TWI290430B - Scanning electron beam device - Google Patents
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Description
I29〇435〇ipif 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種使電子光束或離子光束等荷電粒子 光束於試料上進行二次元掃描且形成掃描圖像之掃描電子 束1置,特別是關於一種具有對掃描圖像之直線性進行校 正之功能的掃描電子束裝置。 【先前技術】 #使荷電粒子光束於試料上進行二次元掃描時,藉由使 荷私粒子光束與試料平臺於X軸方向以及γ軸方向相對移 ,、’通常,於X軸方向移動1列而取得檢測訊號之後,反 设進行於Υ軸方向移動丨列之操作,藉此取得i框汾⑴加 之掃描訊號。 當平臺之座標系與掃描電子束之座標系之間不一致之 二形時▲,於可取得檢測訊號之掃描®像位置、與配置於平 移)。<料位置之間’產生位置偏移(掃描訊號之視野偏 二立置偏移之校正,藉由於試料上設有用以, 立之標記’使平臺㈣且確認設於試料〔 」 :平臺之座標系與掃描電子束之座標系進二』^ [發明所欲解決之問題] 故而存有操作時間該操树 長之問74此外,因無客觀基準故, 7 lpif Ι29043β 亦存有因操作者不同而造成校正彳林同。 一:」二於試料侧設有用以獲得校正值之^己 -人父換試料均會發生位置偏移, 己,故而每 作與掃描電子束之關係的問題。 &難求出平臺動 源間之相對位置進行校正時,必 2正。對該電子束 間距或每個控制值之移動量等。拉1^子束源間的光束 情形時,存在以下問題,即產進行該等運算之 人為的錯誤。 外或偏和方向之錯誤等 【發明内容】 可客觀地對=明之目的在於解決上述之先前問題,使得 减地對“轉之視野偏移it行校正。喷使付 係進=發:==:r束源之相對位置關 方向之至少-個位置 本电3之使荷電粒子光束於 門的Γ室之座標系中’根據平臺上標記之掃#円德免屮 位置’並將該標記位置作為指標位置 又,於掃描電子束之座標系中,根據平臺上標記之掃
Ipif
129〇43Q =源=子束源座標系之旋轉方向偏移、以及多個 於、之γ軸方向偏移或X轴方向偏移。 上之:掃描電子束裝置中,設於平臺 内的掃描;;描電子束之㈣^ 圖傻的从東用付號,根據该掃描電子束用符泸之浐》 束源之旋ΐ::Γ描電子束之座標系中至鳩ΐ; 該校正係數控量而求出校正係數’使用 旋轉方向偏移進行校^:、* ’错此可對掃描電子束之 =各電子束源間之束源,藉此, 仃奴正。 及/或x軸方向之偏移進 掃描電子束用符號包括含 ,以及含有傾斜於該@向上之直線的水平 。 十付唬之方向上之直線的傾斜 t偏移量的符號部分长移以及Y軸方向偏移 移之偏移量的符號部分。、^疋用以求出X軸方向偏 偏f向偏移可利用水平符泸之 ,置而求得。γ袖方 :虎之兩端的γ轴方向位置 付之掃掏圖像之兩個水 ^艮據由兩個電子束源而獲 虎中同-部分的Y軸方向位置 符號 符號
Pif 偏移量而求出。 又’ X袖方向偏移可枳械山 描圖像之兩個水平浐 X據由兩個電子束源而獲得之掃 而求出。 付^同一部分的X軸方向位置偏移量 平臺座標之平臺用田電子束用符號之外,可具有取得 位置的位置符號,以及1、二平s用符號包括決定平臺上之 位置符號作為用以評價號之方向的方向符號。 用’將掃描圖像中之位$座標系之位置的指標位置而使 系的位置偏移號作為指標可求出平 臺之座標 符號之方向的資訊,且掃描圖像中提供存有位置 探索方向。 土衣该方向符號可獲取位置符號之 [發明之效果] 根據本發明,可對多 校正。 