TWI272234B - Inspection device for display panel - Google Patents

Description

1272234 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以檢查液晶顯示面板等顯示用面板 裝置。 用語的定義：本發明中，將與檢查裝置所接收之顯示 用面板平行的面内之一方向及另一方向，分別稱為x’方向 及Y方向，將與X方向及Y方向垂直的方向（與顯示用 面板垂直的方向）稱為Z方向。 【先前技術】 用來檢查顯示用面板的裝置，通常為了要防止通電用 探針（probe)的破損，乃分別設有：將面板交接至檢查裝 置的交接位置（面板安置部）；及使用檢查平台進行面板之 點燈檢查的檢查位置，並且將未檢查的面板從交接位置搬 送至核查位置，或將檢查後的面板從檢查位置搬送至交接 位置。 此種檢查裝置的-個例子，有使用兩個搬送機構（承 載架（carrier))，使面板從交接位置移動至檢杳 板反向移動者（專利文獻υ。 — 便面 [專利文獻1]曰本特開平u — 14957號公報 該檢查裝置中，各搬送機構係將可在γ方向移動之一 對滑塊（slider)，以在γ方向保持間隔的狀態加以連結， 並且將兩個保持器（hG】der)以在χ方向保持間隔且朝相 對側之滑塊突出的狀態配置於各滑塊。 此種承載架中，面板的把持係藉由令兩滑塊朝彼此靠 315925 5 1272234 近的方向移動，以兩滑塊的保持器來共同進行。相對於此， 把持的卸除係藉由令兩滑塊朝彼此分離的方向移動，使兩 滑塊的保持器從面板脫離來進行。 然而，習知的檢查裝置僅把持面板相對的—對緣部， 故進订大型面板的檢查時，面板在滑塊分離方向 域會彎曲，而造成面板無法搬送或損傷的情形。、 ⑽ 【發明内容】 [發明所欲解決之課題] 搬送大型面板而 不會造成 本發明的目的在於可穩定地 才貝傷。 [解決課題之技術手段] 本發明之檢查裝置係包括：用以接收矩形 板之檢查平台；及進行相對於該檢查平 L =面 送之搬送裝置’上 ： ，的搬 *載架係在X方向之兩4 承載架，該 方式支持上述面板以進行搬送。^兩、#相可卸除的 [發明之效果] 攸刀別對應於矩形的四個 時’即使是大型的面板，亦可_由在支持面板 …方向之緣部的支持， 搬送大型面板而不會m區域的彎曲。因此，可穩定地 心接於上述x方向之各緣部之在 數。立’及抵接於上述γ方向之各緣 315925 1272234 方向保持間隔的複數部位，而以可卸除的方式支 定。、&以達仃搬送之構造。如此，面板的支持會很穩 的緣载架可包括:用以支持上述面板之上述X方向 勺緣。Ρ之X保持器；用以支持 部之Υ保拉哭·社， 低心上迷γ方向的緣 '、夺的，使上述父保持器在父方 機構二使上述Υ保持器以方向移動之γ移動機1動 面板之上=二：包括:複數個χ保持器，用以支持上述 位；同時“括方向保持間隔的複數部1 上述Y方持器’用以支持上述面板之 此，面;方向保持間隔的複數部位。如 此面板的支持更加穩定。 j承载架又包括:可安農上述

述x移動機構而在X方向移動之X臂·…壯稭由 伴牲哭日-Γ -丄 入’，及可安裝上述Y 保持„。且可稭由上述Υ移動機構而在 臂。如此’ X保持器及γ保持 °夕動之γ 支持會更加穩定。 L的移動變得滑順’面板的· 另一 移動機構及上述？移動機構之—方亦可支持於 上述X移關構及上述丫移_ 1驅動诉·兹i兮楚1 去 万k包括·弟 ° ^ °亥第1滑輪保持間隔之篦2、典衿. 及繞掛於上述第1及第2滑輪，且與上 之乐2 ;月幸兩， 之一方連結之皮帶，上述X移動 ^ 及上述Υ臂 動故構及上述Υ移動機構之 315925 7 1272234 =一方係包括：第2驅動源；藉由該第2驅動源而旋轉且 沿X方向及γ方向之一方延伸，且在γ方向及χ方向之 一方的兩處具有方向相反的螺紋部之滾珠螺桿；及螺人於 各螺紋部且與上述X臂及上述¥臂之另一方連結之螺口帽。 3檢查裝置可另包括：於X方向與上述檢查平台保持間 尸网之面板安置部，且上述承載架係進行對上述檢查平台和

