552569 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明説明 (1 ) 1 I 發 明 所 且 的 技 術 領 域 \ ! 卜 本 發 明 係 有 闞 液 晶 顯 示 板 之 製 造 方 法 I I 1 I 知 技 術 Τ 請 1 I 巨 前 $ 正 採 用 液 晶 顬 示 板 作 為 撕 帶 型 筆 記 式 個 人 電 腦 先 閱 1 讀 1 | 之 顯 示 裝 置 0 此 液 晶 顯 示 板 係 予 作 成 將 液 晶 相 封 入 於 二 片 背 1 I 1 玻 璃 基 片 之 間 的 構 造 0 其 中 之 一 基 片 係 形 成 有 TFT陣列之 1 I 事 1 玻 璃 基 片 9 而 另 一 基 片 則 係 形 成 有 濾 色 器 之 玻 璃 基 片 0 項 再 1 4 此 種 液 晶 顯 示 板 » 係 藉 由 將 已 形 成 有 TFT陣列之玻璃 填 寫 本 頁 1 基 片 及 已 形 成 有 濾 色 器 之 玻 璃 基 片 貼 合 並 於 兩 片 玻 璃 基 1 I 片 間 注 入 液 晶 予 Μ 製 得 0 1 Ϊ 製 造 液 晶 顯 示 板 時 9 由 於 有 將 玻 璃 基 片 蓮 送 至 指 定 位 1 ί 置 之 必 要 ， 故 玻 璃 基 片 需 有 某 種 程 度 之 剛 性 0 於 習 用 的 液 訂 1 晶 顯 示 板 之 製 造 線 上 所 採 用 的 蓮 送 方 法 $ 玻 璃 基 片 之 厚 度 1 I 為 0 · 5 m »1以下者玻璃基片由於本身重量會撓曲， 故玻璃基 1 片 乃 採 用 約 1 m m厚度者。 因為玻璃之比重為約2 • 8 9 用 於 撕 1 1 η 帶 型 筆 記 式 個 人 電 腦 之 12 • 1 英 吋 型 之 顯 示 板 的 情 形 一 片 玻 璃 基 片 之 重 量 成 為 約 160g 0 1 ! 發 明 欲 解 決 的 課 1 1 1 習 用 的 液 晶 顯 示 板 係 如 上 述 製 造 玻 璃 基 片 之 重 量 為 1 1 片 合 計 約 32 0g 為 實 現 被 視 作 理 想 的 重 量 lk gM下之攜 1 I 帶 型 筆 記 式 個 人 電 腦 時 > 即 有 過 重 的 課 題 存 在 0 1 1 I 又 f 即 使 減 薄 玻 璃 基 片 t 為 使 不 致 生 成 撓 曲 而 變 更 運 1 1 I 送 方 法 時 f 須 變 更 既 有 的 製 造 線 9 故 乃 有 需 要 巨 額 的 設 備 1 1 I 投 資 之 課 題 存 在 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21 OX 297公釐） 3 96 3 2 A7 552569 B7 五、發明說明（3 ) 第1及第2之玻璃基片相對向的面之反對側的面黏於已予整 體化成框體之透明平板上，作成以框體覆蓋第1及第2之玻 璃基片者。 與申請專利範圍第5項所述之發明有關的液晶顯示板 之製造方法，係將第2玻璃基片之第1及第2之玻璃基片相 對向的面之反對側的面加Μ蝕刻，使第2玻璃基片的上逑 第1及第2之玻璃基片相對向的面之反對側的面形成為使相 鄰的顯示點之行的邊界成為凹部之波形面者。 與申請專制範圍第6項所述之發明有關的液晶顯示板 之製造方法，係藉由於第2之玻璃基Η的第1及第2之玻璃 基片相對向的面之反對側的面上形成在相鄰的顯示點之行 之邊界上具有開口部之光旭圖案，蝕刻其光阻圔案成為蝕 刻掩膜後，去除光阻圖案，再度蝕刻以進行第2玻璃基片 之蝕刻者。 與申請專利範圍第7項所述之發明有關的液晶顯示板 之製造方法，係採用經予黏著於表面Κ矽膜予Μ被覆的多 孔質基片上者，作為第1及第2之玻璃基片之任一者或二者 ，以由多孔質基片之内部透出的剝雜液溶解位於玻璃基片 及多孔質基片問之黏著面的矽膜，而自多孔質基板剝離玻 璃基片者。 與申請專利範圍第8項所述之發明有關的液晶顯示板 之製造方法，係將第1玻璃基片之第1及第2之玻璃基片相 對向的面之反對側的面黏著於已整體化成框體之透明平板 上，作成Μ框體覆蓋第1及第2之玻璃基片者。