JP4776724B2 - 補正回路及び試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、補正回路及び試験装置に関する。特に本発明は、与えられる入力信号に対して、所定の信号成分を強調した出力信号を生成する補正回路、及び、当該補正回路を用いて被試験デバイスを試験する試験装置に関する。

半導体回路等の被試験デバイスを試験する装置として、被試験デバイスに試験信号を供給して、被試験デバイスが出力する被測定信号を測定する試験装置が考えられる。例えば、正常な被測定信号が出力されているか否かにより、被試験デバイスの良否を判定することができる。

試験装置と被試験デバイスとの間には、信号を伝送する伝送経路が設けられる。しかし、当該伝送経路には抵抗、容量等が存在するので、信号波形が劣化してしまう。このような問題に対し、例えば被試験デバイスに入力すべき試験信号の波形に対して、伝送経路における損失を予め補償した試験信号を生成する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、被試験デバイスから受け取った信号に対して、伝送経路における損失を補償することも考えられる。

損失補償の方式としては、元信号の波形に応じた補正信号を生成して、元信号に加算する方式が考えられる。例えば、元信号の微分波形を生成して、伝送経路における損失量に応じて微分波形を増幅することにより、補正信号を生成することができる。
特開２００６−３３７１４０号公報

しかし、微分波形の増幅率を変化させた場合、補正信号に印加される直流成分も変動する場合がある。このため、補正信号を元信号に加算して出力信号を生成すると、微分波形の増幅率に応じて出力信号の直流成分が変動してしまい、補正後の出力信号の直流電圧精度が劣化してしまう。

また、差動信号に対して、伝送経路における損失を補償する場合、差動信号における非反転信号、及び反転信号のそれぞれについて、上述した補正信号を生成する。このとき、例えばそれぞれの補正信号を生成する素子の特性バラツキ等により、それぞれの補正信号の直流成分にバラツキが生じると、補正後の差動信号の直流電圧精度が劣化してしまう。

そこで本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決することのできる補正回路及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、与えられる入力信号に対して、所定の信号成分を強調した出力信号を生成する補正回路であって、入力信号の波形を検出する第１の検出部と、第１の検出部が検出した波形を増幅する増幅部と、増幅部が増幅した波形の交流成分を抽出して補正信号を生成する補正信号生成部と、入力信号の波形に、補正信号を重畳して、出力信号を生成する出力信号生成部とを備える補正回路を提供する。

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに入力する試験信号を生成する試験信号生成部と、試験信号生成部が生成した試験信号に対して、所定の信号成分を強調して、被試験デバイスに入力する補正回路と、被試験デバイスが、試験信号に応じて出力する被測定信号を測定する測定部と、測定部における測定結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、補正回路は、試験信号の波形を検出する第１の検出部と、第１の検出部が検出した波形を増幅する増幅部と、増幅部が増幅した波形の交流成分を抽出した補正信号を生成する補正信号生成部と、試験信号の波形に、補正信号を重畳して、被試験デバイスに入力する出力信号生成部とを有する試験装置を提供する。

本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに入力する試験信号を生成する試験信号生成部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力する被測定信号を受け取り、被測定信号のレベルが、予め定められたレベルより大きいか否かの比較結果を、被測定信号の伝送路における損失を補償して取得する補正回路と、補正回路が取得した比較結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、補正回路は、被測定信号の波形を検出する第１の検出部と、第１の検出部が検出した波形を増幅する増幅部と、増幅部が増幅した波形の交流成分を抽出して補正信号を生成する補正信号生成部と、被測定信号の波形に、補正信号を重畳する出力信号生成部と、出力信号生成部が生成した信号に基づいて、比較結果を生成する比較結果生成部とを有する試験装置を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

補正回路２００の構成の一例を示す図である。 出力信号生成部７０の構成の一例を示す図である。 補正回路２００の動作の一例を示す図である。 出力信号生成部７０が出力する出力信号の波形の他の例を示す図である。 本発明の一つの実施形態に係る補正回路１００の構成の一例を示す図である。 補正回路１００の動作の一例を示す図である。 補正信号生成部１３０の他の構成例を示す図である。 図７に示した補正信号生成部１３０の動作の一例を示す図である。 出力信号生成部７０の他の構成例を示す図である。 本発明の一つの実施形態に係る試験装置３００の構成の一例を示す図である。 試験装置３００の他の構成例を示す図である。

符号の説明

４０−１・・・第１補正部、４０−２・・・第２補正部、７０・・・出力信号生成部、７２・・・第２の検出部、７４、７６、８４、１１６、１４８・・・電流源、７８・・・第１差動トランジスタ、８０・・・第２差動トランジスタ、８２、８８、９０、１１４、１１８、１５６、１５８、１６６、１６８、２１４、２１８、２２０、２２２、２５６、２５８、２６６、２６８・・・トランジスタ、８６・・・重畳部、９２、９４、１１２、１３６、１３８、１４０、１５２、１５４、１６０、１６２、１６４、１７０、２１２、２１６、２３６、２５２、２５４、２６２、２６４・・・抵抗、１００・・・補正回路、１１０・・・第１の検出部、１３０・・・補正信号生成部、１３２・・・第１コンデンサ、１３３・・・第１制御配線、１３４・・・第２コンデンサ、１３５・・・第２制御配線、１４２・・・第１ミラー用トランジスタ、１４４・・・第２ミラー用トランジスタ、１４６・・・基準トランジスタ、１５０・・・増幅部、２００・・・補正回路、２１０・・・第１の検出部、２３０・・・補正信号生成部、２３２・・・コンデンサ、２５０・・・増幅部、２６０・・・電流源、２７０・・・電流源、３００・・・試験装置、３１０・・・試験信号生成部、３２０・・・パターン発生器、３３０・・・波形成形器、３４０・・・補正回路、３５０・・・判定部、３６０・・・伝送路、４００・・・被試験デバイス

