TWI231293B - Transfer film - Google Patents

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TWI231293B
TWI231293B TW92118507A TW92118507A TWI231293B TW I231293 B TWI231293 B TW I231293B TW 92118507 A TW92118507 A TW 92118507A TW 92118507 A TW92118507 A TW 92118507A TW I231293 B TWI231293 B TW I231293B
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paste layer
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TW92118507A
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Hideaki Masuko
Tadahiko Udagawa
Hiroaki Nemoto
Nobuo Bessho
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Jsr Corp
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Description

1231293 (1) 玫、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在基底上形成無機材料層圖樣之方法,更 確切地,係關於適用於電漿顯示板生產之圖樣形成方法,其 可就板材形成非常精細圖樣,該板材形成電漿顯示板的各自 顯示的基層組織,且相較於先前技藝之方法,其使用轉移膜 可基本上改進其可使用性。 【先前技術】 就平板顯示技術而言,電漿顯示板(p D P )吸引許多 注意,由於其生產方法容易(即使爲大面積板),且其具有 寬廣的視角及自行發光型高顯示品質。尤其是,預期彩色電 漿顯示板將變成未來2 0英寸或更大的牆上型電視的顯示裝 置的市場主流。 彩色P D P可使用由氣體放電所產生之紫外光照射螢光 材料而顯示彩色。一般而言,彩色P D P構造中具有發射紅 色色彩之螢光部位,發射綠色色彩之螢光部位及發射藍色彩 色之螢光部位,均形成在基底上,使得各彩色之光線發射顯 示組織均勻地存在於整片鏡板上。尤其是,由絕緣材料所製 作的柵欄肋條係用在由玻璃或其類似物製作基底表面上,由 此柵欄肋條分隔許多顯示組織,且各顯示組織內部提供作爲 電漿功能空間。各螢光部位形成於此電漿功能空間內,且造 成電漿作用於螢光部位的電極係位於螢光部位,而將包含顯 示組織作爲顯示單元的電漿顯示板形成於其中。 圖1展示A C型P D P結構之實施例。一對維持電極6 -5- (2) (2)1231293 A係以長條型式成形於基底玻璃1前面,介電層3覆蓋維持 電極6 A,且作爲保護膜的M g〇膜3 A係以蒸汽沈積於介 電層3上。在圖1中,參考數字1 〇表示匯流排線(bus lines ) 〇 爲改進電漿顯示板之對比,紅色,綠色及藍色彩色濾光 鏡與黑色基底(未展示出)可置於介電層下。 在基底玻璃2後面,單電極6 B係以長條形式成形,柵 欄肋條5係介於相鄰單電極間,且螢光層4係形成於各個此 柵欄肋條5之側面及底部。 將基底前面及基底後面接合且密封之方法,係將基底前 面的維持電極與基底後面的單電極以正確的角度相交,並在 內部混入氖與氣氣。 圖2展示DC型PDP結構之實施例。陽電極6 a以長 條形式成形於基底前面玻璃1上。 顯示陰極6 b與輔助陰極6 C的電極接頭與導線 6 b /及6 c /係形成於後面玻璃基底上,再將電阻器7置 於陰極接頭與陰極導線間,以及輔助陰極接頭與輔助陰極導 線之間。後基底係以介電體3絕緣,除了顯示陰極接頭與輔 助陰極接頭之外。之後,爲設定放電空間,柵攔肋條5係以 格子形式形成,且螢光層4係形成於側面及底部,除了陰極 接頭各個柵欄肋條之外。在圖2中,參考數字8表示一顯示 組織且參考數字9表示一輔助組織。 將基底前面及基底後面接合且密封之方法,係將基底前 面的電極6 a與基底後面的顯示陰極6 b及輔助陰極 6 c以正確的角度相互交叉,並在內部混入氖與氙氣。 (3) 1231293 作爲形成板材圖樣之方法,如此柵欄肋條,電極,電阻 器’螢光材料,彩色濾光鏡及上述電漿顯示板的黑色基底, 已知有(1 )螢幕印刷方法,其中包含將非光敏性無機粉末 分散糊狀組成物,以螢幕印刷在基底上形成圖樣,再加以烘 烤;(2 )照相平版印刷法,其中包含將光敏性無機粉末分 散糊狀組成物膜形成在基底上,將此膜經由光罩暴露於紫外 光’沖洗此曝光膜而在基底上形成圖樣再加以烘烤;及其類 似方法。 然而,在上述螢幕印刷方法中,圖樣定位準確度之需求 ’隨著板尺寸之增加與圖樣寬度降低而變得愈益嚴重,且通 常印刷方法無法滿足需求。 同時,在上述照相平版印刷法中,無機粉末分散糊狀層 在深度方向上的敏感性不合要求,且當1 〇至1 〇 〇 §111厚 膜圖樣係以一次曝光與沖洗形成時,無法每次得到具尖銳邊 緣之非常精細圖樣。 【發明內容】 本發明目標在提供於基底上形成無機材料層圖樣新穎方 法。 本發明另一目標,爲提供適用於電漿顯示板生產中形成 圖樣之方法。 本發明另一目標,爲提供形成帶有高尺寸準確度圖樣之 方法。 本發明另一目標,爲提供形成圖樣之方法,相較於先前 技藝之方法,基本上能改進可使用性並具有絕佳生產效率。 (4) 1231293 本發明另一目標’爲提供帶有無機粉末分散糊狀層之轉 移膜,以形成上述無機材料層,其可有利地用以執行本發明 之方法。 本發明其他目標與優點將可由下列下列敘述明顯看出。 首先’依據本發明,可由在基底上形成無機材料層圖樣 之方法而得到上述本發明之目標及優點(將被引用作、、本發 明第一種方法〃).,其中包含如下步驟: (1 )將支撐於支撐膜上的無機粉末分散糊狀層轉移於 基底表面,而在基底上形成無機粉末分散糊狀層; (2 )在此轉移至基底表面上的無機粉末分散糊狀層上 ,形成抵抗膜; (3 )使抵抗膜經由光罩暴露於光線而形成抵抗圖樣的 潛在圖像; (4 )沖洗此曝光的抵抗膜而形成抵抗圖樣; (5 )蝕刻無機粉末分散糊狀層曝光的部分,而形成對 應於抵抗圖樣的無機粉末分散糊狀層圖樣;及 (6 )烘烤此圖樣而形成無機材料層圖樣。 本發明之方法係由步驟(1 )至(6 )所組成。 意即,本發明之方法係由下列步驟所組成(1 )無機粉 末分散糊狀層轉移步驟,(2 )形成抵抗膜之步驟,(3 ) 使抵抗膜曝光之步驟,(4 )沖洗抵抗膜步驟,(5 )蝕刻 無機粉末分散糊狀層之步驟,及(6 )烘烤無機粉末分散糊 狀層圖樣之步驟。 各步驟將以相對應之圖式敘述 (5) 1231293 【實施方式】 <無機粉末分散糊狀層轉移步驟>
在步驟(1 )中,將支撐於支撐膜上的無機粉末分散糊 狀層轉移至基底表面,而在基底上形成無機粉末分散糊狀層 。無機粉末分散糊狀層之形成,非由塗佈無機粉末分散糊狀 組成物(無機粉末分散其中),如形成柵欄肋條之組成物或 形成電極之組成物,而是直接在帶有剛性之基底上,轉移上 述糊狀層支撐於帶有彈性之支撐膜上。此糊狀組成物可以滾 筒塗佈器或其類似物塗佈於支撐膜上,如此可在支撐膜上形 成無機粉末分散糊狀層,其帶有高厚度(在實施例中,1 〇 // m ± 1 // m )及絕佳厚度均勻性。無機粉末分散糊狀層可 由簡單操作將無機粉末分散糊狀層轉移形成於基底全體表面 ,而不會失敗。因此,如本發明之方法,可改進此形成無機 粉末分散糊狀層步驟(效率增加)且也可改進形成之圖樣品 質(增加圖樣精緻性)。
圖3與圖4爲斷面說明圖,展示本發明生產方法中形成 無機粉末分散糊狀層步驟之實施例。在圖3 ( a )中,參考 數字1 1表示玻璃基底。 本發明生產方法具有値得注意的特色在於使用轉移膜, 用以轉移無機粉末分散糊狀層在基底表面上形成轉移膜。
