TWI377353B - Correcting circuit and testing device - Google Patents

Description

1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正曰期101年5月7日 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種修正電路以及測試裝置。特別是關 於一種生成針對所給予的輸入信號，來生成強調了規^的 信號成分之輸出信號的修正電路’以及利用該修正電路對 被測試元件進行測試的測試裝置。 【先前技術】 作為對半導體電路等被測試元件進行測試的裝置，可 以考慮一種對被測試元件供給測試信號，並對被測試元件 所輸出的被測定信號進行測定之測試裝置。例如，可根據 是否輸出正常的被測定信號，而判定被測試元件的好壞。 在測試裝置和被測試元件之間，設置有傳送信號的 送路徑。但是，由於該傳送路徑存在電阻、容量等:所以 信號波形會發生劣化。針對這種問題，已知有一種用於生 成對例如應輸入到被測試元件的測試信號的波形， 償了傳送路徑中的損失之顺信號的技術（例如，參照 利文獻1，日本專利早期公開之特開2〇〇6 —3371奶號八 報）。而且，還可以考慮對從被測試元件所接收的信號= 償傳送路徑中的損失之技術。 補 作為損失補償的方式 可以考慮生成與原信號的浊报 相稱的修球號’並·i錢加在驗虹。例如，葬 由生成原信號賴分触，並依據傳祕徑巾的旦二 放大微分波形，可生成修正信號。 、里 但是’在使微分波形的放A率變化的情況下在修正 1377353 28793pifl 修正日期1〇1年5月 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 ^號^所杨的Μ成分有時也產生魏 正㈣加在眉信號上而生成輸出信號時 ^‘ = 成分合依播斜八、士 W ΑΑ 4丄* 和出h藏的直流 ^刀θ依據心波_放大率而變動，使修 唬的直流電壓精度劣化。 曼的輸出^ 在對差動信號補償傳送路損失時’是對 差動k號中的非反轉信號及反轉信號分別 = =此時’如因例如生成各個修正信號的元件 異荨’而使各瓣正錢的直流成分產生差显 ^ ^ 的差動信號的直流電壓精度會劣化。 、正後 【發明内容】 因此，本發明提供—種能夠解決上述的修 以及測试裝置，麵由巾請專利範_獨立項所記述之 而達成。而且’從屬項規定本發明的更加有利的 為了解決上輕題，本發_第1雜提供-種終正 電路。，為-種用於域針對所給予的輸入信號強調了财 的、號成分之輸仏號的修正電路，包括：第丨偵 其侧輸入信號的波形；放大部，其將第i 所； 的波形進行放大；修正域生成部，其抽出放大放^ 的波形的交流成分而生成修正信號；輸出信號生成部，豆 在輸入信號的波形上重疊修正信號而生成輸出信號。-本發明的第2形態提供-種測試裝置，為-種對被測 試元件進行測試的測試裂置，包括：測試信號生成部，直 生成用於輸入到被測試元件的測試信號；修正電路，宜對 1377353 28793pifl 禺第97125968號中文說明書無劃線修正本 λ 修正曰期101年5 月7曰 測試信號生成部所生成的測試信號，強調規定的信號成 分，並輸入到被測試元件；測定部，其測定被測試^依 據測試信號所輸出的被測定信號；判定部，其根據蜊定^ 的測定結果，判定被測試元件的好壞；而且，修正電路包 括.第1偵測部，其偵測測試信號的波形；放大部，其將 第1偵測部所偵測的波形進行放大；修正信號生成部其 生成將放大部所放大的波形的交流成分抽出之修正信號 輸出信號生成部，其在測試信號的波形上重疊修正信號， 並輸入到被測試元件。 °… 本發明的第3形態提供一種測試裝置，為—種對被測 試兀件進行測試的測試裝置，包括：測試信號生成部，其 生成用於輸入到被測試元件的測試信號；修正電路，其接 收被測試元件依據測試信號所輸出的被測定信號，並取得 被測定信號的電壓準位是否較預先所確定的電壓準位大之 ΐ較結ί，且對被測定信號的傳送路徑中的損失進行補 償；判定部，其根據修正電路所取得的比較結果，而判定 被測試元件的好壞；而且，修正電路包括測部， 其偵測被測定錢的波形；放大部，其將第1制部所偵 測的波形進行放大；修正信號生成部，熱出放大部所放 3波形的交流成分而生成修正信號；輸出信號生成部， 信號的波形上重疊修正信號；比較結果生成 U據輸出信號生成部所生成的信號，生成比較結果。 W另外、、上述發明的概要並未列舉本發明全部的必要特 ί ’且上述必要特徵的子集也可形成發明。 6 丄J / / jj:) 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年5月7日 【實施方式】 以下’通過發明的實施形騎本發叫 態並不對關於申請專利範圍的發: :實施形態中所說明之 也未必是發_解決方法所必須的。 圖1所示為修正電路200之構成的—個

= 對給予的輸入信號強調規定的信號成二 之輸出#相電路。例如，修正電路· 輸入:號的衰減’而生成強調所給=2 t ΐ 信號。修正電路_包括第1 _部 、G正域生成部230、放大部25G及輪出信號生成部 /U 0 第1偵測部21(Μ貞測輸入信號vin的波形。本例的第 1 Up 210 包括電晶體（transist〇r) 214 ' 電晶體 、 $體220、電晶體222、電阻212及電阻叫。電晶體μ