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 3 (修正頁）3 9 6 3] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 552569 A7 B7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（） 與申請專利範圍第9項所述之發明有關的液晶顯示板 之製造方法，係採用將表面以矽膜予以被覆的耐熱性多孔 質基片上MCVD法形成的Si〇2膜，藉由會滲透入多孔質基 片之内部的剝離液溶解位於玻璃基片與多孔質基片間之黏 著面上的矽膜，作為第1及第2之玻璃基片之任一者或二者 ，作成由多孔質基片剝離玻璃基片者。 與申請專利範圍第1 0項所述之發明有闢的液晶顯示板 之製造方法，係將第1玻璃基片之第1及第2玻璃基片相對 向的面與反對側的面黏著於已整體化成框體之透明平板上 ，作成K框體覆蓋第1及第2之玻璃基片者， 發明夕啻_雜樣 K下說明本發明之一實施態樣。 管施態樣1 第1圖’係供說明實施'態樣1用之藉由液相蝕刻裝置表 示蝕刻玻璃基片的狀態之概略截面圖，第1圔（A)表示橫剖 面圖，第1圖（B)表示縱剖面圔。圖中，1為形成有TFT陣列 的厚度約0·7至2,0mm之第1玻璃基片、2為形成有滹色器的 厚度約0.7至2·0ιηιη之第2玻璃基片、3為封入於第1及第2之 玻璃基片1及2間的液晶層、4為阻止液晶之洩漏的液晶密 封材，5為保護已予配設於液晶密封材4及第1玻璃基片1之 周圍上的像素電極（未圖示）不受蝕刻液侵蝕的密封材、6 為作為由第1及第2之玻璃基片1及2、液晶層3、液漏密封 材4與密封材5所構成的蝕刻對象之蝕刻對象顯示板，至於 蝕刻液，可採用氫氟酸（HF)等。於採用氫氟酸（HF)作為蝕 刻液時，可採用聚四氟乙烯橡膠等聚四氟乙烯糸補土、松 脂等樹脂、銅等。 又，1 1為供蝕刻玻璃基片而用的液相蝕刻裝置、1 2為 內部附有加熱器（未圖示）之感應器（suscept〇r), 13為供 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公t) 4 (修正頁）3 9 6 3 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線' 552569 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 嗔出蝕刻液而用的蓮蓬頭、14為使蝕刻液循環而用的循環 泵、15為供去除包含於已使用完畢的蝕刻液中之塵埃（由 蝕刻而生成的粒子）而用的過漶器、16為供冷却蝕刻液而 用的冷却裝置、17為循環蝕刻液之配管、18為供輸送純水 入感應器12內而用的配管。於第1圖（A),蝕刻液及純水流 動方向係以箭頭表示，蓮蓬頭13,係當於感應器12上配置 有蝕刻對象顯示板6時，配置成對向於玻璃基片面。而且 ，於蓮蓬頭13,係設置有多數的蝕刻液噴出用之噴出孔， 此等噴出孔，係當於感應器U ziT配置有蝕刻對象顯示板6 時，配置成對玻璃基片面成垂直狀。 並且，此液相蝕刻裝置11係設成一面，使蝕刻對象顯 示板6移動、一面可同時蝕刻多數個蝕刻對象顯示板6。於 第1圖（B);以箭頭表示採用移動機構（未圖示）移動蝕刻對 象顯示板6之方向。 其次，說明液晶顯示板之製造方法。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 首先，於第1玻璃基片上形成TFT陣列，於第2玻璃基 片上形成滤色器。於TFT陣列形成步驟及漶色器形成步驟 ，除TFT陣列及漶色器Μ外，亦合併形成必需於第1及第2 之玻璃基片1及2形成之其他要件。 其後，將已形成有TFT陣列之第1玻璃基片1及已形成 有滤色器之第2玻璃基片2貼合。然後，將液晶注入已予貼 合的第1及第2之玻璃基片1及2間。至此為止之步驟，係採 用習用公知的方法進行。 然後，K聚四氟乙烯橡膠等之聚四氟乙烯（特弗隆）系 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 5 3 9 6 3 2 552569 A7 B7五、發明説明（6 ) 之補土、松脂等之樹脂、鋦等之密封材5被覆已予配設於 液晶密封材4及第1玻璃基板1之周圍的像素電極。