u %子束源之相對位置關係進t 中之至小可,兒子束源之旋轉方向、X軸方向、γ缸 少—個位置偏移進顿正。、方向 【只苑方式】 訂示就本發明之實施形態 闉1是用以說明太^B0 t、、、田呪明。 掃描電子束裝置“,子束置的概略圖。 光束照射於試料上之電子;„子等荷電教子 子光束之㈣ 臺3;藉由檢測器4對^ 子先束之㈣而自試料產生之二次電子等進行檢=何電輪 迎藉 l29〇4^pif 日t =晃粒子光束之掃描或平臺之移動而對試料上之光束的 <射位置進行掃描。 掃标電子束裝置丨具有:掃描圖像形成機構5,复 獲得之檢測訊號形成掃描圖像;掃描圖像 數6 ’其記憶卿成之掃描®像;位置偏移校正俜 口:异機構j,其基於所獲得之婦描圖像而計算位:、 “::;Γ:ΐ憶機構8,其記憶由位置偏移校正係婁; 二:Γ/爾出之位置偏移校正係數等參數;以及 數,=子束=獲得之位置偏移校正係數或其他參 束源2或平堂3進行驅動控制。 位置偏移校正係數計算機7 向偏移校正係數計算機構7a ,:,理:旋轉方 源2之基準座標(光 求出相對於電子束 偏移的偏移量,並計算對^求之旋轉方向 係數;Y軸方向偏移校正係數叶出夕里進行校正之校正 有多個電子束源2之構成中:久“之計算,其於具 向偏移之偏移量,並計所出口电子束源間之Y軸方
正係數· rig 對所求出之偏移量谁耔妗X 算,其求出各電二:源方=:7正係數計算機構1 算對^出之偏移量進储之偏移量, -偏二:描:巧:置1於平〜— 座桿之;ί:;記的圖。圖2中,標記包:卜 用付號U、與用以計算掃描=用以取得平臺 兒于束之位置偏移 I29〇43fllpif 等而形成於平臺之 二及/或下端。_2中表示標記設於 但亦可為設於下端冓而’ 之紝椹^ 口 乂及汉方;上端以及下端的兩端 符號11是針對每個電子束源2而設置,而 田:子束用符號12設於電子束源之間。 路經由照射光束之掃細及平臺之移動而於 乾圍内進行掃描’從而取得掃描圖像。 ® 3_=〜圖3(b)是用以說明標記之形狀例圖3 ^括用;符號η之形狀的—例。平臺用符號11 用杰決疋平堂上之位置的位置符號u ί: ::掃描範圍之何方向的方向符號"b::所 參昭43Γ無法找到位置符號…之情形下,藉由 …。亥方向付號丨比可確認位置符號丨 再者,圖3(a)所干之位#符轳n 之存在方向。 之形狀僅為一例、,^ -付la以及方向符號lib I為例’亚非對該形狀加以限定。 12 的各掃狀各軒麵2之私電子束 子束2 ’砂娜1子权鱗彡、巾肖作求出帝 于束源之疑轉方向偏移、γ轴方向偏移 ^出兒 位置偏移之指標。 X軸方向偏移等 掃描电子束用符號12包括含有掃描 及含有例如心度方向傾斜^1_水 之直線的傾斜符號12b。 、1"千付號I2a 以下,主要對於利用掃描電子束用符號,而對旋轉方 I29043Qipif 2偏移、¥轴方向偏移以及x轴方向偏移之 說明。 仅正處理加以 根據水平符號12a兩端之γ軸方向 出旋轉方向偏移。圖4 (a)是用以說明根量而求 旋轉方向偏移的圖。於圖4 (a)巾,旋轉二+付唬檢測 I:广號12 a兩端之γ轴方“位置::2角: π根據丫軸方向之位置偏移量計算出旋轉方故 又,由兩個電子束源獲得之掃描圖二 12a中根據同—部分之γ軸方向的位置 彳口水千付唬 方向偏移。圖4(b)是用以說明由水平符=求出¥軸 偏移的圖。圖4 (b)中,兩個電子束源之軸方向 對應於由各電子束源掃描而獲得 方向之偏移 號仏之γ軸方向的位置偏移量水平符 位置偏移®而計算出電子束源間之γ㈣向方向之 又,在由兩個電子束源而獲得 夕里。 符號⑶巾,根據同一部分之^圖像之兩個傾斜 出X軸方向偏移。圖4(c)是用 σ的位置偏移量,求 X幸由方向偏移的圖。