TW539895B - A color filter array having a yellow filter layer - Google Patents

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539895 A7 B7 五、發明説明（1) 發明背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於供固態影像裝置或者液晶顯示裝置用的 濾色器陣列，並且亦係關於彼之製法。 當濾色器陣列在諸如固態影像裝置或者液晶顯示裝置 的裝置上形成時，習知其會形成包含黃色濾層（γ )、洋 紅色濾層（Μ )、及青色濾層（C )的濾色器陣列（2 ) 並且三種濾層在基板（1 )的同一平面中彼此鄰接（圖1 )。在濾色器陣列（2 )中，濾層（Υ ) 、( Μ ) 、( c )係排列成條紋圖樣（圖2 )或者類網絡圖樣（嵌鑲結構 )(圖 3 )。 多種製備此濾色器陣列的方法已爲人提出。其中，所 謂的”色阻法” （color resist method )有廣泛的實務應用 。在色阻法中，圖樣化係利用以下的方式實施，即，將包 含著色劑的感光性樹脂組成物施以曝光及顯影，並且圖樣 化係以所需的次數依序地重覆實施。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於色阻法中使用的感光性樹脂組成物，以顏料作爲 著色劑者被廣泛地使用。然而，該等顏料並不適於精細或 微小圖樣的形成，因爲其爲顆粒並且不溶於顯影劑中，所 以會有顯影殘餘物的產生。 以染料作爲著色劑的感光性樹脂組成物習知亦可以製 得精細圖樣化的濾色器陣列。例如’ Japanese Patent Application Laid-Open No · 6 — 75375 揭示一種包 含染料的負型感光性樹脂組成物，並且Japanese Patent Publication No . 7 — 1 1 1 48 5揭示一種正型感光性 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 539895 A7 __ B7_ 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 樹脂組成物其包含1 0至5 0 % (基於乾重）溶解於正型 感光性樹脂組成物之溶劑中的染料。（在下文中，” j p —A — ” 係用以表示 Japanese Patent Application Laid-Open， 且 J P — B — ” 係用以表示 Japanese Patent Publication) 0 用於製備濾色器陣列之感光性樹脂組成物中的著色劑 ，例如上述者，必須具備以下兩種性質。 (1 )對曝光光線具有良好的透射性質，即，對用以 形成圖樣的曝光光線具有高的透射率並且可以在短時間曝 光下即形成圖樣。 (2 )良好的耐光度，即，在正常操作條件下不會因 染料的變色而產生老化。 然而，沒有一種使用於習知的感光性樹脂組成物中的 染料同時具備上述兩種性質。 例如，Japanese Patent Publication Ν ο . 7 — 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 1 1485中提及以？丨1^〇1〇1^偶氮染料（(：.1.3〇卜61^ Yellow 88)作爲摻至黃色濾層中的染料（在下文中，” J P —A — ” 係用以表示 Japanese Patent Application Laid-Open, 且 J P — B — ” 係用以表示 japanese patent Publication) 。但是，此染料在可見光區及近紫外光區（例如i -線及 g -線）具有高吸收，並且使用此染料會使曝光時間變得 較長。依據JP — B - 7 - 1 1 1485，當使用此染料 形成黃色濾層時，其所需的曝光時間爲2 0秒。 著色劑在可見光區及近紫外光區具有小的吸收値。然 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公廣） -5- 539895 A7 ___B7_ __ 五、發明説明（3) 而，在可見光區及近紫外光區具有小的吸收値的著色劑通 常不具有令人滿意的耐光度。除此之外，此染料在感光性 樹脂組成物中具有低溶解度，因此含有高濃度之染料的感 光性樹脂組成物不易製得。 因此，具有實用性之黃色濾層的濾色器陣列即難以製 得。 爲了硏發具有良好透射性質（以在短時間內形成濾層 )以及良好耐光度之黃色濾層的濾色器陣列，本發明之發 明人曾做過廣泛的硏究。結果發現使用特定的染料可以製 得曝光時間短且具有令人滿意之耐光度的黃色濾層。本發 明亦基於此發現而得以完成。 發明槪述 本發明提供基板上具有黃色濾層的濾色器陣歹[J其中黃 色濾層包含波長4 0 0至5 0 0 nm下具有吸收最大値的 D比B定酮偶氮染料（在下文中稱爲”染料（I )，’ ^ ;並且 在波長4 5 0 nm下的透射率爲5%或以下，# 5 3 5 nm下的透射率爲8 0%或以上並且在6 5 0 nm下的透 射率爲9 0%或以上。 本發明亦提供製造濾色器陣列的方法。 附圖槪述 【圖1】 圖1係濾色器陣列的截面示意圖其中黃色濾、層、洋紅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ^6*T-----一- ----!-------衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539895 Α7 Β7 五、發明説明（4) 色濾層、及青色濾層係位於基板的同一平面上。 【圖2】 圖2係濾色器陣列的平面示意圖其中黃色濾層、洋紅 色濾層、及青色濾層係排列成條紋圖樣。 【圖3】 圖3係濾色器陣列的平面示意圖其中黃色濾層、洋紅 色濾層、及青色濾層係排列成嵌鑲圖樣。 【圖4】 圖4係實例1中製得之濾色器陣列的平面示意圖。 【圖5】 圖5係實例1中製得之濾色器陣列的平面示意圖。 【參考數字的說明】 2:濾色器陣列 Μ :洋紅色濾層 1 :基板 Y :黃色濾層 C :青色濾層 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之實施例 石夕晶圓及透明無機玻璃板可以作爲本發明之滤色器中 使用之基板的範例。電荷耦合裝置可在矽晶圓上形成。 本發明之濾色器陣列有黃色濾層在其基板上。 黃色濾層包含波長4 0 0至5 0 0 nm下具有吸收最 大値的染料（I )。染料（I )的具體實例包括以通式（ I )表示的化合物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 539895 A7 B7

