之第一表面及第二表面上。
關於該基底絕緣層的厚度，可以參考終端使用之應用、電子裝置的數量與種類及其他而選擇合適的厚度。該厚度可大於約10微米。該厚度可小於約50微米。在一實施例中，該基底絕緣層的厚度係為從約10微米到約20微米、從約20微米到約30微米、從約30微米到約40微米、從約40微米到約50微米的範圍內，或是大於約50微米。關於該基底絕緣層係一電路板的實施例中，其適合的厚度可以根據該電路板的層數。該電路板的層數通常從約2層到約50層之間，其中每層的厚度大概是約100微米。
如圖1所示，該電子裝置的第一表面可以是該裝置的作用表面，且一個或多個I/O接點位於該作用表面上。位於該電子裝置上之I/O接點的例子包含有焊墊、針、凸塊及焊球。在所示實施例中，該I/O接點為I/O焊墊。其它合適的電子裝置可以是已封裝或是未封裝的半導體晶片，例如微處理器、微控制器、影像處理器或是特殊應用積體電路(ASIC)；分散型被動元件；或是BGA載體。在一實施例中，該電子裝置係為一半導體矽晶片，具有一I/O接觸焊墊陣列位於其第一表面上。
在一實施例中，該框架面板係具有一第一表面32及一第二表面34。該電子裝置的第一表面及該框架面板的第一表面係固定至該基底絕緣層的第二表面。該基底絕緣層可以用一黏著層36接合於該框架面板及該電子裝置。該黏著層包含熱固性黏著劑。合適黏著劑的例子可以包括熱固性聚合物。合適的熱固性聚合物可以包括環氧樹脂、矽氧樹脂、丙烯酸酯(acrylate)、氨基甲酸乙酯(urethane)、聚醚醯亞胺或是聚醯亞胺。合適的商業上可購得之熱固性黏著劑可以包括聚亞醯胺，例如CIBA GEIGY 412(由Ciba Geigy所製造)、AMOCO AI-10(由Amoco化學公司所製造)，以及PYRE-MI(由E.I.du Pont de Nemours & Co所製造)。CIBA GEIGY 412的玻璃轉脆溫度係為約360℃。其他合適的黏著劑可以包含熱塑性黏著劑、水凝固性黏著劑、空氣凝固性黏著劑，以及熱凝固性黏著劑。
該黏著層的厚度可以大於約5微米。在一實施例中，該黏著層的厚度範圍是從約5微米到約10微米、從約10微米到約20微米、從約20微米到約30微米、從約30微米到約40微米、從約40微米到約50微米，或是大於約50微米。
參考圖2a及2b，該框架面板之一表面上界定有一孔或開口42，該孔或開口係用於基底絕緣層上的每一電子裝置位置。該框架面板上每一開口的x方向尺寸及y方向尺寸係大於該電子裝置約0.2 mm(毫米)到約5 mm的範圍內。
在製造該互連結構期間，該框架面板能夠穩定該基底絕緣層，且在處理過程中可以增加該基底絕緣層之未封裝表面的平面度。該框架面板可以是該互連結構中一相對永久的構件。如圖2(a)所示，該框架面板可能大到足以包含複數孔，其中每一孔係用於在該基底絕緣層上不同的電子裝置位置，且藉此該框架面板能夠提供穩定性以及增加平面度給該複數電子裝置位置。或者，該框架面板包含單個孔，且設計該孔的尺寸，使其能夠提供穩定性以及增加平面度給該基底絕緣層上之單個電子裝置位置。
該框架面板上的該第一區域與該第二區域係包含不同的材料。該框架面板上的第一區域與第二區域在功能上係相互不同，且該等區域的材料選擇係根據被排除的功能。在一實施例中，該第一區域相較於該第二區域係定義為對於該基底絕緣層具有相對高的吸附性或黏著性。該第一區域的材料選擇則可以根據黏著劑、該基底絕緣層、黏著的方法、製造參數及其他。該第二區域相較於該第一區域，對於該基底絕緣層具有較低的吸附性或黏著性。但是該第二區域具有相對較高的尺寸穩定性，或是對應力、溫度、或溼度的阻抗。該第二區域的材料選擇可以根據製程條件、使用條件、以及其他考量。
更進一步地，該框架面板上的該第一區域可以包括能夠促進該框架面板接合到該基底絕緣層的材料，如圖1所示。在一實施例中，該第一區域可以是聚合物材料。合適的無機材料可以包括陶瓷材料、玻璃材料、氧化物或是氮化物。合適的聚合物材料可以包括聚醯亞胺、環氧樹脂、混合環氧樹脂及其二類或多類的組合物。在一實施例中，該第一區域係包含聚醯亞胺。該聚合物材料可能包括了一類或多類的強化填充物。此填充物可能包括纖維材料或是小型無機顆粒材料。合適的纖維材料可能是玻璃纖維或是碳纖維。合適的顆粒材料可以包括碳化矽、碳化硼、或是氟化鋁。在另一實施例中，該第一區域可以是一無機材料。可以使用添加劑或表面處理法(用於該框架面板及該基底絕緣層)以改變及控制該框架面板之第一區域與該基底絕緣層的黏著交互作用。
