JP4772382B2 - 任意波形発生器、試験装置、任意波形発生方法、及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、所望の波形を生成する任意波形発生器、及び任意波形発生器を備える試験装置に関する。特に、ノイズの少ない波形を生成する任意波形発生器に関する。

従来、被試験デバイスを試験する場合に、被試験デバイスに所望の波形を有する試験信号を入力する方法が知られている。例えば、当該試験信号を入力したときの被試験デバイスの出力信号を、期待値信号と比較することにより、被試験デバイスの良否を判定することができる。

従来、所望の波形の試験信号を生成するために、任意波形発生器が用いられている。当該任意波形発生器は、生成するべき波形のパターンを示すデジタルデータを、デジタルアナログコンバータ（以下、ＤＡＣという）によりアナログ信号に変換する。また、スムージングフィルタを用いて、当該アナログ信号の高周波成分を除去し、当該アナログ信号の波形を滑らかにしている。

現在、関連する特許公報等は認識していないため、その記載を省略する。

しかし、スムージングフィルタを用いた場合、当該スムージングフィルタの帯域が狭いと、アナログ信号の波形が歪んでしまう。例えば、アナログデジタルコンバータ（以下、ＡＤＣという）の試験においては、高精度の直線性を有するランプ波が必要とされるが、スムージングフィルタを通過させたランプ波は、ランプ波のエッジの始点及び終点において波形が歪み、直線性を確保することが困難である。

また、試験信号のノイズを除去する目的でフィルタを用いた場合にも、同様に試験信号が歪んでしまう場合がある。また、高周波の試験信号を生成する場合、試験信号の傾きが急峻となり、試験回路を広帯域化する必要がある。試験回路の帯域が十分でない場合、試験信号の歪みが生じてしまう。しかし、試験回路を広帯域化した場合、試験信号に重畳されるノイズが増大してしまう。このように、従来の装置では、高速且つ低ノイズの試験信号を生成することが困難であった。

このため本発明は、上述した課題を解決することのできる任意波形発生器、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置において、被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生器であって、任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成部と、パターンデータに基づいて、任意波形を出力するデジタルアナログ変換部と、パターンデータを微分した値に、デジタルアナログ変換部が出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、パターンデータに加算することにより、パターンデータを補正し、デジタルアナログ変換部に入力する補正処理部とを備える任意波形発生器を提供する。

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生器と、被試験デバイスが出力する出力信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定器とを備え、任意波形発生器は、任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成部と、パターンデータに基づいて、任意波形を出力するデジタルアナログ変換部と、パターンデータを微分した値に、デジタルアナログ変換部が出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、パターンデータに加算することにより、パターンデータを補正し、デジタルアナログ変換部に入力する補正処理部とを有する試験装置を提供する。

本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験方法において、被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生方法であって、任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成段階と、パターンデータに基づいて、任意波形を出力するデジタルアナログ変換段階と、パターンデータを微分した値に、デジタルアナログ変換段階において出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、パターンデータに加算することにより、パターンデータを補正し、デジタルアナログ変換段階に入力する補正処理段階とを備える任意波形発生方法を提供する。

本発明の第４の形態においては、コンピュータを、第１の形態の任意波形発生器における波形パターン生成部および補正処理部として機能させるためのプログラムを提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の実施形態に係る任意波形発生器１００の構成の一例を示す図である。任意波形発生器１００は、所望の波形を有する信号を生成する装置であって、波形パターン生成部１０、スイッチ１２並びに１４、補正処理部２０、ＤＡＣ４０、スムージングフィルタ５０、増幅回路６０、スイッチ１６並びに１８、及びローパスフィルタ７０を備える。

波形パターン生成部１０は、任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する。波形パターン生成部１０は、与えられるプログラムに応じてパターンデータを生成してよく、また予めパターンデータを格納して出力するメモリであってもよい。