N=N R13 R14 五、發明说明（5) ⑴ S-NHR1 其中R1。表示具有2至1 0個碳原子的烷基；R11、 R12、及R14各表示氫原子、甲基、羥基、或氰基；並且 R13表示具有1至4個碳原子的烷基。黃色濾層可藉此染 料的摻入而使其在波長4 5 0 n m下的透射率爲5 %或以 下，535nm下的透射率爲80%或以上且650nm 下的透射率爲9 0%或以上。 在通式（I )中以R1(D表示的具有2至1 0個碳原子 之烷基的實例包括乙基、丙基、正己基、正壬基、正癸基 ---：-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 正 院 2 —乙己基 3-二甲基丁基、1一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 甲基丁基、1 ，5 —二甲基己基、及1 ，1 ，3 ，3 —四 甲基丁基。以R13表示的具有1至4個碳原子之烷基的實 例包括甲基、乙基、丙基、及丁基。 染料（I )的實例包括C.I. Solvent Yellow 162。其係 單獨使用或者倂用。該等染料（I )在40 0至5 00 n m的波長範圍內具有吸收的最大値’並且對i -光及g 一光具有低吸收。 爲了改善耐光度及控制顏色，即，控制其光譜特性， 黃色濾層可以摻入其他染料。可以僅使用一種其他染料或 者可以將兩或多種倂用。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 539895 A7 ^___B7 五、發明説明（6) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 黃色濾層的透射率在波長4 5 0 nm下爲5 %或以下 ’在5 3 5 nm下爲8 0%或以上並且在6 5 0 nm下爲 9 0 %或以上。 本發明的濾色器陣列可以利用一般的色阻法製得。例 如，其可以藉包含感光性樹脂組成物（包含著色劑）之圖 樣化的步驟製得。感光性樹脂組成物包含染料（I )。 感光性樹脂組成物可以是正型感光性樹脂組成物或者 是負型感光性樹脂組成物。 除了上述的染料之外，本發明之正型感光性樹脂組成 物尙包含諸如光活化化合物及鹼溶性樹脂。 使用於習知的感光性樹脂組成物中的光活化化合物可 於本發明之正型感光性樹脂組成物中使用。其實例包括酚 系化合物和鄰位-萘醌萘醌二疊氮磺酸鹽形成的酯類。酚 系化合物的實例包括以化學式（ 1 0 )表示的化合物。

