TWI223879B - Package stack module with vertical conductive wires inside molding compound - Google Patents

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TWI223879B
TWI223879B TW092127883A TW92127883A TWI223879B TW I223879 B TWI223879 B TW I223879B TW 092127883 A TW092127883 A TW 092127883A TW 92127883 A TW92127883 A TW 92127883A TW I223879 B TWI223879 B TW I223879B
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Yung-Li Lu
Ching-Hui Chang
Cheng-Yin Lee
Shih-Chang Lee
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Advanced Semiconductor Eng
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Description

1223879 五、發明說明(1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種半導體封裝件之組合模組,特別 糸有關於一種封裝件堆疊模組〔Mul ti—
Module〕。 【先前技術】 ^于裝件堆疊模組〔Multi- Package Module〕係為 二,複數個半導體封裝件垂直向堆疊,其係將該些半導體 * 口件之封膠體〔molding c〇mp〇und〕相互疊設,不同於 在單一封膠體内之多晶片堆疊封裝件〔Multi chip stack ,在我國專利公告第52701 8號係揭示一種封裝 ^ 其係將該些半導體封裝件之外連接端(如導 卷m r道錫鉛銲球〕設在對應封膠體之外周邊或側 ΐ良方ί疊之半導趙封裝η然其係具 縮小化,該些外連接“ί易:體封裝件之尺寸 脫掉。 银%不谷易達到準確地對位接合且容易 另種S知之封I件堆疊模組係、以間隔電路板 〔wiring spacer )作Λ摊矗糾牯从 係設在封膠體之周邊Λ;隹參叠:第=之電性連接界面’其 堆叠模組係主要包ί有;’;種習知之封裝件 與一第-丰導沪射:L互堆疊之—第-半導體封裝件10 與第一 +導體封裝件20,其中該第 堆疊設置於該第-半導體封請〇上,該第一 件㈣包含有一密封有半導體晶片〔圖未:出 11與-基板12 ’該封膠體"係設在該基板12之上表面且 1223879
”亥封膠體11内之半導體晶片係可以覆晶接合或打線連接而 電性連接至該基板1 2〔圖未繪出〕,習知該基板丨2之下表 面另包含有複數個銲球13,其係呈球格陣列型態,為了電 ^生連接该第二半導體封裝件2 〇至該第一半導體封裝件丨〇之 基板12,請參閱第圖,該基板12會設計成具較大電性 連接面之基板,以配合對應一間隔電路板3〇〔 spacer〕,該間隔電路板3〇係具有雙面電性導通之金屬線 路31以及一位於該間隔電路板3〇中央之開口32,其中該些 線路31係電性連接在該間隔電路板3〇上表面之複數個連& 墊3 4與在该間隔電路板3 〇下表面之複數個凸塊3 3,該些連 接墊34係提供作為該第二半導體封裝件2〇之複數個凸塊21 接合,該些凸塊33係用以電性接合至該基板12之上表面, 故該間隔電路板30係作為該基板1 2之增高電性連接之間隔 物,使得該第二半導體封裝件2〇能垂直向堆疊衿該第一半 導體封裝件1〇,由於該間隔電路板3〇之開口32必須要大於 該封膠體11之尺寸,使得該第一半導體封裝件1〇之基板12 亦須相匹配而增大尺寸,再者,該間隔電路板3〇具有該開 口 32,因此容易造成该間隔電路板3〇翹曲,當該第二半導 體封裝件20以該些凸塊21電性連接該間隔電路板3〇及該間 隔電路板30以該呰凸塊33電性連接該基板12時,因該間隔 電路板30翹曲而造成該些凸塊21、33之接點斷裂而電性連 接不良、斷路,因此該間隔電路板30之厚度與翹曲度係被 嚴格要求在一準確的範圍,該間隔電路板3〇之翹曲導致該
些凸塊2 1、3 3之接點斷裂已成為要消除該習知封裝件堆疊