該框架面板的第二區域係包含一實施例中可以增加該框架面板的強度及耐久度的材料。該第二區域的材料可以讓該框架面板具有所要求的熱膨脹係數、剛性、模數或是熱傳導度。該第二區域的合適材料可以包含金屬或陶瓷。在一實施例中，該第二區域的材料可以包含金屬，該金屬選自鈦、鐵、銅、錫、或其中二種、或其中多種金屬的組合物。或者，該金屬可以是合金或是金屬複合材料，例如不銹鋼或銅/因瓦合金/銅複合材(Cu：Invar：Cu)。在一實施例中，該第二區域的材料係包含銅。該框架面板區域得以成型之特定材料組合的選擇可以從根據該框架面板的特定設計所要求的熱膨脹係數、模數、熱傳導係數、剛性、表面黏著度或其他所要求的機械性質。
該框架面板的熱膨脹係數會大於約3 ppm/℃。該框架面板的熱膨脹係數會小於約20 ppm/℃。在一實施例中，該框架面板的厚度係相同於或相近於該電子裝置的厚度。
在本發明之一實施例中，該框架面板上的第一區域及第二區域係為個別的一層，其中該二層是接合在一起(見圖1及2(b))。該框架面板可以視需求而包含多過二層。該附加層可以包含相似於或不同於該第一區域及該第二區域所包含的材料。在另一實施例中，該第二區域係為一層，且該第一區域係為在該層上的部份鍍層或全部鍍層。在另一實施例中，該第二區域係為一層，且該第一區域包含位於該第二區域之表面上的複數片段。或者，該第一區域可以包含位於該第二區域層內的複數片段，其中一或多片段的表面是暴露於該框架面板的第一表面上。在另一實施例中，該第一區域係為一層，該第二區域包含位於該第一區域層上方或內部的複數片段。以上所述之二實施例中，該第一區域之片段的一表面係接觸於該基底絕緣層以提供黏著度。
該第一區域的一表面可以暴露於該框架面板的第一表面上，該第一區域表面以便能夠接合於該基底絕緣層。如以上所述，該第一區域的表面可以經由機械、化學或物理上的改變以進一步地增強並改善其對於該基底絕緣層黏著的能力。
該框架面板合適厚度的選擇係相關於終端使用之應用、所要求的剛性程度、電子裝置種類與數量以及其他。該厚度可以大於約2微米。該框架面板的厚度可以小於約50微米。在一實施例中，該框架面板的厚度係從約50微米到約100微米，從約100微米到約200微米，從約200微米到約400微米，從400微米到約800微米，或大於約800微米。
假如該框架面板的第一區域及/或第二區域係各為一層，則該第一區域層或第二區域層的厚度可以大於約0.1微米。該厚度可小於約100微米。在一實施例中，該層的厚度係從約0.1微米到約1.0微米、從約1微米到約10微米、從約10微米到約100微米、或是大於約100微米。
在一實施例中，導電連結係位該電子裝置與該基底絕緣層之間，如圖1所示。明確地，一電性連接係存在於位於該電子裝置之I/O接點與該基底絕緣層上之電導體44之間。
參考圖1，合適的電導體可位於該基底絕緣層上，該等合適的電導體包括焊點、針、凸塊及焊球。該基底絕緣層與該電子裝置之間的電性連結可以是一結構，該結構的選擇係根據應用例之特定參數。例如，可以用焊球形成導電路徑。額外的電性連結的例子包括是穿過該基底絕緣層與該黏著層到達該電子裝置上I/O接點的孔、通孔、或洞46。在一實施例中，可設計該洞的尺寸，以便其能夠成為微洞。假如需要，接觸線、電源平面、接地平面係位於該基底絕緣層的該第一表面上。
參考號碼48所指示的導電材料可以配置於該洞中，該洞延伸到該電子裝置的I/O接點及該基底絕緣層的第一表面上。該導電材料可以是一金屬或是一導電聚合物。合適導電材料的例子可能包含環氧樹脂、聚碸(polysulfone)或是聚胺基鉀酸乙脂(polyurethane)等能夠容納金屬顆粒填充物的材料。合適的金屬顆粒包括銀與金。其他合適的金屬材料可以包括鋁、銅、鎳、錫與鈦。可以使用固有的導電聚合物材料，而不使用填充聚合物材料。合適的導電聚合物材料包括聚乙炔(polyacetylene)、聚砒咯(polypyrrole)、聚塞吩(polythiophene)、聚苯胺(polyaniline)、聚芴(polyfluorene)、聚-3-六塞吩(poly-3-hexylthiophene)、聚萘(polynaphthalenes)、聚苯硫醚(poly-p-phenylene sulfide)及聚苯乙烯(poly-p-phenylene vinylene)。假如有指定黏度及穩定性，該固有導電聚合物材料可能會添加一導電填充物，以進一步增加導電性。假如該導電材料為金屬，該導電性材料會以金屬態出現於該基底絕緣層的第一表面上，及位於延伸到該電子裝置的I/O接點之洞的暴露表面上(見圖1)。
與一或多複雜電子裝置的互連包括半導體晶片，例如微處理器、影像處理器以及ASICs等，可以需要一附加的互連層以完整地安排出所有所需的晶片I/O接點。對於這些電子裝置，一或多的附加互連層可以存在於該基底絕緣層的第一表面上。對於許多沒有很複雜接線的簡單電子裝置而言，只需要一層的互連層就足夠。