圖4(e)中,明=傾斜符號檢測出 向偏移,對應於由各電子束源 t個〃4子束源之X軸方 個傾斜符號12b之γ軸方向的位^ 彳于之掃描圖像的兩 12b之角度設為以45度傾斜於水”偏〃移量。將該傾斜符號 軸方向偏移之偏移量與γ軸/平符號12a之情形下,X 度,故而可求出Y軸方向偏移=向偏移之偏移量是相同角 向偏移之偏移量。 夕偏移量且將其作為X軸方 uy〇4^lpif 咅条可將傾斜符號12b之角度設為以45度以外之包 下’x抽方向= 特定之對應角=偏移量並非為相同角度而成為 具有特定對應ί卢關係1而基於與¥轴方向偏移之偏移量 移之偏移量係進行運算,藉此可求出χ軸方向偏 再者,圖4 (c)之产士主- 基準時,細線所示之示’以粗線所示之標記作為 右=示,線所之 ⑶(用實線表示)之軸方向偏移可根據傾斜符號 利用圖5⑻〜圖5(b) :向偏移而求出。 偏移以及x軸方向偏移加以者6(=Γ轴方向 源m與電子束源Μ之間的偏移再者方;此表示電子束 仏記進行比較’並根_ 40像的各 示)之Y軸方向的偏移a (用實線表 之x==r::=r移的圖。電子束源間 標記進行比較,並根據㈣,的各 不)之Y轴方向的偏移量而求出。 (用Μ線表 圖6⑻〜圖6(d)是用以說明x 向偏移的圖。電子束源間…向偏4::(γ:: lpif Ι2904δβ 示,對由各電子束源而獲得之掃描圖像的各標記進行匕 較,並根據該標記之水平符號12a之γ軸方向的偏移:比 求出,電子束源間之X軸方向偏移是如圖6 (d) 里而 由各電子束源而獲得之掃描圖像的各標記進行比較,、、,,、 據該標記之傾斜符號12b之γ轴方向的偏移量而^出亚根 通過對上述旋轉方向偏移、γ轴方向偏移以及X缸 向偏移之各位置偏移進行校正,可校正掃描圖方 圖7⑻=7(d)是用以說明由位置偏移校 ; 像偏移的圖。再者,於此表示三個電子束 路徑而取得掃描圖像之狀態。 引‘由4個 示含有旋轉方向偏移之掃描圖像例。若田 电子束源2之設置角度或光束之照射狀態而:右因 生偏移’則於所獲得之掃描圖像中 击4方向產 直線之掃描圖像是以因旋轉方:有,方向偏移。 水平方向的線來表示。 夕D以一疋角度傾斜於 獲得之掃描圖像之直===’由各電子束源所 圖7(c)表錢用切Λ 存在偏移。 。藉由Υ轴方向偏向偏移進行校正 向上=:。此時,於電子束源間存有 =子束源間之γ 之在偏移之情形τ,由久带子击有在輪方向偏移方 直、,表於μ方向存在偏移/子束綠所獲得之掃描圓像 15 I29〇430ipif 圖:(?表示使用傾斜符號對χ軸 後之狀悲。猎由X轴方向偏移校 =移造行校正 軸方向之偏移。 %子東源間之 勉而,利用圖8之a Y軸方向偏移以及X轴:移 參數的順序加以說明。 置偏和進行校正 向偏㈣參數内,將 設為7’ (s二 於平臺上之標記之掃描圖像。於取得之 電子束用符號之掃描圖像(S2)#夕進仃才父正,故而取得· 方6 S 3仔之掃描電子束用符號求出電子立 移校正係數設定控制參數使轉: 束嶋之掃描圖像(二〜束,從而取、 圖像::描移進行校-〜” 枚-係'數(校二=水儀,求 =求出偏子束用符: μ方向所求出,方向 東控制的參數(S8;'。、χ轴方向偏移校正係敖二 pif 12904亂 ^軸方向偏私校正加以說明,利 _6⑷θ〜®18(c)對χ軸方向偏移校正加以說明。 圖9是Μ朗電子束源之雜 ===流程圖。再者,於此= 說明。束原(將电子束源之個數設為Ν)之情形加以 掃描η之掃描圖像,對於 車由,偏移量計算旋轉方向偏移校正魏=:斤求出之Υ 权 n = n+1(S3e) ’ 對η||Ν進行比 ) 钹進行(S3b)〜(S3e)牛 1 乂(S3f) ’並反 出關於所有電子束源的藉此計算 於上述(S3b)步驟中 ^正疋數。 水平符號中之2點。