=基極端（base)接收輸入信號偷。藉此而偵測輸入信號 Vin的波形。 電晶體220是使集極端（c〇Uect〇r)與電晶體214的 射極端（emitter)相連接，而對基極端賦予規定的電壓乂卜 而且’電阻212是連接在電晶體22〇的射極端與電源線 VEE之間。亦即’冑晶體220及電阻212是作為流過與電 壓VI相稱的電流之電流源而發揮機能。 電晶體218在基極端接收預先所確定的基準電壓 Vref’並流過與基準電壓Vref^g稱的射極電流。而且，電 7 ^/7353 修正曰期101年5月7曰 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 晶體218可與電晶體214並列設置，並具有與電晶體214 相同的特性。 電晶體222是使集極端與電晶體218的射極端相連 接。而且，電晶體222的基極端是與電晶體22()的基極端 相連接，並賦予規定的電壓Vb而且，電阻216是連接在 電晶體222的射極端與電源線Vee之間。電晶體222可與 電晶體220具有大致相同的特性，電阻216可與電阻212 具有大致相同的電阻值。在這種情況下，電晶體222及電 阻216與電B曰體220及電阻212具有大致相同的電流。 ,修正信號生成部230生成用於強調輸入信號Vin的波 形之修正信號。例如，修正信號生成部23〇可抽出電晶體 214所侧的輸人信號Vi n的交流成分〗a，並將該交流成 分la作為修正信號Ia。修正信號生成部23〇可利用電壓作 號所賦予的輸人信號Vin，使電容器（_de_) 232 ^ 放電，並將由此所得_電流信號，作為交流成分h而抽 本例的修正信號生成部23〇在電晶體214的射極端和 電晶體218的射極端之間，具有串聯連接的 電阻236。 〇σ 久 ^器232使電晶體214的射極電流的交流 過。而且，電容器232可使電容器214的射 率成分通過，且上述解成分是與電阻212的= 谷益232的容量、電阻236的電阻值等相稱。例如，電容 益232可使電容器214的射極電流的波形的微分波形通過。 28793pifl 修正曰期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 作為具體例子，在輸入信號Vin的電壓值變動的情況 下，修正信號生成部230是從電晶體214側向電晶體2 8 :，流過與輸入信號的變動相稱的電流Ia。此 晶體220生成-^的電流，所以，電晶體214的射極電流 依據供給到修正信號生成部23〇的電流Ia而增加。同樣， 電晶體218的射極電流依據從修正信號生成部23〇所接收 的電流la而減少。 例如，在電晶體214中，流過在電晶體22〇所生成的 一定電流上加上修正信號（電流Ia)之射極電流。而且， 在電晶體218 t，流過從電晶H 222所生成的一定電流中 減去修正信號（電流la)之射極電流。 兩放大部250藉由放大電晶體214及電晶體218的射極 電流而放大修正信號，並供給到輸出信號生成部7(^本例 2放大部250包括電流源260、電晶體乃6、電阻252、電 晶體258、電阻254、電流源270、電晶體266、電阻262、 電晶體268及電阻264。 電流源260、電晶體256、電阻252、電晶體258及電 阻254，是藉由以規定的放大率將加上了修正信號之電晶 體214的射極電流進行放大，而調整修正信號的振幅。在 ，例中，是藉由調整修正信號（電流Ia)分別被分配到電 b曰體256及電晶體258的比例，並取出電晶體256中所流 過的電流，而生成調整了振幅的修正信號。在這種情況下， 上述的放大率可小於1。 電晶體256的射極端通過電阻252，與電晶體214的 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7曰 爲第97125968娜文晒書M線修正本 集極端相連接。而且，電晶體258的射極端通過與電阻乃2 $歹:i設置的電阻254 ’而與電晶體214的集極端連接。在 電晶體256的集極端和電源線vcc之間設置有電流源 260。電晶體258的集極端是與電源線VCc相連接。 在這種構成中，藉由調整在電晶體256的基極端上所 施加的電壓V3及在電晶體258的基極端上所施加的電壓 =2 ’可調整電晶體214的電流中的，流過電晶體攻的電 流1b的比例。亦即，藉由調整電壓V2及V3的比率，可 使電晶體214的射極電流，以小於等於！的任意的放大率 而流過電晶體256。放大部250是將從電流源26〇所生成 的一疋電流中減去電晶體256中所流過的電流比之電流， 作為反轉修正信號12而供給到輸出信號生成部7〇。 同樣’電力il源270、電晶體266、電阻262、電晶體268 及電阻264將電晶體218的射極電流進行放大，其中，該 射極電流是利用修正信號生成部230減去了修正信號。電 晶體218、放大部250中的電流源270、電晶體266、電阻 262、電晶體268及電阻264的連接關係，是與電晶體214、 放大部250中的電流源260、電晶體256、電阻252、電晶 體258及電阻254的連接關係相同。 另外，對電晶體266的基極端賦予電壓V3，並對電晶 體268的基極端賦予電壓V2。亦即，由電晶體266及電晶 體268所形成之修正信號la的放大率’是與電晶體256及 電晶體258所形成之修正信號ia的放大率大致相同地進行 控制。而且，放大部250將從電流源270所生成的一定電 ^77353 28793pifl 修正日期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 流中，減去電晶體266中所流過的電流Ic之電流，作為修 正信號II而供給到輸出信號生成部7〇。 ^ 輸出信號生成部70輸出根據從放大部25〇所賦予的修 正#號II及反轉修正信號12’而強調了輸入信號Vin的波 形=輸出信號Voutl及Vout2。例如，輸出信號生成部7〇 7藉由在與輸入信號Vi n相稱之電流的波形上重疊修正信 旒II的波形，再將該電流波形轉換為電壓波形，從而生成 輪出佗唬VouU。同樣，也可藉由在與輸入信號Vin相稱 <電流的反轉波形上重疊反轉修正信號12的波形，再將該 $流波形轉換為電壓波形，從而生成輸出信號VGut2。藉 由這種構成’可在差動的輸出信號中，生成補償 ς 设中的損失之波形。 圖2所示為輸出信號生成部7〇之構成的一個例子。輸 出信號生成部70具有第2偵測部72及重疊部86。第 ，部72彳貞職人錢Vin，並生成與輸人錢相稱的差動 ^號:本例的第2偵測部72具有電流源74、電流源％、 1差動電晶體78、第2差動電晶體8〇、電晶體8 源84。 电 第1差動電晶體78在基極端接收輸入信號Vin。第2 端^ ίΐ 8〇與第1差動電晶體78並列設置，並在基極 接收/照電壓Vref。電晶體82的集極端是與第丄差 ^曰體78的射極端及第2差動電晶體80的射極端連接。 且在電晶體82的基極端上，賦予一定電壓^，且 電晶體82的射極端和電源線VEE之間設置有電流源84。 11 修正曰期101年5月7曰 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正$ 亦即’電晶體82規定名笛1 & _ 从 疋在弟1差動電晶體78及第2差 動電晶體80中所流過之雷户的知7ι €/爪的和。例如，在輸入電壓Vi 增加的情況下’在第1差動雷曰辦^〇 & 、至動电日日體％令所流過的電流，依 據輸入电壓Vin而增加。而且，力穿1、， 而且在弟2差動電晶體80中所 流過的心，依據第1差動電晶體78的電流增加而減少。 藉此2構成，可生成具有輸人信號％的波形及反轉波 形的差動信號。 :二第1差動電晶體78的集極端是通過電流源74 而與相連接’第2差動電晶體8㈣集極端是 通過電ϋ 76而與電源線vcc相連接。而且，從電流源 74所生^ H射減去在第1絲電晶體78中所流 過的電抓之電流’是作為輸人信號的反轉波形心傳送到 重4部:6。而且，從電流源76所生成的—定電流中減去 在第2差動電晶體8G巾所流過的電流之電流是作為輸入 信號的波形le而傳送到重疊部％。 重疊。P 86根據修正信號及反轉修正信號，強調第2 偵測部72所伯測到之差動信號的規定的信號成分。例如， 重4486可||*在第2仙部η所偵測_輸入信號的 波形1e上重疊修正錢11 ’而生成輸出信號V〇Utl。而且， 重卜M6可藉由在帛2 >f貞測部72所偵測到的輸入信號的 反轉波形id上重疊反轉修正信號12，而生成輸出信號 V〇ut2 〇 本例的重叠部86具有第i修正部4〇— i及第2修正部 40-2。第1修正部40-i依據第旧射電流㈤丽currem， 28793pifl 修正曰期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 二正L戒II)’修正第2偵測部72所偵測之輸人信號的波 例如，第i修正部々Μ可在輸入信號的電流波形 k上加上第i鏡射電Μ。而且，第i修正部可將 所生成的電流波形轉換為電壓波形而輸出。 ⑴正部4G —2依鮮2鏡射電流（反轉修正信號 U第2偵測部72所_到的輸入信號的反轉波形以 。例如1 2修正部4q_2可在輪人信號的反轉 心波形Id上加上第2鏡射電、流12。