參考圖3，多層互連層相互配合以形成一互連組件50。每一層附加的互連層包含附加絕緣層52，具有第一表面54及第二表面56。每一層附加的互連層係經由黏著層58接合於前一層互連層。例如，一附加絕緣層52接合於該基底絕緣層的該第一表面。本發明所使用的合適黏著劑包含上文中所提到的那些合適黏著劑的材料。
或者，該附加絕緣層52可以是一自黏聚合物，能夠直接接合於前一層互連層的上表面。合適的自黏聚合物包括環氧樹脂。此外，該附加絕緣層可以是於液態使用且能夠就地固化的聚合物，因此直接與前一層互連層接合。用來做為自黏附加絕緣層的合適材料可包括一類或多類的聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聯二苯環丁二烯(BCB)、液晶聚合物、雙順丁醯二酸醯亞胺/三氮樹脂(BT樹脂)、環氧樹脂或是矽氧樹脂。
位於該附加絕緣層上的該電導體44係導電連接前一層絕緣層上的電導體。例如，洞可以延伸過一附加絕緣層及該黏著層58到達該基底絕緣層上選定的電導體，如圖3所示。如前文所述，導電性材料可以配置在洞中，該洞延伸至該基底絕緣層上的電導體且到該附加絕緣層第一表面上。在一實施例中，該導電性材料會以金屬態位於該附加絕緣層上，如同前文所述以作為該第一互連層。
該互連組件具有第一表面62及第二表面64。介電遮罩材料或是焊料遮罩材料可以配置於該互連組件的第一表面上，使得金屬接觸線不易起化學變化，以及界定出用於組件上或是封裝I/O接點上的接觸焊墊(見圖1及圖3)。該封裝I/O接點可以附加像是鈦：鎳：銅等金屬沉積物到暴露在外的接觸焊點上，以增加I/O接點的強韌度。該I/O接點可以具有針、焊球、或是附加於針或焊球上的引線、或是自成焊墊陣列。圖3描述一具有焊球69陣列的互連組件例如格狀球型陣列。其它的互連結構亦可以使用。例如，一互運組件可以具有針的陣列，例如針格陣列。
如圖1及圖3中所示，密封材料70可以配置於該電子裝置的周圍部分，以保護該電子裝置及該互連結構免於受到溼氣及熱-機械應力的影響。該基底絕緣層及暴露在外的電子裝置的密封可以利用密封材料以完全埋置該基底絕緣層及該電子裝置。在另一實施例中，該基底絕緣層及暴露在外的電子裝置可能會被部分密封，以埋置該基底絕緣層及該部分的電子裝置。
密封材料可以使用包括熱塑性及熱固性聚合物。合適的酯族聚合物及芳香族聚合物可以包括聚醚醯亞胺、丙烯酸酯、聚氨酯、聚丙烯、聚碸、聚四氟乙烯、環氧樹脂類、聯二苯環丁二烯(BCB)、以及經室溫硫化處理(RTV)的矽氧樹脂、氨基鉀酸酯、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、矽氧樹脂以及其他。在一實施例中，該密封材料歸因於現有相對低的固化溫度，係為一熱固性材料。該密封性材料可以包括一填充材料。該填充材料的種類、尺寸及多寡可以用於改變不同成形材料的性質，如熱傳導度、熱膨脹係數、黏度以及吸濕度。例如，這些材料可能包含顆粒、纖維、網、墊，或是無機顆粒的板材。合適的填充材料可以包含玻璃、矽、陶瓷、碳化矽、鋁、氮化鋁、氮化硼、鎵或是其他的金屬、金屬氧化物、金屬碳化物、金屬氮化物、金屬矽化物。其他合適的填充材料可以包含碳基材料。
一間隙或溝槽可以存在於每一個框架面板開口的內邊緣和配置於該開口中電子裝置的外邊緣之間。此間隙中可以是空的，或是完全地或部分地被密封材料所填滿。位於該框架面板開口的內邊緣和該電子裝置的外邊緣的該間隙，可以被部分填滿，俾使10%到90%的間隙被填塞。
參考圖3，一蓋板/散熱板72可以接合於該電子裝置的該第二表面，以對該電子裝置提供熱保護。該蓋板/散熱板是用一熱界面材料(TIM)74做接合。該蓋板/散熱板也可以經由黏著層76接合於該框架面板的該第二表面。或者，具有約5瓦到約100瓦或更高發熱量的高功率電子裝置運作期間，該電子裝置的背面可能暴露在外以利散熱。
本文中描述的實施例為具有根據本發明之申請專利範圍中所詳述的元件的組合物、結構及系統的例子。此書面描述可以使得該技術領域中的熟習技藝者能夠製造及使用實施例，該實施例係具有與申請專利範圍中所詳述的要件相似的替代要件。因此本發明的範圍包括與該申請專利範圍中相同文字語言的組合物、結構、系統以及方法，並且更進一步地包括與該申請專利範圍中實質性相同的文字語言的其他結構、系統以及方法。然而文中只有說明及描述某些特定的特徵及實施例，許多修正及改變會發生於相關技藝中的習知技術，本附加的專利申請範圍會防護所有像這樣的修正及改變。
10．．．電子構件
12．．．基底絕緣層
14．．．基底絕緣層之第一表面
16．．．基底絕緣層之第二表面
18．．．電子裝置
20．．．電子裝置之第一表面
22．．．電子裝置之第二表面
24．．．接點
26．．．框架面板
28．．．框架面板之第一區域
30．．．框架面板之第二區域
32．．．框架面板之第一表面
34．．．框架面板之第二表面