圖1〇(a)’、’、/ ㈣專方向偏移而指定 點之—例的圖,指定兩個水平^f—不,定水平符號中之2 端部(檢查No.I),並指定他==平符號上側的 (檢查No.2)。又,圖! ^付號之下側的端部 其他指定例的圖,指定—個水;::水平符號中2點之 檢查N〇.2),於掃描圖像中^部(檢查 向的點數求出偏移量。再者, 9疋之點之Υ軸方 檢查No」之點減去檢查Ν〇2」後=移量是由以圖中之 圖"⑻〜目11(e)表亍矿‘.f後所得的點數表示。 不框與旋轉方向偏移之關係。圖 Ι29048βΐρίί L1,)、(b)表示—樞之範圍以及一框之點數白m 框之X方向的長度為 u数的—例。
Ly (例如3_) x=fm)、y方向的長度為 之點數。 '、有Px之點數,y方向具有i)y - 因此,對水平箱:狀 冑應於框而計算框中軸方向之偏移量,藉由使點數 私式進行&轉方向偏移之偏移係數。可藉由下 ^ 旋轉方向偏移校正係數= 框Y方向之長度/框γ方向之 ^。例如,當—框之範圍為(47mmx3方、向之長度χ偏 數為(3520點Χ68點)日士 , mm)、一框之點 形下,偏移量為轴方向下偏移2點數之情 °·〇〇1855347-3 (mm) /68 (p〇im) f 圖Η (c)表示旋轉方向 ^^(Point)。 表錢轉方向偏移為右旋轉^^旋轉之情形,圖U ::方向偏移之旋轉方Μ麵例^。目11 (e)是旋 _ ~方向偏移為右旋轉,圖中 ®中之“right”表示旋 左旋轉。再者,上述數勤 I表示_方向偏移為 繼而,就Y軸方向偏移^二應於右旋轉方向。 圖12是用以說明電子束^糸數之計算加以說明。 之計算(圖8流程圖中之s Y軸方向偏移校正係數 固電子束源(電子束源之;者,於此表示, 求出以電子束源m為基準而 為N)之情形時,依 偏移進行校正之校正係數的顺序了他電子束源之丫轴方向 18 pif Ι2904δΘΐρί 對基準電子束源m進行設定。可將多個電子束源内中 之任二電子束源設定為基準電子束源。例如,電子束源個 數為“7”之情形時,可設m = 4且將位於中央之第4雨 束源作為基準(S6a)。 i 以下,求出鄰接於基準電子束源之電子束源的Y轴方 ::山並求出對該γ軸方向偏移進行校正之校正俜數, 進而求出鄰接之雷子击、、原夕v γ 1 丁Ί 對基準電子束源之兩側進砂/偏移以及校正係數。 中可求出對基準電子束η错此於所有電子束源 係數。 ,、γ軸方向偏移進行校正的校正 首先,對基準電子束源m求 源,m — 2,...,、出存在衣一方側的電子束 (S6b〜S6f),其次求 的Y軸方向偏移之校正係數 的電子束源(m+1,m + f準电子束源阳中存在於他方側 正係數(S6g〜S6k)。 N)的Y轴方向偏移之校 求出Y軸方向偏移 源m與電子束源m〜丨夕父正係數之情形時,根據電子束 水平符號之2¾ (S6b)=圖像指定·用光束符號之 偏移量(S6c)。並根所^出所指定2點於γ軸方向的 γ軸方向偏移校正係數(s如出之γ軸方向偏移量計算出 設 時(S6e)。“ ” 反覆進行(S6b)〜(S6 、m與0進行比較(S6f), 計算基準電子束源步驟直至m為“〇,,,藉此 正係數。 之笔子束源的Y軸方向偏移校 19 pif I290434 繼而,根據電子束源„1與電子束源m ,糊用光束符號之水平符號之2點(S6^ t曰點於Y軸方向的偏移量(S6h)。根據所求出之 車=向偏移量計算γ軸方向偏移校正係數(S6i)。 反‘:7r+1(S6j),對⑺與“N”進行比較(S6k), 計算基準電子束源m+1〜N之電子束㈣\二丄错此 校正係數。 ❺于束源的γ軸方向偏移 藉此,可求出對基準電子束源m中所有電子 軸方向偏移進行校正的校正係數。 6、 Θ 3⑻® l3(c)疋用以說明電子束源間之 ,移校正的圖。