以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一つの側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、補正回路２００の構成の一例を示す図である。補正回路２００は、与えられる入力信号に対して、所定の信号成分を強調した出力信号を生成する回路である。例えば補正回路２００は、伝送経路等における入力信号の減衰を補償すべく、与えられる入力信号の交流成分を強調した出力信号を生成してよい。補正回路２００は、第１の検出部２１０、補正信号生成部２３０、増幅部２５０、及び出力信号生成部７０を備える。

第１の検出部２１０は、入力信号Ｖｉｎの波形を検出する。本例の第１の検出部２１０は、トランジスタ２１４、トランジスタ２１８、トランジスタ２２０、トランジスタ２２２、抵抗２１２、及び抵抗２１６を有する。トランジスタ２１４は、ベース端子に入力信号Ｖｉｎを受け取る。これにより、入力信号Ｖｉｎの波形を検出する。

トランジスタ２２０は、コレクタ端子がトランジスタ２１４のエミッタ端子に接続され、ゲート端子に所定の電圧Ｖ１が与えられる。また、抵抗２１２は、トランジスタ２２０のエミッタ端子と、電源線ＶＥＥとの間に接続される。つまり、トランジスタ２２０及び抵抗２１２は、電圧Ｖ１に応じた電流を流す電流源として機能する。

トランジスタ２１８は、ベース端子に予め定められた基準電圧Ｖｒｅｆを受け取り、基準電圧Ｖｒｅｆに応じたエミッタ電流を流す。また、トランジスタ２１８は、トランジスタ２１４と並列に設けられ、トランジスタ２１４と同一の特性を有してよい。

トランジスタ２２２は、コレクタ端子がトランジスタ２１８のエミッタ端子に接続される。また、トランジスタ２２２のゲート端子は、トランジスタ２２０のゲート端子と接続されて、所定の電圧Ｖ１が与えられる。また、抵抗２１６は、トランジスタ２２２のエミッタ端子と、電源線ＶＥＥとの間に接続される。トランジスタ２２２は、トランジスタ２２０と略同一の特性を有してよく、抵抗２１６は、抵抗２１２と略同一の抵抗値を有してよい。この場合、トランジスタ２２２及び抵抗２１６と、トランジスタ２２０及び抵抗２１２とは、略同一の電流を流す。

補正信号生成部２３０は、入力信号Ｖｉｎの波形を強調する補正信号を生成する。例えば補正信号生成部２３０は、トランジスタ２１４が検出した入力信号Ｖｉｎの交流成分Ｉａを抽出して、当該交流成分Ｉａを補正信号Ｉａとしてよい。補正信号生成部２３０は、電圧信号で与えられる入力信号Ｖｉｎでコンデンサ２３２を充放電することにより得られる電流信号を、交流成分Ｉａとして抽出してよい。

本例の補正信号生成部２３０は、トランジスタ２１４のエミッタ端子と、トランジスタ２１８のエミッタ端子との間に、直列に接続されたコンデンサ２３２及び抵抗２３６を有する。

コンデンサ２３２は、トランジスタ２１４のエミッタ電流の交流成分を通過させる。また、コンデンサ２３２は、トランジスタ２１４のエミッタ電流のうち、抵抗２１２の抵抗値、コンデンサ２３２の容量、抵抗２３６の抵抗値等に応じた周波数成分を通過させてよい。例えばコンデンサ２３２は、トランジスタ２１４のエミッタ電流の波形の微分波形を通過させてよい。

具体例として、入力信号Ｖｉｎの電圧値が変動した場合、補正信号生成部２３０は、トランジスタ２１４側からトランジスタ２１８側へ、入力信号の変動に応じた電流Ｉａが流れる。このとき、トランジスタ２２０は一定の電流を生成しているので、トランジスタ２１４のエミッタ電流は、補正信号生成部２３０に供給する電流Ｉａに応じて増加する。同様に、トランジスタ２１８のエミッタ電流は、補正信号生成部２３０から受け取る電流Ｉａに応じて減少する。

例えば、トランジスタ２１４には、トランジスタ２２０が生成する一定電流に補正信号（電流Ｉａ）を加算したエミッタ電流が流れる。また、トランジスタ２１８には、トランジスタ２２２が生成する一定電流から、補正信号（電流Ｉａ）を減じたエミッタ電流が流れる。

増幅部２５０は、トランジスタ２１４及びトランジスタ２１８のエミッタ電流を増幅することにより、補正信号を増幅して、出力信号生成部７０に供給する。本例の増幅部２５０は、電流源２６０、トランジスタ２５６、抵抗２５２、トランジスタ２５８、抵抗２５４、電流源２７０、トランジスタ２６６、抵抗２６２、トランジスタ２６８、及び抵抗２６４を有する。

電流源２６０、トランジスタ２５６、抵抗２５２、トランジスタ２５８、及び抵抗２５４は、補正信号が加算されたトランジスタ２１４のエミッタ電流を所定の増幅率で増幅することにより、補正信号の振幅を調整する。本例では、補正信号（電流Ｉａ）がトランジスタ２５６及びトランジスタ２５８のそれぞれに分配される割合を調整して、トランジスタ２５６に流れる電流を取り出すことにより、振幅を調整した補正信号を生成する。この場合、上述した増幅率は１より小さくてよい。

トランジスタ２５６のエミッタ端子は、抵抗２５２を介して、トランジスタ２１４のコレクタ端子に接続される。また、トランジスタ２５８のエミッタ端子は、抵抗２５２と並列に設けられた抵抗２５４を介して、トランジスタ２１４のコレクタ端子に接続される。トランジスタ２５６のコレクタ端子と、電源線ＶＣＣとの間には、電流源２６０が設けられる。トランジスタ２５８のコレクタ端子は、電源線ＶＣＣに接続される。

このような構成において、トランジスタ２５６のゲート端子に与える電圧Ｖ３、及びトランジスタ２５８のゲート端子に与える電圧Ｖ２を調整することにより、トランジスタ２１４の電流のうち、トランジスタ２５６に流れる電流Ｉｂの割合を調整することができる。つまり、電圧Ｖ２及びＶ３の比率を調整することにより、トランジスタ２１４のエミッタ電流を、１以下の任意の増幅率で、トランジスタ２５６に流すことができる。増幅部２５０は、電流源２６０が生成する一定電流から、トランジスタ２５６に流れる電流Ｉｂを減じた電流を、反転補正信号Ｉ２として出力信号生成部７０に供給する。