轉移膜包含支撐膜與形成於支撐膜上的無機粉末分散糊 狀層,以及形成於無機粉末分散糊狀層表面之保護膜層。轉 移膜構造將敘述於下。 轉移步驟實施例如下。當移除所須之轉移膜保護膜層之 後,將轉移膜2 0置於玻璃基底1 1表面上,使無機粉末分 -9- (6) 1231293 散糊狀層2 1表面與基底表面i i接觸,如在圖 3 ( b )中所示,再以加熱滾筒熱壓,之後將支撐膜2 2自 無機粉末分散糊狀層2 1移除。由此,無機粉末分散糊狀層 2 1轉移並緊密地黏著於玻璃基底1 1表面,如在圖3 ( c )中所示。當使用無機粉末分散糊狀層圖樣而形成電極,可 能在玻璃基底與無機粉末分散糊狀層之間形成降低反射膜, 且當使用無機粉末分散糊狀層圖樣而形成柵欄肋條,可能在 無機粉末分散糊狀層上形成降低反射膜(意即,介於此層與 抵抗膜之間,該抵抗膜將敘述於後)。即使此降低反射膜可 由先前技藝方法(如螢幕印刷或其類似物)而形成,較佳爲 使用帶有疊層膜之轉移膜,該帶有疊層膜之轉移膜係由無機 粉末分散糊狀層及反射降低膜所組成。 轉移條件包括,例如,表面溫度在8 0至1 4 0 °C之加 熱滾筒’熱滾壓力在1至5 k g/cm2,及熱滾移動速率 在0 · 1至1 0 · Om/mi η ·。玻璃基底可預熱至40 至 1 0 0 °c。 本發明生產方法中,宜在基底上轉移並形成疊層,其係 由多數的無機粉末分散糊狀層(其在蝕刻溶液中具有不同之 溶解度)所組成。 由蝕刻此疊層,在蝕刻深度方向上產生了各向異性,而 可形成帶有較佳的長方形部分或近於長方形形狀部分的殘餘 部分的材料層。 無機粉末分散糊狀層之疊層數(η )通常爲2至1 〇, 較佳爲2至5。 爲形成由η數目的無機粉末分散糊狀層所組成的疊層, -10- (7) (7)1231293 (1 )將形成於支撐膜上的無機粉末分散糊狀層(單層)轉 移η次,或(2 )將由η數目的無機粉末分散糊狀層所組成 的疊層全體轉移。由簡化轉移步驟觀點來看,方法(2 )較 佳。 <形成抵抗膜之步驟> 在步驟(2 )中,如在圖3 ( d )中所示,抵抗膜 3 1係形成於轉移無機粉末分散糊狀層2 1表面。所形成之 抵抗膜3 1可以是正面或負面型。抵抗組成物將敘述於下。 可由螢幕印刷,滾壓塗覆,旋轉塗覆,澆鑄塗覆或其類 似法塗覆抵抗,並乾燥此塗覆膜,而形成抵抗膜3 1。 形成於支撐膜上之抵抗膜可轉移至無機粉末分散糊狀層 2 1之表面。依此形成方法,可改進此形成抵抗膜之步驟( 增加效率),且也可改進所形成的無機粉末圖樣之厚度均勻 性。 抵抗膜3 1之厚度通常爲0 _ 1至40//m,較佳爲 0 · 5 至 2 0 // m。 <暴露抵抗膜之步驟> 在步驟(3 )中,如在圖3 ( e )中所示,成形於無機 粉末分散糊狀層2 1上的抵抗膜3 1之表面,係經由曝光光 罩Μ,選擇地作曝光(如紫外光照射)而形成抵抗圖樣的潛 在圖像。在此圖中,Μ Α及Μ Β分別代表曝光光罩Μ的光線 穿透部分及光線遮蔽部分。 射線照射裝置並無特別限制,且可以是用於上述照相平 -11 - (8) 1231293 版印刷法之紫外光照射裝置,或用以製造半導體及液晶顯示 裝置之曝光裝置。 <沖洗抵抗膜步驟> 在步驟(4 )中,沖洗此經曝光的抵抗膜而形成抵抗圖 樣(潛在的影像)。 在沖洗條件上,依據抵抗膜3 1之類型,可適當地選擇 一類型組成物及顯影劑濃度,沖洗時間,沖洗溫度,沖洗方 法(如浸沒,振動,噴淋,噴霧或製膠方法)及沖洗裝置。 由此沖洗步驟,形成由抵抗剩下部分3 5 A與抵抗除去 部分3 5 B所組成之抵抗圖樣3 5 (圖樣對應於曝光光罩μ ),如在圖4 ( f )中所示。 此抵抗圖樣3 5在後續步驟(触刻步驟)中作爲触刻光 罩,且在蝕刻溶液中,形成抵抗剩下部分3 5 A (光硬化抵 抗)材料的溶解速率,必須低於形成無機粉末分散糊狀層 2 1材料的溶解速率。 <無機粉末分散糊狀層之蝕刻步驟> 在步驟(5 )中,蝕刻無機粉末分散糊狀層,而形成對 應於抵抗圖樣的無機粉末分散糊狀層圖樣。 意即,如在圖4 ( g )中所示,無機粉末分散糊狀層 2 1的部分對應於抵抗圖樣3 5的抵抗除去部分3 5 B,經 溶解於蝕刻溶液並被選擇地除去。圖4 ( g )展示無機粉末 分散糊狀層正在被蝕刻的狀態。 當鈾刻繼續,如在圖4 ( h )中所示,玻璃基底表面係 -12- (9) (9)1231293 針對對應於無機粉末分散糊狀層2 1的抵抗除去部分而曝光 。由此’形成了由材料層剩下部分2 5 A與材料層除去部分 2 5 B所組成的無機粉末分散糊狀層圖樣2 5。 在蝕刻條件上,依據無機粉末分散糊狀層2 1之類型, 可適當地選擇一類型組成物與鈾刻溶液之濃度,處理時間, 處理溫度,處理方法(如浸沒,振動,噴淋,噴霧或製膠處 理),及處理之裝置。 選擇此型的抵抗膜3 1與無機粉末分散糊狀層2 1,係 爲了可將(類似於用於沖洗步驟的)顯影劑之溶液作爲蝕刻 溶液,而可連續地執行沖洗步驟及蝕刻步驟,並由於方法簡 化而改進生產效率。 當形成無機粉末分散糊狀層圖樣2 5 (當蝕刻完成), 宜使形成抵抗圖樣3 5的抵抗剩下部分3 5 A經由蝕刻逐步 地溶解並完全地除去。 即使當蝕刻後仍留下部分或全部的抵抗剩下部分3 5 A ,則在後續烘烤步驟中除去抵抗剩下部分3 5 a。 <烘烤無機粉末分散糊狀層圖樣之步驟> 在步驟中(6 )中,烘烤無機粉末分散糊狀層圖樣 2 5。由此而鍛燒包含在材料層剩下部分中的有機物質,形 成金屬層或無機材料層如玻璃層,無機材料層圖樣4 0係形 成於此玻璃基底表面,如在圖4 ( i )中所示,且例如在板 材5 0中,最後可得到無機材料層作爲電極或柵欄肋條。 烘烤溫度必須使包含在材料層剩下部分2 5 A中的有機 物質燃燒,通常在4 0 0至6 0 0 t。烘烤時間通常爲1 0 (10) 1231293 至9 0分鐘。 依據本發明,也提供在基底上形成無機材料層圖樣之方 法(以下將被引用作”本發明之第二種方法,,)。 意即,依據本發明,也提供在基底上形成無機材料層圖 樣之方法,其中包含步驟: (1 )轉移一疊層(其中抵抗膜及無機粉末分散糊狀層 係以此順序疊層並支撐於支撐膜之上)於基底表面而形成在 基底上的疊層膜(其中無機粉末分散糊狀層與抵抗膜係以此 順序疊層); (2 )使抵抗膜經由光罩暴露於光線而形成抵抗圖樣的 潛在圖像; (3)沖洗此曝光的抵抗膜而形成抵抗圖樣; (4 )鈾刻無機粉末分散糊狀層曝光的部分,而形成對 應於抵抗圖樣的無機粉末分散糊狀層圖樣;及 (5 )烘烤此圖樣而形成無機材料層圖樣。 在上述步驟(1 )中,使用此疊層膜,其中抵抗膜及無 機粉末分散糊狀層係以此順序疊層並支撐於支撐膜之上。此 疊層膜之形成係於支撐膜上形成抵抗膜,之後於抵抗膜上形 成無機粉末分散糊狀層。爲形成抵抗膜及無機粉末分散糊狀 層,可使用滾筒塗佈器,而形成疊層膜,此疊層膜帶有絕佳 厚度均勻性並可形成於支撐膜上。 將形成於支撐膜上的疊層膜(由抵抗膜及無機粉末分散 糊狀層所組成)轉移至基底表面上。可使用與前述本發明第 一種方法 < 無機粉末分散糊狀層轉移步驟 > 相同之轉移條件 。如 < 無機粉末分散糊狀層轉移步驟 > 所敘述,降低反射膜 -14- (11) (11)1231293 可形成於無機粉末分散糊狀層之上或之下。上述步驟(2 ) ,(3) ’ (4)及(5)之執行,可使用與本發明第一種 方法中 < 抵抗膜曝光,沖洗抵抗膜,蝕刻無機粉末分散糊狀 層’及烘烤無機粉末分散糊狀層圖樣等步驟 > 相同之操作。 依上述方法,由於無機粉末分散糊狀層及抵抗膜經轉移 至全體基底表面,由簡化方法可進一步改進生產效率。 本發明之方法不只可用於形成電極與柵欄肋條,也可用 於形成抵抗或,螢光材料,彩色濾光鏡或電漿顯示板之黑色 基底。 此方法各步驟所用材料及條件將敘述於下。 <基底> 基底材料爲絕緣材料所製之薄板狀材料,該絕緣材料如 玻璃,酮,聚碳酸酯,聚酯,芳香族醯胺,聚醯胺醯亞胺或 聚醯亞胺。可在此薄板狀元件表面作適當的預處理如矽烷偶 合劑處理,電漿處理之化學處理,或由離子電鍍,噴鍍,氣 相反應或真空蒸鍍之薄膜形成處理。 <轉移膜> 本發明生產方法中所用之轉移膜具有支撐膜,及形成於 支撐膜上的無機粉末分散糊狀層。一保護膜層可形成於無機 粉末分散糊狀層表面。 (1 )支撐膜: 形成轉移膜之支撐膜宜爲一樹脂膜,不只帶有耐熱性及 -15- (12) 1231293 抗溶劑性,也具有彈性。由於支撐膜之彈性,可使用滾壓塗 料器將糊狀組成物塗佈於支撐膜上,且無機粉末分散糊狀層 可以卷狀形式貯存並供料。形成支撐膜之樹脂係選自聚對呔 酸乙烯酯,聚酯,聚乙烯,聚丙烯,聚苯乙烯,聚醯亞胺, 聚乙烯醇,聚氯乙烯,含氟樹脂如聚一氟乙烯,尼龍,纖維 素及其類似物。支撐膜厚度爲,例如,20至100//m。 (2)無機粉末分散糊狀層: 形成轉移膜之無機粉末分散糊狀層,其形成可由在支撐 膜上塗覆基本原料爲含有無機粉末之糊狀無機粉末分散糊狀 組成物’黏合樹脂及溶劑,如形成電極之組成物或形成柵攔 肋條之組成物,並乾燥此塗覆膜以除去部分或全部溶劑。 (3 )無機粉末分散糊狀組成物 用於形成轉移膜之無機粉末分散糊狀組成物爲一種糊狀 組成物,其中含有(a )無機粉末,(b )黏結劑及(c ) 溶劑。 (a )無機粉末 用於本發明之無機粉末分散糊狀組成物的無機粉末,係 依材料形成之型態而有所區分。 用於形成電極之組成物的無機粉末包含導電性粉末如 Ag,Au,A1,Ni ,Ag — Pd 合金,Cu 及 Cr。 用於形成柵欄肋條組成物之無機粉末包含低融點玻璃熔 塊。無機粉末說明實施例包括(1 )氧化鋅,氧化硼及氧化 -16- (13) 1231293 矽 之 混 合物(Ζ η〇 — B 2 0 : 3 — s i〇2系列), ( 2 ) 氧化鉛,氧化 硼 及氧化矽之混合物(P b ◦ — B 2 〇〔 》一S i〇2系 列 ),( 3 )氧化鉛,氧化硼,氧化矽 及 氧 化 鋁之混合物( P b〇- B2〇3 — S i 〇2 — A 1 2丨 〇 3系列),( 4 )氧化鉛,氧化鋅,氧化硼及氧化 矽 之 混 合物(P b〇 — Ζ η〇 —B 2 〇 3 — s i 〇 2 系列), 及 其 類 似物。 