OH

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 鄰位-萘醌二疊氮- 5 -磺酸鹽及鄰位-萘醌二疊氮 - 4 -磺酸鹽可以作爲鄰位-萘醌二疊氮磺酸鹽的範例。 術語”鹼溶性樹脂”係指溶解於鹼性顯影液中的樹脂 ’並且與使用於習知之感光性樹脂組成物中之樹脂類似的 本紙張尺度適财目0^標準（CNS ) A4驗（210X297公釐)「9 一 539895 A7 B7 五、發明説明（7) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 所有鹼溶性樹脂均可使用。該等鹼溶性樹脂的實例包括酚 醛淸漆樹脂例如對位-甲酚酚醛淸漆樹脂、對位-甲酚和 間位-甲酚的酚醛淸漆樹脂；具有以式（2 0 )表示之結 構的酚醛淸漆樹脂：

;聚乙烯基酚；及苯乙烯與乙烯基酚形成的共聚物。 最好以酚醛淸漆樹脂作爲鹼溶性樹脂。 對每1 0 0重量份之染料、光活化化合物、及鹼溶性 樹脂的總量而言，內含於感光性樹脂組成物中之染料、光 活化化合物、及鹼溶性樹脂的量通常分別爲 10至50重量份，10至50重量份，及3至50重量 份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 硬化劑可以摻至正型感光性樹脂組成物中。以感光性 樹脂組成物形成之圖樣的機械強度可藉硬化劑的摻入而得 到改善。 經由加熱而硬化的熱硬化劑通常可以作爲硬化劑。熱 硬化劑的實例包括以通式（3 0 )表示的化合物：

I

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10 - 539895 A7 _ B7_ 五、發明説明（8) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中Q1、Q2、Q3、及Q4各表示氫原子、具有1至 4個碳原子的羥烷基、或者具有1至4個碳原子並經過具 有1至4個碳原子之烷氧基取代的烷基；Z表示苯基或者 以通式（31)表示的基團： Q 5 Q 6 N - (31) 其中Q5及Q6各表示氫原子、具有1至4個碳原子的 羥烷基、或者具有1至4個碳原子並經過具有1至4個碳 原子之院氧基取代的院基。 其前提爲Q 1至Q 6中至少有一個是具有1至4個碳原 子的羥烷基或者是具有1至4個碳原子並經過具有1至4 個碳原子之烷氧基取代的烷基。 具有1至4個碳原子之羥烷基的實例包括羥甲基、羥 乙基、羥丙基、及羥丁基。具有1至4個碳原子並經過具 有1至4個碳原子之烷氧基取代的烷基之實例包括甲氧甲 基、甲氧乙基、乙氧乙基、及丙氧丁基。 以通式（3 0 )表示之化合物的實例爲六甲氧甲基蜜 胺。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除此之外，以下化學式（3 2 )至（3 7 )的化合物 可以在本發明之正型感光性樹脂組成物中作爲硬化劑。 ch2oh

ch2〇h

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 539895 五、發明説明（9) Λ / Β7 CH2OCH3 yCH2〇CH3 、广/ 3=( >=〇 / \ ch2och3 αι2οαΐ3 (34) 0

人 A N 0 H3C0IfcC、 人 〆 CH2OCH3 N N

ftjCOHzC、人 jCH2OCH3 N (35) (36)