同様に、電流源２７０、トランジスタ２６６、抵抗２６２、トランジスタ２６８、及び抵抗２６４は、補正信号生成部２３０により補正信号が減算された、トランジスタ２１８のエミッタ電流を増幅する。トランジスタ２１８と、増幅部２５０における電流源２７０、トランジスタ２６６、抵抗２６２、トランジスタ２６８、及び抵抗２６４との接続関係は、トランジスタ２１４と、増幅部２５０における電流源２６０、トランジスタ２５６、抵抗２５２、トランジスタ２５８、及び抵抗２５４との接続関係と同一である。

尚、トランジスタ２６６のゲート端子には、電圧Ｖ３が与えられ、トランジスタ２６８のゲート端子には、電圧Ｖ２が与えられる。つまり、トランジスタ２６６及びトランジスタ２６８による補正信号Ｉａの増幅率は、トランジスタ２５６及びトランジスタ２５８による補正信号Ｉａの増幅率と略同一に制御される。また、増幅部２５０は、電流源２７０が生成する一定電流から、トランジスタ２６６に流れる電流Ｉｃを減じた電流を、補正信号Ｉ１として出力信号生成部７０に供給する。

出力信号生成部７０は、入力信号Ｖｉｎの波形を、増幅部２５０から与えられる補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２に基づいて強調した出力信号Ｖｏｕｔ１及びＶｏｕｔ２を出力する。例えば出力信号生成部７０は、入力信号Ｖｉｎに応じた電流の波形に、補正信号Ｉ１の波形を重畳して、更に当該電流波形を電圧波形に変換することにより、出力信号Ｖｏｕｔ１を生成してよい。同様に、入力信号Ｖｉｎに応じた電流の反転波形に、反転補正信号Ｉ２の波形を重畳して、更に当該電流波形を電圧波形に変換することにより、出力信号Ｖｏｕｔ２を生成してよい。このような構成により、差動の出力信号において、伝送経路における損失を補償した波形を生成することができる。

図２は、出力信号生成部７０の構成の一例を示す図である。出力信号生成部７０は、第２の検出部７２及び重畳部８６を有する。第２の検出部７２は、入力信号Ｖｉｎを検出して、入力信号に応じた差動信号を生成する。本例の第２の検出部７２は、電流源７４、電流源７６、第１差動トランジスタ７８、第２差動トランジスタ８０、トランジスタ８２、及び電流源８４を有する。

第１差動トランジスタ７８は、ゲート端子に入力信号Ｖｉｎを受け取る。第２差動トランジスタ８０は、第１差動トランジスタ７８と並列に設けられ、ゲート端子に参照電圧Ｖｒｅｆを受け取る。トランジスタ８２のコレクタ端子は、第１差動トランジスタ７８のエミッタ端子及び第２差動トランジスタ８０のエミッタ端子に接続される、また、トランジスタ８２のゲート端子には、一定電圧Ｖ１が与えられ、トランジスタ８２のエミッタ端子と電源線ＶＥＥとの間には、電流源８４が設けられる。

つまり、トランジスタ８２は、第１差動トランジスタ７８及び第２差動トランジスタ８０に流れる電流の和を規定する。例えば、入力電圧Ｖｉｎが増加した場合、第１差動トランジスタ７８に流れる電流は、入力電圧Ｖｉｎに応じて増加する。そして、第２差動トランジスタ８０に流れる電流は、第１差動トランジスタ７８の電流増加に応じて減少する。このような構成により、入力信号Ｖｉｎの波形及び反転波形を有する差動信号を生成することができる。

また、第１差動トランジスタ７８のコレクタ端子は、電流源７４を介して電源線ＶＣＣに接続され、第２差動トランジスタ８０のコレクタ端子は、電流源７６を介して電源線ＶＣＣに接続される。そして、電流源７４が生成する一定電流から、第１差動トランジスタ７８に流れる電流を減じた電流が、入力信号の反転波形Ｉｄとして重畳部８６に伝送される。また、電流源７６が生成する一定電流から、第２差動トランジスタ８０に流れる電流を減じた電流が、入力信号の波形Ｉｅとして重畳部８６に伝送される。

重畳部８６は、第２の検出部７２が検出した差動信号の所定の信号成分を、補正信号及び反転補正信号に基づいて強調する。例えば重畳部８６は、第２の検出部７２が検出した入力信号の波形Ｉｅに、補正信号Ｉ１を重畳することにより、出力信号Ｖｏｕｔ１を生成してよい。また、重畳部８６は、第２の検出部７２が検出した入力信号の反転波形Ｉｄに、反転補正信号Ｉ２を重畳することにより、出力信号Ｖｏｕｔ２を生成してよい。

本例の重畳部８６は、第１補正部４０−１及び第２補正部４０−２を有する。第１補正部４０−１は、第２の検出部７２が検出した入力信号の波形Ｉｅを、第１ミラー電流（補正信号Ｉ１）に応じて補正する。例えば第１補正部４０−１は、入力信号の電流波形Ｉｅに、第１ミラー電流Ｉ１を加算してよい。また、第１補正部４０−１は、生成した電流波形を、電圧波形に変換して出力してよい。

第２補正部４０−２は、第２の検出部７２が検出した入力信号の反転波形Ｉｄを、第２ミラー電流（反転補正信号Ｉ２）に応じて補正する。例えば第２補正部４０−２は、入力信号の反転電流波形Ｉｄに、第２ミラー電流Ｉ２を加算してよい。また、第２補正部４０−２は、生成した電流波形を、電圧波形に変換して出力してよい。