圖13 (a)表示電子束源= 掃描電子束用符號間之位置關係 子束用符號之掃描圖像。電子束源m與S3,描電 掃描電子束用符號的圖像因電子束源之 之 察為於Υ軸方向上偏移。於此,如圖13(c)戶:偏私, 掃描電子束用符號之水平符號(用實線表示)之^’,定 = Ν°·2,根據所指定之點在”㈣之點數二 再者,於此,偏移量是由以圖中檢查Ν〇 查Νο.2之點的後所得的點數而表示。 ^减去檢 14 (bS) HT)V-(c)r'I# ° ® 4 (b) (C)表不一框之範圍以及一框之租姐 並表示於Y方向上偏移py的狀態 a 卜例, 表不兩個掃 20 I29O4308iPif 描電子束用符號之掃描圖像(分別僅表示一側)’並可觀 察到於Y方向上偏移py。 框於X方向上的長度為Lx (例如47 mm )、y方向上 的長度為Ly (例如3 mm ),於X方向具有Px之點數,於 y方向具有Py之點數。 於與上述框之對應關係中,對水平符號之Y軸方向的 偏移量,藉由使點數對應於框而計算出Y軸方向偏移之偏 移係數。可藉由以下之式進行計算: Y轴方向偏移校正係數= 偏移量X框Y方向之長度/框Y方向之點/最小分解 能。例如,當一框之範圍為(47mm><3mm),直一框之Y 方向之採樣點數為68時,偏移量為在Y軸方向上偏移-4 點之情形下, -44 = -4 (point) x3000 (um) /68 (point) /4 (um)。 繼而,就X軸方向偏移校正係數之計算加以說明。 圖15是用以說明計算電子束源之X轴方向偏移校正 係數(圖8流程圖中之S7)的流程圖。再者,於此表示, 具有多個電子束源(電子束源之個數為N)之情形下,依 次求出將電子束源m作為基準而對其他電子束源之Y軸方 向偏移進行校正之校正係數的順序。 對基準電子束源m進行設定。可將多個電子束源内之 任一電子束源設為基準電子束源。例如,電子束源之個數 為“7”之情形下,可設m=4且將位於中央之第4電子束 源作為基準。(S7a)。 129043伽 pif 以下,求出鄰接於基準電子束源之 向偏移,並求出對該X軸方向偏移進源之X軸方 進而求出鄰接之電子束源之X轴方内=正之权正係數, 於基準電子束源之兩側進行該叶曾ϋ烏矛夕以及校正係數。 r基準電子束源之χ軸^ 首先,求出基準電子束源m中 源(m-卜m_2, .·····,1)之X軸方命土;—方側之電子東 〜S7f),其次求出基準電子束源二=校正係數(S7b 子束源(nrH,m+2,.....,,N)之γ存在於他方侧之電 數(S7g〜S7k)。 軸方向偏移的校正係 求出X軸方向偏移之校正係數之 源m與電子束源πΜ之掃描圖像 :田根據:子束 傾斜符號的2點(S7b),求出所於曰^ ^田用光束符號之 的偏移量㈣。根據所求出之2點於:軸方向 X軸方向偏移校正係數(S7d)。1方向偏移量計算出 設,m-1 (S7e),對阳鱼 反覆進行⑽)〜(S7e)之步二進饤,⑻η, 對於基準電子束源卜㈤之rA m—為〇,藉此 校正係數。 弘子束源汁异X軸方向偏移 、、挺而,根據電子束源m與電 指定掃描用光束符號之傾钭符;:束源m+1之掃描圖像’ 沪卞々1 针付破的2點(S7g),朿屮所 曰疋之2點於y軸方向的偏移 Y車由方向傯穸旦里(S7h)。根據所求出之 偏私里叶算x軸方向偏移校正係數(S7i)。 22 I29043sftipii 設m=m+l ( S71 ),對m與“N”進行比較(S7k ), 反覆進行(S7g)〜(S7j)之步驟直至m為“N” ,藉此 計算基準電子束源m+Ι〜N之電子束源之X軸方向偏移校 正係數。 藉此,可計算對基準電子束源m中所有電子束源之X 軸方向偏移進行校正之校正係數。 