依至^乙 為止之步驟，製得蝕刻對象之蝕刻對象顯示板6。 $ 、 其後，由第1及第2之玻璃基片1及2相對向的面（與液 晶層3接觸的面）相反的面蝕刻第1玻璃基片1。此蝕刻步驟 、係藉由第1圖所示的蝕刻裝置11,採用氫氟酸（HF)作為 蝕刻液進行。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 側 3 1X 頭 蓬 S 向 時ls§ 此片 基 璃 板 示 顯 象 對 刻 蝕 將 頭 蓬 第蓮 與於 係 置 13設 頭數 蓬多 蓮由 片 基 璃 玻 此 如 之 1 第 使板 上示 12顯 器象 應對 感刻 於蝕 置置 配配 6
玻 IX 時 6 第 〇 向 向朝 對孔 相出 面 噴 片用 基出 璃噴 玻液 刻 蝕 之 此 由 玻 對至 刻熱 蝕加 時器 該熱 〇 加 液之 刻内 触12 布器 噴應 的感 勻於 均設 面附 片由 基藉 璃係 玻 ， 之6 U板 片示 基顯 璃象
置 裝 却 冷 由 藉 則 液 刻 蝕 弱 V 板 示 顯 象 對 刻 蝕 之 上 2 ii 器 應 感 於 置 配 己 5 側 約面 至背 却之 冷 Μ 予 6 ^ Φ II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 又 亦 片 基 璃 玻 板 示 顯 象 第對 由至 即流 液 刻 蝕 止 防 % 水 純 入 送 8 11 管 配 由 經 2 蝕 至 流 液 刻 蝕 止 防 為 外 另 ο 側 面 背 之 6 2 片 基 璃 玻 2 第 於 有 法 方 他 其 之 側 面 ο 6Z之 板膜 示触 顯抗 象置 對設 刻上 片 基 璃 玻 1 片 基 璃 玻第 及 片 基 璃 2 第 刻 蝕 法 同 片第 ί於 合 貼 〇 板板 光示 第偏顯 與將晶 , , 液 後後成 然其完 上 玻 11 玻 2 基 璃 2 片 樣 態 施 實 本 依 基 璃 玻 輕 減 能 得 , 可 述故 上 ， 如M2 1X 片 基 璃 玻 之 2 第 及 1量、fl 蝕之 因片 效 功 的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 96 32 552569 A7 B7 五、發明説明（7 ) 又 由 因 第 向 朝 孔蝕 出布 嗔噴 用的 出勻 嗔均 液面 刻片 蝕基 之璃 13玻 頭之 蓬2 fi及 9 1 於片 置基 設璃 數玻 多之 2 第 及 功 刻 蝕 的 勻 均 予 均 2 及 1X 片 基 璃 玻 之 2 第 及 1 第 得 可 故 液 。 刻效 者 再 顯 象 對 刻 蝕 熱 加 因 約 至 却 冷
液 刻 蝕 之 V 板及 刻 蝕 至 6
予 已 由 藉 弱 V 及 1 片 基 璃 玻 之 2 第 使片 基 &,璃 動 玻 泳z 熱 2 的及 起1^ * 度璃 梯玻 度之 溫 2 於第 由及 第 由 子 粒 的 成 生 刻 蝕 由 由 6,使 板 ， 示時 顯動 象震 對加 刻施 触 的 對期 , 定 中或 刻續 游置 的裝 效震 有加 面由 藉 若 粒 的 成 生 刻 蝕 離 且 蝕 2 連第 *· 示S 圖第 未由 /fv 子 之 6 板 示 顯 〇 象 離對 游刻 的蝕 效之 有上 E 2 § 1 面器 片應 基感 璃於 玻置 之配 12B 及 3 1 由 片 ， 基者 璃再 玻 之 入 送 水 純^ 0 1 0 管 r 配背 由 6 經板 側示 面顯 背象 對 刻 蝕 至 流 液 刻 蝕 止 防 可 功 的 刻 蝕 之 分 部 要 霈 不 止 防 得 可 故 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 效 蝕利 於M 由加 將再 ， 液 環刻 循蝕 液收 刻回 蝕而 使 ， 14去 浦除 泵15 環器 循滤 用過 使 K 於子 由粒 , 之 且生 而產 而 刻 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 