、(T

.A

h3coh2c、人 x〆 ch2och3 N N (37) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 C2H5 當使用硬化劑時，對每1 0 0重量份之染料、光活化 化合物、及鹼溶性樹脂的總量而言，其含量通常爲不低於 1 0重量份並且不高於3 5重量份。 本發明之正型感光性樹脂組成物通常會以溶劑稀釋。 溶劑係依據染料（I )、光活化化合物、鹼溶性樹脂 、及硬化劑的溶解度而適當地選用。例如，可以使用甲基 溶纖素、乙基溶纖素、甲基溶纖素乙酸酯、乙基溶纖素乙 酸酯、二乙二醇二甲醚、乙二醇一異丙醚、丙二醇一甲醚 、N -曱基吡咯烷酮、γ- 丁內酯、二甲亞砚、Ν，Ν’ — 二甲基甲醯胺、環己烷、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、丙二醇 一***乙酸酯、乙酸乙酯、戊酸乙酯、乳酸乙酯、或類似 物。該等溶劑係單獨使用或者倂用。 對每1 0 0重量份之染料、光活化化合物、鹼溶性樹 脂、及硬化劑的總量而言，欲使用之溶劑的量通常爲約 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 12 539895 A7 B7 五、發明説明（iq 180至400重量份。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之負型感光性樹脂組成物，除了上述的染料之 外，尙包含諸如光酸產生劑、硬化劑、及驗溶性樹脂。 使用於習知的負型光反應性樹脂組成物中的光酸產生 劑可以在本發明的負型感光性樹脂組成物中作爲光酸產生 劑。其實例包括以通式（4 0 )表示的化合物：

其中Q7表示具有1至3個碳原子的院基，並且Q8表 示以具有1至3個碳原子之烷基取代的苯基或者以具有1 至3個碳原子之烷氧基取代的苯基。 以Q 7表示的具有1至3個碳原子之烷基的實例包括甲 基、乙基、及丙基。以具有1至3個碳原子之烷基取代並 且以Q8表示之苯基的實例爲鄰位-異丙苯基。以具有1至 3個碳原子之烷氧基取代之苯基的賓例包括對位-甲氧苯 基、對位-乙氧苯基、及對位-丙氧苯基。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，以化學式（4 1 )至（4 7 )表示的化合物：

PF6" (41) MV (42) CF3S〇3~ (43) CH3O—^—S6F6' (44) -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539895 (45) (46) CC13