由 轉變無機粉末 之 型態, 這些無機粉末分散糊狀組成 物 可 用 作爲形成抵抗 或 ’螢光材料,彩色濾光鏡或黑色基底 之 組 成 用 於形成組成物 電1 阻器之 無機粉末包含R u〇2及其類 似 物 Ο 用 於形成組成物 螢: 光材料 之無機粉末包含Y2〇3 : E U 3 + ,Y 2 S i 〇 5 · E u 3 ’ Υ 3 A 1 5 〇 1 2 : E U 3 + ,Y V 〇 4 : E u 3 +, (Y,G d ) B 〇 3 : E U 3 + ,Ζ η 3 ( P 〇, 1 ) 2 : Μ η及其類似物用於紅色色 彩 > Z η 2 S i 〇 4 ·· Μ η,Β aA 1 12Ο19 :Mn, B a Μ g A 1 1 4 〇 2 3 : Μη , L a P 0 4 : (Ce,Tb ) 5 Υ 3 ( A 1 ,G : a ) 5 0 1 2 : T b及其類似物用於綠色 色 彩 及Y 2 S i〇5 C e , BaMgAli〇Oi7: E U 2 + » B a M g A 1 1 4 0 2 3:Eu2+,(Ca,Sr , B a )1 0 ( P 0 4 )e )C 1 2 :Eu2+,(Zn,Cd) S ·· A g及其類似物 用1 於藍色 彩色。 用 於形成彩色濾 光 鏡組成 物之無機粉末包含F e 2〇3 P b 3〇4及其類似物用於紅色色彩,C r 2〇3及其類似 -17- (14) 1231293 物用於綠色色彩,且SUhNaaSisChONasSA及其類似物用於藍 色彩色。 用於形成組成物黑色基底之無機粉末包含Mn,Fe, C r及其類似物。 依據本發明,無機粉末分散糊狀層爲一糊狀層,其中導 電性無機粉末係在電漿顯示板基底上分散且形成電極,此形 成於上述烘烤步驟中之無機材料層圖樣可有利地執行;或無 機粉末分散糊狀層爲糊狀層而其中玻璃粉末係在電漿顯示板 基底上分散且形成柵欄肋條,形成於烘烤步驟之無機材料層 圖樣形可有利地執行。 當形成電極時,一包含(a - 1 )導電性粉末, (b )鹼性可溶樹脂及(c ) 一溶劑之糊狀組成物宜作爲導 電性無機粉末分散糊狀層,在柵欄肋條形成時,一包含(a - 2 )玻璃熔塊,(b )鹼性可溶樹脂及(c )溶劑之糊狀 組成物宜作爲玻璃粉末分散糊狀層。 (b )黏結劑 用於本發明之無機粉末分散糊狀組成物之黏結劑,可使 用各種樹脂。黏結劑以包含3 0至1 0 0 w t %的鹼性可溶 樹脂尤其較佳。 在此所用術語v'鹼性可溶〃意指解於鹼性蝕刻溶液之性 質(將敘述於下),且可溶解至可執行所須鈾刻之程度。 用於此黏結劑之鹼性可溶樹脂較佳爲具有極性表面張力 値在 5 至 20 dyn/cm。 帶有極性表面張力値低於5 d y n / c m之樹脂可展示 -18- (15) 1231293 疏水性質,與對帶有親水性表面之無機粉末較低的溼潤性( 親和力)。當使用此樹脂,將難以製備出帶有絕佳分散穩定 性之無機粉末組成物,且膜缺陷可發生於組成物內的薄膜形 成材料層中。 另方面,帶有高於2 0 d y n/cm極性表面張力値之 樹脂展示了高親水性質,且將難以將含有此樹脂之無機粉末 分散糊狀組成物,塗覆於帶有疏水性表面(如作過離型處理 之PET膜)之支撐膜上。 由控制鹼性可溶樹脂極性表面張力値在5至2 0 d y n / c m所得到的無機粉末分散糊狀組成物,具有分散 穩定性無機粉末與對支撐膜絕佳塗覆性質。 鹼性可溶樹脂之表面張力極性項目,可由轉變樹脂內含 單體之型式及含量加以控制。 鹼性可溶樹脂表面張力(表面張力極性項目及分散項目 )宜在30至5〇dyn/cm。 鹼性可溶樹脂之說明實施例包括(甲基)丙烯酸樹脂, 羥基苯乙烯樹脂,酚醛淸漆樹脂,聚酯樹脂及其類似物。 這些鹼性可溶樹脂中,尤其宜爲下列單體(a )與單體 (b)之共聚物,及單體(a),單體(b)與單體(c) 之共聚物。 單體(a ): 含有鹼性可溶官能基單體如由含羧基單體代表,如丙烯 酸,甲基丙烯酸,馬來酸,反丁烯二酸,巴豆酸,衣康酸, 蒸餾檸檬酸,中康酸及塞納米酸(cinammic酸);含羥基 -19- (16) (16)1231293 基團單體如(甲基)丙烯酸2 -羥基乙酯,(甲基)丙烯酸 2 -羥基丙酯及(甲基)丙烯酸3 -羥基丙酯;含酚羥基基 團單體如鄰羥基苯乙烯,間羥基苯乙烯及對羥基苯乙烯;及 其類似物。 單體(b ): 由(甲基)丙烯酸酯的所代表的單體(a )以外的,可 與單體(a)共聚合的單體,如(甲基)丙烯酸甲酯,(甲 基)丙烯酸乙酯,(甲基)丙烯酸丁酯,(甲基)丙烯酸苯 甲酯,(甲基)丙烯酸甘油酯及(甲基)丙烯酸二環戊酯; 芳香族乙烯基單體如苯乙烯及α -甲基苯乙烯;共軛二烯如 丁二烯及異戊二烯;及其類似物。 單體(c ): 巨單體,由帶有可聚合不飽和基團的巨單體所代表,如 (曱基)丙烯醯基基團位於一端聚合物鏈,如聚苯乙烯,聚 (甲基)丙烯酸甲酯,聚(甲基)丙烯酸乙酯及聚(甲基) 丙烯酸苯甲酯。 黏結劑在無機粉末分散糊狀組成物中含量通常爲1至 5 0重量部分,較佳爲1至4 0重量部分,基於1 〇 〇重量 部分的無機粉末。 (c )溶劑 構成無機粉末分散糊狀組成物之溶劑,係提供無機粉末 分散糊狀組成物適當的流動性或可塑性及良好薄膜形成性質 -20- (17) 1231293 構成無機粉末分散糊狀組成物之溶劑未特別受限制,而 可舉例如由醚,酯,醚酯,酮,酮酯,醯胺,醯胺酯,內醯 胺,內酯,亞硕,硕,碳氫化合物,鹵化碳氫化合物及其類 似物。 較佳的溶劑須具有(1 )正常沸點(在1大氣壓下之沸 點)在1 00至20CTC,較佳爲1 1 〇至1 80°c,及( 2)在2 0°〇蒸汽壓爲〇.5至5〇11111111忌,較佳爲 0 · 7 至 30mmHg。 當正常沸點高於2 0 0 t,所含全部溶劑之沸點變得太 高,且當含有此溶劑之無機粉末分散糊狀組成物塗佈而形成 轉移膜,大量的有機溶劑殘留在所得到轉移膜的薄膜形成材 料層中,使得當轉移膜以卷狀形式保存時易於發生阻塞現象 。另方面,當正常沸點低於1 〇 〇 °c,全部溶劑之沸點變得 太低,含有此溶劑之無機粉末分散糊狀組成物中的無機粉末 將易於形成結塊’造成在塗覆此組成物時於膜形成材料層內 ,將易於發生膜缺陷如塗層條紋,成坑及針孔。 當蒸汽壓低於0 · 5mmHg,全部溶劑之蒸汽壓力在 變得太低,且當塗佈含有此溶劑之無機粉末分散糊狀組成物 而形成轉移膜,大量的有機溶劑殘留在所得到轉移膜的薄膜 形成材料層中,使得當轉移膜以卷狀形式保存時易於發生阻 塞現象。另方面,當蒸汽壓高於5 0 m m H g,全部溶劑之 蒸汽壓力變得太高,,含有此溶劑之無機粉末分散糊狀組成 物具有快乾性質,且由於在塗覆時不充分的整平性質而造成 不良的厚度均勻性。 -21 - (18) 1231293 溶劑之說明實施例包括四氫呋喃,苯甲醚,二噚烷,乙 二醇,單烷基醚,二乙二醇二烷基醚,丙二醇單烷基醚,丙 二醇二烷基醚,醋酸酯,羥基醋酸酯,烷氧基醋酸酯,丙酸 酯,羥基丙酸酯,烷氧基丙酸酯,乳酸酯,醋酸乙二醇單烷 基醚酯,醋酸丙二醇單烷基醚酯,醋酸烷氧酯,環酮,非環 酮,乙醯醋酸酯,丙酮酸酯,N,N -二烷基甲醯胺,N, N -二烷基乙醯胺,N -烷基吡咯烷酮,r 一內酯,二烷基 亞碩,二烷基硕,香油腦,N -甲基- 2 -吡咯烷酮及其類 似物。它們可單獨使用或合倂二或多項而使用。 無機粉末分散糊狀組成物中溶劑含量可適當地選自一範 圍,其中可得到良好薄膜形成性質(流動性或可塑性)。 無機粉末分散糊狀組成物可包含其它添加物如分散劑, 塑化劑,沖洗促進劑,接著助劑,模糊防止劑,貯存安定劑 ’抗發泡劑,抗氧化劑,紫外光吸收劑,塡料,低融點玻璃 及其類似物,作爲選擇性成分。 尤其是,形成電極之無機粉末分散糊狀組成物可包含脂 肪酸作爲上述導電性粉末之分散劑。脂肪酸較佳的實施例包 括飽和脂肪酸如辛酸,十一烷酸,月桂酸,宣蔻酸,十六酸 ’十五酸’硬脂酸及花生酸;及不飽和脂肪酸如反油酸,油 酸’亞油酸’亞麻酸及花生四烯酸。它們可單獨使用或合倂 =或多項而使用。脂肪酸在無機粉末分散糊狀組成物中含量 較ί圭爲1 0重量部分或較少,基於1 〇 〇重量部分的無機粉 末。 於支撐膜上塗覆無機粉末分散糊狀組成物較佳的方法, 也、須能有效地形成帶有絕佳厚度均勻性及大厚度(在實施例 -22- (19) 1231293 中,1 Ο // m或更多)的塗覆膜,例如塗覆施工時使用滾壓 塗料器,刮刀,簾幕塗料器,線狀塗料器及其類似物。 以支撐膜之無機粉末分散糊狀組成物作塗佈之表面’宜 先作過離型處理。由此,支撐膜在敘述於下的轉移步驟中可 易於除去。
塗覆膜乾燥條件爲,在實施例中,塗覆溫度在5 0至 1 5 0 °C且塗覆時間在0 . 5至3 0分鐘,且乾燥後殘留溶 劑(在無機粉末分散糊狀層中之溶劑含量)通常爲2 w t % 或較少。 如此形成於支撐膜上的無機粉末分散糊狀層之厚度,雖 然依無機粉末之含量及材料之類型與尺寸而不同,通常爲 10 至 100//m。 此形成於無機粉末分散糊狀層表面之保護膜層爲聚乙烯 膜、聚乙烯醇膜或其類似物。