ＤＡＣ４０は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータに基づいて、任意波形を出力する。スムージングフィルタ５０は、ＤＡＣ４０が出力する任意波形の高周波成分を除去する。増幅回路６０は、スムージングフィルタ５０が出力する信号の信号レベルを、予め定められた増幅率で増幅して出力する。

ローパスフィルタ７０は、増幅回路６０が出力する信号のノイズを除去する。ローパスフィルタ７０は、例えば抵抗及びコンデンサを有する一次フィルタである。このような構成により、所望の波形を有する信号を生成する。しかし、スムージングフィルタ５０、又はローパスフィルタ７０を通過した信号は、これらのフィルタの周波数特性に応じて、波形が歪んでしまう。

補正処理部２０は、波形パターン生成部１０とＤＡＣ４０との間に設けられ、当該波形の歪みを補償するべく、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを補正する。このような構成により、低ノイズ且つ低歪みの任意波形を生成する。任意波形発生器１００は、波形パターン生成部１０及び補正処理部２０の機能を有する演算ユニットと、当該演算ユニットから受け取るデータに応じて波形を生成する波形発生器とを組み合わせたものであってよい。この場合、当該波形発生器は、周知の装置を用いてよい。また、補正処理部２０における演算は、ハードウェアによって実現されてよく、またソフトウェアによって実現されてもよい。

また、スイッチ１２及び１４は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを、補正処理部２０を介してＤＡＣ４０に入力するか、又は補正処理部２０を介さずにＤＡＣ４０に入力するかを切り替える選択部として機能する。例えば、任意波形発生器１００が出力する信号が、スムージングフィルタ５０及びローパスフィルタ７０による波形の歪みを許容する場合、スイッチ１２及び１４は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを、補正処理部２０を介さずに、ＤＡＣ４０に入力する。

また、スイッチ１６及び１８は、増幅回路６０が出力する信号を、ローパスフィルタ７０を介して外部に出力するか、又はローパスフィルタ７０を介さずに外部に出力するか否かを切り替える選択部として機能する。例えば、任意波形発生器１００が出力する信号が、ノイズを許容する場合、スイッチ１６及び１８は、増幅回路６０が出力するパターンデータを、ローパスフィルタ７０を介さずに、外部に出力する。

また、スイッチ１２及び１４は、スイッチ１６及び１８がローパスフィルタ７０を介する経路を選択した場合に、補正処理部２０を介する経路を選択してもよい。例えば、スムージングフィルタ５０における波形の歪みが十分小さい場合、ローパスフィルタ７０の時定数による歪みが問題となる。このような場合、スイッチ１２及び１４を、スイッチ１６及び１８に連動して制御することにより、パターンデータを効率よく補正することができる。

また、任意波形発生器１００は、出力する信号の用途に応じて、スムージングフィルタ５０の特性を切り替えてよい。例えば、任意波形発生器１００は、特性の異なる複数のスムージングフィルタ５０を有し、用途に応じていずれのスムージングフィルタ５０を用いるかを選択してよい。

図２は、フィルタ等が出力する信号の歪みを説明する図である。図２（ａ）は、ＤＡＣ４０が出力する任意波形の一例を示す。図２においては、フィルタに入力される任意波形を破線で示し、フィルタが出力する波形を実線で示す。

図２（ａ）に示したように、任意波形のエッジ部分は、エッジの始点及び終点において高周波成分を有する。このため、フィルタ等の周波数特性を有する経路を通過した波形は、当該周波数特性に応じて、図２（ａ）に示すようにエッジの始点及び終点において波形がなまる。

図２（ｂ）は、フィルタ等の経路に入力される波形と、フィルタ等の経路が出力する波形との、差分波形を示す。フィルタ等の経路が出力する波形は、フィルタ等の経路に入力される波形に対し、図２（ｂ）に示すような誤差を有している。当該差分波形の振幅は、当該エッジの傾きと、フィルタ等の経路が有する時定数を乗算した値により定まる。