而且，帛2修正部 40 2可將所生成的電流波形轉換為電壓波形而輸出。 第1修正部40-1具有電晶體9〇及電阻94。電晶 9〇是，過_予騎極端上的，加上了輸人信號的非反轉 波形1e及修正韻12的電流相稱之電流。而且，在電曰曰 體90的基極端上賦予一定電壓V4。 曰曰 電阻94疋设置在電晶體9()的集極端和電源線 且94生成與電晶體90中所流過的電流波形相稱的 電£波形’並作為輪出信號v〇utl輸出。在本例中 體90的集極電壓是作為輸出信號V(mti輸出。利用這種^ =可生成_了輸人信號的波形的規定信號成分之輸 第2修正部4G-2具有電晶體88及電阻92 88是與電晶體90並列設置。而且，電晶體88與電晶二〇 具有大致相_特性較佳。電晶體88是在射極端接收加 上了輸入㈣的反轉波形Id及反轉修正錢ΐ2的電流。 而且，在電晶體88的基極端上，賦予與電晶體90相同的 13 28793pifl 修正日期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無gK線修i丨 一定電壓V4。 ^且92設置在電晶體88的集極端和電源線咖之 =電阻92^錢料晶體88的電流_彡相稱的電壓 ，並作為輸出信號Vout2而輪出。在本例中，電=體 的集極電屢是作為輸出信號v〇m2輸出。藉由這種構 =可生成_了輸人信號的反轉波形的規定信號成分之 輸出k號。 圖3所示為修正電路2〇〇之動作的一個例子。如上所 述二對修正電路細賦予因傳送路徑而導致了衰減的輸入 2 #'Vin。例如’目3所說明的例子是矩形波（以波浪線 表不）的輪入信號Vin的高頻成分在傳送路徑等中產生衰 減’並形成實線所示的波形之情況。 义 例如，在根據輸入信號vin的電壓準位是否較規定的 參照值Vref大，而偵測輸入信號Vin的邊緣時序（以驭 tunmg)之情況下，由於上述傳送路徑中的損失，會對原 輸入信號的邊緣時序產生誤差（ΔΤ1)。修正電路2⑻藉 由補償輪入信號的損失，而減輕邊緣時序的誤差。 如上所述’修正信號生成部23〇抽出輸入信號vin的 交流成分而生成修正信號Ia。修正信號生成部23〇可具有 與傳送路徑的時間定量相稱的時間定量。 而，，修正信號生成部230所生成的修正信號Ia及其 反轉信號，在玫大部250中被調整為任意的振幅，形成修 ^信號II及反轉修正信號12。此時，修正信號n的直流 %壓準位α和反轉修正信號12的直流電壓準位沒理想上 1377353 28793pifl 修正曰期1〇1年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 是變得相同。 而且’第2偵測部72偵測輸入信號的非反轉波形Ie 及反轉波形id。然後，重疊部86從在非反轉波形Ie上加 •^，正仏號II的電流中，生成輸出信號v〇utl。而且，重 $部86從在反轉信號Id上加上反轉修正信號12的電流 中’生成輸出信號Vout2。 藉由從該差動信號（Voutl、Vout2)的交叉點測定輸 入佗號的邊緣時序，可減輕對原輸入信號的邊緣時序之誤 差（ΔΤ2)。但是，由於第1偵測部21〇及放大部25〇中 的各個電晶體及電阻的特性的差異，難以完全相同地控制 修正信號II及反祕正錢12的直流電鲜位。而且， 在使放大冑250的放大率變化的情況下，修正信號n及反 轉修正彳5號I2的直流電壓準位的差也會產生變動。 、在故種情況下’輸出信號生成部70所輸出之信號的直 流電壓準位，會依據修正信號u及反轉修正信號η的直 流電壓準位之差的㈣而崎變動。@此 號的直流誤差。 所示為輸出信號生成部顺輸出之輪出信號的波 形的其它例子。如上所述，在修正信號η的直流電壓準位 α和反轉修正錢12的錢f 出信號產咖物目 的時序等的蚊誤差（ΛΤ3)也會增大。例如乂又點 圖5所示為關於本發明的一實施形態之修正 的構成的-個例子。修正電路⑽為用於生成對所給予的 1377353 28793pifl 修正曰期1〇1年5月7曰 爲第97125968號中文說明書無丨 輸入信號強調規定的信號成分之輸出信號的電路，包括第 1福測部110、放大部150、修正信號生成部13〇及輸出信 號生成部70。 首先’對修正電路100的概要進行說明。第1偵測部 110偵測輸入信號Vin的波形。而且，第1偵測部11〇也 可還偵測輸入信號Vin的反轉波形。放大部150將第1偵 測部110所偵測的輸入信號Vin的波形進行放大。而且， 放大部150可將輸入信號vin的波形和輸入信號Vin的反 轉波形分別進行放大。 修正信號生成部130抽出放大部150所放大之輸入信 號Vin的波形的交流成分，而生成修正信號。而且，修正 信號生成部130可抽出放大部150所放大之輸入信號vin 的反轉波形的交流成分。在這種情況下，修正信號生成部 130可從輸入信號Vin的波形及反轉波形，生成修正信號 及反轉修正信號。 例如，可從輸入信號Vin的波形的交流成分生成修正 信號，也可從輸入信號Vin的反轉波形的交流成分生成修 正"is 5虎。同樣’可從輸入信號Vin的反轉波形的交流成分 生成反轉修正信號，也可從輸入信號Vin的波形的交流成 分生成反轉修正信號。 輸出信號生成部70在輸入信號Vin的波形上重疊修正 信號’而生成輸出信號。而且，輸出信號生成部70還可生 成在輸入信號Vin的反轉波形上重疊反轉修正信號之信 號’而生成輸出信號的差動信號對。 4 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正曰期101年5月7曰 圖1至圖4所說明的修正電路2〇〇在生成修正信號h t後，將該修正信號la進行放大，而生成任意振幅^正 k號。因此’在放大時有時會產生直流誤差^與此相對， 本例的修正電路100是在放大所偵測的輸入信號的波形而 調整振幅後，抽出該波形的交流成分而生成修正信號。因 * 此，修正信號的直流成分被除去，可減輕因元件差異、放 大率的變化等所生成的直流誤差。 • 本例的第1/[貞測部110包括電晶體114、電晶體118、 ，晶體112及電流源116。電晶體114在基極端接收輸入 4§號Vin。電晶體Π8是與電晶體114並列設置，並在其 極端接收參照電壓Vref。電晶體112的錄端是與電晶ς 114的射極端及電晶體118的射極端相連接。而且，在電 晶體112的基極端上賦予一定電壓V1，並在電晶體112 的射極端和電源線VEE之間設置電流源丨丨6。 亦即’電晶體112規定在電晶體114及電晶體118中 所流過之電流的和。例如，在輸入電壓Vin增加的情況下， 在電b曰體114中所流過的電流依據輸入電壓—而增力口。 而且在電阳體118中所流過的電流依據電晶體114的電 加而減》。藉由$種構成，可生成具有輸人信號的 的波形及反轉波形之差動信號。 放大部150具有電阻（152、154、16〇)、電晶體（156、 I58、電阻（162、164、170)及電晶體（166、168)。電 = 160及電阻170*作為圖】中所說明的電流源_及電 源27〇而發揮機能。放大部ls〇的動作與圖1至圖^中 17 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7曰 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 所s兒明的放大部250相同，所以省略說明。 修正信號生成部130具有第i電容器132、第2電容 器134、第1控制配線133、第2控制配線135、3個電阻 (…、^〜。广基準電晶體㈣^^流鏡用電晶 體（mirror transistor) 142、第2電流鏡用電晶體144及電 流源148。基準電晶體146、第i電流鏡用電晶體142及第 2電流鏡用電晶體144分別並列地設置，且基極端彼此進 行連接。而且，基準電晶體146的集極端是與基極端相連 接。這3個電晶體可分別具有大致相同的特性。亦即，第 1電流鏡用電晶體142及第2電流鏡用電晶體144作為流 過與基準電晶體146中所流過的電流大致相同的電流之電 流鏡電路而發揮機能。 電阻140設置在基準電晶體146的射極端和電源線 VCC之間。而且，電阻136是設置在第1電流鏡用電晶體 142的射極端和電源線vcc之間，電阻138是設置在第2 電流鏡用電晶體144的射極端和電源線vcc之間。這3 個電阻可分別具有大致相同的電阻值。 而且’基準電晶體146的集極端是通過電流源148而 與電源線VEE相連接。藉由這種構成’而在第1電流鏡用 電晶體142及第2電流鏡用電晶體144中，流過與電流源 148所規定的一定的基準電流相稱之相同的第1電流鏡用 電流及第2電流鏡用電流。 第1電容器132使放大部15〇所放大之輸入信號的波 形的交流成分通過，生成修正信號Ig。本例中的第丨電容 1377353 . 28793pifl 修正日期101年5月7日 • %% 97125968 的果極端和第1電流鏡用電晶 器132是設置在電晶體1 體142的射極端之間。 鳇134使放大部15G所放大之輸人信號的及 轉^的成分通過’而生成反轉修正信號心本例中 電Ϊ1 134是設置在電晶體156的集極端和第2 1 k鏡用電晶體144的集極端之間。