=板安置部之上述顯示用面板之交接。再者，上：搬 迗裟置可包括兩個上述承載架。 動的置可再包括：以上述兩個承載架可個別移 架個別移動之兩個承載_動機及使㈣承載 【實施方式】 12的==第3:檢查裝置 ^ /且才双查裝置。圖示 邊（對應的兩個短邊和_個 =在矩形的三個 設置於各邊的兩㈣長邊）分別具備複數個電極。 間隔’且朝垂直於該邊的方向延伸。 ⑴保持者 製成魏個板構件所 面】6。形成有今傾斜而^邛恩後方側後退的傾斜 基底18。傾斜面16的板狀構件係作為板狀的本體 圖示的例中，第】 上下方向係γ方向。z 圖中的左右方向係 方向係與檢查裝置 x方向，傾斜的 】〇傾斜接收之 315925 8 1272234 面板12垂直的方向。 66六^查义置Μ係包括：進行對檢查裝置10之面板12 部乂土之面板女置部’及進行顯示用面板12之檢查的檢查 二體基底18上’比面板U大的矩形開口 2〇及22, 別形成於與面板安置部及檢查部相對應之處。 面板女置。以己置有.傾斜接收面板12白々交接平台24、 =戶:接收之面板,2預先對準(pre_aiig_t)的兩組推 動口口（ pusher ) 26。相對於并认尤 …的檢查平台二第置有:傾斜接收 裝置的探針be)裝置^)、和用作為電性連接 交接平台24係以可傾斜接收面板 移動 板12的交接時’可藉由Z平台34而在z方向 方二ΐ方向保持間隔的推動器26 ’係配置成可在沿X 方向延伸之長形構件上朝相互靠近❹離的方向（χ :動在^猎由未圖示的移動機構而在Χ方向移動。相對於 方向保持間隔的推動器26,係配置成可在 方向延伸之長形構件上朝相互靠近或分離的方向 移動’且藉由未圖示的移動機構而在γ方向移動。η 面板12係在推動器26彼此呈分離的狀態下配 = =26之間’且藉由使各組推動器％朝 近 方向㈣’使面板12相對於交接平台24而 & 相對於檢查裂置10的預先對準。 進仃 315925 9 1272234 未檢查的面板12,係藉由人力或裝卸機器人配置於交 接平台24’在交接平台24中藉由推動器％而進行預先 準，然後，利用搬送裝置36 (夂老裳 、、 ㈠ 衣置M Q苓考弟1圖）將之搬送至檢 查平台28，而在檢查部接受點燈檢查。

圖示的例中之點燈檢查係由操作者以目視方式進行的 目視點燈檢查’“，亦可祕絲圖7^視頻攝影機 video camera )及晝像處理裝置等的自動點燈檢查。 檢查後的面板12係藉由搬送裝置3 — 二 搬送至交接平台24,繼之，湘人力或裝卸機器=^接 平台24搬離，而收納於收納用匣。 “檢查平纟28得、以使夾盤頭（chuckt〇p)3^面板吸 耆面可接收傾斜的面板12的方式，令面板吸著面與開口 22相對。 、夾益頭38的面板吸著面具有用以將面板真空吸 數：吸著溝，而且，夾盤頭38的内部具有從面板12 的月面照焭面板12的背光單元。 檢查平台28具有三維（X、Y及Z)平台40、42及 44 7傾斜接收的面板12，朝向與其平行的X及γ兩方 :洋吳面板12垂直白勺Ζ方向移動；同時亦具彳㊀平台μ， 々面板12繞著在ζ方向延伸的軸線旋轉。 檢查平台28係在夾盤頭38下降的狀態，從搬送裝置 曰收面板〗2進行面板丨2之檢查時，則令夾盤頭％ 计又，祆查平台28係在面板】2交接至搬送裝置36 後，於夾盤頭38下降的狀態下待機。 