第10頁
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五、發明說明(3) 模組之不良率首要解決的問題。 【發明内容】 本發明之主要目的係在於提供一種在封膠體内养有縱 向導通線之封裝件堆疊模組,其係利用在一半導體封裝件 之封膠體内設有複數個縱向導通線,該些縱向導通線之— 端係接合在该封膠體底面之連接墊’另一端係顯露於該封 膠體頂面,並且在該封膠體頂面貼設一異方性導電膜層, 以利在該封膠體上堆疊另一半導體封裝件,並且藉由該異 方性導電膜層與該些縱向導通線電性導通該相鄰堆昼之半 導體封裝件,取代習知在封膠體外周邊之間隔電路板。 本發明之次一目的係在於提供一種在封膠體内具有縱 向導通線之半導體封裝件,利用在一封膠體内設有複數個 縱向導通線,該些縱向導通線之一端係接合在封膠體底面 之連接墊,另一端係顯露於封膠體頂面,使得該半導體封 裝件之封膠體可供電性連接之垂直堆疊,並且具有在封膠 體内縱向導通路徑之穩固形成,以取代習知在封膠體外周 邊之間隔電路板。 依本發明之在封膠體内具有縱向導通線之封裝件堆疊 模組’其主要包含有一第一半導體封裝件、一第二半‘體 封裝件及在該些半導體封裝件之間之異方性導電膜層 〔Anisotropic Conductive Film, ACF〕,其中該第一半 導體封裝件係包含有一封膠體、複數個連接墊、一半導體 晶片以及複數個縱向導通線,該封膠體係具有一頂面及一 底面,該些連接墊係形成於該封膠體之底面,該半導體晶
1223879 五、發明說明(4) ' 片係電性連接至該些連接墊並以該封膠體密封該半導體晶 片’該些縱向導通線係設於該封膠體内,該些縱向導通線 之一端接合於該些連接墊,另一端係顯露於該封膠體之頂 面’以電性導通該封膠體之該頂面與該底面,並且該異方 性導電膜層係貼設於該封膠體之頂面,以供第二半導體封 裝件之堆疊與電性導通。 【實施方式】
參閱所附圖式,本發明將列舉以下之實施例說明。 依本發明之第一具體實施例,請參閱第3圖,一種封 展件堆疊模組係主要包含有一第一半導體封裝件丨〇〇、一 第一半導體封裝件200以及在第一半導體封裝件iQ〇與第二 半導體封裝件200之間的異方性導電膜層300 〔Anisotropic Conductive Film,ACF〕,在本實施例中 该第二半導體封裝件2 〇 〇係堆疊在該第一半導體封裝件1 〇 〇 上〇 該第一半導體封裝件1 0 0係包含有一封膠體1 ^ 〇 〔molding compound〕、複數個連接墊1 20、一半導體晶 片1 3 0以及複數個縱向導通線1 4 0,其中該封膠體11 〇係可 為壓模〔mo 1 di ng〕形成之電絕緣性固化樹脂,用以密 封、保遵與結合該半導體晶片1 3 0,該封膠體11 〇係具有一 頂面111及一對應之底面11 2,在該封膠體11 〇之底面11 2係 形成有該些連接墊1 2 〇,該些連接墊1 2 0係可呈塊狀、平墊 狀、凸點狀或導腳狀,其係可由一BCC〔 Bump Chip Carrier,凸點晶片載板〕金屬板或是由一qFn〔 Quad
第12頁 1223879 發明說明(5)
Flat Non-leaded,四方扁平無接腳〕、s〇N〔SmaU
Outline Non-leaded,小外型無接腳〕等無外接腳式導線 架之金屬板所構成,由於BCC、QFN、s〇N已為習知之封裝 型態,因此以金屬板或導線架形成本實施例之該些連接墊 1 2 0不在此贅述。
該半導體晶片1 3 0係被密封於該封膠體丨丨〇内,其係具 有一主動面131及一對應之背面132,其中該主動面131係 形成有複數個銲墊133,在本實施例中,該半導體晶片13〇 之煮面132係為顯露於该封膠體11〇,一種具體形成顯露該 半導體晶片130之背面132方式,係在製程中可利用一貼片 〔tape〕貼附在該半導體晶片13〇之背面132,在壓模形成 該封膠體110之後撕離該貼片,另一種具體形成方式為, 係以一金屬板承載該半導體晶片丨3 〇之背面丨32 ,在電性連 接與形成該封膠體11 0之後,以蝕刻除去該金屬板。在本 實施例中’該半導體晶片1 3 〇係利用打線形成之鋅線1 5 〇電 性連接該些銲墊133與對應連接墊120。 该些縱向導通線 140〔vertical conductive wire〕