図２（ｃ）は、フィルタ等の経路に入力される任意波形を微分した波形を示す。図２（ｃ）においては、当該微分波形を破線で示し、フィルタ等の経路を通過させた場合の当該微分波形を実線で示す。図２（ｃ）に示すように、フィルタ等の経路を通過させた微分波形は、図２（ｂ）に示した差分波形を反転したものと略一致する。即ち、当該微分波形を任意波形に予め重畳し、フィルタ等の経路に入力することにより、フィルタ等の経路における波形の歪みを補償することができる。

図１に示した補正処理部２０は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを受け取り、当該パターンデータを微分する。そして、パターンデータを微分した値と、任意波形が通過する経路の時定数とに基づいてパターンデータを補正し、ＤＡＣ４０に入力する。例えば、補正処理部２０は、当該微分値と、スムージングフィルタ５０及びローパスフィルタ７０の時定数とに基づいて、パターンデータを補正する。補正処理部２０は、当該経路の時定数が予め与えられてよく、またローパスフィルタ７０の時定数が与えられてもよい。

例えば、スイッチ１６及び１８が、ローパスフィルタ７０を介する経路を選択した場合、補正処理部２０は、ローパスフィルタ７０の時定数に基づいて、パターンデータを補正してよい。この場合スイッチ１２及び１４は、補正処理部２０を介する経路を選択する。

図３は、補正処理部２０の構成の一例を示す図である。補正処理部２０は、微分処理部２２、乗算部２４、及び加算部２６を有する。微分処理部２２は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを受け取り、当該パターンデータを微分する。

乗算部２４は、微分処理部２２が出力するデータに、任意波形が通過する経路の時定数を乗算する。乗算部２４が出力するデータは、図２（ｃ）に示した微分波形のパターンを示すデータである。加算部２６は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータに、乗算部２４が出力するデータを加算し、ＤＡＣ４０に入力する。加算部２６は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータと、乗算部２４が出力するデータとを同期して受け取ることが好ましい。このような構成により、フィルタ等における波形の歪みを予め補償したパターンデータを生成することができる。

図４（ａ）及び図４（ｂ）は、補正処理部２０の回路構成の一例を示す図である。本例における補正処理部２０は、乗算部２８、加算部３０、減算部３２、及び遅延部３４を有する。図４（ａ）に示す補正処理部２０においては、乗算部２８は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータに、例えばローパスフィルタ７０の時定数を乗算する。また、乗算部２８は、ＤＡＣ４０のサンプリング周波数と、当該時定数とを乗算した補正係数を、パターンデータに乗算してもよい。

加算部３０は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータに、乗算部２８が出力するデータを加算する。遅延部３４は、乗算部２８が出力するデータを、当該パターンデータの１データ周期だけ遅延させる。そして、減算部３２は、加算部３０が出力するデータから、遅延部３４が出力するデータを減算して出力する。このような構成により、図３において説明した補正処理部２０の機能を実現することができる。

また、図４（ｂ）に示す補正処理部２０においては、遅延部３４は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータを、当該パターンデータの１データ周期だけ遅延させる。そして、減算部３２は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータから、遅延部３４が出力するデータを減算する。乗算部２８は、減算部３２が出力するデータに、例えばローパスフィルタ７０の時定数を乗算する。また、加算部３０は、波形パターン生成部１０が出力するパターンデータに、乗算部２８が出力するデータを加算する。このような構成によっても、図３において説明した補正処理部２０の機能を実現することができる。

図５は、任意波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。本例における任意波形発生器１００は、所望の波形の任意波形を発生する動作モードと、ランプ波形を発生する動作モードとを有する。任意波形発生器１００は、タイミング発生器７１、波形メモリ７２、ＤＡＣ７４、バッファ７６、スムージングフィルタ７８、減衰器８０、加算部８２、バッファ８４、スイッチ８６、ランプ波生成部８８、スイッチ９０並びに９４、補正処理部９２、及びＤＡＣ９６を備える。