3】5925 10 1272234 基底= =30包括:對應於假想的矩形的各個邊之四個 /構件48;分別配置於三個基底構件 :心為了進行探針單元5〇相對於面板】2㈣定 (即而St:個基底構件48的各個沿著其所對應的邊 、長度方向）移動之移動機構（未圖示）。 形板白構件48係具有沿其所對應邊的長度方向之長 ^八1，亚且支持於本體基底18的背面側，且使其-:;;:::22露出。相鄰的基底構件一― 此等η:50係配置於相向的一對基底構件48、及與 動機<48相鄰的—個基底構件48。相對於此，移 構㈣_，底構=底構件48、及與此等基底 沒有與移動機構連結的基底構件48係藉由塾片 spacer (未圖不）、和螺栓等之複數個且 ::，不能移動地安裝於本體基底18而由本體基底(二支. 剩餘的各基底構件48係藉由線性引導件⑶啊 構（未圖示），而可在其所對應邊之長 度方向移動地*裝支持於本體基底18。 各探針單元5〇且古. * 度方向延伸的狀態安穿”乂所:應的基底構件48的長 底52 ;配置於探針基；;2 0f底：件48之長板狀探針基 探針塊54的㈣探針56的讀個探針塊54 ;及配置於 315925 1272234 祙針基底52係藉由複數個螺絲構件（未圖示），堅固 地文1於基底構件48之寬度方向的緣部中矩形的中心側 (即前端側）的緣部外側。 各探針塊54係藉由複數個螺絲構件（未圖示），堅固 安衣方'彳木針基底52之寬度方向前端側緣部的外側。各探 針56係以前端側朝前方突出的狀態，利用適當的手 於抵針塊5 4的前端部下面。 • 基底構件48用的各移動機構係可使用包括··安裝於本 體基底18的馬達、藉該馬達而旋轉的導螺桿（lead screw)、和螺合於導螺桿的導螺帽之一般機構。 士各，針56在進行搬送至檢查平台28之面板12的檢查 係藉由夾盤頭（chuektGp)38的上昇，而按麗於面板 12的電極上。在該狀態下，透過面板12的電極而對面板 12通電。 如第4圖至第10圖所示，搬送裝置％係具備：安裝 •於本體基底18背面側的框架6〇;以可在χ方向移動且在 X方向保持間隔的狀態配置於框架60的一對承載架62、 64 ’及刀別令承載架62、64在χ方向移動的一對承載架 移動機構66、68。 框架60係將四個長形構件7〇結合成矩形，又，將兩 個‘軌72、74以在Υ方向保持間隔且在χ方向延伸的狀 態，分別安裝於在Υ方向相向的一對長形構件。 可移動地嵌合於導軌72、74的引導件（guide) %、 78，係分別安裝於承載架62及64的兩端。因此，承載架 315925 12 1272234 62藉著導執72及引導件76而可移動地支持於框架60,承 載架64藉著導軌74及引導件78而可移動地支持於框架 60 〇 承載架62、64之一方62 ( 64 )係如第6圖至第8圖 所示，使在Z方向保持間隔地延伸於Y方向的承載架基座 80，藉由導執72 ( 74 )及引導件76 ( 78 )而可在X方向 移動地支持於框架60，且使在Y方向保持間隔地延伸於X 方向的一對支持臂82，可在Y方向移動地配置於承載架基 座80 〇 引導件76 ( 78 )係安裝於承載架基座80的端部。承 載架基座80具備與Y方向平行而延伸的導軌84。可移動 地嵌合於導軌84的引導件86,係安裝於支持臂82的一端 部。因此，各支持臂82係以懸臂樑之形態支持於承載架基 座80 〇 各支持臂82上，安裝有在X方向保持間隔的一對X 臂88，同時亦安裝有Y臂。兩X臂88和Y臂90係從支 持臂82朝Y方向的中心延伸，而以懸臂樑之形態支持於 支持臂82。 各X臂88係藉由線性引導件等之適當的結合機構 92，在X方向保持間隔且可朝相互靠近或分離的方向（X 方向）移動地安裝於各支持臂82。