36．．．黏著層
42．．．孔
44．．．電導體
46．．．洞
48．．．導電材料
50．．．互連組件
52．．．附加絕緣層
54．．．附加絕緣層之第一表面
56．．．附加絕緣層之第二表面
58．．．黏著層
62．．．互連組件之第一表面
64．．．互連組件之第二表面
68．．．焊料遮罩材料
69．．．焊球
70．．．密封材料
72．．．蓋板/散熱板
74．．．熱界面材料
76．．．黏著層
圖1係為根據本發明之一實施例所製造的互連結構的剖面側視圖。
圖2(a)係為一框架面板的俯視圖。
圖2(b)係為一框架面板的剖面側視圖。
圖3係為根據本發明之一替代實施例所製造的互連組件的剖面側視圖。
10．．．電子構件
12．．．基底絕緣層
14．．．基底絕緣層之第一表面
16．．．基底絕緣層之第二表面
18．．．電子裝置
20．．．電子裝置之第一表面
22．．．電子裝置之第二表面
24．．．接點
26．．．框架面板
28．．．框架面板之第一區域
30．．．框架面板之第二區域
32．．．框架面板之第一表面
34．．．框架面板之第二表面
36．．．黏著層
44．．．電導體
46．．．洞
48．．．導電材料
68．．．焊料遮罩材料
70．．．密封材料

Claims (7)

  1. 一種電子構件，包含：一基底絕緣層(12)，具有第一表面(14)及第二表面(16)；至少一電子裝置(18)，具有第一表面(20)及第二表面(22)，該第二表面(22)相反於且平行於該第一表面(20)，其中該電子裝置(18)的該第一表面(20)係固定至該基底絕緣層(12)的該第二表面(16)；至少一輸入/輸出接點(24)，位於該電子裝置(18)的第一表面(20)上；以及一框架面板(26)，界定有一孔(42)，其中該電子裝置(18)係配置於該孔(42)內，且該框架面板(26)係一多功能結構，該框架面板(26)包括：一第一區域(28)，包含有一第一材料，其中該第一區域(28)的一表面係固定至該基底絕緣層(12)；以及一第二區域(30)，包含有一第二材料，其中該第二區域(30)的一表面固定至該第一區域(28)，且該第一區域(28)和該第二區域(30)之間沒有一***區域；其中該第一材料與該第二材料係彼此不同，且該第一材料的黏著性大於該第二材料的黏著性；其中建構該框架面板(26)使得該孔(42)延伸成完全穿過該第一區域(28)和該第二區域(30)，且進一步 建構該框架面板(26)使得當該電子裝置(18)被放置在該框架面板(26)的該孔(42)內時，該電子裝置(18)的第二表面(22)被暴露。
  2. 根據申請專利範圍第1項之電子構件，其中該第一區域(28)係包含陶瓷、玻璃、氧化物或氮化物。
  3. 根據申請專利範圍第1項之電子構件，其中該第二區域(30)係包含環氧樹脂、聚醯亞胺或是其他聚合物。
  4. 根據申請專利範圍第1項之電子構件，其中該第一區域(28)係為一層狀物。
  5. 根據申請專利範圍第1項之電子構件，其中該第二區域(30)係一層狀物。
  6. 根據申請專利範圍第5項之電子構件，其中該第一區域(28)呈一部份鍍層或是一全部鍍層的形式，且配置於該第二區域(30)的一表面上。
  7. 一電子構件，包含：一基底絕緣層(12)，具有第一表面(14)及第二表面(16)：一電子裝置(18)，具有第一表面(20)及第二表面(22)，該第二表面(22)相反於且平行於該第一表面(20)，且該電子裝置(18)的該第一表面(20)係固定至該基底絕緣層(12)的該第二表面(16)；一第一輸入/輸出接點(24)，位於該電子裝置(18)的第一表面(20)上；以及 一框架面板(26)，界定有一孔(42)，其中該電子裝置(18)係配置於該孔(42)內，且該框架面板(26)係缺乏任何電路的一多功能結構，且具有：一第一區域(28)，係固定至該基底絕緣層(12)；以及一第二區域(30)，直接固定至該第一區域(28)，相較於該第一區域(28)，該第二區域(30)具有對於該基底絕緣層(12)的較低吸附性或黏著性，但是相較於該第一區域(28)，該第二區域(30)具有較高的尺寸穩定性，或應力阻抗、溫度阻抗或濕度阻抗，其中建構該框架面板(26)使得該孔(42)延伸成完全穿過該第一區域(28)和該第二區域(30)，且進一步建構該框架面板(26)使得當該電子裝置(18)被放置在該框架面板(26)的該孔(42)內時，該電子裝置(18)的第二表面(22)被暴露。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120314390A1 (en) * 2010-03-03 2012-12-13 Mutual-Tek Industries Co., Ltd. Multilayer circuit board