亦可以作爲光酸產生劑。 經由加熱而硬化的熱硬化劑通常係以如同習知的負型 感光性樹脂組成物中的方式作爲硬化劑。上示作爲正型感 光性樹脂組成物之範例的熱硬化劑亦可以使用於本發明的 負型感光性樹脂組成物中。 上示作爲正型感光性樹脂組成物之範例的鹼溶性樹脂 亦可以如同習知的負型感光性樹脂組成物中的方式使用於 本發明的負型感光性樹脂組成物中。 對每1 0 0重量份之染料、光酸產生劑、硬化劑、及 鹼溶性樹脂的總量而言，內含於負型感光性樹脂組成物中 之光酸產生劑、硬化劑、及鹼溶性樹脂的量係如下所示。 染料的含量通常爲約1 5至4 0重量份，並且光酸產生劑 的量通常爲0 · 3至5重量份。欲使用之硬化劑的量通常 爲1 0至2 5重量份，並且鹼溶性樹脂的含量通常爲2 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準(〇奶）八4規格（210父297公釐） -14 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539895 A7 B7 五、發明説明（1匀 至7 5重量份。 負型感光性樹脂組成物通常會以溶劑稀釋。 溶劑係依據染料（I )、光酸產生劑、鹼溶性樹脂、 及硬化劑的溶解度而選用。可以使用上示作爲正型感光性 樹脂組成物之範例的溶劑。對每1 0 0重量份之染料、光 酸產生劑、硬化劑、及鹼溶性樹脂的總量而言，欲使用之 溶劑的量通常爲約1 8 0至4 0 0重量份。 因爲上述的感光性樹脂組成物使用染料（I )作爲其 著色劑，所以即使組成物以長時間儲存，亦幾乎無沉澱的 產生。因此，組成物可以實際上無不規則性的方式塗覆至 基板上。此使得厚度爲約0 . 5至2微米且長度爲約2至 2 0微米之圖樣的黃色濾層得以在濾色器陣列的各側生成 〇 圖樣化係以如下方式實施，即，提供上述樹脂組成物 的塗層至基板上，將塗層曝光，然後施以顯影。 將經過稀釋的感光性樹脂組成物塗覆至基板上可提供 塗層至基板上。組成物的塗覆通常是利用旋轉塗覆法實施 。組成物塗覆至基板上之後，塗層被加熱至諸如約8 0至 1 3 0 °C以使內含於其中的溶劑蒸發。感光性樹脂組成物 的塗層由是製得。 其後，塗層被施以曝光。曝光係使用與所欲圖樣對應 的光罩圖樣，並以光束經光罩圖樣照射至塗層的方式實施 。g -光、i -光、或者類似的光線可以作爲供塗層曝光 用的光束。諸如g -光步進器或者i -光步進器可以作爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -15 - ---r--：--------Ί---IT------· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 539895 A7 B7 五、發明説明（13) 供曝光用的曝光裝置。 利用感光性樹脂組成物，圖樣可在短時間曝光下即形 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 當使用負型感光性樹脂組成物時，塗層係於曝光之後 施以加熱。當使用正型感光性樹脂組成物時，塗層可在曝 光之後施以加熱或者可以不加熱。當塗層被施以加熱時， 加熱溫度係諸如約8 0至1 5 0 °C。 曝光之後，塗層被施以顯影。顯影的實施方式係將覆 有塗層之基板浸於顯影劑中，其和使用一般的感光性樹脂 組成物的情況相同。供習知感光性樹脂組成物實施圖樣化 用的顯影劑亦可以用於本發明的圖樣化中。將基板自顯影 劑中取出並施以水洗以去除顯影劑可以製得具有所欲圖樣 之黃色濾層的濾色器陣列。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