第1控制配、線133藉由根據第i電容器m所生成的 修正信號ig，對第丨電流細t晶體142的射極電位進朽 控制’而在第1鏡射電流上重疊修正錢。本例的第】控 制配線133藉由將第1電容器132和第1電流鏡用電晶^ 142的射極端進行連接，而在第i鏡射電流上重疊修正作 號0 口 第2控制配線135藉由根據第2電容器134所生成的 反，修正信號1f，對第2電流鏡用電晶體144的射極電位 進行控制在第2鏡射電流上重疊修正信號。本例的第 2控制配線135藉由將第2電容器134和第2電流鏡用電 晶體144的射極端進行連接，而在第2鏡射電流上重疊修 正信號。 ^ 輸出信號生成部70根據從修正信號生成部130所給予 的修正信號11 (第1鏡射電流）及反轉修正信號12 (第2 鏡射電流），強調輸入信號Vin的規定的信號成分。輸出信 號生成部70可與圖2中所說明的輸出信號生成部7〇具有 相Π的機月b及構成。但是，在圖2中，是從放大部接 收修正信號及反轉修正信號，而在本例中，是從修正信號 19 1377353 28793pifl 修正曰期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 生成部130接收修正信號及反轉修正信號。 藉由這種構成，可使修正信號Ig^反轉修正信 的直流電壓準位大致相同（大致為零）。而且，由於將這疼 修正k號Ig及反轉修正信號If，重疊在_電流鏡電路; 相同地進行控狀第1鏡射電流及第2鏡射電流上，所以 可精度良好且相同地_在鏡射電流上進行重疊之後的体 正信號12狀轉修正信號n的直流成分。因此，能夠減 少因修正信號12及反轉修正錢n卿成的直流誤差。 圖6所不為修正電路1〇〇之動作的一個例子。與圖3 的例子相同’對修正電路i⑻是賦Μ傳送路徑而形 減的輸入信號Vin。第η貞測部UG侧輸人信號vin ^ 波形。另外，在圖6中省略輸入信號Vin的反轉波形。 放大部150將第i偵測部11〇所制的輸入信號、 的波形及反轉波形的振幅，以規定的放大率進行放大，而 生成波形lb及卜但是’對輸入信號恤的波形的放 與對反轉波形的放大率相同。而且，該放大率可小於等於 1 ° ' 5 1電容器132及第2電容器134抽出波形化及化 的父&齡’生成修正信號Ig及反轉修正信號if。此時， 由於各個域的直流成分被除去，所以修正信號化及反轉 修正信號If的直流電壓準位大致為零。 然後’藉由將修正信號1§重疊在第β射電流上而生 成修正信號n，藉由將反轉修正信號1£重疊在第2鏡射電 流上而生成反轉修正信號12。但是，鏡射電流及第2 20 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年5月7日 ，射電流鏡電路而控制為相同的電流值。因此， 電解位。 的錢電鮮㈣成相同 2由將it樣生成的修正信號η及反轉修正· 12，在 圖3所不那樣的非反轉信號16及反轉信號Id上進行重最， 那樣’得到對傳送路徑的損失進行補償之差