在各X臂88的前端部具有X保持器94。相對於此， 在Y臂90的前端部具有在X方向保持間隔之一對Y保持 器96。兩X保持器94及Y保持器96，係分別抵接於X 13 315925 1272234 方向之面板12的緣部及γ方向之 支持該面板12。 的、·彖部，而共同 X保持器94及γ保持器％， 持面板而㈣保持器夾 片而支持面;fe 丌了為使面板12扣止於扣止 持面板^2者 又亦可為以接收邊接收面板12而支 7載架移動機構66、68係令延伸 滚珠螺桿1。〇係藉由承載架用馬達：二::架基座8。。 承載架移動機構66、68的馬達刚及 方向而同步旋韓。拉士 士 丨了朝相汉的 交接平台2 4移動‘ w ’ 承载架62及64可分別從 動至交接平台24。-千° 28’或罐檢查平台多 構：：〗(:Γ)-中’首先γ臂9。及9。係藉由γ移動機 护八 而同步於丫方向移動。繼之，X臂88及88 错由Χ移動機構106及1〇6而同步於X方向移動。 各X移動機構！ 〇 6係包括：像馬達那樣可反轉的χ驅 坌…11〇 ’稭由Χ驅動源110而旋轉的第1滑輪112 ;與 1滑輪112於X方向保持間隔的第2滑輪ιΐ4，·及繞掛 於第】及第2滑輪】及m上的無端皮帶1]6。 上側的x臂88係安裳於無端皮帶116的上側部位， :側的X# 88係安褒於無端皮帶116的下側部位。因此， ^驅動源m旋轉於一方向時，兩χ t 88及88會朝彼 315925 1272234 此靠近的方向移動，而旋轉 方向移動。藉此方式，兩Xf88及方:時則朝彼此分離的 的把持和解除。 及88乃得以進行面板12 γ移動機構108係包括会監、本、 源120 ;葬a ν賊&、、 ·象馬達那樣可反轉的Y驅動 轉，且在丫方^/卢〆原120而繞著延伸於Y方向的軸線旋 的滾珠螺兩處具有螺旋方向相反的螺紋部心、㈣ :二2,及螺合於各螺紋部ma、u2b的螺帽⑶。 122b:二广中’滾珠螺桿122係將作為螺紋部122a及 藉由連結具122c連結，再以可繞著延伸 帽124#@轉的方式支持於承载架基座80。各螺 24係女裝於支持臂82。 導執72、74 線性引導件 及引導件76、78及78、86，可使; 84 在檢查装置10中，於檢查平台28檢查面板期間進行·· ^利用=載架62 (或64)將檢查完之面板移置到交接平台 ^酉從交接平台24移除檢查完之面板；將未檢查之面板 上配置到交接平台24;該未檢查之面板的預先對準；及將 居未檢查面板交接至承載架62 (或64 )。 心查結束時，交接平台24側的未檢查面板係保持於一 、表載采62 (或64 )，檢查平台28側的檢查完之面板則 、寺方'另方的承載架64 (或62 )，然後將此等面板分別 搬运至檢查平台28及交接平台24。 ^用承載架62及64來搬送未檢查及檢查完之面板， ’丁、精由分別使承载架移動機構66及68朝彼此相反的方向 15 315925 I272234 旋轉而進行。

^ 110 "π64 # Φ 125 ^^ X ⑷所示地令x= 了一方向旋轉，而如第9圖 7入保持态94、94及γ位4士 互靠近的方向移動，以令面板；' 器96、％朝相 94、％、96來進行。 、，彖#支持於保持器94、 承載架62及64來搬送面 94及Y保㈣％，分別抵接於 =X _ a 向保持間隔的複數部位’及丫^之各緣部之在Y方 此面板12的支持會报穩定。 面板12的卸除是藉由令 源120朝另一方向 ㈣110、削及Y驅動 持器94、94及丫保^’而如弟9圖（6)所示地令乂保 進行。 …盗％、96朝彼此分離的方向移動來 .如檢查裝置夕太 緣部支持面板12時，則的四個邊對應的四個 方向緣部的支持及i的面板，亦可藉由γ !域之面板彎曲及γ方向中央區域之面 %定地搬送大型面板而不會造成損傷。 、-，可 的狀態安裳於μ 88或===成為面板支持側 止面板J2落下的一對落 、反^^則亚且將防 々此片J34，投置於保持片】32 315925 16 !272234 的面板扣止側，並將用以 u ι,9 τ ^ —接面板的彈性塊130安裝於 保持片132的L字形的凹部。 衣方、 *】〇圖（Β)所示之保持器、14〇，係將〔字步66 保持片142以匸字形的凹邱 少的 ν ^ 。成為面板支持侧的狀態安穿 :臂…臂9。’並且將防止面㈣落下的一對 止片144，在ζ方向伴牲鬥L 防 ,㈣持間隔地設置於保持片142的面柘 支持侧，且將用以抵接面板12的彈 142的匸字形的凹部。 文衣於保持片 第1 〇圖（C )所不之保持器150 ’係將立方體狀 : Χ臂^或Υ臂9〇 ’且將用以抵接面 t %安裝於保持片152的面板支持侧。 洛下防止片134及144的厚度尺寸（與紙面垂 向的尺寸），係分別小於保持片132及142。彈性塊136、 ⑼係利用胺基甲_ (umhane)橡膠等橡膠材來 衣作®至第9圖之實施例所使用的保持器9 係保持器130。 上述保持器130、140、15〇皆藉由令面板 部抵接於彈性塊136、146、156，而令面板12摩擦扣合= 舞性塊136、146、156之方式支持面板12。然而，保持哭 亦可為㈣以接收片接收面板12而支持面板12等之^ 類型。 [產業上之利用可能性] 、 搬送裝置3 6亦可為使用一個承載架6 2或6 4的構 成。又，在檢查平台28 U方向白勺兩侧配置交接平台Μ 315925 17 1272234 而構成檢查裝置的情況下，搬送裝置36亦可為具備：將面 板搬送至一方之交接平台和檢查平台的承载架；/及將面板 •搬至另方之父接平台和檢查平台的承載架之搬送裝 _ 置。 本舍明不僅適用於液晶頒示面板，亦可適用於玻 _璃基板、有機電場發光（EL)面板等其他顯示用面板的電性 連接農置。此外，本發明不僅適用於將顯示用面板在傾斜 #狀態:檢查的裝置，亦可適用於將顯示用面板在朝向上方 的狀態下檢查的裝置等其他類型的檢查裝置。 本發明並不侷限於上述實施例，只要不脫離本發 明的旨趣，可進行各種的變更。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明之使用電性連接裝置之檢查裝置 的一實施例之正面圖。 •、、，* 2圖係第i圖所示之檢查裂置的正面圖，為去除搬 送裝置而顯示之圖。 第3圖係沿著第！圖之3 一 3線剖開的剖視圖。 第4圖係顯示第i圖所示之檢查裝置中使用之搬送裝 置的一實施例之俯視圖。 第5圖係從第4圖之5一 5方向看第4圖之搬送裝置所 見之圖。 第6圖係顯示第4圖所示之搬送裝置中使用之承載架 的一實施例之斜視圖。 315925 18 1272234 第7圖係第6圖所示 之承載架的正面圖。 第8圖係沿著第7圖之8 一 8線剖開的剖視圖。 弟9圖係用以說明第 6圖至第8圖所示之承载架的動 卞之圖，（A)係表示把持面板的狀態，（B)係表示卸除面 板的狀態。 μ 第10圖（Α)至（C 器的實施例之圖。 )係顯示搬送裝置中使用之保持 [元件符號說明] 10 檢查裝置 12 面板 14 框體 16 傾斜面 18 本體基底 20 、 22 開口 24 交接平台 26 推動器 28 檢查平台 30 探針裝置 32 面板座 34 Z平台 36 搬送裝置 38 夾盤頭 40、42、44三維平台 46 Θ平台 48 基底構件 50 探針單元 52 探針基底 54 探針塊 56 探針 60 框架 62、64承載架 66、68承載架移動機構 70 長形構件 72、74、84 導執 76、78、86引導件 80 承載架基座 82 支持臂 88 X臂 315925 19 1272234 90 γ臂 92 94 X保持器 96 100、 122滾珠螺桿 104 106 X移動機構 108 110 X驅動源 112、 116 無端皮帶 120 122a、 > 122b螺紋部 122c 124 螺帽 130、 132、 142保持片 134、 136、 146 ' 156彈性塊 結合機構 γ保持器 馬達 Υ移動機構 114滑輪 Υ驅動源 連結具 140、150保持器 144落下防止片

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Claims (1)

1272234 第93117145號專利申請案 申請專利範圍修正本 一 （95年10月14曰 -種顯示用面板之檢查裝置，包括：用以接收矩形㈣ 示用面板之檢查平台；及進行相對於該檢查平台ς 面板的搬送之搬送裝置， & 在置係包括至少一個承载架，該承载架係 I及γ方向之兩緣部以可卸除的方 支持上述面板以進行搬送。 二 2, 如申請專利範圍第1項之檢杳梦 係抵接於卜、f Y O 中’上述承载架 糸抵接於上述X方向之各緣部 複數部位，及上述丫方向之各緣部之m= =複數部位，㈣可㈣时式⑽上述面板m 3·如申請專利範圍第！項 概宜展置，其中，上述承載牟 係包括··用以支持上述面板之 a 眾戰木 仅杜抑· 衩（上述X方向的緣部之X 呆持态，用以支持上述面板 徂姓W A 衩（上述Y方向的緣部之Y 保持益，使上述乂保持器在又方向移動之動· 4 ΓΜί持器在Y方向移動之Y移動機構。 .如“專利範圍第3項之檢查農置，其中，上 :二括·複數個X保持器，用以支持上述：: 包括··複數個m r的複數部位；同時亦 方向之兩緣=二=持上述*板之上述γ 向保持間隔的複數部位。 315925(修正版） 1 1272234 5. =專利範圍第3項之檢查裝置，其中 二=安褒上述X保持器且可藉由上述-移動: 構而在X方向移動之x臂；及可安裝上述γ保持= 1%由上述Υ移動機構而在γ方向移動之Υ臂、。 6. 如申請專利範圍第5項之檢查裝置， ? f =上述Μ動機構之-方係支持於另一方私動 .利範圍第5項之檢查裝置，其中，上述 機構及上述γ移動機構之一方係包括：第“夕一 由該第"區動源而旋轉之第i滑輪；於又方向及;，方豬 ::另一方’與該第1滑輪保持間隔之第2滑輪；及繞 掛於上述第！及第2滑輪，且與上述又臂及 ^ 之一方連結之皮帶， ’ …上述X移動機構及上述γ移動機構之另一方係包 括：第2驅動源；藉由該第2驅動源而旋轉且沿X 向及Υ方向之一方延伸，且在γ方向及χ方向之—方 的兩處具有方向相反的螺紋部之滾珠螺桿；及螺合於 s螺紋部且與上述Χ臂及上述丫臂之另-方連結之螺帽。 8. 如申請專利範圍第！至7項中任一項之檢查裝置，其 又包括·於X方向與上述檢查平台保持間隔之面板 安置部，且上述承載架係進行對上述檢查平台和上述面 板安置部之上述顯示用面板之交接。 9. 如申請專利範圍f 8項之檢查裝置，其中，上述搬送裝 置包括兩個上述承載架。 、 10. 如申請專利範圍第9項之檢查裝置，其中，上述搬送裝 315925(修正版） 2 1272234 置又包括：以上述兩個承載架可個別移動的方式支持上 述兩個承載架之支持台；以及使兩個承載架個別移動之 兩個承載架驅動機構。 3 315925(修正版)