刻 蝕 面 一 時 同 動 移 〇 6 果板 效示 之顯 液象 刻對 蝕刻 用蝕 利使 地面 效一 有 ， 得者 可再 用 的 率 產 生 的 高 較 現 實 能 得 可 故 6 板 示 顯 象 對 刻 蝕 的 〇 數效 多功 玻 之 側1 刻 蝕 僅 Λ 中 之 2 及 1± 片 基 璃 玻 之 2 第 及 IX 第 且 效 功 的 量 GB 重 總 之 片 基 璃 玻 輕 減 得 可 亦 時 片 基 璃 樣 戆 m 奩 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X2^7公釐） 7 3 9 6 3 2 552569 Α7 Β7 五、發明說明（） 若於玻璃基片中含鋇（Ba)者採用氫氟酸（HF)作為蝕刻 液，蝕刻玻璃基片時，由於BaF2粒子會析出而殘留於玻璃 基片面上，玻璃基片之表面上會有粗糙的情形，故在本實 施態樣2，係採用不含鋇（Ba)者作為欲予蝕刻的玻璃基片 Ο 如上述，依本實施態樣2，因採用不含鋇（Ba)者作為 蝕刻的玻璃基片，可得蝕刻後的玻璃基片之表面呈光滑的 功效。 管_態樣3 於本實施態樣3，係採用不含鋇（Ba)但含鈉（Na)者作 為第1玻璃基片。因此，於形成TFT陣列之際的熱處理步驟 前，M C V D法或濺鍍法等方法於第1玻璃基片1之形成T F T側 的面上形成Si〇2或S13N4等之阻擋層膜。 如上述，依本實施態樣3，採用不含鋇（Ba)但含鈉（Na )者作為第1玻璃基片，因此，於形成TFT陣列之際的熱處 理步驟前，於第1玻璃基片之形成 TFT側的面上形成Si〇2 或Si3“等之阻擋層臘，故於第1玻璃基片上形成TFT陣列 之際的熱處理步驟，可得能抑制鈉（Na)之擴散的功效。 啻淪篛樣4 於本實施態樣4，為使透過光避免在液晶顯示板上設 置的配線，將用Μ收集透過光之透過光束集光用的微透鏡 形成於第2玻璃基片上。 第2圖及第3圖為表示實施態樣4之說明所用的在第2玻 璃基片上形成透過光束集光用之微透鏡的步驟之概略截面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8(修正頁）39632 552569 A7 B7 五、發明説明（9) ί; Φ—I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖。圓中，41為溏色器、42為抗蝕曆國案、43為設置於抗 蝕層圖案42上的開口部、44為供蝕刻第2玻璃基片2而用的 蝕刻液，45為已形成於第2玻璃基片的半画柱狀之溝槽、 46為已形成於第2玻璃基片2上的透過光來集光用之微透鏡 其他圖號則與第1圖者相同。 其次，說明液晶顯示板之製造方法， 至形成蝕刻對象顯示板6之步驟為止，Μ與實施態樣1 之情形同法實施。 其後，於第2之玻璃基片2之第1及第2之玻瑰基片1及 2相對向的面（與液晶層3接觭的面）之反對側的面上，形成 抗蝕層圖案42(第2圖（Α1)。此抗蝕層圈案42,係將Μ每一 個TFT所決定的顯示點排成複數行而成者之情形，在相鄰 的顯示點之行的邊界上具有開口部43之線及空間（line and space)狀的抗蝕曆圖案。亦即，滤色器41係設置於每個顯 示點上，故此抗蝕層圖案42,係於相鄰的濾色器41之行之 邊界上具有開口部43之線及空間狀的抗蝕層圖案。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其後，Μ抗蝕層画案42為抗蝕罩膜，由第1及第2之玻 璃基片1及2相對向的面（與液晶層3接觸的面）之反對側的 面蝕刻第2玻璃基片2(第2圖（Β))。此蝕刻步驟，係藉由第 1圖所示的蝕刻裝置，採用氫氟酸（HF)作為蝕刻液44予Μ 蝕刻。例如，採用約40重量％之氫氟酸（HF)蝕刻厚度約 0.7至l.Oinm之第2玻璃基片2約30分鐘。藉由此蝕刻步驟， 於第2玻璃基片2形成半圓柱狀的溝槽45。 然後，去除抗蝕層圈案42(第2圖（C))。