タイミング発生器７１は、任意波形発生器１００を動作させる基準クロックを生成する。波形メモリ７２は、生成するべき任意波形のパターンを示すパターンデータを予め格納する。また、ランプ波生成部８８は、生成するべきランプ波のパターンを示すパターンデータを生成する。ＤＡＣ７４は、波形メモリ７２が出力するパターンデータを、アナログ信号に変換する。また、ＤＡＣ９６は、ランプ波生成部８８が出力するパターンデータを、アナログ信号に変換する。

所望の波形の任意波形を発生する場合、スイッチ８６は、タイミング発生器７１が生成する基準クロックを、波形メモリ７２及びＤＡＣ７４に供給する。この場合、波形メモリ７２は、当該基準クロックに応じてパターンデータを出力し、ＤＡＣ７４は、当該基準黒くに応じて、パターンデータをサンプリングしたアナログ信号を出力する。

スムージングフィルタ７８は、ＤＡＣ７４が出力するアナログ信号を、バッファ７６を介して受け取る。スムージングフィルタ７８は、図１に関連して説明したスムージングフィルタ５０と同一であってよい。減衰器８０は、スムージングフィルタ７８が出力する信号の振幅を所望の振幅に調整する。また、ＤＡＣ９６は、所定のオフセット電圧を生成する。加算部８２は、減衰器８０が出力する信号と、ＤＡＣ９６が出力するオフセット電圧とを加算し、バッファ８４を介して外部に出力する。

このような構成により、任意波形を発生する。ここで、ＤＡＣ９６は、オフセット電圧を生成するので、ＤＡＣ７４より低速に動作する回路であってよい。また、ＤＡＣ９６は、ＤＡＣ７４より高精度且つ高分解能な回路である。ＤＡＣ９６は、ＤＡＣ７４より低速に動作する回路であってよいので、ＤＡＣ７４より高精度且つ高分解能に信号値を出力する回路とすることは容易である。

また、ランプ波形を発生する場合、スイッチ８６は、タイミング発生器７１が生成する基準クロックを、ランプ波生成部８８及びＤＡＣ９６に供給する。ランプ波生成部８８は、当該基準クロックに応じてパターンデータを出力する。スイッチ９０、９４、及び補正処理部９２は、図１に関連して説明したスイッチ１２、１４、及び補正処理部２０と同一である。本例における補正処理部２０には、例えばバッファ８４以降の経路における時定数が与えられてよい。また、バッファ８４の後段にローパスフィルタを用いてノイズを除去する場合、当該ローパスフィルタの時定数が与えられてもよい。

ＤＡＣ９６は、当該基準クロックに応じて、パターンデータをサンプリングしたアナログ信号を出力する。ＤＡＣ９６が出力するアナログ信号は、加算部８２及びバッファ８４を介して外部に出力される。

このような構成により、任意の波形を有する任意波形を高速なＤＡＣ７４で生成し、且つ任意波形のオフセット電圧を生成するＤＡＣ９６を利用して、高精度且つ高分解能のランプ波形をも生成することができる。また、補正処理部９２を用いることにより、より歪みの小さいランプ波形を生成することができる。

図６は、本発明の実施形態に係る試験装置２００の構成の一例を示す図である。試験装置２００は、被試験デバイス３００を試験する装置であって、任意波形発生器１００及び判定器１１０を備える。

任意波形発生器１００は、図１から図５において説明した任意波形発生器１００と同一である。任意波形発生器１００は、任意の波形を有する試験信号を生成し、被試験デバイス３００に入力する。

判定器１１０は、試験信号に応じて被試験デバイス３００が出力する出力信号に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば、判定器１１０は、与えられる期待値信号と、当該出力信号とを比較することにより、被試験デバイス３００の良否を判定してよい。