JP5607447B2 (ja) * 2010-07-22 2014-10-15 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 回路装置
US8623699B2 (en) 2010-07-26 2014-01-07 General Electric Company Method of chip package build-up
US8872340B2 (en) * 2012-07-17 2014-10-28 SK Hynix Inc. Substrate for semiconductor package which can prevent the snapping of a circuit trace despite physical deformation of a semiconductor package and semiconductor package having the same
JP6465340B2 (ja) * 2014-11-05 2019-02-06 日立化成株式会社 ケイ素を含む基板を用いた半導体装置の製造方法
US9853011B2 (en) * 2016-03-29 2017-12-26 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure and method for manufacturing the same
US10651160B2 (en) * 2017-03-20 2020-05-12 Qualcomm Incorporated Low profile integrated package

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200524119A (en) * 2003-09-15 2005-07-16 Ibm Integrated electronic chip and interconnect device and process for making the same
TW200638499A (en) * 2005-04-26 2006-11-01 Phoenix Prec Technology Corp Carrying structure of electronic component
US20070212813A1 (en) * 2006-03-10 2007-09-13 Fay Owen R Perforated embedded plane package and method

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3436819A (en) * 1965-09-22 1969-04-08 Litton Systems Inc Multilayer laminate
US4246595A (en) * 1977-03-08 1981-01-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronics circuit device and method of making the same
US4722914A (en) * 1984-05-30 1988-02-02 Motorola Inc. Method of making a high density IC module assembly
US4566186A (en) * 1984-06-29 1986-01-28 Tektronix, Inc. Multilayer interconnect circuitry using photoimageable dielectric
EP0774888B1 (en) * 1995-11-16 2003-03-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd Printed wiring board and assembly of the same
US5869894A (en) * 1997-07-18 1999-02-09 Lucent Technologies Inc. RF IC package
SE513352C2 (sv) * 1998-10-26 2000-08-28 Ericsson Telefon Ab L M Kretskort och förfarande för framställning av kretskortet