下列轉移膜(可由本發明之方法有利地用於製造電漿顯 示板)本身係新穎的,且係由本發明所提供: (i )用以在支撐膜上形成電極之轉移膜,其具有導電 性粉末分散糊狀層,該糊狀層係由糊狀組成物所形成,該糊 狀組成物帶有(a - 1 )導電性粉末,(b )鹼性可溶樹脂 及(c )溶劑。 (i i )用以形成電極之轉移膜,其具有含抵抗膜與導 電性粉末分散糊狀層之疊層,該疊層係由糊狀組成物形成, 該糊狀組成物包含(a - 1 )導電性粉末,(b )鹼性可溶 樹脂及(c )溶劑,係以此順序疊層於支撐膜上。 (i i i )用以形成電極之轉移膜,其具有含抵抗膜與 -23- (20) 1231293 導電性粉末分散糊狀層之疊層,該疊層係由糊狀組成物及降 低反射膜所形成,係以此順序疊層於支撐膜上,該糊狀組成 物包含(a — 1 )導電性粉末,(b )鹼性可溶樹脂及(c )溶劑。 (i v )用以形成柵欄肋條之轉移膜,其具有玻璃粉末 分散糊狀層,該分散糊狀層係由糊狀組成物形成,該糊狀組 成物帶有(a - 2 )玻璃熔塊,(b )鹼性可溶樹脂及(c )溶劑。 (v )用以在支撐膜上形成柵欄肋條之轉移膜,其具有 含抵抗膜與玻璃粉末分散糊狀層之疊層,該疊層係由糊狀組 成物形成,該糊狀組成物包含(a - 2 )玻璃熔塊,(b ) 鹼性可溶樹脂及(c )溶劑,係以此順序疊層於支撐膜上。 <抵抗膜(抵抗組成物)> 本發明生產方法中,抵抗膜係形成於轉移至基底表面上 的無機粉末分散糊狀層上,並且經曝光及沖洗,而在無機粉 末分散糊狀層上形成抵抗圖樣。 用於形成抵抗膜之抵抗組成物係選自(1 )鹼性沖洗型 感射線性抵抗組成物,(2)有機溶劑沖洗型感射線性抵抗 組成物,(3 )水溶液沖洗型感射線性抵抗組成物,及其類 似物。這些抵抗組成物將敘述於下。 (1 )鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物 鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物含有鹼性可溶樹脂及感 射線性成分,作爲必要的組成成分。 -24- (21) 1231293 構成鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物的鹼性可溶樹脂 之說明實施例,與形成無機粉末分散糊狀組成物的黏結劑成 分之鹼性可溶樹脂相同。 構成鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物的感射線性成分, 其較佳的實施例包括(1 )多官能基單體與光聚合起始劑之 混合,(2 )密胺樹脂與選擇性地酸產生劑(當其暴露於射 線下可形成酸)之混合,及其類似物。於混合物(1 )中,
以多官能基(甲基)丙烯酸酯與光聚合起始劑之混合尤其較 佳。 形成感射線性成分的多官能基(甲基)丙烯酸酯之說明 實施例,包括烷二醇(如乙二醇及丙二醇)之二(甲基)丙 烯酸酯;多烷二醇之二(甲基)丙烯酸酯如聚乙二醇及聚丙 二醇之二(甲基)丙烯酸酯;在兩端帶有羥基基團之聚合物 (如兩端羥基聚丁二烯’兩端羥基聚異戊二烯及兩端羥基聚 己內酯)之二(甲基)丙烯酸酯;帶有3或更多的羥基基團 之多氫醇(如甘油,1,2,4 一丁三醇,三羥甲基烷,四 羥甲基烷及二異戊四醇)之聚(甲基)丙烯酸酯;帶有3或 更多的羥基基團的多氫醇之多烷二醇加合物之聚(甲基)丙 烯酸酯;環多元醇(如1,4 一環己二醇及1,4 —苯二醇 )之聚(甲基)丙烯酸酯;寡(甲基)丙嫌酸酯如聚酯(甲 基)丙烯酸酯’環氧基(甲基)丙烯酸酯,氨基甲酸酯(甲 基)丙烯酸酯,醇酸樹脂(甲基)丙烯酸酯,酮樹脂(甲基 )丙燃酸酯及螺院樹脂(甲基)丙燒酸酯;及其類似物。它 ·, 們可單獨使用或合倂二或多項而使用。 光聚合起始劑形成感射線性成分的光聚合起始劑之說明 -25- (22) (22)1231293 實施例,包括羰基化合物如苄基,安息香,苯甲酮,莰酮醌 ,2 -羥基—2 -甲基一 1 一苯基丙—1 一酮,1 一羥基環 己基苯基酮,2,2 —二甲氧基一 2 —苯基苯乙酮,2 —甲 基一〔4 "(硫代甲基)苯基〕一 2 -嗎福林基一 1 一丙酮 及2 -苄基一 2 —二甲基胺基一 1一(4 一嗎福林基苯基) 丁-1-酮;偶氮基化合物如偶氮基異丁腈及疊氮化合物如 4 -疊氮基安息香醛;有機硫化合物如硫醇二碳化物;有機 過氧化物如苄醯基過氧化物,二-三級丁基過氧化物,三 級丁基氫過氧化物,茴香油素氫過氧化物及仲甲烷氫過氧化 物;三鹵素甲烷如1,3 —二(三氯甲基)一 5— (2,-氯苯基)—1,3,5 —三嚷及2 —〔 2 — (2 —咲喃基) 乙基〕一 4,6 —二(三氯甲基)1 ,3,5 -三嗪;咪唑 二聚物如 2,2> —二(2 —氯苯基)4,5,,5 一 一苯基一 1,2 / -咪唑;及其類似物。它們可單獨使用或 合倂二或多項而使用。 在鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物中,感射線性成分之 含量通常爲1至3 0 0重量部分,較佳爲1 〇至2 0 0重量 部分,基於1 0 0重量部分的鹼性可溶樹脂。 爲提供良好薄膜形成性質,鹼性沖洗型感射線性抵抗組 成物中適當地包含一種有機溶劑。此有機溶劑之說明實施例 與如上所列形成無機粉末分散糊狀組成物之溶劑相同。 (2 )有機溶劑沖洗型感射線性抵抗組成物: 有機溶劑沖洗型感射線性抵抗組成物含有疊氮化合物, 與至少一項選擇自含有天然橡膠,合成橡膠,以及由回收這 -26- (23) 1231293 些必要的組成成分所得到之回收型橡膠之群組。 形成有機溶劑沖洗型感射線性抵抗組成物的疊氮化合物 ,其之說明實施例包括4,4 > 一二疊氮基苯甲酮,4,4 /一二疊氮基二苯基 甲烷,4,4> —二疊氮基薦,4, 4 > 一二疊氮基查耳酮,4,4 / —二疊氮基苯亞甲基丙酮 ,2,6 —二(4>疊氮基苯亞甲基)環己酮,2,6 —二 (4 > 一疊氮基苯亞甲基)- 4甲基環己酮及其類似物。這 些可單獨使用或合倂二或多項而使用。 爲提供良好薄膜形成性質,有機溶劑沖洗型感射線性抵 抗組成物通常包含包含一種有機溶劑。此有機溶劑之說明實 施例與如上所列形成無機粉末分散糊狀組成物之溶劑相同。 (3 )水溶液沖洗型感射線性抵抗組成物: 水溶液沖洗型感射線性抵抗組成物含有水溶性樹脂,如 聚乙烯醇與至少一項選擇自含有重氮化合物及重鉻酸合物作 爲必要的組成成分之群組。 用於本發明生產方法中之抵抗組成物可包含其它添加物 ,如沖洗促進劑,接著助劑,模糊防止劑,貯存安定劑,發 泡抑制劑,抗氧化劑,紫外光吸收劑,塡料,螢光材料,顏 料及染料,作爲選擇性成分。 <曝光光罩> 用於此抵抗膜暴露步驟之曝光光罩Μ的曝光圖樣,其係 依材料而有所不同,通常爲帶有條紋寬度1 0至5 0 〇 # m 之條紋圖樣。 -27- (24) (24)1231293 <顯影劑> 用於沖洗抵抗膜步驟中之顯影劑可依抵抗膜類型(抵抗 組成物)適當地作選擇。更確切地說,鹼性顯影劑適用於由 鹼性沖洗型感射線性抵抗組成物所形成之抵抗膜,有機溶劑 顯影劑適用於由有機溶劑沖洗型感射線性抵抗組成物所形成 之抵抗膜,水溶液顯影劑適用於由水溶液沖洗型感射線性抵 抗組成物所形成之抵抗膜。 鹼性顯影劑之有效成分爲鹼性無機化合物如氫氧化鋰, 氫氧化鈉,氫氧化鉀,磷酸氫鈉,磷酸氫二銨,磷酸抵抗組 成物所形成之抵抗膜,水溶液顯影劑適用於由水溶液沖洗型 感射線性抵抗組成物所氫二鉀,磷酸氫二鈉,磷酸二氫銨, 磷酸二氫鉀,磷酸二氫鈉,矽酸鋰,鈉矽酸,矽酸鉀,碳酸 鋰,碳酸鈉,碳酸鉀,硼酸鋰,硼酸鈉,硼酸鉀,氨或其類 似物;與鹼性有機化合物如四甲基銨氫氧化物,三甲基羥基 乙基銨氫氧化物,單甲基胺,二甲基胺,三甲基胺,單乙基 胺,二乙基胺,三乙基胺,單異丙基胺,二異丙基胺,乙醇 胺或其類似物。 用於沖洗抵抗膜步驟中之鹼性顯影劑,可將一個或多個 上述鹼性化合物溶解在水中而製備。鹼性顯影劑中鹼性化合 物之濃度通常爲0.001至10wt%,較佳爲〇.〇1 至5 w t %。以鹼性顯影劑沖洗後,通常以水執行淸洗。 有機溶劑顯影劑之說明實施例包括有機溶劑如甲苯,二 甲苯及醋酸丁酯。它們可單獨使用或合倂二或多項而使用。 以有機溶劑顯影劑沖洗後,視須要以不良的溶劑執行漂洗。 -28 - (25) 1231293 水溶液顯影劑之說明實施例包括水,醇類及其類似物。 <蝕刻溶液> 用於蝕刻無機粉末分散糊狀層步驟中之蝕刻溶液宜爲鹼 性溶液。由此,包含於無機粉末分散糊狀層中之鹼性可溶樹 脂可簡易地溶解並除去。 由於包含於無機粉末分散糊狀層中之無機粉末係均勻地 分散在鹼性可溶樹脂中,作爲黏結劑的鹼性可溶樹脂係被溶 解於鹼性溶液且作淸冼,同時將無機粉末移除。 作爲蝕刻溶液之鹼性溶液,可以是帶有如顯影劑相同組 成物之溶液。 當沖洗步驟中使用帶有如鹼性顯影劑相同組成物之蝕刻 溶液,沖洗步驟與蝕刻步驟可連續地執行,並由於方法簡化 而改進生產效率。 以鹼性溶液蝕刻後,通常以水執行淸洗。 蝕刻溶液亦可用作有機溶劑,而可溶解無機粉末分散糊 狀層之黏結劑。有機溶劑之說明實施例,相同於上述形成無 機粉末分散糊狀組成物之溶劑。 使用有機溶劑蝕刻後,視須要以不良的溶劑執行漂洗。 下列實施例係係用於進一步說明本發明,但不應被視爲 本發明之限制。在下列實施例中,vv份〃與a % 〃分別代表 重量部分〃與%重量(w t % ) 〃 。 重量平均分子量(M w )係由凝膠滲透層析儀(G P C )(商品名:H L C — 8 0 2 A,Tosoh Corporation)測定 並以苯乙烯計量之平均分子量。 -29- (26) 1231293 合成實施例1 將包含200份的N —甲基一 2 —吡咯烷酮’ 70份的 η -甲基丙烯酸丁酯,3 0份的甲基丙烯酸及1份的偶氮基 二異丁腈的單體組成物注入裝有攪拌器之熱壓釜中,在室溫 下於氮氣中均勻地攪拌’並在8 0°C聚合3小時。聚合反應 進一步在1 0 0 °C繼續1小時,並將溫度降至室溫而得到聚 合物溶液。聚合轉化率爲8%,且分離自聚合物溶液之共聚 物(以下將被引用作vv聚合物(A )〃)之重量平均分子量 (Mw)爲70,000。 合成實施例2 一聚合物溶液係得自與合成實施例1相同方式,除了注 入熱壓釜之單體組成物係包含2 0 0份的N -甲基-2 — 口比 略院酮,8 0份的η -曱基丙嫌酸丁酯,2 〇份的甲基丙燒 酸及1份的偶氮基二異丁腈。聚合轉化率爲9 7 %,且分離 自聚合物溶液的共聚物(以下將被引用作、、聚合物(Β )" )其重量平均分子量(Mw)爲1 〇〇,0〇〇。 合成實施例3 一聚合物溶液係得自與合成實施例1相同方式,除了注 入熱壓釜之單體組成物係包含2 0 〇份的甲基—2 — 口比 咯烷酮’ 9 0份的η -曱基丙烯酸丁酯,χ 〇份的甲基丙燒 酸及1份的偶氮基二異丁腈。聚合轉化率爲9 7 %,且分離 自聚合物溶液的共聚物(以下將被引用作、、聚合物(c } 〃 -30- (27) 1231293 )其重量平均分子量(Mw)爲90,0〇〇。 合成實施例4 一聚合物溶液係得自與合成實施例1相同方式,除了注 入熱壓釜之單體組成物係包含2 0 0份的3 -乙氧基丙酸乙 酯,8 5份的η -甲基丙烯酸丁酯,1 5份的甲基丙烯酸及 1份的偶氮基二異丁腈。聚合轉化率爲9 8%,且分離自聚 合物溶液的共聚物(以下將被引用作a聚合物(C )〃)其 重量平均分子量(Mw)爲50,000。 製備實施例1 (形成轉移膜以形成電極) 將7 5 0份的銀粉末作爲無機粉末,1 5 0份的聚合物 (A )作爲鹼性可溶樹脂,2 0份的聚丙二醇〔分子量爲 4 0 0,由 Wako Pure Chemistry Industries,Ltd.製造〕作 爲塑化劑4 0 0份的N -甲基- 2 -吡咯烷酮作爲溶劑,共 同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物,而用以形成電極〔以 下將被引用作 ''無機粉末分散糊狀組成物(I 一 1 )〃〕。 之後,將所得到無機粉末分散糊狀組成物(I - 1 )塗 佈於作過離型處理之聚對呔酸乙烯酯(P E T )支撐膜(寬 度2 0 0 mm,長度3 〇m且厚度3 8//m)上,以滾筒塗 佈器形成塗覆膜。將所形成的塗覆膜在1 1 〇 °C乾燥5分鐘 以完全除去溶劑,製備轉移膜〔以下將被引用作、、轉移膜( I 一 1 ) 〃 〕,其帶有1 0 // m厚的無機粉末分散糊狀層以 形成電極〔以下將被引用作 '"無機粉末分散糊狀層(I 一 1 )〃〕,該係電極形成於支撐膜上。 (28) 1231293 製備實施例2 (形成轉移膜以形成電極) 將7 5 0份的銀粉末作爲無機粉末,1 $ 〇份的聚合物 (B )作爲驗性可溶樹脂,2 0份的聚丙二醇〔分子量爲 4 0 0,由 Wako Pure Chemistry Industries,Ltd·製造〕作 爲塑化劑4 0 0份的N -甲基- 2 -吡咯烷酮作爲溶劑,共 同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物,而用以形成電極〔以 下將被引用作 >無機粉末分散糊狀組成物(I 一 2 )〃〕。 製備轉移膜〔以下將被引用作、、轉移膜(〗一 2 ) 〃〕 ,其帶有1 0 //m厚無機粉末分散糊狀層以形成電極〔以下 將被引用作y無機粉末分散糊狀層(I 一 2 )〃〕,該電極 係形成於支撑膜上,以如製備實施例1相同方式塗覆無機粉 末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用所得到無 機粉末分散糊狀組成物(I 一 2 )。 製備實施例3 (形成轉移膜以形成電極) 將7 5 0份的硼矽酸鉛玻璃熔塊(p b〇一 B 2〇3 — 5 i〇2 -系列混合物,軟化點·· 5 4 0 °C,將依下列敘述 使用)作爲無機粉末,1 5 0份的聚合物(A )作爲鹼性可 溶樹脂,20份的聚丙二醇〔分子量400,由Wako Pure Chemistry Industries,Ltd.製造〕作爲塑化劑,4 0 0 份的 N -甲基- 2 -吡咯烷酮作爲溶劑,共同捏合製備無機粉末 分散糊狀組成物,以形成柵欄肋條〔以下將被引用作'"無機 粉末分散糊狀組成物(I I 一 1 ) 〃〕。 -32- (29) 1231293 製備轉移膜〔以下將被引用作、、轉移膜(I I 一 1 ) 〃 〕’其帶有4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層以形成柵攔肋條 〔以下將被引用作、、無機粉末分散糊狀層(I I 一 1 )〃 〕 ,該電極係形成於支撐膜上,以如製備實施例1相同方式塗 覆無機粉末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用 所得到無機粉末分散糊狀組成物(II-1)。 製備實施例4 (形成轉移膜以形成柵欄肋條) 將1,0 0 0份的硼矽酸鉛玻璃熔塊作爲無機粉末, 1 5 0份的聚合物(B )作爲鹼性可溶樹脂,2 0份的聚丙 一酉学〔分子量 4 0 0,由 Wako Pure Chemistry Industries, Ltd·製造〕作爲塑化劑,以及4 0 0份的N -甲基—2 -吡 咯烷酮作爲溶劑,共同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物以 形成柵欄肋條〔以下將被引用作&無機粉末分散糊狀組成物 (11-2)"]。 製備轉移膜〔以下將被引用作 > 轉移膜(I I 一 2 ) 〃 〕’其帶有4 0 //in厚無機粉末分散糊狀層以形成概欄肋條 〔以下將被引用作 > 無機粉末分散糊狀層(I I 一 2 )〃 〕 ,該電極係形成於支撐膜上,以如製備實施例1相同方式塗 覆無機粉末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用 所得到無機粉末分散糊狀組成物(ί丨一 2 )。 製備實施例5 (形成轉移膜以形成柵欄肋條) 將7 5 0份的硼矽酸鉛玻璃熔塊作爲無機粉末, 1 5 0份的聚合物(Β )作爲驗性可溶樹脂,2 Q份的聚丙 -33- (30) 1231293 二醇〔分子量 4 0 0,由 Wako Pure Chemistry Industries, Ltd.製造〕作爲塑化劑4 0 0份的N —甲基—2 —吡咯烷 酮作爲溶劑,共同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物以形成 柵欄肋條〔以下將被引用作'^無機粉末分散糊狀組成物(I I - 3 )"〕。 製備轉移膜〔以下將被引用作 ''轉移膜(I I 一 3 ) 〃 〕,其帶有4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層以形成柵欄肋條 〔以下將被引用作 > 無機粉末分散糊狀層(I I 一 3 )〃 〕 ,該電極係形成於支撐膜上,以如製備實施例1相同方式塗 覆無機粉末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用 所得到無機粉末分散糊狀組成物(I I - 3 )。 製備實施例6 (形成轉移膜以形成柵欄肋條) 將1,0 0 0份的硼矽酸鉛玻璃熔塊作爲無機粉末, 1 5 0份的聚合物(C )作爲鹼性可溶樹脂,2 〇份的聚丙 一醇〔分子量 400 ’ 由 Wako Pure Chemistry Industries, Ltd.製造〕作爲塑化劑,以及4 〇 〇份的n —甲基—2 — 吡咯烷酮作爲溶劑,共同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物 以形成柵欄肋條〔以下將被引用作、、無機粉末分散糊狀組成 物(I I — 4 )"〕。 製備轉移膜〔以下將被引用作、、轉移膜(· I I 一 4 ) 〕’其帶有4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層以形成柵欄肋條 〔以下將被引用作、、無機粉末分散糊狀層(I I _ 4 )〃 〕 ,該電極係形成於支撐膜上,以如製備實施例丨相同方式塗 覆無機粉末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用 -34- (31) 1231293 所得到無機粉末分散糊狀組成物(I I - 4 )。 製備實施例7 將7 5 0份的硼矽酸鉛玻璃熔塊作爲無機粉末, 1 5 0份的聚合物(C )作爲鹼性可溶樹脂,2 0份的聚丙 一醇 〔分子量 400,由 Wako Pure Chemistry Industries ,Ltd.