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 9 3 9 6 32 552569 A7 B7 五、發明説明（10 ) ^ φ_丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其後，再度由第1及第2之玻璃基片1及2相對向的面（ 與液晶層3接觸的面）之反對側的面蝕刻第2玻璃基片2(第 3圖（A))於此蝕刻步驟，採用氫氟酸（HF)作為蝕刻液44進 行，例如蝕刻約1分鐘。通過此蝕刻步驟，藉由將第2玻璃 基片2之第1及第2之玻璃基Ml及2相對向的面之反對側的 面作成相鄰的顯示點之行之邊界成為凹部之波形面，為使 透過光避免在液晶顯示板上設置的配線，於第2玻璃基片2 上形成將透過光收集的透過光來集光用之微透鏡46(第3圖 (B))。 如上述，依本實施態樣4,於蝕刻第2玻璃基片2時， 為使透過光避免在液晶顯示板上設置的配線，於第2玻璃 基片2上形成將透過光收集的透過光來集光用之微透鏡46 ，故可減輕玻璃基Η之總重量，同時可得透光率提高的功 效。再者，由於透光率提高，故於背光方式之液晶顯示板 ,可得無需設置成為成本提高的要因之稜鏡板片的功效。 啻_態樣5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於本實施態樣5,採用黏接了多孔質基片的厚度為約 0.1至0.4mm玻璃片作為第1及第2之玻璃基片，該多孔質基 片之表面覆了一層矽膜。於注入液晶步驟後，將第1及第2 之玻璃基片從多孔質基Μ剝離。 第4圖及第5圖為表示實施態樣5之說明所用的製造液 晶顯示板之步驟的槪略截面圖。圖中，51為將第1玻璃基 片1黏著的厚度約0.5至1.0mm之第1多孔質基片，52為將第 2玻璃基片2黏著的厚度約0.5至1.0mm之第2多孔質基片， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 10 3 9 6 3 2 552569 A7 B7 五、發明説明（11 ) ι\ Φ—I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 53為被覆第1及第2之多孔質基片51及52之表面的矽膜，54 為黏著第1玻璃基片1與第1多孔質基片51;K及第2玻璃基 片2與第2多孔質基片52之黏著層，55為保護已配設於液晶 密封材4及第1玻璃基片1之周圍上的像素電極（未圖示）不 受剝離液侵蝕之密封材。其他圖號係與第1圖者相同。至 於第1及第2之多孔質基片51及52,可採用具有直徑為數 Mm之细孔的多孔質玻璃基片（例如，日本旭玻璃股份有限 公司製造的Μ I C R Ο P 0 R 0 U S G L A S S Μ P G - A Μ )具有直徑為數/i m 之细孔的多孔質石英玻璃基片（例如，旭玻璃股份有限公 司製造的MICRO POROUS GLASS MPG-AS)、或第6圖所示的 SiC、Mo、琥珀玻璃恆範鋼（invar)等之耐熱材料61等。於 耐熱材料61內，有貫通附熱材料61之直徑約（K1至1.0/im 的细孔6 2係K約1至1 0 in m之節距有規則的配置著。且，於 第6圖，表示耐熱材料61係K矽膜63被覆之狀態，第6圖 (A)為平面圖、第6圖（B)為剖面圖，至於剝離液，可採用 APW液（M乙二胺1份、1,2,3-苯三酚（卩丫「〇8311〇1)2份、水 2份之體積比混合而成者）等。對採用APW液作為剝離液時 ，可採用聚四氟乙烯橡膠等聚四氟乙烯系之補土、樹脂等 之樹脂、銅等作為密封材55。 其次，說明液晶顯示板之製造方法。 首先，KCVD法於第1及第2之多孔質基片51及52之表 面上形成厚度為數in之矽膜53(第4圖（A))。藉由此矽膜 53,使第1及第2之多孔質基片51及52之表面的细孔阻塞。 然後，將第1玻璃基片1黏著於第1多孔質基片51上，而將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 9 6 3 2 11 552569 A7 B7 五、發明説明（12 ) 第2玻璃基片2黏著於第2多孔質基片52上，（第4圔（B))。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第4圖（B)係表示第1玻璃基片1介由黏著層54黏著於第1多 孔質基片51之狀態。 