係設於該封膠體140内,每一縱向導通線140係具有一第一 端141及一第二端142,該些縱向導通線140之第一端141係 接合於該些連接墊120,該些縱向導通線140之第二端142 係顯露於該封膠體11 〇之頂面111,以電性導通該封膠體 110之該頂面111與該底面112,該些縱向導通線14〇係選自 於金線、鋁線、銅線與電鍍孔,在本實施例中,該些縱向 導通線140係為打線形成之金線,並且與在對應連接墊12〇
第13頁 1223879 五、發明說明(6) 上連接之銲線150為一體形成。 ”亥異方性導電膜層 3〇〇〔Anis〇tropic Conductive F/ ACF〕係貼設於該封膠體110之頂面111,其包含有 適當密度分佈之細粒度導電粒子及熱固性膠,以作為在該 封膠體11 0之頂面11 1上垂直向電性導通結構,而達到電性 連接該第一半導體封裝件1〇〇之縱向導通線14〇與該第二半 導體封裝件200之對外電性連接端21()。 該第二半導體封裝件200係可為一種微小尺寸之半導 體封裝件,如晶片尺寸封裝件〔Chip Scale package, CSP〕、四方扁平無接腳封裝件〔Quad Flat N〇n-leade(1 package〕或覆晶封裝件〔flip —chip package〕,在本實 施例中/ ’该第二半導體封裝件2〇〇係與該第一半導體封裝 件1 00係為。不相同電性功能之封裝件,例如為微處理器、 ^形處理器或為記憶體,該第二半導體封裝件2〇〇係包含 此Ϊ ^個對外電性連接端2 1 〇 ’在本實施例中,較佳地該 二夕電性連接端2 1 〇係可為凸塊或銲球,該第二半導體 =裝件2 00係疊設於該第一半導體封裝件1〇〇上,該些對外 連接端210係接合於該異方性導電膜層3〇〇,並藉由該 健,導電膜層300電性連接至該些縱向導通線14〇,當該 #笛二f體封裝件1 〇 〇與該第二半導體封裝件2 0 0堆疊時, = 導體封裝件2〇〇係經由在該封膠體頂面"I之 雷地性*導電膜層3〇〇與該封膠體110内該些縱向導通線 140電性連接至第—车道_ hi +導體封裝件100之半導體晶片130, 運到多封裝件之垂直堆疊。
1223879 五、發明說明(7) 因此’本發明之封裝件堆疊模組係利用「在密封半導 體晶片130之封膠體11〇内設有縱向導通線15〇,其一端係 接合在封膠體110底面112之連接墊12〇,其另一端係顯露 於封膠體11 0頂面111」以及「貼設在封膠體丨丨〇頂面丨丨i之 異方性導電膜層3 〇 〇」之技術特徵,達到在該封膠體丨丨〇上 之縱向導通以及該些縱向導通線14〇在該封膠體11()内穩固 形成’以取代習知在封膠體外周邊之間隔電路板,將明顯 減少封裝件堆疊模組之尺寸面積與組裝成本,此外,在封 裝件堆疊模組之組裝過程,只要在該第一半導體封裝件 1 〇 0之封膠體11 〇貼設該異方性導電膜層3 〇 〇即可堆疊該第 二半導體封裝件200,並且藉由該封膠體11〇内之該些縱向 導通線1 40與該異方性導電膜層3〇〇即可使該第一半導體封 裳件1 〇 〇與第二半導體封裝件2 〇 〇電性導通,比習知需要設 置習知間隔電路板之封裝件堆疊模組製程具有更縮短之 步驟且產品信賴度更高,不需要考慮間隔電路板之翹曲 度0
依本發明之第二具體實施例,請參閱第4圖,另一種 封裝件堆疊模組係包含一第一半導封裝件4〇〇、一第二半 導體封裝件200以及在第一半導體封裝件4〇〇與第二半導體 封裝件200之間的異方性導電膜層3〇〇,其中該第二半導體 封裳件200與該異方性導電膜層300與第一具體實施例相 同,並以相同圖號代表之。該第一半導封裝件4〇〇係包含 有一封膠體410、一基板420、一半導體晶片43〇及複數個 縱向導通線440,其中該基板420形成複數個連接墊421, 1223879 五、發明說明(8) 該些連接墊421係對應形成於該封膠體410之底面412,該 半導體晶片4 2 0係設於該基板4 2 0上並密封於該封膠體 410,在本實施例中,該半導體晶片42〇之背面432係朝 上’以在該半導體晶片420之主動面431之複數個凸塊433 覆晶接合至該基板4 2 0,並以該基板4 2 0之内部連接線路使 該半導體晶片420電性連接至該些連接墊421 ,此外,該封 膠體410内設有該些複數個縱向導通線44〇,該些縱向^通 線440之一端接合於該些連接墊421,其另一端係顯露於該 封膠體410之頂面411,以達到電性導通該封膠體41〇之該/ 頂面411與該底面412,較佳地,在該基板42〇之另一表面 係接合有複數個銲球4 5 0,以供外部電性連接,因此,藉 由該封膠體410内之該些縱向導通線44〇與該異方性導電膜 層300即可使該第一半導體封裝件4〇〇與第二半導體封裝件 200電性導通而達到堆疊與電性導通之封裝件堆疊模組。 