當使用正型感光性樹脂組成物時，水洗之後，基板可 再施以紫外線照射。照射紫外線可使殘餘的光活化化合物 分解。除此之外，當感光性樹脂組成物包含熱硬化劑時， 基板可在水洗之後施以加熱。當實施加熱時，形成的黃色 濾層之機械強度得以改善。加熱溫度通常不低於1 6 0 °C 且不高於2 2 0 t。加熱溫度通常不高於染料的分解溫度 〇 當使用負型感光性樹脂組成物時，基板可在水洗之後 施以加熱。當實施加熱時，形成的黃色濾層之機械強度得 到改善。加熱溫度通常不低於1 6 0 °C且不高於2 2 0 °C 。加熱溫度通常不高於染料的分解溫度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - .16 - 539895 A7 B7 五、發明説明（14) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，黃色濾層以所欲的圖樣形成。由是形成的黃色 濾層之透射率在波長4 5 0 nm下最好爲5%或以下並且 在5 3 5 nm下最好爲8 0%或以上。 其他濾層，即，洋紅色濾層與青色濾層，係依據習知 的方式在覆有黃色濾層之基板的同一平面上形成。當使用 正型感光性樹脂組成物時，爲了改善形成的黃色濾層之強 度，最好使用包含硬化劑者並在顯影之後實施加熱。黃色 濾層可在其他顏色的濾層提供至基板上之後方予形成。 由黃色濾層、洋紅色濾層、及青色濾層組成並且三者 在基板同一平面上彼此連接的濾色器陣列因此得以製成。 由是製得的濾色器陣列係用於固態影像裝置、液晶顯 示裝置等。舉例而言，在固態影像裝置中，如果濾色器陣 列係配置在其電荷耦合裝置的前方，則色彩再現性極佳的 彩色影像得以形成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之濾色器陣列顯現極佳的光譜特性並且具有耐 光度極佳的黃色濾層。此外，因爲染料係作爲其著色劑， 所以外來物含量較低且厚度均勻的黃色濾層可以容易地製 得。此濾色器陣列極適合用於液晶顯示裝置或者用於包含 電荷耦合裝置的固態影像裝置。 本發明將以實例爲基礎在下文中做更爲詳細的說明， 但是該等實例絕不應視爲本發明之範圍的限制。 實例1 在3 6重量份作爲染料（I )的C.I· Solvent Yellow -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 539895 A7 B7 五、發明説明（15) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 162、27重量份作爲光活化化合物之化學式（1 0 )表示的 酚系化合物和鄰位-萘醌二疊氮- 5 -磺酸鹽形成的酯類 、1 8重量份作爲鹼溶性樹脂的對位-甲酚之酚醛淸漆樹 脂（依據聚苯乙烯的重量平均分子量：6，000)、 2 0重量份作爲硬化劑的六甲氧甲基蜜胺、及4 0 0重量 份作爲溶劑的乳酸乙酯混合及溶解之後，生成的混合物以 孔隙尺寸爲0 . 1微米的薄膜過濾器施以過濾而製得正型 感光性樹脂組成物。 利用旋轉塗覆法將以上製得的正型感光性樹脂組成物 塗覆至基板（矽晶圓）上並在1 0 0 t下加熱1分鐘以使 乳酸乙酯蒸發即製得塗層。利用曝光設備（Nikon Corp.製 造的” Nikon NSR i7A” ）經光罩圖樣照射i —光以實施塗 層的曝光。然後，將經過塗覆的基板浸於 2 3 °C 下的顯影劑（Sumitomo Chemical Co.，Ltd 製造的” S〇P D ” ）中1分鐘以實施圖樣的顯影。顯影之後，將 基板施以水洗，乾燥，照射紫外線，並在1 8 0 °C下加熱 3分鐘即製得具有條紋圖樣之黃色濾層的濾色器陣列（圖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 )。黃色濾層的線寬爲1 . 〇微米且厚度爲〇 · 7微米 〇 其後，以不同的光罩圖樣重覆如上的流程而製得具有 嵌鑲圖樣之黃色濾層的濾色器陣列（圖5 )。黃色濾層的 線寬爲2·0微米且厚度爲〇·7微米。 重覆如上的流程，但是此處係以透明玻璃板替代矽晶 圓作爲基板並且圖樣不經過曝光即實施顯影，由是製得以 本紙張尺度適用巾關家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐):18- 539895 A7 B7 五、發明説明（16) 厚度0.7微米形成於整個基板上的黃色濾層。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 實例2 重覆如實例1中的流程，但是此處係以1 8重量份作 爲染料（I )的C.I· Solvent Yellow 162及1 8重量份作爲 其他染料的C.I. Solvent Yellow 82替代3 6重量份的C.I.

Solvent Yellow 162，由是製得具有線寬爲1 . 〇微米且厚 度爲0 · 7微米之條紋圖樣黃色濾層的濾色器陣列（圖4 )，具有線寬爲2·0微米且厚度爲1·1微米之嵌鑲圖 樣黃色濾層的濾色器陣列，及以厚度1 · 1微米形成於整 個基板上的黃色濾層。 實例3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在1 8重量份作爲染料（I )的C.I. Solvent Yellow 1 6 2、0 · 5重量份作爲光酸產生劑的以化學式（5 0 )表示的化合物、4 4重量份作爲鹼溶性樹脂的對位-甲 酚之酚醛淸漆樹脂（依據聚苯乙烯的重量平均分子量：5 ，0 0 0 )、2 0重量份作爲硬化劑的六甲氧甲基蜜胺、 及4 0 0重量份作爲溶劑的乳酸乙酯混合及溶解之後，生 成的混合物以孔隙尺寸爲〇 . 1微米的薄膜過濾器施以過 濾而製得負型感光性樹脂組成物。