其後，至注入液晶步驟為止，係與實施態樣1同法操 作（第4圖（C))。 然後，Μ聚四氟乙烯系橡膠等之聚四氟乙烯糸之補土 、松脂等之樹脂、鋦等之密封材55被覆已配設於液晶密封 材4及第1玻璃基片1之周圍的像素電極（未圖示）（第5圖（Α) )〇 然後，Μ氫氟酸（HF)去除被覆著第1及第2之多孔質基 片51及52之矽膜53之表面上生成的自然氧化膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然後，Μ剝離液溶解被覆著第1玻璃基片1及第1多孔 質基片51間之黏著面Μ外的多孔質基片51之矽膜53後，利 用由第1多孔質基片51之细孔內部滲出的剝離液溶解位於 第1玻璃基片1及第1多孔質基片51間之黏著面上的矽膜53 ,而將第1玻璃基片1從第1多孔質基片51剝離。同樣的， 將第2玻璃基片2從第2多孔質基片52剝離（第5圖（Β))。此 剝離步驟，係採用約70 1C A PW液作為剝離液而進行，剝離 步驟後，視需要去除黏著層54。第5圖（B)係表示已去除黏 著曆54之狀態。 然後，將偏光板片貼合於第1玻璃基片1及第2玻璃基 片2上，完成液晶顯示板。 如上述，依本實施態樣5,採用於黏著了第1及第2之 多孔質基片51及52的厚度為約0.1至0.4mio之玻璃片，作為 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 96 3 2 12 552569 A7 B7 五、發明説明（13 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1及第2之玻璃基片1及2,該多孔質基片51及52之表面各 Μ矽膜53覆蓋，於注入液晶步驟後，將第1及第2之玻璃基 片1及2從第1及第2之多孔質基片51及52剝離，故可得能減 輕玻璃基片之總重量的功效。 又，採用多孔質玻璃基片作為第1及第2之多孔質基片 51及52,採用APW液作為剝離液時，APW液之選擇比為 Si/Si〇2 = 750之程度而足夠大，故可得能再利用多孔質基 片之功效。 且，第1及第2之玻璃基片1及2之中對僅一側之玻璃基 片採用Μ矽膜被覆表面的多孔質基片予以黏著的厚度約 0.1至0.4mm者之情形，亦可得能減輕玻璃基片之總重量的 功效。 管_耱樣6 於本實施態樣6,採用KCVD法於表面有矽膜被覆的耐 熱性多孔質基片上形成厚度為約10/i M\n\m之Si〇2膜當作 第1與第2之玻璃基片，在注入液晶步驟後，將第1及第2之 玻璃基片從多孔質基片剝離。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於耐熱性多孔質基片，則採用具有直徑數//m之细 孔的多孔質石英玻璃基片（例如，旭玻璃股份有限公司製 造的 MICRO POROUS GLASS MPG-AS)、或第 6圖所示的 SiC、 Mo、琥珀玻璃、恆範鋼等之耐熱材料61等。 製造液晶顯示板時，首光於第1及第2之多孔質基片之 表面上，M CVD法形成厚度數//m之矽膜，第1及第2之多孔 質基片表面的细孔由於此矽膜而阻塞。 然後，於第1多孔質基片之指定面上，M CVD法形成厚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 13 3 9 6 3 2 552569 Α7 Β7 五、發明説明（14 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 度約10/im之Si〇2膜，K此Si〇2膜作為第1玻璃基片。同樣 的，於第2多孔質基片之指定面上，MCVD法形成厚度約 1 0以m之S i 0 2膜，K此S i 0 2膜作為第2玻璃基片。 Μ後，經由與實施態樣5之情形相同的步驟，完成液 晶顯示板。 如上述，依本實施態樣6,採用MCVD法於表面有矽膜 被覆的附熱性多孔質基片上形成的Si〇2膜當作第1與第2之 玻璃基片，於注入液得步驟後，將第1及第2之玻璃基片從 多孔質基片剝離，故可更減薄第1及第2之玻璃基片，可得 能更減輕玻璃基Μ之總重量的功效。 