本例における試験装置２００によれば、低ノイズ且つ低歪みの試験信号を生成することができるので、精度よく被試験デバイス３００の良否を判定することができる。

図７は、本発明の実施形態に係る任意波形発生方法の一例を示すフローチャートである。まず、波形パターン生成段階Ｓ４０２において、任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する。波形パターン生成段階Ｓ４０２では、図１に関連して説明した波形パターン生成部１０を用いてパターンデータを生成してよい。

次に、補正処理段階Ｓ４０４において、パターンデータを微分した値と、任意波形が通過する経路の時定数とに基づいてパターンデータを補正する。補正処理段階Ｓ４０４では、図１に関連して説明した補正処理部２０を用いて補正処理を行ってよい。つまり、補正処理段階Ｓ４０４では、任意波形が通過する経路の時定数による当該波形の歪みを補償するべく、パターンデータを予め補正する。

そして、デジタルアナログ変換段階Ｓ４０６において、補正されたパターンデータに基づいて、任意波形を出力する。デジタルアナログ変換段階Ｓ４０６では、図１に関連して説明したＤＡＣ４０を用いて任意波形を出力してよい。このようなステップにより、低ノイズ且つ低歪みの任意波形を生成することができる。

図８は、任意波形発生器１００を機能させるコンピュータ５００の構成の一例を示す。本例において、コンピュータ５００は、任意波形発生器１００を図１から図６において説明したように機能させるプログラムを格納する。コンピュータ５００は、ＣＰＵ７００と、ＲＯＭ７０２と、ＲＡＭ７０４と、通信インターフェース７０６と、ハードディスクドライブ７１０と、ＦＤディスクドライブ７１２と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１６とを備える。ＣＰＵ７００は、ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、ハードディスク７１０、ＦＤディスク７１４、及び／又はＣＤ−ＲＯＭ７１８に格納されたプログラムに基づいて動作する。

例えば、任意波形発生器１００を機能させるプログラムは、任意波形発生器１００を、図１から図６において説明した波形パターン生成部１０、スイッチ１２並びに１４、補正処理部２０、ＤＡＣ４０、スムージングフィルタ５０、増幅回路６０、スイッチ１６並びに１８、及びローパスフィルタ７０として機能させる。また、コンピュータ５００は、当該プログラムに基づいて、波形パターン生成部１０及び補正処理部２０として機能してもよい。

通信インターフェース７０６は、例えば任意波形発生器１００と通信し、任意波形発生器１００を制御する。また、コンピュータ５００が波形パターン生成部１０及び補正処理部２０として機能する場合、通信インターフェース７０６は、周知の波形発生器と通信し、当該波形発生器を、ＤＡＣ４０、スムージングフィルタ５０、増幅回路６０、スイッチ１６並びに１８、及びローパスフィルタ７０として機能させてもよい。

格納装置の一例としてのハードディスクドライブ７１０は、設定情報及びＣＰＵ７００を動作させるプログラムを格納する。ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、及び／又はハードディスクドライブ７１０は、任意波形発生器１００を図１から図６に関連して説明した任意波形発生器１００として機能させるためのプログラムを格納する。また、当該プログラムは、フレキシブルディスク７２０、ＣＤ−ＲＯＭ７２２、ハードディスクドライブ７１０等に格納されていてもよい。

ＦＤドライブ７１２はフレキシブルディスク７１４からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１６はＣＤ−ＲＯＭ７１８からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。

また、プログラムは記録媒体から直接ＲＡＭに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にＲＡＭに読み出されて実行されても良い。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。

プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭの他にも、ＤＶＤ、ＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ＩＣカードやミニチュアーカードなどの半導体メモリ等を用いることができる。又、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはＲＡＭ等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

以上から明らかなように、本発明によれば、任意波形のノイズを除去するためにローパスフィルタを用いた場合に、当該ローパスフィルタにおける任意波形の歪みを補償することができる。