第１補正部４０−１は、トランジスタ９０及び抵抗９４を有する。トランジスタ９０は、エミッタ端子に与えられる、入力信号の非反転波形Ｉｅ及び補正信号Ｉ２を加算した電流に応じた電流を流す。また、トランジスタ９０のゲート端子には、一定電圧Ｖ４が与えられる。

抵抗９４は、トランジスタ９０のコレクタ端子と、電源線ＶＥＥとの間に設けられる。抵抗９４は、トランジスタ９０に流れる電流波形に応じた電圧波形を生成して、出力信号Ｖｏｕｔ１として出力する。本例では、トランジスタ９０のコレクタ電圧が、出力信号Ｖｏｕｔ１として出力される。このような構成により、入力信号の波形の所定の信号成分を強調した出力信号を生成できる。

第２補正部４０−２は、トランジスタ８８及び抵抗９２を有する。トランジスタ８８は、トランジスタ９０と並行に設けられる。またトランジスタ８８は、トランジスタ９０と略同一の特性を有することが好ましい。トランジスタ８８は、エミッタ端子に、入力信号の反転波形Ｉｄ及び反転補正信号Ｉ２を加算した電流を受け取る。また、トランジスタ８８のゲート端子には、トランジスタ９０と同一の一定電圧Ｖ４が与えられる。

抵抗９２は、トランジスタ８８のコレクタ端子と、電源線ＶＥＥとの間に設けられる。抵抗９２は、トランジスタ８８に流れる電流波形に応じた電圧波形を生成して、出力信号Ｖｏｕｔ２として出力する。本例では、トランジスタ８８のコレクタ電圧が、出力信号Ｖｏｕｔ２として出力される。このような構成により、入力信号の反転波形の所定の信号成分を強調した出力信号を生成できる。

図３は、補正回路２００の動作の一例を示す図である。上述したように、補正回路２００には、伝送経路により減衰した入力信号Ｖｉｎが与えられる。例えば、図３に示すように、矩形波（波線で示す）の入力信号Ｖｉｎの高周波成分が、伝送経路等において減衰して、実線で示す波形となった場合を例として説明する。

例えば、入力信号Ｖｉｎのレベルが、所定の参照値Ｖｒｅｆより大きいか否かにより、入力信号Ｖｉｎのエッジタイミングを検出する場合、上述した伝送経路における損失により、元の入力信号のエッジタイミングに対して誤差（ΔＴ１）が生じてしまう。補正回路２００は、入力信号の損失を補償することにより、エッジタイミングの誤差を低減する。

上述したように、補正信号生成部２３０は、入力信号Ｖｉｎの交流成分を抽出して、補正信号Ｉａを生成する。補正信号生成部２３０は、伝送経路の時定数に応じた時定数を有してよい。

また、補正信号生成部２３０が生成した補正信号Ｉａ及びその反転信号は、増幅部２５０において、任意の振幅に調整されて、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２となる。このとき、補正信号Ｉ１の直流レベルαと、反転補正信号Ｉ２の直流レベルβとは、理想的には同一となる。

また、第２の検出部７２が、入力信号の非反転波形Ｉｅ及び反転波形Ｉｄを検出する。そして、重畳部８６が、非反転波形Ｉｅに補正信号Ｉ１を加算した電流から、出力信号Ｖｏｕｔ１を生成する。また、重畳部８６は、反転信号Ｉｄに反転補正信号Ｉ２を加算した電流から、出力信号Ｖｏｕｔ２を生成する。

係る差動信号（Ｖｏｕｔ１、Ｖｏｕｔ２）のクロスポイントから、入力信号のエッジタイミングを測定することにより、元の入力信号のエッジタイミングに対する誤差（ΔＴ２）を低減することができる。しかし、第１の検出部２１０及び増幅部２５０におけるそれぞれのトランジスタ及び抵抗の特性のバラツキにより、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２の直流レベルを完全に同一に制御するのは困難である。また、増幅部２５０における増幅率を変化させた場合、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２の直流レベルの差も変動してしまう。

このような場合、出力信号生成部７０が出力する信号の直流レベルが、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２の直流レベルの差の変動に応じて変動してしまう。このため、出力信号における直流誤差が生じてしまう。

図４は、出力信号生成部７０が出力する出力信号の波形の他の例を示す図である。上述したように、補正信号Ｉ１の直流レベルαと、反転補正信号Ｉ２の直流レベルβとが異なる場合、出力信号に、その差分に応じた直流成分が生じる。このため、例えばクロスポイントのタイミング等の測定誤差（ΔＴ３）も増大してしまう。

図５は、本発明の一つの実施形態に係る補正回路１００の構成の一例を示す図である。補正回路１００は、与えられる入力信号に対して、所定の信号成分を強調した出力信号を生成する回路であって、第１の検出部１１０、増幅部１５０、補正信号生成部１３０、及び出力信号生成部７０を有する。

まず、補正回路１００の概要を説明する。第１の検出部１１０は、入力信号Ｖｉｎの波形を検出する。また、第１の検出部１１０は、入力信号Ｖｉｎの反転波形を更に検出してもよい。増幅部１５０は、第１の検出部１１０が検出した入力信号Ｖｉｎの波形を増幅する。また、増幅部１５０は、入力信号Ｖｉｎの反転波形と、入力信号Ｖｉｎの反転波形とをそれぞれ増幅してよい。

補正信号生成部１３０は、増幅部１５０が増幅した入力信号Ｖｉｎの波形の交流成分を抽出して、補正信号を生成する。また、補正信号生成部１３０は、増幅部１５０が増幅した入力信号Ｖｉｎの反転波形の交流成分を抽出してよい。この場合補正信号生成部１３０は、入力信号Ｖｉｎの波形及び反転波形から、補正信号及び反転補正信号を生成してよい。

例えば、入力信号Ｖｉｎの波形の交流成分から補正信号を生成してよく、入力信号Ｖｉｎの反転波形の交流成分から補正信号を生成してもよい。同様に、入力信号Ｖｉｎの反転波形の交流成分から反転補正信号を生成してよく、入力信号Ｖｉｎの波形の交流成分から反転補正信号を生成してもよい。