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格.（21〇X297公釐） -19 - 539895 A7 _ B7 五、發明説明（1乃 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 利用旋轉塗覆法將以上製得的負型感光性樹脂組成物 塗覆至基板（矽晶圓）上並在1 〇 〇 °c下加熱1分鐘以使 字L酸乙酯黑發即製得塗層。利用曝光設備（Nik〇n c〇rp.製 造的’’ Nikon NSR i7A” ）經光罩圖樣照射i —光以實施塗 層的曝光’繼而在1 2 0 °C下加熱1分鐘。然後，將經過 塗覆的基板浸於2 3 ΐ：下的顯影劑（Sumitomo Chemical C〇·，Ltd製造的” S〇P D ” ）中1分鐘以實施圖樣的顯影 。顯影之後，將基板施以水洗，乾燥，照射紫外線，並在 1 8 〇 °C下加熱3分鐘即製得具有條紋圖樣之黃色濾層的 濾色器陣列。黃色濾層的線寬爲 1 . 0微米且厚度爲〇 . 7微米。 其後，以不同的光罩圖樣重覆如上的流程而製得具有 嵌鑲圖樣之黃色濾層的濾色器陣列。黃色濾層的線寬爲 2 · 0微米且厚度爲〇 . 7微米。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 重覆如實例1中的流程，但是此處以透明玻璃板替代 矽晶圓作爲基板並且曝光係於不使用光罩圖樣的條件下實 施，由是製得以厚度〇 · 7微米形成於整個基板上的黃色 濾層。 實例4 用以形成洋紅色濾層的感光性樹脂組成物、用以形成 青色濾層的感光性樹脂組成物、及用以形成黃色濾層的感 光性樹脂組成物係依據如下所示的摻合配方分別製得。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - 539895 A7 B7 五、發明説明（18) (用以形成洋紅色濾層的感光性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 鄰位-萘醌二疊氮- 4 一磺酸鹽 六甲氧甲基蜜胺 乳酸乙酯 N，N’ 一二甲基甲醯胺 以化學式（5 1 )表示的化合物 3 6重量份 3 0重量份 1 7重量份 2 8 0重量份 1 2 0重量份 1 8重量份

S02NHCH2CH(C2H5)C4H9 (bl) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (用以形成青色濾層的感光性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 鄰位-萘醌二疊氮一 4 一磺酸酯 六甲氧甲基蜜胺 乳酸乙酯 N，N’ 一二甲基甲醯胺 C.I. Solvent Blue 67 1 9重量份 4 3重量份 1 6重量份 2 1 0重量份 9 0重量份 3重量份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -21 - 539895 A7 B7 五、發明説明（19) (用以形成黃色濾層的感光性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 1 8 重量份 鄰位-萘醌二疊氮 - 4 一磺酸酯 2 7 重量份 六甲氧甲基蜜胺 2 0 重量份 乳酸乙酯 2 8 0 重量份 N，N ’ 一二甲基 1 甲醯胺 12 0 重量份 C.I. Solvent Yellow 162 1 8 重量份 C.I. Solvent Yellow 82 1 8 重量份 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 利用旋轉塗覆法將以上製得的用以形成黃色濾層的感 光性樹脂組成物塗覆至備有電荷耦合裝置的矽晶圓上，然 後，其溶劑再於1 0 0 t的烤盤上蒸除。 其後，使用i 一光步進器曝光設備（Nikon Corp·製造 的” Nikon NS R 2 205 il 2D” ），以波長 3 6 5 n m 的紫外線 經光柵（2，0 0 0毫焦耳/平方厘米）對基板施以照射 。然後，利用顯影劑（每1，0 0 0立方厘米含有3 0克 氫氧化四甲銨的水溶液）將基板施以顯影。曝光部份去除 之後，基板以純水淸洗。其後，使用低壓汞燈（ 3，0 0 0毫焦耳/平方厘米），令紫外線照射在整個基 板上，再將基板置於1 8 0 °C的烤盤上加熱1 0分鐘即製 得黃色濾層。 重覆如上的流程，但是此處係使用以上製得的用以形 成洋紅色濾層的感光性樹脂組成物來替代用以形成黃色濾 層的感光性樹脂組成物，由是製得洋紅色濾層。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 539895 A7 ___B7 五、發明説明（20) 重覆如上的流程，但是此處係使用以上製得的用以形 成青色濾層的感光性樹脂組成物，由是製得青色濾層並進 一步製得濾色器陣列。 微透鏡係以習知的方式在濾色器陣列上形成而製得固 態影像裝置。濾色器陣列之黃色濾層在固態影像裝置的厚 度爲0 . 7微米。此固態影像裝置的濾色器陣列顯現良好 的光譜特性。 黃色濾層（厚度：〇 · 7微米）係以等同於上述的方 式在整個石英晶圓上形成。 比較例1 重覆如實例1中的流程，但是此處係以2 0重量份之 化學式（5 2 )表示的化合物： R50 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