製造〕作爲塑化劑,4 〇 〇份的N —甲基—2 —吡 咯烷酮作爲溶劑,共同捏合製備無機粉末分散糊狀組成物以 形成柵欄肋條〔以下將被引用作、、無機粉末分散糊狀組成物 (I I - 5 ”〕。 製備轉移膜〔以下將被引用作、、轉移膜(I I 一 5 ) 〃 〕’其帶有4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層以形成柵欄肋條 〔以下將被引用作、、無機粉末分散糊狀層(I I 一 5 )"〕 ,該電極係形成於支撐膜上,以如製備實施例1相同方式塗 覆無機粉末分散糊狀組成物並完全地除去溶劑,除了係使用 所得到無機粉末分散糊狀組成物(I I 一 5 )。 形成柵攔肋條的無機粉末分散糊狀層之溶解度 評估形成製備實施例3至7中柵欄肋條的各無機粉末分 散糊狀層(I I 一 1)至(I I 一 5)在〇 _ 2wt%氫氧 化紳水溶液之溶解度。評估方法如下,且評估結果展示於表 (評估方法) 將各無機粉末分散糊狀組成物,以條狀塗料器塗佈於鈉 -35- (32) 1231293 玻璃基底(5公分平方1 · 1 m m厚)表面,並在1 1 〇 t 乾燥5分鐘以完全地除去溶劑,製備試驗片,其上帶有4 Ο // m厚的無機粉末分散糊狀層。 將所得到試驗片浸於0 . 2 w t %氫氧化鉀水溶液,以 電磁攪拌器攪拌溶液同時觀察試驗片表面。由試驗片表面無 機粉末分散糊狀層之溶解而使基底表面一半曝光所經過時間 ,測定作爲溶解時間,且溶解速率計算係基於下列公式。 公式:溶解速率U m/sec) =膜厚度(// m)/溶解時間(sec) 表1 無機粉末分散 糊狀層 膜厚度 (β m ) 溶解時間 (sec) 溶解速率 (β m /sec) II-1 40 30 1.33 II-2 40 46 0.87 II-3 40 62 0.65 II-4 40 74 0.54 II-5 40 88 0.45 製備實施例8 (作成轉移膜以形成抵抗膜) 取5 0份的聚合物(C )作爲鹼性可溶樹脂,4 0份的 四丙烯酸異戊四酯作爲多官能基單體(感射線性成分),5 份的2 -苄基一 2 —二甲基胺基—1 一( 4 —嗎福林基苯基 )丁一 1 -酮作爲光聚合起始劑(感射線性成分)及1 5 0 份的乙基3乙氧基丙酸酯作爲溶劑,共同捏合製備糊狀鹼性 -36- (33) 1231293 沖洗型感射線性抵抗組成物。 使用滾壓塗料器將所得到抵抗組成物,塗覆於作過離型 處理的聚對呔酸乙烯酯(P E T )支撐膜(寬度2 0 0 m m ,長度3 Om及厚度3 8 //m)上,形成塗覆膜。將所形成 的塗覆膜在1 1 0 °C乾燥5分鐘以完全除去溶劑,如此在支 撐膜上製備形成轉移膜〔以下將被引用作 > 轉移膜(R - 1 )〃〕,其帶有5 // m厚抵抗膜〔以下將被引用作v抵抗膜 製備實施例9 (作成轉移膜以形成抵抗膜) 取5 0份的聚合物(D )作爲鹼性可溶樹脂,4 0份的 四丙烯酸異戊四酯作爲多官能基單體(感射線性成分),5 份的2 -苄基一 2 -二甲基胺基一 1 一( 4 一嗎福林基苯基 )丁- 1 -酮作爲光聚合起始劑(感射線性成分)及1 5 0 份的乙基3乙氧基丙酸酯作爲溶劑,共同捏合製備糊狀鹼性 沖洗型感射線性抵抗組成物。 使用滾壓塗料器將所得到抵抗組成物,塗覆於作過離型 處理的聚對呔酸乙烯酯(P E T )支撐膜(寬度2 0 0 m m ,長度3 0 m及厚度3 8 // m )上,形成塗覆膜。將所形成 的塗覆膜在1 1 0 t乾燥5分鐘以完全除去溶劑,如此在支 撐膜上製備形成轉移膜〔以下將被引用作 > 轉移膜(R - 2 )〃〕,其帶有5 // m厚抵抗膜〔以下將被引用作'^抵抗膜 (2 ) 〃 〕° 實施例1〔無機粉末分散糊狀層轉移步驟〕 -37- (34) 1231293 將轉移膜〔I - 1〕置於玻璃基底(6 一英寸板)上以 使欲形成電極之無機粉末分散糊狀層之表面(I 一 i ),與 玻璃基底表面接觸’且轉移膜〔I - 1〕係由加熱滾筒加壓 黏合於玻璃基底上。加壓黏合條件爲加熱滾筒表面溫度在 1 2 0°C ’滾壓壓力在4 k g/cm2且加熱滾筒滾壓移動 速率在0 . 5m/mi η。上述加壓黏合處理後,將支撐膜 自無機粉末分散糊狀層(I - 1 )除去。由此,無機粉末分 散糊狀層(I - 1 )被轉移且緊密地黏合於玻璃基底表面。 無機粉末分散糊狀層之厚度經測定爲1 〇 # m ± 1 # m。 之後’將轉移膜(I - 2 )置於無機粉末分散糊狀層( I 一 1 )上,以使無機粉末分散糊狀層之表面(1_ 2 )與 無機粉末分散糊狀層之表面(I - 1 )接觸,並使用加熱滾 筒在如前述相同加壓黏合條件下將轉移膜(I 一 2 )加壓黏 合。上述加壓黏合處理後,將支撐膜自無機粉末分散糊狀層 (I 一 2 )除去。由此,將無機粉末分散糊狀層(I 一 2 ) 轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層之表面(I 一 1 ) )。形成於玻璃基底上由無機粉末分散糊狀層(I - 1 )及 (I 一 2 )所組成之疊層,其厚度經測定爲2 0 // m ± 2 〔形成抵抗膜之步驟〕 將轉移膜(R - 1 )置於無機粉末分散糊狀層(I - 2 )上’以使抵抗膜之表面(1 )與無機粉末分散糊狀層之表 面(I - 2 )接觸,並使用加熱滾筒在如前述相同加壓黏合 條件下將轉移膜(R - 1 )加壓黏合。上述加壓黏合處理後 -38- (35) 1231293 ,將支撐膜自無機粉末分散糊狀層(1 )除去。由此,將抵 抗膜(1 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層(I -2 )之表面。此轉移至無機粉末分散糊狀層(I - 2 )表面 之抵抗膜(1 ),其厚度經測定爲5 // m ± 1 // m。 〔暴露抵抗膜之步驟〕 形成於無機粉末分散糊狀層疊層上的抵抗膜(1 ),經 使用超高壓汞燈經由曝光光罩(條紋圖樣帶有寬度7 0 // m )曝光於i -線(波長爲3 6 5 n m之紫外光)。射線量爲 400mJ/cm20 〔沖洗抵抗膜步驟〕 以0 . 2 w t %氫氧化鉀水溶液(2 5 °C )作爲顯影劑 ,使用噴淋方法將經曝光的抵抗膜(1 )沖洗2 0秒。之後 ,以超純水淸洗抵抗膜以除去未曝光的未硬化抵抗,而形成 抵抗圖樣。 〔無機粉末分散糊狀層之蝕刻步驟〕 接續上述步驟而不中斷,以〇 . 2 w t %氫氧化鉀水溶 液(2 5 °C )作爲蝕刻溶液,使用噴淋方法執行蝕刻2分鐘 。之後,以超純水淸洗處理並執行乾燥處理。由此形成無機 粉末分散糊狀層圖樣,其係由材料層剩下部分及材料層除去 部分所組成。 〔烘烤無機粉末分散糊狀層之步驟〕 -39- (36) 1231293 將帶有上述無機粉末分散糊狀層圖樣之玻璃基底’在火 爐上於6 0 °C烘烤3 0分鐘。如此而得到帶有於玻璃基底表 面形成電極之板材料。 當以掃瞄式電子顯微鏡觀察所得到板材的電極之橫截面 ,以測定橫截面底面之寬度與,寬度爲5 0 #m:t 2 //m且底面高度爲1 0 //m± 1 /zm。如此,尺寸準確度非 常局。 實施例2 〔形成轉移膜〕 由下列操作(1 )至(3 )製備帶有疊層之轉移膜,該 疊層係由兩種形成電極之無機粉末分散糊狀層以及形成在支 撐膜上之抵抗膜所組成。 (1 )於支撐膜上形成5 // m厚抵抗膜〔以下將被引用 作 > 抵抗膜(1 / ) 〃〕,其係使用滾筒塗佈器,將用於製 備實施例8之抵抗組成物,塗覆於作過離型處理之P E T支 撐膜(寬度200 mm,長度30m且厚度38/zm),並 將此乾燥塗覆膜在1 1 0 °C乾燥5分鐘,以完全除去溶劑。 (2 )於抵抗膜(1 / )上形成1 0 // m厚無機粉末分 散糊狀層以形成電極〔以下將被引用作v'無機粉末分散糊狀 層(I - 2 /)〃〕,其係使用滾筒塗佈器將無機粉末分散 糊狀組成物(I - 2 )塗覆於抵抗膜(1 /)上,並將塗覆 膜在1 1 0 °C乾燥5分鐘以完全除去溶劑。 (3 )於無機粉末分散糊狀層(I 一 2上形成 1 0 // m厚無機粉末分散糊狀層〔將被引以下引用作、、無機 -40- (37) 1231293 粉末分散糊狀層(I 一 1 / ) 〃〕,其係使用滾筒塗佈器, 將無機粉末分散糊狀組成物(I - 1 )塗覆於無機粉末分散 糊狀層(I — 2 /)上,並在1 1 0 °C將塗覆膜乾燥5分鐘 以完全除去溶劑。 〔轉移疊層膜步驟〕 將轉移膜置於如用於實施例1之玻璃基底上,以使無機 粉末分散糊狀層之表面(I - 1 /)與玻璃基底表面接觸, 且使用加熱滾筒加壓黏合轉移膜。加壓黏合條件爲加熱滾筒 表面溫度在1 2 0°C,滾壓壓力在4 k g/cm2且加熱滚 筒滾壓移動速率在0 · 5m/mi η。上述加壓黏合處理後 ’將支撐膜自疊層膜〔抵抗膜(1 /)表面〕除去。由此, 疊層膜被轉移且緊密地黏合於玻璃基底表面。此疊層膜〔疊 層膜由二無機粉末分散糊狀層與抵抗膜所組成〕之厚度經測 定爲 2 5//m±2//m。 