出力信号生成部７０は、入力信号Ｖｉｎの波形に、補正信号を重畳して、出力信号を生成する。また、出力信号生成部７０は、入力信号Ｖｉｎの反転波形に、反転補正信号を重畳した信号を更に生成して、出力信号の差動信号対を生成してよい。

図１から図４において説明した補正回路２００は、補正信号Ｉａを生成した後に、当該補正信号Ｉａを増幅して、任意の振幅の補正信号を生成した。このため、増幅時において、直流誤差が生じる場合がある。これに対し、本例の補正回路１００は、検出した入力信号の波形を増幅して振幅を調整した後に、当該波形の交流成分を抽出して補正信号を生成する。このため、補正信号の直流成分はカットされ、素子バラツキ、増幅率の変化等により生じる直流誤差を低減することができる。

本例の第１の検出部１１０は、トランジスタ１１４、トランジスタ１１８、トランジスタ１１２、及び電流源１１６を有する。トランジスタ１１４は、ゲート端子に入力信号Ｖｉｎを受け取る。トランジスタ１１８は、トランジスタ１１４と並列に設けられ、ゲート端子に参照電圧Ｖｒｅｆを受け取る。トランジスタ１１２のコレクタ端子は、トランジスタ１１４のエミッタ端子及びトランジスタ１１８のエミッタ端子に接続される、また、トランジスタ１１２のゲート端子には、一定電圧Ｖ１が与えられ、トランジスタ１１２のエミッタ端子と電源線ＶＥＥとの間には、電流源１１６が設けられる。

つまり、トランジスタ１１２は、トランジスタ１１４及びトランジスタ１１８に流れる電流の和を規定する。例えば、入力電圧Ｖｉｎが増加した場合、トランジスタ１１４に流れる電流は、入力電圧Ｖｉｎに応じて増加する。そして、トランジスタ１１８に流れる電流は、トランジスタ１１４の電流増加に応じて減少する。このような構成により、入力信号Ｖｉｎの波形及び反転波形を有する差動信号を生成することができる。

増幅部１５０は、抵抗（１５２、１５４、１６０）、トランジスタ（１５６、１５８）、抵抗（１６２、１６４、１７０）、及びトランジスタ（１６６、１６８）を有する。抵抗１６０及び抵抗１７０は、図１において説明した電流源２６０及び電流源２７０として機能する。増幅部１５０の動作は、図１から図４に関連して説明した増幅部２５０と同様であるので、その説明を省略する。

補正信号生成部１３０は、第１コンデンサ１３２、第２コンデンサ１３４、第１制御配線１３３、第２制御配線１３５、３つの抵抗（１３６、１３８、１４０）、基準トランジスタ１４６、第１ミラー用トランジスタ１４２、第２ミラー用トランジスタ１４４、及び電流源１４８を有する。基準トランジスタ１４６、第１ミラー用トランジスタ１４２、及び第２ミラー用トランジスタ１４４は、それぞれ並列に設けられ、且つゲート端子が互いに接続される。また、基準トランジスタ１４６のコレクタ端子は、ゲート端子と接続される。これらの３つのトランジスタは、それぞれ略同一の特性を有してよい。つまり、第１ミラー用トランジスタ１４２及び第２ミラー用トランジスタ１４４は、基準トランジスタ１４６に流れる電流と略同一の電流を流すミラー回路として機能する。

抵抗１４０は、基準トランジスタ１４６のエミッタ端子と電源線ＶＣＣとの間に設けられる。また、抵抗１３６は、第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ端子と電源線ＶＣＣとの間に設けられ、抵抗１３８は、第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ端子と電源線ＶＣＣとの間に設けられる。これらの３つの抵抗は、それぞれ略同一の抵抗値を有してよい。

また、基準トランジスタ１４６のコレクタ端子は、電流源１４８を介して電源線ＶＥＥに接続される。このような構成により、第１ミラー用トランジスタ１４２及び第２ミラー用トランジスタ１４４には、電流源１４８により規定される一定の基準電流に応じた、同一の第１ミラー電流及び第２ミラー電流が流れる。

第１コンデンサ１３２は、増幅部１５０が増幅した入力信号の波形の交流成分を通過させ、補正信号Ｉｇを生成する。本例における第１コンデンサ１３２は、トランジスタ１６６のコレクタ端子と、第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ端子との間に設けられる。

第２コンデンサ１３４は、増幅部１５０が増幅した入力信号の反転波形の交流成分を通過させ、反転補正信号Ｉｆを生成する。本例における第２コンデンサ１３４は、トランジスタ１５６のコレクタ端子と、第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ端子との間に設けられる。

第１制御配線１３３は、第１コンデンサ１３２が生成する補正信号Ｉｇに基づいて、第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ電位を制御することにより、第１ミラー電流に補正信号を重畳する。本例の第１制御配線１３３は、第１コンデンサ１３２と、第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ端子とを接続することにより、第１ミラー電流に補正信号を重畳する。

第２制御配線１３５は、第２コンデンサ１３４が生成する反転補正信号Ｉｆに基づいて、第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ電位を制御することにより、第２ミラー電流に反転補正信号を重畳する。本例の第２制御配線１３５は、第２コンデンサ１３４と、第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ端子とを接続することにより、第２ミラー電流に反転補正信号を重畳する。

出力信号生成部７０は、補正信号生成部１３０から与えられる補正信号Ｉ１（第１ミラー電流）及び反転補正信号Ｉ２（第２ミラー電流）に基づいて、入力信号Ｖｉｎの所定の信号成分を強調する。出力信号生成部７０は、図２に関連して説明した出力信号生成部７０と同一の機能及び構成を有してよい。但し、図２においては、増幅部２５０から補正信号及び反転補正信号を受け取ったが、本例においては、補正信号生成部１３０から補正信号及び反転補正信号を受け取る。