又，因採用KCVD法形成的Si〇2膜作為第1玻璃基片， 藉由將於構成在第1玻璃基片所形成的TFT陣列之各TFT作 成多晶矽TFT,可得TFT陣列之電阻變小的功效。 且，第1及第2之玻璃基片1及2之中，對僅一側之玻璃 基片採用表面有矽膜被覆的耐熱性多孔質基片予Μ黏著的 厚度約ΙΟ/im之Si〇2膜，亦可得能減輕玻璃基片之總重量 的功效。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 啻觖蘸樣7 第7圖為表示本實施態樣7之說明所用的將液晶顯示板 黏著於整體化成框體之透明平板上，Μ框體覆蓋的狀態之 概略剖面圖，顯示著背光方式之液晶顯示板。圖中、71為 整體化成框體之透明平板、72為框體、73為黏著液晶顯示 板於平板71之黏著曆、74為冷陰極管、75為反射器、76為 導光板。其他圖號則與第1圖者相同。至於黏著於平板71 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 3 96 32 14 552569 Α7 Β7 五、發明説明（1 5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之液晶顯示板，可採用Μ實施態樣1及第2之玻璃基片1及 2相對向的面之反對側的面黏著於平板71上。至於平板71 、可採用質輕、透明且附衡擊強度較大的聚甲基丙烯酸甲 _ 〇 如上述，依本實施態樣7,將以實施態樣1至6製造的 液晶顯示板黏著於已整體化成框體之透明平板71上，Κ框 體72覆著，可得耐衝擊強度提高、落下時亦無受破壤之成 的功效。 且，上逑的各實施形態，係在第1玻璃基片上形成 TFT陣列、並對於第2玻璃基片上形成滤色器之彩色TFT液 晶顯示板予Μ說明，惟並非受此等所限定者，貼合二片玻 璃基片，於其間注入液晶而形成的液晶顯示板，例如單純 矩陣型之液晶顯示板亦可適用。 搿明夕劝放 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 如上述、依本發明，係予構成能由第1及第2之玻璃基 片相對向的面之反對側的面蝕刻形成有TFT之第1玻璃基片 及形成有滤色器之第2玻璃基Μ之任一者或二者，故可得 能減輕玻璃基片之總重量的功效。 依本發明，係予構成能藉由多數設置於對向於玻璃基 片面配置的蓮蓬頭之噴出孔朝向玻璃基片面噴布蝕刻液Μ 進行第1及第2之玻璃基片之任一者或兩者之蝕刻，故玻璃 基片具有被均勻蝕刻的功效。 依本發明，第1及第2之玻璃基片之中，係Μ採用不含 鋇者作為欲予蝕刻的玻璃基片。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29*7公f ) 3 96 32 15 552569 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明説明（ 16 ) 1 | 依 本 發 明 f 採 用 含 納 者 作 為 第 1玻璃基片之情形， •於 1 r 熱 處 理 步 驟 刖 t 係 予 構 成 能 形 成 阻 止 鈉 之 擴 散 於 上 述 第 1 1 1 i 玻 璃 基 片 之 面 上 的 阻 擋 層 膜 9 於 第 1玻璃基片之熱處理步 請 1 .丨 I 驟 9 有 可 抑 制 納 (N a ) 之 擴 散 的 功 效 0 先 閱 1 讀 4b 1 I 依 本 發 明 $ 係 予 構 成 將 第 1之玻璃基片之第1及 第 2之 背 面 1 I 之 1 1 玻 璃 基 片 相 對 向 的 面 之 反 對 側 的 面 黏 著 於 已 整 體 化 成 框 體 注 意 事 1 1 之 透 明 平 板 上 f K 框 體 覆 蓋 第 1及第2 :之 玻 璃 基 片 > 故 有 附 項 再 1 Λ 衝 擊 強 度 提 高 落 下 時 亦 無 受 破 壞 之 虞 的 功 效 0 寫 本 百 t I 依 本 發 明 9 係 予 構 成 由 第 1及第2之 玻 璃 基 片 相 對 向 的 1 1 I 面 之 反 對 側 之 面 蝕 刻 第 2玻璃基片， 使第2玻 璃 基 片 之 上 述 1 1 I 第 1及第2之 玻 璃 基 片 相 對 向 的 面 之 反 對 側 的 面 能 形 成 相 