〔暴露與沖洗抵抗膜之步驟〕 於無機粉末分散糊狀層疊層上形成抵抗圖樣,其係在如 實施例1相同條件下,使抵抗膜(1 >)暴露(於紫外光) ,再以氫氧化鉀水溶液沖洗並以水淸洗,該抵抗膜係形成於 無機粉末分散糊狀層之疊層上。 〔無機粉末分散糊狀層之蝕刻步驟〕 接續上述步驟而不中斷,在與實施例1相同之條件下, 執行以氫氧化鉀水溶液蝕刻並以水淸洗,再加以乾燥而形成 -41 - (38) 1231293 無機粉末分散糊狀層圖樣。 〔烘烤無機粉末分散糊狀層圖樣之步驟〕 將帶有無機粉末分散糊狀層圖樣之玻璃基底,在火爐上 於6 0 0 °C烘烤3 0分鐘。如此而得到帶有於玻璃基底表面 形成電極之板材料。 當以掃瞄式電子顯微鏡觀察所得到板材的電極之橫截面 ,以測定橫截面底面之寬度與,寬度爲5 0 //m± 2 /zm且 底面高度爲1 0 //m± 1 //m。如此,尺寸準確度非常高。 實施例3〔無機粉末分散糊狀層轉移步驟〕 將轉移膜(I I — 1 )置於玻璃基底(6 -英寸板)上 ,其係已安排電極(寬度1 0 0 /zm)以產生電漿,以使欲 形成電極之無機粉末分散糊狀層之表面(I I - 1 ),與玻 璃基底表面接觸,且轉移膜(I I - 1 )係由加熱滾筒加壓 黏合於玻璃基底上。加壓黏合條件爲加熱滾筒表面溫度在 1 2 0°C,滾壓壓力在4 k g/cm2且加熱滾筒滾壓移動 速率在0 · 5 m/m i η。上述加壓黏合處理後,將支撐膜 自無機粉末分散糊狀層(I I - 1 )除去。由此,無機粉末 分散糊狀層(I I - 1 )被轉移且緊密地黏合於玻璃基底表 面。無機粉末分散糊狀層(I I - 1 )之厚度經測定爲4 〇 // m ± 1 // m 〇 之後’將轉移膜(I I - 2 )置於無機粉末分散糊狀層 (I I 一 1 )上,以使無機粉末分散糊狀層之表面(I ! 一 2 )與無機粉末分散糊狀層之表面(I I 一 1 )接觸,並使 -42 - (39) 1231293 用加熱滾筒在如前述相同加壓黏合條件下將轉移膜(I I 一 2 )加壓黏合。上述加壓黏合處理後,將支撐膜自無機粉末 分政糊狀層(I I - 2 )除去。由此,將無機粉末分散糊狀 層(I I - 2 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層之 表面(I I — 1 ))。 形成於玻璃基底上由無機粉末分散糊狀層I _ 1 ) 與(I I — 2 )所組成之疊層,其厚度經測定爲8 〇 // m 土 2 # m。 之後,將轉移膜(I I - 3 )置於無機粉末分散糊狀層 (I I — 2 )上,以使無機粉末分散糊狀層(ϊ I 一 3 )之 表面與無機粉末分散糊狀層之表面(I I 一 2 )接觸,並使 用加熱滾筒在如前述相同加壓黏合條件下將轉移膜(I I 一 3 )加壓黏合。上述加壓黏合處理後,將支撐膜自無機粉末 分散糊狀層(I I 一 3 )除去。由此,將無機粉末分散糊狀 層(I I - 3 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層( I I 一 2 )之表面。 形成於玻璃基底上由無機粉末分散糊狀層(I I 一 1 ) 至(I I 一 3 )所組成之疊層,其厚度經測定爲1 2 0 // m ± 3 // m 〇 之後,將轉移膜(I I - 4 )置於無機粉末分散糊狀層 (ϊ I 一 3 )上,以使無機粉末分散糊狀層(I I 一 4 )之 表面與無機粉末分散糊狀層之表面(I I - 3 )接觸,並使 用加熱滾筒在如前述相同加壓黏合條件下將轉移膜(I I 一 4 )加壓黏合。上述加壓黏合處理後,將支撐膜自無機粉末 分散糊狀層(I I - 4 )除去。由此,將無機粉末分散糊狀 -43- (40) 1231293 層(I I - 4 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層( 1 1〜3 )之表面。 形成於玻璃基底上由無機粉末分散糊狀層(I I 一 1 ) 至(I I 一 4 )所組成之疊層,其厚度經測定爲;[6 〇 # m 土 4 // m 〇 之後,將轉移膜(I I - 5 )置於無機粉末分散糊狀層 (I I 一 4 )上,以使無機粉末分散糊狀層(I I 一 5 )之 表面與無機粉末分散糊狀層之表面(I I 一 4 )接觸,並使 用加熱滾筒在如前述相同加壓黏合條件下將轉移膜(I I 一 5 )加壓黏合。上述加壓黏合處理後,將支撐膜自無機粉末 分散糊狀層(I I - 5 )除去。由此,將無機粉末分散糊狀 層(I I - 5 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層( ϊ I - 4 )之表面。形成於玻璃基底上由無機粉末分散糊狀 層(ϊ I 一 1 )至(I I 一 5 )所組成之疊層,其厚度經測 定爲 2 00/zm± 5//m。 〔形成抵抗膜之步驟〕 將轉移膜(R - 2 )置於無機粉末分散糊狀層(ϊ ϊ 一 5 )上’以使抵抗膜之表面(2 )與無機粉末分散糊狀層之 表面(I I - 5 )接觸,並使用加熱滾筒在如前述相同加壓 黏合條件下將轉移膜(R - 2 )加壓黏合。上述加壓黏合處 理後,將支撐膜自無機粉末分散糊狀層(2 )除去。由此, 將抵抗膜(2 )轉移並緊密地黏合於無機粉末分散糊狀層( I I 一 5 )之表面。 此轉移至無機粉末分散糊狀層(I I 一 5 )表面之抵抗 -44- (41) 1231293 膜(2 ),其厚度經測定爲1 Ο // m ± 1 // m。 〔暴露抵抗膜之步驟〕 形成於無機粉末分散糊狀層疊層上的抵抗膜(2 ),經 使用超高壓汞燈經由曝光光罩(條紋圖樣帶有寬度5 0 # m )曝光於i 一線(波長爲3 6 5 n m之紫外光)。射線量爲 4 0 0 m J / c m 2 〇 〔沖洗抵抗膜步驟〕 以0 · 2 w t %氫氧化鉀水溶液(2 5 t:)作爲顯影劑 ,使用噴淋方法將經曝光的抵抗膜(1 )沖洗3 0秒。之後 ,以超純水淸洗抵抗膜以除去未曝光的未硬化抵抗,而形成 抵抗圖樣。 〔無機粉末分散糊狀層之蝕刻步驟〕 接續上述步驟而不中斷,以〇 . 2 w t %氫氧化鉀水溶 液(2 5 °C )作爲蝕刻溶液,使用噴淋方法執行蝕刻5分鐘 〇 之後,以超純水淸洗處理並執行乾燥處理。由此形成無 機粉末分散糊狀層圖樣,其係由材料層剩下部分及材料層除 去部分所組成。 〔烘烤無機粉末分散糊狀層之步驟〕 將帶有上述無機粉末分散糊狀層圖樣之玻璃基底,在乾 淨之烘箱中加熱至1 8 0 °C,此玻璃基底經轉移於火爐上再 -45- (42) 1231293 於5 2 0 °C烘烤3 0分鐘。如此而得到於玻璃基底表面帶有 柵欄肋條(玻璃燒結體)之板材料。 當以掃瞄式電子顯微鏡觀察所得到板材的柵欄肋條之橫 截面,以測定橫截面底面之寬度與,寬度爲5 0 //m± 3 //m且底面高度爲1 5 0 //m± 4 //m。如此,尺寸準確度 非常高,且外觀比高達3。 依據通常所用方法使用此板材製造電漿顯示板。此電漿 顯示板在螢光部位具有高明亮度,且展示高品質彩色影像。 實施例4 〔形成轉移膜〕 由下列操作(1 )至(6)製備帶有疊層之轉移膜,該 疊層係由五種形成電極之無機粉末分散糊狀層以及形成在支 撐膜上之抵抗膜所組成。 (1 )於支撐膜上形成1 0 // m厚抵抗膜〔以下將被引 用作 > 抵抗膜(2 /)〃〕,其係使用滾筒塗佈器,將用於 製備實施例8之抵抗組成物,塗覆於作過離型處理之P E 丁 支撐膜(寬度200mm,長度30 m且厚度38#m), 並將此乾燥塗覆膜在1 1 0 °C乾燥5分鐘,以完全除去溶劑 〇 (2 )於抵抗膜(2 / )上形成4 0 // m厚無機粉末分 散糊狀層以形成電極〔以下將被引用作v'無機粉末分散糊狀 層(I I - 5 / ) 〃〕,其係使用滾筒塗佈器將無機粉末分 散糊狀組成物(I I 一 5 )塗覆於抵抗膜(2 /)上,並將 塗覆膜在1 1 0 °C乾燥5分鐘以完全除去溶劑。 -46- (43) 1231293 (3 )於無機粉末分散糊狀層(I I 一 5 / )上形成 4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層〔將被引以下引用作 > 無機 粉末分散糊狀層((I I 一 4 -)〃〕,其係使用滾筒塗佈 器’將無機粉末分散糊狀組成物(I I - 4 )塗覆於無機粉 末分散糊狀層(I I — 5 >)上,並在1 1 0 t:將塗覆膜乾 燥5分鐘以完全除去溶劑。 (4 )於無機粉末分散糊狀層(I I 一 4 /)上形成 4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層〔將被引以下引用作、、無機 粉末分散糊狀層((I I 一 3 > ) 〃〕,其係使用滾筒塗佈 器’將無機粉末分散糊狀組成物(I I - 3 )塗覆於無機粉 末分散糊狀層(I I 一 4 >)上,並在1 1 0 °C將塗覆膜乾 燥5分鐘以完全除去溶劑。 (5 )於無機粉末分散糊狀層(I I 一 3 >)上形成 4 0 // m厚無機粉末分散糊狀層〔將被引以下引用作、、無機 粉末分散糊狀層((I I 一 2 > )"〕,其係使用滾筒塗佈 器’將無機粉末分散糊狀組成物(I I - 2 )塗覆於無機粉 末分散糊狀層(I I 一 3 >)上,並在1 1 0 °C將塗覆膜乾 燥5分鐘以完全除去溶劑。 (6 )於無機粉末分散糊狀層(I I 一 2 /)上形成 4 0 /z m厚無機粉末分散糊狀層〔將被引以下引用作、、無機 粉末分散糊狀層((;[I 一 1 / ) 〃 〕,其係使用滾筒塗佈 器’將無機粉末分散糊狀組成物(I I 一 1 )塗覆於無機粉 末分散糊狀層(I I 一 2 > )上,並在1 1 0 °C將塗覆膜乾 燥5分鐘以完全除去溶劑。 -47 - (44) 1231293 〔轉移疊層膜步驟〕 將轉移膜置於如用於實施例3之玻璃基底上,以使無機 粉末分散糊狀層之表面(1 /)與玻璃基底表面接觸,且使 用加熱滾筒加壓黏合轉移膜。加壓黏合條件爲加熱滾筒表面 溫度在1 OOt,滾壓壓力在3kg/cm2且加熱滾筒滾 壓移動速率在0 · 5m/m i η。上述加壓黏合處理後,將 支撐膜自疊層膜〔抵抗膜(2 /)表面〕除去。由此,疊層 膜被轉移且緊密地黏合於玻璃基底表面。此疊層膜〔疊層膜 由五種無機粉末分散糊狀層與抵抗膜所組成〕之厚度經測定 爲 2 10//m±6//m。 〔暴露與沖洗抵抗膜之步驟〕 於無機粉末分散糊狀層疊層上形成抵抗圖樣,其係在如 實施例1相同條件下,使抵抗膜(2 /)暴露(於紫外光) ,再以氫氧化鉀水溶液沖洗並以水淸洗,該抵抗膜係形成於 無機粉末分散糊狀層之疊層上。 〔無機粉末分散糊狀層之蝕刻步驟〕 接續上述步驟而不中斷,在如實施例3相同條件下,以 氫氧化鉀水溶液蝕刻,並以水淸洗並乾燥此無機粉末分散糊 狀層之疊層,而得到無機粉末分散糊狀層圖樣。 〔烘烤無機粉末分散糊狀層圖樣之步驟〕 將帶有無機粉末分散糊狀層圖樣之玻璃基底,在乾淨之 烘箱中加熱至1 8 0 °C,之後,將此玻璃基底經轉移於火爐 -48-

Claims (1)

1231293 (1) 拾、申請專利範圍 第92 1 1 8507號專利申請案 中文申請專利範圍 民國 1 .一種用以形成電極之轉移膜,包含: 一支撐膜;和 一導電性粉末分散糊狀層在該支撐膜上, 其中該導電性粉末分散糊狀層包含一糊狀組成 糊狀組成物包含: (a-Ι)—導電性粉末; (b)鹼性可溶樹脂;和 (〇 —溶劑。 2. —種用以形成柵欄肋條之轉移膜,包含: 一支撐膜;和 一玻璃粉末分散糊狀層在該支撐膜上, 其中該玻璃粉末分散糊狀層包含一糊狀組成物 狀組成物包含: (a-2)—玻璃熔塊; (b) 鹼性可溶樹脂;和 (c) 一溶劑。 3 . —種用以形成電極之轉移膜,包含: 一疊層,其中一阻止膜和一導電性粉末分散糊 公告本 修正本 年月日 94年1月18 修正 修正 物,該 ,該糊 狀層以 此順序疊層在一支撐膜上,其中該導電性粉末分散糊狀層 包含一糊狀組成物,該糊狀組成物包含: (2) 1231293 (a-1)—導電性粉末; (b) 鹼性可溶樹脂;和 (c) 一溶劑。 4 . 一種用以形成柵欄肋條之轉移膜,包含: 一疊層,其中一阻止膜和一玻璃粉末分散糊狀層以此 順序疊層在一支撐膜上,其中該玻璃粉末分散糊狀層包含 一糊狀組成物,該糊狀組成物包含: (a-2)—玻璃熔塊; (b)鹼性可溶樹脂;和 (c ) 一溶劑。 5 .如申請專利範圍第1項的轉移膜,其中該導電性粉 末分散糊狀層疊層2至1 0個導電性粉末分散糊狀層。 6 ·如申請專利範圍第2項的轉移膜,其中該玻璃粉末 分散糊狀層疊層2至10個玻璃粉末分散糊狀層。 7 .如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該導電性粉 末分散糊狀層疊層2至1 0個導電性粉末分散糊狀層。 8 ·如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該玻璃粉末 分散糊狀層疊層2至1 〇個玻璃粉末分散糊狀層。 9 ·如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該支撐膜包 3 一樹脂’該樹脂選自由聚對呔酸乙烯酯,聚酯,聚乙烯 ’聚丙條,聚苯乙烯,聚醯亞胺,聚乙烯醇,聚氯乙烯, 聚氟乙烯,尼龍,和纖維素所組成之群。 1 0 ·如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該支撐膜的 厚度爲2 0至I 〇 〇 v m。 - 2- 1231293 (3) 1 1 ·如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該溶劑選自 由醚,酯,醚酯,酮,酮酯,醯胺,醯胺酯,内醯胺,內 酯,亞颯,颯,碳氫化合物,鹵化碳氫化合物所組成之群 〇 1 2 .如申sra專利車E圍弟3項的轉移膜,其中該溶劑的沸 點爲1 〇 〇至2 0 0 °C。 1 3 ·如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該溶劑的蒸 氣壓力在20 °C時爲0.5至50mm Hg。 1 4 .如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該導電性粉 末分散糊狀層的厚度爲10至100// πι。 1 5 ·如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該支撐膜包 含一樹脂,該樹脂選自由聚對呔酸乙烯酯,聚酯,聚乙烯 ,聚丙烯,聚苯乙烯,聚醯亞胺,聚乙烯醇,聚氯乙烯, 聚氟乙烯,尼龍,和纖維素所組成之群。 1 6 .如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該支撐膜的 厚度爲20至100// m。 1 7 .如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該溶劑選自 由醚,酯,醚酯,酮,酮酯,醯胺,醯胺酯,内醯胺,內 酯,亞颯,》,碳氫化合物,鹵化碳氫化合物所組成之群 〇 1 8 .如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該溶劑的沸 點爲1 0 0至2 0 0 °C。 ]9.如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該溶劑的蒸 氣壓力在20°C時爲0.5至50nim Hg ° 1231293 (4) 2 Ο .如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該導電性粉 末分散糊狀層的厚度爲10至100// m。 2 1 .如申請專利範圍第3項的轉移膜,其中該樹脂爲下 列單體(a)和(b),或(a),(b),和(c)的共聚合物: (a) 含羧基單體或含酚羥基基團單體; (b) 與單體(a)共聚合的單體; (c) 帶有可聚合不飽和基團的巨單體。 22 ·如申請專利範圍第2 1項的轉移膜,其中該含殘基 單體係選自由丙烯酸,甲基丙烯酸,馬來酸,反丁烯二酸 ,巴豆酸,衣康酸,蒸餾檸檬酸,中康酸,和塞納米酸所 組成之群;和 其中含酚羥基基團單體係選自鄰羥基苯乙烯,間羥基 苯乙烯,和對羥基苯乙烯所組成之群。 23·如申請專利範圍第21項的轉移膜,其中該單體(b) 係選自由(甲基)丙烯酸甲酯,(甲基)丙烯酸乙酯,(甲基) 丙烯酸丁酯,(甲基)丙烯酸甘油酯,和(甲基)丙烯酸二環 戊醋,苯乙燒,α -甲基苯乙條,丁二嫌,和異戊二燒所 組成之群。 24 ·如申請專利範圍第2 1項的轉移膜,其中該巨單體 (〇係選自具有(甲基)丙稀醯基基團位於一端聚合物鏈之巨 單體所組成之群。 25·如申請專利範圍第4項的轉移膜,其中該樹脂爲下 列單體(a )和(b ),或(a),( b ),和(c )的共聚合物: (a)含羧基單體或含酚羥基基團單體; 1231293 (5) (b) 與單體(a)共聚合的單體; (c) 帶有可聚合不飽和基團的巨單體。 2 6.如申請專利範圍第25項的轉移膜,其中該含羧基 單體係選自由丙烯酸,甲基丙烯酸,馬來酸,反丁烯二酸 ,巴豆酸,衣康酸,蒸餾檸檬酸,中康酸,和塞納米酸所 組成之群;和 其中含酚羥基基團單體係選自鄰羥基苯乙烯,間羥基 苯乙烯,和對羥基苯乙烯所組成之群。 27·如申請專利範圍第25項的轉移膜,其中該單體(b) 係選自由(甲基)丙烯酸甲酯,(甲基)丙烯酸乙酯,(甲基) 丙烯酸丁酯’(甲基)丙烯酸甘油酯,和(甲基)丙烯酸二環 戊酯,苯乙烯’ α -甲基苯乙烯,丁二烯,和異戊二烯所 組成之群。 2 8 .如申請專利範圍第2 5項的轉移膜,其中該巨單體 (c)係選自具有(甲基)丙烯醯基基團位於一端聚合物鏈之巨 單體所組成之群。 29. —種用以形成電極之轉移膜,該電極具有疊層, 其中一阻止膜,以糊狀組成物製成的一導電性粉末分散糊 狀層,和一降低反射膜以此順序疊層在一支撐膜上,其中 該糊狀組成物包含: (a-Ι)—導電性粉末; (b)鹼性可溶樹脂;和 (c ) 一溶劑。
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