圖16(a)〜圖16(c)是用以說明電子束源間之X軸方向 偏移校正的圖。圖14 ( a)表示電子束源m與m-1以及掃 描電子束用符號間之位置關係,圖14 (b)表示掃描電子 束用符號之掃描圖像。電子束源m與電子束源m-1之掃描 電子束用符號之圖像的X轴方向偏移,於傾斜符號相對於 水平符號呈45度之角度的情形下進行觀察時,可作為Y 轴方向偏移。於此,如圖16 ( c)所示,對於掃描電子束 用符號之傾斜符號(用實線表示)指定檢查No.l與檢查 No.2,根據所指定之點的Y轴方向的點數求出偏移量。 再者,於此,偏移量是由以圖中檢查No.l之點減去檢 查No.2之點後所得的點數而表示。 圖17(a)〜圖17(c)表示框與X軸方向偏移之關係。圖 17 (b)、(c)表示一框之範圍以及一框之點數之一例, 並表示向X方向偏移px之狀態。圖17 ( a)表示兩個掃描 電子束用符號之掃描圖像(分別僅表示一側),觀察時, 於X方向只偏移px之狀態可作為於Y方向只偏移py (= px)。 框於X方向的長度為Lx (例如47mm )、於y方向的 23 129043^81^ 長度為Ly (例如3mm),於χ方向且丄… 方向具有~之點數。 、有ίχ之點數,於y 於與上述框對應之關係中,對於傾斜符號之 量,藉由使點數與框對應而計算x軸方向偏移之偏 移係數。可藉由以下之式進行計算·· 扁 X軸方向偏移校正係數= 偏移量X框γ方向之長度/框γ方
能。例如,當-框之範圍為(47—3_),且:框= 方向之採樣點數為68時,在Y| L之Y 形下,偏移量為 在軸方向上偏移2點數之情 2二():= 軸方向偏移校正、以及χ軸;=偏移校正、Y 的圖。 仅正之校正運算順序 圖18 “)表示自左向右依 偏移校正進行運算處理之情形的—子束源之旋轉方向 與各電子束源之間無關,一光東例。旋轉方向偏移校正 他電子束源之旋轉方向偏移校正^方向偏移校正對其 子束源可以任意順序進行校正。㈢生影響,故而對電 圖18 (b)是Y軸方向偏移 電子束源中以中央之電子束源^ 之-例,於7個 方向偏移以。首先,於基準.騎準依次進行γ轴 側之No.3的電子束源之間進:,0.4與鄰接於其左 於Νο.3與Μ電子束源之轴方向偏移校正,繼而, 仃軸方向偏移校正,之 24 I29043#iPif 後方、、Ν〇·2與ν〇·〗電子束湄 從而完成左方電子束源γ、=仃¥軸方向偏移校正, 繼而,第时,於基準電 之No.5之電子束源之間進行二〇. #鄰接於其右側 於心與版6之電子束源之間校正,繼而, 之後,於No.6與N〇.7之電仃Y軸方向偏移校正’ 校正,從而完成右方電子束^源^間進行Υ轴方向偏移 藉此,可對财Λ 財向偏移校正。 圖方移進行校正。 方向偏移校正同樣,7個電順序7例,與Y軸 Ν〇·4為基準依次進行 =’以中央之電子束源 束源之X財向偏健_1向偏移校正’錢行所有電子 旬上ΐΐ ’於方向、χ轴方向之校正中,夢由將rt 標=====求= Μ ’就本發明之職f子束裝置在·相上 兄明:圖19是顯示晝面例,顯示用於 :: 使用掃描電子束用符號等標記進行校正處i 圖19之左方畫面中顯示有掃描圖像,可指定 像中所顯示之掃描電子束射持4標記的特定位置。^ 圖像上的點的座標值顯示於圖N左方晝面之下方部: 下“Plotl”按钮後,第i校正點之座標值則會顯示於盆右 部分’同樣地’按T “P1〇t2”按紐後,第2之校正點之座 25 I29043〇8iPif 標值會顯示於其右部分。 —圖19之右方畫面中顯不有掃描電子束用符號 疋^校正點,其下方顯示有用於選擇校正事項或^指 之按鈕、以及表示校正事項之列表。 —*乍内容 選擇校正事項之按崎有以τ ,即 ==校正之μ U()tate adjust,旋轉調整)