このような構成により、補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆにおける直流レベルを同一（略零）にすることができる。そして、これらの補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆを、カレントミラー回路により同一に制御される第１ミラー電流及び第２ミラー電流に重畳するので、ミラー電流に重畳された後における補正信号Ｉ２及び反転補正信号Ｉ１の直流成分を、精度よく同一に制御することができる。このため、補正信号Ｉ２及び反転補正信号Ｉ１による直流誤差を低減することができる。

図６は、補正回路１００の動作の一例を示す図である。図３の例と同様に、補正回路１００には、伝送経路により減衰した入力信号Ｖｉｎが与えられる。第１の検出部１１０は、入力信号Ｖｉｎの波形を検出する。尚、図６では、入力信号Ｖｉｎの反転波形を省略する。

増幅部１５０は、第１の検出部１１０が検出した入力信号Ｖｉｎの波形及び反転波形の振幅を、所定の増幅率で増幅した波形Ｉｂ及びＩｃを生成する。但し、入力信号Ｖｉｎの波形に対する増幅率と、反転波形に対する増幅率とは同一である。また、当該増幅率は１以下であってよい。

第１のコンデンサ１３２及び第２のコンデンサ１３４は、波形Ｉｂ及びＩｃの交流成分を抽出して、補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆを生成する。このとき、それぞれの信号の直流成分は除去されるので、補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆの直流レベルは略零となる。

そして補正信号Ｉｇを第１ミラー電流に重畳することにより補正信号Ｉ１を生成して、反転補正信号Ｉｆを第２ミラー電流に重畳することにより反転補正信号Ｉ２を生成する。但し、第１ミラー電流及び第２ミラー電流は、カレントミラー回路により、同一の電流値に制御される。このため、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２の直流レベルは同一レベルとなる。

このようにして生成した補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２を、図３に示したような非反転信号Ｉｅ及び反転信号Ｉｄに重畳することにより、図３に示したように、伝送経路における損失を補償した差動の出力信号を得ることができる。また、上述したように、補正信号Ｉ１及び反転補正信号Ｉ２による直流誤差を低減することができる。

図７は、補正信号生成部１３０の他の構成例を示す図である。補正信号生成部１３０は、図５に示した補正信号生成部１３０の構成に対して、第１コンデンサ１３２、第２コンデンサ１３４、抵抗１４０、基準トランジスタ１４６、及び電流源１４８をそれぞれ２つずつ有する。

また、図５における補正信号生成部１３０は、第１ミラー用トランジスタ１４２及び第２ミラー用トランジスタ１４４のベース端子が、共通の基準トランジスタ１４６のベース端子に接続されているが、本例の補正信号生成部１３０は、第１ミラー用トランジスタ１４２のベース端子は、第１基準トランジスタ１４６−１のベース端子と接続されており、第２ミラー用トランジスタ１４４のベース端子は、別の第２基準トランジスタ１４６−２のベース端子と接続される。また、それぞれの基準トランジスタ１４６には、図５に示した基準トランジスタと同様に、抵抗１４０及び電流源１４８が接続される。

一方の第１コンデンサ１３２−１は、増幅部１５０と、第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ端子との間に設けられる。他方の第１コンデンサ１３２−２は、増幅部１５０と、第２ミラー用トランジスタ１４４のゲート端子との間に設けられる。第１コンデンサ１３２−１及び１３２−２は、図５に関連して説明した第１コンデンサ１３２と、それぞれ同一であってよい。

また、一方の第２コンデンサ１３４−１は、増幅部１５０と、第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ端子との間に設けられる。他方の第２コンデンサ１３４−２は、増幅部１５０と、第１ミラー用トランジスタ１４２のゲート端子との間に設けられる。第２コンデンサ１３４−１及び１３４−２は、図５に関連して説明した第２コンデンサ１３４と、それぞれ同一であってよい。

第１制御配線１３３は、補正信号Ｉｇに基づいて、第１基準トランジスタ１４６−１及び第１ミラー用トランジスタ１４２のそれぞれのベース電圧、並びに第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ電圧を制御する。例えば第１制御配線１３３は、第１基準トランジスタ１４６−１及び第１ミラー用トランジスタ１４２のそれぞれのベース電流、並びに第２ミラー用トランジスタ１４４のエミッタ電流を、補正信号Ｉｇに応じて変化させることにより、上述したベース電圧及びエミッタ電圧を制御してよい。

同様に、第２制御配線１３５は、反転補正信号Ｉｆに基づいて、第２基準トランジスタ１４６−２及び第２ミラー用トランジスタ１４４のそれぞれのベース電圧、並びに第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ電圧を制御する。例えば第２制御配線１３５は、第２基準トランジスタ１４６−２及び第２ミラー用トランジスタ１４４のそれぞれのベース電流、並びに第１ミラー用トランジスタ１４２のエミッタ電流を、反転補正信号Ｉｆに応じて変化させることにより、上述したベース電圧及びエミッタ電圧を制御してよい。

図８は、図７に示した補正信号生成部１３０の動作の一例を示す図である。増幅部１５０において、入力信号の波形及び反転波形の増幅率は、共通の電圧Ｖ２及びＶ３の比で定まるので、理想的には同一となる。このため、図５に関連して説明した補正信号生成部１３０の構成において、第１コンデンサ１３２及び第２コンデンサ１３４が出力する補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆの振幅は、図６に示したように同一となる。

しかし、増幅部１５０における素子特性のバラツキ等により、入力信号の波形の増幅率及び反転波形の増幅率が異なってしまう場合がある。係る場合、第１ミラー電流及び第２ミラー電流に加算される補正信号Ｉｇの振幅Ａ１及び反転補正信号Ｉｆの振幅Ａ２が異なってしまう。

これに対し、本例における補正信号生成部１３０は、図７において説明した構成により、補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆの和が、第１ミラー電流Ｉ１に加算される。また、補正信号Ｉｇ及び反転補正信号Ｉｆの和が、第２ミラー電流Ｉ２より減算される。このため、補正信号Ｉｇの振幅Ａ１及び反転補正信号Ｉｆの振幅Ａ２が異なる場合であっても、第１ミラー電流Ｉ１及び第２ミラー電流Ｉ２に加算される補正信号及び反転補正信号の振幅を等しくすることができる。このため、差動信号に対して、より精度よく信号成分を強調することができる。