依本發明之第三具體實施例,請參閱第5圖,一種封 裝件堆疊模組係包含一第一半導封裝件5〇〇、一第二半導 體封裝件200以及在第一半導體封裝件5〇〇與第二半導體 裝件200之間的異方性導電膜層3()(),其中該異方性導電膜 層300係貼設於該第一半導封裝件5 00之封膠體51 〇之頂面、 511,該第二半導體封裝件2〇〇係堆疊在該第一半導體封裝 件500上,並經由該異方性導電膜層3〇〇 裝件500電性連接。 τ π ”亥第I導體封裝件500係主要包含有-封膠體510、 複數個具有連接塾521之導職0、—半導體晶片53〇以及 1223879
複數個縱向導通線540,其中該封膠體510之頂面51ι係貼 没有4異方性導電膜層3〇〇 ’該封膠體51〇之底面512係形 成有該些連接墊521,該些導腳520係由一QFN導線架所構 成,其連接延伸之連接墊521係形成於該封膠體510之該底 面512並且具有不被該封膠體51〇覆蓋之顯露導接面,該半 導體晶片5 3 0係覆晶接合於該些導腳5 2 1,以電性連接該半 導體晶片5 3 0與該些連接墊5 2 1,在本實施例中,該些導腳 5 2 0與該半導體晶片5 3 0係被該封膠體5 1 0所密封。該半導 體晶片530係具有一主動面531及一對應之背面532,而該 主動面531係形成有複數個凸塊533,以接合該些連接墊 5 2 1延伸之導腳5 2 0,該些縱向導通線5 4 0係設於該些連接 墊521上且被該封膠體54〇密封,且每一縱向導通線540係 具有一端部’其係顯露於該封膠體5 1 〇之頂面5 11,其係與 異方性導電膜層300達到微間距縱向電性連接,以供電性 導接該第二半導體封裝件2〇〇。 本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者 為準’任何熟知此項技藝者,在不脫離本發明之精神和範 圍内所作之任何變化與修改,均屬於本發明之保護範圍。
第17頁 1223879 圊式簡單說明 【圖式簡單說明】 I1圖:習知之封裝件堆疊模組之截面示意圖; ,2圖:::,封裝件堆叠模組之間隔電路板之上表面示 第3圖:依本發明之第一具體眚竑 組之截面示意圖實施例’一種封裝件堆叠模 依本發明之第二具體實施 模組之截面示意圖;及 另種封裝件堆疊 依本發明之第三具體實妳 組之截面示意圖。 ,一種封裝件堆疊模 元件符號簡單說明: 10第一半導體封裝件 11 封膠體 12 2 0 第二半導體封裝件 30 間隔電路板 31 33 凸塊 34 1 0 0第一半導體封裝件 封膠體 111頂面 120連接墊 130半導體晶片 131主動 13:3銲墊 140縱向 141第一端 142第二 200第二半導體封裝件 基板 線路 連接 墊 銲球 21凸塊 32開口 面 導通線 端 第18頁 1223879 圖式簡單說明 210 對外電性連接端 300 異方性導電膜層 400 第一半導體封裝件 410 封膠體 411 頂面 412 底 面 420 基板 421 連接墊 430 半導體晶片 431 主動面 432 背 面 433 凸塊 440 縱向導通線 450 鲜球 500 第一半導體封裝件 510 封膠體 511 頂面 512 底 面 520 導腳 521 連接墊 530 半導體晶片 531 主動面 532 背 面 533 凸塊 540 縱向導通線
第19頁

Claims (1)

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【申請專利範圍】 1、一種在封膠體内具有縱向導通線之封裝件堆疊模組 其包含: 一第一半導體封裝件,其係包含有·· 一封膠體,其係具有一頂面及一底面; 複數個連接墊,其係形成於該封膠體之底面; 一半導體晶片,其係密封於該封膠體並電性連接至該 些連接墊;及 / 複數個縱向導通線,其係設於該封膠體内,該些縱向