本発明の実施形態に係る任意波形発生器１００の構成の一例を示す図である。 フィルタ等が出力する信号の歪みを説明する図である。 補正処理部２０の構成の一例を示す図である。 補正処理部２０の回路構成の一例を示す図である。 任意波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。 本発明の実施形態に係る試験装置２００の構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る任意波形発生方法の一例を示すフローチャートである。 任意波形発生器１００を機能させるコンピュータ５００の構成の一例を示す図である。

１０・・・波形パターン生成部、１２、１４、１６、１８・・・スイッチ、２０・・・補正処理部、２２・・・微分処理部、２４・・・乗算部、２６・・・加算部、２８・・・乗算部、３０・・・加算部、３２・・・減算部、３４・・・遅延部、５０・・・スムージングフィルタ、６０・・・増幅回路、７０・・・ローパスフィルタ、７２・・・波形メモリ、７４・・・ＤＡＣ、７６・・・バッファ、７８・・・スムージングフィルタ、８０・・・減衰器、８２・・・加算部、８４・・・バッファ、８６・・・スイッチ、８８・・・ランプ波生成部、９０・・・スイッチ、９２・・・補正処理部、９４・・・スイッチ、９６・・・ＤＡＣ、１００・・・任意波形発生器、１１０・・・判定器、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス

Claims (7)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置において、前記被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生器であって、
   前記任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成部と、
   前記パターンデータに基づいて、前記任意波形を出力するデジタルアナログ変換部と、
   前記パターンデータを微分した値に、前記デジタルアナログ変換部が出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、前記パターンデータに加算することにより、前記パターンデータを補正し、前記デジタルアナログ変換部に入力する補正処理部と
   を備える任意波形発生器。
2. 前記補正処理部は、
   前記パターンデータを微分する微分処理部と、
   前記微分処理部が出力するデータに、前記時定数を乗算する乗算部と、
   前記パターンデータに、前記乗算部が出力するデータを加算し、前記デジタルアナログ変換部に入力する加算部と
   を有する請求項１に記載の任意波形発生器。
3. 前記波形パターン生成部が出力する前記パターンデータ、又は前記補正処理部において補正された前記パターンデータのいずれかを選択し、前記デジタルアナログ変換部に入力する選択部を更に備える
   請求項１または２に記載の任意波形発生器。
4. 前記デジタルアナログ変換部が出力する前記任意波形のノイズを除去する１次ローパスフィルタを更に備え、
   前記任意波形が、前記１次ローパスフィルタを通過して出力される場合、前記補正処理部は、前記１次ローパスフィルタの時定数に基づいて前記パターンデータを補正し、前記選択部は、前記補正処理部において補正された前記パターンデータを選択する
   請求項３に記載の任意波形発生器。
5. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生器と、
   前記被試験デバイスが出力する出力信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定器と
   を備え、
   前記任意波形発生器は、
   前記任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成部と、
   前記パターンデータに基づいて、前記任意波形を出力するデジタルアナログ変換部と、
   前記パターンデータを微分した値に、前記デジタルアナログ変換部が出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、前記パターンデータに加算することにより、前記パターンデータを補正し、前記デジタルアナログ変換部に入力する補正処理部と
   を有する試験装置。
6. 被試験デバイスを試験する試験方法において、前記被試験デバイスに入力する試験信号を生成する任意波形発生方法であって、
   前記任意波形のパターンを示すパターンデータを生成する波形パターン生成段階と、
   前記パターンデータに基づいて、前記任意波形を出力するデジタルアナログ変換段階と、
   前記パターンデータを微分した値に、前記デジタルアナログ変換段階において出力する任意波形が通過する経路の時定数を乗算した値を、前記パターンデータに加算することにより、前記パターンデータを補正し、前記デジタルアナログ変換段階に入力する補正処理段階と
   を備える任意波形発生方法。
7. コンピュータを、請求項１に記載の任意波形発生器における前記波形パターン生成部および前記補正処理部として機能させるためのプログラム。

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