図９は、出力信号生成部７０の他の構成例を示す図である。本例における出力信号生成部７０は、第２の検出部７２及び重畳部８６を有する。重畳部８６の構成は、図２に関連して説明した重畳部８６の構成と同一であってよい。

また、本例における第２の検出部７２は、図２に関連して説明した重畳部８６に対して、電流源７４及び電流源７６を有さない点で相違する。第１差動トランジスタ７８、第２差動トランジスタ８０、トランジスタ８２、及び電流源８４は、図２に関連して説明した第１差動トランジスタ７８、第２差動トランジスタ８０、トランジスタ８２、及び電流源８４と同一であってよい。尚、第１差動トランジスタ７８のコレクタ端子は、第２ミラー用トランジスタ１４４に接続され、第２差動トランジスタ８０のコレクタ端子は、第１ミラー用トランジスタ１４２に接続される。

このような構成により、第１差動トランジスタ７８及び第２差動トランジスタ８０に流す電流を、第１ミラー用トランジスタ１４２及び第２ミラー用トランジスタ１４４から供給することができる。つまり、電流源７４及び電流源７６を省略して、回路規模を低減することができる。

図１０は、本発明の一つの実施形態に係る試験装置３００の構成の一例を示す図である。試験装置３００は、半導体チップ等の被試験デバイス４００を試験する装置であって、試験信号生成部３１０、補正回路３４０、及び判定部３５０を有する。また、試験装置３００と被試験デバイス４００とは、パターン配線、ケーブル等を含む伝送路３６０で電気的に接続される。

試験信号生成部３１０は、被試験デバイス４００に入力すべき試験信号を生成して、伝送路３６０を介して入力する。例えば試験信号生成部３１０は、所定の論理パターンを有する試験信号を被試験デバイス４００に入力して、当該論理パターンに応じて被試験デバイス４００を動作させてよい。

試験信号生成部３１０は、パターン発生器３２０及び波形成形器３３０を有する。パターン発生器３２０は、使用者等から与えられる試験プログラムを実行して、試験信号が有するべき論理パターンを生成する。波形成形器３３０は、パターン発生器３２０が生成した論理パターンを有する試験信号の波形を成形する。

被試験デバイス４００は、入力される試験信号に応じて動作して、動作結果に応じた被測定信号を出力する。例えば被試験デバイス４００は、試験信号に応じて動作するデジタル回路を有してよく、試験信号に応じたアドレスのデータを出力するメモリ回路を有してもよい。

補正回路３４０は、被試験デバイス４００が試験信号に応じて出力する被測定信号を受け取り、被測定信号のレベルが、予め定められた参照レベルより大きいか否かの比較結果を、被測定信号の伝送路における損失を補償して取得する。補正回路３４０は、図１から図９に関連して説明した補正回路１００又は補正回路２００と同一であってよい。

本例の補正回路３４０は、図１から図９において説明した入力信号として、被測定信号を受け取る。また、本例における参照レベルは、被測定信号におけるＬ論理の電圧レベルと、Ｈ論理の電圧レベルとの中間レベルであってよい。補正回路３４０は、図１から図９において説明した出力信号を、比較結果として判定部３５０に供給してよい。

判定部３５０は、補正回路３４０が取得した比較結果に基づいて、被試験デバイス４００の良否を判定する。例えば判定部３５０は、与えられる比較結果の論理値を、与えられるクロック信号のタイミングで順次検出してよい。そして、検出した論理パターンを、期待される論理パターンと比較することにより、被試験デバイス４００の良否を判定してよい。期待される論理パターンは、試験信号の論理パターンに基づいて、パターン発生器３２０が生成してよい。

本例における試験装置３００によれば、被測定信号の所定の信号成分を強調することにより、伝送路３６０における損失を補償して、被測定信号を測定することができる。このため、試験に用いられる伝送路３６０の影響を低減して、被試験デバイス４００の実装状態の特性を精度よく試験することができる。尚、補正回路３４０の各素子の特性は、伝送路３６０の特性に応じて設定されてよい。

図１１は、試験装置３００の他の構成例を示す図である。本例の試験装置３００は、図１０に示した試験装置３００の構成に対して、測定部３７０を更に備える。また、補正回路３４０は、試験信号生成部３１０と伝送路３６０との間に設けられ、試験信号の所定の信号成分を強調する。

測定部３７０は、被試験デバイス４００からの被測定信号を測定する。例えば測定部３７０は、被測定信号の信号レベルと、所定の参照レベルとの大小関係を示す比較結果を出力してよい。判定部３５０は、測定部３７０における比較結果に基づいて、被試験デバイス４００の良否を判定する。

このような構成により、伝送路３６０における損失を予め補償した試験信号を用いて、被試験デバイス４００を試験することができる。このため、被試験デバイス４００を精度よく試験することができる。尚、図１１に示した構成に対して、測定部３７０に代えて補正回路３４０を更に備えてもよい。つまり、試験装置３００は、試験信号の所定の信号成分を強調して被試験デバイス４００に供給する補正回路３４０と、被測定信号の所定の信号成分を強調して測定する補正回路３４０とを備えてよい。これにより、試験信号及び被測定信号の双方の損失を補償して、被試験デバイス４００をより精度よく試験することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

例えば、図１から図９に示したＰＮＰトランジスタを、ＮＰＮトランジスタに置き換え、更に、図１から図９に示したＮＰＮトランジスタを、ＰＮＰトランジスタに置き換えた形態も、本発明の技術的範囲に含まれ得ることは明らかである。

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、伝送路における信号の損失を補償することができる。更に、補正信号の増幅率を調整して、損失補償を調整する場合において、直流誤差を生じさせずに、補正信号の増幅率を調整することができる。また、素子バラツキ等による直流誤差も排除することができる。

Claims (10)