導通線之一端接合於該些連接墊,其另一端係顯露於該 封膠體之頂面,以電性導通該封膠體之該頂面與該底 面; - 異方性導電膜層〔Anis〇tropic Conduct ive Fi lm, ACF〕’其係貼設於該封膠體之頂面;及 山一第二半導體封裝件,其係具有複數個對外電性連接 ^ 該些對外電性連接端係接合於該異方性導電膜層, 以電性連接至該些縱向導通線。 2、 如申味專利範圍第j項所述之在封膠體内具有縱向導 通線之封裝件堆疊模組,其中該些縱向導通線係選自於 金線、紹線、銅線與電鍍孔。 3、 如申%專利範圍第丨項所述之在封膠體内具有縱向導 ,^之封裝件堆疊模組,纟中該第-半導體封裝伴係包 I i Ϊ ί個銲線,其係電性連接該半導體晶片與該些連 接塾並密封於該封膠體。
第20頁 申請專利範圍 通線之封ί : 項所述之在封膠體内具有縱向導 塾上之縱體ί:該些鲜線係與在對應連接 通膠體内具有縱向導 含有複數個導腳,以電性連; 體封裝件係包 墊。 电Γ生連接a +導體晶片與該些連接 通=第5項所述之在封膠體内具有縱向導 體、。ί装件堆疊模組,其中該些導腳係密封於該封膠 7通範圍第5項所述之在封膠體内具有縱向導 ;::ϊ;件堆疊模纪,其中該半導體晶片係覆晶接合 8、'st申請專利範圍第1項所述之在封膠體内具有縱向導 ,線之封裝件堆疊模組,其中該些連接墊係形成於一基 板0 9、如申請專利範圍第8項所述之在封膠體内具有縱向導 通線之封裝件堆疊模組,其中該半導體晶片係覆晶接合 於該基板。 1 0、如申請專利範圍第1項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之封裝件堆疊模組,其中該些連接墊係由一金 屬板所構成。 1 1、如申請專利範圍第1項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之封裝件堆疊模組,其中該第二半導體封裝件 1223879 六、申請專利範圍
係為晶片尺寸封裝件〔Chip Scale Package,CSP〕。 1 2、如申請專利範圍第1項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之封裝件堆疊模組,其中該第二半導體封裝件 之該些對外電性連接端係為凸塊。 1 3、一種在封膠體内具有縱向導通線之半導體封裝件, 其包含: 封膠體’其係具有一頂面及一底面; 複數個連接墊,其係形成於該封膠體之底面; 一半導體晶片,其係密封於該封膠體並電性連接至 該些連接墊;及 複數個縱向導通線,其係設於該封膠體内,該些縱 向導通線之一端接合於該些連接墊,另一端係顯露於 該封膠體之頂面,以電性貫通該封膠體之該頂面與該 底面。 14、如申請專利範圍第13項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其另包含有一異方性導電膜 層’其係貼設於該封膠體之頂面。 1 5、如申請專利範圍第丨3項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其中該些縱向導通線係選自 於金線、紹線、銅線與電鍵孔。 1 6、如申請專利範圍第丨3項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其另包含有複數個銲線,其 係電性連接該半導體晶片與該些連接墊並密封於該封 膠體。
1223879 六、申請專利範圍 ---〜—_^ 17、如申請專利範圍第i 6項所述之在封膠體内具有縱 導通線之半導體封裝件,其中該些銲線係與在對鹿° ,接墊上之縱向導通線為一體形成。 % 1 8、如申請專利範圍第丨3項所述之在封膠體内具有縱 導通線之半導體封裝件,其另包含有複數個導腳,”該° 些導腳係設於該封膠體之該底面,該些導腳係電性 接該半導體晶片與該些連接墊。 … 1 9、如申請專利範圍第丨8項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其中該些導腳係密封於" 膠體。 、”x蚵 2 0、如申請專利範圍第j 8 導通線之半導體封裝件 合於該些導腳。 21、如申請專利範圍第工3 導通線之半導體封裝件 基板。 項所述之在封膠體内具有縱向 ’其中該半導體晶片係覆晶接 項所述之在封膠體内具有縱向 ,其中該些連接墊係形成於— 22、 如申請專利範圍第21項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其中該半導體晶片係覆晶接 合於該基板。 牧 23、 如申請專利範圍第1 3項所述之在封膠體内具有縱向 導通線之半導體封裝件,其中該些連接墊係由一金屬 板所構成。 降
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