=㈣。而且，如上所述，可減少因修正信號n及 反轉修正信號12所形成的直流誤差。 圖7所4修正信號生成部m㈣外的構成例子。 號生成部13G相_ 5所示的修正錢生成部13〇 的構成，具有分別為2個的第！電容器132、第2電容哭 134電阻14〇、基準電晶體146及電流源148。

而且® 5令的修正信號生成部UOS使第1電流鏡 用電晶體142及第2電流鏡用電晶體144的基極端，與乒 同的基準電晶體146的基極端相連接，但本㈣修正作;虎 生成部130是使第！電流鏡用電晶體142的基極端與^ 基準電晶體146-1的基極端相連接，使第2電流鏡用 體⑷的基極端與另外的第2基準電㈣l46 —2的基極: 相連接。而且，在各個基準電晶體146上，與圖5所示的 基準電晶體同樣地，連接電阻14〇及電流源148。 第1電谷器132—1是設置在放大部15〇和第2電流 鏡用電晶體144的射極端之間，另一第}電容器132一= 是設置在放大部150和第丨電流鏡用電晶體142的美極端 之間。第1電容器132- i及132 —2可分別與圖5中所說 21 Ϊ23ρίί1 修正日期101年5月7日 &第97125968號中文說明書無劃線修正本 明的第1電容器132相同。 而且，一第2電容器134一1是設置在放大部150和第 1電流鏡用電晶體142的射極端之間。另一第2電容器134 〜2是設置在放大部15〇和第2電流鏡用電晶體144的美 核端之間。第2電容器^及1Μ一2可分別與圖^ 所說明的第2電容器134相同。 第1控制配線133根據修正信號Ig，對第丨基準電晶 體146—1及第1電流鏡用電晶體142的各個基極電壓 第2電流鏡用電晶體144的射極電壓進行控制。例如，第 1控制配線133可藉由使第丨基準電晶體及第】電 流鏡用電晶體142的各個基準電流以及第2電流鏡用電2 體144的射極電流，依據修正信號Ig進行變化，而控制: 述的基極電壓及射極電壓。 & 同樣，第2控制配線135根據反轉修正信號辽， 2基準電晶體146-2及第2電流鏡用電晶體144的各個美 極電壓以及第i電流鏡用電晶體142的射極電壓進行二 制。例如，第2控制配線13 5可藉由使第2基準電晶體上々I —2及第2電流鏡用電晶體144的各個基準電流以及第^ 電流鏡用電晶體142的射極電流，依據修正信號辽進行 化’而控制上述的基極電愿及射極電屡。 ‘ 圖8所示為圖7中的修正信號生成部13〇之動作的一 個例子。在放大部150中，輸入信號的波形及反轉波形 放大率是由共同的電壓V2及V3的比而確定，所以理‘上 是相同。因此’在圖5所說明的修正信號生成部13〇二構 22 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 成中，第！電容器132及第2電容器134戶斤輸出 號正信號If的振幅如圖6所示是相，。5 t疋’因放大部150的元件特性的差異，有時輸入r =波形的放大率及反轉波形的放大率會有所不同。‘在^