1. 与えられる入力信号に対して、所定の信号成分を強調した出力信号を生成する補正回路であって、
   前記入力信号の波形及び反転波形を検出する第１の検出部と、
   前記第１の検出部が検出した前記波形及び前記反転波形を増幅する増幅部と、
   予め定められた基準電流に応じた第１ミラー電流に、前記増幅部が増幅した前記波形の交流成分に応じた補正信号を重畳した第１補正ミラー電流、及び、前記基準電流に応じた第２ミラー電流に、前記反転波形の交流成分に応じた反転補正信号を重畳した第２補正ミラー電流を生成する補正信号生成部と、
   前記入力信号の波形に前記第１補正ミラー電流を重畳し、前記反転波形に前記第２補正ミラー電流を重畳して、前記出力信号の差動信号対を生成する出力信号生成部と
   を備える補正回路。
2. 前記補正信号生成部は、
   前記基準電流を流す基準トランジスタと、
   ベース端子が前記基準トランジスタのベース端子に接続された第１ミラー用トランジスタと、
   ベース端子が前記基準トランジスタのベース端子に接続された第２ミラー用トランジスタと
   を有する請求項１に記載の補正回路。
3. 前記出力信号生成部は、
   前記入力信号の波形及び前記入力信号の反転波形を検出する第２の検出部と、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の波形に前記補正信号を重畳し、前記第２の検出部が検出した前記入力信号の反転波形に前記反転補正信号を重畳する重畳部と
   を有する請求項２に記載の補正回路。
4. 前記補正信号生成部は、
   前記増幅部が増幅した前記入力信号の波形の交流成分を通過させ、前記補正信号を生成する第１コンデンサと、
   前記増幅部が増幅した前記入力信号の反転波形の交流成分を通過させ、前記反転補正信号を生成する第２コンデンサと、
   予め定められた基準電流を流す基準トランジスタと、
   前記基準トランジスタとベース端子同士が接続され、前記基準電流に応じた第１ミラー電流を流す第１ミラー用トランジスタと、
   前記基準トランジスタとベース端子同士が接続され、前記基準電流に応じた第２ミラー電流を流す第２ミラー用トランジスタと、
   前記補正信号に基づいて前記第１ミラー用トランジスタのエミッタ電位を制御することにより、前記第１ミラー電流に前記補正信号を重畳する第１制御配線と、
   前記反転補正信号に基づいて前記第２ミラー用トランジスタのエミッタ電位を制御することにより、前記第２ミラー電流に前記反転補正信号を重畳する第２制御配線と
   を有し、
   前記重畳部は、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の波形を、前記第１ミラー電流に応じて補正する第１補正部と、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の反転波形を、前記第２ミラー電流に応じて補正する第２補正部と
   を有する請求項３に記載の補正回路。
5. 前記補正信号生成部は、
   前記基準電流を流す第１基準トランジスタと、
   前記基準電流を流す第２基準トランジスタと、
   ベース端子が前記第１基準トランジスタのベース端子に接続された第１ミラー用トランジスタと、
   ベース端子が前記第２基準トランジスタのベース端子に接続された第２ミラー用トランジスタと
   を有する請求項１に記載の補正回路。
6. 前記出力信号生成部は、
   前記入力信号の波形及び前記入力信号の反転波形を検出する第２の検出部と、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の波形に前記補正信号を重畳し、前記第２の検出部が検出した前記入力信号の反転波形に前記反転補正信号を重畳する重畳部と
   を有する請求項５に記載の補正回路。
7. 前記補正信号生成部は、
   前記増幅部が増幅した前記入力信号の波形の交流成分を通過させ、前記補正信号を生成する第１コンデンサと、
   前記増幅部が増幅した前記入力信号の反転波形の交流成分を通過させ、前記反転補正信号を生成する第２コンデンサと、
   予め定められた基準電流を流す第１基準トランジスタと、
   前記第１基準トランジスタとベース端子が接続され、前記基準電流に応じた第１ミラー電流を流す第１ミラー用トランジスタと、
   予め定められた基準電流を流す第２基準トランジスタと、
   前記第２基準トランジスタとベース端子が接続され、前記基準電流に応じた第２ミラー電流を流す第２ミラー用トランジスタと、
   前記補正信号に基づいて、前記第１基準トランジスタ及び前記第１ミラー用トランジスタのベース電圧、並びに前記第２ミラー用トランジスタのエミッタ電圧を制御する第１制御配線と、
   前記反転補正信号に基づいて、前記第２基準トランジスタ及び前記第２ミラー用トランジスタのベース電圧、並びに前記第１ミラー用トランジスタのエミッタ電圧を制御する第２制御配線と
   を有し、
   前記重畳部は、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の波形を、前記第１ミラー電流に応じて補正する第１補正部と、
   前記第２の検出部が検出した前記入力信号の反転波形を、前記第２ミラー電流に応じて補正する第２補正部と
   を有する請求項６に記載の補正回路。
8. 前記第２の検出部は、前記入力信号の波形及び反転波形を検出する第１の差動トランジスタ及び第２の差動トランジスタを有し、
   一方の前記差動トランジスタは、前記第１ミラー用トランジスタに接続され、
   他方の前記差動トランジスタは、前記第２ミラー用トランジスタに接続される
   請求項３、４、６または７に記載の補正回路。
9. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   被試験デバイスに入力する試験信号を生成する試験信号生成部と、
   前記試験信号生成部が生成した前記試験信号に対して、所定の信号成分を強調して、前記被試験デバイスに入力する請求項１から８のいずれか一項に記載の補正回路と、
   前記被試験デバイスが、前記試験信号に応じて出力する被測定信号を測定する測定部と、
   前記測定部における測定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
   を備える試験装置。
10. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
    被試験デバイスに入力する試験信号を生成する試験信号生成部と、
    前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する被測定信号を受け取り、前記被測定信号のレベルが、予め定められたレベルより大きいか否かの比較結果を、前記被測定信号の伝送路における損失を補償して取得する請求項１から８のいずれか一項に記載の補正回路と、
    前記補正回路が取得した前記比較結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
    を備える試験装置。

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