US6734534B1 (en) * 2000-08-16 2004-05-11 Intel Corporation Microelectronic substrate with integrated devices
US6586822B1 (en) * 2000-09-08 2003-07-01 Intel Corporation Integrated core microelectronic package
US6894399B2 (en) * 2001-04-30 2005-05-17 Intel Corporation Microelectronic device having signal distribution functionality on an interfacial layer thereof
KR100394809B1 (ko) * 2001-08-09 2003-08-14 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 그 제조 방법
US7183658B2 (en) * 2001-09-05 2007-02-27 Intel Corporation Low cost microelectronic circuit package
FI115285B (fi) * 2002-01-31 2005-03-31 Imbera Electronics Oy Menetelmä komponentin upottamiseksi alustaan ja kontaktin muodostamiseksi
FI119215B (fi) * 2002-01-31 2008-08-29 Imbera Electronics Oy Menetelmä komponentin upottamiseksi alustaan ja elektroniikkamoduuli
JP2003282774A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Kyocera Corp 配線基板およびその製造方法
US6838776B2 (en) * 2003-04-18 2005-01-04 Freescale Semiconductor, Inc. Circuit device with at least partial packaging and method for forming
FI20031341A (fi) 2003-09-18 2005-03-19 Imbera Electronics Oy Menetelmä elektroniikkamoduulin valmistamiseksi
JP2005158770A (ja) * 2003-11-20 2005-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層基板とその製造方法及び前記積層基板を用いたモジュールの製造方法とその製造装置
JP4639600B2 (ja) * 2004-02-04 2011-02-23 凸版印刷株式会社 半導体パッケージ
TWI236122B (en) * 2004-02-27 2005-07-11 Via Tech Inc A low thermal expansion build-up layer packaging and a method to package a die using the same
US6974724B2 (en) * 2004-04-28 2005-12-13 Nokia Corporation Shielded laminated structure with embedded chips
TWI237883B (en) * 2004-05-11 2005-08-11 Via Tech Inc Chip embedded package structure and process thereof
FI117812B (fi) 2004-08-05 2007-02-28 Imbera Electronics Oy Komponentin sisältävän kerroksen valmistaminen
JP4528062B2 (ja) * 2004-08-25 2010-08-18 富士通株式会社 半導体装置およびその製造方法
TWI264094B (en) * 2005-02-22 2006-10-11 Phoenix Prec Technology Corp Package structure with chip embedded in substrate