號\的振幅A1及反轉修―的振幅A2會有H 與此相對，本财的修讀號生絲m是藉 中所說明的構成’而在第i鏡射 q回 及反韓佟γρ俨嘹π 兄耵电/瓜11上加上修正信號Ig ^轉马叙的和。*且，從第2騎電流12魅 修^號Ig及反轉修正信號If的和。因此，即使在= ^ k的振幅織反轉修正信號江的振幅A2不同的情 1的修I使在第1鏡射電流11及第2鏡射電流12上所 號及反轉修正信號的振幅相等。所以，可對差 動L諕更加精度良好地強調信號成分。 例中=成部％的另外的構成例子。本 %。0出域生成^具有第2偵測部72及重疊部 成相^部86的構成可與圖2中所說明的重疊部％的構 暴邱1且，本例中的第2細部72相對圖2中所說明的重 ^ 不同之處是不具有電流源74及電流源76。第1 8 4，可f體7 8、第2差動電晶體8 〇、電晶體8 2及電流源 曰心厂圖2中所說明的第1差動電晶體78、第2差動電 曰曰曰骑、電晶體82及電流源84相同。另外，第丨差動電 曰曰_ 78的集極端是與第2電流鏡用電晶體144相連接，第 23 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7曰 舄第97125968號中文說明書無劃線修正本 2差動電晶體80的集極端是與第i電流鏡用電晶體142相 連接。 藉由這種構成’可從第1電流鏡用電晶體142及第2 兔流鏡用電晶體供給在第1差動電晶體78及第2差動電晶 體80中所流過的電流。亦即，可省略電流源科及電流源 76而減小電路規模。 圖10所不為關於本發明的一實施形態之測試裝置3〇〇 ，構成的-個例子。測試裝⑻為測試半導體晶片（chip) 等的被測試兀件400的裝置，包括測試信號生成部31〇、 修正電路340及判定部35〇。而且，測試裝置3〇〇和被測 試元件400是由包括圖案配線、電纜等的傳送路徑36〇而 進行電氣連接。 測試信號生成部310生成應輸入到被測試元件4⑻的 測試信號，並通過傳送路徑36〇進行輸入。例如，測試信 號，成部310可將具有規定邏輯圖案的測試信號輸入到^ 測试7G件400，並依據該邏輯圖案而使被測試元件動 作。 。測試信號生成部310具有圖案產生器32〇及波形成形 器330。圖案產生器32〇實行使用者等所給予的測試程式 (program) ’而生成測試信號應具有的邏輯圖案。波形成 形益330形成具有邏輯圖案之測試信號的波形，其中，該 邏輯圖案是由圖案產生器320生成。 被測試元件4〇〇依據所輸入的測試信號進行動作，並 輸出與動作結果相稱的被測定信號。例如，被測試元件4〇〇 24 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年f月7日 可具有依據測試信號進行動作的數字 憶體電路，用於輪出與測試信號=，可具有記 修正電路34G接收被職= ===據。 出的被測定信號，並取得被測定信號的;== 先所確定的參照電壓準位大之比較 疋否較預

的傳送路徑中的損失進行補償。修^路= ^ 圖9中所說明的修正電路_或修正電⑽〇相同 ^的修正電路34G可接收被測定信號 ==::=?例中的參照電壓準位

J I 輯（W)的電壓電壓準位和H 邏輯（high)的電愿電鮮位之中間電壓準位。修 340可將圖！至圖9中所說明的輸出信號，作為比較结果 而供給到判定部350。

—判疋部350根據修正電路34〇所取得的比較結果，判 疋被测定兀件400的好壞。例如，判定部35〇可在所給予 的時脈信號的時序’依次偵測所給予的比較結果的^輯 值。然後，可藉由將所偵測的邏輯圖案與所期待的邏輯圖 案進行比較，而判定被測試元件400的好壞。所期待的邏 輯圖案是根據測試信號的邏輯圖案而由圖案產生哭320生 成。 ^ 如利用本例的測試裝置300，則藉由強調被測定信號 的規定的信號成分，可補償傳送路徑360的損失，而 測定信號進行測定。因此，能夠減輕測試中所利用的傳送 路梭360的影響’精度良好地對被測試元件4〇〇的安裝狀 25 28793pifl 修正曰期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 進订測試。另外修正電路340的各元件的特性 可依據傳送路徑36〇的特性而進行設定。 座 彻^戶斤示為測試裝置300的另外的構成例子。本例的 Λ _㈣圖Μ所示的測試裝置3GG的構成，還且 =?37〇 :而且’修正電路34〇是設置繩信^ 號^八^和傳达路控360之間，強調測試信號的規定的信 測疋。p 37〇對來自被測試元件的被測定信號進行 懕^例h '則定部370可輸出表示被測定信號的信號電 =位和規定的參照賴準位的大小_之比較結果。判 ^ 350根據測定部37〇的比較結果，對被測試元件 的好壞進行判定。 藉由這種構成，可利用預先補償了傳送路徑360的損 之測試信號，而對被測試元件400進行測試。因此，能 勺精度良好地測試被測試元件4〇〇。另外，相對圖u所示 的，成’還可取代測定部37G而設置修正電路揭。亦即， =裝置3〇〇可具有：修正電路34〇，其強調測試信號的 規定的信號成分並供給到被測試元件4〇〇 :修正電路34〇， /、強調被’則疋彳s號的規定的信號成分並進行測定。藉此， 可補償測試信號及被測定信號的雙方的損失，更加精度良 好地對被測試元件400進行測試。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限f本發明’任何熟習此技藝者’在不脫離本發明之精神 和範圍内’當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護