鄰 I 1 訂 1 的 顯 示 點 之 行 之 邊 界 成 為 凹 部 之 波 形 面 9 故 有 透 光 率 提 高 的 功 效 0 1 1 依 本 發 明 9 係 予 構 成 使 於 第 2之玻璃基片的第1 及 第 2 1 * 1 之 玻 璃 基 片 相 對 向 的 面 之 反 對 側 的 面 上 形 成 在 相 鄰 的 顯 示 1 1 赢 點 之 行 之 邊 界 上 具 有 開 口 部 之 抗 蝕 層 圖 案 蝕 刻 其 抗 蝕 層 T I 圖 案 成 為 抗 蝕 罩 膜 後 去 除 抗 蝕 層 圖 案 $ 再 度 蝕 刻 t 故 具 1 1 有 可 容 易 形 成 透 過 光 束 集 光 用 之 微 透 鏡 的 功 效 0 1 1 依 本 發 明 9 係 予 構 成 採 用 黏 著 於 表 面 有 矽 膜 被 覆 的 多 1 1 孔 質 基 片 上 之 玻 璃 片 $ 作 為 第 1及第2之 玻 璃 基 片 之 任 一 者 1 1 或 二 者 $ 藉 由 多 孔 質 基 片 之 內 部 滲 出 的 剝 離 液 溶 解 位 於 玻 1 I 璃 基 片 及 多 孔 質 基 片 間 之 黏 著 面 的 矽 膜 » 作 成 可 白 多 孔 質 1 1 I 基 〇 板 剝 離 玻 璃 基 片 9 具 有 可 減 輕 玻 璃 基 片 之 m 重 量 的 功 效 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 16 3 96 3 2 552569 A7 B7五、發明説明（17 ) 依本發明，係予構成於表面有矽膜被覆的酎熱性多孔 的 成 形 法 膜 2 質 孔 多 入 透 滲 由 藉 之 間 片 基 質 孔 多 與 片 基 璃 玻 於 位 解 溶 液 離 C 剝 用的 採部 上内 片之 基片 質基 二 基 或璃 者玻 一 輕 任減 之可 片有 基具 璃 ， 玻離 之剝 2 片 基 質 第孔 為多 作從 。 , 片效 膜基功 砂璃的 的玻量 上將重 面而總 著 ，之 黏者片 第 及 明 說 蜃 簡 之 式 l· 刻 蝕 相 液 由 藉 之 用 1 樣 態 施 實 之 明 發 本 明 說 供 係 圖 1Χ 第 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 剖 第略 的概 用之 。所驟 圖明步 面說的 剖之鏡 略i4s K 隞 施之 實用 -Ϊ光 之 !-.集 明 束 示透 表成 係 之 態 狀 的 片 基 璃 玻 刻 蝕 示 表第片 置 基 裝 璃 圖 圖 2 第 概 之 驟 11形111;剖11 圖 圖第圖 2 J 3^w 4 第片 第 Ϊ 概第 玻 面 樣 態 施 實 之 明 發 本 示 表 束 光 過 透 成 形 上 片 基 璃 於步 續的 接鏡 的透 用微 所之 明用 說光 之集 4 液 造 製 的 用 所 明 說 之 5 樣 態 施 實 之 明 發 本 圖示 S表 圖 面 剖 略 槪 的 驟 步 夂 圖製 板5Hf 示第 顯 晶 第 之 圖 4 於 績 接 的 用 力no 明面 說 • 窜 Γ 樣槪 態的 施驟 實步 之之 明板 發示 本顯 示晶 表液 係造 晶 液 將 二 J 用 略 所 槪 J S 之 料t之 材 7 熱樣 耐態 的施 覆實 被之 膜明 矽發 有本 示示 表表 係係 圖圖 6 7 第第
蓋 覆 體 框 % 、 上 板 平 明 透 之 體 框 成 化 〇 體圖 整面 已截 於略 著概明 黏之說 板態之 示狀號 顯的I 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 7 11 3 9 6 3 2 552569 A7 B7 五、發明説明（is ) 1 第1玻璃基片、2 第2玻璃基片、13 蓮蓬頭、42 部片 口基 開質 3 孔 4 r 多 、 2 案第 圖 Ϊ 2 層 5 蝕 、 抗片 多 1X 第 1X 5 鏡 透 微 板 平 11 7 Λ 膜 矽 3 5 基框 質 孔72 體 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 18 3 9 63 2