NH

3) 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 23 539895 A7 B7 五、發明説明（21) ，；L 〇重量份以化學式（5 4 )表示的化合物·· R51 —

NH-SCV Q-

COOH

N 二 N

S02—NH—R 51 (54)

OH 其中R51表示以下式（5 5 )表示的基團 Η ?~2'?h2 ch3H2

(55) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 6重量份以化學式（5 6 )表示的化合物： R52 - NH-S〇2

^-Q-so2 一 NH 一 R’ 52 (56) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R52表示以式（5 5 )表示的基團 替代C.I· Solvent Yellow 162，由是製得具有線寬爲 1 · 0微米且厚度爲1 · 1微米之條紋圖樣黃色濾層的濾 色器陣列；具有線寬爲2 · 〇微米且厚度爲1 . 1微米之 嵌鑲圖樣黃色濾層的濾色器陣列；及以1 . 1微米之厚度 形成於整個基板上的黃色濾層。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）.-24 - 539895 A7 __—__B7_------ 五、發明説明（20 評估 (1 )曝光時間 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在各個實例及比較例中形成1 . 0微米0 ’線爿斤胃的曝 光時間示於表1中。 (2 )光譜特性 量測實例及比較例中製得的有黃色濾層覆蓋其整個基 板的濾色器陣列在4 5 0 n m、5 3 5 n m、及6 5 0 n m下的透射率。結果示於表2中。 (3 )耐光度 將紫外線-遮斷濾波器（Hoya Corp.製造的”彩色光學 玻璃L 3 8 ” ，其能夠遮斷波長3 8 0 n m或者更短的光 線）置於實例及比較例中製得的有黃色濾層覆蓋其整個基 板的各個濾色器陣列的前方，繼而在 1， 000， 〇〇〇 1χ· hour 下照光 〇shimadzu 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Corp.製造的” Sun tester XF 180 CPS”係作爲光源。在波長 45〇nm、535nm、及650nm下量測各濾色器 陣列照光之後的透射率。結果示於表3中。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25 · 539895 A7 B7 五、發明説明（23) 表 1 曝光時間（毫秒） 實例1 400 實例2 600 實例3 250 比較例1 2000 表 2 透射率（％) 波長（nm) 450 535 650 實例1 0.2 95 100 實例2 0.6 84 98 實例3 0.5 95 100 比較例1 7 93 98 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表 3 透射率（％) 波長（nm) 450 535 650 實例1 2 98 100 實例2 2 87 100 實例3 5 98 100 比較例1 19 94 99 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -26-

Claims (1)

1. 539895 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 並且對每1 0 0重量份之染料，光酸產生劑，硬化劑與鹼 溶性樹脂的總量而言，染料，光酸產生劑，硬化劑，與鹼 溶性樹脂的量分別爲約1 5至4 0重量份，0 . 3至5重 量份，10至25重量份，及20至75重量份。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28 -