S 26 1377353 28793pifl 修正曰期101年5月7曰 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 範圍當視伽4料職_衫者為准。

恭曰^如」1至圖9所示的PNP電晶體置換為NPN =1 m 圖9所示的npn電晶體置換為滑 电曰曰體之n也可包含在本發_技術範圍中。 償傳的’如利用本發明的實施形態，則可補 大率<5號的損失。料’在調整修正信號的放 補債的情況下，可不產生直流誤差地對修 所引^直流誤^調整。而且，也可排除因元件差異等 【圖式簡單說明】 =1所示為修正電路·的構成的—個例子。 ，2所示為輪出信號生成部70之構成的一個例子。 二所二為修正電路200的動作的-個例子。 形的另 ::二輪出信號生成部70所輸出之輸出信號的波 的構於本發明的-實施形態之修正電路⑽ 示為修正電路100之動作的—個例子。 修正信號生成部130之另外的構成例子。 個例子。不為圖7中的修正信號生成部130之動作的一 i ίο為輪出仏號生成部70之另外的構成例子。 的構1的~^^於本發明的—實施形態之測試裝置300 27 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本修正日期101年5月7曰 圖11所示為測試裝置300的另外的構成例子。 【主要元件符號說明】 40—1 :第1修正部 40 —2 :第2修正部 70 :輸出信號生成部 72 :第2偵測部 74、76 :電流源 78 :第1差動電晶體 80 :第2差動電晶體 82 :電晶體 84 :電流源 86 :重疊部 88、90 :電晶體 92、94 :電阻 100 :修正電路 110 :第1偵測部 112 :電阻 114 :電晶體 116 :電流源 118 :電晶體 130:修正信號生成部 132 :第1電容器 133 :第1控制配線 134 :第2電容器 1377353 修正曰期101年5月7日 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 135 :第2控制配線 136、138、140 :電阻 142 :第1電流鏡用電晶體 144 :第2電流鏡用電晶體 146 :基準電晶體 148 .電流源 150 :放大部 152、154 :電阻 ® 156、158 :電晶體 160、162、164 :電阻 166、168 :電晶體 170 :電阻 200 :修正電路 210 :第1偵測部 212 :電阻 214 :電晶體 # 216 :電阻 218、220、222 :電晶體 230 :修正信號生成部 232 :電容器 236 :電阻 250 :放大部 252、254 :電阻 256、258 :電晶體 29 1377353 修正日期101年5月7日 28793ρίΠ 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本

260 :電流源 262、264 :電阻 266、268 :電晶體 270 :電流源 300 :測試裝置 310 :測試信號生成部 320 :圖案產生器 330 :波形成形器 340 :修正電路 350 :判定部 360 :傳送路徑 400 :被測試元件

S 30

Claims (1)

1. 28793pifl 修正曰期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 七、申請專利範圍： 1.-種修正電路’適用於針對所 生成;調了規定的信號成分之輸出信號，= =測::偵測前述輸入信號的波形及反轉波形； 波二述第1偵測部所偵測的前述輸入信號的 反开少及別途反轉波形進行放大； 正號i成部’生成第1修正鏡射電流、及第2修 正鏡射電流，刖述第丨修正鏡射電 所相稱的第1鏡射電流上重疊了心2預疋的基準電流 輪入Μλλα 放大部所放大的前述 π正交流成分所相稱的修正信號，前述第2 前述基準電流所相稱的第2鏡射電流上 t 了“反抛形較流成分所相_輯修正信號； 第i ϊ=ϊ成部，在前述輸入信號的波形上重疊前述 並在前述反轉波形上重疊前述第2修 、兄射電W 生成前述輸幻鐵的絲信號對。 ^如申請專利範圍第i項所述之修正電路，其中， 電节⑴述修正彳5叙成部包括:鱗電晶體，流過前述基準 朽嫂電流鏡用電晶體’前述第1電流鏡用電晶體的基 極知連接至前述基準電晶體的基極端;以及 f 2電流鏡用電晶體’前述第2電流鏡用電晶體的基 極鈿連接至前述基準電晶體的基極端。 3·如申。月專利範圍弟2項所述之修正電路，其中，前 31 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年5月7日 述輸出信號生成部包括： 第2镇測部’偵測前述輸入信號的波形及前述輸入信 號的反轉波形；以及 重疊部’其在前述第2偵測部所偵測的前述輸入信號 的波形上重疊前述修正信號，並在前述第2偵測部所偵測 的前述輸入信號的反轉波形上重疊前述反轉修正信號。 4.如申請專利範圍第3項所述之修正電路，其中， 前述第1電流鏡用電晶體流過與前述基準電流相稱的 第1鏡射電流； 前述第2電流鏡用電晶體流過與前述基準電流相稱的 第2鏡射電流； 前述修正信號生成部還包括： 第1電容11 ’使前述放大騎放大的前述輸入信號 波形的父流成分通過，而生成前述修正信號； g ’使前述放大部所放大的前述輸入信號 分通過，而生成前述反轉修正信號； 二己線，藉由根據前述修正信號對前述第1 流鏡用電晶體的射極電爆社地庄, ⑽㈣弟 、”會A十十，^腿進仃控制，而在前述第1鏡射 流上重豐刖述修正信號；以及 第2控制配線’藉由根據 2電流鏡用電晶體的射極電位 射電流上重疊前述反轉修正信 前述重疊部包括： 第1修正部，對前述第2 月，J述反轉修正信號對前述第 進行控制，而在前述第2鏡 號； 偵測部所偵測的前述輸入信 1377353 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年5月7日 號的波形，依據前述第1鏡射電流進行修正；以及 第2修正部’對前述第2偵測部所偵測的前述輪入作 號的反轉波形，依據前述第2鏡射電流進行修正。 5. 如申請專利範圍第1項所述之修正電路，其中， 前述修正信號生成部包括： 苐1基準電晶體’流過前述基準電流； 弟2基準電晶體’流過前述基準電流； 第1電流鏡用電晶體，前述第1電流鏡用電晶體的美 極端連接至前述第1基準電晶體的基極端；以及 土 第2電流鏡用電晶體，前述第2電流鏡用電晶體的基 極端連接至前述第2基準電晶體的基極端。 土 6. 如申請專利範圍第5項所述之修正電路，其中，^ 述輸出信號生成部包括： 叫 弟2偵測部’偵測前述輸入信號的波形及前述輪入 號的反轉波形；以及 ° 重璺部’在前述第2偵測部所偵測的前述輪入信號的 波形上重疊前述修正信號，並在前述第2偵測部所債^的 前述輸入信號的反轉波形上重疊前述反轉修正信號。' ' 7. 如申請專利範圍第6項所述之修正電路，其中， 前述第1電流鏡用電晶體流過與前述基準電流相稱的 第1鏡射電流； 、 前述第2電流鏡用電晶體流過與前述基準電流相稱.的 第2鏡射電流； 前述修正信號生成部還包括： 33 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7曰 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 1電谷裔’使剛述放大部所放大的前述輸入信號的 波形，交流成分通過，而生成前述修正信號； 第2電谷’使前述玫大部所放大的前述輸入信號的 反轉父流成分通過’而生成前述反轉修正信號； 第1控制配線，藉由根據前述修正信號，對前述第1 基，“體及別述第1電流鏡用電晶體的基極電壓以及前 述第^電流鏡用電晶體的射極電壓進行控制；以及 卜第2控制配線，藉由根據前述反轉修正信號，對前述 第i基準電晶體及前述第2電流鏡用電晶體的基極電壓以 及别述第1電流鏡用電晶體的射極電壓而進行控 前述重疊部包括： 〇弟1修正部，對前述帛2憤測部所偵測的前述輸入 號的波形，依據前述苐丨鏡射電流進行修正；以及 第2修正部，對前述第2制部所偵測的前述輸入 唬的反轉波形，依據前述第2鏡射電流進行修正。 8.如中請專利細第3項或第4項或^項或第 所述之修正電路，其中，