軸方向偏移校正之按鈕(Yax k擇Y 選擇X軸方向偏移校正之 .釉捫I),以及’ 作為選擇操作内容之按二(有 、“pi〇t2” φ1δ_ α 步按鈕,其將 以及返回原處之“上=,,=正點追加記錄於列表中, ⑽偏移校正、 正係數(參數)。二:==根, 數已取得之狀能m =不同之$景色而顯示校正係 態等。再者,圖、ι9 之狀態、以及取得前之狀 [產業上之可利二列表之-部分。
^ TFT 等中。 析儀、知描電子顯微鏡、X線分析裝置 【圖式簡單說明】 3 2 ί = Ϊ明本發明之掃描電子束裝置之概略圖。 圖3(Π兄明本發明所具有之標記的圖。 ⑻是用以說明本發明之標記形狀之示例 26 的圖。 置讲圖'4軸、_本發 及丫,向偏用以說明本發明之χ轴方向偏移以 方向偏移==兒明求出對本發明之旋#W 數之^二二方崎之各位^ 移校】二:2:計算本發明之電子束源之旋轉方向偏 方向,之i平說明用以求出本發明之旋轉 之關ij的圖。圖il(e)疋表不本發明之框與旋轉方向偏移 Υ抽方向偏移校正的圖之電子束源間之 圖14(a)〜圖M(c)是表示本發明之框與 的圖。 7侷矛夕 偏移校正係本發明之好麵之Y轴方向 γ抽==)是用以說明本發明之電子知 之關係的圖
27 I29043#8iPif 圖b是用以說明計算本發明之電子束源 偏移校正係數的流程圖。 X輪方向 圖16(a)〜® 16(c)是用以說明本發明之 X軸方向偏移校正的圖。 十束源間之 圖Π⑻〜®M7(C)是表示本發 之關係的圖。 一 X軸方向偏移 圖18⑻〜圖18(C)是用以說明本 1 :掃描電子束裝置 電子束源 平臺 檢測器 掃描圖像形成機構 掃描圖像記憶機構 7a 置偏移校正她計算機構 7b ·$轉方向偏移校正絲計算機構 ^ 移校正餘計算機構 8 W向偏移校正餘計算 參數記憶機構 9·控制機構 11 :平臺用符號 2 4 6
28 I29043fisipif 1 la :位置符號 lib :方向符號 12 :掃描電子束用符號 12a :水平符號 12b :傾斜符號 13 :路徑
29
Claims (1)
- I29043#pif 十、申請專利範圍: 1.一種掃描電子束裝置,其3 ^ 上進行二次元掃描後形成掃描圖$使1電粒子光束於 特徵在於: 的掃描電子束裝置,其 於支持試料之平臺上設有標兮己, 根據上述標記的掃描圖像求出平+ 掃描電子束之座標系的位置偏移”室之座標系以及/或 其 中2.如申請專利範圍第1項所述之掃描電子束裳置 具有多個電子束源,且 上述標記是設置於上述各電 掃描範圍内的掃描電子束用符號原之知描電子束的各 根據該掃描電子束用符號 ::描電子束之座標系中至少,於 私、γ軸方向偏移、w方向偏移中之任—個m方向偏 中上=請專利範圍第2項所述之掃描電子束量。 中上,描電子束用符號具有: n ’其 —含有上述掃描方向上之直、_水平符號m 私上述水平符號方向上之直線的傾斜符號。及含有傾 中I如申明專利範圍第3項所述之掃描電子束裝置,其 根據上述水平符號的兩端之Y軸方向 1,求出旋轉方向偏移,。上的位置偏移 在由兩個電子束源而獲得之掃描圖像的兩個水平符號 30 Ι2904δΘΐρίΓ 中,根據同一部分之Υ軸方向的位置偏移量,求出Υ軸方 向偏移, 在由兩個電子束源而獲得之掃描圖像的兩個傾斜符號 . 中,根據同一部分之Υ軸方向的位置偏移量,求出X軸方 向偏移。 5.如申請專利範圍第1項所述之掃描電子束裝置,其 中 上述標記是取得平臺座標之平臺用符號, φ 該平臺用符號具有,決定平臺上之位置的位置符號, 以及決定位置符號之方向的方向符號。
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