US7829386B2 (en) * 2005-08-17 2010-11-09 General Electric Company Power semiconductor packaging method and structure
US8049338B2 (en) * 2006-04-07 2011-11-01 General Electric Company Power semiconductor module and fabrication method
US7810648B2 (en) 2006-06-21 2010-10-12 Tylinter, Inc. Screen assembly for separating material according to particle size
JP2008010705A (ja) * 2006-06-30 2008-01-17 Phoenix Precision Technology Corp チップ埋め込み基板のパッケージ構造
TWI308382B (en) * 2006-07-25 2009-04-01 Phoenix Prec Technology Corp Package structure having a chip embedded therein and method fabricating the same
US7830004B2 (en) * 2006-10-27 2010-11-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Packaging with base layers comprising alloy 42
TWI352406B (en) * 2006-11-16 2011-11-11 Nan Ya Printed Circuit Board Corp Embedded chip package with improved heat dissipati
TWI327363B (en) * 2006-11-17 2010-07-11 Unimicron Technology Corp Carrier structure for semiconductor chip and method for manufacturing the same
TWI366896B (en) * 2006-11-30 2012-06-21 Carrier structure embedded with chip and method for fabricating thereof
US7598610B2 (en) * 2007-01-04 2009-10-06 Phoenix Precision Technology Corporation Plate structure having chip embedded therein and the manufacturing method of the same
TWI452661B (zh) * 2007-01-30 2014-09-11 線路直接連接晶片之封裝結構
US20080318413A1 (en) * 2007-06-21 2008-12-25 General Electric Company Method for making an interconnect structure and interconnect component recovery process
US20090028491A1 (en) * 2007-07-26 2009-01-29 General Electric Company Interconnect structure

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200524119A (en) * 2003-09-15 2005-07-16 Ibm Integrated electronic chip and interconnect device and process for making the same
TW200638499A (en) * 2005-04-26 2006-11-01 Phoenix Prec Technology Corp Carrying structure of electronic component
US20070212813A1 (en) * 2006-03-10 2007-09-13 Fay Owen R Perforated embedded plane package and method

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