   反轉有用於偵測前述輪入信號的波私 夂轉波形的第1差動電晶體及第2差動電曰體· 避相=的-前述差動電晶趙是與前述^電流鏡用^ 連接另-前述絲“體是述第2電流鏡用電晶趙相 9.-種測試裝置，為—種對被測試元件進行測試的挪 Λ 34 1377353 28793pifi 修正日期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 試裝置，包括： 測忒彳5號生成部，生成用於輸入到被測試元件的測試 ^號； 轴修正電路，對前述測試信號生成部所生成的前述測試 強調狀的信號成分’並輸人到前述制試元件； 中^定部’測定前紐測試元倾據前制試信號所輸 出的被測定信號；以及 ^定部’根據前述測定部的測定結果，判定前述 5式疋件的好壞； 而且，前述修正電路包括： 第1偵測部’债測前述測試信號的波形及反轉波形； 波所制的前述測試信號的 疚升y及則述反轉波形進行放大； 正部’生成第1修正鏡射電流、及第2修 二，1修正鏡射電流是在預定的基準電流 ^ 上重47麵放大部所放大的前述 =二= 巧交流成分所相稱的修正信號，前述第2 鏡射電“在前述基準電流所相稱㈣2鏡射電汽上 2了前述反轉波形的交流成分所相稱的反轉修正】號; 第i 生成部，在前述測試信號的波形上重疊前述 =射電流’並在前述反轉波形上重疊前述第2修 10.一種測試裝置，為-種對被測試元件進行測試的測 35 28793pif] 修正日期101年5月7日 爲第97125968 試農置，包括： 測試信號生成部，生成用於輸入到被測試元件的測試 ^號； 修正電路，接收前述被測試元件依據前述測試信號所 ^的被敎^號’絲得前述制定信號的電壓準位是 定確定的電鮮位大之比較結果，且對前述被測 傳达路徑中的損失進行補償；以及 而到ίΐ部’根據前述修正電路所取得的前述比較結果， 而判疋别述被測試元件的好壞； 而且，前述修正電路包括： 貞測。卩’制前被測定信朗波形及反轉波形； 的二= = 所偵測的前述被測_ 正鏡射卩’生成第1修正鏡射電流、及第2修 所Γί 讀第1修正鏡射電流是在預定的基準電汽 前述放大== 2 — 上重義了針、f ^ #電机所相稱的第2鏡射電流 號重且了 4反轉《的交流成分所_的反轉修正信 輪出信號生成部，在前述被 述第1修正鏡射電流，並在前彡U疊前 修正鏡射電流；以及 疋反轉波形上重疊前述第2 比較結果生成部，根據前述輪出信號生成部所生成的 36 1377353 28793pifl 修正日期101年5月7日 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 信號，前述生成比較結果。

   37 1377353 修正日期101年5月7曰 28793pifl 爲第97125968號中文說明書無劃線修正本 四、 指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：圖（1)。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 70 :輸出信號生成部 200 :修正電路 210 :第1偵測部 212 :電阻 214 :電晶體 216 :電阻 218、220、222 :電晶體 230 :修正信號生成部 232 :電容器 236 :電阻 250 :放大部 252、254 :電阻 256、258 :電晶體 260 :電流源 262、264 :電阻 266、268 :電晶體 270 :電流源 五、 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵 的化學式： 無0